JP2022087491A - 表面基準検出機構、及び硬さ試験機 - Google Patents

表面基準検出機構、及び硬さ試験機 Download PDF

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Abstract

【課題】試料の表面に接する圧子基準部の交換作業について改善可能な表面基準検出機構、及び硬さ試験機を提供することを目的とする。【解決手段】圧子よりも軸方向一方側に配置された試料の軸方向他方側面に当接して前記圧子の位置基準となる圧子基準部と、前記圧子基準部を着脱可能に保持し、前記圧子基準部と連動する保持部と、前記保持部と連動し、前記圧子基準部に対する前記圧子の相対位置を検出する圧子位置検出部と、前記保持部に対する前記圧子基準部の動きを規制する第1位置と前記圧子基準部を前記保持部から取り外し可能な第2位置との間で移動可能な規制部と、前記規制部を前記第1位置に留まらせるように付勢する付勢部と、を有し、前記付勢部の付勢力に抗う外力が加わることによって前記付勢部による付勢が解除され、前記規制部は前記第2位置に移動可能となる。【選択図】図1

Description

本発明は、試料の表面位置を検出する表面基準検出機構、及びその表面基準検出機構を用いた硬さ試験機に関する。
従来、圧子軸の先端に備えた圧子を試料の表面に押し込み、圧子の押し込み深さを測定することで、試料の硬さを試験する硬さ試験機が知られている(例えば特許文献1参照)。
このような硬さ試験機は、表面基準検出機構を構成するコンタクタ(「圧子基準部」ともいう)が試料の表面に接することで表面位置を検出するとともに、試料の表面からさらに押し込まれた圧子の位置を検出する。また、硬さ試験機は、このように検出した両者の位置に基づき、圧子の押し込み深さを測定する。コンタクタは、試料の表面に対向した位置で、ねじによって硬さ試験機に固定される。
特開2013-250105号公報
表面基準検出機構は、圧子や試料の種類が変更になった場合、それに適したコンタクタに交換する必要がある。従来のようにコンタクタがねじで固定されている場合、交換作業のためにドライバ等の工具が必要であるし、作業時間もかかるため、交換作業について改善の余地があった。
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、試料の表面に接する圧子基準部の交換作業について改善可能な表面基準検出機構、及び硬さ試験機を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の一態様は、表面基準検出機構であって、中心軸に沿って配置され、試料に押し当てられる圧子を軸方向一方側端部に有し、軸方向に移動可能な圧子軸と、前記圧子よりも軸方向一方側に配置された試料の軸方向他方側面に当接して前記圧子の位置基準となる圧子基準部と、前記圧子基準部を着脱可能に保持し、前記圧子基準部と連動する保持部と、前記保持部と連動し、前記圧子基準部に対する前記圧子の相対位置を検出する圧子位置検出部と、前記保持部に対する前記圧子基準部の動きを規制する第1位置と前記圧子基準部を前記保持部から取り外し可能な第2位置との間で移動可能な規制部と、前記規制部を前記第1位置に留まらせるように付勢する付勢部と、を有し、前記付勢部の付勢力に抗う外力が加わることによって前記付勢部による付勢が解除され、前記規制部は前記第2位置に移動可能となる、ことを特徴とする。
本発明によれば、付勢部の付勢力に抗う外力により、圧子基準部が取り外し可能となるため、簡単な操作で圧子基準部の交換を行うことが出来る。
また本発明の好ましい態様は、表面基準検出機構であって、前記圧子基準部は、前記規制部が嵌まる溝部を有する。
本発明によれば、圧子基準部の溝部に規制部が嵌まることで、圧子基準部の動きを規制することが出来る。
また本発明の好ましい態様は、表面基準検出機構であって、前記規制部は、球体部材である。
本発明によれば、球体部材である規制部は、転動により第1位置と第2位置との間を移動可能であるので、簡単な構成で規制部を移動させることが出来る。
また本発明の好ましい態様は、表面基準検出機構であって、前記保持部は、前記規制部が前記第2位置に転がるテーパを有する。
本発明によれば、保持部のテーパにより、規制部は、付勢部により付勢されていない場合に第2位置に移動しやすく、圧子基準部の取り外しを容易に行うことが出来る。
