JP2022534535A - 光学プローブシステムのためのキャリブレーションチャック、キャリブレーションチャックを含む光学プローブシステム、及び光学プローブシステムの利用方法 - Google Patents

Abstract

光学プローブシステムのためのキャリブレーションチャック、キャリブレーションチャックを含む光学プローブシステム、及び光学プローブシステムを利用する方法。キャリブレーションチャックは、キャリブレーションチャック支持面を画定するキャリブレーションチャック本体を含む。キャリブレーションチャックは、キャリブレーションチャック本体によって支持される少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体も含む。少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、水平視野構造体を含む。水平視野構造体は、キャリブレーションチャック支持面に対して少なくとも実質的に平行な水平視野方向からの水平視野領域の視認を容易にするように構成される。水平視野構造体は、キャリブレーションチャック支持面の垂直上に位置する光学プローブシステムの撮像デバイスを介して、水平視野領域の視認を容易にするように構成される。【選択図】図２

Description

関連出願の相互参照

本出願は、２０２０年５月２７日に出願された米国特許出願第１６／８８４，９２１号、及び２０１９年６月３日に出願された米国仮特許出願第６２／８５６，４１３号の優先権を主張し、その全開示が参照により本明細書に組み込まれる。

本開示は、一般に、光学プローブシステムのためのキャリブレーションチャック、キャリブレーションチャックを含む光学プローブシステム、及び光学プローブシステムの利用方法に関する。

光学プローブシステムは、光学デバイスの機能性、操作、及び／又は性能を、プローブするために、光学的にプローブするために、テストするために、及び／又は光学的にテストするために利用され得る。これは、光学デバイスに入射する１つ以上の光学テスト信号を導くこと、及び／又は光学デバイスから１つ以上の光学合成信号を受信することを含み得る。

一般に、光学プローブシステムを用いた光学デバイスのテスト前、テスト中、及び／又はテスト後に、光学プローブシステムを較正することが望ましい場合がある。従って、光学プローブシステム、キャリブレーションチャックを含む光学プローブシステム、及び／又は光学プローブシステムの利用方法のための改良されたキャリブレーションチャックが必要である。

光学プローブシステムのためのキャリブレーションチャック、前記キャリブレーションチャックを含む光学プローブシステム、及び前記光学プローブシステムの利用方法が開示される。キャリブレーションチャックは、キャリブレーションチャック支持面を画定し得るキャリブレーションチャック本体を含む。前記キャリブレーションチャックは、前記キャリブレーションチャック本体によって支持され得る少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体も含む。前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、水平視野構造体（viewing structure）を含んでもよい。前記水平視野構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面に対して少なくとも実質的に平行な水平視野方向からの水平視野領域の視認を容易にするように構成されてもよい。前記水平視野構造体は、前記光学プローブシステムの撮像デバイスを介して、前記水平視野領域の視認を容易にするように構成されてもよく、前記撮像デバイスは、前記キャリブレーションチャック支持面の垂直上に位置してもよい。

前記光学プローブシステムは、デバイス基板チャックと、光学プローブアセンブリと、信号生成及び分析アセンブリと、撮像デバイスと、前記キャリブレーションチャックと、を含む。前記デバイス基板チャックは、複数の光学デバイスを含むデバイス基板を支持するように構成され得るデバイス基板支持面を画定してもよい。前記光学プローブアセンブリは、少なくとも１つの光学プローブを含んでもよい。前記信号生成及び分析アセンブリは、前記少なくとも１つの光学プローブに光学テスト信号を提供するように、及び／又は前記少なくとも１つの光学プローブから光学合成信号を受信するように構成されてもよい。前記撮像デバイスは、前記デバイス基板チャック及び前記キャリブレーションチャックの垂直上に位置してもよい。

前記方法は、少なくとも１つの光学プローブをアライメントすること、及び前記少なくとも１つのプローブを用いてデータを収集することを含む。前記アライメントは、前記少なくとも１つの光学プローブを前記キャリブレーションチャックの前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体にアライメントすることを含んでもよい。前記データを収集することは、前記少なくとも１つの光学プローブを用いて且つ前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体を用いて前記データを収集することを含んでもよい。

本開示によるキャリブレーションチャックを含み得る及び／又は利用し得る光学プローブシステムの実施例の概略図である。 本開示によるキャリブレーションチャックの実施例の概略図である。 本開示によるキャリブレーションチャックの実施例の概略的でないプロファイル図である。 図３のキャリブレーションチャックの上面図である。 図３及び図４のキャリブレーションチャックの一部を示す上面図である。 図３乃至図５のキャリブレーションチャックの一部の概略側面図である。 本開示によるキャリブレーションチャックの水平視野構造体を利用して収集され得る画像の実施例を示す図である。 本開示による垂直視野構造体を用いて実行され得るテストの実施例を示す図である。 本開示による垂直視野構造体を用いて実行され得る別のテストの実施例を示す図である。 図９に示すテスト中に収集され得る画像の実施例である。 図９に示すテスト中に収集され得る別の画像の実施例である。 本開示による垂直視野構造体を用いて実行され得るテストの実施例を示す別の図である。 図３及び図４のキャリブレーションチャックの一部を示す上面図である。

図１乃至１３は、本開示による、キャリブレーションチャック１００、キャリブレーションチャックを含む光学プローブシステム１０、及び／又は光学プローブシステムの利用方法の実施例を提供する。同様又は少なくとも実質的に同様の目的を果たす要素は、図１乃至１３の各々において同様の参照番号が付され、これらの要素は、図１乃至１３の各々を参照して本明細書で詳細に説明されないことがある。同様に、全ての要素は、図１乃至１３の各々においてラベル付けされているわけではないが、一貫性のために、本明細書ではそれらに関連する参照番号を利用することがある。図１乃至１３のうち１つ以上を参照して、本明細書で説明される要素、構成、及び／又は特徴は、本開示の範囲から逸脱することなく、図１乃至１３のうちのいずれかに含まれ、及び／又はそれらと共に利用され得る。

一般に、特定の実施形態に含まれる可能性が高い要素は実線で示され、任意選択の要素は破線で示される。しかしながら、実線で示される要素は必須ではなく、いくつかの実施形態では、本開示の範囲から逸脱することなく省略されてもよい。

図１は、本開示によるキャリブレーションチャック１００を含み得る及び／又は利用し得る光学プローブシステム１０の実施例の概略図である。光学プローブシステム１０は、本明細書ではプローブシステム１０及び／又はシステム１０とも称される。光学プローブシステム１０は、デバイス基板支持面２２を画定するデバイス基板チャック２０を含む。デバイス基板支持面２２は、複数の光学デバイス３２を含み得るデバイス基板３０を支持するように構成される。

光学プローブシステム１０は、光学プローブアセンブリ４０も含む。光学プローブアセンブリ４０は、少なくとも１つの光学プローブ４２を含む。いくつかの実施例では、図１に破線で示されるように、光学プローブシステム１０は、複数の光学プローブアセンブリ４０を含んでもよく、及び／又は所与の光学プローブアセンブリ４０は、複数の光学プローブ４２を含んでもよい。

図１に破線で示されるように、光学プローブアセンブリ４０は、少なくとも１つの電気プローブ３８も含むプローブアセンブリ３６の一部を形成してもよい。電気プローブ３８は、存在する場合、光学デバイス３２に電気テスト信号を供給するように、及び／又は光学デバイスから電気合成（resultant）信号を受信するように構成されてもよい。

光学プローブシステム１０は、信号生成及び分析アセンブリ５０を更に含む。信号生成及び分析アセンブリ５０は、少なくとも１つの光学プローブアセンブリ４０及び／又はその少なくとも１つの光学プローブ４２に光学テスト信号５２を提供し、及びに／又は、少なくとも１つの光学プローブアセンブリ４０及び／又はその少なくとも１つの光学プローブ４２から光学合成信号５６を受信するように構成される。追加的に又は代替的に、信号生成及び分析アセンブリ５０は、少なくとも１つの電気プローブに電気テスト信号を供給するように、及び／又は少なくとも１つの電気プローブから電気合成信号を受信するように構成されてもよい。

従って、光学プローブシステム１０は、光学デバイス３２の任意の適切な光学的及び／又は電気テストを実行するように構成されてもよい。例として、このテストは、光学デバイスに電気テスト信号を提供し、光学デバイスから対応する光学合成信号を受信するテスト、光学デバイスに光学テスト信号を提供し、光学デバイスから対応する電気合成信号を受信するテスト、光学テスト信号を光学デバイスに提供し、光学デバイスから対応する光学合成信号を受信するテスト、及び／又は光学デバイスに電気テスト信号を提供し、光学デバイスから電気合成信号を受信するテストを含んでもよい。

光学プローブシステム１０は、キャリブレーションチャック１００及び撮像デバイス６０も含む。撮像デバイス６０は、デバイス基板チャック２０及び／又はキャリブレーションチャック１００の垂直上に位置してもよい。撮像デバイス６０は、キャリブレーションチャック、デバイス基板チャック、並びに／又は撮像デバイスとキャリブレーションチャック及び／若しくはデバイス基板チャックとの間に延在する領域のうち１つ以上の光学画像を収集するように構成されてもよい。これは、光学プローブシステムの種々の画像形成された構成要素の間で固定された相対方位を維持しながら、トップダウン、ボトムアップ、及び／又は水平視野構成での光学画像の収集を含んでもよい。

デバイス基板チャック２０は、デバイス基板支持面２２を画定及び／又はデバイス基板３０を支持し得る任意の適切な構造を含んでもよい。一例として、デバイス基板チャック２０は、デバイス基板支持面を形成及び／又は確定するチャック本体２６を含んでもよい。

いくつかの実施例では、デバイス基板チャック２０は、熱制御ユニット２４を含んでもよい。熱制御ユニット２４は、デバイス基板がデバイス基板支持面によって支持される場合に、デバイス基板支持面２２及び／又はデバイス基板３０の温度を制御及び／又は調整するように構成されてもよい。熱制御ユニット２４の実施例は、加熱アセンブリ、冷却アセンブリ、及び／又は温度制御された流体の流れと熱エネルギーとを交換するように構成される熱伝達アセンブリを含む。デバイス基板チャック２０が熱制御ユニット２４を含む場合、デバイス基板チャックは、本明細書では熱チャック２０及び／又は温度制御チャック２０とも呼ばれる。

光学プローブシステム１０は、光学プローブシステムの１つ又は複数の他の構成要素に対するデバイス基板チャック２０の動作可能な並進及び／又は回転を可能に及び／又は容易にするように構成されてもよい。これは、任意の適切な方法で達成され得る。一例として、光学プローブシステム１０は、デバイス基板チャック並進構造体７２の形態等の並進構造体７０を含んでもよい。デバイス基板チャック並進構造体７２は、光学プローブアセンブリ４０に対して及び／又は撮像デバイス６０に対して、デバイス基板チャック２０を動作可能に並進及び／又は回転するように構成されてもよい。並進構造体７０及び／又はデバイス基板チャック並進構造体７２の実施例は、アクチュエータ、電気アクチュエータ、ステッパモータ、圧電アクチュエータ、ラックピニオンアセンブリ、ボールネジ・ナットアセンブリ、リニアアクチュエータ、リニアモータ、及び／又はロータリアクチュエータを含む。

いくつかの実施例では、キャリブレーションチャック１００は、デバイス基板チャック２０に動作可能に取り付けられてもよく、及び／又はデバイス基板チャックと共に移動するように構成されてもよい。これは、デバイス基板チャックへの直接取り付け及び／又はデバイス基板チャック並進構造体７２を介する等のデバイス基板チャックへの間接取り付けを含んでもよい。他の実施例では、プローブシステム１０は、別の、又は分離した、キャリブレーションチャック並進構造体７８の形態の並進構造体７０を含んでもよい。キャリブレーションチャック並進構造体７８は、存在する場合、デバイス基板チャック２０に対して、光学アセンブリ４０に対して、及び／又は撮像デバイス６０に対して、キャリブレーションチャック１００を動作可能に並進及び／又は回転させるように構成されてもよい。

並進構造体７０は、任意の適切な構造体及び／又はアクチュエータを含んでもよい。例として、並進構造体７０は、リニアアクチュエータ、ロータリアクチュエータ、ラックピニオンアセンブリ、親ネジ・ナットアセンブリ、機械アクチュエータ、電気アクチュエータ、ステッパモータ、及び／又は圧電アクチュエータを含んでもよい。

