JP2023016497A - Heater terminal cover, heater unit, and thermal processor - Google Patents

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Masahiro Nishioka
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Abstract

To provide a heater terminal cover, a heater unit, and a thermal processor that can suppress powdering of a molybdenum disilicide heater more reliably.SOLUTION: A heater terminal cover 50 covers at least a part of terminals 11A and 11B of a heater 10, which are made of a molybdenum-containing material. The heater terminal cover 50 includes: a body 51 with cylindrical parts 58 surrounding the entire circumference of the outer edge part of exposed parts 23 of the terminals 11A and 11B; and a nozzle 61 in the body 51 for supplying an insert gas into the cylindrical parts 58.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、ヒータ端子カバー、ヒータユニット、および、熱処理装置に関する。 The present invention relates to a heater terminal cover, a heater unit, and a heat treatment apparatus.

半導体素材などの被処理物を加熱するためのヒータが知られている（たとえば、特許文献１～５参照）。 2. Description of the Related Art Heaters for heating objects to be processed such as semiconductor materials are known (see, for example, Patent Documents 1 to 5).

上記のヒータの一種として、二珪化モリブデンヒータが用いられる場合がある。二珪化モリブデンヒータは、二珪化モリブデンを主成分としており、通常、一部に曲げ形状を有する棒状に形成されている。このヒータは、端子部と、発熱部とを有している。端子部の表面には、アルミニウムなどの金属が溶射されることで金属膜が形成されている。この金属膜は、電線等を介して電源に接続される。電源から出力された電力は、電線および金属膜を介して発熱部に伝わり、発熱部が発熱する。これにより、被処理物が収容されている炉内の雰囲気が加熱される。 A molybdenum disilicide heater may be used as one of the above heaters. A molybdenum disilicide heater is mainly composed of molybdenum disilicide, and is generally shaped like a rod having a partially bent shape. This heater has a terminal portion and a heat generating portion. A metal film is formed on the surface of the terminal portion by spraying a metal such as aluminum. This metal film is connected to a power supply via an electric wire or the like. Electric power output from the power supply is transmitted to the heat generating portion via the electric wire and the metal film, and the heat generating portion generates heat. This heats the atmosphere in the furnace in which the object to be processed is accommodated.

特開２０１２－１１４３２７号公報JP 2012-114327 A 特開２０００－２０８２３６号公報Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-208236 特開平７－２４８１９３号公報JP-A-7-248193 特公平２－５１２３４号公報Japanese Patent Publication No. 2-51234 実開平５－６１９９２号公報Japanese Utility Model Laid-Open No. 5-61992

ヒータ動作時の上記炉内の温度は、１４００℃近い高温になる一方、炉の外部に配置された端子部の温度は、室温と大差ない値となる。このため、端子部と加熱部との間には、１０００度以上の温度差が生じる。このため、ヒータには、約６００℃になる領域が存在する。二珪化モリブデンは、約３５０℃～６００℃の温度領域において、酸化現象を生じる。ヒータの使用期間が長くなることで上記の酸化が進行すると、二珪化モリブデンの酸化物が、粉化する。すなわち、二珪化モリブデンの粉化現象（ペスト）が生じる。二珪化モリブデンの粉化現象が進行すると、強度が低下して破損するおそれがある。 The temperature in the furnace when the heater is in operation reaches a high temperature of nearly 1400° C., while the temperature of the terminal portion arranged outside the furnace is a value not much different from the room temperature. Therefore, a temperature difference of 1000 degrees or more is generated between the terminal portion and the heating portion. Therefore, the heater has a region of about 600°C. Molybdenum disilicide undergoes an oxidation phenomenon in the temperature range of about 350°C to 600°C. When the above-described oxidation progresses as the heater is used for a longer period of time, the molybdenum disilicide oxide is pulverized. That is, molybdenum disilicide pulverization phenomenon (plague) occurs. If the pulverization phenomenon of molybdenum disilicide progresses, the strength may decrease and breakage may occur.

二珪化モリブデンの粉化を抑制するためには、例えば特許文献１に記載されているように、二珪化モリブデンのうち酸化しやすい温度域部分に窒素ガス等の不活性ガスを供給することが考えられる。しかしながら、特許文献１に記載の構成では、大型のカバー内に不活性ガスを充填しているため、多量の不活性ガスが消費される。また、カバーの密閉性が低いと不活性ガスの消費量がさらに増えるおそれがある。 In order to suppress pulverization of molybdenum disilicide, it is considered to supply an inert gas such as nitrogen gas to a temperature range portion of molybdenum disilicide that is easily oxidized, as described in Patent Document 1, for example. be done. However, in the configuration described in Patent Document 1, a large amount of inert gas is consumed because the large cover is filled with inert gas. Further, if the sealing performance of the cover is low, there is a possibility that the consumption of the inert gas will further increase.

本発明は、上記事情に鑑みることにより、不活性ガスの消費量を少なくしつつ、二珪化モリブデンヒータの粉化をより確実に抑制できるヒータ端子カバー、ヒータユニット、および、熱処理装置を提供することを目的とする。 In view of the above circumstances, it is an object of the present invention to provide a heater terminal cover, a heater unit, and a heat treatment apparatus that can more reliably suppress pulverization of a molybdenum disilicide heater while reducing the consumption of inert gas. With the goal.

（１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わるヒータ端子カバーは、モリブデンを含む材料で形成された端子を含むヒータの前記端子の少なくとも一部を覆うヒータ端子カバーであって、前記端子の外周部を全周に亘って取り囲むように構成された筒状部を有する本体と、前記本体に形成され前記筒状部内に向けて不活性ガスを供給するためのノズルと、を有している。 (1) In order to solve the above problems, a heater terminal cover according to one aspect of the present invention is a heater terminal cover that covers at least part of the terminals of a heater including terminals made of a material containing molybdenum. a main body having a cylindrical portion configured to surround the entire outer periphery of the terminal; and a nozzle formed in the main body for supplying an inert gas into the cylindrical portion. have.

この構成によると、ノズルからの不活性ガスが筒状部内に供給されることで、端子の外周部の周辺の雰囲気を端子の全周に亘って不活性ガス雰囲気にできる。これにより、二珪化モリブデンの酸化に起因するペストの発生を抑制できる。しかも、筒状部で囲まれた狭い領域に不活性ガスが供給されるので、端子の外周部のうち酸化し易い温度域部分へより確実に不活性ガスを供給でき、しかも不活性ガスの消費量を少なくできる。よって、二珪化モリブデンヒータの粉化をより確実に抑制できる。 According to this configuration, by supplying the inert gas from the nozzle into the cylindrical portion, the atmosphere around the outer peripheral portion of the terminal can be made an inert gas atmosphere over the entire circumference of the terminal. This can suppress the generation of pest caused by the oxidation of molybdenum disilicide. Moreover, since the inert gas is supplied to the narrow area surrounded by the cylindrical portion, the inert gas can be more reliably supplied to the temperature range portion of the outer peripheral portion of the terminal, which is easily oxidized, and the inert gas is consumed. can be reduced. Therefore, pulverization of the molybdenum disilicide heater can be suppressed more reliably.

（２）前記本体は、前記ノズルが形成された前記筒状部と、前記筒状部の外周部を取り囲むように配置された外周壁部と、前記不活性ガスを前記外周壁部と前記筒状部との間に供給するためのポートと、を含んでいる場合がある。 (2) The main body includes the tubular portion in which the nozzle is formed, an outer peripheral wall portion arranged so as to surround the outer peripheral portion of the tubular portion, and the inert gas through the outer peripheral wall portion and the tubular portion. and a port for feeding between the shape.

この構成によると、ポートからの不活性ガスは、外周壁部と筒状部との間に進み、さらに、筒状部のノズルを通して筒状部の内側空間に供給される。外周壁部と筒状部との間の空間は、不活性ガスのチャンバ空間として機能することができるので、ノズルから筒状部の内側空間へ不活性ガスをより安定した流量で供給できる。 According to this configuration, the inert gas from the port advances between the outer peripheral wall portion and the tubular portion, and is further supplied to the inner space of the tubular portion through the nozzle of the tubular portion. Since the space between the outer peripheral wall portion and the cylindrical portion can function as an inert gas chamber space, the inert gas can be supplied from the nozzle to the inner space of the cylindrical portion at a more stable flow rate.

（３）前記ノズルは、前記筒状部の周方向に沿って互いに離隔して複数形成されている場合がある。 (3) A plurality of nozzles may be formed to be separated from each other along the circumferential direction of the cylindrical portion.

