JP2023012949A - Photosensitive composition, optical filter, image display device, and solid state image sensor - Google Patents

Photosensitive composition, optical filter, image display device, and solid state image sensor Download PDF

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寛之 吉田
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Abstract

To provide a photosensitive composition that suppresses water stains on a coat after development, has excellent heat resistance, and can form an excellent pattern.SOLUTION: A photosensitive composition contains an alkali-soluble resin (A), a polymerizable compound (B), and a photopolymerization initiator (C), the photopolymerization initiator (C) containing a compound represented by the general formula (1) (C1), and an oxime-based photopolymerization initiator (C2). In the general formula (1), R1, R2 independently represent a hydrogen atom, or a C1 to 8 alkyl group. R3 is a hydrogen atom, or a monovalent substituent).SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、感光性組成物、及びその用途に関する。 The present invention relates to photosensitive compositions and uses thereof.

画像表示装置や固体撮像素子等に使用する光学フィルタの1種であるカラーフィルタは、例えば、感光性組成物を、ガラス等の透明基板に塗布し、乾燥によってこの塗膜から溶剤を除去する工程、この塗膜を、所望するパターン形状を有するフォトマスクを介して放射線を照射・硬化(以下、露光という)する工程、次いで、この塗膜の未露光部を洗浄・除去(以下、現像という)する工程、その後、必要に応じて硬化膜を十分に硬化させるために加熱処理(以下、ポストベークという)する工程により1色目のフィルタセグメントパターンを得る。そして、これと同様の操作を行うことにより他の色のフィルタセグメントパターンを形成して作製できる。 Color filters, which are one type of optical filters used in image display devices, solid-state imaging devices, etc., are produced by, for example, applying a photosensitive composition to a transparent substrate such as glass, and drying the coating to remove the solvent. , a step of irradiating and curing (hereinafter referred to as exposure) the coating film with radiation through a photomask having a desired pattern shape, and then washing and removing the unexposed portion of the coating film (hereinafter referred to as development) Then, if necessary, a heat treatment (hereinafter referred to as post-baking) is performed to sufficiently harden the cured film, thereby obtaining a filter segment pattern for the first color. By performing the same operation, filter segment patterns of other colors can be formed and manufactured.

上記現像工程は、現像液としてアルカリ性の現像液を用いて、未露光部分を洗浄・除去する。その際に、露光した部分が欠けたり、剥がれたりしてパターン形状に欠陥が発生するという問題があった。また、アルカリ性の現像液に塗膜が曝された場合、塗膜が変色する現象(以下、水しみという)が発生する問題もあった。そのため、現像工程においてパターン形状の不良と水しみが発生しない感光性組成物が求められている。さらに、ポストベーク工程の際に、色が変化するという課題もあった。 In the developing step, an alkaline developer is used as the developer to wash and remove the unexposed portions. At that time, there is a problem that the exposed portion is chipped or peeled off, resulting in a defect in the pattern shape. In addition, when the coating film is exposed to an alkaline developer, there is also a problem that a phenomenon of discoloration of the coating film (hereinafter referred to as water staining) occurs. Therefore, there is a demand for a photosensitive composition that does not cause pattern shape defects and water stains in the development process. Furthermore, there was also a problem that the color changed during the post-baking process.

水しみの改善の取り組みとして、特許文献1には、特定構造のアルカリ可溶性樹脂と、光重合開始剤としてオキシムエステルフルオレン誘導体化合物を含む着色感光性樹脂組成物が開示されている。また、特許文献2には、特定構造のフッ素系界面活性剤を含むレジスト組成物が開示されている。現像時のパターン欠け改善の取り組みとして、特許文献3には、アルキレンオキサイド構造を有する重合性化合物を含む着色組成物が開示されている。 As an effort to improve water stains, Patent Document 1 discloses a colored photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin having a specific structure and an oxime ester fluorene derivative compound as a photopolymerization initiator. Further, Patent Document 2 discloses a resist composition containing a fluorine-based surfactant having a specific structure. As an approach to improve pattern defects during development, Patent Document 3 discloses a colored composition containing a polymerizable compound having an alkylene oxide structure.

特開2017-173787号公報JP 2017-173787 A 特開2016-102212号公報JP 2016-102212 A 特開2014-142582号公報JP 2014-142582 A

しかし、特許文献1~3に記載のいずれの組成物も、水しみ、パターン形状、及び耐熱性の全てを一定以上の水準で満たすことはできなかった。 However, none of the compositions described in Patent Documents 1 to 3 were able to satisfy all of water stain, pattern shape, and heat resistance at a certain level or higher.

本発明は、現像後の被膜の水しみを抑制し、耐熱性が良好で、優れたパターンを形成できる感光性組成物の提供を目的する。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a photosensitive composition that suppresses water staining of a film after development, has good heat resistance, and is capable of forming an excellent pattern.

本発明は、アルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)、及び光重合開始剤(C)を含む感光性組成物であって、
前記光重合開始剤(C)が、下記一般式(1)で表される化合物(C1)、及びオキシム系光重合開始剤(C2)を含む感光性組成物に関する。
一般式(1)

Figure 2023012949000001
The present invention is a photosensitive composition comprising an alkali-soluble resin (A), a polymerizable compound (B), and a photopolymerization initiator (C),
The photopolymerization initiator (C) relates to a photosensitive composition containing a compound (C1) represented by the following general formula (1) and an oxime photopolymerization initiator (C2).
General formula (1)
Figure 2023012949000001

(一般式(1)中、R、Rは、それぞれ独立して、水素原子、または炭素原子数1~8のアルキル基を表す。Rは、水素原子、または1価の置換基を表す。) (In general formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms. R 3 represents a hydrogen atom or a monovalent substituent. show.)

上記の本発明によれば、現像後の被膜の水しみを抑制し、耐熱性が良好で、優れたパターンを形成できる感光性組成物を提供できる。また、本発明は、光学フィルタ、画像表示装置、及び固体撮像素子を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to said invention, the photosensitive composition which suppresses the water stain of the film after image development, has favorable heat resistance, and can form an excellent pattern can be provided. Also, the present invention can provide an optical filter, an image display device, and a solid-state imaging device.

以下に、本発明の感光性組成物を実施するための形態について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に制限されるものではなく、課題を解決可能な範囲内で変形して実施できる。 Hereinafter, embodiments for implementing the photosensitive composition of the present invention will be described in detail. It should be noted that the present invention is not limited to the following embodiments, and can be modified and implemented within a range that can solve the problems.

本発明において、「(メタ)アクリロイル」、「(メタ)アクリル」、「(メタ)アクリル酸」、「(メタ)アクリレート」、または「(メタ)アクリルアミド」とは、特に説明がない限り、それぞれ、「アクリロイル及び/またはメタアクリロイル」、「アクリル及び/またはメタアクリル」、「アクリル酸及び/またはメタアクリル酸」、「アクリレート及び/またはメタクリレート」、または「アクリルアミド及び/またはメタアクリルアミド」を意味する。また、「C.I.」は、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists 発行)を意味する。重合性不飽和基は、エチレン性不飽和二重結合である。
また、本発明における化合物の分子量に関しては、分子量が特定できる低分子化合物については、計算により算出した値(式量)、若しくはESI-MS(エレクトロスプレーイオン化質量分析法)により測定した分子量であり、分子量の分布を持つ化合物については、テトラヒドロフランを溶剤とした場合のゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。
単量体は、重合により樹脂を形成する化合物である。単量体は、未反応状態であり、単量体単位は、単量体が重合後に樹脂を形成している状態である。重合性化合物は、重合により被膜を形成する化合物である。
In the present invention, "(meth)acryloyl", "(meth)acryl", "(meth)acrylic acid", "(meth)acrylate", or "(meth)acrylamide" are each unless otherwise specified. , "acryloyl and/or methacryloyl", "acrylic and/or methacrylic", "acrylic acid and/or methacrylic acid", "acrylate and/or methacrylate", or "acrylamide and/or methacrylamide" . "C.I." means a color index (C.I.; published by The Society of Dyers and Colorists). A polymerizable unsaturated group is an ethylenically unsaturated double bond.
Further, with respect to the molecular weight of the compound in the present invention, for low molecular weight compounds whose molecular weight can be specified, it is a value calculated by calculation (formula weight), or a molecular weight measured by ESI-MS (electrospray ionization mass spectrometry), For a compound having a molecular weight distribution, it is a polystyrene-equivalent weight-average molecular weight measured by gel permeation chromatography using tetrahydrofuran as a solvent.
A monomer is a compound that forms a resin upon polymerization. A monomer is an unreacted state and a monomeric unit is a state in which a monomer forms a resin after polymerization. A polymerizable compound is a compound that forms a film by polymerization.

<感光性組成物>
本発明の一実施形態は、感光性組成物に関する。本発明の感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)、及び光重合開始剤(C)を含む感光性組成物であって、
前記光重合開始剤(C)が、下記一般式(1)で表される化合物(C1)、及びオキシム系光重合開始剤(C2)を含むことを特徴とする。
一般式(1)

Figure 2023012949000002
<Photosensitive composition>
One embodiment of the invention relates to a photosensitive composition. The photosensitive composition of the present invention is a photosensitive composition containing an alkali-soluble resin (A), a polymerizable compound (B), and a photopolymerization initiator (C),
The photopolymerization initiator (C) is characterized by containing a compound (C1) represented by the following general formula (1) and an oxime photopolymerization initiator (C2).
General formula (1)
Figure 2023012949000002

(一般式(1)中、R、Rは、それぞれ独立して、水素原子、または炭素原子数1~8のアルキル基を表す。Rは、水素原子、または1価の置換基を表す。) (In general formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms. R 3 represents a hydrogen atom or a monovalent substituent. show.)

上記構成の感光性組成物で、本発明の課題を解決できるメカニズムは明らかではないが、以下のように推測している。
従来からカラーフィルタ分野で広く使用されてきた光重合開始剤の2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オンや2-(ジメチルアミノ)-1-(4-モルフォリノフェニル)-2-ベンジル-1-ブタノンと比較して、一般式(1)で表される化合物(C1)は、硬直で疎水性・耐熱性が高いフルオレン骨格を有するため、耐性の高い硬化膜が得られると推測する。また、2つのベンゼン環のπ-π相互作用により、硬化膜が適度な凝集力を有する。そのため、現像時のパターンの欠け等を抑制しながらも、熱に対しては適度に軟化しやすい構造となっており、ホストベーク時に熱だれが起こり、パターンの断面形状が良好になると推測する。そして、一般式(1)で表される化合物(C1)とは吸収波長が異なり、感度が高い特定のオキシム系光重合開始剤(C2)を併用することで、光重合に利用できる光の波長領域が広がり反応性が向上する。そのため、例えば、被膜深部まで光を通し難い着色剤を含む組成物に対しても、反応が進み、現像後の被膜の水しみを抑制し、パターン形状、及び耐熱性が向上すると推測する。
Although the mechanism by which the photosensitive composition having the above structure can solve the problems of the present invention is not clear, it is speculated as follows.
2-Methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one and 2-(dimethylamino)-1-one photopolymerization initiators that have been widely used in the field of color filters. Compared to (4-morpholinophenyl)-2-benzyl-1-butanone, the compound (C1) represented by the general formula (1) has a rigid, hydrophobic, and heat-resistant fluorene skeleton. It is assumed that a cured film with high resistance can be obtained. In addition, due to the π-π interaction between the two benzene rings, the cured film has moderate cohesion. Therefore, it is presumed that while suppressing chipping of the pattern during development, it has a structure that is moderately softened against heat, and heat dripping occurs during host baking, and the cross-sectional shape of the pattern becomes good. Then, by using together with a specific oxime-based photopolymerization initiator (C2) that has a different absorption wavelength from the compound (C1) represented by the general formula (1) and has high sensitivity, the wavelength of light that can be used for photopolymerization The area is expanded and the reactivity is improved. Therefore, it is speculated that, for example, even a composition containing a coloring agent that does not allow light to pass deep into the film will undergo a reaction, suppress water staining of the film after development, and improve the pattern shape and heat resistance.

以下、一実施形態の感光性組成物に含まれるか、または含まれ得る成分を詳細に説明する。 The components that are or can be included in the photosensitive composition of one embodiment are described in detail below.

[光重合開始剤(C)]
本発明の感光性組成物は、光重合開始剤(C)として、一般式(1)で表される化合物(C1)、及びオキシム系光重合開始剤(C2)を含む。
[Photoinitiator (C)]
The photosensitive composition of the present invention contains a compound (C1) represented by general formula (1) and an oxime-based photopolymerization initiator (C2) as the photopolymerization initiator (C).

(一般式(1)で表される化合物(C1))
本発明の感光性組成物は、光重合開始剤(C)として、一般式(1)で表される化合物(C1)を含む。
(Compound (C1) represented by general formula (1))
The photosensitive composition of the present invention contains a compound (C1) represented by general formula (1) as a photopolymerization initiator (C).

一般式(1)

Figure 2023012949000003

(一般式(1)中、R、Rは、それぞれ独立して、水素原子、または炭素原子数1~8のアルキル基を表す。Rは、水素原子、または1価の置換基を表す。) General formula (1)
Figure 2023012949000003

(In general formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms. R 3 represents a hydrogen atom or a monovalent substituent. show.)

、Rは、それぞれ独立して、水素原子、または炭素原子数1~8のアルキル基を表す。
炭素原子数1~8のアルキル基としては、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、2-エチルヘキシル基、シクロペンチル基、シクロペンチルメチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルメチル基等が挙げられる。なかでも、水しみの抑制、パターン形状の観点から、炭素原子数3~8の直鎖のアルキル基が好ましく、炭素原子数4~6の直鎖のアルキル基がより好ましい。
R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms.
The alkyl group having 1 to 8 carbon atoms may be linear, branched, cyclic, or a combination thereof, such as methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl. group, isobutyl group, t-butyl group, pentyl group, isopentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, 2-ethylhexyl group, cyclopentyl group, cyclopentylmethyl group, cyclohexyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylmethyl group and the like. be done. Among them, straight-chain alkyl groups having 3 to 8 carbon atoms are preferred, and straight-chain alkyl groups having 4 to 6 carbon atoms are more preferred, from the viewpoints of water stain suppression and pattern shape.

は、水素原子、または任意の1価の置換基を表す。
1価の置換基としては、メチル基、エチル基等の炭素原子数1~20のアルキル基;メトキシ基、エトキシ基等の炭素原子数1~20のアルコキシ基;F、Cl、Br、I等のハロゲン原子;炭素原子数1~20のアシル基;炭素原子数1~20のアルキルエステル基;炭素原子数1~20のアルコキシカルボニル基;炭素原子数1~20のハロゲン化アルキル基、炭素原子数4~20の芳香族環基;アミノ基;炭素原子数1~20のアミノアルキル基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;置換基を有してよいベンゾイル基;置換基を有してよいテノイル基等が挙げられる。ベンゾイル基、またはテノイル基が有してよい置換基としては、炭素原子数1~10のアルキル基、炭素原子数1~10のアルコキシ基、炭素原子数1~10のアルコキシカルボニル基等が挙げられる。なかでも、ラジカル生成効率の観点から、水素原子、ニトロ基が好ましく、水素原子がより好ましい。
R 3 represents a hydrogen atom or any monovalent substituent.
Examples of monovalent substituents include alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms such as methyl group and ethyl group; alkoxy groups having 1 to 20 carbon atoms such as methoxy group and ethoxy group; F, Cl, Br, I and the like. a halogen atom; an acyl group having 1 to 20 carbon atoms; an alkyl ester group having 1 to 20 carbon atoms; an alkoxycarbonyl group having 1 to 20 carbon atoms; a halogenated alkyl group having 1 to 20 carbon atoms; Aromatic ring group having 4 to 20 numbers; Amino group; Aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms; Hydroxyl group; Nitro group; Cyano group; and the like. Examples of the substituent which the benzoyl group or thenoyl group may have include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 1 to 10 carbon atoms, and the like. . Among them, a hydrogen atom and a nitro group are preferred, and a hydrogen atom is more preferred, from the viewpoint of radical generation efficiency.

一般式(1)で表される化合物(C1)の製造方法は、例えば、特表2019-507108号公報、特表2019-528331号公報等に記載の方法が挙げられる。 Examples of the method for producing the compound (C1) represented by the general formula (1) include the methods described in JP-A-2019-507108, JP-A-2019-528331, and the like.

以下、一般式(1)で表される化合物(C1)の具体例を示す。なお、本発明はこれらに限定されない。 Specific examples of the compound (C1) represented by formula (1) are shown below. In addition, this invention is not limited to these.

Figure 2023012949000004
Figure 2023012949000004

化学式(2)~(4)の化合物の中でも、水しみの抑制、パターン形状、及び耐熱性の観点から、化学式(2)の化合物が好ましい。 Among the compounds represented by the chemical formulas (2) to (4), the compound represented by the chemical formula (2) is preferable from the viewpoint of suppression of water stains, pattern shape and heat resistance.

一般式(1)で表される化合物(C1)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Compound (C1) represented by formula (1) can be used alone or in combination of two or more.

(オキシム系光重合開始剤(C2))
オキシム系光重合開始剤(C2)は、1分子中にオキシム基を1つ含有する化合物(C2a)、1分子中にオキシム基を2つ含有する化合物(C2b)が挙げられ、水しみの抑制の観点から、1分子中にオキシム基を2つ含有する化合物(C2b)がより好ましい。
(Oxime-based photopolymerization initiator (C2))
The oxime-based photopolymerization initiator (C2) includes a compound (C2a) containing one oxime group in one molecule and a compound (C2b) containing two oxime groups in one molecule. From the viewpoint of , a compound (C2b) containing two oxime groups in one molecule is more preferable.

〔1分子中にオキシム基を1つ含有する化合物(C2a)〕
1分子中にオキシム基を1つ含有する化合物(C2a)の市販品は、例えば、BASF社製のIRGACURE OXE-01,02,03,04、ADEKA社製のアデカアークルズN-1919,NCI-730,831,930、常州強力新材料社製のTRONLY TR-PBG-301,304,305,309,314,358,380,365,610,3054,3057、IGM Resins社製のOMNIRAD1312,1314,1316、サムヤンコーポレーション社製のSPI-02,03,04,06,07、ダイトーケミックス社製のDFI-020,036、EOX-01等が挙げられる。
[Compound (C2a) containing one oxime group in one molecule]
Commercial products of the compound (C2a) containing one oxime group in one molecule include, for example, IRGACURE OXE-01, 02, 03, 04 manufactured by BASF, Adeka Arcles N-1919 manufactured by ADEKA, NCI- 730, 831, 930, TRONLY TR-PBG-301, 304, 305, 309, 314, 358, 380, 365, 610, 3054, 3057 manufactured by Changzhou Strong New Materials Co., Ltd., OMNIRAD 1312, 1314, 1316 manufactured by IGM Resins , SPI-02, 03, 04, 06, 07 manufactured by Samyang Corporation, and DFI-020, 036 and EOX-01 manufactured by Daito Chemix.

1分子中にオキシム基を1つ含有する化合物(C2a)の具体例は、例えば、以下のものが挙げられる。なお、本発明はこれらに限定されない。 Specific examples of the compound (C2a) containing one oxime group in one molecule include the following. In addition, this invention is not limited to these.

化学式(5)

Figure 2023012949000005


Figure 2023012949000006
chemical formula (5)
Figure 2023012949000005


Figure 2023012949000006

化学式(5)~(8)の化合物の製造方法は、例えば、特表2004-534797号公報、特開2008-80068号公報、特表2012-526185号公報、国際公開第2015/036910号、国際公開第2015/152153号、特表2016-504270号公報、特表2017-512886号公報等に記載の方法が挙げられる。 Methods for producing compounds of chemical formulas (5) to (8) include, for example, JP-A-2004-534797, JP-A-2008-80068, JP-A-2012-526185, International Publication No. 2015/036910, International Examples include methods described in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015/152153, Japanese Patent Publication No. 2016-504270, Japanese Patent Publication No. 2017-512886, and the like.

1分子中にオキシム基を1つ含有する化合物(C2a)は、パターン形状、耐熱性の観点から、化学式(5)~(8)の化合物からなる群から選ばれる1種以上を含むことが好ましい。 The compound (C2a) containing one oxime group in one molecule preferably contains one or more selected from the group consisting of compounds represented by chemical formulas (5) to (8) from the viewpoint of pattern shape and heat resistance. .

1分子中にオキシム基を1つ含有する化合物(C2a)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 The compound (C2a) containing one oxime group in one molecule can be used alone or in combination of two or more.

〔1分子中にオキシム基を2つ含有する化合物(C2b)〕
1分子中にオキシム基を2つ含有する化合物(C2b)は、例えば、特開2005-215378号公報、特開2011-105713号公報、特表2017-523465号公報、特開2021-011486号公報等に記載の化合物等が挙げられる。なかでも、下記一般式(9)で表される化合物が好ましい。
[Compound (C2b) Containing Two Oxime Groups in One Molecule]
Compounds containing two oxime groups in one molecule (C2b) are, for example, JP-A-2005-215378, JP-A-2011-105713, JP-A-2017-523465, JP-A-2021-011486. and the like. Among them, a compound represented by the following general formula (9) is preferable.

一般式(9)

Figure 2023012949000007


一般式(9)中、X及びXは、それぞれ独立にカルボニル結合(-CO-)または単結合を表す。Xは、単結合または硫黄原子を表す。Rは、炭素数1~20のアルキル基を表し、R及びRは、個々独立に水素原子、炭素数1~20のアルキル基、炭素数2~30の複素環、炭素数6~30のアリール基、または炭素原子数7~30のアリールアルキル基を表す。R及びRは、各々独立に炭素数1~20のアルキル基、炭素原子数2~30の複素環基、炭素数6~30のアリール基、または炭素数7~30のアリールアルキル基を表す。 general formula (9)
Figure 2023012949000007


In general formula (9), X 1 and X 2 each independently represent a carbonyl bond (--CO--) or a single bond. X3 represents a single bond or a sulfur atom. R 1 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, R 2 and R 3 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a heterocyclic ring having 2 to 30 carbon atoms, It represents an aryl group of 30 or an arylalkyl group of 7 to 30 carbon atoms. R 4 and R 5 each independently represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a heterocyclic group having 2 to 30 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms. show.

一般式(9)中、X及びXは、それぞれ独立にカルボニル結合(-CO-)または単結合を表す。なかでも、有機溶剤への溶解性の観点から、X及びXの少なくとも1つはカルボニル結合(-CO-)であることが好ましく、X及びXがカルボニル結合(-CO-)であることがより好ましい。 In general formula (9), X 1 and X 2 each independently represent a carbonyl bond (--CO--) or a single bond. Among them, from the viewpoint of solubility in organic solvents, at least one of X 1 and X 2 is preferably a carbonyl bond (-CO-), and X 1 and X 2 are a carbonyl bond (-CO-). It is more preferable to have

一般式(9)中、Xは、単結合または硫黄原子であり、単結合が好ましい。 In general formula ( 9 ), X3 is a single bond or a sulfur atom, preferably a single bond.

一般式(9)中、Rは、炭素数1~20のアルキル基を表す。
炭素数1~20のアルキル基は、直鎖状、分岐状、環状、またはこれらの組合せのアルキル基のいずれであってもよく、また、ハロゲン原子、アミノ基、ニトロ基等で置換されたアルキル基であってもよい。例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、アミル基、イソアミル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、2-エチルヘキシル基、ノニル基、デシル基、シクロペンチル基、シクロペンチルメチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルメチル基等が挙げられる。これらの中でも、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が好ましい。
In general formula (9), R 1 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms.
The alkyl group having 1 to 20 carbon atoms may be linear, branched, cyclic, or a combination thereof. may be a base. For example, methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, t-butyl group, amyl group, isoamyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, isooctyl group, 2-ethylhexyl group , nonyl group, decyl group, cyclopentyl group, cyclopentylmethyl group, cyclohexyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylmethyl group and the like. Among these, an ethyl group, a propyl group and an isopropyl group are preferred.

一般式(9)中、R及びRは、それぞれ独立に水素原子、炭素数1~20のアルキル基、炭素数2~30の複素環、炭素数6~30のアリール基、または炭素原子数7~30のアリールアルキル基を表す。
炭素数1~20のアルキル基は、直鎖状、分岐状、環状、またはこれらの組合せのアルキル基のいずれであってもよく、また、ハロゲン原子、アミノ基、ニトロ基等で置換されたアルキル基であってもよい。例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、アミル基、イソアミル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、2-エチルヘキシル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ドデシル基、ヘキサデシル基、シクロペンチル基、シクロペンチルメチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルメチル基等が挙げられる。これらの中でも、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、シクロペンチル基、シクロペンチルメチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルメチル基が好ましい。
炭素数2~30の複素環基は、例えば、ピリジル基、ピリミジル基、フリル基、テトラヒドロフリル基、ジオキソラニル基、イミダゾリジル基、オキサゾリジル基、ピペリジル基、モルホリニル基等が挙げられる。
炭素数6~30のアリール基は、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、エチルフェニル基、ナフチル基、アンスリル基等が挙げられる。アリール基は、ハロゲン原子、アミノ基、ニトロ基等で置換された基であってもよい。
炭素数7~30のアリールアルキル基は、例えば、ベンジル基、α―メチルベンジル、α,α―ジメチルベンジル基、フェニルエチル基等が挙げられる。アリールアルキル基は、ハロゲン原子、アミノ基、ニトロ基等で置換された基であってもよい。
In general formula (9), R 2 and R 3 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a heterocyclic ring having 2 to 30 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or a carbon atom. represents an arylalkyl group of numbers 7 to 30;
The alkyl group having 1 to 20 carbon atoms may be linear, branched, cyclic, or a combination thereof. may be a base. For example, methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, t-butyl group, amyl group, isoamyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, isooctyl group, 2-ethylhexyl group , nonyl group, isononyl group, decyl group, isodecyl group, undecyl group, dodecyl group, hexadecyl group, cyclopentyl group, cyclopentylmethyl group, cyclohexyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylmethyl group and the like. Among these, pentyl group, hexyl group, heptyl group, cyclopentyl group, cyclopentylmethyl group, cyclohexyl group, cyclohexylmethyl group and cyclohexylmethyl group are preferable.
Examples of the heterocyclic group having 2 to 30 carbon atoms include pyridyl group, pyrimidyl group, furyl group, tetrahydrofuryl group, dioxolanyl group, imidazolidyl group, oxazolidyl group, piperidyl group and morpholinyl group.
Examples of the aryl group having 6 to 30 carbon atoms include phenyl group, tolyl group, xylyl group, ethylphenyl group, naphthyl group and anthryl group. The aryl group may be a group substituted with a halogen atom, an amino group, a nitro group, or the like.
Examples of arylalkyl groups having 7 to 30 carbon atoms include benzyl group, α-methylbenzyl group, α,α-dimethylbenzyl group, phenylethyl group and the like. An arylalkyl group may be a group substituted with a halogen atom, an amino group, a nitro group, or the like.

これらの中でも、R及びRは、有機溶剤への溶解性の観点から、少なくとも1つは炭素数1~20の直鎖状のアルキル基であることが好ましく、有機溶剤への溶解性、及び水しみの抑制の観点から、炭素数1~20の直鎖状のアルキル基と炭素数1~20の環状のアルキル基であることがより好ましい。 Among these, from the viewpoint of solubility in organic solvents, at least one of R 2 and R 3 is preferably a linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms. And from the viewpoint of suppressing water staining, a linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms and a cyclic alkyl group having 1 to 20 carbon atoms are more preferable.

一般式(9)中、R及びRは、それぞれ独立に炭素数1~20のアルキル基、炭素原子数2~30の複素環基、炭素数6~30のアリール基、または炭素数7~30のアリールアルキル基を表す。
炭素数1~20のアルキル基は、直鎖状、分岐状、環状、またはこれらの組合せのアルキル基のいずれであってもよく、また、ハロゲン原子、アミノ基、ニトロ基等で置換されたアルキル基であってもよい。例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、アミル基、イソアミル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロペンチル基、シクロペンチルメチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。これらの中でも、反応性の観点から、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が好ましい。
炭素数2~30の複素環基は、例えば、ピリジル基、ピリミジル基、フリル基、テトラヒドロフリル基、ジオキソラニル基、イミダゾリジル基、オキサゾリジル基、ピペリジル基、モルホリニル基等が挙げられる。
炭素数6~30のアリール基は、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、エチルフェニル基、ナフチル基、アンスリル基等が挙げられる。アリール基は、また、ハロゲン原子、アミノ基、ニトロ基等で置換された基であってもよい。これらの中でも、反応性の観点から、フェニル基が好ましい。
炭素数7~30のアリールアルキル基は、例えば、ベンジル基、α―メチルベンジル、α,α―ジメチルベンジル基、フェニルエチル基等が挙げられる。アリールアルキル基は、ハロゲン原子、アミノ基、ニトロ基等で置換された基であってもよい。
In general formula (9), R 4 and R 5 each independently represent an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a heterocyclic group having 2 to 30 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or 7 carbon atoms. represents an arylalkyl group of ∼30.
The alkyl group having 1 to 20 carbon atoms may be linear, branched, cyclic, or a combination thereof. may be a base. Examples include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, t-butyl group, amyl group, isoamyl group, pentyl group, hexyl group, cyclopentyl group, cyclopentylmethyl group, cyclohexyl group and the like. . Among these, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and an isopropyl group are preferable from the viewpoint of reactivity.
Examples of the heterocyclic group having 2 to 30 carbon atoms include pyridyl group, pyrimidyl group, furyl group, tetrahydrofuryl group, dioxolanyl group, imidazolidyl group, oxazolidyl group, piperidyl group and morpholinyl group.
Examples of the aryl group having 6 to 30 carbon atoms include phenyl group, tolyl group, xylyl group, ethylphenyl group, naphthyl group and anthryl group. Aryl groups may also be groups substituted with halogen atoms, amino groups, nitro groups, and the like. Among these, a phenyl group is preferable from the viewpoint of reactivity.
Examples of arylalkyl groups having 7 to 30 carbon atoms include benzyl group, α-methylbenzyl group, α,α-dimethylbenzyl group, phenylethyl group and the like. An arylalkyl group may be a group substituted with a halogen atom, an amino group, a nitro group, or the like.

これらの中でも、R及びRは、反応性の観点から、メチル基、エチル基、またはフェニル基が好ましく、メチル基、またはエチル基がより好ましい。 Among these, R 4 and R 5 are preferably a methyl group, an ethyl group, or a phenyl group, more preferably a methyl group or an ethyl group, from the viewpoint of reactivity.

一般式(9)で表される化合物の製造方法は、特に限定されるものではなく、公知の方法を用いることができる。例えば、特表2017-523465号公報、特開2021-011486号公報等に記載の方法を用いることができる。 The method for producing the compound represented by formula (9) is not particularly limited, and known methods can be used. For example, the methods described in JP-A-2017-523465, JP-A-2021-011486, etc. can be used.

以下、1分子中にオキシム基を2つ含有する化合物(C2b)の具体例を示す。なお、本発明はこれらに限定されない。 Specific examples of the compound (C2b) containing two oxime groups in one molecule are shown below. In addition, this invention is not limited to these.

Figure 2023012949000008
Figure 2023012949000008
Figure 2023012949000009
Figure 2023012949000009

化学式(10)~(13)の中でも、水しみの抑制の観点から、化学式(10)の化合物が好ましい。 Among chemical formulas (10) to (13), the compound of chemical formula (10) is preferable from the viewpoint of suppressing water stains.

1分子中にオキシム基を2つ含有する化合物(C2b)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 The compound (C2b) containing two oxime groups in one molecule can be used alone or in combination of two or more.

