JP2022133682A

JP2022133682A - Cutting blade management method

Info

Publication number: JP2022133682A
Application number: JP2021032507A
Authority: JP
Inventors: 光彦古場; Mitsuhiko Koba
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-03-02
Filing date: 2021-03-02
Publication date: 2022-09-14

Abstract

To provide a cutting blade management method capable of automatically detecting breakage of a saw cutting blade.SOLUTION: This cutting blade management method for managing a cutting blade 21 saw-shaped at a tip includes: a detection unit position adjustment step of moving a detection unit 31 back and forth in the radial direction of the cutting blade 21, and disposing the detection unit 31 at a measuring position where light received by a light reception unit at the tip of the rotating cutting blade 21 is partially blocked and a received light quantity is within a prescribed range; and a cutting step of cutting a workpiece 100 by the cutting blade 21 while determining the presence of breakage of the cutting blade 21 from fluctuation of received light quantity average value for each prescribed time.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、切削ブレードの管理方法に関する。 The present invention relates to a cutting blade management method.

半導体ウエーハや樹脂パッケージ基板等の被加工物の切削に、スピンドルにブレードを装着した切削装置が用いられることが知られている（例えば、特許文献１参照）。 2. Description of the Related Art It is known that a cutting device having a blade attached to a spindle is used for cutting workpieces such as semiconductor wafers and resin package substrates (see, for example, Patent Document 1).

特許第２８７９４４５号公報Japanese Patent No. 2879445

このような切削装置では、切削ブレードは、切削中、被加工物が動いたり、チップが飛散して衝突したりするなどにより、破損する事がある。切削ブレードが部分的に破損した場合、見た目でも判別がつきにくく、切削が続行されることがあり、その場合、切削により形成される切削溝の欠けが非常に大きくなってしまうなど異常加工となってしまう。そこで、切削中の切削ブレードの破損を常時検出するブレード破損検出機構が考案された。 In such a cutting device, the cutting blade may be damaged during cutting due to movement of the workpiece, scattering of chips, and collision with the workpiece. If the cutting blade is partially damaged, it may be difficult to distinguish visually, and cutting may continue. end up Therefore, a blade breakage detection mechanism has been devised for constantly detecting breakage of the cutting blade during cutting.

このブレード破損検出機構は、切削ブレードを挟んで並ぶ発光部と受光部を備え、受光部の単位時間当たりの平均受光量が増加した際に、切削ブレードの欠け（破損）を検出し、加工を停止できるものである。このブレード破損検出機構は、破損していない切削ブレードの刃先を、直径数ｍｍの光芒に対し適切な測定位置に検知部を位置付ける事が重要になる。光芒を遮らない位置に配置すると破損を全く検出出来ず、光芒を全て隠してしまった場合は、刃先だけの破損だと検出できない。そのため、切削ブレードの回転を停止した状態で検知部を切削ブレードの径方向に進退させ、適切な位置に微調整する。 This blade breakage detection mechanism is equipped with a light emitting part and a light receiving part that sandwich the cutting blade. It can be stopped. For this blade breakage detection mechanism, it is important to position the detection section at an appropriate measurement position for the cutting edge of the unbroken cutting blade with respect to the beam of light with a diameter of several millimeters. If it is placed in a position that does not block the beam of light, damage cannot be detected at all. Therefore, while the rotation of the cutting blade is stopped, the detection unit is advanced and retracted in the radial direction of the cutting blade to perform fine adjustment to an appropriate position.

切削ブレードの中でも、延性材料をバリの発生を抑制して切削できる鋸刃状のメタルソーが用いられる場合、これまで切削ブレードの形状からしてブレード破損検出機構によるブレード破損検出は難しいとされてきた。しかし、鋸刃状のメタルソーを大量生産に用い、製造不良を抑えるためには、自動的な破損検出は必須であり、メタルソーの導入が進まない要因となっていた。 Among cutting blades, when a serrated metal saw that can cut ductile materials while suppressing the generation of burrs is used, it has been difficult to detect blade breakage with a blade breakage detection mechanism due to the shape of the cutting blade. . However, in order to use serrated metal saws for mass production and to suppress manufacturing defects, automatic breakage detection is essential, which has been a factor preventing the introduction of metal saws.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、鋸刃状の切削ブレードの破損を自動的に検出できる切削ブレードの管理方法を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such problems, and an object thereof is to provide a cutting blade management method capable of automatically detecting breakage of a serrated cutting blade.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードの管理方法は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを含む切削ユニットと、切削ブレードの破損を検出する破損検出ユニット、を備える切削装置を用いて、刃先の形状が鋸刃状の該切削ブレードを管理する切削ブレードの管理方法であって、該破損検出ユニットは、該切削ブレードが進入する隙間を挟んで対向する発光部及び受光部を有する検知部と、該受光部に入射した光量に対応する値の電気信号を出力する光電変換部と、該電気信号の変動から該切削ブレードの破損を判定する判定部と、を有し、該検知部を該切削ブレードの径方向に進退させ、回転する該切削ブレードの刃先で該受光部が受光する光が部分的に遮られて、受光量が所定範囲になる測定位置に該検知部を配置する検知部位置調整ステップと、所定時間毎の該受光量の平均値の変動から該切削ブレードの破損の有無を判定しながら、被加工物を該切削ブレードで切削する切削ステップと、を有することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the cutting blade management method of the present invention comprises: a chuck table holding a workpiece; and a cutting blade holding the chuck table and cutting the workpiece. A cutting blade management method for managing a cutting blade having a serrated cutting edge using a cutting device comprising a cutting unit including a spindle to be mounted and a breakage detection unit for detecting breakage of the cutting blade. The breakage detection unit includes a detection section having a light emitting section and a light receiving section facing each other across a gap into which the cutting blade enters, and a photoelectric conversion that outputs an electric signal having a value corresponding to the amount of light incident on the light receiving section. and a determination unit that determines damage to the cutting blade from fluctuations in the electric signal, the detection unit is advanced and retracted in the radial direction of the cutting blade, and the cutting edge of the rotating cutting blade detects the light receiving unit. a detecting portion position adjusting step of arranging the detecting portion at a measurement position where the amount of received light is partially blocked and the amount of received light falls within a predetermined range; and a cutting step of cutting the workpiece with the cutting blade while determining whether or not the blade is damaged.

