JP2022176019A - 硬質材料加工システム - Google Patents
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Abstract
Description
(1)処理予定加工物に対して加熱を行うことにより、処理予定加工物における硬質材料の硬さが降下するため、加工部材が切断、研削及び/又は研磨などの工程を行うことが容易となり、加工速度を上げることができる。これによって、生産能力を上げることができ、加工部材の磨耗を低減することもできる。
(2)従来の切断方式では、完了後、応力(Stress)を減少するために、テンパー処理(加熱)を行うことが必要であるのに対し、本発明によれば、テンパー処理を行うことが必要ないため、操作工数を減少することができる。
(3)同じカッターを例にして挙げると、本発明によれば、単位時間当たりの生産量が、従来の技術による生産量より多い。
本発明に係る硬質材料は、例えば炭化ケイ素であり、本発明における処理予定加工物は、例えば炭化ケイ素インゴット(SiC Ingot)100であるが、これに限定されない。
加熱部材は、例えば、高周波(Radio Frequency,RF)加熱部材またはマイクロ波加熱部材であり、周波数は例えば1 KHz~10 GHzである。本発明に係る加熱部材は、処理予定加工物に対して加熱を行うためのものであるため、本発明では、高周波加熱部材またはマイクロ波加熱部材を例にして説明したが、これに限定されない。換言すると、加熱部材は、処理予定加工物に対して加熱を行うことができれば、何れかを採用してもよい。
図1に示すように、高周波加熱部材30を例にして挙げると、本発明では、高周波加熱部材30により、炭化ケイ素インゴット100を加熱して、炭化ケイ素インゴット100の硬さを降下することができる。このため、炭化ケイ素インゴット100に対して加工処理を容易に行うことができ、例えば、ワイヤーソー切断機10により、炭化ケイ素インゴット100を炭化ケイ素スライス102(第1の加工工程)に切断し、切断工程が更に容易となる。また、炭化ケイ素インゴット100は、例えば円柱状を呈するが、これに限定されない。また、本発明では、シリコン(Si)の硬さに近接するように、炭化ケイ素インゴット100の硬さを降下することが好ましいが、炭化ケイ素インゴット100の硬さを降下することができれば、次の加工工程が容易となる。
例えば、炭化ケイ素インゴット100を摂氏200度に加熱すると、その硬さは約25GPaであるが、炭化ケイ素インゴット100を摂氏350度に加熱すると、その硬さは約21.5GPaに降下し、且つ炭化ケイ素インゴット100を摂氏500度に加熱すると、その硬さは僅か約15GPaである。同様に、炭化ケイ素インゴット100を摂氏600度に加熱すると、炭化ケイ素インゴット100の硬さ(14GPa)は降下して、シリコンの硬さ(14GPa)に近接し、又は同じであるため、第1の加工部材は、シリコンインゴットに対して加工工程を行う加工部材と同じものを採用して、炭化ケイ素インゴット100に対して第1の加工工程を行うことができる。
図2に示すように、炭化ケイ素インゴット100の一部または全部をオイル含有環境200に置いてもよい。炭化ケイ素インゴット100の全部をオイル含有環境200に浸漬して、高周波加熱部材30により、炭化ケイ素インゴット100を加熱することが好ましい。これにより、炭化ケイ素インゴット100の硬さを降下することができる。このうち、高周波加熱部材30は、市販されている高周波加熱部材を採用してもよい。処理予定加工物に対して加熱を行うことができるものを採用すればよいため、本発明では、特定のブランドや型番の高周波加熱部材に限定されない。次に、ワイヤーソー切断機10により、硬さが降下した炭化ケイ素インゴット100を炭化ケイ素スライス102(第1の加工工程)に切断することにより、切断工程が更に容易となる。このうち、ワイヤーソー切断機10は、同様に、市販されているワイヤーソー切断機を採用してもよい。処理予定加工物に対して切断を行うことができるものであればよい。このため、本発明では、特定のブランドや型番のワイヤーソー切断機に限定されない。ここで、炭化ケイ素インゴット100を切断する切断機器は、良く知られた技術であり、且つ本発明の技術の重点ではないため、説明を省略する。
