JP2022526231A - 反射回折格子の製造 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、参照によって完全な形で本明細書に組み込まれている、2019年4月3日に出願された欧州特許出願第19167133.8号の優先権を主張するものである。
第2の下部構造を含む格子周期上の格子の周期性の方向に対して第1の下部構造から零次方向に鏡面反射されたビームへの斜入射角で入射するビームを鏡面反射するために第1の下部構造の構成を判断する工程;
1つ又は複数の非零回折次数方向に格子周期からビームを回折するために第2の下部構造を含む格子周期の固定又は可変ピッチ構成を判断する工程;
第2の下部構造から零次方向へ一回反射するビームのいかなる光線も側壁により隠蔽されるように第2の下部構造及びその格子周期の側壁の構成を斜入射角に基づき判断する工程;及び
第1及び第2の下部構造及び側壁の判断された構成を使用して格子を製造すること。
第2の下部構造を含む格子周期上の格子の周期性の方向に対して斜入射角で入射するビームを第1の下部構造から零次方向に鏡面反射されたビームへ鏡面反射するように構成された第1の下部構造、及び
1つ又は複数の非零回折次数方向に格子周期からビームを回折するために固定又は可変ピッチにより構成される第2の下部構造を含む格子周期であって、第2の下部構造及び側壁は、第2の下部構造から零次方向へ一回反射するビームのいかなる光線も側壁により隠蔽されるように構成され、格子周期は鏡面反射及び回折された放射線の大部分を鏡面反射するように構成される、格子周期。
ターゲットの照射のための放射線のビームを提供するように動作可能な放射線源;
放射線のビームを受信するように配置された第2の態様による反射回折格子;
鏡面反射されたビームを受信するように配置されたターゲットを支持するためのターゲット支持体;及び、
格子周期から回折される回折ビームを受信するように配置された検出器。
D>0.6Wtanβ (式4)
放射線のビームを提供するように動作可能な放射線源310、311;
放射線のビームを受信するように配置された図4~図13を参照して説明した反射回折格子312;
鏡面反射されたビームを受信するように配置されたターゲットTを支持するためのターゲット支持部316;及び、
格子周期から回折される回折ビームを受信するように配置された検出器314。
1.側壁のいずれかの側が入射ビームに面する第1及び第2の下部構造を含む格子周期を有する周期構造を有する格子に入射する放射線の斜入射ビームを鏡面反射及び回折するための反射回折格子を製造する方法であって、本方法は以下の工程を含む:
第2の下部構造を含む格子周期上の格子の周期性の方向に対して斜入射角で入射するビームを第1の下部構造から零次方向に鏡面反射されたビームへ鏡面反射するために第1の下部構造の構成を判断する工程、及び
1つ又は複数の非零回折次数方向に格子周期からビームを回折するために第2の下部構造を含む格子周期の固定又は可変ピッチ構成を判断する工程;
第2の下部構造から零次方向へ一回反射するビームのいかなる光線も側壁により隠蔽されるように第2の下部構造及びその格子周期の側壁の構成を斜入射角に基づき判断する工程;及び
第1及び第2の下部構造及び側壁の判断された構成を使用して格子を製造する工程。
2.第2の下部構造及び側壁の構成を判断する工程は、選択された非零回折次数方向へ第2の下部構造から回折するビームのいかなる光線も側壁により隠蔽されるように構成を、入射ビームの波長及び第2の下部構造を含む格子周期のピッチを使用して判断することを含む、条項1に記載の方法。