デバイス基板３０は、任意の適切な数の光学デバイス３２を支持及び／又は含み得る任意の適切な構造体を含んでもよく、及び／又は、任意の適切な構造体であってもよい。デバイス基板３０の実施例は、半導体ウェハ、シリコンウェハ、ＩＩＩ-Ｖ族半導体ウェハ、及び／又はガリウムヒ素ウェハを含む。光学デバイス３２の実施例は、複数のシリコンフォトニクス光学デバイスを含む。

光学プローブアセンブリ４０は、少なくとも１つの光学プローブ４２を含み、支持し、及び／又は画定し得る任意の適切な構造体を含んでもよい。上述したように、光学プローブアセンブリ４０は、複数の光学プローブ４２を含み、支持し、及び／又は／又は画定してもよい。光学プローブ４２の実施例は、プローブファイバ４８を含み得る及び／又はプローブファイバ４８により確定され得る、光学ファイバプローブを含む。このような実施例では、光学プローブ４２は、プローブファイバの少なくとも一部を囲み得るシース及び／又はハウジング４７も含んでもよい。

いくつかの実施例では、光学プローブアセンブリ４０は、距離センサ４４を含んでもよい。距離センサ４４は、存在する場合、光学プローブ４２とデバイス基板３０との間の距離４６を検出、決定、推定、及び／又は計算するように構成されてもよい。距離センサ４４の実施例は、容量性距離センサ、容量性変位センサ、渦電流変位センサ、レーザ三角測量センサ、共焦点センサ、及び／又はスペクトル干渉変位センサを含む。

光学プローブシステム１０は、光学プローブシステムの１つ又は複数の他の構成要素に対する光学プローブアセンブリ４０及び／又はその光学プローブ４２の、動作可能な並進及び／又は回転を、可能に及び／又は容易にするように構成されてもよい。これは、任意の適切な方法で達成され得る。一例として、光学プローブシステム１０は、光学プローブアセンブリ並進構造体７４の形態等の並進構造体７０を含んでもよい。光学プローブアセンブリ並進構造体７４は、デバイス基板チャック２０に対して、撮像デバイス６０に対して、及び／又はキャリブレーションチャック１００に対して、光学プローブアセンブリ４０及び／又は光学プローブ４２を動作可能に並進及び／又は回転させるように構成されてもよい。並進構造体７０及び／又は光学プローブアセンブリ並進構造体７４の実施例は、本明細書に開示される。

信号生成及び分析アセンブリ５０は、光学テスト信号５２及び／又は光学合成信号５６を受信し得る任意の適切な構造体を含んでもよい。一例として、信号生成及び分析アセンブリ５０は、光源５４を含んでもよく、光学テスト信号５２を発生するように構成されてもよい。光源の例としては、レーザ光源及び／又はレーザを含む。別の実施例として、信号生成及び分析アセンブリ５０は、光検出器５８を含んでもよく、光学合成信号５６を受信及び／又は検出するように構成されてもよい。光検出器５８の実施例は、光パワーメータ、光子検出器、及び／又はフォトダイオードを含む。いくつかの実施例では、プローブシステム１０は、ファイバ光学ケーブル８０を含んでもよく、ファイバ光学ケーブルは、信号生成及び分析アセンブリと光学プローブアセンブリとの間で、光学テスト信号５２及び／又は光学合成信号５６を伝送するように構成されてもよい。他の実施例では、光源５４及び／又は光検出器５８等の信号生成及び分析アセンブリの１つ又は複数の構成要素が光学プローブアセンブリ４０の中に統合され、これと一体化され、及び／又はこれに動作可能に取り付けられてもよい。

撮像デバイス６０は、デバイス基板チャック２０の垂直上に位置してもよく、キャリブレーションチャック１００の垂直上に位置してもよく、及び／又は１つ以上の光学画像を収集するように構成されてもよい任意の適切な構造体を含んでもよい。一例として、撮像デバイス６０は、対物レンズ６４を含み得る顕微鏡６０を含んでもよく、及び／又は顕微鏡６０であってもよい。別の実施例として、撮像デバイス６０は、光学画像、又は光、を受け取り、撮像デバイスのカメラを用いて、それを介して、及び／又はそれを利用して達成され得るような、光学画像８６の電気的表現を生成するように構成されてもよく、その実施例は、ＣＣＤ画像センサ及び／又はＣＭＯＳ画像センサを含む。いくつかの実施例では、光学プローブシステム１０は、光学画像の電気的表現を表示するように構成され得るディスプレイ８４を含んでもよい。

光学プローブシステム１０は、光学プローブシステムの１つ又は複数の他の構成要素に対する撮像デバイス６０の動作可能な並進及び／又は回転を、可能に及び／又は容易にするように構成されてもよい。これは、任意の適切な方法で達成され得る。一例として、光学プローブシステム１０は、撮像デバイス並進構造体７６の形態等の並進構造体７０を含んでもよい。撮像デバイス並進構造体７６は、デバイス基板チャック２０に対して、キャリブレーションチャック１００に対して、及び／又は光学プローブアセンブリ４０に対して、撮像デバイス６０を動作可能に並進及び／又は回転するように構成されてもよい。並進構造体７０及び／又は撮像デバイス並進構造体７６の実施例は、本明細書に開示される。

いくつかの実施例では、光学プローブシステム１０は、密閉体積９２を画定し得るエンクロージャ９０を含んでもよい。エンクロージャ９０は、存在する場合、光学プローブシステム１０の１つ又は複数の他の構成要素を包含及び／又は収容するように構成されてもよく、例えば、光学プローブシステムの１つ又は複数の他の構成要素を、遮蔽する、光学的に遮蔽する、電磁的に遮蔽する、磁気的に遮蔽する、熱的に遮蔽する、及び／又は電気的に遮蔽する。追加的に又は代替的に、清浄な乾燥空気パージ等のパージガスを密閉体積９２に供給して、密閉体積内の低露点又は乾燥環境を維持し、及び／又は密閉体積内の目標水分又は湿度レベルを維持してもよい。一例として、デバイス基板チャック２０の少なくともデバイス基板支持面２２は、デバイス基板支持面上に位置し得るシールドデバイス基板３０等の密閉体積内に位置してもよい。

キャリブレーションチャック１００は、キャリブレーションチャック支持面１１２を形成及び／又は画定し得るキャリブレーションチャック本体１１０を含む。キャリブレーションチャック１００は、キャリブレーションチャック本体によって支持され得る、少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体１２０も含む。キャリブレーションチャック１００は、キャリブレーションチャック支持面１１２がデバイス基板支持面２２と平行に又は少なくとも実質的に平行になり得るように、デバイス基板チャック２０に対して位置決めされてもよい。特定の実施例において、キャリブレーションチャック支持面１１２は、デバイス基板支持面２２と平行であってもよく、且つデバイス基板支持面垂直下にあってもよい。

図１は、キャリブレーションチャック１００を、光学プローブシステム１０のコンテキストで又はその中に含まれるように概略的に示す一方、図２は、本開示によるキャリブレーションチャック１００の実施例のより詳細を示すが、依然として概略的である。図３及び図４は、本開示によるキャリブレーションチャック１００の実施例のより概略的でない図である一方、図５及び図６並びに図１３は、図３及び４のキャリブレーションチャックの部分及び／又は領域のより概略的ではない図である。図７は、キャリブレーションチャック１００を利用して収集され得る画像の一例を示し、図８乃至１２は、キャリブレーションチャック１００を利用して実施され得るテストの例を提供する。

本開示の範囲から逸脱することなく、図１乃至１３のうちの任意の１つを参照して本明細書で図示及び／又は説明される光学プローブシステム１０及び／又はキャリブレーションチャック１００の任意の構造体、機能、及び／又は特徴は、図１乃至１３のうちの任意の他のものに含まれ、及び／又はそれらと共に利用され得ることは、本開示の範囲内である。換言すると、図２乃至１３は、図１のキャリブレーションチャック１００のより詳細な説明であり得る。上述のように、キャリブレーションチャック１００は、キャリブレーションチャック本体１１０、キャリブレーションチャック支持面１１２、及び光学キャリブレーション構造体１２０を含む。

光学キャリブレーション構造体１２０は、光学プローブシステム１０の及び／又はその中の任意の適切なキャリブレーション及び／又は定量化を、実行し得る又は実行するために利用され得る、任意の適切な構造体を含んでもよい。一例として、光学キャリブレーション構造体１２０は、水平視野構造体１３０を含んでもよく及び／又は水平視野構造体１３０であってもよい。水平視野構造体１３０は、キャリブレーションチャック支持面１１２に対して平行であってもよく又は少なくとも実質的に平行であってもよい水平視野方向１３４からの水平視野領域１３２の視認を容易にするように構成されてもよい。これは、キャリブレーションチャック支持面１１２の垂直上に配置され得る、図１の撮像デバイス６０等の撮像デバイスと共に、それを介して、及び／又はそれを利用して、水平視野方向から水平視野領域を視認することを含んでもよい。

水平視野領域１３２は、任意の適切な領域及び／又は構造体を含んでもよい。一例として、水平視野領域１３２は、図１の光学プローブシステム１０等の光学プローブシステムの、図１の光学プローブ４２等の光学プローブを含んでもよい。別の例として、水平視野領域は、恐らく図６及び７に最良に例示されているように、キャリブレーション基板２１０のキャリブレーション基板エッジ２１２を含んでもよい。

図６は、水平視野構造体１３０の形態の光学キャリブレーション構造体１２０を有するキャリブレーションチャック１００を含む光学プローブシステム１０の一部の側面図の例の概略図である一方、図７は、キャリブレーションチャックの水平視野構造体を利用して収集され得る画像の例の説明図である。図６は、本明細書において、図５の線６－６に沿った光学プローブシステム１０の概略断面図として、追加的又は代替的に、本明細書において参照されてもよく、及び／又は、概略断面図であってもよい。

図６及び７に示すように、プローブシステム１０の操作中、光学プローブ４２は、キャリブレーション基板２１０のキャリブレーション基板エッジ２１２の近く及び／又は近傍にアライメントされてもよい。キャリブレーション基板エッジは、キャリブレーション基板２１０の水平キャリブレーション基板表面２１４とキャリブレーション基板の垂直キャリブレーション基板表面２１６との間の遷移又は遷移領域を含んでもよく及び／又はそれであってもよい。図６に示すように、キャリブレーションチャックのキャリブレーションチャック支持面１１２の垂直上に位置し得る撮像デバイス６０は、次に、図７に示される画像等の水平視野方向１３４に沿って及び／又はそこから、光学プローブ４２の及び／又はキャリブレーション基板エッジ２１２の画像を収集するために利用されてもよい。換言すると、撮像デバイスは、プローブシステム１０の水平視野領域１３２の画像を収集するために利用されてもよい。

図示されるように、プローブシステム１０及び／又はキャリブレーションチャック１００は、水平視野構造体１３０を利用して、水平視野方向１３４とは異なる、垂直であり得る、及び／又は少なくとも実質的に垂直であり得る視野方向６６に面する撮像デバイス６０が、水平視野方向１３４から水平視野領域１３２を視認することを可能にしてもよい。これは、任意の適切な構造体を利用して達成されてもよく、その例は本明細書に開示される。

水平視野方向１３４は、水平キャリブレーション基板表面２１４に平行であってもよく、又は少なくとも実質的に平行であってもよい。したがって、図６の構成によって収集され、図７に示される画像は、キャリブレーション基板エッジ２１２と光学プローブ４２との間のシャープな及び／又は明確な遷移を提供し、それによって、光学プローブと、図１に示される実施例におけるデバイス基板３０の表面及び／又は図６及び７に示される実施例におけるキャリブレーション基板の水平キャリブレーション基板表面２１４等の光学プローブの下方にある表面との間の距離４６の正確な観察、計算、及び／又は較正を可能に及び／又は容易にすることができる。

いくつかの実施例では、また、図１及び６に破線で示されるように、光学プローブ４２を含む光学プローブアセンブリ４０は、距離センサ４４を含んでもよい。これらの例では、距離センサ４４も利用されて、距離センサとデバイス基板及び／又はキャリブレーション基板との間の距離４５を決定、計算、及び／又は測定してもよい。このような構成において、距離４５は、距離センサ４４によって生成され得る距離４５の測定を用いて距離４６の正確な後続する決定を可能に及び／又は容易にするように、撮像デバイス６０によって収集される画像を介して決定された距離４６を介して、比較され、互いに関連付けられ、及び／又は較正される。

