JP2022500706A - 広角アプリケーション高反射ミラー - Google Patents
広角アプリケーション高反射ミラー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022500706A JP2022500706A JP2021525341A JP2021525341A JP2022500706A JP 2022500706 A JP2022500706 A JP 2022500706A JP 2021525341 A JP2021525341 A JP 2021525341A JP 2021525341 A JP2021525341 A JP 2021525341A JP 2022500706 A JP2022500706 A JP 2022500706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wide
- refractive index
- angle
- reflection mirror
- index film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/085—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
- G02B5/0858—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising a single metallic layer with one or more dielectric layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/085—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
- G02B5/0875—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising two or more metallic layers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0883—Mirrors with a refractive index gradient
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
Description
図1〜図3の1つに示すように、広角用途の高反射ミラーは、850〜950nmの範囲の高反射帯域を有し、その構造は、交互に積層された複数の高屈折率膜層1および複数の低屈折率膜層2によって形成される膜系を含む。
広角用途の高反射ミラーは、850nm〜950nmの範囲の高反射帯域を有し、この帯域には金の膜が含まれている。
図4および図5に示すように、比較例1の目標反射帯域は、約0度〜85度の入射角の適用を満たすことができる。比較例1の高反射帯域は、0〜80度の範囲の入射角で96%を超える反射率を有する。
広角用途の高反射ミラーは、850nm〜950nmの範囲の高反射帯域を有し、その構造は、交互に積層された複数の高屈折率膜層および複数の低屈折率膜層を含む。
図6および図7に示すように、比較例2では、目標反射帯域で99%を超える反射率を達成することができるが、この反射率を満たす場合、適用角度を0から約50度に制限することしかできない。入射角が大きくなると、膜系全体の形状が短波長方向にシフトし、50〜80度の適用範囲で反射率が大幅に低下する。
Claims (6)
- 800〜4000nmの波長範囲で部分的に重なり合う反射帯域を有する広角用途の高反射ミラーであって、
前記反射ミラーは、交互に積層された複数の高屈折率膜層と複数の低屈折率膜層を含み、
前記高屈折率膜層の材料は、SiH、SiOxHy、又はSiOxNy、又はそれらの混合物であり、
各高屈折率膜層は、800〜4000nmの波長範囲で3を超える屈折率を有し、前記反射帯域の反射率は99%を超え、入射角は広角範囲で0〜60度の範囲であることを特徴とする広角用途の高反射ミラー。 - 請求項1に記載の広角用途の高反射ミラーにおいて、前記高屈折率膜層は、800〜1100nmの波長範囲において3.5を超える屈折率を有することを特徴とする広角用途の高反射ミラー。
- 請求項1に記載の広角用途高反射ミラーにおいて、前記低屈折率膜層の材質が、TiO2、Nb2O5、Ta2O5、SiO2、SixNyのうちの1つ又はそれらの2つ以上の混合物であることを特徴とする広角用途の高反射ミラー。
- 請求項1に記載の広角用途高反射ミラーにおいて、800〜4000nmの波長範囲と部分的に重なる反射帯域が提供され、前記反射帯域は、0〜80度の入射角範囲において99%を超える反射率を有する広角用途の高反射ミラー。
- 膜系が、さらに、前記膜系の最も内側に配置された金属膜層を含み、前記金属層は、Cr、Ta、Ti、Nb、Ni、Au、Ag、Cu、Alのうちの1つ又はそれらの2つ以上の混合物であることを特徴とする広角用途の高反射ミラー。
- 膜系を担持するための基板をさらに含み、
前記基板の材質は、シリコン材料、シリカベースのガラス、プラスチック、サファイア、炭化ケイ素、強化ガラスのうちの1つ又はそれらの2つ以上の混合物であることを特徴とする広角用途の高反射ミラー。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810792202.2A CN110737036A (zh) | 2018-07-18 | 2018-07-18 | 宽角度应用高反射镜 |
CN201810792202.2 | 2018-07-18 | ||
PCT/CN2018/105140 WO2020015101A1 (zh) | 2018-07-18 | 2018-09-12 | 宽角度应用高反射镜 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022500706A true JP2022500706A (ja) | 2022-01-04 |
Family
ID=69163602
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021525341A Pending JP2022500706A (ja) | 2018-07-18 | 2018-09-12 | 広角アプリケーション高反射ミラー |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210356633A1 (ja) |
JP (1) | JP2022500706A (ja) |
KR (1) | KR20210042109A (ja) |
CN (1) | CN110737036A (ja) |
WO (1) | WO2020015101A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11688925B2 (en) | 2020-04-10 | 2023-06-27 | Commscope Technologies Llc | Module for a cellular communications monopole |
CN115201949A (zh) * | 2021-04-12 | 2022-10-18 | 福州高意光学有限公司 | 宽带反射镜 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005501286A (ja) * | 2001-08-24 | 2005-01-13 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | オプティカルコート製品及びその製造方法 |
WO2010004954A1 (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-14 | コニカミノルタオプト株式会社 | ミラー構造体 |
JP2010055058A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-03-11 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 広帯域反射鏡 |
CN103094390A (zh) * | 2013-01-15 | 2013-05-08 | 河北师范大学 | 一种用于薄膜太阳能电池的碳基光子晶体背反射器及其制备方法 |
US20140014838A1 (en) * | 2012-07-16 | 2014-01-16 | Karen Denise Hendrix | Optical filter and sensor system |
