JP2022106348A - 気体分離装置及び気体分離方法 - Google Patents

Abstract

【課題】使用者の希望に沿った流量で分離した気体を供給可能な気体分離装置を提供する。【解決手段】気体分離装置１００は、圧力スイング吸着法に基づき原料気体中の第２気体を分離する吸着槽１９と、吸着槽１９で分離した前記第２気体を需要端７０に供給するとともに、流れる前記第２気体の流量調整により吸着槽１９で分離する前記第２気体の純度を所定純度にする流量調整機構６０を備える流路４８と、流路４８のうちの流量調整機構６０の下流側の圧力を測定する圧力センサ４９と、流路４８を流れる前記第２気体の流量を、圧力センサ４９の測定値が所定圧力未満のときには、前記第２気体の純度を前記所定純度にする第１所定流量になるように、圧力センサ４９の測定値が所定圧力以上のときには、流路４８の最大流量で流通するように、流量調整機構６０を制御する制御装置５０と、を備える。【選択図】図１

Description

本開示は、気体分離装置及び気体分離方法に関する。

特許文献１には、「圧力スイング吸着法により精製される炭酸ガスの純度を、回収率を低下させることなく高くできる炭酸ガスの精製方法と精製システムを提供する。」ことが記載されている。また、特許文献１には「吸着塔それぞれにおいて、吸着工程、減圧工程、脱着工程、昇圧工程を順次実行し、原料炭酸ガスに含まれる炭酸ガスを吸着剤に加圧下で吸着すると共に、吸着剤に吸着されない不純物ガスをオフガスとして排出する。脱着工程後であって昇圧工程前の状態にある吸着塔の何れかに、減圧工程にある吸着塔の別の何れかの内部ガスを導入することで、その脱着工程後であって昇圧工程前の状態にある吸着塔の何れかにおいて、内部に滞留する炭酸ガスを外部に押し出すガス押出工程を実行する。吸着塔それぞれから脱着工程で排出される炭酸ガスと、ガス押出工程で押し出される炭酸ガスとを精製ガスとして回収する。」ことも記載されている。

国際公開第２０１５／１４６２１３号（要約書）

特許文献１に記載の技術では、吸着塔で分離した気体は、吸着塔での吸着圧力を調節する第１圧力調整弁を通じて取り出される（特許文献１の段落００２２、図１）。
気体分離装置の設置形態によっては、第１圧力調整弁の下流側の圧力が高いことがある。この場合、吸着塔と第１圧力調整弁の下流側との差圧が小さく、分離した気体が例えば第１圧力調整弁を流れ難い。この結果、第１圧力調整弁において流量が制限され、使用者が希望する流量を確保できないことがある。
本開示が解決しようとする課題は、使用者の希望に沿った流量で分離した気体を供給可能な気体分離装置及び気体分離方法の提供である。

本開示の気体分離装置は、第１気体を一部に含み残部が第２気体により構成される原料気体から、圧力スイング吸着法に基づく前記第１気体の吸着により前記第２気体を分離する吸着槽と、前記吸着槽で分離した前記第２気体を需要端に供給するとともに、流れる前記第２気体の流量調整により前記吸着槽で分離する前記第２気体の純度を所定純度にする流量調整機構を備える流路と、前記流路のうちの前記流量調整機構の下流側の圧力を測定する圧力センサと、前記流路を流れる前記第２気体の流量を、前記圧力センサの測定値が所定圧力未満のときには、前記第２気体の純度を前記所定純度にする第１所定流量になるように、前記圧力センサの測定値が所定圧力以上のときには、前記第１所定流量よりも多い第２所定流量で流通するように、前記流量調整機構を制御する制御装置と、を備える。その他の解決手段は発明を実施するための形態において後記する。

本開示によれば、使用者の希望に沿った流量で分離した気体を供給可能な気体分離装置及び気体分離方法を提供できる。

第１実施形態の気体分離装置を示す系統図である。 第１実施形態の気体分離方法を示すフローチャートである。 第２実施形態の気体分離装置を示す系統図である。 第３実施形態の気体分離装置を示す系統図である。 第３実施形態の気体分離方法を示すフローチャートである。