いくつかの実施例では、光学プローブとキャリブレーション基板との間の距離４６を一定又は少なくとも実質的に一定に維持しながら、キャリブレーション基板２１０に対して光学プローブ４２を回転させることが望ましいことがある。そのような回転は、例えば、本明細書でより詳細に説明される１つ又は複数の並進構造体７０を利用して実行されてもよい。

これらの例では、光学プローブの回転によって、距離センサとキャリブレーション基板との間の距離４５が変化する可能性がある。撮像デバイス６０及び水平視野構造体１３０を利用して、キャリブレーション基板に対する光学プローブの角度、距離４６、距離４５、及び／又は距離センサ４４によって生成される信号の間に相関が確立され得る。次いで、そのような相関は、デバイス基板上に存在し得る光学デバイスの試験中に、距離センサによって生成される信号及びキャリブレーション基板に対するプローブの角度に基づいて、光学プローブとデバイス基板との間の距離を正確に維持及び／又は予測するために利用され得る。

引き続き図６を参照して、光学プローブ４２は、光学プローブの下面４３をキャリブレーション基板２１０及び／又は光学デバイスとアライメントすることを可能に及び／又は容易にするために回転されてもよい。一例として、下面４３の平面は、キャリブレーション基板２１０及び／又は光学デバイスの上面とアライメントされてもよい。このことを念頭に置いて、水平視野構造体１３０は、キャリブレーション基板の及び／又は光学デバイスの下面４３及び上面を視認するために、例えば、このアライメントを可能に及び／又は容易にするために、利用されてもよい。

いくつかの実施例では、キャリブレーション基板２１０の水平キャリブレーション基板表面２１４は、平面であってもよく又は少なくとも実質的に平面であってもよい。他の実施例では、図７に示されるように、キャリブレーション基板２１０は、トレンチ２２０を含んでもよく、及び／又はトレンチ２２０を含む光学デバイス２００を含んでもよく、及び／又はトレンチ２２０を含む光学デバイス２００であってもよい。このような構成では、水平視野構造体１３０は、トレンチ内に光学プローブ４２を位置付け及び／又はアライメントするために利用されてもよい。このような構成は、トレンチ２２０内の光学デバイス２００の光学的テストを可能に及び／又は容易にし得る。

いくつかの実施例では、光学プローブ４２は、トレンチ２２０の底面を介して光学デバイス２００と結合してもよい。このような実施例では、水平視野構造体１３０は、光学プローブと光学デバイスとの間の距離４６（本明細書では垂直距離４６とも称する）を検出及び／又は定量化するように利用されてもよい。

いくつかの実施例では、光学プローブ４２は、光学プローブとトレンチ内の光学デバイスの垂直面との間のエッジ結合を介して、光学デバイス２００と結合してもよい。このような実施例では、水平視野構造体１３０は、光学プローブと光学デバイスとの間の距離２２３（本明細書では水平距離２２３とも称する）を検出及び／又は定量化するように利用されてもよい。いくつかの実施例では、光学デバイスは、垂直面の上側領域に及び／又はその近傍にあってもよい。一例として、トレンチ２２０は、１００マイクロメートルの深さであってもよいが、光学デバイスは、その中にあってもよく、光学プローブは、光学デバイスの上側表面の１０マイクロメートル以内で光学デバイスに結合してもよい。

図１に戻って、上述したように、熱制御ユニット２４は、デバイス基板支持面２２及び／又はデバイス基板３０の温度を制御及び／又は調整するために利用されてもよい。これは、摂氏数百度（℃）の温度領域にわたる温度調整を含んでもよい。例として、光学プローブシステム１０が最低テスト温度及び最高テスト温度を含む複数の異なるテスト温度で複数のテストを実施できるように、温度が調節されてもよい。最低テスト温度の例は、高々２５℃、高々２０℃、高々１０℃、高々０℃、高々－１０℃、高々－２０℃、高々－３０℃、高々－４０℃、高々－５０℃、高々－５５℃、高々－６０℃、高々－６５℃、高々－７０℃、又は高々－７５℃を含む。最高テスト温度の例は、少なくとも５０℃、少なくとも６０℃、少なくとも７０℃、少なくとも８０℃、少なくとも１００℃、少なくとも１２０℃、少なくとも１４０℃、少なくとも１６０℃、少なくとも１８０℃、少なくとも２００℃、少なくとも２２０℃、少なくとも２４０℃、少なくとも２６０℃、少なくとも２８０℃、少なくとも３００℃、少なくとも３２０℃、少なくとも３４０℃、又は少なくとも３６０℃を含む。

引き続き図１及び６を参照して、この温度調整の間、光学プローブシステム１０及び／又はそのプローブアセンブリ３６の様々な構成要素の熱膨張及び／又は収縮は、距離センサ４４と、その上に当該距離センサが配置される表面との間で測定され得る距離４５と、光学プローブ４２と当該表面との間で測定され得る距離４６との相対的な大きさを変化させ得る。換言すると、距離４５と距離４６との間の差は、温度によって変化してもよい。この距離の変化は、距離センサ４４を利用して検出、決定、推定、及び／又は計算され得る距離４６の値の不正確さにつながり得る。

上記を念頭に置いて、本開示による光学プローブシステム１０は、水平視野構造体１３０を利用して種々の温度で光学プローブ４２及び／又は距離センサ４４を観察する等によって、温度によるこの距離変化を考慮し、定量化し、及び／又は較正するように構成されてもよい。この距離変動の定量化は、温度による距離変動の情報（knowledge）と組み合わされた距離センサ４４による距離４５の測定を介して、種々の温度における距離４６のより正確な決定を可能に及び／又は容易にすることができる。

いくつかの実施例ではまた、図２及び図４乃至６に図示されるように、キャリブレーション基板２１０は、ノッチ領域２１８を含んでもよい。ノッチ領域２１８は、また、本明細書では、介在物２１８、包含領域２１８、凹部２１８、及び／又は凹部領域２１８と称され得る。ノッチ領域２１８は、追加的又は代替的に、本明細書では、２つの垂直又は少なくとも実質的に垂直な視野方向１３４からの光学プローブ等の構造体の視認を可能に及び／又は容易にするように成形されるキャリブレーション基板２１０の領域と称され得る。当該構造体は、キャリブレーション基板２１０の垂直上になくてもよく、及び／又はノッチ領域２１８内に位置してもよい。視野方向１３４は、キャリブレーション基板２１０の上に、垂直上に、又は直上に延在してもよい。追加的又は代替的に、視野方向１３４は、キャリブレーション基板２１０と平行であってもよく、又は少なくとも実質的に平行であってもよい。

ノッチ領域２１８は、存在する場合、図６に示されるように、距離センサ４４がキャリブレーション基板２１０の垂直上に位置する間、キャリブレーション基板エッジ２１２との光学プローブ４２の整合を可能に及び／又は容易にし得る。追加的又は代替的に、このような構成は、本明細書でより詳細に説明されるように、距離センサがキャリブレーション基板の垂直上に位置する間に、水平キャリブレーション基板表面２１４に平行な２つの異なる、又は直交する方向からの光学プローブ４２の視認を可能に及び／又は容易にし得る。

説明したように、水平視野方向１３４は、キャリブレーションチャック支持面１１２に対して平行であってもよく、又は少なくとも実質的に平行であってもよい。換言すると、引き続き図６を参照して、水平視野方向１３４は、キャリブレーションチャック支持面に対して平行である閾値水平視野角１３６内であってもよい。閾値水平視野角の例は、少なくとも１度、少なくとも２度、少なくとも４度、少なくとも６度、少なくとも８度、少なくとも１０度、高々１５度、高々１０度、高々８度、高々６度、高々４度、高々２度、高々１度、高々０．５度、及び／又は高々０．１度の角度を含む。

水平視野構造体１３０は、撮像デバイス６０による及び／又は撮像デバイス６０を用いた水平視野方向１３４からの水平視野領域１３２の視認を可能に及び／又は容易にするために、適応、構成、設計、及び／又は構築され得る任意の適切な構造体を含んでもよい。一例として、水平視野構造体は、平面ミラー面１４０を画定するミラー１３８を含んでもよい。

恐らく図６に最もよく示されるように、平面ミラー面１４０は、キャリブレーションチャック支持面１１２に対してミラー面角度１４２で延在してもよい。ミラー面角度は、撮像デバイスによる水平視野領域の視認を可能に及び／又は容易にするように選択されてもよい。ミラー面角度の例は、少なくとも１０度、少なくとも１５度、少なくとも２０度、少なくとも２５度、少なくとも３０度、少なくとも３５度、少なくとも４０度、少なくとも４１度、少なくとも４２度、少なくとも４３度、少なくとも４４度、少なくとも４５度、高々８０度、高々７５度、高々７０度、高々６５度、高々６０度、高々５５度、高々５０度、高々４９度、高々４８度、高々４７度、高々４６度、及び／又は高々４５度の１つ又は複数のスキュー角度（skew angle）を含む。特定の例では、ミラー面角度１４２は、４５度であってもよく、又は少なくとも実質的に４５度であってもよい。

キャリブレーションチャック１００及び／又はその水平視野構造体１３０は、水平照明アセンブリ１４４を含んでもよい。水平照明アセンブリは、図２及び図４乃至図６に示すように、水平視野方向１３４に沿って、これに少なくとも部分的に沿って、これに平行に、これに少なくとも実質的に平行に、これと同一に広がる、及び／又はこれと少なくとも部分的に同一に広がる水平光線１４６を用いて水平視野領域１３２を照明するように構成されてもよい。

いくつかの実施例では、水平照明アセンブリ１４４は、図２及び図６に示されるように、水平光線を画定する照明光線を生成、発生、及び／又は放出するように構成され得る水平照明アセンブリ光源１４８を含んでもよい。水平照明アセンブリ光源の実施例は、水平照明アセンブリ発光ダイオード、水平照明アセンブリファイバ光学ケーブル、及び／又は導光板を含む。

いくつかの実施例では、恐らく図６に一点鎖線で最もよく示されているように、水平照明アセンブリ１４４又はその水平照明アセンブリ光源１４８は、水平視野方向１３４に沿って、及び／又はキャリブレーションチャック支持面１１２に平行に、水平光線１４６を放出してもよい。これらの例では、水平照明アセンブリ光源は、水平光線をミラー１３８に向けて及び／又は入射させるように構成されてもよく、例えば、光学プローブ４２及び／又はキャリブレーション基板エッジ２１２等の水平視野領域１３２内の任意の１つ又は複数の構造体を背面照明するように構成されてもよい。追加的に又は代替的に、水平照明アセンブリ光源１４８は、キャリブレーションチャック１００に取り付けられてもよく、動作可能に取り付けられてもよく、及び／又はその一部を形成してもよい。

いくつかの実施例では、水平照明アセンブリは、水平照明アセンブリ反射面１５０を含んでもよい。これらの実施例では、図６の点線に示すように、水平照明アセンブリは、水平照明アセンブリ反射面１５０に入射した水平光線を、水平視線方向に、且つ、水平視領域内の１つ又は複数の構造体を背面照明するようにミラー１３８に向かって及び／又は入射するように、向けるように構成されてもよい。より具体的な例として、図６に図示されるように、水平照明アセンブリ１４４は、キャリブレーションチャック１００の垂直上に位置してもよく、及び／又は撮像デバイス６０に組み込まれてもよい。このような構成では、水平照明アセンブリ１４４は、水平光線１４６を、ミラー１３８から、次いで水平照明アセンブリ反射面１５０から、次いでミラー１３８から反射させて、水平光線が撮像デバイス６０に戻るように構成されてもよい。

ミラー１３８は、存在する場合、平面ミラー面１４０を画定し得る、及び／又は水平光線１４６等の光を反射し得る任意の適切な構造体を含んでもよく、及び／又は、当該構造体であってもよい。ミラー１３８の実施例は、反射面、反射材料でコーティングされた面、及び／又はプリズムの表面を含む。