一般式(1)で表される化合物(C1)とオキシム系光重合開始剤(C2)の質量比は、水しみの抑制、パターン形状、及び耐熱性の観点から、90:10~10:90が好ましく、80:20~20:80がより好ましく、70:30~30:70が特に好ましい。 The mass ratio of the compound (C1) represented by the general formula (1) and the oxime-based photopolymerization initiator (C2) is 90:10 to 10:90 from the viewpoints of suppression of water stains, pattern shape, and heat resistance. is preferred, 80:20 to 20:80 is more preferred, and 70:30 to 30:70 is particularly preferred.

一般式(1)で表される化合物(C1)とオキシム系光重合開始剤(C2)の合計含有量は、水しみの抑制、パターン形状、及び耐熱性の観点から、光重合開始剤(C)100質量%中、60~100質量%であることが好ましく、80~100質量%であることがより好ましい。 The total content of the compound (C1) represented by the general formula (1) and the oxime-based photopolymerization initiator (C2) is the photopolymerization initiator (C ) in 100% by mass, preferably 60 to 100% by mass, more preferably 80 to 100% by mass.

(その他光重合開始剤(C3))
本発明の感光性組成物は、一般式(1)で表される化合物(C1)、及びオキシム系光重合開始剤(C2)以外の光重合開始剤(C3)(以下、その他光重合開始剤(C3)ともいう)を含むことができる。
(Other photopolymerization initiators (C3))
The photosensitive composition of the present invention includes a compound (C1) represented by the general formula (1), and a photopolymerization initiator (C3) other than the oxime photopolymerization initiator (C2) (hereinafter, other photopolymerization initiators (also referred to as C3)).

その他光重合開始剤(C3)は、光により重合性化合物(B)の重合を開始可能な化合物であれば、特に制限はなく、公知の光重合開始剤を使用できる。例えば、4-フェノキシジクロロアセトフェノン、4-t-ブチル-ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1-(4-イソプロピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-(ジメチルアミノ)-1-[4-(4-モルホリノ)フェニル]-2-(フェニルメチル)-1-ブタノン、または2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル]-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン等のアセトフェノン系化合物;
2,4,6-トリクロロ-s-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-トリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-ピペロニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-スチリル-s-トリアジン、2-(ナフト-1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシ-ナフト-1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-(ピペロニル)-6-トリアジン、または2,4-トリクロロメチル-(4’-メトキシスチリル)-6-トリアジン等のトリアジン系化合物;
ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、またはジフェニル-2,4,6-トリメチルベンゾイルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン系化合物;
9,10-フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等のキノン系化合物;ボレート系化合物;カルバゾール系化合物;イミダゾール系化合物;あるいは、チタノセン系化合物等が挙げられる。
Other photopolymerization initiators (C3) are not particularly limited as long as they are compounds capable of initiating polymerization of the polymerizable compound (B) by light, and known photopolymerization initiators can be used. For example, 4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t-butyl-dichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, 1-(4-isopropylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, 2-(dimethylamino)-1-[4-(4-morpholino)phenyl]-2-(phenylmethyl )-1-butanone, or acetophenone compounds such as 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone;
2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s -triazine, 2-(p-tolyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-piperonyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4-bis(trichloro methyl)-6-styryl-s-triazine, 2-(naphth-1-yl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(4-methoxy-naphth-1-yl)-4 ,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4-trichloromethyl-(piperonyl)-6-triazine, or triazines such as 2,4-trichloromethyl-(4′-methoxystyryl)-6-triazine system compound;
Acylphosphine compounds such as bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphine oxide or diphenyl-2,4,6-trimethylbenzoylphosphine oxide;
quinone compounds such as 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, and ethylanthraquinone; borate compounds; carbazole compounds; imidazole compounds;

その他光重合開始剤(C3)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Other photopolymerization initiators (C3) can be used alone or in combination of two or more.

光重合開始剤(C)の含有量は、重合性化合物(B)100質量部に対して、光硬化性の観点から、1~100質量部が好ましく、3~50質量部がより好ましく、5~30質量部が特に好ましい。 The content of the photopolymerization initiator (C) is preferably 1 to 100 parts by mass, more preferably 3 to 50 parts by mass, based on 100 parts by mass of the polymerizable compound (B), from the viewpoint of photocurability. ~30 parts by weight is particularly preferred.

[アルカリ可溶性樹脂(A)]
本発明の感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂(A)を含む。アルカリ可溶性樹脂(A)は、バインダ樹脂である。
[Alkali-soluble resin (A)]
The photosensitive composition of the present invention contains an alkali-soluble resin (A). Alkali-soluble resin (A) is a binder resin.

アルカリ可溶性樹脂(A)は、アルカリ現像液に溶解する樹脂であればよく、公知の樹脂を用いることができる。アルカリ可溶性樹脂(A)は、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、ヒドロキシル基、フェノール性ヒドロキシル基などのアルカリ可溶性基を有することが好ましい。これらの中でも、カルボキシル基が好ましい。
具体的には、酸性基を有するアクリル樹脂、α-オレフィン/(無水)マレイン酸共重合体、スチレン/スチレンスルホン酸共重合体、エチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、またはイソブチレン/(無水)マレイン酸共重合体等が挙げられる。また、アルカリ可溶性樹脂(A)は、ビニル基、(メタ)アリル基や(メタ)アクリロイル基等の重合性不飽和基、エポキシ基やオキセタニル基等の熱硬化性基を含有できる。
The alkali-soluble resin (A) may be any resin that dissolves in an alkali developer, and known resins can be used. The alkali-soluble resin (A) preferably has alkali-soluble groups such as carboxyl groups, phosphoric acid groups, sulfonic acid groups, hydroxyl groups, and phenolic hydroxyl groups. Among these, a carboxyl group is preferred.
Specifically, an acrylic resin having an acidic group, an α-olefin/(anhydrous) maleic acid copolymer, a styrene/styrenesulfonic acid copolymer, an ethylene/(meth)acrylic acid copolymer, or an isobutylene/(anhydrous ) maleic acid copolymers and the like. Further, the alkali-soluble resin (A) can contain a vinyl group, a polymerizable unsaturated group such as (meth)allyl group or (meth)acryloyl group, or a thermosetting group such as epoxy group or oxetanyl group.

アルカリ可溶性樹脂(A)の重量平均分子量(Mw)は、2,000~40,000が好ましく、3,000~30,000がより好ましく、4,000~25,000が特に好ましい。 The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin (A) is preferably 2,000 to 40,000, more preferably 3,000 to 30,000, particularly preferably 4,000 to 25,000.

アルカリ可溶性樹脂(A)の酸価は、現像性の観点から、30~200mgKOH/gが好ましく、40~180mgKOH/gがより好ましい。 The acid value of the alkali-soluble resin (A) is preferably 30 to 200 mgKOH/g, more preferably 40 to 180 mgKOH/g, from the viewpoint of developability.

アルカリ可溶性樹脂(A)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、1~80質量%が好ましく、5~60質量%がより好ましい。 The content of the alkali-soluble resin (A) is preferably 1 to 80% by mass, more preferably 5 to 60% by mass, based on 100% by mass of the non-volatile matter of the photosensitive composition.

アルカリ可溶性樹脂(A)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Alkali-soluble resin (A) can be used alone or in combination of two or more.

(アルカリ可溶性樹脂(A1))
アルカリ可溶性樹脂(A)は、水しみの抑制、耐熱性の観点から、脂環式炭化水素含有単量体単位(a1)、及び重合性不飽和基含有単量体単位(a2)を含有するアルカリ可溶性樹脂(A1)を含むことが好ましい。疎水性が高く、柔軟性と剛直性を兼ね備えた脂環式炭化水素構造は、現像液との親和性が低く、強靭な膜を形成できると推測する。そして、重合性不飽和基を有することで、露光により樹脂同士が架橋することでより強靭な硬化膜を形成でき、水しみが抑制され、耐熱性が良好なパターンが得られると推測する。
(Alkali-soluble resin (A1))
The alkali-soluble resin (A) contains an alicyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a1) and a polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2) from the viewpoint of water stain suppression and heat resistance. It preferably contains an alkali-soluble resin (A1). We presume that the alicyclic hydrocarbon structure, which is highly hydrophobic and has both flexibility and rigidity, has low affinity with the developer and can form a tough film. And it is presumed that by having a polymerizable unsaturated group, a stronger cured film can be formed by cross-linking the resins by exposure, water staining can be suppressed, and a pattern with good heat resistance can be obtained.

アルカリ可溶性樹脂(A1)は、脂環式炭化水素含有単量体単位(a1)、及び重合性不飽和基含有単量体単位(a2)を含有する樹脂であれば特に制限がなく、公知の樹脂を用いることができる。例えば、脂環式炭化水素含有単量体単位(a1)を形成する単量体と、重合性不飽和基含有単量体単位(a2)を形成する単量体との共重合体や、脂環式炭化水素含有単量体単位(a1)を形成する単量体と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体に、重合性不飽和基を有する化合物を反応させて重合性不飽和基含有単量体単位(a2)を導入した共重合体や、特開2008-165059号公報に記載の方法で得られた共重合体等が挙げられる。なお、重合性不飽和基含有単量体単位(a2)は、当該単位中に重合性不飽和基を含有する単位である。また、アルカル可溶性基は、樹脂(A1)の任意の部位に有すればよい。 The alkali-soluble resin (A1) is not particularly limited as long as it contains an alicyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a1) and a polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2). Resin can be used. For example, a copolymer of a monomer forming the alicyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a1) and a monomer forming the polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2), reacting a compound having a polymerizable unsaturated group with a copolymer of a monomer forming the cyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a1) and another monomer copolymerizable therewith; A copolymer into which a polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2) is introduced, a copolymer obtained by the method described in JP-A-2008-165059, and the like can be mentioned. The polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2) is a unit containing a polymerizable unsaturated group. Moreover, the alkali-soluble group may be present at any site of the resin (A1).

〔脂環式炭化水素含有単量体単位(a1)〕
脂環式炭化水素含有単量体単位(a1)を形成する単量体は、例えば、イソボロニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの中でも、水しみの抑制、パターン形状の観点から、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレートが好ましい。
[Alicyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a1)]
Monomers forming the alicyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a1) include, for example, isobornyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, dicyclopentanyl (meth)acrylate, dicyclopentenyl (meth) Acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth)acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth)acrylate, adamantyl (meth)acrylate and the like. Among these, dicyclopentanyl (meth)acrylate, dicyclopentenyl (meth)acrylate, and dicyclopentanyloxyethyl (meth)acrylate are preferable from the viewpoint of water stain suppression and pattern shape.

脂環式炭化水素含有単量体単位(a1)の含有量は、水しみの抑制、パターン形状の観点から、アルカリ可溶性樹脂(A1)の全構成単位中、1~60モル%が好ましく、1~40モル%がより好ましい。 The content of the alicyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a1) is preferably 1 to 60 mol% of the total structural units of the alkali-soluble resin (A1) from the viewpoint of water stain suppression and pattern shape. ~40 mol% is more preferred.

〔重合性不飽和基含有単量体単位(a2)〕
アルカリ可溶性樹脂(A1)に、重合性不飽和基含有単量体単位(a2)を含有させる方法は、例えば、以下に示す(i)~(iii)の方法がある。
[Polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2)]
Methods for incorporating the polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2) into the alkali-soluble resin (A1) include, for example, the following methods (i) to (iii).

<方法(i)>
方法(i)は、例えば、まず、エポキシ基含有単量体、及びその他単量体の重合体(前駆体)を合成する。次いで、前記前駆体のエポキシ基に、カルボキシル基含有単量体(変性化合物)を付加する。
<Method (i)>
In method (i), for example, first, a polymer (precursor) of an epoxy group-containing monomer and other monomers is synthesized. Next, a carboxyl group-containing monomer (modified compound) is added to the epoxy group of the precursor.

エポキシ基含有単量体は、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、2-グリシドキシエチル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシブチル(メタ)アクリレート、及び3,4-エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートが挙げられる。これらの中でも、反応性の観点で、グリシジル(メタ)アクリレートが好ましい。 Epoxy group-containing monomers include, for example, glycidyl (meth)acrylate, methylglycidyl (meth)acrylate, 2-glycidoxyethyl (meth)acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth)acrylate, and 3,4- Epoxycyclohexyl (meth)acrylates can be mentioned. Among these, glycidyl (meth)acrylate is preferable from the viewpoint of reactivity.

カルボキシル基含有単量体は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸等が挙げられる。これらの中でも、アクリル酸、メタクリル酸が好ましい。 Carboxyl group-containing monomers include, for example, acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, and fumaric acid. Among these, acrylic acid and methacrylic acid are preferred.

現像性の観点から、エポキシ基含有単量体単位のエポキシ基に、カルボキシル基含有単量体のカルボキシル基を付加させた生成物に、更に、酸無水物を反応させた生成物も重合性不飽和基含有単量体単位(a2)として好ましい。 From the viewpoint of developability, the product obtained by adding the carboxyl group of the carboxyl group-containing monomer to the epoxy group of the epoxy group-containing monomer unit and the product obtained by further reacting the acid anhydride are also polymerizable non-polymerizable products. It is preferable as the saturated group-containing monomeric unit (a2).

酸無水物は、例えば、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等が挙げられる。 Examples of acid anhydrides include tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, and maleic anhydride.

<方法(ii)>
方法(ii)は、例えば、まず、カルボキシル基含有単量体、及びその他単量体の重合体(前駆体)を合成する。次いで、前記前駆体のカルボキシル基の一部にエポキシ基含有単量体(変性化合物)を付加することでカルボキシル基と重合性不飽和基を有することができる。
<Method (ii)>
Method (ii), for example, first synthesizes a polymer (precursor) of a carboxyl group-containing monomer and other monomers. Then, by adding an epoxy group-containing monomer (modified compound) to part of the carboxyl groups of the precursor, it is possible to have carboxyl groups and polymerizable unsaturated groups.

<方法(iii)>
方法(iii)は、例えば、まず、水酸基含有単量体、カルボキシル基含有単量体、及びその他単量体の重合体(前駆体)を合成する。次いで、前記前駆体の水酸基に、イソシアネート基含有単量体(変性化合物)のイソシアネート基を反応させる。
<Method (iii)>
Method (iii), for example, first synthesizes a polymer (precursor) of a hydroxyl group-containing monomer, a carboxyl group-containing monomer, and other monomers. Next, the hydroxyl group of the precursor is reacted with the isocyanate group of the isocyanate group-containing monomer (modified compound).

水酸基含有単量体は、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-若しくは3-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-若しくは3-若しくは4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、またはシクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類が挙げられる。 Hydroxyl group-containing monomers, for example, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2- or 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- or 3- or 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) Examples include acrylates or hydroxyalkyl (meth)acrylates such as cyclohexanedimethanol mono(meth)acrylate.

イソシアネート基含有単量体は、例えば、2-(メタ)アクリロイルエチルイソシアネート、2-(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、または1,1-ビス〔メタアクリロイルオキシ〕エチルイソシアネート等が挙げられる。 Examples of isocyanate group-containing monomers include 2-(meth)acryloylethyl isocyanate, 2-(meth)acryloyloxyethyl isocyanate, 1,1-bis[methacryloyloxy]ethyl isocyanate, and the like.

重合性不飽和基含有単量体単位(a2)の含有量は、パターン形状の観点から、アルカリ可溶性樹脂(A1)の全構成単位中、5~80モル%が好ましく、10~80モル%がより好ましい。 The content of the polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2) is preferably 5 to 80 mol%, more preferably 10 to 80 mol% of the total constituent units of the alkali-soluble resin (A1) from the viewpoint of the pattern shape. more preferred.

〔ホモポリマーのガラス転移温度が0℃以下である単量体単位(a3)〕
アルカリ可溶性樹脂(A1)は、パターン形状の観点から、ホモポリマーのガラス転移温度が0℃以下である単量体単位(a3)(ただし、(a1)および(a2)を除く)を含有することが好ましい。より好ましくは、ホモポリマーのガラス転移温度が-10℃以下である単量体単位(a3)であり、特に好ましくは、ホモポリマーのガラス転移温度が-30℃以下である単量体単位(a3)である。なお、ホモポリマーとは、各単量体の単独重合体のことであり、ガラス転移温度の値は、Brandrup,J.Immergut,E.H.編集「Polymer Handbook,Third edition,John wiley & sons,1989」に示された値を使用する。
[Monomer unit (a3) whose homopolymer has a glass transition temperature of 0° C. or lower]
From the viewpoint of the pattern shape, the alkali-soluble resin (A1) contains a monomer unit (a3) (excluding (a1) and (a2)) whose homopolymer glass transition temperature is 0° C. or lower. is preferred. More preferably, the monomeric unit (a3) is a homopolymer having a glass transition temperature of −10° C. or lower, and particularly preferably the monomeric unit (a3) is a homopolymer having a glass transition temperature of −30° C. or lower. ). The homopolymer means a homopolymer of each monomer, and the value of the glass transition temperature is according to Brandrup, J.; Immergut, E.; H. The values given in the ed. "Polymer Handbook, Third edition, John wiley & sons, 1989" are used.

ホモポリマーのガラス転移温度が0℃以下である単量体単位(a3)を形成する単量体は、例えば、フェノキシエチルアクリレート(-22℃)、ラウリルアクリレート(-3℃)、2-エチルヘキシルアクリレート(-50℃)、n-ヘキシルアクリレート(-57℃)、n-ブチルアクリレート(-48℃)、イソブチルアクリレート(-40℃)、エチルアクリレート(-24℃)、ラウリルメタクリレート(-65℃)、n-ヘキシルメタクリレート(-5℃)、2-エチルヘキシルメタクリレート(-10℃)、2-メトキシエチルアクリレート(-50℃)、テトラヒドロフルフリルアクリレート(-12℃)等が挙げられる。これらの中でも、2-エチルヘキシルアクリレート、2-メトキシエチルアクリレートが好ましい。 Monomers forming the monomer unit (a3) whose homopolymer has a glass transition temperature of 0°C or lower include, for example, phenoxyethyl acrylate (-22°C), lauryl acrylate (-3°C), and 2-ethylhexyl acrylate. (-50°C), n-hexyl acrylate (-57°C), n-butyl acrylate (-48°C), isobutyl acrylate (-40°C), ethyl acrylate (-24°C), lauryl methacrylate (-65°C), n-hexyl methacrylate (-5°C), 2-ethylhexyl methacrylate (-10°C), 2-methoxyethyl acrylate (-50°C), tetrahydrofurfuryl acrylate (-12°C) and the like. Among these, 2-ethylhexyl acrylate and 2-methoxyethyl acrylate are preferred.

ホモポリマーのガラス転移温度が0℃以下である単量体単位(a3)の含有量は、パターン形状の観点から、アルカリ可溶性樹脂(A1)の全構成単位中、1~50モル%が好ましく、5~40モル%がより好ましい。 The content of the monomer unit (a3) whose homopolymer has a glass transition temperature of 0° C. or lower is preferably 1 to 50 mol % of the total structural units of the alkali-soluble resin (A1) from the viewpoint of the pattern shape. 5 to 40 mol % is more preferred.

〔その他単量体単位(a4)〕
アルカリ可溶性樹脂(A1)は、(a1)~(a3)以外の単量体単位(以下、その他単量体単位(a4)ともいう)を含有できる。
[Other monomer units (a4)]
The alkali-soluble resin (A1) can contain monomer units other than (a1) to (a3) (hereinafter also referred to as other monomer units (a4)).

その他単量体単位(a4)を形成する単量体は、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、n-ブチルメタクリレート、t-ブチルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、フェニルメタクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリレート類;
2-ヒドロキシエチルメタクリレート、2-若しくは3-ヒドロキシプロピルメタクリレート、グリセリンモノメタクリレート等の水酸基含有(メタ)アクリレート類;
グリシジル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、2-グリシドキシエチル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシブチル(メタ)アクリレート、及び3,4-エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート等のエポキシ基含有(メタ)アクリレート類;
アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸等の不飽和カルボン酸類;
(メタ)アクリルアミド、N,N-ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,N-ジエチル(メタ)アクリルアミド、N-イソプロピル(メタ)アクリルアミド、ダイアセトン(メタ)アクリルアミド、またはアクリロイルモルホリン等の(メタ)アクリルアミド類;
エチルビニルエーテル、n-プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、n-ブチルビニルエーテル、またはイソブチルビニルエーテル等のビニルエーテル類;
酢酸ビニル、またはプロピオン酸ビニル等の脂肪酸ビニル類;
フェニルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、1,2-ビスマレイミドエタン1,6-ビスマレイミドヘキサン、3-マレイミドプロピオン酸、6,7-メチレンジオキシ-4-メチル-3-マレイミドクマリン、4,4’-ビスマレイミドジフェニルメタン、ビス(3-エチル-5-メチル-4-マレイミドフェニル)メタン、N,N’-1,3-フェニレンジマレイミド、N,N’-1,4-フェニレンジマレイミド、N-(1-ピレニル)マレイミド、N-(2,4,6-トリクロロフェニル)マレイミド、N-(4-アミノフェニル)マレイミド、N-(4-ニトロフェニル)マレイミド、N-ベンジルマレイミド、N-ブロモメチル-2,3-ジクロロマレイミド、N-スクシンイミジル-3-マレイミドベンゾエ-ト、N-スクシンイミジル-3-マレイミドプロピオナ-ト、N-スクシンイミジル-4-マレイミドブチラ-ト、N-スクシンイミジル-6-マレイミドヘキサノア-ト、N-[4-(2-ベンゾイミダゾリル)フェニル]マレイミド、9-マレイミドアクリジン等のN-置換マレイミド類;
2-(メタ)アクリロイルオキシエチルアシッドフォスフェート、上述した水酸基含有(メタ)アクリレートの水酸基に、たとえば5酸化リンやポリリン酸等のリン酸エステル化剤を反応させた化合物等のリン酸エステル基含有(メタ)アクリレート類等;
ジメチル-2,2’-[オキシビス(メチレン)]ビス-2-プロペノエート、ジエチル-2,2’-[オキシビス(メチレン)]ビス-2-プロペノエート、ジ(n-プロピル)-2,2’-[オキシビス(メチレン)]ビス-2-プロペノエート、ジ(イソプロピル)-2,2’-[オキシビス(メチレン)]ビス-2-プロペノエート、ジ(2-エチルヘキシル)-2,2’-[オキシビス(メチレン)]ビス-2-プロペノエート等が挙げられる。これらの単量体は、単独または2種以上併用して使用できる。
Other monomers forming the monomer unit (a4) include, for example, methyl (meth)acrylate, ethyl methacrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, stearyl methacrylate, phenyl methacrylate, benzyl (meth) (meth)acrylates such as acrylates;
hydroxy group-containing (meth)acrylates such as 2-hydroxyethyl methacrylate, 2- or 3-hydroxypropyl methacrylate, glycerin monomethacrylate;
epoxy groups such as glycidyl (meth)acrylate, methylglycidyl (meth)acrylate, 2-glycidoxyethyl (meth)acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth)acrylate, and 3,4-epoxycyclohexyl (meth)acrylate; containing (meth)acrylates;
Unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid;
(Meth)acrylamide, N,N-dimethyl(meth)acrylamide, N,N-diethyl(meth)acrylamide, N-isopropyl(meth)acrylamide, diacetone (meth)acrylamide, or (meth)acrylamides such as acryloylmorpholine ;
vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, n-propyl vinyl ether, isopropyl vinyl ether, n-butyl vinyl ether, or isobutyl vinyl ether;
Fatty acid vinyls such as vinyl acetate or vinyl propionate;
phenylmaleimide, methylmaleimide, ethylmaleimide, 1,2-bismaleimidoethane, 1,6-bismaleimidohexane, 3-maleimidopropionic acid, 6,7-methylenedioxy-4-methyl-3-maleimidocoumarin, 4,4 '-bismaleimidodiphenylmethane, bis(3-ethyl-5-methyl-4-maleimidophenyl)methane, N,N'-1,3-phenylenedimaleimide, N,N'-1,4-phenylenedimaleimide, N -(1-pyrenyl)maleimide, N-(2,4,6-trichlorophenyl)maleimide, N-(4-aminophenyl)maleimide, N-(4-nitrophenyl)maleimide, N-benzylmaleimide, N-bromomethyl -2,3-dichloromaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N-succinimidyl-3-maleimidopropionate, N-succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6- N-substituted maleimides such as maleimidohexanoate, N-[4-(2-benzimidazolyl)phenyl]maleimide, 9-maleimidoacridine;
2-(Meth)acryloyloxyethyl acid phosphate, a compound obtained by reacting the hydroxyl group of the above-mentioned hydroxyl group-containing (meth)acrylate with a phosphoric acid esterifying agent such as phosphorus pentoxide or polyphosphoric acid, etc. containing a phosphoric acid ester group (meth) acrylates and the like;
Dimethyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, diethyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(n-propyl)-2,2'- [oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(isopropyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(2-ethylhexyl)-2,2'-[oxybis(methylene) )] and bis-2-propenoate. These monomers can be used alone or in combination of two or more.

アルカリ可溶性樹脂(A1)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Alkali-soluble resin (A1) can be used alone or in combination of two or more.

アルカリ可溶性樹脂(A1)の含有量は、水しみの抑制、パターン形状の観点から、アルカリ可溶性樹脂(A)100質量%中、30~100質量%が好ましく、50~100質量%がより好ましい。 The content of the alkali-soluble resin (A1) is preferably 30 to 100% by mass, more preferably 50 to 100% by mass, based on 100% by mass of the alkali-soluble resin (A) from the viewpoints of water stain suppression and pattern shape.

(アルカリ可溶性樹脂(A2))
本発明の感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂(A)として、アルカリ可溶性樹脂(A1)以外のアルカリ可溶性樹脂(以下、アルカリ可溶性樹脂(A2)ともいう)を含むことができる。
(Alkali-soluble resin (A2))
The photosensitive composition of the present invention can contain an alkali-soluble resin (hereinafter also referred to as alkali-soluble resin (A2)) other than the alkali-soluble resin (A1) as the alkali-soluble resin (A).

本発明の感光性組成物は、重合性化合物(B)を含む。 The photosensitive composition of the invention contains a polymerizable compound (B).

重合性化合物(B)は、重合性不飽和基を有するモノマー、オリゴマーが挙げられる。重合性不飽和基は、エチレン性不飽和二重結合のビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。なお、重合性化合物(B)の重量平均分子量または式量は、2000未満が好ましい。 The polymerizable compound (B) includes monomers and oligomers having a polymerizable unsaturated group. Examples of the polymerizable unsaturated group include a vinyl group having an ethylenically unsaturated double bond, a (meth)allyl group, and a (meth)acryloyl group. The weight average molecular weight or formula weight of the polymerizable compound (B) is preferably less than 2000.

(ラクトン変性された重合性化合物(B1))
重合性化合物(B)は、水しみの抑制の観点から、ラクトン変性された重合性化合物(B1)を含むことが好ましい。
(Lactone-modified polymerizable compound (B1))
The polymerizable compound (B) preferably contains a lactone-modified polymerizable compound (B1) from the viewpoint of suppressing water stains.

ラクトン変性された重合性化合物(B1)は、分子内にラクトンで変性された構造を有する化合物である。ラクトン変性された重合性化合物(B1)は、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエチスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、またはトリメトロールメラミン等の多価アルコールと、(メタ)アクリル酸およびε-カプロラクトンもしくはその他のラクトン化合物をエステル化することにより得られる。ラクトン変性された重合性化合物(B1)は、下記一般式(14)で表される化合物が好ましい。 The lactone-modified polymerizable compound (B1) is a compound having a lactone-modified structure in its molecule. The lactone-modified polymerizable compound (B1) is a polyvalent compound such as trimethylolethane, ditrimethylolethane, trimethylolpropane, ditrimethylolpropane, pentaethythritol, tripentaerythritol, glycerin, diglycerol, or trimetrolmelamine. It is obtained by esterifying alcohol with (meth)acrylic acid and ε-caprolactone or other lactone compounds. The lactone-modified polymerizable compound (B1) is preferably a compound represented by the following general formula (14).

一般式(14)

Figure 2023012949000010
general formula (14)
Figure 2023012949000010

一般式(14)中、6個のRは全て下記一般式(15)で表される基、または6個のRのうち1~5個が下記一般式(15)で表される基であり、残りが下記一般式(16)で表される基である。 In general formula (14), all six R are groups represented by the following general formula (15), or 1 to 5 of the six R are groups represented by the following general formula (15) , and the rest are groups represented by the following general formula (16).

一般式(15)

Figure 2023012949000011
general formula (15)
Figure 2023012949000011

一般式(15)中、Rは水素原子、またはメチル基を表し、mは1、または2の整数であり、*は一般式(14)の酸素原子と結合する結合手である。 In general formula (15), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, m is an integer of 1 or 2, and * is a bond that bonds to the oxygen atom in general formula (14).

一般式(16)

Figure 2023012949000012
general formula (16)
Figure 2023012949000012

一般式(16)中、Rは水素原子、またはメチル基を表し、*は一般式(14)の酸素原子と結合する結合手である。 In general formula (16), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, and * is a bond that bonds with the oxygen atom in general formula (14).

ラクトン変性された重合性化合物(B1)は、例えば、日本化薬社製のKAYARAD DPCAシリーズとして市販されている。例えば、DPCA-20(上記一般式(14)~(16)において、m=1、一般式(15)に表される基の数=2、Rが全て水素原子である化合物)、DPCA-30(上記一般式(14)~(16)において、m=1、一般式(15)に表される基の数=3、Rが全て水素原子である化合物)、DPCA-60(上記一般式(14)~(16)において、m=1、一般式(15)に表される基の数=6、Rが全て水素原子である化合物)、DPCA-120(上記一般式(14)~(16)において、m=2、一般式(15)に表される基の数=6、Rが全て水素原子である化合物)等が挙げられる。 The lactone-modified polymerizable compound (B1) is commercially available, for example, as KAYARAD DPCA series manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. For example, DPCA-20 (in the above general formulas (14) to (16), m = 1, the number of groups represented by general formula (15) = 2, R 1 are all hydrogen atoms), DPCA- 30 (a compound in which m = 1, the number of groups represented by the general formula (15) = 3, and all R 1 are hydrogen atoms in the above general formulas (14) to (16)), DPCA-60 (the above general In formulas (14) to (16), m = 1, the number of groups represented by general formula (15) = 6, and R 1 are all hydrogen atoms), DPCA-120 (the above general formula (14) to (16), m=2, the number of groups represented by the general formula (15)=6, and all R 1 are hydrogen atoms).

ラクトン変性された重合性化合物(B1)は、水しみの抑制の観点から、上記一般式(14)~(16)において、m=1、一般式(15)に表される基の数=2~6、Rが全て水素原子である化合物が好ましく、上記一般式(14)~(16)において、m=1、一般式(15)に表される基の数=2または3、Rが全て水素原子である化合物がより好ましい。 In the lactone-modified polymerizable compound (B1), in the general formulas (14) to (16), m = 1 and the number of groups represented by the general formula (15) = 2 from the viewpoint of suppressing water stains. ~ 6, compounds in which all R 1 are hydrogen atoms are preferred, and in the above general formulas (14) to (16), m = 1, the number of groups represented by general formula (15) = 2 or 3, R 1 are all hydrogen atoms are more preferred.

ラクトン変性された重合性化合物(B1)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 The lactone-modified polymerizable compound (B1) can be used alone or in combination of two or more.