この構成によると、ノズルから筒状部の内側空間に供給される不活性ガスを、ヒータ端子の周方向においてより均等に供給できる。 According to this configuration, the inert gas supplied from the nozzle to the inner space of the cylindrical portion can be supplied more uniformly in the circumferential direction of the heater terminal.

（４）前記筒状部は、一対の前記端子をそれぞれ取り囲むために一対設けられており、前記外周壁部が一対の前記筒状部を取り囲んでいる場合がある。 (4) A pair of the tubular portions may be provided to surround the pair of terminals, respectively, and the outer peripheral wall portion may surround the pair of tubular portions.

この構成によると、一対の端子のそれぞれの周囲を、１つのヒータ端子カバーで不活性ガス雰囲気にできる。 According to this configuration, it is possible to create an inert gas atmosphere around each of the pair of terminals with one heater terminal cover.

（５）前記ヒータ端子カバーは、前記本体と前記端子との間を塞ぐシール部材をさらに有している場合がある。 (5) The heater terminal cover may further have a sealing member that seals between the main body and the terminals.

この構成によると、ヒータ端子カバーの外部から本体と端子との間に酸素が侵入することをより確実に抑制できる。 According to this configuration, it is possible to more reliably prevent oxygen from entering between the main body and the terminals from the outside of the heater terminal cover.

（６）前記本体における前記筒状部の軸方向一端側部分は、前記ヒータ端子カバーが取り付けられる部材と向かい合うように構成されており、前記シール部材は、前記筒状部の軸方向他端側部分に配置されている場合がある。 (6) A portion of the main body on one axial end side of the cylindrical portion is configured to face a member to which the heater terminal cover is attached, and the sealing member is located on the other axial end side of the cylindrical portion. It may be placed in parts.

この構成によると、ヒータ端子カバーが取り付けられる高温部分から遠く温度が低い軸方向他端側部分にシール部材を配置することで、シール部材への熱の負荷を小さくできる。また、筒状部の軸方向一端側部分における筒状部と端子との間の領域は、ヒータ端子カバーが取り付けられる部材によって酸素の進入を抑制される。 According to this configuration, the heat load on the sealing member can be reduced by arranging the sealing member at the other axial end portion which is farther from the high-temperature portion where the heater terminal cover is attached and has a lower temperature. In addition, the member to which the heater terminal cover is attached prevents oxygen from entering the region between the tubular portion and the terminal at the one axial end portion of the tubular portion.

（７）前記本体は導電性材料で形成されており、前記筒状部の径方向内方に筒状の絶縁体が配置されている場合がある。 (7) The main body may be made of a conductive material, and a tubular insulator may be arranged radially inward of the tubular portion.

この構成によると、本体を高い強度の材質で形成しつつ、本体とヒータ端子との短絡をより確実に抑制できる。 According to this configuration, short circuits between the main body and the heater terminals can be more reliably suppressed while forming the main body from a high-strength material.

（８）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わるヒータユニットは、モリブデンを含む材料で形成された端子を含むヒータと、前記端子の少なくとも一部を覆う、前記ヒータ端子カバーと、を有している。 (8) In order to solve the above problems, a heater unit according to one aspect of the present invention includes a heater including terminals made of a material containing molybdenum, and the heater terminal cover covering at least part of the terminals. ,have.

（９）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる熱処理装置は、被処理物を熱処理するための熱処理室と、前記熱処理室内の雰囲気を加熱するための前記ヒータユニットと、を有している。 (9) In order to solve the above problems, a heat treatment apparatus according to one aspect of the present invention includes a heat treatment chamber for heat-treating an object to be treated, and the heater unit for heating the atmosphere in the heat-treatment chamber. have.

上記（８）、（９）の構成によると、二珪化モリブデンヒータの粉化をより確実に抑制できる。 According to the configurations (8) and (9) above, it is possible to more reliably suppress pulverization of the molybdenum disilicide heater.

本発明によると、二珪化モリブデンヒータの粉化をより確実に抑制できる。 According to the present invention, pulverization of the molybdenum disilicide heater can be suppressed more reliably.

図１は、本発明の一実施形態にかかる熱処理装置の主要部の模式的な断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of main parts of a heat treatment apparatus according to one embodiment of the present invention. 図２は、熱処理装置のヒータユニットの主要部を模式的に示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view schematically showing the main part of the heater unit of the heat treatment apparatus. 図３は、図１のヒータユニットの主要部を拡大して示す図である。FIG. 3 is an enlarged view of the main part of the heater unit of FIG. 図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 図５は、図３のＶ－Ｖ線に沿う断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view along line VV of FIG. 図６は、変形例の主要部の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of the main part of the modification.

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。 EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, it demonstrates, referring drawings for the form for implementing this invention.

図１は、本発明の一実施形態にかかる熱処理装置１の主要部の模式的な断面図である。図２は、熱処理装置１のヒータユニット３の主要部を模式的に示す斜視図である。図３は、図１のヒータユニット３の主要部を拡大して示す図である。図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。図５は、図３のＶ－Ｖ線に沿う断面図である。 FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of main parts of a heat treatment apparatus 1 according to one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view schematically showing main parts of the heater unit 3 of the heat treatment apparatus 1. As shown in FIG. FIG. 3 is an enlarged view of the main part of the heater unit 3 of FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view along line VV of FIG.

図１～図５を参照して、熱処理装置１は、被処理物１００に熱処理を施すために設けられている。本実施形態では、熱処理装置１は、半導体製造用の熱処理装置であり、円板状の被処理物１００に酸化処理・拡散処理などを施すことが可能に構成されている。熱処理装置１は、例えば、工場のクリーンルームに設置される。なお、熱処理装置１は、半導体以外の部品の製造に用いられてもよく、例えば、電子部品や金属部品の製造に用いられてもよい。 Referring to FIGS. 1 to 5, heat treatment apparatus 1 is provided for heat-treating an object 100 to be treated. In this embodiment, the heat treatment apparatus 1 is a heat treatment apparatus for manufacturing semiconductors, and is configured to be able to perform oxidation treatment, diffusion treatment, and the like on a disc-shaped workpiece 100 . The heat treatment apparatus 1 is installed, for example, in a clean room of a factory. Note that the heat treatment apparatus 1 may be used for manufacturing parts other than semiconductors, and may be used for manufacturing electronic parts and metal parts, for example.

熱処理装置１は、断熱体２と、断熱体２に保持されたヒータユニット３と、断熱体２内の空間２ａに収容されたチューブ４と、を有している。 A heat treatment apparatus 1 includes a heat insulator 2 , a heater unit 3 held by the heat insulator 2 , and a tube 4 housed in a space 2 a within the heat insulator 2 .

断熱体２は、熱処理装置１の筐体である。断熱体２は、セラミック等の断熱素材を用いて形成されており、熱処理装置１の外殻部を構成している。断熱体２は、下端部が開口され且つ内部が中空の形状に形成されている。 The heat insulator 2 is the housing of the heat treatment apparatus 1 . The heat insulator 2 is made of a heat insulating material such as ceramic, and constitutes the outer shell of the heat treatment apparatus 1 . The heat insulator 2 has an open bottom end and a hollow interior.

チューブ４は、例えば石英を主成分として形成されており、断熱体２によって周囲を取り囲まれている。チューブ４は、図示しない支持部材によって支持されている。チューブ４は、筒状に形成されているとともに閉じられた上端部を有している。チューブ４は、被処理物１００を熱処理するための熱処理室５を形成している。チューブ４の下端部は、下方に開口されており、ボート６をチューブ４に出し入れ可能に構成されている。ボート６には、被処理物１００が載せられる。 The tube 4 is made mainly of quartz, for example, and is surrounded by the heat insulator 2 . The tube 4 is supported by a support member (not shown). The tube 4 is cylindrically formed and has a closed upper end. The tube 4 forms a heat treatment chamber 5 for heat-treating the object 100 to be treated. A lower end of the tube 4 is opened downward so that the boat 6 can be taken in and out of the tube 4 . An object 100 to be processed is placed on the boat 6 .

ヒータユニット３は、熱処理室５内の雰囲気を加熱するために設けられている。ヒータユニット３は、断熱体２に複数設置されており、断熱体２に支持されている。ヒータユニット３は、断熱体２の周方向に複数（例えば、２つ）配置されているとともに、上下方向に１または複数配置されている。各ヒータユニット３の構成は同様であるので、以下では、１つのヒータユニット３の構成を説明する。 A heater unit 3 is provided to heat the atmosphere in the heat treatment chamber 5 . A plurality of heater units 3 are installed on the heat insulator 2 and supported by the heat insulator 2 . A plurality (for example, two) of the heater units 3 are arranged in the circumferential direction of the heat insulator 2, and one or a plurality of the heater units 3 are arranged in the vertical direction. Since the configuration of each heater unit 3 is the same, the configuration of one heater unit 3 will be described below.

