JP2022182421A

JP2022182421A - 混合液製造装置

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Publication number: JP2022182421A
Application number: JP2021089967A
Authority: JP
Inventors: 伸健西岡; Nobutake Nishioka
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-05-28
Filing date: 2021-05-28
Publication date: 2022-12-08

Abstract

【課題】ウェーハを洗浄する直前に、混合液を良好に製造する。【解決手段】ウェーハ１００を洗浄する際に、混合液製造装置１０において第１液と第２液とを混合して混合液４０３を製造し、製造した混合液４０３をウェーハ１００に吐出している。そして、混合液４０３を製造する際、混合室１５内の気圧を、エジェクタ３１を用いて、外気圧よりも低い所定の負圧値にすることにより、混合液４０３が吐出口１８から漏れ出ないようにしている。また、ウェーハ１００を洗浄する際には、混合室１５内の気圧を上げることにより、吐出口１８から混合液４０３を吐出させている。したがって、混合室１５に連通する吐出路１７にバルブを備える必要がない。このため、混合液４０３を吐出する際、混合液４０３が混合室１５に連通する吐出路１７に残存させないようにすることができる。【選択図】図３

Description

本発明は、混合液製造装置に関する。

特許文献１および２に開示のようにエッチング後のウェーハを洗浄する際に用いる洗浄水として、例えば、濃縮硫酸（Ｈ_２ＳＯ_４）と３０％過酸化水素水（Ｈ_２Ｏ_２）とを混合したピラニア溶液を用いる。このピラニア溶液は、３対１、４対１または７対１の混合比で、上記の２種類の液体を混合している。

特開２０２１－０２７０６４号公報特開２０２１－０２０８４８号公報

ピラニア溶液は、気体を発生するために密閉容器に入れることができず、気体の発生による劣化が早いために長期保存することもできない。このため、ピラニア溶液を使用する度に、上記の２種類の液体を混合する必要がある。

また、ピラニア溶液は、プラスチックを侵す。このため、２種類の液体を混合するためには、ガラス容器、フッ素系樹脂で形成された容器、または、フッ素系樹脂でコーティングされた容器が用いられる。

したがって、本発明の目的は、ピラニア溶液のような混合液を用いてウェーハを一枚ずつ洗浄する場合、洗浄する直前に、混合液を良好に製造することにある。

本発明の混合液製造装置（本混合液製造装置）は、少なくとも２液を混合した混合液を製造する混合液製造装置であって、底板と側板と天板とによって囲まれた混合室と、該混合室内に第１液を注入するための第１液注入口と、該混合室内に第２液を注入するための第２液注入口と、該第１液と該第２液とを混合した混合液を該混合室から吐出するための、該底板を貫通する吐出路と、該混合室内を吸引源に連通させて該混合室内の気体を吸引するための吸引口と、該吸引口から該気体を吸引する際の吸引圧を調整する吸引圧調整バルブと、制御部とを備え、該制御部は、該第１液と該第２液とを、該吐出路の下端から吐出させることなく混合させるために、該混合室と該吸引源とを連通させて該混合室の気圧を外気圧よりも低い所定の負圧値にすることと、該混合室の気圧を該所定の負圧値よりも上げることで、該吐出路の下端から該混合室および該吐出路にある全ての混合液を吐出させることを実施する。
本混合液製造装置では、該吸引源は、エジェクタであってもよく、該吸引圧調整バルブは、該エジェクタに供給されるエア量を調整することによって該吸引圧を調整してもよい。
本混合液製造装置では、該制御部は、該第１液を該混合室に注入する際に、該混合室内の気圧を第１負圧値にする第１制御部と、該第１液に加えて該第２液を該混合室に注入する際に、該混合室内の気圧を該第１負圧値よりも負圧方向に大きな第２負圧値にする第２制御部と、を備えてもよい。
本混合液製造装置では、該制御部は、該吸引口から該混合室内の気体を吸引するとともに、該吐出路の下端から該混合室内に空気を吸い込ませて該第１液と該第２液とを混合させるように、該吸引圧調整バルブを制御する第３制御部をさらに備えてもよい。