ラクトン変性された重合性化合物(B1)の含有量は、水しみの抑制の観点から、重合性化合物(B)100質量%中、5~90質量%が好ましく、10~85質量%がより好ましい。 The content of the lactone-modified polymerizable compound (B1) is preferably 5 to 90% by mass, more preferably 10 to 85% by mass, based on 100% by mass of the polymerizable compound (B), from the viewpoint of suppressing water stains. .

(酸基を有する重合性化合物(B2))
重合性化合物(B)は、パターン形状の観点から、酸基を有する重合性化合物(B2)を含むことが好ましい。酸基を有する重合性化合物(B2)の酸基は、例えば、スルホン酸基、カルボキシル基、リン酸基等を挙げられる。これらの中でも、カルボキシル基が好ましい。
(Polymerizable compound (B2) having an acid group)
From the viewpoint of pattern shape, the polymerizable compound (B) preferably contains a polymerizable compound (B2) having an acid group. Examples of the acid group of the polymerizable compound (B2) having an acid group include a sulfonic acid group, a carboxyl group, and a phosphoric acid group. Among these, a carboxyl group is preferred.

酸基を有する重合性化合物(B2)は、例えば、多価アルコールと(メタ)アクリル酸との遊離水酸基含有ポリ(メタ)アクリレート類と、ジカルボン酸類とのエステル化物;多価カルボン酸と、モノヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類とのエステル化物等を挙げられる。
多価アルコールは、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等が挙げられる。
ジカルボン酸類は、例えば、マロン酸、コハク酸、マレイン酸、グルタル酸、フタル酸イタコン酸等が挙げられる。
多価カルボン酸は、例えば、トリメリット酸、ピロメリット酸等が挙げられる。
モノヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類は、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、2-ヒドロキシ-3-アクリロイロキシプロピルメタクリレート等が挙げられる。
The polymerizable compound (B2) having an acid group is, for example, an esterified product of a free hydroxyl group-containing poly(meth)acrylate of a polyhydric alcohol and (meth)acrylic acid, and a dicarboxylic acid; Examples thereof include esterified products with hydroxyalkyl (meth)acrylates.
Examples of polyhydric alcohols include ethylene glycol, propylene glycol, polyethylene glycol, polypropylene glycol, glycerin, trimethylolpropane, ditrimethylolpropane, pentaerythritol and dipentaerythritol.
Examples of dicarboxylic acids include malonic acid, succinic acid, maleic acid, glutaric acid, and itaconic phthalate.
Examples of polyvalent carboxylic acids include trimellitic acid and pyromellitic acid.
Monohydroxyalkyl (meth)acrylates, for example, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, 2-hydroxybutyl (meth)acrylate, 4-hydroxybutyl (meth)acrylate, pentaerythritol triacrylate, 2-hydroxy-3-acryloyloxypropyl methacrylate and the like.

酸基を有する重合性化合物(B2)の市販品は、大阪有機社製のビスコート#2500P、東亞合成社製アロニックスM-5300,M-5400,M-5700,M-510,M-520,M-521等が挙げられる。 Commercial products of the polymerizable compound (B2) having an acid group include Viscoat #2500P manufactured by Osaka Organic Co., Ltd., Aronix M-5300, M-5400, M-5700, M-510, M-520, M manufactured by Toagosei Co., Ltd. -521 and the like.

酸基を有する重合性化合物(B2)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 The polymerizable compound (B2) having an acid group can be used alone or in combination of two or more.

酸基を有する重合性化合物(B2)の含有量は、パターン形状の観点から、重合性化合物(B)100質量%中、5~90質量%が好ましく、10~85質量%がより好ましい。 The content of the polymerizable compound (B2) having an acid group is preferably 5 to 90% by mass, more preferably 10 to 85% by mass, based on 100% by mass of the polymerizable compound (B) from the viewpoint of pattern shape.

(その他重合性化合物(B3))
本発明の感光性組成物は、重合性化合物(B)として、ラクトン変性された重合性化合物(B1)、酸基を有する重合性化合物(B2)以外の重合性化合物(以下、その他重合性化合物(B3)ともいう)を含むことができる。
(Other polymerizable compounds (B3))
The photosensitive composition of the present invention includes, as the polymerizable compound (B), a lactone-modified polymerizable compound (B1), a polymerizable compound other than the polymerizable compound (B2) having an acid group (hereinafter referred to as other polymerizable compound (also referred to as B3)).

その他重合性化合物(B3)は、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、β-カルボキシエチル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、フェノキシテトラエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシヘキサエチレングリコール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンPO変性トリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンEO変性トリ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸EO変性ジ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸EO変性トリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリシクロデカニル(メタ)アクリレート、メチロール化メラミンの(メタ)アクリル酸エステル、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート等の各種アクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル、スチレン、酢酸ビニル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、(メタ)アクリルアミド、N-ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、N-ビニルホルムアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。 Other polymerizable compounds (B3) include, for example, methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, β-carboxy Ethyl (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) Acrylate, phenoxytetraethyleneglycol (meth)acrylate, phenoxyhexaethyleneglycol (meth)acrylate, trimethylolpropane PO-modified tri(meth)acrylate, trimethylolpropane EO-modified tri(meth)acrylate, isocyanuric acid EO-modified di(meth)acrylate Acrylates, isocyanuric acid EO-modified tri(meth)acrylate, ditrimethylolpropane tetra(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, 1,6-hexanediol diglycidyl ether di(meth) Acrylates, bisphenol A diglycidyl ether di(meth)acrylate, neopentyl glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, tricyclodecanyl (meth) Various acrylates and methacrylates such as acrylates, methylolated melamine (meth)acrylates, epoxy (meth)acrylates, urethane (meth)acrylates, styrene, vinyl acetate, hydroxyethyl vinyl ether, ethylene glycol divinyl ether, penta Erythritol trivinyl ether, (meth)acrylamide, N-hydroxymethyl(meth)acrylamide, N-vinylformamide, acrylonitrile and the like.

市販品としては、日本化薬社製のKAYARAD R-128H、R526、PEG400DA、MAND、NPGDA、R-167、HX-220、R-551、R712、R-604、R-684、GPO-303、TMPTA、DPHA、DPEA-12、DPHA-2C、D-310、D-330、東亞合成社製のアロニックスM-303、M-305、M-306、M-309、M-310、M-321、M-325、M-350、M-360、M-313、M-315、M-400、M-402、M-403、M-404、M-405、M-406、M-450、M-452、M-408、M-211B、M-101A、大阪有機社製のビスコート#310HP、#335HP、#700、#295、#330、#360、#GPT、#400、#405、共栄社化学社製のAH-600、AT-600、UA-306H、UA-306T、UA-306I、UA-510H、UF-8001G、新中村化学社製のNKエステルA-9300,ABE-300,A-DOG,A-DCP,A-BPE-4、UA-160TM、Miwon Specialty Chemical Co.,Ltd社製のMiramer HR6060,6100,6200、ダイセル・オルネクス社製のEBECRYL40,130,140,145、大阪ガスケミカル社製のOGSOL EA-0200,0300等が挙げられる。 Commercially available products include KAYARAD R-128H, R526, PEG400DA, MAND, NPGDA, R-167, HX-220, R-551, R712, R-604, R-684, GPO-303 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. TMPTA, DPHA, DPEA-12, DPHA-2C, D-310, D-330, Toagosei Aronix M-303, M-305, M-306, M-309, M-310, M-321, M-325, M-350, M-360, M-313, M-315, M-400, M-402, M-403, M-404, M-405, M-406, M-450, M- 452, M-408, M-211B, M-101A, Viscoat #310HP, #335HP, #700, #295, #330, #360, #GPT, #400, #405 manufactured by Osaka Organic Co., Ltd., Kyoeisha Chemical Co., Ltd. AH-600, AT-600, UA-306H, UA-306T, UA-306I, UA-510H, UF-8001G manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. NK Ester A-9300, ABE-300, A-DOG, A-DCP, A-BPE-4, UA-160TM, Miwon Specialty Chemical Co. , Ltd. Miramer HR6060, 6100, 6200; Daicel Ornex EBECRYL40, 130, 140, 145; Osaka Gas Chemicals OGSOL EA-0200, 0300;

重合性化合物(B)は、単独または2種以上を併用して使用できる。 The polymerizable compound (B) can be used alone or in combination of two or more.

重合性化合物(B)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、5~70質量%が好ましく、10~60質量%がより好ましい。 The content of the polymerizable compound (B) is preferably 5 to 70% by mass, more preferably 10 to 60% by mass, based on 100% by mass of non-volatile matter in the photosensitive composition.

[増感剤(D)]
本発明の感光性組成物は、パターン形状の観点から、増感剤(D)を含むことが好ましい。
[Sensitizer (D)]
From the viewpoint of pattern shape, the photosensitive composition of the present invention preferably contains a sensitizer (D).

増感剤(D)は、例えば、カルコン系化合物、ジベンザルアセトン等に代表される不飽和ケトン類、ベンジルやカンファーキノン等に代表される1,2-ジケトン系化合物、ベンゾイン系化合物、フルオレン系化合物、ナフトキノン系化合物、アントラキノン系化合物、キサンテン系化合物、チオキサンテン系化合物、キサントン系化合物、チオキサントン系化合物、クマリン系化合物、ケトクマリン系化合物、シアニン系化合物、メロシアニン系化合物、オキソノール系化合物等のポリメチン色素、アクリジン系化合物、アジン系化合物、チアジン系化合物、オキサジン系化合物、インドリン系化合物、アズレン系化合物、アズレニウム系化合物、スクアリリウム系化合物、ポルフィリン系化合物、テトラフェニルポルフィリン系化合物、トリアリールメタン系化合物、テトラベンゾポルフィリン系化合物、テトラピラジノポルフィラジン系化合物、フタロシアニン系化合物、テトラアザポルフィラジン系化合物、テトラキノキサリロポルフィラジン系化合物、ナフタロシアニン系化合物、サブフタロシアニン系化合物、ピリリウム系化合物、チオピリリウム系化合物、テトラフィリン系化合物、アヌレン系化合物、スピロピラン系化合物、スピロオキサジン系化合物、チオスピロピラン系化合物、金属アレーン錯体、有機ルテニウム錯体、またはベンゾフェノン系化合物等が挙げられる。これらの中でも、パターン形状の観点から、チオキサントン系化合物(D1)、またはベンゾフェノン系化合物(D2)が好ましく、チオキサントン系化合物(D1)がより好ましい。 Sensitizers (D) include, for example, chalcone compounds, unsaturated ketones such as dibenzalacetone, 1,2-diketone compounds such as benzyl and camphorquinone, benzoin compounds, and fluorene. Polymethines such as polymethine-based compounds, naphthoquinone-based compounds, anthraquinone-based compounds, xanthene-based compounds, thioxanthene-based compounds, xanthone-based compounds, thioxanthone-based compounds, coumarin-based compounds, ketocoumarin-based compounds, cyanine-based compounds, merocyanine-based compounds, and oxonol-based compounds dyes, acridine-based compounds, azine-based compounds, thiazine-based compounds, oxazine-based compounds, indoline-based compounds, azulene-based compounds, azulenium-based compounds, squarylium-based compounds, porphyrin-based compounds, tetraphenylporphyrin-based compounds, triarylmethane-based compounds, Tetrabenzoporphyrin compounds, tetrapyrazinoporphyrazine compounds, phthalocyanine compounds, tetraazaporphyrazine compounds, tetraquinoxalyloporphyrazine compounds, naphthalocyanine compounds, subphthalocyanine compounds, pyrylium compounds, thiopyrylium compounds compounds, tetraphyllin-based compounds, annulene-based compounds, spiropyran-based compounds, spirooxazine-based compounds, thiospiropyran-based compounds, metal arene complexes, organic ruthenium complexes, benzophenone-based compounds, and the like. Among these, the thioxanthone-based compound (D1) or the benzophenone-based compound (D2) is preferable, and the thioxanthone-based compound (D1) is more preferable, from the viewpoint of the pattern shape.

(チオキサントン系化合物(D1))
チオキサントン系化合物(D1)は、例えば、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、4-イソプロピルチオキサントン、1-クロロ-4-プロポキシチオキサントン等が挙げられる。これらの中でも、2,4-ジエチルチオキサントンが好ましい。
(Thioxanthone-based compound (D1))
Thioxanthone compounds (D1) include, for example, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like. be done. Among these, 2,4-diethylthioxanthone is preferred.

(ベンゾフェノン系化合物(D2))
ベンゾフェノン系化合物(D2)は、例えば、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2-アミノベンゾフェノン等が挙げられる。これらの中でも、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
(Benzophenone compound (D2))
Benzophenone compounds (D2) include, for example, 4,4′-bis(dimethylamino)benzophenone, 4,4′-bis(diethylamino)benzophenone, 2-aminobenzophenone and the like. Among these, 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone is preferred.

増感剤(D)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 A sensitizer (D) can be used individually or in combination of 2 or more types.

増感剤(D)の含有量は、パターン形状の観点から、一般式(1)で表される化合物(C1)100質量部に対して、5~100質量部が好ましく、10~80質量部がより好ましく、15~60質量部が特に好ましい。 From the viewpoint of the pattern shape, the content of the sensitizer (D) is preferably 5 to 100 parts by mass, and 10 to 80 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the compound (C1) represented by the general formula (1). is more preferred, and 15 to 60 parts by mass is particularly preferred.

本発明の感光性組成物は、着色剤(E)を含有できる。 The photosensitive composition of the invention can contain a colorant (E).

着色剤(E)は、顔料及び染料のいずれでもよく、併用できる。 The coloring agent (E) may be either a pigment or a dye, and can be used in combination.

(顔料)
顔料は、カラーインデックスにおいてピグメントに分類されている化合物である。
赤色顔料は、例えば、C.I.ピグメントレッド1,2,3,4,5,6,7,8,9,12,14,15,16,17,21,22,23,31,32,37,38,41,47,48,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,50:1,52:1,52:2,53,53:1,53:2,53:3,57,57:1,57:2,58:4,60,63,63:1,63:2,64,64:1,68,69,81,81:1,81:2,81:3,81:4,83,88,90:1,101,101:1,104,108,108:1,109,112,113,114,122,123,144,146,147,149,151,166,168,169,170,172,173,174,175,176,177,178,179,181,184,185,187,188,190,193,194,200,202,206,207,208,209,210,214,216,220,221,224,230,231,232,233,235,236,237,238,239,242,243,245,247,249,250,251,253,254,255,256,257,258,259,260,262,263,264,265,266,267,268,269,270,271,272,273,274,275,276,277,278,279,280,281,282,283,284,285,286,287,291,295,296、特開2014-134712号公報に記載された顔料、特許第6368844号公報に記載された顔料等が挙げられる。これらの中でも、耐熱性、耐光性、及び透過率の観点から、C.I.ピグメントレッド48:1,122,177,224,242,269,254,291,295,296、特開2014-134712号公報に記載された顔料、特許第6368844号公報に記載された顔料が好ましく、C.I.ピグメントレッド177,254,291,295,296、特開2014-134712号公報に記載された顔料、特許第6368844号公報に記載された顔料がさらに好ましい。
(pigment)
A pigment is a compound classified as a pigment in the Color Index.
Red pigments include, for example, C.I. I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 37, 38, 41, 47, 48, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 52:2, 53, 53:1, 53:2, 53: 3,57,57:1,57:2,58:4,60,63,63:1,63:2,64,64:1,68,69,81,81:1,81:2,81: 3,81:4,83,88,90:1,101,101:1,104,108,108:1,109,112,113,114,122,123,144,146,147,149,151, 166, 168, 169, 170, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 181, 184, 185, 187, 188, 190, 193, 194, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 214, 216, 220, 221, 224, 230, 231, 232, 233, 235, 236, 237, 238, 239, 242, 243, 245, 247, 249, 250, 251, 253, 254, 255,256,257,258,259,260,262,263,264,265,266,267,268,269,270,271,272,273,274,275,276,277,278,279,280, 281,282,283,284,285,286,287,291,295,296, pigments described in JP-A-2014-134712, pigments described in Japanese Patent No. 6368844, and the like. Among these, from the viewpoint of heat resistance, light resistance and transmittance, C.I. I. Pigment Red 48: 1,122,177,224,242,269,254,291,295,296, the pigment described in JP-A-2014-134712, the pigment described in Patent No. 6368844 is preferable, C. I. Pigment Red 177, 254, 291, 295, 296, pigments described in JP-A-2014-134712, and pigments described in Japanese Patent No. 6368844 are more preferable.

橙色顔料は、例えば、C.I.ピグメントオレンジ36,38,43,64,71,73等が挙げられる。 Orange pigments include, for example, C.I. I. Pigment Orange 36, 38, 43, 64, 71, 73 and the like.

黄色顔料は、例えば、C.I.ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,12,13,14,15,16,17,18,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,126,127,128,129,138,139,147,150,151,152、153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,192,193,194,196,198,199,213,214,231,233、特開2012-226110号公報に記載された顔料等が挙げられる。これらの中でも、C.I.ピグメントイエロー138,139,150,185,231,233、特開2012-226110号公報に記載された顔料が好ましい。 Yellow pigments include, for example, C.I. I. Pigment Yellow 1,2,3,4,5,6,10,12,13,14,15,16,17,18,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 147, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 192, 193, 194, 196, 198, 199, 213, 214, 231, 233, and pigments described in JP-A-2012-226110. Among these, C.I. I. Pigment Yellow 138, 139, 150, 185, 231, 233 and the pigments described in JP-A-2012-226110 are preferred.

緑色顔料は、例えば、C.I.ピグメントグリーン1,2,4,7,8,10,13,14,15,17,18,19,26,36,37,45,48,50,51,54,55,58,59,62,63等が挙げられる。これらの中でも、C.I.ピグメントグリーン36,58,59,62,63が好ましい。 Green pigments include, for example, C.I. I. Pigment Green 1, 2, 4, 7, 8, 10, 13, 14, 15, 17, 18, 19, 26, 36, 37, 45, 48, 50, 51, 54, 55, 58, 59, 62, 63 and the like. Among these, C.I. I. Pigment Green 36, 58, 59, 62, 63 are preferred.

青色顔料は、例えば、C.I.ピグメントブルー1,1:2,9,14,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,17,19,25,27,28,29,33,35,36,56,56:1,60,61,61:1,62,63,66,67,68,71,72,73,74,75,76,78,79等が挙げられる。これらの中でも、C.I.ピグメントブルー15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6が好ましい。 Blue pigments include, for example, C.I. I. Pigment Blue 1, 1: 2, 9, 14, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 17, 19, 25, 27, 28, 29, 33, 35, 36, 56, 56: 1, 60, 61, 61: 1, 62, 63, 66, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 75, 76, 78, 79 and the like. Among these, C.I. I. Pigment Blue 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6 are preferred.

紫色顔料は、例えば、C.I.ピグメントバイオレット1,1:1,2,2:2,3,3:1,3:3,5,5:1,14,15,16,19,23,25,27,29,31,32,37,39,42,44,47,49,50等が挙げられる。これらの中でも、C.I.ピグメントバイオレット19,23が好ましい。 Purple pigments include, for example, C.I. I. Pigment Violet 1, 1: 1, 2, 2: 2, 3, 3: 1, 3: 3, 5, 5: 1, 14, 15, 16, 19, 23, 25, 27, 29, 31, 32, 37, 39, 42, 44, 47, 49, 50 and the like. Among these, C.I. I. Pigment Violet 19, 23 are preferred.

黒色顔料は、例えば、C.I.ピグメントブラック1,6,7,12,20,31等が挙げられる。また、赤色顔料、黄色顔料、青色顔料、緑色顔料、及び紫色顔料から選ばれる少なくとも2種の顔料を用いて黒色着色剤としてもよい。 Black pigments include, for example, C.I. I. Pigment Black 1, 6, 7, 12, 20, 31 and the like. At least two pigments selected from red pigments, yellow pigments, blue pigments, green pigments, and violet pigments may be used as the black colorant.

顔料の中で無機顔料は、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、シリカ、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、合成鉄黒等が挙げられる。 Among pigments, inorganic pigments include, for example, titanium oxide, barium sulfate, silica, zinc oxide, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red iron oxide (III), cadmium red, ultramarine blue, Prussian blue, chromium oxide green. , cobalt green, amber, and synthetic iron black.

(染料)
染料は、例えば、酸性染料、直接染料、塩基性染料、造塩染料、油溶性染料、分散染料、反応染料、媒染染料、建染染料、硫化染料等が挙げられる。また、これらの誘導体や、染料をレーキ化したレーキ顔料も挙げられる。
(dye)
Dyes include, for example, acid dyes, direct dyes, basic dyes, salt-forming dyes, oil-soluble dyes, disperse dyes, reactive dyes, mordant dyes, vat dyes, and sulfur dyes. Moreover, these derivatives and lake pigments obtained by turning dyes into lakes are also included.

酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有することが好ましい。また、酸性染料と、四級アンモニウム塩化合物、三級アミン化合物、二級アミン化合物、または一級アミン化合物等の含窒素化合物との塩である造塩化合物が好ましい。また、これらの官能基を有する樹脂成分と酸性染料との塩である造塩化合物も好ましい。また、造塩化合物は、スルホンアミド化してスルホン酸アミド化合物に変性することで耐性(耐光性、耐溶剤性)に優れた感光性組成物を得やすい。
また、酸性染料とオニウム塩基を有する化合物との造塩化合物も、耐性(耐光性、溶剤耐性)に優れるため好ましい。なお、オニウム塩基を有する化合物は、カチオン性基を有する樹脂が好ましい。
The acid dye preferably has an acidic group such as sulfonic acid or carboxylic acid. Salt-forming compounds, which are salts of acid dyes and nitrogen-containing compounds such as quaternary ammonium salt compounds, tertiary amine compounds, secondary amine compounds, or primary amine compounds, are also preferred. A salt-forming compound, which is a salt of a resin component having these functional groups and an acid dye, is also preferred. Moreover, the salt-forming compound is sulfonamidated to be modified into a sulfonic acid amide compound, thereby easily obtaining a photosensitive composition having excellent resistance (light resistance and solvent resistance).
A salt-forming compound of an acid dye and a compound having an onium base is also preferable because of its excellent resistance (light resistance and solvent resistance). The compound having an onium base is preferably a resin having a cationic group.

塩基性染料は、そのままでも使用できるが、有機酸や過塩素酸またはその金属塩と塩を形成する造塩化合物が好ましい。塩基性染料の造塩化合物は、耐性(耐光性、耐溶剤性)や、顔料との親和性が優れているため好ましい。また、塩基性染料の造塩化合物で、カウンタイオンとしてはたらくアニオン成分は、有機スルホン酸、有機硫酸、フッ素基含有リンアニオン化合物、フッ素基含有ホウ素アニオン化合物、シアノ基含有窒素アニオン化合物、ハロゲン化炭化水素基を有する有機酸の共役塩基を有するアニオン化合物、酸性染料とを造塩した造塩化合物が好ましい。なお、造塩化合物は、分子中に重合性不飽和基を含有すると耐性がより向上する。 Although the basic dye can be used as it is, a salt-forming compound that forms a salt with an organic acid, perchloric acid, or a metal salt thereof is preferred. Salt-forming compounds of basic dyes are preferable because they have excellent resistance (light resistance and solvent resistance) and affinity with pigments. In salt-forming compounds of basic dyes, anion components that act as counter ions include organic sulfonic acids, organic sulfuric acids, fluorine group-containing phosphorus anion compounds, fluorine group-containing boron anion compounds, cyano group-containing nitrogen anion compounds, and halogenated carbonization compounds. A salt-forming compound obtained by salt-forming an anion compound having a conjugate base of an organic acid having a hydrogen group and an acid dye is preferred. It should be noted that the resistance of the salt-forming compound is further improved when it contains a polymerizable unsaturated group in the molecule.

染料の化学構造は、例えば、アゾ系染料、ジスアゾ系染料、アゾメチン系染料(インドアニリン系染料、インドフェノール系染料など)、ジピロメテン系染料、キノン系染料(ベンゾキノン系染料、ナフトキノン系染料、アントラキノン系染料、アントラピリドン系染料など)、カルボニウム系染料(ジフェニルメタン系染料、トリフェニルメタン系染料、キサンテン系染料、アクリジン系染料など)、キノンイミン系染料(オキサジン系染料、チアジン系染料など)、アジン系染料、ポリメチン系染料(オキソノール系染料、メロシアニン系染料、アリーリデン系染料、スチリル系染料、シアニン系染料、スクアリリウム系染料、クロコニウム系染料など)、キノフタロン系染料、フタロシアニン系染料、サブフタロシアニン系染料、ペリノン系染料、インジゴ系染料、チオインジゴ系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、ニトロソ系染料、ローダミン系染料、及びそれらの金属錯体系染料等から選ばれる染料に由来する色素構造が挙げられる。 Chemical structures of dyes include, for example, azo dyes, disazo dyes, azomethine dyes (indoaniline dyes, indophenol dyes, etc.), dipyrromethene dyes, quinone dyes (benzoquinone dyes, naphthoquinone dyes, anthraquinone dyes, etc.). dyes, anthrapyridone dyes, etc.), carbonium dyes (diphenylmethane dyes, triphenylmethane dyes, xanthene dyes, acridine dyes, etc.), quinoneimine dyes (oxazine dyes, thiazine dyes, etc.), azine dyes , polymethine dyes (oxonol dyes, merocyanine dyes, arylidene dyes, styryl dyes, cyanine dyes, squarylium dyes, croconium dyes, etc.), quinophthalone dyes, phthalocyanine dyes, subphthalocyanine dyes, perinone dyes Dye structures derived from dyes selected from dyes, indigo dyes, thioindigo dyes, quinoline dyes, nitro dyes, nitroso dyes, rhodamine dyes, metal complex dyes thereof, and the like.

これらの中でも、色相、色分離性、色むらなどの色特性の観点から、アゾ系染料、キサンテン系染料、シアニン系染料、トリフェニルメタン系染料、アントラキノン系染料、ジピロメテン系染料、スクアリリウム系染料、キノフタロン系染料、フタロシアニン系染料、サブフタロシアニン系染料から選ばれる色素に由来する色素構造が好ましく、キサンテン系染料、シアニン系染料、トリフェニルメタン系染料、アントラキノン系染料、ジピロメテン系染料、フタロシアニン系染料から選ばれる色素に由来する色素構造がより好ましい。 Among these, azo dyes, xanthene dyes, cyanine dyes, triphenylmethane dyes, anthraquinone dyes, dipyrromethene dyes, squarylium dyes, A dye structure derived from a dye selected from quinophthalone dyes, phthalocyanine dyes, and subphthalocyanine dyes is preferable, and from xanthene dyes, cyanine dyes, triphenylmethane dyes, anthraquinone dyes, dipyrromethene dyes, and phthalocyanine dyes. A dye structure derived from the selected dye is more preferred.

着色剤(E)は、単独、または2種類以上を併用して使用することができる。 Colorants (E) can be used alone or in combination of two or more.

着色剤(E)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、5~70質量%が好ましく、10~60質量%がより好ましい。 The content of the coloring agent (E) is preferably 5 to 70% by mass, more preferably 10 to 60% by mass, based on 100% by mass of non-volatile matter in the photosensitive composition.

(顔料の微細化)
顔料は、微細化して用いることが好ましい。微細化方法は、特に限定されるものではなく、例えば、湿式磨砕、乾式磨砕、溶解析出法いずれも使用できる。これらの中でも、湿式磨砕の1種であるニーダー法によるソルトミリング処理が好ましい。微細化顔料のTEM(透過型電子顕微鏡)により求められる平均一次粒子径は、5~90nmが好ましい。なお、分散性、コントラスト比の観点から、平均一次粒子径は10~70nmがより好ましい。
(Refinement of pigment)
It is preferable to use the pigment after miniaturization. The method of refining is not particularly limited, and for example, any of wet grinding, dry grinding, and dissolution-precipitation can be used. Among these, the salt milling treatment by the kneader method, which is one type of wet grinding, is preferable. The average primary particle size of the finely divided pigment determined by TEM (transmission electron microscope) is preferably 5 to 90 nm. From the viewpoint of dispersibility and contrast ratio, the average primary particle size is more preferably 10 to 70 nm.

ソルトミリング処理とは、顔料と水溶性無機塩と水溶性有機溶剤との混合物を、ニーダー、2本ロールミル、3本ロールミル、ボールミル、アトライター、サンドミル等の混練機を用いて、加熱しながら機械的に混練した後、水洗により水溶性無機塩と水溶性有機溶剤を除去する処理である。水溶性無機塩は、破砕助剤として働くものであり、ソルトミリング時に無機塩の硬度の高さを利用して顔料が破砕される。顔料をソルトミリング処理する際の条件を最適化することにより、一次粒子径が非常に微細であり、また、分布の幅がせまく、シャープな粒度分布をもつ顔料を得ることができる。 The salt milling process involves milling a mixture of a pigment, a water-soluble inorganic salt, and a water-soluble organic solvent while heating using a kneader such as a kneader, two-roll mill, three-roll mill, ball mill, attritor, and sand mill. This is a treatment in which water-soluble inorganic salts and water-soluble organic solvents are removed by washing with water after kneading to a certain extent. The water-soluble inorganic salt functions as a crushing aid, and the high hardness of the inorganic salt is used to crush the pigment during salt milling. By optimizing the conditions for the salt milling treatment of the pigment, it is possible to obtain a pigment having a very fine primary particle size, a narrow distribution width, and a sharp particle size distribution.

水溶性無機塩は、塩化ナトリウム、塩化カリウム、硫酸ナトリウム等が挙げられる。水溶性無機塩は、価格の点から塩化ナトリウム(食塩)が好ましい。水溶性無機塩の使用量は、処理効率と生産効率の両面から、顔料100質量部に対して、50~2,000質量部が好ましく、300~1,000質量部がより好ましい。 Water-soluble inorganic salts include sodium chloride, potassium chloride, sodium sulfate and the like. The water-soluble inorganic salt is preferably sodium chloride (table salt) from the viewpoint of price. The amount of the water-soluble inorganic salt to be used is preferably 50 to 2,000 parts by mass, more preferably 300 to 1,000 parts by mass, based on 100 parts by mass of the pigment, in terms of both processing efficiency and production efficiency.

水溶性有機溶剤は、顔料および水溶性無機塩を湿潤する働きをするものであり、水に溶解(混和)し、かつ用いる無機塩を実質的に溶解しない溶剤である。ただし、ソルトミリング時に温度が上昇し、溶剤が蒸発し易い状態になるため、安全性の点から、沸点120℃以上の高沸点溶剤が好ましい。例えば、2-メトキシエタノール、2-ブトキシエタノール、2-(イソペンチルオキシ)エタノール、2-(ヘキシルオキシ)エタノール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、液状のポリエチレングリコール、1-メトキシ-2-プロパノール、1-エトキシ-2-プロパノール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、液状のポリプロピレングリコール等が用いられる。水溶性有機溶剤の使用量は、顔料100質量部に対して、5~1,000質量部が好ましく、50~500質量部がより好ましい。 The water-soluble organic solvent serves to wet the pigment and the water-soluble inorganic salt, and is a solvent that dissolves (miscible in) water and does not substantially dissolve the inorganic salt used. However, since the temperature rises during salt milling and the solvent easily evaporates, a high boiling point solvent having a boiling point of 120° C. or higher is preferable from the viewpoint of safety. For example, 2-methoxyethanol, 2-butoxyethanol, 2-(isopentyloxy)ethanol, 2-(hexyloxy)ethanol, diethylene glycol, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol, triethylene glycol monomethyl ether, Liquid polyethylene glycol, 1-methoxy-2-propanol, 1-ethoxy-2-propanol, dipropylene glycol, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, liquid polypropylene glycol and the like are used. The amount of the water-soluble organic solvent used is preferably 5 to 1,000 parts by mass, more preferably 50 to 500 parts by mass, based on 100 parts by mass of the pigment.