ヒータユニット３は、モリブデンを含む材料で形成された一対の端子１１Ａ，１１Ｂを含むヒータ１０と、端子１１Ａ，１１Ｂの少なくとも一部を覆うヒータ端子カバー５０と、を有している。 The heater unit 3 has a heater 10 including a pair of terminals 11A and 11B made of a material containing molybdenum, and a heater terminal cover 50 covering at least part of the terminals 11A and 11B.

ヒータ１０は、チューブ４の内の熱処理室５を加熱するために設けられている。ヒータ１０は、二珪化モリブデンヒータである。本実施形態では、ヒータ１０の最高温度は、約１４００℃程度である。ヒータ１０として二珪化モリブデンヒータを用いることにより、チューブ４内の雰囲気を迅速に加熱可能である。本実施形態では、ヒータ１０は、左右対称（図４の左右方向に対称）に形成されている。ヒータ１０は、本実施形態では、細長い形状に形成されており、ヒータ１０の長手方向と直交する断面において、円形状に形成されている。なお、ヒータ１０は、扁平な板状に形成されていてもよく、ヒータ１０の具体的な断面形状は限定されない。 A heater 10 is provided to heat the heat treatment chamber 5 inside the tube 4 . Heater 10 is a molybdenum disilicide heater. In this embodiment, the maximum temperature of the heater 10 is approximately 1400.degree. By using a molybdenum disilicide heater as the heater 10, the atmosphere inside the tube 4 can be rapidly heated. In this embodiment, the heater 10 is formed symmetrically (symmetrical in the left-right direction in FIG. 4). In this embodiment, the heater 10 is formed in an elongated shape, and is formed in a circular shape in a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the heater 10 . Note that the heater 10 may be formed in a flat plate shape, and the specific cross-sectional shape of the heater 10 is not limited.

ヒータ１０は、二珪化モリブデンを主成分として形成された本体部１２と、本体部１２の一対の端部のそれぞれに形成された金属部１３，１３と、を有している。本体部１２は、細長い軸状に形成されている。各金属部１３，１３は、例えばアルミニウム合金等の導電部材である。そして、これらの本体部１２および金属部１３，１３によって、ヒータ１０に、発熱部１４と、一対の端子１１Ａ，１１Ｂと、が形成されている。すなわち、ヒータ１０は、発熱部１４と、一対の端子１１Ａ，１１Ｂと、を有している。 The heater 10 has a body portion 12 mainly composed of molybdenum disilicide, and metal portions 13, 13 formed at a pair of ends of the body portion 12, respectively. The body portion 12 is formed in an elongated shaft shape. Each metal part 13, 13 is a conductive member such as an aluminum alloy. The body portion 12 and the metal portions 13, 13 form the heater 10 with a heat generating portion 14 and a pair of terminals 11A, 11B. That is, the heater 10 has a heating portion 14 and a pair of terminals 11A and 11B.

発熱部１４は、ヒータ１０に電力が供給されたときに発熱する部分である。発熱部１４は、本体部１２の一部であり、断熱体２内の空間２ａに配置されている。本実施形態では、発熱部１４は、本実施形態では、Ｕ字状に形成されている。なお、発熱部１４の形状は、波形状等の他の形状であってもよく、具体的な形状は限定されない。本実施形態では、発熱部１４の直径は、一対の端子１１Ａ，１１Ｂの直径よりも小さい。発熱部１４の一対の端部に一対の端子１１Ａ，１１Ｂが連続している。 The heat generating portion 14 is a portion that generates heat when power is supplied to the heater 10 . The heat generating portion 14 is a part of the body portion 12 and is arranged in the space 2a inside the heat insulator 2 . In this embodiment, the heat generating portion 14 is formed in a U shape. In addition, the shape of the heat generating portion 14 may be another shape such as a wave shape, and the specific shape is not limited. In this embodiment, the diameter of the heating portion 14 is smaller than the diameter of the pair of terminals 11A and 11B. A pair of terminals 11A and 11B are connected to a pair of ends of the heat generating portion 14 .

各端子１１Ａ，１１Ｂは、断熱体２内の空間２ａにおいて断熱体２の内壁面２ｄに沿って延び発熱部１４に接続された接続部１６と、断熱体２内の空間２ａにおいて発熱部１４から遠ざかるに従い断熱体２の外側に向かって曲がった湾曲部１７と、この湾曲部１７に連続し断熱体２の外側に向けて延びる延伸部１８と、を有している。なお、図１、図３において、端子１１Ｂは、図示を省略されているが、端子１１Ａと左右対称（図１、図３の紙面に直交する方向に対称）な形状である。接続部１６は、上下方向に延びていてもよいし、水平方向に延びていてもよいし、上下方向および水平方向の双方に延びていてもよい。延伸部１８は、本実施形態では、直線状に延びており、好ましくは水平に延びている。 Each of the terminals 11A and 11B extends along the inner wall surface 2d of the heat insulator 2 in the space 2a inside the heat insulator 2 and is connected to the heat generating portion 14. It has a curved portion 17 that curves toward the outside of the heat insulator 2 as it goes away, and an extension portion 18 that continues to the curved portion 17 and extends toward the outside of the heat insulator 2 . Although not shown in FIGS. 1 and 3, the terminal 11B has a shape that is symmetrical to the terminal 11A (symmetrical in the direction perpendicular to the paper surface of FIGS. 1 and 3). The connecting portion 16 may extend in the vertical direction, may extend in the horizontal direction, or may extend in both the vertical direction and the horizontal direction. The extending portion 18 extends linearly, preferably horizontally, in this embodiment.

接続部１６および湾曲部１７は、二珪化モリブデンを主成分とする本体部１２によって形成されている。また、延伸部１８の大部分は本体部１２によって形成されており、且つ、延伸部１８の残りの一部である端子端部２２が、本体部１２および金属部１３，１３によって形成されている。換言すれば、延伸部１８は、本体部１２によって形成された延伸部本体２１と、本体部１２および金属部１３，１３によって形成された端子端部２２と、を有している。 The connecting portion 16 and the curved portion 17 are formed by the body portion 12 whose main component is molybdenum disilicide. Most of the extending portion 18 is formed by the body portion 12, and a terminal end portion 22, which is the remaining portion of the extending portion 18, is formed by the body portion 12 and the metal portions 13, 13. . In other words, the extension portion 18 has an extension portion body 21 formed by the body portion 12 and terminal end portions 22 formed by the body portion 12 and the metal portions 13 , 13 .

延伸部本体２１の大部分は、断熱体２に形成された貫通孔部２ｂ内に配置されており、断熱体２によって支持されている。延伸部本体２１の一部は、断熱体２の外側に配置されて断熱体２から露出する露出部２３とされている。そして、延伸部本体２１の露出部２３の一部は、ヒータ端子カバー５０によって覆われている。延伸部本体２１の突出部２３に、端子端部２２が連続している。 Most of the extension main body 21 is arranged in the through hole 2 b formed in the heat insulator 2 and supported by the heat insulator 2 . A portion of the extended portion main body 21 is an exposed portion 23 arranged outside the heat insulator 2 and exposed from the heat insulator 2 . A portion of the exposed portion 23 of the extension portion main body 21 is covered with a heater terminal cover 50 . The terminal end portion 22 is continuous with the projecting portion 23 of the extension portion main body 21 .

一対の端子１１Ａ，１１Ｂの各端子端部２２には、バスバー２４が接続されている。本実施形態では、バスバー２４には絶縁素材製のカバー２５が被せられている。一対の端子１１Ａ，１１Ｂは、バスバー２４等を用いて電源（図示せず）と電気的に接続されている。 A bus bar 24 is connected to each terminal end portion 22 of the pair of terminals 11A and 11B. In this embodiment, the bus bar 24 is covered with a cover 25 made of an insulating material. A pair of terminals 11A and 11B are electrically connected to a power supply (not shown) using a bus bar 24 or the like.