WO2014084167A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | 旭硝子株式会社 | 近赤外線カットフィルタ |
JP2017161897A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-09-14 | ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッドViavi Solutions Inc. | 光学フィルタアレイ |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060262389A1 (en) * | 2005-05-23 | 2006-11-23 | Christoph Zaczek | Reflective optical element for ultraviolet radiation, projection optical system and projection exposure system therewith, and method for forming the same |
JP6302688B2 (ja) * | 2014-02-03 | 2018-03-28 | ジオマテック株式会社 | 高反射膜、高反射膜付き基板及び高反射膜の製造方法 |
CN104369440B (zh) * | 2014-09-19 | 2016-03-23 | 电子科技大学 | 用于激光器的全介质反射膜及其制备方法 |
CN106324731A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-01-11 | 宜昌南玻显示器件有限公司 | 车载外视镜多功能反射膜及其制备方法 |
CN106324732B (zh) * | 2016-11-16 | 2019-04-19 | 天津津航技术物理研究所 | 一种超宽带激光薄膜反射镜 |
CN107315210B (zh) * | 2017-08-15 | 2019-08-16 | 天津津航技术物理研究所 | 一种全向消偏振介质薄膜激光反射镜及设计方法 |
CN110737099B (zh) * | 2018-07-18 | 2022-02-11 | 福州高意光学有限公司 | 偏振无关的分束器 |
CN108873135A (zh) * | 2018-08-06 | 2018-11-23 | 信阳舜宇光学有限公司 | 一种近红外窄带滤光片及红外成像系统 |
-
2018
- 2018-07-18 CN CN201810792202.2A patent/CN110737036A/zh active Pending
- 2018-09-12 KR KR1020217004611A patent/KR20210042109A/ko not_active Application Discontinuation
- 2018-09-12 WO PCT/CN2018/105140 patent/WO2020015101A1/zh active Application Filing
- 2018-09-12 JP JP2021525341A patent/JP2022500706A/ja active Pending
- 2018-12-09 US US17/259,439 patent/US20210356633A1/en active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005501286A (ja) * | 2001-08-24 | 2005-01-13 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | オプティカルコート製品及びその製造方法 |
WO2010004954A1 (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-14 | コニカミノルタオプト株式会社 | ミラー構造体 |
JP2010055058A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-03-11 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 広帯域反射鏡 |
US20140014838A1 (en) * | 2012-07-16 | 2014-01-16 | Karen Denise Hendrix | Optical filter and sensor system |
WO2014084167A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | 旭硝子株式会社 | 近赤外線カットフィルタ |
CN103094390A (zh) * | 2013-01-15 | 2013-05-08 | 河北师范大学 | 一种用于薄膜太阳能电池的碳基光子晶体背反射器及其制备方法 |
JP2017161897A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-09-14 | ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッドViavi Solutions Inc. | 光学フィルタアレイ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2020015101A1 (zh) | 2020-01-23 |
CN110737036A (zh) | 2020-01-31 |
US20210356633A1 (en) | 2021-11-18 |
KR20210042109A (ko) | 2021-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9977157B2 (en) | Dielectric mirror | |
JP6449999B2 (ja) | 反射防止膜、光学素子および光学系 | |
JP2007206172A (ja) | 撮像系光学素子 | |
JP2016528516A (ja) | 反射防止コーティング | |
KR20160058113A (ko) | 유전체 미러 | |
JP2007171735A (ja) | 広帯域反射防止膜 | |
JP2022500706A (ja) | 広角アプリケーション高反射ミラー | |
CN105891914A (zh) | 一种具有ag+ar+af 镀膜的视窗保护面板 | |
CA2292808C (en) | Thin film polarizing device having metal-dielectric films | |
JPH03187735A (ja) | 選択透過膜付きガラスの製造方法 | |
JP2023182732A (ja) | 耐久性向上のためナノラミネートを備えた光学コーティング | |
CN110737099B (zh) | 偏振无关的分束器 | |
JP2001100002A (ja) | 反射防止膜及びそれを用いた光学部材 | |
JP3894107B2 (ja) | 赤外域用反射防止膜 | |
WO2014089293A1 (en) | First surface mirror, method of making the same, and scaner and/or copier including the same | |
JP2566634B2 (ja) | 多層反射防止膜 | |
JP2002277606A (ja) | 反射防止膜及び光学素子 | |
JP2835535B2 (ja) | 光学部品の反射防止膜 | |
JP2002267801A (ja) | 反射防止膜及びそれを用いた光学部材 | |
JPS61219004A (ja) | 多層膜反射鏡 | |
CN114341722A (zh) | 抗反射电极 | |
JP2001074903A (ja) | 反射防止膜及び光学素子 | |
JP3894108B2 (ja) | 赤外域用反射防止膜 | |
JP2007003936A (ja) | 赤外域反射鏡及びその製造方法 | |
CN220795513U (zh) | 一种多功能反射层 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210701 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220802 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20221025 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230427 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20230530 |