本混合液製造装置では、ウェーハなどの被洗浄物を洗浄する際に、第１液と第２液とを混合して混合液を製造し、製造した混合液を吐出する。そして、混合液を製造する際、混合室内の気圧を、吸引源を用いて、外気圧よりも低い所定の負圧値にすることにより、第１液、第２液および混合液が、混合室の底板を貫通する吐出路の下端から漏れ出ないようにしている。また、混合液を使用する際には、混合室内の気圧を所定の負圧値よりも上げることにより、吐出路の下端から、混合室および吐出路にある全ての混合液を吐出させている。

したがって、本混合液製造装置では、混合液が溜められる混合室に連通する吐出路に、混合液が接触するバルブを備える必要がない。このため、混合液を吐出する際、混合液が混合室に連通する吐出路に残存させないようにすることができる。

混合液製造装置を含むウェーハ洗浄装置の構成を示す説明図である。混合室に第１液を注入する動作を示す説明図である。混合室に第２液を注入する動作を示す説明図である。ウェーハに混合液を吐出する動作を示す説明図である。ウェーハから混合液を除去する動作を示す説明図である。他の構成の混合液製造装置を示す説明図である。

図１に示す本実施形態にかかるウェーハ洗浄装置１は、被洗浄物としてのウェーハ１００を洗浄する装置である。本実施形態において洗浄されるウェーハ１００は、たとえば、小口径（たとえばハーフインチ程度）のものである。

図１に示すように、ウェーハ洗浄装置１は、混合液を製造する混合液製造装置１０、ウェーハ１００が配置される洗浄槽ユニット５０、および、気体を処理する湿式スクラバー７０を備えている。

混合液製造装置１０は、第１液と第２液とを混合して、洗浄液としての混合液を製造する。混合液は、たとえばピラニア溶液である。この場合、第１液として濃縮硫酸（Ｈ_２ＳＯ_４）が用いられるとともに、第２液として３０％過酸化水素水（Ｈ_２Ｏ_２）が用いられる。この場合における第１液と第２液との混合比は、たとえば、３対１、４対１または７対１となる。

混合液製造装置１０は、第１液と第２液とを混合するための混合容器１１を備えている。混合容器１１は、たとえば、ガラス容器、フッ素系樹脂で形成された容器、または、フッ素系樹脂でコーティングされた容器である。混合容器１１は、筒状の側板１２、側板１２の上面を塞ぐ天板１３、および、側板１２の下面を塞ぐ底板１４を備えている。これら側板１２、天板１３および底板１４によって囲まれた空間が、混合室１５となっている。

底板１４の略中央には、混合液を吐出するための吐出路１７が、底板１４を貫通するように設けられている。吐出路１７は、混合室１５に連通されている。吐出路１７の下端は、混合液が吐出される吐出口１８となっている。また、底板１４の上面は、混合室１５に面していて、上面は、吐出路１７の上端が最も低くなるすり鉢状に形成されている。

また、天板１３には、混合室１５内に第１液を注入するための第１液注入口２０と、混合室１５内に第２液を注入するための第２液注入口２５と、混合室１５内の気体を吸引するための吸引口３０と、が備えられている。

第１液注入口２０は、混合室１５内に第１液を注入するための液体注入用のノズルであり、天板１３を貫通するように、天板１３に設けられている。第１液注入口２０の下端は、混合室１５内に開口されている。第１液注入口２０の上端は、第１配管２２を介して、第１液供給源２１に接続されている。また、第１配管２２には、第１バルブ２３が配置されている。第１バルブ２３は、第１液供給源２１と第１液注入口２０との連通状態を切り換える。