本発明は、鋸刃状の切削ブレードの破損を自動的に検出できる。 The present invention can automatically detect breakage of serrated cutting blades.

図１は、実施形態に係る切削ブレードの管理方法を実施する切削装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device that implements a cutting blade management method according to an embodiment. 図２は、鋸刃状の切削ブレードを示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing a serrated cutting blade. 図３は、鋸刃状の切削ブレードを示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a serrated cutting blade. 図４は、図１の切削装置の要部の構成例を示す側面図である。FIG. 4 is a side view showing a configuration example of a main part of the cutting device of FIG. 1. FIG. 図５は、図１の切削装置の要部の構成例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a configuration example of a main part of the cutting device of FIG. 図６は、図１の切削装置が取得する受光量の測定結果の第１例を示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing a first example of a measurement result of the amount of received light acquired by the cutting apparatus of FIG. 図７は、図１の切削装置が取得する受光量の測定結果の第２例を示すグラフである。FIG. 7 is a graph showing a second example of the measurement result of the amount of received light acquired by the cutting device of FIG. 図８は、実施形態に係る切削ブレードの管理方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。FIG. 8 is a flowchart showing an example of a processing procedure of a cutting blade management method according to the embodiment.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 A form (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る切削ブレードの管理方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る切削ブレードの管理方法を実施する切削装置１の構成例を示す斜視図である。図２は、鋸刃状の切削ブレード２１を示す側面図である。図３は、鋸刃状の切削ブレード２１を示す断面図であり、図２の（ＩＩＩ）－（ＩＩＩ）断面図である。図４は、図１の切削装置１の要部の構成例を示す側面図である。図５は、図１の切削装置１の要部の構成例を示す断面図である。図６は、図１の切削装置１が取得する受光量の測定結果の第１例を示すグラフである。図７は、図１の切削装置１が取得する受光量の測定結果の第２例を示すグラフである。切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、切削ユニット２０と、破損検出ユニット３０と、Ｘ軸移動ユニット４１と、Ｙ軸移動ユニット４２と、Ｚ軸移動ユニット４３と、を備える。 [Embodiment]
A cutting blade management method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device 1 that implements a cutting blade management method according to an embodiment. FIG. 2 is a side view showing a serrated cutting blade 21. FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the serrated cutting blade 21, taken along the line (III)-(III) of FIG. FIG. 4 is a side view showing a configuration example of the essential parts of the cutting device 1 of FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a configuration example of a main part of the cutting device 1 of FIG. FIG. 6 is a graph showing a first example of measurement results of the amount of received light acquired by the cutting device 1 of FIG. FIG. 7 is a graph showing a second example of the measurement result of the amount of received light acquired by the cutting device 1 of FIG. As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 includes a chuck table 10, a cutting unit 20, a breakage detection unit 30, an X-axis movement unit 41, a Y-axis movement unit 42, and a Z-axis movement unit 43. Prepare.

実施形態に係る切削ブレードの管理方法を実施する切削装置１における加工対象、すなわち切削装置１が切削加工する加工対象である被加工物１００は、例えば、焼結前のセラミックスである生セラミックスが円板状に形成されて積層されたものである。被加工物１００は、平坦な表面１０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン１０２によって区画された領域に複数のチップコンデンサ等のデバイス１０３が形成されている。被加工物１００は、表面１０１の裏側の裏面１０４に粘着テープ１０５が貼着され、粘着テープ１０５の外縁部に環状フレーム１０６が装着されている。なお、被加工物１００は、本発明ではこれに限定されず、樹脂により封止され金属の電極を備えたデバイスを複数有した矩形状の樹脂パッケージ基板等でも良い。 The workpiece 100, which is the object to be processed by the cutting device 1 that implements the cutting blade management method according to the embodiment, that is, the object to be cut by the cutting device 1, is, for example, raw ceramics, which is ceramics before sintering, and has a circular shape. It is formed in a plate shape and laminated. A workpiece 100 has a plurality of devices 103 such as chip capacitors formed in regions partitioned by a plurality of division lines 102 formed in a grid pattern on a flat surface 101 . The workpiece 100 has an adhesive tape 105 adhered to the back surface 104 of the back side of the front surface 101 , and an annular frame 106 is attached to the outer edge of the adhesive tape 105 . In the present invention, the workpiece 100 is not limited to this, and may be a rectangular resin package substrate or the like having a plurality of devices sealed with resin and provided with metal electrodes.

チャックテーブル１０は、凹部が形成された円盤状の枠体と、凹部内に嵌め込まれた円盤形状の吸着部と、を備える。チャックテーブル１０の吸着部は、ポーラス状のポーラスセラミック等から形成され、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。チャックテーブル１０の吸着部の上面は、被加工物１００が載置されて、載置された被加工物１００を吸引保持する保持面１１である。保持面１１は、本実施形態では、被加工物１００が表面１０１を上方に向けて載置され、載置された被加工物１００を裏面１０４側から粘着テープ１０５を介して吸引保持する。保持面１１とチャックテーブル１０の枠体の上面とは、同一平面上に配置されており、水平面に平行なＸＹ平面に沿って形成される。チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット４１により、水平方向と平行なＸ軸方向に沿って移動自在に設けられる。チャックテーブル１０は、不図示の回転駆動源により鉛直方向に平行でかつＸＹ平面に直交するＺ軸回りに回転自在に設けられている。 The chuck table 10 includes a disk-shaped frame having a recess and a disk-shaped suction portion fitted in the recess. The suction portion of the chuck table 10 is made of porous ceramic or the like, and is connected to a vacuum suction source (not shown) via a vacuum suction path (not shown). The upper surface of the suction portion of the chuck table 10 is a holding surface 11 on which the workpiece 100 is placed and which sucks and holds the placed workpiece 100 . In this embodiment, the workpiece 100 is placed on the holding surface 11 with the front surface 101 facing upward, and the workpiece 100 placed on the holding surface 11 is held by suction from the rear surface 104 side via the adhesive tape 105 . The holding surface 11 and the upper surface of the frame of the chuck table 10 are arranged on the same plane and formed along the XY plane parallel to the horizontal plane. The chuck table 10 is provided movably along the X-axis direction parallel to the horizontal direction by the X-axis movement unit 41 . The chuck table 10 is rotatable about a Z-axis parallel to the vertical direction and orthogonal to the XY plane by a rotation drive source (not shown).

