JP2022152665A - 研磨パッド - Google Patents

Abstract

【課題】透明な終点検出用窓にスラリーや研磨屑が滞留するのを防止し、終点検出用窓による研磨加工の終点検出の精度低下を防止する。【解決手段】研磨パッド３は、検査光Ｌ１が透過可能な終点検出用窓３Ｂを有する研磨層３Ｃを備えており、その研磨面３Ａには複数の同心円状の環状溝３Ａａが形成されている。終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａは、研磨面３Ａよりも低くなっており、そこは凹部３Ｃａとなっている。終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａ及び凹部３Ｃａから研磨面３Ａの外周縁まで半径方向の排出溝３Ｅが形成されている。研磨加工中にスラリーや加工屑が終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａや凹部３Ｃａに流入しても、排出溝３Ｅを介して研磨面３Ａの外方へ排出される。そのため、終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａにスラリーや研磨屑が滞留することを防止することができる。【選択図】図２

Description

本発明は研磨パッドに関し、より詳しくは、研磨加工の終点を検出するための透明な終点検出用窓を備えるとともに、該終点検出用窓の検出精度の低下を防止する排出溝が研磨面に形成された研磨パッドに関する。

従来、研磨加工の終点を検出するための透明な終点検出用窓を備えるとともに、スラリーや研磨屑をするための排出溝を研磨面等に設けた研磨パッドは公知である（例えば特許文献１～特許文献２）。
特許文献１の研磨パッドにおいては、終点検出用窓の一面（上面）は、研磨面に形成された排出溝の底部よりも低い位置に位置している。他方、特許文献２の研磨パッドにおいては、終点検出用窓の上面に凹面が形成されるとともに、該凹面に排出溝が形成されている。

特表２０１３－５１７１４６号公報 特開２０１６－１８２６６７号公報

ところで、特許文献１の研磨パッドにおいては、終点検出用窓の一面（上面）が研磨面よりも低い位置にあるため、研磨加工中にスラリーや研磨屑が終点検出用窓に滞留して該終点検出用窓による終点検出精度が低下する恐れがあった。
他方、特許文献２の研磨パッドは、終点検出用窓の上面に凹面が形成され、かつ該凹面に排出溝が形成されているので、排出溝とそれ以外の部分とで検査光の透過量が異なるために、終点検出用窓による終点検出精度が低下するという問題があった。
また、排出溝以外の部分に検査光を通す場合、終点検出用窓を大きくする必要があり、終点検出用窓が研磨性能に影響を与える可能性がある。

上述した事情に鑑み、本発明は、被研磨物を研磨する研磨面を有する研磨層と、この研磨層に設けられて研磨加工中の終点を検出するための透明な終点検出用窓とを備えた研磨パッドにおいて、
上記終点検出用窓における研磨面側となる一面は、上記研磨面よりも高さが低くなるように形成されて、上記研磨面との間に凹部が形成されており、
さらに上記研磨面に、上記凹部から研磨面の外周縁に連通する少なくとも一つの排出溝が形成されており、
研磨加工中のスラリー及び研磨屑は上記凹部から排出溝を介して研磨面の外方へ排出されることを特徴とするものである。

このような構成によれば、終点検出用窓にスラリーや研磨屑が滞留するのを防止できるので、検査光が終点検出用窓を透過する際の透過具合が変わることがなく、したがって、終点検出精度の低下を防止することができる。また、終点検出用窓における研磨面側となる一面が研磨面よりも高さが低くなるように形成されているため、終点検出用窓が研磨に及ぼす影響を可及的に小さくすることができる。

本発明の一実施例を示す研磨装置の斜視図。 図１の要部の縦断面図。 図１の研磨面の要部の斜視図。 図１の研磨面の要部の平面図。 図１の研磨パッドの製造工程を示す図。 本発明の第２実施例を示す要部の平面図。 本発明の第３実施例を示す要部の平面図。

