JP2022505881A - イオン注入の生産性向上のためのGeH4/Arプラズマ化学 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- ゲルマニウムイオンビームを生成する方法であって、
ゲルマン及びアルゴンをイオン源に導入すること;
ゲルマン及びアルゴンをイオン化してプラズマを形成すること;並びに
イオン源からゲルマニウムイオンを抽出してゲルマニウムイオンビームを形成すること
を含む、方法。 - ハロゲンガスがイオン源に導入されない、請求項1に記載の方法。
- アルゴンの流量が0.5から2.0sccmの間である、請求項1に記載の方法。
- アルゴンの流量が0.7から1.0sccmの間である、請求項3に記載の方法。
- イオン源が、間接的に加熱されたカソードイオン源を含む、請求項1に記載の方法。
- イオン源が、RFイオン源、Bernas源、容量結合プラズマ源、誘導結合源、又はマイクロ波結合プラズマ源を含む、請求項1に記載の方法。
- イオン源がビームライン注入システムの構成要素である、請求項1に記載の方法。
- アルゴンイオンビームを生成する方法であって、
ゲルマン及びアルゴンをイオン源に導入すること;
ゲルマン及びアルゴンをイオン化してプラズマを形成すること;並びに
イオン源からアルゴンイオンを抽出してアルゴンイオンビームを形成することであって、ゲルマンの流量が0.35から1.00sccmの間である、形成すること
を含む、方法。 - イオン源が、間接的に加熱されたカソードイオン源、RFイオン源、Bernas源、容量結合プラズマ源、誘導結合源、又はマイクロ波結合プラズマ源を含む、請求項8に記載の方法。
- ハロゲンガスがイオン源に導入されない、請求項8に記載の方法。
- イオン源がビームライン注入システムの構成要素である、請求項8に記載の方法。
- アルゴンイオンビームを生成する方法であって、
ゲルマン及びアルゴンをイオン源に導入すること;
ゲルマン及びアルゴンをイオン化してプラズマを形成すること;並びに
イオン源からアルゴンイオンを抽出してアルゴンイオンビームを形成することであって、ゲルマンの流量が、アルゴンイオンビームのビーム電流を、同じ抽出電流でゲルマンを使用せずに生成されたアルゴンイオンビームと比較して少なくとも10%増加する、形成すること
を含む、方法。 - ゲルマンの流量が、アルゴンイオンビームのビーム電流を、同じ抽出電流でゲルマンを使用せずに生成されたアルゴンイオンビームと比較して少なくとも15%増加する、請求項12に記載の方法。
- ハロゲンガスがイオン源に導入されない、請求項12に記載の方法。
- イオン源がビームライン注入システムの構成要素である、請求項12に記載の方法。
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