JP2022182025A - セラミック構造体 - Google Patents
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Abstract
Description
2、2’ 板状部
3、3’ 柱状部
4、4’ 傾斜部
5、5’ 貫通孔
Claims (11)
- 円板状または角板状を有する板状部と、
該板状部の一方の主面側に位置している柱状部と、
前記板状部と前記柱状部との間に位置している傾斜部と、
を含み、
前記傾斜部の外側面の少なくとも一部は、前記柱状部側から前記板状部側にかけて、前記板状部材の外周部方向に向かって傾斜した構造を有している、
セラミック構造体。 - 前記傾斜部の外側面が焼成面である、請求項1に記載のセラミック構造体。
- 前記傾斜部が、断面視した場合に凹状に湾曲している、請求項1または2に記載のセラミック構造体。
- 前記板状部が、酸化アルミニウム、酸化イットリウム、イットリウム・アルミニウム複合酸化物、または炭化珪素を主成分とするセラミックスである、請求項1~3のいずれかに記載のセラミック構造体。
- 前記柱状部が、酸化アルミニウム、酸化イットリウム、イットリウム・アルミニウム複合酸化物、または炭化珪素を主成分とするセラミックスである、請求項1~4のいずれかに記載のセラミック構造体。
- 前記傾斜部が、酸化アルミニウム、酸化イットリウム、イットリウム・アルミニウム複合酸化物、または炭化珪素を主成分とするセラミックスである、請求項1~5のいずれかに記載のセラミック構造体。
- 前記柱状部と前記傾斜部とが一体成形品であり、前記傾斜部と前記板状部とが拡散接合されている、請求項1~6のいずれかに記載のセラミック構造体。
- 前記板状部において、前記柱状部が位置している側の前記主面は、0.02μm以上0.4μm以下の算術平均粗さ(Ra)を有する、請求項1~7のいずれかに記載のセラミック構造体。
- 前記板状部において、前記柱状部が位置している側の前記主面は、粗さ曲線における25%の負荷長さ率での切断レベルと、前記粗さ曲線における75%の負荷長さ率での切断レベルとの差を表す、切断レベル差(Rδc)が0.03μm以上0.8μm以下である、請求項1~8のいずれかに記載のセラミック構造体。
- 前記板状部と前記傾斜部とが一体成形品であり、前記傾斜部と前記柱状部とが拡散接合されている、請求項1~6のいずれかに記載のセラミック構造体。
- 請求項1~10のいずれかに記載のセラミック構造体を含み、前記板状部から前記柱状部にかけて貫通孔を有する、段付きワッシャー。
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