JP2022184097A - Ｘ線検査装置、及びｘ線検査システム - Google Patents

Abstract

【課題】Ｘ線の散乱光による影響を低減し、より鮮明なＸ線画像を撮ることができるＸ線検査装置、及びＸ線検査システムを得ることを目的とする。【解決手段】Ｘ線検査装置１において、Ｘ線デジタル検出器３０は、筐体３の内部に配置されている。Ｘ線デジタル検出器３０には、Ｘ線感知領域が設定された検査面が形成されている。複数のＸ線調整板４０のそれぞれは、筐体３の内部から取り出し可能に筐体３の内部に配置されている。また、複数のＸ線調整板４０は、Ｘ線感知領域に対向した状態で、Ｘ線感知領域から遠ざかる方向へ並んでいる。【選択図】図８

Description

本開示は、非破壊検査に用いられるＸ線検査装置、及びＸ線検査システムに関するものである。

従来、検査対象物に対してＸ線検出部を走査させることにより、検査対象物の非破壊検査を実施する非破壊検査装置が知られている（例えば特許文献１参照）。

特開２０１０－１９７１７９号公報

従来の非破壊検査装置においては、Ｘ線の散乱光による影響によってＸ線検出部が鮮明なＸ線画像を撮ることができない場合が発生するという問題があった。

本開示は、上記のような問題を解決するためになされたものであり、より鮮明なＸ線画像を撮ることができるＸ線検査装置、及びＸ線検査システムを得ることを目的とする。

本開示に係るＸ線検査装置は、検出器ユニットと、検出器ユニットを支持する支持機構と、を備え、支持機構は、支持機構本体と、検出器ユニットを支持機構本体に取り付けるユニット支持部と、を有しており、検出器ユニットは、Ｘ線デジタル検出器と、筐体と、複数のＸ線調整板と、Ｘ線遮蔽部材と、を有しており、筐体には、Ｘ線が入射され、Ｘ線デジタル検出器は、筐体の内部に配置されており、Ｘ線デジタル検出器には、検査面が形成されており、検査面には、Ｘ線感知領域が設定されており、Ｘ線遮蔽部材は、筐体の内部において、Ｘ線感知領域を避けてＸ線デジタル検出器を覆っており、複数のＸ線調整板のそれぞれは、筐体の内部から取り出し可能に筐体の内部に配置されており、複数のＸ線調整板は、Ｘ線感知領域に対向した状態で、Ｘ線感知領域から遠ざかる方向へ並んでいる。

本開示に係るＸ線検査装置、及びＸ線検査システムによれば、より鮮明なＸ線画像を撮ることができる。

実施の形態１によるＸ線検査装置を示す斜視図である。 図１のＸ線検査装置を示す上面図である。 図１のＸ線検査装置を示す正面図である。 図１のＸ線検査装置を示す側面図である。 図１のＸ線検査装置の別の角度から見たときの状態を示す斜視図である。 図１の検出器ユニット２を示す斜視図である。 図６の検出器ユニット２の別の方向から見た状態を示す斜視図である。 図２の検出器ユニットのＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。 図６のＸ線デジタル検出器を示す斜視図である。 図６の検出器ユニット２の一部を分解した状態を示す斜視図である。 図７の検出器ユニットの一部を分解した状態を示す斜視図である。 図１１のＡ部分を示す拡大図である。 図１の検出器ユニットの分解図である。 図１の検出器ユニットの分解図である。 図１３のＢ部分を示す拡大図である。 実施の形態１によるＸ線検査装置の使用状態を示す概略図である。

以下、本開示の実施の形態について図面を参照して説明する。
実施の形態１．
図１は、実施の形態１によるＸ線検査装置を示す斜視図である。Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を検知する検出器ユニット２と、検出器ユニット２を支持する支持機構１００と、を備えている。

支持機構１００は、支持機構本体１０１と、支持機構本体１０１に取り付けられたユニット支持部１１０と、移動機構部１２０と、を有している。支持機構本体１０１は、一対の支柱１０２と、一対の中空支持部１０３ａを有した土台１０３と、一対の固定部１０５と、を有している。土台１０３は、一対の中空支持部１０３ａを有している。一対の中空支持部１０３ａのそれぞれは、一対の支柱１０２を支持している。