以下、図示実施例について本発明を説明すると、図１ないし図２において、１は研磨装置であり、この研磨装置１は、薄板状の被研磨物２（例えば半導体ウエハ）を研磨パッド３によって研磨するようになっている。この研磨装置１は、被研磨物２に対して研磨加工を行う際に、被研磨物２の被研磨面２Ａに向けて検査光Ｌ１を照射することで、研磨加工の進捗状況と加工終了となる終点を検出できるようになっている。
研磨装置１は、下方側に位置して上面に研磨パッド３が固定される研磨定盤４と、上方側に位置して下面に被研磨物２を保持する保持定盤５と、被研磨物２と研磨パッド３との間にスラリーＳ（研磨液）を供給するスラリー供給機構６と、検査光Ｌ１を用いて被研磨物２の研磨加工の進捗状況と加工の終点を検出する検出機構７を備えている。
研磨装置１による研磨加工の対象となる被研磨物２は、光学材料、シリコンウェハ、液晶用ガラス基板、半導体基板の他、ガラス、金属、セラミック等の板状物である。また、スラリー供給機構６が供給するスラリーＳとしては、対象となる被研磨物２および求められる加工精度に応じて従来公知の好適な物を使用することができる。
上記研磨定盤４および保持定盤５はそれぞれ略円盤状となっており、それぞれ図示しない駆動機構によって矢印方向に回転するようになっており、また、上記保持定盤５は昇降可能に設けられている。
被研磨物２に研磨加工を行う際には、保持定盤５によって被研磨物２の被研磨面２Ａ（下面）を研磨パッド３の研磨面３Ａに設定圧力で押し当てた状態で、それらが相対的に回転されるとともに、スラリー供給機構６からスラリーＳが被研磨物２の被研磨面２Ａと研磨パッド３の研磨面３Ａとの間に供給されるようになっている。
研磨パッド３の研磨面３Ａには、研磨パッド３の中心（回転中心）を囲繞して同心円状に複数の環状溝３Ａａが半径方向において等ピッチで形成されている。これら複数の環状溝３ＡａがスラリーＳを保持するスラリー保持溝となっており、スラリー供給機構６から吐出されたスラリーＳはこれら複数の環状溝３Ａａ内に流入して研磨面３Ａの全域に供給されるようになっている（図２～図４参照）。