以下、図面を参照しながら本開示を実施するための形態（実施形態と称する）を説明する。以下の一の実施形態の説明の中で、適宜、一の実施形態に適用可能な別の実施形態の説明も行う。本開示は以下の一の実施形態に限られず、異なる実施形態同士を組み合わせたり、本開示の効果を著しく損なわない範囲で任意に変形したりできる。また、同じ部材については同じ符号を付すものとし、重複する説明は省略する。更に、同じ機能を有するものは同じ名称を付すものとする。図示の内容は、あくまで模式的なものであり、図示の都合上、本開示の効果を著しく損なわない範囲で実際の構成から変更することがある。

図１は、第１実施形態の気体分離装置１００を示す系統図である。気体分離装置１００は、圧力スイング吸着法に基づき、第１気体を一部に含み残部が第２気体により構成される原料気体から第２気体を分離するものである。原料気体は例えば空気であり、第１気体は例えば酸素等を含む気体であり、第２気体は例えば窒素等を含む気体である。ただし、原料気体、第１気体及び第２気体は、いずれもこれらに限られない。

気体分離装置１００は、圧縮機８と、圧縮気体槽５と、吸着槽１９と、第２気体槽４１と、フィルタレギュレータ４７と、流量調整機構６０を備える流路４８と、を備える。

圧縮機８は、原料気体を圧縮するものであり、例えば往複動式、スクリュー式あるいはスクロール式等の圧縮機、外部から１次圧を供給され再圧縮するブースタ圧縮機等により構成される。圧縮された原料気体は、圧縮機８の後段に備えられる圧縮気体槽５に供給される。

吸着槽１９は、原料気体から圧力スイング吸着法に基づく第１気体の吸着により第２気体を分離するものである。図示の例では、原料気体は、吸着槽１９の前段に備えられる圧縮機８により圧縮されたものである。吸着槽１９は第１吸着槽１９１及び第２吸着槽１９２を備え、原料気体の供給先を切り替えながら第２気体を分離することで、連続的な分離が行われる。吸着槽１９は、例えば吸着槽本体（不図示）の内部に分子ふるいカーボン、ゼオライト等の吸着剤（不図示）を収容して構成される。分離した第２気体は、吸着槽１９の後段に設置された第２気体槽４１に供給される。

フィルタレギュレータ４７は、第２気体槽４１の後段に備えられ、塵埃の除去とともに下流側の圧力を所定圧に維持するものである。ただし、フィルタレギュレータ４７に代えて、レギュレータ（不図示）が備えられてもよく、後段側の圧力を一定に維持可能な任意の減圧機構（不図示）が備えられてもよい。第２気体槽４１の下流側にはフィルタレギュレータ４７が備えられるため、圧力スイング吸着に起因する第２気体の排出圧の変動がフィルタレギュレータ４７の下流側に伝達することを抑制できる。

流量調整機構６０は、流路４８（後記）を流れる第２気体の流量調整により吸着槽１９で分離する第２気体の純度を所定純度にするものである。流量調整機構６０によって流路４８を流れる第２気体の流量を絞ることで、原料気体の吸着槽１９での滞留時間を確保できる。これにより、吸着槽１９で分離される第２気体の純度を所定純度（例えば９９体積％以上）にできる。

気体分離装置１００は、例えば配管等を備えて構成される流路１６，４８を備える。流路１６は、圧縮機８での圧縮後の原料気体を吸着槽１９に供給するものである。流路４８は、吸着槽１９の後段に接続され、吸着槽１９で分離した第２気体を、例えば配管接続口等により構成される需要端７０に供給するものである。需要端７０には、例えば配管等を備えて構成される流路７３が接続され、流路７３はタンク７１及び流量調整弁７２を備える。需要端７０を通じて気体分離装置１００から取り出された第２ガスはタンク７１に貯留された後、使用者が流量調整弁７２を適宜開閉することで、タンク７１から取り出される。なお、流量調整弁７２が全閉の場合、タンク７１等の流量調整機構６０の下流側の圧力は、通常は、フィルタレギュレータ４７の設定圧になる。この状態で更に吸着槽１９で吸着が行われると、第２気体は流通しないものの第２気体の純度が更に上昇する。

