JP2022539083A - Probe block assembly for display panel inspection, its control method and display panel inspection apparatus - Google Patents
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Abstract
本発明に係るディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体は、マザーガラスパネルの位置移動を通じて、検査位置に移動された前記ディスプレイパネルの前記複数の電極パッドが接触して不良の有無に対する検査が進行されるようにする複数のプローブブロック;および前記複数のプローブブロックを支持するプローブユニット;を含み、前記複数のプローブブロックは、それぞれ前記複数の電極パッドそれぞれに接触するプローブピンを具備し、前記ディスプレイパネルに対する検査が進行されるために、それぞれプローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロック内で選択された後、搬出されて前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるための位置に存在する前記プローブユニット上の所定の位置に装着されることを特徴とすることができる。
In the probe block assembly for testing a display panel according to the present invention, the plurality of electrode pads of the display panel moved to the testing position are brought into contact with each other through the movement of the mother glass panel, and the testing for defects proceeds. and a probe unit supporting the plurality of probe blocks, each of the plurality of probe blocks having a probe pin contacting each of the plurality of electrode pads, and the display In order to inspect the panel, the probe blocks are selected from among the probe blocks loaded on the probe block loading unit, and then carried out to the position where the inspection for defects in the display panel is performed. It can be characterized by being mounted at a predetermined position on the probe unit.
Description
本発明はディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体、この制御方法およびディスプレイパネル検査装置に関する。 The present invention relates to a probe block assembly for display panel inspection, its control method, and a display panel inspection apparatus.
平板ディスプレイ装置として使われる有機発光ダイオード(OLED)は視野角が広く、コントラストが優秀であるとともに応答速度が速いという長所を有しているため、最近スマートフォン、テレビなどに広く使われている。 Organic light-emitting diodes (OLEDs), which are used as flat panel displays, have wide viewing angles, excellent contrast, and fast response speeds, and are thus widely used in smartphones, televisions, and the like.
有機発光ダイオード(OLED)は基板となるパネル上に有機発光層の形成のための有機物層が蒸着されることになり、これによって、電気的信号によって光と色を出すことになるピクセルが具現されることになる。 An organic light emitting diode (OLED) is formed by depositing an organic material layer for forming an organic light emitting layer on a panel serving as a substrate, thereby realizing a pixel that emits light and color according to an electrical signal. will be
ここで、蒸着によって基板となるパネル上に有機物層が形成されてピクセルが具現されることになると、封止工程の前にピクセルの不良の有無に対する検査が進行されなければならない。 Here, when pixels are implemented by forming an organic material layer on a panel, which is a substrate, by deposition, an inspection for defects in the pixels should be performed before the sealing process.
従来には検査の途中で飛散するパーティクルからの汚染などを防止するために、フェイスダウン(Face down)方式、すなわち、検査が必要なディスプレイパネルの蒸着部が存在する一面が下を向いている状態で検査が進行された。 Conventionally, in order to prevent contamination from scattering particles during inspection, a face-down method, that is, a state in which the deposition part of the display panel to be inspected faces downward. inspection was carried out.
ディスプレイパネルは使用目的により多様な大きさで製造されてもよく、製造工程上でマザーガラスパネル上に提供されることになり、マザーガラスパネルは面取り効率を増大させるために、同一大きさのディスプレイパネルが複数個存在する単一タイプまたは多様な大きさのディスプレイパネルが混合されて形成される混合タイプであってもよい。 The display panel may be manufactured in various sizes depending on the purpose of use, and is provided on the mother glass panel in the manufacturing process. It may be a single type in which a plurality of panels exist or a mixed type in which display panels of various sizes are mixed.
従来にはディスプレイパネルの不良の有無を検査するために、マザーガラスパネル上のディスプレイパネルの蒸着部が存在する一面が下部を向いている状態でフィッシュボーン(Fishbone)タイプのステージモジュールに配置され、フィッシュボーン(Fishbone)タイプのステージモジュールは前記蒸着部が下部を向いている状態で蒸着部が存在する一面のうち蒸着部が形成されていない外郭部分をグリップした後、検査のためのチャンバー内に移動することになる。 Conventionally, in order to inspect the presence or absence of defects in the display panel, it is placed on a fishbone type stage module with one side of the mother glass panel on which the display panel deposition part exists faces downward. The fishbone-type stage module grips the outer part of the surface where the deposition part is not formed, with the deposition part facing downward, and then puts it in a chamber for inspection. will move.
その後、真空プレートによって蒸着部が存在しないマザーガラスパネルの他面が吸着されることになり、プローブユニットのプローブブロックが位置する所に移動された後、ディスプレイパネルの接触パッドがプローブブロックに接触するようにすることによって検査が進行された。 After that, the other surface of the mother glass panel where the vapor deposition part does not exist is sucked by the vacuum plate, and after the probe block of the probe unit is moved to the place where the probe block is located, the contact pad of the display panel comes into contact with the probe block. The examination proceeded by doing so.
しかし、従来の検査方法は比較的大きさの小さいマザーガラスパネル上のディスプレイパネルを検査するには有用であるものの、大型マザーガラスパネル上のディスプレイパネルをフェイスダウン(Face down)方式で不良の有無を検査するには深刻な問題が発生して適用が難しいのが実情である。 However, although the conventional inspection method is useful for inspecting a display panel on a relatively small mother glass panel, it is difficult to detect defects in a display panel on a large mother glass panel in a face-down manner. It is the actual situation that it is difficult to apply it because serious problems occur in inspecting .
換言すると、大型マザーガラスパネルの場合、蒸着部が存在する一面が下部を向いている状態でフィッシュボーン(Fishbone)タイプのステージモジュールに配置することになると、フィッシュボーン(Fishbone)タイプのステージモジュールは蒸着部が存在する一面のうち蒸着部が形成されていない外郭部分を支持することになるが、この時、大型マザーガラスパネルは自重によって中央部が垂れてしまい、事実上正確な検査が不可能である。 In other words, in the case of a large mother glass panel, if it is placed in a fishbone type stage module with one surface where the vapor deposition part is present facing downward, the fishbone type stage module is used. Of the one surface where the deposition part exists, the outer part where the deposition part is not formed is supported, but at this time, the center part of the large mother glass panel sag due to its own weight, making it virtually impossible to perform an accurate inspection. is.
また、従来の検査方法は前述した問題の他に下記のような問題がさらに発生することになる。 In addition, the conventional inspection method has the following problems in addition to the problems described above.
プローブユニットには一種類のディスプレイパネルの不良の有無を検査するためのプローブブロックが装着されるしかなく、このため、マザーガラスパネル上に検査が必要な多様な大きさのディスプレイパネルが存在して検査の対象となるディスプレイパネルが変わる場合、必然的にそれに合う新しいプローブユニットに取り替える必要がある。 The probe unit can only be equipped with a probe block for inspecting the presence or absence of defects in one type of display panel, so there are various sizes of display panels that need to be inspected on the mother glass panel. When the display panel to be inspected is changed, it is necessary to replace it with a new probe unit that matches it.
プローブユニットの取り替え作業は作業者によって手動でなされるのが一般的であり、これに伴い、取り替え作業に所要する時間が長くなって歩留まりが低下する問題がある。 The replacement work of the probe unit is generally performed manually by an operator, and accordingly, there is a problem that the time required for the replacement work increases and the yield decreases.
それだけでなく、プローブユニットの取り替え時に作業者が怪我または感電する場合がたびたび発生する問題があった。 In addition, there is a problem that workers are often injured or electrocuted when replacing the probe unit.
したがって、検査の途中で飛散するパーティクルからの汚染などを防止するためのフェイスダウン(Face down)方式で、大型マザーガラスパネル上の多様な種類のディスプレイパネルの不良の有無を迅速かつ正確に検査するための設備開発に対する研究が急を要しているのが実情である。 Therefore, it is a face-down method to prevent contamination from scattered particles during inspection, and quickly and accurately inspect various types of display panels on large mother glass panels for defects. The reality is that there is an urgent need for research on the development of equipment for this purpose.
本発明の目的は、フェイスダウン(Face down)またはフェイスアップ(Face up)方式で大型または小型マザーガラスパネル内に含まれた多様な大きさのディスプレイパネルの不良の有無に対する検査をプローブユニットの取り替えなしに進行されるようにして、歩留まりの増加および作業者の安全事故が防止されるようにするディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体、この制御方法およびディスプレイパネル検査装置を提供することである。 It is an object of the present invention to replace a probe unit to inspect display panels of various sizes included in a large or small mother glass panel for defects in a face down or face up manner. It is an object of the present invention to provide a probe block assembly for display panel inspection, a control method therefor, and a display panel inspection apparatus capable of increasing the yield and preventing safety accidents of workers by proceeding without .
本発明に係るディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体は、マザーガラスパネル-前記マザーガラスパネルの一面は有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルが備えられ、前記ディスプレイパネルは、側面に沿って形成された複数の電極パッドを具備する-の位置移動を通じて、検査位置に移動された前記ディスプレイパネルの前記複数の電極パッドが接触して不良の有無に対する検査が進行されるようにする複数のプローブブロック;および前記複数のプローブブロックを支持するプローブユニット;を含み、前記複数のプローブブロックは、それぞれの前記複数の電極パッドに接触するそれぞれのプローブピンを具備し、前記ディスプレイパネルに対する検査が進行されるために、それぞれプローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロック内で選択された後、搬出されて前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるための位置に存在する前記プローブユニット上の所定の位置に装着されることを特徴とすることができる。 A probe block assembly for inspecting a display panel according to the present invention includes a mother glass panel - at least one kind of display panel having an organic material layer deposited on one surface of the mother glass panel for forming an organic light emitting layer. and the display panel includes a plurality of electrode pads formed along the side surface of the display panel. a plurality of probe blocks for testing to proceed; and a probe unit supporting the plurality of probe blocks, the plurality of probe blocks having respective probe pins contacting the respective plurality of electrode pads. In order to inspect the display panel, the probe blocks loaded on the probe block loading unit are selected and then unloaded to inspect the display panel for defects. It can be characterized in that it is mounted at a predetermined position on the probe unit existing at the position of .
前記ディスプレイパネルの検査が完了した後、大きさの異なる他のディスプレイパネルの検査のために前記複数のプローブブロックのうち少なくとも一つが不要であるか取り替えが必要な場合、本発明に係るプローブブロック組立体の前記不要であるか取り替えが必要なプローブブロックは、前記プローブユニットから選択された後に搬出されて前記プローブブロック積載ユニットに積載されることを特徴とすることができる。 When at least one of the plurality of probe blocks is unnecessary or needs to be replaced in order to inspect another display panel having a different size after the inspection of the display panel is completed, the probe block assembly according to the present invention. The three-dimensional probe blocks that are unnecessary or need to be replaced may be picked up from the probe unit and then unloaded and loaded on the probe block loading unit.