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０で保持された被加工物１００を分割予定ライン１０２に沿って加工して切削溝を形成する。切削ユニット２０は、図４及び図５に示すように、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、スピンドルハウジング２３と、ブレードマウント２４と、ブレードカバー２５と、給水ノズル２６－１，２６－２と、給水源接続部２７と、を備える。 The cutting unit 20 processes the workpiece 100 held by the chuck table 10 along the dividing lines 102 to form cutting grooves. 4 and 5, the cutting unit 20 includes a cutting blade 21, a spindle 22, a spindle housing 23, a blade mount 24, a blade cover 25, water supply nozzles 26-1 and 26-2, and a water supply source connection portion 27 .

切削ブレード２１は、水平方向と平行でＸ軸方向と直交するＹ軸と平行な軸心周りの回転動作が加えられて、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を切削する。切削ブレード２１は、図２及び図３に示すように、鋸刃状のメタルソーであり、ブレード本体２１１と、歯２１２と、を有する。歯２１２は、ブレード本体２１１の外周縁に等間隔で複数形成され、ブレード本体２１１の外周から突出して形成されている。切削ブレード２１のブレード本体２１１と歯２１２とは、一体に形成されていても良いし、ブレード本体２１１に歯２１２が固定されていても良い。ブレード本体２１１は、中央にブレードマウント２４に固定されるための挿入穴２１３を有し、環状に形成されている。切削ブレード２１は、薄鋼板ブレードであり、例えば、高速度鋼（high-speed steel）や、タングステンカーバイド、コバルト、ニッケル等を焼結して得られた超硬合金からなる。切削ブレード２１は、例えば、厚みが５０μｍ～３００μｍ程度のものが使用される。 The cutting blade 21 cuts the workpiece 100 held on the chuck table 10 by being rotated about an axis parallel to the Y-axis which is parallel to the horizontal direction and perpendicular to the X-axis direction. The cutting blade 21 is a serrated metal saw, and has a blade body 211 and teeth 212, as shown in FIGS. A plurality of teeth 212 are formed at equal intervals on the outer peripheral edge of the blade body 211 and are formed to protrude from the outer periphery of the blade body 211 . The blade body 211 and the teeth 212 of the cutting blade 21 may be integrally formed, or the teeth 212 may be fixed to the blade body 211 . The blade body 211 has an insertion hole 213 in the center for fixing to the blade mount 24 and is formed in an annular shape. The cutting blade 21 is a thin steel blade made of, for example, high-speed steel, cemented carbide obtained by sintering tungsten carbide, cobalt, nickel, or the like. For the cutting blade 21, for example, one having a thickness of approximately 50 μm to 300 μm is used.

スピンドル２２は、図４及び図５に示すように、軸心がＹ軸方向に沿って設けられ、先端で軸心周りに回転可能に切削ブレード２１を支持する。スピンドル２２は、切削装置１が備える制御ユニット５０からの制御に従ってＹ軸周りに回転駆動する。スピンドルハウジング２３は、スピンドル２２をＹ軸周りの回転動作を可能に収納する。切削ユニット２０は、スピンドルハウジング２３が、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００に対して、Ｙ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。 As shown in FIGS. 4 and 5, the spindle 22 has its axis along the Y-axis direction and supports the cutting blade 21 at its tip so as to be rotatable about its axis. The spindle 22 is rotationally driven around the Y-axis under control from a control unit 50 provided in the cutting device 1 . The spindle housing 23 accommodates the spindle 22 so as to be rotatable around the Y axis. The cutting unit 20 has a spindle housing 23 movably provided in the Y-axis direction by a Y-axis movement unit 42 with respect to the workpiece 100 held on the chuck table 10 , and a Z-axis movement by the Z-axis movement unit 43 . It is provided movably in the axial direction.

ブレードマウント２４は、円板状のフランジ部で切削ブレード２１を挟持して、円筒状のボス部が挿入穴２１３に挿入されてスピンドル２２の先端に装着されることで、切削ブレード２１を軸心周りに回転可能にスピンドル２２の先端に装着する。 The blade mount 24 holds the cutting blade 21 between the disk-shaped flange portions, and the cylindrical boss portion is inserted into the insertion hole 213 to be attached to the tip of the spindle 22, so that the cutting blade 21 is mounted on the axis. It is mounted on the tip of the spindle 22 so as to be rotatable therearound.

ブレードカバー２５は、スピンドルハウジング２３の先端側に装着されており、切削ブレード２１の上方、前方及び後方を覆う。ブレードカバー２５は、制御ユニット５０の開閉指示部５１からの制御に従って、切削ブレード２１を覆う閉位置と、切削ブレード２１から離間して開放する開位置との間を移動する。ブレードカバー２５は、内部に複数の水路が形成されており、図４に示すように、複数の水路の下側の一端には給水ノズル２６－１，２６－２が設けられ、複数の水路の上側の他端には給水源接続部２７が設けられている。給水ノズル２６－１は、給水源接続部２７から供給される切削水を切削ブレード２１の側方に供給する。給水ノズル２６－２は、給水源接続部２７から供給される切削水を切削ブレード２１の前方に供給する。切削水は、例えば、純水であり、制御ユニット５０によりその流量が制御される。 The blade cover 25 is attached to the tip side of the spindle housing 23 and covers the cutting blade 21 from above, front and rear. The blade cover 25 moves between a closed position covering the cutting blade 21 and an open position separating from the cutting blade 21 under the control of the opening/closing instruction section 51 of the control unit 50 . A plurality of water channels are formed inside the blade cover 25, and as shown in FIG. A water supply source connecting portion 27 is provided at the other end of the upper side. The water supply nozzle 26-1 supplies cutting water supplied from the water supply source connection portion 27 to the side of the cutting blade 21. As shown in FIG. The water supply nozzle 26 - 2 supplies cutting water supplied from the water supply source connection portion 27 to the front of the cutting blade 21 . The cutting water is pure water, for example, and its flow rate is controlled by the control unit 50 .