一対の中空支持部１０３ａのそれぞれの形状は、中空筒状である。一対の中空支持部１０３ａのそれぞれは、鉛直方向に中空部を開口するように配置されている。一対の中空支持部１０３ａのそれぞれの中空部には、支柱１０２の一部が挿入されている。各支柱１０２の中空支持部１０３ａに対する挿入量は、調整可能になっている。支持機構本体１０１は、各中空支持部１０３ａに対する支柱１０２の挿入量の調整によって高さ方向に伸縮可能になっている。

各中空支持部１０３ａには、支柱１０２の一部が挿入される部分に、固定部１０５が設けられている。固定部１０５は、支柱１０２の一部が中空支持部１０３ａに挿入された状態で中空支持部１０３ａに対する支柱１０２の位置を固定することができる。従って、支持機構本体１０１に高さ方向の寸法は、中空支持部１０３ａに対する支柱１０２の位置が固定されることによって決定される。

固定部１０５には、周知な構成を適用することができる。例えば、固定部１０５の機構は、中空支持部１０３ａに、中空支持部１０３ａの外側から中空部に向かって貫通ねじ穴が形成されている機構でもよい。中空支持部１０３ａに挿入された支柱１０２に向かって、貫通ねじ穴にボルトをねじ込むことで、支柱１０２の外周面にボルトの先端が押し付けられる。これによって、支柱１０２の中空支持部１０３ａに対する位置が固定される。

ユニット支持部１１０は、一対の軸受部１１１、一対の軸受部１１１のそれぞれを支持する一対の台座部１１２と、を有している。台座部１１２のそれぞれは、各支柱１０２の高さ方向上方側の端部に取り付けられている。ユニット支持部１１０は、検出器ユニット２を支持機構本体１０１に取り付けている。従って、支持機構本体１０１は、支持機構１００が載っている面に対して検出器ユニット２の高さ位置を調整可能である。

移動機構部１２０は、支持機構本体１０１の下部に設けられている。本実施の形態１では、移動機構部１２０が土台１０３の最下部に設けられている。移動機構部１２０には、周知な機構を適用することができる。本実施の形態１では、移動機構部１２０は、複数の車輪である。支持機構本体１０１は、移動機構部１２０によって、例えば、床面といった支持機構１００が配置されている面上を円滑に移動することができる。

図２は、図１のＸ線検査装置１を示す上面図である。図３は、図１のＸ線検査装置１を示す正面図である。図４は、図１のＸ線検査装置１を示す側面図である。図５は、図１のＸ線検査装置１の別の角度から見たときの状態を示す斜視図である。図２から図５には、支持機構１００の高さ方向の寸法が図１の状態よりも短くなっている状態が示されている。

ユニット支持部１１０は、回転軸心１１０ａを中心に検出器ユニット２を回転可能に支持している。回転軸心１１０ａは、水平方向に沿った線である。

図６は、図１の検出器ユニット２を示す斜視図である。図７は、図６の検出器ユニット２の別の方向から見た状態を示す斜視図である。図８は、図２の検出器ユニット２のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。検出器ユニット２は、Ｘ線を検知するＸ線デジタル検出器３０と、Ｘ線デジタル検出器３０が挿入される筐体３と、筐体３に挿入可能な複数のＸ線調整板４０と、Ｘ線遮蔽部材２０と、を有している。本実施の形態１では、複数のＸ線調整板４０は、７枚のＸ線調整板４０である。

図９は、図６のＸ線デジタル検出器３０を示す斜視図である。Ｘ線デジタル検出器３０は、板状である。Ｘ線デジタル検出器３０には、検査面３１が形成されている。検査面３１には、Ｘ線感知領域３２が設定されている。Ｘ線デジタル検出器３０は、検査面３１のＸ線感知領域３２に入射されたＸ線を検知することができる。

Ｘ線デジタル検出器３０の内部には、図示しないＸ線検知機構と図示しない回路機構とが配置されている。Ｘ線検知機構は、Ｘ線感知領域３２に対向する場所に配置されている。Ｘ線検知機構は、Ｘ線感知領域３２に入射されたＸ線を検知する。

回路機構は、Ｘ線デジタル検出器３０を制御するために必要な回路である。回路機構は、Ｘ線感知領域３２に対向する範囲以外の場所に配置されている。Ｘ線デジタル検出器３０には、取っ手３３が設けられている。

図６から図８に戻り説明をする。筐体３は、天板４と、透明部材４ｂと、底板５と、第１側板６と、第２側板９と、前部板１２と、後部板１３と、Ｘ線デジタル検出器保持部１７と、を有している。