流量調整機構６０は、第２気体の純度を上記所定純度にする第１所定流量で第２気体を流すように予め流量を固定した流量固定弁６３を備える第１流路６１と、流量固定弁６３をバイパスさせる第２流路６２とを含む。第１流路６１及び第２流路６２は、いずれも流路４８の一部として備えられる。

流量固定弁６３は、例えば開度調整可能な流量調整弁であって、例えば気体分離装置１００の出荷前、試運転時等において予め第１所定開度に調整（例えば絞る）した後で開度を固定したものである。ここでいう第１所定開度は、第２気体の純度を上記所定純度にする第１所定流量で第２気体を流通させる開度であり、第１所定流量に対応する開度である。気体分離装置１００の運転中、流量固定弁６３の開度は変更されない。流量調整弁を使用することで、気体分離装置１００の設計条件等に応じて所定開度を気体分離装置１００毎に調整し易くできる。

流量調整機構６０は、第１流路６１に開閉弁６４を、第２流路６２に開閉弁６５を備える。開閉弁６４，６５は例えば電磁弁等により構成され、後記する制御装置５０に破線で示す電気信号線を通じて接続される。

気体分離装置１００は、流量センサ４５及び純度センサ４６を備える。流量センサ４５は、流路４８のうちの吸着槽１９と流量調整機構６０との間を流れる第２気体の流量を測定するものである。純度センサ４６は、流路４８のうちの吸着槽１９と流量調整機構６０との間を流れる第２気体の純度を測定するものである。流量センサ４５及び純度センサ４６は、いずれも、後記する制御装置５０に破線で示す電気信号線を通じて接続される。純度センサ４６は、第２気体の量を測定することで第２気体の純度を直接的に測定するセンサ、濃度既知の原料気体に基づき間接的に第２気体の純度を算出するため第１気体の量を測定するセンサ等により構成される。図示の例では、純度センサ４６は、第１気体の濃度を測定するセンサである。

気体分離装置１００は、流路４８のうちの流量調整機構６０の下流側の圧力を測定する圧力センサ４９を備える。圧力センサ４９は、後記する制御装置５０に破線で示す電気信号線を通じて接続される。図示の例では、圧力センサ４９は、流量調整機構６０と需要端７０との間の第２気体の圧力を測定する。圧力センサ４９は、需要端７０に接続されたタンク７１の圧力を測定してもよい。

気体分離装置１００は、流量調整機構６０を含む気体分離装置１００を制御する制御装置５０を備える。

制御装置５０は、流路４８を流れる第２気体の流量を、圧力センサ４９の測定値が上記所定圧力未満のときには、第２気体の純度を上記所定純度にする上記第１所定流量になるように、圧力センサ４９の測定値が所定圧力以上のときには、第１所定流量よりも多い第２所定流量で流通するように、流量調整機構６０を制御する。

第２所定流量は、図示の例では、流路４８の最大流量である。流路４８は、最大流量で流したときに、フィルタレギュレータ４７の設定圧と圧力センサ４９の測定値とが一致するように構成される。ここでいう一致は、配管等での流通に起因して避けられない圧力損失等によるずれを許容するものとする。最大流量で第２気体を流すことで、第２気体の使用量が特に大きくなっても対応できる。

流量調整機構６０の下流側の圧力が所定圧力未満の場合、流路４８において流量調整機構６０の前段と後段との差圧が大きく、第２気体が流れ易い。しかし、第２気体が極端に流れ易くなると、吸着槽１９での原料気体の滞留時間が確保されず、第２気体の純度が低下し得る。そこで、第２気体の純度を所定純度に確保するため、上記第１所定流量になるように流量調整機構６０が第２気体の流量を調整する。このように調整された第１所定流量を、例えば気体分離装置１００の使用可能流量の仕様値（カタログ値等）にすることで、使用者は仕様値通りの流量内で第２気体を使用できる。

一方で、流量調整機構６０の下流側の圧力が所定圧力以上である場合、流路４８において流量調整機構６０の前段と後段との差圧が小さく、第２気体が流量調整機構６０を流れ難い。従って、この場合には、流路４８を第２所定流量、図示の例では最大流量で流れる量に第２流路６２に第２気体を流すことで、流量固定弁６３による流れ難さを回避できる。これにより需要端７０に第２気体が流れ易くなり、使用者が所望する流量で需要端７０を通じて第２気体を取り出すことができる。