また本発明の好ましい態様は、表面基準検出機構であって、前記圧子基準部は、前記保持部の軸方向一方側端部に軸方向一方側から当接する当接部を有する。
本発明によれば、保持部の軸方向一方側端部に、圧子基準部の当接部が当接することで、圧子基準部が試料表面に当接したときに、圧子基準部と保持部との位置ずれを生じることがなく、試料の表面基準を検出することが出来る。
また本発明の好ましい態様は、前記圧子を試料に押し当てて試料の硬さ試験を行う硬さ試験機であって、前記表面基準検出機構と、前記圧子基準部を軸方向に移動させる基準駆動部と、前記圧子軸を軸方向に移動させ、前記圧子よりも軸方向一方側に配置された試料の軸方向他方側面に、前記圧子の軸方向一方側端部を押し当てる圧子軸駆動部と、前記圧子基準部を試料に当接させた状態で前記圧子を試料に押し当て、前記圧子基準部に対する前記圧子の相対位置を検出する検出部と、を有する。
本発明によれば、硬さ試験機において、付勢部の付勢力に抗う外力により、圧子基準部が取り外し可能となるため、簡単な操作で圧子基準部の交換を行うことが出来る。
本発明によれば、試料の表面に接する圧子基準部の交換作業について改善可能な表面基準検出機構、及び硬さ試験機を提供することが出来る。
上記した以外の課題、構成および効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
本発明の実施形態に係る表面基準検出機構及び硬さ試験機の概略構成を示す側面図である。 本発明の実施例1に係る表面基準検出機構の概要を示す斜視図である。 図2に示す圧子基準部110の斜視図である。 図2に示す表面基準検出機構100を、X軸と直交し中心軸Jを通る面で切断して示す側断面図である。 図4に示す表面基準検出機構100のA-A平断面図である。 図2に示す表面基準検出機構100を、X軸と直交し中心軸Jを通る面で切断して示す側断面図であって、操作部105を操作した状態を示す図である。 図2に示す表面基準検出機構100を、X軸と直交し中心軸Jを通る面で切断して示す側断面図であって、保持部102から圧子基準部110を取り外した状態を示す図である。
以下、本発明に係る装置、すなわち表面基準検出機構及び硬さ試験機について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の図面においては、各構成をわかり易くするために、実際の構造と各構造における縮尺、数等を異ならせる場合がある。
また、図面においては、適宜3次元直交座標系としてXYZ座標系を示す。XYZ座標系において、Z軸方向は、図1に示す圧子軸27の中心軸Jと平行な方向とする。Y軸方向は、Z軸方向と直交する方向のうち図1の左右方向とする。X軸方向は、Y軸方向及びZ軸方向の両方と直交する方向とする。X軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向のいずれにおいても、図中に示す矢印が指す側を+側、反対側を-側とする。
また、以下の説明においては、Z軸と平行な方向を単に「軸方向」と呼び、軸方向において図1の下側すなわち-Z側を軸方向一方側と呼び、軸方向において図1の上側すなわち+Z側を軸方向他方側と呼ぶ。また、中心軸Jを中心とする径方向を単に「径方向」と呼び、中心軸Jを中心とする軸回りを単に「周方向」と呼ぶ。また、径方向において、中心軸Jに近い側を径方向内側と呼び、中心軸Jから遠い側を径方向外側と呼ぶ。また、X軸方向において、負の側(-X側)を「一方側」と呼び、正の側(+X側)を「他方側」と呼ぶ。また、Y軸方向において、負の側(-Y側)を「一方側」と呼び、正の側(+Y側)を「他方側」と呼ぶ。
なお、本明細書において、「Z軸方向に延びる」とは、厳密にZ軸方向に延びる場合に加えて、Z軸方向に対して、45°未満の範囲で傾いた方向に延びる場合も含む。また、X軸方向及びY軸方向も同様である。また「直交」とは、厳密に直交する場合に加えて、互いに成す角が45°未満の範囲で傾いた場合も含む。また「平行」とは、厳密に平行な場合に加えて、互いに成す角が45°未満の範囲で傾いた場合も含む。
なお、軸方向、径方向、周方向、一方側、他方側、外側、内側、上側、下側、右側及び左側とは、単に各部の相対位置関係を説明するための名称であり、実際の配置関係等は、これらの名称で示される配置関係等以外の配置関係等であってもよい。また、本明細書において、前後左右上下などの向きは、図面において見た向きを示すものであり、本発明に係る装置を使用する際の向きを限定するものではない。