ここで、ｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸が互いに直交するｘｙｚ直交座標系を用いて筐体３を説明する。また、ｘ軸に沿った方向を第１方向とし、ｙ軸に沿った方向を第２方向とし、ｚ軸に沿った方向を第３方向とする。

筐体３の形状は、直方体形状である。天板４と底板５とは、同一形状である。第１側板６と第２側板９とは、同一形状である。前部板１２と後部板１３とは、同一形状である。天板４と底板５とは、第１方向において互いに対向している。第１側板６と第２側板９とは、第２方向において互いに対向している。前部板１２と後部板１３とは、第３方向において互いに対向している。

第１側板６、第２側板９、前部板１２、及び後部板１３は、天板４と底板５との間の空間を囲んでいる。第１側板６、第２側板９、前部板１２、及び後部板１３のそれぞれは、天板４と底板５とのそれぞれに接続している。

第１側板６と第２側板９と前部板１２と後部板１３とのそれぞれは、天板４と底板５とのそれぞれの外周に沿って配置されている。即ち、第１側板６と第２側板９と前部板１２と後部板１３とは、それぞれで直方体形状である筐体３の側壁部分を構成している。

天板４には、入射側開口部４ａが形成されている。入射側開口部４ａは、透明部材４ｂによって閉鎖されている。透明部材４ｂは、Ｘ線を透過する素材で構成されている。また透明部材４ｂは、光学的に透明な素材で構成されている。

底板５には、底板開口部５ａが形成されている。筐体３には、Ｘ線検査時にＸ線が入射される。

第１側板６は、第１側板本体７と回転軸８とを有している。回転軸８は、棒状部材である。回転軸８は、第１側板本体７の表面に筐体３の外側に向かって突出するように取り付けられている。回転軸８は、回転軸８の長手方向の中心軸が第１側板本体７の表面の法線方向に沿って配置されるように、第１側板本体７の表面に取り付けられている。回転軸８の取付位置は、第１側板本体７の表面である。第１側板本体７の表面における取付位置は、回転軸８の取付部分の形状に対応するように窪んでいる。

なお、回転軸８の第１側板本体７の表面への取り付けは、周知な構成を用いることができる。例えば、第１側板本体７にねじ穴を形成し、回転軸８を図示しないボルトによって取り付けてもよい。

第２側板９は、第２側板本体１０と回転軸１１とを有している。回転軸１１は、棒状部材である。回転軸１１は、第２側板本体１０の表面に筐体３の外側に向かって突出するように取り付けられている。回転軸１１は、回転軸１１の長手方向の中心軸が第２側板本体１０の表面の法線方向に沿って配置されるように、第２側板本体１０の表面に取り付けられている。回転軸１１の取付位置は、第２側板本体１０の表面である。第２側板本体１０の表面における取付位置は、回転軸１１の取付部分の形状に対応するように窪んでいる。

回転軸８と回転軸１１とのそれぞれは、それぞれの対応する取付位置に取り付けられている。これにより、回転軸８の長手方向の中心軸と回転軸１１の長手方向の中心軸とのそれぞれは、第２方向に沿った同一の軸線上に配置される。

なお、回転軸１１の第２側板本体１０の表面への取り付けは、周知な構成を用いることができる。例えば、第２側板本体１０にねじ穴を形成し、回転軸１１を図示しないボルトによって取り付けてもよい。

前部板１２には、検出器開口部１２ａが形成されている。Ｘ線デジタル検出器３０は、検出器開口部１２ａから筐体３の内部に挿入される。Ｘ線デジタル検出器３０が筐体３へ挿入されても、取っ手３３は、筐体３の内部には配置されない。

後部板１３には、調整板開口部蓋１６が取り外し可能に取り付けられている。後部板１３と調整板開口部蓋１６とについては、後に説明する。筐体３は、アルミ材、フッ素樹脂、硬質プラスチックといったＸ線を透過する素材から構成されている。

Ｘ線デジタル検出器保持部１７は、筐体３の内部に配置されている。Ｘ線デジタル検出器保持部１７は、筐体３に挿入されたＸ線デジタル検出器３０を保持することができる。Ｘ線デジタル検出器保持部１７は、周知な構成で、検出器開口部１２ａから挿入されたＸ線デジタル検出器３０を保持することができる。Ｘ線デジタル検出器保持部１７は、Ｘ線デジタル検出器保持部１７によって、筐体３の内部から取り外し可能になっている。

