JP2023024000A - 熱処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】密着してガスが漏れないように扉を本体側へ密着させる手段が本体及び扉の前面から突出しないようにすることができる熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置１は、本体１１と、扉１２と、ロッド２７と、分力手段２８とを備える。本体１１は、ガスを充填して被処理物１０を熱処理する処理室を構成する。扉１２は、本体１１に設けられた開口２２を開閉する。ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面に沿って延びるように配置され、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向と異なる方向に移動する。分力手段２８は、扉１２が開口２２を閉じた状態でロッド２７をロッド２７の移動方向に操作する操作力を分力して扉１２を本体１１側へ密着させる力を発生させる。【選択図】 図１

Description

本発明は、被処理物に対して熱処理をするための熱処理装置に関する。

被処理物に対して熱処理をするための熱処理装置においては、被処理物の種類により、ガスを充填して被処理物を熱処理する処理室の気密性を保った状態で熱処理をすることが要求される。そのような気密性を確保するためには、処理室を構成する本体に対して本体の開口を閉じる扉をロックすることに加え、ガスが漏れないように扉を本体に対して密着させることが必要となる。

熱処理装置において本体へ扉を密着させる構成として、例えば、特許文献１に記載されているように、扉にロックハンドル及び水平ハンドルが設けられた構成が知られている。ロックハンドルは、扉の前面に突出して設けられて作業者によって操作される操作部と、操作部の操作に伴って本体側と扉側とで係合する機構とを備えて構成されている。また、水平ハンドルは、本体の前面に設けられて作業者によって操作される操作部と、操作部の操作に伴って作動して扉を押さえる機構とを備えて構成されている。特許文献１に記載された構成においては、作業者が、ロックハンドル及び水平ハンドルを手動で締める操作を行い、扉を本体に対して押さえ込むことで、扉が本体に対して密着する。

特開２００５－３５１５８５号公報

特許文献１に開示された構成では、ロックハンドル及び水平ハンドルのように、作業者によって操作される操作部が、本体及び扉の前面に突出して設けられている。このため、作業者が操作部に自らの身体をぶつけてしまうことがあり、或いは、作業者の衣服が操作部に引っ掛かってしまうことがあり、作業者の作業の邪魔となるという問題がある。

本発明は、上記実情に鑑みることにより、密着してガスが漏れないように扉を本体側へ密着させる手段が本体及び扉の前面から突出しないようにすることができる熱処理装置を提供することを目的とする。

（１）上記課題を解決するために、本発明のある局面に係わる熱処理装置は、ガスを充填して被処理物を熱処理する処理室を構成する本体と、前記本体に設けられた開口を開閉する扉と、前記本体における前記開口が設けられた面に沿って延びるように配置され、前記扉を前記本体側へ押圧する押圧方向と異なる方向に移動するロッドと、前記扉が前記開口を閉じた状態で前記ロッドを当該ロッドの移動方向に操作する操作力を分力して前記扉を前記本体側へ密着させる力を発生させる分力手段と、を備えている。

この構成によると、本体の開口を閉じた状態の扉を本体側へ密着させる手段が、扉の押圧方向と異なる方向に移動するロッドと、ロッドの移動方向の操作力を分力する分力手段とによって構成される。そして、ロッドは、本体における開口が設けられた面に沿って延びるように配置され、分力手段は、ロッドの移動に伴って作動するように、扉が開口を閉じた状態でのロッドの近傍に配置される。このため、扉を本体側へ密着させる手段であるロッド及び分力手段を本体及び扉の前面から突出しないようにすることができる。よって、上記の構成によると、密着してガスが漏れないように扉を本体側へ密着させる手段が本体及び扉の前面から突出しないようにすることができる熱処理装置を提供することができる。

（２）前記分力手段は、前記ロッドに取り付けられたカム部材と、前記ロッドの移動量に対して前記カム部材の移動量を抑制する弾性体と、前記扉に設けられて前記カム部材と当接することで前記操作力から分力された力を前記扉へ伝達するカムフォロアと、を有している場合がある。

カム部材及びカムフォロアといった部品に寸法誤差がある場合、及び、カム部材及びカムフォロアといった部品を組み立てる際の組立誤差がある場合は、ロッド側のカム部材と扉側のカムフォロアとの位置の精度が一定ではなく、ばらつきが生じることになる。このため、カム部材とカムフォロアとの位置決めを精度よく調整することが必要になる。しかし、上記の構成によると、扉側のカムフォロアに当接してロッドの操作力を分力するロッド側のカム部材が、弾性体によって、移動量を抑制される。このため、ロッドが移動してカム部材がカムフォロアに当接する際に、部品の寸法誤差及び組立誤差がある場合であっても、弾性体の変形によって誤差が吸収される。これにより、ロッドの移動方向の操作量のみでカム部材とカムフォロアとの位置決めを精度よく調整することができる。

（３）前記熱処理装置は、前記分力手段を複数備え、複数の前記分力手段のそれぞれは、前記カム部材と前記弾性体と前記カムフォロアとを有している場合がある。

例えば、ロッドに設けたネジ部とネジ部に螺合するナットとによって、ロッドの軸線上に配置された個々のカム部材の位置を調整する調整手段が備えられているような場合でも、カム部材が複数あると、ロッドの軸線上でカム部材を精度よく位置合わせすることが困難となる。しかし、この構成によると、各分力手段に設けられた弾性体によって、各分力手段に存在する個別の誤差を個々に吸収することができる。このため、ロッドの移動に伴って同じタイミングで作動する複数の分力手段のそれぞれにおいて、カム部材とカムフォロアとの位置決めを精度よく調整することができる。

（４）前記扉は、前記本体に対して丁番を介して取り付けられた開き戸として設けられ、複数の前記分力手段が有する複数の前記弾性体において、前記丁番側に配置された前記弾性体に対して、前記丁番側から離れた側に配置された前記弾性体の弾性力が大きく設定されている場合がある。

この構成によると、複数の弾性体のうち、丁番側に配置された弾性体に対して、丁番側から離れた側に配置された弾性体の弾性力が大きく設定される。このため、複数の分力手段のうち、丁番側から離れた側に配置された分力手段において、カム部材がカムフォロアを付勢する力を大きくすることができる。一般的に内圧がかかると扉が開こうとして、丁番側はシールのシール圧が確保されていても、丁番から離れたところほどシールのシール圧が低下する。よって、離れて配置された弾性体ほど、弾性力を強くする必要がある。しかし、シールのシール圧を均一にしたいが、扉の形状や扉のロック手段との配置関係などで、シールのシール圧が均一にならない場合でも、上記のように構成することで、シールのシール圧を均一にすることができる。

（５）前記カムフォロアは、前記扉の縁部分に設けられ、前記本体には、前記開口の縁部分において、前記扉が前記開口を閉じる際に前記カムフォロアを受け入れる凹部が設けられており、前記扉が前記開口を閉じて前記カムフォロアが前記凹部に受け入れられた状態で前記ロッドが前記移動方向に移動することで、前記カム部材が前記カムフォロアに当接する場合がある。

この構成によると、扉が閉じる際は、扉側のカムフォロアが本体の開口の縁部分の凹部に受け入れられるため、カムフォロアが本体と干渉することなく本体の内側に配置された状態で、扉を閉じることができる。このため、扉が閉じた際に、カムフォロアが本体の前面側に配置された状態となることを防止することができる。また、扉が閉じられた後は、本体側に設けられたロッドが移動し、カム部材がカムフォロアに当接することで、ロッドの操作力から分力された力がカムフォロアに伝達され、扉を本体側へ密着させることができる。したがって、上記の構成によると、開口の縁部分に凹部を設けた簡素な構成により、扉を本体へ密着させる分力手段が本体の前面側に配置されてしまうことを防止できる構造を容易に構築することができる。

（６）前記ロッドを前記移動方向に操作する操作量は、前記扉が前記開口を閉じて前記ロッドが移動する前の状態での前記移動方向における前記カム部材と前記カムフォロアとの間の設定距離よりも所定量大きくなるように設定されている場合がある。

この構成によると、ロッドの操作量が、扉が閉じた後でロッドが移動する前の状態でのカム部材とカムフォロアとの間の設定距離よりも所定量大きく設定される。このため、ロッドが移動してカム部材がカムフォロアに当接する際に、部品の寸法誤差及び組立誤差がある場合であっても、弾性体の変形によって誤差をより確実に吸収することができる。

（７）前記弾性体は、前記ロッドの外周に配置されている場合がある。

この構成によると、ロッドと弾性体とを同軸方向に連続して配置することがなく、ロッドと弾性体との組み合わせ構成物をロッド軸方向で短く構成することができる。

本発明によると、密着してガスが漏れないように扉を本体側へ密着させる手段が本体及び扉の前面から突出しないようにすることができる熱処理装置を提供することができる。

本発明の第１実施形態にかかる熱処理装置の斜視図である。 熱処理装置の斜視図であって扉が閉じられた状態を示す図である。 図１に示す熱処理装置の一部を拡大して示す図である。 熱処理装置の扉と密着機構とを示す図であって、熱処理装置の内部側から見た状態を示す図である。 図４に示す密着機構を拡大して示す図である。 図６（Ａ）は、熱処理装置の扉と密着機構とについて上方から見た状態で示す図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）の一部を拡大して示す図である。 図７（Ａ）は、熱処理装置の扉と密着機構とについて上方から見た状態で示す図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の一部を拡大して示す図である。 図８（Ａ）、図８（Ｂ）、及び図８（Ｃ）は、密着機構におけるロッドの操作量の設定について説明するための図である。 図９（Ａ）、図９（Ｂ）、図９（Ｃ）、図９（Ｄ）、図９（Ｅ）、及び図９（Ｆ）は、密着機構における弾性体の弾性力の設定について説明するための図である。 図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、及び図１０（Ｃ）は、密着機構における弾性体の弾性力の設定について説明するための図である。 図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）、図１１（Ｃ）、及び図１１（Ｄ）は、密着機構における弾性体の弾性力の設定について説明するための図である。 図１２（Ａ）、図１２（Ｂ）、及び図１２（Ｃ）は、密着機構における分力手段の配置について説明するための図である。 本発明の第２実施形態に係る熱処理装置の斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る熱処理装置の斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る熱処理装置を示す図であって、図１５（Ａ）は、熱処理装置の斜視図であり、図１５（Ｂ）は、熱処理装置の平面図である。 図１５に示す熱処理装置の密着機構の作動を説明するための図であって、図１６（Ａ）は、密着機構が作動する前の状態を示す図であり、図１６（Ｂ）は、密着機構が作動した状態を示す図である。 本発明の第５実施形態に係る熱処理装置を示す図であって、図１７（Ａ）は、熱処理装置の斜視図であり、図１７（Ｂ）は、熱処理装置の平面図である。 図１７に示す熱処理装置の密着機構の作動を説明するための図であって、図１８（Ａ）は、密着機構が作動する前の状態を示す図であり、図１８（Ｂ）は、密着機構が作動した状態を示す図である。 図１９（Ａ）、図１９（Ｂ）、図１９（Ｃ）、及び図１９（Ｄ）は、熱処理装置の密着機構の分力手段におけるカム部材及びカムフォロアの形状例を示す図である。 図２０（Ａ）、図２０（Ｂ）、及び図２０（Ｃ）は、熱処理装置の密着機構の分力手段における弾性体の形態の例を示す図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。

（第１実施形態）
［熱処理装置の構成］
図１は、本発明の第１実施形態にかかる熱処理装置１の斜視図である。図１は、熱処理装置１において扉１２が開かれた状態を示している。図２は、熱処理装置１の斜視図であって扉１２が閉じられた状態を示す図である。

図１及び図２を参照して、熱処理装置１は、被処理物１０に対して熱処理をするための装置として構成されている。熱処理装置１による熱処理としては、ガスが充填された室内に被処理物１０が配置された状態で被処理物１０を加熱する加熱処理又は被処理物１０を冷却する冷却処理を例示することができる。例えば、熱処理装置１による熱処理としては、浸炭処理、焼入処理、焼戻処理、焼鈍処理、脱脂処理、焼結処理などを例示することができる。また、熱処理装置１においては、例えば、金属製の部材として設けられた被処理物１０の熱処理が行われる。

熱処理装置１は、本体１１、本体１１を開閉する扉１２、本体１１と扉１２とをロックするロック手段１３、本体１１に扉１２を密着させる密着機構１４、制御部１５、等を備えて構成されている。

本体１１は、ガスを充填して被処理物１０を処理する処理室を構成している。本体１１に充填されるガスは、窒素ガス、空気など、の気体や、また過熱水蒸気のような蒸気としてのガスであってもよい。また、本体１１にガスが充填される形態としては、本体１１の外部からガスを本体１１内に導入する形態を例示することができるが、この形態に限られなくてもよい。即ち、本体１１内に外部からガスを導入することなく本体１１にガスが充填される形態が実施されてもよい。具体的には、本体１１内に外部からガスを導入することなく、本体１１内に被処理物１０が搬入された際に本体１１内に空気が存在していることで、本体１１に空気としてのガスが充填されており、被処理物１０の熱処理が行われる形態が実施されてもよい。

本体１１は、前方壁１６、後方壁１７、側壁１８、側壁１９、天井壁２０、及び底壁２１を備え、被処理物１０が配置される中空の領域を内部に区画する直方体状の箱状に形成されている。本体１１には、前方壁１６において、本体１１の内部の中空の領域を外部に開放する開口２２が設けられている。開口２２は、扉１２の外周形状に対応した形状で前方壁１６を貫通するように開口している。開口２２の周縁には、扉１２との間で気密性を確保する耐熱性のシール４９が配置されている。

被処理物１０は、開口２２を介して、本体１１の内部に搬入される。被処理物１０は、例えば、薄型の箱状に形成されたケース１０ａに複数収納された状態で、開口２２から搬入されて本体１１の内部に配置される。尚、ケース１０ａは、周囲のガスがほぼ抵抗無く通過して流動できるように構成されており、例えば、網状の部材で形成されている。

また、熱処理装置１が加熱処理を行うように構成されている場合は、例えば、本体１１内には、被処理物１０を加熱するためのヒータ（図示省略）が設置される。また、熱処理装置１が、被処理物１０を過熱水蒸気等の加熱用ガスで加熱して熱処理するように構成されている場合は、本体１１には、加熱用ガスを本体１１の内部に対して給排するための給排系統が設置される。また、熱処理装置１が、被処理物１０を冷却用ガスで冷却して熱処理するように構成されている場合は、本体１１には、冷却用ガスを本体１１の内部に対して給排するための給排系統が設置される。

扉１２は、本体１１の前方壁１６に設けられた開口２２を開閉する扉として設けられている。扉１２は、本体１１の開口２２の全体を塞ぐ形状に形成されており、本実施形態では、矩形の外形を有する扉として設けられている。扉１２は、本体１１に対して複数の丁番２３を介して取り付けられた開き戸として設けられている。本実施形態では、扉１２は、本体１１の前方壁１６に対して２つの丁番２３を介して横開きの状態で開くように構成されている。即ち、扉１２は、その水平方向における一端側において、前方壁１６に沿って上下に並ぶ２つの丁番２３を介して、本体１１に対して丁番２３を中心として水平方向に沿って回転するように、前方壁１６に取り付けられている。また、扉１２における丁番２３側と反対側には、扉１２の開閉の際に作業者によって操作されるハンドル２５が設けられている。

また、扉１２には、開口２２を閉じた状態において本体１１の外側に対向する外側部分１２ａと本体１１の内側に対向する内側部分１２ｂとが設けられている。外側部分１２ａ及び内側部分１２ｂは、いずれも板状の部分として設けられ、扉１２の厚み方向に重なって一体に形成されている。そして、内側部分１２ｂの外周の形状は、外側部分１２ａの外周の形状よりも小さくなるように形成されている。このため、内側部分１２ｂは、外側部分１２ａに対して段状に盛り上がった板状の部分として構成されている。また、本体１１における開口２２の縁部分には、段状に凹む外側縁部２３ａと、外側縁部２３ａから内側に向かって僅かにテーパ状に窄まるように開口する内側縁部２３ｂとが設けられている。そして、扉１２は、開口２２を閉じる際、扉１２の外側部分１２ａの外周縁部が開口２２の外側縁部２３ａに当接して開口２２を塞ぐとともに、扉１２の内側部分１２ｂの外周縁部が開口２２の内側縁部２３ｂに嵌り込むように構成されている。

