JP2022158969A - Photosensitive resin composition for light-shielding film, and light-shielding film, color filter and display device using the same - Google Patents

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悠樹 小野
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Abstract

To provide a photosensitive resin composition for a light-shielding film from which a light-shielding film that can achieve both high light-shielding property and high resistance, and is excellent in development adhesion when a thin line is formed can be obtained.SOLUTION: A photosensitive resin composition for a light-shielding film contains (A) an epoxy compound, (B) a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin, (C) a photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond, (D) a light-shielding component containing a carbon black as a light-shielding material, (E) a polymerization initiator, and (F) a solvent, as essential components, wherein the component (A) has an aromatic ring in a main chain, the number of aromatic rings to the number of glycidyl groups occupying in the component (A) is 0.5-10, and an epoxy equivalent is 100-400 g/eq.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、高遮光かつ高抵抗な細線パターンのブラックマトリックスを形成するのに好適な遮光膜用感光性樹脂組成物に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photosensitive resin composition for a light-shielding film suitable for forming a black matrix having fine line patterns with high light-shielding and high resistance.

カラーフィルターは液晶表示装置の視認性を左右する重要な部材の一つであり、視認性の向上、すなわち、鮮明な画像を得るためには、カラーフィルターを構成する赤(R)、緑(G)、青(B)などの画素を今まで以上に高色純度化すると共に、ブラックマトリクスでは高遮光化を達成する必要があり、そのためには、従来よりも感光性樹脂組成物に対して着色剤を多量に添加しなければならない。 Color filters are one of the important components that affect the visibility of liquid crystal display devices. ), blue (B) pixels, etc., have higher color purity than before, and the black matrix needs to achieve high light shielding. A large amount of agent must be added.

樹脂ブラックマトリクス用遮光材としては一般にカーボンブラックが知られているが、カーボンブラックは遮光性に優れる一方、電気抵抗が低いため、表示装置の誤作動を引き起こす原因となる場合がある。そこで、カーボンブラックを用いてブラックマトリクスの電気抵抗を大きくする方法として、導電性であるカーボンブラックの比率を下げることや、カーボンブラック表面に樹脂をあらかじめ被覆した材料を適用する方法が提案されてきたが、パターニング性を十分に保持した上で実現できる遮光度に限界があり、要求される高遮光性を実現することが困難であった。 Carbon black is generally known as a light-shielding material for a resin black matrix. Although carbon black has excellent light-shielding properties, it has low electrical resistance, and thus may cause malfunction of display devices. Therefore, as a method of increasing the electrical resistance of the black matrix using carbon black, a method of reducing the ratio of carbon black, which is conductive, or a method of applying a material in which the carbon black surface is pre-coated with a resin has been proposed. However, there is a limit to the degree of light shielding that can be achieved while maintaining sufficient patterning properties, and it has been difficult to achieve the required high light shielding property.

また、上記のような従来技術を受けて本願の出願人は、光学濃度ODと体積抵抗率とを保持しつつ、10μm以下といった細線を形成した場合にも現像密着性に優れガラス基板との密着性も十分に確保できるような遮光膜用感光性樹脂組成物として、特定の構造および酸価を有する重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂を配合する方法を提案している(特許文献1を参照)。しかしながら、この方法でも、表示装置の高性能化に伴ってブラックマトリックスに要求される特性もますます高くなっていることから、高遮光と高抵抗との両立において更なる改善の余地があった。 Further, in response to the above-described prior art, the applicant of the present application has found that even when a thin line of 10 μm or less is formed while maintaining the optical density OD and the volume resistivity, it has excellent development adhesion and adhesion to the glass substrate. As a photosensitive resin composition for a light-shielding film that can sufficiently ensure the properties, a method of blending a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin having a specific structure and acid value has been proposed (see Patent Document 1). ). However, even with this method, there is room for further improvement in terms of achieving both high light shielding and high resistance, as the performance of display devices is becoming more sophisticated and the properties required of the black matrix are becoming higher and higher.

特開2015-200881号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-200881 特開2014-145821号公報JP 2014-145821 A 特開2019-070720号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2019-070720

そこで、本願の発明者らは、上記のような従来の試みを受けて、高遮光と高抵抗との両立ができる遮光膜用の感光性樹脂組成物についてさらに検討を進めると、次のような考えにたどり着いた。
すなわち、高遮光を達成できるように遮光材であるカーボンブラックを量多く配合しながらも、その量を減らすことなく高抵抗化を実現できる手段としてカーボンブラックどうしの接触確率を減らすこと、つまり、遮光膜の熱硬化時における熱収縮を抑制するようにすることでカーボンブラックどうしの接触が避けられるであろうといった考えと、また、未処理または酸化処理が施された通常のカーボンブラックはその表面に酸性官能基を多く有していることがわかっており、遮光膜の熱硬化過程においてそれと優先的に反応できる官能基を持つ他の化合物等を配合することにより、カーボンブラックの表面近傍にそのような他の樹脂などを存在させることが有意義であろうといった考えにたどり着いた。
Therefore, the inventors of the present application further studied a photosensitive resin composition for a light-shielding film that can achieve both high light-shielding and high resistance in response to the above-described conventional attempts, and found the following. I got the idea.
That is, while adding a large amount of carbon black as a light shielding material so as to achieve high light shielding, it is possible to reduce the contact probability of carbon black as a means of achieving high resistance without reducing the amount. The idea that contact between carbon blacks would be avoided by suppressing thermal shrinkage during thermal curing of the film, and that normal carbon black, which has been untreated or subjected to oxidation treatment, has It is known that it has many acidic functional groups, and by blending other compounds with functional groups that can preferentially react with them during the thermosetting process of the light-shielding film, it is possible to make such groups near the surface of the carbon black. I arrived at the idea that it would be meaningful to have other resins such as those present.

そして、このような考えについて、熱硬化時の熱収縮を抑えることができるような高耐熱性を有し、尚且つ、熱硬化時にカーボンブラックの酸性官能基と優先的に反応できるような官能基を有する化合物について鋭意検討した結果、主鎖に芳香環を有して剛直な骨格を有するとともに、熱硬化時にカーボンブラックと反応できるグリシジル基を有する所定のエポキシ化合物を感光性樹脂組成物中に所定量配合することで、高遮光及び高抵抗との両立を達成できると共に、例えば、3~8μmまでの細線を形成した場合にも現像密着性に優れるような硬化物(遮光膜)が得られることを新たに見出した。 Regarding such an idea, it has a high heat resistance that can suppress heat shrinkage during heat curing, and a functional group that can preferentially react with the acidic functional group of carbon black during heat curing. As a result of intensive studies on compounds having By blending a fixed amount, it is possible to achieve both high light shielding and high resistance, and to obtain a cured product (light shielding film) that has excellent development adhesion even when a fine line of, for example, 3 to 8 μm is formed. newly discovered.

なお、感光性樹脂組成物中にエポキシ化合物を配合する技術については、本願の出願人らも既に提案しているが(特許文献2、特許文献3を参照)、特許文献2に記載の技術はタッチパネル用途の黒色感光性樹脂組成物に関するものであり、特に加工プロセスに使用する薬品に対する高い耐薬品性への要求のために、比較的多くの量のエポキシ化合物を含有させることを開示するものである。また、特許文献3は、耐熱性が高々140℃であるプラスチック基板などに樹脂膜パターンを形成するために、感光性樹脂組成物中に硬化剤及び/又は硬化促進剤を必須として配合し、尚且つこれらとエポキシ化合物との合計量を特定の範囲とすることが特徴であり、とくに低温硬化を目的とした際に必須となる成分を開示するに過ぎないものである。
つまり、特許文献2および3に記載される組成物では上記のような配合を必須とするものであり、高遮光と高抵抗、および細線化の全てを満足する上では難しかった。
The applicants of the present application have already proposed a technique for blending an epoxy compound in a photosensitive resin composition (see Patent Document 2 and Patent Document 3), but the technology described in Patent Document 2 is It relates to a black photosensitive resin composition for touch panel applications, and discloses the inclusion of a relatively large amount of an epoxy compound, particularly for the demand for high chemical resistance to chemicals used in the processing process. be. Further, in Patent Document 3, in order to form a resin film pattern on a plastic substrate or the like having a heat resistance of at most 140° C., a curing agent and/or a curing accelerator are essentially blended into the photosensitive resin composition, and It is characterized by setting the total amount of these and the epoxy compound within a specific range, and it merely discloses the essential components especially when aiming at low-temperature curing.
In other words, the compositions described in Patent Documents 2 and 3 require the above formulation, and it was difficult to satisfy all of high light shielding, high resistance, and thinning.

したがって、本発明は上述した知見に基づいて発明されたものであり、その目的とするところは、高遮光及び高抵抗とを両立し、しかも、細線を形成した場合にも現像密着性に優れるような硬化物(遮光膜)を与えるような遮光膜用の感光性樹脂組成物を提供することである。 Therefore, the present invention was invented based on the above findings, and the object thereof is to achieve both high light shielding and high resistance, and to provide excellent development adhesion even when thin lines are formed. It is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition for a light-shielding film which gives a light-shielding cured product (light-shielding film).

また、本願の他の目的は、そのような遮光膜用感光性樹脂組成物を硬化させて形成させた遮光膜を提供することであり、さらには、該遮光膜を備えたカラーフィルター及び該カラーフィルターを備えた表示装置を提供することである。 Another object of the present invention is to provide a light-shielding film formed by curing such a photosensitive resin composition for a light-shielding film, and to provide a color filter comprising the light-shielding film and the color filter. An object of the present invention is to provide a display device with a filter.

すなわち、本発明の要旨は以下のとおりである。
〔1〕下記(A)~(F)成分、
(A)エポキシ化合物、
(B)重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、
(C)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、
(D)カーボンブラックを遮光材として含む遮光成分、
(E)光重合開始剤、及び
(F)溶剤
を必須成分として含む遮光膜用感光性樹脂組成物において、
前記(A)成分は、主鎖に芳香環を有し、また、(A)成分に占めるグリシジル基数に対する芳香環数が0.5~10であり、さらにエポキシ当量が100~400g/eqであることを特徴とする遮光膜用感光性樹脂組成物。
〔2〕(B)成分と(C)成分との質量割合(B)/(C)が50/50~90/10であり、(D)成分100質量部に対して(A)成分を0.5~15質量部含有し、且つ、(D)成分が遮光膜用感光性樹脂組成物の固形分中に40~70質量%含まれることを特徴とする請求項1に記載の遮光膜用感光性樹脂組成物。
〔3〕〔1〕又は〔2〕に記載の遮光膜用感光性樹脂組成物を硬化させて形成したことを特徴とする遮光膜。
〔4〕〔3〕に記載の遮光膜を備えたことを特徴とするカラーフィルター。
〔5〕〔4〕に記載のカラーフィルターを有する表示装置。
That is, the gist of the present invention is as follows.
[1] Components (A) to (F) below,
(A) an epoxy compound,
(B) a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin,
(C) a photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond;
(D) a light-shielding component containing carbon black as a light-shielding material;
(E) a photopolymerization initiator, and (F) a photosensitive resin composition for a light-shielding film containing a solvent as essential components,
The component (A) has an aromatic ring in its main chain, the number of aromatic rings relative to the number of glycidyl groups in the component (A) is 0.5 to 10, and the epoxy equivalent is 100 to 400 g/eq. A photosensitive resin composition for a light shielding film characterized by:
[2] The mass ratio (B)/(C) between component (B) and component (C) is 50/50 to 90/10, and component (A) is 0 per 100 parts by mass of component (D). .5 to 15 parts by mass, and the component (D) is contained in the solid content of the photosensitive resin composition for a light shielding film in an amount of 40 to 70% by mass. A photosensitive resin composition.
[3] A light-shielding film formed by curing the photosensitive resin composition for a light-shielding film according to [1] or [2].
[4] A color filter comprising the light-shielding film described in [3].
[5] A display device comprising the color filter of [4].

本発明によれば、高遮光及び高抵抗との両立を達成できると共に、例えば、3~8μmまでの細線を形成した場合にも現像密着性に優れるような硬化物(遮光膜)が得られる遮光膜用感光性樹脂組成物を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to achieve both high light shielding and high resistance, and for example, even when a fine line of 3 to 8 μm is formed, a light shielding product (light shielding film) that has excellent development adhesion can be obtained. A photosensitive resin composition for a film can be provided.

上述のとおり、本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物は、少なくとも、(A)エポキシ化合物、(B)重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、(C)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、(D)カーボンブラックを遮光材とする遮光成分、(E)光重合開始剤、及び(F)溶剤を必須の成分として有する。以下、これらの成分を中心に詳しく説明する。 As described above, the photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention comprises at least (A) an epoxy compound, (B) an alkali-soluble resin containing a polymerizable unsaturated group, and (C) at least one ethylenically unsaturated bond. (D) a light-shielding component using carbon black as a light-shielding material, (E) a photopolymerization initiator, and (F) a solvent as essential components. These components will be mainly described in detail below.

