JP2022158523A - 光電変換装置、光電変換システム、移動体 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第一の実施形態について図1から図5を用いて説明する。
本発明の第二の実施形態について図6を用いて説明する。以下の説明では第一の実施形態に係る説明と重複する部分は省略し、主として第一の実施形態との相違点について説明する。
本実施形態による光電変換システムについて、図7を用いて説明する。図7は、本実施形態による光電変換システムの概略構成を示すブロック図である。
本実施形態の光電変換システム及び移動体について、図8を用いて説明する。図8は、本実施形態の光電変換システム及び移動体の構成を示す図である。
本発明は、上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
210 N型電荷蓄積領域
211 P型空乏層止め領域
212 画素分離領域
Claims (13)
- トランジスタの配置された第一の面と、前記第一の面に対向する第二の面と、を有する半導体基板に配された複数の画素と、前記画素の一部への光の入射を妨げる遮光部とを有する光電変換装置であって、
前記複数の画素は、前記遮光部によって遮光された第一の画素と、第二の画素とを含み、
前記複数の画素のそれぞれは、第一の導電型の第一の半導体領域を含み、
前記第一の画素は第二の半導体領域を有し、
前記第二の画素は前記第二の面と、前記第一の半導体領域との間に第三の半導体領域を有し、前記第一の半導体領域と前記第一の面との間に前記第二の導電型の第四の半導体領域を有し、
前記第一及び第二の画素の前記第二の面と、前記第一の半導体領域と、の間に、前記第二の面に平行な第一の線が前記第二の半導体領域及び第三の半導体領域のそれぞれを二分する位置で定められ、
前記第一の線に沿った断面において、前記第二の半導体領域の前記第一の導電型の不純物濃度は、前記第三の半導体領域の前記第一の導電型の不純物濃度よりも高いことを特徴とする光電変換装置。 - 前記複数の画素同士を分離する前記第一の導電型の画素分離領域を有し、
前記第一の画素の前記第二の半導体領域は、前記画素分離領域の形成工程において形成されることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。 - 前記第一の線に沿った断面において、前記第二の半導体領域が前記複数の画素同士を分離することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光電変換装置。
- 前記複数の画素のそれぞれは、第五の半導体領域を含み、
前記第一の半導体領域は第一の端部と、前記第一の端部に対向し、前記第五の半導体領域によって離隔される第二の端部とを備えることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の光電変換装置。 - トランジスタの配置された第一の面と、前記第一の面に対向する第二の面と、を有する半導体基板に配された複数の画素と、前記画素の一部への光の入射を妨げる遮光部とを有する光電変換装置であって、
前記複数の画素は、前記遮光部によって遮光された第一の画素と、第二の画素とを含み、
前記複数の画素のそれぞれは、第一の導電型の第一の半導体領域と、第五の半導体領域と、を含み、
前記第一の画素は第二の半導体領域を有し、
前記第二の画素は第三の半導体領域と、第四の半導体領域と、を有し、
前記第一の半導体領域は第一の端部と、前記第一の端部に対向し、前記第五の半導体領域によって離隔される第二の端部とを備え、
前記第一の画素の前記第一の半導体領域が前記第五の半導体領域によって離隔される第一の距離は、前記第二の画素の前記第一の半導体領域が前記第五の半導体領域によって離隔される第二の距離よりも大きく、
前記第一及び第二の画素の前記第二の面と、前記第一の半導体領域と、の間に、前記第二の面に平行な第一の線が前記第二の半導体領域及び第三の半導体領域のそれぞれを二分する位置で定められ、
前記第一の面と、前記第一の半導体領域との間に前記第二の面に平行な第二の線が前記第二の半導体領域及び第四の半導体領域のそれぞれを二分する位置で定められ、
前記第一の線と前記第二の線との間に、前記第二の面に平行な第三の線が前記第一の半導体領域及び第二の半導体領域のそれぞれを二分する位置で定められ、
前記第一の線に沿った断面において、前記第二の半導体領域及び第三の半導体領域は第二の導電型であり、