本発明に係るプローブブロック組立体の前記プローブユニットは、前記ディスプレイパネルの検査が完了した後、大きさの異なる他のディスプレイパネルの検査のために追加プローブブロックが必要な場合、前記プローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロック内で前記追加プローブユニットが選択された後、搬出されて前記追加プローブユニットが装着され得る装着領域を提供することを特徴とすることができる。 When the probe unit of the probe block assembly according to the present invention needs an additional probe block to inspect another display panel having a different size after the inspection of the display panel is completed, the probe block loading unit After the additional probe unit is selected in the probe block loaded in the probe block, the additional probe unit is unloaded to provide a mounting area in which the additional probe unit can be mounted.
本発明に係るプローブブロック組立体の前記プローブユニットは、プローブブロックがそれぞれ個別的に装着されるための複数の装着領域を具備し、前記複数の装着領域のうちプローブブロックが装着されるための装着領域は、検査の対象となるディスプレイパネルの電極パッドの個数および形成位置に基づいて選択されることを特徴とすることができる。 The probe unit of the probe block assembly according to the present invention includes a plurality of mounting areas for individually mounting the probe blocks, and one of the plurality of mounting areas for mounting the probe blocks. The area may be selected based on the number and formation positions of the electrode pads of the display panel to be inspected.
本発明に係るプローブブロック組立体の前記複数の装着領域は、それぞれプローブブロックが装着される位置を案内するために、前記プローブブロックに形成された位置固定部と相互作用をする案内部を具備することを特徴とすることができる。 Each of the plurality of mounting areas of the probe block assembly according to the present invention includes a guide part interacting with a position fixing part formed in the probe block to guide the position where the probe block is mounted. It can be characterized as
本発明に係るプローブブロック組立体の前記プローブユニットは、前記プローブユニット上に前記複数のプローブブロックが装着される場合、それぞれのプローブブロックに対して電源が印加されるようにする電源印加部;をさらに含み、前記プローブブロックは、複数のプローブピン、前記複数のプローブピンを支持する本体、前記電源印加部との電気的接続によって前記電源が前記複数のプローブピンに印加されるようにする接続端子および前記複数のプローブピンと前記接続端子を電気的に連結するための回路パターン部を含むことを特徴とすることができる。 The probe unit of the probe block assembly according to the present invention includes a power applying unit for applying power to each of the probe blocks when the plurality of probe blocks are mounted on the probe unit. The probe block further comprises a plurality of probe pins, a main body supporting the plurality of probe pins, and a connection terminal for applying the power to the plurality of probe pins through electrical connection with the power applying unit. and a circuit pattern portion for electrically connecting the plurality of probe pins and the connection terminal.
本発明に係るプローブブロック組立体の前記接続端子は、前記電源印加部によって電源が印加される電源印加端子と同じ個数または以下の個数で形成され、前記回路パターン部は、前記複数のプローブピンの個数が前記電源印加端子の個数より少ない場合、前記電源印加端子に印加された電源の一部のみ前記複数のプローブピンに印加されるようにすることを特徴とすることができる。 The connection terminals of the probe block assembly according to the present invention are formed in the same number as or less than the number of power supply terminals to which power is applied by the power supply part, and the circuit pattern part is formed on the plurality of probe pins. If the number is less than the number of the power applying terminals, only part of the power applied to the power applying terminals may be applied to the plurality of probe pins.
本発明に係るプローブブロック組立体の前記プローブユニットは、取り替えなしに、前記所定の位置に装着された前記複数のプローブブロックのうち少なくとも一つ以上を取り替えて、前記検査が進行される前記ディスプレイパネルと他のディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにすることを特徴とすることができる。 The probe unit of the probe block assembly according to the present invention replaces at least one of the plurality of probe blocks mounted at the predetermined position without replacement, and the display panel on which the inspection is performed. And other display panels may be inspected for defects.
本発明に係るディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体、この制御方法およびディスプレイパネル検査装置によると、フェイスダウン(Face down)またはフェイスアップ(Face up)方式で大型または小型マザーガラスパネル内に含まれた多様な大きさのディスプレイパネルの不良の有無に対する検査をプローブユニットの取り替えなしに進行されるようにして、歩留まりの増加および作業者の安全事故を防止することができる。 According to the probe block assembly, the control method and the display panel inspection apparatus for inspecting a display panel according to the present invention, the probe block assembly is included in a large or small mother glass panel in a face down or face up manner. It is possible to inspect display panels of various sizes for defects without replacing the probe unit, thereby increasing the yield and preventing safety accidents of workers.
本発明に係るディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体は、マザーガラスパネル-前記マザーガラスパネルの一面は有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルが備えられ、前記ディスプレイパネルは、側面に沿って形成された複数の電極パッドを具備する-の位置移動を通じて、検査位置に移動された前記ディスプレイパネルの前記複数の電極パッドが接触して不良の有無に対する検査が進行されるようにする複数のプローブブロック;および前記複数のプローブブロックを支持するプローブユニット;を含み、前記複数のプローブブロックは、それぞれ前記複数の電極パッドそれぞれに接触するプローブピンを具備し、前記ディスプレイパネルに対する検査が進行されるために、それぞれプローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロック内で選択された後、搬出されて前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるための位置に存在する前記プローブユニット上の所定の位置に装着されることを特徴とすることができる。 A probe block assembly for inspecting a display panel according to the present invention includes a mother glass panel - at least one kind of display panel having an organic material layer deposited on one surface of the mother glass panel for forming an organic light emitting layer. and the display panel includes a plurality of electrode pads formed along the side surface of the display panel. a plurality of probe blocks for testing to proceed; and a probe unit supporting the plurality of probe blocks, each of the plurality of probe blocks having a probe pin contacting each of the plurality of electrode pads. , a position where the display panel is inspected for defects after being selected from the probe blocks loaded on the probe block loading unit and carried out to inspect the display panel. It can be characterized in that it is mounted at a predetermined position on the probe unit existing in the.
以下では、図面を参照して本発明の具体的な実施例を詳細に説明する。ただし、本発明の思想は提示される実施例に制限されず、本発明の思想を理解する当業者は同一思想の範囲内で他の構成要素を追加、変更、削除等を通じて、退歩的な他の発明や本発明思想の範囲内に含まれる他の実施例を容易に提案できるであろうが、これもまた本願発明思想範囲内に含まれるものと言える。 Specific embodiments of the present invention are described in detail below with reference to the drawings. However, the spirit of the present invention is not limited to the presented embodiments, and a person skilled in the art who understands the spirit of the present invention may add, change, or delete other components within the scope of the same idea, and may Other embodiments within the scope of the invention and the idea of the present invention can be easily proposed, and it can be said that this is also included in the scope of the idea of the present invention.
また、各実施例の図面に示される同一思想の範囲内の機能が同一の構成要素は同一の参照符号を使って説明する。 Also, constituent elements having the same function within the scope of the same concept shown in the drawings of the respective embodiments will be described using the same reference numerals.
1.ディスプレイパネルおよびマザーガラスパネル
図1は本発明に係るディスプレイパネル検査設備によって不良の有無が検査されるディスプレイパネルを説明するための図面であり、図2は本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるステージモジュール上に載置され得るマザーガラスパネルに含まれたディスプレイパネルの組み合わせに対する多様な実施例を説明するための図面である。
1. 1. Display Panel and Mother Glass Panel FIG. 1 is a view for explaining a display panel inspected for defects by the display panel inspection equipment according to the present invention, and FIG. 2 is provided to the display panel inspection equipment according to the present invention. 4 is a diagram for explaining various embodiments of combinations of display panels included in a mother glass panel that can be mounted on a stage module;
図1を参照すると、ディスプレイパネルDPは基板となるパネル上に有機発光層の形成のための有機物層が蒸着されてピクセルが具現されたものであり、例えばLCDまたはOLEDであってもよく、封止工程の前に本発明に係るディスプレイパネル検査設備(1000、図3および図4参照)により不良の有無に対する検査が進行され得る。 Referring to FIG. 1, the display panel DP is formed by depositing an organic material layer for forming an organic light-emitting layer on a panel serving as a substrate to implement pixels. Before the stopping process, the display panel inspection equipment (1000, see FIGS. 3 and 4) according to the present invention may be used to inspect for defects.
前記ディスプレイパネルDPは、ピクセルの不良の有無に対する検査のために第1側面に沿って形成される第1電極パッドEP1、第2側面に沿って形成される第2電極パッドEP2、第3側面に沿って形成される第3電極パッドEP3および第4側面に沿って形成される第4電極パッドEP4を具備することができる。 The display panel DP includes a first electrode pad EP1 formed along a first side for testing for defective pixels, a second electrode pad EP2 formed along a second side, and a third electrode pad EP2 formed along a third side. A third electrode pad EP3 formed along the fourth side surface and a fourth electrode pad EP4 formed along the fourth side surface may be provided.
ただし、前記ディスプレイパネルDPはパネルの特性により電極パッドの個数および形成位置などは変わり得る。 However, the display panel DP may vary in the number and position of the electrode pads according to the characteristics of the panel.
前記ディスプレイパネルDPは製造工程上でステージモジュール(110、図3および図4参照)の大きさに従属的に大きさが決定されるマザーガラスパネルMPに複数個が形成された後、切断などの工程を通じて製造され得、前記マザーガラスパネルMPはディスプレイパネルDPの生産の基盤となるガラス基板であってもよい。 A plurality of display panels DP are formed on a mother glass panel MP whose size is determined according to the size of the stage module (110, see FIGS. 3 and 4) in the manufacturing process, and then cut. The mother glass panel MP may be manufactured through a process and may be a glass substrate serving as a base for production of the display panel DP.
前記マザーガラスパネルMPは空いた空間を最小化して不良検査に対する効率性を増大させるために、すなわち、面取り効率を増大させるために、同一大きさのディスプレイパネルDPが複数個存在する単一タイプまたは多様な大きさのディスプレイパネルDPが混合されて形成された混合タイプであってもよい。 The mother glass panel MP has a single type or a plurality of display panels DP of the same size in order to minimize the empty space and increase the efficiency of defect inspection, that is, to increase the chamfering efficiency. It may be a mixed type formed by mixing display panels DP of various sizes.