図示されるように、水平視野構造体１３０は、キャリブレーションチャック支持面１１２の上に又は垂直上に延在してもよい。換言すると、水平視野構造体は、キャリブレーションチャック支持面から投影されてもよい。このような構成は、キャリブレーションチャック支持面の垂直上にもある水平視野領域１３２の視認を可能に及び／又は容易にし得る。

図２及び図６に破線で示すように、水平照明アセンブリ１４４は、水平照明アセンブリ調整機構１５２を含んでもよい。水平照明アセンブリ調整機構１５２は、存在する場合、水平照明アセンブリ反射面からの水平光線１４６の反射を可能に及び／又は容易にし、且つ撮像デバイス６０に戻るように及び／又は入射するように、水平照明アセンブリ反射面１５０の方位を選択的に調整するように構成されてもよい。一例として、水平照明アセンブリ調整機構１５２は、図６に示されるように、キャリブレーションチャック支持面１１２に対して平行に又は少なくとも実質的に平行に延在し得る回転軸１５４の周りに水平照明アセンブリ反射面１５０を回転させるように構成されてもよい。この回転軸１５４を中心とする回転は、実線で示されている方位と破線で示されている方位との間の水平照明アセンブリ反射面１５０の運動によって示される。水平照明アセンブリ調整機構１５２の実施例は、手動調整機構、マイクロメータ、ラックアンドピニオンアセンブリ、ボールネジ・ナットアセンブリ、電気アクチュエータ、圧電アクチュエータ、モータ、電気モータ、ステッパモータ、及び／又はロータリアクチュエータを含む。

水平照明アセンブリ調整機構１５２は、存在する場合、任意の適当な回転量及び／又は任意の適当な回転角度によって、水平照明アセンブリ反射面１５０を回転軸１５４の周りに回転させるように構成されてもよい。回転角度の実施例は、少なくとも０．５度、少なくとも１度、少なくとも２度、少なくとも４度、少なくとも６度、少なくとも８度、高々２０度、高々１５度、高々１０度、高々８度、及び／又は高々６度の角度を含む。

いくつかの実施例では、図２乃至図５に示されるように、キャリブレーションチャック１００は、少なくとも第１の水平視野構造体１３０１及び第２の水平視野構造体１３０２を含む、複数の水平視野構造体１３０を含んでもよい。これらの実施例では、第１の水平視野構造体１３０１は、第１の水平視野方向１３４１からの第１の水平視野領域１３２１の視認を容易にするように構成されてもよい。同様に、第２の水平視野構造体１３０２は、第２の水平視野方向１３４２からの第２の水平視野領域１３２２の視認を容易にするように構成されてもよい。

第２の水平視野方向１３４２は、キャリブレーションチャック支持面１１２に平行であってもよく、又は少なくとも実質的に平行であってもよい。追加的に又は代替的に、第２の水平視野方向１３４２は、第１の水平視野方向１３４１に対して垂直であってもよく、又は少なくとも実質的に垂直であってもよい。第１の水平視野領域１３２１と同様に、第２の水平視野領域１３２２は、光学プローブ４２、別の光学プローブ４２、キャリブレーション基板エッジ２１２、及び／又は別のキャリブレーション基板エッジ２１２を含んでもよい。

図２乃至図５に示すように、必須ではないが、第１の水平視野構造体１３０１及び第２の水平視野構造体１３０２は、所与のキャリブレーション基板２１０の異なる水平視野領域１３２を視認してもよく、及び／又は、所与のキャリブレーション基板を２つの異なる、垂直な若しくは少なくとも実質的に垂直な水平視野方向１３４から視認してもよい。図２に破線で示し、図３乃至図５に実線で示すように、キャリブレーションチャック１００は、複数の離間した及び／又は別個の水平視野アセンブリ１３０を含んでもよく、その各々は、対応する又は異なる水平視野方向から、対応する又は異なる水平視野領域を視認するように構成されてもよい。これは、同じ又は異なるキャリブレーション基板２１０及び／又は光学プローブ４２の水平視認を含み得る。

光学キャリブレーション構造体１２０の別の実施例は、図２乃至図４及び図８乃至図１１に示されるように、垂直視野構造体１６０を含む。図８乃至図１１を参照して、本明細書でより詳細に説明されるように、垂直視野構造体１６０は、キャリブレーションチャック支持面１１２に垂直であっても、少なくとも実質的に垂直であってもよく、及び／又はキャリブレーションチャック支持面１１２から離れるように向けられてもよい垂直視野方向１６４からの垂直視野領域１６２の視認を可能に及び／又は容易にするように構成されてもよい。

これは、キャリブレーションチャック支持面の上に若しくは垂直上に位置し得る撮像デバイス６０を用いて、介して、及び／又は利用した垂直視野領域の視認を含んでもよい。垂直視野構造体１６０は、撮像デバイスによって直接的に視認できない、及び／又は撮像デバイスがなければ視認できない垂直視野領域１６２を視認することを可能にするように構成されてもよい。垂直視野領域の実施例は、光学プローブ４２、光学プローブの下面、光学プローブの光学ファイバ、光学プローブの光学ファイバのレンズ、光学プローブの光学ファイバによって放出される光、光学プローブのエッジ、電気プローブ３８、ＲＦプローブ、ＤＣプローブ、及び／又はプローブシステムの機械的プローブを含む。垂直視野領域は、追加的又は代替的に、電気プローブ、ＲＦプローブ、ＤＣプローブ、及び／又は機械的プローブ等の任意のプローブの下面を含んでもよい。

垂直視野構造体１６０は、任意の適切な方法で、垂直視野領域の視認を容易にし得る。一例として、垂直視野構造体は、垂直視野領域の視認を容易にするために、少なくとも１つ又は更に２つの反射を利用するように構成されてもよい。

垂直視野方向１６４は、キャリブレーションチャック支持面１１２に対して垂直である閾値垂直視野角内にあってもよいことは本開示の範囲内である。換言すると、垂直視野方向は、キャリブレーションチャック支持面の表面法線方向に平行である閾値垂直視野角内にあってもよい。閾値垂直視野角の例は、少なくとも１度、少なくとも２度、少なくとも４度、少なくとも６度、少なくとも８度、少なくとも１０度、高々１５度、高々１０度、高々８度、高々６度、高々４度、高々２度、高々１度、高々０．５度、及び／又は高々０．１度の角度を含む。

垂直視野構造体１６０は、任意の適切な構造体を含んでもよい。例として、垂直視野構造体は、プリズム、直角プリズム、屈折率分布型レンズ、ファイバアセンブリを有する屈折率分布型レンズ、及び／又はファイバアセンブリと相互接続された一対の屈折率分布型レンズを含んでもよい。特定の例では、図８、図９、及び図１２に示されるように、垂直視野構造体１６０は、キャリブレーションチャック本体１１０内に少なくとも部分的に埋め込まれてもよく、及び／又は光学反射面１６８若しくは更なる２つの光学反射面１６８を含むプリズムを含んでもよい。垂直視野構造体は、追加的に又は代替的に、光学透過面１６９を含んでもよい。

垂直視野構造体１６０は、任意の適切な様式で利用され得る。一例として、図８に示すように、垂直視野構造体は、光学プローブ４２の下面４３を視認するために、例えば、光学プローブの状態及び／又は清浄度を、定量化及び／又は評価するために利用されてもよい。この実施例では、撮像デバイス６０は、キャリブレーションチャック支持面１１２に面していてもよい。しかしながら、垂直視野領域１６２が光学プローブ４２の下側４３を含むように、撮像デバイスによって収集された光は、垂直視野構造体１６０内で反射されてもよい。この構成では、プローブシステム１０は、光学プローブの下側の光学画像を収集してもよく、及び／又は図１のディスプレイ８４と共に、これを介して、及び／又はこれを利用して、プローブシステムのユーザのための光学画像を表示してもよい。

別の実施例として、図９乃至図１１に示すように、垂直視野構造体は、光学プローブ４２の下側４３及び参照構造体４９の両方を視認するために利用されてもよい。この実施例では、撮像デバイス６０は、参照構造体４９のトップダウン画像を収集するために利用されてもよい。このようなトップダウン画像の一例は、図１０に示されており、参照構造体４９は、上から及び／又は視野方向６６から視認できる光学プローブ４２のコーナ及び／又は他の特徴を含む。これは、撮像デバイスが撮像デバイスの視野方向６６から視認されて参照構造体のトップダウン画像を収集するように、撮像デバイスの焦平面位置の調整を含んでもよい。

加えて、撮像デバイスの焦平面位置は、撮像デバイスが光学プローブの下側４３のボトムアップ画像も収集するように調整されてもよい。これは、下側４３の画像が垂直視野方向１６４から収集されるように、垂直視野構造体１６０内の光の反射を含んでもよい。下面４３のボトムアップ画像の収集中、光源５４は、光学プローブのプローブファイバ４８に光を供給してもよい。ボトムアップ画像の一例を図１１に示す。プローブファイバ４８が光源５４によって照射されるので、下面４３内のプローブファイバの位置は、容易に決定され、プローブファイバ４８と参照構造体４９との間の相対方位が確立され得る。

これは、プローブファイバ４８と光学デバイスとの間の後続するアライメントを、光学プローブのトップダウンビューのみを介して可能に及び／又は容易にすることができる。換言すると、上述の手順又は方法を利用して、プローブファイバの位置及び参照構造体の位置を較正又は関連付けることができ、それによって、垂直視野構造体１６０を必要とすることなく、又は利用することなく、プローブファイバと光学デバイスとの間の後続するアライメントを可能にする。追加的に又は代替的に、複数の光学プローブ及び／又は複数の光学チャネルを含む及び／又は利用する光学プローブシステム１０において、図９乃至図１１の構成は、何れの光学チャネルが所与の光学プローブに接続されているかを検証するために利用されてもよい。

上記の方法の変形例において、引き続き図９及び図１１を参照して、垂直視野構造１６０は、光学プローブアセンブリのプローブファイバ４８と距離センサ４４との両方を含む垂直視野方向１６４からの光学画像を収集するために利用されてもよい。これは、プローブ４２の下面４３を繰り返し視認する必要なく、後続するプローブ動作中に、プローブファイバと距離センサとの間の相対位置の較正及び／又は関連付けを可能に及び／又は容易にすることができる。

光学キャリブレーション構造体１２０の別の実施例は、プローブアラインメント構造体１７０を含む。図１２に示されるように、プローブアラインメント構造体１７０は、光学プローブシステム１０の少なくとも２つの光学プローブ４２間の相対的なアライメントを容易にするように構成されてもよい。プローブアラインメント構造体１７０は、プローブ間のアライメントを可能に及び／又は容易にし得る任意の適切な構造体を含んでもよく、及び／又は任意の適切な構造体であってもよい。一例として、プローブアラインメント構造体１７０は、垂直視野構造体１６０を含んでもよく、及び／又はこれであってもよい。換言すると、同じ光学キャリブレーション構造体１２０は、垂直視野構造体１６０及びプローブアラインメント構造体１７０の両方として機能してもよい。別の実施例として、図１２に示されるように、プローブアラインメント構造体１７０は、一対の屈折率分布型（ＧＲＩＮ）レンズ１７６と、ＧＲＩＮレンズ１７６を相互接続する光学ファイバ１７８とを含んでもよい。

プローブアラインメント構造体１７０は、任意の適切な様式で利用されてもよい。一例として、図１２に示されるように、２つの光学プローブ４２は、プローブアラインメント構造体に面するように構成されてもよい。この構成では、発光している光学プローブ４２は、光源５４から光学信号を受信するように、及び／又は本明細書では光学テスト信号５２とも称される発光している光学信号１７４を放出するように構成されてもよい。プローブアラインメント構造体１７０、又はプローブアラインメント構造体の対応するＧＲＩＮレンズは、放出された光学信号を受け取り、光学ファイバ１７８及び別のＧＲＩＮレンズ１７６等を介して、検出光学プローブ４２に入射した放出された光学信号を方向付けてもよい。

検出光学プローブによって受け取られるような、放出された光学信号は、本明細書では光学合成信号５６とも称される。次いで、検出光学プローブは、放出された光学信号を光検出器５８に伝送してもよく、この光検出器は、放出された光学信号の任意の適切な特性を検出してもよい。上記の構成では、光学プローブ４２間の相対方位は、放出された光学信号の検出特性に基づいて変更及び／又は調整されてもよく、光学プローブ間の所望の程度のアライメントを可能に及び／又は容易にし得る。