ソルトミリング処理には、必要に応じて樹脂を添加してもよい。前記樹脂の種類は特に限定されず、天然樹脂、変性天然樹脂、合成樹脂、天然樹脂で変性された合成樹脂等が挙げられる。これらの中でも、室温で固体であり、水不溶性であることが好ましく、かつ上記有機溶剤に一部可溶であることが好ましい。樹脂の添加量は、顔料100質量部に対して、2~200質量部が好ましい。 If necessary, a resin may be added to the salt milling treatment. The type of the resin is not particularly limited, and includes natural resins, modified natural resins, synthetic resins, synthetic resins modified with natural resins, and the like. Among these, it is preferable that they are solid at room temperature, insoluble in water, and partially soluble in the above organic solvents. The amount of the resin to be added is preferably 2 to 200 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the pigment.

[色素誘導体(F)]
本発明の感光組成物は、色素誘導体(F)を含有できる。
[Dye derivative (F)]
The photosensitive composition of the present invention can contain a dye derivative (F).

色素誘導体(F)は、有機色素残基に酸性基、塩基性基、中性基などを有する化合物である。色素誘導体(F)は、例えば、スルホ基、カルボキシ基、リン酸基などの酸性置換基を有する化合物、およびこれらのアミン塩や、スルホンアミド基や末端に3級アミノ基などの塩基性置換基を有する化合物、フェニル基やフタルイミドアルキル基などの中性置換基を有する化合物が挙げられる。
有機色素は、例えばジケトピロロピロール系顔料、アントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チアジンインジゴ系顔料、トリアジン系顔料、ベンズイミダゾロン系顔料、ベンゾイソインドール等のインドール系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、ナフトール系顔料、スレン系顔料、金属錯体系顔料、アゾ、ジスアゾ、ポリアゾ等のアゾ系顔料等が挙げられる。
A dye derivative (F) is a compound having an acidic group, a basic group, a neutral group, or the like in an organic dye residue. The dye derivative (F) is, for example, a compound having an acidic substituent such as a sulfo group, a carboxyl group, or a phosphoric acid group; and compounds having a neutral substituent such as a phenyl group or a phthalimidoalkyl group.
Organic dyes include, for example, diketopyrrolopyrrole pigments, anthraquinone pigments, quinacridone pigments, dioxazine pigments, perinone pigments, perylene pigments, thiazineindigo pigments, triazine pigments, benzimidazolone pigments, benzoiso Indole pigments such as indole, isoindoline pigments, isoindolinone pigments, quinophthalone pigments, naphthol pigments, threne pigments, metal complex pigments, azo pigments such as azo, disazo and polyazo.

具体的には、ジケトピロロピロール系色素誘導体としては、特開2001-220520号公報、国際公開第2009/081930号、国際公開第2011/052617号、国際公開第2012/102399号、特開2017-156397号公報、フタロシアニン系色素誘導体としては、特開2007-226161号公報、国際公開第2016/163351号、特開2017-165820号公報、特許第5753266号公報、アントラキノン系色素誘導体としては、特開昭63-264674号公報、特開平09-272812号公報、特開平10-245501号公報、特開平10-265697号公報、特開2007-079094号公報、国際公開第2009/025325号、キナクリドン系色素誘導体としては、特開昭48-54128号公報、特開平03-9961号公報、特開2000-273383号公報、ジオキサジン系色素誘導体としては、特開2011-162662号公報、チアジンインジゴ系色素誘導体としては、特開2007-314785号公報、トリアジン系色素誘導体としては、特開昭61-246261号公報、特開平11-199796号公報、特開2003-165922号公報、特開2003-168208号公報、特開2004-217842号公報、特開2007-314681号公報、ベンゾイソインドール系色素誘導体としては、特開2009-57478号公報、キノフタロン系色素誘導体としては、特開2003-167112号公報、特開2006-291194号公報、特開2008-31281号公報、特開2012-226110号公報、ナフトール系色素誘導体としては、特開2012-208329号公報、特開2014-5439号公報、アゾ系色素誘導体としては、特開2001-172520号公報、特開2012-172092号公報、酸性置換基としては、特開2004-307854号公報、塩基性置換基としては、特開2002-201377号公報、特開2003-171594号公報、特開2005-181383号公報、特開2005-213404号公報等に記載の公知の色素誘導体が挙げられる。なお、これらの文献には、色素誘導体を誘導体、顔料誘導体、分散剤、顔料分散剤若しくは単に化合物などと記載している場合があるが、前記した有機色素残基に酸性基、塩基性基、中性基などの置換基を有する化合物は、色素誘導体と同義である。 Specifically, as diketopyrrolopyrrole dye derivatives, JP 2001-220520, WO 2009/081930, WO 2011/052617, WO 2012/102399, JP 2017 -156397, as phthalocyanine dye derivatives, JP 2007-226161, WO 2016/163351, JP 2017-165820, JP 5753266, as anthraquinone dye derivatives, JP-A-63-264674, JP-A-09-272812, JP-A-10-245501, JP-A-10-265697, JP-A-2007-079094, WO 2009/025325, quinacridone system As dye derivatives, JP-A-48-54128, JP-A-03-9961, JP-A-2000-273383, as dioxazine-based dye derivatives, JP-A-2011-162662, thiazine indigo dyes As a derivative, JP-A-2007-314785, as a triazine dye derivative, JP-A-61-246261, JP-A-11-199796, JP-A-2003-165922, JP-A-2003-168208 Publications, JP-A-2004-217842, JP-A-2007-314681, JP-A-2009-57478 as a benzoisoindole dye derivative, JP-A-2003-167112 as a quinophthalone dye derivative, JP-A-2006-291194, JP-A-2008-31281, JP-A-2012-226110, naphthol dye derivatives, JP-A-2012-208329, JP-A-2014-5439, azo dyes Derivatives include JP-A-2001-172520 and JP-A-2012-172092; acidic substituents include JP-A-2004-307854; Examples thereof include known dye derivatives described in JP-A-2003-171594, JP-A-2005-181383, JP-A-2005-213404, and the like. In these documents, the dye derivative may be described as a derivative, a pigment derivative, a dispersant, a pigment dispersant, or simply as a compound. A compound having a substituent such as a neutral group is synonymous with a dye derivative.

色素誘導体(F)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 The dye derivative (F) can be used alone or in combination of two or more.

色素誘導体(F)の含有量は、着色剤(E)100質量部に対して、1~20質量部が好ましく、2~10質量部がより好ましい。 The content of the dye derivative (F) is preferably 1 to 20 parts by mass, more preferably 2 to 10 parts by mass, per 100 parts by mass of the colorant (E).

[分散樹脂(G)]
本発明の感光性組成物は、分散樹脂(G)を含有できる。分散樹脂(G)は、着色剤(E)の分散に使用する樹脂である。
[Dispersion resin (G)]
The photosensitive composition of the present invention can contain a dispersing resin (G). The dispersing resin (G) is a resin used for dispersing the colorant (E).

分散樹脂(G)は、着色剤(E)に親和性が高い吸着基を有している樹脂が好ましい。吸着基は、塩基性基、および酸性基のうち1種以上有していることが好ましく、現像性の観点から、酸性基を有することが好ましい。 The dispersing resin (G) is preferably a resin having an adsorptive group that has a high affinity for the colorant (E). The adsorptive group preferably has one or more of a basic group and an acidic group, and preferably has an acidic group from the viewpoint of developability.

塩基性基は、例えば、1級アミノ基、2級アミノ基、3級アミノ基、4級アンモニウム塩基、および含窒素複素環など窒素原子を含有する基等が挙げられる。 Basic groups include, for example, groups containing nitrogen atoms such as primary amino groups, secondary amino groups, tertiary amino groups, quaternary ammonium bases, and nitrogen-containing heterocycles.

酸性基は、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基等が挙げられる。これらの中でも、顔料への吸着性、現像性の観点からカルボキシル基、リン酸基が好ましい。 Examples of acidic groups include carboxyl groups, phosphoric acid groups, and sulfonic acid groups. Among these, a carboxyl group and a phosphoric acid group are preferable from the viewpoint of adsorption to pigments and developability.

分散樹脂(G)の樹脂種は、例えば、ウレタン樹脂、ポリアクリレート等のポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸(部分)アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物、ポリ(低級アルキレンイミン)と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩等、(メタ)アクリル酸-スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸-(メタ)アクリル酸エステル共重合体、スチレン-マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコ-ル、ポリビニルピロリドン等の水溶性樹脂や水溶性高分子化合物、ポリエステル系、変性ポリアクリレート系、エチレンオキサイド/プロピレンオキサイド付加化合物、リン酸エステル系等が挙げられる。 Resin species of the dispersing resin (G) include, for example, urethane resins, polycarboxylic acid esters such as polyacrylates, unsaturated polyamides, polycarboxylic acids, polycarboxylic acid (partial) amine salts, polycarboxylic acid ammonium salts, polycarboxylic acid Alkylamine salts, polysiloxanes, long-chain polyaminoamide phosphates, hydroxyl group-containing polycarboxylic acid esters, modified products thereof, amides formed by the reaction of poly(lower alkyleneimine) with polyesters having free carboxyl groups and salts thereof, (meth)acrylic acid-styrene copolymer, (meth)acrylic acid-(meth)acrylic acid ester copolymer, styrene-maleic acid copolymer, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, etc. soluble resins, water-soluble polymer compounds, polyesters, modified polyacrylates, ethylene oxide/propylene oxide adducts, phosphoric acid esters, and the like.

分散樹脂(G)の分子構造は、例えば、ランダム構造、ブロック構造、グラフト構造、くし型構造、および星型構造等が挙げられる。これらの中でも、分散安定性の観点から、ブロック構造、またはくし型構造が好ましい。 Examples of the molecular structure of the dispersing resin (G) include random structure, block structure, graft structure, comb structure, and star structure. Among these, a block structure or a comb structure is preferable from the viewpoint of dispersion stability.

分散樹脂(G)の市販品は、例えば、ビックケミー・ジャパン社製のDisperbyk-101,103,107,108,110,111,116,130,140,154,161,162,163,164,165,166,167,168,170,171,174,180,181,182,183,184,185,190,2000,2001,2009,2010,2020,2025,2050,2070,2095,2150,2155,2163,2164、またはAnti-Terra-U203,204、またはBYK-P104,P104S,220S、またはLactimon、Lactimon-WS、またはBykumen等、日本ルーブリゾール社製のSOLSPERSE-3000,9000,13000,13240,13650,13940,16000,17000,18000,20000,21000,24000,26000,27000,28000,31845,32000,32500,32550,33500,32600,34750,35100,36600,38500,41000,41090,53095,55000,56000,76500等、BASFジャパン社製のEFKA-46,47,48,452,4008,4009,4010,4015,4020,4047,4050,4055,4060,4080,4400,4401,4402,4403,4406,4408,4300,4310,4320,4330,4340,450,451,453,4540,4550,4560,4800,5010,5065,5066,5070,7500,7554,1101,120,150,1501,1502,1503等、味の素ファインテクノ社製のアジスーパーPA111,PB711,PB821,PB822,PB824等、特開2008-029901号公報、特開2009-155406号公報、特開2010-185934号公報、特開2011-157416号公報、国際公開2008/007776号、特開2008-029901号公報、特開2009-155406号公報、特開2010-185934号公報、特開2011-157416号公報、特開2009-251481号公報、特開2007-23195号公報、特開1996-143651号公報等に記載の樹脂が挙げられる。 Commercial products of the dispersing resin (G) include, for example, Disperbyk-101, 103, 107, 108, 110, 111, 116, 130, 140, 154, 161, 162, 163, 164, 165, manufactured by BYK-Chemie Japan. 166, 167, 168, 170, 171, 174, 180, 181, 182, 183, 184, 185, 190, 2000, 2001, 2009, 2010, 2020, 2025, 2050, 2070, 2095, 2150, 2155, 2163, 2164, or Anti-Terra-U203, 204, or BYK-P104, P104S, 220S, or Lactimon, Lactimon-WS, or Bykumen, SOLSPERSE-3000, 9000, 13000, 13240, 13650, 13940 manufactured by Nippon Lubrizol Co., Ltd. ,16000,17000,18000,20000,21000,24000,26000,27000,28000,31845,32000,32500,32550,33500,32600,34750,35100,36600,38500,41000,41090,53095,55000,56000,76500 Etc., EFKA-46, 47, 48, 452, 4008, 4009, 4010, 4015, 4020, 4047, 4050, 4055, 4060, 4080, 4400, 4401, 4402, 4403, 4406, 4408, 4300 manufactured by BASF Japan Ajinomoto Fine Techno's Ajisuper PA111, PB711, PB821, PB822, PB824, etc., JP 2008-029901, JP 2009-155406, JP 2010-185934, JP 2011-157416, International Publication 2008/007776, JP 2008-029901, JP 2009-155406, JP 2010-185934, JP 2011-157416, JP 2009-251481, JP 2007- 23195, JP-A-1996-143651, and the like.

分散樹脂(G)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Dispersing resin (G) can be used alone or in combination of two or more.

分散樹脂(G)の含有量は、分散安定性の観点から、着色剤(E)100質量部に対して、3~200質量部が好ましく、5~100質量部がより好ましい。 From the viewpoint of dispersion stability, the content of the dispersing resin (G) is preferably 3 to 200 parts by mass, more preferably 5 to 100 parts by mass, relative to 100 parts by mass of the colorant (E).

[熱硬化性化合物(H)]
本発明の感光性組成物は、耐熱性の観点から、熱硬化性化合物(H)を含むことが好ましい。これにより、加熱工程で熱硬化性化合物(H)が反応し、架橋密度が高まるため耐熱性が向上する。
[Thermosetting compound (H)]
From the viewpoint of heat resistance, the photosensitive composition of the present invention preferably contains a thermosetting compound (H). As a result, the thermosetting compound (H) reacts in the heating step, increasing the crosslink density and improving the heat resistance.

熱硬化性化合物(H)は、低分子化合物や、樹脂のような高分子量化合物でもよい。熱硬化性化合物(H)は、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物、ベンゾグアナミン化合物、ロジン変性マレイン酸化合物、ロジン変性フマル酸化合物、メラミン化合物、尿素化合物、及びフェノール化合物が挙げられる。これらの中でもエポキシ化合物およびオキセタン化合物が好ましい。 The thermosetting compound (H) may be a low-molecular-weight compound or a high-molecular-weight compound such as a resin. Thermosetting compounds (H) include, for example, epoxy compounds, oxetane compounds, benzoguanamine compounds, rosin-modified maleic acid compounds, rosin-modified fumaric acid compounds, melamine compounds, urea compounds, and phenol compounds. Among these, epoxy compounds and oxetane compounds are preferred.

(エポキシ化合物(H1))
エポキシ化合物(H1)は、例えば、ビスフェノール類(ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、ビフェノール、ビスフェノールAD等)、フェノール類(フェノール、アルキル置換フェノール、芳香族置換フェノール、ナフトール、アルキル置換ナフトール、ジヒドロキシベンゼン、アルキル置換ジヒドロキシベンゼン、ジヒドロキシナフタレン等)と各種アルデヒド(ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、アルキルアルデヒド、ベンズアルデヒド、アルキル置換ベンズアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、ナフトアルデヒド、グルタルアルデヒド、フタルアルデヒド、クロトンアルデヒド、シンナムアルデヒド等)との重縮合物、フェノール類と各種ジエン化合物(ジシクロペンタジエン、テルペン類、ビニルシクロヘキセン、ノールボルナジエン、ビニルノールボルネン、テトラヒドロインデン、ジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル、ジイソプロペニルビフェニル、ブタジエン、イソプレン等)との重合物、フェノール類とケトン類(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトフェノン、ベンゾフェノン等)との重縮合物、フェノール類と芳香族ジメタノール類(ベンゼンジメタノール、α,α,α’,α’-ベンゼンジメタノール、ビフェニルジメタノール、α,α,α’,α’-ビフェニルジメタノール等)との重縮合物、フェノール類と芳香族ジクロロメチル類(α,α’-ジクロロキシレン、ビスクロロメチルビフェニル等)との重縮合物、ビスフェノール類と各種アルデヒドの重縮合物、アルコール類等をグリシジル化したグリシジルエーテル系エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、グリシジルエステル系エポキシ樹脂等が挙げられる。
(Epoxy compound (H1))
Epoxy compounds (H1) include, for example, bisphenols (bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, biphenol, bisphenol AD, etc.), phenols (phenol, alkyl-substituted phenol, aromatic-substituted phenol, naphthol, alkyl-substituted naphthol, dihydroxybenzene , alkyl-substituted dihydroxybenzene, dihydroxynaphthalene, etc.) and various aldehydes (formaldehyde, acetaldehyde, alkylaldehyde, benzaldehyde, alkyl-substituted benzaldehyde, hydroxybenzaldehyde, naphthaldehyde, glutaraldehyde, phthalaldehyde, crotonaldehyde, cinnamaldehyde, etc.) Polymerization of phenols and various diene compounds (dicyclopentadiene, terpenes, vinylcyclohexene, norbornadiene, vinylnorbornene, tetrahydroindene, divinylbenzene, divinylbiphenyl, diisopropenylbiphenyl, butadiene, isoprene, etc.) polycondensates of phenols and ketones (acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, acetophenone, benzophenone, etc.), phenols and aromatic dimethanols (benzenedimethanol, α, α, α', α'- benzenedimethanol, biphenyldimethanol, α,α,α',α'-biphenyldimethanol, etc.), phenols and aromatic dichloromethyls (α,α'-dichloroxylene, bischloromethylbiphenyl etc.), polycondensates of bisphenols and various aldehydes, glycidyl ether-based epoxy resins obtained by glycidylating alcohols, etc., alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, aliphatic epoxy resins, glycidylamine type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, and the like.

市販品は、例えば、油化シェルエポキシ社製のエピコート807,815,825,827,828,190P,191P、三井化学社製のTECHMORE VG3101L、日本化薬社製のEPPN-201,501H,502H、EOCN-102S,103S,104S,1020ジャパンエポキシレジン社製のエピコート1004,1256、JER1032H60,157S65,157S70,152,154、ダイセル化学工業社製のセロキサイド2021、EHPE-3150、ナガセケムテックス社製のデナコールEX-211,212,252,313,314,321,411,421,512,521,611,612,614,614B,622,711,721、日産化学工業社製のTEPIC-L,H,S等が挙げられる。 Commercially available products include, for example, EPICOAT 807, 815, 825, 827, 828, 190P, 191P manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd., TECHMORE VG3101L manufactured by Mitsui Chemicals, EPPN-201, 501H, 502H manufactured by Nippon Kayaku, EOCN-102S, 103S, 104S, 1020 Epikote 1004, 1256 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., JER1032H60, 157S65, 157S70, 152, 154, Celoxide 2021 manufactured by Daicel Chemical Industries, EHPE-3150, Denacol manufactured by Nagase ChemteX Corporation EX-211, 212, 252, 313, 314, 321, 411, 421, 512, 521, 611, 612, 614, 614B, 622, 711, 721, Nissan Chemical Industries TEPIC-L, H, S, etc. is mentioned.

エポキシ化合物(H1)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.5~50質量%が好ましく、1~40質量%がより好ましい。 The content of the epoxy compound (H1) is preferably 0.5 to 50% by mass, more preferably 1 to 40% by mass, based on 100% by mass of non-volatile matter in the photosensitive composition.

(オキセタン化合物(H2))
オキセタン化合物(H2)は、オキセタン基を有する公知の化合物である。オキセタン化合物は、1官能オキセタン化合物、2官能オキセタン化合物、3官能以上のオキセタン化合物が挙げられる。
(Oxetane compound (H2))
The oxetane compound (H2) is a known compound having an oxetane group. Oxetane compounds include monofunctional oxetane compounds, bifunctional oxetane compounds, and trifunctional or higher oxetane compounds.

1官能オキセタン化合物は、例えば、(3-エチルオキセタン-3-イル)メチルアクリレート、 (3-エチルオキセタン-3-イル)メチルメタクリレート、3-エチル-3-ヒドロキシメチルオキセタン、3-エチル-3-(2-エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、3-エチル-3-(フェノキシメチル)オキセタン、3-エチル-3-(2-メタクリロキシメチル)オキセタン、3-エチル-3-{[3-(トリエトキシシリル)プロポキシ]メチル}オキセタン等が挙げられる。 Monofunctional oxetane compounds include, for example, (3-ethyloxetane-3-yl)methyl acrylate, (3-ethyloxetane-3-yl)methyl methacrylate, 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane, 3-ethyl-3- (2-ethylhexyloxymethyl)oxetane, 3-ethyl-3-(phenoxymethyl)oxetane, 3-ethyl-3-(2-methacryloxymethyl)oxetane, 3-ethyl-3-{[3-(triethoxy silyl)propoxy]methyl}oxetane and the like.

市販品は、例えば、大阪有機化学工業社製のOXE-10,30、東亞合成社製のOXT-101,212等が挙げられる。 Examples of commercially available products include OXE-10 and 30 manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd., OXT-101 and 212 manufactured by Toagosei Co., Ltd., and the like.

2官能オキセタン化合物は、例えば、4,4’-ビス[(3-エチル-3-オキセタニル)メトキシメチル]ビフェニル)、1,4-ビス[(3-エチル-3-オキセタニル)メトキシメチル]ベンゼン、1,4-ビス{[(3-エチル-3-オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼン、ジ[1-エチル(3-オキセタニル)]メチルエーテル、ジ[1-エチル(3-オキセタニル)]メチルエーテル3-エチル-3-ヒドロキシメチルオキセタン、3-エチル-3-(2-エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、3-エチル-3-(2-フェノキシメチル)オキセタン、3,7-ビス(3-オキセタニル)-5-オキサ-ノナン、1,2-ビス[(3-エチル-3-オキセタニルメトキシ)メチル]エタン、1,3-ビス[(3-エチル-3-オキセタニルメトキシ)メチル]プロパン、エチレングリコ-スビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ジシクロペンテニルビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、トリエチレングリコールビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、テトラエチレングリコールビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、1,4-ビス(3-エチル-3-オキセタニルメトキシ)ブタン、1,6-ビス(3-エチル-3-オキセタニルメトキシ)ヘキサン、ポリエチレングリコールビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、エチレンオキシド(EO)変性ビスフェノールAビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、プロピレンオキシド(PO)変性ビスフェノールAビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、EO変性水添ビスフェノールAビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、PO変性水添ビスフェノールAビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、EO変性ビスフェノールF(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル等が挙げられる。 Bifunctional oxetane compounds include, for example, 4,4′-bis[(3-ethyl-3-oxetanyl)methoxymethyl]biphenyl), 1,4-bis[(3-ethyl-3-oxetanyl)methoxymethyl]benzene, 1,4-bis{[(3-ethyl-3-oxetanyl)methoxy]methyl}benzene, di[1-ethyl(3-oxetanyl)]methyl ether, di[1-ethyl(3-oxetanyl)]methyl ether 3 -ethyl-3-hydroxymethyloxetane, 3-ethyl-3-(2-ethylhexyloxymethyl)oxetane, 3-ethyl-3-(2-phenoxymethyl)oxetane, 3,7-bis(3-oxetanyl)- 5-oxa-nonane, 1,2-bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]ethane, 1,3-bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]propane, ethylene glycol-bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dicyclopentenyl bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, triethylene glycol bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, tetraethylene glycol bis(3 -ethyl-3-oxetanylmethyl)ether, 1,4-bis(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)butane, 1,6-bis(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)hexane, polyethylene glycol bis(3- ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, ethylene oxide (EO)-modified bisphenol A bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, propylene oxide (PO)-modified bisphenol A bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, EO-modified hydrogenated bisphenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, PO-modified hydrogenated bisphenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, EO-modified bisphenol F (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl) ether and the like.

市販品は、例えば、宇部興産社製のOXBP、OXTP、東亞合成社製OXT-121,221等が挙げられる。 Commercially available products include, for example, OXBP and OXTP manufactured by Ube Industries, and OXT-121 and 221 manufactured by Toagosei.

3官能以上のオキセタン化合物は、例えば、ペンタエリスリトールトリス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ペンタエリスリトールテトラキス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールヘキサ(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールペンタキス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールテトラキス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタキス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ジトリメチロ-ルプロパンテトラキス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、オキセタン基を含有する樹脂(例えば、特許第3783462号記載のオキセタン変性フェノールノボラック樹脂等)や前述のOXE-30のような(メタ)アクリルモノマーをラジカル重合させて得られる重合体が挙げられる。 Trifunctional or higher oxetane compounds include, for example, pentaerythritol tris(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, pentaerythritol tetrakis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol hexa(3-ethyl-3 -oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol pentakis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol tetrakis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(3-ethyl- 3-oxetanylmethyl) ether, caprolactone-modified dipentaerythritol pentakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, ditrimethylolpropane tetrakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, resins containing oxetane groups ( For example, oxetane-modified phenolic novolak resins described in Japanese Patent No. 3783462) and polymers obtained by radical polymerization of (meth)acrylic monomers such as the aforementioned OXE-30 can be mentioned.

オキセタン化合物(H2)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.5~50質量%が好ましく、1~40質量%がより好ましい。 The content of the oxetane compound (H2) is preferably 0.5 to 50% by mass, more preferably 1 to 40% by mass, based on 100% by mass of non-volatile matter in the photosensitive composition.

メラミン化合物は、メラミン環構造を有する化合物である。メラミン化合物は、メチロ-ル型やエーテル型の化合物が好ましく、メラミン環1個当たりのメチロ-ル基および/またはエーテル基数が平均5.0以上のメラミン化合物がより好ましい。適度にメチロ-ル基やエーテル基数を有すると過不足ない耐熱性が得やすい。 A melamine compound is a compound having a melamine ring structure. The melamine compound is preferably a methylol-type or ether-type compound, and more preferably a melamine compound having an average number of methylol groups and/or ether groups of 5.0 or more per melamine ring. Having an appropriate number of methylol groups and ether groups makes it easy to obtain just the right amount of heat resistance.

市販品は、例えば、三和ケミカル社製のニカラックMW-30HM,MW-390,MW-100LM,MX-750LM,MW-30M,MW-30,MW-22,MS-21,MS-11,MW-24X,MS-001,MX-002,MX-730,MX-750,MX-708,MX-706,MX-042,MX-45,MX-500,MX-520,MX-43,MX-417,MX-410、日本サイテックインダストリーズ社製のサイメル232,235,236,238,285,300,301,303,350,370等が挙げられる。 Commercially available products include, for example, Nikalac MW-30HM, MW-390, MW-100LM, MX-750LM, MW-30M, MW-30, MW-22, MS-21, MS-11, MW manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. -24X, MS-001, MX-002, MX-730, MX-750, MX-708, MX-706, MX-042, MX-45, MX-500, MX-520, MX-43, MX-417 , MX-410, Cymel 232, 235, 236, 238, 285, 300, 301, 303, 350, 370 manufactured by Nippon Cytec Industries.

これらの中でもメラミン環1個当たりのメチロ-ル基、及び/または、エーテル基数が平均5.0以上である、三和ケミカル社製の二カラックMW-30HM、MW-390、MW-100LM、MX-750LM、MW-30M、MW-30、MW-22、MS-21、MS-11、MW-24X、MX-45、日本サイテックインダストリ-ズ社製のサイメル232,235,236,238,300,301,303,350等は、架橋密度を高められる面で好ましい。 Among these, Nicarac MW-30HM, MW-390, MW-100LM and MX manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., having an average number of methylol groups and/or ether groups per melamine ring of 5.0 or more. -750LM, MW-30M, MW-30, MW-22, MS-21, MS-11, MW-24X, MX-45, Cymel 232, 235, 236, 238, 300 manufactured by Nippon Cytec Industries Co., Ltd. , 301, 303, 350 and the like are preferable in terms of increasing the crosslink density.

熱硬化性化合物(H)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 A thermosetting compound (H) can be used individually or in combination of 2 or more types.

[硬化剤(硬化促進剤)]
本発明の感光性組成物は、熱硬化性化合物(H)の硬化を補助するため、硬化剤(硬化促進剤)を併用できる。硬化剤は、例えば、アミン系化合物、酸無水物、活性エステル、カルボン酸系化合物、スルホン酸系化合物等が挙げられる。硬化剤は、例えば、アミン化合物(例えば、ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4-(ジメチルアミノ)-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メトキシ-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メチル-N,N-ジメチルベンジルアミン等)、4級アンモニウム塩化合物(例えば、トリエチルベンジルアンモニウムクロリド等)、ブロックイソシアネート化合物(例えば、ジメチルアミン等)、イミダゾール誘導体二環式アミジン化合物及びその塩(例えば、イミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、4-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-(2-シアノエチル)-2-エチル-4-メチルイミダゾール等)、リン化合物(例えば、トリフェニルホスフィン等)、S-トリアジン誘導体(例えば、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン、2-ビニル-2,4-ジアミノ-S-トリアジン、2-ビニル-4,6-ジアミノ-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物等)等が挙げられる。
[Curing agent (curing accelerator)]
The photosensitive composition of the present invention can be used together with a curing agent (curing accelerator) to assist curing of the thermosetting compound (H). Curing agents include, for example, amine compounds, acid anhydrides, active esters, carboxylic acid compounds, sulfonic acid compounds and the like. Curing agents include, for example, amine compounds (eg, dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-(dimethylamino)-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine, etc.), quaternary ammonium salt compounds (e.g., triethylbenzylammonium chloride, etc.), blocked isocyanate compounds (e.g., dimethylamine, etc.), imidazole derivatives bicyclic amidine compounds and their salts (e.g., imidazole, 2 -methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-(2-cyanoethyl)-2-ethyl-4 -methylimidazole, etc.), phosphorus compounds (e.g., triphenylphosphine, etc.), S-triazine derivatives (e.g., 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino- S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine/isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine/isocyanuric acid adduct, etc.).

硬化剤は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Curing agents can be used alone or in combination of two or more.

硬化剤の含有量は、熱硬化性化合物(H)100質量部に対して、0.01~15質量部が好ましい。 The content of the curing agent is preferably 0.01 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermosetting compound (H).

[チオール系連鎖移動剤(I)]
本発明の感光性組成物は、チオール系連鎖移動剤(I)を含有できる。チオール系連鎖移動剤(I)は、光重合開始剤(C)と併用すると光照射後のラジカル重合の際、酸素による重合阻害を受けにくいチイルラジカルが発生し、感光性組成物の光感度が向上する。
[Thiol-based chain transfer agent (I)]
The photosensitive composition of the present invention can contain a thiol chain transfer agent (I). When the thiol-based chain transfer agent (I) is used in combination with the photopolymerization initiator (C), thiyl radicals that are less susceptible to polymerization inhibition by oxygen are generated during radical polymerization after light irradiation, and the photosensitivity of the photosensitive composition is improved. do.

チオール系連鎖移動剤(I)は、チオール基(SH基)を2以上有する多官能チオールが好ましく、4以上有する多官能チオールがより好ましい。官能基数が増えると膜の表面から最深部まで光硬化し易くなる。 The thiol-based chain transfer agent (I) is preferably a polyfunctional thiol having two or more thiol groups (SH groups), more preferably a polyfunctional thiol having four or more. As the number of functional groups increases, photocuring becomes easier from the surface to the deepest part of the film.