第２液注入口２５は、混合室１５内に第２液を注入するための液体注入用のノズルであり、天板１３を貫通するように、天板１３に設けられている。第２液注入口２５の下端は、混合室１５内に開口されている。第２液注入口２５の上端は、第２配管２７を介して、第２液供給源２６に接続されている。また、第２配管２７には、第２バルブ２８が配置されている。第２バルブ２８は、第２液供給源２６と第２液注入口２５との連通状態を切り換える。なお、第１液注入口２０および第２液注入口２５は、混合室１５の側板１２の上部を貫通して側板１２に設けられてもよい。

吸引口３０は、混合室１５内を吸引源に連通させて混合室１５内の気体を吸引するために用いられる吸引ノズルであり、天板１３を貫通するように、天板１３に設けられている。吸引口３０の下端は、混合室１５内に開口されている。吸引口３０の上端は、吸引配管３２を介して、エジェクタ３１に接続されている。また、吸引配管３２には、吸引バルブ３３が配置されている。吸引バルブ３３は、エジェクタ３１と吸引口３０との連通状態を切り換える。

エジェクタ３１は、外部から供給されるエアを利用して吸引力を発生する吸引源である。すなわち、エジェクタ３１は、外部からエアが供給されることにより、吸引口３０および吸引配管３２を介して、混合室１５内の気体を吸引する。

本実施形態では、エジェクタ３１には、第１エア配管３６を介して、エア源３５が接続されている。すなわち、エジェクタ３１は、エア源３５からのエアが供給されることにより、吸引口３０および吸引配管３２を介して、混合室１５内の気体を吸引する。エジェクタ３１は、エア源３５から供給されるエア量が多いほど、強い吸引力を発生することができるので、吸引口３０から混合室１５内の気体を吸引する際の吸引圧を高めることができる。なお、本実施形態では、エジェクタ３１は、たとえばフッ素系樹脂から形成される。

エア源３５は、たとえばコンプレッサーを備え、エジェクタ３１にエアを供給するために用いられる。第１エア配管３６には、エア源３５からエジェクタ３１側に向かって順に、吸引圧調整バルブ３８およびエア供給開閉弁３７が配設されている。エア供給開閉弁３７は、エジェクタ３１とエア源３５との連通状態を切り換える。
なお、エア供給開閉弁３７を用いない構成でもよい。

吸引圧調整バルブ３８は、たとえば比例制御電磁弁であり、エア供給開閉弁３７が開いているときに、エア源３５からエジェクタ３１に送られるエア量を調整するために用いられる。すなわち、吸引圧調整バルブ３８は、エア源３５からエジェクタ３１に供給されるエア量を調整することにより、吸引口３０から混合室１５内の気体を吸引する際の吸引圧を調整する。なお、吸引圧調整バルブ３８は、手動のニードル弁でもよい。

また、エジェクタ３１には、排気管３９が接続されている。排気管３９は、吸引口３０および吸引配管３２を介してエジェクタ３１によって混合室１５から吸引された気体を、湿式スクラバー７０に向けて排気するための配管である。排気管３９は、エジェクタ３１を介して吸引配管３２に連通されている。また、エジェクタ３１にエア源３５からエアが供給されていない場合には、エジェクタ３１の吸引源として機能が停止されて、排気管３９内は外気圧となる。したがって、この場合、吸引バルブ３３が開いていると、排気管３９に連通されている吸引配管３２、ならびに、吸引配管３２に連通されている吸引口３０および混合室１５も、同様にも外気圧となる。

洗浄槽ユニット５０は、図１に示すように、混合液製造装置１０の下方に配置されている。洗浄槽ユニット５０は、ウェーハ１００を洗浄するための洗浄槽５１、および、洗浄槽５１内に配置されてウェーハ１００を保持する保持テーブル５３を備えている。洗浄槽５１および保持テーブル５３は、たとえば、ガラスあるいはフッ素系樹脂から形成されているか、または、フッ素系樹脂でコーティングされている。