流量を変更する閾値となる圧力センサ４９の所定圧力は、例えばフィルタレギュレータ４７の設定圧未満の圧力であり、例えば、流量調整機構６０の前段と後段との差圧に起因する急激な流量変動を抑制可能な程度の圧力であって当該設定圧未満の圧力である。第２気体が使用されないか又は使用量が少ない場合、流量調整機構６０の下流側の圧力（圧力センサ４９により測定される圧力。例えばタンク７１の圧力でもよい）は上昇する。ただし、流量調整機構６０の前段にはフィルタレギュレータ４７が備えられているため、流量調整機構６０の下流側の圧力の上限は通常はフィルタレギュレータ４７の設定圧である。そこで、流量調整機構６０の下流側の圧力が所定圧力に至った時に第２所定流量に切り替えることで、急激な流量変動を抑制した状態で、第２気体を需要端７０に流すことができる。これにより、使用者が希望の流量で第２気体を使用できる。

図示の例では、制御装置５０は、分離した第２気体を、圧力センサ４９の測定値が所定圧力未満のときに第１流路６１に流し、圧力センサ４９の測定値が所定圧力以上のときに第２流路６２に流すように流路４８を切り替える。このようにすることで、圧力センサ４９の測定値に応じて流通可能な流量が異なる流路４８に流すことができ、需要端７０に供給される第２気体の流量を制御できる。特に、第２流路６２は流量固定弁６３をバイパスするように配置され、流量減少の原因となる機構を備えていない。従って、第２流路６２に流通させることで、流路４８を流通可能な流量の第２所定流量（図示の例では最大流量）で第２気体を流通できる。

第１流路６１と第２流路６２との切り替えは、制御装置５０による開閉弁６４，６５の開閉により行うことができる。第１流路６１に第２気体を流す場合、制御装置５０は、開閉弁６４を開き、開閉弁６５を閉じる。一方で、第２流路６２に第２気体を流す場合、制御装置５０は、開閉弁６５を開き、開閉弁６４を閉じる。

制御装置５０は、圧力センサ４９の測定値が所定圧力以上のとき、純度センサ４６により測定される、吸着槽１９から排出された第２気体の純度によらず、流路４８に第２所定流量で第２気体を流す。圧力センサ４９の測定値が所定圧力以上になれば、第２ガスは十分に高圧かつ所定純度以上と考えられる。このため、第２気体の純度を測定することなく流路４８に第２所定流量で第２気体を流すことで、純度センサ４６で確認することなく、所定純度の第２気体を希望流量で得ることができる。

制御装置５０は、第２気体が流路４８を第２所定流量で流れているとき、吸着槽１９から排出される第２気体の純度異常の原因となる所定条件を満たしたときに、流れる第２気体の流量が上記第１所定流量になるように、流量調整機構６０を制御する。このようにすることで、第２気体の純度が例えば所定純度未満のような異常純度になりそうなときに流量調整機構６０によって第２気体の流量を減少させて、第２気体の純度を確保できる。図示の例では、制御装置５０は、第２気体が第２流路６２を流れているとき、所定条件を満たせば、第２気体が第１流路６１を流れるように制御装置５０が流路４８を切り替える。

所定条件は、例えば、流量センサ４５の測定値が第３所定流量以上かつ純度センサ４６の測定値が所定の基準純度未満のときを含む。このようにすることで、使用流量が多くかつ第２気体の純度が低下したとき流量調整機構６０によって第２気体の流量を制御することで、第２気体の所定純度に維持できる。

流量センサ４５の測定値と比較される第３所定流量は、例えば、気体分離装置１００の設計上の仕様値（例えばカタログ値）にすることができる。従って、例えば、第２気体の使用流量が例えば仕様値を超えた場合に、流量センサ４５の測定値が第３所定流量以上と判断できる。この場合、仕様値を超える使用量で第２気体が使用されるため、吸着槽１９での原料気体の滞留時間が確保され難くなり、純度が低下し易い。なお、第３所定流量は、上記の第１所定流量と例えば同じであるが、異なっていてもよい。