(硬さ試験機1の構造)
図1は、本発明の実施形態に係る表面基準検出機構及び硬さ試験機の概略構成を示す側面図である。
本実施形態の硬さ試験機1は、試料34の表面34aに圧子28を押し込むことで、試料34の硬さ試験を実施する。表面基準検出機構は、硬さ試験機1において、試料34の表面位置を検出する構成を含む機構である。表面基準検出機構は、例えば、圧子軸27と、圧子基準部33と、保持部31と、圧子位置検出部32と、図5に示す規制部108a、108b及び108cと、図2に示す付勢部106と、を有する。
硬さ試験機1は、軸方向一方側でX軸方向及びY軸方向に拡がる台座部11と、台座部11上に配置され試料34を固定するX-Yステージ35と、台座部11上のX-Yステージ35よりもY軸方向他方側の位置で軸方向他方側に延びる支柱部12と、支柱部12の軸方向他方側端部の位置でY軸方向一方側に延びる上側支持部13と、上側支持部13よりも軸方向一方側の位置で支柱部12からY軸方向一方側に延びる下側支持部14と、上側支持部13と下側支持部14との間で軸方向に延びるボールねじ15と、ボールねじ15をボールねじ15の軸を中心に回転させるモータ16と、ボールねじ15が貫通するヘッドユニット17と、を有する。ヘッドユニット17は、ボールねじ15とねじで嵌め合っており、ボールねじ15の回転に伴い軸方向に移動する。
硬さ試験機1は、ヘッドユニット17に固定された側部支持部21と、側部支持部21の軸方向他方側端部の位置でY軸方向一方側に延びる上部支持部22と、上部支持部22の軸方向一方側に設けられた弾性部24と、弾性部24の軸方向一方側に設けられた圧子軸27と、を有する。側部支持部21は、ヘッドユニット17の軸方向の移動に伴い、軸方向に移動する。上部支持部22は、側部支持部21に固定されている。圧子軸27は、中心軸Jに沿って配置されている。圧子軸27は、試料34に押し当てられる圧子28を軸方向一方側端部に有し、軸方向に移動可能である。
硬さ試験機1は、圧子基準部33と、圧子基準部33を着脱可能に保持する保持部31と、保持部31と連動する圧子位置検出部32と、を有する。側部支持部21は、スライド部30を有する。スライド部30は、側部支持部21に固定されている。スライド部30は、保持部31が軸方向に移動可能なように保持部31を支持する。圧子軸27は、目盛部29を有する。圧子位置検出部32は、例えば光学的に目盛部29を読み取ることで、圧子基準部33に対する圧子28の相対位置を検出する。
圧子軸27の軸方向他方側端部である端部23は、目盛部25を有する。側部支持部21は、試験力検出部26を有する。試験力検出部26は、側部支持部21に固定されている。試験力検出部26は、例えば光学的に目盛部25を読み取ることで、側部支持部21に対する端部23の相対位置を検出する。
(硬さ試験機1の動作)
まず、硬さ試験機1は、モータ16を回転させることで、圧子28の軸方向一方側端部及び圧子基準部33の軸方向一方側端部が、試料34の表面34aよりも軸方向他方側の初期位置に位置するように初期設定を行う。続いて、硬さ試験機1の操作者は、試料34の硬さ試験にあたり、X-Yステージ35上に試料34を載置して固定する。その後、X-Yステージ35は、試料34の表面34aの試験対象位置が、X軸方向及びY軸方向で中心軸Jと一致するように、表面34aを軸方向と直交する面内で移動させる。
続いて、硬さ試験機1は、モータ16を回転させることで、側部支持部21を軸方向一方側に移動させる。これにより、圧子基準部33は、側部支持部21とともに軸方向一方側に移動し、圧子基準部33の軸方向一方側端部の面33aは試料34の表面34aに当接する。この圧子基準部33の面33aが試料34の表面34aに当接したときの圧子基準部33の軸方向位置を基準位置とする。硬さ試験機1は、さらにモータ16を回転させ、側部支持部21をさらに軸方向一方側に移動させるが、圧子基準部33は、試料34に接触して軸方向一方側へのさらなる移動を阻害される。このため、圧子基準部33を保持する保持部31は、スライド部30に対して軸方向でスライドし、圧子基準部33は基準位置で停止する。