破損検出ユニット３０は、図１及び図５に示すように、検知部３１と、光電変換部３２と、判定部３３と、を有する。検知部３１は、溝状部材３１１と、発光部３１２と、受光部３１３とを有し、昇降部３１４が接続されている。光電変換部３２及び判定部３３は、制御ユニット５０により実現される。制御ユニット５０は、図５に示すように、光電変換部３２と、基準値記憶部３３１及び閾値記憶部３３２を有する判定部３３と、開閉指示部５１と、発光素子５２と、受光素子５３と、アンプ５４と、を有する。制御ユニット５０は、切削装置１の各構成要素の動作を制御して、被加工物１００の切削加工処理や、本実施形態に係る切削ブレードの管理方法を切削装置１に実施させる。 The damage detection unit 30 has a detection section 31, a photoelectric conversion section 32, and a determination section 33, as shown in FIGS. The detection unit 31 has a groove member 311, a light emitting unit 312, and a light receiving unit 313, and an elevating unit 314 is connected. The photoelectric conversion section 32 and the determination section 33 are implemented by the control unit 50 . As shown in FIG. 5, the control unit 50 includes a photoelectric conversion section 32, a determination section 33 having a reference value storage section 331 and a threshold storage section 332, an opening/closing instruction section 51, a light emitting element 52, and a light receiving element 53. , and an amplifier 54 . The control unit 50 controls the operation of each component of the cutting device 1 to cause the cutting device 1 to perform the cutting processing of the workpiece 100 and the cutting blade management method according to the present embodiment.

溝状部材３１１は、図５に示すように、切削ブレード２１の厚みよりも広い幅の溝３１５が形成されている。溝状部材３１１は、ブレードカバー２５に設けられ、溝３１５により切削ブレード２１の歯２１２が形成された刃先の上端側が進入する隙間を形成している。昇降部３１４は、検知部３１を昇降移動させることにより、溝状部材３１１の溝３１５によって形成された隙間への切削ブレード２１の刃先の上端側の進入位置を変動させる。昇降部３１４は、本実施形態では自動で溝状部材３１１を昇降移動させるが、本発明ではこれに限定されず、オペレータの手動により溝状部材３１１を昇降移動させてもよい。 The groove member 311 is formed with a groove 315 having a width wider than the thickness of the cutting blade 21, as shown in FIG. The groove member 311 is provided in the blade cover 25, and forms a gap into which the upper end side of the cutting edge of the cutting blade 21 having the teeth 212 formed by the groove 315 enters. The elevating unit 314 moves the detection unit 31 up and down to change the entry position of the upper end side of the cutting edge of the cutting blade 21 into the gap formed by the groove 315 of the groove member 311 . The lifting unit 314 automatically moves the groove member 311 up and down in this embodiment, but the present invention is not limited to this, and the operator may manually move the groove member 311 up and down.

発光部３１２は、溝３１５の一方の側壁に設けられ、溝３１５の他方の側壁に向けて光を発する。発光部３１２は、発光素子５２が光ファイバー等により光学的に接続されており、発光素子５２からの光を発して直径数ｍｍの光芒を形成する。受光部３１３は、溝３１５の他方の側壁に発光部３１２と対面する位置に設けられ、発光部３１２で発せられた光が入射する。受光部３１３は、受光素子５３が光ファイバー等により光学的に接続されている。受光素子５３は、受光部３１３に入射した光を検出する。発光部３１２及び受光部３１３は、このように、溝３１５によって形成された切削ブレード２１が進入する隙間を挟んで対向する。アンプ５４は、判定部３３からの制御に従って、発光素子５２からの発光量を増幅することで、発光部３１２から発する発光量を調整する。 The light emitting portion 312 is provided on one side wall of the groove 315 and emits light toward the other side wall of the groove 315 . The light emitting unit 312 is optically connected to the light emitting element 52 by an optical fiber or the like, and emits light from the light emitting element 52 to form a light beam with a diameter of several millimeters. The light receiving portion 313 is provided on the other side wall of the groove 315 at a position facing the light emitting portion 312, and the light emitted from the light emitting portion 312 is incident thereon. The light receiving unit 313 is optically connected to the light receiving element 53 by an optical fiber or the like. The light receiving element 53 detects light incident on the light receiving section 313 . The light-emitting portion 312 and the light-receiving portion 313 thus face each other with the gap formed by the groove 315 into which the cutting blade 21 enters. The amplifier 54 adjusts the amount of light emitted from the light emitting unit 312 by amplifying the amount of light emitted from the light emitting element 52 under the control of the determination unit 33 .

光電変換部３２は、受光素子５３で検出した受光部３１３での受光量を、受光部３１３に入射した受光量に対応する値の電気信号（本実施形態では、電圧）に変換し、この電気信号を判定部３３に出力する。切削ブレード２１の刃先の上端側が溝３１５に進入するに従って、切削ブレード２１の刃先が発光部３１２と受光部３１３との間の光芒を遮蔽する量が増加すると、受光素子５３で検出する受光部３１３での受光量（光芒の透過量）が徐々に減少することに伴い、光電変換部３２からの出力電圧が徐々に減少する。光電変換部３２は、本実施形態では、例えば、発光部３１２の発光量に対する受光部３１３の受光量の割合である受光率が１００％の時には５Ｖ（最大電圧）、受光率が０％の時には０Ｖ（最小電圧）の電圧を出力する。光電変換部３２は、受光部３１３の受光量が所定光量となったとき、すなわち切削ブレード２１の刃先の上端側の進入位置が発光部３１２と受光部３１３との間の所定位置に達したときに、出力電圧の所定時間の平均値が所定の基準値（本実施形態では、例えば３Ｖ）になるように設定されている。 The photoelectric conversion unit 32 converts the amount of light received by the light receiving unit 313 detected by the light receiving element 53 into an electric signal (voltage in this embodiment) having a value corresponding to the amount of light received by the light receiving unit 313, and converts this electric A signal is output to the determination unit 33 . As the upper end side of the cutting edge of the cutting blade 21 enters the groove 315, the cutting edge of the cutting blade 21 blocks the light beam between the light emitting portion 312 and the light receiving portion 313. With the gradual decrease in the amount of light received (amount of transmission of the beam of light) at , the output voltage from the photoelectric conversion unit 32 gradually decreases. In this embodiment, for example, the photoelectric conversion unit 32 has a voltage of 5 V (maximum voltage) when the light receiving rate, which is the ratio of the amount of light received by the light receiving unit 313 to the amount of light emitted by the light emitting unit 312, is 100%, and is 5 V (maximum voltage) when the light receiving rate is 0%. Outputs a voltage of 0V (minimum voltage). When the amount of light received by the light-receiving unit 313 reaches a predetermined amount, that is, when the upper end side of the cutting edge of the cutting blade 21 enters a predetermined position between the light-emitting unit 312 and the light-receiving unit 313, the photoelectric conversion unit 32 , the average value of the output voltage for a predetermined time is set to a predetermined reference value (eg, 3 V in this embodiment).

