JP2022086126A - 異物除去装置及び異物除去方法 - Google Patents

Abstract

【課題】薄膜に付着した異物を除去する際の薄膜の破損を抑制することができる異物除去装置及び異物除去方法を提供する。【解決手段】本発明に係る異物除去装置１は、針状の針部材１１の先端１３に流体の粘着部材１２が形成された粘着針１０と、薄膜４０の一方の面４１に付着した異物５０と、粘着部材１２との間の距離を薄膜４０の他方の面４２側から計測する距離計測部２０と、を備え、異物５０に粘着部材１２を接触させた状態で、粘着針１０を薄膜４０から離すことにより、異物５０を薄膜４０から除去する。【選択図】図１

Description

本発明は、異物除去装置及び異物除去方法に関する。

ＥＵＶマスクのパターンを保護する部材として、パターン面を覆うペリクルが知られている。

特開平６－２６０４６４号公報

ＥＵＶマスクのパターンを覆うペリクルは、非常に薄くて破れやすいので、洗浄によって異物を除去することが困難である。また、粘着性のウレタンやシリコーン樹脂をペリクルに貼り付け、異物を粘着させて除去する場合がある。しかし、この場合には、ペリクルを引き剥がす際に、ペリクルを破損させることがある。このように、ペリクル等の薄膜に付着した異物を除去する際の薄膜の破損を抑制する方法が所望されている。

本発明の目的は、このような問題を解決するためになされたものであり、薄膜に付着した異物を除去する際の薄膜の破損を抑制することができる異物除去装置及び異物除去方法を提供することである。

本実施形態の一態様に係る異物除去装置は、針状の針部材の先端に流体の粘着部材が形成された粘着針と、薄膜の一方の面に付着した異物と、前記粘着部材との間の距離を前記薄膜の他方の面側から計測する距離計測部と、を備え、前記異物に前記粘着部材を接触させた状態で、前記粘着針を前記薄膜から離すことにより、前記異物を前記薄膜から除去する。このような構成により、薄膜に付着した異物を除去する際の薄膜の破損を抑制することができる。

上記の異物除去装置では、前記粘着部材は、水、油、紫外線硬化樹脂の少なくともいずれかを含んでもよい。

上記の異物除去装置では、前記針部材を冷却または加熱することにより、前記粘着部材の粘度を制御する加熱冷却部をさらに備えてもよい。

上記の異物除去装置では、前記粘着部材に紫外線を照射することにより、前記粘着部材の粘度を制御する紫外線照射部をさらに備えてもよい。

上記の異物除去装置では、前記針部材は中空の管であり、前記針部材を通して前記先端に前記粘着部材を供給する粘着部材供給容器をさらに備えてもよい。

上記の異物除去装置では、前記粘着部材供給容器に設けられ、前記粘着部材を熱膨張させて前記先端に前記粘着部材を供給するヒータをさらに備えてもよい。

上記の異物除去装置では、前記距離計測部は、共焦点光学系を含んでもよい。

本実施形態の一態様に係る異物除去方法は、針状の針部材の先端に流体の粘着部材を形成して粘着針を準備するステップと、薄膜の一方の面に付着した異物と、前記粘着部材との間の距離を前記薄膜の他方の面側から計測するステップと、前記異物に前記粘着部材を接触させるステップと、前記異物に前記粘着部材を接触させた状態で、前記粘着針を前記薄膜から離すことにより、前記異物を前記薄膜から除去するステップと、を備える。このような構成により、薄膜に付着した異物を除去する際の薄膜の破損を抑制することができる。

上記の異物除去方法では、前記粘着針を準備するステップにおいて、前記粘着部材は、水、油、紫外線硬化性樹脂の少なくともいずれかを含むようにしてもよい。

上記の異物除去方法では、前記粘着針を準備するステップにおいて、前記針部材を冷却することにより、前記粘着部材の粘度を制御してもよい。

上記の異物除去方法では、前記粘着針を準備するステップにおいて、前記粘着部材に紫外線を照射することにより、前記粘着部材の粘度を制御してもよい。

上記の異物除去方法では、前記粘着針を準備するステップにおいて、前記針部材は中空の管であり、前記針部材を通して前記先端に粘着部材供給容器から前記粘着部材を供給してもよい。