例えば、前記マザーガラスパネルMPは図2(a)に図示された通り、98インチディスプレイパネル2個の混合タイプ、図2(b)に図示された通り、65インチディスプレイパネル3個と32インチディスプレイパネル6個の混合タイプ、図2(c)に図示された通り、31.5インチディスプレイパネル18個の単一タイプ、図2(d)に図示された通り、49インチディスプレイパネル2個と75インチディスプレイパネル2個の混合タイプおよび図2(e)に図示された通り、65インチディスプレイパネル3個と55インチディスプレイパネル2個の混合タイプであってもよいが、必ずしもこれに限定されるものではなく、多様な大きさのディスプレイパネルの混合タイプが適用されたパネルであってもよい。 For example, the mother glass panel MP is a mixed type with two 98-inch display panels as shown in FIG. 2(a), and three 65-inch display panels and a 32-inch display as shown in FIG. A mixed type of 6 panels, a single type of 18 31.5 inch display panels as shown in FIG. 2(c), two 49 inch display panels and 75 as shown in FIG. A mixed type of two inch display panels and a mixed type of three 65 inch display panels and two 55 inch display panels as shown in FIG. Instead, it may be a panel to which mixed types of display panels of various sizes are applied.
本発明に係るディスプレイパネル検査設備1000は、前述した多様な組み合わせの混合タイプのマザーガラスパネルMPに含まれたすべてのディスプレイパネルのそれぞれに対する不良の有無を検査することができ、以下では前記マザーガラスパネルが65インチディスプレイパネル3個と55インチディスプレイパネル2個か形成された混合タイプである場合を代表的な例として説明する。
The display
2.ディスプレイパネル検査設備
図3は本発明に係るディスプレイパネル検査設備を説明するためのブロック構成図であり、図4は本発明に係るディスプレイパネル検査設備を説明するための図面である。
2. Display Panel Inspection Equipment FIG. 3 is a block diagram for explaining the display panel inspection equipment according to the present invention, and FIG. 4 is a diagram for explaining the display panel inspection equipment according to the present invention.
図3および図4を参照すると、本発明に係るディスプレイパネル検査設備1000は、背面吸着方式、すなわち、フェイスダウン(Face down)方式でマザーガラスパネルMP内に含まれた多様な大きさのディスプレイパネルDPの不良の有無をプローブユニット(PU1、PU2、図20参照)の取り替えなしに進行されるようにして、不良の有無の検査の正確性および迅速性などを最大化できる検査設備であって、検査工程準備設備1100および検査工程進行設備1200を含むことができる。
Referring to FIGS. 3 and 4, the display
検査工程準備設備1100は、一面に有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルDPが備えられるマザーガラスパネルMPの前記一面が上部を向いている正常状態で前記マザーガラスパネルMPの他面がステージモジュール110に吸着されると、前記ステージモジュール110は回転されて前記マザーガラスパネルMPが前記正常状態から前記一面が下部を向いている状態である逆転状態になるようにした後、移送モジュール120が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルMPの伝達を受けて前記逆転状態を維持しながら、次回の工程のための設備に前記マザーガラスパネルMPを移動させるための設備であってもよい。
The inspection
検査工程進行設備1200は、前記移送モジュール120によって進入した前記マザーガラスパネルMPの他面をピッカーモジュール130が吸着した後、前記ピッカーモジュール130の位置移動を通じて真空吸着モジュール140が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルMPを吸着すると、前記真空吸着モジュール140の位置移動を通じて前記ディスプレイパネルDPの電極パッドがディスプレイパネル検査装置200のプローブブロック(PB、図22参照)のプローブピン(3002、図22参照)に接触するようにして、前記ディスプレイパネルDPの不良の有無に対する検査が進行されるための設備であってもよい。
After the
一方、本発明に係るディスプレイパネル検査設備1000は、マザーガラスパネルMPがステージモジュール110に載置され、移送モジュール120によって前記マザーガラスパネルMPがピッカーモジュール130を媒介として真空吸着モジュール140に吸着されるまでの構成要素をマザーガラスパネル移送装置100と定義することができ、前記マザーガラスパネル移送装置100によって前記真空吸着モジュール140に吸着されたディスプレイパネルDPがプローブブロック組立体2000およびプローブブロック積載ユニット3000を含むディスプレイパネル検査装置200によって不良の有無に対する検査が進行される過程は図20~図28を参照して具体的に説明する。
Meanwhile, in the display
図5および図6は本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供される検査工程進行設備内の空気の流れを説明するための図面であって、図5は図4のAA線に沿った概略断面図であり、図6は図4のBB線に沿った概略断面図である。 5 and 6 are drawings for explaining the air flow in the inspection process progress equipment provided in the display panel inspection equipment according to the present invention, and FIG. 5 is a schematic cross section along line AA of FIG. 6 is a schematic cross-sectional view taken along line BB of FIG. 4. FIG.
図3および図4とともに図5および図6を参照すると、検査工程進行設備1200はディスプレイパネルDPの電極パッドとプローブブロック(PB、図22参照)のプローブピン(3002、図22参照)が接触して前記ディスプレイパネルDPの前記不良の有無に対する検査が進行されるための第1空間部300、および前記不良の有無に対する検査の対象となるディスプレイパネルDPを撮影して前記ディスプレイパネルDP上のシミまたはスクラッチなどの存在の有無を確認するためのビジョンモジュール410が位置移動可能に設置される第2空間部400を含むことができ、前記第2空間部400は前記第1空間部300の下部に位置することができる。
Referring to FIGS. 5 and 6 together with FIGS. 3 and 4, the inspection
ここで、前記ビジョンモジュール410は例えば、4個のカメラユニットを含むことができ、前記カメラユニットは撮影の対象となるディスプレイパネルDPのサイズによりWorking Distance(WD)が変わることになるため、上部または下部に向かって位置移動可能であってもよい。
Here, the
また、4個のカメラユニットは撮影対象となるディスプレイパネルDPの大きさに対応して前記ディスプレイパネルDPの全体領域を撮影しなければならないため、それぞれ撮影の対象となるディスプレイパネルDPの1/4領域の中央部に位置しなければならず、このために前方または後方、左方または右方に位置移動され得る。また、必要な場合、撮影の対象となるディスプレイパネルDPの回転に対応するために正回転または逆回転されてもよい。 In addition, since the four camera units must photograph the entire area of the display panel DP corresponding to the size of the display panel DP to be photographed, each of the four camera units has a size of 1/4 of the display panel DP to be photographed. It must be located in the middle of the region and can therefore be moved forward or backward, left or right. Also, if necessary, it may be rotated forward or backward to correspond to the rotation of the display panel DP to be shot.
一方、検査工程準備設備1100および検査工程進行設備1200内でのディスプレイパネルDPの不良の有無に対する検査は、窒素雰囲気下で進行され得る。
Meanwhile, the inspection for defects of the display panel DP in the inspection
特に、検査工程進行設備1200の場合、第1空間部300および第2空間部400内で前記窒素空気は停滞することなく循環が安定的になされなければならない。
In particular, in the case of the inspection
このために、前記検査工程進行設備1200は、前記第1空間部300内の上部に位置する強制循環モジュール310、前記第1空間部300内での前記窒素空気の循環のために上部と下部を連結する第1循環ダクトモジュール320および前記第1空間部300と前記第2空間部400を連結する第2循環ダクトモジュール420を含むことができる。
For this purpose, the inspection
前記第2循環ダクトモジュール420は前記第1空間部300から前記第2空間部400に流入した前記窒素空気が前記第1空間部300に再び流入して循環され得るようにすることができ、前記第2循環ダクトモジュール420上には強制吸入モジュール430が位置することができる。
The second
ここで、前記強制循環モジュール310および前記強制吸入モジュール420は一種の吸入ファンであって、前記強制吸入モジュール420は前記第2循環ダクトモジュール410上に位置して前記第1空間部300から前記第2空間部400に流入した前記窒素空気を吸入した後、前記第1空間部300に排出されるようにすることができる。
Here, the forced
したがって、前記検査工程進行設備1200は均一な窒素雰囲気下でディスプレイパネルの検査工程が進行されることになる。
Therefore, the inspection
一方、検査工程準備設備1100および検査工程進行設備1200はメンテナンス時に作業者が内部に入らなければならないため、清浄乾燥空気(CDA)雰囲気への転換がなされ得る。
On the other hand, since the inspection
3.マザーガラスパネル移送装置
図7は、本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるマザーガラスパネル移送装置によってマザーガラスパネルが真空吸着モジュールに吸着される過程を説明するためのフローチャートである。
3. Mother Glass Panel Transfer Apparatus FIG. 7 is a flow chart illustrating a process of sucking a mother glass panel to a vacuum suction module by a mother glass panel transfer apparatus provided in the display panel inspection equipment according to the present invention.
まず、図3および図4を参照すると、マザーガラスパネル移送装置100はステージモジュール110、移送モジュール120、ピッカーモジュール130および真空吸着モジュール140等を含むことができる。
First, referring to FIGS. 3 and 4, the mother glass
前記ステージモジュール110はマザーガラスパネルMPの一面が上部を向いている正常状態で前記マザーガラスパネルMPの他面を吸着して固定させるための構成要素であって、前記マザーガラスパネルMPの一面は有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルDPが備えられ得る。
The
ここで、前記マザーガラスパネルMPの前記他面は全体的に非蒸着部であってもよい。 Here, the other surface of the mother glass panel MP may be a non-vapor-deposited portion as a whole.