なお、受光部３１３の受光量の所定光量及び出力電圧の所定の基準値は、切削ブレード２１が光芒の少なくとも一部を遮るときの受光量及び電圧値であればよい。また、切削ブレード２１（メタルソー）が、砥粒とボンド材（結合材）とからなるタイプの砥粒系ブレードとは異なり、消耗しないので、受光部３１３の受光量の所定光量及び出力電圧の所定の基準値は、砥粒系ブレードの破損の有無を判定するときよりも高めに設定してもよい。 The predetermined reference value of the amount of light received by the light receiving unit 313 and the predetermined reference value of the output voltage may be the amount of light received and the voltage value when the cutting blade 21 blocks at least part of the beam of light. In addition, since the cutting blade 21 (metal saw) does not wear out unlike an abrasive grain type blade made of abrasive grains and a bonding material (bonding material), a predetermined amount of light received by the light receiving unit 313 and a predetermined output voltage can be obtained. may be set higher than when determining the presence or absence of damage to the abrasive blade.

切削ブレード２１を回転中に判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、切削ブレード２１の刃先の外縁が径方向に突き出している場合には減少し、径方向に凹んでいる場合には増大する。光電変換部３２から取得する出力電圧の変動は、受光素子５３で検出した受光部３１３での受光量（光芒の透過量）の変動を示す。このため、判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、スピンドル２２に装着中の切削ブレード２１の刃先の外縁の形状を示すものとなる。ここで、切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら受光部３１３が受光する光の受光量や、判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、切削ブレード２１を回転していることによって、所定時間毎に平均化される。 The output voltage obtained by the determination unit 33 from the photoelectric conversion unit 32 while the cutting blade 21 is rotating decreases when the outer edge of the cutting edge of the cutting blade 21 protrudes in the radial direction, and decreases when it is recessed in the radial direction. increases. Variation in the output voltage obtained from the photoelectric conversion unit 32 indicates variation in the amount of light received (the amount of light beam transmitted) at the light receiving unit 313 detected by the light receiving element 53 . Therefore, the output voltage that the determination unit 33 acquires from the photoelectric conversion unit 32 indicates the shape of the edge of the cutting blade 21 mounted on the spindle 22 . Here, the amount of light received by the light receiving unit 313 while the cutting blade 21 is rotated at a predetermined rotational speed, and the output voltage acquired by the determination unit 33 from the photoelectric conversion unit 32 are determined while the cutting blade 21 is rotating. By doing so, it is averaged every predetermined time.

本実施形態では、切削ブレード２１が鋸刃状のメタルソーであるため、破損のない切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、例えば図６に示すように、切削ブレード２１の歯２１２の先端である歯先２１５（図２参照）が溝３１５に進入するときには小さくなり、切削ブレード２１の歯２１２の根元である歯元２１６（図２参照）が溝３１５に進入するときには大きくなり、時間経過に従って歯２１２による周期的な凹凸状の変動を示すものとなる。なお、図６に示すグラフでは、判定部３３が切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら光電変換部３２から出力電圧を取得しているため、出力電圧が所定時間毎に平均化されて歯２１２による凹凸状の変動量が小さく抑制される。 In this embodiment, since the cutting blade 21 is a serrated metal saw, the output voltage obtained by the determination unit 33 from the photoelectric conversion unit 32 while rotating the undamaged cutting blade 21 at a predetermined rotation speed is, for example, as shown in FIG. 6, the tooth tip 215 (see FIG. 2), which is the tip of the tooth 212 of the cutting blade 21, becomes smaller when entering the groove 315, and the tooth root 216 (see FIG. 2), which is the root of the tooth 212 of the cutting blade 21. ) enters the groove 315 , and exhibits a periodic irregular variation due to the teeth 212 over time. Note that in the graph shown in FIG. 6, the determination unit 33 acquires the output voltage from the photoelectric conversion unit 32 while rotating the cutting blade 21 at a predetermined rotational speed, so the output voltage is averaged every predetermined time. The amount of unevenness variation due to the teeth 212 is suppressed to be small.

一方、切削ブレード２１が破損している場合、すなわち、切削ブレード２１の刃先の外縁に欠けが発生している場合には、切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、例えば図７に示すように、欠けの大きさに応じて、切削ブレード２１の欠けが発生している部分が溝３１５に進入しているとき（図７の時間Ｔ１）に、スパイク状に増加する。例えば切削ブレード２１の歯２１２が１個分欠けた場合、判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、図７に示すように、歯２１２による周期的な凹凸の１個分増加する。なお、図７に示すグラフでは、出力電圧が所定時間毎に平均化されて歯２１２による凹凸状の変動量が小さく抑制されることにより、破損によるスパイク状の増加信号４００が凹凸状の変動に対して浮き上がる。判定部３３は、光電変換部３２から取得する出力電圧に基づいてスパイク状の増加信号４００の有無を判定することにより、切削ブレード２１の破損の有無を判定できる。 On the other hand, when the cutting blade 21 is damaged, that is, when the outer edge of the cutting edge of the cutting blade 21 is chipped, the determination unit 33 performs photoelectric conversion while rotating the cutting blade 21 at a predetermined rotational speed. For example, as shown in FIG. 7, the output voltage obtained from the unit 32 is determined according to the size of the chipping when the chipped portion of the cutting blade 21 enters the groove 315 (the time period shown in FIG. 7). At T1), there is a spike-like increase. For example, when one tooth 212 of the cutting blade 21 is chipped, the output voltage obtained by the determination unit 33 from the photoelectric conversion unit 32 increases by one periodic unevenness due to the tooth 212, as shown in FIG. . Note that in the graph shown in FIG. 7, the output voltage is averaged for each predetermined period of time, and the amount of uneven variation caused by the teeth 212 is suppressed to be small. float against. The determination unit 33 can determine whether or not the cutting blade 21 is damaged by determining whether or not the spike-like increase signal 400 is present based on the output voltage acquired from the photoelectric conversion unit 32 .

