JP2023013543A - 三次元積層造形装置および三次元積層造形方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る三次元積層造形装置の構成を概略的に示す側面図である。以降の説明では、三次元積層造形装置の各部の形状や位置関係などを明確にするために、図1の左右方向をX方向、図1の奥行き方向をY方向、図1の上下方向をZ方向とする。X方向、Y方向およびZ方向は、互いに直交する方向である。また、X方向およびY方向は水平方向に平行な方向であり、Z方向は鉛直方向に平行な方向である。
図2において、制御部50は、たとえば図示しないCPU(中央演算処理装置)50a、ROM(Read Only Memory)50bおよびRAM(Random Access Memory)50cを備え、CPU50aが、ROM50bに書き込まれたプログラムをRAM50cに読み出して所定の制御処理を実行することにより、三次元積層造形装置10の動作を統括的に制御する。制御部50には、上述したビーム照射装置14、粉末塗布装置16およびプレート移動装置26の他に、マスクカバー昇降装置52が接続されている。
図3は、本発明の第1実施形態に係る三次元積層造形装置の処理動作の手順を示すフローチャートである。このフローチャートに示す処理動作は、制御部50の制御下で行われる。
まず、ビーム照射装置14は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、造形プレート22を加熱する(ステップS1)。
ステップS1において、ビーム照射装置14は、マスクカバー30の開口部30aを通して造形プレート22に電子ビーム15を照射する。これにより、造形プレート22は、金属粉末32が仮焼結する程度の温度に加熱される。
次に、プレート移動装置26は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、造形プレート22を所定量だけ下降させる(ステップS2)。
ステップS2において、プレート移動装置26は、造形テーブル18上に敷き詰められた金属粉末32の上面よりも造形プレート22の上面が僅かに下がった状態となるように、インナーベース24を所定量だけ下降させる。このとき、造形プレート22は、インナーベース24と共に所定量だけ下降する。ここで記載する所定量(以下、「ΔZ」とも記す)は、造形物38を積層によって造形するときの一層分の厚さに相当する。
次に、マスクカバー昇降装置52は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、マスクカバー30を上昇させる(ステップS3)。
ステップS3において、マスクカバー昇降装置52は、次のステップS4でスキージ16cがマスクカバー30に接触しないよう、スキージ16cよりも高い位置までマスクカバー30を上昇させる。
次に、粉末塗布装置16は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、造形プレート22上に金属粉末32を塗布して粉末層32aを形成する(ステップS4)。
ステップS4において、粉末塗布装置16は、ホッパー16aから粉末投下器16bに供給された金属粉末32を、粉末投下器16bによって造形テーブル18上に投下した後、スキージ16cをX方向に移動させることにより、造形プレート22上に金属粉末32を敷き詰める。このとき、金属粉末32は、ΔZ相当の厚さで造形プレート22上に敷き詰められる。これにより、造形プレート22上に粉末層32aが形成される。また、余分な金属粉末32は、回収ボックス21に回収される。
次に、マスクカバー昇降装置52は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、マスクカバー30を下降させる(ステップS5)。
ステップS5において、マスクカバー昇降装置52は、金属粉末32の造形面32bに接触するようにマスクカバー30を降ろす。これにより、造形プレート22上の金属粉末32は、マスクカバー30の開口部30aを通して外部に露出した状態となる。また、造形プレート22の周囲に存在する金属粉末32は、マスクカバー30のマスク部30bによって覆われた状態になる。
次に、ビーム照射装置14は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、造形プレート22上の粉末層32aを予備加熱する(ステップS6)。この予備加熱工程S6においては、金属粉末32を仮焼結させるために粉末層32aを予備加熱する。本焼結工程の前に行われる予備加熱は、パウダーヒートとも呼ばれる。