前記ステージモジュール110は前記ディスプレイパネルがフェイスダウン(Face down)方式で検査されるようにするために回転され得、これによって前記ステージモジュール110に前記正常状態に配置されて吸着された前記マザーガラスパネルMPは前記一面が下部を向いている状態である逆転状態となり得る。
The
前記移送モジュール120は前記ステージモジュール110上で前記正常状態から前記逆転状態に状態が変化した前記マザーガラスパネルMPの前記他面を吸着した後、前記マザーガラスパネルMPを前記逆転状態を維持しながら不良の有無に対する検査のための第1位置に移動させるための構成要素であってもよい。
After the
前記ピッカーモジュール130は前記移送モジュール120により前記第1位置に移動した前記マザーガラスパネルMPの前記他面を吸着した後、前記逆転状態を維持しながら前記第1位置を基準として上昇した位置である第2位置に移動させるための構成要素であって、後述する板状の真空吸着モジュール140が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルMPを吸着するようにすることができる。
The
前記真空吸着モジュール140は前記移送モジュール120により前記第2位置に前記逆転状態のマザーガラスパネルMPが移動されると、前記逆転状態で平滑度を維持しながら前記マザーガラスパネルMPを吸着することができ、以後にはディスプレイパネル検査装置200のプローブブロックPBのプローブピン3002との相互作用によって前記ディスプレイパネルDPの不良の有無に対する検査が進行されるようにする構成要素であってもよい。
When the
前記真空吸着モジュール140により前記逆転状態でマザーガラスパネルMPが吸着されると、前記真空吸着モジュール140は前記マザーガラスパネルMPを前記逆転状態で維持した状態で位置移動を通じて、前記ディスプレイパネルDPの電極パッドと前記プローブブロックPBのプローブピン3002が接触するようにして、前記逆転状態で前記ディスプレイパネルDPの不良の有無に対する検査が進行されることになる。
When the mother glass panel MP is sucked in the reversed state by the
ここで、前記マザーガラスパネルMPが最終的に前記逆転状態を維持しながら真空吸着モジュール140に吸着されなければならない理由は、ディスプレイパネルDPの不良の有無の検査のためのディスプレイパネルDPの正確な位置制御およびディスプレイパネルDPの平滑度を維持するためであり、もし真空吸着モジュール140ではなく他の構成要素によってマザーガラスパネルMPが吸着された状態でディスプレイパネル検査装置200に移動することになると、平滑度などで問題が発生して正確な不良の有無に対する検査が保障できないためである。
Here, the reason why the mother glass panel MP should be finally sucked by the
以下では、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置100によってマザーガラスパネルMPが真空吸着モジュール140に吸着される過程を説明する。
Hereinafter, a process of sucking the mother glass panel MP to the
図7を参照すると、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置100によってマザーガラスパネルが真空吸着モジュールに吸着される段階は、正常状態でマザーガラスパネルMPがステージモジュール110上に配置される第1段階(S10)、前記ステージモジュール110が回転する第2段階(S20)、移送モジュール120が進入して前記マザーガラスパネルMPを吸着する第3段階(S30)、前記移送モジュール120が第1位置に移動する第4段階(S40)、ピッカーモジュール130が下降して前記マザーガラスパネルMPを吸着する第5段階(S50)、前記移送モジュール120が復帰する第6段階(S60)、前記ピッカーモジュール130が第2位置に上昇する第7段階(S70)、真空吸着モジュール140により前記ディスプレイパネルDPが吸着される第8段階(S80)、前記ピッカーモジュール130が上昇して第3位置に移動する第9段階(S90)を含むことができる。
Referring to FIG. 7, the step of sucking the mother glass panel to the vacuum suction module by the mother glass
以下では、前述した各段階について図8~図19を参照して具体的に説明する。 Hereinafter, each step described above will be described in detail with reference to FIGS. 8 to 19. FIG.
図8は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるステージモジュール上にマザーガラスパネルが正常状態で載置される状況を説明するための図面である。 FIG. 8 is a view for explaining how the mother glass panel is placed in a normal state on the stage module provided in the mother glass panel transfer apparatus according to the present invention.
図8を参照すると、マザーガラスパネルMPは正常状態でステージモジュール110上に配置(S10)された後、吸着され得る。
Referring to FIG. 8, the mother glass panel MP can be attached to the
ここで、前記マザーガラスパネルMPは説明の便宜のために、少なくとも一つ以上のディスプレイパネルDPが備えられた一面を陰影で表現したことを明らかにしておく。 Here, for convenience of explanation, the mother glass panel MP has one surface provided with at least one or more display panels DP represented by shading.
一方、前記マザーガラスパネルMPを前記ステージモジュール110上に配置させる方法は特に定められるものではなく、窒素雰囲気下でロボット装置などによる自動方法または作業者による手動方法など、多様であってもよい。
On the other hand, the method of disposing the mother glass panel MP on the
前記ステージモジュール110は前記正常状態で前記マザーガラスパネルMPの前記他面SF2を吸着するための複数のステージユニット112を含むことができ、前記ステージユニット112はそれぞれ互いに離隔するように配置された間に第1空間S1が形成されるようにすることができる。
The
例えば、前記ステージユニット112は図8に図示された通り、9個で形成され得るが、必ずしもこれに限定されるものではなく、支持すべき前記マザーガラスパネルMPが自重によって中央部が垂れずに安定的に支持できる程度であれば個数が変更されてもよい。
For example, as shown in FIG. 8, the
前記ステージユニット112にはそれぞれ前記マザーガラスパネルMPを吸着するための吸着パッドなどの吸着手段114を具備することができ、前記吸着手段114の個数は制限がない。
Each of the
図9および図10は、図8に図示された状況からステージモジュールの回転によって正常状態のマザーガラスパネルが逆転状態に変化する状況を説明するための図面である。 9 and 10 are diagrams for explaining a situation in which the mother glass panel in a normal state changes to a reversed state due to the rotation of the stage module from the situation shown in FIG.
図9および図10を参照すると、前記ステージモジュール110は正常状態で前記マザーガラスパネルMPを吸着したまま回転(R、S20)され得、回転方向は制限がない。
9 and 10, the
前記ステージモジュール110の回転のための駆動方法は特に定められるものではなく、例えば、公知のモータなどを利用して回転され得る。
A driving method for rotating the
前記ステージモジュール110が回転すると、正常状態で吸着されたマザーガラスパネルMPは蒸着部が存在する一面SF1が下部を向いている状態である逆転状態に状態が変化することになる。
When the
前記マザーガラスパネルMPは不良の有無に対する検査が進行される間持続的に逆転状態を維持することになり、これによってディスプレイパネルDPはフェイスダウン(Face down)方式で不良の有無に対する検査を進行できることになる。 The mother glass panel MP continuously maintains the reversed state while the defect inspection is being performed, so that the display panel DP can be inspected for the defect in a face down manner. become.
図11は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールがステージモジュールに進入する状況を説明するための図面であり、図12および図13は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが逆転状態のマザーガラスパネルを吸着した状況を説明するための図面である。 FIG. 11 is a view for explaining how a transfer module provided in the mother glass panel transfer apparatus according to the present invention enters the stage module, and FIGS. 12 and 13 are views for the mother glass panel transfer apparatus according to the present invention. FIG. 10 is a view for explaining a state in which a provided transfer module sucks a reversed mother glass panel; FIG.
図11~図13を参照すると、前記ステージモジュール110の回転によってマザーガラスパネルMPが逆転状態になると、移送モジュール120が前記ステージモジュール110に進入した後、前記マザーガラスパネルMPを吸着(S30)することになる。
11 to 13, when the mother glass panel MP is reversed due to the rotation of the
前記移送モジュール120は前記ステージユニット112により提供される第1空間S1に挿入されて逆転状態に配置される前記マザーガラスパネルMPの他面SF2を吸着するための複数の移送ユニット122を含むことができる。
The
前記移送ユニット122は前記ステージユニット112と同様にそれぞれ離隔するように配置され得る。
The
例えば、前記移送ユニット122は図面に図示された通り、8個で形成され得るが、必ずしもこれに限定されるものではない。
For example, as shown in the drawing, the
前記移送ユニット122は前記マザーガラスパネルMPと前記ステージユニット112により提供される第1空間S1に進入した後、前記マザーガラスパネルMPの他面SF2を吸着することができ、前記マザーガラスパネルMPの吸着のために必要であれば上下方向に位置移動してもよい。
After entering the first space S1 provided by the mother glass panel MP and the
前記移送ユニット122にはそれぞれ前記マザーガラスパネルMPを吸着するための吸着パッドなどの吸着手段124を具備することができ、前記吸着手段124の個数は制限がない。
Each
前記のように前記移送ユニット122により前記マザーガラスパネルMPが吸着されると、前記ステージユニット112による前記マザーガラスパネルMPの吸着は解除されることになり、これによって前記マザーガラスパネルMPは前記移送ユニット122の移動と連動されることになる。
When the mother glass panel MP is sucked by the
図14は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが第1位置に移動した状況を説明するための図面である。 FIG. 14 is a view for explaining a state in which a transfer module provided in the mother glass panel transfer apparatus according to the present invention is moved to the first position.
図14を参照すると、移送モジュール120は逆転状態のマザーガラスパネルMPを吸着した状態で、前記逆転状態を維持しながら不良の有無に対する検査のための第1位置に移動(S40)され得る。
Referring to FIG. 14, the
ここで、前記第1位置は前記逆転状態のマザーガラスパネルMPが真空吸着モジュール140およびピッカーモジュール130が配置される位置を基準として下部上の位置を意味し得、以後の段階で前記ピッカーモジュール130が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルMPを前記逆転状態を維持しながら安定的に吸着できるようにすることができる。
Here, the first position may refer to a position above the reversed mother glass panel MP with respect to the position where the
図15および図16は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが下降して逆転状態のマザーガラスパネルを吸着する状況を説明するための図面であり、図17は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが元の位置に復帰する状況を説明するための図面である。 15 and 16 are diagrams for explaining a state in which a picker module provided in a mother glass panel transfer apparatus according to the present invention descends to pick up a reversed mother glass panel, and FIG. FIG. 4 is a view for explaining a situation in which a transfer module provided in the mother glass panel transfer device returns to its original position; FIG.
図15および図16を参照すると、ピッカーモジュール130は第3位置に位置した状態で下降によって真空吸着モジュール140を通過した後、第1位置に移動することができ、移送モジュール120により前記第1位置に移動した逆転状態のマザーガラスパネルMPを吸着(S50)することができる。
Referring to FIGS. 15 and 16, the
前記ピッカーモジュール130は前記マザーガラスパネルMPの他面SF2を均一に吸着して垂れることを防止するように互いに離隔して配置される複数のピッカーユニット132を含むことができる。
The
前記ピッカーモジュール130により前記マザーガラスパネルMPが吸着されると、前記移送モジュール120は図17に図示された通り、吸着を解除して前記マザーガラスパネルMPから分離されて元の位置に位置移動(S60)され得る。
When the mother glass panel MP is sucked by the
元の位置に位置移動した前記移送モジュール120は他のマザーガラスパネルに備えられる他のディスプレイパネルを検査するために動作できることになる。
The
図18は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが第2位置に上昇する状況を説明するための図面である。 FIG. 18 is a view for explaining a situation in which the picker module provided in the mother glass panel transfer apparatus according to the present invention is raised to the second position.
図18を参照すると、ピッカーモジュール130は逆転状態のマザーガラスパネルMPを吸着した後、上昇によって第2位置に移動(S70)され得、これによって真空吸着モジュール140は前記マザーガラスパネルMPを吸着(S80)できることになる。
Referring to FIG. 18, the
ここで、前記第2位置は前記第1位置を基準として前記ピッカーモジュール130により前記真空吸着モジュール140まで上昇した位置であってもよく、前記真空吸着モジュール140は前記ピッカーモジュール130により安定的に前記マザーガラスパネルMPを逆転状態で吸着できることになる。
Here, the second position may be a position raised to the
前記真空吸着モジュール140は前記マザーガラスパネルMPを吸着するための吸着パッドなどの複数の吸着手段を具備することができる。
The
図19は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが第3位置に上昇する状況を説明するための図面である。 FIG. 19 is a view for explaining a situation in which the picker module provided in the mother glass panel transfer apparatus according to the present invention is raised to the third position.