多官能チオールは、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4-ブタンジオ-ルビスチオプロピオネート、1,4-ブタンジオ-ルビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロ-ルプロパントリスチオグリコレート、トリメチロ-ルプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロ-ルプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、1,4-ジメチルメルカプトベンゼン、2、4、6-トリメルカプト-s-トリアジン、2-(N,N-ジブチルアミノ)-4,6-ジメルカプト-s-トリアジンなどが挙げられ、好ましくは、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロ-ルプロパントリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート等が挙げられる。 Polyfunctional thiols are, for example, hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-butanedi-rubisthiopropionate, 1,4-butanedi-rubisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthiopropionate. , trimethylolpropane tristhioglycolate, trimethylolpropane tristhiopropionate, trimethylolpropane tris(3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakisthioglycolate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, trimercapto tris(2-hydroxyethyl) isocyanurate propionate, 1,4-dimethylmercaptobenzene, 2,4,6-trimercapto-s-triazine, 2-(N,N-dibutylamino)-4,6-dimercapto- s-triazine and the like, preferably ethylene glycol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhiopropionate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate and the like.

チオール系連鎖移動剤(I)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 The thiol-based chain transfer agent (I) can be used alone or in combination of two or more.

チオール系連鎖移動剤(I)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、1~10質量%が好ましく、2~8質量%がより好ましい。適量含有すると光感度が向上し、硬化膜の表面にシワが発生し難くなる。 The content of the thiol-based chain transfer agent (I) is preferably 1 to 10% by mass, more preferably 2 to 8% by mass, based on 100% by mass of nonvolatile matter in the photosensitive composition. When contained in an appropriate amount, the photosensitivity is improved and wrinkles are less likely to occur on the surface of the cured film.

[重合禁止剤(J)]
本発明の感光性組成物は、重合禁止剤(J)を含有できる。
[Polymerization inhibitor (J)]
The photosensitive composition of the present invention can contain a polymerization inhibitor (J).

重合禁止剤(J)は、例えば、カテコール、レゾールシノール、1,4-ヒドロキノン、2-メチルカテコール、3-メチルカテコール、4-メチルカテコール、2-エチルカテコール、3-エチルカテコール、4-エチルカテコール、2-プロピルカテコール、3-プロピルカテコール、4-プロピルカテコール、2-n-ブチルカテコール、3-n-ブチルカテコール、4-n-ブチルカテコール、2-t-ブチルカテコール、3-t-ブチルカテコール、4-t-ブチルカテコール、3,5-ジ-t-ブチルカテコール等のアルキルカテコール系化合物、2-メチルレゾールシノール、4-メチルレゾールシノール、2-エチルレゾールシノール、4-エチルレゾールシノール、2-プロピルレゾールシノール、4-プロピルレゾールシノール、2-n-ブチルレゾールシノール、4-n-ブチルレゾールシノール、2-t-ブチルレゾールシノール、4-t-ブチルレゾールシノール等のアルキルレゾールシノール系化合物、メチルヒドロキノン、エチルヒドロキノン、プロピルヒドロキノン、t-ブチルヒドロキノン、2,5-ジ-t-ブチルヒドロキノン等のアルキルヒドロキノーン系化合物、トリブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリベンジルホスフィン等のホスフィン化合物、トリオクチルホスフィンオキサイド、トリフェニルホスフィンオキサイドなどのホスフィンオキサイド化合物、トリフェニルホスファイト、トリスノニルフェニルホスファイト等のホスファイト化合物、ピロガロール、フロログルシン等が挙げられる。 Polymerization inhibitor (J) is, for example, catechol, resorcinol, 1,4-hydroquinone, 2-methylcatechol, 3-methylcatechol, 4-methylcatechol, 2-ethylcatechol, 3-ethylcatechol, 4-ethylcatechol , 2-propylcatechol, 3-propylcatechol, 4-propylcatechol, 2-n-butylcatechol, 3-n-butylcatechol, 4-n-butylcatechol, 2-t-butylcatechol, 3-t-butylcatechol , 4-t-butylcatechol, 3,5-di-t-butylcatechol and other alkylcatechol compounds, 2-methylresorcinol, 4-methylresorcinol, 2-ethylresorcinol, 4-ethylresorcinol, 2 alkylresorcinol compounds such as -propylresorcinol, 4-propylresorcinol, 2-n-butylresorcinol, 4-n-butylresorcinol, 2-t-butylresorcinol, and 4-t-butylresorcinol; Alkylhydroquinone compounds such as methylhydroquinone, ethylhydroquinone, propylhydroquinone, t-butylhydroquinone, 2,5-di-t-butylhydroquinone, tributylphosphine, trioctylphosphine, tricyclohexylphosphine, triphenylphosphine, tribenzylphosphine phosphine compounds such as trioctylphosphine oxide and triphenylphosphine oxide, phosphite compounds such as triphenylphosphite and trisnonylphenylphosphite, pyrogallol, phloroglucine and the like.

重合禁止剤(J)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.01~0.4質量%が好ましい。 The content of the polymerization inhibitor (J) is preferably 0.01 to 0.4% by mass based on 100% by mass of non-volatile matter in the photosensitive composition.

[紫外線吸収剤(K)]
本発明の感光性組成物は、紫外線吸収剤(K)を含有できる。
[Ultraviolet absorber (K)]
The photosensitive composition of the present invention can contain an ultraviolet absorber (K).

紫外線吸収剤(K)は、紫外線吸収機能を有する有機化合物であり、ベンゾトリアゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、サリチル酸エステル系化合物、シアノアクリレート系化合物、及びサリシレート系化合物等が挙げられる。 The ultraviolet absorber (K) is an organic compound having an ultraviolet absorption function, and includes benzotriazole-based compounds, triazine-based compounds, benzophenone-based compounds, salicylic acid ester-based compounds, cyanoacrylate-based compounds, and salicylate-based compounds.

ベンゾトリアゾール系化合物は、例えば、2-(5メチル-2-ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-5-t-ブチルフェニル)-2H-ベンゾトリアゾール、2-[2-ヒドロキシ-3,5-ビス(α, α-ジメチルベンジル)フェニル]-2H-ベンゾトリアゾール、2-(3-tブチル-5-メチル-2-ヒドロキシフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、2-(2'-ヒドロキシ-5'-t-オクチルフェニル)ベンゾトリアゾール、5%の2-メトキシ-1-メチルエチルアセテートと95%のベンゼンプロパン酸,3-(2H-ベンゾトリアゾール2-イル)-(1,1-ジメチルエチル)-4-ヒドロキシ,C7-9側鎖及び直鎖アルキルエステルの混合物、2-(2H-ベンゾトリアゾール2-イル)-4,6-ビス(1-メチル-1-フェニルエチル)フェノール、2-(2H-ベンゾトリアゾール2-イル)-6-(1-メチル-1-フェニルエチル)-4-(1,1,3,3-テトラメチルブチル)フェノール、メチル 3-(3-(2H-ベンゾトリアゾール2-イル)-5-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニル)プロピオネート/ポリエチレングリコール300の反応生成物、2-(2H-ベンゾトリアゾール2-イル)-4-(1,1,3,3-テトラメチルブチル)フェノール、2,2’-メチレンビス[6-(2H-ベンゾトリアゾール2-イル)-4-(1,1,3,3-テトラメチルブチル)フェノール]、2-(2H-ベンゾトリアゾール2-イル)-p-クレゾール、2-(5-クロロ-2H-ベンゾトリアゾール2-イル)-6-t-ブチル-4-メチルフェノール、2-(3,5-ジ-t-アミル-2-ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2-[2-ヒドロキシ-5-[2-(メタクリロイルオキシ)エチル]フェニル]-2H-ベンゾトリアゾール、オクチル-3-[3-tert-ブチル-4-ヒドロキシ-5-(5-クロロ-2H-ベンゾトリアゾール2-イル)フェニル]プロピオネート、2-エチルヘキシル-3-[3-tert-ブチル-4-ヒドロキシ-5-(5-クロロ-2H-ベンゾトリアゾール2-イル)フェニル]プロピオネートが挙げられる。 Benzotriazole compounds include, for example, 2-(5methyl-2-hydroxyphenyl)benzotriazole, 2-(2-hydroxy-5-t-butylphenyl)-2H-benzotriazole, 2-[2-hydroxy-3 ,5-bis(α,α-dimethylbenzyl)phenyl]-2H-benzotriazole, 2-(3-tbutyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl)-5-chlorobenzotriazole, 2-(2′- Hydroxy-5′-t-octylphenyl)benzotriazole, 5% 2-methoxy-1-methylethyl acetate and 95% benzenepropanoic acid, 3-(2H-benzotriazol-2-yl)-(1,1- dimethylethyl)-4-hydroxy, a mixture of C7-9 side chain and linear alkyl esters, 2-(2H-benzotriazol-2-yl)-4,6-bis(1-methyl-1-phenylethyl)phenol, 2-(2H-benzotriazol-2-yl)-6-(1-methyl-1-phenylethyl)-4-(1,1,3,3-tetramethylbutyl)phenol, methyl 3-(3-(2H -benzotriazol-2-yl)-5-t-butyl-4-hydroxyphenyl)propionate/polyethylene glycol 300 reaction product, 2-(2H-benzotriazol-2-yl)-4-(1,1,3, 3-tetramethylbutyl)phenol, 2,2′-methylenebis[6-(2H-benzotriazol-2-yl)-4-(1,1,3,3-tetramethylbutyl)phenol], 2-(2H- benzotriazol-2-yl)-p-cresol, 2-(5-chloro-2H-benzotriazol-2-yl)-6-t-butyl-4-methylphenol, 2-(3,5-di-t-amyl -2-hydroxyphenyl)benzotriazole, 2-[2-hydroxy-5-[2-(methacryloyloxy)ethyl]phenyl]-2H-benzotriazole, octyl-3-[3-tert-butyl-4-hydroxy- 5-(5-chloro-2H-benzotriazol-2-yl)phenyl]propionate, 2-ethylhexyl-3-[3-tert-butyl-4-hydroxy-5-(5-chloro-2H-benzotriazol-2-yl ) phenyl]propionate.

市販品は、例えば、BASFジャパン社製のTINUVIN P,PS,234,326,329,384-2,900,928,99-2,1130、ADEKA社製のアデカスタブLA-29,LA-31RG,LA-32,LA-36、ケミプロ化成社製のKEMISORB71,73,74,79,279、大塚化学社製のRUVA-93等が挙げられる。 Commercially available products are, for example, TINUVIN P, PS, 234, 326, 329, 384-2, 900, 928, 99-2, 1130 manufactured by BASF Japan, and Adekastab LA-29, LA-31RG, LA manufactured by ADEKA. -32, LA-36, KEMISORB71, 73, 74, 79, 279 manufactured by Chemipro Kasei Co., Ltd., RUVA-93 manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., and the like.

トリアジン系化合物は、例えば、2,4-ビス(2,4-ジメチルフェニル)-6-(2-ヒドロキシ-4-n-オクチルオキシフェニル)-1,3,5-トリアジン、2-[4,6-ビス(2,4-ジメチルフェニル)-1,3,5-トリアジン-2-イル]-5-[3-(ドデシルオキシ)-2-ヒドロキシプロポキシ]フェノール、2-(2,4-ジヒドロキシフェニル)-4,6-ビス(2,4-ジメチルフェニル)-1,3,5-トリアジンと(2-エチルヘキシル)-グリシド酸エステルの反応生成物、2,4-ビス「2-ヒドロキシ-4-ブトキシフェニル」-6-(2,4-ジブトキシフェニル)-1,3,5-トリアジン、2-(4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル)-5-(ヘキシルオキシ)フェノール、2-(4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル)-5-[2-(2-エチルヘキサノイルオキシ)エトキシ]フェノール、2,4,6-トリス(2-ヒドロキシ-4-ヘキシルオキシ-3-メチルフェニル)-1,3,5-トリアジン等が挙げられる。 Triazine compounds include, for example, 2,4-bis(2,4-dimethylphenyl)-6-(2-hydroxy-4-n-octyloxyphenyl)-1,3,5-triazine, 2-[4, 6-bis(2,4-dimethylphenyl)-1,3,5-triazin-2-yl]-5-[3-(dodecyloxy)-2-hydroxypropoxy]phenol, 2-(2,4-dihydroxy Reaction product of phenyl)-4,6-bis(2,4-dimethylphenyl)-1,3,5-triazine and (2-ethylhexyl)-glycidate, 2,4-bis'2-hydroxy-4 -butoxyphenyl"-6-(2,4-dibutoxyphenyl)-1,3,5-triazine, 2-(4,6-diphenyl-1,3,5-triazin-2-yl)-5-( hexyloxy)phenol, 2-(4,6-diphenyl-1,3,5-triazin-2-yl)-5-[2-(2-ethylhexanoyloxy)ethoxy]phenol, 2,4,6- and tris(2-hydroxy-4-hexyloxy-3-methylphenyl)-1,3,5-triazine.

市販品は、例えば、ケミプロ化成社製のKEMISORB102、BASFジャパン社製のTINUVIN400,405,460,477,479,1577ED、ADEKA社のアデカスタブLA-46,LA-F70、サンケミカル社製のCYASORB UV-1164等が挙げられる。 Commercially available products include, for example, KEMISORB102 manufactured by Chemipro Kasei Co., Ltd., TINUVIN400, 405, 460, 477, 479, 1577ED manufactured by BASF Japan, Adekastab LA-46, LA-F70 manufactured by ADEKA, and CYASORB UV- manufactured by Sun Chemical Co., Ltd. 1164 and the like.

ベンゾフェノン系化合物は、例えば、2,4-ジ-ヒドロキシベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-4-メトキシベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-4-メトキシベンゾフェノン5-スルホン酸-3水温、2-ヒドロキシ-4-n-オクトキシベンゾフェノーン、2,2’-ジ-ヒドロキシ-4-メトキシベンゾフェノン、2,2’-ジヒドロキシ-4,4’-ジメトキシベンゾフェノン、4-ドデシロキシ-2-ヒドロキシベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-4-オクタデシロキシベンゾフェノン、2,2’ジヒドロキシ-4,4’-ジメトキシベンゾフェノン、2,2’,4,4’-テトラヒドロキシベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-4-メトキシ-2’-カルボキシベンゾフェノン等が挙げられる。 Benzophenone compounds include, for example, 2,4-di-hydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 5-sulfonic acid-3, water temperature, 2-hydroxy-4-n-octo xybenzophenone, 2,2'-dihydroxy-4-methoxybenzophenone, 2,2'-dihydroxy-4,4'-dimethoxybenzophenone, 4-dodecyloxy-2-hydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-octa decyloxybenzophenone, 2,2'dihydroxy-4,4'-dimethoxybenzophenone, 2,2',4,4'-tetrahydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxy-2'-carboxybenzophenone and the like.

市販品は、例えば、ケミプロ化成社製のKEMISORB 10,11,11S,12,111、シプロ化成社製のSEESORB 101,107、ADEKA社製のアデカスタブ1413、サンケミカル社製のUV-12等が挙げられる。 Commercially available products include, for example, KEMISORB 10, 11, 11S, 12, 111 manufactured by Chemipro Chemicals, SEESORB 101, 107 manufactured by Shipro Chemicals, Adekastab 1413 manufactured by ADEKA, and UV-12 manufactured by Sun Chemical. be done.

サリチル酸エステル系化合物は、例えば、サリチル酸フェニル、サリチル酸p-オクチルフェニル、サリチル酸p-tertブチルフェニル等が挙げられる。 Examples of salicylate compounds include phenyl salicylate, p-octylphenyl salicylate, p-tertbutylphenyl salicylate, and the like.

紫外線吸収剤(K)の含有量は、光重合開始剤(C)と紫外線吸収剤(K)との合計100質量%中、5~70質量%が好ましい。 The content of the ultraviolet absorber (K) is preferably 5 to 70% by weight based on the total 100% by weight of the photopolymerization initiator (C) and the ultraviolet absorber (K).

[酸化防止剤(L)]
本発明の感光性組成物は、酸化防止剤(L)を含有できる。
[Antioxidant (L)]
The photosensitive composition of the invention can contain an antioxidant (L).

酸化防止剤(L)は、感光性組成物に含まれる光重合開始剤(C)や熱硬化性化合物(H)が、熱硬化やITOアニ-ル時の熱工程によって酸化による黄変を防ぐ。特に、感光性組成物の着色剤(E)濃度が高い場合、相対的に重合性化合物(B)の含有量が減少するため、光重合開始剤(C)の増量や、熱硬化性化合物(H)の配合で対応すると硬化膜が黄変し易い。そのため、酸化防止剤を含むことで、加熱工程時の酸化による硬化膜の黄変を防止する。 The antioxidant (L) prevents the photopolymerization initiator (C) and the thermosetting compound (H) contained in the photosensitive composition from yellowing due to oxidation during the thermal process during thermal curing and ITO annealing. . In particular, when the colorant (E) concentration of the photosensitive composition is high, the content of the polymerizable compound (B) is relatively decreased, so the amount of the photopolymerization initiator (C) may be increased, or the thermosetting compound ( If H) is used, the cured film tends to turn yellow. Therefore, by including an antioxidant, yellowing of the cured film due to oxidation during the heating process is prevented.

酸化防止剤(L)は、例えば、ヒンダードフェノール系、ヒンダードアミン系、リン系、イオウ系、およびヒドロキシルアミン系の化合物が挙げられる。なお、本明細書で酸化防止剤は、ハロゲン原子を含有しない化合物が好ましい。 Antioxidants (L) include, for example, hindered phenol-based, hindered amine-based, phosphorus-based, sulfur-based, and hydroxylamine-based compounds. In this specification, the antioxidant is preferably a compound containing no halogen atom.

これらの中でも、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、ヒンダードアミン系酸化防止剤、リン系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤が好ましい。 Among these, hindered phenol-based antioxidants, hindered amine-based antioxidants, phosphorus-based antioxidants, and sulfur-based antioxidants are preferred.

ヒンダードフェノール系酸化防止剤は、例えば、1,3,5-トリス(3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシベンジル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン、1,1,3-トリス-(2’-メチル-4’-ヒドロキシ-5’-t-ブチルフェニル)-ブタン、4,4’-ブチリデン-ビス-(2-t-ブチル-5-メチルフェノール)、3-(3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニル)プロピオン酸ステアリル、ペンタエリスリトールテトラキス[3-(3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニル)プロピオネート、3,9-ビス[2-[3-(3-t-ブチル-4-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)プロピオニルオキシ]-1,1-ジメチルエチル]-2,4,8,10-テトラオキサスピロ[5.5]ウンデカン、1,3,5-トリス(3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニルメチル)-2,4,6-トリメチルベンゼン、1,3,5-トリス(3-ヒドロキシ-4-t-ブチル-2,6-ジメチルベンジル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン、2,2’-メチレンビス(6-t-ブチル-4-エチルフェノール)、2,2’-チオジエチルビス-(3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニル)-プロピオネート、N,N-ヘキサメチレンビス(3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシ-ヒドロシンナムアミド)、i-オクチル-3-(3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニル)プロピオネート、4,6-ビス(ドデシルチオメチル)-o-クレゾール、3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシベンジルホスホン酸モノエチルエステルのカルシウム塩、4,6-ビス(オクチルチオメチル)-o-クレゾール、ビス[3-(3-メチル-4-ヒドロキシ-5-t-ブチルフェニル)プロピオン酸]エチレンビスオキシビスエチレン、1,6-ヘキサンジオ-ルビス[3-(3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニル)プロピオネート、2,4-ビス-(n-オクチルチオ)-6-(4-ヒドロキシ-3,5-ジ-t-ブチルアニリノ)-1,3,5-トリアジン、2,2’-チオ-ビス-(6-t-ブチル-4-メチルフェノール)、2,5-ジ-t-アミル-ヒドロキノン、2,6-ジ-t-ブチル-4-ノニルフェノール、2,2’-イソブチリデン-ビス-(4,6-ジメチル-フェノール)、2,2’-メチレン-ビス-(6-(1-メチル-シクロヘキシル)-p-クレゾール)、2,4-ジメチル-6-(1-メチル-シクロヘキシル)-フェノール等が挙げられる。 Hindered phenol antioxidants include, for example, 1,3,5-tris(3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl)-1,3,5-triazine-2,4,6(1H ,3H,5H)-trione, 1,1,3-tris-(2′-methyl-4′-hydroxy-5′-t-butylphenyl)-butane, 4,4′-butylidene-bis-(2- t-butyl-5-methylphenol), 3-(3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl)stearylpropionate, pentaerythritol tetrakis [3-(3,5-di-t-butyl-4 -hydroxyphenyl)propionate, 3,9-bis[2-[3-(3-t-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl)propionyloxy]-1,1-dimethylethyl]-2,4,8 , 10-tetraoxaspiro[5.5]undecane, 1,3,5-tris(3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenylmethyl)-2,4,6-trimethylbenzene, 1,3 ,5-tris(3-hydroxy-4-t-butyl-2,6-dimethylbenzyl)-1,3,5-triazine-2,4,6(1H,3H,5H)-trione, 2,2′ -methylenebis(6-t-butyl-4-ethylphenol), 2,2′-thiodiethylbis-(3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl)-propionate, N,N-hexamethylenebis (3,5-di-t-butyl-4-hydroxy-hydrocinnamamide), i-octyl-3-(3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl)propionate, 4,6-bis (dodecylthiomethyl)-o-cresol, calcium salt of 3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzylphosphonic acid monoethyl ester, 4,6-bis(octylthiomethyl)-o-cresol, bis[ 3-(3-methyl-4-hydroxy-5-t-butylphenyl)propionic acid]ethylenebisoxybisethylene, 1,6-hexanedi-rubis[3-(3,5-di-t-butyl-4- hydroxyphenyl)propionate, 2,4-bis-(n-octylthio)-6-(4-hydroxy-3,5-di-t-butylanilino)-1,3,5-triazine, 2,2'-thio- Bis-(6-t-butyl-4-methylphenol), 2,5-di-t-amyl-hydroquinone, 2,6-di-t-butyl-4-nonylphenol, 2,2′-isobutylidene-bis- (4, 6-dimethyl-phenol), 2,2′-methylene-bis-(6-(1-methyl-cyclohexyl)-p-cresol), 2,4-dimethyl-6-(1-methyl-cyclohexyl)-phenol, etc. is mentioned.

市販品は、例えば、ADEKA社製のアデカスタブAO-20,AO-30,AO-40,AO-50,AO-60,AO-80,AO-330、ケミプロ社製のKEMINOX101,179,76,9425、BASFジャパン社製のIRGANOX1010,1035,1076,1098,1135,1330,1726,1425WL,1520L,245,259,3114,5057,565、サンケミカル社製のサイアノックスCY-1790,CY-2777等が挙げられる。 Commercially available products include, for example, ADEKA's Adekastab AO-20, AO-30, AO-40, AO-50, AO-60, AO-80, AO-330, and Chemipro's KEMINOX 101, 179, 76, 9425. , IRGANOX 1010, 1035, 1076, 1098, 1135, 1330, 1726, 1425WL, 1520L, 245, 259, 3114, 5057, 565 manufactured by BASF Japan, Cyanox CY-1790, CY-2777 manufactured by Sun Chemical Co., etc. mentioned.

ヒンダードアミン系酸化防止剤は、例えば、テトラキス(1,2,2,6,6-ペンタメチル-4-ピペリジル)-1,2,3,4-ブタンテトラカルボキシレート、テトラキス(2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジル)1,2,3,4-ブタンテトラカルボキシレート、ビス(1,2,2,6,6-ペンタメチル-4-ピペリジル)セバケート、ビス(2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジル)セバケート、ビス(1-ウンデカノキシ-2,2,6,6-テトラメチルピペリジン-4-イル)カルボネート、1,2,2,6,6-ペンタメチル-4-ピペリジルメタクリレート、2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジルメタクリレート、コハク酸ジメチルと1-(2-ヒドロキシエチル)-4-ヒドロキシ-2,2,6,6-テトラメチルピペリジンとの重縮合物、ポリ[[6-[(1,1,3,3-テトラメチルブチル)アミノ]-s-トリアジン-2,4-ジイル]-[(2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジル)イミノ]-ヘキサメチレン-[(2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジル)イミノ]]、4-ヒドロキシ-2,2,6,6-テトラメチル-1-ピペリジンエタノールと3,5,5-トリメチルヘキサン酸のエステル、N,N’-4,7-テトラキス〔4,6-ビス{N-ブチル-N-(1,2,2,6,6-ペンタメチル-4-ピペリジル)アミノ}-1,3,5-トリアジン-2-イル〕-4,7-ジアザデカン-1,10-ジアミン、デカン二酸ビス(2,2,6,6-テトラメチル-1-(オクチルオキシ)-4-ピペリジニル)エステル,1,1-ジメチルエチルヒドロペルオキシドとオクタンの反応生成物、ビス(1,2,2,6,6-ペンタメチル-4-ピリペリジル)[[3,5-ビス(1,1ジメチルエチル)-4-ヒドロキシフェニル]メチル]ブチルマロネートメチル1,2,2,6,6-ペンタメチル-4-ピリペリジルセバケート、ポリ[[6-モルホリノ-s-トリアジン-2,4-ジイル]-[(2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジル)イミノ]-ヘキサメチレン-[(2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジル)イミノ]]、2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジル-C12-21およびC18不飽和脂肪酸エステル、N,N’-ビス(2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジル)-1,6-ヘキサメチレンジアミン、2-メチル-2-(2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジル)アミノ-N-(2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジル)プロピオンアミド等が挙げられる。 Hindered amine antioxidants include, for example, tetrakis(1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidyl)-1,2,3,4-butanetetracarboxylate, tetrakis(2,2,6,6 -tetramethyl-4-piperidyl) 1,2,3,4-butane tetracarboxylate, bis(1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidyl) sebacate, bis(2,2,6,6 -tetramethyl-4-piperidyl) sebacate, bis(1-undecanoxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidin-4-yl) carbonate, 1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidyl methacrylate , 2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl methacrylate, polycondensates of dimethyl succinate and 1-(2-hydroxyethyl)-4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine , Poly[[6-[(1,1,3,3-tetramethylbutyl)amino]-s-triazine-2,4-diyl]-[(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl ) imino]-hexamethylene-[(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl)imino]], 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethyl-1-piperidineethanol and 3, Ester of 5,5-trimethylhexanoic acid, N,N'-4,7-tetrakis[4,6-bis{N-butyl-N-(1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidyl) Amino}-1,3,5-triazin-2-yl]-4,7-diazadecane-1,10-diamine, bis(2,2,6,6-tetramethyl-1-(octyloxy)decanedioate -4-piperidinyl) ester, the reaction product of 1,1-dimethylethyl hydroperoxide and octane, bis(1,2,2,6,6-pentamethyl-4-pyliperidyl)[[3,5-bis(1, 1 dimethylethyl)-4-hydroxyphenyl]methyl]butylmalonate methyl 1,2,2,6,6-pentamethyl-4-pyriperidyl sebacate, poly[[6-morpholino-s-triazine-2,4 -diyl]-[(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl)imino]-hexamethylene-[(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl)imino]], 2, 2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl-C12-21 and C18 unsaturated fatty acid esters, N,N'-bis(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl)-1, 6-hexamethylenediamine, 2-methyl-2-(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl)amino-N-(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl)propionamide etc.

市販品は、例えば、ADEKA社製のアデカスタブLA-52,LA-57,LA-63P,LA-68,LA-72,LA-77Y,LA-77G,LA-81,LA-82,LA-87,LA-402F,LA-502XP、ケミプロ化成社製のKAMISTAB29,62,77,94、BASFジャパン社製のTinuvin111FDL,123,144,249,292,5100、サンケミカル社製のサイアソ-ブUV-3346,UV-3529,UV-3853等が挙げられる。 Commercially available products are, for example, ADEKA's ADEKA STAB LA-52, LA-57, LA-63P, LA-68, LA-72, LA-77Y, LA-77G, LA-81, LA-82, LA-87 , LA-402F, LA-502XP, KAMISTAB 29, 62, 77, 94 manufactured by Chemipro Kasei Co., Ltd., Tinuvin 111FDL, 123, 144, 249, 292, 5100 manufactured by BASF Japan, Cyasorb UV-3346 manufactured by Sun Chemical Co., Ltd. , UV-3529, UV-3853 and the like.

リン系酸化防止剤は、例えば、ジ(2,6-ジ-t-ブチル-4-メチルフェニル)ペンタエリスリトールジホスファイト、ジステアリルペンタエリスリトールジホスファイト、2,2’-メチレンビス(4,6-ジ-t-ブチルフェニル)2-エチルヘキシルホスファイト、トリス(2,4-ジ-t-ブチルフェニル)ホスファイト、トリス(ノニルフェニル)ホスファイト、テトラ(C12~C15アルキル)-4,4’-イソプロピリデンジフェニルジホスファイト、ジフェニルモノ(2-エチルヘキシル)ホスファイト、ジフェニルイソデシルホスファイト、トリス(イソデシル)ホスファイト、トリフェニルホスファイト、テトラキス(2,4-ジ-t-ブチルフェニル)-4,4-ビフェニルジフォスホニト、トリス(トリデシル)ホスファイト、フェニルイソオクチルホスファイト、フェニルイソデシルホスファイト、フェニルジ(トリデシル)ホスファイト、ジフェニルイソオクチルホスファイト、ジフェニルトリデシルホスファイト、4,4’-イソプロピリデンジフェノールアルキルホスファイト、トリスノニルフェニルホスファイト、トリスジノニルフェニルホスファイト、トリス(ビフェニル)ホスファイト、ジ(2,4-ジ-t-ブチルフェニル)ペンタエリスリトールジホスファイト、ジ(ノニルフェニル)ペンタエリスリトールジホスファイト、フェニルビスフェノールAペンタエリスリトールジホスファイト、テトラトリデシル4,4’-ブチリデンビス(3-メチル-6-t-ブチルフェノール)ジホスファイト、ヘキサトリデシル1,1,3-トリス(2-メチル-4-ヒドロキシ-5-t-ブチルフェニル)ブタントリホスファイト、3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシベンジルホスファイトジエチルエステル、ソジウムビス(4-t-ブチルフェニル)ホスファイト、ソジウム-2,2-メチレン-ビス(4,6-ジ-t-ブチルフェニル)-ホスファイト、1,3-ビス(ジフェノキシフォスフォニロキシ)-ベンゼン、亜リン酸エチルビス(2,4-ジt-ブチル-6-メチルフェニル)等が挙げられる。 Phosphorus antioxidants include, for example, di(2,6-di-t-butyl-4-methylphenyl)pentaerythritol diphosphite, distearylpentaerythritol diphosphite, 2,2′-methylenebis(4,6 -di-t-butylphenyl)2-ethylhexylphosphite, tris(2,4-di-t-butylphenyl)phosphite, tris(nonylphenyl)phosphite, tetra(C12-C15alkyl)-4,4' -Isopropylidenediphenyldiphosphite, diphenylmono(2-ethylhexyl)phosphite, diphenylisodecylphosphite, tris(isodecyl)phosphite, triphenylphosphite, tetrakis(2,4-di-t-butylphenyl)- 4,4-biphenyldiphosphonate, tris(tridecyl)phosphite, phenylisooctylphosphite, phenylisodecylphosphite, phenyldi(tridecyl)phosphite, diphenylisooctylphosphite, diphenyltridecylphosphite, 4,4 '-isopropylidenediphenol alkyl phosphite, trisnonylphenyl phosphite, trisdinonylphenyl phosphite, tris(biphenyl) phosphite, di(2,4-di-t-butylphenyl) pentaerythritol diphosphite, di (nonylphenyl) pentaerythritol diphosphite, phenylbisphenol A pentaerythritol diphosphite, tetratridecyl 4,4'-butylidenebis(3-methyl-6-t-butylphenol) diphosphite, hexatridecyl 1,1,3- Tris(2-methyl-4-hydroxy-5-t-butylphenyl)butane triphosphite, 3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzylphosphite diethyl ester, sodium bis(4-t-butylphenyl)phosphite Phyto, sodium-2,2-methylene-bis(4,6-di-t-butylphenyl)-phosphite, 1,3-bis(diphenoxyphosphonyloxy)-benzene, ethyl bis(2,4 -di-t-butyl-6-methylphenyl) and the like.