上記の構成を有するヒータ１０において、一対の端子１１Ａ，１１Ｂの各露出部２３のうち、断熱体２寄りの部分は、発熱部１４が発熱しているときにおいて、約３５０℃～６００℃の温度となる。この温度域では、本体部１２の二珪化モリブデンの酸化が促進されて二珪化モリブデンの粉化が生じやすい。一方で、本体部１２の温度が上記酸化し易い温度であっても、本体部１２の周囲を低酸素雰囲気にすることで、本体部１２の粉化を抑制できる。ヒータ端子カバー５０は、本体部１２の各露出部２３の周囲に不活性ガスを供給することで、各露出部２３の周囲を低酸素雰囲気にする。不活性ガスとして、窒素ガスを例示できる。なお、端子１１Ａ，１１Ｂのうち粉化が生じる温度となる部分を低酸素雰囲気にすることが可能であれば、窒素ガス以外のガスであってもよく、具体的なガスの種類は限定されない。 In the heater 10 having the above configuration, the portion near the insulator 2 among the exposed portions 23 of the pair of terminals 11A and 11B has a temperature of about 350° C. to 600° C. when the heat generating portion 14 is generating heat. becomes. In this temperature range, the oxidation of the molybdenum disilicide in the main body 12 is accelerated, and the molybdenum disilicide tends to be pulverized. On the other hand, even if the temperature of the body portion 12 is the temperature at which the body portion 12 is easily oxidized, powdering of the body portion 12 can be suppressed by creating a low-oxygen atmosphere around the body portion 12 . The heater terminal cover 50 supplies an inert gas around each exposed portion 23 of the main body portion 12 to create a low-oxygen atmosphere around each exposed portion 23 . Nitrogen gas can be exemplified as an inert gas. Gases other than nitrogen gas may be used as long as the portions of the terminals 11A and 11B that reach the temperature at which pulverization occurs can be made into a low-oxygen atmosphere, and the specific type of gas is not limited.

前述したように、ヒータ端子カバー５０は、端子１１Ａ，１１Ｂのうち断熱体２の外側に配置されている露出部２３の一部を覆うように配置されている。ヒータ端子カバー５０は、断熱体２の外壁面２ｃに沿わされており、本実施形態では、断熱体２に固定されている。ヒータ端子カバー５０は、一対の端子１１Ａ，１１Ｂそれぞれの露出部２３，２３の周囲を取り囲む中空のブロック形状に形成されている。 As described above, the heater terminal cover 50 is arranged so as to partially cover the exposed portions 23 of the terminals 11A and 11B that are arranged outside the heat insulator 2 . The heater terminal cover 50 extends along the outer wall surface 2c of the heat insulator 2 and is fixed to the heat insulator 2 in this embodiment. The heater terminal cover 50 is formed in a hollow block shape surrounding the exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B.

ヒータ端子カバー５０は、本体５１と、本体５１に保持された絶縁体５２，５２と、シール部材５３と、シール部材５３を本体５１に取り付けるための押さえ部材５４と、を有している。 The heater terminal cover 50 has a main body 51 , insulators 52 and 52 held by the main body 51 , a seal member 53 , and a pressing member 54 for attaching the seal member 53 to the main body 51 .

本体５１は、本実施形態では、ステンレス鋼等の金属材を用いて形成されており、導電性材料で形成されているといえる。本体５１は、断熱体２の外壁面２ｃに沿わされている。本体５１は、各露出部２３を収容する容器状に形成されている。本実施形態では、本体５１は、金属板を板金加工等することで形成されている。 In this embodiment, the main body 51 is made of a metal material such as stainless steel, and can be said to be made of a conductive material. The body 51 extends along the outer wall surface 2 c of the heat insulator 2 . The main body 51 is formed in a container shape that accommodates each exposed portion 23 . In this embodiment, the main body 51 is formed by performing sheet metal processing on a metal plate.

本体５１は、一対の側壁としての第１側壁５５および第２側壁５６と、第１側壁５５と第２側壁５６との間に配置された外周壁部５７および筒状部５８，５８と、を有している。 The main body 51 includes a first side wall 55 and a second side wall 56 as a pair of side walls, and an outer peripheral wall portion 57 and cylindrical portions 58, 58 disposed between the first side wall 55 and the second side wall 56. have.

第１側壁５５および第２側壁５６は、本実施形態では、互いに平行に配置されている。第１側壁５５は、断熱体２の外壁面２ｃの例えば平坦部分に沿わされており、第２側壁５６は、断熱体２から離隔する方向に向けて第１側壁５５から所定距離離隔している。本実施形態では、第１側壁５５および第２側壁５６は、矩形の板状に形成されている。一対の端子１１Ａ，１１Ｂの互いに平行な露出部２３，２３の長手方向から見て、第２側壁５６の形状は、第１側壁５５の形状よりも大きい。第１側壁５５には、一対の端子１１Ａ，１１Ｂが貫通する一対の貫通孔部５５ａ，５５ａが形成されている。同様に、第２側壁５６には、一対の端子１１Ａ，１１Ｂが貫通する一対の貫通孔部５６ａ，５６ａが形成されている。 The first side wall 55 and the second side wall 56 are arranged parallel to each other in this embodiment. The first side wall 55 runs along, for example, a flat portion of the outer wall surface 2c of the heat insulator 2, and the second side wall 56 is separated from the first side wall 55 by a predetermined distance in a direction away from the heat insulator 2. . In this embodiment, the first side wall 55 and the second side wall 56 are formed in a rectangular plate shape. The shape of the second side wall 56 is larger than the shape of the first side wall 55 when viewed from the longitudinal direction of the mutually parallel exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B. The first side wall 55 is formed with a pair of through holes 55a, 55a through which the pair of terminals 11A, 11B pass. Similarly, the second side wall 56 is formed with a pair of through holes 56a, 56a through which the pair of terminals 11A, 11B pass.

外周壁部５７は、第１側壁５５と第２側壁５６とに接続されている。外周壁部５７は、環状に形成されており、本実施形態では、四角柱状に形成されている。なお、外周壁部５７は、矩形以外の多角形の筒状に形成されていてもよいし、円筒状または楕円形状に形成されていてもよい。外周壁部５７の一端は、第１側壁５５の外周縁部に連続している。外周壁部５７の他端は、第２側壁５６のうち第２側壁５６の外周縁部に対して内側部分に固定されている。これにより、第２側壁５６においては、外周壁部５７の外側に突出している部分が、フランジ５６ｂとなっている。外周壁部５７は、筒状部５８，５８の外周部を取り囲むように配置されている。 The outer peripheral wall portion 57 is connected to the first side wall 55 and the second side wall 56 . The outer peripheral wall portion 57 is formed in an annular shape, and in this embodiment, it is formed in a quadrangular prism shape. Note that the outer peripheral wall portion 57 may be formed in a polygonal tubular shape other than a rectangular shape, or may be formed in a cylindrical or elliptical shape. One end of the outer peripheral wall portion 57 is continuous with the outer peripheral edge portion of the first side wall 55 . The other end of the outer peripheral wall portion 57 is fixed to the inner portion of the second side wall 56 with respect to the outer peripheral edge portion of the second side wall 56 . As a result, the portion of the second side wall 56 that protrudes outward from the outer peripheral wall portion 57 serves as a flange 56b. The outer peripheral wall portion 57 is arranged so as to surround the outer peripheral portions of the cylindrical portions 58 , 58 .

筒状部５８，５８は、端子１１Ａ，１１Ｂにおける露出部２３，２３の外周部を全周に亘って取り囲むように構成されており、本実施形態では、一対の露出部２３，２３をそれぞれ取り囲むために一対設けられている。各筒状部５８は、第１側壁５５と第２側壁５６とに接続されている。各筒状部５８は、本実施形態では、円筒状に形成されている。なお、各筒状部５８は、端子１１Ａ，１１Ｂの対応する露出部２３，２３の外周部を取り囲む形状に形成されていればよく、円筒以外の多角形の筒状に形成されていてもよいし、楕円形状に形成されていてもよい。各筒状部５８の一端は、第１側壁５５の対応する貫通孔部５５ａ，５５ａに連続している。各筒状部５８の他端は、第２側壁５６の対応する貫通孔部５６ａ，５６ａに連続している。各筒状部５８は、外周壁部５７に取り囲まれるように配置されているとともに、一対の端子１１Ａ，１１Ｂの対応する露出部２３，２３の周囲を全周に亘って取り囲んでいる。 The cylindrical portions 58, 58 are configured to surround the entire periphery of the exposed portions 23, 23 of the terminals 11A, 11B. A pair is provided for this purpose. Each tubular portion 58 is connected to the first side wall 55 and the second side wall 56 . Each tubular portion 58 is formed in a cylindrical shape in this embodiment. Each tubular portion 58 may be formed in a shape surrounding the outer peripheral portions of the corresponding exposed portions 23, 23 of the terminals 11A, 11B, and may be formed in a polygonal tubular shape other than a cylinder. and may be formed in an elliptical shape. One end of each tubular portion 58 is continuous with the corresponding through-hole portions 55a, 55a of the first side wall 55 . The other end of each tubular portion 58 is continuous with the corresponding through-hole portions 56a, 56a of the second side wall 56 . Each tubular portion 58 is arranged so as to be surrounded by the outer peripheral wall portion 57 and surrounds the corresponding exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B over the entire circumference.