基準値記憶部３３１は、光電変換部３２に設定する出力電圧の所定の基準値（本実施形態では、例えば３Ｖ）を記憶する。判定部３３は、切削ブレード２１を回転させながら、昇降部３１４により検知部３１を昇降移動させて切削ブレード２１の径方向に進退させることにより、切削ブレード２１の刃先の上端側の進入位置を徐々に変動させながら、光電変換部３２から取得する出力電圧の所定時間毎の平均値と基準値記憶部３３１が記憶する所定の基準値とを比較し、光電変換部３２から取得する出力電圧の所定時間毎の平均値が当該基準値に達したときの検知部３１の昇降方向の位置を、切削ブレード２１の破損の有無を判定する際の検知部３１の測定位置に調整する。 The reference value storage unit 331 stores a predetermined reference value (eg, 3 V in this embodiment) of the output voltage to be set in the photoelectric conversion unit 32 . While rotating the cutting blade 21 , the determination unit 33 moves the detection unit 31 up and down by the elevating unit 314 to advance and retreat in the radial direction of the cutting blade 21 , thereby gradually adjusting the entry position of the upper end side of the tip of the cutting blade 21 . , the output voltage obtained from the photoelectric conversion unit 32 is compared with the predetermined reference value stored in the reference value storage unit 331 for each predetermined time, and the output voltage obtained from the photoelectric conversion unit 32 is compared with the predetermined reference value. The vertical position of the detection unit 31 when the average value for each time reaches the reference value is adjusted to the measurement position of the detection unit 31 when determining whether or not the cutting blade 21 is damaged.

なお、この判定部３３が検知部３１の測定位置を調整するときの切削ブレード２１の回転は、オペレータにより手動で所定の回転数（３０～３００ｒｐｍ（rotations per minute、１分間の回転数））で空転させることにより実行してもよいし、スピンドル２２を所定の回転数、例えば被加工物１００を加工する際の加工条件に準じる回転数（５０００～３００００ｒｐｍ）で回転駆動することにより実行してもよい。 The rotation of the cutting blade 21 when the determination unit 33 adjusts the measurement position of the detection unit 31 is manually performed by the operator at a predetermined number of rotations (30 to 300 rpm (rotations per minute)). It may be executed by idling, or by rotating the spindle 22 at a predetermined number of revolutions, for example, at a number of revolutions (5000 to 30000 rpm) according to the processing conditions when the workpiece 100 is processed. good.

検知部３１が測定位置に調整されると、受光部３１３が受光する光の受光量は、所定範囲になる。この所定範囲は、上記の所定光量に、所定時間毎に平均化されて小さく抑制された歯２１２による凹凸状の変動量を加算又は減算して求められる範囲である。また、検知部３１が測定位置に調整されると、判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、基準値記憶部３３１で記憶する所定の基準値に、所定時間毎に平均化されて小さく抑制された歯２１２による凹凸状の変動量を加算又は減算して求められる範囲になる。 When the detection unit 31 is adjusted to the measurement position, the amount of light received by the light receiving unit 313 falls within a predetermined range. This predetermined range is a range obtained by adding or subtracting, to or from the predetermined amount of light, the variation amount of unevenness caused by the tooth 212, which is averaged for each predetermined time period and suppressed to be small. Further, when the detection unit 31 is adjusted to the measurement position, the output voltage acquired by the determination unit 33 from the photoelectric conversion unit 32 is averaged to a predetermined reference value stored in the reference value storage unit 331 every predetermined time. It becomes the range obtained by adding or subtracting the variation amount of unevenness caused by the tooth 212 that is suppressed to be small.

閾値記憶部３３２は、切削ブレード２１の破損の有無を判定するための閾値（本実施形態では、例えば０．１～０．５Ｖ）を記憶する。判定部３３は、検知部３１を測定位置に調整した後に、スピンドル２２により切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら、光電変換部３２から所定時間毎の出力電圧の平均値を取得し、所定時間毎の出力電圧の平均値が、閾値記憶部３３２が記憶する閾値を超えて変動したか否かを判定し、この判定に基づいて破損によるスパイク状の増加信号４００の有無を判定し、これにより切削ブレード２１の破損の有無を判定する。判定部３３は、所定時間毎の出力電圧の平均値が、閾値記憶部３３２が記憶する閾値を超えて変動した場合、破損によるスパイク状の増加信号４００が有ると判定し、切削ブレード２１に破損が有ると判定する。一方、判定部３３は、所定時間毎の出力電圧の平均値が、閾値記憶部３３２が記憶する閾値を超えて変動しなかった場合、破損によるスパイク状の増加信号４００が無いと判定し、切削ブレード２１に破損が無いと判定する。 The threshold storage unit 332 stores a threshold (for example, 0.1 to 0.5 V in this embodiment) for determining whether the cutting blade 21 is damaged. After adjusting the detection unit 31 to the measurement position, the determination unit 33 obtains the average value of the output voltage for each predetermined time from the photoelectric conversion unit 32 while rotating the cutting blade 21 at a predetermined rotational speed by the spindle 22, It is determined whether the average value of the output voltage for each predetermined time has changed beyond the threshold value stored in the threshold storage unit 332, and based on this determination, it is determined whether or not there is a spike-shaped increase signal 400 due to damage, Based on this, it is determined whether or not the cutting blade 21 is damaged. When the average value of the output voltage for each predetermined time fluctuates beyond the threshold value stored in the threshold storage unit 332, the determination unit 33 determines that there is a spike-like increase signal 400 due to damage, and the cutting blade 21 is damaged. It is determined that there is On the other hand, when the average value of the output voltage for each predetermined time does not change beyond the threshold value stored in the threshold value storage unit 332, the determination unit 33 determines that there is no spike-like increase signal 400 due to damage, and cuts. It is determined that the blade 21 is not damaged.