純度センサ４６の測定値と比較される基準純度は、例えば、気体分離装置１００の設計上の仕様値（例えばカタログ値に記載の上記所定純度）を基準とした所定割合にすることができる。従って、例えば、純度センサ４６が一例として第１気体の濃度を測定するセンサである場合、残留する第１気体濃度の許容量の例えば５０％を超えた場合、即ち第２気体の純度が所定純度未満になりそうになった場合に、純度センサ４６の測定値が所定値未満になったと判断できる。

制御装置５０は、吸着槽１９での吸着開始から圧力センサ４９の測定値が上記所定圧力に至るまで、流路４８を流れる第２気体の流量が上記第１所定流量になるように流量調整機構６０を制御する。更に、制御装置５０は、圧力センサ４９の測定値が所定圧力に至った時に流路４８を流れる第２気体の流量が第２所定流量になるように流量調整機構６０を制御する。このようにすることで、吸着開始後の第２気体の純度が低いときには第１所定流量で流すことで第２気体の純度を向上できる。一方で、圧力センサ４９の測定値が所定圧力に至ることで純度が所定純度になったときに第２所定流量で流すことで、流量調整機構６０により制限された流量よりも増やすことができ、所定純度の第２気体を希望流量で得ることができる。

制御装置５０は、いずれも図示はしないが、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等を備えて構成される。制御装置５０は、ＲＯＭに格納されている所定の制御プログラムがＲＡＭに展開され、ＣＰＵによって実行されることにより具現化される。

図２は、第１実施形態の気体分離方法を示すフローチャートである。図２に示す気体分離方法は、気体分離装置１００（図１）において行われるため、適宜図１を参照しながら図２を説明する。

第１実施形態の気体分離方法は、上記原料気体から、分離する第２気体の純度を上記所定純度にする流量調整機構６０を備える流路４８を下流側に接続した吸着槽１９において、第１気体を圧力スイング吸着法に基づいて吸着させることで第２気体を分離する分離工程Ｓ２０を含む。分離工程Ｓ２０は、第１分離工程Ｓ１１及び第２分離工程Ｓ１２を含む。

第１分離工程Ｓ１１は、圧力センサ４９の測定値が所定圧力未満のときに行われ、流路４８を流れる第２気体の流量が第２気体の純度を所定純度にする第１所定流量になるように流量調整機構６０によって第２気体の流量を制御しながら行われる工程である、図示の例では、第１分離工程Ｓ１１は、後記するステップＳ１～Ｓ４，Ｓ６～Ｓ８により構成される。第２分離工程Ｓ１２は、圧力センサ４９の測定値が所定圧力以上のときに行われ、流路４８を流れる第２気体の流量が第１所定流量よりも多い第２所定流量（図１の例では流路４８の最大流量）になるように流量調整機構６０によって第２気体の流量を制御しながら行われる工程である。図示の例では、第２分離工程Ｓ１２は、後記するステップＳ４～Ｓ６により構成される。以下、図２に沿ってステップＳ１～Ｓ８を説明することで、分離工程Ｓ２０、第１分離工程Ｓ１１及び第２分離工程Ｓ１２について説明する。

操作部（不図示）を通じて使用者による運転開始指示が制御装置５０に入力されると、制御装置５０は初期運転を行う（ステップＳ１）。初期運転では、制御装置５０は開閉弁６４，６５を閉じた状態で、吸着槽１９で第１気体の吸着が行われる。これにより、第２気体の純度が効率的に高められる。純度センサ４６による測定される第２気体の純度が上記の所定純度（例えば残留第１気体濃度が規定値以下）に達すると、制御装置５０は開閉弁６４を開くことで吐出を開始し、第２気体が第１流路６１を流れる（ステップＳ２）。タンク７１の後段に設置された流量調整弁７２の開度は通常は絞られているため、第２気体はタンク７１に貯留される。このとき、タンク７１の圧力は吐出開始直後には通常大気圧に近い状態であるが、吐出の進行により、圧力が高くなる。

