JP2022166778A - 圧電式バルブ - Google Patents
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Abstract
【課題】弁体の変位波形に発生するリップルを低減し、気体排出口から圧縮気体を安定した状態で排出することができる圧電式バルブを提供する。【解決手段】弁体を駆動するアクチュエータと、アクチュエータを固定する弁座プレートと、弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、アクチュエータは、弁座プレートに固定される基部と、基部の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子と、基部に一体に設けられ、圧電素子と並んで第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部と、圧電素子の他端部及び支持部の先端部と接続され、圧電素子の伸縮に伴って、第1長手方向及び第2長手方向それぞれと異なる変位方向に変位する作用部と、作用部の変位する方向の側に設けられ弁体と、を備え、支持部は、第2長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有し、くびれ部よりも基部の側において弁座プレートに固定される。【選択図】図8
Description
本発明は、圧電素子の変位を利用してバルブの開閉を行う圧電式バルブに関する。
従来、圧電素子の変位を利用してバルブの開閉を行い、圧縮気体を噴出する圧電式バルブは周知である(特許文献1,2を参照。)。
特許文献1,2に記載された圧電式バルブは、高速応答性能に優れる圧電素子の特性を利用するアクチュエータを備えるものであり、前記アクチュエータに前記圧電素子の小さな変位をテコの原理に基づき拡大する変位拡大機構を備えるものである。
前記圧電式バルブは、応答性に優れるため、米粒等の粒状物を対象とした光学式選別機のエジェクタバルブに用いて不良品を除去する場合、良品が巻き添えとなって除去されることが少なく、除去された不良品側の不良品混入率が電磁式バルブに比べて高いとの知見を、試験からも、また経験則上も得られている。
ところで、前記圧電式バルブは、前記光学式選別機のエジェクタバルブ等として用いる場合、例えば特許文献2に記載されるように、圧縮エア源から圧縮エアが供給される空間を内部に有するマニホールドに直接連続状に装着され、エジェクタの先端には多数のノズル孔が開口することとなる。
ところが、前記特許文献1,2に記載された圧電式バルブは、前記アクチュエータを固定した弁座プレートをバルブ本体のケース内に収納するものであり、前記アクチュエータがアーム及び板バネ等を有する複雑な構造の変位拡大機構を備え、前記アクチュエータの厚み幅の寸法を小さくできないために、複数のエア排出口を設ける場合、前記エア排出口のピッチを小さくすることが困難な問題があった。
そこで、本発明者らは、アクチュエータがシンプルな構造の変位拡大機構を備える圧電式バルブを提案した(特許文献3を参照。以下、「先発明」という。)。
先発明の圧電式バルブによれば、アクチュエータの厚み幅の寸法を従来よりも小さくすることができるので、複数のアクチュエータを備えることとした場合、従来の圧電式バルブに比べ、エア排出口のピッチを小さくすることが可能となる。
ところが、先発明の圧電式バルブにおいて、前記アクチュエータにおける圧電素子に駆動電圧を印加し、該圧電素子を伸長させて弁体を開弁駆動する際の前記弁体の変位量を計測したところ、変位波形にリップルが発生することが確認され、エア排出口から圧縮エアを安定した状態で排出できないことが懸念されることから、更なる改善の余地がある。
本発明は、先発明の圧電式バルブを改良するものであり、アクチュエータにおける弁体の変位波形に発生するリップルを低減し、気体排出口から圧縮気体を安定した状態で排出することができる圧電式バルブを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は、
弁体を駆動するアクチュエータと、
前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記アクチュエータは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第1長手方向及び前記第2長手方向それぞれと異なる変位方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記支持部は、前記第2長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有し、前記くびれ部よりも前記基部の側であって、前記くびれ部と前記基部との間において前記弁座プレートに固定され、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記弁体と前記弁座との離間によって前記弁座プレートの前記排出路を介して排出する気体排出口と、
を備えることを特徴とする。
弁体を駆動するアクチュエータと、
前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記アクチュエータは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第1長手方向及び前記第2長手方向それぞれと異なる変位方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記支持部は、前記第2長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有し、前記くびれ部よりも前記基部の側であって、前記くびれ部と前記基部との間において前記弁座プレートに固定され、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記弁体と前記弁座との離間によって前記弁座プレートの前記排出路を介して排出する気体排出口と、
を備えることを特徴とする。
また、上記目的を達成するため、本発明は、
複数の弁体をそれぞれ個別に平行な面内で駆動する複数のアクチュエータと、
