JP2022123457A - X線管 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡易な構成で、X線画像異常や装置停止等の不具合を防止できるX線管を提供する。【解決手段】内部を真空に保持する真空外囲器と、真空外囲器内に設けて電子ビームを放出する陰極と、真空外囲器内に設けて陰極から放出する電子ビームが焦点面に入射してX線を放出する陽極ターゲットと、陽極ターゲトの焦点面から放出するX線を透過させるX線放射窓とを備えるX線管であって、X線放射窓は、窓材と、窓材の支持体とを備え、真空外囲器には支持体に接合する接合部が真空外囲器の外側に向けて突設して形成されており、支持体は、接合部の内周面を覆う覆い部を備えている。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、X線管に関する。
一般に、X線管は、内部を真空に保持する真空外囲器と、真空外囲器内に設けて電子ビームを放出する陰極と、真空外囲器内に設けて陰極から放出する電子ビームが焦点面に入射してX線を放出する陽極ターゲットと、陽極ターゲトの焦点面から放出するX線を透過させるX線放射窓とを備えている。
係るX線管では、陰極から放出された電子ビームは陽極ターゲットの焦点面に衝突した際に反跳電子が発生することが知られている。反跳電子はあらゆる方向に飛び出し、電界によってポテンシャルの低い方向に飛んでいく。一部の反跳電子は真空外囲器に衝突した際に二次電子を放出する。
これらの反跳電子や二次電子により、真空外囲器3の内面で帯電現象が発生し、真空外囲器3とX線放射窓の間で電位勾配が大きくなり放電が発生しやすくなるため、X線放射窓を通過して得たX線のX線画像異常や装置停止等の不具合が生じる場合がある。
これらの反跳電子や二次電子により、真空外囲器3の内面で帯電現象が発生し、真空外囲器3とX線放射窓の間で電位勾配が大きくなり放電が発生しやすくなるため、X線放射窓を通過して得たX線のX線画像異常や装置停止等の不具合が生じる場合がある。
このような不具合に対して、陽極ターゲットを覆うフード等を設けて、反跳電子や二次電子が真空外囲器の内面に向かうのを防止する技術が提案されている。
しかし、反跳電子や二次電子が真空外囲器の内面に向かうのを防止する従来の技術では、装置が複雑になるという問題があった。
本実施形態は、簡易な構成で、X線画像異常や装置停止等の不具合を防止できるX線管を提供する。
一実施形態は、内部を真空に保持する真空外囲器と、前記真空外囲器内に設けて電子ビームを放出する陰極と、前記真空外囲器内に設けて前記陰極から放出する前記電子ビームが焦点面に入射してX線を放出する陽極ターゲットと、前記陽極ターゲトの前記焦点面から放出する前記X線を透過させるX線放射窓とを備えるX線管であって、前記X線放射窓は、窓材と、前記窓材の支持体とを備え、前記真空外囲器には前記支持体に接合する接合部が前記真空外囲器の外側に向けて突設して形成されており、前記支持体は、前記接合部の内周面を覆う覆い部を備えているX線管である。
以下に、図面を参照しながら、一実施形態に係るX線管について詳細に説明する。なお、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。
図1に示すように、X線管1は、固定陽極X線管であり、内部を真空に保持する真空外囲器3と、真空外囲器3内に設けた陰極5と、陽極7と、X線放射窓9を備えている。
真空外囲器3は、ガラスやセラミックスなどの絶縁物で形成されている。
真空外囲器3は、ガラスやセラミックスなどの絶縁物で形成されている。
陰極5は、真空外囲器3内の一方側に配置されており、フィラメント11が設けられている。陰極5では、フィラメント11から電子ビーム13を、図1のX方向に向けて放出する。
陽極7は、陰極5に対向して、真空外囲器3内の他方側に配置されており、陽極ターゲット15が設けられている。陽極ターゲット15は、陰極5のフィラメント11から放出された電子ビーム13が焦点面に衝突して、図1のZ方向に向けてX線8を放出する。
陽極7は、陰極5に対向して、真空外囲器3内の他方側に配置されており、陽極ターゲット15が設けられている。陽極ターゲット15は、陰極5のフィラメント11から放出された電子ビーム13が焦点面に衝突して、図1のZ方向に向けてX線8を放出する。
X線放射窓9は、窓材17と、窓材17を支持する支持体19とから構成されている。
窓材17は、X線8の減衰が少ない材料、たとえばBe(ベリリウム)で形成され、また、厚さは数10μm~数100μmと薄く成形されている。窓材17は、真空外囲器3の内部の気密状態を保持しつつX線8を透過させる。
支持体19は、陽極7及び陰極5と絶縁されており、高電圧に対して十分な耐電圧に合わせて設計されている。
この支持体19は、窓材保持部21と、真空外囲器3に形成された外囲器側接合部(接合部)3aに接合される支持体側接合部23と、覆い部25とを備えている。
窓材17は、X線8の減衰が少ない材料、たとえばBe(ベリリウム)で形成され、また、厚さは数10μm~数100μmと薄く成形されている。窓材17は、真空外囲器3の内部の気密状態を保持しつつX線8を透過させる。
支持体19は、陽極7及び陰極5と絶縁されており、高電圧に対して十分な耐電圧に合わせて設計されている。