Ｘ線デジタル検出器３０は、Ｘ線デジタル検出器３０を筐体３に挿入した状態で、検査面３１が天板４に対向する状態になるように筐体３に挿入されている。入射側開口部４ａは、筐体３にＸ線デジタル検出器３０が挿入された状態で、Ｘ線感知領域３２に対向する天板４の部分に開口されている。即ち、筐体３の入射側開口部４ａに対して照射されたＸ線は、Ｘ線感知領域３２に入射される。

複数のＸ線調整板４０は、Ｘ線感知領域３２に対向した状態で、Ｘ線感知領域３２から遠ざかる方向へ並んでいる。本実施の形態１では、筐体３の内部には、７枚のＸ線調整板４０が配置されている。

Ｘ線遮蔽部材２０は、筐体３の内部に配置されている。Ｘ線遮蔽部材２０は、Ｘ線遮蔽積層部材２０ａとＸ線遮蔽板２０ｃとを有している。Ｘ線遮蔽積層部材２０ａは、７枚の積層用遮蔽板２０ｂが積層されて形成されている。Ｘ線遮蔽部材２０は、筐体３にＸ線デジタル検出器３０が挿入された状態で、Ｘ線感知領域３２を避けてＸ線デジタル検出器３０を覆っている。

Ｘ線遮蔽積層部材２０ａは、Ｘ線デジタル検出器３０における検査面３１を覆うように配置されている。Ｘ線遮蔽板２０ｃは、Ｘ線デジタル検出器３０における検査面３１の反対側の面を覆うように配置されている。

図１０は、図６の検出器ユニット２の一部を分解した状態を示す斜視図である。図１１は、図７の検出器ユニット２の一部を分解した状態を示す斜視図である。図１２は、図１１のＡ部分を示す拡大図である。図１０では、検出器ユニット２の前部板１２を取り外した状態を示している。図１１では、検出器ユニット２の後部板１３と天板４とを取り外した状態を示している。図１１及び図１２では、複数のＸ線調整板４０が筐体３に挿入されている状態が示されている。

第１側板本体７には、第１Ｘ線調整板保持部７ａが形成されている。第１Ｘ線調整板保持部７ａは、筐体３の第２側板９に向かって突出するように形成されている。第１Ｘ線調整板保持部７ａは、Ｘ線デジタル検出器３０が筐体３に挿入された状態で、天板４とＸ線デジタル検出器３０との間に配置されている。第１Ｘ線調整板保持部７ａの第２側板９側の端部には、複数の第１側板スリット７ｂが形成されている。

第１Ｘ線調整板保持部７ａに対向するＸ線遮蔽積層部材２０ａの端部には、第２Ｘ線調整板保持部２２が形成されている。第２Ｘ線調整板保持部２２には、複数のＸ線遮蔽板スリット２１が形成されている。複数の第１側板スリット７ｂと複数のＸ線遮蔽板スリット２１とは、それぞれが互いに対向して配置いる。複数の第１側板スリット７ｂと複数のＸ線遮蔽板スリット２１とのそれぞれは、Ｘ線デジタル検出器３０が筐体３に挿入された状態で検査面３１から遠ざかる方向に形成されている。

各Ｘ線調整板４０の両端部のそれぞれは、対向する第１側板スリット７ｂとＸ線遮蔽板スリット２１とに沿って挿入される。従って、各Ｘ線調整板４０は、対応する第１側板スリット７ｂとＸ線遮蔽板スリット２１とに沿って筐体３の内部をスライド移動することができる。これによって、複数のＸ線調整板４０は、筐体３の内部への挿入及び内部からの取り外しが可能である。

複数のＸ線調整板４０は、Ｘ線デジタル検出器３０が挿入された状態で、Ｘ線感知領域３２に対向する位置に配置される。

第１Ｘ線調整板保持部７ａと第２Ｘ線調整板保持部２２と第３Ｘ線調整板保持部１６ａとは、Ｘ線調整板保持部１８を構成する。第３Ｘ線調整板保持部１６ａについては後に説明をする。

従って、Ｘ線調整板保持部１８に保持された複数のＸ線調整板４０は、Ｘ線調整板保持部１８によって筐体３の内部に保持される。複数のＸ線調整板４０は、Ｘ線感知領域３２に対向した状態で、Ｘ線感知領域３２から遠ざかる方向へ並んで保持される。