前記複数の弁体とそれぞれ個別に接離する弁座及び排出路を複数有し、前記複数のアクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記複数のアクチュエータのそれぞれは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第1長手方向及び前記第2長手方向それぞれと異なる変位方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記支持部は、前記第2長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有し、前記くびれ部よりも前記基部の側であって、前記くびれ部と前記基部との間において前記弁座プレートに固定され、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記複数の弁体と前記複数の弁座との離間によって前記弁座プレートの前記各排出路を介してそれぞれ個別に排出する複数の気体排出口と、
を備えることを特徴とする。
複数の弁体をそれぞれ個別に平行な面内で駆動する複数のアクチュエータと、
前記複数の弁体とそれぞれ個別に接離する弁座及び排出路を複数有し、前記複数のアクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記複数のアクチュエータのそれぞれは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第1長手方向及び前記第2長手方向それぞれと異なる変位方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記支持部は、前記第2長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有し、前記くびれ部よりも前記基部の側であって、前記くびれ部と前記基部との間において前記弁座プレートに固定され、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記複数の弁体と前記複数の弁座との離間によって前記弁座プレートの前記各排出路を介してそれぞれ個別に排出する複数の気体排出口と、
を備えることを特徴とする。
本発明は、
前記支持部が、例えばインバー材を含むステンレス材等の金属材料により前記基部と一体に成形されることで、前記基部に一体に設けられることが好ましい。
前記支持部が、例えばインバー材を含むステンレス材等の金属材料により前記基部と一体に成形されることで、前記基部に一体に設けられることが好ましい。
また、本発明は、
前記支持部が、前記基部に例えばインバー材を含むステンレス材等からなる別部材を取り付けることで、前記基部に一体に設けることもできる。
前記支持部が、前記基部に例えばインバー材を含むステンレス材等からなる別部材を取り付けることで、前記基部に一体に設けることもできる。
本発明は、
前記基部が、少なくとも前記圧電素子の一端部が接続される側において前記弁座プレートに固定されることが好ましい。
本発明は、
前記基部が、前記支持部が設けられる側において前記弁座プレートに固定することもできる。
前記基部が、少なくとも前記圧電素子の一端部が接続される側において前記弁座プレートに固定されることが好ましい。
本発明は、
前記基部が、前記支持部が設けられる側において前記弁座プレートに固定することもできる。
本発明は、
前記支持部の前記くびれ部から前記先端部までの長さにより、前記弁体の変位量を調整することが好ましい。
前記支持部の前記くびれ部から前記先端部までの長さにより、前記弁体の変位量を調整することが好ましい。
本発明は、
前記支持部には、前記くびれ部よりも前記基部の側であって、前記くびれ部と前記基部との間において前記第2長手方向に沿って複数の取付け穴が設けられ、
前記支持部は、少なくとも1つの前記取付け穴を利用して前記弁座プレートにネジ固定されることが好ましい。
前記支持部には、前記くびれ部よりも前記基部の側であって、前記くびれ部と前記基部との間において前記第2長手方向に沿って複数の取付け穴が設けられ、
前記支持部は、少なくとも1つの前記取付け穴を利用して前記弁座プレートにネジ固定されることが好ましい。
本発明は、
前記圧電素子の前記一端部又は前記他端部の少なくとも一方が、前記支持部よりも線膨張係数の大きな材料からなる連結部を介して前記基部の取付け面又は前記作用部に接続されることが好ましい。
前記圧電素子の前記一端部又は前記他端部の少なくとも一方が、前記支持部よりも線膨張係数の大きな材料からなる連結部を介して前記基部の取付け面又は前記作用部に接続されることが好ましい。
本発明は、
前記連結部が、前記作用部に一体に設けられ、
前記圧電素子の前記他端部が、前記支持部よりも線膨張係数の大きな材料からなる前記連結部を介して前記作用部に接続されることが好ましい。
前記連結部が、前記作用部に一体に設けられ、
前記圧電素子の前記他端部が、前記支持部よりも線膨張係数の大きな材料からなる前記連結部を介して前記作用部に接続されることが好ましい。
本発明は、
前記連結部が、アルミニウム材等の金属材料により前記作用部と一体に成形されることで、前記作用部に一体に設けられることが好ましい。
前記連結部が、アルミニウム材等の金属材料により前記作用部と一体に成形されることで、前記作用部に一体に設けられることが好ましい。
また、本発明は、
前記連結部が、前記作用部に例えばアルミブロック等からなる別部材を取り付けることで、前記作用部に一体に設けることもできる。
前記連結部が、前記作用部に例えばアルミブロック等からなる別部材を取り付けることで、前記作用部に一体に設けることもできる。
本発明は、
前記アクチュエータが、前記基部及び前記作用部のそれぞれに連結され、前記圧電素子を前記第1長手方向に圧縮する圧縮部材をさらに備えることが好ましい。
前記アクチュエータが、前記基部及び前記作用部のそれぞれに連結され、前記圧電素子を前記第1長手方向に圧縮する圧縮部材をさらに備えることが好ましい。
本発明は、
前記アクチュエータが、前記基部及び前記作用部のそれぞれに連結され、前記圧電素子を前記第1長手方向に圧縮する前記圧縮部材を前記圧電素子の略中心軸上に位置するように備えることが好ましい。
前記アクチュエータが、前記基部及び前記作用部のそれぞれに連結され、前記圧電素子を前記第1長手方向に圧縮する前記圧縮部材を前記圧電素子の略中心軸上に位置するように備えることが好ましい。
本発明は、