ロック手段１３は、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２を本体１１に対してロックする機構として設けられている。ロック手段１３は、複数設けられており、本実施形態では、例えば、２つ設けられている。２つのロック手段１３は、本実施形態では、扉１２が開口２２を閉じた状態で、扉１２に対して丁番２３側と反対側に配置される。また、２つのロック手段１３は、扉１２が開口２２を閉じた状態で前方壁１６に沿って上下に並んで配置される。

各ロック手段１３は、扉１２に設けられたフック１３ａと、本体１１の前方壁１６に設けられたフック保持部１３ｂとを有して構成されている。フック１３ａは、扉１２において丁番２３側と反対の端部側に設けられており、扉１２の外側部分１２ａから突出した鉤爪状に形成されている。フック１３ａは、扉１２が開口２２を閉じた状態で外側部分１２ａから本体１１の内側に向かって突出するように設けられている。

フック保持部１３ｂは、扉１２が開口２２を閉じた状態でフック１３ａと係合することで、フック１３ａを保持する機構として設けられている。フック保持部１３ｂは、本体１１の前方壁１６における開口２２の縁部分に設けられており、外側縁部２３ａに設けられている。また、フック保持部１３ｂは、外側縁部２３ａにおいて、開口２２を介して丁番２３側と反対側に設けられている。フック保持部１３ｂは、例えば、外側縁部２３ａにおいて開口し、扉１２が開口２２を閉じる際にフック１３ａが挿入される挿入孔と、挿入孔に挿入されたフック１３ａに対して係合する係合ピン（図示省略）とを有して構成されている。係合ピンは、例えば、制御部１５からの制御指令に基づいて作動するソレノイド（図示省略）によって駆動されるように構成されている。扉１２によって開口２２が閉じられ、フック１３ａがフック保持部１３ｂの挿入孔に挿入されると、制御部１５からの制御指令によって作動したソレノイドによって駆動された係合ピンが移動して、フック１３ａと係合ピンとが係合する。これにより、フック１３ａがフック保持部１３ｂによって保持され、開口２２を閉じた状態の扉１２が、本体１１に対してロックされる。

制御部１５は、ロック手段１３、密着機構１４、及び、本体１１に設けられた熱処理のための機構、のそれぞれの動作を制御する制御装置として設けられている。制御部１５は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のハードウェア・プロセッサ、ＲＡＭ（Random Access Memory）およびＲＯＭ（Read Only Memory）等のメモリ、ユーザによって操作される操作パネル等の操作部、インターフェース回路、等を備えて構成されている。制御部１５のメモリには、ロック手段１３、密着機構１４、本体１１に設けられた熱処理のための機構、のそれぞれの動作を制御する制御指令を作成するためのプログラムが記憶されている。例えば、作業者によって操作部が操作されることで、メモリから上記のプログラムがハードウェア・プロセッサによって読み出されて実行される。これにより、上記の制御指令が作成され、その制御指令に基づいて、ロック手段１３、密着機構１４、及び、本体１１に設けられた熱処理のための機構、のそれぞれが作動する。

［密着機構の構成］
図３は、図１に示す熱処理装置１の一部を拡大して示す図である。図４は、熱処理装置１の扉１２と密着機構１４とを示す図であって、熱処理装置１の内部側から視た状態を示す図である。図５は、図４に示す密着機構１４を拡大して示す図である。図６（Ａ）は、熱処理装置１の扉１２と密着機構１４とについて上方から見た状態で示す図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）の一部を拡大して示す図である。尚、図４及び図５においては、熱処理装置１における扉１２及び密着機構１４以外の要素の図示を省略している。また、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）では、熱処理装置１における扉１２、密着機構１４、及び本体１１の前方壁１６の一部以外の要素の図示を省略しており、前方壁１６の一部については、断面図として図示している。

図１乃至図５、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）を参照して、密着機構１４は、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２を本体１１に対して密着させる機構として設けられている。密着機構１４は、複数設けられており、本実施形態では、２つ設けられている。本実施形態では、２つの密着機構１４として、密着機構１４ａと密着機構１４ｂとが設けられている。密着機構１４ａは、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２の上端側に配置されている。密着機構１４ｂは、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２の下端側に配置されている。

２つの密着機構１４のそれぞれは、駆動機構２６と、ロッド２７と、分力手段２８とを備えて構成されている。即ち、密着機構１４ａは、駆動機構２６と、ロッド２７と、分力手段２８とを備えて構成され、密着機構１４ｂも、駆動機構２６と、ロッド２７と、分力手段２８とを備えて構成されている。尚、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２の上端側に配置される密着機構１４ａと扉１２の下端側に配置される密着機構１４ｂとは、ロッド２７及び分力手段２８の上下位置が逆であることを除き、同様に構成されている。密着機構１４ａにおいては、ロッド２７が分力手段２８の上側に配置され、密着機構１４ｂにおいては、ロッド２７が分力手段２８の下側に配置されている。

［駆動機構］
駆動機構２６は、ロッド２７をロッド２７の軸線方向に沿って移動させるように駆動してロッド２７を操作するシリンダ機構として設けられている。駆動機構２６は、例えば、空圧式のシリンダ機構として設けられており、圧縮空気が給排される一対の圧力室（図示省略）とピストン２６ａとを有し、ピストン２６ａにロッド２７が連結されている。そして、駆動機構２６は、一対の圧力室に圧縮空気が給排されることで、ピストン２６ａを変位させ、ピストン２６ａに連結されたロッド２７を往復駆動するように構成されている。即ち、駆動機構２６は、圧縮空気の給排に伴って作動して、ロッド２７を駆動機構２６に引き込む方向又は駆動機構２６から押し出す方向に駆動するように構成されている。また、駆動機構２６は、本体１１に固定された状態で本体１１の内部側に設置されており、例えば、前方壁１６の内側に固定されて設置されている。

また、駆動機構２６によるロッド２７の移動操作は、制御部１５からの制御指令に基づいて駆動機構２６が作動することで、行われる。より具体的には、圧縮空気の供給源（図示省略）と駆動機構２６とを接続する圧縮空気の給排系統に設けられた電磁弁（図示省略）が、制御部１５からの制御指令に基づいて作動することで、駆動機構２６における一対の圧力室に圧縮空気が給排され、駆動機構２６が作動する。これにより、ロッド２７が駆動機構２６に引き込まれる方向又は駆動機構２６から押し出される方向に移動するように、操作される。

尚、本実施形態では、駆動機構２６が、空圧式のシリンダ機構として構成された形態を例示したが、この通りでなくもよい。駆動機構２６は、油圧式のシリンダ機構や電磁ソレノイド機構として構成されてもよい。また、駆動機構２６は、シリンダ機構以外の機構として構成されてもよい。例えば、電動モータとラックアンドピニオンとを備えた機構、又は、電動モータとボールスクリューとを備えた機構、等として構成されてもよい。

［ロッド］
ロッド２７は、直線状に延びる部材として設けられており、軸線方向を有し、例えば、円形断面で軸線方向に延びる部材として設けられている。ロッド２７は、本体１１の内部に配置されており、一方の端部において、本体１１に固定された駆動機構２６に連結されている。また、ロッド２７は、本体１１の内部において、前方壁１６の内側に配置されている。そして、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面である前方壁１６の表面１６ａに沿って延びるように配置されている。即ち、ロッド２７は、ロッド２７の軸線方向が、本体１１における開口２２が設けられた面（前方壁１６の表面１６ａ）に沿って延びた状態で、前方壁１６の内側に配置されている。尚、ロッド２７が、本体１１における開口２２が設けられた面（表面１６ａ）に沿って延びる状態とは、開口２２が設けられた面（表面１６ａ）と平行にロッド２７が延びる状態に限らず、開口２２が設けられた面（表面１６ａ）に対して多少傾斜している状態も含まれる。

また、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面に沿って延びるとともに、開口２２の縁部分に沿って水平方向に延びるように配置されている。尚、扉１２の上端側に配置される密着機構１４ａのロッド２７は、開口２２の上端側の縁部分に沿って水平方向に延びるように配置され、扉１２の下端側に配置される密着機構１４ｂのロッド２７は、開口２２の下端側の縁部分に沿って水平方向に延びるように配置されている。

また、ロッド２７は、駆動機構２６によって操作されることで、ロッド２７の軸線方向に沿って移動するように構成されている。更に、ロッド２７は、駆動機構２６によってロッド２７の軸線方向に沿って移動するように操作されることで、開口２２が扉１２によって閉じられた状態で扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向と異なる方向として直角方向に移動するように構成されている。開口２２が扉１２によって閉じられた状態で扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向は、前方壁１６の表面１６ａに対して垂直な方向であって、開口２２を塞ぐ扉１２を本体１１側へ密着させるように本体１１側へ押し付ける方向である。尚、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向については、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）において矢印Ｘ１で示している。また、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向は、押圧方向に対して直交する方向であって、駆動機構２６によって操作されたロッド２７がその軸線方向に沿って駆動機構２６に引き込まれるように移動するロッド２７の移動方向である。尚、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向であって、駆動機構２６によって操作されるロッド２７の移動方向については、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）において矢印Ｘ２で示している。上記のように、ロッド２７は、駆動機構２６によって操作されることで、駆動機構２６に引き込まれ、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向に移動する。尚、ロッド２７は、駆動機構２６に引き込まれる方向に操作された状態から、ロッド２７の軸線方向に沿って逆方向に操作されることで、駆動機構２６から押し出される方向に移動するようにも構成されている。

［分力手段］
分力手段２８は、扉１２が開口２２を閉じた状態でロッド２７をロッド２７の移動方向に操作する操作力を分力して扉１２を本体１１側へ密着させる機構として設けられている。密着機構１４において、分力手段２８は、複数備えられている。即ち、密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂのいずれにおいても、分力手段２８が複数備えられている。本実施形態では、密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂのそれぞれにおいて、分力手段２８が４つ設けられている。

密着機構１４における複数の分力手段２８のそれぞれは、カム部材２９と、カムフォロア３０と、弾性体３１とを有している。カム部材２９及び弾性体３１は、本体１１側に設けられ、ロッド２７に取り付けられている。カムフォロア３０は、扉１２側に設けられている。そして、分力手段２８は、扉１２が開口２２を閉じた状態で駆動機構２６によって操作されたロッド２７が移動すると、カム部材２９とカムフォロア３０とが当接し、ロッド２７を移動方向に操作する操作力から、カム部材２９からカムフォロア３０へと向かう成分の力を分力するように構成されている。そして、分力手段２８は、ロッド２７を操作する操作力から分力した力をカム部材２９からカムフォロア３０へ伝達することで、カムフォロア３０が設けられた扉１２を本体１１側へ押圧して密着させるように構成されている。以下、カム部材２９、弾性体３１、及びカムフォロア３０の構成について、更に詳しく説明する。

カム部材２９は、密着機構１４における複数の分力手段２８のそれぞれに設けられ、本実施形態では、密着機構１４において４つ設けられている。密着機構１４における４つのカム部材２９は、いずれもロッド２７に取り付けられており、ロッド２７の軸線方向に沿って並んで取り付けられている。そして、ロッド２７に取り付けられたカム部材２９は、くさび状の部材として設けられている。カム部材２９には、カム部材２９がロッド２７に取り付けられた状態で駆動機構２６の操作によるロッド２７の移動方向に対して傾斜した面に沿って延びるテーパ面３８が設けられている。また、テーパ面３８は、上下方向とロッド２７の軸線方向に対して斜めの方向とに広がる面に沿って延びるように構成されている。

また、カム部材２９は、取付部材３２を介して、ロッド２７に取り付けられている。より具体的には、カム部材２９が取付部材３２に固定され、カム部材２９が固定された取付部材３２がロッド２７に装着されることで、カム部材２９がロッド２７に取り付けられている。取付部材３２は、一体に設けられたロッド挿通部３２ａとカム台座部３２ｂとを有して構成されている。ロッド挿通部３２ａは、ロッド２７が軸線方向に貫通して挿通される挿通孔が設けられた板状の部分として設けられ、ロッド２７に対してロッド２７の軸線方向にスライドして相対変位可能に支持されている。尚、ロッド２７には、ロッド２７に対してスライドして相対変位可能なロッド挿通部３２ａに対して当接するカム位置規定部３３が設けられている。カム位置規定部３３は、ロッド挿通部３２ａに当接することで、カム部材２９が固定される取付部材３２のロッド２７の軸線方向における一方への変位を規制して取付部材３２とともにカム部材２９の位置を規定するように設けられている。カム位置規定部３３は、例えば、ロッド２７に係合してロッド２７に固定されるリング状の部材として設けられている。

カム台座部３２ｂは、ロッド２７の軸線方向と平行に延びる板状の部分として設けられ、カム部材２９が固定されている。また、カム台座部３２ｂは、ロッド２７の移動に伴って取付部材３２及びカム部材２９が移動するときに、本体１１の前方壁１６の内側に設けられたレール３４に対してスライド移動自在に支持されている。尚、レール３４は、本体１１の前方壁１６の内側において前方壁１６に固定されており、ロッド２７の軸線方向及びロッド２７の移動方向と平行に延びるように設置されている。また、レール３４は、本体１１において、分力手段２８と同数設置されており、各レール３４は、各分力手段２８の取付部材３２に対応する位置に設けられている。尚、ロッド２７に取り付けられた取付部材３２がレール３４に対してスライド移動自在に設けられていることで、ロッド２７もレール３４に対してスライド移動自在に支持されている。

カムフォロア３０は、密着機構１４における複数の分力手段２８のそれぞれに設けられ、本実施形態では、密着機構１４において４つ設けられている。密着機構１４における４つのカムフォロア３０は、いずれも扉１２の縁部分に設けられており、扉１２の外側部分１２ａにおける縁部分に設けられている。尚、密着機構１４ａにおける４つのカムフォロア３０は、扉１２の上端側の縁部分に設けられており、扉１２の上端側の縁分に沿って略均等間隔で並んで配置されている。また、密着機構１４ｂにおける４つのカムフォロア３０は、扉１２の下端側の縁部分に設けられており、扉１２の下端側の縁部分に沿って略均等間隔で並んで配置されている。

扉１２の縁部分に設けられるカムフォロア３０は、高さの低い円柱ローラ状の部材として設けられている。より具体的には、カムフォロア３０は、扉１２の縁分に対して、上下に延びる中心軸回りに回転自在な状態で取り付けられ、中心軸と垂直な断面が円形で、円形断面の直径寸法よりも高さ寸法が小さい円柱状の部材として設けられている。そして、カムフォロア３０は、扉１２が開口２２を閉じた状態で、駆動機構２６がロッド２７を駆動機構２６に引き込む方向に移動するように操作した際に、ロッド２７とともに移動したカム部材２９と当接するように構成されている。更に、カムフォロア３０は、カム部材２９と当接することで、駆動機構２６によるロッド２７の操作力から分力された力を扉１２に伝達するように構成されている。

図７（Ａ）は、熱処理装置１の扉１２と密着機構１４とについて上方から見た状態で示す図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の一部を拡大して示す図である。尚、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）は、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に対応して示す図であって、ロッド２７が駆動機構２６によって引き込む方向に移動するように操作された状態を示している。図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示すように、カムフォロア３０は、扉１２が開口２２を閉じた状態でロッド２７が駆動機構２６に引き込まれる方向に移動した際に、ロッド２７とともに移動したカム部材２９と当接する。このとき、カム部材２９のテーパ面３８と円柱状のカムフォロア３０の外周面３９とが当接することで、カム部材２９とカムフォロア３０とが当接する。

