JP2022127381A5 - - Google Patents

Description

また、回転軸１１は、第１軸受５３、第２軸受２２及び第３軸受２３を介して、第１シールド部材５１（第１支持体）、ベース２１の左側壁部２１１（第２支持体）及び右側壁部２１２（第３支持体）に、回転自在に取り付けられ、第１軸受５３は、滑り軸受であり、第２軸受２２及び前記第３軸受２３は、転がり軸受である。第２軸受２２及び第３軸受２３が転がり軸受であることにより、可動対象物が装着された回転軸１１を、２か所の転がり軸受で安定して保持することができ、回転往復駆動アクチュエーター１としての耐久性に関して信頼性の向上を図ることができる。また、第１軸受５３が滑り軸受であることにより、減衰部として機能し、駆動音（可動部１０の共振音）を抑制することができる。なお、駆動性能の安定性の観点からは、第１軸受５３、第２軸受２２及び第３軸受２３を、すべて転がり軸受としてもよい。

Claims (8)

1. 可動対象物が配置される回転軸を含む可動部と、
   前記回転軸を支持する固定部と、
   前記固定部に配置されるコイル及びコア、並びに前記回転軸に配置されるマグネットを有し、電磁相互作用を利用して前記固定部に対して前記回転軸を軸中心に回転させる駆動部と、
   を備える回転往復駆動アクチュエーターであって、
   前記マグネットは、外周面においてＳ極及びＮ極が周方向に交互に配置されているリング型マグネットであり、
   前記コアは、前記コイルへの通電により励磁され極性を生じる磁極部を有し、前記回転軸を前記固定部に取り付けたときに、前記磁極部と前記マグネットの前記外周面とがエアギャップを介して対向するように配置され、
   前記マグネットの磁極の数と前記磁極部の数は等しく、
   前記マグネットとエアギャップを介して対向するように前記固定部に配置され、前記マグネットとの間で生じる磁気吸引力により前記回転軸の回転角度位置を中立位置に保持する回転角度位置保持部をさらに備え、
   前記固定部は、軸方向において前記マグネットを挟んで対向して配置される第１支持体及び第２支持体と、前記第２支持体と前記可動対象物を挟んで対向して配置される第３支持体と、を有し、
   前記回転軸は、前記第１支持体、前記第２支持体及び前記第３支持体の３か所で、回転自在に支持されている、
   回転往復駆動アクチュエーター。
2. 前記回転軸は、第１軸受、第２軸受及び第３軸受を介して、前記第１支持体、前記第２支持体及び前記第３支持体に、回転自在に取り付けられ、
   前記第１軸受は、滑り軸受であり、
   前記第２軸受及び前記第３軸受は、転がり軸受である、
   請求項１に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
3. 前記回転軸は、第１軸受、第２軸受及び第３軸受を介して、前記第１支持体、前記第２支持体及び前記第３支持体に、回転自在に取り付けられ、
   前記第１軸受、前記第２軸受及び前記第３軸受は、転がり軸受である、
   請求項１に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
4. 前記マグネットは、２極マグネットであり、
   前記マグネットの２つの磁極切替部は、前記マグネットが前記中立位置で保持されているとき、前記磁極部と正対する、
   請求項１から３のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
5. 前記コア及び前記コイルを含むコアユニットの軸方向における少なくとも一方の側に、電気伝導材からなるシールド部材が配置されている、
   請求項１から４のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
6. 前記第１支持体は、前記シールド部材で構成される、
   請求項５に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
7. 前記シールド部材は、アルミ合金で形成される、
   請求項５又は６に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
8. 前記可動対象物は、走査光を反射するミラーである、
   請求項１から７のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。