ところで、被研磨物２の研磨加工を行う際には、該被研磨物２の研磨加工の進捗状況と加工終了となる終点を検出する必要がある。そこで、この研磨装置１は、下方側から上方に向けて検査光Ｌ１を照射して、被研磨物２の被研磨面２Ａからの反射光Ｌ２を基にして研磨加工の進捗状況と加工終点を検出する検出機構７を備えている。
研磨パッド３の所定位置には、上記検査光Ｌ１を透過させ、かつ被研磨物２の被研磨面２Ａからの反射光Ｌ２を透過させる透明な終点検出用窓３Ｂが設けられている。
研磨パッド３は、上方側に位置する円板状の研磨層３Ｃと、研磨層３Ｃの下面に接着剤や両面テープで接着された円板状の支持層３Ｄ（クッション層）とを備えている。研磨層３Ｃの所定位置に透明な終点検出用窓３Ｂが設けられており、その下方側となる支持層３Ｄの位置には、検査光Ｌ１及び被研磨物２からの反射光を通過させるための貫通孔３Ｄａが穿設されている。
終点検出用窓３Ｂの平坦な上面３Ｂａは、研磨層３Ｃの上面である研磨面３Ａよりも少し低くなっている。具体的には、上面３Ｂａは、環状溝３Ａａの底部よりも低い位置にあり、研磨面３Ａよりも０．９ｍｍ程度低くなっており、それにより上面３Ｂａの上方位置に円形の凹部３Ｃａが生じている。
前述したように、研磨面３Ａには、同心円状に複数の環状溝３Ａａが形成されており、それらの数本の環状溝３Ａａは、終点検出用窓３Ｂの隣接上方位置の凹部３Ｃａと交差している。つまり、図３ないし図４に示すように、凹部３Ｃａの内周面に複数の環状溝３Ａａが開口し、該環状溝３Ａａと凹部３Ｃａとが連通した状態となっている。
他方、終点検出用窓３Ｂの下面３Ｂｂと研磨層３Ｃの下面は同一平面となっており、研磨層３Ｃの下面に支持層３Ｄの上面が接着剤や両面テープによって接着されている。そして、上下で一体となった研磨層３Ｃと支持層３Ｄからなる研磨パッド３は、その下面（支持層３Ｄの下面）を接着剤や両面テープによって研磨定盤４の上面４Ａに固定されている。
研磨定盤４には、上記研磨パッド３の終点検出用窓３Ｂ及び支持層３Ｄの貫通孔３Ｄａの下方位置に、検査光Ｌ１を上方へ照射する発光部７Ａ及び被研磨物２からの反射光を受光する受光部７Ｂが設けられている。検出機構７は、これら発光部７Ａ及び受光部７Ｂと、それらの作動を制御し、かつ、研磨加工中における加工の進捗状況と加工終了となる終点を検出する制御部７Ｃを備えている。
被研磨物２に対する研磨加工中においては、検出機構７の発光部７Ａから検査光Ｌ１が上方に向けて照射されるので、該検査光Ｌ１は透明な終点検出用窓３Ｂを透過して被研磨物２の被研磨面２Ａに照射される。すると、検査光Ｌ１は被研磨物２の被研磨面２Ａによって下方に向けて反射され、その反射光Ｌ２は透明な終点検出用窓３Ｂを透過して受光部７Ｂによって検出される。受光部７Ｂで検出した反射光Ｌ２は制御部７Ｃへ伝達されるようになっている。
そして、被研磨物２の研磨加工が進行して、被研磨物２の被研磨面２Ａが徐々に研磨されることに伴って、受光部７Ｂによって検出される反射光Ｌ２の強度等が変化する。制御部７Ｃは、受光部７Ｂによって検出された反射光Ｌ２の強度等が、予め登録された強度等になると、被研磨面２Ａが加工終点になったものと判定して、研磨加工を停止させる。すると、駆動機構が停止されるので研磨定盤４及び保持定盤５の回転が停止するとともに、スラリー供給機構６からのスラリーＳの供給も停止されるようになっている。
このように、検出機構７の検査光Ｌ１を用いて被研磨物２の研磨加工が行われる際に研磨加工の終点を検出できるようになっている。なお、このような検査光Ｌ１を用いた検出機構７の構成は既に公知である。

しかして、図３ないし図４に示すように、本実施例の研磨パッド３は、研磨層３Ｃの研磨面３Ａに、終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａ及び凹部３Ｃａの位置から研磨面３Ａの外周縁まで到達する半径方向の排出溝３Ｅが形成されていることが特徴となっている。
終点検出用窓３Ｂは検査光Ｌ１及び反射光Ｌ２を透過させる透明な材料によって円板状に形成されており、この終点検出用窓３Ｂは、研磨層３Ｃの所定位置に形成された貫通孔に隙間なく嵌合されている。終点検出用窓３Ｂの直径は９ｍｍに設定されており、軸方向寸法（上下方向寸法）は研磨層３Ｃの厚さよりも短い寸法となっている。
なお、終点検出用窓３Ｂの材料としては、ポリウレタン等の弾性樹脂を用いることができる。終点検出用窓３Ｂは検査光Ｌ１及び反射光Ｌ２の妨げとなるような発泡を避けた構造とする必要がある。より具体的には内部に空隙が形成されないポリウレタン等の弾性樹脂体が好ましい。
本実施例では、終点検出用窓３Ｂが円形となっているが、これ以外に例えば長方形、正方形、多角形、楕円形等の様々な形状とすることもできる。また、終点検出用窓３Ｂは少なくとも１つ設けられていれば良い。
研磨面３Ａと終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａの高さの差（凹部３Ｃａの深さ）は、０．９ｍｍ程度に設定されている。さらに、上記各環状溝３Ａａの幅は０．４ｍｍに設定されており、隣り合う環状溝３Ａａのピッチは２．８ｍｍに設定されている。
また、各環状溝３Ａａの深さは０．６ｍｍに設定されている。これにより、スラリー等が環状溝３Ａａから凹部３Ｃａに流れる。
排出溝３Ｅは、研磨層３Ｃの半径方向に直線状に形成されており、この排出溝３Ｅの外方側の端部は図示しない研磨層３Ｃの外周縁（外周面）に開口し、排出溝３Ｅの内方側の端部は凹部３Ｃａの内周面に開口している。この排出溝３Ｅは、研磨面３Ａに形成された複数の環状溝３Ａａとも交差して、それらと連通した状態となっている。排出溝３Ｅの深さは、０．８ｍｍに設定されており、排出溝３Ｅの底部は終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａよりも高く、かつ環状溝３Ａａの底部と同じかより低い位置に位置している。これにより、スラリー等は、排出溝３Ｅから排出されるまでに終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａに一定量溜まった状態が維持されるようになり、スラリー等の流れに伴って検査光Ｌ１及び反射光Ｌ２の強度が低下するのを防止することができ、ひいては、検出機構７による終点検出精度が低下するのを防止することができる。
そして、終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａに隣接する排出溝３Ｅにも、複数の環状溝３Ａａが交差して、該複数の環状溝３Ａａと排出溝３Ｅとが連通した状態となっている（図２ないし図４参照）。