カム部材２９とカムフォロア３０とが当接すると、駆動機構２６によるロッド２７の操作力の一部が、駆動機構２６によって操作されて移動したロッド２７とともに移動したカム部材２９からカムフォロア３０へと伝達される。即ち、カム部材２９とカムフォロア３０とが当接することで、ロッド２７が駆動機構２６に引き込まれる方向に移動する方向であるロッド２７の移動方向における駆動機構２６によるロッド２７の操作力から、カム部材２９からカムフォロア３０へと向かう方向の力が分力され、カムフォロア３０に伝達される。ロッド２７の操作力から分力された力は、カム部材２９からカムフォロア３０へと伝達されると、更に、扉１２に設けられたカムフォロア３０から扉１２へと伝達される。これにより、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向（図７（Ａ）及び図７（Ｂ）において矢印Ｘ１で示す方向）に扉１２が付勢され、開口２２を塞ぐ扉１２が本体１１側へ密着するように本体１１に対して押し付けられる。上記のように、カムフォロア３０は、カム部材２９と当接することでロッド２７の操作力から分力された力を扉１２に伝達するように構成されている。

また、カムフォロア３０は、扉１２が開口２２を閉じた状態では、本体１１の前方壁１６の内側に配置され、前方壁１６から外部に突出しないように構成されている。具体的には、図１乃至図３に示すように、本体１１には、開口２２の縁部分において、扉１２が開口２２を閉じる際にカムフォロア３０を受け入れる凹部３７が設けられている。凹部３７は、本体１１の前方壁１６における開口２２の縁部分において、前方壁１６が部分的に切り欠かれることで、前方壁１６の内側に向かって凹むように形成された領域として設けられている。そして、凹部３７は、カムフォロア３０と同数設けられており、前方壁１６における開口２２の縁部分において、扉１２が開口２２を閉じた状態でカムフォロア３０に対応する位置に設けられている。尚、密着機構１４ａの複数のカムフォロア３０に対応する複数の凹部３７は、前方壁１６における開口２２の上端側の縁部分に設けられており、開口２２の上端側の縁部分に沿って並んで設けられている。また、密着機構１４ｂの複数のカムフォロア３０に対応する複数の凹部３７は、前方壁１６における開口２２の下端側の縁部分に設けられており、開口２２の下端側の縁部分に沿って並んで設けられている。

扉１２が開口２２を閉じると、扉１２の外側部分１２ａの外周縁部が開口２２の外側縁部２３ａに当接して開口２２を塞ぐとともに、カムフォロア３０が凹部３７に受け入れられた状態となる。扉１２が開口２２を閉じ、ロッド２７が駆動機構２６に引き込まれる方向に移動していない状態においては、図１及び図３に示すように、カム部材２９は、前方壁１６の内側で凹部３７から露出しない位置に位置している。また、ロッド２７も、前方壁１６の内側で凹部３７の上方で凹部３７から露出しない位置で延びるように配置されている。そして、扉１２が開口２２を閉じてカムフォロア３０が凹部３７に受け入れられた状態でロッド２７が駆動機構２６に引き込まれる方向に移動することで、カム部材２９が、カムフォロア３０に向かって移動し、カムフォロア３０に当接する。

弾性体３１は、密着機構１４における複数の分力手段２８のそれぞれに設けられ、本実施形態では、密着機構１４において４つ設けられている。密着機構１４における４つの弾性体３１は、いずれもロッド２７に装着されており、ロッド２７の外周において軸線方向に沿って並んで配置されている。そして、ロッド２７に装着された弾性体３１は、弾性力を有する部材として設けられており、本実施形態では、金属製のコイルバネとして設けられている。

また、弾性体３１は、ロッド２７の軸に嵌め込まれた状態でロッド２７に装着されている。即ち、コイルバネとして設けられた弾性体３１は、コイルバネの内側にロッド２７が挿通された状態で、且つ、コイルバネとしての弾性変形方向とロッド２７の軸線方向とが同じ方向に延びる状態で、ロッド２７に装着されている。このため、弾性体３１は、ロッド２７の軸線上に配置されている。そして、密着機構１４における複数の弾性体３１は、ロッド２７の軸線上に並んで配置されている。

また、弾性体３１は、ロッド２７の軸線方向において取付部材３２のロッド挿通部３２ａと隣接して並んだ状態で、ロッド２７に装着されている。また、ロッド２７には、弾性体３１に対してロッド挿通部３２ａ側と反対側で弾性体３１の端部に当接することで、弾性体３１のロッド２７の軸線方向における位置を規定する弾性体位置規定部３５が設けられている。弾性体位置規定部３５は、例えば、ロッド２７に係合してロッド２７に固定されるリング状の部材として設けられている。

尚、ロッド２７には、ロッド２７の軸線方向に沿って並ぶ複数の弾性体３１の間において、スペーサ３６が設けられている。スペーサ３６は、ロッド２７の軸線方向において隣り合う弾性体３１の間であって、カム位置規定部３３と弾性体位置規定部３５との間において、ロッド２７に装着されている。スペーサ３６は、ロッド２７が挿通される筒状の部材として設けられ、一方の端部がカム位置規定部３３に当接し、他方の端部が弾性体位置規定部３５に当接している。このため、ロッド２７に固定されたカム位置規定部３３と弾性体位置規定部３５との間の距離が確実に一定の距離に維持されている。

弾性体位置規定部３５と、弾性体３１と、取付部材３２のロッド挿通部３２ａと、カム位置規定部３３とは、ロッド２７の軸線方向に沿って、この順番で並んで配置されている。そして、弾性体３１は、その一方の端部のロッド２７に対する位置が弾性体位置規定部３５によって規定された状態で、その他方の端部がロッド挿通部３２ａに当接してロッド挿通部３２ａを付勢するように、ロッド２７に装着されている。また、ロッド２７が駆動機構２６によって引き込まれる方向に操作されていない状態では、弾性体３１に付勢されたロッド挿通部３２ａは、カム位置規定部３３に当接している。

弾性体３１は、弾性体位置規定部３５とロッド挿通部３２ａとに当接しているため、ロッド挿通部３２ａがカム位置規定部３３に当接した状態のままロッド２７が移動する際には、弾性変形量が変わることなく同一の長さのまま、ロッド２７とともに移動する。しかし、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示すように、ロッド２７が駆動機構２６によって引き込まれる方向に操作され、カム部材２９とカムフォロア３０とが当接すると、ロッド２７の軸線方向に沿ったカム部材２９の移動が規制される。

ロッド２７の移動に伴ってカム部材２９とカムフォロア３０とが当接し、カム部材２９の移動が規制されると、カム部材２９が固定された取付部材３２のロッド挿通部３２ａから弾性体３１に対して弾性体３１を弾性体位置規定部３５側へ付勢する力が作用する。このため、ロッド２７が移動しても、弾性体３１が圧縮方向に弾性変形して、取付部材３２及びカム部材２９のロッド２７の軸線方向に沿った移動が吸収される。即ち、取付部材３２及びカム部材２９のロッド２７の軸線方向に沿った移動量が、ロッド２７の移動量に比して抑制される。尚、カム部材２９とカムフォロア３０とが当接して、カム部材２９及び取付部材３２の移動量が、ロッド２７の移動量に対して抑制された状態では、取付部材３２のロッド挿通部３２ａとカム位置規定部３３とがロッド２７の軸線方向において離間した状態となる。

上記のように、弾性体３１は、ロッド２７が移動した際に、カムフォロア３０に当接したカム部材２９が固定された取付部材３２からの付勢力によって弾性変形することで、ロッド２７の移動量に対してカム部材２９の移動量を抑制するように構成されている。

［ロッドの操作量の設定］
熱処理装置１においては、制御部１５からの制御指令に基づいて駆動機構２６が作動してロッド２７が操作され、ロッド２７が駆動機構２６に引き込まれる方向に移動し、カム部材２９がカムフォロア３０と当接し、扉１２が本体１１側へ密着するように押圧される。その際に、ロッド２７をロッド２７の移動方向に操作する操作量（即ち、ロッド２７の移動方向のストローク量）については、扉１２が開口２２を閉じてロッド２７が移動する前の状態でのロッド２７の移動方向におけるカム部材２９とカムフォロア３０との間の設定距離よりも所定量大きくなるように設定されている。これにより、ロッド２７を移動方向に操作する操作量については、カム部材２９及びカムフォロア３０といった部品の寸法誤差及びそれらの部品を組み立てる際の組立誤差があっても、カム部材２９とカムフォロア３０との位置決めを精度よく制御できるように設定される。以下、ロッド２７を駆動機構２６に引き込む方向に移動させるように操作する際のロッド２７の操作量の設定について更に詳しく説明する。

図８（Ａ）、図８（Ｂ）、及び図８（Ｃ）は、密着機構１４におけるロッド２７の操作量Ｙの設定について説明するための図である。尚、図８（Ａ）～（Ｃ）では、密着機構１４が、４つのカム部材２９として、カム部材２９ａ、カム部材２９ｂ、カム部材２９ｃ、及びカム部材２９ｄを有し、４つのカムフォロア３０として、カムフォロア３０ａ、カムフォロア３０ｂ、カムフォロア３０ｃ、及びカムフォロア３０ｄを有し、４つの弾性体３１として、弾性体３１ａ、弾性体３１ｂ、弾性体３１ｃ、及び弾性体３１ｄを有する形態を示している。

ロッド２７の操作量Ｙの設定においては、まず、ロッド２７の操作量Ｙを設定するための基準値としての設定距離Ｘが、決定される。そして、基準値としての設定距離Ｘが決定されると、次いで、設定距離Ｘに対して上乗せされる分の移動量となる所定量が決定される。そして、最終的に、設定距離Ｘに対して所定量が加算された値として、ロッド２７の操作量Ｙが決定される。

図８（Ａ）を参照して、ロッド２７の操作量Ｙの設定に際し、まず、ロッド２７の操作量Ｙを設定するための基準値としての設定距離Ｘが決定される。設定距離Ｘは、扉１２が開口２２を閉じてロッド２７が移動する前の状態でのロッド２７の移動方向におけるカム部材２９とカムフォロア３０との間の設定距離である。設定距離Ｘは、カム部材２９及びカムフォロア３０といった部品の寸法誤差及び組立誤差が無いと仮定される場合における、カム部材２９におけるカムフォロア３０に当接する部分の位置と、カムフォロア３０におけるカム部材２９に当接する部分の位置との間の距離に相当する。また、設定距離Ｘは、カム部材２９及びカムフォロア３０といった部品の寸法誤差及び組立誤差が無いと仮定される場合における、ロッド２７を駆動機構２６に引き込む方向に移動させるように操作する際のカム部材２９の移動量に相当する。設定距離Ｘは、次のステップ１からステップ５を経て決定される。

まず、ステップ１では、扉１２の気密性と、扉１２が開口２２を閉じた状態で本体１１内に充填されたガスによって扉１２にかかる内圧に抗して扉１２を本体１１に密着させることが可能な力とに基づいて、扉１２を本体１１側にどの程度の強さで押圧するかを規定するための扉１２の押圧力が設定される。次いで、ステップ２では、ステップ１で設定された扉１２の押圧力に基づいて、１つのカム部材２９当たりの押圧力が設定される。具体的には、ステップ１で設定された扉１２の押圧力を熱処理装置１に備えられるカム部材２９の数で除して得られる商の値が、１つのカム部材２９当たりの押圧力として設定される。

ステップ３では、ステップ２で設定された１つのカム部材２９当たりの押圧力に耐える力を有するようにカムフォロア３０の最大許容荷重が設定され、カムフォロア３０の選定が行われる。ステップ３では、カムフォロア３０の選定が行われることで、カムフォロア３０の直径寸法も決定する。

ステップ４では、くさび状の部材であるカム部材２９の傾斜角度が設定される。即ち、カム部材２９のテーパ面３８がロッド２７の軸線方向に対して傾斜する角度であるカム部材２９の傾斜角度が設定される。カム部材２９の傾斜角度は、駆動機構２６の推力を小さくするためには、傾斜角度をより緩い角度に設定する必要がある。一方、傾斜角度を緩い角度に設定すると、カム部材２９の長さが長くなってしまう。このため、カム部材２９の長さの増大を抑制するためには、傾斜角度をより急な角度に設定する必要がある。そこで、カム部材２９の傾斜角度は、駆動機構２６の推力を小さくする観点と、カム部材２９の長さの増大を抑制する観点との兼ね合いで、最適な傾斜角度に設定される。

ステップ５では、カム部材２９がカムフォロア３０に接触しない位置まで離間した位置である、カム部材２９の移動開始位置が設定される。カム部材２９の移動開始位置は、ロッド２７が操作されて駆動機構２６に引き込まれる方向に移動する前の状態でのカム部材２９の位置であって、ロッド２７が操作された際にカム部材２９の移動が開始される位置である。また、ステップ５では、カム部材２９がカムフォロア３０に接触して扉１２の押圧が完了するまでカム部材２９を移動させた位置である、カム部材２９の移動終了位置が設定される。カム部材２９の移動終了位置は、カム部材２９がカムフォロア３０に当接してカム部材２９の移動が終了し、ロッド２７の操作力から分力した力をカムフォロア３０に伝達する位置である。カム部材２９の移動終了位置は、ステップ３で決定されたカムフォロア３０の直径寸法と、ステップ４で設定されたカム部材２９の傾斜角度とに基づいて、設定される。そして、ステップ５では、カム部材２９の移動開始位置と、カム部材２９の移動終了位置とに基づいて、設定距離Ｘが決定される。即ち、設定距離Ｘが、カム部材２９の移動開始位置とカム部材２９の移動終了位置との間でカム部材２９を移動させるために必要なストローク量として決定される。

設定距離Ｘが決定されると、次いで、設定距離Ｘに対して上乗せされる分のロッド２７の移動量となる所定量が決定される。所定量は、カム部材２９をカムフォロア３０に押し付けるときに弾性体３１を圧縮方向に弾性変形させる際の弾性体３１の圧縮量と、カム部材２９及びカムフォロア３０といった部品の寸法誤差及び部品の組立誤差によるバラツキ量の最大値との和として決定される。この所定量として、さらに、安全係数（安全率）をかけてもよい。弾性体３１の圧縮量については、設定距離Ｘの決定のプロセスにおけるステップ２において設定された１つのカム部材２９当たりの押圧力と、選定された弾性体３１の弾性係数とに基づいて、決定される。部品の寸法誤差及び部品の組立誤差によるバラツキ量の最大値は、熱処理装置１においてカム部材２９とカムフォロア３０とが設置された際における、設定距離Ｘに対応する距離の実際の寸法のバラツキ量の最大値である。

ここで、部品の寸法誤差及び部品の組立誤差によるバラツキ量の最大値について、更に詳しく説明する。図８（Ａ）に示すように、カム部材２９及びカムフォロア３０といった部品の寸法誤差及び組立誤差が無ければ、カム部材２９におけるカムフォロア３０に当接する部分の位置と、カムフォロア３０におけるカム部材２９に当接する部分の位置との間の距離である当接位置間距離は、設定距離Ｘとなる。即ち、カム部材２９ａ及びカムフォロア３０ａの当接位置間距離と、カム部材２９ｂ及びカムフォロア３０ｂの当接位置間距離と、カム部材２９ｃ及びカムフォロア３０ｃの当接位置間距離と、カム部材２９ｄ及びカムフォロア３０ｄの当接位置間距離とは、いずれも、設定距離Ｘとなる。しかし、熱処理装置１においてカム部材２９とカムフォロア３０とが実際に設置される際には、設定距離Ｘに対応する距離である当接位置間距離の実際の寸法にバラツキが生じる。

図８（Ｂ）は、熱処理装置１においてカム部材２９とカムフォロア３０とが実際に設置された状態を示している。図８（Ｂ）に示す状態では、カム部材２９ａ及びカムフォロア３０ａの当接位置間距離はＸａであり、カム部材２９ｂ及びカムフォロア３０ｂの当接位置間距離はＸｂであり、カム部材２９ｃ及びカムフォロア３０ｃの当接位置間距離はＸｃであり、カム部材２９ｄ及びカムフォロア３０ｄの当接位置間距離はＸｄである。そして、部品の寸法誤差及び部品の組立誤差によるバラツキ量は、設定距離Ｘと、カム部材２９及びカムフォロア３０の当接位置間距離との差分の大きさ（絶対値）となる。このため、部品の寸法誤差及び部品の組立誤差によるバラツキ量は、カム部材２９ａ及びカムフォロア３０ａについては｜Ｘ－Ｘａ｜であり、カム部材２９ｂ及びカムフォロア３０ａについては｜Ｘ－Ｘｂ｜であり、カム部材２９ｃ及びカムフォロア３０ｃについては｜Ｘ－Ｘｃ｜であり、カム部材２９ｄ及びカムフォロア３０ｄについては｜Ｘ－Ｘｄ｜である。そして、部品の寸法誤差及び部品の組立誤差によるバラツキ量の最大値は、｜Ｘ－Ｘａ｜、｜Ｘ－Ｘｂ｜、｜Ｘ－Ｘｃ｜、及び｜Ｘ－Ｘｄ｜のうちの最大の値となる。