前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子と前記支持部との間に形成される隙間にシリコーンを充填し、前記隙間を前記シリコーンで埋めることが好ましい。
前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子と前記支持部との間に形成される隙間にシリコーンを充填し、前記隙間を前記シリコーンで埋めることが好ましい。
本発明は、
前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子と前記支持部との間に形成される隙間を等間隔とし、前記隙間を前記シリコーンで埋めることが好ましい。
前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子と前記支持部との間に形成される隙間を等間隔とし、前記隙間を前記シリコーンで埋めることが好ましい。
本発明は、
前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子が前記第1長手方向に延びる側と前記支持部が前記第2長手方向に延びる側との間に形成される隙間にシリコーンを充填し、前記隙間を前記シリコーンで埋めることが好ましい。
前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子が前記第1長手方向に延びる側と前記支持部が前記第2長手方向に延びる側との間に形成される隙間にシリコーンを充填し、前記隙間を前記シリコーンで埋めることが好ましい。
本発明は、
前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子が前記第1長手方向に延びる側と前記支持部が前記第2長手方向に延びる側との間に形成される隙間を等間隔とすることが好ましい。
前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子が前記第1長手方向に延びる側と前記支持部が前記第2長手方向に延びる側との間に形成される隙間を等間隔とすることが好ましい。
本発明の圧電式バルブは、前記アクチュエータが、前記弁座プレートに固定される基部と、前記基部の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子と、前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部と、前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第1長手方向及び前記第2長手方向それぞれと異なる変位方向に変位する作用部と、前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、前記支持部は、前記第2長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有し、前記くびれ部よりも前記基部の側において前記弁座プレートに固定されるので、従来の圧電式バルブに比べ、アクチュエータにおける弁体の変位波形に発生するリップルを低減し、気体排出口から圧縮気体を安定した状態で排出することができる。
本発明の圧電式バルブは、前記アクチュエータが、前記支持部の前記くびれ部から前記先端部までの長さにより、前記弁体の変位量を調整することとすれば、前記気体排出口から排出される圧縮気体の排出量を調整することができる。
本発明の圧電式バルブは、前記圧電素子の前記一端部又は前記他端部の少なくとも一方が、前記支持部よりも線膨張係数の大きな材料からなる連結部を介して前記基部の取付け面又は前記作用部に接続されることとすれば、温度変化による前記圧電素子の熱膨張又は熱収縮の影響を軽減し、又は無くすことができる。
本発明の圧電式バルブは、前記アクチュエータが、前記基部及び前記作用部のそれぞれに連結され、前記圧電素子を前記第1長手方向に圧縮する圧縮部材をさらに備えることとすれば、引張方向の荷重に対し損傷しやすい圧電素子の損傷を防止することができる。
本発明の圧電式バルブは、前記アクチュエータが、前記基部及び前記作用部のそれぞれに連結され、前記圧電素子を前記第1長手方向に圧縮する前記圧縮部材を前記圧電素子の略中心軸上に位置するように備えることとすれば、前記圧電素子に対し前記圧縮部材による捻れ力が作用せず、前記圧電素子の損傷を効果的に防止することができる。
本発明の圧電式バルブは、前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子と前記支持部との間に形成される隙間をシリコーンで埋めることとすれば、前記弁体の変位波形に発生するリップルをさらに効果的に低減することができる。
本発明の圧電式バルブは、前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子と前記支持部との間に形成される隙間を等間隔とし、前記隙間を前記シリコーンで埋めることとすれば、前記隙間へのシリコーンの充填を容易に行うことができる。
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
[圧電式バルブの基本構成]
まず、本発明における圧電式バルブの基本構成について説明する。
図1は圧電式バルブの斜視図を示す。図2は圧電式バルブの説明図であって側面側から見た図を示す。
前記圧電式バルブ1は、バルブ本体2、後述するアクチュエータ3、及び前記アクチュエータ3が固定された状態で前記バルブ本体2の内部に配設される後述する弁座プレート4を備える。
[圧電式バルブの基本構成]
まず、本発明における圧電式バルブの基本構成について説明する。
図1は圧電式バルブの斜視図を示す。図2は圧電式バルブの説明図であって側面側から見た図を示す。
前記圧電式バルブ1は、バルブ本体2、後述するアクチュエータ3、及び前記アクチュエータ3が固定された状態で前記バルブ本体2の内部に配設される後述する弁座プレート4を備える。
前記バルブ本体2は、後面(図1及び図2では下面)が開口するケースであって、内部には、外部の圧縮気体供給源(図示せず)から圧縮気体の供給を受ける気体圧力室を備える。
また、前記バルブ本体2の前面(図1及び図2では上面)には、圧縮気体源から圧縮気体が供給される空間を内部に有するマニホールド(図示せず)に装着するためのコネクタ部5が設けられる。