前記第二の線に沿った断面において、前記第二の半導体領域及び第四の半導体領域は第二の導電型であり、
前記第三の線に沿った断面において、前記第二の半導体領域は前記第二の導電型であることを特徴とする光電変換装置。 - 前記第四の半導体領域の前記第二の導電型の不純物濃度は、前記第二の半導体領域の前記第二の導電型の不純物濃度よりも高いことを特徴とする請求項5に記載の光電変換装置。
- 前記第四の半導体領域の前記第二の導電型の不純物濃度は、前記第三の半導体領域の前記第二の導電型の不純物濃度よりも高いことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の光電変換装置。
- 前記第一の画素に隣り合う前記第二の画素が、前記遮光部によって遮光されることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の光電変換装置。
- 前記複数の画素のそれぞれは、裏面照射型の画素であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光電変換装置。
- 請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の光電変換装置と、
前記光電変換装置が出力する信号を用いて画像を生成する信号処理部と、を有することを特徴とする光電変換システム。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の光電変換装置を備える移動体であって、
前記光電変換装置が出力する信号を用いて前記移動体の移動を制御する制御部を有することを特徴とする移動体。 - トランジスタの配置された第一の面と、前記第一の面に対向する第二の面と、複数の画素とを有し、他の半導体基板に積層される半導体基板であって、
前記複数の画素は、前記画素の一部への光の入射を妨げる遮光部によって遮光された第一の画素と、第二の画素とを含み、
前記複数の画素のそれぞれは、第一の導電型の第一の半導体領域を含み、
前記第一の画素は第二の半導体領域を有し、
前記第二の画素は前記第二の面と、前記第一の半導体領域との間に第三の半導体領域を有し、前記第一の半導体領域と前記第一の面との間に前記第二の導電型の第四の半導体領域を有し、
前記第一及び第二の画素の前記第二の面と、前記第一の半導体領域と、の間に、前記第二の面に平行な第一の線が前記第二の半導体領域及び第三の半導体領域のそれぞれを二分する位置で定められ、
前記第一の線に沿った断面において、前記第二の半導体領域の前記第一の導電型の不純物濃度は、前記第三の半導体領域の前記第一の導電型の不純物濃度よりも高いことを特徴とする半導体基板。 - トランジスタの配置された第一の面と、前記第一の面に対向する第二の面と、複数の画素と、を有し、他の半導体基板に積層される半導体基板であって、
前記複数の画素は、前記画素の一部への光の入射を妨げる遮光部によって遮光された第一の画素と、第二の画素とを含み、
前記複数の画素のそれぞれは、第一の導電型の第一の半導体領域と、第五の半導体領域と、を含み、
前記第一の画素は第二の半導体領域を有し、
前記第二の画素は第三の半導体領域と、第四の半導体領域と、を有し、
前記第一の半導体領域は第一の端部と、前記第一の端部に対向し、前記第五の半導体領域によって離隔される第二の端部とを備え、
前記第一の画素の前記第一の半導体領域が前記第五の半導体領域によって離隔される第一の距離は、前記第二の画素の前記第一の半導体領域が前記第五の半導体領域によって離隔される第二の距離よりも大きく、
前記第一及び第二の画素の前記第二の面と、前記第一の半導体領域と、の間に、前記第二の面に平行な第一の線が前記第二の半導体領域及び第三の半導体領域のそれぞれを二分する位置で定められ、
前記第一の面と、前記第一の半導体領域との間に前記第二の面に平行な第二の線が前記第二の半導体領域及び第四の半導体領域のそれぞれを二分する位置で定められ、
前記第一の線と前記第二の線との間に、前記第二の面に平行な第三の線が前記第一の半導体領域及び第二の半導体領域のそれぞれを二分する位置で定められ、
前記第一の線に沿った断面において、前記第二の半導体領域及び第三の半導体領域は第二の導電型であり、
前記第二の線に沿った断面において、前記第二の半導体領域及び第四の半導体領域は第二の導電型であり、
前記第三の線に沿った断面において、前記第二の半導体領域は前記第二の導電型であることを特徴とする半導体基板。
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