このように、本実施例の研磨パッド３は、研磨面３Ａに終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａ（凹部３Ｃａ）の位置から研磨面３Ａの外周縁まで到達する半径方向の排出溝３Ｅが形成されている。
そのため、研磨パッド３による被研磨物２の研磨加工中に、スラリーＳや研磨屑が上面３Ｂａ（凹部３Ｃａ）に流れ込んだとしても、凹部３Ｃａから半径方向の排出溝３Ｅを介して研磨面３Ａの外部へ排出される（図４の想像線の矢印参照）。これにより、終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａおよび凹部３Ｃａに、スラリーＳや研磨屑が滞留することを防止することができる。したがって、終点検出用窓３Ｂを透過する検査光Ｌ１及び反射光Ｌ２の強度が低下するのを防止することができ、ひいては、検出機構７による終点検出精度が低下するのを防止することができる。
また、終点検出用窓３の上面３Ｂａは、排出溝３Ｅの底部よりも低く設けられており、研磨面３Ａから上面３Ｂａ及び排出溝３Ｅの底部までの深さの差は０．０５～０．２０ｍｍが好ましい。これにより、スラリー等は、排出溝３Ｅから排出されるまでに終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａに適度に溜まった状態が維持されるようになり、スラリー等の流れに伴って検査光Ｌ１及び反射光Ｌ２の強度が低下するのを防止することができ、ひいては、検出機構７による終点検出精度が低下するのを防止することができる。