また、前記バルブ本体2の前面(図1及び図2では上面)には、圧縮気体源から圧縮気体が供給される空間を内部に有するマニホールド(図示せず)に装着するためのコネクタ部5が設けられる。
前記コネクタ部5の前面には、前記バルブ本体2内に圧縮気体を吸入する気体吸入口51及び前記圧縮気体を排出する複数の気体排出口52が開口する。
また、前記バルブ本体2の前面には、前記コネクタ部5の前記気体吸入口51と連通する気体供給口(図示せず)、及び前記各気体排出口52と連通する複数の気体排出口(図示せず)が開口する。
前記バルブ本体2の後面はカバー体6により閉鎖され、前記カバー体6には後述する圧電素子32に給電するための配線コネクタ61が配設される。
また、前記バルブ本体2の前面には、前記コネクタ部5の前記気体吸入口51と連通する気体供給口(図示せず)、及び前記各気体排出口52と連通する複数の気体排出口(図示せず)が開口する。
前記バルブ本体2の後面はカバー体6により閉鎖され、前記カバー体6には後述する圧電素子32に給電するための配線コネクタ61が配設される。
図3は弁座プレートにアクチュエータを固定した状態の斜視図を示す。ここでは、アクチュエータの一例として先発明のアクチュエータを固定した状態を示している。図4は弁座プレートにアクチュエータを固定した状態の説明図であって、図3の弁座プレートの側面側から見た図を示す。図5は弁座プレートにアクチュエータを固定した状態の説明図であって、図3及び図4の弁座プレートの前面側から見た図を示す。
前記圧電式バルブ1は、アクチュエータ3を固定した弁座プレート4を前記バルブ本体2の内部に収納するものである。
前記弁座プレート4は、2つのアクチュエータを取り付けることが可能な弁座プレートの一例であって、中央部分に弁座部41を有し、前記弁座部41の相対する両側面にそれぞれ前記アクチュエータ3の弁体35が当接する弁座42が設けられる。
前記圧電式バルブ1は、アクチュエータ3を固定した弁座プレート4を前記バルブ本体2の内部に収納するものである。
前記弁座プレート4は、2つのアクチュエータを取り付けることが可能な弁座プレートの一例であって、中央部分に弁座部41を有し、前記弁座部41の相対する両側面にそれぞれ前記アクチュエータ3の弁体35が当接する弁座42が設けられる。
前記弁座プレート4の一面側には、前記弁座部41の一方の側面に対向する位置に前記アクチュエータ3の取り付け部43が形成される。
また、前記弁座プレート4の他面側には、前記弁座部41の他方の側面に対向する位置に前記アクチュエータ3の取り付け部44が形成される。
前記2つのアクチュエータ3は、前記各弁体35が前記各弁座42に対峙するよう、前記弁座プレート4の前記各取り付け部43,44に配設されネジにより固定される。
また、前記弁座プレート4の他面側には、前記弁座部41の他方の側面に対向する位置に前記アクチュエータ3の取り付け部44が形成される。
前記2つのアクチュエータ3は、前記各弁体35が前記各弁座42に対峙するよう、前記弁座プレート4の前記各取り付け部43,44に配設されネジにより固定される。
前記弁座部41には、前記各弁座42の弁座面に開口する複数の排出路45が形成され、前記各排出路45は前記弁座プレート4の前面(図4では上面)に開口する。
前記弁座プレート4は、前記2つのアクチュエータ3が固定された状態で前記バルブ本体2の内部に配設され、前記バルブ本体2の前面側から前記前面がネジにより固定されることで、前記各排出路45が前記バルブ本体2の前面に開口する前記各気体排出口と連通する。
前記弁座プレート4は、前記2つのアクチュエータ3が固定された状態で前記バルブ本体2の内部に配設され、前記バルブ本体2の前面側から前記前面がネジにより固定されることで、前記各排出路45が前記バルブ本体2の前面に開口する前記各気体排出口と連通する。
前記圧電式バルブ1は、前記弁座プレート4が前記バルブ本体2のケース内に幅方向に並んで2つ収納されるものであり、前記バルブ本体2の前面に4つの気体排出口が開口する。
なお、前記圧電式バルブは、前記バルブ本体2のケース内に4つのアクチュエータを配設し、前記バルブ本体の前面に4つの気体排出口が開口することとしたが、これに限定されるものでなく、バルブ本体内に1つ以上のアクチュエータを配設することができる。
[先発明のアクチュエータ]
図6は先発明の圧電式バルブが備えるアクチュエータの説明図を示す。
先発明のアクチュエータ3は、弁座プレートに固定される基部31と、前記基部31の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子32と、前記基部31と一体成形され、前記圧電素子32と並んで前記第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部33を備える。
図6は先発明の圧電式バルブが備えるアクチュエータの説明図を示す。
先発明のアクチュエータ3は、弁座プレートに固定される基部31と、前記基部31の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子32と、前記基部31と一体成形され、前記圧電素子32と並んで前記第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部33を備える。
また、前記先発明のアクチュエータ3は、前記圧電素子32の他端部及び前記支持部33の先端部と接続され、前記圧電素子32の伸縮に伴って、前記第1長手方向及び前記第2長手方向それぞれと異なる方向に変位する作用部34、前記作用部34の先端側であって前記変位する方向の一側面に設けられ、前記作用部34の前記変位によって駆動される弁体35を備える。
前記アクチュエータ3は、前記圧電素子32の伸縮に伴い、前記作用部34が前記第1長手方向及び前記第2長手方向を含む平面に略平行な面内で、前記第1長手方向及び前記第2長手方向それぞれと異なる変位方向に変位する。
その際、前記支持部33の前記第2長手方向に延びる中間部分にくびれ部331を設けることで、前記圧電素子32の伸縮に伴う前記作用部34の変位を拡大することができる。
その際、前記支持部33の前記第2長手方向に延びる中間部分にくびれ部331を設けることで、前記圧電素子32の伸縮に伴う前記作用部34の変位を拡大することができる。
前記基部31の取付け面には、例えばアルミブロック等からなる連結部材311を取付けることができる。
また、前記アクチュエータ3は、前記基部31と前記作用部34の間を圧縮部材36で連結することができる。