第２気体が第１流路６１を流れるとき、制御装置５０は、常時又は所定時間ごとに、圧力センサ４９による流量調整機構６０の下流側の圧力を測定する（ステップＳ３）。第２気体の供給量より使用量が少ないと、圧力は上昇する。制御装置５０は、圧力センサ４９により測定される圧力が所定圧力以上であるか否かを判断する（ステップＳ４）。ここでいう所定圧力は、図１の気体分離装置１００において説明した上記の所定圧力と同義である。所定圧力以上でなければ（即ち、所定圧力未満であれば。ステップＳ４のＮｏ。）、制御装置５０は、再度ステップＳ３を行う。これらのステップＳ１～Ｓ４が、上記の第１分離工程Ｓ１１である。

一方で、所定圧力以上であれば（ステップＳ４のＹｅｓ）、制御装置５０は、開閉弁６４を閉じて開閉弁６５を開くことで、第２気体を第２流路６２に流す（ステップＳ５）。第２流路６２は、第１流路６１とは異なり、例えば内径が絞られることによる流れ難さ及び流量減少の原因となる流量固定弁６３を備えない。このため、流量調整機構６０の下流側の圧力を、フィルタレギュレータ４７の設定圧と等しくできる。そして、フィルタレギュレータ４７の設定圧を使用者が希望する圧力に予め設定しておくことで、使用者は、希望圧力の第２気体を使用できる。

第２気体を第２流路６２に流しているとき、制御装置５０は、常時又は所定時間ごとに、所定条件を満たすか否かを判断する（ステップＳ６）。ここでいう所定条件は、図１の気体分離装置１００において説明した上記の所定条件と同義である。例えば第２気体の使用量が少ない等、所定条件を満たさなければ、吸着槽１９での原料気体の滞留時間が確保され、第２気体の純度異常は生じ難い。従って、この場合（ステップＳ６のＮｏ）には第２気体の純度を維持できるため、引き続き第２気体が第２流路６２を流れる。これらのステップＳ４～Ｓ６が、上記の第２分離工程Ｓ１２である。

一方で、所定条件を満たせば（ステップＳ６のＹｅｓ）、制御装置５０は、開閉弁６５を閉じ、開閉弁６４を開くことで、第２気体を第１流路６１に流す（ステップＳ７）。第２気体が第１流路６１を流れることで流量固定弁６３による流量制限を受け、第２気体の需要端７０を通じた供給量が制限される。これにより、吸着槽１９での原料気体の滞留時間を確保でき、第２気体の純度異常を抑制できる。これらのステップＳ６～Ｓ８が、上記の第１分離工程Ｓ１１である。

制御装置５０は、操作部（不図示）を通じた使用者による運転停止操作の有無を判断する（ステップＳ８）。運転停止操作が無い場合には、制御装置５０は運転終了ではないと判断し（ステップＳ８のＮｏ）、ステップＳ３以降が繰り返される。一方で、運転停止操作がある場合には、制御装置５０は運転終了と判断し（Ｙｅｓ）、圧縮機８の駆動を停止し、開閉弁６４，６５を全閉にする。

以上の気体分離方法によれば、使用者の希望に沿った流量で需要端７０を通じ第２気体（分離）を供給できる。

図３は、第２実施形態の気体分離装置１０１を示す系統図である。気体分離装置１０１は、流量調整機構６０（図１）に代えて流量調整機構６０１を備えること以外は、気体分離装置１００（図１）と同じである。また、流量調整機構６０１は、流量固定弁６３として流量調整弁（図１）に代えて、流量固定弁６３１としての定流量弁を備えること以外は、流量調整機構６０（図１）と同じである。

定流量弁は希望の流量が流れるように設計することで例えば気体分離装置１０１毎に製造された弁である。吸着槽１９で分離する第２気体の純度を所定純度にする第１所定流量を流すことができるように製造された定流量弁を備えることで、流量管理を精度良く行うことができる。

図４は、第３実施形態の気体分離装置１０２を示す系統図である。気体分離装置１０２は、流量調整機構６０（図１）に代えて流量調整機構６０２を備えること以外は、気体分離装置１００（図１）と同じである。流量調整機構６０２は、制御装置５０による開度制御により流量調整される制御弁６３２である。