上記の異物除去方法では、前記粘着部材を供給する際に、前記粘着部材を熱膨張させて前記先端に前記粘着部材を供給してもよい。

上記の異物除去方法では、前記計測するステップにおいて、共焦点光学系を用いて計測してもよい。

本発明によれば、薄膜に付着した異物を除去する際の薄膜の破損を抑制することができる異物除去装置及び異物除去方法を提供することができる。

実施形態１に係る異物除去装置を例示した構成図である。 実施形態１に係る距離計測部を例示した構成図である。 実施形態１に係る異物除去方法を例示したフローチャート図である。 実施形態２に係る異物除去装置を例示した図である。

以下、本実施形態の具体的構成について図面を参照して説明する。以下の説明は、本発明の好適な実施の形態を示すものであって、本発明の範囲が以下の実施の形態に限定されるものではない。以下の説明において、同一の符号が付されたものは実質的に同様の内容を示している。

（実施形態１）
まず、実施形態１に係る異物除去装置及び異物除去方法を説明する。図１は、実施形態１に係る異物除去装置を例示した構成図である。図１に示すように、異物除去装置１は、粘着針１０と、距離計測部２０と、を備える。異物除去装置１は、加熱冷却部３０をさらに備えてもよい。異物除去装置１は、例えば、ペリクル等の薄膜４０に付着した異物５０を除去する装置である。

ここで、異物除去装置１の説明の便宜のために、ＸＹＺ座標軸系を設定する。例えば、薄膜４０における異物５０が付着した部分の一方の面４１をＸＹ面とする。一方の面４１側から、反対側の他方の面４２側へ向かう方向を＋Ｚ軸方向とする。

粘着針１０は、薄膜４０の一方の面４１側に配置されている。すなわち、粘着針１０は、薄膜４０よりも－Ｚ軸方向側に配置されている。粘着針１０は、針部材１１及び粘着部材１２を有する。粘着針１０において、針状の針部材１１の先端１３に流体の粘着部材１２が形成されている。粘着針１０は、例えば、針部材１１の先端１３を薄膜４０側に向けている。粘着針１０は、Ｚ軸方向に沿って配置されている。なお、粘着針１０は、先端１３を薄膜４０側に向けていれば、Ｚ軸方向から傾いて配置されてもよい。

粘着針１０は、先端１３に形成された粘着部材１２を異物５０に接触させるように移動可能である。また、粘着針１０は、薄膜４０から離すように移動可能である。例えば、粘着針１０を支持する図示しない支持部により、粘着針１０を薄膜４０に近づけたり遠ざけたりする。また、薄膜４０を載置させた図示しないステージを移動させることにより、粘着針１０を薄膜４０に近づけたり遠ざけたりしてもよい。これにより、異物除去装置１は、異物５０に粘着部材１２を接触させた状態で、粘着針１０を薄膜４０から離すことにより、異物５０を薄膜４０から除去する。

針部材１１は、針状であり、先端１３を有している。針部材１１は、数１０［μｍ］から数１００［μｍ］の外径を有する。針部材１１は、例えば、１０［μｍ］～９００［μｍ］の外径であり、５０［μｍ］～５００［μｍ］の外径でもよい。針部材１１は、材料として、金属を含んでもよい。また、針部材１１は、ガラス等の透明部材を含んでもよいし、プラスティックを含んでもよい。針部材１１は、伝熱材であることが好ましいが、これにこだわらない。

粘着部材１２は、針部材１１の先端１３に形成される。例えば、針部材１１の先端１３に粘着部材１２を付着させることにより、先端１３に粘着部材１２を形成する。粘着部材１２は、流体である。粘着部材１２は、例えば、流体の水を含む。なお、粘着部材１２は、流体であれば、水に限らず、油、紫外線硬化樹脂を含むものでもよい。