ステップS6において、ビーム照射装置14は、造形プレート22上の金属粉末32(粉末層32a)に電子ビーム15を照射する。また、ビーム照射装置14は、造形物38を形成するための領域(以下、「造形領域」ともいう。)よりも広範囲に電子ビーム15を照射する。これにより、造形領域に存在する金属粉末32と、造形領域の周囲に存在する金属粉末32とが、共に仮焼結される。
なお、図1において、符号E1は、未焼結の金属粉末32が存在する未焼結領域を示し、符号E2は、仮焼結された金属粉末32が存在する仮焼結領域を示している。
次に、ビーム照射装置14は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、金属粉末32を溶融および凝固によって本焼結させる(ステップS7)。
ステップS7においては、上述のように仮焼結させた金属粉末32を電子ビーム15の照射によって溶融および凝固させることにより、仮焼結体としての金属粉末32を本焼結させる。ステップS7において、制御部50は、目的とする造形物38の三次元CAD(Computer-Aided Design)データを一定の厚み(ΔZに相当する厚み)にスライスした二次元データに基づいて造形領域を特定し、ビーム照射装置14は、制御部50が特定した造形領域を対象に電子ビーム15を照射することにより、造形プレート22上の金属粉末32を選択的に溶融する。電子ビーム15の照射によって溶融した金属粉末32は、電子ビーム15が通過した後に凝固する。これにより、1層目の造形物が形成される。
次に、プレート移動装置26は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、造形プレート22を所定量(ΔZ)だけ下降させる(ステップS8)。
ステップS8において、プレート移動装置26は、造形プレート22およびインナーベース24をΔZだけ下降させる。
続いて、ビーム照射装置14は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、造形プレート22上の粉末層32aを予備加熱する(ステップS9)。この第1予備加熱工程S9においては、次の層の金属粉末32を敷き詰めるための準備として、その前の層で本焼結工程を終えた粉末層32aを予備加熱する。本焼結工程の後に行われる予備加熱は、アフターヒートとも呼ばれる。
ステップS9において、ビーム照射装置14は、マスクカバー30の開口部30aを通して粉末層32aに電子ビーム15を照射する。これにより、開口部30aに露出している粉末層32aは、金属粉末32が仮焼結する程度の温度に加熱される。
次に、マスクカバー昇降装置52は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、マスクカバー30を上昇させる(ステップS10)。
ステップS10において、マスクカバー昇降装置52は、次のステップS11でスキージ16cがマスクカバー30に接触しないよう、スキージ16cよりも高い位置までマスクカバー30を上昇させる。
次に、粉末塗布装置16は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、造形プレート22上に金属粉末32を塗布して粉末層32aを形成する(ステップS11)。
ステップS11において、粉末塗布装置16は、上記ステップS4と同様に動作する。これにより、造形プレート22上では、1層目の金属粉末32によって形成された焼結体の上に、2層目の金属粉末32が敷き詰められる。
次に、マスクカバー昇降装置52は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、マスクカバー30を下降させる(ステップS12)。
ステップS12において、マスクカバー昇降装置52は、上記ステップS5と同様に動作する。
次に、ビーム照射装置14は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、2層目の粉末層32aを形成している金属粉末32を予備加熱する(ステップS13)。
ステップS13において、ビーム照射装置14は、上記ステップS6と同様に動作する。これにより、2層目の粉末層32aを形成している金属粉末32が仮焼結される。
次に、ビーム照射装置14は、制御部50から与えられる制御指令に基づいて動作することにより、2層目の粉末層32aを形成している金属粉末32を溶融および凝固によって本焼結させる(ステップS14)。