市販品は、例えば、ADEKA社製のアデカスタブPEP-36,PEP-8,HP-10,2112,1178,1500,C,135A,3010,TPP、BASFジャパン社製のIRGAFOS168、クラリアントケミカルズ社製のHostanoxP-EPQ等が挙げられる。 Commercial products include, for example, Adekastab PEP-36, PEP-8, HP-10, 2112, 1178, 1500, C, 135A, 3010, TPP manufactured by ADEKA, IRGAFOS168 manufactured by BASF Japan, and HostanoxP manufactured by Clariant Chemicals. -EPQ and the like.

イオウ系酸化防止剤は、例えば、2,2-ビス{〔3-(ドデシルチオ)-1-オキソプロポキシ〕メチル}プロパン-1,3-ジイルビス〔3-(ドデシルチオ)プロピオネート〕、3,3’-チオビスプロピオン酸ジトリデシル、2,2-チオ-ジエチレンビス〔3-(3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニル)プロピオネート〕、2,4-ビス〔(オクチルチオ)メチル〕-o-クレゾール、2,4-ビス〔(ラウリルチオ)メチル〕-o-クレゾール等が挙げられる。 Sulfur antioxidants include, for example, 2,2-bis{[3-(dodecylthio)-1-oxopropoxy]methyl}propane-1,3-diylbis[3-(dodecylthio)propionate], 3,3′- ditridecyl thiobispropionate, 2,2-thio-diethylenebis[3-(3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl)propionate], 2,4-bis[(octylthio)methyl]-o- cresol, 2,4-bis[(laurylthio)methyl]-o-cresol and the like.

市販品は、例えば、ADEKA社製のアデカスタブAO-412S,AO-503、ケミプロ化成社製のKEMINOXPLS等が挙げられる。 Commercially available products include, for example, ADEKA STAB AO-412S and AO-503 manufactured by ADEKA, and KEMINOXPLS manufactured by Chemipro Kasei.

酸化防止剤(L)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 The antioxidant (L) can be used alone or in combination of two or more.

酸化防止剤(L)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.5~5.0質量%が好ましい。適量含有すると透過率、分光特性、及び感度が向上する。 The content of antioxidant (L) is preferably 0.5 to 5.0% by mass based on 100% by mass of non-volatile matter in the photosensitive composition. When contained in an appropriate amount, transmittance, spectral characteristics, and sensitivity are improved.

[レベリング剤(M)]
本発明の感光性組成物は、レベリング剤(M)を含有できる。これにより、塗工時の基板に対する濡れ性、及び乾燥性がより向上する。
[Leveling agent (M)]
The photosensitive composition of the invention can contain a leveling agent (M). This further improves the wettability and dryability of the substrate during coating.

レベリング剤(M)は、例えば、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、ノニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、両性界面活性剤等が挙げられる。 Examples of the leveling agent (M) include silicone surfactants, fluorosurfactants, nonionic surfactants, cationic surfactants, anionic surfactants and amphoteric surfactants.

シリコーン系界面活性剤は、例えば、シロキサン結合からなる直鎖状ポリマーや、側鎖や末端に有機基を導入した変性シロキサンポリマーが挙げられる。 Examples of silicone-based surfactants include linear polymers composed of siloxane bonds and modified siloxane polymers in which organic groups are introduced into side chains or terminals.

市販品は、例えば、ビックケミー社製のBYK-300,306,310,313,315N,320,322,323,330,331,333,342,345,346,347,348,349,370,377,378,3455,UV3510,3570、東レ・ダウコ-ニング社製のFZ-7002,2110,2122,2123,2191,5609、信越化学工業社製のX-22-4952、X-22-4272、X-22-6266、KF-351A、KF-354L、KF-355A、KF-945、KF-640、KF-642、KF-643、X-22-4515、KF-6004、KP-341等が挙げられる。 Commercially available products are, for example, BYK-300, 306, 310, 313, 315N, 320, 322, 323, 330, 331, 333, 342, 345, 346, 347, 348, 349, 370, 377 manufactured by BYK Chemie, 378, 3455, UV3510, 3570, Toray Dow Corning FZ-7002, 2110, 2122, 2123, 2191, 5609, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. X-22-4952, X-22-4272, X- 22-6266, KF-351A, KF-354L, KF-355A, KF-945, KF-640, KF-642, KF-643, X-22-4515, KF-6004, KP-341 and the like.

フッ素系界面活性剤は、例えば、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤またはレベリング剤が挙げられる。 Fluorosurfactants include, for example, surfactants or leveling agents having fluorocarbon chains.

市販品は、例えば、AGCセイミケミカル社製のサーフロンS-242,243,420,611,651,386、DIC社製のメガファックF-253,477,551,552,555,558,560,570,575,576、R-40-LM、R-41、RS-72-K、DS-21、住友スリーエム社製のFC-4430,4432、三菱マテリアル電子化成社製のEF-PP31N09、EF-PP33G1、EF-PP32C1、ネオス社製フタージェントの602A等が挙げられる。 Commercially available products are, for example, Surflon S-242, 243, 420, 611, 651, 386 manufactured by AGC Seimi Chemical Co., Ltd., and Megafac F-253, 477, 551, 552, 555, 558, 560, 570 manufactured by DIC Corporation. , 575, 576, R-40-LM, R-41, RS-72-K, DS-21, Sumitomo 3M FC-4430, 4432, Mitsubishi Materials Electronic Chemicals EF-PP31N09, EF-PP33G1 , EF-PP32C1, and Ftergent 602A manufactured by Neos.

ノニオン性界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンミリステルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルドデシルエーテル、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル、ポリオキシフェニレンジスチレン化フェニルエーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシアルキレンアルケニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテ-ト、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンジステアレート、ソルビタントリステアレート、ソルビタンモノオレート、ソルビタントリオレート、ソルビタンセスキオレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテ-ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート、ポリオキシエチレンソルビタントリイソステアレート、テトラオレイン酸ポリオキシエチレンソルビット、グリセロ-ルモノステアレート、グリセロ-ルモノオレート、ポリエチレングリコールモノラウレート、ポリエチレングリコールモノステアレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ポリエチレングリコールモノオレート、ポリオキシエチレン硬化ヒマシ油、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルキルアルカノールアミド、アルキルイミダゾリン等が挙げられる。 Nonionic surfactants include, for example, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene cetyl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene myrister ether, polyoxyethylene octyl Dodecyl ether, polyoxyalkylene alkyl ether, polyoxyphenylene distyrenated phenyl ether, polyoxyethylene tribenzylphenyl ether, polyoxyethylene polyoxypropylene glycol, polyoxyalkylene alkenyl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyoxyethylene Alkyl ether phosphate, sorbitan monolaurate, sorbitan monopalmitate, sorbitan monostearate, sorbitan distearate, sorbitan tristearate, sorbitan monooleate, sorbitan trioleate, sorbitan sesquioleate, polyoxyethylene sorbitan mono Laurate, polyoxyethylene sorbitan monopalmitate, polyoxyethylene sorbitan monostearate, polyoxyethylene sorbitan tristearate, polyoxyethylene sorbitan monooleate, polyoxyethylene sorbitan triisostearate, polyoxytetraoleic acid Ethylene sorbitol, glycerol monostearate, glycerol monooleate, polyethylene glycol monolaurate, polyethylene glycol monostearate, polyethylene glycol distearate, polyethylene glycol monooleate, polyoxyethylene hydrogenated castor oil, polyoxyethylene alkylamine, alkyl alkanolamides, alkylimidazolines, and the like.

市販品は、例えば、花王社製のエマルゲン103,104P,106,108,109P,120,123P,130K,147,150,210P,220,306P,320P,350,404,408,409PV,420,430,705,707,709,1108,1118S-70,1135S-70,1150S-60,2020G-HA,2025G,LS-106,LS-110,LS-114,MS-110,A-60,A-90,B-66,PP-290、ラテムルPD-420,PD-430,PD-430S,PD-450、レオドールSP-L10,SP-P10,SP-S10V,SP-S20,SP-S30V,SP-O10V,SP-O30V、スーパーSP-L10,AS-10V,AO-10V,AO-15V,TW-L120,TW-L106,TW-P120,TW-S120V,TW-S320V,TW-O120V,TW-O106V,TW-IS399C、スーパーTW-L120,430V,440V,460V,MS-50,MS-60,MO-60,MS-165V、エマノーン1112,3199V,3299V,3299RV,4110,CH-25,CH-40,CH-60(K),アミ-ト102,105,105A,302,320、アミノーンPK-02S、L-02、ホモゲノールL-95、ADEKA社製のアデカプルロニック(登録商標)L-23,31,44,61,62,64,71,72,101,121、TR-701,702,704,913R、共栄社化学社製の(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフロ-No.75,No.90,No.95等が挙げられる。 Commercially available products are, for example, Kao Emulgen 103, 104P, 106, 108, 109P, 120, 123P, 130K, 147, 150, 210P, 220, 306P, 320P, 350, 404, 408, 409PV, 420, 430 , 705, 707, 709, 1108, 1118S-70, 1135S-70, 1150S-60, 2020G-HA, 2025G, LS-106, LS-110, LS-114, MS-110, A-60, A-90 , B-66, PP-290, Latemul PD-420, PD-430, PD-430S, PD-450, Rhodol SP-L10, SP-P10, SP-S10V, SP-S20, SP-S30V, SP-O10V , SP-O30V, Super SP-L10, AS-10V, AO-10V, AO-15V, TW-L120, TW-L106, TW-P120, TW-S120V, TW-S320V, TW-O120V, TW-O106V, TW-IS399C, Super TW-L120, 430V, 440V, 460V, MS-50, MS-60, MO-60, MS-165V, Emanon 1112, 3199V, 3299V, 3299RV, 4110, CH-25, CH-40, CH-60 (K), Amit 102, 105, 105A, 302, 320, Aminone PK-02S, L-02, Homogenol L-95, Adeka Pluronic (registered trademark) L-23, 31 manufactured by ADEKA, 44, 61, 62, 64, 71, 72, 101, 121, TR-701, 702, 704, 913R, Kyoeisha Chemical Co., Ltd. (meth)acrylic acid-based (co)polymer Polyflow-No. 75, No. 90, No. 95 and the like.

カチオン性界面活性剤は、例えばアルキルアミン塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライド、ステアリルトリメチルアンモニウムクロライド、セチルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアルキル4級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物が挙げられる。 Examples of cationic surfactants include alkylamine salts, alkyl quaternary ammonium salts such as lauryltrimethylammonium chloride, stearyltrimethylammonium chloride and cetyltrimethylammonium chloride, and their ethylene oxide adducts.

市販品は、例えば、花王社製のアセタミン24、コータミン24P、60W、86Pコンク等が挙げられる。 Commercially available products include, for example, Acetamine 24, Kotamine 24P, 60W, 86P conch manufactured by Kao Corporation.

アニオン性界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン-アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン-アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル等が挙げられる。 Anionic surfactants include, for example, polyoxyethylene alkyl ether sulfates, sodium dodecylbenzenesulfonate, alkali salts of styrene-acrylic acid copolymers, sodium alkylnaphthalenesulfonates, sodium alkyldiphenylether disulfonates, and monoethanol lauryl sulfate. amine, triethanolamine lauryl sulfate, ammonium lauryl sulfate, monoethanolamine stearate, sodium stearate, sodium lauryl sulfate, monoethanolamine of styrene-acrylic acid copolymer, polyoxyethylene alkyl ether phosphate, and the like.

市販品は、例えば、ネオス社製のフタージェント100,150、ADEKA社製のアデカホープYES-25、アデカコールTS-230E,PS-440E,EC-8600等が挙げられる。 Commercially available products include, for example, Futergent 100 and 150 manufactured by Neos, Adeka Hope YES-25, Adekacol TS-230E, PS-440E and EC-8600 manufactured by ADEKA.

両性界面活性剤は、例えば、ラウリン酸アミドプロピルベタイン、ラウリルベタイン、コカミドプロピルベタイン、ステアリルベタイン、アルキルジメチルアミノ酢酸ベタイン等のアルキルベタイン、ラウリルジメチルアミンオキサイド等のアルキルアミンオキサイド等が挙げられる。 Amphoteric surfactants include, for example, lauramidopropyl betaine, lauryl betaine, cocamidopropyl betaine, stearyl betaine, alkylbetaines such as alkyldimethylaminoacetic acid betaine, and alkylamine oxides such as lauryldimethylamine oxide.

市販品は、花王社製のアンヒトール20AB,20BS,24B,55AB,86B,20Y-B,20N等が挙げられる。 Commercially available products include Amphithol 20AB, 20BS, 24B, 55AB, 86B, 20Y-B, 20N manufactured by Kao Corporation.

レベリング剤(M)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 A leveling agent (M) can be used individually or in combination of 2 or more types.

レベリング剤(M)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.001~2.0質量%が好ましく、0.005~1.0質量%がより好ましい。この範囲内であることで、感光性組成物の塗布性と密着性のバランスがより向上する。 The content of the leveling agent (M) is preferably 0.001 to 2.0% by mass, more preferably 0.005 to 1.0% by mass, based on 100% by mass of non-volatile matter in the photosensitive composition. Within this range, the balance between the applicability and adhesion of the photosensitive composition is further improved.

[貯蔵安定剤(N)]
本発明の感光性組成物は、貯蔵安定剤(N)を含有できる。これにより、感光性組成物の経時粘度が安定化する。
[Storage stabilizer (N)]
The photosensitive composition of the present invention can contain a storage stabilizer (N). This stabilizes the viscosity of the photosensitive composition over time.

貯蔵安定剤(N)は、例えば、ベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの4級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、t-ブチルピロカテコール、テトラエチルホスフィン、テトラフェニルなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。 Storage stabilizers (N) include, for example, benzyltrimethyl chloride, quaternary ammonium chloride such as diethylhydroxyamine, organic acids such as lactic acid and oxalic acid and their methyl ethers, t-butylpyrocatechol, tetraethylphosphine, tetraphenyl and the like. organic phosphines, phosphites, and the like.

貯蔵安定剤(N)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 A storage stabilizer (N) can be used individually or in combination of 2 or more types.

貯蔵安定剤(N)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.1~10質量%が好ましい。 The content of the storage stabilizer (N) is preferably 0.1 to 10% by mass based on 100% by mass of non-volatile matter in the photosensitive composition.

[密着向上剤(O)]
本発明の感光性組成物は、密着向上剤(O)を含有できる。これにより被膜と基材の密着性が向上する。また、フォトリソグラフィー法で幅が狭いパターンを形成し易くなる。
[Adhesion improver (O)]
The photosensitive composition of the present invention can contain an adhesion improver (O). This improves the adhesion between the coating and the substrate. In addition, it becomes easier to form a narrow pattern by photolithography.

密着向上剤(O)は、例えば、シランカップリング剤等が挙げられる。シランカップリング剤は、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等のビニルシラン類、3-メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の(メタ)アクリルシラン類、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシシラン類、N-2-(アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-2-(アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-トリエトキシシリル-N-(1,3-ジメチル-ブチリデン)プロピルアミン、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-(ビニルベンジル)-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩等のアミノシラン類、3-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト類、p-スチリルトリメトキシシラン等のスチリル類、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイド類、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド等のスルフィド類、3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等のイソシアネート類などのシランカップリング剤が挙げられる。 Adhesion improvers (O) include, for example, silane coupling agents. Examples of silane coupling agents include vinylsilanes such as vinyltrimethoxysilane and vinyltriethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, (Meth)acrylsilanes such as 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane , 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane and other epoxysilanes, N-2-(aminoethyl)-3-aminopropyl methyldimethoxysilane, N-2-(aminoethyl)-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N-(1,3- dimethyl-butylidene)propylamine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, aminosilanes such as hydrochloride of N-(vinylbenzyl)-2-aminoethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyl mercaptos such as methyldimethoxysilane and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; styryls such as p-styryltrimethoxysilane; ureides such as 3-ureidopropyltriethoxysilane; Examples include silane coupling agents such as sulfides and isocyanates such as 3-isocyanatopropyltriethoxysilane.

密着向上剤(O)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Adhesion improvers (O) can be used alone or in combination of two or more.

密着向上剤(O)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.01~10質量%が好ましく、0.05~5質量%がより好ましい。 The content of the adhesion improver (O) is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.05 to 5% by mass, based on 100% by mass of non-volatile matter in the photosensitive composition.

[有機溶剤(P)]
本発明の感光性組成物は、有機溶剤(P)を含有できる。
[Organic solvent (P)]
The photosensitive composition of the invention can contain an organic solvent (P).

有機溶剤(P)は、例えば、1,2,3-トリクロロプロパン、1-メトキシ-2-プロパノール、乳酸エチル、1,3-ブタンジオ-ル、1,3-ブチレングリコール、1,3-ブチレングリコールジアセテート、1,4-ジオキサン、2-ヘプタノーン、2-メチル-1,3-プロパンジオ-ル、3,5,5-トリメチル-2-シクロヘキセン-1-オン、3,3,5-トリメチルシクロヘキサノン、3-エトキシプロピオン酸エチル、3-メチル-1,3-ブタンジオ-ル、3-メトキシ-3-メチル-1-ブタノール、3-メトキシ-3-メチルブチルアセテート、3-メトキシブタノール、3-メトキシブチルアセテート、4-ヘプタノーン、m-キシレン、m-ジエチルベンゼン、m-ジクロロベンゼン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、n-ブチルアルコール、n-ブチルベンゼン、n-プロピルアセテート、N-メチルピロリドン、o-キシレン、o-クロロトールエン、o-ジエチルベンゼン、o-ジクロロベンゼン、p-クロロトールエン、p-ジエチルベンゼン、sec-ブチルベンゼン、tert-ブチルベンゼン、γ-ブチロラクトン、イソブチルアルコール、イソホロン、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノターシャリーブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジイソブチルケトン、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノール、シクロヘキサノールアセテート、シクロヘキサノン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ダイアセトンアルコール、トリアセチン、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、ベンジルアルコール、メチルイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノール、酢酸n-アミル、酢酸n-ブチル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、酢酸プロピル、二塩基酸エステル等が挙げられる。これらの中でも、顔料の分散性、アルカリ可溶樹脂の溶解性の観点から、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のグリコールアセテート類、ベンジルアルコール、ダイアセトンアルコール等のアルコール類やシクロヘキサノン等のケトン類が好ましい。 Organic solvent (P) is, for example, 1,2,3-trichloropropane, 1-methoxy-2-propanol, ethyl lactate, 1,3-butanediol, 1,3-butylene glycol, 1,3-butylene glycol Diacetate, 1,4-dioxane, 2-heptanone, 2-methyl-1,3-propanediol, 3,5,5-trimethyl-2-cyclohexen-1-one, 3,3,5-trimethylcyclohexanone , ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methyl-1,3-butanediol, 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, 3-methoxy-3-methylbutyl acetate, 3-methoxybutanol, 3-methoxy Butyl acetate, 4-heptanone, m-xylene, m-diethylbenzene, m-dichlorobenzene, N,N-dimethylacetamide, N,N-dimethylformamide, n-butyl alcohol, n-butylbenzene, n-propyl acetate, N -methylpyrrolidone, o-xylene, o-chlorotoluene, o-diethylbenzene, o-dichlorobenzene, p-chlorotoluene, p-diethylbenzene, sec-butylbenzene, tert-butylbenzene, γ-butyrolactone, isobutyl alcohol, isophorone, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol dibutyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monotertiary butyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene Glycol monopropyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, diisobutyl ketone, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoisopropyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether Acetate, diethylene glycol monomethyl ether, cyclohexanol, cyclohexanol acetate, cyclohexanone, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol methyl ether acetate dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, diacetone alcohol, triacetin, tripropylene glycol monobutyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, propylene glycol diacetate , propylene glycol phenyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether propionate, benzyl alcohol, methyl isobutyl ketone, methyl cyclohexanol, n-amyl acetate, n-butyl acetate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, propyl acetate, dibasic acid ester and the like. Among these, ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate and the like are preferred from the viewpoint of pigment dispersibility and alkali-soluble resin solubility. Alcohols such as glycol acetates, benzyl alcohol and diacetone alcohol, and ketones such as cyclohexanone are preferred.

有機溶剤(P)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 The organic solvent (P) can be used alone or in combination of two or more.

[感光性組成物の製造方法]
本発明の感光性組成物は、例えば、着色剤(E)、分散樹脂(G)、色素誘導体(F)、及び有機溶剤(P)等を配合し分散処理を行うことで、分散体を製造する。その後、前記分散体に、アルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)等を配合し混合することで製造できる。なお、配合する材料及びその配合するタイミングは、任意である。また、分散工程を複数回行うこともできる。
[Method for producing photosensitive composition]
For the photosensitive composition of the present invention, for example, a coloring agent (E), a dispersing resin (G), a dye derivative (F), an organic solvent (P), etc. are blended and subjected to dispersion treatment to produce a dispersion. do. After that, the dispersion can be produced by blending and mixing the alkali-soluble resin (A), the polymerizable compound (B), the photopolymerization initiator (C), and the like. The materials to be blended and the timing of blending them are arbitrary. Moreover, a dispersion|distribution process can also be performed in multiple times.

分散処理を行う分散機は、例えば、2本ロ-ルミル、3本ロールミル、ボ-ルミル、横型サンドミル、縦型サンドミル、アニュラー型ビ-ズミル、またはアトライター等が挙げられる。 Examples of the dispersing machine for the dispersion treatment include a two-roll mill, three-roll mill, ball mill, horizontal sand mill, vertical sand mill, annular bead mill, and attritor.

分散体中の着色剤の平均分散粒子径(二次粒子径)は、30~200nmが好ましく、40~200nmがより好ましい。適度な粒子径を有すると分散安定性が高い感光性組成物が得やすい。 The average dispersed particle size (secondary particle size) of the colorant in the dispersion is preferably 30 to 200 nm, more preferably 40 to 200 nm. A suitable particle size facilitates obtaining a photosensitive composition with high dispersion stability.

平均分散粒子径(二次粒子径)の測定方法は、例えば、動的光散乱法(FFTパワ-スペクトール法)を採用した日機装社のマイクロトラックUPA-EX150を用い、粒子透過性を吸収モ-ド、粒子形状を非球形とし、D50粒子径を平均径とする。測定用の希釈溶剤は分散に使用した有機溶剤をそれぞれ用い、超音波で処理したサンプルについてサンプル調整直後に測定するとバラツキが少ない結果が得られやすく好ましい。 The method for measuring the average dispersed particle size (secondary particle size) is, for example, using a Microtrac UPA-EX150 manufactured by Nikkiso Co., Ltd., which employs the dynamic light scattering method (FFT power spectrum method), and the particle permeability is measured by the absorption mode. The particle shape is assumed to be non-spherical, and the D50 particle diameter is defined as the average diameter. It is preferable to use the organic solvent used for dispersion as the diluent solvent for the measurement, and to measure the ultrasonically treated sample immediately after the sample preparation, because it is easy to obtain results with little variation.

感光性組成物は、遠心分離、焼結フィルタやメンブレンフィルタによる濾過等の手段にて、5μm以上の粗大粒子、好ましくは1μm以上の粗大粒子、さらに好ましくは0.5μm以上の粗大粒子、および混入した塵の除去を行うことが好ましい。本発明の感光性組成物は、実質的に0.5μm以上の粒子を含まないことが好ましく、0.3μm以下の粒子を含まないことがより好ましい。 The photosensitive composition is separated by means of centrifugation, filtration with a sintered filter, membrane filter, or the like to remove coarse particles of 5 μm or more, preferably 1 μm or more, more preferably 0.5 μm or more, and contaminants. It is preferable to remove the dust that has accumulated. The photosensitive composition of the present invention preferably contains substantially no particles of 0.5 μm or more, more preferably no particles of 0.3 μm or less.

<光学フィルタ>
本発明の光学フィルタは、基板、及び本発明の感光性組成物から形成されるフィルタセグメントを備える。光学フィルタは、様々な用途に使用できる。本明細書で光学フィルタは、カラーフィルタが好ましい。
フィルタセグメントは、カラーフィルタの場合には、使用する着色剤(E)の種類を適宜選択することで、レッドフィルタセグメント、グリーフィルタセグメント、及びブルーフィルタセグメントを有する。前記フィルタセグメントに代えてまたは加え、マゼンタフィルタセグメント、シアンフィルタセグメント、イエローフィルタセグメント、ホワイトフィルタセグメント、グレーフィルタセグメント、ブラックフィルタセグメントを有することもできる。また、クリアのフィルタを有することもできる。
前記基板は、透明基板、及び反射基板が挙げられる。前記透明基板は、例えば、ガラス基板が挙げられる。前記反射基材は、例えばアルミ電極や金属薄膜を反射面として使用する基板が挙げられる。
<Optical filter>
The optical filter of the present invention comprises a substrate and filter segments formed from the photosensitive composition of the present invention. Optical filters can be used in a variety of applications. The optical filters used herein are preferably color filters.
In the case of a color filter, the filter segment has a red filter segment, a green filter segment, and a blue filter segment by appropriately selecting the type of coloring agent (E) used. Instead of or in addition to the filter segments, it is also possible to have a magenta filter segment, a cyan filter segment, a yellow filter segment, a white filter segment, a gray filter segment, and a black filter segment. It can also have a clear filter.
Examples of the substrate include a transparent substrate and a reflective substrate. As for the said transparent substrate, a glass substrate is mentioned, for example. Examples of the reflective substrate include a substrate using an aluminum electrode or a metal thin film as a reflective surface.

[光学フィルタの製造方法]
光学フィルタの製造方法は、例えば、基板上に感光性組成物を塗布し組成物の層(被膜)を形成する工程(1)、前記層に、マスクを介してパターン状に露光する工程(2)、未露光部分をアルカリ現像しパターン状の硬化膜を形成する工程(3)、前記パターンを加熱処理(ポストベーク)する工程(4)を行い作製できる。
[Method for producing an optical filter]
The method for producing an optical filter includes, for example, a step (1) of applying a photosensitive composition on a substrate to form a layer (coating) of the composition, and a step (2) of patternwise exposing the layer through a mask. ), the step (3) of alkali-developing the unexposed portion to form a patterned cured film, and the step (4) of heat-treating (post-baking) the pattern.

以下、光学フィルタの製造方法を詳細に説明する。
(工程(1))
組成物の層を形成する工程(1)は、感光性組成物を基板上に、例えば、回転塗布、ロ-ル塗布、スリット塗布、流延塗布、またはインクジェット塗布等の方法で塗布し、必要に応じてオーブン、ホットプレート等を用いて、50~120℃の温度で10~120秒乾燥(プリベーク)する。
前記基板は、例えば、ガラス基板、シリコン基板等が挙げられる。シリコン基板は、例えば、表面にCCD、CMOS等の撮像素子が形成されていてもよい。また、基板上には、必要に応じて、上部との層との密着改良、物質の拡散防止、基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
層の膜厚は、0.05~10.0μmが好ましく、0.3~5μmがより好ましい。
A method for manufacturing an optical filter will be described in detail below.
(Step (1))
In the step (1) of forming a layer of the composition, the photosensitive composition is applied onto the substrate by a method such as spin coating, roll coating, slit coating, casting coating, or inkjet coating, and the necessary Dry (pre-bake) at a temperature of 50 to 120° C. for 10 to 120 seconds using an oven, hot plate, etc. depending on the conditions.
Examples of the substrate include a glass substrate and a silicon substrate. The silicon substrate may have, for example, an imaging element such as a CCD or CMOS formed on its surface. In addition, if necessary, an undercoat layer may be provided on the substrate for improving adhesion with the upper layer, preventing diffusion of substances, and flattening the surface of the substrate.
The layer thickness is preferably 0.05 to 10.0 μm, more preferably 0.3 to 5 μm.

(工程(2))
露光工程は、工程(1)で得られた層を、例えば、ステッパー等の露光装置を用い、マスクを介して特定のパターンを露光する。これにより硬化膜が得られる。
露光に用いる放射線は、例えば、g線、h線、i線等の紫外線が挙げられる。
(Step (2))
In the exposure step, the layer obtained in step (1) is exposed to a specific pattern through a mask using an exposure device such as a stepper. A cured film is thus obtained.
Radiation used for exposure includes, for example, ultraviolet rays such as g-line, h-line and i-line.

(工程(3))
工程(2)で得られた硬化膜は、アルカリ現像処理を行うことで、未露光部分の組成物の層がアルカリ水溶液に溶出し、硬化部分のみが残りパターン状の硬化膜が得られる。
現像液は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ-〔5.4.0〕-7-ウンデセン等のアルカリ性化合物が挙げられる。
現像液の濃度は、0.001~10質量%が好ましく、0.01~1質量%がより好ましい。
アルカリ現像液のpHは、11~13が好ましく、11.5~12.5がより好ましい。適度なpHで使用するとパターンの荒れや剥離を抑制し、現像後の残膜率が向上する。
(Step (3))
The cured film obtained in step (2) is subjected to alkali development treatment, whereby the layer of the composition in the unexposed portions is eluted in an alkaline aqueous solution, leaving only the cured portions to obtain a patterned cured film.
Developers include, for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, Examples include alkaline compounds such as pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo-[5.4.0]-7-undecene.
The concentration of the developer is preferably 0.001 to 10% by mass, more preferably 0.01 to 1% by mass.
The pH of the alkaline developer is preferably 11-13, more preferably 11.5-12.5. When used at an appropriate pH, pattern roughness and peeling can be suppressed, and the residual film rate after development can be improved.

現像方法は、例えば、ディップ法、スプレー法、パドル法等が挙げられる。現像温度は15~40℃が好ましい。なお、アルカリ現像後は、純水で洗浄することが好ましい。 The developing method includes, for example, a dip method, a spray method, a paddle method, and the like. The developing temperature is preferably 15 to 40°C. In addition, it is preferable to wash with pure water after alkali development.

(工程(4))
加熱処理(ポストベーク)は、工程(3)で得られたパターン状の硬化膜を加熱により十分に硬化させる。ポストベークの加熱温度は、100~300℃が好ましく、150~250℃がより好ましい。また、加熱時間は、2分間~1時間程度が好ましく、3分間~30分間程度がより好ましい。
(Step (4))
In the heat treatment (post-baking), the patterned cured film obtained in step (3) is sufficiently cured by heating. The heating temperature for post-baking is preferably 100 to 300.degree. C., more preferably 150 to 250.degree. The heating time is preferably about 2 minutes to 1 hour, more preferably about 3 minutes to 30 minutes.

<画像表示装置>
本発明の画像表示装置は、本発明の光学フィルタを備える。画像表示装置は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等が挙げられる。
画像表示装置に用いる形態は、画像表示装置として機能すればよく、特に制限されない。例えば、「次世代液晶ディスプレイ技術(内田龍男著、(株)工業調査会、1994年発行)に記載されている構成等が挙げられる。
画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば、「電子ディスプレイデバイス(佐々木昭夫著、(株)工業調査会、1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹順章著、産業図書(株)、平成元年発行)」等に記載されている。
<Image display device>
An image display device of the present invention includes the optical filter of the present invention. Examples of image display devices include liquid crystal displays and organic EL displays.
The form used for the image display device is not particularly limited as long as it functions as an image display device. For example, there is a configuration described in "Next Generation Liquid Crystal Display Technology" (written by Tatsuo Uchida, published by Industrial Research Institute, 1994).
For the definition of the image display device and the details of each image display device, see, for example, "Electronic Display Device (written by Akio Sasaki, Industrial Research Institute, 1990)", "Display Device (written by Junsho Ibuki, Sangyo Tosho Co., Ltd., published in 1989).

