JP2023016421A - 電子線照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[電子線照射装置の全体構成]
図1に示す本実施形態の電子線照射装置10は、走査型の電子線照射装置である。電子線照射装置10は、熱電子の放出を行う例えばタングステン製のフィラメント11を備えている。フィラメント11は、フィラメント用電源12からの電源供給に基づく自身の加熱により電子を放出する。フィラメント11は、加速管13の一端部に設けられている。なお、本実施形態の加速管13は、自身の軸L1方向の一端部側が上方に向けられて配置されている。
加速管13及びこれに付随して備えられる短絡装置40について説明する。なお、図2は加速管13及び短絡装置40を模式的に示し、図3~図6は加速管13及び短絡装置40の実構造を示している。
本実施形態の作用について説明する。
電子線照射装置10から出射される電子線eの出力調整において、最大出力とする場合、短絡装置40は、可動継手44を最も下端位置に配置する。この場合、接触ばね53が最も下端に位置するシールドリング31に接触していても、接触ばね53がシールドリング31に接触していなくてもよい。つまり、短絡装置40による加速電極14の短絡箇所は無く、全ての加速電極14が独立した異なる電位となるようにする。これにより、加速電極14の全てが電子線eを加速させるように機能し、生成される電子線eが最大出力となる。
本実施形態の効果について説明する。
(1)加速管13に付随して備えられる短絡装置40は、送りねじ機構41の送りねじ42の回転にて可動継手44を加速管13の軸L1方向に沿って移動させ、加速電極14を短絡するための第1及び第2導体45,50を進退させている。その軸L1方向の移動の際、可動継手44が送りねじ42の軸直交方向に振れた場合に、可動継手44に備えた第1~第3ガイド48,49,54が加速電極14及びシールドリング31のそれぞれに対して優先的に当接可能としている。つまり、各ガイド48,49,54のガイド機能を十分に発揮させることが可能となるため、可動継手44の移動時及び停止時の姿勢の安定化を図ることができる。これにより、短絡装置40による加速電極14を短絡させる動作を通じて、電子線照射装置10の信頼性向上を十分に期待することができる。
本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・上記実施形態では、第1及び第2導体45,50に可撓性を有する導体が用いられていたが、変形可能に組み立てられた導体、若しくは直線状の導体等を用いてもよい。
・上記実施形態では、送りねじ42に左ねじが用いられたが、一般的な右ねじを用いてもよい。
・上記実施形態では、加速管13の軸L1方向(この場合、送りねじ42の軸方向)が上下方向となるように配置したが、斜め方向又は水平方向に向けた配置としてもよい。
(イ)電子線を加速させる電界を生じさせるための複数の加速電極を軸方向に並設してなる加速管と、前記加速管の径方向外側において前記加速電極と対をなすように前記軸方向に複数並設され、対をなす前記加速電極とそれぞれ電気的に接続されてなるシールドリングとを備える電子線照射装置に備えられるものであり、
前記加速管と前記シールドリングとの間に配置され、その時々で前記電子線を加速させるように機能させる前記加速電極の数を変更すべく前記電子線の加速に不要となる前記加速電極を前記軸方向に進退する導体にて短絡させる、送りねじ機構を含む短絡装置であって、
前記送りねじ機構は、自身の軸方向が前記加速管の前記軸方向と平行となるように配置されて駆動源にて回転駆動される送りねじと、前記送りねじの回転にて前記軸方向に移動して前記導体を前記軸方向に進退させる可動部材とを備えるものであり、
前記可動部材が前記送りねじの軸直交方向に振れた場合に、前記加速電極及び前記シールドリングのそれぞれに対して自身が優先的に当接可能なガイド部材が前記可動部材に備えられている、
電子線照射装置の短絡装置。
13…加速管
14…加速電極
31…シールドリング
33…軸受
40…短絡装置
41…送りねじ機構
42…送りねじ
43…駆動モータ(駆動源)
44…可動継手(可動部材)
44b…凸条部
45…第1導体(導体)
48…第1ガイド(ガイド部材)
48a…先端部(当接可能な部位)
49…第2ガイド(ガイド部材)
49a…先端部(当接可能な部位)
50…第2導体(導体)
54…第3ガイド(ガイド部材)
54a…第1端部(当接可能な部位)
54b…第2端部(当接可能な部位)
e…電子線
L1…軸
X1…長さ
X2…長さ
Claims (5)
- 電子線を加速させる電界を生じさせるための複数の加速電極を軸方向に並設してなる加速管と、