粘着部材１２は、粘度を制御することができるものが好ましい。例えば、加熱冷却部３０は、粘着部材１２を冷却または加熱することにより、粘着部材１２の粘度を制御する。加熱冷却部３０は、例えば、ペルチェ素子である。加熱冷却部３０は、針部材１１に伝熱材３１で接続されている。加熱冷却部３０は、伝熱材３１及び針部材１１を介して水を含む粘着部材１２を冷却することにより、粘度を増加させる。これにより、粘着部材１２に異物５０を付着させる。また、加熱冷却部３０は、伝熱材３１及び針部材１１を介して水を含む粘着部材１２を加熱することにより、粘度を減少させる。これにより、異物５０または異物５０を付着させた粘着部材１２を先端１３から除去してもよい。

なお、粘着部材１２を冷却または加熱する代わりに、粘着部材１２に紫外線を照射することにより、粘着部材１２の粘度を制御してもよい。例えば、異物除去装置１は、加熱冷却部３０の代わりに、紫外線照射部を備えるようにしてもよい。紫外線照射部は、粘着部材１２に紫外線を照射することにより、粘着部材１２の粘度を制御する。

距離計測部２０は、薄膜４０の一方の面４１に付着した異物５０と、粘着部材１２との間の距離を薄膜４０の他方の面４２側から計測する。距離計測部２０は、例えば、共焦点光学系を含む。なお、距離計測部２０は、薄膜４０の一方の面４１に付着した異物５０と、粘着部材１２との間の距離を薄膜４０の他方の面４２側から計測することができれば、共焦点光学系を含むものに限らず、光学顕微鏡、電子顕微鏡等でもよい。

図２は、実施形態１に係る距離計測部２０を例示した構成図である。図２に示すように、距離計測部２０は、共焦点光学系として、光源２１、ハーフミラー２２、レンズ２３、ミラー２４、レンズ２５、レンズ２６、対物レンズ２７、検出器２８、駆動部２９ａ（駆動部２９ｂ）を備えている。距離計測部２０は、上記の光学部材以外に他の部材を含んでもよい。

光源２１は、薄膜４０、異物５０及び粘着部材１２を照明する照明光を生成する。薄膜４０、異物５０及び粘着部材１２をまとめて薄膜４０等と呼ぶ。光源２１は、ランプ光源、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）、レーザ光源などの種々の光源を用いることが可能である。

光源２１からの照明光は、ハーフミラー２２に入射する。ハーフミラー２２は、入射した光の半分を透過して、残り半分を反射する。ハーフミラー２２で反射された照明光は、レンズ２３によって平行光束となる。平行光束となった照明光は、ミラー２４に入射する。ミラー２４は、照明光をレンズ２５の方向に反射する。

ミラー２４には、走査手段が取り付けられてもよい。走査手段が取り付けられたミラー２４は、例えば、ガルバノミラーである。走査手段は、ミラー２４の傾きを変えることにより、薄膜４０等の照明位置をＸ軸方向及びＹ軸方向に走査する２次元スキャンを行う。

ミラー２４で反射した照明光は、レンズ２５及びレンズ２６で屈折される。レンズ２５及びレンズ２６は、例えば、リレーレンズである。レンズ２６を通過した照明光は、平行光束となっている。

レンズ２６を通過した照明光は、対物レンズ２７に入射する。対物レンズ２７は、照明光を集光して薄膜４０等を照明する。対物レンズ２７は、照明光を焦点面に集光する。対物レンズ２７の焦点Ｆは、光軸ＯＸ上であって、薄膜４０等の近傍に位置する。

対物レンズ２７には、駆動部２９ａが取り付けられてもよい。駆動部２９ａは、対物レンズ２７を光軸方向に移動させる。駆動部２９ａは、例えば、モータ、ピエゾ素子、アクチュエータ等である。なお、駆動部２９ａは、対物レンズ２７を光軸方向に移動させることができれば、モータ、ピエゾ素子、アクチュエータ等にかぎらない。駆動部２９ａは、薄膜４０に対する対物レンズ２７の相対位置を変化させる。これにより、照明光の焦点位置Ｆに対して、薄膜４０等を光軸方向にスキャンすることができる。