ステップS14において、ビーム照射装置14は、上記ステップS7と同様に動作する。これにより、2層目の造形物が形成される。
以上述べた三次元積層造形プロセスにより、目的とする造形物38が得られる。
制御部50は、1層分の粉末層32aを電子ビーム15の照射によって予熱する場合、電子ビーム15の照射条件が異なる複数の段階に分けて粉末層32aを予熱する。粉末層32aを幾つの段階に分けて予熱するかは任意に設定可能である。本実施形態では、一例として、4つの段階に分けて粉末層32aを予熱するものとする。
図4においては、マスクカバー30の開口部30aを通して外部に露出する金属粉末32の粉末層32aを対象に電子ビーム15を照射している。粉末層32aに電子ビーム15を照射すると、電子ビーム15の照射位置に電子ビーム15のスポット(以下、「ビームスポット」ともいう。)15aが形成される。したがって、ビームスポット15aの位置は、電子ビーム15の照射位置を示している。制御部50は、予め決められた予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置を移動させる。予熱パターンは、図4に示すドット状(飛び石状)のパターンである。
第2段階において、制御部50は、第1段階に比べて電子ビーム15のビーム径を上記φ1よりも大きいφ2に設定する。そして、制御部50は、ビーム径=φ2の設定のもとで、図5に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。移動動作の繰り返し回数は、第1段階と同じ回数でもよいし、第1段階と異なる回数でもよい。図5に示す第2段階において、制御部50は、電子ビーム15のラインLi同士が重ならないように、電子ビーム15のビーム径および照射位置を設定している。より具体的に記述すると、X方向およびY方向でビームスポット15aが互いに重ならないように、X方向におけるビームスポット15aの間隔PxおよびY方向におけるビームスポット15aの間隔Pyが、いずれも電子ビーム15のビーム径φ2以上に設定されている。また、ビームスポット15aの間隔Px,Pyは、第1段階の場合と同一に設定されている。
第3段階において、制御部50は、第2段階に比べて電子ビーム15のビーム径を上記φ2よりも大きいφ3に設定する。そして、制御部50は、ビーム径=φ3の設定のもとで、図6に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。移動動作の繰り返し回数は、第1段階と同じ回数でもよいし、第1段階と異なる回数でもよい。図6に示す第3段階において、制御部50は、電子ビーム15のラインLi同士が重ならないように、電子ビーム15のビーム径および照射位置を設定している。より具体的に記述すると、X方向およびY方向でビームスポット15aが互いに重ならないように、X方向におけるビームスポット15aの間隔PxおよびY方向におけるビームスポット15aの間隔Pyが、いずれも電子ビーム15のビーム径φ3以上に設定されている。また、ビームスポット15aの間隔Px,Pyは、第1段階の場合と同一に設定されている。
第4段階において、制御部50は、第3段階に比べて電子ビーム15のビーム径を上記φ3よりも大きいφ4に設定する。そして、制御部50は、ビーム径=φ4の設定のもとで、図7に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。移動動作の繰り返し回数は、第1段階と同じ回数でもよいし、第1段階と異なる回数でもよい。図7に示す第4段階において、制御部50は、電子ビーム15のラインLi同士が重なり合うように、電子ビーム15のビーム径および照射位置を設定している。より具体的に記述すると、X方向およびY方向でビームスポット15aが互いに重なり合うように、X方向におけるビームスポット15aの間隔PxおよびY方向におけるビームスポット15aの間隔Pyが、いずれも電子ビーム15のビーム径φ4未満に設定されている。これにより、Y方向で隣り合う2つのラインLiが部分的に重なり合う状態になる。また、ビームスポット15aの間隔Px,Pyは、第1段階の場合と同一に設定されている。つまり、ビームスポット15aの間隔Px,Pyは、予熱開始から予熱終了まで一定である。
続いて、本発明の第2実施形態について説明する。
本発明の第2実施形態においては、上述した第1実施形態と比較して、制御部50の制御下で行われる粉末層32aの予熱方法が異なる。具体的には、上述した第1段階、第2段階、第3段階および第4段階の各段階において、制御部50は、電子ビーム15のビーム電流が徐々に大きくなるようにビーム照射装置14を制御する。