上記の構成により、本体５１の第１側壁５５、第２側壁５６、外周壁部５７、および、一対の筒状部５８，５８が、チャンバ５９を構成している。チャンバ５９は、第１側壁５５、第２側壁５６、外周壁部５７、および、一対の筒状部５８，５８で囲まれた空間を形成しており、このチャンバ５９内に不活性ガスが供給される。より具体的には、本体５１にポート６０が形成されている。ポート６０は外周壁部５７と筒状部５８，５８との間の空間、すなわち、チャンバ５９内に不活性ガスを供給するために設けられており、本実施形態では、外周壁部５７に形成されている。なお、ポート６０は、第２側壁５６等、本体５１の他の部材に形成されていてもよい。 With the above configuration, the first side wall 55 , the second side wall 56 , the outer peripheral wall portion 57 and the pair of cylindrical portions 58 , 58 of the main body 51 constitute the chamber 59 . The chamber 59 forms a space surrounded by a first side wall 55, a second side wall 56, an outer peripheral wall portion 57, and a pair of cylindrical portions 58, 58, and inert gas is supplied into the chamber 59. be done. More specifically, a port 60 is formed in body 51 . The port 60 is provided to supply an inert gas into the space between the outer peripheral wall portion 57 and the cylindrical portions 58, 58, that is, the chamber 59. In this embodiment, the port 60 is formed in the outer peripheral wall portion 57. It is Note that the port 60 may be formed in another member of the main body 51 such as the second side wall 56 .

ポート６０は、本体５１に形成された貫通孔部を含んでおり、ポート６０に不活性ガス供給管６３が接続されている。不活性ガス供給管６３は、不活性ガスが貯められたガスボンベ等の不活性ガス供給源（図示せず）に接続されている。不活性ガスは、不活性ガス供給源から不活性ガス供給管６３を通してチャンバ５９内に導入される。チャンバ５９内の不活性ガスは、本体５１の各筒状部５８に形成されたノズル６１、および、各絶縁体５２，５２に形成されたノズル６２を通して、一対の端子１１Ａ，１１Ｂの露出部２３，２３の周囲、すなわち、絶縁体５２，５２の内側空間６４，６４に供給される。不活性ガスの流れを、図において矢印Ｆで示している。 The port 60 includes a through-hole formed in the main body 51 and an inert gas supply pipe 63 is connected to the port 60 . The inert gas supply pipe 63 is connected to an inert gas supply source (not shown) such as a gas cylinder storing inert gas. Inert gas is introduced into chamber 59 from an inert gas supply source through inert gas supply pipe 63 . The inert gas in the chamber 59 passes through the nozzles 61 formed in each cylindrical portion 58 of the main body 51 and the nozzles 62 formed in each insulator 52, 52 to the exposed portions 23 of the pair of terminals 11A, 11B. , 23, i.e., in the inner spaces 64, 64 of the insulators 52, 52. The flow of inert gas is indicated by arrows F in the figure.

ノズル６１は、各筒状部５８内（内側空間６４）に向けて不活性ガスを供給するために設けられている。ノズル６１は、対応する筒状部５８，５８の径方向に沿って形成されており、対応する筒状部５８，５８を貫通している。ノズル６１は、各筒状部５８に少なくとも１つ形成されている。本実施形態では、ノズル６１は、各筒状部５８において、筒状部５８の周方向に沿って互いに離隔して複数形成されており、好ましくは、筒状部５８の周方向に等ピッチに複数形成されている。各筒状部５８におけるノズル６１の数は、例えば２，３または４（本実施形態では、４）であり、例えば５以上である。 The nozzle 61 is provided to supply an inert gas toward the interior of each cylindrical portion 58 (inner space 64). The nozzle 61 is formed along the radial direction of the corresponding cylindrical portions 58 , 58 and penetrates the corresponding cylindrical portions 58 , 58 . At least one nozzle 61 is formed in each cylindrical portion 58 . In this embodiment, a plurality of nozzles 61 are formed in each cylindrical portion 58 so as to be spaced apart from each other along the circumferential direction of the cylindrical portion 58 , preferably at equal pitches in the circumferential direction of the cylindrical portion 58 . Multiple are formed. The number of nozzles 61 in each tubular portion 58 is, for example, 2, 3, or 4 (4 in this embodiment), and is, for example, 5 or more.

各ノズル６１は、対応する筒状部５８，５８の径方向に見て例えば円形に形成されている。各ノズル６１の直径は、特に限定されない。本実施形態では、露出部２３の軸方向におけるノズル６１の位置は、各筒状部５８の中央であるが、各筒状部５８の中央でなくてもよい。各筒状部５８の径方向内方に、筒状の絶縁体５２が配置されている。 Each nozzle 61 is, for example, circular when viewed in the radial direction of the corresponding cylindrical portions 58 , 58 . The diameter of each nozzle 61 is not particularly limited. In the present embodiment, the position of the nozzle 61 in the axial direction of the exposed portion 23 is the center of each cylindrical portion 58 , but it does not have to be the center of each cylindrical portion 58 . A cylindrical insulator 52 is arranged radially inward of each cylindrical portion 58 .

絶縁体５２，５２は、本体５１と端子１１Ａ，１１Ｂとが短絡することを防止するために設けられている。各絶縁体５２は、本実施形態では、石英で形成されている。絶縁体５２，５２は、対応する筒状部５８，５８の内周面の形状に沿った形状に形成されており、本実施形態では、円筒状に形成されている。 The insulators 52, 52 are provided to prevent a short circuit between the main body 51 and the terminals 11A, 11B. Each insulator 52 is made of quartz in this embodiment. The insulators 52, 52 are formed in a shape along the shape of the inner peripheral surface of the corresponding cylindrical portions 58, 58, and are formed in a cylindrical shape in this embodiment.

本実施形態では、絶縁体５２，５２の内周面と対応する端子１１Ａ，１１Ｂの露出部２３，２３との距離Ｄ１は、露出部２３，２３の直径Ｄ２以下である。この距離Ｄ１は、露出部２３，２３の直径Ｄ２の３倍以下程度であることが好ましい。距離Ｄ１の上限をこのように設定することで、絶縁体５２，５２と対応する露出部２３，２３との間の空間（不活性ガスが供給される内側空間６４，６４）を小さくしつつ、二珪化モリブデンの粉化が生じる温度域の露出部２３，２３の周囲の空間、すなわち、絶縁体５２，５２の内側空間６４，６４に十分な量の不活性ガスを供給できる。 In this embodiment, the distance D1 between the inner peripheral surfaces of the insulators 52 and 52 and the exposed portions 23 and 23 of the corresponding terminals 11A and 11B is equal to or less than the diameter D2 of the exposed portions 23 and 23 . This distance D1 is preferably about three times or less the diameter D2 of the exposed portions 23,23. By setting the upper limit of the distance D1 in this way, the spaces between the insulators 52, 52 and the corresponding exposed portions 23, 23 (the inner spaces 64, 64 to which the inert gas is supplied) can be reduced while A sufficient amount of inert gas can be supplied to the spaces around the exposed portions 23, 23 in the temperature range where molybdenum disilicide is pulverized, that is, the inner spaces 64, 64 of the insulators 52, 52.