次に、以上のように構成された研磨パッド３の製造方法の一態様について図５により説明する。
すなわち、先ず、終点検出用窓３Ｂの材料となるポリイソシアネートと硬化剤を混合し遠心脱泡した混合物を準備し、円筒状の型枠に流し入れて硬化させ、円柱部１０２を形成する。続いて当該円柱部１０２を長方形の箱型をした型枠１０１の所定位置に軸心が鉛直方向となるように配置する。
次に、上記研磨層３Ｃの材料となるポリイソシアネートと硬化剤と発泡構造を形成するための中空微粒子を混合して混合物１０３を作製し、該混合物１０３を上記型枠１０１内に流し入れて固める（図５（ａ）参照）ことで、型枠１０１の内部空間に倣ったブロック状のポリウレタンポリウレア樹脂成形体１０４が形成される（図５（ｂ）参照）。このポリウレタンポリウレア樹脂成形体１０４が前述した研磨層３Ｃの部分となる。
この後、上記ポリウレタンポリウレア樹脂成形体１０４を型枠１０１から取り外した後に、該ポリウレタンポリウレア樹脂成形体１０４における円柱部１０２が埋設された箇所を、所要の厚さとなるように水平面に沿って薄く切断してシート状部材１０７として切り出す（図５（ｃ）参照）。
この後、シート状部材１０７を必要に応じて研磨面３Ａとなる面を厚み修正および微細な凹凸形成（目立て）の観点から、研削（バフィング）する。そしてシート状部材１０７（研磨層３Ｃ）の研磨面３Ａと反対側となる研磨層３Ｃの下面に両面テープ等を貼り付ける。その後、研磨層３Ｃ（シート状部材１０７）の研磨面３Ａの同心円上となる位置に上記複数の環状溝３Ａａを切削加工で形成する。この後、円柱部１０２の上面の箇所を該円柱部１０２の直径と同一寸法で所定深さとなるように座繰り加工を施す。そして、終点検出用窓３Ｂから半径方向外方に向けて研磨層３Ｃの外周縁（外周部）まで到達する直線状の排出溝３Ｅを切削加工で形成する。
そして、予め貫通孔３Ｄａを穿設した支持層３Ｄ（クッション層）を研磨層３Ｃの下面に接着剤や両面テープで接着する。最後に、シート状部材１０７（研磨層３Ｃ）及び支持層３Ｄを積層したものを円板状に切断する。これにより、本実施例の研磨パッド３が完成する（図５（ｄ）参照）。
このようにして製造された研磨パッド３は、その下面（支持層３Ｄの下面）が両面テープや接着剤等によって上記研磨定盤４の上面４Ａに固着されるようになっている。
なお、本実施例では、後に終点検出用窓３Ｂとなる円柱部１０２を予め作製した製造方法であるが、これに限定されない。他の例としては、穴が開いたポリウレタンポリウレア樹脂成形体１０４に終点検出用窓３Ｂを構成する材料を流し入れて固めることによっても所望の研磨層を作製することができる。
具体的には、型枠１０１の所定位置に円柱状の抜き取り部材を軸心が鉛直方向となるように配置し、上記研磨層３Ｃの材料となるポリイソシアネートと硬化剤を混合して作製した混合物１０３を上記型枠１０１内に流し入れて固め、ポリウレタンポリウレア樹脂成形体１０４を形成する。
続いて、形成されたポリウレタンポリウレア樹脂成形体１０４から上記円柱状抜き取り部材を上方へ抜き取り、円柱状の有底穴を形成するとともに、当該有低穴に上記終点検出用窓３Ｂの材料となるポリイソシアネートと硬化剤を混合した混合物を流し入れて硬化させる。硬化した混合物によって、後に終点検出用窓３Ｂとなる透明な円柱部１０２が形成される。
これにより、有底穴内に円柱部１０２が隙間なく埋設された状態のポリウレタンポリウレア樹脂成形体１０４が完成する。ポリウレタンポリウレア樹脂成形体１０４からシート状部材を切り出す工程以降は上記と同様の方法で作製することができる。
その他の例として、円柱部１０２を所定の厚みに切断し、その切断した円柱部を研磨層３Ｃに円柱部１０２と同じ大きさに穿設して形成した貫通孔に嵌め込むことによっても所望の研磨層を作製することができる。
具体的には、円柱部１０２とポリウレタンポリウレア樹脂成形体１０４を予め作製しておく。ポリウレタンポリウレア樹脂成形体１０４からシート状部材１０７を切り出す。切り出したシート状部材１０７に対して、表面の研削し、裏面に両面テープを貼り付け、環状溝３Ａａを形成する。そして、シート状部材１０７に円柱部１０２と同じ大きさの貫通孔を形成する。一方、円柱部１０２を所定の厚みに切断して、その円柱部１０２をシート状部材１０７の貫通孔に嵌め込む。これにより、終点検出用窓３Ｂを有する研磨層３Ｃを作製することができる。支持層３Ｄを研磨層３Ｃに貼り合わせる工程以降は上記と同様の方法で作製することができる。この例では、座繰り加工をすることなく、所望の研磨層を作製することができる。
さらに、他の例として、この第３実施例の研磨層３Ｃおよび終点検出用窓３Ｂの材料は、上記図５で示した上記第１の実施例と基本的に同じであるが、次のようにして研磨層３Ｃと支持層３Ｄからなる研磨パッド３を製造する。すなわち、研磨層３Ｃと支持層３Ｄとを重ねた状態となるように研磨パッドを製作した後に、研磨パッドの表面側（上面側）から貫通孔を穿設し、研磨パッドの裏面側（下面側）から支持層３Ｄまで貫通孔を座繰り加工により拡径させて穴を形成し、この穴と貫通孔が連通するようにする。その後に、研磨パッドの表面に環状溝３Ａａ及び排出溝３Ｅを形成する。そして、別途、製作済みの段付円柱状の終点検出窓３Ｂを裏面側（下面側）から隙間なく穴及び貫通孔に嵌合させる。その後、全体を熱プレスして、全体を圧着させた後に、終点検出用窓３Ｂの上面を所定寸法だけ座繰り加工して凹部３Ｃａを形成する。
また、本実施例における終点検出用窓３Ｂは、ポリイソシアネートと硬化剤を用いて作製したが、ポリイソシアネートは予めポリオール等によってウレタンプレポリマーとしたものを用いることもできる。さらに、硬化剤としては、公知のジオール、ポリオール、ジアミン、ポリアミンを用いることができる。発泡構造を形成するために、中空微粒子を用いたが、水等の化学発泡剤や不活性ガス等を用いることができる。
さらに、本実施例では、環状溝３Ａａを形成した後、座繰り加工を施して凹部３Ｃａを形成して、その後排出溝３Ｅを形成する工程としているが、凹部３Ｃａを形成する工程と排出溝３Ｅを形成する工程の順序が逆になっていてもよい。