図19を参照すると、第2位置に移動した前記マザーガラスパネルMPの前記他面SF2が前記真空吸着モジュール140により吸着されると、ピッカーモジュール130は吸着を解除して前記マザーガラスパネルMPから分離された後、上昇して前記第3位置に復帰(S990)され得る。
Referring to FIG. 19, when the second surface SF2 of the mother glass panel MP moved to the second position is sucked by the
以後には、前記真空吸着モジュール140およびディスプレイパネル検査装置200との相互作用によって不良の有無に対する検査が進行され得る。
After that, an inspection for defects may be performed by interacting with the
ここで、前記相互作用は真空吸着モジュール140が位置移動してマザーガラスパネルMPに備えられるディスプレイパネルDPの電極パッドとプローブブロックPBのプローブピン3002の接触を具現し、ディスプレイパネルDPの不良の有無に対する検査が進行されることを意味し得る。
Here, the interaction implements contact between the electrode pads of the display panel DP provided on the mother glass panel MP and the probe pins 3002 of the probe block PB by moving the position of the
以下では、ディスプレイパネル検査装置200によりディスプレイパネルDPの不良の有無に対する検査が進行される過程などを具体的に説明する。
Hereinafter, a process of inspecting whether or not the display panel DP is defective by the display
4.ディスプレイパネル検査装置
図20は、本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるディスプレイパネル検査装置を説明するための図面である。
4. Display Panel Inspection Apparatus FIG. 20 is a diagram for explaining a display panel inspection apparatus provided in the display panel inspection equipment according to the present invention.
図20を参照すると、ディスプレイパネル検査装置200はLCDまたはOLEDなどを検査できる装置であり、プローブユニットPU1、PU2およびプローブブロックPBを使ってディスプレイパネルを検査するすべての設備に適用可能であってもよい。
Referring to FIG. 20, the display
すなわち、前記ディスプレイパネル検査装置200は図1~図19を参照して説明したフェイスダウン(Face down)方式で検査する設備に適用され得るだけでなく、フェイスアップ(Face up)方式で検査する設備にも適用され得る。
That is, the display
以下では、前記ディスプレイパネル検査装置200が図1~図19を参照して説明したフェイスダウン(Face down)方式で検査する設備に適用される状況を例として説明する。
In the following, a situation in which the display
前記ディスプレイパネル検査装置200はプローブブロック組立体2000およびプローブブロック積載ユニット3000を含むことができる。
The display
前記プローブブロック組立体2000は、マザーガラスパネルMPの一面が下部を向いている逆転状態で前記マザーガラスパネルMPの他面を吸着する真空吸着モジュール140の位置移動を通じて、検査位置に移動されたディスプレイパネルDPが前記逆転状態で不良の有無に対する検査が進行されるようにするための構成であり、前記ディスプレイパネルDPの電極パッドと接触するプローブブロックPBおよび前記プローブブロックPBを支持するプローブユニットPU1、PU2を含むことができる。
The
ここで、前記プローブブロック組立体2000はフェイスアップ(Face up)方式でマザーガラスパネルMPを吸着する真空吸着モジュールの位置移動を通じて、検査位置に移動されたディスプレイパネルDPの不良の有無に対する検査が進行されるようにするための構成であってもよい。
Here, the
前記プローブブロック積載ユニット3000は多様な種類のプローブブロックPBを積載して保管している構成であり、積載されたプローブブロックPBの搬出と搬入が可能であってもよい。
The probe
前記プローブブロックPBはディスプレイパネルDPに対する検査が進行されるために、前記プローブブロック積載ユニット3000に積載された状態で選択された後、搬出されて前記プローブユニットPU1、PU2上の所定の位置に装着され得る。
In order to inspect the display panel DP, the probe block PB is selected while being loaded on the probe
前記プローブユニットPU1、PU2はディスプレイパネルDPの検査のための第1プローブユニットPU1および前記ディスプレイパネルDPの検査が完了した後、大きさの異なる他のディスプレイパネルの検査のための第2プローブユニットPU2を含むことができる。 The probe units PU1 and PU2 are the first probe unit PU1 for inspecting the display panel DP and the second probe unit PU2 for inspecting other display panels of different sizes after the inspection of the display panel DP is completed. can include
前記第1プローブユニットPU1は横方向D1に配置された第1-1プローブユニットPU1-1、縦方向D2に配置された第1-2プローブユニットPU1-2、前記縦方向D2に配置された第1-3プローブユニットPU1-3および前記横方向D1に配置された第1-4プローブユニットPU1-4を含むことができる。 The first probe unit PU1 includes a 1-1 probe unit PU1-1 arranged in the horizontal direction D1, a 1-2 probe unit PU1-2 arranged in the vertical direction D2, and a 1-2 probe unit PU1-2 arranged in the vertical direction D2. 1-3 probe units PU1-3 and 1-4 probe units PU1-4 arranged in the lateral direction D1 can be included.
前記第2プローブユニットPU2は横方向D1に配置された第2-1プローブユニットPU2-1、縦方向D2に配置された第2-2プローブユニットPU2-2、前記縦方向D2に配置された第2-3プローブユニットPU2-3および前記横方向D1に配置された第2-4プローブユニットPU2-4を含むことができる。 The second probe unit PU2 includes a 2-1 probe unit PU2-1 arranged in the horizontal direction D1, a 2-2 probe unit PU2-2 arranged in the vertical direction D2, and a 2-2 probe unit PU2-2 arranged in the vertical direction D2. It can include a 2-3 probe unit PU2-3 and a 2-4 probe unit PU2-4 arranged in the lateral direction D1.
ここで、前記第1-1プローブユニットPU1-1および前記第2-1プローブユニットPU2-1は図面に図示された通り、単一ユニットで形成されてもよい。 Here, the 1-1 probe unit PU1-1 and the 2-1 probe unit PU2-1 may be formed as a single unit as shown in the drawings.
前記プローブブロック積載ユニット3000に積載されたプローブブロックPBは検査の対象となるディスプレイパネルDPに基づいて搬出されてプローブユニットPU1、PU2上に装着され得、プローブブロックPBの搬出および装着は図示されていない搬出装着手段によって具現され得る。
The probe blocks PB loaded on the probe
搬出装着手段はロボットアームなどの多様な公知の手段であってもよく、例えば、ベルトまたはレールなどを含むなどの特別な制限がない。 The unloading/mounting means may be any of a variety of known means such as robotic arms, including, but not limited to, belts or rails, for example.
以下では、図20に図示されたディスプレイパネル検査装置200によりマザーガラスパネルMPに含まれた65インチディスプレイパネルと55インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される過程を説明する。
Hereinafter, the process of inspecting the 65-inch display panel and the 55-inch display panel included in the mother glass panel MP for defects by the display
図21~図28は、本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってマザーガラスパネルに備えられる65インチディスプレイパネルと55インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される状況を説明するための図面である。 FIGS. 21 to 28 are diagrams for explaining how a 65-inch display panel and a 55-inch display panel provided on a mother glass panel are inspected for defects by the display panel inspection apparatus according to the present invention. .
まず、一つのマザーガラスパネルMPに65インチディスプレイパネル3個と55インチディスプレイパネル2個か含まれており、それぞれのディスプレイパネルの電極パッドは各側面のすべてに備えられている場合を仮定して説明するものの、65インチディスプレイパネルを優先的に検査し、すべての65インチディスプレイパネルに対して検査が完了した後に55インチディスプレイパネルに対する検査が進行されるものと仮定して説明する。 First, it is assumed that one mother glass panel MP includes three 65-inch display panels and two 55-inch display panels, and electrode pads are provided on each side of each display panel. However, it is assumed that the 65-inch display panel is inspected first, and the 55-inch display panel is inspected after all the 65-inch display panels are inspected.
本発明に係るディスプレイパネル検査装置200は、図示されていない感知ユニットにマザーガラスパネルMPに65インチディスプレイパネル3個と55インチディスプレイパネル2個が含まれていることを感知することになる。
The display
前記感知ユニットはカメラなどを利用した撮像ユニットおよび/または各種センサユニットなどを含むことができ、前記マザーガラスパネルMPがステージモジュール110上に載置された後、前記マザーガラスパネルMPが前記真空吸着モジュール140に吸着された状態で前記プローブユニットPU、PU2が配置された位置に移動する前または移動する途中で、前記マザーガラスパネルMPを構成するディスプレイパネルDPの大きさ、ディスプレイパネルDPの電極パッドの個数および形成位置などを感知することになる。
The sensing unit may include an imaging unit using a camera and/or various sensor units. The size of the display panel DP constituting the mother glass panel MP, the electrode pads of the display panel DP, and the electrode pads of the display panel DP before or during the movement to the position where the probe units PU and PU2 are arranged while being adsorbed to the
もちろん、前記感知ユニットによる前記ディスプレイパネルDPの電極パッドの個数および形成位置などによる感知は、ディスプレイパネル検査装置200により検査が進行される前であれば時間上の制約はない。
Of course, the detection of the number and formation positions of the electrode pads of the display panel DP by the sensing unit is not restricted in terms of time before the inspection by the display
前記感知ユニットによって前記マザーガラスパネルMPを構成するディスプレイパネルDPの大きさおよび/または種類が感知されると、制御ユニットによってどの種類のディスプレイパネルを先に検査するかを決定することになり、以下では、前述した通り、65インチディスプレイパネルが55インチディスプレイパネルより優先的に検査対象として決定された状況を例として説明する。 When the sensing unit senses the size and/or type of the display panel DP constituting the mother glass panel MP, the control unit determines which type of display panel to inspect first. Now, as described above, a situation in which the 65-inch display panel is determined to be inspected with priority over the 55-inch display panel will be described as an example.
前記制御ユニットによってマザーガラスパネルMPに形成されたディスプレイパネルの大きさおよび/または種類が感知され、感知されたディスプレイパネルのうち65インチディスプレイパネルを優先的に検査する場合、前記制御ユニットは前記感知ユニットによって感知された65インチディスプレイパネルの電極パッドの個数および形成位置などに基づいて、プローブブロック積載ユニット3000に積載されたプローブブロックPBのうち検査に必要なプローブブロックPBを選択し、プローブユニットPU1、PU2上の装着領域SRのうち選択されたプローブブロックが装着されなければならない装着領域SRを選択決定する。
When the size and/or type of display panels formed on the mother glass panel MP are sensed by the control unit, and the 65-inch display panel among the sensed display panels is preferentially inspected, the control unit senses Based on the number and formation position of the electrode pads of the 65-inch display panel sensed by the unit, the probe block PB required for inspection is selected from the probe blocks PB loaded on the probe
ここで、前記装着領域SRはプローブブロックPBがそれぞれ個別的に装着されるための領域であり、前記プローブユニットPU1、PU2は複数の装着領域SRを具備することができ、検査の対象となるディスプレイの種類、電極パッドの形成位置および個数などにより特定装着領域SRにはプローブブロックが装着されなくてもよい。 Here, the mounting area SR is an area for individually mounting the probe blocks PB. The probe block may not be attached to the specific attachment region SR depending on the type of electrode pad, the formation position and number of electrode pads, and the like.