<(A)エポキシ化合物>
本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物における(A)エポキシ化合物は、主鎖に芳香環を有するものであることが必要である。主鎖に芳香環を有することにより、優れた耐熱性と機械的特性を備えるようになり、これを用いた本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物を加熱硬化して遮光膜を形成する際に発生する熱収縮を抑制できる点で好ましい。ここで、主鎖に有するとは、当業界で通常用いられるように、炭素数が最大となる分子の骨格となる構造中に少なくとも1つの芳香環を有することを意味するものである。また、芳香環とは、ベンゼン環、ナフタレン環、ビフェニル環、ビスフェノール環等を挙げることができ、それらの構造は未置換でもよく、或いは、それぞれ独立に、1以上の置換基を有したものでもよい。置換基としては、炭素数1~10のアルキル基又はアリール基であってもよく、本発明の目的の範囲内であれば特に限定されない。
<(A) epoxy compound>
The (A) epoxy compound in the photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention must have an aromatic ring in its main chain. By having an aromatic ring in the main chain, it has excellent heat resistance and mechanical properties. It is preferable in that it is possible to suppress the heat shrinkage that occurs in. Here, "having in the main chain" means having at least one aromatic ring in the structure serving as the skeleton of the molecule having the maximum number of carbon atoms, as is commonly used in the art. In addition, the aromatic ring includes a benzene ring, a naphthalene ring, a biphenyl ring, a bisphenol ring, and the like, and their structures may be unsubstituted, or each independently having one or more substituents. good. The substituent may be an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or an aryl group, and is not particularly limited as long as it is within the scope of the object of the present invention.

ここで、前記(A)成分としては、エポキシ当量が100~400g/eqであり、好ましくは、120~380g/eq、より好ましくは150~360g/eqであるものを用いることがよい。エポキシ当量が100g/eq未満の場合、(B)成分中に含む現像溶解性を担う酸性官能基との反応が進行し、現像性が低下するおそれがあり、反対に、400g/eqを超える場合にはカーボンブラック間距離の制御に乏しくなり、抵抗の向上が見込めないおそれがある。 The component (A) used here has an epoxy equivalent of 100 to 400 g/eq, preferably 120 to 380 g/eq, and more preferably 150 to 360 g/eq. When the epoxy equivalent is less than 100 g/eq, the reaction with the acidic functional group responsible for developing solubility contained in the component (B) may proceed, resulting in deterioration in developability. In this case, the control of the distance between carbon blacks becomes poor, and there is a possibility that an improvement in resistance cannot be expected.

また、当該(A)成分については、前記芳香環の数が、グリシジル基に対する数として、芳香環数/グリシジル基数が0.5~10であり、好ましくは1.1~4であり、さらに好ましくは1.3~4、特に好ましくは2~4である。ここでいう芳香環数とは、ベンゼン環の数であり、例えばナフタレン環であれば2、ビフェニルであれば2、アントラセンであれば3、ビスフェノールフルオレン環であれば4となる。芳香環としては、かさ高い(芳香環数が多い)ものが好ましく、ビスフェノールフルオレン環やナフタレンなどの縮環構造を持つものがより好ましい。芳香環数/グリシジル基数が0.5未満の場合、芳香環数の少なさからくる耐熱性低下による抵抗低下、もしくはグリシジル基数の多さにより(B)成分中に含む現像溶解性を担う酸性官能基との反応が進行し、現像性が低下するおそれがある。反対に、芳香環数/グリシジル基数が10超過の場合、グリシジル基数の少なさからカーボンブラック間距離の制御に乏しくなり、抵抗の向上が見込めなくなるおそれがある。 In the component (A), the number of aromatic rings per glycidyl group is 0.5 to 10, preferably 1.1 to 4, more preferably 1.1 to 4. is 1.3-4, particularly preferably 2-4. The number of aromatic rings referred to here is the number of benzene rings, for example, 2 for naphthalene rings, 2 for biphenyl, 3 for anthracene, and 4 for bisphenolfluorene rings. The aromatic ring is preferably bulky (having a large number of aromatic rings), more preferably having a condensed ring structure such as a bisphenol fluorene ring or naphthalene. When the number of aromatic rings/number of glycidyl groups is less than 0.5, the decrease in resistance due to the decrease in heat resistance due to the small number of aromatic rings, or the acidic functionalities contained in component (B) responsible for development solubility due to the large number of glycidyl groups. The reaction with the group proceeds, and the developability may deteriorate. On the contrary, when the number of aromatic rings/number of glycidyl groups exceeds 10, the control of the distance between carbon blacks becomes poor due to the small number of glycidyl groups, and there is a possibility that improvement in resistance cannot be expected.

ここで、前記の芳香環数/グリシジル基数については下記に示すとおり、エポキシ化合物の繰り返し単位を考慮した際の芳香環数/グルシジル基数とエポキシ当量との比例関係に基づいて、エポキシ当量から算出することが可能であることが分かる。すなわち、エポキシ化合物の各々の化学構造や繰り返し単位によって芳香環数やグリシジル基数は変化するものの、このように、繰り返し単位のいくつかを具体的に当て嵌めたうえでそのエポキシ当量との関係式を事前に把握することで、エポキシ当量の測定値に応じて芳香環数/グリシジル基数を算出することが可能となる。ここでは、その具体的な一例として、下記化学式(1)~(4)に挙げる化合物を例にとって示すが、これら以外のエポキシ化合物についても同じようにして求めることが可能である。
・ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物

Figure 2022158969000001
上記式(1)の場合、芳香環数/グリシジル基数=(4m+4)/2であり、例えば、m=1の場合は4である。この時、エポキシ当量は435である。同様に、m=2の時の芳香環数/グリシジル基数は6、エポキシ当量は638である。この関係から、(エポキシ当量)=102×(芳香環数/グリシジル基数)+28となるため、エポキシ当量から芳香環数/グリシジル基数を算出することが可能である。 Here, as shown below, the number of aromatic rings/number of glycidyl groups is calculated from the epoxy equivalent based on the proportional relationship between the number of aromatic rings/number of glycidyl groups and the epoxy equivalent when considering the repeating unit of the epoxy compound. It turns out that it is possible. That is, although the number of aromatic rings and the number of glycidyl groups varies depending on the chemical structure and repeating unit of each epoxy compound, in this way, after specifically applying some of the repeating units, the relational expression with the epoxy equivalent is calculated. By grasping in advance, it becomes possible to calculate the number of aromatic rings/number of glycidyl groups according to the measured value of the epoxy equivalent. Here, as a specific example, the compounds represented by the following chemical formulas (1) to (4) are shown as examples, but epoxy compounds other than these can also be obtained in the same manner.
・Bisphenol fluorene type epoxy compound
Figure 2022158969000001
In the case of the above formula (1), the number of aromatic rings/the number of glycidyl groups=(4m 1 +4)/2, for example, 4 when m 1 =1. At this time, the epoxy equivalent is 435. Similarly, when m 1 =2, the number of aromatic rings/number of glycidyl groups is 6, and the epoxy equivalent is 638. From this relationship, (epoxy equivalent)=102×(aromatic ring number/glycidyl group number)+28, so it is possible to calculate the aromatic ring number/glycidyl group number from the epoxy equivalent.

・1,6-ナフタレンジオールアラルキル型エポキシ化合物

Figure 2022158969000002
上記式(2)の場合、芳香環数/グリシジル基数=(3m+2)/(2m+2)であり、例えば、m=1の場合は1.25である。この時、エポキシ当量は162である。同様に、m=2の時の芳香環数/グリシジル基数は1.33、エポキシ当量は170である。この関係から、(エポキシ当量)=102×(芳香環数/グリシジル基数)+34となる。 ・1,6-naphthalenediol aralkyl type epoxy compound
Figure 2022158969000002
In the case of the above formula (2), the number of aromatic rings/the number of glycidyl groups=(3m 2 +2)/(2m 2 +2), for example, 1.25 when m 2 =1. At this time, the epoxy equivalent is 162. Similarly, when m 2 =2, the number of aromatic rings/number of glycidyl groups is 1.33 and the epoxy equivalent is 170. From this relationship, (epoxy equivalent)=102×(number of aromatic rings/number of glycidyl groups)+34.

・1-ナフトールアラルキル型エポキシ化合物

Figure 2022158969000003
上記式(3)の場合、芳香環数/グリシジル基数=(3m+2)/(m+1)であり、例えば、m=1の場合は2.5である。この時、エポキシ当量は252である。同様に、m=2の時の芳香環数/グリシジル基数は2.67、エポキシ当量は269である。この関係から、(エポキシ当量)=102×(芳香環数/グリシジル基数)-3となる。 ・1-Naphthol aralkyl type epoxy compound
Figure 2022158969000003
In the case of the above formula (3), the number of aromatic rings/the number of glycidyl groups=(3m 3 +2)/(m 3 +1), for example, 2.5 when m 3 =1. At this time, the epoxy equivalent is 252. Similarly, when m 3 =2, the number of aromatic rings/number of glycidyl groups is 2.67 and the epoxy equivalent is 269. From this relationship, (epoxy equivalent)=102×(number of aromatic rings/number of glycidyl groups)−3.

・フェノールノボラック型エポキシ化合物

Figure 2022158969000004
上記式(4)の場合、芳香環数/グリシジル基数=(m+2)/(m+2)であり、エポキシ当量にかかわらず(芳香環数/グリシジル基数)=1となる。 ・Phenol novolac type epoxy compound
Figure 2022158969000004
In the case of the above formula (4), the number of aromatic rings/number of glycidyl groups=(m 4 +2)/(m 4 +2), and (number of aromatic rings/number of glycidyl groups)=1 regardless of the epoxy equivalent.

当該(A)成分については、重量平均分子量が300~10000であるものを用いることがよい。 As for the component (A), those having a weight average molecular weight of 300 to 10,000 are preferably used.

このような(A)エポキシ化合物としては、主鎖に芳香環を有するものであれば特に限定されるものではないが、例えば、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物、ビスナフトールフルオレン型エポキシ化合物、ジフェニルフルオレン型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフタレン骨格を含むフェノールノボラック化合物(例えば日本化薬社製NC-7000L)、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、トリスフェノールメタン型エポキシ化合物、テトラキスフェノールエタン型エポキシ化合物、多価アルコールのグリシジルエーテル、多価カルボン酸のグリシジルエステル、メタクリル酸とメタクリル酸グリシジルの共重合体に代表される(メタ)アクリル酸グリシジルをユニットとして含む(メタ)アクリル基を有するモノマーの共重合体、シリコーン骨格を有するエポキシ化合物等を挙げることができる。このうち、カーボンブラックとの良好な親和性の観点から、多環芳香族エポキシ化合物を用いることが好ましい。
なお、当該(A)成分は、1種類の化合物のみを用いてもよく、複数を組み合わせて用いてもよい。
Such (A) epoxy compound is not particularly limited as long as it has an aromatic ring in the main chain, but for example, bisphenol A type epoxy compound, bisphenol F type epoxy compound, bisphenol fluorene type epoxy compound , bisnaphtholfluorene-type epoxy compounds, diphenylfluorene-type epoxy compounds, phenol novolac-type epoxy compounds, cresol novolac-type epoxy compounds, phenol aralkyl-type epoxy compounds, phenol novolac compounds containing a naphthalene skeleton (for example, NC-7000L manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.). , naphthol aralkyl-type epoxy compounds, trisphenolmethane-type epoxy compounds, tetrakisphenolethane-type epoxy compounds, glycidyl ethers of polyhydric alcohols, glycidyl esters of polycarboxylic acids, copolymers of methacrylic acid and glycidyl methacrylate. A copolymer of a monomer having a (meth)acrylic group containing glycidyl (meth)acrylate as a unit, an epoxy compound having a silicone skeleton, and the like can be mentioned. Among these, it is preferable to use a polycyclic aromatic epoxy compound from the viewpoint of good affinity with carbon black.
In addition, the said (A) component may use only 1 type of compound, and may use it combining multiple.