保持テーブル５３は、ポーラス材からなる保持面５４を有している。保持面５４は、吸引源（図示せず）に連通されることにより、ウェーハ１００を吸引保持する。保持面５４の中心は、混合液製造装置１０における吐出口１８の下方に位置している。
なお、保持テーブル５３は、ポーラス材ではなく、緻密体で形成してもよい。緻密体の保持テーブル５３は、保持面５４に複数の細孔を形成し、細孔を吸引源に連通させることによりウェーハ１００を吸引保持する。
なお、保持テーブル５３は、ウェーハ１００を吸引保持しないで、ウェーハ１００の下面に部分接触してウェーハ１００を支持する構成でもよい。また、保持テーブル５３は、ウェーハ１００の外周部分を支持する構成でもよい。

また、洗浄槽ユニット５０は、保持テーブル５３を回転させる回転部５７を有している。回転部５７は、保持面５４によってウェーハ１００を保持している保持テーブル５３を回転させる。

回転部５７は、洗浄槽５１の底部５２の外部（下方）に配置されているモータ５５、および、底部５２を貫通するように延びており、モータ５５によって回転されるスピンドル５６を有している。スピンドル５６の上端は、保持テーブル５３の下面に連結されている。スピンドル５６の下端は、モータ５５に連結されている。なお、底部５２におけるスピンドル５６の貫通部分は、Ｏリングなどからなるシール部材５８によって封止されている。

このような構成を有する保持テーブル５３では、ウェーハ１００は、たとえば、モータ５５によって回転されるスピンドル５６の中心がウェーハ１００の中心を通るように、保持面５４に保持される。そして、回転部５７のモータ５５によってスピンドル５６が回転されることにより、ウェーハ１００を保持している保持テーブル５３が回転される。

そして、洗浄槽ユニット５０では、混合液製造装置１０によって製造された混合液が、ウェーハ１００に吐出されることにより、ウェーハ１００が洗浄される。洗浄に用いられた混合液は、洗浄槽５１の底部５２に設けられた排液口５９を介して、図示しない外部の処理装置に排出される。

湿式スクラバー７０は、エジェクタ３１から排気されて排気管３９内を流れる気体を処理して、その毒性分を除去する。湿式スクラバー７０は、図１に示すように、排気管３９内の気体を取り入れて排出する筐体７１を備えている。さらに、湿式スクラバー７０は、筐体７１内に、水源７３に連通されているシャワーノズル７２、および、除害フィルタ７４を備えている。

このような構成を有する湿式スクラバー７０は、シャワーノズル７２から供給される水滴２００および除害フィルタ７４によって、排気管３９から取り込んだ気体から毒性分を除去し、筐体７１の上部に形成されている排気口７５から外部に排出する。使用された水は、たとえば、筐体７１の底部に形成された図示しない排水口を介して、外部に排出される。

また、ウェーハ洗浄装置１の混合液製造装置１０には、制御部４０が備えられている。制御部４０は、混合液製造装置１０、洗浄槽ユニット５０および湿式スクラバー７０の各部材を制御してウェーハ１００の洗浄を実施する。また、特に、制御部４０は、混合液製造装置１０の各バルブを制御して、洗浄液として第１液と第２液とを混合した混合液を製造し、製造した混合液をウェーハ１００に吐出する動作を実施する。

以下に、制御部４０によるウェーハ１００の洗浄動作について説明する。
ウェーハ１００の洗浄では、まず、作業者あるいは制御部４０が、ウェーハ洗浄装置１の洗浄槽ユニット５０における保持テーブル５３の保持面５４に、被洗浄物であるウェーハ１００を載置する。そして、制御部４０が、図示しない吸引源を制御して、保持面５４によってウェーハ１００を吸引保持する。次に、制御部４０は、混合液を製造する。

（混合液製造工程）
この工程では、制御部４０は、混合液製造装置１０を用いて、混合液を製造する。この際、制御部４０は、第１液と第２液とを、混合室１５の下方の吐出路１７の下端の吐出口１８から吐出させることなく、混合室１５および吐出路１７において混合させる。このために、混合室１５と吸引源としてのエジェクタ３１とを連通させて、混合室１５の気圧を、外気圧よりも低い所定の負圧値にする。