図１３は、図１のＸ線検査装置１の分解図である。図１４は、図１の検出器ユニット２の分解図である。図１５は、図１３のＢ部分を示す拡大図である。図１３では、検出器ユニット２とＸ線デジタル検出器３０とユニット支持部１１０とが示されている。図１３は、Ｘ線デジタル検出器３０と複数のＸ線調整板４０と調整板開口部蓋１６とが筐体３から取り外された状態を示している。

図１４では、筐体３とＸ線デジタル検出器３０と複数のＸ線調整板４０とを示している。図１５では、Ｘ線デジタル検出器３０と複数のＸ線調整板４０とが筐体３に挿入されている状態を示している。また、図１５では、調整板開口部蓋１６が調整板開口部１３ａを閉鎖している状態を示している。

天板４の入射側開口部４ａは、筐体３にＸ線デジタル検出器３０が挿入された状態で、Ｘ線感知領域３２に対向する位置に設けられている。底板５の底板開口部５ａは、筐体３にＸ線デジタル検出器３０が挿入された状態で、Ｘ線感知領域３２に対向する位置に設けられている。

後部板１３には、調整板開口部１３ａが設けられている。調整板開口部蓋１６を後部板１３に取り付けることで、調整板開口部１３ａは、閉鎖される。調整板開口部蓋１６を後部板１３から取り外すことで、調整板開口部１３ａは、開口される。

複数のＸ線調整板４０は、調整板開口部１３ａを通って筐体３の内部に挿入される。調整板開口部蓋１６は、筐体３の内部に数のＸ線調整板４０が挿入された状態で調整板開口部１３ａを閉鎖することができる。

調整板開口部蓋１６には、第３Ｘ線調整板保持部１６ａが形成されている。第３Ｘ線調整板保持部１６ａは、Ｘ線調整板保持部１８の一部を構成している。図１５では、調整板開口部蓋１６が調整板開口部１３ａを閉鎖している状態を示している。第３Ｘ線調整板保持部１６ａは、調整板開口部蓋１６が調整板開口部１３ａを閉鎖している状態で、筐体３の前部板１２に向かって突出している。第３Ｘ線調整板保持部１６ａの前部板１２側の端部には、蓋スリット１６ｂが複数形成されている。

複数のＸ線調整板４０が第１Ｘ線調整板保持部７ａと第２Ｘ線調整板保持部２２とによって保持されている状態で、調整板開口部蓋１６は、調整板開口部１３ａを閉鎖する。このとき、蓋スリット１６ｂには、複数のＸ線調整板４０のそれぞれの端部が嵌まり込む。これによって各Ｘ線調整板４０の筐体３からの飛び出し、及び各Ｘ線調整板４０のばたつきを防ぐことができる。

複数のＸ線調整板４０は、Ｘ線デジタル検出器３０が筐体３に挿入された状態で、Ｘ線調整板保持部１８によってＸ線感知領域３２を覆うように保持される。

図１３及び図１４に戻り説明を続ける。軸受部１１１のそれぞれは、対応する回転軸８又は回転軸１１を回転可能に支持する。回転軸８の長手方向の中心軸と回転軸１１の長手方向の中心軸とのそれぞれは、回転軸心１１０ａ上に配置されている。

ユニット支持部１１０は、さらに筐体３の底板５に取り付けられる回転板１１３を有している。

回転板１１３は、板状体をＬ字状に曲げたものである。回転板１１３は、板状体がＬ字状に曲げられたことで直角に接続される２つの面を有している。回転板１１３の一方の面には、円弧状の保持穴１１３ａが設けられている。

回転板１１３は、回転板１１３の他方の面が底板５に対向するように底板５に固定される。回転板１１３は、保持穴１１３ａが設けられた面と第２側板本体１０の面とが平行になるように配置されている。保持穴１１３ａの円弧が回転軸心１１０ａ上の点を中心とした円弧に沿うように回転板１１３が底板５に配置されている。

一対の台座部１１２のうちの一つの台座部１１２は、回転板１１３に対向している。台座部１１２には、穴１１２ａが設けられている。穴１１２ａと保持穴１１３ａとが互いに連通するように台座部１１２と回転板１１３とは、配置されている。互いに連通している穴１１２ａと保持穴１１３ａとに図示しないナットを挿入し、ボルトで締める。台座部１１２と回転板１１３とは、互いに固定される。従って、支持機構１００と検出器ユニット２との相対的な移動は、停止する。