3.格子を製造する工程は鏡面上に格子を作製することを含む、条項1乃至2のいずれか一条項に記載の方法。
4.鏡面は湾曲される、条項3に記載の方法。
5.第1の下部構造はリッジを含み、第2の下部構造はトレンチを含む、条項1乃至4のいずれか一条項に記載の方法。
6.リッジは平らな上面を含み、トレンチはリッジの平らな上面に平行な平らなフロアを含む、条項5に記載の方法。
7.第2の下部構造及び側壁の構成を判断する工程はトレンチの形状を判断することを含む、条項5又は条項6に記載の方法。
8.第2の下部構造及び側壁の構成を判断する工程はトレンチのアスペクト比を定義する1つ又は複数の構造パラメータを判断することを含む、条項5乃至7のいずれか一条項に記載の方法。
9.トレンチのアスペクト比を定義する1つ又は複数の構造パラメータを判断することは次の不等式を満足することを含む、条項8に記載の方法:
10.格子はトレンチの可変上部幅を有し、トレンチの深さは可変上部幅の最大上部幅に関し上記不等式を満足するように選択される、条項9に記載の方法。
11.格子はトレンチの可変上部幅を有し、トレンチの深さは可変幅に応じて上記不等式を満足するように変更される、条項9に記載の方法。
12.格子周期は0.5超のトレンチ幅比を超える格子ピッチにより構成される、条項5乃至11のいずれか一条項に記載の方法。
13.格子周期は0.7超のトレンチ幅比を超える格子ピッチにより構成される、条項12に記載の方法。
14.格子周期は0.9超のトレンチ幅比を超える格子ピッチにより構成される、条項13に記載の方法。
15.格子周期は鏡面反射及び回折された放射線の大部分を鏡面反射するように構成される、条項1乃至11のいずれか一条項に記載の方法。
16.格子周期は鏡面反射及び回折された放射線の70%超を鏡面反射するように構成される、条項15に記載の方法。
17.格子周期は鏡面反射及び回折された放射線の90%超を鏡面反射するように構成される、条項16に記載の方法。
18.放射線は1nm~100nmの範囲内の波長を有する、条項1乃至17のいずれか一条項に記載の方法。
19.放射線は10nm~20nmの範囲内の波長を有する、条項18に記載の方法。
20.斜入射角は1度~17度の範囲内である、条項1乃至19のいずれか一条項に記載の方法。
21.斜入射角は3度~5度の範囲内である、条項20に記載の方法。
22.鏡面は0.2nm未満の二乗平均平方根表面誤差を有する、条項3を参照した条項1乃至21のいずれか一条項に記載の方法。
23.固定又は可変ピッチは、次の範囲内である、条項1乃至22のいずれか一条項に記載の方法:
24.トレンチのアスペクト比を定義する1つ又は複数の構造パラメータを判断することは次の不等式を満足することを含む、条項8に記載の方法:
D>0.6Wtanβ
ここで、Dはトレンチの深さであり、βは斜入射角であり、そしてWはトレンチの上部幅である。
25.反射回折格子は可変ライン間隔格子である、条項1乃至24のいずれか一条項に記載の方法。
26.可変ライン間隔格子の最大ピッチは次の範囲である、条項25のいずれかに記載の方法:
27.入射する放射線の斜入射ビームを鏡面反射及び回折するための反射回折格子であって側壁のいずれかの側が入射ビームに面する第1及び第2の下部構造を含む格子周期を有する周期構造を有する反射回折格子において、本反射回折格子は以下のものを含む:
第2の下部構造を含む格子周期上の格子の周期性の方向に対して斜入射角で入射するビームを第1の下部構造から零次方向に鏡面反射されたビームへ鏡面反射するように構成された第1の下部構造、及び