図7は先発明のアクチュエータにおける弁体の変位波形の説明図を示す。
図7に示す弁体35の変位波形は、図6に示す先発明のアクチュエータ3において圧電素子32に駆動電圧を印加し、該圧電素子32を伸長させて弁体35を開弁駆動する際の当該弁体35の変位量をレーザー計測器により計測したものである。
図7に示す弁体35の変位波形は、図6に示す先発明のアクチュエータ3において圧電素子32に駆動電圧を印加し、該圧電素子32を伸長させて弁体35を開弁駆動する際の当該弁体35の変位量をレーザー計測器により計測したものである。
実験は、特開2017-160973号公報の[実施例]に記載された方法に基づいて圧電素子32に駆動電圧を印加して行われた。実験条件は以下のとおりである。なお、入力信号の各時間条件は、弁体の変位波形に発生するリップルが少ない状態となる最適値に設定した。
(1)駆動電圧:72V
(2)入力信号:第1プレパルス時間 t1=0.097ms
第1休止時間 t2=0.077ms
第2プレパルス時間 t3=0.6ms
第2休止時間 t4=0.01ms
メインパルス時間 t5=0.216ms
(圧電素子の通電時間:1ms)
(1)駆動電圧:72V
(2)入力信号:第1プレパルス時間 t1=0.097ms
第1休止時間 t2=0.077ms
第2プレパルス時間 t3=0.6ms
第2休止時間 t4=0.01ms
メインパルス時間 t5=0.216ms
(圧電素子の通電時間:1ms)
図7に示すように、先発明のアクチュエータ3では、弁体の変位波形に共振によると思われる複数の大きなリップルが発生していることが確認できる。
したがって、先発明の圧電式バルブは、気体排出口から圧縮気体が安定した状態で排出されないことが懸念される。
したがって、先発明の圧電式バルブは、気体排出口から圧縮気体が安定した状態で排出されないことが懸念される。
[本発明のアクチュエータ]
本発明の圧電式バルブは、先発明の圧電式バルブにおいてアクチュエータを改良するものである。
本発明の圧電式バルブは、先発明の圧電式バルブにおいてアクチュエータを改良するものである。
<実施例1>
図8は本発明の実施形態1におけるアクチュエータの説明図を示す。
実施形態1のアクチュエータ3は、弁座プレート4に固定される基部31と、前記基部31の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子32と、前記基部31に一体に設けられ、前記圧電素子32と並んで前記第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部33を備える。
図8は本発明の実施形態1におけるアクチュエータの説明図を示す。
実施形態1のアクチュエータ3は、弁座プレート4に固定される基部31と、前記基部31の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子32と、前記基部31に一体に設けられ、前記圧電素子32と並んで前記第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部33を備える。
また、実施形態1のアクチュエータ3は、前記圧電素子32の他端部及び前記支持部33の先端部と接続され、前記圧電素子32の伸縮に伴って、前記第1長手方向及び前記第2長手方向それぞれと異なる方向に変位する作用部34と、前記作用部34の先端側であって前記変位する方向の一側面に設けられ、前記作用部34の前記変位によって駆動される弁体35を備える。
実施形態1のアクチュエータ3において、前記基部31は、前記圧電素子32の一端部が接続される側と前記支持部33が一体に設けられる側とを含み、前記圧電素子32が接続される側及び前記支持部33が設けられる側において前記弁座プレート4にネジにより固定される。
また、実施形態1のアクチュエータ3において、前記支持部33は、前記第2長手方向に延びる中間部分にくびれ部331を有し、前記くびれ部331よりも前記基部31の側であって、前記くびれ部331と前記基部31との間に設けられる取付け穴38を利用して前記弁座プレート4にネジにより固定される。
なお、前記基部31は、少なくとも前記圧電素子32の一端部が接続される側において前記弁座プレート4に固定されていればよい。
ここで、前記基部31及び前記支持部33は、例えばインバー材を含むステンレス材等の金属材料を打ち抜いて一体成形することができる。
前記基部31及び前記支持部33を、前記金属材料を打ち抜いて一体成形すれば、部品点数が削減され、前記アクチュエータ3の組立てが容易となる。
前記基部31及び前記支持部33を、前記金属材料を打ち抜いて一体成形すれば、部品点数が削減され、前記アクチュエータ3の組立てが容易となる。
また、前記基部31と前記支持部33を別部材により形成し、前記基部31に別部材の前記支持部33を取り付けることで、前記支持部33を前記基部31に一体に設けることもできる。
実施形態1のアクチュエータ3において、前記作用部34は、例えばアルミニウム材等の軽量材料により形成することができる。前記作用部34をアルミニウム材等の軽量材料により形成することとすれば、前記作用部34を変位させるうえで好ましい。
また、前記弁体35は、ゴム製等であって、好ましくは滑性ゴムとすることができる。
また、前記弁体35は、ゴム製等であって、好ましくは滑性ゴムとすることができる。
前記アクチュエータ3は、前記基部31と前記作用部34の間を圧縮部材36で連結することができる。
圧電素子は引張方向の荷重に対し損傷しやすいが、前記基部31と前記作用部34の間を前記圧縮部材36で連結することとすれば、前記圧電素子32を前記第1長手方向に圧縮することができるため、前記圧電素子32の損傷を防止できる。
圧電素子は引張方向の荷重に対し損傷しやすいが、前記基部31と前記作用部34の間を前記圧縮部材36で連結することとすれば、前記圧電素子32を前記第1長手方向に圧縮することができるため、前記圧電素子32の損傷を防止できる。
図9は本発明の実施形態1のアクチュエータにおける弁体の変位波形の説明図を示す。
図9に示す弁体35の変位波形は、図8に示す実施形態1のアクチュエータ3において圧電素子32に駆動電圧を印加し、該圧電素子32を伸長させて弁体35を開弁駆動する際の当該弁体35の変位量をレーザー計測器により計測したものである。