そして、当該(A)成分の配合量については、後述する(B)成分と(C)成分との合計100質量部に対して1~25質量部であることが好ましく、より好ましくは1~18質量部、さらに好ましくは1.5~16質量部であることがよい。(B)成分と(C)成分とに対して上記の配合量とすることにより、良好なパターニング特性を得られるようになるため好ましい。
さらに、当該(A)成分については、後述する(D)成分100質量部に対して、0.5~15質量部となるように配合することが好ましく、より好ましくは1~13質量部、さらに好ましくは1.0~9.0質量部とすることがよい。このようにカーボンブラックに対する量を適正化することにより、カーボンブラックとの良好な親和性を保ちつつ、十分な遮光性と抵抗の両立を達成出来るため好ましい。
The blending amount of the component (A) is preferably 1 to 25 parts by mass, more preferably 1 to 18 parts by mass with respect to a total of 100 parts by mass of the components (B) and (C) described later. parts by mass, more preferably 1.5 to 16 parts by mass. By setting the blending amount of the component (B) and the component (C) within the above ranges, it is possible to obtain good patterning properties, which is preferable.
Further, the component (A) is preferably blended in an amount of 0.5 to 15 parts by mass, more preferably 1 to 13 parts by mass, and further It is preferably 1.0 to 9.0 parts by mass. By optimizing the amount with respect to carbon black in this way, it is possible to achieve both sufficient light shielding properties and resistance while maintaining good affinity with carbon black, which is preferable.

<(B)重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂>
本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物における(B)重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂は、分子内に重合性不飽和基と酸性基を有する樹脂であれば特に制限なく用いることができるが、好ましく適用できる第一の例としては、エポキシ基を2個以上有する化合物と(メタ)アクリル酸(これは、アクリル酸及び/又はメタクリル酸の意味である)とを反応させ、得られたヒドロキシ基を有するエポキシ(メタ)アクリレート化合物に、(a)ジカルボン酸又はトリカルボン酸又はその酸一無水物及び/又は(b)テトラカルボン酸又はその酸二無水物を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物である。エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物へと誘導されるエポキシ基を2個以上有する化合物としては、ビスフェノール型エポキシ化合物やノボラック型エポキシ化合物を例示することができる。具体的には、下記一般式(I)で表されるビスフェノール型エポキシ化合物を好適に挙げることができる。

Figure 2022158969000005
<(B) Polymerizable Unsaturated Group-Containing Alkali-Soluble Resin>
The (B) polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention can be used without particular limitation as long as it is a resin having a polymerizable unsaturated group and an acidic group in the molecule. However, as a first example that can be preferably applied, a compound having two or more epoxy groups and (meth)acrylic acid (which means acrylic acid and / or methacrylic acid) are reacted to obtain An epoxy (meth)acrylate compound having a hydroxy group is reacted with (a) a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or its monoanhydride and/or (b) a tetracarboxylic acid or its dianhydride (epoxy (meth)acrylate). ) is an acrylate acid adduct. A bisphenol type epoxy compound and a novolak type epoxy compound can be exemplified as the compound having two or more epoxy groups that are induced to form an epoxy (meth)acrylate acid adduct. Specifically, bisphenol-type epoxy compounds represented by the following general formula (I) can be preferably used.
Figure 2022158969000005

一般式(I)の式中、R、R、R及びRは、それぞれ独立して水素原子、炭素数1~5のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基を表し、Aは、-CO-、-SO-、-C(CF-、-Si(CH-、-CH-、-C(CH-、-O-、フルオレン-9,9-ジイル基又は直結合を表す。lは0~10の整数である。好ましいR、R、R、Rは水素原子であり、好ましいAはフルオレン-9,9-ジイル基である。また、lは通常複数の値が混在するため平均値0~10(整数とは限らない)となるが、好ましいlの平均値は0~3である。 In formula (I), R 1 , R 2 , R 3 and R 4 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a halogen atom or a phenyl group, and A is - CO—, —SO 2 —, —C(CF 3 ) 2 —, —Si(CH 3 ) 2 —, —CH 2 —, —C(CH 3 ) 2 —, —O—, fluorene-9,9- represents a diyl group or a direct bond. l is an integer from 0 to 10; Preferred R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are hydrogen atoms, and preferred A is fluorene-9,9-diyl group. Also, since l usually has a plurality of values, the average value of l is 0 to 10 (not necessarily an integer), but the preferred average value of l is 0 to 3.

ビスフェノール型エポキシ化合物は、ビスフェノール類とエピクロルヒドリンとを反応させて得られる2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物であり、この反応の際には一般にジグリシジルエーテル化合物のオリゴマー化を伴うため、ビスフェノール骨格を2つ以上含むエポキシ化合物を含んでいる。この反応に用いられるビスフェノール類としては、ビス(4-ヒドロキシフェニル)ケトン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)ケトン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)ケトン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)スルホン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)スルホン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)ジメチルシラン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)ジメチルシラン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)ジメチルシラン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)メタン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジブロモフェニル)メタン、2,2-ビス(4-ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3- クロロフェニル)プロパン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)エーテル、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)エーテル、9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-クロロフェニル)フルオレン、9, 9-ビス(4-ヒドロキシ-3-ブロモフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-フルオロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メトキシフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジブロモフェニル)フルオレン、9,9-ビス[4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル]フルオレン、4,4'-ビフェノール、3,3'-ビフェノール等を挙げられる。この中でも、フルオレン-9,9-ジイル基を有するビスフェノール類を特に好ましく用いることができる。 A bisphenol-type epoxy compound is an epoxy compound having two glycidyl ether groups obtained by reacting a bisphenol with epichlorohydrin. This reaction generally involves oligomerization of a diglycidyl ether compound, so that the bisphenol skeleton contains an epoxy compound containing two or more of Bisphenols used in this reaction include bis(4-hydroxyphenyl)ketone, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)ketone, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)ketone, bis( 4-hydroxyphenyl)sulfone, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)sulfone, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)sulfone, bis(4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane, bis(4 -hydroxy-3,5-dimethylphenyl)hexafluoropropane, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)hexafluoropropane, bis(4-hydroxyphenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxy-3,5- dimethylphenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxyphenyl)methane, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)methane, bis(4-hydroxy- 3,5-dibromophenyl)methane, 2,2-bis(4-hydroxyphenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy -3,5-dichlorophenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)propane, bis(4-hydroxyphenyl)ether , bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)ether, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)ether, 9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene, 9,9-bis(4 -hydroxy-3-methylphenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-bromophenyl)fluorene, 9,9-bis(4 -hydroxy-3-fluorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-methoxyphenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)fluorene, 9,9- Bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)fluorene, 9,9-bis[4-(2-hydroxyethoxy)phenyl]fluorene , 4,4′-biphenol, 3,3′ - includes biphenols and the like. Among these, bisphenols having a fluorene-9,9-diyl group can be particularly preferably used.

エポキシ(メタ)アクリレートに反応させる(a)ジカルボン酸又はトリカルボン酸の酸一無水物としては、鎖式炭化水素ジカルボン酸又はトリカルボン酸の酸一無水物や脂環式ジカルボン酸又はトリカルボン酸の酸一無水物、芳香族ジカルボン酸又はトリカルボン酸の酸一無水物が使用される。ここで、鎖式炭化水素ジカルボン酸又はトリカルボン酸の酸一無水物としては、例えば、コハク酸、アセチルコハク酸、マレイン酸、アジピン酸、イタコン酸、アゼライン酸、シトラリンゴ酸、マロン酸、グルタル酸、クエン酸、酒石酸、オキソグルタル酸、ピメリン酸、セバシン酸、スベリン酸、ジグリコール酸等の酸一無水物があり、更には任意の置換基が導入されたジカルボン酸又はトリカルボン酸の酸一無水物でもよい。また、脂環式ジカルボン酸又はトリカルボン酸の酸一無水物としては、例えば、シクロブタンジカルボン酸、シクロペンタンジカルボン酸、ヘキサヒドロフタル酸、テトラヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、ヘキサヒドロトリメリット酸、ノルボルナンジカルボン酸等の酸一無水物があり、更には任意の置換基が導入されたジカルボン酸又はトリカルボン酸の酸一無水物でもよい。更に、芳香族ジカルボン酸又はトリカルボン酸の酸一無水物としては、例えばフタル酸、イソフタル酸、トリメリット酸、1,8-ナフタレンジカルボン酸、2,3-ナフタレンジカルボン酸等の酸一無水物があり、更には任意の置換基が導入されたジカルボン酸又はトリカルボン酸の酸一無水物でもよい。 As the (a) dicarboxylic acid or tricarboxylic acid unianhydride to be reacted with the epoxy (meth)acrylate, a chain hydrocarbon dicarboxylic acid or tricarboxylic acid unianhydride, an alicyclic dicarboxylic acid or tricarboxylic acid 1 Anhydrides, monoanhydrides of aromatic dicarboxylic acids or tricarboxylic acids are used. Examples of acid monoanhydrides of chain hydrocarbon dicarboxylic acids or tricarboxylic acids include succinic acid, acetylsuccinic acid, maleic acid, adipic acid, itaconic acid, azelaic acid, citralalic acid, malonic acid, glutaric acid, Acid unianhydrides such as citric acid, tartaric acid, oxoglutaric acid, pimelic acid, sebacic acid, suberic acid, and diglycolic acid, and dicarboxylic or tricarboxylic acid unianhydrides with optional substituents introduced. good. Examples of acid unihydrides of alicyclic dicarboxylic acids or tricarboxylic acids include cyclobutanedicarboxylic acid, cyclopentanedicarboxylic acid, hexahydrophthalic acid, tetrahydrophthalic acid, methyltetrahydrophthalic acid, methylendomethylenetetrahydrophthalic acid, Acid unianhydrides such as chlorendic acid, hexahydrotrimellitic acid, norbornanedicarboxylic acid, and the like, and further dicarboxylic acid or tricarboxylic acid unianhydrides into which arbitrary substituents have been introduced may be used. Furthermore, the unianhydrides of aromatic dicarboxylic acids or tricarboxylic acids include unianhydrides such as phthalic acid, isophthalic acid, trimellitic acid, 1,8-naphthalenedicarboxylic acid, and 2,3-naphthalenedicarboxylic acid. It may also be an acid monoanhydride of dicarboxylic acid or tricarboxylic acid into which an optional substituent is introduced.

また、エポキシ(メタ)アクリレートに反応させる(b)テトラカルボン酸の酸二無水物としては、鎖式炭化水素テトラカルボン酸の酸二無水物や脂環式テトラカルボン酸の酸二無水物、又は、芳香族テトラカルボン酸の酸二無水物が使用される。ここで、鎖式炭化水素テトラカルボン酸の酸二無水物としては、例えば、ブタンテトラカルボン酸、ペンタンテトラカルボン酸、ヘキサンテトラカルボン酸等の酸二無水物があり、更には任意の置換基が導入されたテトラカルボン酸の酸二無水物でもよい。また、脂環式テトラカルボン酸の酸二無水物としては、例えば、シクロブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、シクロへプタンテトラカルボン酸、ノルボルナンテトラカルボン酸等の酸二無水物があり、更には任意の置換基の導入されたテトラカルボン酸の酸二無水物でもよい。更に、芳香族テトラカルボン酸の酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸、ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、ナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸、ナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸等の酸二無水物が挙げられ、更には任意の置換基の導入されたテトラカルボン酸の酸二無水物でもよい。 In addition, the (b) tetracarboxylic acid dianhydride to be reacted with the epoxy (meth)acrylate includes a chain hydrocarbon tetracarboxylic acid dianhydride, an alicyclic tetracarboxylic acid dianhydride, or , dianhydrides of aromatic tetracarboxylic acids are used. Here, the acid dianhydrides of chain hydrocarbon tetracarboxylic acids include, for example, acid dianhydrides such as butanetetracarboxylic acid, pentanetetracarboxylic acid, and hexanetetracarboxylic acid. The acid dianhydride of the introduced tetracarboxylic acid may also be used. Examples of alicyclic tetracarboxylic acid dianhydrides include acid dianhydrides such as cyclobutanetetracarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid, cyclohexanetetracarboxylic acid, cycloheptanetetracarboxylic acid, and norbornanetetracarboxylic acid. It may be an acid dianhydride of a tetracarboxylic acid into which any substituent has been introduced. Furthermore, the acid dianhydrides of aromatic tetracarboxylic acids include, for example, pyromellitic acid, benzophenonetetracarboxylic acid, biphenyltetracarboxylic acid, biphenylethertetracarboxylic acid, diphenylsulfonetetracarboxylic acid, naphthalene-1,4,5 ,8-tetracarboxylic acid, naphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid dianhydrides such as tetracarboxylic acid dianhydrides introduced with optional substituents may also be used. .

エポキシ(メタ)アクリレートに反応させる(a)ジカルボン酸又はトリカルボン酸の酸無水物と(b)テトラカルボン酸の酸二無水物とのモル比(a)/(b)は、0.01~10.0であることがよく、より好ましくは0.02以上3.0未満であるのがよい。モル比(a)/(b)が上記範囲であれば、良好な光パターニング性を有する感光性樹脂組成物とするための最適分子量が得られやすく、また、アルカリ溶解性が損なわれないため好ましい。 The molar ratio (a)/(b) of (a) dicarboxylic acid or tricarboxylic acid anhydride and (b) tetracarboxylic acid dianhydride reacted with epoxy (meth)acrylate is 0.01 to 10. 0.0, more preferably 0.02 or more and less than 3.0. When the molar ratio (a)/(b) is within the above range, the optimum molecular weight for forming a photosensitive resin composition having good photopatterning properties can easily be obtained, and the alkali solubility is not impaired, which is preferable. .

エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物は、既知の方法、例えば特開平8-278629号公報や特開2008-9401号公報等に記載の方法により製造することができる。先ず、エポキシ化合物に(メタ)アクリル酸を反応させる方法としては、例えば、エポキシ化合物のエポキシ基と等モルの(メタ)アクリル酸を溶剤中に添加し、触媒(トリエチルベンジルアンモニウムクロライド、2,6-ジイソブチルフェノール等)の存在下、空気を吹き込みながら90~120℃に加熱・攪拌して反応させるという方法がある。次に、反応生成物であるエポキシアクリレート化合物の水酸基に酸無水物を反応させる方法としては、エポキシアクリレート化合物と酸二無水物および酸一無水物の所定量を溶剤中に添加し、触媒(臭化テトラエチルアンモニウム、トリフェニルホスフィン等)の存在下、90~130℃で加熱・攪拌して反応させるという方法がある。この方法で得られたエポキシアクリレート酸付加物は一般式(II)の骨格を有する。

Figure 2022158969000006
〔式(II)中、R、R、R及びRは、それぞれ独立して水素原子、炭素数1~5のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基を表し、Aは、-CO-、-SO-、-C(CF-、-Si(CH-、-CH-、-C(CH-、-O-、フルオレン-9,9-ジイル基又は直結合を表し、Xは4価のカルボン酸残基を表し、Y及びYは、それぞれ独立して水素原子又は-OC-Z-(COOH)m(但し、Zは2価又は3価カルボン酸残基を表し、mは1~2の数を表す)を表し、nは1~20の整数を表す。〕 Epoxy (meth)acrylate acid adducts can be produced by known methods such as those described in JP-A-8-278629 and JP-A-2008-9401. First, as a method of reacting (meth)acrylic acid with an epoxy compound, for example, (meth)acrylic acid is added to a solvent in an amount equivalent to the epoxy group of the epoxy compound, and a catalyst (triethylbenzylammonium chloride, 2,6 -Diisobutylphenol, etc.), heating to 90 to 120°C while blowing air and stirring to react. Next, as a method for reacting the acid anhydride with the hydroxyl group of the epoxy acrylate compound that is the reaction product, a predetermined amount of the epoxy acrylate compound and the acid dianhydride and the acid dianhydride are added to a solvent, and a catalyst (odor tetraethylammonium chloride, triphenylphosphine, etc.), heating and stirring at 90 to 130° C. for reaction. The epoxy acrylate acid adduct obtained by this method has the skeleton of general formula (II).
Figure 2022158969000006
[In formula (II), R 1 , R 2 , R 3 and R 4 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a halogen atom or a phenyl group; , -SO 2 -, -C(CF 3 ) 2 -, -Si(CH 3 ) 2 -, -CH 2 -, -C(CH 3 ) 2 -, -O-, fluorene-9,9-diyl group or represents a direct bond, X represents a tetravalent carboxylic acid residue, Y 1 and Y 2 each independently represent a hydrogen atom or -OC-Z-(COOH) m (where Z is divalent or trivalent represents a carboxylic acid residue, m represents a number of 1-2), and n represents an integer of 1-20. ]

(B)成分の別の例としては、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸エステル等の共重合体で(メタ)アクリル基とカルボキシル基を有する樹脂を挙げることができる。例えば、第一ステップとしてグリシジル(メタ)アクリレートを含む(メタ)アクリル酸エステル類を溶剤中で共重合させて得た共重合体に、第二ステップとして(メタ)アクリル酸を反応させ、第三ステップでジカルボン酸又はトリカルボン酸の無水物を反応させて得られる重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂である。 Another example of component (B) is a copolymer of (meth)acrylic acid, (meth)acrylic acid ester, and the like, which has a (meth)acrylic group and a carboxyl group. For example, in the first step, a copolymer obtained by copolymerizing (meth)acrylic acid esters containing glycidyl (meth)acrylate in a solvent is reacted with (meth)acrylic acid in the second step, and It is an alkali-soluble resin containing a polymerizable unsaturated group obtained by reacting an anhydride of dicarboxylic acid or tricarboxylic acid in a step.

(B)成分のもう1つの別の例としては、第一成分として分子中にエチレン性不飽和結合を有するポリオール化合物、第二成分として分子中にカルボキシル基を有するジオール化合物、第三成分としてジイソシアネート化合物を反応させて得られるウレタン化合物を挙げることができる。この系統の樹脂としては特開2017-76071号公報に示されているものを参考にすることができる。 Another example of component (B) is a polyol compound having an ethylenically unsaturated bond in the molecule as the first component, a diol compound having a carboxyl group in the molecule as the second component, and a diisocyanate as the third component. A urethane compound obtained by reacting a compound can be mentioned. As the resin of this type, reference can be made to those disclosed in JP-A-2017-76071.

(B)成分の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂は、本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物の固形分中に10~40質量%配合されることが好ましく、より好ましくは20~40質量%であることがよい。また、その重量平均分子量(Mw)については、通常2000~10000の間であることが好ましく、3000~7000の間であることがより好ましい。重量平均分子量(Mw)が2000に満たないと現像時のパターンの密着性が維持できず、パターン剥がれが生じ、また、重量平均分子量(Mw)が10000を超えると現像残渣や未露光部の残膜が残り易くなる。更に、(B)成分は、その酸価が30~200KOHmg/gの範囲にあることが好ましい。この値が30KOHmg/gより小さいとアルカリ現像がうまくできないか、強アルカリ等の特殊な現像条件が必要となる場合があり、また、200KOHmg/gを超えるとアルカリ現像液の浸透が早くなり過ぎ、剥離現像が起きやすくなるからである。
なお、(A)の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂については、その1種のみを使用しても、2種以上の混合物を使用することもできる。
The polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin of the component (B) is preferably incorporated in the solid content of the photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention in an amount of 10 to 40% by mass, more preferably 20 to 40%. % by mass. Also, the weight average molecular weight (Mw) is generally preferably between 2,000 and 10,000, more preferably between 3,000 and 7,000. If the weight average molecular weight (Mw) is less than 2,000, the adhesion of the pattern cannot be maintained during development, causing pattern peeling. A film tends to remain. Furthermore, the component (B) preferably has an acid value in the range of 30 to 200 KOHmg/g. If this value is less than 30 mg KOH/g, alkali development may not be performed well, or special development conditions such as strong alkali may be required. This is because peeling development is likely to occur.
The polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin (A) may be used alone or as a mixture of two or more thereof.

<(C)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー>
本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物における(C)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマーとしては、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシヘキシル(メタ)アクリレート等の水酸基を有する(メタ)アクリル酸エステル類や、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、又はジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクロイル基を有する樹枝状ポリマー等を挙げることができ、これらの1種又は2種以上を使用することができる。(メタ)アクロイル基を有する樹枝状ポリマーとしては、例えば、多官能(メタ)アクリレート化合物の(メタ)アクロイル基の中の炭素-炭素二重結合の一部に多価メルカプト化合物中のチオール基を付加して得られる公知の樹枝状ポリマーを例示することができる。
<(C) Photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond>
Examples of (C) the photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond in the photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) ) acrylate, 2-hydroxyhexyl (meth) acrylate and other hydroxyl group (meth) acrylic esters, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetra Ethylene glycol di(meth)acrylate, tetramethylene glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, trimethylolethane tri(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate , pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, glycerol (meth)acrylate, glycerol di(meth)acrylate, glycerol tri(meth)acrylate, sorbitol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol penta( meth)acrylates, or (meth)acrylates such as dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, sorbitol hexa(meth)acrylate, phosphazene alkylene oxide-modified hexa(meth)acrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, etc. and dendritic polymers having (meth)acryloyl groups, etc., and one or more of these can be used. As a dendritic polymer having a (meth)acryloyl group, for example, a part of the carbon-carbon double bond in the (meth)acryloyl group of a polyfunctional (meth)acrylate compound has a thiol group in the polyvalent mercapto compound. Known dendritic polymers obtained by addition can be exemplified.

当該(C)成分はアルカリ可溶性樹脂の分子どうしを架橋する役割を果たすことができるものであり、この機能を発揮させるためにはエチレン性不飽和結合を2個以上有するものを用いることが好ましい。また、モノマーの分子量を1分子中の(メタ)アクロイル基の数で除したアクリル当量が50~300であればよい。 The component (C) can play a role of cross-linking the molecules of the alkali-soluble resin, and in order to exhibit this function, it is preferable to use one having two or more ethylenically unsaturated bonds. Further, the acrylic equivalent obtained by dividing the molecular weight of the monomer by the number of (meth)acryloyl groups in one molecule may be 50 to 300.

(C)成分の配合量については、前記(B)成分との配合割合として、質量割合(B)/(C)で50/50~90/10であり、好ましくは60/40~80/20である。(B)成分の配合割合が50/50より少ないと、光硬化後の硬化物が脆くなり、また、未露光部において塗膜の酸価が低いためにアルカリ現像液に対する溶解性が低下し、パターンエッジがぎざつきシャープにならないおそれがある。また、(B)成分の配合割合が90/10よりも多いと、樹脂に占める光反応性官能基の割合が少なく架橋構造の形成が十分でなく、更に、樹脂成分における酸価度が高過ぎて、露光部におけるアルカリ現像液に対する溶解性が高くなるおそれがあることから、形成されたパターンが目標とする線幅より細ったり、パターンの欠落が生じ易くなったりするといった問題が生じるおそれがある。 Regarding the blending amount of component (C), the mass ratio (B)/(C) is 50/50 to 90/10, preferably 60/40 to 80/20, as a blending ratio with the above component (B). is. If the blending ratio of component (B) is less than 50/50, the cured product after photocuring becomes brittle, and the acid value of the coating film in the unexposed area is low, resulting in reduced solubility in an alkaline developer. Pattern edges may not be jagged and sharp. If the blending ratio of component (B) is more than 90/10, the proportion of photoreactive functional groups in the resin is too small to form a sufficient crosslinked structure, and the acid value of the resin component is too high. As a result, there is a risk that the solubility in the alkaline developer in the exposed portion will increase, so there is a risk that the formed pattern will be thinner than the target line width, or that the pattern will be more likely to be missing. .

<(D)カーボンブラックを遮光材として含む遮光成分>
本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物における(D)遮光成分は、未処理又は酸化処理されたカーボンブラックを必須として含有する。ここで、未処理とは、酸化処理や樹脂被覆処理といった特別な表面処理を施さないことであり、酸化処理とは、分散工程前にカーボンブラックの表面を何らかの酸化剤で処理することである。このような未処理又は酸化処理されたカーボンブラックは、表面に酸性官能基を多く有していることから、遮光膜を得る際の熱硬化時において、前記の(A)成分のグリシジル基と反応することで、カーボンブラック近傍に(A)成分を多く存在させることが重要である。さらに、カーボンブラックを用いて遮光膜の抵抗値をより高めたい場合には、カーボンブラック表面を染料、顔料、樹脂等で被覆した表面被覆カーボンブラックを用いるようにしてもよい。ただし、カーボンブラックを(D)成分中に80質量%以上配合することが好ましい。カーボンブラック以外の遮光成分としては、黒色有機顔料、混色有機顔料又は遮光材から選ばれる遮光成分を用いることができ、耐熱性、耐光性及び耐溶剤性等に優れたものであるのがよい。ここで、黒色有機顔料としては、例えばペリレンブラック、アニリンブラック、シアニンブラック、ラクタムブラック等が挙げられる。混色有機顔料としては、赤、青、緑、紫、黄色、シアニン、マゼンタ等から選ばれる2種以上の顔料を混合して擬似黒色化されたものが挙げられる。遮光材としては、酸化クロム、酸化鉄、チタンブラック等を挙げることができる。これらの他の遮光成分は、2種以上を適宜選択して用いることもできる。
<(D) Light-shielding component containing carbon black as a light-shielding material>
The (D) light shielding component in the photosensitive resin composition for a light shielding film of the present invention essentially contains untreated or oxidized carbon black. Here, "untreated" means that no special surface treatment such as oxidation treatment or resin coating treatment is performed, and "oxidation treatment" means that the surface of carbon black is treated with some oxidizing agent before the dispersing step. Since such untreated or oxidized carbon black has many acidic functional groups on its surface, it reacts with the glycidyl groups of the component (A) during heat curing to obtain a light-shielding film. By doing so, it is important to allow a large amount of the component (A) to exist in the vicinity of the carbon black. Furthermore, when carbon black is used to increase the resistance of the light-shielding film, surface-coated carbon black in which the carbon black surface is coated with a dye, pigment, resin, or the like may be used. However, it is preferable to mix 80% by mass or more of carbon black in the component (D). As the light-shielding component other than carbon black, a light-shielding component selected from a black organic pigment, a mixed color organic pigment, or a light-shielding material can be used, and the light-shielding component preferably has excellent heat resistance, light resistance, solvent resistance, and the like. Examples of black organic pigments include perylene black, aniline black, cyanine black, and lactam black. Examples of mixed-color organic pigments include pseudo-black pigments obtained by mixing two or more pigments selected from red, blue, green, purple, yellow, cyanine, magenta, and the like. Examples of the light shielding material include chromium oxide, iron oxide, and titanium black. Two or more of these other light-shielding components can be appropriately selected and used.