次に、実施の形態１よるＸ線検査装置１の使用状態について説明する。図１６は、実施の形態１によるＸ線検査装置の使用状態を示す概略図である。Ｘ線検査装置１は、Ｘ線検査システム１５０を構成する１つの要素となる。Ｘ線検査システム１５０は、Ｘ線検査装置１とＸ線照射装置２１０とを有している。Ｘ線検査システム１５０の検査対象物２００は、例えば鋳物、工業加工製品といったものである。

スタンド２２０には、検査対象物２００が載せられている。検査対象物２００の上方には、Ｘ線照射装置２１０が配置されている。作業者は、Ｘ線感知領域３２とＸ線照射装置２１０とが検査対象物２００を挟んで対向するようにＸ線デジタル検出器３０を配置する。このとき、支持機構１００について調整を実施して検出器ユニット２の位置を調整する。具体的には、検出器ユニット２の高さ位置の調整と、検出器ユニット２の回転軸心１１０ａを中心に回転させた位置の調整が可能である。

検出器ユニット２の位置調整が完了した後、Ｘ線検査装置１を起動させ、Ｘ線照射装置２１０からＸ線２１１を照射する。Ｘ線２１１は、検査対象物２００を通過し、Ｘ線デジタル検出器３０の検査面３１に照射される。Ｘ線デジタル検出器３０は、検査面３１から入射されたＸ線２１１を検知して、Ｘ線検査が実施される。

Ｘ線２１１が検査対象物２００に照射されると、Ｘ線２１１は、一次線２１１ａのみならず、散乱光２１１ｂが発生する。この散乱光２１１ｂは、Ｘ線２１１の照射強度、周囲環境、検査対象物２００の物性、大きさ、形状、といった要因で発生する。この散乱光２１１ｂが原因により、Ｘ線デジタル検出器３０で撮ったＸ線画像が不鮮明となることがある。

作業者は、Ｘ線画像への散乱光２１１ｂの影響に基づいて、必要な枚数のＸ線調整板４０を筐体３に挿入する。即ち、作業者は、挿入するＸ線調整板４０の枚数を調整することができる。作業者は、Ｘ線調整板保持部１８にＸ線調整板４０を１枚から７枚まで挿入することができる。さらに、作業者は、Ｘ線調整板保持部１８にＸ線調整板４０を挿入しないことも選択できる。これにより、散乱光２１１ｂのＸ線画像への影響を低減させ、より鮮明なＸ線画像を取得することができる。

実施の形態１のＸ線検査装置１によれば、複数のＸ線調整板４０のそれぞれは、筐体３の内部から取り出し可能に筐体３の内部に配置されている。また、複数のＸ線調整板４０は、Ｘ線感知領域３２に対向した状態で、Ｘ線感知領域３２から遠ざかる方向へ並んでいる。従って、Ｘ線の散乱光の影響に応じて、必要な枚数のＸ線調整板４０を使用することができる。これによって、より鮮明なＸ線画像を撮ることができる。

実施の形態１のＸ線検査装置１によれば、Ｘ線遮蔽部材２０は、筐体３の内部において、Ｘ線感知領域３２を避けてＸ線デジタル検出器３０を覆っている。即ち、Ｘ線遮蔽部材２０は、Ｘ線デジタル検出器３０の内部の回路機構を覆っている。これにより、Ｘ線によって回路機構の破損、又は不調といった現象を低減することができる。

実施の形態１のＸ線検査装置１によれば、Ｘ線遮蔽板２０ｃは、Ｘ線デジタル検出器３０における検査面３１の反対側の面を覆うように配置されている。従って、床面、他の構造物から反射して検査面３１の反対側の面側から入射するＸ線について遮蔽することができる。これにより、Ｘ線によって回路機構の破損、又は不調といった現象を低減することができる。

実施の形態１のＸ線検査装置１によれば、複数のＸ線調整板４０を通す調整板開口部１３ａが設けられており、筐体３は、調整板開口部１３ａを開閉する調整板開口部蓋１６を有している。従って、調整板開口部蓋１６の取り外した後、調整板開口部１３ａからＸ線調整板４０の挿入及び取り出しが可能である。これによって、Ｘ線調整板４０の枚数において迅速な調整が可能である。

実施の形態１のＸ線検査装置１によれば、Ｘ線デジタル検出器３０は、筐体３の内部から取り外し可能になっている。これにより、Ｘ線デジタル検出器３０の故障といった事態にも迅速に対応ができる。

実施の形態１のＸ線検査装置１によれば、Ｘ線遮蔽部材２０におけるＸ線遮蔽積層部材２０ａは、７枚の積層用遮蔽板２０ｂが積層されて形成されている。これによって、Ｘ線検査装置１の製造が容易となる。