薄膜４０は、ステージ上に載置されてもよい。ステージには、駆動部２９ｂが取り付けられてもよい。駆動部２９ｂは、薄膜４０を光軸ＯＸ方向に移動させる。駆動部２９ｂは、例えば、モータ、ピエゾ素子、アクチュエータ等である。なお、駆動部２９ｂは、薄膜４０を光軸ＯＸ方向に移動させることができれば、モータ、ピエゾ素子、アクチュエータ等にかぎらない。駆動部２９ｂは、薄膜４０に対する対物レンズ２７の相対位置を変化させる。これにより、照明光の焦点位置Ｆに対して、薄膜４０等を光軸ＯＸ方向にスキャンすることができる。

照明光は、薄膜４０等を照明する。そして、照明光は、薄膜４０等で反射される。薄膜４０等で反射した反射光は、照明光の光路を戻っていく。つまり、反射光は、対物レンズ２７で平行光束となって、レンズ２６に入射する。レンズ２６及びレンズ２５は、反射光を屈折する。レンズ２５を通過した反射光は、ミラー２４で反射されて、レンズ２３に入射する。ミラー２４に走査手段が取り付けられている場合には、反射光は、ミラー２４でデスキャンされる。そして、ミラー２４で反射された反射光は、レンズ２３で屈折されて、ハーフミラー２２に入射する。レンズ２３からの反射光の半分が、ハーフミラー２２を通過して、検出器２８に入射する。

レンズ２３は、結像レンズであり、反射光を検出器２８の受光面に集光している。検出器２８は、例えば、複数の画素を備えたセンサである。具体的には、検出器２８として、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅｄ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）またはＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）センサを用いることができる。

検出器２８の受光面は、対物レンズ２７の焦点面とは互いに共役な位置に配置されている。対物レンズ２７で集光された照明光が、焦点面において、照明領域を形成する。検出器２８の受光面では、反射光が集光される。焦点面から光軸方向にずれた面で反射された反射光は、検出器１８の画素の外側に入射する。このようにすることで、共焦点光学系を構成することができる。

上記の例では、対物レンズ２７の焦点面から共役な位置に検出器２８を配置していたが、ピンホールまたはスリットを用いて共焦点光学系を構成してもよい。例えば、ピンホール等を焦点面と共役な位置に配置する。検出器２８がピンホール等を通過した反射光を検出するよう、ピンホール等の後ろ側に検出器２８を配置する。

このような構成とすることにより、焦点面で反射した反射光がピンホール等を通過し、焦点面からずれた面で反射された反射光は、遮光される。よって、共焦点光学系を構成することができる。

次に、本実施形態の異物除去方法を説明する。図３は、実施形態１に係る異物除去方法を例示したフローチャート図である。図３のステップＳ１１に示すように、粘着針１０を準備する。具体的には、針状の針部材１１の先端１３に流体の粘着部材１２を形成して粘着針１０を準備する。

粘着針１０を準備する際に、粘着部材１２は、水、油、紫外線硬化樹脂の少なくともいずれかを含むようにしてもよい。また、粘着針１０を準備する際に、粘着針１０を冷却または加熱することにより、粘着部材１２の粘度を制御してもよい。また、粘着針１０を準備する際に、粘着部材１２に紫外線を照射することによって、粘着部材１２の粘度を制御してもよい。

次に、ステップＳ１２に示すように、薄膜４０上の異物５０と、粘着部材１２との間の距離を計測する。具体的には、薄膜４０の一方の面４１に付着した異物５０と、粘着部材１２との間の距離を薄膜４０の他方の面４２側から計測する。異物５０と、粘着部材１２との間の距離を計測する際に、共焦点光学系を用いて計測してもよい。

次に、ステップＳ１３に示すように、異物５０に粘着部材１２を接触させる。異物５０と、粘着部材１２との間の距離を計測しながら、例えば、粘着針１０を支持する支持部を移動させることにより、異物５０に粘着部材１２を接触させる。また、薄膜４０を載置させたステージを移動させることにより、異物５０に粘着部材１２を接触させてもよい。