また、遮光成分は、好ましくは、予め(F)溶剤に分散剤とともに分散させて遮光性分散液としたうえで、遮光膜用感光性樹脂組成物として配合するのがよい。ここで、分散させる溶剤は、後述の(F)成分の一部になるため、上記の(F)成分に挙げるものであれば使用することができるが、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3メトキシブチルアセテート等が好適に用いられる。遮光性分散液を形成する(D)成分の配合割合については、本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物の全固形分に対して40~70質量%の範囲で用いられるのがよく、40~60質量%の範囲が特に好ましい。 Further, the light-shielding component is preferably dispersed in the solvent (F) together with the dispersant in advance to form a light-shielding dispersion liquid, and then blended as the photosensitive resin composition for the light-shielding film. Here, since the solvent to be dispersed is part of the component (F) described later, it can be used as long as it is listed as the component (F) above. For example, propylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutyl Acetate and the like are preferably used. The blending ratio of the component (D) forming the light-shielding dispersion liquid is preferably in the range of 40 to 70% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition for light-shielding films of the present invention. A range of up to 60% by weight is particularly preferred.

また、前記分散剤としては、各種高分子分散剤等の公知の分散剤を使用することができる。分散剤の例としては、従来顔料分散に用いられている公知の化合物(分散剤、分散湿潤剤、分散促進剤等の名称で市販されている化合物等)を特に制限なく使用することができるが、例えば、カチオン性高分子系分散剤、アニオン性高分子系分散剤、ノニオン性高分子系分散剤、顔料誘導体型分散剤(分散助剤)等を挙げることができる。特に、顔料への吸着点としてイミダゾリル基、ピロリル基、ピリジル基、一級、二級又は三級のアミノ基等のカチオン性の官能基を有し、アミン価が1~100mgKOH/g、数平均分子量が1千~10万の範囲にあるカチオン性高分子系分散剤は好適である。この分散剤の配合量については、(D)遮光成分に対して1~30質量%が好ましい。 As the dispersant, known dispersants such as various polymer dispersants can be used. Examples of the dispersant include known compounds conventionally used for dispersing pigments (compounds commercially available under the names of dispersants, dispersion wetting agents, dispersion accelerators, etc.) can be used without particular limitation. , for example, cationic polymeric dispersants, anionic polymeric dispersants, nonionic polymeric dispersants, pigment derivative dispersants (dispersion aids), and the like. In particular, it has a cationic functional group such as an imidazolyl group, pyrrolyl group, pyridyl group, primary, secondary or tertiary amino group as an adsorption point to the pigment, and has an amine value of 1 to 100 mgKOH/g and a number average molecular weight. A cationic polymeric dispersant having a is in the range of 1,000 to 100,000 is preferred. The content of the dispersant is preferably 1 to 30% by mass relative to (D) the light-shielding component.

<(E)光重合開始剤>
本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物における(E)光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等のアセトフェノン類;ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p'-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、4-フェニルベンゾフェノン、4,4’-ジクロロベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、4,4’-ジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類;2-(o-クロロフェニル)-4,5-フェニルビイミダゾール、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)ビイミダゾール、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2,4,5-トリアリールビイミダゾール、2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2-ビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物類;2-トリクロロメチル-5-スチリル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-シアノスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-メトキシスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール等のハロメチルジアゾール化合物類;2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-クロロフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(3,4,5-トリメトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メチルチオスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン等のハロメチル-s-トリアジン系化合物類;1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-,2-(O-ベンゾイルオキシム)、1-(4-フェニルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-ベンゾアート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-アセタート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1-オンオキシム-O-アセタート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-ビシクロヘプチル-1-オンオキシム-O-アセタート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-アダマンチルメタン-1-オンオキシム-O-ベンゾアート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-アダマンチルメタン-1-オンオキシム-O-アセタート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-テトラヒドロフラニルメタン-1-オンオキシム-O-ベンゾアート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-テトラヒドロフラニルメタン-1-オンオキシム-O-アセタート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-チオフェニルメタン-1-オンオキシム-O-ベンゾアート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-チオフェニルメタン-1-オンオキシム-O-アセタート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-モロフォニルメタン-1-オンオキシム-O-ベンゾアート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-モロフォニルメタン-1-オンオキシム-O-アセタート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-エタン-1-オンオキシム-O-ビシクロヘプタンカルボキシレート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-エタン-1-オンオキシム-O-トリシクロデカンカルボシキレート、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-エタン-1-オンオキシム-O-アダマンタンカルボシキレート、1-[4-(フェニルスルファニル)フェニル]オクタン-1,2-ジオン=2-O-ベンゾイルオキシム、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)カルバゾール-3-イル]エタノン-O-アセチルオキシム、(2-メチルフェニル)(7-ニトロ-9,9-ジプロピル-9H-フルオレン-2-イル)-アセチルオキシム、エタノン,1-[7-(2-メチルベンゾイル)-9,9-ジプロピル-9H-フルオレン-2-イル]-1-(o-アセチルオキシム)、エタノン,1-(-9,9-ジブチル-7-ニトロ-9H-フルオレン-2-イル)-1-O-アセチルオキシム、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム)等のO-アシルオキシム系化合物類;チオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-メチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、4-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントン、1-クロロ-4-プロポキシチオキサントン等のイオウ化合物;2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類;アゾビスイソブチルニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物;2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール、β-メルカプトプロピオン酸、2-エチルヘキシル-3-メルカプトプロピオネート、n-オクチル-3-メルカプトプロピオネート、メトキシブチル-3-メルカプトプロピオネート、ステアリル-3-メルカプトプロピオネート、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリス-[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)-エチル]-イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、テトラエチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトプロピオネート)、3,3’-チオジプロピオン酸、ジチオジプロピオン酸、ラウリルチオプロピオン酸等のチオール化合物などが挙げられる。この中でも、高感度の遮光膜用感光性樹脂組成物を得られやすい観点から、O-アシルオキシム系化合物類を用いることが好ましい。また、これら光重合開始剤を2種類以上使用することもできる。なお、本発明でいう光重合開始剤とは、増感剤を含む意味で使用される。
<(E) Photoinitiator>
Examples of the (E) photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention include acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, Acetophenones such as trichloroacetophenone, p-tert-butylacetophenone, and benzyldimethylketal; benzophenone, 2-chlorobenzophenone, p,p'-bisdimethylaminobenzophenone, 4,4'-bisdimethylaminobenzophenone (Michler's ketone), 4- benzophenones such as phenylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, hydroxybenzophenone, and 4,4'-diethylaminobenzophenone; benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether; 2-( o-Chlorophenyl)-4,5-phenylbiimidazole, 2-(o-chlorophenyl)-4,5-di(m-methoxyphenyl)biimidazole, 2-(o-fluorophenyl)-4,5-diphenylbiimidazole imidazole, 2-(o-methoxyphenyl)-4,5-diphenylbiimidazole, 2,4,5-triarylbiimidazole, 2,2'-bis(2-chlorophenyl)-4,4',5,5 Biimidazole compounds such as '-tetraphenyl-1,2-biimidazole; 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(p-cyanostyryl )-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(p-methoxystyryl)-1,3,4-oxadiazole and other halomethyldiazole compounds; 2,4,6- Tris(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-methyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)- 1,3,5-triazine, 2-(4-chlorophenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloro methyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxynaphthyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxystyryl)-4,6 -bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(3,4,5-trimethoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methylthiostyryl)-4,6-bis(trichloromethyl) Halomethyl-s-triazine compounds such as -1,3,5-triazine; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl]-,2-(O-benzoyloxime), 1-( 4-phenylsulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxime-O-benzoate, 1-(4-methylsulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxime-O-acetate, 1- (4-methylsulfanylphenyl)butan-1-one oxime-O-acetate, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-bicycloheptyl-1-one oxime-O -acetate, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-adamantylmethan-1-one oxime-O-benzoate, 1-[9-ethyl-6-( 2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-adamantylmethan-1-one oxime-O-acetate, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl] -tetrahydrofuranylmethan-1-one oxime-O-benzoate, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-tetrahydrofuranylmethan-1-one oxime-O-acetate , 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-thiophenylmethan-1-one oxime-O-benzoate, 1-[9-ethyl-6-(2 -methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-thiophenylmethan-1-one oxime-O-acetate, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl] - Morophonylmethan-1-one oxime-O-benzoate, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-morphonylmethan-1-one oxime-O -acetate, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-ethane-1-one oxime-O-bicycloheptanecarboxylate, 1-[9-ethyl-6- (2-methyl benzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-ethan-1-one oxime-O-tricyclodecanecarboxylate, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl ]-ethane-1-one oxime-O-adamantanecarboxylate, 1-[4-(phenylsulfanyl)phenyl]octane-1,2-dione=2-O-benzoyloxime, 1-[9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl)carbazol-3-yl]ethanone-O-acetyloxime, (2-methylphenyl)(7-nitro-9,9-dipropyl-9H-fluoren-2-yl)-acetyloxime, ethanone, 1-[7-(2-methylbenzoyl)-9,9-dipropyl-9H-fluoren-2-yl]-1-(o-acetyloxime), ethanone, 1-(-9,9-dibutyl-7- Nitro-9H-fluoren-2-yl)-1-O-acetyloxime, ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-, 1-(O -Acyloxime) and other O-acyloxime compounds; sulfur compounds such as 2,4-dichlorothioxanthone and 1-chloro-4-propoxythioxanthone; anthraquinones such as 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone and 2,3-diphenylanthraquinone; azobisisobutyl Organic peroxides such as nitrile, benzoyl peroxide, and cumene peroxide; 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, β-mercaptopropionic acid, 2-ethylhexyl-3-mercaptopropionate , n-octyl-3-mercaptopropionate, methoxybutyl-3-mercaptopropionate, stearyl-3-mercaptopropionate, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), tris-[(3- mercaptopropionyloxy)-ethyl]-isocyanurate, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) captopropionate), tetraethylene glycol bis(3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexakis(3-mercaptopropionate), 3,3'-thiodipropionic acid, dithiodipropionic acid, laurylthio thiol compounds such as propionic acid; Among these, O-acyloxime compounds are preferably used from the viewpoint of easily obtaining a highly sensitive photosensitive resin composition for a light shielding film. Two or more kinds of these photopolymerization initiators can also be used. In addition, the photoinitiator as used in the field of this invention is used in the meaning containing a sensitizer.

また、それ自体では光重合開始剤や増感剤として作用しないが、上述の化合物と組み合わせて用いることにより、光重合開始剤や増感剤の能力を増大させ得るような化合物を添加してもよい。そのような化合物の例には、ベンゾフェノンと組みわせて使用すると効果のあるアミン系化合物が含まれる。上記アミン系化合物の例には、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2-ジメチルアミノエチル、4-ジメチルアミノ安息香酸2-エチルヘキシル、N,N-ジメチルパラトルイジン、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられる。 In addition, a compound that does not act as a photopolymerization initiator or sensitizer by itself but can be used in combination with the above-mentioned compounds to increase the ability of the photopolymerization initiator or sensitizer can be added. good. Examples of such compounds include amine-based compounds that are effective when used in combination with benzophenone. Examples of the above amine compounds include triethylamine, triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2- dimethylaminoethyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N,N-dimethylp-toluidine, 4,4'-bis(dimethylamino)benzophenone, 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone, 4,4'- bis(ethylmethylamino)benzophenone and the like.

(E)成分の配合量については、前記(B)成分と(C)成分との合計100質量部に対して2~40質量部が好ましく、より好ましくは3~30質量部である。 The amount of component (E) to be blended is preferably 2 to 40 parts by mass, more preferably 3 to 30 parts by mass, per 100 parts by mass of components (B) and (C) combined.