弾性体３１の圧縮量と、部品の寸法誤差及び部品の組立誤差によるバラツキ量の最大値とが決定されると、これらの和として、設定距離Ｘに対して上乗せされる分のロッド２７の移動量となる所定量が決定される。所定量が決定されると、最終的に、設定距離Ｘに対して所定量が加算された値として、ロッド２７の操作量Ｙが決定され、熱処理装置１におけるロッド２７の操作量Ｙが設定される。

ここで、ロッド２７の操作量Ｙが設定され、設定された操作量Ｙを移動するようにロッド２７が操作される場合について説明する。図８（Ｂ）を参照して、扉１２が開口２２を閉じてロッド２７が移動する前の状態では、各カム部材２９ａ～２９ｄと各カムフォロア３０ａ～３０ｄとの当接位置間距離は、それぞれ、Ｘａ～Ｘｄである。図８（Ｂ）に示す状態から、操作量Ｙを移動するようにロッド２７が操作される。そうすると、図８（Ｃ）を参照して、ロッド２７は、操作量Ｙの移動量を移動し、ロッド２７に固定されたカム位置規定部３３も操作量Ｙの移動量をカムフォロア３０側へ向かって移動する。

一方、ロッド２７が操作量Ｙを移動する際には、各カム部材２９ａ～２９ｄは、各カムフォロア３０ａ～３０ｄに向かって各当接位置間距離Ｘａ～Ｘｄを移動し、各カムフォロア３０ａ～３０ｄに当接する。そして、各カム部材２９ａ～２９ｄは、各カムフォロア３０ａ～３０ｄに当接した状態で、ロッド２７の軸線方向に沿った移動が停止する。そして、各カム部材２９ａ～２９ｄの移動が停止した後も、ロッド２７は、操作量Ｙに亘る移動を終了するまで移動する。このため、各カム部材２９ａ～２９ｄと各カムフォロア３０ａ～３０ｄとが当接する前の状態では接触していたロッド２７側のカム位置規定部３３とカム部材２９側のロッド挿通部３２ａとが、ロッド２７の軸線方向に沿って離間することになる。そして、各弾性体３１ａ～３１ｄが、圧縮方向に弾性変形し、取付部材３２を介して各カム部材２９ａ～２９ｄを付勢する。これにより、各カム部材２９ａ～２９ｄによって各カムフォロア３０ａ～３０ｄが押圧され、各カムフォロア３０ａ～３０ｄが、扉１２を本体１１側へ密着させるように押圧する。

ロッド２７の操作量Ｙに亘る移動が終了すると、弾性体３１ａに隣接したロッド挿通部３２ａとカム位置規定部３３とが、操作量Ｙと当接位置間距離Ｘａとの差分の距離Ｄａ（Ｄａ＝Ｙ―Ｘａ）離間し、弾性体３１ａは、ロッド２７の移動前の状態から距離Ｄａだけ圧縮された状態となる。また、弾性体３１ｂに隣接したロッド挿通部３２ａとカム位置規定部３３とが、操作量Ｙと当接位置間距離Ｘｂとの差分の距離Ｄｂ（Ｄｂ＝Ｙ―Ｘｂ）離間し、弾性体３１ｂは、ロッド２７の移動前の状態から距離Ｄｂだけ圧縮された状態となる。また、弾性体３１ｃに隣接したロッド挿通部３２ａとカム位置規定部３３とが、操作量Ｙと当接位置間距離Ｘｃとの差分の距離Ｄｃ（Ｄｃ＝Ｙ―Ｘｃ）離間し、弾性体３１ｃは、ロッド２７の移動前の状態から距離Ｄｃだけ圧縮された状態となる。また、弾性体３１ｄに隣接したロッド挿通部３２ａとカム位置規定部３３とが、操作量Ｙと当接位置間距離Ｘｄとの差分の距離Ｄｄ（Ｄｄ＝Ｙ―Ｘｄ）離間し、弾性体３１ｄは、ロッド２７の移動前の状態から距離Ｄｄだけ圧縮された状態となる。

［弾性体の弾性力の設定］
密着機構１４においては、分力手段２８が複数備えられ、複数の分力手段２８のそれぞれにおいて弾性体３１が備えられている。そして、密着機構１４では、複数の分力手段２８が有する複数の弾性体３１において、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として丁番２３側に配置された弾性体３１に対して、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として丁番２３側から離れた側に配置された弾性体３１の弾性力が大きく設定されている。尚、弾性体３１の弾性係数がより大きく設定されることで、弾性体３１の弾性力がより大きく設定される。以下、弾性体３１の弾性力の設定について更に詳しく説明する。

図９（Ａ）、図９（Ｂ）、図９（Ｃ）、図９（Ｄ）、図９（Ｅ）、及び図９（Ｆ）は、密着機構１４における弾性体３１の弾性力の設定について説明するための図である。尚、図９（Ａ）は、密着機構１４における弾性体３１ａ～３１ｄの配置を示す図である。図９（Ａ）に示すように、弾性体３１ａ～３１ｄは、いずれもコイルバネとして設けられており、以下、弾性体３１ａ、弾性体３１ｂ、弾性体３１ｃ、及び弾性体３１ｄについて、それぞれ、バネａ、バネｂ、バネｃ、及びバネｄとも称する。図９（Ｂ）～（Ｅ）は、バネａ～ｄの弾性力の設定例を示す図であり、各バネａ～ｄについての弾性力の大きさを示す図である。尚、バネａ～ｄは、バネｄ、バネｃ、バネｂ、バネａの順番で、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、丁番２３側から、丁番２３側と反対側で丁番２３側から離れた側である扉１２の端部側へと、並んで配置されている。

図９（Ｂ）に示すバネａ～ｄの弾性力の設定例では、バネｄ、バネｃ、バネｂ、バネａの順番で弾性力が大きくなるように設定されており、バネｄの弾性力が最も小さく設定され、バネａの弾性力が最も大きく設定されている。この例では、複数のバネａ～ｄにおいて、丁番２３側に配置されたバネｄに対して、丁番２３側から離れた側である扉１２の端部側に配置されたバネａの弾性力が大きく設定されている。また、この例では、複数のバネａ～ｄにおいて、丁番２３側から最も離れた側に配置されたバネａの弾性力が最も大きく設定されている。

図９（Ｃ）に示すバネａ～ｄの弾性力の設定例は、ロック手段１３が、扉１２に対して、丁番２３側と反対側の扉１２の端部側ではなく、扉１２の上端側と下端側とに配置されており、更に、バネｂに対応する位置にロック手段１３が配置されている形態において適用される設定例である。この例では、複数のバネａ～ｄにおいて、丁番２３側に配置されたバネｄ、バネｃ、及びバネｂに対して、丁番２３側から離れた側である扉１２の端部側に配置されたバネａの弾性力が大きく設定されている。また、この例では、複数のバネａ～ｄにおいて、ロック手段１３に対応する位置に配置されているバネｂの弾性力が最も小さく設定され、丁番２３側から最も離れた側に配置されたバネａの弾性力が最も大きく設定されている。

図９（Ｄ）に示すバネａ～ｄの弾性力の設定例では、バネｄの弾性力が最も小さく設定され、バネａの弾性力が最も大きく設定されている。そして、バネｃ及びバネｂの弾性力は、同じ大きさで、バネｄの弾性力よりも大きくてバネａの弾性力よりも小さく設定されている。この例では、複数のバネａ～ｄにおいて、丁番２３側に配置されたバネｄに対して、丁番２３側から離れた側である扉１２の端部側に配置されたバネａの弾性力が大きく設定されている。また、この例では、複数のバネａ～ｄにおいて、丁番２３側から最も離れた側に配置されたバネａの弾性力が最も大きく設定されている。

図９（Ｅ）に示すバネａ～ｄの弾性力の設定例は、扉１２が、バネｂに対応する位置において、部分的に上下に広がるように形成されている形態において適用される設定例である。図９（Ｆ）は、バネｂに対応する位置において、部分的に上下に広がるように形成された扉１２の形態を模式的に示す図である。この例では、複数のバネａ～ｄにおいて、丁番２３側に配置されたバネｃに対して、丁番２３側から離れた側である扉１２の端部側に配置されたバネｂの弾性力が大きく設定されている。また、この例では、複数のバネａ～ｄにおいて、扉１２における部分的に広がった部分に対応する位置に配置されているバネｂの弾性力が最も大きく設定されている。

熱処理装置１の密着機構１４においては、弾性体３１が４つ備えられているが、密着機構１４に備えられる弾性体３１の数が３つ又は２つ或いは５つ以上である場合であっても、弾性体３１の数が４つの場合と同様に弾性体３１の弾性力を設定することができる。即ち、弾性体３１の数が４つ以外の複数の場合であっても、複数の弾性体３１において、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として丁番２３側に配置された弾性体３１に対して、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として丁番２３側から離れた側に配置された弾性体３１の弾性力を大きく設定することができる。

図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、及び図１０（Ｃ）は、弾性体３１が３つ備えられている変形例に係る密着機構１４における弾性体３１の弾性力の設定について説明するための図である。尚、図１０（Ａ）は、変形例に係る密着機構１４における３つの弾性体３１ａ～３１ｃの配置を示す図である。図１０（Ａ）に示す変形例に係る密着機構１４では、分力手段２８が３つ備えられており、３つの分力手段２８のそれぞれが、弾性体３１を備えている。図１０（Ａ）に示すように、弾性体３１ａ～３１ｃは、いずれもコイルバネとして設けられており、以下、弾性体３１ａ、弾性体３１ｂ、及び弾性体３１ｃについて、それぞれ、バネａ、バネｂ、及びバネｃとも称する。図１０（Ｂ）及び図１０（Ｃ）は、バネａ～ｃの弾性力の設定例を示す図であり、各バネａ～ｃについての弾性力の大きさを示す図である。尚、バネａ～ｃは、バネｃ、バネｂ、バネａの順番で、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、丁番２３側から、丁番２３側と反対側で丁番２３側から離れた側である扉１２の端部側へと、並んで配置されている。

図１０（Ｂ）に示すバネａ～ｃの弾性力の設定例では、バネｃ、バネｂ、バネａの順番で弾性力が大きくなるように設定されており、バネｃの弾性力が最も小さく設定され、バネａの弾性力が最も大きく設定されている。この例では、複数のバネａ～ｃにおいて、丁番２３側に配置されたバネｃに対して、丁番２３側から離れた側である扉１２の端部側に配置されたバネａの弾性力が大きく設定されている。また、この例では、複数のバネａ～ｃにおいて、丁番２３側から最も離れた側に配置されたバネａの弾性力が最も大きく設定されている。

図１０（Ｃ）に示すバネａ～ｃの弾性力の設定例は、ロック手段１３が、扉１２に対して、丁番２３側と反対側の扉１２の端部側ではなく、扉１２の上端側と下端側とに配置されており、更に、バネｂに対応する位置にロック手段１３が配置されている形態において適用される設定例である。この例では、複数のバネａ～ｃにおいて、丁番２３側に配置されたバネｃ及びバネｂに対して、丁番２３側から離れた側である扉１２の端部側に配置されたバネａの弾性力が大きく設定されている。また、この例では、複数のバネａ～ｃにおいて、ロック手段１３に対応する位置に配置されているバネｂの弾性力が最も小さく設定され、丁番２３側から最も離れた側に配置されたバネａの弾性力が最も大きく設定されている。

図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）、図１１（Ｃ）、及び図１１（Ｄ）は、弾性体３１が２つ備えられている変形例に係る密着機構１４における弾性体３１の弾性力の設定について説明するための図である。尚、図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）は、変形例に係る密着機構１４における２つの弾性体３１ａ及び３１ｂの配置例を示す図である。図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）のそれぞれに示す変形例に係る密着機構１４では、分力手段２８が２つ備えられており、２つの分力手段２８のそれぞれが、弾性体３１を備えている。尚、図１１（Ａ）に示す密着機構１４と、図１１（Ｂ）に示す密着機構１４とでは、弾性体３１ａと弾性体３１ｂとの間の距離が異なっている。より具体的には、図１１（Ｂ）に示す密着機構１４は、図１１（Ａ）に示す密着機構１４に対して、弾性体３１ｂが弾性体３１ａにより近い位置に配置されている。

図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）に示すように、弾性体３１ａ及び弾性体３１ｂは、いずれもコイルバネとして設けられており、以下、弾性体３１ａ及び弾性体３１ｂについて、それぞれ、バネａ及びバネｂとも称する。図１１（Ｃ）は、図１１（Ａ）に示す密着機構１４におけるバネａ及びバネｂの弾性力の設定例を示す図であり、バネａ及びバネｂの弾性力の大きさを示す図である。図１１（Ｄ）は、図１１（Ｂ）に示す密着機構１４におけるバネａ及びバネｂの弾性力の設定例を示す図であり、バネａ及びバネｂの弾性力の大きさを示す図である。尚、図１１（Ａ）に示す密着機構１４と図１１（Ｂ）に示す密着機構１４とのいずれにおいても、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、バネｂが、丁番２３側に配置され、バネａが、丁番２３側と反対側で丁番２３側から離れた側である扉１２の端部側に配置されている。

図１１（Ｃ）に示すバネａ及びバネｂの弾性力の設定例では、複数のバネａ～ｂにおいて、丁番２３側に配置されたバネｂに対して、丁番２３側から離れた側である扉１２の端部側に配置されたバネａの弾性力が大きく設定されている。尚、図１１（Ｃ）に示すように、扉１２の端部側に配置されたバネａに対してバネｂが丁番２３側に大きく離れて配置された図１１（Ａ）に示す密着機構１４においては、バネａの弾性力に対して、バネｂの弾性力が相当に小さく設定され、例えば、半分以下の大きさに設定されている。

図１１（Ｄ）に示すバネａ及びバネｂの弾性力の設定例では、複数のバネａ～ｂにおいて、丁番２３側に配置されたバネｂに対して、丁番２３側から離れた側である扉１２の端部側に配置されたバネａの弾性力が大きく設定されている。尚、図１１（Ｃ）に示すように、丁番２３側に配置されたバネｂが扉１２の端部側に配置されたバネａに対してより扉１２の端部側に近い位置に配置された図１１（Ａ）に示す密着機構１４においては、バネａの弾性力に対して、バネｂの弾性力が少しだけ小さく設定されている。

［分力手段の配置］
熱処理装置１においては、密着機構１４としての密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂが、開口２２を閉じた状態の扉１２の上端側及び下端側にそれぞれ設けられている。そして、密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂは、それぞれ、互いに当接するカム部材２９及びカムフォロア３０を有する分力手段２８を４つ備えている。更に、扉１２の上端側の密着機構１４ａにおける４つの分力手段２８のそれぞれと、扉１２の下端側の密着機構１４ｂにおける４つの分力手段２８のそれぞれとは、上下方向において並んで配置されている。これにより、熱処理装置１は、上下方向に対応して配置された分力手段２８によって、扉１２の上下それぞれの４箇所の位置において扉１２を本体１１側へ密着させて押圧するように構成されている。

上記のように、熱処理装置１においては、上下方向に対応して配置された分力手段２８によって、扉１２の上下それぞれの４箇所の位置において扉１２が本体１１側へと押圧される。しかし、この例に限らず、扉１２の上下それぞれにおいて熱処理装置１とは異なる位置に配置された分力手段２８によって、扉１２が本体１１側へ押圧される形態が実施されてもよい。

図１２（Ａ）、図１２（Ｂ）、及び図１２（Ｃ）は、変形例に係る熱処理装置１ａ～１ｃの密着機構１４における分力手段２８の配置について説明するための図である。尚、図１２（Ａ）は、変形例に係る熱処理装置１ａの正面図であり、図１２（Ｂ）は、変形例に係る熱処理装置１ｂの正面図であり、図１２（Ｃ）は、熱処理装置１ｃの正面図である。尚、変形例に係る熱処理装置１ａ～１ｃの説明においては、熱処理装置１と同様の構成或いは対応する構成については、図面において同一の符号を付すことで、或いは同一の符号を引用することで、重複する説明を省略する。

