JP2022124066A - 光検出装置及び電子機器 - Google Patents

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Abstract

Figure 2022124066000001
【課題】 より画質の高い画像を得られる光検出装置を提供する。
【解決手段】 ２次元アレイ状に配置された複数のカラーフィルタと、カラーフィルタを透過した光が入射する光電変換部を複数有する基板とを備えるようにした。そして、２次元アレイ（カラーフィルタアレイ）の中央部よりも外側に存在するカラーフィルタ（外側カラーフィルタ）は、中央部に存在するカラーフィルタ（中央部カラーフィルタ）に対して、相対的に中央部側に傾くように、基板の受光面となす角度が、基板の受光面と中央部カラーフィルタとがなす角度と異なっている構成とした。
【選択図】図６

Description

本開示は、光検出装置及び電子機器に関する。
従来、多層膜干渉によって発現する構造色を利用した多層膜型のカラーフィルタが提案されている（例えば、非特許文献１参照。）。非特許文献１に記載のカラーフィルタでは、多層膜を構成する膜の厚さを変えることで、透過する光の波長を変化させている。
Amir Ghobadi, Hodjat Hajian, Murat Gokbayrak, Bayram Butun and Ekmel Ozbay, "Bismuth-based metamaterials: from narrowband reflective color filter to extremely broadband near perfect absorber", Nanophotonics, Volume 8, Issue 5, id.217, (米), De Gruyter, 2019, p.655-683
しかしながら、非特許文献１に記載のカラーフィルタでは、入射光が斜めに入射されると、多層膜内における入射光の光路長が長くなるため、分光特性が変化する可能性があった。それゆえ、光検出装置に適用した場合、例えば、入射光が斜めに入射される高像高側において、カラーフィルタで分光が適切に行われず、混色等の不具合を生じる可能性があった。そのため、光検出装置で得られる画像の画質が低下する可能性があった。
また、同様の課題は、他の型式のカラーフィルタでも生じる可能性があった。
本開示は、より画質の高い画像を得られる光検出装置及び電子機器を提供することを目的とする。
本開示の光検出装置は、（ａ）２次元アレイ状に配置され、所定の波長の光を透過させる複数のカラーフィルタと、（ｂ）カラーフィルタを透過した光が入射する光電変換部を複数有する基板とを備え、（ｃ）２次元アレイの中央部よりも外側に存在するカラーフィルタである外側カラーフィルタは、中央部に存在するカラーフィルタである中央部カラーフィルタに対して、相対的に中央部側に傾くように、基板の受光面となす角度が、基板の受光面と中央部カラーフィルタとがなす角度と異なっている。
本開示の電子機器は、（ａ）２次元アレイ状に配置され、所定の波長の光を透過させる複数のカラーフィルタ、（ｂ）及びカラーフィルタを透過した光が入射する光電変換部を複数有する基板を備え、（ｃ）２次元アレイの中央部よりも外側に存在するカラーフィルタである外側カラーフィルタは、中央部に存在するカラーフィルタである中央部カラーフィルタに対して、相対的に中央部側に傾くように、基板の受光面となす角度が、基板の受光面と中央部カラーフィルタとがなす角度と異なっている光検出装置を備える。
第１の実施形態に係る固体撮像装置の全体構成を示す図である。 図１のＡ－Ａ線で破断して固体撮像装置の断面構成を示す図である。 多層膜の断面構成を示す図である。 ナノ構造体の断面構成を示す図である。 着色樹脂膜の断面構成を示す図である。 固体撮像装置の各部の断面構成を示す図である。 カラーフィルタ層の形成工程の流れを示す図である。 カラーフィルタ層の形成工程の流れを示す図である。 第２の実施形態に係る固体撮像装置の各部の断面構成を示す図である。 変形例に係る固体撮像装置の各部の断面構成を示す図である。 マイクロレンズ層の形成工程の流れを示す図である。 マイクロレンズ層の形成工程の流れを示す図である。 第３の実施形態に係る固体撮像装置の各部の断面構成を示す図である。 第４の実施形態に係る固体撮像装置の各部の断面構成を示す図である。 変形例に係る固体撮像装置の断面構成を示す図である。 変形例に係る固体撮像装置の断面構成を示す図である。 変形例に係る固体撮像装置の断面構成を示す図である。 電子機器の概略構成を示す図である。
以下に、本開示の実施形態に係る光検出装置及び電子機器の一例を、図１～図１６を参照しながら説明する。本開示の実施形態は以下の順序で説明する。なお、本開示は以下の例に限定されるものではない。また、本明細書に記載された効果は例示であって限定されるものではなく、また他の効果があってもよい。
１．第１の実施形態：固体撮像装置
１－１ 固体撮像装置の全体の構成
１－２ 要部の構成
１－３ カラーフィルタ層の形成方法
２．第２の実施形態：固体撮像装置
２－１ 要部の構成
２－２ マイクロレンズ層の形成方法
３．第３の実施形態：固体撮像装置
４．第４の実施形態：固体撮像装置
５．変形例
６．電子機器への応用例
〈１．第１の実施形態：固体撮像装置〉
［１－１ 固体撮像装置の全体の構成］
本開示の第１の実施形態に係る固体撮像装置１（広義には「光検出装置」）について説明する。図１は、第１の実施形態に係る固体撮像装置１の全体を示す概略構成図である。
図１の固体撮像装置１は、裏面照射型のＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサである。図１６に示すように、固体撮像装置１（１００２）はレンズ群１００１を介して、被写体からの像光（入射光）を取り込み、撮像面上に結像された入射光の光量を画素単位で電気信号に変換して画素信号として出力する。
図１に示すように、固体撮像装置１は、基板２と、画素領域３と、垂直駆動回路４と、カラム信号処理回路５と、水平駆動回路６と、出力回路７と、制御回路８とを備えている。