図9に示す弁体35の変位波形は、図8に示す実施形態1のアクチュエータ3において圧電素子32に駆動電圧を印加し、該圧電素子32を伸長させて弁体35を開弁駆動する際の当該弁体35の変位量をレーザー計測器により計測したものである。
実験は、特開2017-160973号公報の[実施例]に記載された方法に基づいて圧電素子32に駆動電圧を印加して行われた。実験条件は以下のとおりである。なお、入力信号の各時間条件は、弁体の変位波形に発生するリップルが少ない状態となる最適値に設定した。
(1)駆動電圧:72V
(2)入力信号:第1プレパルス時間 t1=0.06ms
第1休止時間 t2=0.012ms
第2プレパルス時間 t3=0.89ms
第2休止時間 t4=0.035ms
メインパルス時間 t5=0.003ms
(圧電素子の通電時間:1ms)
(1)駆動電圧:72V
(2)入力信号:第1プレパルス時間 t1=0.06ms
第1休止時間 t2=0.012ms
第2プレパルス時間 t3=0.89ms
第2休止時間 t4=0.035ms
メインパルス時間 t5=0.003ms
(圧電素子の通電時間:1ms)
図9に示すように、実施形態1のアクチュエータ3では、弁体35の変位波形にリップルがほぼ発生していないことが確認できる。
したがって、本発明の圧電式バルブは、実施形態1のアクチュエータ3を備えることで、先発明の圧電式バルブと比較して、気体排出口から圧縮気体を安定した状態で排出することができる。
したがって、本発明の圧電式バルブは、実施形態1のアクチュエータ3を備えることで、先発明の圧電式バルブと比較して、気体排出口から圧縮気体を安定した状態で排出することができる。
<実施形態2>
図10は本発明の実施形態2におけるアクチュエータの説明図を示す。
実施形態2のアクチュエータ3は、上記実施形態1のアクチュエータ3において、前記圧電素子32の他端部が、前記支持部33よりも線膨張係数の大きな材料からなる連結部37を介して前記作用部34に接続されるものである。
図10は本発明の実施形態2におけるアクチュエータの説明図を示す。
実施形態2のアクチュエータ3は、上記実施形態1のアクチュエータ3において、前記圧電素子32の他端部が、前記支持部33よりも線膨張係数の大きな材料からなる連結部37を介して前記作用部34に接続されるものである。
実施形態2のアクチュエータ3は、前記圧電素子32の前記他端部が、前記支持部33よりも線膨張係数の大きな材料からなる連結部37を介して前記作用部34に接続されるので、温度変化による前記圧電素子32の熱膨張又は熱収縮の影響を軽減し、又は無くすことができる。
実施形態2のアクチュエータ3において、前記連結部37は、前記作用部34に一体に設けられており、例えばアルミニウム材等の金属材料を打ち抜き加工等して一体成形することができる。
前記作用部34及び前記連結部37を、アルミニウム材等の軽量な金属材料を打ち抜いて一体成形すれば、部品点数が削減され、前記アクチュエータ3の組み立てが容易となる。
前記作用部34及び前記連結部37を、アルミニウム材等の軽量な金属材料を打ち抜いて一体成形すれば、部品点数が削減され、前記アクチュエータ3の組み立てが容易となる。
また、前記連結部37は、例えばアルミブロック等からなる別部材により形成し、前記作用部34に別部材の前記連結部37を取り付けることで、前記連結部37を前記作用部34に一体に設けることもできる。
なお、前記連結部37を、例えばアルミブロック等からなる別部材により形成することで、前記圧電素子32の一端部を、前記連結部37を介して前記基部31の取付け面に接続することもできる。
図11は本発明の実施形態2のアクチュエータにおける弁体の変位波形の説明図を示す。
図11に示す弁体35の変位波形は、図10に示す実施形態2のアクチュエータ3において圧電素子32に駆動電圧を印加し、該圧電素子32を伸長させて弁体35を開弁駆動する際の当該弁体35の変位量をレーザー計測器により計測したものである。
図11に示す弁体35の変位波形は、図10に示す実施形態2のアクチュエータ3において圧電素子32に駆動電圧を印加し、該圧電素子32を伸長させて弁体35を開弁駆動する際の当該弁体35の変位量をレーザー計測器により計測したものである。
実験は、特開2017-160973号公報の[実施例]に記載された方法に基づいて圧電素子32に駆動電圧を印加して行われた。実験条件は以下のとおりである。なお、入力信号の各時間条件は、弁体の変位波形に発生するリップルが少ない状態となる最適値に設定した。
(1)駆動電圧:72V
(2)入力信号:第1プレパルス時間 t1=0.058ms
第1休止時間 t2=0.008ms
第2プレパルス時間 t3=0.877ms
第2休止時間 t4=0.046ms
メインパルス時間 t5=0.011ms
(圧電素子の通電時間:1ms)
(1)駆動電圧:72V
(2)入力信号:第1プレパルス時間 t1=0.058ms
第1休止時間 t2=0.008ms
第2プレパルス時間 t3=0.877ms
第2休止時間 t4=0.046ms
メインパルス時間 t5=0.011ms
(圧電素子の通電時間:1ms)
図11に示すように、実施形態2のアクチュエータ3においては、弁体35の変位波形にリップルがほぼ発生していない、又は、リップルが発生しているとしても図7に示す先発明のアクチュエータ3と比較してリップルが低減していることが確認できる。
したがって、本発明の圧電式バルブは、実施形態2のアクチュエータ3を備えることで、先発明の圧電式バルブと比較して、気体排出口から圧縮気体を安定した状態で排出することができる。
したがって、本発明の圧電式バルブは、実施形態2のアクチュエータ3を備えることで、先発明の圧電式バルブと比較して、気体排出口から圧縮気体を安定した状態で排出することができる。
<実施形態3>
図12は本発明の実施形態3におけるアクチュエータの説明図を示す。
実施形態3のアクチュエータ3は、上記実施形態2のアクチュエータ3において、前記基部31及び前記作用部34に連結され、前記圧電素子32を前記第1長手方向に圧縮する前記圧縮部材36を、前記第1長手方向に沿って前記圧電素子32の略中心軸上に位置するように備えるものである。
図12は本発明の実施形態3におけるアクチュエータの説明図を示す。
実施形態3のアクチュエータ3は、上記実施形態2のアクチュエータ3において、前記基部31及び前記作用部34に連結され、前記圧電素子32を前記第1長手方向に圧縮する前記圧縮部材36を、前記第1長手方向に沿って前記圧電素子32の略中心軸上に位置するように備えるものである。