実施の形態１のＸ線検査装置１によれば、支持機構本体１０１は、支持機構１００が載っている面に対して検出器ユニット２の高さ位置を調整可能になっている。従って、検査対象物２００の配置状況に応じて検出器ユニット２を検査対象物２００に近づけることができる。これによって、検査対象物２００の配置状況によらずにＸ線検査を実施できる。

実施の形態１のＸ線検査装置１によれば、支持機構１００は、支持機構本体１０１の下部に設けられた移動機構部１２０をさらに有している。従って、Ｘ線検査装置１をより円滑に、より迅速に移動することができる。これによって、作業者の検査負担をより軽減することができる。

実施の形態１のＸ線検査装置１によれば、ユニット支持部１１０は、検出器ユニット２を支持機構本体１０１に回転可能に取り付けている。また、検出器ユニット２は、水平方向に沿った軸線を中心として支持機構本体１０１に対して回転可能となっている。従って、検査対象物２００の配置状況に応じて検出器ユニット２を検査対象物２００に対向させることができる。これによって、検査対象物２００の配置状況によらずにＸ線検査を実施できる。

実施の形態１のＸ線検査装置１によれば、底板５には、底板開口部５ａが形成されている。このため、散乱光の発生を低減することができる。すなわち、底板５に底板開口部５ａが形成されていない場合、使用するＸ線の強度が強いと、Ｘ線デジタル検出器３０を通過したＸ線は、底板５に当たる。これにより、底板５に当たったＸ線が散乱光としてＸ線感知領域３２に入射される。従って、散乱光の影響によりＸ線画像が不鮮明となる。これに対して、底板開口部５ａが形成されている場合には、Ｘ線デジタル検出器３０を通過したＸ線は、底板開口部５ａを通過し底板５には当たらない。従って、散乱光の発生を低減することができる。

なお、実施の形態１では、７枚のＸ線調整板４０が筐体３に挿入することができる。しかし、これに限られたものではない。筐体３が保持できるＸ線調整板４０の枚数は、限定されるものではない。

また、実施の形態１では、Ｘ線遮蔽部材２０は、７枚の積層用遮蔽板２０ｂとＸ線遮蔽板２０ｃとによって構成されている。しかし、これに限られたものではない。Ｘ線遮蔽部材２０を構成するＸ線遮蔽板の枚数は、限定されるものではない。さらに、Ｘ線遮蔽積層部材２０ａは、鉛といったＸ線を透過させない素材の塊で形成されてもよい。

また、実施の形態１では、Ｘ線デジタル検出器３０における検査面３１の反対側の面は、１枚のＸ線遮蔽板２０ｃで覆われている。しかし、これに限られたものではない。Ｘ線デジタル検出器３０における検査面３１の反対側の面も、Ｘ線遮蔽板を積層した積層体で覆ってもよい。

また、実施の形態１では、入射側開口部４ａを封鎖する透明部材４ｂを有している。しかし、これに限られたものではない。例えば、透明部材４ｂは光学的に透明ではなくてもよい。即ち、透明部材４ｂに変わって配置されるものは、Ｘ線を透過させるものであればよい。さらに、天板４に入射側開口部４ａが形成されていなくてもよい。この場合、天板４のＸ線感知領域３２に対応する箇所に印をつけてもよい。

また、実施の形態１では、支持機構本体１０１は、高さ方向に伸縮可能となっている。しかし、これに限られたものではない。支持機構本体１０１は、高さ方向に伸縮可能となっていなくてもよい。

また、実施の形態１では、支持機構１００は、移動機構部１２０を有している。しかし、これに限られたものではない。支持機構本体１０１は、移動機構部１２０を有していなくてもよい。

また、実施の形態１では、ユニット支持部１１０は、回転軸心１１０ａを中心に検出器ユニット２を回転自在に支持している。しかし、これに限られたものではない。ユニット支持部１１０は、検出器ユニット２を回転自在に支持しなくてもよい。

また、実施の形態１では、回転板１１３が１つ底板５に固定されている。しかし、これに限られたものではない。回転板１１３を２つ底板５に配置してもよい。この場合、２つの回転板１１３のそれぞれは、一対の台座部１１２のそれぞれに対向するように配置される。