画素領域３は、基板２上に、二次元アレイ状に規則的に配列された複数の画素９を有している。画素９は、図２に示した光電変換部２０と、複数の画素トランジスタ（不図示）とを有している。複数の画素トランジスタとしては、例えば、転送トランジスタ、リセットトランジスタ、選択トランジスタ、アンプトランジスタの４つのトランジスタを採用できる。また、例えば、選択トランジスタを除いた３つのトランジスタを採用してもよい。
垂直駆動回路４は、例えば、シフトレジスタによって構成され、所望の画素駆動配線１０を選択し、選択した画素駆動配線１０に画素９を駆動するためのパルスを供給し、各画素９を行単位で駆動する。即ち、垂直駆動回路４は、画素領域３の各画素９を行単位で順次垂直方向に選択走査し、各画素９の光電変換部２０において受光量に応じて生成した信号電荷に基づく画素信号を、垂直信号線１１を通してカラム信号処理回路５に供給する。
カラム信号処理回路５は、例えば、画素９の列毎に配置されており、１行分の画素９から出力される信号に対して画素列毎にノイズ除去等の信号処理を行う。例えばカラム信号処理回路５は画素固有の固定パターンノイズを除去するためのＣＤＳ(Correlated Double Sampling：相関２重サンプリング)及びＡＤ(Analog Digital)変換等の信号処理を行う。
水平駆動回路６は、例えば、シフトレジスタによって構成され、水平走査パルスをカラム信号処理回路５に順次出力して、カラム信号処理回路５の各々を順番に選択し、カラム信号処理回路５の各々から信号処理が行われた画素信号を水平信号線１２に出力させる。
出力回路７は、カラム信号処理回路５の各々から水平信号線１２を通して、順次に供給される画素信号に対し信号処理を行って出力する。信号処理としては、例えば、バファリング、黒レベル調整、列ばらつき補正、各種デジタル信号処理等を用いることができる。
制御回路８は、垂直同期信号、水平同期信号、及びマスタクロック信号に基づいて、垂直駆動回路４、カラム信号処理回路５、及び水平駆動回路６等の動作の基準となるクロック信号や制御信号を生成する。そして、制御回路８は、生成したクロック信号や制御信号を、垂直駆動回路４、カラム信号処理回路５、及び水平駆動回路６等に出力する。
［１－２ 要部の構成］
次に、図１の固体撮像装置１の詳細構造について説明する。図２は、図１のＡ－Ａ線で破断した場合の、固体撮像装置１の断面構成を示す図である。
図２に示すように、固体撮像装置１は、基板２、絶縁膜１３、遮光膜１４及び絶縁膜１５がこの順に積層されてなる受光層１６を備えている。また、受光層１６の絶縁膜１５側の面（以下、「裏面Ｓ１」とも呼ぶ）には、カラーフィルタ層１７が形成されている。なお、カラーフィルタ層１７の裏面Ｓ５には、反射防止膜（ＡＲＣ）を積層してもよい。さらに、受光層１６の基板２側の面（以下、「表面Ｓ２」とも呼ぶ）には、配線層１８及び支持基板１９がこの順に積層されている。なお、以下の記載では、絶縁膜１５の裏面についても「裏面Ｓ１」と表す。また、基板２の表面についても「表面Ｓ２」と表す。
基板２は、例えば、シリコン（Si）からなる半導体基板によって構成され、画素領域３を形成している。画素領域３には、光電変換部２０を含む複数の画素９が二次元アレイ状に配置されている。光電変換部２０のそれぞれは、基板２に埋設されてフォトダイオードを構成し、入射光２１の光量に応じた信号電荷を生成し、生成した信号電荷を蓄積する。
また、各光電変換部２０は、画素分離部２２によって物理的に分離されている。画素分離部２２は、各光電変換部２０を取り囲むように、格子状に形成されている。また、画素分離部２２の内部には、基板２の裏面Ｓ３側を覆う絶縁膜１３が埋め込まれている。
絶縁膜１３は、基板２の裏面Ｓ３側全体（受光面側全体）、及び画素分離部２２の内部を連続的に被覆している。絶縁膜１３の材料としては、例えば、絶縁物を用いることができる。具体的には、シリコン酸化物（SiO2）、シリコン窒化物（SiN）を採用できる。また、遮光膜１４は、隣接する画素９へ光が漏れ込まないように、絶縁膜１３の裏面Ｓ４側に、複数の光電変換部２０それぞれの受光面側を開口する格子状に形成されている。また、絶縁膜１５は、受光層１６の裏面Ｓ１がカラーフィルタ２４それぞれを適切な角度で支持する複数の傾斜面を有する凹凸構造２３となるように、遮光膜１４を含む絶縁膜１３の裏面Ｓ４側全体を連続的に被覆している。絶縁膜１５の材料としては、例えば、絶縁膜１３の材料と同様に、シリコン酸化物（SiO2）、シリコン窒化物（SiN）等を採用できる。
カラーフィルタ層１７は、絶縁膜１５の裏面Ｓ１側に形成され、画素９それぞれに対応して配置されたカラーフィルタ２４を複数有している。即ち、複数のカラーフィルタ２４は、２次元アレイ状に配置され、カラーフィルタアレイ２５（図１参照）を形成している。また、複数のカラーフィルタ２４には、互いに異なる波長の光（例えば、赤色光、緑色光、青色光）を透過させる複数種類のカラーフィルタが含まれている。これにより、複数のカラーフィルタ２４それぞれは、カラーフィルタ２４の種類毎に、所定の波長の光を透過し、透過した光を光電変換部２０に入射させる。カラーフィルタ２４の配列パターンとしては、例えば、ベイヤー配列を採用できる。また、カラーフィルタ２４の形状は、裏面Ｓ５と表面Ｓ６とが互いに平行な平面からなる平板状となっている。
カラーフィルタ２４としては、例えば、低屈折層と高屈折率層とが交互に積層された多層膜５０（図３参照）を含むフィルタ、カラーフィルタ２４が透過させる光の波長よりも小さい複数のナノ構造体５１（図４参照）を含むフィルタ、着色剤が分散された樹脂材料からなる着色樹脂膜５２（図５参照）を含むフィルタの単体又はこれらの組み合わせが挙げられる。多層膜５０を含むフィルタとしては、例えば、多層膜干渉を利用した構造色フィルタ（言い換えると、フォトニック液晶型のフィルタ。誘電体多層膜を含むフィルタ。）が挙げられる。多層膜５０は、図３に示すように、絶縁膜１５の裏面Ｓ１に、下部ミラー層５３、制御層５４、上部ミラー層５５がこの順に積層されて形成される。下部ミラー層５３には、絶縁膜１５の裏面Ｓ１側から、高屈折率層５６、低屈折率層５７、高屈折率層５８がこの順に積層される。また、上部ミラー層５５には、制御層５４側から、高屈折率層５９、低屈折率層６０及び高屈折率層６１がこの順に積層される。これにより、下部ミラー層５３及び上部ミラー層５５は、互いに反射面の対向したミラーとして機能する。