具体的には、制御部４０は、まず、図２に示すように、エア供給開閉弁３７を開けるとともに、吸引圧調整バルブ３８に所定量の電流を流して、エア源３５とエジェクタ３１とを連通させて、エジェクタ３１に所定量のエアを供給する。これにより、エジェクタ３１が、吸引力を発生する。さらに、制御部４０は、吸引バルブ３３を開ける。その結果、吸引配管３２および吸引口３０を介して、混合室１５内の空気が、図２において矢印３００によって示すように、エジェクタ３１によって吸引される。これにより、混合室１５の気圧が、外気圧よりも低い所定の負圧値となる。
なお、吸引バルブ３３は、吸引源がエジェクタ３１の場合には、用いなくてもよい。
なお、吸引源に、吸引ポンプを用いる場合は、吸引バルブ３３を備えるとよい。

次に、制御部４０は、第１バルブ２３を開けて、第１液供給源２１と第１液注入口２０とを連通させる。これにより、第１配管２２および第１液注入口２０を介して、第１液供給源２１から混合室１５内に、第１液４０１が注入される。第１液４０１の注入量は、たとえば１．２ｍｌである。

この際、混合室１５内の気圧が所定の負圧値になっているため、混合室１５内に注入された第１液４０１は、たとえば混合室１５の下方の吐出路１７内に至ることなく、吐出路１７の上部（上端）で留められて、混合室１５内に溜められる。
なお、混合室１５内の気圧が所定の負圧値になっているため、混合室１５内に第１液４０１を注入し混合室１５内に溜めた際に、吐出口１８から混合室１５内に外気を吸引しない。

次に、制御部４０は、図３に示すように、第１バルブ２３を閉じるとともに、第２バルブ２８を開けて、第２液供給源２６と第２液注入口２５とを連通させる。これにより、第１配管２２および第１液注入口２０を介した第１液４０１の注入が停止するとともに、第２配管２７および第２液注入口２５を介して、第２液供給源２６から混合室１５内に、第２液４０２が注入される。第２液４０２の注入量は、たとえば０．３ｍｌである。これにより、混合室１５および吐出路１７内において、第１液４０１と第２液４０２とが混合されて、混合液４０３が製造される。

この際、混合室１５内の気圧が所定の負圧値になっているため、混合室１５および吐出路１７内において製造された混合液４０３は、混合室１５の下方の吐出路１７の下部（下端の吐出口１８）には至るものの、吐出口１８から吐出されることなく、吐出口１８で留められて、混合室１５および吐出路１７内に溜められる。

また、混合室１５内では、製造された混合液４０３の一部が気化して気体となる。この気体は、吸引口３０および吸引配管３２を介してエジェクタ３１によって吸引されて、排気管３９を介して、図１に示した湿式スクラバー７０に送られて、湿式スクラバー７０によって処理される。

（吐出工程）
次に、制御部４０は、混合室１５内の気圧を所定の負圧値よりも上げる。つまり、外気圧に近づける。これにより、制御部４０は、吐出路１７の下端の吐出口１８から、混合室１５および吐出路１７にある全ての混合液４０３を吐出させる。
なお、混合室１５を外気圧にして混合液４０３を吐出させてもよい。

具体的には、制御部４０は、図４に示すように、第２バルブ２８を閉めるとともに、エア供給開閉弁３７を閉める。これにより、第２配管２７および第２液注入口２５を介した第２液４０２の注入が停止されるとともに、エア源３５とエジェクタ３１との連通が遮断される。その結果、エジェクタ３１による混合室１５内の気体の吸引が停止されるとともに、排気管３９に外気が進入し排気管３９内が外気圧となる。このため、エジェクタ３１を介して排気管３９に連通されている吸引配管３２、ならびに、吸引配管３２に連通されている吸引口３０および混合室１５も、同様に、所定の負圧値よりも高い圧力の外気圧となる。
つまり、排気管３９から外気を吸引して混合室１５内を外気圧にすることによって、混合液４０３を吐出させてもよい。