制御装置５０は、圧力センサ４９の測定値が上記所定圧力未満のときには、制御弁６３２の開度を上記第１所定流量に対応する第１所定開度に制御し、圧力センサ４９の測定値が上記所定圧力以上のときには、制御弁６３２の開度を上記第２所定流量に対応する第２所定開度に制御する。第２所定開度は、第２気体を流路４８に第２所定流量で流通できる開度である。第２所定流量が最大の場合は、通常は、第２所定開度は最大開度である。圧力センサ４９の測定値に応じて制御弁６３２の開度を調整することで、需要端７０に供給される第２気体の流量を制御できる。なお、流路４８は、図示の例では、制御弁６３２の開度を例えば最大開度にしたとき、フィルタレギュレータ４７の設定圧と圧力センサ４９の測定値とが一致するように構成される。ここいう一致の解釈は、気体分離装置１００（図１）での説明と同義である。

図５は、第３実施形態の気体分離方法を示すフローチャートである。図５に示す気体分離方法は、図２に示す気体分離方法のステップＳ２，Ｓ５，Ｓ７に代えてステップＳ２１，Ｓ５１，Ｓ７１を含むこと以外は、図２に示す気体分離方法と同じである。

制御装置５０は、例えば制御弁６３２を全閉にすることで、初期運転を行う（ステップＳ１）。第２気体の純度が所定純度に到達すると、制御装置５０は、制御弁６３２を開けることで第２気体の吐出を開始し、制御弁６３２の開度を第１所定開度に制御する（ステップＳ２１）。ここでいう第１所定開度は、気体分離装置１００（図１）での説明と同義であり、第２気体の純度を上記所定純度にする上記第１所定流量で第２気体を流通させる開度である。第１所定開度への制御により、吸着槽１９での原料気体の滞留時間が確保され、第２気体の純度を所定純度以上にできる。

所定開度の制御弁６３２の流通中、制御装置５０は、圧力測定を行い（ステップＳ３）、所定圧力以上であるか否かを判断する（ステップＳ４）。判断の結果、所定圧力以上でなければ（Ｎｏ）、ステップＳ３が再度行われ、所定圧力以上であれば（Ｙｅｓ）、制御装置５０は、制御弁６３２の開度を第２所定開度に制御する（ステップＳ５１）。第２所定開度への制御により流路４８の流量を増やすことことができ、需要端７０を通じた第２気体の流量を使用者の希望通りにすることができる。

制御装置５０は、所定条件を満たすか否かを判断し（ステップＳ６）、満たさなければ（Ｎｏ）、再度ステップＳ６を行う。一方で、満たせば（Ｙｅｓ）、制御装置５０は制御弁６３２の開度を上記第１所定開度に制御する（ステップＳ７１）。第１所定開度への制御により、第２気体の純度低下を抑制できる。その後、運転終了でなければ（ステップＳ８のＮｏ）、ステップＳ３以降が繰り返され、運転終了であれば（Ｙｅｓ）、制御装置５０は、圧縮機の駆動を停止し、制御弁６３２を全閉にする。

以上の気体分離方法によれば、図２に示した気体分離方法と同様に、使用者の希望に沿った流量で需要端７０を通じ第２気体（分離）を供給できる。

１００，１０１，１０２ 気体分離装置
１６ 流路
１９ 吸着槽
１９１ 第１吸着槽
１９２ 第２吸着槽
４１ 第２気体槽
４２ 流量センサ
４６ 純度センサ
４７ フィルタレギュレータ
４８ 流路
４９ 圧力センサ
５ 圧縮気体槽
５０ 制御装置
６０，６０１，６０２ 流量調整機構
６１ 第１流路
６２ 第２流路
６３,６３１ 流量固定弁
６３２ 制御弁
６４，６５ 開閉弁
７０ 需要端
７１ タンク
７２ 流量調整弁
７３ 流路
８ 圧縮機
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ２１，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ５１，Ｓ６，Ｓ７，Ｓ７１，Ｓ８ ステップ
Ｓ１１ 第１分離工程
Ｓ１２ 第２分離工程
Ｓ２０ 分離工程

Claims (10)