また、制御層５４は、低屈折率層６２によって形成され、下部ミラー層５３及び上部ミラー層５５の反射面で多重反射した光の干渉を行わせる。これにより、多層膜５０は、制御層５４の膜厚を変化させることで、異なる波長の光を透過させるカラーフィルタ２４（言い換えると、透過光のピーク波長位置の異なるカラーフィルタ２４。異なる分光特性を有するカラーフィルタ２４）を構成できる。低屈折率層５７、６２、６０の材料としては、低屈折率材料（例えば、シリコン酸化物(SiO2、屈折率1.45)）を採用できる。また、高屈折率層５６、５８、５９、６１の材料としては、低屈折率層５７、６２、６０よりも屈折率の高い高屈折率材料（例えば、チタン酸化物(TiO2、屈折率2.5)）を採用できる。これにより、多層膜５０では、入射光２１が斜めに入射され、制御層５４内における入射光２１の光路長が制御層５４の膜厚よりも長くなると、分光が適切に行われない。
また、複数のナノ構造体５１を含むフィルタとしては、例えば、導波モード共鳴又は表面プラズモン共鳴を利用した構造色フィルタ（メタマテリアル型のフィルタ）が挙げられる。導波モード共鳴を利用した構造色フィルタは、図４に示すように、回折格子を有する導波モード共鳴格子６３と、導波モード共鳴格子６３を被覆する絶縁層６４とを含んで形成される。導波モード共鳴格子６３は、回折格子を構成する各直線部が、カラーフィルタ２４が透過させる光の波長よりも線幅が小さいナノ構造体５１となっている。また、導波モード共鳴格子６３は、高屈折材層で形成される。また、絶縁層６４は、高屈折材層よりも屈折率の低い低屈折率材層で形成される。これにより、ナノ構造体５１は、回折格子のパターン周期を変化させることで、異なる波長の光を透過させるカラーフィルタ２４（言い換えると、透過光のピーク波長位置の異なるカラーフィルタ２４。異なる分光特性を有するカラーフィルタ２４）を構成できる。低屈折材層の材料としては、例えば、シリコン酸化物(SiO2、屈折率1.45)を採用できる。高屈折材層の材料としては、低屈折材層よりも屈折率の高い材料を採用できる。例えば、シリコン(Si、屈折率3.42)が挙げられる。これにより、ナノ構造体５１では、入射光２１が斜めに入射され、入射方向に沿った方向から見た場合の回折格子のパターン周期が狭くなると、分光が適切に行われない。
また、着色樹脂膜５２を含むフィルタとしては、例えば、カラーレジストからなるフィルタが挙げられる。着色樹脂膜５２が含む着色剤は、顔料又は染料で形成され、所定の波長の光（例えば赤色光）を透過させ、他の波長の光（例えば緑色光、青色光）を吸収する。これにより、着色樹脂膜５２は、着色剤を変えることで、異なる波長の光を透過させるカラーフィルタ２４（言い換えると、透過光のピーク波長位置の異なるカラーフィルタ２４。異なる分光特性を有するカラーフィルタ２４）を構成できる。このような構成であるため、着色樹脂膜５２では、入射光２１が斜めに入射され、着色樹脂膜５２内における入射光２１の光路長が着色樹脂膜５２の膜厚よりも長くなると、分光が適切に行われない。
また、図６に示すように、カラーフィルタアレイ２５の中央部に存在するカラーフィルタ２４（以下、「中央部カラーフィルタ２４c」とも呼ぶ）は、裏面Ｓ５（受光面）が基板２の裏面Ｓ３（受光面）と平行となるように配置されている。中央部カラーフィルタ２４cとしては、例えば、カラーフィルタアレイ２５の中心の１つのカラーフィルタ２４、カラーフィルタアレイ２５の中心でベイヤー配列された４つのカラーフィルタ２４、カラーフィルタアレイ２５の中心部から所定距離内の複数のカラーフィルタ２４を採用できる。
また、カラーフィルタアレイ２５の中央部よりも外側に存在するカラーフィルタ２４（以下、「外側カラーフィルタ２４o」とも呼ぶ）は、裏面Ｓ５（受光面）が中央部側に向くように配置されている。換言すると、外側カラーフィルタ２４oは、中央部カラーフィルタ２４cに対して、相対的にカラーフィルタアレイ２５の中央部側に傾いている、と言える。中央部カラーフィルタ２４cに対する外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角αにより、画素領域３の端部側（高像高側）において、斜めに入射される入射光２１とカラーフィルタ２４の裏面Ｓ５（受光面）とがなす角度γを９０°に近づけることができ、入射光２１の斜入射によるカラーフィルタ２４の特性悪化を防止できる。それゆえ、カラーフィルタ２４で分光が適切に行われ、混色等の不具合の発生を抑制できる。図６では、中央部カラーフィルタ２４cの表面Ｓ６（絶縁膜１５側の面）と外側カラーフィルタ２４oの表面Ｓ６（絶縁膜１５側の面）とがなす角度を「α」とした場合を例示している。
なお、第１の実施形態では、基板２の裏面Ｓ３（受光面）が平面であり、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と中央部カラーフィルタ２４cとがなす角度βcが０°であるため、中央部カラーフィルタ２４cに対する外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角αと、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と外側カラーフィルタ２４oとがなす角度βoとは同一（α＝βo）となる。それゆえ、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と外側カラーフィルタ２４oとがなす角度βoは、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と中央部カラーフィルタ２４cとがなす角度βcと異なっている、と言える。したがって、第１の実施形態に係る固体撮像装置１では、外側カラーフィルタ２４oは、中央部カラーフィルタ２４cに対して、相対的にカラーフィルタアレイ２５の中央部側に傾くように、基板２の裏面Ｓ３（受光面）となす角度βoが、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と中央部カラーフィルタ２４cとがなす角度βcと異なっている、と言える。図６では、中央部カラーフィルタ２４cの表面Ｓ６（絶縁膜１５側の面）と、基板２の裏面Ｓ３（具体的には、その中央部カラーフィルタ２４cに対応する光電変換部２０が存在する箇所の基板２の裏面Ｓ３）とがなす角度を「βc」とした場合を例示している。また外側カラーフィルタ２４cの表面Ｓ６（絶縁膜１５側の面）と、基板２の裏面Ｓ３（具体的には、その外側カラーフィルタ２４oに対応する光電変換部２０が存在する箇所の基板２の裏面Ｓ３）とがなす角度を「βo」とした場合を例示している。