一方、前記制御ユニットは前記のような過程が完了すると、第1プローブユニットPU1を制御する。 Meanwhile, the control unit controls the first probe unit PU1 after completing the above-described processes.
すなわち、前記制御ユニットは前記第1-1プローブユニットPU1-1が固定された状態で、前記第1-2プローブユニットPU1-2、前記第1-3プローブユニットPU1-3および前記第1-4プローブユニットPU1-4のうち少なくとも一つを位置移動させて、第1プローブユニットPU1が前記65インチディスプレイパネルに備えられる電極パッドと対応する位置に配置されるようにする。 That is, the control unit controls the 1-2nd probe unit PU1-2, the 1-3rd probe unit PU1-3 and the 1-4th probe unit PU1-3 while the 1-1st probe unit PU1-1 is fixed. At least one of the probe units PU1-4 is moved so that the first probe unit PU1 is positioned corresponding to the electrode pads provided on the 65-inch display panel.
例えば、前記制御ユニットは図21に図示された通り、前記第1-1プローブユニットPU1-1が支持プレートユニット210上に固定された状態で、前記第1-2プローブユニットPU1-2、前記第1-3プローブユニットPU1-3および前記第1-4プローブユニットPU1-4を前記支持プレートユニット210上で位置移動させることができ、位置移動は直線移動による位置移動であってもよい。
For example, as shown in FIG. 21, the control unit controls the first-second probe unit PU1-2, second The 1-3 probe unit PU1-3 and the 1-4 probe unit PU1-4 can be moved on the
ここで、前記位置移動はリニアモーションガイド、モータ、ボールスクリューおよびボールナットなどの多様な公知の要素を利用して具現され得るが、これは一例に過ぎず、多様な公知の移動方式が適用されて具現され得る。 Here, the position movement can be implemented using various known elements such as a linear motion guide, motor, ball screw and ball nut, but this is only an example and various known movement methods can be applied. can be embodied in
前記第1-2プローブユニットPU1-2および前記第1-3プローブユニットPU1-3は互いに向かって所定距離接近することができ、第1-4プローブユニットPU1-4は第1-1プローブユニットPU1-1に向かって所定距離接近することができる。 The 1-2nd probe unit PU1-2 and the 1-3rd probe unit PU1-3 can approach each other by a predetermined distance, and the 1-4th probe unit PU1-4 can approach the 1-1st probe unit PU1. -1 can be approached by a predetermined distance.
ここで、前記第1-4プローブユニットPU1-4は直線移動時、前記第1-2プローブユニットPU1-2および前記第1-3プローブユニットPU1-3との干渉が防止されるように、前記第1-2プローブユニットPU1-2および前記第1-3プローブユニットPU1-3の下部で位置移動が具現され得る。 Here, when the 1-4th probe unit PU1-4 is linearly moved, the above-mentioned Positional movement can be realized at the bottom of the first-second probe unit PU1-2 and the first-third probe unit PU1-3.
前記のように65インチディスプレイパネルを検査するために第1プローブユニットPU1の位置移動が完了すると、制御ユニットは選択されたプローブブロックPBが搬出装着手段によって第1-1プローブユニットPU1-1上の定められた装着領域SR、第1-2プローブユニットPU1-2上の定められた装着領域SR、第1-3プローブユニットPU1-3上の定められた装着領域SR、第1-4プローブユニットPU1-4上の定められた装着領域SRに装着されるように、前記搬出装着手段を制御する。 When the positional movement of the first probe unit PU1 for inspecting the 65-inch display panel is completed as described above, the control unit detects that the selected probe block PB is placed on the 1-1 probe unit PU1-1 by the unloading/mounting means. Determined mounting area SR, determined mounting area SR on 1-2 probe unit PU1-2, determined mounting area SR on 1-3 probe unit PU1-3, 1-4 probe unit PU1 -4 to control the unloading/mounting means so that it is mounted in the predetermined mounting area SR above.
プローブブロックPBの装着は図22および図23に図示された通り、位置固定部3001、3003および案内部3005、3007の相互作用によって安定的に具現され得、前記位置固定部3001、3003は前記プローブブロックPBの底面から陥入して形成される第1位置固定部3001および前記底面から突出して形成される第2位置固定部3003を含むことができる。
As shown in FIGS. 22 and 23, the mounting of the probe block PB can be stably implemented by the interaction of the
前記案内部3005、3007はプローブユニットPU1、PU2の上面から突出して形成される第1案内部3005および前記上面から陥入して形成される第2案内部3007を含むことができる。
The
前記プローブブロックPBは前記第1位置固定部3001が前記第1案内部3005とマッチングされ、第2位置固定部3003が前記第2案内部3007とマッチングされることによって、安定的に前記プローブユニットPU1、PU2上の装着領域SRに装着され得るようになる。
In the probe block PB, the first
前記プローブユニットPU1、PU2上の装着領域SRは、プローブブロックPBが装着される位置を案内するために前記プローブブロックPBに形成された位置固定部3001、3003と相互作用をする案内部3005、3007を具備することができ、前記プローブユニットPU1、PU2に前記プローブブロックPBが安定的に装着されるようにする方式は前記の方式以外に他の公知の方式が適用されてもよい。
The mounting regions SR on the probe units PU1 and PU2 have guiding
一方、前記プローブブロック積載ユニット3000から前記プローブブロックPBが搬出されて、搬出された前記プローブブロックPBが前記プローブユニットPU1、PU2上の装着領域SRに装着されると、図22および図23に図示された通り、前記プローブブロックPBのプローブピン3002は接続端子3006と電源印加部3009による電気的接続によって電源の印加が可能であってもよい。
On the other hand, when the probe blocks PB are unloaded from the probe
前記電源印加部3009は前記プローブユニットPU1、PU2上にプローブブロックPBが装着される場合、前記プローブブロックPBに対して電源が印加されるようにする一種の電源印加端子パターンが形成された回路基板であってもよい。
The
前記プローブブロックPBはディスプレイパネルの電極パッドと接触するプローブピン3002、前記プローブピン3002を支持する本体3004、前記電源印加部3009との電気的接続によって前記電源が前記プローブピン3002に印加されるようにする接続端子3006および前記プローブピン3002と前記接続端子3006を電気的に連結するための回路パターン部3008を含むことができ、前記回路パターン部3008は印刷回路基板であってもよい。
The probe block PB is electrically connected to the probe pins 3002 contacting the electrode pads of the display panel, the
ここで、前記接続端子3006は前記電源印加部3009により電源が印加される電源印加端子と同じ個数または以下の個数で形成され得、前記回路パターン部3008は前記プローブピン3002の個数が前記電源印加端子の個数より少ない場合、前記電源印加端子に印加された電源の一部のみ前記プローブピン3002に印加されるようにすることができる印刷回路基板であってもよい。
Here, the
一方、搬出装着手段によってプローブブロック積載ユニット3000から搬出されたプローブブロックのうち、前記第1-4プローブユニットPU1-4に装着されるプローブブロックPBは前記プローブブロック積載ユニット3000から搬出されて前記第1-2プローブユニットPU1-2または前記第1-3プローブユニットPU1-3に装着されるプローブブロックPBより高さ方向D3に長く形成されて、前記第1-2プローブユニットPU1-2および前記第1-3プローブユニットPU1-3を基準とした前記第1-4プローブユニットPU1-4の前記高さ方向D3への位置を補償することができる。
On the other hand, among the probe blocks carried out from the probe
換言すると、検査の対象となるディスプレイパネルDPは水平状態を維持することになるが、この状態でプローブブロックPBのプローブピン3002がすべての電極パッドに接触するためには、すべてが同一の高さに位置しなければならない。 In other words, the display panel DP to be tested is maintained in a horizontal state. must be located in
このような理由により、前記第1-2プローブユニットPU1-2および前記第1-3プローブユニットPU1-3より相対的に低い位置に位置する第1-4プローブユニットPU1-4の場合には、前記第1-2プローブユニットPU1-2および前記第1-3プローブユニットPU1-3に装着されるプローブブロックPBより高さ方向D3にさらに長いプローブブロックPBが装着されなければならないのである。 For this reason, in the case of the 1-4th probe unit PU1-4 positioned relatively lower than the 1-2nd probe unit PU1-2 and the 1-3rd probe unit PU1-3, A probe block PB that is longer in the height direction D3 than the probe blocks PB mounted on the 1-2nd probe unit PU1-2 and the 1-3rd probe unit PU1-3 should be mounted.
つまり、プローブブロックPBが第1-4プローブユニットPU1-4に装着されなければならない場合、制御ユニットは高さ方向D3への位置補償のためのプローブブロックPBを選択するのである。 That is, when the probe block PB is to be attached to the 1st-4th probe units PU1-4, the control unit selects the probe block PB for position compensation in the height direction D3.
もちろん、前記第1-4プローブユニットPU1-4に装着されなければならないプローブブロックPBは、スペーサーなどの別途の構成要素と結合されて前記第1-2プローブユニットPU1-2および前記第1-3プローブユニットPU1-3に装着されるプローブブロックPBより高さ方向D3にさらに長く具現されてもよい。 Of course, the probe block PB, which must be attached to the 1-4 probe unit PU1-4, is combined with a separate component such as a spacer to form the 1-2 probe unit PU1-2 and the 1-3 It may be longer in the height direction D3 than the probe blocks PB mounted on the probe units PU1-3.
前記では制御ユニットによって第1プローブユニットPU1が前記65インチディスプレイパネルに備えられる電極パッドと対応する位置に配置された後、プローブブロックPBが前記第1プローブユニットPU1上に装着されるものとして説明したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、前記プローブブロックPBが前記第1プローブユニットPU1上に装着された後、前記プローブブロックPBが装着された前記第1プローブユニットPU1が前記65インチディスプレイパネルに備えられる電極パッドと対応する位置に配置されてもよい。 In the above description, it has been described that the first probe block PB is mounted on the first probe unit PU1 after the first probe unit PU1 is positioned corresponding to the electrode pads provided on the 65-inch display panel by the control unit. However, it is not necessarily limited to this. After the probe block PB is mounted on the first probe unit PU1, the first probe unit PU1 mounted with the probe block PB is mounted on the 65-inch display panel. may be arranged at positions corresponding to the electrode pads provided in the .