図１２（Ａ）に示す変形例に係る熱処理装置１ａにおいては、密着機構１４としての密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂが、開口２２を閉じた状態の扉１２の上端側及び下端側にそれぞれ設けられている。そして、密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂは、それぞれ、互いに当接するカム部材２９及びカムフォロア３０を有する分力手段２８を１つ備えている。

密着機構１４ａの分力手段２８は、開口２２を閉じた状態の扉１２の上端側に配置されている。そして、密着機構１４ａの分力手段２８は、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、丁番２３側よりも丁番２３側と反対側である扉１２の端部側に配置されている。また、密着機構１４ｂの分力手段２８は、開口２２を閉じた状態の扉１２の下端側に配置されている。そして、密着機構１４ｂの分力手段２８は、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、丁番２３側よりも丁番２３側と反対側である扉１２の端部側に配置されている。更に、扉１２の上端側の密着機構１４ａにおける１つの分力手段２８と、扉１２の下端側の密着機構１４ｂにおける１つの分力手段２８とは、上下方向において並んで配置されている。これにより、熱処理装置１ａは、上下方向に対応して配置された分力手段２８によって、扉１２の上下それぞれの１箇所の位置において扉１２を本体１１側へ密着させて押圧するように構成されている。

尚、熱処理装置１ａにおいては、密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂの分力手段２８は、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、丁番２３側よりも扉１２の端部側に配置さていたが、この通りでなくてもよい。例えば、密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂの分力手段２８は、丁番２３側と扉１２の端部側との間の中間部に配置されていてもよい。

図１２（Ｂ）に示す変形例に係る熱処理装置１ｂにおいては、密着機構１４としての密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂが、開口２２を閉じた状態の扉１２の上端側及び下端側にそれぞれ設けられている。そして、密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂは、それぞれ、互いに当接するカム部材２９及びカムフォロア３０を有する分力手段２８を２つ備えている。

密着機構１４ａの２つの分力手段２８は、開口２２を閉じた状態の扉１２の上端側に配置されている。そして、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、密着機構１４ａの２つの分力手段２８のうちの一方が、丁番２３側と扉１２の端部側との間の中間部に配置され、２つの分力手段２８のうちの他方が、扉１２の端部側に配置されている。また、密着機構１４ｂの２つの分力手段２８は、開口２２を閉じた状態の扉１２の下端側に配置されている。そして、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、密着機構１４ｂの２つの分力手段２８のうちの一方が、丁番２３側と扉１２の端部側との間の中間部に配置され、２つの分力手段２８のうちの他方が、扉１２の端部側に配置されている。更に、扉１２の上端側の密着機構１４ａにおける２つの分力手段２８のそれぞれと、扉１２の下端側の密着機構１４ｂにおける２つの分力手段２８のそれぞれとは、上下方向において並んで配置されている。これにより、熱処理装置１ｂは、上下方向に対応して配置された分力手段２８によって、扉１２の上下それぞれの２箇所の位置において扉１２を本体１１側へ密着させて押圧するように構成されている。

図１２（Ｃ）に示す変形例に係る熱処理装置１ｃにおいては、密着機構１４としての密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂが、開口２２を閉じた状態の扉１２の上端側及び下端側にそれぞれ設けられている。そして、密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂは、それぞれ、互いに当接するカム部材２９及びカムフォロア３０を有する分力手段２８を３つ備えている。

密着機構１４ａの３つの分力手段２８は、開口２２を閉じた状態の扉１２の上端側に配置され、扉１２の上端側の縁部分に沿って略均等間隔で並んで配置されている。そして、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、密着機構１４ａの３つの分力手段２８のうちの１つが、丁番２３側に配置され、３つの分力手段２８のうちの他の１つが、丁番２３側と扉１２の端部側との間の中間部に配置され、３つの分力手段２８のうちの残りの１つが、扉１２の端部側に配置されている。また、密着機構１４ｂの３つの分力手段２８は、開口２２を閉じた状態の扉１２の下端側に配置され、扉１２の下端側の縁部分に沿って略均等間隔で並んで配置されている。そして、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、密着機構１４ｂの３つの分力手段２８のうちの１つが、丁番２３側に配置され、３つの分力手段２８のうちの他の１つが、丁番２３側と扉１２の端部側との間の中間部に配置され、３つの分力手段２８のうちの残りの１つが、扉１２の端部側に配置されている。更に、扉１２の上端側の密着機構１４ａにおける３つの分力手段２８のそれぞれと、扉１２の下端側の密着機構１４ｂにおける３つの分力手段２８のそれぞれとは、上下方向において並んで配置されている。これにより、熱処理装置１ｃは、上下方向に対応して配置された分力手段２８によって、扉１２の上下それぞれの３箇所の位置において扉１２を本体１１側へ密着させて押圧するように構成されている。

尚、上述した熱処理装置１及びその変形例に係る熱処理装置１ａ～１ｃの例に限らず、扉１２の上下それぞれにおいて更に異なる位置に配置された分力手段２８によって、扉１２が本体１１側へ押圧される形態が実施されてもよい。例えば、上下方向に対応して配置された分力手段２８によって、扉１２の上下それぞれの５箇所以上の位置において扉１２が本体１１側へ押圧される形態が実施されてもよい。

［熱処理装置の動作］
次に、熱処理装置１の処理動作の一例について説明する。熱処理装置１の処理動作が開始される際には、まず、扉１２が開口２２を開いた状態で、ケース１０ａに収納された被処理物１０が、開口２２から搬入されて本体１１の内部に配置される。被処理物１０の本体１１内への搬入が終了すると、扉１２が操作されて閉じられ、開口２２が扉１２によって塞がれる。扉１２が閉じられる際には、扉１２の上端側及び下端側の縁部分に設けられたカムフォロア３０は、本体１１における開口２２の縁部分に設けられた凹部３７に受け入れられる。扉１２が閉じられると、制御部１５からの制御指令に基づいてロック手段１３が作動し、扉１２が本体１１に対してロックされる。

扉１２が閉じられて扉１２がロック手段１３によってロックされた状態で、制御部１５からの制御指令に基づいて駆動機構２６が作動し、ロッド２７が操作され、ロッド２７が駆動機構２６に引き込まれる方向に移動する。そして、ロッド２７の移動に伴い、複数のカム部材２９が複数のカムフォロア３０にそれぞれ当接し、複数のカムフォロア３０が本体１１側へ押圧されることで、扉１２が本体１１側へ密着した状態で本体１１側へ押圧される。扉１２が本体１１側へ密着して押圧された状態で、本体１１内に配置された被処理物１０に対して熱処理が行われる。

被処理物１０の熱処理が終了すると、被処理物１０を本体１１から取り出す処理が開始される。このとき、まず、制御部１５からの制御指令に基づいて駆動機構２６が作動し、ロッド２７が駆動機構２６から押し出される方向に移動するように操作される。ロッド２７が駆動機構２６から押し出される方向に移動することで、扉１２側の複数のカムフォロア３０にそれぞれ当接していた複数のカム部材２９が、扉１２側の複数のカムフォロア３０からそれぞれ離間する。これにより、扉１２が本体１１側へ密着した状態が解除される。

扉１２の本体１１側への密着状態が解除されると、制御部１５からの制御指令に基づいてロック手段１３が作動し、扉１２の本体１１に対するロックが解除される。扉１２の本体１１に対するロックが解除されると、扉１２が操作されて開かれ、開口２２が開放される。そして、ケース１０ａに収納された被処理物１０が、開口２２から搬出されて本体１１の外部へと取り出される。これにより、熱処理装置１の処理動作が終了する。

以上、上述した実施形態では、駆動機構２６によるロッド２７の引き込みにより、ロッド２７とともに移動したカム部材２９がカムフォロア３０に当接することで、駆動機構２６によるロッド２７の操作力から分力された力を扉１２に伝達するように構成されている例について述べたが、駆動機構２６によるロッド２７の押し出しにより、ロッド２７とともに移動したカム部材２９がカムフォロア３０に当接することで、駆動機構２６によるロッド２７の操作力から分力された力を扉１２に伝達するように構成されていてもよい。
即ち、駆動機構２６がロッド２７を駆動機構２６から押し出す方向に移動するように操作した際に、ロッド２７とともに移動したカム部材２９がカムフォロア３０と当接するように構成されていてもよい。

［本実施形態の効果］
以上説明したように、本実施形態の熱処理装置１によると、本体１１の開口２２を閉じた状態の扉１２を本体１１側へ密着させる手段が、扉１２の押圧方向と異なる方向である直角方向に移動するロッド２７と、ロッド２７の移動方向の操作力を分力する分力手段２８とによって構成される。そして、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面である前方壁１６の表面１６ａに沿って延びるように配置され、分力手段２８は、ロッド２７の移動に伴って作動するように、扉１２が開口２２を閉じた状態でのロッド２７の近傍に配置される。このため、扉１２を本体１１側へ密着させる手段であるロッド２７及び分力手段２８を本体１１及び扉１２の前面から突出しないようにすることができる。よって、本実施形態によると、密着してガスが漏れないように扉１２を本体１１側へ密着させる手段が本体１１及び扉１２の前面から突出しないようにすることができる熱処理装置１を提供することができる。

カム部材２９及びカムフォロア３０といった部品に寸法誤差がある場合、及び、カム部材２９及びカムフォロア３０といった部品を組み立てる際の組立誤差がある場合は、ロッド２７側のカム部材２９と扉１２側のカムフォロア３０との位置の精度が一定ではなく、ばらつきが生じることになる。このため、カム部材２９とカムフォロア３０との位置決めを精度よく調整する必要がある。しかし、本実施形態の熱処理装置１によると、扉１２側のカムフォロア３０に当接してロッド２７の操作力を分力するロッド２７側のカム部材２９が、弾性体３１によって、移動量を抑制される。このため、ロッド２７が移動してカム部材２９がカムフォロア３０に当接する際に、部品の寸法誤差及び組立誤差がある場合であっても、弾性体３１の変形によって誤差が吸収される。これにより、ロッド２７の移動方向の操作量のみでカム部材２９とカムフォロア３０との位置決めを精度よく調整することができる。

例えば、ロッド２７に設けたネジ部とネジ部に螺合するナットとによって、ロッド２７の軸線上に配置された個々のカム部材２９の位置を調整する調整手段が備えられているような場合でも、カム部材２９が複数あると、ロッド２７の軸線上でカム部材２９を精度よく位置合わせすることが困難となる。しかし、本実施形態の熱処理装置１によると、各分力手段２８に設けられた弾性体３１によって、各分力手段２８に存在する個別の誤差を個々に吸収することができる。このため、ロッド２７の移動に伴って同じタイミングで作動する複数の分力手段２８のそれぞれにおいて、カム部材２９とカムフォロア３０との位置決めを精度よく調整することができる。

また、本実施形態の熱処理装置１によると、複数の弾性体３１のうち、丁番２３側に配置された弾性体３１に対して、丁番２３側から離れた側に配置された弾性体３１の弾性力が大きく設定される。このため、複数の分力手段２８のうち、丁番２３側から離れた側に配置された分力手段２８において、カム部材２９がカムフォロア３０を付勢する力を大きくすることができる。一般的に内圧がかかると扉１２が開こうとして、丁番２３側はシール４９のシール圧が確保されていても、丁番２３から離れたところほどシール４９のシール圧が低下する。よって、離れて配置された弾性体３１ほど、弾性力を強くする必要がある。しかし、シール４９のシール圧を均一にしたいが、扉１２の形状や扉１２のロック手段１３との配置関係などで、シール４９のシール圧が均一にならない場合が考えられる。しかし、本実施形態のように構成することで、シール４９のシール圧を均一にすることができる。

また、本実施形態の熱処理装置１によると、扉１２が閉じる際は、扉１２側のカムフォロア３０が本体１１の開口２２の縁部分の凹部３７に受け入れられるため、カムフォロア３０が本体１１と干渉することなく本体１１の内側に配置された状態で、扉１２を閉じることができる。このため、扉１２が閉じた際に、カムフォロア３０が本体１１の前面側に配置された状態となることを防止することができる。また、扉１２が閉じられた後は、本体１１側に設けられたロッド２７が移動し、カム部材２９がカムフォロア３０に当接することで、ロッド２７の操作力から分力された力がカムフォロア３０に伝達され、扉１２を本体１１側へ密着させることができる。したがって、本実施形態の熱処理装置１によると、開口２２の縁部分に凹部３７を設けた簡素な構成により、扉１２を本体１１へ密着させる分力手段２８が本体１１の前面側に配置されてしまうことを防止できる構造を容易に構築することができる。

また、本実施形態の熱処理装置１によると、ロッド２７の操作量が、扉１２が閉じた後でロッド２７が移動する前の状態でのカム部材２９とカムフォロア３０との間の設定距離よりも所定量大きく設定される。このため、ロッド２７が移動してカム部材２９がカムフォロア３０に当接する際に、部品の寸法誤差及び組立誤差がある場合であっても、弾性体３１の変形によって誤差をより確実に吸収することができる。

また、本実施形態の熱処理装置１によると、ロッド２７の軸線上に配置された弾性体３１によって、ロッド２７の軸の外周に弾性体３１をはめ込むように装着させる簡単な構造で、ロッド２７と弾性体３１とを同軸方向に連続して配置することがなく、ロッド２７と弾性体３１との組み合わせ構成物をロッド軸方向で短く構成することができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態にかかる熱処理装置２について説明する。図１３は、本発明の第２実施形態に係る熱処理装置２の斜視図である。第２実施形態の熱処理装置２は、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、被処理物１０に対して熱処理をするための装置として構成されている。尚、以下の第２実施形態の説明においては、前述の第１実施形態と異なる点について説明し、第１実施形態と同様の構成或いは対応する構成については、図面において同一の符号を付すことで、或いは同一の符号を引用することで、重複する説明を省略する。

図１３に示す熱処理装置２は、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、本体１１、本体１１を開閉する扉１２、本体１１と扉１２とをロックするロック手段１３、本体１１に扉１２を密着させる密着機構１４、制御部１５、等を備えて構成されている。しかし、熱処理装置２は、ロック手段１３及び密着機構１４の配置に関する構成において、熱処理装置１とは異なっている。

熱処理装置２においては、扉１２は、熱処理装置１の扉１２と同様に、本体１１の前方壁１６に設けられた開口２２を開閉する扉として設けられ、本体１１に対して複数の丁番２３を介して横開きの状態で開くように構成された開き戸として設けられている。扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２を本体１１に対してロックするロック手段１３は、複数設けられており、第２実施形態では、例えば、２つ設けられている。

２つのロック手段１３は、第２実施形態では、扉１２が開口２２を閉じた状態で、扉１２に対して上端側と下端側とに配置される。即ち、２つのロック手段１３のうちの１つのロック手段１３が、扉１２の上端側に配置され、もう１つのロック手段１３が、扉１２の下端側に配置されている。また、各ロック手段１３は、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、丁番２３側と、丁番２３側とは反対側である扉１２の端部側と、の間の中間部に配置されている。そして、２つのロック手段１３は、扉１２が開口２２を閉じた状態で前方壁１６に沿って上下に並んで配置される。尚、各ロック手段１３は、開口２２を閉じた状態の扉１２を基準として、扉１２の端部側に配置されていてもよい。

熱処理装置２の各ロック手段１３は、熱処理装置１のロック手段１３と同様に、扉１２に設けられたフック１３ａと、本体１１の前方壁１６に設けられたフック保持部１３ｂとを有して構成されている。扉１２から突出した鉤爪状に形成されたフック１３ａは、扉１２の上端側と下端側とにそれぞれ設けられており、扉１２の外側部分１２ａから本体１１の内側に向かって突出して設けられている。扉１２が開口２２を閉じた状態でフック１３ａと係合してフック１３ａを保持するフック保持部１３ｂは、本体１１の前方壁１６における開口２２の縁部分に設けられ、外側縁部２３ａに設けられている。また、フック保持部１３ｂは、外側縁部２３ａにおいて、開口２２の上端側と下端側とにそれぞれ設けられている。