以上のように本実施例の研磨パッド３は、研磨面３Ａに終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａ及び凹部３Ｃａから半径方向の外方へ延びる排出溝３Ｅが形成されている。
そのため、研磨加工中にスラリーや研磨屑が終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａ及び凹部３Ｃａから排出溝３Ｅに排出され、終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａ及び凹部３Ｃａにスラリーや研磨屑が滞留するのを防止することができ、検出機構７から照射される検査光Ｌ１及び反射光Ｌ２が終点検出用窓３Ｂを透過する際の透過具合が変わることを抑制することができる。したがって、スラリー等によって検出機構７による終点検出の精度が低下するのを防止することができる。

次に、図６は、本発明の第２実施例を示したものであり、この第２実施例は、研磨面３Ａの全域にわたって縦横等ピッチ（３５ｍｍ）で格子状の排出溝１３Ｅが形成されている。そして、縦横の排出溝１３Ｅが終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａの位置（凹部３Ｃａ）で交差するようになっている。格子状となった直線状の各排出溝１３Ｅは、それらの両端が研磨層３Ｃの外周縁（外周部）に開口しているので、排出溝１３Ｅを介して終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａ及び凹部３Ｃａは外周縁とを連通している。排出溝１３Ｅの幅は２．０ｍｍに設定されており、深さは０．６ｍｍに設定されている。また、研磨面３Ａから終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａまでの深さは、０．８ｍｍに設定されている。
その他の構成は、上記第１の実施例の研磨パッド３と同じであり、第１の実施例と対応する各部分には同じ部材番号を付している。
なお、この第２実施例の研磨層３Ｃおよび終点検出用窓３Ｂの材料および研磨パッド３の製造工程は、上記図５で説明した上記第１実施例と基本的に同じである。
この第２実施例においても、終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａ及び凹部３Ｃａが排出溝１３Ｅによって研磨面３Ａの外周縁に連通していることにより、研磨加工中のスラリーや研磨屑は、排出溝１３Ｅを介して研磨面３Ａの外方へ排出される。したがって、この第２実施例の研磨パッド３によっても、上記第１の実施例と同様の作用・効果を得ることができる。
なお、第２実施例では、排出溝１３Ｅが環状溝３Ａａとほぼ直交やほぼ平行に形成されているが、これに限定されない。排出溝１３Ｅが、環状溝３Ａａに対して、例えば３０°、４５°、６０°等の所定の角度がなされて形成されていてもよい。