また、中央部カラーフィルタ２４cに対する外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角α（以下、「外側カラーフィルタ２４oの傾斜角α」とも呼ぶ）は、例えば、外側カラーフィルタ２４o毎に、外側カラーフィルタ２４oに対応する画素９における主光線入射角（ＣＲＡ：Chief Ray Angle）と同一となるように設定する（α＝ＣＲＡ……（１））ことが好ましい。α＝ＣＲＡとすることにより、カラーフィルタ２４の裏面Ｓ５（受光面）に入射光２１が垂直に入射されるため、カラーフィルタ２４の斜入射特性が悪くても、混色等の不具合を生じずに済む。外側カラーフィルタ２４oそれぞれの傾斜角αをα＝ＣＲＡとした場合、カラーフィルタアレイ２５の中央部からの距離が遠いほど、主光線入射角ＣＲＡが大きくなるため、外側カラーフィルタ２４oの傾斜角αが大きくなる。換言すれば、カラーフィルタアレイ２５の中央部から遠い側に存在する外側カラーフィルタ２４oの、中央部カラーフィルタ２４cに対する相対的な傾斜角αは、中央部に近い側に存在する外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角αよりも大きくなっている、と言える。
配線層１８は、基板２の表面Ｓ２側に形成されており、層間絶縁膜２６と、層間絶縁膜２６を介して複数層に積層された配線２７とを含んで構成されている。そして、配線層１８は、複数層の配線２７を介して、各画素９を構成する画素トランジスタを駆動する。
支持基板１９は、配線層１８の基板２に面する側とは反対側の面に形成されている。支持基板１９は、固体撮像装置１の製造段階において、基板２の強度を確保するための基板である。支持基板１９の材料としては、例えば、シリコン(Si)を用いることができる。
以上の構成を有する固体撮像装置１では、カラーフィルタ２４の裏面Ｓ５側から像光（入射光２１）が照射され、照射された入射光２１の所定の波長域の光がカラーフィルタ２４を透過し、透過した光が光電変換部２０で光電変換されて、信号電荷が生成される。そして、生成された信号電荷が、基板２の表面Ｓ２側に形成された画素トランジスタを介して、配線２７で形成された図１に示した垂直信号線１１で画素信号として出力される。
［１－３ カラーフィルタ層の形成方法］
次に、固体撮像装置１におけるカラーフィルタ層１７の形成方法について説明する。
まず、図７Ａに示すように、基板２の裏面Ｓ３（受光面）に、絶縁膜１５の材料からなる第１の材料膜２８を成膜する。第１の材料膜２８は、基板２及び遮光膜１４を連続的に覆う第１の層２８ａと、第１の層２８ａの受光面側に形成された第２の層２８ｂとの２層構成としてもよい。また、第１の層２８ａ及び第２の層２８ｂの材料は、同じ材料でもよいし、異なる材料でもよい。第１の材料膜２８の裏面Ｓ７は、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と平行な平坦面とする。続いて、グレースケールリソグラフィ技術により、第１の材料膜２８を裏面Ｓ７側からエッチバックして、図７Ｂに示すように、裏面Ｓ７に凹凸構造２３を有する絶縁膜１５を形成する。凹凸構造２３では、中央部カラーフィルタ２４cが形成される領域すべてを、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と平行な平坦面とし、また外側カラーフィルタ２４oが形成される領域それぞれを、中央部側に傾斜した傾斜面とする。
続いて、図６に示すように、絶縁膜１５の裏面Ｓ７に、平板状のカラーフィルタ２４を複数形成する。これにより、複数のカラーフィルタ２４のうちの、中央部カラーフィルタ２４cの裏面Ｓ５（受光面）は、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と平行となる。また、外側カラーフィルタ２４oの裏面Ｓ５（受光面）は、カラーフィルタアレイ２５の中央部側に向くように傾斜する。これにより、中央部カラーフィルタ２４cに対して、外側カラーフィルタ２４oが、相対的に中央部側に傾くように、基板２の裏面Ｓ３（受光面）に対する外側カラーフィルタ２４oの傾きが、基板２の裏面Ｓ３（受光面）に対する中央部カラーフィルタ２４cの傾きと異なっているカラーフィルタ層１７が得られる。
以上説明したように、第１の実施形態の固体撮像装置１では、カラーフィルタアレイ２５（２次元アレイ）の中央部よりも外側に存在するカラーフィルタ２４（外側カラーフィルタ２４o）は、中央部に存在するカラーフィルタ２４（中央部カラーフィルタ２４c）に対して、相対的に中央部側に傾くように、基板２の裏面Ｓ３（受光面）となす角度βoが、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と中央部カラーフィルタ２４cとがなす角度βcと異なっている。それゆえ、画素領域３の端部側（高像高側）において、斜めに入射される入射光２１とカラーフィルタ２４の裏面Ｓ５（受光面）とがなす角度γを９０°に近づけることができ、入射光２１の斜入射によるカラーフィルタ２４の特性悪化を防止できる。そのため、カラーフィルタ２４で分光がより適切に行われ、混色等の不具合の発生を抑制できる。そのため、より画質の高い画像を得られる固体撮像装置１を提供することができる。
また、入射光２１とカラーフィルタ２４の裏面Ｓ５（受光面）とがなす角度γを９０°に近づけることができるため、カラーフィルタ２４として、多層膜５０を含むフィルタや複数のナノ構造体５１を含むフィルタ等の、斜入射特性が悪い新材料・新構造のフィルタの採用に道を開くことができる。そして、新材料・新構造のフィルタを採用することにより、例えば、カラーフィルタ２４にマイクロレンズのような集光機能を持たせることができ、カラーフィルタ２４とマイクロレンズとを別々に形成する場合に比べ、固体撮像装置１の低背化を図ることができ。また、例えば、カラーフィルタ２４の半値幅を狭めることができ、狭い半値幅をもつマルチスペクトルセンサを実現することができる。