熱処理装置２は、上述のようにロック手段１３が設けられていることで、横開きの開き戸として設けられた扉１２が開口２２を閉じた状態では、扉１２の上下に配置されたロック手段１３によって、扉１２が本体１１に対してロックされる。

熱処理装置２においては、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２を本体１１に対して密着させる密着機構１４は、１つ設けられている。そして、密着機構１４は、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２に対して丁番２３側とは反対側である扉１２の端部側に配置されている。

熱処理装置２の密着機構１４は、熱処理装置１の密着機構１４と同様に、駆動機構２６と、ロッド２７と、分力手段２８とを備えて構成されている。

熱処理装置２の密着機構１４のロッド２７は、本体１１の内部に配置されており、一方の端部において、本体１１に固定された駆動機構２６に連結されている。また、ロッド２７は、本体１１の内部において、前方壁１６の内側に配置されている。そして、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面である前方壁１６の表面１６ａに沿って延びるように配置されている。即ち、ロッド２７は、ロッド２７の軸線方向が、本体１１における開口２２が設けられた面（前方壁１６の表面１６ａ）に沿って延びた状態で、前方壁１６の内側に配置されている。また、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面に沿って延びるとともに、開口２２を閉じた状態の扉１２に対して丁番２３側と反対側である扉１２の端部側において、開口２２の縁部分に沿って上下方向に延びるように配置されている。

また、ロッド２７は、駆動機構２６によって操作されることで、ロッド２７の軸線方向に沿って上下方向に移動するように構成されている。更に、ロッド２７は、駆動機構２６によってロッド２７の軸線方向に沿って上下方向に移動するように操作されることで、開口２２が扉１２によって閉じられた状態で扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向に移動するように構成されている。開口２２が扉１２によって閉じられた状態で扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向は、前方壁１６の表面１６ａに対して垂直な方向であって、開口２２を塞ぐ扉１２を本体１１側へ密着させるように本体１１側へ押し付ける方向である。また、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向は、押圧方向に対して直交する方向であって、駆動機構２６によって操作されたロッド２７がその軸線方向に沿って駆動機構２６に引き込まれるように移動するロッド２７の移動方向である。

熱処理装置２の分力手段２８は、熱処理装置１の分力手段２８と同様に、扉１２が開口２２を閉じた状態でロッド２７をロッド２７の移動方向に操作する操作力を分力して扉１２を本体１１側へ密着させる機構として設けられている。そして、分力手段２８は、熱処理装置２の密着機構１４においても、複数備えられており、第２実施形態では、密着機構１４において、分力手段２８が２つ設けられている。

熱処理装置２の密着機構１４における複数の分力手段２８のそれぞれは、熱処理装置１の密着機構１４の分力手段２８と同様に、カム部材２９と、カムフォロア３０と、弾性体３１とを有している。よって、第２実施形態では、密着機構１４において、カム部材２９、カムフォロア３０、及び弾性体３１は、それぞれ２つずつ備えられている。

密着機構１４における２つのカム部材２９は、ロッド２７に取り付けられており、上下方向に延びるロッド２７の軸線方向に沿って並んで取り付けられている。密着機構１４における２つの弾性体３１は、ロッド２７に装着されており、ロッド２７の移動量に対してカム部材２９の移動量を抑制するように構成されている。また、２つの弾性体３１は、ロッド２７の軸線上に並んで配置され、ロッド２７と同軸上に配置されている。密着機構１４における２つのカムフォロア３０は、扉１２における丁番２３側と反対側である扉１２の端部側において、扉１２の縁部分に設けられている。また、２つのカムフォロア３０は、扉１２の外側部分１２ａにおける縁部分に設けられており、上下方向に沿って並んで配置されている。

熱処理装置２の密着機構１４の分力手段２８は、熱処理装置１の分力手段２８と同様に作動する。即ち、熱処理装置２の分力手段２８は、扉１２が開口２２を閉じた状態で駆動機構２６によって操作されたロッド２７が移動すると、カム部材２９とカムフォロア３０とが当接し、ロッド２７を移動方向に操作する操作力から、カム部材２９からカムフォロア３０へと向かう成分の力を分力する。そして、分力手段２８は、ロッド２７を操作する操作力から分力した力をカム部材２９からカムフォロア３０へ伝達することで、カムフォロア３０が設けられた扉１２を本体１１側へ押圧して密着させる。

上述した第２実施形態の熱処理装置２によると、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、本体１１の開口２２を閉じた状態の扉１２を本体１１側へ密着させる手段が、扉１２の押圧方向の直角方向に移動するロッド２７と、ロッド２７の移動方向の操作力を分力する分力手段２８とによって構成される。そして、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面である前方壁１６の表面１６ａに沿って延びるように配置され、分力手段２８は、ロッド２７の移動に伴って作動するように、扉１２が開口２２を閉じた状態でのロッド２７の近傍に配置される。このため、扉１２を本体１１側へ密着させる手段であるロッド２７及び分力手段２８を本体１１及び扉１２の前面から突出しないようにすることができる。よって、第２実施形態によると、密着してガスが漏れないように扉１２を本体１１側へ密着させる手段が本体１１及び扉１２の前面から突出しないようにすることができる熱処理装置２を提供することができる。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係る熱処理装置３について説明する。図１４は、本発明の第３実施形態に係る熱処理装置３の斜視図である。第３実施形態の熱処理装置３は、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、被処理物１０に対して熱処理をするための装置として構成されている。尚、以下の第３実施形態の説明においては、前述の第１実施形態と異なる点について説明し、第１実施形態と同様の構成或いは対応する構成については、図面において同一の符号を付すことで、或いは同一の符号を引用することで、重複する説明を省略する。

図１４に示す熱処理装置３は、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、本体１１、本体１１を開閉する扉１２、本体１１と扉１２とをロックするロック手段１３、本体１１に扉１２を密着させる密着機構１４、制御部１５、等を備えて構成されている。しかし、熱処理装置３は、扉１２の開閉方向と、ロック手段１３及び密着機構１４の配置とに関する構成において、熱処理装置１とは異なっている。

熱処理装置３においては、扉１２は、本体１１の前方壁１６に設けられた開口２２を開閉する扉として設けられ、開口２２の全体を塞ぐ矩形の外形を有する扉１２として設けられている。扉１２は、本体１１に対して複数の丁番２３を介して取り付けられた開き戸として設けられている。第３実施形態では、扉１２は、本体１１の前方壁１６に対して２つの丁番２３を介して縦開きの状態で開くように構成されている。即ち、扉１２は、開口２２を閉じた状態における扉１２の上端側において、前方壁１６に沿って水平方向に沿って並ぶ２つの丁番２３を介して、本体１１に対して丁番２３を中心として上下方向に沿って回転するように、前方壁１６に取り付けられている。

熱処理装置３においては、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２を本体１１に対してロックするロック手段１３は、複数設けられており、第３実施形態では、例えば、２つ設けられている。２つのロック手段１３は、第３実施形態では、扉１２が開口２２を閉じた状態で、扉１２に対して丁番２３側と反対側に配置され、扉１２に対して下端側に配置される。そして、２つのロック手段１３は、扉１２が開口２２を閉じた状態で前方壁１６に沿って水平方向に並んで配置される。

熱処理装置３の各ロック手段１３は、熱処理装置１のロック手段１３と同様に、扉１２に設けられたフック１３ａと、本体１１の前方壁１６に設けられたフック保持部１３ｂとを有して構成されている。扉１２から突出した鉤爪状に形成されたフック１３ａは、扉１２の丁番２３側とは反対側の扉１２の端部側に設けられており、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２の下端側に設けられている。更に、フック１３ａは、扉１２における外側部分１２ａから本体１１の内側に向かって突出して設けられている。扉１２が開口２２を閉じた状態でフック１３ａと係合してフック１３ａを保持するフック保持部１３ｂは、本体１１の前方壁１６における開口２２の縁部分に設けられ、外側縁部２３ａに設けられている。また、フック保持部１３ｂは、外側縁部２３ａにおいて、開口２２の下端側に設けられている。

熱処理装置３は、上述のようにロック手段１３が設けられていることで、縦開きの開き戸として設けられた扉１２が開口２２を閉じた状態では、扉１２の丁番２３側とは反対側の扉１２の端部側であって扉１２の下端側に配置されたロック手段１３によって、扉１２が本体１１に対してロックされる。

熱処理装置３においては、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２を本体１１に対して密着させる密着機構１４は、複数設けられており、第３実施形態では、２つ設けられている。第３実施形態では、２つの密着機構１４として、密着機構１４ａと密着機構１４ｂとが設けられている。密着機構１４ａは、扉１２が開口２２を閉じた状態で、扉１２及び開口２２に対して、水平方向における一端側であって本体１１における側壁１８側に配置されている。密着機構１４ｂは、扉１２が開口２２を閉じた状態で、扉１２及び開口２２に対して、水平方向における他端側であって本体１１における側壁１９側に配置されている。

熱処理装置３における２つの密着機構１４のそれぞれは、熱処理装置１の密着機構１４と同様に、駆動機構２６と、ロッド２７と、分力手段２８とを備えて構成されている。即ち、密着機構１４ａは、駆動機構２６と、ロッド２７と、分力手段２８とを備えて構成され、密着機構１４ｂは、駆動機構２６と、ロッド２７と、分力手段２８とを備えて構成されている。尚、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２に対して側壁１８側に配置される密着機構１４ａと扉１２に対して側壁１９側に配置される密着機構１４ｂとは、ロッド２７及び分力手段２８の水平方向の位置が逆であることを除き、同様に構成されている。密着機構１４ａにおいては、ロッド２７が分力手段２８に対して側壁１８側に配置され、密着機構１４ｂにおいては、ロッド２７が分力手段２８に対して側壁１９側に配置されている。

熱処理装置３の密着機構１４のロッド２７は、本体１１の内部に配置されており、一方の端部において、本体１１に固定された駆動機構２６に連結されている。また、ロッド２７は、本体１１の内部において、前方壁１６の内側に配置されている。そして、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面である前方壁１６の表面１６ａに沿って延びるように配置されている。即ち、ロッド２７は、ロッド２７の軸線方向が、本体１１における開口２２が設けられた面（前方壁１６の表面１６ａ）に沿って延びた状態で、前方壁１６の内側に配置されている。また、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面に沿って延びるとともに、開口２２の縁部分に沿って上下方向に延びるように配置されている。尚、密着機構１４ａのロッド２７は、開口２２における水平方向の一端側の縁部分であって側壁１８側の縁部分に沿って上下方向に延びるように配置されている。密着機構１４ｂのロッド２７は、開口２２における水平方向の他端側の縁部分であって側壁１９側の縁部分に沿って上下方向に延びるように配置されている。

また、ロッド２７は、駆動機構２６によって操作されることで、ロッド２７の軸線方向に沿って上下方向に移動するように構成されている。更に、ロッド２７は、駆動機構２６によってロッド２７の軸線方向に沿って上下方向に移動するように操作されることで、開口２２が扉１２によって閉じられた状態で扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向に移動するように構成されている。開口２２が扉１２によって閉じられた状態で扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向は、前方壁１６の表面１６ａに対して垂直な方向であって、開口２２を塞ぐ扉１２を本体１１側へ密着させるように本体１１側へ押し付ける方向である。また、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向は、押圧方向に対して直交する方向であって、駆動機構２６によって操作されたロッド２７がその軸線方向に沿って駆動機構２６に引き込まれるように移動するロッド２７の移動方向である。

熱処理装置３の分力手段２８は、熱処理装置１の分力手段２８と同様に、扉１２が開口２２を閉じた状態でロッド２７をロッド２７の移動方向に操作する操作力を分力して扉１２を本体１１側へ密着させる機構として設けられている。そして、分力手段２８は、熱処理装置３の密着機構１４においても、複数備えられている。即ち、密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂのいずれにおいても、分力手段２８が複数備えられている。第３実施形態では、密着機構１４ａ及び密着機構１４ｂのそれぞれにおいて、分力手段２８が３つ設けられている。

熱処理装置３の密着機構１４における複数の分力手段２８のそれぞれは、熱処理装置１の密着機構１４の分力手段２８と同様に、カム部材２９と、カムフォロア３０と、弾性体３１とを有している。よって、第３実施形態では、密着機構１４において、カム部材２９、カムフォロア３０、及び弾性体３１は、それぞれ３つずつ備えられている。

密着機構１４における３つのカム部材２９は、ロッド２７に取り付けられており、上下方向に延びるロッド２７の軸線方向に沿って並んで取り付けられている。密着機構１４における３つの弾性体３１は、ロッド２７に装着されており、ロッド２７の移動量に対してカム部材２９の移動量を抑制するように構成されている。また、３つの弾性体３１は、ロッド２７の軸線上に並んで配置され、ロッド２７と同軸上に配置されている。密着機構１４における３つのカムフォロア３０は、扉１２における水平方向の一端側及び他端側のそれぞれにおいて、扉１２の縁部分に設けられている。また、３つのカムフォロア３０は、扉１２の外側部分１２ａにおける縁部分に設けられており、扉１２が開口２２を閉じた状態で、上下方向に沿って並んで配置されている。

熱処理装置３の密着機構１４の分力手段２８は、熱処理装置１の分力手段２８と同様に作動する。即ち、熱処理装置３の分力手段２８は、扉１２が開口２２を閉じた状態で駆動機構２６によって操作されたロッド２７が移動すると、カム部材２９とカムフォロア３０とが当接し、ロッド２７を移動方向に操作する操作力から、カム部材２９からカムフォロア３０へと向かう成分の力を分力する。そして、分力手段２８は、ロッド２７を操作する操作力から分力した力をカム部材２９からカムフォロア３０へ伝達することで、カムフォロア３０が設けられた扉１２を本体１１側へ押圧して密着させる。

上述した第３実施形態の熱処理装置３によると、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、本体１１の開口２２を閉じた状態の扉１２を本体１１側へ密着させる手段が、扉１２の押圧方向の直角方向に移動するロッド２７と、ロッド２７の移動方向の操作力を分力する分力手段２８とによって構成される。そして、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面である前方壁１６の表面１６ａに沿って延びるように配置され、分力手段２８は、ロッド２７の移動に伴って作動するように、扉１２が開口２２を閉じた状態でのロッド２７の近傍に配置される。このため、扉１２を本体１１側へ密着させる手段であるロッド２７及び分力手段２８を本体１１及び扉１２の前面から突出しないようにすることができる。よって、第３実施形態によると、密着してガスが漏れないように扉１２を本体１１側へ密着させる手段が本体１１及び扉１２の前面から突出しないようにすることができる熱処理装置３を提供することができる。

（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係る熱処理装置４について説明する。図１５は、本発明の第４実施形態に係る熱処理装置４を示す図であって、図１５（Ａ）は、熱処理装置４の斜視図であり、図１５（Ｂ）は、熱処理装置４の平面図である。第４実施形態の熱処理装置４は、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、被処理物１０に対して熱処理をするための装置として構成されている。尚、以下の第４実施形態の説明においては、前述の第１実施形態と異なる点について説明し、第１実施形態と同様の構成或いは対応する構成については、図面において同一の符号を付すことで、或いは同一の符号を引用することで、重複する説明を省略する。

図１５に示す熱処理装置４は、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、本体１１、本体１１を開閉する扉１２、本体１１と扉１２とをロックするロック手段１３、本体１１に扉１２を密着させる密着機構１４、制御部１５、等を備えて構成されている。しかし、熱処理装置４は、本体１１及び密着機構１４に関する構成において、熱処理装置１とは異なっている。

熱処理装置４においては、本体１１は、前方壁１６、後方壁１７、側壁１８、側壁１９、天井壁２０、及び底壁２１を備え、被処理物１０が配置される中空の領域を内部に区画する箱状に形成されている。本体１１は、前方壁１６において、本体１１の内部の中空の領域を外部に開放する開口２２が設けられている。開口２２は、扉１２の外周形状に対応した形状で前方壁１６を貫通するように開口している。