1. 第１気体を一部に含み残部が第２気体により構成される原料気体から、圧力スイング吸着法に基づく前記第１気体の吸着により前記第２気体を分離する吸着槽と、
   前記吸着槽で分離した前記第２気体を需要端に供給するとともに、流れる前記第２気体の流量調整により前記吸着槽で分離する前記第２気体の純度を所定純度にする流量調整機構を備える流路と、
   前記流路のうちの前記流量調整機構の下流側の圧力を測定する圧力センサと、
   前記流路を流れる前記第２気体の流量を、
   前記圧力センサの測定値が所定圧力未満のときには、前記第２気体の純度を前記所定純度にする第１所定流量になるように、
   前記圧力センサの測定値が所定圧力以上のときには、前記第１所定流量よりも多い第２所定流量で流通するように、
   前記流量調整機構を制御する制御装置と、を備える
   ことを特徴とする気体分離装置。
2. 前記第２所定流量は、前記流路の最大流量である
   ことを特徴とする請求項１に気体分離装置。
3. 前記制御装置は、
   前記吸着槽での吸着開始から前記圧力センサの測定値が前記所定圧力に至るまで、前記流路を流れる前記第２気体の流量が前記第１所定流量になるように前記流量調整機構を制御し、
   前記圧力センサの測定値が前記所定圧力に至った時に前記流路を流れる前記第２気体の流量が前記第２所定流量になるように前記流量調整機構を制御する
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の気体分離装置。
4. 前記制御装置は、前記圧力センサの測定値が所定圧力以上のとき、前記吸着槽から排出された前記第２気体の純度によらず、前記流路に前記第２所定流量で前記第２気体を流す
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の気体分離装置。
5. 前記流量調整機構は、
   前記第２気体の純度を前記所定純度にする前記第１所定流量で前記第２気体を流すように予め流量を固定した流量固定弁を備え、前記流路の一部としての第１流路と、
   前記流量固定弁をバイパスさせ、前記流路の一部としての第２流路と、
   を含み、
   前記制御装置は、分離した前記第２気体を、前記圧力センサの測定値が所定圧力未満のときに前記第１流路に流し、前記圧力センサの測定値が所定圧力以上のときに前記第２流路に流すように流路を切り替える
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の気体分離装置。
6. 前記流量固定弁は、前記第１所定流量で前記第２気体を流通させる第１所定開度に固定した流量調整弁、又は、定流量弁の何れかである
   ことを特徴とする請求項５に記載の気体分離装置。
7. 前記流量調整機構は、前記制御装置による開度制御により流量調整される制御弁であり、
   前記制御装置は、
   前記圧力センサの測定値が所定圧力未満のときには、前記制御弁の開度を前記第１所定流量に対応する第１所定開度に制御し、
   前記圧力センサの測定値が所定圧力以上のときには、前記制御弁の開度を前記第２所定流量に対応する第２所定開度に制御する
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の気体分離装置。
8. 前記制御装置は、前記第２気体が前記流路を前記第２所定流量で流れているとき、前記吸着槽から排出される前記第２気体の純度異常の原因となる所定条件を満たしたときに、流れる前記第２気体の流量が前記第１所定流量になるように、前記流量調整機構を制御する
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の気体分離装置。
9. 前記流路のうちの前記吸着槽と前記流量調整機構との間を流れる前記第２気体の流量を測定する流量センサと、
   前記流路のうちの前記吸着槽と前記流量調整機構との間を流れる前記第２気体の純度を測定する純度センサと、を備え、
   前記所定条件は、前記流量センサの測定値が第３所定流量以上かつ前記純度センサの測定値が所定の基準純度未満のときを含む
   ことを特徴とする請求項８に記載の気体分離装置。
10. 第１気体を一部に含み残部が第２気体により構成される原料気体から、分離する前記第２気体の純度を所定純度にする流量調整機構を備える流路を下流側に接続した吸着槽において、前記第１気体を圧力スイング吸着法に基づいて吸着させることで前記第２気体を分離する分離工程を含み、
    前記分離工程は、
    前記流路のうちの前記流量調整機構の下流側の圧力を測定する圧力センサの測定値が所定圧力未満のときに行われ、前記流路を流れる前記第２気体の流量が前記第２気体の純度を前記所定純度にする第１所定流量になるように前記流量調整機構によって前記第２気体の流量を制御しながら行われる第１分離工程と、
    前記圧力センサの測定値が所定圧力以上のときに行われ、前記流路を流れる前記第２気体の流量が前記第１所定流量よりも多い第２所定流量になるように前記流量調整機構によって前記第２気体の流量を制御しながら行われる第２分離工程と、を含む
    ことを特徴とする気体分離方法。

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