その結果、混合室１５および吐出路１７にある全ての混合液４０３が、混合室１５の下方の吐出路１７の吐出口１８から、洗浄槽ユニット５０の保持テーブル５３に保持されているウェーハ１００に向かって吐出される。そして、吐出された混合液４０３は、ウェーハ１００の表面に表面張力で溜められる。このようにして、ウェーハ１００の表面上に、混合液４０３の層が形成される。この混合液４０３の層により、ウェーハ１００の表面が洗浄される。
なお、エア供給開閉弁３７を備えない場合は、吸引圧調整バルブ３８によってエジェクタに供給するエア量を少なくすることによって、混合室１５内の圧力を所定の負圧値よりも高くしてもよい。
なお、保持テーブル５３を、例えば１００ｒｐｍで回転させながら、混合液４０３を吐出させウェーハ１００を洗浄してもよい。

次に、制御部４０は、図５に示すように、洗浄槽ユニット５０におけるモータ５５を制御して、矢印５０１に示すように、スピンドル５６および保持テーブル５３を回転させる。これにより、保持テーブル５３に保持されているウェーハ１００が回転されて、ウェーハ１００の表面に層を形成していた混合液４０３が、ウェーハ１００から除去されて、洗浄槽ユニット５０の洗浄槽５１の底部５２に落下する。落下した混合液４０３は、矢印５０２に示すように、排液口５９を介して排出される。

以上のように、本実施形態では、ウェーハ１００を洗浄する際に、混合液製造装置１０において第１液４０１と第２液４０２とを混合して混合液４０３を製造し、製造した混合液４０３をウェーハ１００に吐出している。そして、混合液４０３を製造する際、混合室１５内の気圧を、吸引源としてのエジェクタ３１を用いて、外気圧よりも低い所定の負圧値にすることにより、第１液４０１、第２液４０２および混合液４０３が、混合室１５の下方の吐出路１７の下端の吐出口１８から漏れ出ないようにしている。

また、本実施形態では、ウェーハ１００を洗浄する際には、混合室１５内の気圧を所定の負圧値よりも上げることにより、吐出路１７の下端の吐出口１８から、ウェーハ１００に向けて、混合室１５および吐出路１７にある全ての混合液４０３を吐出させている。

したがって、本実施形態では、混合液４０３が溜められる混合室１５に連通する吐出路１７に、混合液４０３が接触するバルブ（たとえば、混合液４０３を吐出するための吐出バルブ）を備える必要がない。このため、混合液４０３を吐出する際、混合液４０３が混合室１５に連通する吐出路１７に残存させないようにすることができる。

なお、本実施形態では、混合室１５および吐出路１７内の混合液４０３を吐出路１７の吐出口１８から吐出する吐出工程において、エア源３５とエジェクタ３１との連通を遮断することにより、エジェクタ３１の吸引源としての機能を停止させて、混合室１５の気圧を外気圧としている。これによって、吐出口１８から混合液４０３を吐出する。また、混合室１５の気圧を、上記した所定の負圧値よりも上げて、吐出口１８から混合液４０３が吐出されるような気圧とすればよい。

このために、制御部４０は、吐出工程において、たとえば、吸引圧調整バルブ３８を制御して、エア源３５からエジェクタ３１に送られるエア量を少なくすることにより、エジェクタ３１による混合室１５内の空気の吸引圧を下げて、混合室１５内の気圧を、所定の負圧値よりも高く、かつ、外気圧よりも低い値にしてもよい。なお、混合室１５内の気圧が外気圧よりも低い場合でも、混合液４０３の自重を利用して、混合液４０３を吐出路１７の吐出口１８から吐出させることが可能である。

この構成では、吐出工程において、エア源３５からエジェクタ３１に送られるエア量を調整することにより、混合室１５の気圧を、比較的に細かく調整することができる。このため、吐出路１７の吐出口１８から吐出される混合液４０３の量を制御することが可能となる。