上記のオイル含有環境200は、例えば、フッ素系のオイルを含有してもよい。これは、上記の加熱部材の処理予定加工物に対して行う第1の加熱工程を耐えることができ、且つ広い作動温度範囲、優れた極高温耐性、耐薬品性、広い材料適合性、並外れた電気絶縁性能、優れた皮膜形成、耐荷重性、潤滑性能などの特性を備え、潤滑性と加熱均一性を提供する。上記のフッ素系を含むオイルは、例えばフッ素オイル(Per-Fluorina Ted Poly Ethers,PFPE)であり、その分子構造は、例えば三種類の成分から構成され、これらは、炭素(Carbon)21.6%、酸素(Oxygen)9.4%、フッ素(Fluorine)69.0%である。ここで、上記のフッ素系を含むオイルとして、フッ素オイルを例にして挙げたが、上記の組成の比例は例示にすぎず、本発明はこれに限定されない。オイル含有環境200において、高温に耐えることが可能なオイルであれば良い。
例えば、図3に示すように、図1の切断工程を行って得られる炭化ケイ素スライス102を、受け部材40に置いてもよい。受け部材40は、例えば、穴を有するセラミックプレートであるため、空気抽出装置50(例えば空気抽出ポンプ)により、炭化ケイ素スライス102を受け部材40に固定して、次の研削及び/又は研磨工程を行うことができる。そして、高周波加熱部材30により、炭化ケイ素スライス102を加熱することにより、炭化ケイ素スライス102の硬さを降下することが可能なため、研削研磨機20により、炭化ケイ素スライス102に対して研削及び/又は研磨工程を行うことが容易となる。
図3において、高周波加熱部材30は受け部材40の下方に置かれるが、これに限定されない。高周波加熱部材30は、他の適当な位置に置いてもよい。これにより、炭化ケイ素スライス102に対して加熱を行って、その硬さを降下することができる。また、研削及び/又は研磨工程を行うときには、潤滑剤60を使用してもよい。潤滑剤60は、例えば、何れかのフッ素系を含むオイルであり、潤滑および加熱均一性の効果を提供することができる。
次に、研削研磨機20により、硬さが降下した炭化ケイ素スライス102に対して、研削及び/又は研磨工程を行う。同様に、炭化ケイ素スライス102の硬さの降下の程度は限定されない。しかし、炭化ケイ素スライス102の硬さがシリコンの硬さに近接し、又はシリコンの硬さと同じであるように降下すると、本発明に係る研削研磨機20は、シリコンスライスに対して、研削及び/又は研磨工程を行う、研削及び/又は研磨機と同じものを採用してもよい。図4における高周波加熱部材30は、オイル含有環境200の外部に置かれるが、本発明はこれに限定されない。高周波加熱部材30は他の適当な位置に置かれてもよく、これにより、炭化ケイ素スライス102に対して加熱を行って、その硬さを降下することもできる。
本発明に係る硬質材料加工システムは、硬質材料を含む処理予定加工物を加工する硬質材料加工システムであって、処理予定加工物に対して、第1の加熱工程と第2の加熱工程とを行って、処理予定加工物の硬質材料の硬さを降下することが可能な第1の温度まで処理予定加工物を加熱することにより、第1の加熱工程と第2の加熱工程とを行うときに、処理予定加工物の硬質材料の硬さを一時的に降下する加熱部材と、加熱部材が処理予定加工物に対して第1の加熱工程を行うときに、第1の加工部材は、硬質材料の硬さが一時的に降下した処理予定加工物に対して、同時に、第1の加工工程を行う少なくとも一つの第1の加工部材と、加熱部材が処理予定加工物に対して第2の加熱工程を行うときに、第2の加工部材は、第1の加工工程を行って、硬質材料の硬さが一時的に降下した処理予定加工物に対して、第2の加工工程を行う少なくとも一つの第2の加工部材と、少なくとも備える。そのうち、第1の加工工程は、例えば切断工程であり、且つ上記のようなワイヤーソー切断機10により切断工程を行うことができる。なお、第2の加工工程は、例えば研削及び/又は研磨工程であり、且つ上記のような研削研磨機20により、研削及び/又は研磨工程を行うことができる。
図5に示すように、切断工程S10を行った後、洗浄部材は、処理予定加工物に対して洗浄工程S21を行って、次いで、研削工程S30及び洗浄工程S22を行って、続いて、研磨工程S40及び洗浄工程S23を行ってもよい。切断工程S10は、図1又は図2の方式によって行ってもよいが、これに限定されない。なお、研削工程S30及び研磨工程S40は、図3又は図4の方式によって行ってもよいが、これに限定されない。洗浄工程を行って、前の工程で処理予定加工物に残った物質を洗浄することにより、次の工程を便利に行うことができる。そのうち、洗浄工程において、プラズマにより清潔してもいいし、油脂を除去する有機溶剤(例えばアセトン)により、洗浄工程を行ってもよい。本発明に係る洗浄工程は、処理予定加工物に対して洗浄を行う場合に、プラズマ又は有機溶剤を例にして説明したが、本発明はこれに限定されない。換言すると、洗浄工程は、処理予定加工物に対して洗浄を行うことができれば良い。そして、本発明が属する技術分野の一般的な知識を持っている者は、本発明の内容に基づいて、どのように処理予定加工物に対して洗浄を行うかがよく分かるため、説明を省略する。