図8に示す第1段階において、電子ビーム15のビーム径φ1および照射位置の設定や、ビームスポット15aの間隔Px,Pyの設定は、上記第1実施形態の場合(図4参照)と同じである。
この第1段階において、制御部50は、図8に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置(ビームスポット15a)を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。また、制御部50は、第1段階の上記移動動作を例えば合計100回繰り返す場合に、1回目から25回目までの移動動作では電子ビーム15のビーム電流を5mAに設定し、26回目から50回目までの移動動作ではビーム電流を10mAに設定し、51回目から75回目までの移動動作ではビーム電流を20mAに設定し、75回目から100回目までの移動動作ではビーム電流を30mAに設定する。つまり、制御部50は、第1段階の開始時から終了時までビーム電流を徐々に大きくする。
図9に示す第2段階において、電子ビーム15のビーム径φ2および照射位置の設定や、ビームスポット15aの間隔Px,Pyの設定は、上記第1実施形態の場合(図5参照)と同じである。
この第2段階において、造形テーブル18は、図9に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置(ビームスポット15a)を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。また、制御部50は、第2段階の上記移動動作を例えば合計100回繰り返す場合に、1回目から25回目までの移動動作では電子ビーム15のビーム電流を20mAに設定し、26回目から50回目までの移動動作ではビーム電流を30mAに設定し、51回目から75回目までの移動動作ではビーム電流を40mAに設定し、75回目から100回目までの移動動作ではビーム電流を50mAに設定する。つまり、制御部50は、第2段階の開始時から終了時までビーム電流を徐々に大きくする。
図10に示す第3段階において、電子ビーム15のビーム径φ3および照射位置の設定や、ビームスポット15aの間隔Px,Pyの設定は、上記第1実施形態の場合(図6参照)と同じである。
この第3段階において、造形テーブル18は、図10に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置(ビームスポット15a)を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。また、制御部50は、第3段階の上記移動動作を例えば合計100回繰り返す場合に、1回目から25回目までの移動動作では電子ビーム15のビーム電流を40mAに設定し、26回目から50回目までの移動動作ではビーム電流を55mAに設定し、51回目から75回目までの移動動作ではビーム電流を70mAに設定し、75回目から100回目までの移動動作ではビーム電流を80mAに設定する。つまり、制御部50は、第3段階の開始時から終了時までビーム電流を徐々に大きくする。
図11に示す第4段階において、電子ビーム15のビーム径φ4および照射位置の設定や、ビームスポット15aの間隔Px,Pyの設定は、上記第1実施形態の場合(図7参照)と同じである。
この第4段階において、造形テーブル18は、図11に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置(ビームスポット15a)を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。また、制御部50は、第4段階の上記移動動作を例えば合計100回繰り返す場合に、1回目から25回目までの移動動作では電子ビーム15のビーム電流を50mAに設定し、26回目から50回目までの移動動作ではビーム電流を60mAに設定し、51回目から75回目までの移動動作ではビーム電流を70mAに設定し、75回目から100回目までの移動動作ではビーム電流を80mAに設定する。つまり、制御部50は、第4段階の開始時から終了時までビーム電流を徐々に大きくする。
制御部50は、第1段階で予熱を開始してから第4段階で予熱を終了するまでの間に、電子ビーム15のビーム径だけでなく、各段階で電子ビーム15のビーム電流が徐々に大きくなるようにビーム照射装置14を制御している。これにより、予熱開始から予熱終了まで電子ビーム15のビーム電流が一定になるように制御する場合に比べて、各段階でスモークが発生するリスクを低減することができる。