<固体撮像素子>
本発明の固体撮像素子は、本発明の光学フィルタを備える。
固体撮像素子に用いる形態は、特に制限されないが、例えば、基材上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサ等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、フィルタを有する構成である。さらに、デバイス保護膜上であってフィルタの下(基材に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、フィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、フィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は、各着色画素に対して低屈折率であることが好ましい。
本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、例えば、デジタルカメラ、撮像機能を有する電子機器(携帯電話、スマートフォン等)、車載カメラ、監視カメラ等様々な用途に使用できる。
<Solid-state image sensor>
A solid-state imaging device of the present invention includes the optical filter of the present invention.
The form used for the solid-state imaging device is not particularly limited. It has an electrode, has a light-shielding film on the photodiode and the transfer electrode with only the light-receiving portion of the photodiode opened, and is made of silicon nitride or the like formed on the light-shielding film so as to cover the entire surface of the light-shielding film and the light-receiving portion of the photodiode. It has a device protective film and a filter on the device protective film. Furthermore, there is a configuration in which a condensing means (for example, a microlens, etc.; the same shall apply hereinafter) is provided on the device protective film and below the filter (on the side close to the substrate), or a configuration in which the condensing means is provided on the filter. may Further, the filter may have a structure in which a cured film forming each color pixel is embedded in spaces partitioned, for example, in a grid pattern by partition walls. The partition wall in this case preferably has a low refractive index for each color pixel.
Imaging devices equipped with the solid-state imaging device of the present invention can be used in various applications such as, for example, digital cameras, electronic devices having imaging functions (mobile phones, smart phones, etc.), vehicle-mounted cameras, surveillance cameras, and the like.

以下、実施例で本発明をより具体的に説明する。ただし、本発明はこれらに限定されない。なお、「部」は「質量部」、「%」は「質量%」である。
また、本発明において、不揮発分もしくは不揮発分濃度は、280℃で30分間オーブン静置後の、質量残分をいう。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. However, the present invention is not limited to these. In addition, "part" is "mass part" and "%" is "mass%".
In addition, in the present invention, non-volatile matter or non-volatile matter concentration refers to the mass residue after standing in an oven at 280° C. for 30 minutes.

実施例に先立ち、各測定方法について説明する。
樹脂の重量平均分子量(Mw)、数平均分子量(Mn)、酸価(mgKOH/g)、アミン価(mgKOH/g)は、以下の通りである。
Prior to Examples, each measuring method will be described.
The weight average molecular weight (Mw), number average molecular weight (Mn), acid value (mgKOH/g) and amine value (mgKOH/g) of the resin are as follows.

(樹脂の平均分子量)
樹脂の数平均分子量(Mn)、重量平均分子量(Mw)は、RI検出器を装備したゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定した。装置としてHLC-8220GPC(東ソー社製)を用い、分離カラムを2本直列に繋ぎ、両方の充填剤には「TSK-GEL SUPER HZM-N」を2連でつなげて使用し、オーブン温度40℃、溶離液としてテトラヒドロフラン(THF)溶液を用い、流速0.35ml/minで測定した。サンプルは1質量%の上記溶離液からなる溶剤に溶解し、20マイクロリットール注入した。平均分子量は、ポリスチレン換算値である。
(Average molecular weight of resin)
The number average molecular weight (Mn) and weight average molecular weight (Mw) of the resin were measured by gel permeation chromatography (GPC) equipped with an RI detector. HLC-8220GPC (manufactured by Tosoh Corporation) was used as the apparatus, two separation columns were connected in series, and "TSK-GEL SUPER HZM-N" was used as both packing materials, and the oven temperature was 40 ° C. , using a tetrahydrofuran (THF) solution as an eluent and measuring at a flow rate of 0.35 ml/min. The sample was dissolved in a solvent consisting of 1% by weight of the above eluent and injected at 20 microliters. The average molecular weight is a polystyrene equivalent value.

(樹脂の酸価)
樹脂溶液0.5~1gに、アセトン80ml及び水10mlを加えて攪拌して均一に溶解させ、0.1mol/LのKOH水溶液を滴定液として、自動滴定装置(「COM-555」平沼産業社製)を用いて滴定し、酸価(mgKOH/g)を測定した。そして、樹脂溶液の酸価と樹脂溶液の不揮発分濃度から、樹脂の不揮発分あたりの酸価を算出した。
(Acid value of resin)
Add 80 ml of acetone and 10 ml of water to 0.5 to 1 g of the resin solution and stir to dissolve uniformly. (manufactured) to measure the acid value (mgKOH/g). Then, the acid value per nonvolatile content of the resin was calculated from the acid value of the resin solution and the concentration of the nonvolatile content of the resin solution.

(樹脂のアミン価)
樹脂のアミン価は、ASTM D 2074の方法に準拠し、測定した全アミン価(mgKOH/g)を不揮発分換算した値である。
(Amine value of resin)
The amine value of the resin is a value obtained by converting the total amine value (mgKOH/g) measured according to the method of ASTM D 2074 into non-volatile matter.

<着色剤(E)の製造>
(微細化した赤色顔料(E-1))
C.I.ピグメントレッド254を100部、塩化ナトリウム1,200部、及びジエチレングリコール120部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)中に仕込み、60℃で6時間混練した。次に、混練した混合物を温水に投入し、約80℃に加熱しながらハイスピードミキサーで1時間攪拌してスラリー状として、濾過・水洗をして塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥させ、粉砕することにより微細化した赤色顔料(E-1)を得た。
<Production of colorant (E)>
(Refined red pigment (E-1))
C. I. Pigment Red 254 (100 parts), sodium chloride (1,200 parts) and diethylene glycol (120 parts) were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 60° C. for 6 hours. Next, the kneaded mixture is put into hot water, heated to about 80°C and stirred with a high-speed mixer for 1 hour to form a slurry, filtered and washed with water to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then heated to 80°C. It was dried for a whole day and night and pulverized to obtain a finely divided red pigment (E-1).

(微細化した赤色顔料(E-2))
C.I.ピグメントレッド177を100部、塩化ナトリウム1,200部、及びジエチレングリコール120部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)中に仕込み、60℃で6時間混練した。次に、混練した混合物を温水に投入し、約80℃に加熱しながらハイスピードミキサーで1時間攪拌してスラリー状として、濾過・水洗をして塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥させ、粉砕することにより微細化した赤色顔料(E-2)を得た。
(Refined red pigment (E-2))
C. I. Pigment Red 177 (100 parts), sodium chloride (1,200 parts) and diethylene glycol (120 parts) were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 60° C. for 6 hours. Next, the kneaded mixture is put into hot water, heated to about 80°C and stirred with a high-speed mixer for 1 hour to form a slurry, filtered and washed with water to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then heated to 80°C. It was dried for a whole day and night and pulverized to obtain a finely divided red pigment (E-2).

(微細化した青色顔料(E-3))
C.I.Pigment Blue15:6を100部、塩化ナトリウム1,000部、およびジエチレングリコール100部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)に仕込み、50℃で12時間混練した。この混合物を温水3,000部に投入し、約70℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で24時間乾燥し、粉砕することにより微細化した青色顔料(E-3)を得た。
(Micronized blue pigment (E-3))
C. I. 100 parts of Pigment Blue 15:6, 1,000 parts of sodium chloride, and 100 parts of diethylene glycol were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 50° C. for 12 hours. This mixture is poured into 3,000 parts of hot water, heated to about 70°C and stirred with a high-speed mixer for about 1 hour to form a slurry, which is repeatedly filtered and washed with water to remove sodium chloride and diethylene glycol. was dried for 24 hours and pulverized to obtain a finely divided blue pigment (E-3).

(微細化した紫色顔料(E-4))
C.I.ピグメントバイオレット23を100部、塩化ナトリウム1,200部、およびジエチレングリコール100部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)に仕込み、80℃で6時間混練した。次に、この混練物を8,000部の温水に投入し、80℃に加熱しながらハイスピードミキサーで2時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム、およびジエチレングリコールを除いた後、85℃で24時間乾燥し、粉砕することにより微細化した紫色顔料(E-4)を得た。
(Micronized purple pigment (E-4))
C. I. Pigment Violet 23 (100 parts), sodium chloride (1,200 parts) and diethylene glycol (100 parts) were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 80° C. for 6 hours. Next, this kneaded product was put into 8,000 parts of hot water, stirred for 2 hours with a high-speed mixer while heating to 80° C. to form a slurry, and repeatedly filtered and washed with water to remove sodium chloride and diethylene glycol. After that, it was dried at 85° C. for 24 hours and pulverized to obtain a finely divided purple pigment (E-4).

(微細化した緑色顔料(E-5))
C.I.ピグメントグリーン58を100部、塩化ナトリウム1,200部、及びジエチレングリコール120部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所製)に仕込み、70℃で6時間混練した。この混練物を3000部の温水に投入し、70℃に加熱しながらハイスピードミキサーで1時間撹拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した緑色顔料(E-5)を得た。
(Micronized green pigment (E-5))
C. I. 100 parts of Pigment Green 58, 1,200 parts of sodium chloride, and 120 parts of diethylene glycol were placed in a 1-gallon stainless steel kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 70° C. for 6 hours. This kneaded product is put into 3000 parts of hot water, stirred for 1 hour with a high-speed mixer while heating to 70° C. to form a slurry, filtered and washed repeatedly to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then kept at 80° C. for a day and night. A finely divided green pigment (E-5) was obtained by drying and pulverizing.

(微細化した緑色顔料(E-6)
特開2017-111398号公報の実施例に従って、下記化学式(17)の緑色顔料(E-6)を得た。緑色顔料(E-6)を100部、塩化ナトリウム1,200部、及びジエチレングリコール120部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所製)に仕込み、70℃で6時間混練した。この混練物を3000部の温水に投入し、70℃に加熱しながらハイスピードミキサーで1時間撹拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した緑色顔料(E-6)を得た。
化学式(17)

Figure 2023012949000013
(Micronized green pigment (E-6)
A green pigment (E-6) of the following chemical formula (17) was obtained according to the example of JP-A-2017-111398. 100 parts of green pigment (E-6), 1,200 parts of sodium chloride, and 120 parts of diethylene glycol were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 70° C. for 6 hours. This kneaded product is put into 3000 parts of hot water, stirred for 1 hour with a high-speed mixer while heating to 70° C. to form a slurry, filtered and washed repeatedly to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then kept at 80° C. for a day and night. A finely divided green pigment (E-6) was obtained by drying and pulverizing.
chemical formula (17)
Figure 2023012949000013

(微細化した黄色顔料(E-7))
C.I.ピグメントイエロー150を100部、塩化ナトリウム700部、及びジエチレングリコール180部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所製)に仕込み、80℃で6時間混練した。この混合物を温水2,000部に投入し、80℃に加熱しながらハイスピードミキサーで1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した黄色顔料(E-7)を得た。
(Micronized yellow pigment (E-7))
C. I. Pigment Yellow 150 (100 parts), sodium chloride (700 parts) and diethylene glycol (180 parts) were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 80° C. for 6 hours. This mixture is poured into 2,000 parts of hot water, stirred for 1 hour with a high-speed mixer while heating to 80°C to form a slurry, filtered and washed with water repeatedly to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then kept at 80°C for a day and night. A finely divided yellow pigment (E-7) was obtained by drying and pulverizing.

(微細化した黄色顔料(E-8))
C.I.ピグメントイエロー139(クラリアント社製「Novoperm Yellow P-M3R」)100部、粉砕した塩化ナトリウム800部、およびジエチレングリコール100部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所製)に仕込み、70℃で12時間混練した。この混合物を温水3000部に投入し、約70℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウムおよびジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した黄色顔料(E-8)を得た。
(Micronized yellow pigment (E-8))
C. I. Pigment Yellow 139 (“Novoperm Yellow P-M3R” manufactured by Clariant) 100 parts, pulverized sodium chloride 800 parts, and diethylene glycol 100 parts were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 70 ° C. for 12 hours. . This mixture is poured into 3000 parts of hot water, heated to about 70°C and stirred with a high-speed mixer for about 1 hour to form a slurry, which is repeatedly filtered and washed with water to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then kept at 80°C for a day and night. A finely divided yellow pigment (E-8) was obtained by drying and pulverizing.

(微細化した黄色顔料(E-9))
C.I.ピグメントイエロー185(BASFジャパン社製「Palitol Yellow D1155」)100部、粉砕した塩化ナトリウム700部、及びジエチレングリコール180部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)に仕込み、80℃で6時間混練した。次にこの混練物を8リットルの温水に投入し、80℃に加熱しながらハイスピードミキサーで2時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、85℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した黄色顔料(E-9)を得た。
(Micronized yellow pigment (E-9))
C. I. 100 parts of Pigment Yellow 185 (“Palitol Yellow D1155” manufactured by BASF Japan), 700 parts of pulverized sodium chloride, and 180 parts of diethylene glycol were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 80 ° C. for 6 hours. . Next, this kneaded product is put into 8 liters of hot water, stirred with a high-speed mixer for 2 hours while heating to 80°C to form a slurry, filtered and washed repeatedly to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then heated to 85°C. The mixture was dried overnight at room temperature and pulverized to obtain a finely divided yellow pigment (E-9).

(微細化した黄色顔料(E-10)
特開2012-226110号公報の実施例に従って、下記化学式(18)の黄色顔料(E-10)を得た。黄色顔料(E-10)100部、粉砕した塩化ナトリウム700部、及びジエチレングリコール180部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)に仕込み、80℃で6時間混練した。次にこの混練物を8リットルの温水に投入し、80℃に加熱しながらハイスピードミキサーで2時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、85℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化した黄色顔料(E-10)を得た。
化学式(18)

Figure 2023012949000014
(Micronized yellow pigment (E-10)
A yellow pigment (E-10) of the following chemical formula (18) was obtained according to the example of JP-A-2012-226110. 100 parts of yellow pigment (E-10), 700 parts of pulverized sodium chloride, and 180 parts of diethylene glycol were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 80° C. for 6 hours. Next, this kneaded product is put into 8 liters of hot water, stirred with a high-speed mixer for 2 hours while heating to 80°C to form a slurry, filtered and washed repeatedly to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then heated to 85°C. The mixture was dried overnight and pulverized to obtain a finely divided yellow pigment (E-10).
chemical formula (18)
Figure 2023012949000014

上記微細化された顔料の平均一次粒子径は、5~120nmの範囲内であった。 The average primary particle size of the finely divided pigment was in the range of 5 to 120 nm.

(染料(E-11))
下記の手順でC.I.アシッドレッド52と側鎖にカチオン性基を有する樹脂1とからなる造塩化合物である染料(E-11)を製造した。
温度計、攪拌機、蒸留管、冷却器を具備した4つ口セパラブルフラスコに、メチルエチルケトン67.3 部を仕込み窒素気流下で75℃に昇温した。別途、メチルメタクリレート34.0部、n-ブチルメタクリレート28.0部、2-エチルヘキシルメタクリレート28.0部、ジメチルアミノエチルメタクリレート10.0部、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)を6.5部、およびメチルエチルケトン25.1部を均一にした後、滴下ロートに仕込み、4つ口セパラブルフラスコに取り付け、2時間かけて滴下した。滴下終了2時間後、不揮発分から重合収率が98%以上であり、重量平均分子量(Mw)が、6,830であることを確認し、50℃へ冷却した。ここへ、塩化メチル3.2部、エタノール22.0 部を追加し、50℃で2時間反応させた後、1時間かけて80℃まで加温し、更に、2時間反応させた。このようにして樹脂成分が47質量%のアンモニウム基を有する側鎖にカチオン性基を有する樹脂1を得た。得られた樹脂のアンモニウム塩価は34mgKOH/gであった。
次に、水2,000部に不揮発分換算で30部の側鎖にカチオン性基を有する樹脂1を添加し、十分に攪拌混合を行った後、60℃に加熱した。一方、90部の水に10部のC.I.アシッド レッド 52を溶解させた水溶液を調製し、先ほどの樹脂溶液に少しずつ滴下した。滴下後、60℃で120分間攪拌し、十分に反応を行った。反応の終点確認としては濾紙に反応液を滴下して、にじみがなくなったところを終点として、造塩化合物が得られたものと判断した。攪拌しながら室温まで放冷した後、吸引濾過を行い、水洗後、濾紙上に残った造塩化合物を乾燥機にて水分を除去して乾燥し、32部のC.I.アシッドレッド52と側鎖にカチオン性基を有する樹脂1との造塩化合物である染料(E-11)を得た。このとき染料(E-11)中のC.I.アシッドレッド52に由来する成分の含有量は25質量%であった。
(Dye (E-11))
The C.I. I. A dye (E-11), which is a salt forming compound consisting of Acid Red 52 and Resin 1 having a cationic group in the side chain, was produced.
A four-necked separable flask equipped with a thermometer, a stirrer, a distillation tube and a condenser was charged with 67.3 parts of methyl ethyl ketone and heated to 75°C under a nitrogen stream. Separately, 34.0 parts of methyl methacrylate, 28.0 parts of n-butyl methacrylate, 28.0 parts of 2-ethylhexyl methacrylate, 10.0 parts of dimethylaminoethyl methacrylate, 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile ) and 25.1 parts of methyl ethyl ketone were homogenized, charged into a dropping funnel, attached to a four-necked separable flask, and added dropwise over 2 hours. After 2 hours from the completion of dropping, it was confirmed that the polymerization yield was 98% or more from the non-volatile matter and the weight average molecular weight (Mw) was 6,830, and the mixture was cooled to 50°C. 3.2 parts of methyl chloride and 22.0 parts of ethanol were added thereto, and the mixture was reacted at 50° C. for 2 hours, then heated to 80° C. over 1 hour, and further reacted for 2 hours. Thus, Resin 1 having a cationic group in a side chain containing 47% by mass of ammonium group as a resin component was obtained. The ammonium salt value of the obtained resin was 34 mgKOH/g.
Next, to 2,000 parts of water, 30 parts of Resin 1 having a cationic group on a side chain was added in terms of non-volatile content, and the mixture was sufficiently stirred and mixed, and then heated to 60°C. On the other hand, 10 parts of C.I. I. An aqueous solution was prepared by dissolving Acid Red 52, and was added dropwise to the previous resin solution. After dropping, the mixture was stirred at 60° C. for 120 minutes to sufficiently react. To confirm the end point of the reaction, the reaction solution was added dropwise to a filter paper, and the point at which no bleeding occurred was regarded as the end point, and it was determined that a salt-forming compound was obtained. After allowing to cool to room temperature while stirring, suction filtration was performed, and after washing with water, the salt-forming compound remaining on the filter paper was dried by removing moisture with a dryer. I. A dye (E-11), which is a salt-forming compound of Acid Red 52 and Resin 1 having a cationic group in the side chain, was obtained. At this time, C.I. I. The content of components derived from Acid Red 52 was 25% by mass.

<アルカリ可溶性樹脂(A)の製造>
(アルカリ可溶性樹脂(A1-1)溶液)
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、撹拌装置を取り付けた反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下、PGMAc)262.0部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら120℃に加熱して、同温度で滴下管より2-エチルヘキシルアクリレート(以下、2-EHA)49.7部、グリシジルメタクリレート(以下、GMA)99.4部、ジシクロペンタニルメタクリレート(以下、DCPMA)6.6部と、重合開始剤であるt-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート19.0部、PGMAcの混合物を2.5時間かけて滴下した。
滴下終了後、120℃で更に2時間撹拌し前駆体を得た。その後、フラスコ内を空気に置換し、変性化合物としてアクリル酸(以下、AA)50.4部と、触媒であるトリフェニルホスフィン0.6部及びメチルハイドロキノン0.2部を投入し、110℃で10時間反応させた。これにより、GMAのエポキシ基とAAのカルボキシル基を反応させた単量体単位(以下、GMA+AA)を得て、重合性不飽和基含有単量体単位(a2)を導入した。
次いで、変性化合物としてテトラヒドロ無水フタル酸(以下、THPA)21.3部を加え、110℃で4時間反応させた。これにより、GMA+AAの水酸基の一部とTHPAを反応させた。その後、不揮発分が20質量%になるようにPGMAcを添加して、脂環式炭化水素含有単量体単位(a1)、重合性不飽和基含有単量体単位(a2)、及びホモポリマーのガラス転移温度が0℃以下である単量体単位(a3)を含有するアルカリ可溶性樹脂(A1-1)溶液を調製した。アルカリ可溶性樹脂(A1-1)は、酸価38mgKOH/g、重量平均分子量12,000であった。
<Production of alkali-soluble resin (A)>
(Alkali-soluble resin (A1-1) solution)
262.0 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter referred to as PGMAc) was placed in a reaction vessel equipped with a separable four-necked flask, a thermometer, a condenser, a nitrogen gas introduction tube, and a stirring device, and 120 parts of nitrogen gas was introduced into the vessel. ℃, and at the same temperature from the dropping tube 49.7 parts of 2-ethylhexyl acrylate (hereinafter, 2-EHA), glycidyl methacrylate (hereinafter, GMA) 99.4 parts, dicyclopentanyl methacrylate (hereinafter, DCPMA) A mixture of 6.6 parts, 19.0 parts of t-butylperoxy-2-ethylhexanoate as a polymerization initiator, and PGMAc was added dropwise over 2.5 hours.
After the dropwise addition was completed, the mixture was further stirred at 120° C. for 2 hours to obtain a precursor. Then, the inside of the flask was replaced with air, and 50.4 parts of acrylic acid (hereinafter referred to as AA) as a modified compound, and 0.6 parts of triphenylphosphine and 0.2 parts of methylhydroquinone as catalysts were added. It was made to react for 10 hours. As a result, a monomer unit (hereinafter referred to as GMA+AA) was obtained by reacting the epoxy group of GMA with the carboxyl group of AA, and a polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2) was introduced.
Then, 21.3 parts of tetrahydrophthalic anhydride (hereinafter referred to as THPA) was added as a modifying compound and reacted at 110° C. for 4 hours. This caused a portion of the hydroxyl groups of GMA+AA to react with THPA. After that, PGMAc is added so that the nonvolatile content is 20% by mass, and the alicyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a1), the polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2), and the homopolymer An alkali-soluble resin (A1-1) solution containing monomer units (a3) having a glass transition temperature of 0° C. or less was prepared. The alkali-soluble resin (A1-1) had an acid value of 38 mgKOH/g and a weight average molecular weight of 12,000.

(アルカリ可溶性樹脂(A1-2)~(A1-6)溶液)
表1に記載の構成比率になるように配合種、及び量を変え、アルカリ可溶性樹脂(A1-1)と同様の方法で、アルカリ可溶性樹脂(A1-2)~(A1-6)を合成し、PGMAcを添加し不揮発分を20質量%とした。
(Alkali-soluble resin (A1-2) to (A1-6) solution)
Alkali-soluble resins (A1-2) to (A1-6) were synthesized in the same manner as the alkali-soluble resin (A1-1) by changing the compounding type and amount so that the composition ratio shown in Table 1 was obtained. , and PGMAc were added to adjust the non-volatile content to 20% by mass.

Figure 2023012949000015
Figure 2023012949000015

表1に記載のMAA+GMAは、前駆体中のメタクリル酸(以下、MAA)のカルボキシル基に、GMAのエポキシ基を付加させた重合性不飽和基含有単量体単位(a2)を表す。GMA+AA+SHAは、GMA+AAの水酸基の一部と無水コハク酸(以下、SHA)を反応させた重合性不飽和基含有単量体単位(a2)を表す。 MAA+GMA described in Table 1 represents a polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2) obtained by adding the epoxy group of GMA to the carboxyl group of methacrylic acid (hereinafter referred to as MAA) in the precursor. GMA+AA+SHA represents a polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2) obtained by reacting part of the hydroxyl groups of GMA+AA with succinic anhydride (hereinafter referred to as SHA).

(アルカリ可溶性樹脂(A2-1)溶液)
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管および撹拌装置を取り付けた反応容器にシクロヘキサノン196部を仕込み、80℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、ベンジルメタクリレート25.1部、n-ブチルメタクリレート23.0部、2-ヒドロキシエチルメタクリレート14.3部、メタクリル酸13.4部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート(東亞合成社製「アロニックスM110」)24.1部、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル1.1部の混合物を2時間かけて滴下した。滴下終了後、更に3時間反応を継続し、アクリル樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約2部をサンプリングして180℃、20分間加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が20質量%になるようにPGMAcを添加して、アルカリ可溶性樹脂(A2-1)溶液を調製した。酸価87mgKOH/g、重量平均分子量25,000であった。
(Alkali-soluble resin (A2-1) solution)
196 parts of cyclohexanone was charged into a reaction vessel equipped with a separable 4-necked flask, a thermometer, a cooling tube, a nitrogen gas inlet tube, a dropping tube and a stirring device, heated to 80°C, and after replacing the inside of the reaction vessel with nitrogen, the mixture was added dropwise. From the tube, 25.1 parts of benzyl methacrylate, 23.0 parts of n-butyl methacrylate, 14.3 parts of 2-hydroxyethyl methacrylate, 13.4 parts of methacrylic acid, paracumylphenol ethylene oxide modified acrylate (manufactured by Toagosei Co., Ltd. "Aronix M110") 24.1 parts and 1.1 parts of 2,2'-azobisisobutyronitrile was added dropwise over 2 hours. After completion of dropping, the reaction was continued for 3 more hours to obtain an acrylic resin solution. After cooling to room temperature, about 2 parts of the resin solution is sampled and dried by heating at 180° C. for 20 minutes to measure the nonvolatile content, and PGMAc is added to the previously synthesized resin solution so that the nonvolatile content is 20% by mass. Then, an alkali-soluble resin (A2-1) solution was prepared. It had an acid value of 87 mgKOH/g and a weight average molecular weight of 25,000.

(アルカリ可溶性樹脂(A2-2)、及び(A2-3)溶液)
表2に記載の構成比率になるように配合種、及び量を変え、アルカリ可溶性樹脂(A2-2)、及び(A2-3)を合成し、PGMAcを添加し不揮発分を20質量%とした。
(Alkali-soluble resin (A2-2) and (A2-3) solution)
Alkali-soluble resins (A2-2) and (A2-3) were synthesized by changing the compounding type and amount so that the composition ratio shown in Table 2 was obtained, and PGMAc was added to make the non-volatile content 20% by mass. .

Figure 2023012949000016
Figure 2023012949000016

<重合性化合物(B)の製造>
(酸基を有する重合性化合物(B2-2))
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、温度計、滴下管を備えた5口フラスコに、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート400部、PGMAc100部、N,N-ジメチルベンジルアミン0.5部を仕込み、70℃に昇温し、滴下管からトルエンジイソシアネート66部とPGMAc66部の混合物を2時間かけて滴下した。滴下後、50~70℃の温度で8時間反応させ、IRにより2180cm-1のイソシアネートの吸収の消失を確認した。ついで、メルカプト酢酸35部、4-メトキシフェノール0.6部を仕込み、50~60℃の温度で6時間反応させた。不揮発分が50質量%となるように調整し、酸基を有する重合性化合物(B2-2)を得た。
<Production of polymerizable compound (B)>
(Polymerizable compound having an acid group (B2-2))
400 parts of dipentaerythritol pentaacrylate, 100 parts of PGMAc, and 0.5 parts of N,N-dimethylbenzylamine were charged into a 5-necked flask equipped with a stirrer, reflux condenser, nitrogen inlet tube, thermometer, and dropping tube. C., and a mixture of 66 parts of toluene diisocyanate and 66 parts of PGMAc was dropped from the dropping tube over 2 hours. After dropping, reaction was carried out at a temperature of 50 to 70° C. for 8 hours, and disappearance of absorption of isocyanate at 2180 cm −1 was confirmed by IR. Then, 35 parts of mercaptoacetic acid and 0.6 parts of 4-methoxyphenol were charged and reacted at a temperature of 50-60° C. for 6 hours. The non-volatile content was adjusted to 50% by mass to obtain a polymerizable compound (B2-2) having an acid group.

<分散樹脂(G)の製造>
(分散樹脂(G-1)溶液)
ガス導入管、温度、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、メタクリル酸10部、メチルメタクリレート100部、i-ブチルメタクリレート70部、ベンジルメタクリレート20部、PGMAc50部を仕込み、窒素ガスで置換した。反応容器内を50℃に加熱撹拌し、3-メルカプト-1,2-プロパンジオール12部を添加した。90℃に昇温し、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル0.1部をPGMAc90部に加えた溶液を添加しながら7時間反応した。不揮発分測定により95%が反応したことを確認した。ピロメリット酸無水物19部、PGMAc50部、シクロヘキサノン50部、触媒として1,8-ジアザビシクロ-[5.4.0]-7-ウンデセン0.4部を追加し、100℃で7時間反応させた。酸価の測定で98%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了し、不揮発分測定で不揮発分30%となるようPGMAcを加えて希釈し、酸価70mgKOH/g、重量平均分子量8,500の分散樹脂(G-1)溶液を得た。
<Production of dispersion resin (G)>
(Dispersion resin (G-1) solution)
10 parts of methacrylic acid, 100 parts of methyl methacrylate, 70 parts of i-butyl methacrylate, 20 parts of benzyl methacrylate and 50 parts of PGMAc were introduced into a reaction vessel equipped with a gas inlet tube, a temperature control, a condenser and a stirrer, and the atmosphere was purged with nitrogen gas. The inside of the reaction vessel was heated to 50° C. with stirring, and 12 parts of 3-mercapto-1,2-propanediol was added. The temperature was raised to 90° C., and the mixture was reacted for 7 hours while adding a solution of 0.1 part of 2,2′-azobisisobutyronitrile to 90 parts of PGMAc. It was confirmed by measuring the non-volatile content that 95% had reacted. 19 parts of pyromellitic anhydride, 50 parts of PGMAc, 50 parts of cyclohexanone, and 0.4 parts of 1,8-diazabicyclo-[5.4.0]-7-undecene as a catalyst were added and reacted at 100° C. for 7 hours. . After confirming that 98% or more of the acid anhydride is half-esterified by acid value measurement, the reaction is terminated, and PGMAc is added to dilute so that the nonvolatile content is 30% by nonvolatile content measurement, and the acid value is 70 mgKOH / g. , and a dispersion resin (G-1) solution having a weight average molecular weight of 8,500 was obtained.