(1)処理予定加工物に対して加熱を行うことにより、処理予定加工物における硬質材料の硬さが降下するため、加工部材が切断、研削及び/又は研磨などの工程を行うことが容易となり、加工速度を上げることができる。これによって、生産能力を上げることができ、加工部材の磨耗を減少することもできる。
(2)従来の切断方式によれば、完了後、応力(Stress)を減少するために、テンパー処理(加熱)を行うことが必要である。一方、本発明によれば、テンパー処理を行うことが必要ないため、操作工数を減少することができる。
(3)同じカッターを例にして挙げると、本発明による、単位時間当たりの生産量は、従来技術による生産量より多い。
20 研削研磨機
30 高周波加熱部材
40 受け部材
50 空気抽出装置
60 潤滑剤
100 炭化ケイ素インゴット
102 炭化ケイ素スライス
200 オイル含有環境
S10 切断工程
S21,S22,S23 洗浄工程
S30 研削工程
S40 研磨工程
Claims (9)
- 硬質材料を含有する処理予定加工物を加工する硬質材料加工装置であって、
接触方式または非接触方式により、前記処理予定加工物に対して第1の加熱工程を行うことにより、前記処理予定加工物の前記硬質材料の硬さを降下することが可能な第1の温度まで前記処理予定加工物を加熱する加熱部材と、
前記加熱部材が前記処理予定加工物に対して前記第1の加熱工程を行うときに、前記硬質材料の前記硬さが一時的に降下した前記処理予定加工物に対して同時に第1の加工工程を行う少なくとも一つの第1の加工部材と、を少なくとも備え、
前記処理予定加工物の前記硬質材料は炭化ケイ素であり、
前記加熱部材は、前記第1の加熱工程を行うときに、シリコンの硬さに近接するように、前記処理予定加工物の前記硬質材料の前記硬さを降下し、
前記第1の加工工程は切断、研削及び/又は研磨工程であることを特徴とする、
硬質材料加工装置。 - 前記第1の加工部材は、オイル含有環境において、前記処理予定加工物に対して前記第1の加工工程を行い、前記オイル含有環境は、前記第1の温度に耐えることが可能な耐高温オイルを含むことを特徴とする、請求項1に記載の硬質材料加工装置。
- 前記第1の温度は摂氏100度より高いことを特徴とする、請求項1に記載の硬質材料加工装置。
- 前記加熱部材は、高周波加熱部材またはマイクロ波加熱部材であることを特徴とする、請求項1に記載の硬質材料加工装置。
- 硬質材料を含有する処理予定加工物を加工する硬質材料加工システムであって、
接触方式または非接触方式により、前記処理予定加工物に対して第1の加熱工程および第2の加熱工程を行うことにより、前記処理予定加工物の前記硬質材料の硬さを降下することが可能な第1の温度まで前記処理予定加工物を加熱する加熱部材と、
前記加熱部材が前記処理予定加工物に対して前記第1の加熱工程を行うときに、前記硬質材料の前記硬さが一時的に降下した前記処理予定加工物に対して同時に第1の加工工程を行う少なくとも一つの第1の加工部材と、
前記加熱部材が前記処理予定加工物に対して前記第2の加熱工程を行うときに、前記硬質材料の前記硬さが一時的に降下した前記処理予定加工物に対して同時に第2の加工工程を行う少なくとも一つの第2の加工部材と、を少なくとも備え、
前記処理予定加工物の前記硬質材料は炭化ケイ素であり、
前記第1の加熱工程および前記第2の加熱工程を行うときに、前記処理予定加工物の前記硬質材料の前記硬さは、シリコンの硬さに近接するように降下し、
前記第1の加工工程は切断工程であり、
前記第2の加工工程は研削及び/又は研磨工程であることを特徴とする、
硬質材料加工システム。 - 少なくとも一つの洗浄部材を備え、前記洗浄部材は、前記処理予定加工物に対して、前記第1の加工工程及び/又は前記第2の加工工程を行った後、前記処理予定加工物に対して洗浄工程を行うことを特徴とする、請求項5に記載の硬質材料加工システム。
- 前記第1の加工部材及び/又は前記第2の加工部材は、オイル含有環境において、前記処理予定加工物に対して、前記第1の加工工程及び/又は前記第2の加工工程を行い、前記オイル含有環境は、前記第1の温度に耐えることが可能な耐高温オイルを含むことを特徴とする、請求項5に記載の硬質材料加工システム。
- 前記第1の温度は摂氏100度より高いことを特徴とする、請求項5に記載の硬質材料加工システム。
- 前記加熱部材は、高周波加熱部材またはマイクロ波加熱部材であることを特徴とする、請求項5に記載の硬質材料加工システム。
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