続いて、本発明の第3実施形態について説明する。
本発明の第3実施形態においては、上述した第1実施形態および第2実施形態と比較して、電子ビーム15のビーム径を変えずに、電子ビーム15のビーム電流を徐々に大きくする点が異なる。また、上述した第1実施形態および第2実施形態においては、粉末層32aの予熱を4つの段階に分けて行うようにしたが、本発明の第3実施形態においては、粉末層32aの予熱を2つの段階に分けて行う点が異なる。
図12に示す第1段階において、電子ビーム15のビーム径φ3および照射位置の設定や、ビームスポット15aの間隔Px,Pyの設定は、上記第1実施形態の第3段階(図6参照)や上記第2実施形態の第3段階(図10参照)と同じである。
この第1段階において、制御部50は、電子ビーム15のビーム径φ3を一定に維持したままで、図12に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置(ビームスポット15a)を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。また、制御部50は、上記移動動作を例えば合計100回繰り返す場合に、1回目から20回目までの移動動作では電子ビーム15のビーム電流を10mAに設定し、21回目から40回目までの移動動作ではビーム電流を30mAに設定し、41回目から60回目までの移動動作ではビーム電流を50mAに設定し、61回目から80回目までの移動動作ではビーム電流を70mAに設定し、81回目から100回目までの移動動作ではビーム電流を80mAに設定する。つまり、制御部50は、第1段階の開始時から終了時までビーム電流を徐々に大きくする。
図13に示す第2段階において、制御部50は、上記図12に示す第1段階と比較して、電子ビーム15のビーム径φ3を変えずに、ビームスポット15aの間隔を狭く設定することにより、電子ビーム15のラインLi同士が重なり合うようにしている。具体的には、制御部50は、X方向およびY方向の両方でビームスポット15aが互いに重なり合うように、ビームスポット15aの間隔Px1,Py1をビーム径φ3未満に設定している。
この第2段階において、制御部50は、電子ビーム15のビーム径φ3を一定に維持したままで、図13に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置(ビームスポット15a)を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。また、制御部50は、上記第1段階と同様の制御形態で、第2段階の開始時から終了時までビーム電流を徐々に大きくする。
続いて、本発明の第4実施形態について説明する。
本発明の第4実施形態において、制御部50は、積層方向で異なる位置に積層される第1の粉末層32aと第2の粉末層32aのうち、第1の粉末層32aを予熱するときに適用する電子ビーム15の照射位置と、第2の粉末層32aを予熱するときに適用する電子ビーム15の照射位置とを、上記積層方向と直交する方向にずらして設定する。積層方向とは、三次元の造形物38を造形するために粉末層32aを積み重ねる方向、すなわちZ方向である。また、積層方向と直交する方向とは、造形プレート22の上面と平行な方向、すなわち水平方向である。
また、本発明の第4実施形態は、上述した第1実施形態、第2実施形態および第3実施形態にも適用可能である。ただし、本発明の第4実施形態を第3実施形態に適用する場合は、ビームスポット15aの間隔を変える方向が例えばX方向であれば、第1の粉末層32aと第2の粉末層32aでビーム照射位置をずらすことができる方向はY方向のみとなる。この点は、第1実施形態の第4段階または第2実施形態の第4段階で、上記図13に示すようにビームスポット15aの間隔を変える場合も同様である。
続いて、本発明の第5実施形態について説明する。
本発明の第5実施形態において、制御部50は、粉末層32aを電子ビーム15の照射によって予熱する場合に、マスクカバー30の開口部30aよりも広範囲に電子ビーム15を照射するように、ビーム照射装置14を制御する。
まず、本発明の第5実施形態との比較のために、上記第1実施形態の第1段階の予熱パターン(図4参照)について説明する。
第1実施形態においては、マスクカバー30の開口部30aの中心から見て外側のビームスポット15aの中心が、開口部30aの縁に位置している。
これに対して、本発明の第5実施形態においては、図16に示すように、マスクカバー30の開口部30aの中心から見て外側のビームスポット15aの中心が、開口部30aの縁よりも外側、すなわちマスク部30b(図1参照)の領域に位置している。