<(F)溶剤>
本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物における(F)溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、3-メトキシ-1-ブタノール、エチレングリコールモノブチルエーテル、3-ヒドロキシ-2-ブタノン、ジアセトンアルコール等のアルコール類;α-もしくはβ-テルピネオール等のテルペン類等;アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、N-メチル-2-ピロリドン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、3-メトキシブチルアセテート、3-メトキシ-3-ブチルアセテート、3-メトキシ-3-メチル-1-ブチルアセテート、セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエステル類等が挙げられ、これらを用いて溶解、混合させることにより、均一な溶液状の組成物とすることができる。
<(F) Solvent>
Examples of the (F) solvent in the photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention include methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, ethylene glycol, propylene glycol, 3-methoxy-1-butanol, ethylene glycol monobutyl ether, alcohols such as 3-hydroxy-2-butanone and diacetone alcohol; terpenes such as α- or β-terpineol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone and N-methyl-2-pyrrolidone; toluene, xylene, Aromatic hydrocarbons such as tetramethylbenzene; methyl cellosolve, ethyl cellosolve, methyl carbitol, ethyl carbitol, butyl carbitol, diethylene glycol ethyl methyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether , dipropylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, glycol ethers such as triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, ethyl lactate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-3-butyl acetate, 3-methoxy-3-methyl-1-butyl acetate, cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, etc. and the like, and by dissolving and mixing them, a uniform solution composition can be obtained.

<その他の成分>
また、本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物には、必要に応じて、熱重合禁止剤、酸化防止剤、可塑剤、充填材、レベリング剤、消泡剤、カップリング剤、界面活性剤、粘度調整剤等の添加剤を配合することができる。熱重合禁止剤および酸化防止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、tert-ブチルカテコール、フェノチアジン、ヒンダードフェノール系化合物等を挙げることができ、可塑剤としては、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、リン酸トリクレジル等を挙げることができ、充填材としては、ガラスファイバー、シリカ、マイカ、アルミナ等を挙げることができ、消泡剤やレベリング剤としては、シリコーン系、フッ素系、アクリル系の化合物を挙げることができる。また、界面活性剤としてはラウリル硫酸アンモニウム、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸トリエタノールアミン等の陰イオン界面活性剤、ステアリルアミンアセテート、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド等の陽イオン界面活性剤、ラウリルジメチルアミンオキサイド、ラウリルカルボキシメチルヒドロキシエチルイミダゾリウムベタイン等の両性界面活性剤、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ソルビタンモノステアレート等の非イオン界面活性剤、ポリジメチルシロキサン等を主骨格とするシリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤等を挙げることができる。カップリング剤としては3-(グリシジルオキシ)プロピルトリメトキシシラン、3-イソシアナトプロピルトリエトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のシランカップリング剤を挙げることができる。
<Other ingredients>
Further, the photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention may optionally contain a thermal polymerization inhibitor, an antioxidant, a plasticizer, a filler, a leveling agent, an antifoaming agent, a coupling agent, and a surfactant. , and viscosity modifiers. Thermal polymerization inhibitors and antioxidants include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol, tert-butyl catechol, phenothiazine, hindered phenol compounds, and the like. Plasticizers include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, phosphorus Examples of fillers include glass fiber, silica, mica, and alumina. Examples of antifoaming agents and leveling agents include silicone-, fluorine-, and acrylic-based compounds. be able to. Examples of surfactants include anionic surfactants such as ammonium lauryl sulfate and triethanolamine polyoxyethylene alkyl ether sulfate; cationic surfactants such as stearylamine acetate and lauryltrimethylammonium chloride; Amphoteric surfactants such as methylhydroxyethylimidazolium betaine, nonionic surfactants such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, and sorbitan monostearate, and silicone surfactants with polydimethylsiloxane as the main skeleton. agents, fluorine-based surfactants, and the like. Examples of coupling agents include silane coupling agents such as 3-(glycidyloxy)propyltrimethoxysilane, 3-isocyanatopropyltriethoxysilane, and 3-ureidopropyltriethoxysilane.

<固形分>
本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物は、上記(A)~(F)成分を主成分として含有する。溶剤を除いた固形分(固形分には硬化後に固形分となるモノマーを含む)中に、(A)~(E)成分が合計で70質量%が好ましく、より好ましくは80質量%以上、さらに好ましくは90質量%以上含むことがよい。(F)溶剤の量は、目標とする粘度によって変化するが、本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物中に60~90質量%の範囲で含まれるようにするのがよい。
<Solid content>
The photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention contains the above components (A) to (F) as main components. In the solid content excluding the solvent (the solid content includes monomers that become solid content after curing), the total amount of components (A) to (E) is preferably 70% by mass, more preferably 80% by mass or more, and further Preferably, it is contained in an amount of 90% by mass or more. The amount of the solvent (F) varies depending on the target viscosity, but it is preferable that the solvent is contained in the range of 60 to 90% by weight in the photosensitive resin composition for light-shielding films of the present invention.

<遮光膜の形成方法>
本発明における遮光膜用感光性樹脂組成物は、例えばカラーフィルター遮光膜形成用の感光性樹脂組成物として優れるものであり、遮光膜の形成方法としては、以下のようなフォトリソグラフィー法がある。先ず、感光性樹脂組成物を透明基板上に塗布し、次いで溶媒を乾燥させた(プリベーク)後、このようにして得られた被膜の上にフォトマスクをあて、紫外線を照射して露光部を硬化させ、更にアルカリ水溶液を用いて未露光部を溶出させる現像を行ってパターンを形成し、更に後乾燥としてポストベーク(熱焼成)を行う方法が挙げられる。
<Method for Forming Light-Shielding Film>
The photosensitive resin composition for a light-shielding film in the present invention is excellent as, for example, a photosensitive resin composition for forming a color filter light-shielding film, and the method for forming the light-shielding film includes the following photolithography methods. First, a photosensitive resin composition is applied onto a transparent substrate, then the solvent is dried (pre-baking), a photomask is placed on the film thus obtained, and ultraviolet rays are irradiated to expose the exposed area. A method of curing, further performing development using an alkaline aqueous solution to elute the unexposed portions to form a pattern, and further performing post-baking (thermal baking) as post-drying can be used.

感光性樹脂組成物を塗布する透明基板としては、ガラス基板のほか、透明フィルム(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルフォン等)上にITOや金などの透明電極が蒸着あるいはパターニングされたものなどが例示できる。透明基板上に感光性樹脂組成物の溶液を塗布する方法としては、公知の溶液浸漬法、スプレー法の他、ローラーコーター機、ランドコーター機、スリットコーター機やスピナー機を用いる方法等の何れの方法をも採用することができる。これらの方法によって、所望の厚さに塗布した後、溶剤を除去する(プリベーク)ことにより、被膜が形成される。プリベークはオーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。プリベークにおける加熱温度及び加熱時間は使用する溶剤に応じて適宜選択され、例えば60~110℃の温度で1~3分間行われる。 Examples of the transparent substrate to which the photosensitive resin composition is applied include glass substrates, transparent films (for example, polycarbonate, polyethylene terephthalate, polyethersulfone, etc.) on which transparent electrodes such as ITO and gold are vapor-deposited or patterned. can be exemplified. As a method for applying the solution of the photosensitive resin composition onto the transparent substrate, any method such as a method using a roller coater, a land coater, a slit coater or a spinner, in addition to a known solution dipping method, a spray method, etc. can be used. methods can also be employed. By these methods, a film is formed by applying a desired thickness and then removing the solvent (pre-baking). Pre-baking is performed by heating with an oven, hot plate, or the like. The heating temperature and heating time in prebaking are appropriately selected according to the solvent used, and the prebaking is performed at a temperature of 60 to 110° C. for 1 to 3 minutes, for example.

プリベーク後に行われる露光は、紫外線露光装置によって行なわれ、フォトマスクを介して露光することによりパターンに対応した部分のレジストのみを感光させる。露光装置及びその露光照射条件は適宜選択され、超高圧水銀灯、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、遠紫外線灯等の光源を用いて露光を行い、塗膜中の感光性樹脂組成物を光硬化させる。 The exposure performed after prebaking is performed by an ultraviolet exposure device, and by exposing through a photomask, only the portions of the resist corresponding to the pattern are exposed. The exposure apparatus and its exposure irradiation conditions are appropriately selected, and exposure is performed using a light source such as an ultrahigh-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, and a deep ultraviolet lamp to photocure the photosensitive resin composition in the coating film.

露光後のアルカリ現像は、露光されない部分のレジストを除去する目的で行われ、この現像によって所望のパターンが形成される。このアルカリ現像に適した現像液としては、例えばアルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩の水溶液、アルカリ金属の水酸化物の水溶液等を挙げることができるが、特に炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム等の炭酸塩を0.05~3質量%含有する弱アルカリ性水溶液を用いて23~28℃の温度で現像するのがよく、市販の現像機や超音波洗浄機等を用いて微細な画像を精密に形成することができる。 Alkaline development after exposure is performed for the purpose of removing the resist from the unexposed portions, and a desired pattern is formed by this development. Examples of the developer suitable for this alkaline development include aqueous solutions of carbonates of alkali metals and alkaline earth metals, and aqueous solutions of hydroxides of alkali metals, particularly sodium carbonate, potassium carbonate and lithium carbonate. It is preferable to develop at a temperature of 23 to 28° C. using a weakly alkaline aqueous solution containing 0.05 to 3% by mass of carbonate such as, and fine images are formed using a commercially available developing machine, an ultrasonic cleaner, or the like. It can be formed precisely.

現像後、好ましくは180~250℃の温度及び20~60分の条件で熱処理(ポストベーク)が行われる。このポストベークは、パターニングされた遮光膜と基板との密着性を高めるため等の目的で行われる。これはプリベークと同様に、オーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。本発明のパターニングされた遮光膜は、以上のフォトリソグラフィー法による各工程を経て形成される。 After development, heat treatment (post-baking) is preferably performed at a temperature of 180 to 250° C. for 20 to 60 minutes. This post-baking is performed for the purpose of improving the adhesion between the patterned light shielding film and the substrate. This is done by heating with an oven, hot plate or the like, similar to pre-baking. The patterned light-shielding film of the present invention is formed through each step of the photolithographic method described above.

本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物は、前記のように、露光、アルカリ現像等の操作によって微細なパターンを形成するのに適している。また、本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物は、コーティング材として好適に用いることができ、特に液晶の表示装置あるいは撮影素子に使われるカラーフィルター用インキとして好適であり、これにより形成された遮光膜はカラーフィルター、液晶プロジェクション用のブラックマトリックス、遮光膜、タッチパネル用遮光膜等として有用である。 As described above, the photosensitive resin composition for light-shielding films of the present invention is suitable for forming fine patterns by operations such as exposure and alkali development. In addition, the photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention can be suitably used as a coating material, and is particularly suitable as an ink for color filters used in liquid crystal display devices or imaging devices. The light-shielding film is useful as a color filter, a black matrix for liquid crystal projection, a light-shielding film, a light-shielding film for touch panels, and the like.

本発明で得られた高遮光、高抵抗の遮光膜は、OD3.9/μm以上のときに10V印加電圧で1×10Ω・cm以上の体積抵抗率を確保できるものである。更に、本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、3~8μmまでの細線を形成した場合にも現像密着性に優れるような遮光膜パターンを形成するのに適している。 The highly light-shielding and high-resistance light-shielding film obtained by the present invention can secure a volume resistivity of 1×10 8 Ω·cm or more at an applied voltage of 10 V at an OD of 3.9/μm or more. Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention is suitable for forming a light-shielding film pattern that exhibits excellent development adhesion even when fine lines of 3 to 8 μm are formed.

以下、実施例及び比較例に基づいて、本発明の実施形態を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described based on examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these.

先ず、本発明の(B)成分に相当する、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の合成例を示す。合成例における樹脂の評価は、以下のとおりに行った。 First, a synthesis example of a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin corresponding to the component (B) of the present invention will be described. Evaluation of resins in Synthesis Examples was performed as follows.

[固形分濃度]
合成例中で得られた樹脂溶液1gをガラスフィルター〔質量:W(g)〕に含浸させて秤量し〔W(g)〕、160℃にて2hr加熱した後の質量〔W(g)〕から次式より求めた。
固形分濃度(質量%)=100×(W-W)/(W-W)
[Solid content concentration]
A glass filter [mass: W 0 (g)] was impregnated with 1 g of the resin solution obtained in the synthesis example, weighed [W 1 (g)], and heated at 160 ° C. for 2 hours. g)] from the following formula.
Solid content concentration (mass%) = 100 × (W 2 - W 0 )/(W 1 - W 0 )

[酸価]
樹脂溶液をジオキサンに溶解させ、電位差滴定装置〔平沼製作所(株)製 商品名COM-1600〕を用いて1/10N-KOH水溶液で滴定して求めた。
[Acid value]
The resin solution was dissolved in dioxane and titrated with a 1/10 N-KOH aqueous solution using a potentiometric titrator [manufactured by Hiranuma Seisakusho Co., Ltd., trade name COM-1600].