次に、図７は本発明の第３実施例を示したものである。この第３実施例においては、上記図３及び図４に示した第１の実施例を前提として、半径方向の排出溝３Ｅの円周方向の両隣に直線状の排出溝２３Ｅを追加したものである。
これらの排出溝２３Ｅは、半径方向の排出溝３Ｅに対して４５°の角度をなして形成されており、各排出溝２３Ｅの内方側の端部は、終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａ及び凹部３Ｃａと連通し、外方側の端部は、研磨層３Ｃの外周縁（外周部）に開口している。また、排出溝２３Ｅの幅と深さは、半径方向の排出溝３Ｅの幅と深さと同じ寸法に設定されている。
その他の構成は上記第１の実施例の研磨パッド３と同じであり、第１の実施例と対応する各部分には同じ部材番号を付している。
この第３実施例の研磨パッド３においては、３か所の排出溝３Ｅ、２３Ｅにより終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａと凹部３Ｃａと研磨面３Ａの外周縁とが連通していることにより、研磨加工中におけるスラリーや研磨屑は、排出溝３Ｅ、２３Ｅを介して研磨面３Ａの外方へ効率的に排出される。そのため、終点検出用窓３Ｂの上面３Ｂａにスラリーや研磨屑が滞留することを防止できる。したがって、この第３実施例の研磨パッド３によっても、上記第１の実施例と同様の作用・効果を得ることができる。

なお、上記各実施例においては、同心円上の位置に設けた複数の環状溝３Ａａの中心と研磨面３Ａの中心が一致した構成を前提に説明したが、研磨面３Ａの中心に対して環状溝３Ａａの中心が偏心した構成であっても良い。

１…研磨装置 ２…被研磨物（ウエハ）
３…研磨パッド ３Ａ…研磨面
３Ｂ…終点検出用窓 ３Ｃ…研磨層
３Ｂａ…上面 ３Ｅ、１３Ｅ、２３Ｅ…排出溝
７…検出機構 Ｌ１…検査光

Claims (6)

1. 被研磨物を研磨する研磨面を有する研磨層と、この研磨層に設けられて研磨加工中の終点を検出するための透明な終点検出用窓とを備えた研磨パッドにおいて、
   上記終点検出用窓における研磨面側となる一面は、上記研磨面よりも高さが低くなるように形成されて、上記研磨面との間に凹部が形成されており、
   さらに上記研磨面に、上記凹部から研磨面の外周縁に連通する少なくとも一つの排出溝が形成されており、
   研磨加工中のスラリー及び研磨屑は上記凹部から排出溝を介して研磨面の外方へ排出されることを特徴とする研磨パッド。
2. 上記研磨面の同心円上の位置に複数の環状溝が形成されており、
   上記排出溝は、上記環状溝と交差して設けられており、
   上記終点検出用窓における研磨面側の一面は、環状溝の底部よりも高さが低いことを特徴とする請求項１に記載の研磨パッド。
3. 上記排出溝の底部は、上記環状溝の底部と高さが同じ又は底部より低く、上記終点検出用窓における研磨面側の一面よりも高さが高くなっていることを特徴とする請求項２に記載の研磨パッド。
4. 上記研磨面から上記終点検出用窓における研磨面側となる一面までの深さと上記排出溝の深さとの差は、０．０５から０．２０ｍｍであることを特徴とする請求項３に記載の研磨パッド。
5. 上記研磨面の上記排出溝は、上記凹部から半径方向に形成された第１排出溝と、当該第１排出溝に対して所定角度をなして形成された第２排出溝とを有することを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の研磨パッド。
6. 上記研磨面に複数の直線状の溝を交差させた格子状溝が形成されており、
   上記格子状溝を構成する少なくとも１つの直線状の溝は、上記終点検出用窓の凹部と交差して設けられており、該１つの直線状の溝が上記排出溝となっていることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の研磨パッド。

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