続いて、本発明の第6実施形態について説明する。
本発明の第6実施形態においては、上述した実施形態と比較して、電子ビーム15をX方向に移動させる方式が異なる。具体的には、上述した実施形態では、制御部50は、各ラインLiで電子ビーム15の移動と停止を繰り返すことにより、電子ビーム15の照射位置をX方向に間欠的に移動させる方式を採用している。これに対して、本第6実施形態では、各ラインLiで電子ビーム15を停止させずに一定速度で移動させる、つまり電子ビーム15の照射位置をX方向に連続的に移動させる方式を採用している。以下、詳しく説明する。
図17に示す第1段階において、制御部50は、電子ビーム15の照射位置をY方向で複数のラインLiに分け、ラインLiごとに電子ビーム15の照射位置をX方向の一端部から他端部まで移動させる。また、制御部50は、各ラインLiで電子ビーム15のビームスポット15aをX方向に連続的に移動させる。さらに、制御部50は、電子ビーム15のラインLi同士が重ならないように、電子ビーム15のビーム幅および照射位置を設定している。より具体的に記述すると、Y方向で隣り合う2つのラインLiが重なり合わないよう、Y方向における電子ビーム15の間隔Pyが、電子ビーム15のビーム幅(図17に示すw1)以上に設定されている。電子ビーム15のビーム幅は、電子ビーム15のビームサイズに相当し、粉末層32aに照射される電子ビーム15のスポット(図17に示すビームスポット15a)の直径によって決まる。また、第1段階において、制御部50は、図17に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置を支点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。
第2段階において、制御部50は、第1段階に比べて電子ビーム15のビーム幅を上記w1よりも大きいw2に設定する。そして、制御部50は、ビーム幅=w2の設定のもとで、図18に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。図18に示す第2段階において、制御部50は、電子ビーム15のラインLi同士が重ならないように、電子ビーム15のビーム幅および照射位置を設定している。より具体的に記述すると、Y方向で隣り合う2つのラインLiが重なり合わないよう、Y方向における電子ビーム15の間隔Pyが、電子ビーム15のビーム幅(図18に示すw2)以上に設定されている。また、ビームスポット15aの間隔Pyは、第1段階の場合と同一に設定されている。
第3段階において、制御部50は、第2段階に比べて電子ビーム15のビーム幅を上記w2よりも大きいw3に設定する。そして、制御部50は、ビーム幅=w3の設定のもとで、図19に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。図19に示す第3段階において、制御部50は、電子ビーム15のラインLi同士が重ならないように、電子ビーム15のビーム幅および照射位置を設定している。より具体的に記述すると、Y方向で隣り合う2つのラインLiが重なり合わないよう、Y方向における電子ビーム15の間隔Pyが、電子ビーム15のビーム幅(図19に示すw3)以上に設定されている。また、ビームスポット15aの間隔Pyは、第1段階の場合と同一に設定されている。
第4段階において、制御部50は、第3段階に比べて電子ビーム15のビーム幅を上記w3よりも大きいw4に設定する。そして、制御部50は、ビーム幅=w4の設定のもとで、図20に示す予熱パターンに従って電子ビーム15の照射位置を始点Psから終点Peまで移動させるとともに、この移動動作を予め決められた回数だけ繰り返すようにビーム照射装置14を制御する。図20に示す第4段階において、制御部50は、電子ビーム15のラインLi同士が重なり合うように、電子ビーム15のビーム幅および照射位置を設定している。より具体的に記述すると、Y方向における電子ビーム15の間隔Pyが、電子ビーム15のビーム幅(図20に示すw4)未満に設定されている。これにより、Y方向で隣り合う2つのラインLiが部分的に重なり合う状態になる。また、ビームスポット15aの間隔Pyは、第1段階の場合と同一に設定されている。つまり、ビームスポット15aの間隔Pyは、予熱開始から予熱終了まで一定である。