図２に戻って、光学キャリブレーション構造体１２０は、キャリブレーションチャック光源１８０を含んでもよい。キャリブレーションチャック光源１８０は、存在する場合、キャリブレーション光１８２のビームをキャリブレーションチャック１００から離れるように向けるように構成されてもよい。一例として、キャリブレーションチャック光源は、キャリブレーション光ビームを、垂直視野構造体１６０の垂直視野方向１６４に平行又は少なくとも実質的に平行とすることができるキャリブレーション光方向に向けるように構成されてもよく、キャリブレーションチャック支持面１１２の表面法線に平行又は少なくとも実質的に平行であってもよく、及び／又はキャリブレーションチャック支持面１１２に垂直又は少なくとも実質的に垂直であってもよい。

キャリブレーションチャック光源１８０は、任意の適切な構造体を含んでもよい。一例として、キャリブレーションチャック光源は、キャリブレーションチャックレーザ１８６を含んでもよく、及び／又はキャリブレーションチャックレーザであってもよい。キャリブレーション光のビームの例は、レーザビーム、単色光ビーム、及び／又は偏光ビームを含む。

光学プローブシステム１０の動作中、キャリブレーションチャック光源１８０は、光学プローブシステムの図１の光学プローブ４２等の光学プローブに入射するキャリブレーション光１８２のビームを向けるように構成されてもよい。光学プローブは、キャリブレーションチャック光源にアライメントされてもよく、光学プローブによって収集された光の少なくとも１つの特性は、図１の光検出器５８等を介して決定及び／又は定量化されてもよい。

このプロセスは、光学プローブシステムの複数の光学プローブ４２に対して繰り返され、それによって、複数の光学プローブの較正を可能にしてもよい。換言すると、キャリブレーションチャック光源１８０は、複数のプローブの各プローブに、既知の、よく制御された、一貫した、及び／又は再現可能なキャリブレーション光１８２のビームを提供するように利用されてもよい。このような構成では、プローブシステム１０は、複数の光学プローブ間の集光特徴及び／又は特性の差を較正及び／又は定量化するために、各光学プローブによって収集される光の少なくとも１つの特性の差及び／又は変動を利用してもよい。

図２乃至図４に戻って、光学キャリブレーション構造体１２０は、キャリブレーションチャック光検出器１９０を含んでもよい。キャリブレーションチャック光検出器１９０は、存在する場合、そこに入射し得る光等の光学信号を検出し、及び／又は当該光の少なくとも１つの特性を定量化するように構成されてもよい。これは、図３に示されるように、検出方向１９２からの光の検出を含んでもよい。検出方向１９２は、垂直視野構造体１６０の垂直視野方向に平行若しくは少なくとも実質的に平行であってもよく、キャリブレーションチャック支持面１１２の表面法線方向に平行若しくは少なくとも実質的に平行であってもよく、及び／又はキャリブレーションチャック支持面１１２に垂直若しくは少なくとも実質的に垂直であってもよい。

追加的に又は代替的に、キャリブレーションチャック光検出器１９０は、図２に示されるように、光指向構造体１９６を含んでもよい。光指向構造体１９６は、光指向構造体に入射する光をキャリブレーションチャック光検出器１９０に向けるように及び／又は入射するように構成されてもよい。そのような構成は、垂直視野方向１６４に対して、最初に放出された及び／又は任意の適切な角度に向けられたキャリブレーションチャック光検出器１９０による光の収集を可能に及び／又は容易にし得る。光指向構造体１９６の実施例は、任意の適切なプリズム、ミラー、及び／又はレンズを含む。

キャリブレーションチャック光検出器１９０は、任意の適切な構造体を含んでもよい。一例として、キャリブレーションチャック光検出器は、キャリブレーションチャック光子検出器、キャリブレーションチャックフォトダイオード、及び／又は光学パワーメータを含んでもよく、及び／又はそれらであってもよい。

光学プローブシステム１０の動作中、キャリブレーションチャック光検出器１９０は、光学プローブシステムの図１の光学プローブ４２等の光学プローブから光を受け取るように構成されてもよい。光学プローブは、キャリブレーションチャック光検出器にアライメントされてもよく、キャリブレーションチャック光検出器によって収集された光の少なくとも１つの特性は、キャリブレーションチャック光検出器によって決定及び／又は定量化されてもよい。

このプロセスは、光学プローブシステムの複数の光学プローブ４２に対して繰り返されてもよく、それによって複数の光学プローブのキャリブレーションを可能にしてもよい。換言すれば、キャリブレーションチャック光検出器１９０は、複数のプローブの各プローブからの光を検出する、既知の、よく制御された、一貫した、及び／又は単一の検出器として利用されてもよい。このような構成では、光学プローブシステム１０は、キャリブレーションチャック光検出器によって収集された光の少なくとも１つの特性の差及び／又は変動を利用して、複数の光学プローブ間の発光特性及び／又は特徴の差を較正及び／又は定量化し得る。

いくつかの実施例では、キャリブレーションチャック１００は、閉塞型キャリブレーション構造体１９４を含んでもよい。図２乃至図４に示すように、閉塞型キャリブレーション構造体１９４は、キャリブレーションチャック光検出器１９０と関連付けられてもよい。閉塞型キャリブレーション構造体は、光学信号の閉塞部分がキャリブレーションチャック光検出器に入射しないように、キャリブレーションチャック光検出器１９０に向けられる光学信号の一部を選択的に妨害するように構成されてもよい。本明細書でより詳細に説明されるように、このような構成は、光学信号の特徴付けを可能に及び／又は容易にし得る。閉塞型キャリブレーション構造体の実施例は、ナイフエッジキャリブレーション構造体及び／又はピンホールキャリブレーション構造体を含む。閉塞型キャリブレーション構造体の別の実施例は、偏光感応格子を含む。

キャリブレーションチャック１００がナイフエッジキャリブレーション構造体の形態の閉塞型キャリブレーション構造体１９４を含む場合、ナイフエッジキャリブレーション構造体及びキャリブレーションチャック光検出器は、キャリブレーションチャック光検出器がナイフエッジキャリブレーション構造体の外周まわりに延在するように及び／又はナイフエッジキャリブレーション構造体がナイフエッジキャリブレーション構造体の外周の内部にあるキャリブレーションチャック光検出器の領域に光学信号が入射することを阻止するが、ナイフエッジキャリブレーション構造体の外周まわりに若しくは外周の外部に延在するキャリブレーションチャック光検出器の領域に光学信号が入射することを可能にするように、互いに対してアライメントされてもよい。このような実施例では、ナイフエッジキャリブレーション構造体が１９４で示される長方形によって覆われ又はこの内部にあるキャリブレーションチャック光検出器１９０の領域に光が入射するのを妨害することができる一方、１９４で示される長方形の外部にあるキャリブレーションチャック光検出器の領域は、光を受け取ることができる。

この実施例では、ナイフエッジキャリブレーション構造体を横切って光学信号を移動させることによって、光学信号の異なる部分又は断片がキャリブレーションチャック光検出器に入射することができる。このような構成は、光学信号の１つ又は複数の空間特性の特徴付けを可能に及び／又は容易にし得る。

キャリブレーションチャック１００がピンホールキャリブレーション構造体の形態の閉塞型キャリブレーション構造体１９４を含む場合、ピンホールキャリブレーション構造体及びキャリブレーションチャック光検出器は、光学信号がピンホールキャリブレーション構造体を介して又はピンホールキャリブレーション構造体のピンホールを介してキャリブレーションチャック光検出器に入射するように、互いに対してアライメントされてもよい。このような実施例では、ピンホールキャリブレーション構造体が１９４で示される長方形の外部にあるキャリブレーションチャック光検出器１９０の領域に光が入射するのを妨害することができる一方、１９４で示される長方形の内部にあるキャリブレーションチャック光検出器の領域は光を受け取ることができる。

この実施例では、ピンホールキャリブレーション構造体を横切って光学信号を移動させることによって、光学信号の異なる部分又は断片がピンホールを介してキャリブレーションチャック光検出器に入射し得る。このような構成は、光学信号の１つ又は複数の空間特性の特徴付けを可能に及び／又は容易にし得る。

キャリブレーションチャック１００が偏光感応格子の形態の閉塞型キャリブレーション構造体１９４を含む場合、光学キャリブレーション構造体は、光学信号の偏光状態及び／又は光学信号の偏光状態の変化を検出及び／又は監視するために利用されてもよい。このような構成は、例えば、熱的及び／又は環境的変化によって引き起こされ得るような偏光ドリフトの定量化を可能にし得る。このような偏光ドリフトは、測定ドリフトを引き起こし、及び／又は測定性能を劣化させる可能性がある。これを念頭に置いて、偏光感応格子は、光学プローブシステム１０が偏光ドリフトを検出、考慮、及び／又は補正することを可能にすることによって、改善された及び／又はより正確な測定を可能に及び／又は容易にし得る。

図２乃至図４、及び図１３を参照して、光学キャリブレーション構造体１２０は、光学デバイス２００を含んでもよい。光学デバイス２００の例は、光学活性構造体、単一化光学チップ、シリコンフォトニクスデバイス、及び／又はユーザ提供の基板を含む。このような構成では、光学デバイス２００は、光学プローブシステム１０によってテストされ得る、及び／又は光学プローブシステム１０を較正するために利用され得る、１つ以上の既知の光学構造体を含んでもよい。光学デバイス２００は、存在する場合、単一の基板上に及び／又は単一の基板によって、形成及び／又は画定されてもよい。追加的に又は代替的に、光学キャリブレーション構造体１２０は、分離した及び／又は別個の基板によって画定され得る複数の別個の光学デバイス２００を含んでもよい。

いくつかの実施例では、キャリブレーションチャック１００は、ダイホルダ２３０を含んでもよく、光学デバイス２００は、ユーザ提供の光学デバイスを含んでもよく及び／又はユーザ提供の光学デバイスであってもよく、キャリブレーションチャック１００に動作可能に取り付けられてもよく及び／又はダイホルダ２３０内に位置してもよい。ダイホルダ２３０も１つ又は複数の参照基板２４０を収容及び／又は保持してもよい。参照基板２４０は、光学プローブアセンブリ４０がテストに、光学信号の提供に、及び／又は光学デバイス２００からの光学信号の受信に利用される際、距離センサ４４用の参照面を提供するように構成されてもよい。一例として、恐らく図１３に最もよく示されるように、参照基板２４０は、凹部領域２４２を含んでもよい。凹部領域２４２の存在は、光学プローブが光学デバイス２００のエッジ２０２に近接して位置して、光学プローブと光学デバイス２００との間のエッジ結合を可能に及び／又は容易にし得る。

いくつかの実施例では、ダイホルダ２３０も、対応する水平視野構造体１３０を含んでもよく、又はそれと関連付けられてもよい。例として、図３及び図４に示されるように、ダイホルダ２３０は、一対のミラー１３８及び対応する一対の水平照明アセンブリ１４４を含んでもよく及び／又はそれらと関連付けられてもよく、それらは、本明細書でより詳細に説明されるように、対応する水平視野領域を視認及び／又は撮像するために利用されてもよい。これは、光学デバイス２００の、参照基板２４０の、及び／又は、光学デバイス２００と相互作用及び／又は光学デバイス２００をテストするために利用され得る光学プローブの視認を可能に及び／又は容易にし得る。

本開示による光学プローブシステム１０及び／又はキャリブレーションチャック１００は、多くの方法で利用されてもよく、及び／又はいくつかの異なる方法を実行してもよく、その例が本明細書に開示されている。一般的な意味で、プローブシステム１０を操作する、利用する、及び／又は較正する方法は、少なくとも１つの光学プローブ４２を少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体１２０にアライメントすることと、少なくとも１つの光学プローブ及び／又は少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体を利用してデータを収集することと、を含んでもよい。データの収集は、少なくとも１つのプローブを介して、少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体に光学テスト信号５２を提供することを含んでもよい。データの収集は、追加的又は代替的に、少なくとも１つのプローブを介して少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体から光学合成信号を受信することを含んでもよい。データの収集は、追加的又は代替的に、少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体を利用して光学画像を収集することを含んでもよい。光学画像は、少なくとも１つのプローブ、及び／又は、光学プローブシステムの任意の他の適切な構造体及び／又は構成を含んでもよく、その例が本明細書に開示される。