1つ又は複数の非零回折次数方向に格子周期からビームを回折するために固定又は可変ピッチにより構成される第2の下部構造を含む格子周期であって、第2の下部構造及び側壁は、第2の下部構造から零次方向へ一回反射するビームのいかなる光線も側壁により隠蔽されるように構成され、格子周期は鏡面反射及び回折された放射線の大部分を鏡面反射するように構成される、反射回折格子。
28.格子周期は鏡面反射及び回折された放射線の70%超を鏡面反射するように構成される、条項27に記載の反射回折格子。
29.格子周期は鏡面反射及び回折された放射線の90%超を鏡面反射するように構成される、条項28に記載の反射回折格子。
30.第2の下部構造及び側壁は、選択された非零回折次数方向へ第2の下部構造から回折するビームのいかなる光線も側壁により隠蔽されるように構成される、条項27乃至29のいずれか一条項に記載の反射回折格子。
31.格子は鏡面上に作製される、条項27乃至29のいずれか一条項に記載の反射回折格子。
32.鏡面は湾曲される、条項31に記載の反射回折格子。
33.第1の下部構造はリッジを含み、第2の下部構造はトレンチを含む、条項27乃至32のいずれか一条項に記載の反射回折格子。
34.リッジは平らな上面を含み、トレンチはリッジの平らな上面に平行な平らなフロアを含む、条項33に記載の反射回折格子。
35.トレンチの形状は、第2の下部構造から零次方向へ一回反射するビームのいかなる光線も側壁により隠蔽されるように構成される、条項33又は条項34に記載の反射回折格子。
36.トレンチのアスペクト比を定義する1つ又は複数の構造パラメータは次の不等式を満足する、条項33乃至35のいずれか一条項に記載の反射回折格子:
37.格子はトレンチの可変上部幅を有し、トレンチの深さは可変上部幅の最大上部幅に関し上記不等式を満足するように構成される、条項36に記載の反射回折格子。
38.格子はトレンチの可変上部幅を有し、トレンチの深さは可変幅に応じて不等式を満足するように変更される、条項36に記載の反射回折格子。
39.格子周期は0.5超のトレンチ幅比を超える格子ピッチにより構成される、条項33乃至38のいずれか一条項に記載の反射回折格子。
40.格子周期は0.7超のトレンチ幅比を超える格子ピッチにより構成される、条項39に記載の反射回折格子。
41.格子周期は0.9超のトレンチ幅比を超える格子ピッチにより構成される、条項40に記載の反射回折格子。
42.放射線は1nm~100nmの範囲内の波長を有する、条項27乃至41のいずれか一条項に記載の反射回折格子。
43.放射線は10nm~20nmの範囲内の波長を有する、条項42に記載の反射回折格子。
44.斜入射角は1度~17度の範囲内である、条項27乃至43のいずれか一条項に記載の反射回折格子。
45.鏡面は0.2nm未満の二乗平均平方根表面誤差を有する、条項31を参照した条項27乃至44のいずれか一条項に記載の方法。
46.固定又は可変ピッチは次の範囲内である、条項27乃至45のいずれか一条項に記載の方法:
47.トレンチのアスペクト比を定義する1つ又は複数の構造パラメータは次の不等式を満足する、条項33乃至35のいずれか一条項に記載の反射回折格子:
D>0.6Wtanβ
ここで、Dはトレンチの深さであり、βは斜入射角であり、Wはトレンチの上部幅である。
48.反射回折格子は可変ライン間隔格子である、条項27乃至47のいずれか一条項に記載の反射回折格子。
49.可変ライン間隔格子の最大ピッチは次の範囲である、条項48に記載の反射回折格子:
50.斜入射角は3度~5度の範囲内である、条項44に記載の反射回折格子。
51.