ノズル６２は、ノズル６１と協働して各露出部２３，２３に向けて不活性ガスを供給するために設けられている。ノズル６２は、対応する絶縁体５２，５２の径方向に沿って形成されており、対応する絶縁体５２，５２を貫通している。各絶縁体５２のノズル６２の数は、対応する筒状部５８，５８のノズル６１の数と同じである。各絶縁体５２のノズル６２は、対応する筒状部５８，５８のノズル６１と対応する筒状部５８，５８の径方向に並んで配置されている。各ノズル６２は、対応する絶縁体５２，５２の径方向に見て例えば円形に形成されている。なお、各ノズル６２の直径は、特に限定されない。 A nozzle 62 is provided to supply inert gas toward the exposed portions 23 , 23 in cooperation with the nozzle 61 . The nozzles 62 are formed along the radial direction of the corresponding insulators 52 , 52 and penetrate the corresponding insulators 52 , 52 . The number of nozzles 62 on each insulator 52 is the same as the number of nozzles 61 on the corresponding tubular portion 58,58. The nozzles 62 of each insulator 52 are arranged side by side in the radial direction of the corresponding tubular portions 58 , 58 with the nozzles 61 of the corresponding tubular portions 58 , 58 . Each nozzle 62 is, for example, circular when viewed in the radial direction of the corresponding insulators 52 , 52 . Note that the diameter of each nozzle 62 is not particularly limited.

上記の構成により、チャンバ５９内の不活性ガスは、ノズル６１，６２を通して一対の端子１１Ａ，１１Ｂの露出部２３，２３の周囲、すなわち、絶縁体５２，５２の内側空間６４，６４に供給される。チャンバ５９の一端部は、断熱体２の外壁面２ｃに沿わされている。一方、チャンバ５９の他端部には、シール部材５３が配置されている。すなわち、本体５１における筒状部５８，５８の軸方向一端側部分としての第１側壁５５は、ヒータ端子カバー５０が取り付けられる断熱体２と向かい合うように構成されている。一方、シール部材５３は、筒状部５８，５８の軸方向他端側部分に配置されている。 With the above configuration, the inert gas in the chamber 59 is supplied through the nozzles 61, 62 to the surroundings of the exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B, that is, the inner spaces 64, 64 of the insulators 52, 52. be. One end of the chamber 59 runs along the outer wall surface 2 c of the heat insulator 2 . On the other hand, a sealing member 53 is arranged at the other end of the chamber 59 . That is, the first side wall 55 as one axial end portion of the tubular portions 58, 58 in the main body 51 is configured to face the heat insulator 2 to which the heater terminal cover 50 is attached. On the other hand, the seal member 53 is arranged at the other axial end portion of the cylindrical portions 58 , 58 .

シール部材５３は、本体５１と端子１１Ａ，１１Ｂの露出部２３，２３との間を塞ぐ。シール部材５３は、本体５１と露出部２３，２３との間について、気密的に封止してもよいし、ヒータ端子カバー５０内での不活性ガスの流動を促進するために隙間を設けてもよい。シール部材５３は、６００℃以上の耐熱温度を有する部材であり、本実施形態では、セラミッククロスであり、可撓性を有するシートである。 The sealing member 53 closes the space between the main body 51 and the exposed portions 23, 23 of the terminals 11A, 11B. The sealing member 53 may hermetically seal the space between the main body 51 and the exposed portions 23 , 23 , or a gap may be provided to facilitate the flow of the inert gas within the heater terminal cover 50 . good too. The sealing member 53 is a member having a heat resistance temperature of 600° C. or more, and is a ceramic cloth and a flexible sheet in this embodiment.

シール部材５３は、第２側壁５６の外側面に沿わされている。シール部材５３には、一対の貫通孔部５３ａ，５３ａが形成されている。一対の貫通孔部５３ａ，５３ａには、一対の端子１１Ａ，１１Ｂの露出部２３，２３がそれぞれ貫通している。各貫通孔部５３ａは、対応する露出部２３，２３の外周面と露出部２３，２３の周方向全域に亘って接触していることが好ましい。シール部材５３は、第２側壁５６と押さえ部材５４との間に配置されている。 The seal member 53 runs along the outer surface of the second side wall 56 . The sealing member 53 is formed with a pair of through holes 53a, 53a. The exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B penetrate through the pair of through hole portions 53a, 53a, respectively. Each through-hole portion 53a is preferably in contact with the outer peripheral surface of the corresponding exposed portion 23, 23 over the entire circumferential direction of the exposed portion 23, 23. As shown in FIG. The sealing member 53 is arranged between the second side wall 56 and the pressing member 54 .

押さえ部材５４は、シール部材５３を本体５１に取り付けるために設けられている。押さえ部材５４は、シール部材５３を本体５１に押さえ付けている。押さえ部材５４は、例えば本体５１の素材と同じ素材で形成されている。なお、押さえ部材５４の素材は、本体５１の素材と異なっていてもよい。押さえ部材５４は、実質的に剛体のプレートである。本実施形態では、押さえ部材５４は、矩形の板状に形成されている。なお、押さえ部材５４は、シール部材５３を第２側壁５６に押し付けることが可能な構成であればよく、具体的な形状は限定されない。 A pressing member 54 is provided for attaching the sealing member 53 to the main body 51 . The pressing member 54 presses the sealing member 53 against the main body 51 . The pressing member 54 is made of the same material as that of the main body 51, for example. Note that the material of the pressing member 54 may be different from that of the main body 51 . The pressing member 54 is a substantially rigid plate. In this embodiment, the pressing member 54 is formed in a rectangular plate shape. It should be noted that the pressing member 54 may have any configuration as long as it can press the sealing member 53 against the second side wall 56, and the specific shape thereof is not limited.

押さえ部材５４には、貫通孔部５４ａ，５４ａが形成されている。貫通孔部５４ａ，５４ａは、一対の端子１１Ａ，１１Ｂの露出部２３，２３が貫通する部分として、且つ、シール部材５３のうち貫通孔部５３ａ，５３ａの周囲の部分の撓み変形を許容するために設けられている。貫通孔部５４ａ，５４ａは、それぞれ、対応する貫通孔部５３ａ，５３ａに隣接しており、対応する貫通孔部５３ａ，５３ａの直径よりも大きい直径に形成されている。 The pressing member 54 is formed with through holes 54a, 54a. The through-holes 54a, 54a serve as portions through which the exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B pass, and also to allow flexural deformation of the portions of the seal member 53 around the through-holes 53a, 53a. is provided in The through-hole portions 54a, 54a are adjacent to the corresponding through-hole portions 53a, 53a, respectively, and are formed to have a diameter larger than the diameter of the corresponding through-hole portions 53a, 53a.

押さえ部材５４の外周部には、複数のシール固定部材６５が配置されている。シール固定部材６５は、例えばねじ部材である。本実施形態では、シール固定部材６５は、押さえ部材５４の四隅のそれぞれに配置されている。各シール固定部材６５は、押さえ部材５４およびシール部材５３を貫通するとともに、第２側壁５６のフランジ５６ｂに形成された雌ねじ部５６ｃにねじ結合している。これにより、押さえ部材５４は、シール部材５３を本体５１の第２側壁５６に取り付けているとともに、第２側壁５６に支持されている。 A plurality of seal fixing members 65 are arranged on the outer peripheral portion of the pressing member 54 . The seal fixing member 65 is, for example, a screw member. In this embodiment, the seal fixing member 65 is arranged at each of the four corners of the pressing member 54 . Each seal fixing member 65 passes through the pressing member 54 and the seal member 53 and is screwed to a female threaded portion 56c formed on the flange 56b of the second side wall 56. As shown in FIG. Thereby, the pressing member 54 attaches the sealing member 53 to the second side wall 56 of the main body 51 and is supported by the second side wall 56 .

また、押さえ部材５４の外周部には、複数の本体固定部材６６が配置されている。本体固定部材６６は、例えばねじ部材である。本実施形態では、本体固定部材６６は、押さえ部材５４の左右方向中央に上下一対配置されている。各本体固定部材６６は、押さえ部材５４、シール部材５３および第２側壁５６のフランジ５６ｂを貫通し、さらに、例えば断熱体２に形成された雌ねじ部にねじ結合している。これにより、本体５１、シール部材５３、および、押さえ部材５４を含むヒータ端子カバー５０は、断熱体２に支持されている。 In addition, a plurality of main body fixing members 66 are arranged on the outer peripheral portion of the pressing member 54 . The body fixing member 66 is, for example, a screw member. In this embodiment, a pair of upper and lower body fixing members 66 are arranged at the center of the pressing member 54 in the left-right direction. Each body fixing member 66 passes through the pressing member 54, the sealing member 53, and the flange 56b of the second side wall 56, and is screwed to a female threaded portion formed in the heat insulator 2, for example. Thereby, the heater terminal cover 50 including the main body 51 , the sealing member 53 and the pressing member 54 is supported by the heat insulator 2 .