また、ウェーハ洗浄装置１は、混合液製造装置１０に変えて、図６に示すような混合液製造装置８０を有していてもよい。図６に示す混合液製造装置８０は、図１に示す混合液製造装置１０の構成において、第１エア配管３６に、エア供給開閉弁３７に代えて、切換え弁４５を有している。また、切換え弁４５と吸引配管３２との間に、これらを接続する第２エア配管４６が設けられている。切換え弁４５は、エア源３５からのエアを、第１エア配管３６を介してエジェクタ３１に供給するか、あるいは、第２エア配管４６および吸引配管３２を介して吸引口３０に供給することできる。

この構成では、制御部４０は、混合液製造工程において、切換え弁４５を制御して、エア源３５からのエアを、第１エア配管３６を介してエジェクタ３１に供給する。一方、吐出工程においては、制御部４０は、図６に示すように、吸引バルブ３３を閉めるとともに、切換え弁４５を制御して、エア源３５からのエアを、図６において矢印３０１に示すように、第２エア配管４６および吸引配管３２を介して吸引口３０に供給する。これにより、吐出工程では、混合室１５内にエアが送られて、混合室１５内の気圧が、所定の負圧値よりも高くなり、たとえば、外気圧よりも高い陽圧となる。その結果、吐出口１８から、混合液４０３が吐出される。この構成では、混合室１５内の気圧を陽圧とすることにより、混合液４０３の吐出速度を上げることができる。

また、制御部４０は、図１に示すように、第１制御部４１および第２制御部４２を有している。そして、混合液製造工程において、第１液４０１を混合室１５に注入する際（図２参照）、制御部４０の第１制御部４１が、吸引圧調整バルブ３８を制御して、エジェクタ３１による混合室１５内の空気の吸引圧を調整することにより、混合室１５内の気圧を、外気圧よりも低い第１負圧値にしてもよい。この第１負圧値は、上記した所定の負圧値の一例である。

また、第１液４０１に加えて第２液４０２を混合室１５に注入する際（図３参照）、制御部４０の第２制御部４２が、吸引圧調整バルブ３８を制御して、エジェクタ３１による混合室１５内の空気の吸引圧を調整することにより、混合室１５内の気圧を、外気圧よりも低い第２負圧値にしてもよい。ここで、第２負圧値は、第１負圧値よりも負圧方向に大きい値（すなわち、第１負圧値よりも低い気圧値）であり、上記した所定の負圧値の一例である。

このような第１制御部４１および第２制御部４２による制御を実施することにより、混合室１５内において、より多くの混合液４０３を製造することができる。したがって、ウェーハ洗浄装置１において、ハーフインチよりも大きいウェーハ１００を洗浄することが容易となる。

なお、本実施形態では、混合液製造工程において、第１液４０１と第２液４０２とを、混合室１５および吐出路１７において混合させて混合液４０３を製造し、混合室１５および吐出路１７に混合液４０３を溜めている。これに関し、制御部４０は、たとえば混合室１５の気圧を調整することにより、混合室１５のみにおいて第１液４０１と第２液４０２とを混合させて混合液４０３を製造し、混合室１５のみに混合液４０３を溜めてもよい。

また、制御部４０は、図１に示すように、第３制御部４３を有している。この第３制御部４３は、混合液製造工程において、吸引口３０から混合室１５内の気体を吸引するとともに、吐出路１７の下端の吐出口１８から混合室１５内に空気を吸い込ませて、第１液４０１と第２液４０２とを混合させるように、吸引圧調整バルブ３８を制御することができる。

すなわち、第３制御部４３は、たとえば混合液製造工程において第２液４０２を混合室１５に注入する際に（図３参照）、吸引圧調整バルブ３８を制御して、エジェクタ３１による混合室１５内の空気の吸引圧を調整することにより、混合室１５内の気圧を、外気圧よりも低い第３負圧値にする。この第３負圧値は、吐出路１７の下端の吐出口１８から混合室１５内に、外部の空気が吸い込まれるような値である。これにより、混合室１５内において、外部から吸い込んだ空気を用いて第１液４０１と第２液４０２とを良好に混合することができるので、混合液４０３を良好に製造することができる。