〈２．第２の実施形態：固体撮像装置〉
［２－１ 要部の構成］
次に、本開示の第２の実施形態に係る固体撮像装置１について説明する。第２の実施形態に係る固体撮像装置１の全体構成は、図１と同様であるから図示を省略する。図８は、第２の実施形態に係る固体撮像装置１の断面構成図である。図８において、図６に対応する部分には同一符号を付し重複説明を省略する。
第２の実施形態に係る固体撮像装置１は、図８に示すように、カラーフィルタ層１７の裏面Ｓ５側（受光面側）に、レンズ土台層２９及びマイクロレンズ層３０がこの順に積層されている点が、第１の実施形態に係る固体撮像装置１と異なっている。
レンズ土台層２９は、レンズ土台層２９の裏面Ｓ８が凹凸がない平坦面となるように、カラーフィルタ２４の裏面Ｓ５側全体を連続的に被覆している。レンズ土台層２９の材料としては、例えば、マイクロレンズ３１の材料と屈折率が同程度の材料を採用できる。例えば、シリコン酸化物（SiO2）、シリコン窒化物（SiN）が挙げられる。
マイクロレンズ層３０は、画素９それぞれに対応して配置された複数のマイクロレンズ３１を有している。即ち、複数のマイクロレンズ３１は、２次元アレイ状に配置され、マイクロレンズアレイを形成している。これにより、複数のマイクロレンズ３１のそれぞれは、入射光２１をカラーフィルタ２４を介して光電変換部２０内で集光させる。その際、カラーフィルタ２４は、そのカラーフィルタ２４に対応するマイクロレンズ３１で集光された入射光２１が含む所定の波長の光（赤色光、緑色光、青色光）を透過させる。
また、マイクロレンズ３１のそれぞれは、瞳補正がされた位置に配置されている。即ち、画素領域３の中央部から端部側に向かうに従って、平面視における、マイクロレンズ３１の中心部が、マイクロレンズ３１に対応する光電変換部２０の中心よりも、画素領域３の中心部側にずらされている。瞳補正された位置に配置することにより、画素領域３の端部側（高像高側）において、入射光２１が遮光膜１４にあたって遮られるケラレを抑制でき、入射光２１を光電変換部２０により適切に入射でき、画素９の感度を向上できる。
なお、マイクロレンズ３１が瞳補正がされた位置に配置される場合を例示したが、例えば、図９に示すように、マイクロレンズ３１の位置は瞳補正が行われていなくてもよい。
また、第２の実施形態では、中央部カラーフィルタ２４cに対する、外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角α（外側カラーフィルタ２４oの傾斜角α）は、下記（２）式で表される角度となっている。下記（２）式では、外側カラーフィルタ２４oの傾斜角αは、主光線入射角ＣＲＡ及びマイクロレンズ３１の屈折率ｎを用いて設定される。即ち、下記（２）式は、上述した（１）式に対して、空気とマイクロレンズ３１との界面で生じる光の屈折の影響を考慮した数式である。下記（２）式を用いて外側カラーフィルタ２４oの傾斜角αを設定することにより、空気とマイクロレンズ３１との界面で屈折した入射光２１が外側カラーフィルタ２４oの裏面Ｓ５（受光面）に垂直に入射され、外側カラーフィルタ２４oの斜入射特性が悪くても、混色等の不具合を生じずに済む。
α＝arcsin(sin(ＣＲＡ)/n) ………（２）
なお、上記（２）式は、カラーフィルタ２４の直上にマイクロレンズ３１以外の構造体がある場合にも採用できる。この場合、屈折率ｎとしては構造体の屈折率を用いる。
［２－２ マイクロレンズ層の形成方法］
次に、固体撮像装置１におけるマイクロレンズ層３０の形成方法について説明する。
まず、上記した図７Ａ、図７Ｂ及び図６の手順と同様の手順により、カラーフィルタ層１７を形成する。続いて、図１０Ａに示すように、カラーフィルタ層１７の裏面Ｓ５（受光面）に、レンズ土台層２９の材料からなり、一定の厚さを有する第２の材料膜３２を成膜する。これにより、第２の材料膜３２のうちの、中央部カラーフィルタ２４cの裏面Ｓ５に成膜された部分３２cは、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と平行となる。また外側カラーフィルタ２４oの裏面Ｓ５に成膜された部分３２oは中央部側に向くように傾斜する。
続いて、ＣＭＰ(Chemical Mechanical Polishing)技術により、第２の材料膜３２を裏面Ｓ９側から研磨して、図１０Ｂに示すように、裏面Ｓ８が平坦なレンズ土台層２９を形成する。続いて、図８に示すように、レンズ土台層２９の裏面Ｓ８にマイクロレンズ３１を複数形成する。これにりより、マイクロレンズ層３０が得られる。
〈３．第３の実施形態：固体撮像装置〉
次に、本開示の第３の実施形態に係る固体撮像装置１について説明する。第３の実施形態に係る固体撮像装置１の全体構成は、図１と同様であるから図示を省略する。図１１は、第３の実施形態に係る固体撮像装置１の断面構成図である。図１１において、図６に対応する部分には同一符号を付し重複説明を省略する。
第３の実施形態に係る固体撮像装置１は、図１１に示すように、同じ分光特性を有する外側カラーフィルタ２４o毎に、カラーフィルタアレイ２５の中央部から遠い側に存在する外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角αが、中央部に近い側に存在する外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角αよりも大きくなっている点が、第１の実施形態に係る固体撮像装置１と異なっている。図１１は、赤色光を透過する分光特性のカラーフィルタ２４（以下「赤色フィルタ２４r」とも呼ぶ）の断面と、緑色光を透過する分光特性のカラーフィルタ２４（以下「緑色フィルタ２４g」とも呼ぶ）の断面とを示している。