制御ユニット５０は、本実施形態では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット５０が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット５０の演算処理装置は、制御ユニット５０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、制御ユニット５０の入出力インターフェース装置を介して切削装置１の各構成要素に出力する。 Control unit 50 includes a computer system in this embodiment. The computer system including the control unit 50 includes an arithmetic processing unit having a microprocessor such as a CPU (Central Processing Unit), a storage device having a memory such as ROM (Read Only Memory) or RAM (Random Access Memory), and an input/output interface device. The arithmetic processing device of the control unit 50 performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device of the control unit 50, and outputs control signals for controlling the cutting device 1 to the input/output interface device of the control unit 50. to each component of the cutting device 1 via.

制御ユニット５０が有する光電変換部３２、判定部３３及び開閉指示部５１の各機能は、本実施形態では、制御ユニット５０が含むコンピュータシステムの演算処理装置が、制御ユニット５０が含むコンピュータシステムの記憶装置に記憶されたコンピュータプログラムを実行することにより実現される。制御ユニット５０の判定部３３が有する基準値記憶部３３１及び閾値記憶部３３２は、制御ユニット５０が含むコンピュータシステムの記憶装置により実現される。 Each function of the photoelectric conversion section 32, the determination section 33, and the opening/closing instruction section 51 included in the control unit 50 is performed by an arithmetic processing unit of the computer system included in the control unit 50 in the present embodiment. It is implemented by executing a computer program stored in the device. The reference value storage section 331 and the threshold storage section 332 included in the determination section 33 of the control unit 50 are implemented by a storage device of the computer system included in the control unit 50 .

切削装置１は、図１に示すように、さらに、カセット載置台８１と、洗浄ユニット８２とを備える。カセット載置台８１は、複数の被加工物１００を収容するための収容器であるカセット８５を載置する載置台であり、載置されたカセット８５をＺ軸方向に昇降させる。洗浄ユニット８２は、切削加工後の被加工物１００を洗浄し、被加工物１００に付着した切削屑等の異物を除去する。被加工物１００は、チャックテーブル１０と、洗浄ユニット８２と、カセット８５とのそれぞれの間で、不図示の搬送ユニットにより搬送される。 The cutting device 1 further includes a cassette mounting table 81 and a cleaning unit 82, as shown in FIG. The cassette mounting table 81 is a mounting table for mounting a cassette 85, which is a container for containing a plurality of workpieces 100, and raises and lowers the mounted cassette 85 in the Z-axis direction. The cleaning unit 82 cleans the workpiece 100 after cutting, and removes foreign matter such as shavings adhering to the workpiece 100 . The workpiece 100 is transported by a transport unit (not shown) between the chuck table 10, the cleaning unit 82, and the cassette 85, respectively.

切削装置１は、さらに、不図示の表示ユニットを備えていてもよく、また、不図示の表示ユニットを備える情報機器と有線又は無線で情報通信可能に接続されていてもよい。表示ユニットは、切削装置１の切削加工処理に関する画面や、判定部３３による切削ブレード２１の破損の有無の判定結果に関する画面を表示する。表示ユニットは、液晶表示装置等により構成される。表示ユニットは、オペレータが切削装置１の切削加工処理に関する情報等を入力する際に使用する入力ユニットが設けられている。表示ユニットに設けられた入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。 The cutting apparatus 1 may further include a display unit (not shown), and may be connected to an information device including the display unit (not shown) by wire or wirelessly so that information communication is possible. The display unit displays a screen relating to the cutting processing of the cutting device 1 and a screen relating to the determination result of whether or not the cutting blade 21 is damaged by the determination unit 33 . The display unit is configured by a liquid crystal display device or the like. The display unit is provided with an input unit used when the operator inputs information about the cutting processing of the cutting device 1 and the like. The input unit provided in the display unit is composed of at least one of a touch panel provided in the display unit and a keyboard or the like.

次に、本明細書は、実施形態に係る切削ブレードの管理方法の処理を、図面を用いて説明する。図８は、実施形態に係る切削ブレードの管理方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。実施形態に係る切削ブレードの管理方法は、切削装置１により実施され、図８に示すように、検知部位置調整ステップ１００１と、切削ステップ１００２とを有する。 Next, in this specification, the processing of the cutting blade management method according to the embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a flowchart showing an example of a processing procedure of a cutting blade management method according to the embodiment. The cutting blade management method according to the embodiment is carried out by the cutting device 1 and has a detection unit position adjustment step 1001 and a cutting step 1002 as shown in FIG.

検知部位置調整ステップ１００１は、受光部３１３が受光する光が切削ブレード２１により部分的に遮られて、受光部３１３が受光する光の受光量が所定範囲になる測定位置に検知部３１を配置するステップである。検知部位置調整ステップ１００１では、具体的には、判定部３３は、切削ブレード２１を回転させた状態で、昇降部３１４により検知部３１を昇降移動させて切削ブレード２１の径方向に進退させることにより、切削ブレード２１の刃先の上端側の進入位置を徐々に変動させながら、光電変換部３２から受光部３１３が受光する光の受光量に基づいて取得する出力電圧の所定時間毎の平均値と基準値記憶部３３１が記憶する所定の基準値とを比較し、光電変換部３２から取得する出力電圧の所定時間毎の平均値が当該基準値に達したときの検知部３１の昇降方向の位置を、切削ブレード２１の破損の有無を判定する際の検知部３１の測定位置に調整する。 In the detection unit position adjustment step 1001, the light received by the light receiving unit 313 is partially blocked by the cutting blade 21, and the amount of light received by the light receiving unit 313 is within a predetermined range. It is a step to Specifically, in the detection unit position adjustment step 1001 , the determination unit 33 moves the detection unit 31 up and down by the elevating unit 314 while rotating the cutting blade 21 to advance and retreat in the radial direction of the cutting blade 21 . By gradually changing the approach position on the upper end side of the cutting edge of the cutting blade 21, the average value of the output voltage for each predetermined time acquired based on the amount of light received by the light receiving unit 313 from the photoelectric conversion unit 32 and A position in the vertical direction of the detection unit 31 when the average value of the output voltage obtained from the photoelectric conversion unit 32 for each predetermined time reaches the reference value by comparing with a predetermined reference value stored in the reference value storage unit 331 is adjusted to the measurement position of the detection unit 31 when determining whether or not the cutting blade 21 is damaged.