実施形態3のアクチュエータ3は、前記基部31及び前記作用部34にそれぞれ連結され、前記圧電素子32を前記第1長手方向に圧縮する前記圧縮部材36を前記圧電素子32の略中心軸上に位置するように備えるので、前記圧電素子32に対し前記圧縮部材36による捻れ力が作用せず、前記圧電素子32の損傷を効果的に防止することができる。
図13は本発明の実施形態3のアクチュエータにおける弁体の変位波形の説明図を示す。
図13に示す弁体35の変位波形も、図12に示す実施形態3のアクチュエータ3において圧電素子32に駆動電圧を印加し、該圧電素子32を伸長させて弁体35を開弁駆動する際の当該弁体35の変位量をレーザー計測器により計測したものである。
図13に示す弁体35の変位波形も、図12に示す実施形態3のアクチュエータ3において圧電素子32に駆動電圧を印加し、該圧電素子32を伸長させて弁体35を開弁駆動する際の当該弁体35の変位量をレーザー計測器により計測したものである。
実験は、特開2017-160973号公報の[実施例]に記載された方法に基づいて圧電素子32に駆動電圧を印加して行われた。実験条件は以下のとおりである。なお、入力信号の各時間条件は、弁体の変位波形に発生するリップルが少ない状態となる最適値に設定した。
(1)駆動電圧:72V
(2)入力信号:第1プレパルス時間 t1=0.054ms
第1休止時間 t2=0.015ms
第2プレパルス時間 t3=0.875ms
第2休止時間 t4=0.046ms
メインパルス時間 t5=0.01ms
(圧電素子の通電時間:1ms)
(1)駆動電圧:72V
(2)入力信号:第1プレパルス時間 t1=0.054ms
第1休止時間 t2=0.015ms
第2プレパルス時間 t3=0.875ms
第2休止時間 t4=0.046ms
メインパルス時間 t5=0.01ms
(圧電素子の通電時間:1ms)
図13に示すように、実施形態3のアクチュエータ3においても、弁体35の変位波形にリップルがほぼ発生していない、又は、リップルが発生しているとしても図7に示す先発明のアクチュエータ3と比較してリップルが低減していることが確認できる。
したがって、本発明の圧電式バルブは、実施形態3のアクチュエータ3を備えることでも、先発明の圧電式バルブと比較して、気体排出口から圧縮気体を安定した状態で排出することができる。
したがって、本発明の圧電式バルブは、実施形態3のアクチュエータ3を備えることでも、先発明の圧電式バルブと比較して、気体排出口から圧縮気体を安定した状態で排出することができる。
<他の実施形態>
上記本発明の実施形態におけるアクチュエータ3は、前記支持部33の前記くびれ部331から前記作用部34に接続される前記支持部33の先端部までの長さにより、前記弁体35の変位量を調整し、前記気体排出口から排出される圧縮気体の排出量を調整することができる。
すなわち、本発明の圧電式バルブは、前記くびれ部331から前記先端部までの長さが長い前記支持部33を備えるアクチュエータ3を用いることで、前記弁体35の変位量を大きくし、前記気体排出口から排出される圧縮気体の排出量を多くすることができる。
また、本発明の圧電式バルブは、前記くびれ部331から前記先端部までの長さが短い前記支持部33を備えるアクチュエータ3を用いることで、前記弁体35の変位量を小さくし、前記気体排出口から排出される圧縮気体の排出量を少なくすることができる。
上記本発明の実施形態におけるアクチュエータ3は、前記支持部33の前記くびれ部331から前記作用部34に接続される前記支持部33の先端部までの長さにより、前記弁体35の変位量を調整し、前記気体排出口から排出される圧縮気体の排出量を調整することができる。
すなわち、本発明の圧電式バルブは、前記くびれ部331から前記先端部までの長さが長い前記支持部33を備えるアクチュエータ3を用いることで、前記弁体35の変位量を大きくし、前記気体排出口から排出される圧縮気体の排出量を多くすることができる。
また、本発明の圧電式バルブは、前記くびれ部331から前記先端部までの長さが短い前記支持部33を備えるアクチュエータ3を用いることで、前記弁体35の変位量を小さくし、前記気体排出口から排出される圧縮気体の排出量を少なくすることができる。
上記本発明の実施形態におけるアクチュエータ3において、前記支持部33には、前記くびれ部331よりも前記基部31の側において前記第2長手方向に沿って複数の取付け穴38が設けられるものとし、前記支持部33を、少なくとも1つの前記取付け穴38を利用して前記弁座プレート4にネジ固定することもできる。
上記本発明の実施形態におけるアクチュエータ3において、前記支持部33に前記くびれ部331よりも前記基部31の側において前記第2長手方向に沿って複数の取付け穴38を設け、前記支持部33を、少なくとも1つの前記取付け穴38を利用して前記弁座プレート4にネジ固定することとすれば、前記支持部33を前記弁座プレート4に固定する前記取付け穴38の位置により、前記弁体35の変位量を調整し、前記気体排出口から排出される圧縮気体の排出量を調整することができる。
上記本発明の実施形態におけるアクチュエータ3において、前記支持部33に前記くびれ部331よりも前記基部31の側において前記第2長手方向に沿って複数の取付け穴38を設け、前記支持部33を、少なくとも1つの前記取付け穴38を利用して前記弁座プレート4にネジ固定することとすれば、前記支持部33を前記弁座プレート4に固定する前記取付け穴38の位置により、前記弁体35の変位量を調整し、前記気体排出口から排出される圧縮気体の排出量を調整することができる。
上記本発明の実施形態におけるアクチュエータ3は、前記基部31と前記作用部34との間であって、前記圧電素子32と前記支持部33との間に形成される隙間にシリコーンを充填し、前記隙間を前記シリコーンで埋めることができる。
上記本発明の実施形態におけるアクチュエータ3は、前記圧電素子32の前記一端部又は前記他端部の少なくとも一方が、前記支持部33よりも線膨張係数の大きな材料からなる連結部37を介して前記基部31の取付け面又は前記作用部34に接続される場合、前記圧電素子32及び前記連結部37と前記支持部33との間に形成される隙間にシリコーンを充填し、前記隙間を前記シリコーンで埋めることができる。