上記の構成により、チャンバ５９内の不活性ガスは、ノズル６１，６２を通して絶縁体５２，５２の対応する内側空間６４，６４に供給され、主に、断熱体２側に向けて排出される。 With the above configuration, the inert gas in the chamber 59 is supplied to the corresponding inner spaces 64, 64 of the insulators 52, 52 through the nozzles 61, 62 and is mainly discharged toward the heat insulator 2 side.

以上説明したように、本実施形態によると、ノズル６１，６２からの不活性ガスが筒状部５８，５８内に供給されることで、端子１１Ａ，１１Ｂの露出部２３，２３の周辺の雰囲気を露出部２３，２３の全周に亘って不活性ガス雰囲気にできる。これにより、二珪化モリブデンの酸化に起因するペストの発生を抑制できる。しかも、筒状部５８，５８で囲まれた狭い内側空間６４，６４に不活性ガスが供給されるので、端子１１Ａ，１１Ｂの外周部のうち酸化し易い温度域部分（露出部２３，２３）へより確実に不活性ガスを供給できる。よって、二珪化モリブデンヒータ１０の粉化をより確実に抑制できる。さらに、筒状部５８，５８内の狭い内側空間６４，６４を不活性ガス雰囲気にすればよいので、不活性ガスの消費量を少なくできる。 As described above, according to the present embodiment, the inert gas from the nozzles 61 and 62 is supplied into the cylindrical portions 58 and 58, thereby changing the atmosphere around the exposed portions 23 and 23 of the terminals 11A and 11B. can be made an inert gas atmosphere over the entire periphery of the exposed portions 23 , 23 . This can suppress the generation of pest caused by the oxidation of molybdenum disilicide. Moreover, since the inert gas is supplied to the narrow inner spaces 64, 64 surrounded by the cylindrical portions 58, 58, the temperature range portions (exposed portions 23, 23) of the outer peripheral portions of the terminals 11A, 11B that are easily oxidized Inert gas can be more reliably supplied to the Therefore, pulverization of the molybdenum disilicide heater 10 can be suppressed more reliably. Furthermore, since the narrow inner spaces 64, 64 in the tubular portions 58, 58 can be filled with an inert gas atmosphere, the consumption of inert gas can be reduced.

また、本実施形態によると、ポート６０からの不活性ガスは、外周壁部５７と筒状部５８，５８との間に進み、さらに、ノズル６１，６２を通して筒状部５８，５８の内側空間６４，６４に供給される。外周壁部５７と筒状部５８，５８との間の空間は、不活性ガスのチャンバ空間として機能することができるので、ノズル６１，６２から筒状部５８，５８の内側空間６４，６４へ不活性ガスをより安定した流量で供給できる。 Further, according to this embodiment, the inert gas from the port 60 advances between the outer peripheral wall portion 57 and the cylindrical portions 58, 58, and further passes through the nozzles 61, 62 to the inner spaces of the cylindrical portions 58, 58. 64,64. Since the space between the outer peripheral wall portion 57 and the cylindrical portions 58, 58 can function as a chamber space for inert gas, the gas from the nozzles 61, 62 to the inner spaces 64, 64 of the cylindrical portions 58, 58 Inert gas can be supplied at a more stable flow rate.

また、本実施形態によると、ノズル６１，６２は、それぞれ、対応する筒状部５８，５８の周方向に沿って互いに離隔して複数形成されている。この構成によると、ノズル６１，６２から筒状部５８，５８の内側空間６４，６４に供給される不活性ガスを、ヒータ端子１１Ａ，１１Ｂの周方向においてより均等に供給できる。 Further, according to the present embodiment, the nozzles 61, 62 are formed in plurality along the circumferential direction of the corresponding cylindrical portions 58, 58, respectively, while being separated from each other. According to this configuration, the inert gas supplied from the nozzles 61, 62 to the inner spaces 64, 64 of the tubular portions 58, 58 can be supplied more uniformly in the circumferential direction of the heater terminals 11A, 11B.

また、本実施形態によると、筒状部５８は、一対の端子１１Ａ，１１Ｂをそれぞれ取り囲むために一対設けられており、外周壁部５７が一対の筒状部５８，５８を取り囲んでいる。この構成によると、一対の端子１１Ａ，１１Ｂのそれぞれの露出部２３，２３の周囲を、１つのヒータ端子カバー５０で不活性ガス雰囲気にできる。 Further, according to this embodiment, a pair of cylindrical portions 58 are provided to surround the pair of terminals 11A and 11B, respectively, and the outer peripheral wall portion 57 surrounds the pair of cylindrical portions 58 and 58. As shown in FIG. According to this configuration, the surroundings of the exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B can be made into an inert gas atmosphere with one heater terminal cover 50. FIG.

また、本実施形態によると、シール部材５３は、一対の端子１１Ａ，１１Ｂの露出部２３，２３と本体５１との間を塞いでいる。この構成によると、ヒータ端子カバー５０の外部から内側空間６４，６４に酸素が侵入することをより確実に抑制できる。 Further, according to this embodiment, the sealing member 53 closes the space between the main body 51 and the exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B. According to this configuration, it is possible to more reliably prevent oxygen from entering the inner spaces 64 , 64 from the outside of the heater terminal cover 50 .

また、本実施形態によると、本体５１における筒状部５８，５８の軸方向一端側部分である第１側壁５５は、ヒータ端子カバー５０が取り付けられる断熱体２と向かい合うように配置されており、且つ、シール部材５３は、筒状部５８，５８の軸方向他端側部分（第２側壁５６側部分）に配置されている。この構成によると、ヒータ端子カバー５０が取り付けられる高温部分から遠く温度が低い部分にシール部材５３を配置することで、シール部材５３への熱の負荷を小さくできる。また、第１側壁５５付近における筒状部５８，５８と一対の端子１１Ａ，１１Ｂの対応する露出部２３，２３との間の領域は、ヒータ端子カバー５０が取り付けられる断熱体２によって酸素の進入を抑制される。 Further, according to the present embodiment, the first side wall 55, which is one end portion in the axial direction of the cylindrical portions 58, 58 in the main body 51, is arranged to face the heat insulator 2 to which the heater terminal cover 50 is attached. In addition, the sealing member 53 is arranged at the other axial end portion (second side wall 56 side portion) of the cylindrical portions 58 , 58 . According to this configuration, the heat load on the seal member 53 can be reduced by arranging the seal member 53 in a portion with a low temperature far from the high temperature portion where the heater terminal cover 50 is attached. Oxygen enters the region between the cylindrical portions 58, 58 and the corresponding exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B in the vicinity of the first side wall 55 due to the heat insulator 2 to which the heater terminal cover 50 is attached. is suppressed.

また、本実施形態によると、本体５１は導電性材料で形成されており、筒状部５８，５８の径方向内方に筒状の絶縁体５２，５２が配置されている。この構成によると、本体５１を高い強度の材質（本実施形態では、ステンレス材）で形成しつつ、本体５１とヒータ端子１１Ａ，１１Ｂとの短絡をより確実に抑制できる。 Further, according to the present embodiment, the main body 51 is made of a conductive material, and the cylindrical insulators 52, 52 are arranged radially inward of the cylindrical portions 58, 58. As shown in FIG. According to this configuration, while the main body 51 is made of a high-strength material (stainless steel in this embodiment), short circuits between the main body 51 and the heater terminals 11A and 11B can be suppressed more reliably.

以上、本発明の実施形態について説明したけれども、本発明は上述の実施の形態に限られない。本発明は、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments. The present invention can be modified in various ways within the scope of the claims.

（１）上述の実施形態では、シール部材５３は、本体５１の第２側壁５６側に１つ設けられる形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。変形例の主要部の断面図である図６に示すように、シール部材５３は、本体５１の第２側壁５６側に加えて第１側壁５５側に設けられてもよい。第１側壁５５側のシール部材５３は、第１側壁５５と断熱体２との間に挟まれており、一対の貫通孔部５３ａ，５３ａに一対の端子１１Ａ，１１Ｂの対応する露出部２３，２３が通されている。この変形例によると、絶縁体５２，５２の内側空間６４，６４の軸方向両端を一対のシール部材５３，５３で塞ぐことができる。これにより、絶縁体５２，５２の内側空間６４，６４内の不活性ガスが外部に漏出する量をより少なくできる。よって、不活性ガスの消費量をより少なくできる。 (1) In the above-described embodiment, the sealing member 53 is provided on the side of the second side wall 56 of the main body 51 as an example. However, this need not be the case. As shown in FIG. 6, which is a cross-sectional view of the main part of the modification, the sealing member 53 may be provided on the first side wall 55 side in addition to the second side wall 56 side of the main body 51 . The sealing member 53 on the side of the first side wall 55 is sandwiched between the first side wall 55 and the heat insulator 2, and the pair of through holes 53a, 53a is provided with the corresponding exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B. 23 is passed. According to this modification, the axial ends of the inner spaces 64, 64 of the insulators 52, 52 can be closed with the pair of sealing members 53, 53. FIG. As a result, the amount of inert gas in the inner spaces 64, 64 of the insulators 52, 52 leaking to the outside can be further reduced. Therefore, the consumption of inert gas can be reduced.