また、実施の形態１では、底板５に底板開口部５ａが形成されている。しかし、これに限られたものではない。使用するＸ線の強度が弱い場合には、Ｘ線が底板５に当たっても散乱光のＸ線画像に対する影響は小さい。従って、例えば、底板５に底板開口部５ａを形成しなくてもよい。さらには、底板開口部５ａを閉鎖するようにＸ線調整板を取り外し可能に設置する構成としてもよい。これにより、床面といった支持機構１００が配置されている面からの散乱光のＸ線デジタル検出器３０への入射を回避することができる。

また、実施の形態１では、スタンド２２０に検査対象物２００を載せてＸ線検査を実施している。しかし、これに限られたものではない。例えば、検査対象物２００が小さく軽量なものである場合には、検査対象物２００を入射側開口部４ａに直に載せてＸ線検査を実施してもよい。

１ Ｘ線検査装置、２ 検出器ユニット、３ 筐体、４ 天板、４ａ 入射側開口部、４ｂ 透明部材、５ 底板、５ａ 底板開口部、６ 第１側板、７ 第１側板本体、７ａ 第１Ｘ線調整板保持部、７ｂ 第１側板スリット、８ 回転軸、９ 第２側板、１０ 第２側板本体、１１ 回転軸、１２ 前部板、１２ａ 検出器開口部、１３ 後部板、１３ａ 調整板開口部、１６ 調整板開口部蓋、１６ａ 第３Ｘ線調整板保持部、１６ｂ 蓋スリット、１７ Ｘ線デジタル検出器保持部、１８ Ｘ線調整板保持部、２０ Ｘ線遮蔽部材、２０ａ Ｘ線遮蔽積層部材、２０ｂ 積層用遮蔽板、２０ｃ Ｘ線遮蔽板、２１ Ｘ線遮蔽板スリット、２２ 第２Ｘ線調整板保持部、３０ Ｘ線デジタル検出器、３１ 検査面、３２ Ｘ線感知領域、３３ 取っ手、４０ Ｘ線調整板、１００ 支持機構、１０１ 支持機構本体、１０２ 支柱、１０３ 土台、１０３ａ 中空支持部、１０５ 固定部、１１０ ユニット支持部、１１０ａ 回転軸心、１１１ 軸受部、１１２ 台座部、１１２ａ 穴、１１３ 回転板、１１３ａ 保持穴、１２０ 移動機構部、１５０ Ｘ線検査システム、２００ 検査対象物、２１０ Ｘ線照射装置、２１１ Ｘ線、２１１ａ 一次線、２１１ｂ 散乱光、２２０ スタンド。

Claims (6)

1. 検出器ユニットと、前記検出器ユニットを支持する支持機構と、
   を備え、
   前記支持機構は、支持機構本体と、前記検出器ユニットを前記支持機構本体に取り付けるユニット支持部と、を有しており、
   前記検出器ユニットは、Ｘ線デジタル検出器と、筐体と、複数のＸ線調整板と、Ｘ線遮蔽部材と、を有しており、
   前記筐体には、Ｘ線が入射され、
   前記Ｘ線デジタル検出器は、前記筐体の内部に配置されており、
   前記Ｘ線デジタル検出器には、検査面が形成されており、
   前記検査面には、Ｘ線感知領域が設定されており、
   前記Ｘ線遮蔽部材は、前記筐体の内部において、前記Ｘ線感知領域を避けて前記Ｘ線デジタル検出器を覆っており、
   前記複数のＸ線調整板のそれぞれは、前記筐体の内部から取り出し可能に前記筐体の内部に配置されており、
   前記複数のＸ線調整板は、前記Ｘ線感知領域に対向した状態で、前記Ｘ線感知領域から遠ざかる方向へ並んでいるＸ線検査装置。
2. 前記筐体には、前記複数のＸ線調整板を通す調整板開口部が設けられており、
   前記筐体は、前記調整板開口部を開閉する調整板開口部蓋を有している、
   請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記支持機構本体は、前記支持機構が載っている面に対して前記検出器ユニットの高さ位置を調整可能になっている、
   請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記支持機構は、前記支持機構本体の下部に設けられた移動機構部をさらに有している、
   請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。
5. 前記ユニット支持部は、前記検出器ユニットを前記支持機構本体に回転可能に取り付けているており、
   前記検出器ユニットは、水平方向に沿った軸線を中心として前記支持機構本体に対して回転可能となっている、
   請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。
6. 請求項１から請求項５のずれか一項に記載のＸ線検査装置と、
   前記Ｘ線感知領域に向かってＸ線を照射するＸ線照射装置と、
   を備えたＸ線検査システム。

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