第３の実施形態では、中央部カラーフィルタ２４cに対する、外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角α（外側カラーフィルタ２４oの傾斜角α）は、下記（３）式で表される角度となっている。下記（３）式では、外側カラーフィルタ２４oの傾斜角αは、主光線入射角ＣＲＡ、及び同じ分光特性を有するカラーフィルタ２４毎に設定される補正係数ｋを用いて設定される。即ち、下記（３）式は、上述した（１）式に対して、カラーフィルタ２４毎の角度応答特性や斜入射特性を考慮した数式である。
α＝arcsin(sin(ＣＲＡ))×ｋ ………（３）
上記（３）式を用いて外側カラーフィルタ２４oの傾斜角αを設定することにより、赤色フィルタ２４ｒ、緑色フィルタ２４ｇ毎に、カラーフィルタアレイ２５の中央部からの距離が遠いほど、主光線入射角ＣＲＡが大きくなるため、外側カラーフィルタ２４oの傾斜角αが大きくなる。換言すれば、同じ分光特性を有する外側カラーフィルタ２４o毎に、カラーフィルタアレイ２５の中央部から遠い側に存在する外側カラーフィルタ２４oの、中央部カラーフィルタ２４cに対する相対的な傾斜角αは、中央部に近い側に存在する外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角αよりも大きくなっている、と言える。
なお、異なる分光特性を有する外側カラーフィルタ２４o間では、このような関係（カラーフィルタアレイ２５の中央部から遠い側に存在する外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角α＞中央部に近い側に存在する外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角α）は必ずしも成立しない。図１１では、カラーフィルタアレイ２５の中央部から遠い側に存在する緑色フィルタ２４gの傾斜角α＜中央部に近い側に存在する赤色フィルタ２４rの傾斜角α、となっている箇所（図１１の右側の部分）がある場合を例示している。
また、カラーフィルタ２４の裏面Ｓ５側（受光面側）にマイクロレンズ３１を備えない場合を例示したが、例えば、図８及び図９に示すように、マイクロレンズ３１を備える構成とした場合、外側カラーフィルタ２４oの傾斜角αは、下記（４）式で表される。
α＝arcsin(sin(ＣＲＡ)/n) ×ｋ ………（４）
〈４．第４の実施形態：固体撮像装置〉
次に、本開示の第４の実施形態に係る固体撮像装置１について説明する。第４の実施形態に係る固体撮像装置１の全体構成は、図１と同様であるから図示を省略する。図１２は、第４の実施形態に係る固体撮像装置１の断面構成図である。図１２において、図６に対応する部分には同一符号を付し重複説明を省略する。
第４の実施形態に係る固体撮像装置１は、図１２に示すように、基板２の中央部が配線層１８側（つまり、カラーフィルタ２４側と反対側）に窪むように湾曲している湾曲センサである点が、第１の実施形態に係る固体撮像装置１と異なっている。基板２の中央部の窪みの形状としては、例えば、固体撮像装置１上に撮像レンズを配置したカメラモジュールを構成した場合に、撮像レンズによって生成される被写体の結像面の湾曲に一致する曲面形状を採用できる。基板２の中央部をカラーフィルタ２４側と反対側に窪むように湾曲させたことにより、画素領域３の端部側（高像高側）において、像面湾曲収差による焦点のずれを抑制でき、画素領域３の中央部側の解像度と同等の解像度を得ることができる。
また、外側カラーフィルタ２４oは、第１の実施形態と同様に、中央部カラーフィルタ２４cに対して、相対的にカラーフィルタアレイ２５の中央部側に傾いている。また、基板２が湾曲されているが、第４の実施形態においても、基板２の裏面Ｓ３（受光面）に対して外側カラーフィルタ２４oそれぞれは、カラーフィルタアレイ２５の中央側に傾いている。即ち、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と外側カラーフィルタ２４oとがなす角度βoがβo＞０となっている。したがって、第４の実施形態に係る固体撮像装置１でも、外側カラーフィルタ２４oは、中央部カラーフィルタ２４cに対して、相対的にカラーフィルタアレイ２５の中央部側に傾くように、基板２の裏面Ｓ３（受光面）となす角度βoが、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と中央部カラーフィルタ２４cとがなす角度βcと異なっている、と言える。図１２では、中央部カラーフィルタ２４cの表面Ｓ６（絶縁膜１５側の面）と、基板２の裏面Ｓ３（具体的には、その中央部カラーフィルタ２４cに対応する光電変換部２０が存在する箇所の基板２の裏面Ｓ３）とがなす角度を「βc」とした場合を例示している。また外側カラーフィルタ２４cの表面Ｓ６（絶縁膜１５側の面）と、基板２の裏面Ｓ３（具体的には、その外側カラーフィルタ２４oに対応する光電変換部２０が存在する箇所の基板２の裏面Ｓ３）とがなす角度を「βo」とした場合を例示している。
〈５．変形例〉
（１）なお、第１～第４の実施形態では、中央部カラーフィルタ２４cに対する、外側カラーフィルタ２４oの相対的な傾斜角α（外側カラーフィルタ２４oの傾斜角α）を、カラーフィルタアレイ２５の中心部からの距離が遠いほど大きくする例を示したが、他の構成を採用することもできる。即ち、外側カラーフィルタ２４oのそれぞれに傾斜角αを個別に設定する例を示したが、他の構成としてもよい。例えば、カラーフィルタアレイ２５を中心部からの距離に応じて複数の領域に区分し、区分して得た各領域毎に、外側カラーフィルタ２４oの傾斜角αを一定値とし、その一定値を中心部から遠い領域ほど大きくする構成としてもよい。即ち、領域毎に傾斜角αを設定する構成としてもよい。
（２）また、第１～第４の実施形態では、外側カラーフィルタ２４oのすべてが、「外側カラーフィルタ２４oは、中央部カラーフィルタ２４cに対して、相対的にカラーフィルタアレイ２５の中央部側に傾くように、基板２の裏面Ｓ３（受光面）となす角度βoが、基板２の裏面Ｓ３（受光面）と中央部カラーフィルタ２４cとがなす角度βcと異なっている」、という条件を満たす例を示したが、他の構成を採用することもできる。例えば、外側カラーフィルタ２４oの少なくとも一部（例えば５０％～９０％）が上記条件を満たす構成とし、上記条件を満たさない外側カラーフィルタ２４oを含む構成としてもよい。
