JP2022540028A - 自然発火性化学物質用の低減システム及び使用方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は一般に、不安定な物質向けの安全システムに関し、より詳細には、発火を防止し、漏出した物質の安全で制御された反応を可能にし、その漏出した物質が置かれた区域からのその安全な除去を可能にする、自然発火性化学物質用の低減システムに関する。
不安定な物質向けの安全システムは、当技術分野でよく知られており、予期しない反応が周囲の機器、人々、又はプロセスに及ぼす損傷を軽減するための有効な手段である。自然発火性物質は、化学反応及びそれが可能にする他のプロセスから恩恵を受ける半導体製造産業及び他の産業において使用される。自然発火性物質は、酸素及び/又は水と接触すると自然発火して、こうした物質の偶発的な流出又は漏出が極めて危険になる。
本出願の実施形態の独特と考えられる新規の特徴は、添付の特許請求の範囲に記載されている。しかし、実施形態それ自体、並びに好ましい使用モードと、そのさらなる目的及び利点は、添付図面とともに読むとき、以下の詳細な説明を参照することによって最も良好に理解されよう。
本出願のシステム及び使用法の例示的な各実施形態を、以下に提示する。もちろん、実際のいかなる実施形態の開発においても、システム関連及びビジネス関連の制約条件の順守など、開発者の具体的な目標を達成するために、実装形態特有の数多くの決定を下すことになり、それは実装形態ごとに異なることになると理解されよう。さらに、そのような開発努力は複雑で、時間のかかることもあるが、それにもかかわらず、本開示の利益を得る当業者にとっては日常業務となることが理解されよう。
Claims (20)
- 自然発火性化学物質用の低減システムであって、
少なくとも1つのハザードボリュームと、
少なくとも1つの気化器と、
少なくとも1つの反応カラムと、
自然発火性物質の意図しない放出の存在を検出するように構成された少なくとも1つのセンサと
を備え、
前記少なくとも1つのハザードボリュームと、前記少なくとも1つの気化器と、前記少なくとも1つの反応カラムとが、互いに流体連通しており、
前記少なくとも1つのセンサが、前記システムの動作を開始し、停止し、又は他の方法で変更し、
前記ハザードボリューム内に存在する自然発火性物質は、その内部の不活性ガスによって燃焼が防止され、前記少なくとも1つの反応カラムの酸素制御環境において低減される、システム。 - 前記自然発火性物質の前記燃焼を制御するために窒素ガスが内部に注入され、窒素注入の速度が、少なくとも1つの供給源から少なくとも1つのポートを介した任意の速度である、請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つのハザードボリュームから前記少なくとも1つの気化器へと通じる通路には、窒素ガスを導入する先の少なくとも1つの窒素ガス源を介して、酸素がないままである、請求項1に記載のシステム。
- 前記自然発火性物質が、前記通路内に注入された前記窒素ガスを介して、前記少なくとも1つのハザードチャンバ内に保持される、請求項3に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つの気化器が、内部の前記自然発火性物質と熱的に連通した、少なくとも1つの加熱手段及び少なくとも1つの冷却手段を備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つの気化器から前記少なくとも1つの反応カラムに移動する前記蒸気が、前記少なくとも1つの気化器の出口に近接して注入される窒素ガスによって覆われる、請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つのハザードボリューム、前記少なくとも1つの気化器、又は前記通路のいずれかにおける前記自然発火性物質が、少なくとも1つの気化器ヒータや少なくとも1つの液溜めヒータなどによって加熱される、請求項1に記載のシステム。
- 窒素、熱、及び時間を使用して、システムへの酸素の再注入に先立って、前記自然発火性物質の前記システムを清浄にし、前記酸素が徐々に再注入されて、自然発火性物質が確実に存在しないようにする、請求項1に記載のシステム。