ターゲットの照射のための放射線のビームを提供するように動作可能な放射線源;
放射線のビームを受信するように配置された条項22~40のいずれか一条項の反射回折格子;
鏡面反射されたビームを受信するように配置されたターゲットを支持するためのターゲット支持体;及び
格子周期から回折される回折ビームを受信するように配置された検出器、を含む検査装置。
52.条項46の検査装置を含むメトロロジ装置。
53.条項46の検査装置を含むリソグラフィ装置。
Claims (15)
- 入射する放射線の斜入射ビームを鏡面反射及び回折するための反射回折格子であって側壁のいずれかの側が前記入射ビームに面する第1及び第2の下部構造を含む格子周期を有する周期構造を有する反射回折格子を製造する方法であって、
第2の下部構造を含む格子周期上の前記格子の周期性の方向に対して斜入射角で入射する前記ビームを前記第1の下部構造から零次方向に鏡面反射されたビームへ鏡面反射するために前記第1の下部構造の構成を判断する工程と、
1つ又は複数の非零回折次数方向に前記格子周期から前記ビームを回折するために前記第2の下部構造を含む格子周期の固定又は可変ピッチ構成を判断する工程と、
前記第2の下部構造から前記零次方向へ一回反射する前記ビームのいかなる光線も前記側壁により隠蔽されるように前記第2の下部構造及びその格子周期の側壁の構成を前記斜入射角に基づき判断する工程と、
前記第1及び第2の下部構造及び側壁の前記判断された構成を使用して格子を製造する工程と、
を含む、方法。 - 前記第2の下部構造及び側壁の構成を判断する前記工程は、選択された非零回折次数方向へ前記第2の下部構造から回折する前記ビームのいかなる光線も前記側壁により隠蔽されるように構成を前記入射ビームの波長及び前記第2の下部構造を含む前記格子周期のピッチを使用して判断することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記格子を製造する前記工程は、前記鏡面上に格子を作製することを含み、
そして任意選択的に、前記鏡面は湾曲される、請求項1又は2に記載の方法。 - 前記第1の下部構造は、リッジを含み、
前記第2の下部構造は、トレンチを含み、
そして任意選択的に、前記リッジは、平らな上部を含み、
前記トレンチは、前記リッジの前記平らな上部に平行な平らなフロアを含む、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の方法。 - 前記第2の下部構造及び前記側壁の構成を判断する前記工程は、前記トレンチの形状を判断することを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記格子は、前記トレンチの可変上部幅を有し、前記トレンチの前記深さは、前記可変上部幅の最大上部幅に関し前記不等式を満足するように選択されること、
前記格子は、前記トレンチの可変上部幅を有し、前記トレンチの前記深さは、前記可変幅に応じて前記不等式を満足するように変更されること、
のうちの少なくとも1つである、請求項6に記載の方法。 - 前記格子周期は、0.5超、又は任意選択的に0.7超、又は任意選択的に0.9超のトレンチ幅比を超える格子ピッチで構成される、請求項4乃至7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記格子周期は、前記鏡面反射及び回折された放射線の大部分を鏡面反射するように構成される、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記格子周期は、前記鏡面反射及び回折された放射線の70%超、又は任意選択的に90%超を鏡面反射するように構成される、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記放射線は、1nm~100nmの範囲内、又は任意選択的に10nm~20nmの範囲内の波長を有する、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記斜入射角は、1度~17度の範囲内、又は任意選択的に3度~5度の範囲内である、請求項1乃至11のいずれか一項に記載の方法。
- 入射する放射線の斜入射ビームを鏡面反射及び回折するための反射回折格子であって、側壁のいずれかの側が前記入射ビームに面する第1及び第2の下部構造を含む格子周期を有する周期構造を有する反射回折格子において、
第2の下部構造を含む格子周期上の前記格子の周期性の方向に対して斜入射角で入射するビームを前記第1の下部構造から零次方向に鏡面反射されたビームへ鏡面反射するように構成された第1の下部構造と、
1つ又は複数の非零回折次数方向に前記格子周期から前記ビームを回折するために固定又は可変ピッチにより構成される前記第2の下部構造を含む格子周期であって、前記第2の下部構造及び側壁は、前記第2の下部構造から零次方向へ一回反射する前記ビームのいかなる光線も側壁により隠蔽されるように構成され、前記格子周期は、前記鏡面反射及び回折された放射線の大部分を鏡面反射するように構成される、格子周期と、
を含む、反射回折格子。 - 前記第2の下部構造及び側壁は、選択された非零回折次数方向へ前記第2の下部構造から回折する前記ビームのいかなる光線も前記側壁により隠蔽されるように構成される、請求項13に記載の反射回折格子。
- ターゲットの照射のための放射線のビームを提供するように動作可能な放射線源と、
放射線の前記ビームを受信するように構成された請求項13又は14に記載の反射回折格子と、
前記鏡面反射されたビームを受信するように配置された前記ターゲットを支持するためのターゲット支持体と、
前記格子周期から回折される回折ビームを受信するように配置された検出器と、
を含む、メトロロジ装置。
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