圧子基準部33が基準位置で停止した状態で、硬さ試験機1は、さらにモータ16を回転させ、側部支持部21をさらに軸方向一方側に移動させることで、圧子28の軸方向一方側端部が試料34の表面34aに接触する。硬さ試験機1は、弾性部24の付勢力により規定の試験力を発生させ、この規定の試験力で圧子28を試料34に押し込む。硬さ試験機1は、試験力検出部26による検出結果に応じて、モータ16の回転を調節し、試験力を制御する。硬さ試験機1は、規定の試験力で圧子28を試料34に押し込んだときの、圧子位置検出部32による検出結果に応じて試料34の硬さを算出する。
続いて本発明の実施例1に係る表面基準検出機構について図面を参照して説明する。本実施例は、図1に示した表面基準検出機構の詳細を示す例である。
(表面基準検出機構100の構造)
図2は、本発明の実施例1に係る表面基準検出機構の概要を示す斜視図である。本実施例の表面基準検出機構100における各構成が、図1に示した硬さ試験機1の各構成のいずれに対応するかについては、随時説明する。
表面基準検出機構100は、圧子軸101及び保持部102を有する。圧子軸101は、図1の圧子軸27に対応する。保持部102は、図1の保持部31に対応する。本実施例において、圧子軸101及び保持部102は、図2に示す状態よりも軸方向他方側に延びて、図1に示した各構成と連結するが、図2では、その図示を省略している。
表面基準検出機構100は、さらに、縁部103と、操作部105と、付勢部106と、規制部108a、108b及び108c(図5参照)と、圧子基準部110と、を有する。本実施例の表面基準検出機構100は、保持部102により圧子基準部110を着脱可能に保持し、圧子基準部110を交換する際の作業効率を改善する。
図3は、図2に示す圧子基準部110の斜視図である。
圧子基準部110は、圧子軸101が貫通する貫通孔110aを有する円筒状部材である。圧子基準部110は、軸方向他方側に筒状部111を有する。圧子基準部110は、筒状部111よりも軸方向一方側に接触部113を有する。圧子基準部110は、図1の圧子基準部33に対応する。
筒状部111は、周方向の全周に亘って、その外周面に径方向内側に凹む溝部111aを有する。溝部111aは、その軸方向他方側端部から軸方向一方側に行くにつれて徐々に径方向内側に傾くテーパ111bを有する。溝部111aは、その軸方向一方側端部から軸方向他方側に行くにつれて徐々に径方向内側に傾くテーパ111cを有する。筒状部111は、溝部111aよりも軸方向一方側、径方向外側に突出する突出部112を有する。突出部112は、軸方向他方側に面112aを有する。
接触部113は、図1に示した試料34と接する面113aを有する。面113aは、図1の面33aに対応する。接触部113は、圧子軸101を径方向外側から視認可能な切り欠き部113bを有する。
図4は、図2に示す表面基準検出機構100を、X軸と直交し中心軸Jを通る面で切断して示す側断面図である。図4は、保持部102で圧子基準部110を保持した状態を示す図である。
図5は、図4に示す表面基準検出機構100のA-A平断面図である。
圧子軸101は、中心軸Jに沿って配置され、軸方向一方側端部に圧子107を有する。圧子107は、図1の圧子28に対応する。圧子軸101は、軸方向に移動可能である。
保持部102は、圧子軸101が貫通する貫通孔102aを有する円筒状部材である。保持部102は、軸方向に移動可能である。保持部102は、軸方向他方側に内周面102aを有し、軸方向一方側に内周面102bを有する。内周面102aの内径は、内周面102bの内径よりも小さい。内周面102aの内径は、圧子基準部110の筒状部111の外径よりも小さい。内周面102bの内径は、圧子基準部110の筒状部111の外径よりも大きい。圧子基準部110の筒状部111は、保持部102の内周面102bの位置で、保持部102に収容可能である。このとき、保持部102の軸方向一方側端部の面102cは、圧子基準部110の面112aに当接する。
保持部102は、軸方向において内周面102bの位置で径方向外側から径方向内側に貫通する貫通孔102da、102db及び102dcを有する。貫通孔102da、102db及び102dcは、周方向に等間隔で設けられている。貫通孔102da、102db及び102dcのそれぞれは、径方向外側から径方向内側に行くにつれて孔径が小さくなるテーパを有する。貫通孔102da、102db及び102dcのそれぞれのテーパは、その軸方向一方側端部の位置が、径方向内側から径方向外側に行くにつれて徐々に軸方向一方側に傾くテーパである。