この支持体19は、窓材保持部21と、真空外囲器3に形成された外囲器側接合部(接合部)3aに接合される支持体側接合部23と、覆い部25とを備えている。
外囲器側接合部3aは、外囲器本体3bから連続して、真空外囲器3の外側に向けて突設して形成されている。
覆い部25は、円筒形状を成し、支持体側接合部23から、外囲器側接合部3aの内周側に配置されており、外囲器側接合部3aの内周面に沿って設けてあり、外囲器側接合部3aの内周面全面を覆っている。
更に、本実施形態では、覆い部25は、窓材17の取り付け位置である窓材保持部21よりも真空外囲器3の内側に配置されており、外囲器側接合部3aの立ち上げ開始位置Kまで延出されている。
覆い部25は、円筒形状を成し、支持体側接合部23から、外囲器側接合部3aの内周側に配置されており、外囲器側接合部3aの内周面に沿って設けてあり、外囲器側接合部3aの内周面全面を覆っている。
更に、本実施形態では、覆い部25は、窓材17の取り付け位置である窓材保持部21よりも真空外囲器3の内側に配置されており、外囲器側接合部3aの立ち上げ開始位置Kまで延出されている。
次に、本実施形態の作用効果について、説明する。
まず、比較例の図2を参照して、覆い部25が無い場合につて、説明する。尚、図2では、上述した実施形態に係るX線管1と同一の作用効果を奏する部分には、同一の符号を付しており、上述した実施形態とは、支持体19に覆い部25が形成されていないことのみが異なっている。
まず、比較例の図2を参照して、覆い部25が無い場合につて、説明する。尚、図2では、上述した実施形態に係るX線管1と同一の作用効果を奏する部分には、同一の符号を付しており、上述した実施形態とは、支持体19に覆い部25が形成されていないことのみが異なっている。
陰極5のフィラメント11から放出された電子ビーム13は、陽極7の陽極ターゲット15に衝突した際に、反跳電子aが発生する。反跳電子aは陽極ターゲット15から、あらゆる方向に飛び出し、電界によってポテンシャルの低い方向に飛んでいく。その飛んで行った一部の反跳電子aが真空外囲器3の内面に衝突した際に、真空外囲器3を二次電子放出係数によって正或いは負に帯電させる。また、陰極5から電界放出された電子bが同様に真空外囲器3に衝突し、真空外囲器3を正或いは負に帯電させる。但し、反跳電子aの方向や電界放出された電子bはX線管1の設計や電界によって反跳電子aや電界放出された電子bの方向は変化する。尚、反跳電子aが真空外囲器3に衝突したときに更に、二次電子が生じる。
そして、X線放射窓9に向かう反跳電子aが、真空外囲器3の外囲器側接合部3aに衝突すると、帯電により電位差が生じこの部分で放電が生じると、X線放射窓9を通過するX線8に悪影響を与えることになる。
そして、X線放射窓9に向かう反跳電子aが、真空外囲器3の外囲器側接合部3aに衝突すると、帯電により電位差が生じこの部分で放電が生じると、X線放射窓9を通過するX線8に悪影響を与えることになる。
これに対して、図1に示すように、本実施形態のX線放射窓9では、支持体19の覆い部25が真空外囲器3の外囲器側接合部3aの内周面を覆っているので、X線放射窓9に向かう反跳電子aが真空外囲器3の外囲器側接合部3aに衝突するのを防止できる。これにより、外囲器側接合部3aでは、この部分が正或いは負に帯電するのを防止する。
このようにX線管1の使用時には、X線放射窓9の周辺で帯電現象を防止し、真空外囲器3と、X線放射窓9支持体19との間の電位勾配を低減し、X線放射窓9の周辺で放電が発生し難くなるため、X線画像異常や装置停止等の不具合を防止できる。
しかも、本実施形態では、X線放射窓9の支持体19に、外囲器側接合部3aの内周面を覆う覆い部25を形成するだけであるから、構成が簡易である。
更に、本実施形態では、覆い部25は、窓材17の取り付け位置よりも真空外囲器3の内側に配置されているから、窓材17を通過するX線8に対して外囲器側接合部3aの帯電による不具合を有効に防止できる。
上述した一実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
例えば、覆い部25は支持体19に一体に形成したが、別体にして窓材保持部21に固定しても良い。
例えば、覆い部25は支持体19に一体に形成したが、別体にして窓材保持部21に固定しても良い。
また、覆い部25は、円筒形状に形成することに限らず、真空外囲器3の内側ほど径を狭める円錐台の筒形状であっても良い。
1…X線管、3…外囲器、3a…外囲器側接合部、5…陰極、7…陽極、9…X線放射窓、15…陽極ターゲット、19…支持体、25…覆い部。
Claims (2)
- 内部を真空に保持する真空外囲器と、前記真空外囲器内に設けて電子ビームを放出する陰極と、前記真空外囲器内に設けて前記陰極から放出する前記電子ビームが焦点面に入射してX線を放出する陽極ターゲットと、前記陽極ターゲトの前記焦点面から放出する前記X線を透過させるX線放射窓とを備えるX線管であって、
前記X線放射窓は、窓材と、前記窓材の支持体とを備え、
前記真空外囲器には前記支持体に接合する接合部が前記真空外囲器の外側に向けて突設して形成されており、
前記支持体は、前記接合部の内周面を覆う覆い部を備えているX線管。 - 前記覆い部は、前記窓材の取り付け位置よりも真空外囲器の内側に配置されている請求項1に記載のX線管。
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