図24に図示された通り、第1プローブユニットPU1上に前記65インチディスプレイパネルの検査のためのプローブブロックPBの装着が完了すると、前記第1プローブユニットPU1は第25に図示された通り、支持プレートユニット210の回転(R)により180度回転されることになる。
As shown in FIG. 24, when the mounting of the probe block PB for inspecting the 65-inch display panel on the first probe unit PU1 is completed, the first probe unit PU1 is supported as shown in FIG. Rotation (R) of the
前記支持プレートユニット210の回転によって前記第1プローブユニットPU1が回転されると、真空吸着モジュール140の位置移動によって65インチディスプレイパネルの電極パッドは第1プローブユニットPU1に装着されたプローブブロックPBのプローブピン3002と接触することになり、電源印加部3009を通じての電源の印加によって不良の有無に対する検査が進行されることになる。
When the first probe unit PU1 is rotated by the rotation of the
一方、図26に図示された通り、第1プローブユニットPU1により65インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される途中、第2プローブユニットPU2は制御ユニットによって55インチディスプレイパネルの不良の有無に対する検査のための準備をすることになる。 Meanwhile, as shown in FIG. 26, while the first probe unit PU1 is inspecting the 65-inch display panel for defects, the second probe unit PU2 detects whether the 55-inch display panel is defective by the control unit. I will prepare for the inspection.
制御ユニットは第2-1プローブユニットPU2-1が固定された状態で、第2-2プローブユニットPU2-2、第2-3プローブユニットPU2-3および第2-4プローブユニットPU2-4のうち少なくとも一つを位置移動させて、第2プローブユニットPU2が前記55インチディスプレイパネルに備えられる電極パッドと対応する位置に配置されるようにする。 With the 2-1 probe unit PU2-1 fixed, the control unit controls the 2-2 probe unit PU2-2, the 2-3 probe unit PU2-3, and the 2-4 probe unit PU2-4. At least one of them is moved so that the second probe unit PU2 is positioned corresponding to the electrode pads provided on the 55-inch display panel.
例えば、前記制御ユニットは図26に図示された通り、前記第2-1プローブユニットPU2-1が支持プレートユニット210上に固定された状態で、前記第2-2プローブユニットPU2-2、前記第2-3プローブユニットPU2-3および前記第2-4プローブユニットPU2-4を前記支持プレートユニット210上で位置移動させることができ、位置移動は直線移動による位置移動であってもよい。
For example, as shown in FIG. 26, the control unit can control the second-second probe unit PU2-2, the first-second The 2-3 probe unit PU2-3 and the 2-4 probe unit PU2-4 can be moved on the
ここで、前記位置移動はリニアモーションガイド、モータ、ボールスクリューおよびボールナットなどの多様な公知の要素を利用して具現され得るが、これは一例に過ぎず、多様な公知の移動方式が適用されて具現され得る。 Here, the position movement can be implemented using various known elements such as a linear motion guide, motor, ball screw and ball nut, but this is only an example and various known movement methods can be applied. can be embodied in
前記第2-2プローブユニットPU2-2および前記第2-3プローブユニットPU2-3は互いに向かって所定距離接近することができ、第2-4プローブユニットPU2-4は第2-1プローブユニットPU2-1に向かって所定距離接近することができる。 The 2-2nd probe unit PU2-2 and the 2-3rd probe unit PU2-3 can approach each other by a predetermined distance, and the 2-4th probe unit PU2-4 can approach the 2-1st probe unit PU2. -1 can be approached by a predetermined distance.
ここで、前記第2-4プローブユニットPU2-4は直線移動時、前記第2-2プローブユニットPU2-2および前記第2-3プローブユニットPU2-3との干渉が防止されるように、前記第2-2プローブユニットPU2-2および前記第2-3プローブユニットPU2-3の下部で位置移動が具現され得る。 Here, the 2nd-4th probe unit PU2-4 is configured to prevent interference with the 2nd-2nd probe unit PU2-2 and the 2nd-3rd probe unit PU2-3 during linear movement. A positional movement can be implemented at the bottom of the 2-2 probe unit PU2-2 and the 2-3 probe unit PU2-3.
前記のように55インチディスプレイパネルを検査するために第2プローブユニットPU2の位置移動が完了すると、制御ユニットは選択されたプローブブロックPBが搬出装着手段によって第2-1プローブユニットPU2-1上の定められた装着領域SR、第2-2プローブユニットPU2-2上の定められた装着領域SR、第2-3プローブユニットPU2-3上の定められた装着領域SR、第2-4プローブユニットPU2-4上の定められた装着領域SRに装着されるように、前記搬出装着手段を制御する。 When the positional movement of the second probe unit PU2 to inspect the 55-inch display panel is completed as described above, the control unit detects that the selected probe block PB is placed on the 2-1 probe unit PU2-1 by the unloading/mounting means. Determined mounting area SR, determined mounting area SR on the 2-2nd probe unit PU2-2, determined mounting area SR on the 2-3rd probe unit PU2-3, 2-4th probe unit PU2 -4 to control the unloading/mounting means so that it is mounted in the predetermined mounting area SR above.
その結果、図27に図示された通り、第2プローブユニットPU2上に前記55インチディスプレイパネルの検査のためのプローブブロックPBの装着が完了し、第1プローブユニットPU1により65インチディスプレイパネルすべてに対する検査が完了すると、支持プレートユニット210の回転(R)により図28に図示された通り、第2プローブユニットPU2は180度回転されることになる。
As a result, as shown in FIG. 27, the mounting of the probe block PB for testing the 55-inch display panel on the second probe unit PU2 is completed, and all the 65-inch display panels are tested by the first probe unit PU1. is completed, the rotation (R) of the
前記支持プレートユニット210の回転によって前記第2プローブユニットPU2が回転されると、真空吸着モジュール140の位置移動によって55インチディスプレイパネルの電極パッドは第2プローブユニットPU2に装着されたプローブブロックPBのプローブピン3002と接触することになり、電源印加部3009を通じての電源の印加によって不良の有無に対する検査が進行されることになる。
When the second probe unit PU2 is rotated by the rotation of the
ここで、前記第1プローブユニットPU1に装着されたプローブブロックPBは、搬出装着手段によってプローブブロック積載ユニット3000に移動するなどのさらに異なる大きさのディスプレイパネルを検査するための準備モードに進行されることになり、前記のような過程が繰り返されることになる。
Here, the probe block PB mounted on the first probe unit PU1 is moved to the probe
一方、前記では検査の対象となるディスプレイパネルDPの電極パッドが4個の側面すべてに形成されたものを例として説明したが、検査の対象となるディスプレイパネルDPの電極パッドは4個の側面のうち一部の側面にのみ形成されてもよく、この場合、検査に必要なプローブユニットも一部のみが使われ得ることは言うまでもない。 On the other hand, in the above description, the electrode pads of the display panel DP to be inspected are formed on all four side surfaces. Of course, only some of the side surfaces may be formed, and in this case, only some of the probe units required for inspection may be used.
前記の内容を整理すると、下記の通りである。 The above contents are organized as follows.
本発明に係るディスプレイパネル検査装置200は、プローブユニットPU1、PU2上に検査に必要なプローブブロックPBを選別的に装着してディスプレイパネルDPに対する検査を進行し、他のディスプレイパネルDPに対する検査を進行しようとする場合、プローブユニットPU1、PU2の取り替えなしにプローブブロックPBの取り替えを通じてより便利に検査作業を進行して歩留まりなどを向上させることができる装置である。
The display
このために、前記ディスプレイパネル検査装置200はプローブブロック組立体2000およびプローブブロック積載ユニット3000を含むことができ、前記プローブブロック組立体2000はディスプレイパネルDPの側面に備えられる複数の電極パッドと接触する複数のプローブブロックPB、および前記複数のプローブブロックPBを支持するプローブユニットPU1、PU2を含むことができる。
For this purpose, the display
ここで、前記複数のプローブブロックPBはディスプレイパネルDPに対する検査が進行されるために、それぞれ前記プローブブロック積載ユニット3000に積載されたプローブブロックPB内で選択された後、搬出されて前記ディスプレイパネルDPの不良の有無に対する検査が進行されるための位置に存在している前記プローブユニットPU1、PU2上の所定の位置に装着されることになる。
Here, in order to inspect the display panel DP, the plurality of probe blocks PB are selected from among the probe blocks PB loaded on the probe
前記プローブユニットPU1、PU2はプローブブロックPBがそれぞれ個別的に装着されるための複数の装着領域SRを具備することができ、前記複数の装着領域SRのうち、プローブブロックPBが装着されるための装着される装着領域SRは検査の対象となるディスプレイパネルDPの電極パッドの個数および形成位置に基づいて選択されることになる。 The probe units PU1 and PU2 may include a plurality of mounting areas SR for individually mounting the probe blocks PB. Among the plurality of mounting areas SR, the probe blocks PB may be mounted. The mounting region SR to be mounted is selected based on the number and formation position of the electrode pads of the display panel DP to be inspected.
一方、前記プローブユニットPU1、PU2は第1プローブユニットPU1および第2プローブユニットPU2を含むことができ、前記第1プローブユニットPU1および前記第1プローブユニットPU1上に装着されたプローブブロックPBにより特定ディスプレイパネルの検査が完了すると、大きさの異なる他のディスプレイパネルの検査のために回転されて前記第1プローブユニットPU1と前記第2プローブユニットPU2の位置が互いに入れ替えられるようにして、前記第2プローブユニットPU2および前記第2プローブユニットPU2上に装着されたプローブブロックPBにより前記他のディスプレイパネルの検査が進行されるようにすることができる。 Meanwhile, the probe units PU1 and PU2 may include a first probe unit PU1 and a second probe unit PU2, and a specific display is performed by a probe block PB mounted on the first probe unit PU1 and the first probe unit PU1. When the inspection of the panel is completed, the second probe is rotated so that the positions of the first probe unit PU1 and the second probe unit PU2 are exchanged for inspection of other display panels of different sizes. The other display panel can be inspected by the unit PU2 and the probe block PB mounted on the second probe unit PU2.
すなわち、前記プローブユニットPU1、PU2は外部に存在する他のプローブユニットとの取り替えなしに前記特定ディスプレイパネルおよび前記他のディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行され得る。 That is, the probe units PU1 and PU2 can be inspected for defects in the specific display panel and the other display panels without being replaced with other external probe units.
もちろん、前記第1プローブPU1または前記第2プローブユニットPU2は、互いに位置を入れ替えることなく検査のために現在装着されたプローブブロックPBを取り替えることだけで、現在不良の有無に対する検査が進行されるディスプレイパネルと異なる大きさのディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにすることができる。 Of course, the first probe PU1 or the second probe unit PU2 are not replaced with each other, but only by replacing the probe block PB currently mounted for inspection, so that the display on which the inspection for the presence or absence of the current defect is progressing. A display panel having a size different from that of the panel may be inspected for defects.