(分散樹脂(G-2)溶液)
ガス導入管、温度計、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、1-チオグリセロール108部、ピロメリット酸無水物174部、PGMAc650部、触媒としてモノブチルスズオキシド0.2部を仕込み、窒素ガスで置換した後、120℃で5時間反応させた(第一工程)。酸価の測定で95%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認した。次に、第一工程で得られた化合物を不揮発分換算で160部、2-ヒドロキシプロピルメタクリレート200部、エチルアクリレート200部、t-ブチルアクリレート150部、2-メトキシエチルアクリレート200部、メチルアクリレート200部、メタクリル酸50部、PGMAc663部を仕込み、反応容器内を80℃に加熱して、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)1.2部を添加し、12時間反応した(第二工程)。不揮発分測定により95%が反応したことを確認した。最後に、第二工程で得られた化合物の不揮発分50%のPGMAc希釈溶液を500部、2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)27.0部、ヒドロキノン0.1部を仕込み、IRにてイソシアネート基に基づく2270cm-1のピークの消失を確認するまで反応を行った(第三工程)。ピーク消失の確認後、反応溶液を冷却して、PGMAcで不揮発分調整することにより不揮発分30%の分散樹脂(G-2)溶液を得た。得られた分散樹脂(G-2)の酸価は68mgKOH/g、不飽和二重結合当量は1,593、重量平均分子量は13,000であった。
(Dispersion resin (G-2) solution)
108 parts of 1-thioglycerol, 174 parts of pyromellitic anhydride, 650 parts of PGMAc, and 0.2 parts of monobutyltin oxide as a catalyst were charged into a reaction vessel equipped with a gas inlet tube, a thermometer, a condenser, and a stirrer. After substitution, reaction was carried out at 120° C. for 5 hours (first step). It was confirmed by acid value measurement that 95% or more of the acid anhydride was half-esterified. Next, 160 parts of the compound obtained in the first step in terms of non-volatile content, 200 parts of 2-hydroxypropyl methacrylate, 200 parts of ethyl acrylate, 150 parts of t-butyl acrylate, 200 parts of 2-methoxyethyl acrylate, 200 parts of methyl acrylate Parts, 50 parts of methacrylic acid, and 663 parts of PGMAc were charged, the inside of the reaction vessel was heated to 80° C., 1.2 parts of 2,2′-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) was added, and the mixture was reacted for 12 hours. (Second step). It was confirmed by measuring the non-volatile content that 95% had reacted. Finally, 500 parts of a diluted PGMAc solution with a non-volatile content of 50% of the compound obtained in the second step, 27.0 parts of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate (MOI), and 0.1 part of hydroquinone were charged, and the isocyanate was measured by IR. The reaction was carried out until the disappearance of the 2270 cm -1 peak based on the group was confirmed (third step). After confirming the disappearance of the peak, the reaction solution was cooled and the non-volatile content was adjusted with PGMAc to obtain a dispersion resin (G-2) solution with a non-volatile content of 30%. The resulting dispersion resin (G-2) had an acid value of 68 mgKOH/g, an unsaturated double bond equivalent of 1,593, and a weight average molecular weight of 13,000.

(分散樹脂(G-3)溶液)
ガス導入管、コンデンサー、攪拌翼、及び温度計を備え付けた反応装置に、メチルメタクリレート30部、nーブチルメタクリレート30部、ヒドロキシエチルメタクリレート20部、テトラメチルエチレンジアミン13.2部を仕込み、窒素を流しながら50℃で1時間撹拌し、系内を窒素置換した。次に、ブロモイソ酪酸エチル9.3部、塩化第一銅5.6部、PGMAc133部を仕込み、窒素気流下で、110℃まで昇温して第一ブロック(Bブロック)の重合を開始した。4時間重合後、重合溶液をサンプリングして不揮発分測定を行い、不揮発分から換算して重合転化率が98%以上であることを確認した。
次に、この反応装置に、PGMAc61部、第二ブロック(Aブロック)モノマーとして1,2,2,6,6-ペンタメチルピペリジルメタクリレート20部(日立化成工業社製、ファンクリルFA-711MM)を投入し、110℃・窒素雰囲気下を保持したまま撹拌し、反応を継続した。1,2,2,6,6-ペンタメチルピペリジルメタクリレート投入から2時間後、重合溶液をサンプリングして不揮発分測定を行い、不揮発分から換算して第二ブロック(Aブロック)の重合転化率が98%以上であることを確認し、反応溶液を室温まで冷却して重合を停止した。不揮発分測定で不揮発分30%となるようPGMAcを加えて希釈し、不揮発分当たりのアミン価が57mgKOH/g、数平均分子量4,500(Mn)の分散樹脂(G-3)溶液を得た。
(Dispersion resin (G-3) solution)
30 parts of methyl methacrylate, 30 parts of n-butyl methacrylate, 20 parts of hydroxyethyl methacrylate, and 13.2 parts of tetramethylethylenediamine were charged into a reaction apparatus equipped with a gas inlet tube, condenser, stirring blade, and thermometer, and nitrogen was flowed. While stirring at 50° C. for 1 hour, the inside of the system was replaced with nitrogen. Next, 9.3 parts of ethyl bromoisobutyrate, 5.6 parts of cuprous chloride, and 133 parts of PGMAc were charged, and the temperature was raised to 110° C. under a nitrogen stream to initiate polymerization of the first block (B block). After polymerization for 4 hours, the polymerization solution was sampled and the non-volatile content was measured, and it was confirmed that the polymerization conversion rate was 98% or more in terms of the non-volatile content.
Next, 61 parts of PGMAc and 20 parts of 1,2,2,6,6-pentamethylpiperidyl methacrylate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., Fancryl FA-711MM) as a second block (A block) monomer were added to the reactor. The reaction was continued by stirring while maintaining the temperature at 110° C. under a nitrogen atmosphere. Two hours after the addition of 1,2,2,6,6-pentamethylpiperidyl methacrylate, the polymerization solution was sampled and the nonvolatile content was measured. % or more, the reaction solution was cooled to room temperature to terminate the polymerization. PGMAc was added to dilute the nonvolatile content to 30% by nonvolatile measurement to obtain a dispersion resin (G-3) solution having an amine value per nonvolatile content of 57 mgKOH/g and a number average molecular weight of 4,500 (Mn). .

(分散樹脂(G-4)溶液)
冷却管、添加用ロート、窒素用インレット、攪拌機、デジタル温度計を備えた500mL丸底4口セパラブルフラスコに、テトラヒドロフラン(THF)250質量部及び開始剤のジメチルケテンメチルトリメチルシリルアセタール5.81質量部を、添加用ロートを介して加え、充分に窒素置換を行った。触媒のテトラブチルアンモニウムm-クロロベンゾエートの1モル/Lアセトニトリル溶液0.5質量部を、シリンジを用いて注入し、親溶剤性を有するブロック用モノマーのメタクリル酸2-ヒドロキシエチル19.7質量部、メタクリル酸2-エチルヘキシル7.5質量部、メタクリル酸n-ブチル12.9質量部、メタクリル酸ベンジル10.7質量部、メタクリル酸メチル30.9質量部を、添加用ロートを用いて60分かけて滴下した。反応フラスコを氷浴で冷却することにより、温度を40℃未満に保った。1時間後、色材吸着機能ブロック用モノマーであるジメチルアミノプロピルメタクリルアミド18.3質量部を20分かけて滴下した。1時間反応させた後、メタノール1質量部を加えて反応を停止させた。得られたブロック共重合体THF溶液はヘキサン中で再沈殿させ、濾過、真空乾燥により精製を行った。
続いて、100mL丸底フラスコ中でPGMAc35質量部に、得られたブロック共重合体15.0質量部を溶解させ、塩形成成分であるフェニルホスフィン酸1.1質量部(ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドに対し、0.5モル等量)加え、反応温度30℃で20時間攪拌し、PGMAcを添加して調整し、不揮発分30%の分散樹脂(G-4)溶液を得た。
(Dispersion resin (G-4) solution)
250 parts by mass of tetrahydrofuran (THF) and 5.81 parts by mass of dimethylketenemethyltrimethylsilyl acetal as an initiator were placed in a 500 mL four-neck separable flask equipped with a cooling tube, an addition funnel, a nitrogen inlet, a stirrer, and a digital thermometer. was added through the addition funnel, and nitrogen substitution was sufficiently performed. 0.5 parts by mass of a 1 mol/L acetonitrile solution of tetrabutylammonium m-chlorobenzoate as a catalyst was injected using a syringe, and 19.7 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate as a block monomer having solvent affinity. , 7.5 parts by mass of 2-ethylhexyl methacrylate, 12.9 parts by mass of n-butyl methacrylate, 10.7 parts by mass of benzyl methacrylate, and 30.9 parts by mass of methyl methacrylate were added for 60 minutes using an addition funnel. dripped over. The temperature was kept below 40° C. by cooling the reaction flask with an ice bath. After 1 hour, 18.3 parts by mass of dimethylaminopropyl methacrylamide, which is a monomer for colorant adsorption functional block, was added dropwise over 20 minutes. After reacting for 1 hour, 1 part by mass of methanol was added to terminate the reaction. The resulting block copolymer THF solution was reprecipitated in hexane, filtered and vacuum dried for purification.
Subsequently, 15.0 parts by mass of the resulting block copolymer was dissolved in 35 parts by mass of PGMAc in a 100 mL round-bottomed flask, and 1.1 parts by mass of phenylphosphinic acid (dimethylaminopropyl methacrylamide), which is a salt-forming component, was dissolved. 0.5 molar equivalent) was added, stirred at a reaction temperature of 30° C. for 20 hours, and adjusted by adding PGMAc to obtain a dispersion resin (G-4) solution having a nonvolatile content of 30%.

<分散体の製造>
(分散体1)
直径0.5mmのジルコニアビ-ズを用いて、アイガーミル(アイガージャパン社製「ミニモデルM-250 MKII」)で、3時間分散した後、孔径1.0μmのフィルタで濾過し、以下の組成の分散体1を作製した。有機溶剤(P-1)は、PGMAcである。
微細化した青色顔料(E-3) :9.05質量部
微細化した紫色顔料(E-4) :0.31質量部
染料(E-11) :4.16質量部
色素誘導体(F-1) :1.04質量部
分散樹脂(G-1)溶液 :3.47質量部
アルカリ可溶性樹脂(A2-1)溶液 :10.0質量部
有機溶剤(P-1) :71.97質量部
<Production of dispersion>
(Dispersion 1)
Using zirconia beads with a diameter of 0.5 mm, after dispersing for 3 hours with an Eiger mill ("Mini Model M-250 MKII" manufactured by Eiger Japan Co., Ltd.), it was filtered through a filter with a pore size of 1.0 μm. Dispersion 1 was produced. Organic solvent (P-1) is PGMAc.
Micronized blue pigment (E-3): 9.05 parts by mass Micronized purple pigment (E-4): 0.31 parts by mass Dye (E-11): 4.16 parts by mass Dye derivative (F-1 ): 1.04 parts by mass Dispersion resin (G-1) solution: 3.47 parts by mass Alkali-soluble resin (A2-1) solution: 10.0 parts by mass Organic solvent (P-1): 71.97 parts by mass

色素誘導体(F-1):下記構造

Figure 2023012949000017


pcは、フタロシアニン骨格を表す。 Dye derivative (F-1): the following structure
Figure 2023012949000017


pc represents a phthalocyanine skeleton.

表3に記載した原料、量を変えた以外は、分散体1と同様に分散体2~9を作成した。 Dispersions 2 to 9 were prepared in the same manner as Dispersion 1 except that the raw materials and amounts shown in Table 3 were changed.

Figure 2023012949000018
Figure 2023012949000018

表3の色素誘導体(F-2):下記構造

Figure 2023012949000019
Dye derivative (F-2) in Table 3: the following structure
Figure 2023012949000019

表3の色素誘導体(F-3):下記構造

Figure 2023012949000020
Dye derivative (F-3) in Table 3: the following structure
Figure 2023012949000020

<感光性組成物の製造>
[実施例1]
(感光性組成物1)
以下の原料を混合、攪拌し、孔径1.0μmのフィルタで濾過して感光性組成物1を得た。
分散体1 :28.85質量部
アルカリ可溶性樹脂(A1-2)溶液 :9.0質量部
重合性化合物(B1-1) :5.0質量部
重合性化合物(B2-1) :1.2質量部
一般式(1)で表される化合物(C1-1) :0.70質量部
オキシム系光重合開始剤(C2b-1) :0.50質量部
増感剤(D1-1) :0.30質量部
熱硬化性化合物(H1-1) :0.30質量部
重合禁止剤(J) :0.01質量部
レベリング剤(M) :1.00質量部
有機溶剤(P) :53.14質量部
<Production of photosensitive composition>
[Example 1]
(Photosensitive composition 1)
The following raw materials were mixed, stirred, and filtered through a filter with a pore size of 1.0 μm to obtain a photosensitive composition 1.
Dispersion 1: 28.85 parts by mass Alkali-soluble resin (A1-2) solution: 9.0 parts by mass Polymerizable compound (B1-1): 5.0 parts by mass Polymerizable compound (B2-1): 1.2 Parts by weight Compound represented by general formula (1) (C1-1): 0.70 parts by weight Oxime-based photopolymerization initiator (C2b-1): 0.50 parts by weight Sensitizer (D1-1): 0 .30 parts by mass Thermosetting compound (H1-1): 0.30 parts by mass Polymerization inhibitor (J): 0.01 parts by mass Leveling agent (M): 1.00 parts by mass Organic solvent (P): 53. 14 parts by mass

[実施例2~35、比較例1~3]
(感光性組成物2~38)
実施例1の感光性組成物1を、表4-1~表4-4に記載した原料、量に変えた以外は、実施例1と同様にして感光性組成物2~38を作製した。
[Examples 2 to 35, Comparative Examples 1 to 3]
(Photosensitive compositions 2 to 38)
Photosensitive compositions 2 to 38 were prepared in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive composition 1 of Example 1 was changed to the raw materials and amounts shown in Tables 4-1 to 4-4.

Figure 2023012949000021
Figure 2023012949000021

Figure 2023012949000022
Figure 2023012949000022

Figure 2023012949000023
Figure 2023012949000023

Figure 2023012949000024
Figure 2023012949000024

表4-1~表4-4に記載したそれぞれの原料については、以下の通りである。 The raw materials listed in Tables 4-1 to 4-4 are as follows.

[重合性化合物(B)]
(ラクトン変性された重合性化合物(B1))
B1-1:KAYARAD DPCA-30(日本化薬社製)
B1-2:KAYARAD DPCA-20(日本化薬社製)
[Polymerizable compound (B)]
(Lactone-modified polymerizable compound (B1))
B1-1: KAYARAD DPCA-30 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
B1-2: KAYARAD DPCA-20 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

(酸基を有する重合性化合物(B2))
B2-1:アロニックスM-520(東亞合成社製)
(Polymerizable compound (B2) having an acid group)
B2-1: Aronix M-520 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.)

(その他重合性化合物(B3))
B3-1:KAYARAD DPHA(日本化薬社製、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物)
(Other polymerizable compound (B3))
B3-1: KAYARAD DPHA (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate)

[光重合開始剤(C)]
(一般式(1)で表される化合物(C1))
C1-1:上述の化学式(2)の化合物
C1-2:上述の化学式(3)の化合物
C1-3:上述の化学式(4)の化合物
[Photoinitiator (C)]
(Compound (C1) represented by general formula (1))
C1-1: compound of chemical formula (2) above C1-2: compound of chemical formula (3) above C1-3: compound of chemical formula (4) above

(オキシム系光重合開始剤(C2))
C2a-1:TRONLY TR-PBG-3057(常州強力新材料社製、1分子中にオキシム基を1つ含有する化合物)
C2a-2:上述の化学式(5)の化合物
C2a-3:上述の化学式(6)の化合物
C2a-4:上述の化学式(7)の化合物
C2a-5:上述の化学式(8)の化合物
C2b-1:上述の化学式(10)の化合物
C2b-2:上述の化学式(13)の化合物
(Oxime-based photopolymerization initiator (C2))
C2a-1: TRONLY TR-PBG-3057 (manufactured by Changzhou Tenryu New Materials Co., Ltd., a compound containing one oxime group in one molecule)
C2a-2: compound of chemical formula (5) above C2a-3: compound of chemical formula (6) above C2a-4: compound of chemical formula (7) above C2a-5: compound of chemical formula (8) above C2b- 1: the compound of the above chemical formula (10) C2b-2: the compound of the above chemical formula (13)

(その他光重合開始剤(C3))
C3-1:Omnirad 907(IGM Resins社製、アセトフェノン系化合物)
C3-2:Omnirad 369(IGM Resins社製、アセトフェノン系化合物)
(Other photopolymerization initiators (C3))
C3-1: Omnirad 907 (manufactured by IGM Resins, acetophenone-based compound)
C3-2: Omnirad 369 (manufactured by IGM Resins, acetophenone-based compound)

[増感剤(D)]
(チオキサントン系化合物(D1))
D1-1:2,4-ジエチルチオキサントン
(ベンゾフェノン系化合物(D2))
D2-1:4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
[Sensitizer (D)]
(Thioxanthone-based compound (D1))
D1-1: 2,4-diethylthioxanthone (benzophenone compound (D2))
D2-1: 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone

[熱硬化性化合物(H)]
(エポキシ化合物(H1))
H1-1:EHPE-3150(ダイセル社製)
[Thermosetting compound (H)]
(Epoxy compound (H1))
H1-1: EHPE-3150 (manufactured by Daicel)

[重合禁止剤(J)]
J-1:4-メチルカテコール
J-2:メチルヒドロキノン
J-3:t-ブチルヒドロキノン
以上、(J-1)~(J-3)をそれぞれ同量にて混合し、重合禁止剤(J)とした。
[Polymerization inhibitor (J)]
J-1: 4-methylcatechol J-2: methylhydroquinone J-3: t-butylhydroquinone Above, (J-1) to (J-3) are mixed in the same amount, respectively, polymerization inhibitor (J) and

[レベリング剤(M)]
M-1:BYK-330(ビックケミー社製)
M-2:メガファックF-551(DIC社製)
以上、(M-1)及び(M-2)をそれぞれ1部混合し、PGMAc98部に溶解させた混合溶液をレベリング剤(M)とした。
[Leveling agent (M)]
M-1: BYK-330 (manufactured by BYK-Chemie)
M-2: Megafac F-551 (manufactured by DIC)
1 part each of (M-1) and (M-2) were mixed and dissolved in 98 parts of PGMAc to prepare a mixed solution as a leveling agent (M).

[有機溶剤(P)]
P-1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 30部
P-2:シクロヘキサノン 30部
P-3:3-エトキシプロピオン酸エチル 10部
P-4:プロピレングリコールモノメチルエーテル 10部
P-5:シクロヘキサノールアセテート 10部
P-6:ジプロプレングリコールメチルエーテルアセテート 10部
以上、(P-1)~(P-6)をそれぞれ上記質量部にて混合し、有機溶剤(P)とした。
[Organic solvent (P)]
P-1: 30 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate P-2: 30 parts of cyclohexanone P-3: 10 parts of ethyl 3-ethoxypropionate P-4: 10 parts of propylene glycol monomethyl ether P-5: 10 parts of cyclohexanol acetate P -6: 10 parts of dipropylene glycol methyl ether acetate Above, (P-1) to (P-6) were mixed in the above parts by mass to obtain an organic solvent (P).

<感光性組成物の評価>
得られた感光性組成物1~38(実施例1~35、比較例1~3)について、水しみ、パターン形状(密着性、断面形状)、及び耐熱性の評価を下記の方法で行った。評価結果を表5に示す。
<Evaluation of photosensitive composition>
The obtained photosensitive compositions 1 to 38 (Examples 1 to 35, Comparative Examples 1 to 3) were evaluated for water spots, pattern shape (adhesion, cross-sectional shape), and heat resistance by the following methods. . Table 5 shows the evaluation results.

[水しみ評価]
得られた感光性組成物について、スピンコート法により縦100mm×横100mm、0.7mmのガラス基板(コーニング社製イーグル2000)上に、乾燥後の膜厚が2.0μmとなるように塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。次いで、100μm幅のストライプパターンを有するマスクを通して高圧水銀灯を用いて照度30mW/cm、50mJ/cmの条件下にて紫外線露光を行った。その後、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%とを含む水系現像液に、23℃で40秒間浸漬して現像し、純水で洗浄した。得られたパターンをNikon社製ECLIPSE LV100POL Model光学顕微鏡を用いて、パターンの表面を観察し、変色している部分の度合いを評価した。評価基準は、以下の通りであり、3以上を実用可能とする。
5:水しみがなかった。
4:水しみが全体の10%未満であった。
3:水しみが全体の10%以上~20%未満であった。
2:水しみが全体の20%以上~30%未満であった。
1:水しみが全体の30%以上であった。
[Water stain evaluation]
The obtained photosensitive composition was coated on a 0.7 mm glass substrate (Eagle 2000 manufactured by Corning) by spin coating so that the film thickness after drying was 2.0 μm. and dried on a hot plate at 70°C for 1 minute. Then, it was exposed to ultraviolet light under the conditions of illuminance of 30 mW/cm 2 and 50 mJ/cm 2 using a high-pressure mercury lamp through a mask having a stripe pattern of 100 μm width. Then, it was developed by being immersed in an aqueous developer containing 0.12% nonionic surfactant and 0.04% potassium hydroxide at 23° C. for 40 seconds, and then washed with pure water. The surface of the obtained pattern was observed using an ECLIPSE LV100POL Model optical microscope manufactured by Nikon, and the degree of discoloration was evaluated. The evaluation criteria are as follows, and 3 or more is regarded as practical.
5: There was no water stain.
4: Water stains were less than 10% of the whole.
3: Water stains were 10% or more and less than 20% of the whole.
2: Water stains were 20% or more and less than 30% of the whole.
1: Water stains were 30% or more of the whole.

[パターン形状評価(1):密着性]
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦100mm×横100mm、0.7mm厚のガラス基板(コーニング社製イーグル2000)に、乾燥後の膜厚が2.0μmとなるように塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、高圧水銀灯ランプを用い、幅5~25μmまで5μm幅刻みのストライプパターンのフォトマスクを介して照度30mW/cm、50mJ/cmで露光した。その後、この基板を23℃の非イオン系界面活性剤0.12質量%と水酸化カリウム0.04質量%とを含む水系現像液を用いてスプレー現像した後、イオン交換水で洗浄、風乾し、クリーンオーブン中230℃で30分間加熱した。スプレー現像は、それぞれの感光性組成物での被膜について、現像残りなくパターン形成可能な最短時間で行った。
得られた基板の幅5、10、15、20、及び25μmのパターンについて、光学顕微鏡で観察し、残存したパターンの最小線幅を確認した。評価基準は、以下の通りであり、3以上を実用可能とする。
5:10μm以下の細線が残存している。
4:15μm以上の細線が残存している。
3:20μm以上の細線が残存している。
2:25μmの細線が残存している。
1:細線が残存していない。
[Pattern shape evaluation (1): adhesion]
The resulting photosensitive composition was applied to a glass substrate (Eagle 2000 manufactured by Corning) of 100 mm long, 100 mm wide and 0.7 mm thick by a spin coating method so that the film thickness after drying was 2.0 μm. and dried on a hot plate at 70°C for 1 minute. Then, after cooling the substrate to room temperature, it was exposed to light at an intensity of 30 mW/cm 2 and 50 mJ/cm 2 using a high-pressure mercury lamp through a photomask having a stripe pattern with a width of 5 to 25 μm in increments of 5 μm. Thereafter, the substrate was developed by spraying with an aqueous developer containing 0.12% by mass of nonionic surfactant and 0.04% by mass of potassium hydroxide at 23° C., washed with deionized water, and air-dried. , in a clean oven at 230° C. for 30 minutes. Spray development was carried out for the shortest possible time for pattern formation without development residue for each photosensitive composition film.
The obtained patterns with widths of 5, 10, 15, 20 and 25 μm on the substrate were observed with an optical microscope to confirm the minimum line width of the remaining patterns. The evaluation criteria are as follows, and 3 or more is regarded as practical.
5: Fine lines of 10 μm or less remain.
4: Fine lines of 15 μm or more remain.
3: Fine lines of 20 μm or more remain.
2: Fine lines of 25 μm remain.
1: Fine lines do not remain.

[パターン形状評価(2):断面形状]
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦100mm×横100mm、0.7mm厚のガラス基板(コーニング社製イーグル2000)に、乾燥後の膜厚が2.0μmとなるように塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、高圧水銀灯ランプを用い、100μm幅のストライプパターンのフォトマスクを介して照度30mW/cm、50mJ/cmで露光した。その後、この基板を23℃の非イオン系界面活性剤0.12質量%と水酸化カリウム0.04質量%とを含む水系現像液を用いてスプレー現像した後、イオン交換水で洗浄、風乾し、クリーンオーブン中230℃で30分間加熱した。スプレー現像は、それぞれの感光性組成物での被膜について、現像残りなくパターン形成可能な最短時間で行った。
走査型電子顕微鏡(日立ハイテック社製「S-3000H」)を用いて、パターンの断面形状を確認した。評価は、幅100μmのストライプ型パターンの断面のSEM画像を取り込み、基材とパターン断面の端部とのテーパー角度を測定することで断面形状評価を行った。評価基準は、以下の通りであり、3以上を実用可能とする。
5:テーパー角度30度以上50度未満
4:テーパー角度50度以上60度未満
3:テーパー角度30度未満もしくは60度以上70度未満
2:テーパー角度70度以上90度未満
1:テーパー角度90度以上
[Pattern shape evaluation (2): cross-sectional shape]
The resulting photosensitive composition was applied to a glass substrate (Eagle 2000 manufactured by Corning) of 100 mm long, 100 mm wide and 0.7 mm thick by a spin coating method so that the film thickness after drying was 2.0 μm. and dried on a hot plate at 70°C for 1 minute. Then, after cooling the substrate to room temperature, it was exposed to light at an illumination intensity of 30 mW/cm 2 and 50 mJ/cm 2 through a photomask having a stripe pattern of 100 μm width using a high-pressure mercury lamp. Thereafter, the substrate was developed by spraying with an aqueous developer containing 0.12% by mass of nonionic surfactant and 0.04% by mass of potassium hydroxide at 23° C., washed with deionized water, and air-dried. , in a clean oven at 230° C. for 30 minutes. Spray development was carried out for the shortest possible time for pattern formation without development residue for each photosensitive composition film.
The cross-sectional shape of the pattern was confirmed using a scanning electron microscope ("S-3000H" manufactured by Hitachi High-Tech Co., Ltd.). For the evaluation, a cross-sectional SEM image of a striped pattern with a width of 100 μm was captured, and the cross-sectional shape was evaluated by measuring the taper angle between the substrate and the end of the cross-section of the pattern. The evaluation criteria are as follows, and 3 or more is regarded as practical.
5: Taper angle of 30 degrees or more and less than 50 degrees 4: Taper angle of 50 degrees or more and less than 60 degrees 3: Taper angle of less than 30 degrees or 60 degrees or more and less than 70 degrees 2: Taper angle of 70 degrees or more and less than 90 degrees 1: Taper angle of 90 degrees that's all

[耐熱性評価]
得られた感光性組成物について、スピンコート法により縦100mm×横100mm、0.7mmのガラス基板(コーニング社製イーグル2000)上に、乾燥後の膜厚が2.0μmとなるように塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、高圧水銀灯を用いて照度30mW/cm、50mJ/cmで露光を行った。その後、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%とを含む水系現像液に、23℃で40秒間浸漬して現像した後、イオン交換水で洗浄、風乾し、クリーンオーブン中230℃で30分間加熱した。
得られた塗膜のC光源での色度([L*(1)、a*(1)、b*(1)])を顕微分光光度計(オリンパス光学社製「OSP-SP100」)を用いて測定した。さらにその後、耐熱性評価として230℃で1時間加熱し、C光源での色度([L*(2)、a*(2)、b*(2)])を測定し、下記計算式により、色差ΔEab*を求めた。評価基準は、以下の通りであり、3以上を実用可能とする。
ΔEab*=((L*(2)-L*(1))+(a*(2)-a*(1))+(b*(2)-b*(1))1/2
5:ΔEab*が1未満
4:ΔEab*が1~2
3:ΔEab*が2~3
2:ΔEab*が3~5
1:ΔEab*が5以上
[Heat resistance evaluation]
The obtained photosensitive composition was coated on a 0.7 mm glass substrate (Eagle 2000 manufactured by Corning) by spin coating so that the film thickness after drying was 2.0 μm. and dried on a hot plate at 70°C for 1 minute. After cooling the substrate to room temperature, it was exposed using a high-pressure mercury lamp at an illumination intensity of 30 mW/cm 2 and 50 mJ/cm 2 . After that, it was developed by immersing it in an aqueous developer containing 0.12% nonionic surfactant and 0.04% potassium hydroxide at 23°C for 40 seconds, then washed with deionized water, air-dried, and cleaned. Heated in an oven at 230° C. for 30 minutes.
Chromaticity ([L * (1), a * (1), b * (1)]) of the resulting coating film at C light source is measured with a microscopic spectrophotometer (manufactured by Olympus Optical Co., Ltd. "OSP-SP100"). was measured using After that, heat resistance was evaluated by heating at 230 ° C. for 1 hour, measuring chromaticity ([L * (2), a * (2), b * (2)]) with C light source, and using the following formula , the color difference ΔEab* was determined. The evaluation criteria are as follows, and 3 or more is regarded as practical.
ΔEab*=((L*(2)-L*(1)) 2 +(a*(2)-a*(1)) 2 +(b*(2)-b*(1)) 2 ) 1 /2
5: ΔEab* is less than 1 4: ΔEab* is 1 to 2
3: ΔEab* is 2 to 3
2: ΔEab* is 3 to 5
1: ΔEab* is 5 or more

Figure 2023012949000025
Figure 2023012949000025

Claims (8)

アルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)、及び光重合開始剤(C)を含む感光性組成物であって、
前記光重合開始剤(C)が、下記一般式(1)で表される化合物(C1)、及びオキシム系光重合開始剤(C2)を含む、感光性組成物。
一般式(1)
Figure 2023012949000026

(一般式(1)中、R、Rは、それぞれ独立して、水素原子、または炭素原子数1~8のアルキル基を表す。Rは、水素原子、または1価の置換基を表す。)
A photosensitive composition comprising an alkali-soluble resin (A), a polymerizable compound (B), and a photopolymerization initiator (C),
A photosensitive composition, wherein the photopolymerization initiator (C) comprises a compound (C1) represented by the following general formula (1) and an oxime photopolymerization initiator (C2).
General formula (1)
Figure 2023012949000026

(In general formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms. R 3 represents a hydrogen atom or a monovalent substituent. show.)
前記オキシム系光重合開始剤(C2)が、1分子中にオキシム基を2つ含有する化合物(C2b)を含む、請求項1に記載の感光性組成物。 2. The photosensitive composition according to claim 1, wherein the oxime-based photopolymerization initiator (C2) contains a compound (C2b) containing two oxime groups in one molecule. 前記アルカリ可溶性樹脂(A)が、脂環式炭化水素含有単量体単位(a1)、及び重合性不飽和基含有単量体単位(a2)を含有するアルカリ可溶性樹脂(A1)を含む、請求項1または2に記載の感光性組成物。 The alkali-soluble resin (A) comprises an alkali-soluble resin (A1) containing an alicyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a1) and a polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a2). Item 3. The photosensitive composition according to Item 1 or 2. 前記アルカリ可溶性樹脂(A1)が、ホモポリマーのガラス転移温度が0℃以下である単量体単位(a3)を含有する樹脂である、請求項3に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 3, wherein the alkali-soluble resin (A1) is a resin containing a monomer unit (a3) whose homopolymer glass transition temperature is 0°C or lower. 更に、増感剤(D)を含む、請求項1~4のいずれか1項に記載の感光性組成物。 The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 4, further comprising a sensitizer (D). 基板、及び請求項1~5のいずれか1項に記載の感光性組成物から形成されてなるフィルタセグメントを有する、光学フィルタ。 An optical filter comprising a substrate and a filter segment formed from the photosensitive composition according to any one of claims 1 to 5. 請求項6に記載の光学フィルタを有する、画像表示装置。 An image display device comprising the optical filter according to claim 6 . 請求項6に記載の光学フィルタを有する、固体撮像素子。 A solid-state imaging device comprising the optical filter according to claim 6 .
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