本体１１においては、上下方向に沿って広がるように延びる側壁１８と側壁１９とが互いに平行に広がるように設けられ、水平方向に沿って広がるように延びる天井壁２０と底壁２１とが互いに平行に広がるように設けられている。また、本体１１においては、上下方向に沿って広がるように延びる後方壁１７は、側壁１８、側壁１９、天井壁２０、及び底壁２１の何れに対しても垂直な方向に沿って広がるように設けられている。一方、上下方向に沿って広がるように延びる前方壁１６は、側壁１８、側壁１９、及び後方壁１７の何れに対しても斜めの方向に沿って広がるように設けられている。このため、 本体１１は、上方から見た状態で台形形状の外形を成すように形成されている。また、本体１１においては、側壁１９における水平方向に沿って延びる長さが、側壁１８における水平方向に沿って延びる長さよりも、長く構成されている。尚、図１５（Ａ）においては、水平方向の長さの短い側壁１８の端部から後方壁１７と平行に延びる仮想の面１７ａを二点鎖線で示している。前方壁１６は、水平方向における側壁１８に結合する端部側よりも、水平方向における側壁１９に結合する端部側の方が、前方に突出するように設けられている。そして、前方壁１６は、仮想の面１７ａに対して、前方側に向かって斜めに突出するように設けられている。

熱処理装置４においては、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２を本体１１に対して密着させる密着機構１４は、複数設けられており、第４実施形態では、２つ設けられている。２つの密着機構１４のうちの一方は、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２の上端側に配置されている。２つの密着機構１４のうちの他方は、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２の下端側に配置されている。

熱処理装置４における２つの密着機構１４のそれぞれは、熱処理装置１の密着機構１４と同様に、駆動機構２６と、ロッド２７と、分力手段２８とを備えて構成されている。

熱処理装置４の密着機構１４の駆動機構２６は、本体１１の内部に配置されており、側壁１９に固定されて配置されている。また、熱処理装置４の密着機構１４のロッド２７は、本体１１の内部に配置されており、一方の端部において、本体１１の側壁１９に固定された駆動機構２６に連結されている。また、ロッド２７は、本体１１の内部において、本体１１における開口２２が設けられた面である前方壁１６の表面１６ａに沿って水平方向に延びるように配置されている。即ち、ロッド２７は、ロッド２７の軸線方向が、本体１１における開口２２が設けられた面（前方壁１６の表面１６ａ）に沿って水平方向に延びた状態で、本体１１の内部に配置されている。尚、熱処理装置４の密着機構１４においては、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面（表面１６ａ）に対して傾斜した状態で、開口２２が設けられた面（表面１６ａ）に沿って延びるように配置されている。

図１６は、図１５に示す熱処理装置４の密着機構１４の作動を説明するための図であって、図１６（Ａ）は、密着機構１４が作動する前の状態を示す図であり、図１６（Ｂ）は、密着機構１４が作動した状態を示す図である。図１５及び図１６を参照して、ロッド２７は、駆動機構２６によって操作されることで、ロッド２７の軸線方向に沿って水平方向に移動するように構成されている。更に、ロッド２７は、駆動機構２６によってロッド２７の軸線方向に沿って水平方向に移動するように操作されることで、開口２２が扉１２によって閉じられた状態で扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向とは異なる方向として押圧方向の直角方向に対して傾斜した方向に移動するように構成されている。

開口２２が扉１２によって閉じられた状態で扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向は、前方壁１６の表面１６ａに対して垂直な方向であって、開口２２を塞ぐ扉１２を本体１１側へ密着させるように本体１１側へ押し付ける方向である。尚、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向については、図１５（Ｂ）、図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）において矢印Ｘ１で示している。

また、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向は、押圧方向に対して水平方向において直交する方向であって、駆動機構２６によって操作されたロッド２７がその軸線方向に沿って駆動機構２６に引き込まれる側及び側壁１９側に向かう方向である。尚、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向については、図１５（Ｂ）、図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）において矢印Ｘ３で示している。

また、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向とは異なる方向として押圧方向の直角方向に対して傾斜した方向は、押圧方向の直角方向に対して斜めに延びる方向であって、駆動機構２６によって操作されたロッド２７がその軸線方向に沿って駆動機構２６に引き込まれるように移動するロッド２７の移動方向である。尚、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向に対して傾斜した方向であって、駆動機構２６によって操作されるロッド２７の移動方向については、図１５（Ｂ）、図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）において矢印Ｘ２で示している。

上記のように、ロッド２７は、駆動機構２６によって操作されることで、駆動機構２６に引き込まれ、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向とは異なる方向として押圧方向の直角方向に対して傾斜した方向に移動する。尚、扉１２の本体１１側への押圧方向の直角方向（矢印Ｘ３で示す方向）と、その直角方向に対して傾斜した方向であってロッド２７が駆動機構２６に引き込まれるように移動する方向（矢印Ｘ２で示す方向）とは、それらの方向が成す角度が過度に大きな角度とならないように、設定される。具体的には、扉１２の押圧方向の直角方向と、その直角方向に対して傾斜した方向でロッド２７が駆動機構２６に引き込まれるように移動する方向との成す角度は、例えば１５°の角度に設定される。この角度の設定は、熱処理装置の全体構成において、何等かの事情により本体に対して扉１２を斜めに配置せざるを得ない場合の形態に伴うものであり、その事情に合わせた角度設定を行えばよい。これにより、ロッド２７を本体１１の内部で前方壁１６の表面１６ａに沿って延びるように配置することができる。

熱処理装置４の分力手段２８は、熱処理装置１の分力手段２８と同様に、扉１２が開口２２を閉じた状態でロッド２７をロッド２７の移動方向に操作する操作力を分力して扉１２を本体１１側へ密着させる機構として設けられている。分力手段２８は、熱処理装置４の密着機構１４においては、１つ備えられている。そして、熱処理装置４の密着機構１４における分力手段２８は、カム部材２９とカムフォロア３０とを有している。

分力手段２８のカム部材２９は、ロッド２７に取り付けられており、ロッド２７における駆動機構２６に連結された端部とは反対側の端部において、ロッド２７に取り付けられている。カム部材２９は、例えば、ロッド２７における駆動機構２６に連結される側の端部と反対側の端部において、ロッド２７に対して固定されて取り付けられている。ロッド２７に取り付けられたカム部材２９は、くさび状の部材として設けられている。カム部材２９には、カム部材２９がロッド２７に取り付けられた状態で、駆動機構２６の操作によるロッド２７の移動方向に対して傾斜した面に沿って広がるテーパ面３８が設けられている。また、テーパ面３８は、上下方向とロッド２７の軸線方向に対して斜めの方向とに広がる面に沿って広がるように構成されている。

分力手段２８のカムフォロア３０は、扉１２の上端側の縁部分と下端側の縁部分とにそれぞれ設けられている。尚、２つの密着機構１４のうちの一方における分力手段２８のカムフォロア３０が、扉１２の上端側の縁部分に設けられ、２つの密着機構１４のうちの他方における分力手段２８のカムフォロア３０が、扉１２の下端側の縁部分に設けられている。扉１２の縁部分に設けられるカムフォロア３０は、高さの低い円柱ローラ状の部材として設けられ、扉１２の縁分に対して、上下に延びる中心軸回りに回転自在な状態で取り付けられている。そして、円柱ローラ状のカムフォロア３０の外周面３９は、カム部材２９に対して当接するように構成されている。

熱処理装置４の分力手段２８は、図１５（Ｂ）及び図１６（Ａ）に示すように、扉１２が開口２２を閉じた状態でロッド２７が駆動機構２６に引き込まれる方向に移動するように操作されることで、作動する。扉１２が開口２２を閉じた状態でロッド２７が駆動機構２６によって操作されて移動すると、図１６（Ｂ）に示すように、ロッド２７とともに移動したカム部材２９が、カムフォロア３０に当接する。このとき、カム部材２９のテーパ面３８とカムフォロア３０の外周面３９とが当接することで、カム部材２９とカムフォロア３０とが当接する。カム部材２９とカムフォロア３０とが当接すると、ロッド２７を移動方向に操作する操作力から、カム部材２９からカムフォロア３０へと向かう成分の力が分力される。そして、ロッド２７を操作する操作力から分力された力がカム部材２９からカムフォロア３０へ伝達されることで、カムフォロア３０が設けられた扉１２が本体１１側へ押圧され、扉１２が本体１１側へ密着する。

上述した第４実施形態の熱処理装置４によると、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、本体１１の開口２２を閉じた状態の扉１２を本体１１側へ密着させる手段が、扉１２の押圧方向の直角方向に対して傾斜した方向に移動するロッド２７と、ロッド２７の移動方向の操作力を分力する分力手段２８とによって構成される。そして、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面である前方壁１６の表面１６ａに沿って延びるように配置され、分力手段２８は、ロッド２７の移動に伴って作動するように、扉１２が開口２２を閉じた状態でのロッド２７の近傍に配置される。このため、扉１２を本体１１側へ密着させる手段であるロッド２７及び分力手段２８を本体１１及び扉１２の前面から突出しないようにすることができる。よって、第４実施形態によると、密着してガスが漏れないように扉１２を本体１１側へ密着させる手段が本体１１及び扉１２の前面から突出しないようにすることができる熱処理装置４を提供することができる。

（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態に係る熱処理装置５について説明する。図１７は、本発明の第５実施形態に係る熱処理装置５を示す図であって、図１７（Ａ）は、熱処理装置５の斜視図であり、図１７（Ｂ）は、熱処理装置５の平面図である。第５実施形態の熱処理装置５は、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、被処理物１０に対して熱処理をするための装置として構成されている。尚、以下の第５実施形態の説明においては、前述の第１実施形態と異なる点について説明し、第１実施形態と同様の構成或いは対応する構成については、図面において同一の符号を付すことで、或いは同一の符号を引用することで、重複する説明を省略する。

図１７に示す熱処理装置５は、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、本体１１、本体１１を開閉する扉１２、本体１１と扉１２とをロックするロック手段１３、本体１１に扉１２を密着させる密着機構１４、制御部１５、等を備えて構成されている。しかし、熱処理装置５は、本体１１及び密着機構１４に関する構成において、熱処理装置１とは異なっている。

熱処理装置５においては、本体１１は、前方壁１６、後方壁１７、側壁１８、側壁１９、天井壁２０、及び底壁２１を備え、被処理物１０が配置される中空の領域を内部に区画する箱状に形成されている。本体１１は、前方壁１６において、本体１１の内部の中空の領域を外部に開放する開口２２が設けられている。開口２２は、扉１２の外周形状に対応した形状で前方壁１６を貫通するように開口している。

本体１１においては、上下方向に沿って広がるように延びる側壁１８と側壁１９とが互いに平行に広がるように設けられ、水平方向に沿って広がるように延びる天井壁２０と底壁２１とが互いに平行に広がるように設けられている。また、本体１１においては、上下方向に沿って広がるように延びる後方壁１７は、側壁１８、側壁１９、天井壁２０、及び底壁２１の何れに対しても垂直な方向に沿って広がるように設けられている。一方、上下方向に沿って広がるように延びる前方壁１６は、側壁１８、側壁１９、及び後方壁１７の何れに対しても斜めの方向に沿って広がるように設けられている。このため、 本体１１は、上方から見た状態で台形形状の外形を成すように形成されている。また、本体１１においては、側壁１８における水平方向に沿って延びる長さが、側壁１９における水平方向に沿って延びる長さよりも、長く構成されている。尚、図１７（Ａ）においては、水平方向の長さが短い側壁１９の端部から後方壁１７と平行に延びる仮想の面１７ａを二点鎖線で示している。前方壁１６は、水平方向における側壁１９に結合する端部側よりも、水平方向における側壁１８に結合する端部側の方が、前方に突出するように設けられている。そして、前方壁１６は、仮想の面１７ａに対して、前方側に向かって斜めに突出するように設けられている。

熱処理装置４においては、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２を本体１１に対して密着させる密着機構１４は、複数設けられており、第５実施形態では、２つ設けられている。２つの密着機構１４のうちの一方は、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２の上端側に配置されている。２つの密着機構１４のうちの他方は、扉１２が開口２２を閉じた状態で扉１２の下端側に配置されている。

熱処理装置５における２つの密着機構１４のそれぞれは、熱処理装置１の密着機構１４と同様に、駆動機構２６と、ロッド２７と、分力手段２８とを備えて構成されている。

熱処理装置５の密着機構１４の駆動機構２６は、本体１１の内部に配置されており、側壁１９に固定されて配置されている。また、熱処理装置５の密着機構１４のロッド２７は、本体１１の内部に配置されており、一方の端部において、本体１１の側壁１９に固定された駆動機構２６に連結されている。また、ロッド２７は、本体１１の内部において、本体１１における開口２２が設けられた面である前方壁１６の表面１６ａに沿って水平方向に延びるように配置されている。即ち、ロッド２７は、ロッド２７の軸線方向が、本体１１における開口２２が設けられた面（前方壁１６の表面１６ａ）に沿って水平方向に延びた状態で、本体１１の内部に配置されている。尚、熱処理装置４の密着機構１４においては、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面（表面１６ａ）に対して傾斜した状態で、開口２２が設けられた面（表面１６ａ）に沿って延びるように配置されている。

図１８は、図１７に示す熱処理装置５の密着機構１４の作動を説明するための図であって、図１８（Ａ）は、密着機構１４が作動する前の状態を示す図であり、図１８（Ｂ）は、密着機構１４が作動した状態を示す図である。図１７及び図１８を参照して、ロッド２７は、駆動機構２６によって操作されることで、ロッド２７の軸線方向に沿って水平方向に移動するように構成されている。更に、ロッド２７は、駆動機構２６によってロッド２７の軸線方向に沿って水平方向に移動するように操作されることで、開口２２が扉１２によって閉じられた状態で扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向とは異なる方向として押圧方向の直角方向に対して傾斜した方向に移動するように構成されている。

開口２２が扉１２によって閉じられた状態で扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向は、前方壁１６の表面１６ａに対して垂直な方向であって、開口２２を塞ぐ扉１２を本体１１側へ密着させるように本体１１側へ押し付ける方向である。尚、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向については、図１７（Ｂ）、図１８（Ａ）及び図１８（Ｂ）において矢印Ｘ１で示している。

また、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向は、押圧方向に対して水平方向において直交する方向であって、駆動機構２６によって操作されたロッド２７がその軸線方向に沿って駆動機構２６に引き込まれる側及び側壁１９側に向かう方向である。尚、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向については、図１７（Ｂ）、図１８（Ａ）及び図１８（Ｂ）において矢印Ｘ３で示している。

また、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向とは異なる方向として押圧方向の直角方向に対して傾斜した方向は、押圧方向の直角方向に対して斜めに延びる方向であって、駆動機構２６によって操作されたロッド２７がその軸線方向に沿って駆動機構２６に引き込まれるように移動するロッド２７の移動方向である。尚、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向の直角方向に対して傾斜した方向であって、駆動機構２６によって操作されるロッド２７の移動方向については、図１７（Ｂ）、図１８（Ａ）及び図１８（Ｂ）において矢印Ｘ２で示している。

上記のように、ロッド２７は、駆動機構２６によって操作されることで、駆動機構２６に引き込まれ、扉１２を本体１１側へ押圧する押圧方向とは異なる方向として押圧方向の直角方向に対して傾斜した方向に移動する。尚、扉１２の本体１１側への押圧方向の直角方向（矢印Ｘ３で示す方向）と、その直角方向に対して傾斜した方向であってロッド２７が駆動機構２６に引き込まれるように移動する方向（矢印Ｘ２で示す方向）とは、それらの方向が成す角度が過度に大きな角度とならないように、設定される。具体的には、扉１２の押圧方向の直角方向と、その直角方向に対して傾斜した方向でロッド２７が駆動機構２６に引き込まれるように移動する方向との成す角度は、例えば１５°の角度に設定される。この角度の設定は、熱処理装置の全体構成において、何等かの事情により本体に対して扉１２を斜めに配置せざるを得ない場合の形態に伴うものであり、その事情に合わせた角度設定を行えばよい。これにより、ロッド２７を本体１１の内部で前方壁１６の表面１６ａに沿って延びるように配置することができる。