表面基準検出機構100は、貫通孔102daに嵌まる規制部108a、貫通孔102dbに嵌まる規制部108b及び貫通孔102dcに嵌まる規制部108cを有する。規制部108a、108b及び108cのそれぞれは、例えば球体部材である。規制部108a、108b及び108cのそれぞれは、例えば鋼球である。貫通孔102da、102db及び102dcの径方向内側における孔径は、規制部108a、108b及び108cの直径よりも小さい。このため、保持部102が圧子基準部110を保持していない場合であっても、規制部108a、108b及び108cは、貫通孔102da、102db及び102dcから径方向内側に脱落しない。
表面基準検出機構100は、規制部108a、108b及び108cの径方向外側に、保持部102が貫通する操作部105を有する。操作部105は、筒状部材である。操作部105は、保持部102の外周面に沿って軸方向に移動可能である。
表面基準検出機構100は、保持部102が貫通する縁部103を有する。縁部103は、円環状部材である。縁部103は、保持部102の径方向外側にねじ等で固定されている。縁部103は、操作部105よりも軸方向他方側に位置する。表面基準検出機構100は、縁部103の軸方向一方側端部と操作部105の軸方向他方側端部との間に、付勢部106を有する。付勢部106は、例えばコイルばねである。付勢部106は、操作部105を軸方向一方側に付勢する。
操作部105は、その内周面に、周方向の全周に亘ってテーパ105aを有する。テーパ105aは、軸方向他方側端部から軸方向一方側に行くにつれて徐々に径方向外側に傾くテーパである。操作部105の内周面は、テーパ105aの軸方向一方側端部における内径のままで、操作部105の軸方向一方側端部まで維持される。保持部102の外周面から操作部105の内周面までの径方向での距離は、規制部108a、108b及び108cの直径よりも短い。このため、規制部108a、108b及び108cは、保持部102と操作部105との間から外部に脱落しない。
付勢部106が操作部105を軸方向一方側に付勢すると、操作部105は軸方向一方側に移動する。この操作部105の移動により、規制部108a、108b及び108cは、操作部105のテーパ105aに沿って径方向内側に付勢される。この付勢により、規制部108a、108b及び108cは径方向内側に転動し、それぞれの径方向内側の端部は、圧子基準部110のテーパ111bを径方向内側及び軸方向他方側に付勢する。テーパ111bが規制部108a、108b及び108cの3点で径方向内側及び軸方向他方側に付勢されることにより、圧子基準部110は軸方向他方側に移動する。この圧子基準部110の移動により、圧子基準部110の面112aは保持部102の面102cに当接して、圧子基準部110の軸方向他方側への移動が止まる。この状態では、圧子基準部110の軸方向他方側への移動は、面112aが面102cに当接することで規制され、圧子基準部110の軸方向一方側への移動は、規制部108a、108b及び108cがテーパ111bを径方向内側及び軸方向他方側に付勢することで規制される。これにより、圧子基準部110は、保持部102で保持されて、固定される。
(表面基準検出機構100の動作)
図6は、図2に示す表面基準検出機構100を、X軸と直交し中心軸Jを通る面で切断して示す側断面図であって、操作部105を操作した状態を示す図である。
硬さ試験機1の操作者は、図4に示す状態から圧子基準部110を交換する際、まず保持部102から圧子基準部110を取り外すために操作部105を操作する。この操作は、操作部105を、付勢部106の付勢力に抗って軸方向他方側移動させることで行われる。
図4の状態において操作部105を軸方向他方側移動させると、規制部108a、108b及び108cは、径方向内側に付勢する付勢力を受けなくなり、径方向外側に移動可能となる。このため、図6に示すように、圧子基準部110の軸方向一方側への移動に対する規制は解除され、操作者は、保持部102から圧子基準部110を取り外すことが可能となる。図4は、規制部108a、108b及び108cが、保持部102に対する圧子基準部110の動きを規制する第1位置にある場合の例を示す図である。図6は、規制部108a、108b及び108cが、圧子基準部110を保持部102から取り外し可能な第2位置にある場合の例を示す図である。規制部108a、108b及び108cは、第1位置と第2位置との間で移動可能である。付勢部106は、規制部108a、108b及び108cを第1位置に留まらせるように付勢する。