前記で言及したプローブブロック組立体2000は、プローブユニット上にディスプレイパネルDPの検査に必要な複数のプローブブロックPBを必要に応じて装着して前記ディスプレイパネルDPの検査を進行できる組立体であって、フェイスダウン(Face down)またはフェイスアップ(Face up)方式でディスプレイパネルDPの検査のための装置にはすべて適用可能であってもよい。
The
この時、前記プローブブロック組立体2000の制御方法は、マザーガラスパネルMPに含まれた少なくとも一種類以上のディスプレイパネル-前記ディスプレイパネルは、側面に沿って形成された複数の電極パッドを具備する-のうち不良の有無に対する検査が必要な第1ディスプレイパネルの複数の電極パッドの個数および形成位置を感知する第1段階、前記第1段階による前記感知結果に基づいて、プローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロックのうち検査に必要なプローブブロックを選択する第2段階、前記第1段階による前記感知結果に基づいて、プローブユニット上の装着領域のうちプローブブロックが装着されなければならない装着領域を選択する第3段階および前記選択されたプローブブロックを前記プローブブロック積載ユニットから搬出して、前記選択された装着領域に装着させる第4段階を含むことができる。
At this time, the control method of the
ここで、前記第4段階は前記第1ディスプレイパネルの検査が完了した後、大きさの異なる第2ディスプレイパネルの検査のために、前記装着領域に装着されたプローブブロックのうち少なくとも一つが不要であるか取り替えが必要な場合、前記不要であるか取り替えが必要なプローブブロックを選択した後、搬出して前記プローブブロック積載ユニットに積載する段階を含むことができる。 Here, in the fourth step, after the first display panel has been tested, at least one of the probe blocks mounted in the mounting area is unnecessary for testing the second display panel having a different size. The method may include a step of selecting the probe blocks that are unnecessary or need to be replaced, and unloading and loading them on the probe block loading unit when the probe blocks are unneeded or need to be replaced.
また、前記第4段階は前記第1ディスプレイパネルの検査が完了した後、大きさの異なる第2ディスプレイパネルの検査のために、追加プローブブロックが必要な場合、前記プローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロックで前記追加プローブブロックを選択して、前記追加プローブブロックが装着されなければならない装着領域を選択した後、前記選択された追加プローブブロックを前記選択された装着領域に装着する段階を含むことができる。 In addition, in the fourth step, when an additional probe block is required for testing a second display panel having a different size after the testing of the first display panel is completed, it is loaded on the probe block loading unit. selecting the additional probe block in the probe block, selecting a mounting region where the additional probe block should be mounted, and then mounting the selected additional probe block in the selected mounting region. can be done.
したがって、前記プローブブロック組立体はプローブブロックの取り替えによって数多くの種類のディスプレイパネルの不良の有無に対する検査を進行できることになる。 Therefore, the probe block assembly can inspect various types of display panels for defects by replacing the probe block.
図29は、プローブブロックに提供されるプローブピンに電源が印加される他の方法を説明するための図面である。 FIG. 29 is a diagram illustrating another method of applying power to probe pins provided in a probe block.
図29を参照すると、プローブブロックPB’の接続端子3106と電源印加部3109の接続はソケットなどの方式によって具現され得る。
Referring to FIG. 29, the connection between the
ここで、搬出装着手段はプローブブロック積載ユニット3000からプローブブロックPB’を搬出する場合、本体3104および接続端子3106をグリップした後、前記本体3104をプローブユニット上の装着領域に載置させると共に前記接続端子3106を電源印加部3109に挿入して、前記接続端子3106と前記電源印加部3109の電気的接続が具現されるようにする。
Here, when carrying out the probe block PB' from the probe
図30および図31は、プローブユニット上にプローブブロックを固定または分離させるための方法を説明するための図面である。 30 and 31 are drawings for explaining a method for fixing or separating the probe block on the probe unit.
図30を参照すると、プローブユニットの装着領域は区画壁Wによって区画され得、プローブブロックPBは第1固定手段3200および第2固定手段3300により位置固定および分離が可能であってもよい。 Referring to FIG. 30, the probe unit mounting area may be partitioned by a partition wall W, and the probe block PB may be positionally fixed and separated by first fixing means 3200 and second fixing means 3300 .
前記第1固定手段3200は高さ方向D3に位置移動が可能であってもよく、高さ方向D3の下側に移動することになると、第2固定手段3300はヒンジを基準として回転することになってプローブブロックPBの分離が可能となる。 The first fixing means 3200 may be movable in the height direction D3, and when it moves downward in the height direction D3, the second fixing means 3300 rotates around the hinge. As a result, separation of the probe block PB becomes possible.
図31を参照すると、第3固定手段3400によりプローブブロックPBの位置固定および分離が可能であってもよく、前記第3固定手段3400のスライディングによってプローブブロックPBを加圧していた加圧手段3500は回転することになって、プローブブロックPBの分離が可能となる。
Referring to FIG. 31, the position of the probe block PB may be fixed and separated by a third fixing means 3400, and the
前記では本発明に係る実施例を基準として本発明の構成と特徴を説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明の思想と範囲内で多様に変更または変形できることは本発明が属する技術分野の当業者に明白なものであり、したがってこのような変更または変形は添付された特許請求の範囲に属するものであることを明らかにする。 Although the configuration and features of the present invention have been described above based on the embodiments of the present invention, the present invention is not limited thereto, and the present invention belongs to the present invention that can be variously changed or modified within the spirit and scope of the present invention. Such modifications or variations are obvious to those skilled in the art and are therefore intended to be covered by the appended claims.
Claims (8)
前記複数のプローブブロックを支持するプローブユニットと、
を含み、
前記複数のプローブブロックは、
それぞれの前記複数の電極パッドに接触するそれぞれのプローブピンを具備し、
前記ディスプレイパネルに対する検査が進行されるために、それぞれの前記複数のプローブブロックがプローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロックのうちで選択された後、搬出されて前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるための位置に存在する前記プローブユニット上の所定の位置に装着されることを特徴とする、ディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。 One surface of the mother glass panel is provided with at least one type of display panel on which an organic material layer for forming an organic light emitting layer is deposited, and the display panel is provided with a plurality of electrode pads formed along the side surface. a plurality of probe blocks contacting the plurality of electrode pads of the display panel moved to the inspection position through the positional movement of the mother glass panel to inspect for defects;
a probe unit that supports the plurality of probe blocks;
including
The plurality of probe blocks are
comprising respective probe pins contacting each of the plurality of electrode pads;
In order to inspect the display panel, each of the plurality of probe blocks is selected from among the probe blocks loaded on the probe block loading unit and then unloaded to inspect the display panel for defects. A probe block assembly for inspecting a display panel, wherein the probe block assembly is mounted at a predetermined position on the probe unit located at a position for advancing.
前記不要であるか取り替えが必要なプローブブロックは、
前記プローブユニットから選択された後に搬出されて前記プローブブロック積載ユニットに積載されることを特徴とする、請求項1に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。 If at least one of the plurality of probe blocks is unnecessary or needs to be replaced in order to inspect another display panel having a different size after the inspection of the display panel is completed;
The probe block that is unnecessary or needs to be replaced,
2. The probe block assembly of claim 1, wherein the probe block assembly is unloaded and loaded on the probe block loading unit after being selected from the probe unit.
前記ディスプレイパネルの検査が完了した後、大きさの異なる他のディスプレイパネルの検査のために追加プローブブロックが必要な場合、前記プローブブロック積載ユニットに積載されたプローブブロックのうちで前記追加プローブユニットが選択された後、搬出されて前記追加プローブユニットが装着され得る装着領域を提供することを特徴とする、請求項1に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。 The probe unit is
After completing the inspection of the display panel, if an additional probe block is required for inspection of another display panel having a different size, the additional probe unit among the probe blocks loaded on the probe block loading unit is used. 2. The probe block assembly for testing a display panel as claimed in claim 1, wherein the probe block assembly is carried out after being selected to provide a mounting area in which the additional probe unit can be mounted.
プローブブロックがそれぞれ個別的に装着されるための複数の装着領域を具備し、
前記複数の装着領域のうちプローブブロックが装着されるための装着領域は、
検査の対象となるディスプレイパネルの電極パッドの個数および形成位置に基づいて選択されることを特徴とする、請求項1に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。 The probe unit is
comprising a plurality of mounting areas for individually mounting the probe blocks;
A mounting region for mounting a probe block among the plurality of mounting regions,
2. The probe block assembly for testing a display panel as claimed in claim 1, wherein the probe block assembly is selected based on the number and positions of electrode pads of the display panel to be tested.
それぞれプローブブロックが装着される位置を案内するために、前記プローブブロックに形成された位置固定部と相互作用をする案内部を具備することを特徴とする、請求項4に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。 The plurality of mounting areas are
5. The display panel tester of claim 4, further comprising a guide part interacting with a position fixing part formed in the probe block to guide a position where each probe block is mounted. probe block assembly for
前記プローブブロックは、
複数のプローブピンと、
前記複数のプローブピンを支持する本体と、
前記電源印加部との電気的接続によって前記電源が前記複数のプローブピンに印加されるようにする接続端子と、
前記複数のプローブピンと前記接続端子とを電気的に連結するための回路パターン部と、
を含むことを特徴とする、請求項1に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。 further comprising a power applying unit for applying power to each of the probe blocks when the plurality of probe blocks are mounted on the probe unit;
The probe block is
a plurality of probe pins;
a body supporting the plurality of probe pins;
a connection terminal for applying the power to the plurality of probe pins by electrical connection with the power applying unit;
a circuit pattern portion for electrically connecting the plurality of probe pins and the connection terminal;
A probe block assembly for testing a display panel as claimed in claim 1, comprising:
前記電源印加部によって電源が印加される電源印加端子と同じ個数または以下の個数で形成され、
前記回路パターン部は、
前記複数のプローブピンの個数が前記電源印加端子の個数より少ない場合、前記電源印加端子に印加された電源の一部のみが前記複数のプローブピンに印加されるようにすることを特徴とする、請求項6に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。 The connection terminals are
formed in the same number as or less than the number of power supply terminals to which power is applied by the power supply unit;
The circuit pattern part is
When the number of the plurality of probe pins is less than the number of the power supply terminals, only part of the power applied to the power supply terminals is applied to the plurality of probe pins, A probe block assembly for testing a display panel as claimed in claim 6.
取り替えなしに、前記所定の位置に装着された前記複数のプローブブロックのうち少なくとも一つ以上を取り替えて、前記検査が進行される前記ディスプレイパネルと他のディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにすることを特徴とする、請求項1に記載のディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体。 The probe unit is
At least one of the plurality of probe blocks mounted at the predetermined position is replaced without replacement, and the display panel and other display panels to be inspected are inspected for defects. The probe block assembly for inspecting a display panel as claimed in claim 1, characterized in that:
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