（２）上述の実施形態では、ヒータ端子カバー５０が断熱体２に固定される形態を例に説明した。しかしながら、ヒータ端子カバー５０が設置される部材は限定されず、断熱体２以外の他の部材であってもよい。 (2) In the above-described embodiment, the heater terminal cover 50 is fixed to the heat insulator 2 as an example. However, the member on which the heater terminal cover 50 is installed is not limited, and may be a member other than the heat insulator 2 .

（３）上述の実施形態では、ヒータ１０の一対の端子１１Ａ，１１Ｂのうち露出部２３，２３の一部をヒータ端子カバー５０で取り囲む形態を例に説明した。しかしながら、ヒータ端子カバー５０は、ヒータ１０の一対の端子１１Ａ，１１Ｂの少なくとも一部の周囲を取り囲む構成であればよく、具体的な構成は限定されない。 (3) In the above embodiment, the heater terminal cover 50 surrounds a part of the exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B of the heater 10 as an example. However, the heater terminal cover 50 may have any structure as long as it surrounds at least part of the pair of terminals 11A and 11B of the heater 10, and the specific structure is not limited.

（４）上述の実施形態では、一対の端子１１Ａ，１１Ｂのそれぞれの露出部２３，２３を１つのヒータ端子カバー５０で取り囲む形態を例に説明した。しかしながら、端子１１Ａ，１１Ｂ毎にヒータ端子カバーを設けてもよい。この場合、１つのヒータ端子カバーが１つの端子を取り囲むように構成される。 (4) In the above-described embodiment, the configuration in which one heater terminal cover 50 surrounds the exposed portions 23, 23 of the pair of terminals 11A, 11B has been described as an example. However, a heater terminal cover may be provided for each of the terminals 11A and 11B. In this case, one heater terminal cover is configured to surround one terminal.

（５）上述の実施形態では、本体５１を導電性材料で形成するとともに、絶縁体５２，５２を設ける形態を例に説明した。しかしながら、絶縁体５２，５２を省略してもよい。絶縁体５２，５２が省略される場合、本体５１は、絶縁素材製であることが好ましい。 (5) In the above-described embodiment, the main body 51 is made of a conductive material and the insulators 52, 52 are provided. However, insulators 52, 52 may be omitted. If insulators 52, 52 are omitted, body 51 is preferably made of an insulating material.

（６）上述の実施形態では、各筒状部５８にノズル６１が形成される形態を例に説明した。しかしながら、ノズル６１は、各筒状部５８の内側空間６４に不活性ガスを供給できればよく、筒状部５８以外に形成されていてもよい。ノズル６１は、例えば、第２側壁５６から延び内側空間６４，６４において開口する配管で形成されていてもよく、具体的な形状は限定されない。 (6) In the above-described embodiment, the configuration in which the nozzles 61 are formed in each cylindrical portion 58 has been described as an example. However, the nozzles 61 only need to supply the inert gas to the inner space 64 of each tubular portion 58 and may be formed outside the tubular portion 58 . The nozzle 61 may be formed by, for example, a pipe extending from the second side wall 56 and opening at the inner spaces 64, 64, and the specific shape is not limited.

本発明は、ヒータ端子カバー、ヒータユニット、および、熱処理装置として適用できる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied as a heater terminal cover, a heater unit, and a heat treatment apparatus.

１ 熱処理装置
３ ヒータユニット
５ 熱処理室
１０ ヒータ
１１Ａ，１１Ｂ 端子
５０ ヒータ端子カバー
５１ 本体
５２ 絶縁体
５３ シール部材
５７ 外周壁部
５８ 筒状部
６０ ポート
６１ ノズル
１００ 被処理物
1 Heat Treatment Apparatus 3 Heater Unit 5 Heat Treatment Chamber 10 Heaters 11A, 11B Terminal 50 Heater Terminal Cover 51 Main Body 52 Insulator 53 Sealing Member 57 Outer Wall Part 58 Cylindrical Part 60 Port 61 Nozzle 100 Object to be Processed

Claims (9)

モリブデンを含む材料で形成された端子を含むヒータの前記端子の少なくとも一部を覆うヒータ端子カバーであって、
前記端子の外周部を全周に亘って取り囲むように構成された筒状部を有する本体と、
前記本体に形成され前記筒状部内に向けて不活性ガスを供給するためのノズルと、
を備えている、ヒータ端子カバー。 A heater terminal cover covering at least part of the terminals of a heater including terminals made of a material containing molybdenum,
a main body having a cylindrical portion configured to surround the entire outer peripheral portion of the terminal;
a nozzle formed in the main body for supplying an inert gas into the tubular portion;
heater terminal cover. 請求項１に記載のヒータ端子カバーであって、
前記本体は、前記ノズルが形成された前記筒状部と、前記筒状部の外周部を取り囲むように配置された外周壁部と、前記不活性ガスを前記外周壁部と前記筒状部との間に供給するためのポートと、を含んでいる、ヒータ端子カバー。 The heater terminal cover according to claim 1,
The main body includes the tubular portion in which the nozzle is formed, an outer peripheral wall portion arranged so as to surround the outer peripheral portion of the tubular portion, and the inert gas between the outer peripheral wall portion and the tubular portion. a port for feeding between and a heater terminal cover. 請求項２に記載のヒータ端子カバーであって、
前記ノズルは、前記筒状部の周方向に沿って互いに離隔して複数形成されている、ヒータ端子カバー。 The heater terminal cover according to claim 2,
The heater terminal cover, wherein a plurality of the nozzles are formed to be separated from each other along the circumferential direction of the cylindrical portion. 請求項２または請求項３に記載のヒータ端子カバーであって、
前記筒状部は、一対の前記端子をそれぞれ取り囲むために一対設けられており、
前記外周壁部が一対の前記筒状部を取り囲んでいる、ヒータ端子カバー。 The heater terminal cover according to claim 2 or 3,
a pair of the tubular portions are provided to surround the pair of terminals, respectively;
A heater terminal cover, wherein the outer peripheral wall portion surrounds the pair of cylindrical portions. 請求項１～請求項４の何れか１項に記載のヒータ端子カバーであって、
前記本体と前記端子との間を塞ぐシール部材をさらに備えている、ヒータ端子カバー。 The heater terminal cover according to any one of claims 1 to 4,
A heater terminal cover, further comprising a sealing member that seals between the main body and the terminal. 請求項５に記載のヒータ端子カバーであって、
前記本体における前記筒状部の軸方向一端側部分は、前記ヒータ端子カバーが取り付けられる部材と向かい合うように構成されており、
前記シール部材は、前記筒状部の軸方向他端側部分に配置されている、ヒータ端子カバー。 The heater terminal cover according to claim 5,
one axial end portion of the cylindrical portion of the main body is configured to face a member to which the heater terminal cover is attached,
The heater terminal cover, wherein the sealing member is arranged at the other axial end portion of the cylindrical portion. 請求項１～請求項６の何れか１項に記載のヒータ端子カバーであって、
前記本体は導電性材料で形成されており、
前記筒状部の径方向内方に筒状の絶縁体が配置されている、ヒータ端子カバー。 The heater terminal cover according to any one of claims 1 to 6,
the body is formed of a conductive material,
A heater terminal cover, wherein a tubular insulator is disposed radially inward of the tubular portion. モリブデンを含む材料で形成された端子を含むヒータと、
前記端子の少なくとも一部を覆う、請求項１～請求項７の何れか１項に記載のヒータ端子カバーと、
を備えている、ヒータユニット。 a heater including terminals formed of a material including molybdenum;
a heater terminal cover according to any one of claims 1 to 7, which covers at least part of the terminals;
Equipped with a heater unit. 被処理物を熱処理するための熱処理室と、
前記熱処理室内の雰囲気を加熱するための請求項８に記載のヒータユニットと、
を備えている、熱処理装置。 a heat treatment chamber for heat-treating an object to be treated;
a heater unit according to claim 8 for heating the atmosphere in the heat treatment chamber;
A heat treatment device.
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