図7は、図2に示す表面基準検出機構100を、X軸と直交し中心軸Jを通る面で切断して示す側断面図であって、保持部102から圧子基準部110を取り外した状態を示す図である。
保持部102から圧子基準部110を取り外した後は、図7に示すように、操作者が操作部105の操作を停止することで、操作部105は軸方向一方側に移動する。このとき、上述のように、貫通孔102da、102db及び102dcの径方向内側における孔径は、規制部108a、108b及び108cの直径よりも小さいため、規制部108a、108b及び108cは、貫通孔102da、102db及び102dcから径方向内側に脱落しない。
図7の状態から、保持部102に圧子基準部110を取り付ける際は、操作者は、圧子基準部110の面113aを軸方向一方側に向けて、保持部102の内周面102bに圧子基準部110を軸方向一方側から挿入する。このとき、操作者は操作部105を軸方向他方側に移動させながら、圧子基準部110を保持部102に挿入してもよい。規制部108a、108b及び108cが圧子基準部110の溝部111aに達するまで、圧子基準部110を挿入することで、圧子基準部110の取り付けが完了する。
また、圧子基準部110を保持部102に挿入する際のしやすさを向上するため、圧子基準部110は、軸方向他方側端部の径方向外側の肩に、軸方向一方側から軸方向他方側に行くにつれて徐々に径方向内側に傾くテーパを有するものであってもよい。
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
1…硬さ試験機、34…試料、100…表面基準検出機構、101…圧子軸、102…保持部、107…圧子、110…圧子基準部。

Claims (6)

  1. 中心軸に沿って配置され、試料に押し当てられる圧子を軸方向一方側端部に有し、軸方向に移動可能な圧子軸と、
    前記圧子よりも軸方向一方側に配置された試料の軸方向他方側面に当接して前記圧子の位置基準となる圧子基準部と、
    前記圧子基準部を着脱可能に保持し、前記圧子基準部と連動する保持部と、
    前記保持部と連動し、前記圧子基準部に対する前記圧子の相対位置を検出する圧子位置検出部と、
    前記保持部に対する前記圧子基準部の動きを規制する第1位置と前記圧子基準部を前記保持部から取り外し可能な第2位置との間で移動可能な規制部と、
    前記規制部を前記第1位置に留まらせるように付勢する付勢部と、
    を有し、
    前記付勢部の付勢力に抗う外力が加わることによって前記付勢部による付勢が解除され、前記規制部は前記第2位置に移動可能となる、
    ことを特徴とする表面基準検出機構。
  2. 前記圧子基準部は、前記規制部が嵌まる溝部を有する、
    ことを特徴とする請求項1に記載の表面基準検出機構。
  3. 前記規制部は、球体部材である、
    ことを特徴とする請求項2に記載の表面基準検出機構。
  4. 前記保持部は、前記規制部が前記第2位置に転がるテーパを有する、
    ことを特徴とする請求項3に記載の表面基準検出機構。
  5. 前記圧子基準部は、前記保持部の軸方向一方側端部に軸方向一方側から当接する当接部を有する、
    ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の表面基準検出機構。
  6. 前記圧子を試料に押し当てて試料の硬さ試験を行う硬さ試験機であって、
    請求項1乃至5のいずれか1項に記載の表面基準検出機構と、
    前記圧子基準部を軸方向に移動させる基準駆動部と、
    前記圧子軸を軸方向に移動させ、前記圧子よりも軸方向一方側に配置された試料の軸方向他方側面に、前記圧子の軸方向一方側端部を押し当てる圧子軸駆動部と、
    前記圧子基準部を試料に当接させた状態で前記圧子を試料に押し当て、前記圧子基準部に対する前記圧子の相対位置を検出する検出部と、
    を有する、
    ことを特徴とする硬さ試験機。
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