次に、ステップＳ１４に示すように、異物５０に粘着部材１２を接触させた状態で、粘着針１０を薄膜４０から離すことにより、異物５０を薄膜４０から除去する。例えば、粘着針１０を支持する支持部を移動させることにより、粘着針１０を薄膜４０から離してもよいし、薄膜４０を載置させたステージを移動させることにより、粘着針１０を薄膜４０から離してもよい。このようにして、薄膜４０から異物５０を除去する。

次に、本実施形態の効果を説明する。本実施形態の異物除去装置１は、先端１３に流体の粘着部材１２が形成された粘着針１０を用いている。よって、異物５０を粘着針１０の先端１３の粘着部材１２に接触させて除去するので、薄膜４０に付着した異物５０を除去する際の薄膜４０の破損を抑制することができる。

粘着部材１２として、流体の水を用いてもよい。仮に、薄膜４０に水が接しても、薄膜４０に及ぼす水の影響はほとんど無視することができる。また、水は、冷却または加熱することにより、粘度を制御することができる。よって、水は、粘度を制御することにより、薄膜４０に付着した異物５０を吸着することができる。粘着部材１２として、流体の油を用いた場合も、冷却または加熱することにより、粘度を制御することができる。

粘着部材１２として、流体の紫外線硬化樹脂を用いてもよい。紫外線硬化樹脂に紫外線を照射することにより、粘着部材の粘度を制御することができる。よって、粘度を制御することにより、薄膜４０に付着した異物５０を吸着することができる。

距離計測部２０に共焦点光学系を含むようにすることにより、異物５０と粘着部材１２との間の距離を光学的に計測することができる。よって、異物５０と粘着部材１２との間の距離を高精度に計測することができ、粘着部材１２を異物５０のみに接触させることができる。

（実施形態２）
次に、実施形態２に係る異物除去装置及び異物除去方法を説明する。本実施形態では、粘着針の針部材は、中空の管であり、針部材を通して粘着針の先端に粘着部材を供給する。図４は、実施形態２に係る異物除去装置を例示した図である。図４に示すように、異物除去装置２は、粘着針６０と、距離計測部２０と、粘着部材供給容器７０と、を備える。

粘着針６０は、薄膜４０の一方の面４１側に配置されている。粘着針６０は、針部材６１及び粘着部材６２を有する。本実施形態の針部材６１は、中空の管である。針部材６１が数１０［μｍ］から数１００［μｍ］の外径を有することは、実施形態１の針部材１１と同様である。針部材６１は、例えば、１０［μｍ］～９００［μｍ］の内径の管状であり、５０［μｍ］～５００［μｍ］の内径の管状でもよい。針部材６１は、実施形態１の針部材１１と同様の材料を含んでもよい。

粘着部材６２が針部材６１の先端６３に形成されることは、実施形態１と同様である。しかしながら、粘着部材６２は、管状の針部材６１を通して粘着部材供給容器７０から先端６３に供給される。粘着部材６２は、実施形態１の粘着部材１２と同様の材料を含んでもよい。粘着部材６２は、実施形態１と同様に、粘度を制御することができるものが好ましい。異物除去装置２において、加熱冷却部３０を針部材６１に伝熱材３１によって接続されてもよい。また、異物除去装置２において、加熱冷却部３０の代わりに、紫外線照射部を備えるようにし、粘着部材１２に紫外線を照射することにより、粘着部材１２の粘度を制御してもよい。

粘着部材供給容器７０は、粘着部材６２を保持する。粘着部材供給容器７０は、保持した粘着部材６２を、針部材６１を通して、針部材６１の先端６３に供給する。例えば、粘着部材供給容器７０にはヒータ７１が設けられている。粘着部材供給容器７０に設けられたヒータ７１は、粘着部材６２を熱膨張させて先端６３に粘着部材６２を供給する。なお、粘着部材６２を、針部材６１を通して、針部材６１の先端６３に供給する方法は、ヒータにより粘着部材６２を熱膨張させて供給する方法に限らず、プランジャー等により圧入する方法でもよい。

本実施形態の異物除去方法は、実施形態１の異物除去方法におけるスッテプＳ１１の粘着針を準備するステップにおいて、針部材６１を、中空の管とし、針部材６１を通して先端１３に粘着部材供給容器７０から粘着部材６２を供給するようにする。粘着部材６２を供給する際に、粘着部材６２を熱膨張させて先端６３に粘着部材６２を供給してもよい。