[分子量]
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィー(GPC)[東ソー(株)製商品名HLC-8220GPC、溶媒:テトラヒドロフラン、カラム:TSKgelSuperH-2000(2本)+TSKgelSuperH-3000(1本)+TSKgelSuperH-4000(1本)+TSKgelSuper-H5000(1本)〔東ソー(株)製〕、温度:40℃、速度:0.6ml/min]にて測定し、標準ポリスチレン〔東ソー(株)製PS-オリゴマーキット〕換算値として重量平均分子量(Mw)を求めた。
[Molecular weight]
Gel permeation chromatography (GPC) [manufactured by Tosoh Corporation, trade name HLC-8220GPC, solvent: tetrahydrofuran, column: TSKgelSuperH-2000 (2) + TSKgelSuperH-3000 (1) + TSKgelSuperH-4000 (1) + TSKgelSuper- Measured with H5000 (1 piece) [manufactured by Tosoh Corporation], temperature: 40 ° C., speed: 0.6 ml / min], and converted to standard polystyrene [PS-oligomer kit manufactured by Tosoh Corporation] weight average molecular weight ( Mw).

[エポキシ当量]
測定対象となるエポキシ化合物をジオキサンに溶解させた後に臭化テトラエチルアンモニウムの酢酸溶液を加え、電位差滴定装置「COM-1600」(平沼産業株式会社製)を用いて1/10N-過塩素酸溶液で滴定して求めた。
[Epoxy equivalent]
After dissolving the epoxy compound to be measured in dioxane, an acetic acid solution of tetraethylammonium bromide is added, and a potentiometric titrator "COM-1600" (manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.) is used with a 1/10N-perchloric acid solution. It was determined by titration.

また、合成例で使用する略号は次のとおりである。
AA:アクリル酸
BPFE:9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレンとクロロメチルオキシランとの反応物。一般式(I)の化合物において、Aがフルオレン-9,9-ジイル基、R~Rが水素原子の化合物。
BPDA:3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
THPA:1,2,3,6-テトラヒドロフタル酸無水物
TPP:トリフェニルホスフィン
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
TEAB:臭化テトラエチルアンモニウム
Abbreviations used in Synthesis Examples are as follows.
AA: acrylic acid
BPFE: A reaction product of 9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene and chloromethyloxirane. A compound of general formula (I) wherein A is a fluorene-9,9-diyl group and R 1 to R 4 are hydrogen atoms.
BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride
THPA: 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride
TPP: Triphenylphosphine
PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate
TEAB: Tetraethylammonium bromide

[合成例1]
還留冷却器付き500ml四つ口フラスコ中にBPFE 114.4g(0.23モル)、AA 33.2g(0.46モル)、PGMEA 157g及びTEAB 0.48gを仕込み、100~105℃で加熱下に20hr撹拌して反応させた。次いで、フラスコ内にBPDA 35.3g(0.12モル)、THPA 18.3g(0.12モル)を仕込み、120~125℃で加熱下に6hr撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.5質量%、酸価(固形分換算)は103mgKOH/g、GPC分析によるMwは3600であった。
[Synthesis Example 1]
114.4 g (0.23 mol) of BPFE, 33.2 g (0.46 mol) of AA, 157 g of PGMEA and 0.48 g of TEAB were placed in a 500 ml four-necked flask equipped with a reflux condenser and heated at 100-105°C. The mixture was stirred for 20 hours to react. Then, 35.3 g (0.12 mol) of BPDA and 18.3 g (0.12 mol) of THPA were charged into the flask and stirred under heating at 120 to 125 ° C. for 6 hours to obtain a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin. A solution was obtained. The resulting resin solution had a solid content concentration of 56.5% by mass, an acid value (in terms of solid content) of 103 mgKOH/g, and an Mw of 3,600 by GPC analysis.

[遮光膜用感光性樹脂組成物の調製]
表1から表4に示す組成によって配合を行い、実施例1~34、比較例1~9、および基準比較例1~5の感光性樹脂組成物を調製した。配合に使用した各成分は、以下のとおりで、表中の数値はすべて質量部である。
[Preparation of photosensitive resin composition for light shielding film]
Compositions shown in Tables 1 to 4 were blended to prepare photosensitive resin compositions of Examples 1 to 34, Comparative Examples 1 to 9, and Reference Comparative Examples 1 to 5. Each component used for blending is as follows, and all numerical values in the table are parts by mass.

(A)エポキシ化合物:
(A)-1:ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物〔日鉄ケミカル&マテリアル(株)製 ESF-300C、エポキシ当量240、グリシジル基数に対する芳香環数:2.09〕
(A)-2:1,6-ナフタレンジオールアラルキル型エポキシ化合物〔前記式(2)で表される化合物、エポキシ当量167、グリシジル基数に対する芳香環数:1.30〕
(A)-3:1-ナフトールアラルキル型エポキシ化合物〔前記式(3)で表される化合物、エポキシ当量317、グリシジル基数に対する芳香環数:3.13〕
(A)-4:フェノールノボラック型エポキシ化合物〔日鉄ケミカル&マテリアル(株)製 YDPN-6300、エポキシ当量175、グリシジル基数に対する芳香環数:1〕
(A)-5:脂環型エポキシ化合物〔日鉄ケミカル&マテリアル(株)製 ZX-1658GS、エポキシ当量132、グリシジル基数に対する芳香環数:0〕
(A) epoxy compound:
(A)-1: Bisphenol fluorene type epoxy compound [ESF-300C manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials Co., Ltd., epoxy equivalent 240, number of aromatic rings with respect to number of glycidyl groups: 2.09]
(A)-2: 1,6-naphthalenediol aralkyl type epoxy compound [compound represented by the above formula (2), epoxy equivalent 167, number of aromatic rings to number of glycidyl groups: 1.30]
(A)-3: 1-naphthol aralkyl type epoxy compound [compound represented by the above formula (3), epoxy equivalent 317, number of aromatic rings to number of glycidyl groups: 3.13]
(A)-4: Phenol novolak-type epoxy compound [YDPN-6300 manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials Co., Ltd., epoxy equivalent 175, number of aromatic rings per number of glycidyl groups: 1]
(A)-5: Alicyclic epoxy compound [ZX-1658GS manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials Co., Ltd., epoxy equivalent 132, number of aromatic rings to number of glycidyl groups: 0]

(B)重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂:
前記合成例1で得られた重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液
(B) Polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin:
Polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 1

(C)光重合性モノマー:
ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとヘキサアクリレートとの混合物〔日本化薬(株)製 DPHA、アクリル当量96~115〕
(C) Photopolymerizable monomer:
A mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and hexaacrylate [DPHA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., acrylic equivalent 96 to 115]

(D)遮光成分を含む顔料分散体:
(D)-1:カーボンブラック25.0質量%、分散樹脂5.0質量%、高分子分散剤3.5質量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶剤の顔料分散体
(D)-2:カーボンブラック25.0質量%、高分子分散剤6.3質量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶剤の顔料分散体
(D)-3:有機黒色顔料16.0質量%、高分子分散剤4.8質量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶剤の顔料分散体
(D)-4:チタンブラック15.0質量%、高分子分散剤4.0質量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶剤の顔料分散体
(D)-5:染料被覆カーボンブラック25.0質量%、分散樹脂(アルカリ可溶性樹脂(前記(B)成分を使用))8.1質量%、高分子分散剤2.0%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶剤の顔料分散体
(D) Pigment dispersion containing a light-shielding component:
(D)-1: Pigment dispersion in propylene glycol monomethyl ether acetate solvent containing 25.0% by mass of carbon black, 5.0% by mass of dispersion resin, and 3.5% by mass of polymeric dispersant (D)-2: Carbon black Pigment dispersion in propylene glycol monomethyl ether acetate solvent containing 25.0% by mass and 6.3% by mass of polymer dispersant (D)-3: 16.0% by mass of organic black pigment and 4.8% by mass of polymer dispersant Pigment Dispersion in Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate Solvent (D)-4: Pigment Dispersion in Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate Solvent Containing 15.0% by Mass of Titanium Black and 4.0% by Mass of Polymer Dispersant (D)-5 : 25.0% by mass of dye-coated carbon black, 8.1% by mass of dispersing resin (alkali-soluble resin (using component (B) above)), 2.0% of polymer dispersing agent, propylene glycol monomethyl ether acetate solvent pigment dispersion

(E)光重合開始剤:
オキシムエステル系光重合開始剤〔(株)ADEKA製 NCI-831〕
(E) Photoinitiator:
Oxime ester photopolymerization initiator [NCI-831 manufactured by ADEKA Corporation]

(F)溶剤:
(F)-1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(F)-2:ジエチレングリコールジメチルエーテル
(F)-3:ジエチレングリコールエチルメチルエーテル
(F)-4:ジエチレングリコールジブチルエーテル
(F) Solvent:
(F)-1: Propylene glycol monomethyl ether acetate (F)-2: Diethylene glycol dimethyl ether (F)-3: Diethylene glycol ethyl methyl ether (F)-4: Diethylene glycol dibutyl ether

(G)シランカップリング剤:信越化学(株)製 KBM-803 (G) Silane coupling agent: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. KBM-803

(H)界面活性剤:ビックケミー・ジャパン(株)製 BYK-330 (H) Surfactant: BYK-330 manufactured by BYK-Chemie Japan Co., Ltd.

Figure 2022158969000007
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Figure 2022158969000008
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Figure 2022158969000009
Figure 2022158969000009

Figure 2022158969000010
Figure 2022158969000010

[評価]
実施例1~34、比較例1~9、および基準比較例1~5の感光性樹脂組成物を用いて、以下に記す評価を行った。これらの評価結果を表5~8に示す。
[evaluation]
Using the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 34, Comparative Examples 1 to 9, and Reference Comparative Examples 1 to 5, the following evaluations were performed. These evaluation results are shown in Tables 5-8.

<OD/μmの評価>
上記で得られた各感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が1.0μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、ネガ型フォトマスクを被せず、i線照度30mW/cmの超高圧水銀ランプで40mJ/cmの紫外線を照射し、光硬化反応を行った。
<Evaluation of OD/μm>
Each photosensitive resin composition obtained above was coated on a 125 mm × 125 mm glass substrate (Corning 1737) using a spin coater so that the film thickness after post-baking was 1.0 µm, and Pre-baked for 1 minute. Thereafter, without covering with a negative type photomask, the film was irradiated with ultraviolet rays of 40 mJ/cm 2 from an ultra-high pressure mercury lamp with an i-line illuminance of 30 mW/cm 2 to carry out a photocuring reaction.

次に、この露光済み塗板を23℃、0.04%水酸化カリウム水溶液を用い1kgf/cmのシャワー圧にて80秒の現像後、5kgf/cm圧のスプレー水洗を行い、その後、熱風乾燥機を用いて230℃、30分間熱ポストベークした。この塗板のOD値を透過濃度計を用いて評価した。また、塗板に形成した遮光膜の膜厚を測定し、OD値を膜厚で割った値をOD/μmとした。 Next, the exposed coated plate was developed at 23° C. with a 0.04% potassium hydroxide aqueous solution at a shower pressure of 1 kgf/cm 2 for 80 seconds, then washed with a spray of 5 kgf/cm 2 pressure, followed by hot air. Heat post-baking was performed at 230° C. for 30 minutes using a dryer. The OD value of this coated plate was evaluated using a transmission densitometer. Also, the film thickness of the light shielding film formed on the coated plate was measured, and the value obtained by dividing the OD value by the film thickness was defined as OD/μm.