本開示では、プローブシステム及び／又はキャリブレーションチャックを動作及び／又は利用する方法の文脈において、いくつかの例示的な非排他的な実施例が説明され及び／又は提示された。随伴する説明中に特に断りのない限り、これらの方法内で説明されるステップの順序は、異なる順序で及び／又は同時に発生する２つ以上のステップを含む、開示された順序とは異なる可能性があることは、本開示の範囲内である。

ステップがロジックとして実装されてもよく、ロジックとしてステップを実装するものとして説明されてもよいことも、本開示の範囲内である。いくつかのアプリケーションでは、ステップが機能的に等価な回路又は他の論理デバイスによって実行される式及び／又は動作を表すことができる。説明された方法及び／又はそれらのステップは、実行可能な命令を表し、これらの命令は、コンピュータ、プロセッサ、及び／又は他の論理デバイスに、応答させること、ある動作を実行させること、状態を変化させること、出力若しくは表示を発生させること、及び／又は決定を行わせることができるが、このことは要件ではない。

本明細書中に用いる、第１の実体と第２の実体との間に置かれた「及び／又は」とは、（１）第１の実体、（２）第２の実体、及び（３）第１の実体及び第２の実体、のうちの１つを意味する。「及び／又は」で列挙した複数の実体は、同じ様式で、即ち、そのように結合した実体のうちの「１つ以上」として解釈するべきである。「及び／又は」の節によって具体的に識別される実体以外の他の実体は、具体的に識別されるこれらの実体と関係しても無関係でも、任意で存在することができる。従って、非限定的な例として、「Ａ及び／又はＢ」への言及は、「具えている」のような上限のない文言と共に用いられる際には、一実施形態ではＡのみ（任意でＢ以外の実体を含む）を参照し、他の実施形態ではＢのみ（任意でＡ以外の実体を含む）を参照し、更に他の実施形態ではＡ及びＢを共に（任意で他の実体を含む）を参照する。これらの実体は、要素、動作、構造、ステップ、操作、値等を参照することができる。

本明細書中に用いる、１つ以上の実体のリストを参照する「少なくとも１つの」という句は、実体のリスト中の複数の実体のうちの任意の１つ以上から選択した少なくとも１つの実体を意味するものと理解するべきであるが、実体のリスト内に具体的に列挙したあらゆる全ての実体のうちの１つを必ずしも含まず、実体のリスト中の実体の任意の組合せを排除しない。こうした定義は、「少なくとも１つの」という句が参照する実体のリスト内に明示的に識別される実体以外の実体が、具体的に識別される実体と関係しても無関係でも、任意で存在し得ることも可能にする。従って、非限定的な例として、「Ａ及びＢの少なくとも一方」（又は等価的に「Ａ又はＢの少なくとも一方」）、或いは等価的に「Ａ及び／又はＢの少なくとも一方」は、一実施形態では、少なくとも１つの、任意で２つ以上のＡを含み、Ｂは存在しない（任意で、Ｂ以外の実体を含む）ことを参照することができ、他の実施形態では、少なくとも１つの、任意で２つ以上のＢを含み、Ａは存在しない（任意で、Ａ以外の実体を含む）ことを参照することができ、更に他の実施形態では、少なくとも１つの、任意で２つ以上のＡ、及び少なくとも１つの、任意で２つ以上のＢを含む（任意で他の実体を含む）ことを参照することができる。換言すれば、「少なくとも１つの」、「１つ以上の」、及び「及び／又は」という句は、その働きにおいて接続詞であると共に離接語である上限のない表現である。例えば、「Ａ、Ｂ、及びＣの少なくとも１つ」、「Ａ、Ｂ、又はＣの少なくとも１つ」、及び「Ａ、Ｂ、及び／又はＣ」という表現の各々は、Ａ単独、Ｂ単独、Ｃ単独、ＡとＢ一緒に、ＡとＣ一緒に、ＢとＣ一緒に、Ａ、Ｂ、及びＣ一緒に、及び任意で、上記のいずれかと少なくとも１つの他の実体との組合せを意味することができる。

何らかの特許、特許出願、又は他の参考文献を参照することによって本明細書に含め、（１）これらの文献等と矛盾する方法で用語を定義する場合、及び／又は（２）さもなければ、これらの文献等が、本開示における（これらの文献等を）含めた以外の部分にせよ他に含まれる参考文献のいずれかにせよ、それらと矛盾する場合には、本開示における（これらの文献等を）含めた以外の部分が支配的であり、上記用語又は本開示中に含めた部分は、その用語を定義した文献、及び／又は本開示に含めた開示が元々存在した文献のみに対して支配的である。

本明細書中に用いる「適合している」及び「構成されている」は、その要素、構成要素、又は他の主体が、所定の機能を実行するように設計され、及び／又は所定の機能を実行することを意図されていることを意味する。従って、「適合している」及び「構成されている」の使用は、所定の要素、構成要素、又は他の主体が所定の機能を単に実行する「ことができる」ことを意味するものと解釈するべきでなく、その要素、構成要素、及び／又は他の主体が、その機能を実行する目的で具体的に選択、作製、実現、利用、プログラム、及び／又は設計されていることを意味するものと解釈するべきである。特定の機能を実行するように適合しているものとして記載されている要素、構成要素、及び／又は他に記載する主体を、その機能を実行するように構成されているものとして追加的又は代替的に記述することができることも、本発明の範囲内であり、その逆も成り立つ。

本明細書中に用いる「例えば」という句、「一例として」という句、及び／又は単に「例」という語は、本発明による１つ以上の構成要素、特徴、細部、構造、実施形態、及び／又は方法を参照して用いる際には、記載した構成要素、特徴、細部、構造、実施形態、及び／又は方法が、本発明による構成要素、特徴、細部、構造、実施形態、及び／又は方法の説明上の非排他的な例であることを伝えることを意図している。従って、記載した構成要素、特徴、細部、構造、実施形態、及び／又は方法が、限定的であること、要件であること、或いは排他的／網羅的であることは意図しておらず、他の構成要素、特徴、細部、構造、実施形態、及び／又は方法も、構造的及び／又は機能的に同様な及び／又は等価な構成要素、特徴、細部、構造、実施形態、及び／又は方法を含めて、本発明の範囲内である。

本明細書中に用いる「少なくとも実質的に」は、程度又は関係を修正する場合、列挙された「実質的である」程度又は関係だけでなく、列挙された程度又は関係の完全な範囲も含み得る。列挙された程度又は関係の実質的な量は、列挙された程度又は関係の少なくとも７５％を含み得る。例えば、材料から少なくとも実質的に形成される物体は、当該物体の少なくとも７５％が当該材料から形成される物体を含み、当該材料から完全に形成される物体も含む。他の例として、第２の長さと少なくとも実質的に同じ長さの第１の長さは、第２の長さの７５％以内の第１の長さを含み、第２の長さと同じ長さの第１の長さも含む。更に他の例として、少なくとも実質的に平行である要素は、２２．５°まで逸脱する方向に延在する要素を含み、平行である要素も含む。

本開示によるキャリブレーションチャック、プローブシステム、及び方法の例示的であり非限定的な例が以下の列挙された段落に提示される。以下の列挙された段落を含む、本明細書に列挙された方法の個々のステップは、列挙された動作を実行する「ステップ」として追加的又は代替的に参照され得ることは本開示の範囲内である。

Ａ１．光学プローブシステムのためのキャリブレーションチャックであって、前記キャリブレーションチャックは、
キャリブレーションチャック支持面を画定するキャリブレーションチャック本体と、
前記キャリブレーションチャック本体によって支持される少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体と、を備える。

Ａ２．前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面に対して平行又は少なくとも実質的に平行な水平視野方向からの水平視野領域の視認を容易にするように構成される水平視野構造体を含む、Ａ１に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ３．前記水平視野構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面の垂直上に位置する前記光学プローブシステムの撮像デバイスを介して前記水平視認領域の視認を容易にするように構成される、Ａ２に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ４．前記水平視野領域は、前記光学プローブシステムの光学プローブを含む、Ａ２及びＡ３の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ５．前記水平視野領域は、前記キャリブレーションチャックのキャリブレーション基板のキャリブレーション基板エッジを含む、Ａ２乃至Ａ４の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ６．前記キャリブレーション基板エッジは、前記キャリブレーションチャック支持面に対して平行又は少なくとも実質的に平行である前記キャリブレーション基板の水平キャリブレーション基板面と、前記キャリブレーションチャック支持面に対して平行又は少なくとも実質的に平行である前記キャリブレーション基板の垂直キャリブレーション基板面との間の遷移を画定する、Ａ５に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ７．前記水平視野構造体は、光学プローブと、キャリブレーション基板エッジとの間の距離の判定を容易にするように構成される、Ａ２乃至Ａ６の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ８．前記キャリブレーションチャックは、前記キャリブレーション基板を含む、Ａ７に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ９．前記キャリブレーション基板はノッチ領域を含み、任意選択的に、前記キャリブレーション基板エッジに近接する光学プローブのアライメントを容易にし、且つ、前記水平キャリブレーション基板面の垂直上の光学プローブシステムの距離センサのアライメントを容易にするように構成される、Ａ８に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ１０．前記水平視野方向は、前記キャリブレーションチャック支持面に平行な閾値水平視野角内にあり、任意選択的に、前記閾値水平視野角は、（ｉ）及び（ｉｉ）のうちの少なくとも１つである、Ａ２乃至Ａ９に記載のキャリブレーションチャック。
（ｉ）少なくとも１度、少なくとも２度、少なくとも４度、少なくとも６度、少なくとも８度、又は少なくとも１０度
（ｉｉ）高々１５度、高々１０度、高々８度、高々６度、高々４度、高々２度、高々１度、高々０．５度、又は高々０．１度

Ａ１１．前記水平視野構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面に対してミラー面角で延在する平面ミラー面を画定するミラーを含む、Ａ２乃至Ａ１０の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ１２．前記ミラー面角は、（ｉ）乃至（ｉｉｉ）のうちの少なくとも１つである、Ａ１１に記載のキャリブレーションチャック。
（ｉ）スキュー角
（ｉｉ）少なくとも１０度、少なくとも１５度、少なくとも２０度、少なくとも２５度、少なくとも３０度、少なくとも３５度、少なくとも４０度、少なくとも４１度、少なくとも４２度、少なくとも４３度、少なくとも４４度、又は少なくとも４５度
（ｉｉｉ）高々８０度、高々７５度、高々７０度、高々６５度、高々６０度、高々５５度、高々５０度、高々４９度、高々４８度、高々４７度、高々４６度、又は高々４５度

Ａ１３．前記水平視野構造体は、前記水平視野方向に少なくとも部分的に沿って向けられる水平光線で前記水平視野領域を照らすように構成される水平照明アセンブリを含み、任意選択的に、前記水平照明アセンブリは、前記水平視野領域を背面照明するように構成される、Ａ２乃至Ａ１２の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ１４．前記水平照明アセンブリは、水平照明アセンブリ光源を含み、任意選択的に、前記水平照明アセンブリ光源は、（ｉ）乃至（ｉｉｉ）のうちの少なくとも１つを含む、Ａ１３に記載のキャリブレーションチャック。
（ｉ）少なくとも１つの水平照明アセンブリ発光ダイオード
（ｉｉ）少なくとも１つの水平照明アセンブリファイバ光学ケーブル
（ｉｉｉ）少なくとも１つの水平照明アセンブリ導光板

Ａ１５．前記水平照明アセンブリは、水平照明アセンブリ反射面を含む、Ａ１３及びＡ１４の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ１５．１ 前記水平照明アセンブリは、前記水平照明アセンブリ反射面の方位を選択的に調整するように構成される水平照明アセンブリ調整機構を含む、Ａ１５に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ１５．２ 前記水平照明アセンブリ調整機構は、前記水平照明アセンブリ反射面を回転軸の周りに回転させるように構成される、Ａ１５．１に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ１６．前記水平照明アセンブリは（ｉ）乃至（ｉｉｉ）のうちの少なくとも１つに構成される、Ａ１３及びＡ１４に記載のキャリブレーションチャック。
（ｉ）前記水平光線を前記ミラーに向ける
（ｉｉ）少なくとも部分的に前記水平視野方向に沿って前記水平光線を放出する
（ｉｉｉ）少なくとも部分的に前記水平視野方向に沿って前記水平光線を反射させる。