熱処理装置５の分力手段２８は、熱処理装置１の分力手段２８と同様に、扉１２が開口２２を閉じた状態でロッド２７をロッド２７の移動方向に操作する操作力を分力して扉１２を本体１１側へ密着させる機構として設けられている。分力手段２８は、熱処理装置５の密着機構１４においては、１つ備えられている。そして、熱処理装置５の密着機構１４における分力手段２８は、カム部材２９とカムフォロア３０とを有している。

分力手段２８のカム部材２９は、ロッド２７に取り付けられており、ロッド２７における駆動機構２６に連結された端部とは反対側の端部において、ロッド２７の軸線方向に対して屈曲して延びる連結棒２７ａを介して、ロッド２７に取り付けられている。カム部材２９は、例えば、ロッド２７における駆動機構２６に連結される側の端部と反対側の端部に設けられた連結棒２７ａを介して、ロッド２７に対して固定されて取り付けられている。ロッド２７に取り付けられたカム部材２９は、くさび状の部材として設けられている。カム部材２９には、カム部材２９がロッド２７に取り付けられた状態で、駆動機構２６の操作によるロッド２７の移動方向に対して傾斜した面に沿って広がるテーパ面３８が設けられている。また、テーパ面３８は、上下方向とロッド２７の軸線方向に対して斜めの方向とに広がる面に沿って広がるように構成されている。

分力手段２８のカムフォロア３０は、扉１２の上端側の縁部分と下端側の縁部分とにそれぞれ設けられている。尚、２つの密着機構１４のうちの一方における分力手段２８のカムフォロア３０が、扉１２の上端側の縁部分に設けられ、２つの密着機構１４のうちの他方における分力手段２８のカムフォロア３０が、扉１２の下端側の縁部分に設けられている。扉１２の縁部分に設けられるカムフォロア３０は、高さの低い円柱ローラ状の部材として設けられ、扉１２の縁分に対して、上下に延びる中心軸回りに回転自在な状態で取り付けられている。そして、円柱ローラ状のカムフォロア３０の外周面３９は、カム部材２９に対して当接するように構成されている。

熱処理装置５の分力手段２８は、図１７（Ｂ）及び図１８（Ａ）に示すように、扉１２が開口２２を閉じた状態でロッド２７が駆動機構２６に引き込まれる方向に移動するように操作されることで、作動する。扉１２が開口２２を閉じた状態でロッド２７が駆動機構２６によって操作されて移動すると、図１８（Ｂ）に示すように、ロッド２７とともに移動したカム部材２９が、カムフォロア３０に当接する。このとき、カム部材２９のテーパ面３８とカムフォロア３０の外周面３９とが当接することで、カム部材２９とカムフォロア３０とが当接する。カム部材２９とカムフォロア３０とが当接すると、ロッド２７を移動方向に操作する操作力から、カム部材２９からカムフォロア３０へと向かう成分の力が分力される。そして、ロッド２７を操作する操作力から分力された力がカム部材２９からカムフォロア３０へ伝達されることで、カムフォロア３０が設けられた扉１２が本体１１側へ押圧され、扉１２が本体１１側へ密着する。

上述した第５実施形態の熱処理装置５によると、第１実施形態の熱処理装置１と同様に、本体１１の開口２２を閉じた状態の扉１２を本体１１側へ密着させる手段が、扉１２の押圧方向の直角方向に対して傾斜した方向に移動するロッド２７と、ロッド２７の移動方向の操作力を分力する分力手段２８とによって構成される。そして、ロッド２７は、本体１１における開口２２が設けられた面である前方壁１６の表面１６ａに沿って延びるように配置され、分力手段２８は、ロッド２７の移動に伴って作動するように、扉１２が開口２２を閉じた状態でのロッド２７の近傍に配置される。このため、扉１２を本体１１側へ密着させる手段であるロッド２７及び分力手段２８を本体１１及び扉１２の前面から突出しないようにすることができる。よって、第５実施形態によると、密着してガスが漏れないように扉１２を本体１１側へ密着させる手段が本体１１及び扉１２の前面から突出しないようにすることができる熱処理装置５を提供することができる。

（変形例）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々に変更して実施することができるものである。例えば、次のような変形例が実施されてもよい。

（１）前述の実施形態では、分力手段のカム部材がくさび状の部材として設けられ、分力手段のカムフォロアが円柱ローラ状の部材として設けられた形態を例にとって説明したが、この通りでなくてもよく、カム部材及びカムフォロアが他の形状を有する形態が実施されてもよい。図１９（Ａ）、図１９（Ｂ）、図１９（Ｃ）、及び図１９（Ｄ）は、熱処理装置の密着機構の分力手段におけるカム部材及びカムフォロアの形状例を示す図である。

図１９（Ａ）に示す形状例は、前述の実施形態のカム部材２９及びカムフォロア３０の形状例であって、テーパ面と曲面とが当接する形態の形状例である。この例においては、本体１１側のカム部材２９は、くさび状の部材として設けられ、扉１２側のカムフォロア３０は、円柱ローラ状の部材として設けられる。カム部材２９には、ロッド２７の移動方向に対して傾斜したテーパ面３８が設けられ、カムフォロア３０には、円柱状の外周面３９が設けられる。そして、ロッド２７の移動に伴って、図１９（Ａ）において矢印Ｘ２で示す方向にカム部材２９が移動し、カム部材２９のテーパ面３８とカムフォロア３０の外周面３９とが当接する。そして、カム部材２９とカムフォロア３０とが当接することでロッド２７の操作力から分力された力が、図１９（Ａ）において矢印Ｘ１で示す方向に沿って、カムフォロア３０から扉１２へ伝達され、扉１２が本体１１側へ密着して押圧される。

図１９（Ｂ）に示す形状例は、同様の形状に形成されたカム部材４０及びカムフォロア４１の形状例であって、曲面同士が当接する形態の形状例である。この例においては、本体１１側のカム部材４０は、曲率半径が変化しながら湾曲して延びる湾曲面４０ａが形成された部材として設けられている。湾曲面４０ａは、例えば、楕円形状の円弧の一部を形成するように延びる面として設けられている。扉１２側のカムフォロア４１も、カム部材４０と同様に、曲率半径が変化しながら湾曲して延びる湾曲面４１ａが形成された部材として設けられている。湾曲面４１ａは、例えば、楕円形状の円弧の一部を形成するように延びる面として設けられている。カム部材４０とカムフォロア４１とは、カム部材４０の湾曲面４０ａとカムフォロア４１の湾曲面４１ａとが、ロッド２７の軸線方向に垂直な方向にずれた位置でロッド２７の軸線方向において向かい合った状態で、配置される。そして、ロッド２７の移動に伴って、図１９（Ｂ）において矢印Ｘ２で示す方向にカム部材４０が移動し、カム部材４０の湾曲面４０ａとカムフォロア４１の湾曲面４１ａとが当接する。そして、カム部材４０とカムフォロア４１とが当接することでロッド２７の操作力から分力された力が、図１９（Ｂ）において矢印Ｘ１で示す方向に沿って、カムフォロア４１から扉１２へ伝達され、扉１２が本体１１側へ密着して押圧される。

図１９（Ｃ）に示す形状例は、同様の形状に形成されたカム部材４２及びカムフォロア４３の形状例であって、テーパ面同士が当接する形態の形状例である。この例においては、本体１１側のカム部材４２は、ロッド２７の移動方向に対して傾斜したテーパ面４２ａが形成された部材として設けられている。扉１２側のカムフォロア４３も、ロッド２７の移動方向に対して傾斜したテーパ面４３ａが形成された部材として設けられている。カム部材４２とカムフォロア４３とは、カム部材４２のテーパ面４２ａとカムフォロア４３のテーパ面４３ａとが、ロッド２７の軸線方向において向かい合った状態で、配置される。そして、ロッド２７の移動に伴って、図１９（Ｃ）において矢印Ｘ２で示す方向にカム部材４２が移動し、カム部材４２のテーパ面４２ａとカムフォロア４３のテーパ面４３ａとが当接する。そして、カム部材４２とカムフォロア４３とが当接することでロッド２７の操作力から分力された力が、図１９（Ｃ）において矢印Ｘ１で示す方向に沿って、カムフォロア４３から扉１２へ伝達され、扉１２が本体１１側へ密着して押圧される。

図１９（Ｄ）に示す形状例は、互いに異なる形状に形成されたカム部材４４及びカムフォロア４５の形状例であって、曲面同士が当接する形態の形状例である。この例においては、本体１１側のカム部材４４は、円弧状に湾曲して凹むように延びる曲面としての円弧面４４ａが形成された部材として設けられている。円弧面４４ａは、一定の曲率半径の円の円弧の一部を形成するように延びる面として設けられている。扉１２側のカムフォロア４５は、円柱ローラ状の部材として設けられ、一定の曲率半径の円の円弧を形成する外周面４５ａが設けられている。そして、カムフォロア４５の外周面４５ａの曲率半径は、カム部材４４の円弧面４４ａの曲率半径よりも小さく設定されている。カム部材４４とカムフォロア４５とは、カム部材４４の円弧面４４ａとカムフォロア４５の外周面４５ａとが、ロッド２７の軸線方向において向かい合った状態で、配置される。そして、ロッド２７の移動に伴って、図１９（Ｄ）において矢印Ｘ２で示す方向にカム部材４４が移動し、カム部材４４の円弧面４４ａとカムフォロア４５の外周面４５ａとが当接する。そして、カム部材４４とカムフォロア４５とが当接することでロッド２７の操作力から分力された力が、図１９（Ｄ）において矢印Ｘ１で示す方向に沿って、カムフォロア４５から扉１２へ伝達され、扉１２が本体１１側へ密着して押圧される。

（２）前述の実施形態では、弾性体がコイルバネとして設けられた形態を例にとって説明したが、この通りでなくてもよく、弾性体がコイルバネ以外の弾性体として構成される形態が実施されてもよい。図２０（Ａ）、図２０（Ｂ）、及び図２０（Ｃ）は、熱処理装置の密着機構の分力手段における弾性体の形態の例を示す図である。

図２０（Ａ）に示す形態の例は、前述の実施形態の弾性体３１の形態の例であって、金属製のコイルバネとして設けられた形態の例である。コイルバネとして設けられた弾性体３１は、ロッド２７に対して図２０（Ａ）において矢印で示す方向に装着され、ロッド２７の軸に嵌め込まれてロッド２７に装着される。このため、コイルバネとして設けられた弾性体３１は、ロッド２７の外周においてロッド２７の軸線上に配置された状態で、ロッド２７に装着される。

図２０（Ｂ）に示す形態の例は金属製の板バネとして設けられた弾性体４７の形態の例である。弾性体４７は、交互に傾斜して折れ曲がるように形成された傾斜板部４７ａが一体で直列に並んで設けられた板バネとして構成されている。直列に並ぶ各傾斜板部４７ａには、貫通孔４７ｂが設けられている。そして、板バネとして設けられた弾性体４７は、ロッド２７に対して図２０（Ｂ）において矢印で示す方向に装着され、各傾斜板部４７ａの貫通孔４７ｂをロッド２７が挿通した状態で、ロッド２７の軸に嵌め込まれてロッド２７に装着される。このため、板バネとして設けられた弾性体４７は、ロッド２７の外周においてロッド２７の軸線上に配置された状態で、ロッド２７に装着される。

図２０（Ｃ）に示す形態の例は、耐熱ゴム部材として設けられた弾性体４８の形態の例である。弾性体４８は、円筒状の耐熱ゴム部材として設けられ、円筒軸方向に延びる貫通孔４８ａが設けられている。そして、耐熱ゴム部材として設けられた弾性体４８は、ロッド２７に対して図２０（Ｃ）において矢印で示す方向に装着され、貫通孔４８ａをロッド２７が挿通した状態で、ロッド２７の軸に嵌め込まれてロッド２７に装着される。このため、耐熱ゴム部材として設けられた弾性体４８は、ロッド２７の外周においてロッド２７の軸線上に配置された状態で、ロッド２７に装着される。

（３）前述の実施形態では、本体の開口を閉じる扉が、矩形の外形を有する扉である形態を例にとって説明したが、この通りでなくてもよく、扉の形状は、矩形に限らず、種々の形状であってもよい。例えば、本体に円形の開口が設けられ、扉が、本体の円形の開口を塞ぐように円形の外形を有する形状に形成された形態が実施されてもよい。また、扉は、本体に設けられた開口の全体を塞ぐ形状であればよく、本体の開口の形状と扉の外形とが異なる形態が実施されてもよい。

（４）前述の実施形態では、本体の開口を閉じる扉が、丁番を介して開閉する扉である形態を例にとって説明したが、これに限らず、スライド式の扉であってもよい。例えば、扉が横方向にスライドすることで本体の開口を塞ぐ扉である形態が実施されてもよいし、扉が縦方向にスライドすることで本体の開口を塞ぐ扉である形態が実施されてもよい。

（５）前述の実施形態では、分力手段のカム部材がくさび状の部材として設けられ、分力手段のカムフォロアが円柱ローラ状の部材として設けられた形態を例にとって説明したが、これらが逆の関係で設けられる形態が実施されてもよい。即ち、分力手段のカム部材が円柱ローラ状の部材として設けられ、分力手段のカムフォロアがくさび状の部材として設けられた形態が実施されてもよい。この場合、円柱ローラ状のカム部材は、ロッドに対して取付部材を介して回転自在に取り付けられ、くさび状のカムフォロアは、扉の縁部分に固定されて設けられる。このように、本体側に円柱ローラ状のカム部材が設けられ、扉側にくさび状のカムフォロアが設けられた形態が実施されてもよい。

本発明は、被処理物に対して熱処理をするための熱処理装置に関して、広く適用することができる。

１、２、３、４、５ 熱処理装置
１０ 被処理物
１１ 本体
１２ 扉
１４、１４ａ、１４ｂ 密着機構
２２ 開口
２７ ロッド
２８ 分力手段
２９ カム部材
３０ カムフォロア
３１ 弾性体

Claims (7)

1. ガスを充填して被処理物を熱処理する処理室を構成する本体と、
   前記本体に設けられた開口を開閉する扉と、
   前記本体における前記開口が設けられた面に沿って延びるように配置され、前記扉を前記本体側へ押圧する押圧方向と異なる方向に移動するロッドと、
   前記扉が前記開口を閉じた状態で前記ロッドを当該ロッドの移動方向に操作する操作力を分力して前記扉を前記本体側へ密着させる力を発生させる分力手段と、
   を備えている、熱処理装置。
2. 請求項１に記載の熱処理装置であって、
   前記分力手段は、前記ロッドに取り付けられたカム部材と、前記ロッドの移動量に対して前記カム部材の移動量を抑制する弾性体と、前記扉に設けられて前記カム部材と当接することで前記操作力から分力された力を前記扉へ伝達するカムフォロアと、を有している、熱処理装置。
3. 請求項２に記載の熱処理装置であって、
   前記分力手段を複数備え、
   複数の前記分力手段のそれぞれは、前記カム部材と前記弾性体と前記カムフォロアとを有している、熱処理装置。
4. 請求項３に記載の処理装置であって、
   前記扉は、前記本体に対して丁番を介して取り付けられた開き戸として設けられ、
   複数の前記分力手段が有する複数の前記弾性体において、前記丁番側に配置された前記弾性体に対して、前記丁番側から離れた側に配置された前記弾性体の弾性力が大きく設定されている、熱処理装置。
5. 請求項２乃至請求項４のいずれか１項に記載の熱処理装置であって、
   前記カムフォロアは、前記扉の縁部分に設けられ、
   前記本体には、前記開口の縁部分において、前記扉が前記開口を閉じる際に前記カムフォロアを受け入れる凹部が設けられており、
   前記扉が前記開口を閉じて前記カムフォロアが前記凹部に受け入れられた状態で前記ロッドが前記移動方向に移動することで、前記カム部材が前記カムフォロアに当接する、熱処理装置。
6. 請求項２乃至請求項５のいずれか１項に記載の熱処理装置であって、
   前記ロッドを前記移動方向に操作する操作量は、前記扉が前記開口を閉じて前記ロッドが移動する前の状態での前記移動方向における前記カム部材と前記カムフォロアとの間の設定距離よりも所定量大きくなるように設定されている、熱処理装置。
7. 請求項２乃至請求項６のいずれか１項に記載の熱処理装置であって、
   前記弾性体は、前記ロッドの外周に配置されている、熱処理装置。

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