<熱硬化後残膜率の評価>
前記で得られた各感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が3.0μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした後に、塗板に形成した遮光膜の膜厚を測定した。その後、熱風乾燥機を用いて230℃、180分間熱ポストベークした後、再度塗板に形成した遮光膜の膜厚を測定し、ポストベーク前後の膜厚から以下計算式に基づいて算出した。
残膜率(%)=100×ポストベーク後膜厚(μm)/ポストベーク前膜厚(μm)
<Evaluation of residual film rate after thermosetting>
Each of the photosensitive resin compositions obtained above was coated on a 125 mm × 125 mm glass substrate (Corning 1737) using a spin coater so that the film thickness after post-baking was 3.0 µm, and the coating was carried out at 90°C. After pre-baking for 1 minute, the film thickness of the light-shielding film formed on the coated plate was measured. Then, after thermal post-baking at 230° C. for 180 minutes using a hot air dryer, the film thickness of the light-shielding film formed on the coated plate was measured again, and the film thickness before and after post-baking was calculated based on the following formula.
Remaining film thickness (%) = 100 × film thickness after post-baking (μm)/film thickness before post-baking (μm)

<体積抵抗率上昇度の評価>
前記で得られた各感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて100mm×100mmのクロム蒸着ガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が3.0μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、熱風乾燥機を用いて230℃、180分間熱ポストベークした後、エレクトロメーター(ケースレー社製、「6517A型」)を用い、1Vステップで各印加電圧において60秒ずつ電圧保持する条件で、印加電圧1Vから10Vにおける体積抵抗率を測定した。10V印加時の体積抵抗率に対して、(A)成分を用いない基準比較例1を基準とした時の実施例1~11および比較例1~3の上昇度と、(A)成分を用いない基準比較例2を基準とした時の実施例12~24の上昇度と、(A)成分を用いない基準比較例3を基準とした時の比較例4~6の上昇度と、(A)成分を用いない基準比較例4を基準とした時の比較例7~9の上昇度と、(A)成分を用いない基準比較例5を基準とした時の実施例25~33の上昇度とを、それぞれ以下計算式に基づいて算出した。なお、基準としたものは、あとの表中において「Ref.」と表記している。
上昇度=実施例または比較例の各体積抵抗率(Ω・cm)/基準比較例の各体積抵抗率(Ω・cm)
算出された体積抵抗上昇度に対して、下記の判定基準に基づいて体積抵抗上昇度を判定した。
〇:100≦体積抵抗率上昇度
△:10≦体積抵抗上昇度<100
×:体積抵抗上昇度<10
<Evaluation of increase in volume resistivity>
Each of the photosensitive resin compositions obtained above was coated on a 100 mm × 100 mm chrome-deposited glass substrate (Corning 1737) using a spin coater so that the film thickness after post-baking was 3.0 µm. °C for 1 minute. Then, after heat post-baking at 230 ° C. for 180 minutes using a hot air dryer, using an electrometer (manufactured by Keithley Co., Ltd., "6517A model"), under the condition that the voltage is held for 60 seconds at each applied voltage in 1 V steps, The volume resistivity was measured at an applied voltage of 1V to 10V. With respect to the volume resistivity when 10 V is applied, the degree of increase in Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 3 when the reference Comparative Example 1 that does not use the (A) component is used as the reference, and the (A) component is used. The degree of increase in Examples 12 to 24 when based on the reference comparative example 2 without the component (A), the degree of increase in the comparative examples 4 to 6 when based on the reference comparative example 3 without the component (A), (A ) The degree of increase in Comparative Examples 7 to 9 when the reference comparative example 4 that does not use the component (A) is used as the reference, and the degree of increase in Examples 25 to 33 when the reference comparative example 5 that does not use the (A) component is used as the reference were calculated based on the following formulas. In addition, what was used as a reference is written as "Ref." in the following tables.
Degree of increase = each volume resistivity (Ω cm) of the example or comparative example/each volume resistivity (Ω cm) of the reference comparative example
Based on the calculated increase in volume resistance, the increase in volume resistance was determined based on the following criteria.
○: 100 ≤ volume resistivity increase △: 10 ≤ volume resistance increase < 100
×: Increase in volume resistance <10

<現像特性(最小解像線幅)の評価>
上記で得られた各感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が1.2μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、乾燥塗膜の上に1~20μm開口幅のラインパターンが存在するネガ型フォトマスクを密着させ、i線照度30mW/cmの超高圧水銀ランプで40mJ/cmの紫外線を照射し、感光部分の光硬化反応を行った。
<Evaluation of development characteristics (minimum resolution line width)>
Each of the photosensitive resin compositions obtained above was coated on a 125 mm × 125 mm glass substrate (Corning 1737) using a spin coater so that the film thickness after post-baking was 1.2 µm, and the coating was carried out at 90°C. Pre-baked for 1 minute. After that, a negative photomask having a line pattern with an opening width of 1 to 20 μm is adhered to the dry coating film, and an ultra-high pressure mercury lamp with an i-line illuminance of 30 mW/cm 2 is used to irradiate ultraviolet rays of 40 mJ/cm 2 , A photo-curing reaction of the photosensitive area was performed.

次に、この露光済み塗板を23℃、0.04%水酸化カリウム水溶液中、1kgf/cmのシャワー現像圧にて、パターンが現れ始める現像時間(ブレイクタイム=BT)から、+60秒の現像後、5kgf/cm圧のスプレー水洗を行い、塗膜の未露光部を除去してガラス基板上にラインパターンを形成し、その後、熱風乾燥機を用いて230℃、30分間熱ポストベークした後に得られたラインパターンにおいてパターン剥離が発生していない最小開口ラインを最小解像線幅とした。
◎:2μm以上5μm未満
〇:5μm以上9μm未満
△:9μm以上11μm未満
×:11μ以上
Next, the exposed coated plate was developed in a 0.04% potassium hydroxide aqueous solution at 23° C. under a shower development pressure of 1 kgf/cm 2 for +60 seconds from the development time (break time=BT) at which the pattern begins to appear. After that, it was washed with water by spraying at 5 kgf/cm 2 pressure to remove the unexposed part of the coating film to form a line pattern on the glass substrate, and then thermally post-baked at 230° C. for 30 minutes using a hot air dryer. In the line pattern obtained later, the minimum opening line in which pattern separation did not occur was defined as the minimum resolution line width.
◎: 2 μm or more and less than 5 μm ○: 5 μm or more and less than 9 μm △: 9 μm or more and less than 11 μm ×: 11 μm or more

<体積抵抗率低下率の評価(耐熱性)>
前記の実施例15~17及び34並びに基準比較例2で得られた各感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて100mm×100mmのクロム蒸着ガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が3.0μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、熱風乾燥機を用いて230℃、180分間熱ポストベークした後、エレクトロメーター(ケースレー社製、「6517A型」)を用い、1Vステップで各印加電圧において60秒ずつ電圧保持する条件で、印加電圧1Vから10Vにおける体積抵抗率を測定した。また、これらとは別に、熱ポストベークの温度を270℃に変更して、同じように実施例15~17及び34並びに基準比較例2の各感光性樹脂組成物に対して、同じ手順を実施して、体積抵抗率を測定した。
10V印加時の体積抵抗率について、熱ポストベークの温度が230℃から270℃への体積抵抗率の低下率(絶対値)を、下記の計算式に基づいて算出した。また、基準比較例2の場合の低下率を1と見做した際に、基準比較例2に対する実施例15~17及び34の各相対値〔低下率の相対値(x)〕を下記の計算式に基づいて算出した。なお、基準比較例2については、あとの表中において「Ref.」と表記している。
低下率(絶対値)=100×(logA-logB)/logB
(ここで、Aは熱ポストベークが270℃の場合の体積抵抗率の測定値(Ω・cm)であり、Bは熱ポストベークが230℃の場合の体積抵抗率の測定値(Ω・cm)である)
低下率の相対値(x)=実施例15、16、17または34の各低下率/基準比較例2の低下率
算出された低下率の相対値について、これを耐熱性として、下記の判定基準に基づいて判定した。
◎:0≦x<0.5
〇:0.5≦x<0.8
△:0.8≦x<1.0
×:1.0≦x
<Evaluation of Volume Resistivity Reduction Rate (Heat Resistance)>
Each of the photosensitive resin compositions obtained in Examples 15 to 17 and 34 and Reference Comparative Example 2 was post-baked onto a 100 mm × 100 mm chromium-deposited glass substrate (Corning 1737) using a spin coater. It was applied to a thickness of 3.0 μm and prebaked at 90° C. for 1 minute. Then, after heat post-baking at 230 ° C. for 180 minutes using a hot air dryer, using an electrometer (manufactured by Keithley Co., Ltd., "6517A model"), under the condition that the voltage is held for 60 seconds at each applied voltage in 1 V steps, The volume resistivity was measured at an applied voltage of 1V to 10V. Separately from these, the temperature of the thermal post-baking was changed to 270° C., and the same procedure was carried out for each of the photosensitive resin compositions of Examples 15 to 17 and 34 and Reference Comparative Example 2. Then, the volume resistivity was measured.
Regarding the volume resistivity when 10 V was applied, the decrease rate (absolute value) of the volume resistivity when the thermal post-baking temperature was changed from 230° C. to 270° C. was calculated based on the following formula. Further, when the reduction rate in the case of Reference Comparative Example 2 is regarded as 1, each relative value [relative value of reduction rate (x)] of Examples 15 to 17 and 34 with respect to Reference Comparative Example 2 is calculated as follows. Calculated based on the formula. Reference Comparative Example 2 is indicated as "Ref." in the subsequent tables.
Decrease rate (absolute value) = 100 x (logA-logB)/logB
(where A is the measured volume resistivity (Ω cm) when the thermal post-bake is 270° C., and B is the measured volume resistivity (Ω cm) when the thermal post-bake is 230° C. ) is)
Relative value of decrease rate (x)=each decrease rate of Example 15, 16, 17 or 34/decrease rate of reference comparative example 2 Regarding the calculated relative value of the decrease rate, this is taken as heat resistance, and the following criteria are used. determined based on
◎: 0 ≤ x < 0.5
○: 0.5 ≤ x < 0.8
△: 0.8≦x<1.0
x: 1.0≤x

Figure 2022158969000011
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Figure 2022158969000012
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Figure 2022158969000013
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Figure 2022158969000014
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実施例1~34、比較例1~9および基準比較例1~5の結果から、カーボンブラックを遮光材とする遮光成分を含有する感光性樹脂組成物に(A)成分であるエポキシ化合物を添加することにより、体積抵抗率が向上する事が明らかである。その中でも特に実施例15~17、実施例21~24、実施例28~30は体積抵抗率の上昇度が非常に高く、尚且つ、最小解像線幅が細いことから現像密着性にも優れており、高遮光・高抵抗化と高精細化を両立した遮光膜用感光性樹脂組成物である。また、(A)成分のうち、(A)-1~(A)-3のエポキシ化合物を用いた実施例15~17の場合は前記の耐熱性に優れることが分かったが、特に、(A)-1及び(A)-2の場合がより耐熱性に優れることが分かった。
From the results of Examples 1 to 34, Comparative Examples 1 to 9, and Reference Comparative Examples 1 to 5, an epoxy compound as component (A) was added to a photosensitive resin composition containing a light shielding component using carbon black as a light shielding material. It is clear that the volume resistivity is improved by doing so. Among them, particularly Examples 15 to 17, Examples 21 to 24, and Examples 28 to 30 had a very high increase in volume resistivity, and the minimum resolution line width was thin, so the development adhesion was also excellent. It is a photosensitive resin composition for a light-shielding film that achieves both high light-shielding/high resistance and high definition. In addition, it was found that Examples 15 to 17 using the epoxy compounds (A)-1 to (A)-3 of the component (A) were excellent in the heat resistance. )-1 and (A)-2 were found to be more excellent in heat resistance.

Claims (5)

下記(A)~(F)成分、
(A)エポキシ化合物、
(B)重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、
(C)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、
(D)カーボンブラックを遮光材として含む遮光成分、
(E)光重合開始剤、及び
(F)溶剤
を必須成分として含む遮光膜用感光性樹脂組成物において、
前記(A)成分は、主鎖に芳香環を有し、また、(A)成分に占めるグリシジル基数に対する芳香環数が0.5~10であり、さらにエポキシ当量が100~400g/eqであることを特徴とする遮光膜用感光性樹脂組成物。
Components (A) to (F) below,
(A) an epoxy compound,
(B) a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin,
(C) a photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond;
(D) a light-shielding component containing carbon black as a light-shielding material;
(E) a photopolymerization initiator, and (F) a photosensitive resin composition for a light-shielding film containing a solvent as essential components,
The component (A) has an aromatic ring in its main chain, the number of aromatic rings relative to the number of glycidyl groups in the component (A) is 0.5 to 10, and the epoxy equivalent is 100 to 400 g/eq. A photosensitive resin composition for a light shielding film characterized by:
(B)成分と(C)成分との質量割合(B)/(C)が50/50~90/10であり、(D)成分100質量部に対して(A)成分を0.5~15質量部含有し、且つ、(D)成分が遮光膜用感光性樹脂組成物の固形分中に40~70質量%含まれることを特徴とする請求項1に記載の遮光膜用感光性樹脂組成物。 The mass ratio (B)/(C) of the component (B) and the component (C) is 50/50 to 90/10, and the component (A) is 0.5 to 0.5 parts per 100 parts by mass of the component (D). The photosensitive resin for a light-shielding film according to claim 1, containing 15 parts by mass, and containing 40 to 70% by mass of the component (D) in the solid content of the photosensitive resin composition for a light-shielding film. Composition. 請求項1又は2に記載の遮光膜用感光性樹脂組成物を硬化させて形成したことを特徴とする遮光膜。 A light-shielding film formed by curing the photosensitive resin composition for a light-shielding film according to claim 1 or 2. 請求項3に記載の遮光膜を備えたことを特徴とするカラーフィルター。 A color filter comprising the light shielding film according to claim 3 . 請求項4に記載のカラーフィルターを有する表示装置。 A display device comprising the color filter according to claim 4 .
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