切削ステップ１００２は、検知部位置調整ステップ１００１で検知部３１を測定位置に調整した後に、受光部３１３が受光する光の所定時間毎の受光量の平均値の変動から切削ブレード２１の破損の有無を判定しながら、被加工物１００を切削ブレード２１で切削するステップである。切削ステップ１００２では、具体的には、判定部３３は、スピンドル２２により切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら、光電変換部３２から所定時間毎の出力電圧の平均値を取得し、この所定時間毎の出力電圧の平均値が閾値記憶部３３２で記憶する閾値を超えて変動したか否かに基づいて切削ブレード２１の破損の有無を判定する。切削ステップ１００２では、また、この判定部３３による判定処理と合わせて、制御ユニット５０は、Ｘ軸移動ユニット４１、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３により、スピンドル２２により回転中の切削ブレード２１をチャックテーブル１０に保持された被加工物１００に対して分割予定ライン１０２に沿って相対的に移動させることにより、被加工物１００を切削加工して分割予定ライン１０２に沿って切削溝を形成する。 In the cutting step 1002, after the detection unit 31 is adjusted to the measurement position in the detection unit position adjustment step 1001, the presence or absence of breakage of the cutting blade 21 is determined from fluctuations in the average amount of light received by the light receiving unit 313 for each predetermined time. This is a step of cutting the workpiece 100 with the cutting blade 21 while determining . Specifically, in the cutting step 1002, the determining unit 33 acquires an average value of the output voltage for each predetermined time from the photoelectric conversion unit 32 while rotating the cutting blade 21 by the spindle 22 at a predetermined rotational speed. Whether or not the cutting blade 21 is damaged is determined based on whether or not the average value of the output voltage for each predetermined time has fluctuated beyond the threshold stored in the threshold storage unit 332 . In the cutting step 1002 , together with the determination processing by the determination unit 33 , the control unit 50 causes the X-axis movement unit 41 , the Y-axis movement unit 42 and the Z-axis movement unit 43 to move the cutting blade rotating by the spindle 22 . 21 is moved relative to the workpiece 100 held on the chuck table 10 along the dividing line 102 to cut the workpiece 100 to form cutting grooves along the dividing line 102. Form.

切削ステップ１００２では、制御ユニット５０は、判定部３３が切削ブレード２１に破損が無いと判定した場合、切削ブレード２１による被加工物１００の切削加工処理を継続し、判定部３３が切削ブレード２１に破損が有ると判定した場合、切削ブレード２１による被加工物１００の切削加工処理を中止する。 In the cutting step 1002, when the determination unit 33 determines that the cutting blade 21 is not damaged, the control unit 50 continues the cutting processing of the workpiece 100 by the cutting blade 21, and the determination unit 33 determines that the cutting blade 21 When it is determined that there is damage, the cutting processing of the workpiece 100 by the cutting blade 21 is stopped.

以上のような構成を有する実施形態に係る切削ブレードの管理方法は、判定部３３が、切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら、光電変換部３２から取得した所定時間毎の出力電圧の平均値に基づいて、切削ブレード２１の破損の有無を判定する際の検知部３１の測定位置を調整し、光電変換部３２から取得した所定時間毎の出力電圧の平均値が、所定の閾値を超えて変動したか否かに基づいて切削ブレード２１の破損の有無を判定する。このため、実施形態に係る切削ブレードの管理方法は、切削ブレード２１の回転により鋸刃状のメタルソーの歯２１２による受光量や出力電圧の凹凸状の変動量を抑制することにより、歯２１２が形成された鋸刃状のメタルソーの破損を自動的に検出できるという作用効果を奏する。 In the cutting blade management method according to the embodiment having the configuration described above, the determination unit 33 rotates the cutting blade 21 at a predetermined rotational speed, and determines the output voltage obtained from the photoelectric conversion unit 32 at predetermined time intervals. Based on the average value, the measurement position of the detection unit 31 when determining the presence or absence of damage to the cutting blade 21 is adjusted, and the average value of the output voltage for each predetermined time acquired from the photoelectric conversion unit 32 exceeds the predetermined threshold value. Whether or not the cutting blade 21 is damaged is determined based on whether or not it has fluctuated beyond. For this reason, the cutting blade management method according to the embodiment suppresses the amount of light received by the teeth 212 of the serrated metal saw and the amount of uneven variation in the output voltage due to the rotation of the cutting blade 21, so that the teeth 212 are formed. It is possible to automatically detect the breakage of the serrated metal saw.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiments. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

１切削装置
１０チャックテーブル
２０切削ユニット
２１切削ブレード
２２スピンドル
３０破損検出ユニット
３１検知部
３２光電変換部
３３判定部
１００被加工物
３１２発光部
３１３受光部 Reference Signs List 1 cutting device 10 chuck table 20 cutting unit 21 cutting blade 22 spindle 30 breakage detection unit 31 detection unit 32 photoelectric conversion unit 33 determination unit 100 workpiece 312 light emitting unit 313 light receiving unit

Claims

Cutting comprising a chuck table holding a workpiece, a cutting unit including a spindle on which a cutting blade for cutting the workpiece held by the chuck table is mounted, and a breakage detection unit for detecting breakage of the cutting blade A cutting blade management method for managing a cutting blade having a serrated edge shape using a device,
The damage detection unit includes a detection section having a light emitting section and a light receiving section facing each other across a gap into which the cutting blade enters, and a photoelectric conversion section that outputs an electric signal having a value corresponding to the amount of light incident on the light receiving section. and a determination unit that determines breakage of the cutting blade from fluctuations in the electrical signal,
The detection unit is advanced and retracted in the radial direction of the cutting blade, and the detection unit is moved to a measurement position where the light received by the light receiving unit is partially blocked by the cutting edge of the rotating cutting blade and the amount of light received is within a predetermined range. a detection unit position adjustment step for arranging the
a cutting step of cutting a workpiece with the cutting blade while judging whether or not the cutting blade is damaged from fluctuations in the average value of the amount of received light for each predetermined time. Method.