なお、このような第３制御部４３による制御は、たとえば、混合液の毒性がピラニア溶液等よりも小さい場合であって、第１液と第２液とが混合されにくい場合、および／または、混合液が乾燥しやすい場合に用いられることが好ましい。

また、本実施形態では、吐出路１７が、混合容器１１の底板１４を貫通するように設けられている。これに関し、吐出路１７として、底板１４を貫通して底板１４の下方に突出するパイプが備えられていてもよい。この場合、パイプの下端が、混合液４０３が吐出される吐出口１８となる。

また、本実施形態では、第１液と第２液とを混合して混合液を製造している。これに関し、混合液製造装置１０では、少なくとも２液を混合することによって混合液を製造すればよい。したがって、混合液製造装置１０は、３種類以上の液体を混合して混合液を製造するように構成されていてもよい。

１：ウェーハ洗浄装置、
１０：混合液製造装置、８０：混合液製造装置、
１１：混合容器、１２：側板、１３：天板、１４：底板、１５：混合室、
１７：吐出路、１８：吐出口、
２０：第１液注入口、２１：第１液供給源、２２：第１配管、２３：第１バルブ、
２５：第２液注入口、２６：第２液供給源、２７：第２配管、２８：第２バルブ、
３０：吸引口、３１：エジェクタ、３２：吸引配管、３３：吸引バルブ、
３５：エア源、３６：第１エア配管、３７：エア供給開閉弁、
３８：吸引圧調整バルブ、３９：排気管、
４０：制御部、４１：第１制御部、４２：第２制御部、４３：第３制御部、
４５：切換え弁、４６：第２エア配管、
５０：洗浄槽ユニット、５１：洗浄槽、５２：底部、
５３：保持テーブル、５４：保持面、
５５：モータ、５６：スピンドル、５７：回転部、
５８：シール部材、５９：排液口、
７０：湿式スクラバー、７１：筐体、７２：シャワーノズル、
７３：水源、７４：除害フィルタ、７５：排気口、
１００：ウェーハ、２００：水滴、
４０１：第１液、４０２：第２液、４０３：混合液

Claims

少なくとも２液を混合した混合液を製造する混合液製造装置であって、
底板と側板と天板とによって囲まれた混合室と、
該混合室内に第１液を注入するための第１液注入口と、
該混合室内に第２液を注入するための第２液注入口と、
該第１液と該第２液とを混合した混合液を該混合室から吐出するための、該底板を貫通する吐出路と、
該混合室内を吸引源に連通させて該混合室内の気体を吸引するための吸引口と、
該吸引口から該気体を吸引する際の吸引圧を調整する吸引圧調整バルブと、
制御部とを備え、
該制御部は、
該第１液と該第２液とを、該吐出路の下端から吐出させることなく混合させるために、該混合室と該吸引源とを連通させて該混合室の気圧を外気圧よりも低い所定の負圧値にすることと、
該混合室の気圧を該所定の負圧値よりも上げることで、該吐出路の下端から該混合室および該吐出路にある全ての混合液を吐出させることと、を実施する、
混合液製造装置。
該吸引源は、エジェクタであって、
該吸引圧調整バルブは、該エジェクタに供給されるエア量を調整することによって該吸引圧を調整する、
請求項１記載の混合液製造装置。
該制御部は、
該第１液を該混合室に注入する際に、該混合室内の気圧を第１負圧値にする第１制御部と、
該第１液に加えて該第２液を該混合室に注入する際に、該混合室内の気圧を該第１負圧値よりも負圧方向に大きな第２負圧値にする第２制御部と、を備える、
請求項１記載の混合液製造装置。
該制御部は、
該吸引口から該混合室内の気体を吸引するとともに、該吐出路の下端から該混合室内に空気を吸い込ませて該第１液と該第２液とを混合させるように、該吸引圧調整バルブを制御する第３制御部をさらに備える、
請求項１記載の混合液製造装置。