上記本発明の実施形態におけるアクチュエータ3は、前記基部31と前記作用部34との間であって、前記圧電素子32が前記第1長手方向に延びる側と前記支持部33が前記第2長手方向に延びる側との間に形成される隙間をシリコーンで埋めることとすれば、前記弁体35の変位波形に発生するリップルをさらに効果的に低減することができる。
また、上記本発明の実施形態におけるアクチュエータ3は、前記基部31と前記作用部34との間であって、前記圧電素子32と前記支持部33との間に形成される隙間を等間隔とすることができる。
上記本発明の実施形態におけるアクチュエータ3は、前記基部31と前記作用部34との間であって、前記圧電素子32が前記第1長手方向に延びる側と前記支持部33が前記第2長手方向に延びる側との間に形成される隙間を等間隔とし、前記隙間をシリコーンで埋めることとすれば、前記隙間へのシリコーンの充填を容易に行うことができる。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、発明の範囲を逸脱しない限りにおいてその構成を適宜変更することができる。
本発明の圧電式バルブは、弁体の変位波形に発生するリップルを低減し、気体排出口から圧縮気体を安定した状態で排出することができるため、極めて有用である。
1 圧電式バルブ
2 バルブ本体
3 アクチュエータ
31 基部
311 連結部材
32 圧電素子
33 支持部
331 くびれ部
34 作用部
35 弁体
36 圧縮部材
37 連結部
38 取付け穴
4 第1弁座プレート
41 弁座部
42 弁座
43 取り付け部
44 取り付け部
45 排出路
5 コネクタ部
51 気体吸入口
52 気体排出口
6 カバー体
61 配線コネクタ
2 バルブ本体
3 アクチュエータ
31 基部
311 連結部材
32 圧電素子
33 支持部
331 くびれ部
34 作用部
35 弁体
36 圧縮部材
37 連結部
38 取付け穴
4 第1弁座プレート
41 弁座部
42 弁座
43 取り付け部
44 取り付け部
45 排出路
5 コネクタ部
51 気体吸入口
52 気体排出口
6 カバー体
61 配線コネクタ
Claims (10)
- 弁体を駆動するアクチュエータと、
前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記アクチュエータは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第1長手方向及び前記第2長手方向それぞれと異なる変位方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記支持部は、前記第2長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有し、前記くびれ部よりも前記基部の側において前記弁座プレートに固定され、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記弁体と前記弁座との離間によって前記弁座プレートの前記排出路を介して排出する気体排出口と、
を備えることを特徴とする圧電式バルブ。 - 複数の弁体をそれぞれ個別に平行な面内で駆動する複数のアクチュエータと、
前記複数の弁体とそれぞれ個別に接離する弁座及び排出路を複数有し、前記複数のアクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記複数のアクチュエータのそれぞれは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第1長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第1長手方向と交差する第2長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第1長手方向及び前記第2長手方向それぞれと異なる変位方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記支持部は、前記第2長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有し、前記くびれ部よりも前記基部の側において前記弁座プレートに固定され、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記複数の弁体と前記複数の弁座との離間によって前記弁座プレートの前記各排出路を介してそれぞれ個別に排出する複数の気体排出口と、
を備えることを特徴とする圧電式バルブ。 - 前記基部は、少なくとも前記圧電素子の一端部が接続される側において前記弁座プレートに固定される請求項1又は2に記載の圧電式バルブ。
- 前記支持部の前記くびれ部から前記先端部までの長さにより、前記弁体の変位量を調整する請求項1乃至3のいずれかに記載の圧電式バルブ。
- 前記圧電素子の前記一端部又は前記他端部の少なくとも一方は、前記支持部よりも線膨張係数の大きな材料からなる連結部を介して前記基部の取付け面又は前記作用部に接続される請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電式バルブ。
- 前記連結部は、前記作用部に一体に設けられ、
前記圧電素子の前記他端部は、前記支持部よりも線膨張係数の大きな材料からなる前記連結部を介して前記作用部に接続される請求項5に記載の圧電式バルブ。 - 前記アクチュエータは、前記基部及び前記作用部のそれぞれに連結され、前記圧電素子を前記第1長手方向に圧縮する圧縮部材をさらに備える請求項1乃至6のいずれかに記載の圧電式バルブ。
- 前記アクチュエータは、前記基部及び前記作用部のそれぞれに連結され、前記圧電素子を前記第1長手方向に圧縮する前記圧縮部材を前記圧電素子の略中心軸上に備える請求項7に記載の圧電式バルブ。
- 前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子と前記支持部との間に形成される隙間をシリコーンで埋める請求項1乃至8のいずれかに記載の圧電式バルブ。
- 前記基部と前記作用部との間であって、前記圧電素子と前記支持部との間に形成される隙間を等間隔とし、前記隙間をシリコーンで埋める請求項1乃至9のいずれかに記載の圧電式バルブ。
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