Ａ１７．前記水平視野構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面の垂直上に延在する、Ａ２乃至Ａ１６の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ１８．前記水平視野構造体は第１の水平視野構造体であり、前記水平視野領域は第１の水平視野領域であり、前記水平視野方向は第１の水平視５野方向であり、更に、前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面に平行な又は少なくとも実質的に平行な第２の水平視野方向から、第２の水平視野領域の視認を容易にするように構成される第２の水平視野構造体を含む、Ａ２乃至Ａ１７の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ１９．前記第２の水平視野方向は、前記第１の水平視野方向に対して垂直又は少なくとも実質的に垂直である、Ａ１８に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ２０．前記第２の水平視野領域は（ｉ）乃至（ｉｉｉ）のうちの少なくとも１つを含む、Ａ１８及びＡ１９の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。
（ｉ）光学プローブシステムの光学プローブ
（ｉｉ）キャリブレーション基板のキャリブレーション基板エッジ
（ｉｉｉ）キャリブレーション基板の別のキャリブレーション基板エッジ

Ａ２１．前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面に対して垂直又は少なくとも実質的に垂直である垂直視野方向からの垂直視野領域の視認を容易にするように構成される垂直視野構造体を含む、Ａ１乃至Ａ２０の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ２２．前記垂直視野構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面の垂直上に位置する前記光学プローブシステムの撮像デバイスを介して、前記垂直視野領域の視認を容易にするように構成される、Ａ２１に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ２３．前記垂直視野構造体は、少なくとも１つの反射、及び任意選択的に、少なくとも２つの反射を利用して、垂直視野領域の視認を容易にするように構成される、Ａ２１及びＡ２２の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ２４．前記垂直視領域は、前記光学プローブシステムの光学プローブを含み、任意選択的に、前記垂直視野領域は、（ｉ）乃至（ｘ）のうちの少なくとも１つを含む、Ａ２１乃至Ａ２３の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。
（ｉ）光学プローブの下面
（ｉｉ）光学プローブの光学ファイバ
（ｉｉｉ）光学プローブの光学ファイバのレンズ
（ｉｖ）光学プローブの光学ファイバによって発される光
（ｖ）光学プローブのエッジ
（ｖｉ）電気プローブ
（ｖｉｉ）ＲＦプローブ
（ｖｉｉｉ）ＤＣプローブ
（ｉｘ）機械的プローブ
（ｘ）プローブの下面

Ａ２５．前記垂直視野方向は、前記キャリブレーションチャック支持面に垂直な閾値垂直視野角内にあり、任意選択的に、前記閾値垂直視野角は（ｉ）及び（ｉｉ）のうちの少なくとも１つである、Ａ２１乃至Ａ２４の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。
（ｉ）少なくとも１度、少なくとも２度、少なくとも４度、少なくとも６度、少なくとも８度、又は少なくとも１０度
（ｉｉ）高々１５度、高々１０度、高々８度、高々６度、高々４度、高々２度、高々１度、高々０．５度、又は高々０．１度

Ａ２６．前記垂直視野構造体は、（ｉ）乃至（ｉｉｉ）のうちの少なくとも１つを含む、Ａ２１乃至Ａ２５の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。
（ｉ）プリズム
（ｉｉ）直角プリズム
（ｉｉｉ）ファイバアセンブリを備える屈折率分布型レンズ

Ａ２７．前記垂直視野構造体は、少なくとも部分的に前記キャリブレーションチャック本体内に埋め込まれる、Ａ２１乃至Ａ２６の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ２８．前記垂直視野構造体は、少なくとも１つの光学反射面と、任意選択的に少なくとも２つの光学反射面と、更に任意選択的に少なくとも２つの光学反射面と、光学透過面と、を含む、Ａ２１乃至Ａ２７の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ２９．前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、前記光学プローブシステムの少なくとも２つの光学プローブ間の相対的アラインメントを容易にするように構成されるプローブアラインメント構造体を含む、Ａ１乃至Ａ２８の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ３０．前記光学キャリブレーション構造体は、前記垂直視野構造体を含み、任意選択的に前記垂直視野構造体である、Ａ１乃至Ａ２８の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ３１．垂直反射構造体は、（前記）プローブアラインメント構造体及び（前記）垂直視野構造体の両方を画定する、Ａ３０に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ３２．前記光学プローブアセンブリの少なくとも２つの光学プローブは、前記プローブアラインメント構造体の方を向き、更に、前記プローブアラインメント構造体は、前記少なくとも２つの光学プローブの発光している光学プローブからの発光光学信号を受け取り、前記少なくとも２つの光学プローブの検出光プローブに入射する前記発光光学信号を導くように構成される、Ａ３０及びＡ３１の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ３３．前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、前記キャリブレーションチャックから離れるようにキャリブレーション光のビームを向けるように構成されるキャリブレーションチャック光源を含む、Ａ１乃至Ａ３２の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ３４．前記キャリブレーションチャック光源は、キャリブレーション光の前記ビームを、（前記）垂直視野方向と少なくとも実質的に平行なキャリブレーション光方向に向けるように構成される、Ａ３３記載のキャリブレーションチャック。

Ａ３５．前記キャリブレーションチャック光源は、キャリブレーションチャックレーザを含む、Ａ３３及びＡ３４の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ３６．キャリブレーション光の前記ビームは（ｉ）乃至（ｉｉｉ）のうちの少なくとも１つを含む、Ａ３３乃至Ａ３５の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。
（ｉ）レーザビーム
（ｉｉ）単色光ビーム
（ｉｉｉ）偏光ビーム

Ａ３７．前記キャリブレーションチャック光源は、前記光学プローブシステムの（前記）光学プローブに入射するキャリブレーション光の前記ビームを導くように構成される、Ａ３３乃至Ａ３６の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ３８．前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、その上に入射する光を検出するように構成される少なくとも１つのキャリブレーションチャック光検出器を含む、Ａ１乃至Ａ３７の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ３９．前記キャリブレーションチャック光検出器は、（前記）垂直視野方向と少なくとも実質的に平行な検出方向から前記光を検出するように構成される、Ａ３８に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ４０．前記キャリブレーションチャック光検出器は、キャリブレーションチャック光検出器、キャリブレーションチャックフォトダイオード、及び光学パワーメータのうちの少なくとも１つを含む、Ａ３８及びＡ３９の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ４１．前記キャリブレーションチャック光検出器は、前記光学プローブシステムの（前記）光学プローブから前記光を受け取るように構成される、Ａ３８乃至Ａ４０の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ４１．１ 前記キャリブレーションチャックは、前記キャリブレーションチャック光検出器と関連する閉塞型キャリブレーション構造体を更に含み、前記閉塞型キャリブレーション構造体は、前記キャリブレーションチャック光検出器の方へ向けられる光学信号の一部を選択的に妨害するように、任意選択的に、前記光学信号の特性を容易にするように構成される、Ａ３８乃至Ａ４１の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ４１．２ 前記閉塞型キャリブレーション構造体は、ナイフエッジキャリブレーション構造体及びピンホールキャリブレーション構造体のうちの少なくとも１つを含む、Ａ４１．１に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ４２．前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、（ｉ）乃至（ｉｉｉ）のうちの少なくとも１つを含む、Ａ１乃至Ａ４１．２の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。
（ｉ）光学活性構造体
（ｉｉ）光学デバイス
（ｉｉｉ）単一化光学チップ

Ａ４３．前記キャリブレーションチャックは、光学デバイスを含むように構成されるダイホルダを更に含む、Ａ１乃至Ａ４２の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ４４．前記ダイホルダは、参照基板を更に含む、Ａ４３に記載のキャリブレーションチャック。

Ａ４５．前記ダイホルダは、前記光学デバイス及び（前記）参照基板のうちの少なくとも１つを含む対応する水平視野領域を視認するように構成される対応する水平視野構造体を更に含む、Ａ４３及びＡ４４の何れか１つに記載のキャリブレーションチャック。

Ａ４６．対応する水平視野構造体は、Ａ２乃至Ａ２０の何れか１つの水平視野構造体の何れか１つの任意の適切な構造体及び／又は構成を含む、Ａ４５に記載のキャリブレーションチャック。

Ｂ１．光学プローブシステムであって、
複数の光学デバイスを含むデバイス基板を支持するように構成されるデバイス基板支持面を画定するデバイス基板チャックと、
少なくとも１つの光学プローブを含む光学プローブアセンブリと、
前記少なくとも１つの光学プローブに光学テスト信号を提供する、及び前記少なくとも１つの光学プローブから光学合成信号を受信する、のうちの少なくとも１つに構成される信号生成及び分析アセンブリと、
Ａ１乃至Ａ４６の何れか１つに記載のキャリブレーションチャックと、
前記デバイス基板チャック及び前記キャリブレーションチャックの垂直上に位置する撮像デバイスと、を備える光学プローブシステム。

Ｂ２．前記デバイス基板チャックは、前記デバイス基板の温度を調節するように構成される熱制御ユニットを含む、Ｂ１に記載の光学プローブシステム。

Ｂ３．前記光学プローブシステムは、（ｉ）乃至（ｉｖ）のうちの少なくとも１つに構成されるデバイス基板チャック並進構造体を更に含む、Ｂ１及びＢ２の何れか１つに記載の光学プローブシステム。
（ｉ）光学プローブアセンブリに対してデバイス基板チャックを動作可能に平行移動させる
（ｉｉ）光学プローブアセンブリに対してデバイス基板チャックを動作可能に回転させる
（ｉｉｉ）前記デバイス基板チャックを前記撮像デバイスに対して動作可能に平行移動させる
（ｉｖ）前記デバイス基板チャックを前記撮像デバイスに対して動作可能に回転させる

Ｂ４．前記キャリブレーションチャックは、前記デバイス基板チャックに動作可能に取り付けられ、それと共に移動するように構成される、Ｂ１乃至Ｂ３の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ５．前記デバイス基板は、半導体ウェハを含み、任意選択的に、前記光学プローブシステムは、前記半導体ウェハを含む、Ｂ１乃至Ｂ４の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ６．前記複数の光学デバイスは、複数のシリコンフォトニクス光学デバイスを含む、Ｂ１乃至Ｂ５の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ７．前記少なくとも１つの光学プローブは、ファイバ光学プローブを含む、Ｂ１乃至Ｂ６の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ８．前記光学プローブアセンブリは、複数の光学プローブを含む、Ｂ１乃至Ｂ７の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ９．前記光学プローブアセンブリは、前記光学プローブシステムが前記デバイス基板の少なくとも１つの光学デバイスを光学的にテストするために利用される場合、前記少なくとも１つの光学プローブと前記デバイス基板との間の距離を決定するように構成される距離センサを更に含む、Ｂ１乃至Ｂ８の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ１０．前記距離センサは、容量性距離センサ、容量性変位センサ、渦電流変位センサ、レーザ三角測量センサ、共焦点センサ、及び／又はスペクトル干渉変位センサのうちの少なくとも１つを含む、Ｂ９に記載の光学プローブシステム。

Ｂ１１．前記光学プローブシステムは、（ｉ）乃至（ｖｉ）のうちの少なくとも１つに構成される光学プローブアセンブリ並進構造体を更に含む、Ｂ１乃至Ｂ１０の何れか１つに記載の光学プローブシステム。
（ｉ）前記光学プローブアセンブリを前記デバイス基板チャックに対して動作可能に並進移動させる
（ｉｉ）前記光学プローブアセンブリを前記デバイス基板チャックに対して動作可能に回転させる
（ｉｉｉ）前記キャリブレーションチャックに対して前記光学プローブアセンブリを動作可能に並進移動させる
（ｉｖ）前記キャリブレーションチャックに対して前記光学プローブアセンブリを動作可能に回転させる
（ｖ）前記光学プローブアセンブリを前記撮像デバイスに対して動作可能に並進移動させる
（ｖｉ）前記光学プローブアセンブリを前記撮像デバイスに対して動作可能に回転させる

Ｂ１２．前記信号生成及び分析アセンブリは、前記光学テスト信号を生成するように構成される光源を含む、Ｂ１乃至Ｂ１１の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ１３．前記光源は、レーザ光源を含む、Ｂ１２に記載の光学プローブシステム。