（３）また、第１～第４の実施形態では、基板２の裏面Ｓ３に対して、中央部カラーフィルタ２４cを平行とする例を示したが、他の構成を採用することもできる。例えば、基板２の裏面Ｓ３に対して、中央部カラーフィルタ２４cが傾いている構成としてもよい。
（４）また、第１～第４の実施形態では、カラーフィルタ２４の裏面Ｓ５と表面Ｓ６との両方を平面とする例を示したが、他の構成を採用することもできる。例えば、カラーフィルタ２４の裏面Ｓ５と表面Ｓ６との両方又は一方に凹凸構造を有する構成としてもよい。
（５）また、第１～第４の実施形態では、光電変換部２０の受光面の外周に沿って配置された遮光膜１４を形成する例を示したが、他の構成を採用することもできる。例えば図１３に示すように、遮光膜１４を省略した構成としてもよい。遮光膜１４を省略することにより、遮光膜１４で入射光２１が遮られず、画素領域３の端部側（高像高側）において、入射光２１の斜入射による量子効率ＱＥの低下を抑制でき、画素９の感度を向上できる。
（６）また、第１～第４の実施形態では、すべての画素９で１つの絶縁膜１５を共有する例を示したが、他の構成を採用することもできる。例えば、図１５に示すように、画素９毎に絶縁膜１５を設け、絶縁膜１５及びカラーフィルタ２４間に導波路壁部３３を配置して、絶縁膜１５及びカラーフィルタ２４をコアとし、導波路壁部３３をクラッドとする導波路を形成する構成としてもよい。導波路を形成することにより、画素領域３の端部側（高像高側）において、入射光２１の斜入射による、絶縁膜１５からの入射光２１の拡散を防止でき、画素９の感度を向上できる。導波路壁部３３としては、例えば絶縁膜１５の材料やカラーフィルタ２４の材料よりも屈折率が低い材料（低屈折率材料）を採用できる。
（７）また、第１～第４の実施形態では、外側カラーフィルタ２４oを光電変換部２０の真上に配置する例を示したが、他の構成を採用することもできる。例えば図１５に示すように、外側カラーフィルタ２４oを瞳補正がされた位置に配置する構成としてもよい。即ち、画素領域３の中央部から端部側に向かうに従って、平面視における、外側カラーフィルタ２４oの中心部が、外側カラーフィルタ２４oに対応する光電変換部２０の中心よりも画素領域３の中心部側にずらされている。瞳補正された位置に配置することにより、画素領域３の端部側（高像高側）において、入射光２１の斜入射による混色を抑制できる。
（８）また、本技術は、上述したイメージセンサとしての固体撮像装置の他、ＴｏＦ（Time of Flight）センサとも呼ばれる距離を測定する測距センサ等も含む光検出装置全般に適用することができる。測距センサは、物体に向かって照射光を発光し、その照射光が物体の表面で反射され返ってくる反射光を検出し、照射光が発光されてから反射光が受光されるまでの飛行時間に基づいて物体までの距離を算出するセンサである。この測距センサの受光画素構造として、上述した画素９の構造を採用することができる。
〈６．電子機器への応用例〉
本開示に係る技術（本技術）は、各種の電子機器に適用されてもよい。
図１６は、本開示を適用した電子機器としての撮像装置（ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ等）の概略的な構成の一例を示す図である。
図１６に示すように、撮像装置１０００は、レンズ群１００１と、固体撮像装置１００２（第１の実施形態に係る固体撮像装置１）と、ＤＳＰ(Digital Signal Processor)回路１００３と、フレームメモリ１００４と、モニタ１００５と、メモリ１００６とを備えている。ＤＳＰ回路１００３、フレームメモリ１００４、モニタ１００５及びメモリ１００６は、バスライン１００７を介して相互に接続されている。
レンズ群１００１は、被写体からの入射光（像光）を固体撮像装置１００２に導き、固体撮像装置１００２の受光面（画素領域）に結像させる。
固体撮像装置１００２は、上述した第１の実施の形態のＣＭＯＳイメージセンサからなる。固体撮像装置１００２は、レンズ群１００１によって受光面上に結像された入射光の光量を画素単位で電気信号に変換して画素信号としてＤＳＰ回路１００３に供給する。
ＤＳＰ回路１００３は、固体撮像装置１００２から供給される画素信号に対して所定の画像処理を行う。そして、ＤＳＰ回路１００３は、画像処理後の画像信号をフレーム単位でフレームメモリ１００４に供給し、フレームメモリ１００４に一時的に記憶させる。
モニタ１００５は、例えば、液晶パネルや、有機ＥＬ(Electro Luminescence)パネル等のパネル型表示装置からなる。モニタ１００５は、フレームメモリ１００４に一時的に記憶されたフレーム単位の画素信号に基づいて、被写体の画像（動画）を表示する。
メモリ１００６は、ＤＶＤ、フラッシュメモリ等からなる。メモリ１００６は、フレームメモリ１００４に一時的に記憶されたフレーム単位の画素信号を読み出して記録する。
なお、固体撮像装置１を適用できる電子機器としては、撮像装置１０００に限られるものではなく、他の電子機器にも適用することができる。また、固体撮像装置１００２として、第１の実施形態に係る固体撮像装置１を用いる構成としたが、他の構成としてもよい。例えば、第２～第４の実施形態に係る固体撮像装置１、第１～第４の実施形態の変形例に係る固体撮像装置１等、本技術を適用した他の光検出装置を用いる構成としてもよい。
なお、本技術は、以下のような構成も取ることができる。
（１）
２次元アレイ状に配置され、所定の波長の光を透過させる複数のカラーフィルタと、
前記カラーフィルタを透過した光が入射する光電変換部を複数有する基板とを備え、
前記２次元アレイの中央部よりも外側に存在する前記カラーフィルタである外側カラーフィルタは、前記中央部に存在する前記カラーフィルタである中央部カラーフィルタに対して、相対的に前記中央部側に傾くように、前記基板の受光面となす角度が、前記基板の受光面と前記中央部カラーフィルタとがなす角度と異なっている
光検出装置。
（２）
前記外側カラーフィルタのうちの、前記中央部から遠い側に存在する前記外側カラーフィルタの、前記中央部カラーフィルタに対する相対的な傾斜角は、前記中央部に近い側に存在する前記外側カラーフィルタの前記相対的な傾斜角よりも大きくなっている