- 低減事象後の前記ハザードボリューム内への酸素の再注入が段階的であって、炎又は過度の発熱反応の危険性なしに、低レベルの反応生成物の検出を容易にする、請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つの反応カラムが、前記反応を混合し、内部での固体反応生成物の付着を防止するように構成された旋回羽根を備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つのセンサは、低減状態及び低減後状態の間にサンプリングが制限され、自然発火性物質への過度の曝露が防止される、請求項1に記載のシステム。
- 自然発火性化学物質用の低減システムであって、
少なくとも1つのハザードボリュームと、
少なくとも1つの反応カラムと、
自然発火性物質の意図しない放出の存在を検出するように構成された少なくとも1つのセンサと
を備え、
前記少なくとも1つのハザードボリュームと前記少なくとも1つの反応カラムとが、互いに流体連通しており、
前記少なくとも1つのセンサが、前記システムの動作を開始し、停止し、又は他の方法で変更し、
前記ハザードボリューム内に存在する自然発火性物質は、その内部での燃焼が防止され、前記少なくとも1つの反応カラムの酸素制御環境において低減される、システム。 - 前記自然発火性物質の前記燃焼を制御するために窒素ガスが内部に注入され、窒素注入の速度が、少なくとも1つの供給源から少なくとも1つのポートを介した任意の速度である、請求項12に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つのハザードボリュームから前記少なくとも1つの反応カラムへと通じる通路には、窒素ガスを導入する先の少なくとも1つの窒素ガス源を介して、酸素がないままである、請求項12に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つの反応カラムが、前記反応を混合し、内部での固体反応生成物の付着を防止するように構成された旋回羽根を備える、請求項12に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つのセンサは、低減状態及び低減後状態の間にサンプリングが制限され、自然発火性物質への過度の曝露が防止される、請求項12に記載のシステム。
- 潜在的な収集機能を低減又は排除して、少なくとも1つの重力取込み受皿における自然発火性液体の収集を容易にするように構成された密閉空間を含むハザードボリュームをさらに備える、請求項12に記載のシステム。
- 準備状態と、
アクセス状態と、
前記システム内のセンサからの警報の信号によって低減状態にそれぞれ移行することができる待機状態であって、前記準備状態とアクセス状態が両者間で移行する待機状態と、
警報状態になると漏出した物質が低減される低減状態と、
漏れ出した自然発火性物質が確実に低減されるようにするために、ある持続時間において設定される低減後状態と、
前記システム内の前記センサを初期化し始めて、内部での制御されていない自然発火性物質の存在を確認する復元状態と
を含む、請求項1に記載のシステム。 - 流出し、漏れ出し、又はそうでなければ制御されていない、請求項1に記載のシステムでの自然発火性物質を低減する方法であって、
前記ハザードボリュームにアクセスして、その内部の自然発火性物質を追加又は検査できるようにすることと、
前記ハザードボリュームを閉鎖し、前記ハザードボリュームへのアクセスを制限することと、
前記ハザードボリューム内の環境を制御して、漏出した自然発火性物質の過度の発熱反応を防止することと、
前記システムが、流出した自然発火性物質用の前記システムの前記ハザードボリューム及び他の部分での前記環境、その副産物、又は警報状態を構成する他の指標を監視できるようにすることと、
前記システムが、漏れ出した任意の自然発火性物質を低減できるようにすることと、
残留する前記漏れ出した自然発火性物質を前記システムから除去することと、
前記漏れ出した自然発火性物質が存在しないことを検証することと、
低減シーケンスからのアクセス又は移行を可能にすることと、
前記漏れ出した自然発火性物質が除去されると標準動作を再開することと
を含む、方法。 - 準備状態と、
アクセス状態と、
前記システム内のセンサからの警報の信号によって低減状態にそれぞれ移行することができる待機状態であって、前記準備状態とアクセス状態が両者間で移行する待機状態と、
警報状態になると漏出した物質が低減される低減状態と、
漏れ出した自然発火性物質が確実に低減されるようにするために、ある持続時間において設定される低減後状態と、
前記システム内の前記センサを初期化し始めて、内部での制御されていない自然発火性物質の存在を確認する復元状態と
を含む、請求項12に記載のシステム。
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