前記加速管の径方向外側において前記加速電極と対をなすように前記軸方向に複数並設され、対をなす前記加速電極とそれぞれ電気的に接続されてなるシールドリングと、
前記加速管と前記シールドリングとの間に配置され、その時々で前記電子線を加速させるように機能させる前記加速電極の数を変更すべく前記電子線の加速に不要となる前記加速電極を前記軸方向に進退する導体にて短絡させる、送りねじ機構を含む短絡装置と
を備え、前記短絡装置の前記送りねじ機構の動作にて前記電子線の出力調整が行われる電子線照射装置であって、
前記短絡装置の前記送りねじ機構は、自身の軸方向が前記加速管の前記軸方向と平行となるように配置されて駆動源にて回転駆動される送りねじと、前記送りねじの回転にて前記軸方向に移動して前記導体を前記軸方向に進退させる可動部材とを備えるものであり、
前記可動部材が前記送りねじの軸直交方向に振れた場合に、前記加速電極及び前記シールドリングのそれぞれに対して自身が優先的に当接可能なガイド部材が前記可動部材に備えられている、
電子線照射装置。 - 前記ガイド部材は、前記可動部材が前記送りねじの軸直交方向に振れた場合に、前記加速電極及び前記シールドリングのそれぞれに対して少なくとも2箇所以上にて当接可能な部位を有している、
請求項1に記載の電子線照射装置。 - 前記ガイド部材は、前記軸方向において前記加速電極及び前記シールドリングの少なくとも2つ分、位置によっては3つ分以上にて当接可能な長さにて構成されている、
請求項1又は請求項2に記載の電子線照射装置。 - 複数の前記加速電極のそれぞれに軸受を備え、前記軸方向において複数の前記軸受が並設してなるものであり、前記可動部材は、前記軸受にて支持される前記軸方向に延びる凸条部を有するものであり、
前記可動部材の前記凸条部は、前記軸方向において前記軸受の2つ分、位置によっては3つ分以上にて支持可能な長さにて構成されている、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の電子線照射装置。 - 前記送りねじ機構は、前記自身の軸方向が上下方向に向けられて前記送りねじを配置するものであり、前記送りねじに左ねじを用いて前記可動部材の上動時に前記加速電極側に近づく方向の押付力が前記可動部材に対して生じるように構成されている、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の電子線照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2021120715A JP7343916B2 (ja) | 2021-07-21 | 2021-07-21 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2021120715A JP7343916B2 (ja) | 2021-07-21 | 2021-07-21 | 電子線照射装置 |
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JP7343916B2 JP7343916B2 (ja) | 2023-09-13 |
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Family Applications (1)
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JP2021120715A Active JP7343916B2 (ja) | 2021-07-21 | 2021-07-21 | 電子線照射装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP7343916B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0507033B1 (en) | 1991-04-05 | 1995-02-01 | Manuel Torres Martinez | Machine tool installation for supporting and machining workpieces |
JP2003522398A (ja) | 2000-02-11 | 2003-07-22 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 高エネルギー加速器を低エネルギーモードで動作する方法および装置 |
CN1227900C (zh) | 2001-03-29 | 2005-11-16 | 松下电器产业株式会社 | Av数据记录/再现装置及其方法 |
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