Ｂ１４．前記信号発生及び分析アセンブリは、前記光学合成信号を検出するように構成される光検出器を含む、Ｂ１２及びＢ１３の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ１５．前記光検出器は、光検出器及びフォトダイオードのうちの少なくとも１つを含む、Ｂ１４に記載の光学プローブシステム。

Ｂ１６．前記光学プローブシステムは、前記光学テスト信号及び前記光学合成信号のうちの少なくとも１つを、前記信号生成及び分析アセンブリと前記光学プローブアセンブリとの間で伝送するように構成されるファイバ光学ケーブルを更に含む、Ｂ１乃至Ｂ１５の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ１７．前記撮像デバイスは、顕微鏡を含む、Ｂ１乃至Ｂ１７の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ１８．前記撮像デバイスは、対物レンズを含む、Ｂ１乃至Ｂ１７の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ１９．前記撮像デバイスは、光学画像を受け取り、前記光学画像の電気的表現を生成するように構成される、Ｂ１乃至Ｂ１８の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｂ２０．前記光学プローブシステムは、前記光学画像の前記電気的表現を前記光学プローブシステムのユーザに表示するように構成されるディスプレイを更に含む、Ｂ１９に記載の光学プローブシステム。

Ｂ２１．前記光プローブシステムは、（ｉ）乃至（ｖｉ）のうちの少なくとも１つに構成される撮像デバイス並進構造体を更に含む、Ｂ１乃至Ｂ２０の何れか１つに記載の光学プローブシステム。
（ｉ）前記撮像デバイスを前記デバイス基板チャックに対して動作可能に並進移動させる
（ｉｉ）前記撮像デバイスを前記デバイス基板チャックに対して動作可能に回転させる
（ｉｉｉ）前記撮像デバイスを前記キャリブレーションチャックに対して動作可能に並進移動させる
（ｉｖ）前記撮像デバイスを前記キャリブレーションチャックに対して動作可能に回転させる
（ｖ）前記撮像デバイスを前記光学プローブアセンブリに対して動作可能に並進移動させる
（ｖｉ）前記光学プローブアセンブリに対して動作可能に前記撮像デバイスを回転させる

Ｂ２２．前記光学プローブシステムは、密閉容積を画定するエンクロージャを更に含み、少なくとも前記デバイス基板チャックの前記デバイス基板支持面は、前記密閉容積内に位置する、Ｂ１乃至Ｂ２１の何れか１つに記載の光学プローブシステム。

Ｃ１．Ｂ１乃至Ｂ２２の何れか１つの光学プローブシステムを利用する方法であって、
前記少なくとも１つの光学プローブを前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体にアライメントすること、及び前記少なくとも１つの光学プローブを用いて且つ前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体を用いてデータを収集すること、を含む、方法。

Ｃ２．前記データの収集は、（ｉ）乃至（ｉｉｉ）のうちの少なくとも１つを含む、Ｃ１に記載の方法。
（ｉ）前記少なくとも１つのプローブを介して前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体に前記光学テスト信号を提供すること
（ｉｉ）前記少なくとも１つのプローブを介して、前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体から前記光学合成信号を受信すること
（ｉｉｉ）前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体を利用して、前記少なくとも１つのプローブの光学画像を収集すること

本明細書に開示されるキャリブレーションチャック、プローブシステム、及び方法は、光学デバイス並びに半導体製造及びテスト産業に適用可能である。

本開示は、独立した有用性を有する複数の別個の発明を包含すると考えられる。これらの発明の各々はその好ましい形態で開示されてきたが、本明細書に開示され図示されたその特定の実施形態は多数の変形が可能であるので、限定的な意味で考慮されるべきではない。本発明の主題は、本明細書に開示される様々な要素、特徴、機能、及び／又は特性の全ての新規且つ非自明な組み合わせ及びサブコンビネーションを含む。同様に、クレームが「ａ」若しくは「第１の」要素又はそれらの均等物を記載している場合、当該クレームは２以上のかかる要素を必須とすることも排除することもなく、１つ以上のかかる要素の組み込みを含むと理解されるべきである。

以下の特許請求の範囲は、特に、開示された発明のうちの１つを対象とし、新規且つ非自明である特定の組み合わせ及びサブコンビネーションを指すものと考えられる。特徴、機能、要素、及び／又は特性の他の組み合わせ及びサブコンビネーションで具現化される発明は、本特許請求の範囲の補正、又は本出願若しくは関連出願における新しい特許請求の範囲の提示を通して特許請求され得る。そのような補正された請求項又は新しい請求項は、それらが異なる発明を対象とするか、或いは同じ発明を対象とするかにかかわらず、元の請求項とは異なる、より広い、より狭い、又は範囲が等しいかにかかわらず、本開示の発明の主題内に含まれるものとみなされる。

Claims (27)

1. 光学プローブシステムのためのキャリブレーションチャックであって、
   前記キャリブレーションチャックは、
   キャリブレーションチャック支持面を画定するキャリブレーションチャック本体と、
   前記キャリブレーションチャック本体によって支持される少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体であって、前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面の垂直上に位置する前記光学プローブシステムの撮像デバイスを介して、前記キャリブレーションチャック支持面に対して少なくとも実質的に平行な水平視野方向からの水平視野領域の視認を容易にするように構成される水平視野構造体を含む、少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体と、
   を備える、キャリブレーションチャック。
2. 請求項１に記載のキャリブレーションチャックであって、前記キャリブレーションチャックは、キャリブレーション基板を含み、更に、前記水平視野領域は、前記キャリブレーション基板のキャリブレーション基板エッジを含む、キャリブレーションチャック。
3. 請求項２に記載のキャリブレーションチャックであって、前記キャリブレーション基板エッジは、前記キャリブレーションチャック支持面に対して少なくとも実質的に平行である前記キャリブレーション基板の水平キャリブレーション基板面と、前記キャリブレーションチャック支持面に対して少なくとも実質的に平行である前記キャリブレーション基板の垂直キャリブレーション基板面との間の遷移を画定する、キャリブレーションチャック。
4. 請求項３に記載のキャリブレーションチャックであって、前記キャリブレーション基板は、前記キャリブレーション基板エッジに近接する前記光学プローブシステムの光学プローブのアライメントを容易にし、また、前記水平キャリブレーション基板面の垂直上の前記光学プローブシステムの距離センサのアライメントを容易にするように構成されるノッチ領域を含む、キャリブレーションチャック。
5. 請求項１に記載のキャリブレーションチャックであって、前記水平視野構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面に対してスキューミラー面角で延在する平面ミラー面を画定するミラーを含む、キャリブレーションチャック。
6. 請求項１に記載のキャリブレーションチャックであって、前記水平視野構造体は、前記水平視野方向に沿って少なくとも部分的に向けられる水平光線で前記水平視野領域を照らすように構成される水平照明アセンブリを含む、キャリブレーションチャック。
7. 請求項６に記載のキャリブレーションチャックであって、前記水平照明アセンブリは、前記水平視野領域を背面照明するように構成される、キャリブレーションチャック。
8. 請求項６に記載のキャリブレーションチャックであって、前記水平照明アセンブリは、照明光ビームを生成するように構成される水平照明アセンブリ光源を含む、キャリブレーションチャック。
9. 請求項８に記載のキャリブレーションチャックであって、前記水平照明アセンブリは、前記照明光ビームを反射して前記水平視野領域を背面照明するように構成される水平照明アセンブリ反射面を含む、キャリブレーションチャック。
10. 請求項９に記載のキャリブレーションチャックであって、前記水平照明アセンブリは、前記水平照明アセンブリ反射面の方位を選択的に調整するように構成される水平照明アセンブリ調整機構を含む、キャリブレーションチャック。
11. 請求項１に記載のキャリブレーションチャックであって、前記水平視野構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面の垂直上に延在する、キャリブレーションチャック。
12. 請求項１に記載のキャリブレーションチャックであって、前記水平視野構造体は第１の水平視野構造体であり、前記水平視野領域は第１の水平視野領域であり、前記水平視野方向は第１の水平視野方向であり、更に、前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面に平行な又は少なくとも実質的に平行な第２の水平視野方向からの第２の水平視野領域の視認を容易にするように構成される第２の水平視野構造体を含む、キャリブレーションチャック。
13. 請求項１２に記載のキャリブレーションチャックであって、前記第２の水平視野方向は、前記第１の水平視野方向に対して少なくとも実質的に垂直である、キャリブレーションチャック。
14. 請求項１に記載のキャリブレーションチャックであって、前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、前記キャリブレーションチャック支持面の垂直上に位置する前記光学プローブシステムの撮像デバイスを介して、前記キャリブレーションチャック支持面に対して少なくとも実質的に垂直である垂直視野方向からの垂直視野領域の視認を容易にするように構成される垂直視野構造体を含む、キャリブレーションチャック。
15. 請求項１４に記載のキャリブレーションチャックであって、前記垂直視野構造体は、少なくとも１つの反射を用いて前記垂直視野領域の視認を容易にするように構成される、キャリブレーションチャック。
16. 請求項１４に記載のキャリブレーションチャックであって、前記垂直視野構造体は、
    (i)プリズム、
    (ii)直角プリズム、及び
    (iii)ファイバアセンブリを備える屈折率分布型レンズ
    のうちの少なくとも１つを含む、キャリブレーションチャック。
17. 請求項１４に記載のキャリブレーションチャックであって、前記垂直視野構造体は、前記キャリブレーションチャック本体内に少なくとも部分的に埋め込まれる、キャリブレーションチャック。
18. 請求項１４に記載のキャリブレーションチャックであって、前記垂直視野構造体は、少なくとも１つの光学反射面を含む、キャリブレーションチャック。
19. 請求項１に記載のキャリブレーションチャックであって、前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、前記光学プローブシステムのうちの少なくとも２つの光学プローブ間の相対的アラインメントを容易にするように構成されるプローブアラインメント構造体を含む、キャリブレーションチャック。
20. 請求項１に記載のキャリブレーションチャックであって、前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体は、その上に入射する光を検出するように構成されるキャリブレーションチャック光検出器を含む、キャリブレーションチャック。
21. 請求項２０に記載のキャリブレーションチャックであって、前記キャリブレーションチャック光検出器は、前記撮像デバイスの垂直視野方向に対して少なくとも実質的に平行な検出方向からの前記光を検出するように構成される、キャリブレーションチャック。
22. 請求項２０に記載のキャリブレーションチャックであって、前記キャリブレーションチャック光検出器は、キャリブレーションチャック光子検出器、キャリブレーションチャックフォトダイオード、及び光学パワーメータのうちの少なくとも１つを含む、キャリブレーションチャック。
23. 請求項２０に記載のキャリブレーションチャックであって、前記キャリブレーションチャックは、前記キャリブレーションチャック光検出器と関連する閉塞型キャリブレーション構造体を更に含み、前記閉塞型キャリブレーション構造体は、前記キャリブレーションチャック光検出器の方へ向けられる光学信号の一部を選択的に妨害するように構成される、キャリブレーションチャック。
24. 請求項２３に記載のキャリブレーションチャックであって、前記閉塞型キャリブレーション構造体は、ナイフエッジキャリブレーション構造体及びピンホールキャリブレーション構造体のうちの少なくとも１つを含む、キャリブレーションチャック。
25. 請求項１に記載のキャリブレーションチャックであって、前記キャリブレーションチャックは、光学デバイスを含むように構成されるダイホルダを更に含む、キャリブレーションチャック。
26. 光学プローブシステムであって、
    複数の光学デバイスを含むデバイス基板を支持するように構成されるデバイス基板支持面を画定するデバイス基板チャックと、
    少なくとも１つの光学プローブを含む光学プローブアセンブリと、
    前記少なくとも１つの光学プローブに光学テスト信号を提供するように、且つ前記少なくとも１つの光学プローブから光学合成信号を受信するように構成される信号生成及び分析アセンブリと、
    請求項１に記載のキャリブレーションチャックと、
    前記デバイス基板チャック及び前記キャリブレーションチャックの垂直上に位置する前記撮像デバイスと、
    を備える、光学プローブシステム。
27. 請求項２６に記載の光学プローブシステムを用いる方法であって、前記方法は、
    前記少なくとも１つの光学プローブを前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体にアライメントすること、及び
    前記少なくとも１つの光学プローブを用いて且つ前記少なくとも１つの光学キャリブレーション構造体を用いてデータを収集すること、
    を含む、方法。
    

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