前記（１）に記載の光検出装置。
（３）
同じ分光特性を有する前記外側カラーフィルタ毎に、前記中央部から遠い側に存在する前記外側カラーフィルタの前記相対的な傾斜角が、前記中央部に近い側に存在する前記外側カラーフィルタの前記相対的な傾斜角よりも大きくなっている
前記（１）又は（２）に記載の光検出装置。
（４）
前記カラーフィルタは、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された多層膜を有する
前記（１）から（３）の何れかに記載の光検出装置。
（５）
前記カラーフィルタは、該カラーフィルタが透過させる光の波長よりも小さい複数のナノ構造体を有する
前記（１）から（３）の何れかに記載の光検出装置。
（６）
前記カラーフィルタは、着色剤が分散された樹脂材料からなる
前記（１）から（３）の何れかに記載の光検出装置。
（７）
前記外側カラーフィルタは、瞳補正がされた位置に配置されている
前記（１）から（６）の何れかに記載の光検出装置。
（８）
２次元アレイ状に配置され、入射光を集光する複数のマイクロレンズを備え、
前記カラーフィルタは、該カラーフィルタに対応する前記マイクロレンズで集光された前記入射光が含む所定の波長の光を透過させる
前記（１）から（７）の何れかに記載の光検出装置。
（９）
前記基板は、中央部が前記カラーフィルタ側と反対側に窪むように湾曲している
前記（１）から（８）の何れかに記載の光検出装置。
（１０）
２次元アレイ状に配置され、所定の波長の光を透過させる複数のカラーフィルタ、及び前記カラーフィルタを透過した光が入射する光電変換部を複数有する基板とを備え、前記２次元アレイの中央部よりも外側に存在する前記カラーフィルタである外側カラーフィルタは、前記中央部に存在する前記カラーフィルタである中央部カラーフィルタに対して、相対的に前記中央部側に傾くように、前記基板の受光面となす角度が、前記基板の受光面と前記中央部カラーフィルタとがなす角度と異なっている光検出装置を備える
電子機器。
１…固体撮像装置、２…基板、３…画素領域、４…垂直駆動回路、５…カラム信号処理回路、６…水平駆動回路、７…出力回路、８…制御回路、９…画素、１０…画素駆動配線、１１…垂直信号線、１２…水平信号線、１３…絶縁膜、１４…遮光膜、１５…絶縁膜、１６…受光層、１７…カラーフィルタ層、１８…配線層、１９…支持基板、２０…光電変換部、２１…入射光、２２…画素分離部、２３…凹凸構造、２４…カラーフィルタ、２４c…中央部カラーフィルタ、２４o…外側カラーフィルタ、２４r…赤色フィルタ、２４g…緑色フィルタ、２５…カラーフィルタアレイ、２６…層間絶縁膜、２７…配線、２８…第１の材料膜、２８ａ…第１の層、２８ｂ…第２の層、２９…レンズ土台層、３０…マイクロレンズ層、３１…マイクロレンズ、３２…第２の材料膜、３２c、３２o…第２の材料膜の部分、３３…導波路壁部、５０…多層膜、５１…ナノ構造体、５２…着色樹脂膜、５３…下部ミラー層、５４…制御層、５５…上部ミラー層、５６…高屈折率層、５７…低屈折率層、５８…高屈折率層、５９…高屈折率層、６０…低屈折率層、６１…高屈折率層、６２…低屈折率層、６３…導波モード共鳴格子、６４…絶縁層、１０００…撮像装置

Claims (10)

  1. ２次元アレイ状に配置され、所定の波長の光を透過させる複数のカラーフィルタと、
    前記カラーフィルタを透過した光が入射する光電変換部を複数有する基板とを備え、
    前記２次元アレイの中央部よりも外側に存在する前記カラーフィルタである外側カラーフィルタは、前記中央部に存在する前記カラーフィルタである中央部カラーフィルタに対して、相対的に前記中央部側に傾くように、前記基板の受光面となす角度が、前記基板の受光面と前記中央部カラーフィルタとがなす角度と異なっている
    光検出装置。
  2. 前記外側カラーフィルタのうちの、前記中央部から遠い側に存在する前記外側カラーフィルタの、前記中央部カラーフィルタに対する相対的な傾斜角は、前記中央部に近い側に存在する前記外側カラーフィルタの前記相対的な傾斜角よりも大きくなっている
    請求項１に記載の光検出装置。
  3. 同じ分光特性を有する前記外側カラーフィルタ毎に、前記中央部から遠い側に存在する前記外側カラーフィルタの前記相対的な傾斜角が、前記中央部に近い側に存在する前記外側カラーフィルタの前記相対的な傾斜角よりも大きくなっている
    請求項２に記載の光検出装置。
  4. 前記カラーフィルタは、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された多層膜を有する
    請求項１に記載の光検出装置。
  5. 前記カラーフィルタは、該カラーフィルタが透過させる光の波長よりも小さい複数のナノ構造体を有する
    請求項１に記載の光検出装置。
  6. 前記カラーフィルタは、着色剤が分散された樹脂材料からなる
    請求項１に記載の光検出装置。
  7. 前記外側カラーフィルタは、瞳補正がされた位置に配置されている
    請求項１に記載の光検出装置。
  8. ２次元アレイ状に配置され、入射光を集光する複数のマイクロレンズを備え、
    前記カラーフィルタは、該カラーフィルタに対応する前記マイクロレンズで集光された前記入射光が含む所定の波長の光を透過させる
    請求項１に記載の光検出装置。
  9. 前記基板は、中央部が前記カラーフィルタ側と反対側に窪むように湾曲している
    請求項１に記載の光検出装置。
  10. ２次元アレイ状に配置され、所定の波長の光を透過させる複数のカラーフィルタ、及び前記カラーフィルタを透過した光が入射する光電変換部を複数有する基板とを備え、前記２次元アレイの中央部よりも外側に存在する前記カラーフィルタである外側カラーフィルタは、前記中央部に存在する前記カラーフィルタである中央部カラーフィルタに対して、相対的に前記中央部側に傾くように、前記基板の受光面となす角度が、前記基板の受光面と前記中央部カラーフィルタとがなす角度と異なっている光検出装置を備える
    電子機器。
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