また、第6実施形態においては、上述した第4実施形態と同様に、第1の粉末層32aを予熱するときに適用する電子ビーム15の照射位置と、第2の粉末層32aを予熱するときに適用する電子ビーム15の照射位置とを、上記積層方向と直交する方向にずらして設定してもよい。ただし、第6実施形態においては、電子ビーム15の照射位置をX方向に連続的に移動させるため、ビーム照射位置をずらす方向はY方向に限定される。
14…ビーム照射装置
16…粉末塗布装置
15…電子ビーム
15a…ビームスポット(スポット)
22…造形プレート
32…金属粉末
30…マスクカバー
30a…開口部
30b…マスク部
32a…粉末層
50…制御部
Li…ライン
Claims (12)
- 造形プレートと、
前記造形プレート上に金属粉末を塗布して粉末層を形成する粉末塗布装置と、
前記粉末層に電子ビームを照射するビーム照射装置と、
前記粉末塗布装置および前記ビーム照射装置を制御する制御部と、
を備える三次元積層造形装置であって、
前記制御部は、前記粉末層を前記電子ビームの照射によって予熱する場合に、少なくとも予熱開始時に前記電子ビームのライン同士が重ならないように前記電子ビームのビームサイズおよび照射位置を設定するとともに、予熱開始から予熱終了までの間に前記電子ビームのビーム電流およびビームサイズのうち少なくとも一方が徐々に大きくなるように前記ビーム照射装置を制御する
三次元積層造形装置。 - 前記制御部は、積層方向で異なる位置に積層される第1の粉末層と第2の粉末層のうち、前記第1の粉末層を予熱するときに適用する前記電子ビームの照射位置と、前記第2の粉末層を予熱するときに適用する電子ビームの照射位置とを、前記積層方向と直交する方向にずらして設定する
請求項1に記載の三次元積層造形装置。 - 前記制御部は、少なくとも予熱終了時に前記電子ビームのライン同士が重なり合うように前記電子ビームのビームサイズおよび照射位置を設定する
請求項1に記載の三次元積層造形装置。 - 前記制御部は、前記予熱開始から前記予熱終了までの間に、前記ビーム電流および前記ビームサイズの他に、前記電子ビームのスキャンスピードおよびスキャンエリアの少なくとも一方を変更するように前記ビーム照射装置を制御する
請求項1に記載の三次元積層造形装置。 - 開口部およびマスク部を少なくとも有し、前記造形プレート上に塗布された金属粉末を前記開口部によって露出させるとともに、前記開口部よりも外側に位置する金属粉末を前記マスク部によって遮蔽するマスクカバーを備え、
前記制御部は、前記粉末層を前記電子ビームの照射によって予熱する場合に、前記マスクカバーの前記開口部よりも広範囲に電子ビームを照射するように、前記ビーム照射装置を制御する
請求項1に記載の三次元積層造形装置。 - 前記制御部は、前記粉末層を前記電子ビームの照射によって予熱する場合に、前記電子ビームの照射位置を第1の方向に間欠的に移動させるとともに、少なくとも予熱開始時に前記第1の方向と直交する第2の方向で前記電子ビームのスポットが重ならないように前記電子ビームのビーム径および照射位置を設定する
請求項1に記載の三次元積層造形装置。 - 前記制御部は、前記第2の方向における前記スポットの間隔を前記ビーム径以上に設定する
請求項6に記載の三次元積層造形装置。 - 前記制御部は、少なくとも予熱開始時に前記第1の方向および前記第2の方向で前記電子ビームのスポットが重ならないように前記電子ビームのビーム径および照射位置を設定する
請求項6に記載の三次元積層造形装置。 - 前記制御部は、前記第1の方向における前記スポットの間隔を前記ビーム径以上に設定する
請求項8に記載の三次元積層造形装置。 - 前記制御部は、前記粉末層を前記電子ビームの照射によって予熱する場合に、前記電子ビームの照射位置を第1の方向に連続的に移動させるとともに、少なくとも予熱開始時に前記第1の方向と直交する第2の方向で前記電子ビームのライン同士が重ならないように前記電子ビームのビーム幅および照射位置を設定する
請求項1に記載の三次元積層造形装置。 - 前記制御部は、前記第2の方向における前記電子ビームの間隔を前記ビーム幅以上に設定する
請求項10に記載の三次元積層造形装置。 - 造形プレート上に金属粉末を塗布して形成された粉末層を電子ビームの照射によって予熱する場合に、少なくとも予熱開始時に前記電子ビームのライン同士が重ならないように前記電子ビームのビームサイズおよび照射位置を設定するとともに、予熱開始から予熱終了までの間に前記電子ビームのビーム電流およびビームサイズのうち少なくとも一方が徐々に大きくなるように前記電子ビームを制御する
三次元積層造形方法。
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