本実施形態によれば、中空の針部材６１を通して先端６３に粘着部材１２を供給するので、先端６３に粘着部材６２を容易に形成することができる。例えば、粘着部材供給容器７０に設けられたヒータ７１によって、粘着部材６２を熱膨張させることにより、先端６３に粘着部材６２を容易に形成することができる。

また、粘着部材６２に異物５０を付着させた後で、先端６３から粘着部材６２を押し出すことにより、異物５０が付着した粘着部材１２を粘着針１０から排出するとともに、先端６３に新たな粘着部材６２を用意することができる。よって、異物除去の効率を向上させることができる。本実施形態の異物除去装置２及び異物除去方法におけるこれ以外の構成、動作及び効果は、実施形態１の記載に含まれている。

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はその目的と利点を損なうことのない適宜の変形を含み、更に、上記の実施形態による限定は受けない。例えば、実施形態１～２の各構成を組み合わせたものも、実施形態の技術的思想の範囲に含まれる。

１、２ 異物除去装置
１０ 粘着針
１１ 針部材
１２ 粘着部材
１３ 先端
２０ 距離計測部
２１ 光源
２２ ハーフミラー
２３ レンズ
２４ ミラー
２５、２６ レンズ
２７ 対物レンズ
２８ 検出器
２９ａ、２９ｂ 駆動部
３０ 加熱冷却部
３１ 伝熱材
４０ 薄膜
４１ 一方の面
４２ 他方の面
５０ 異物
６０ 粘着針
６１ 針部材
６２ 粘着部材
６３ 先端
７０ 粘着部材供給容器
７１ ヒータ

Claims (14)

1. 針状の針部材の先端に流体の粘着部材が形成された粘着針と、
   薄膜の一方の面に付着した異物と、前記粘着部材との間の距離を前記薄膜の他方の面側から計測する距離計測部と、
   を備え、
   前記異物に前記粘着部材を接触させた状態で、前記粘着針を前記薄膜から離すことにより、前記異物を前記薄膜から除去する、
   異物除去装置。
2. 前記粘着部材は、水、油、紫外線硬化樹脂の少なくともいずれかを含む、
   請求項１に記載の異物除去装置。
3. 前記針部材を冷却または加熱することにより、前記粘着部材の粘度を制御する加熱冷却部をさらに備えた、
   請求項１または２に記載の異物除去装置。
4. 前記粘着部材に紫外線を照射することにより、前記粘着部材の粘度を制御する紫外線照射部をさらに備えた、
   請求項１または２に記載の異物除去装置。
5. 前記針部材は中空の管であり、
   前記針部材を通して前記先端に前記粘着部材を供給する粘着部材供給容器をさらに備えた、
   請求項１～４のいずれか１項に記載の異物除去装置。
6. 前記粘着部材供給容器に設けられ、前記粘着部材を熱膨張させて前記先端に前記粘着部材を供給するヒータをさらに備えた、
   請求項５に記載の異物除去装置。
7. 前記距離計測部は、共焦点光学系を含む、
   請求項１～６のいずれか１項に記載の異物除去装置。
8. 針状の針部材の先端に流体の粘着部材を形成して粘着針を準備するステップと、
   薄膜の一方の面に付着した異物と、前記粘着部材との間の距離を前記薄膜の他方の面側から計測するステップと、
   前記異物に前記粘着部材を接触させるステップと、
   前記異物に前記粘着部材を接触させた状態で、前記粘着針を前記薄膜から離すことにより、前記異物を前記薄膜から除去するステップと、
   を備えた異物除去方法。
9. 前記粘着針を準備するステップにおいて、
   前記粘着部材は、水、油、紫外線硬化樹脂の少なくともいずれかを含むようにする、
   請求項８に記載の異物除去方法。
10. 前記粘着針を準備するステップにおいて、
    前記針部材を冷却または加熱することにより、前記粘着部材の粘度を制御する、
    請求項８または９に記載の異物除去方法。
11. 前記粘着針を準備するステップにおいて、
    前記粘着部材に紫外線を照射することにより、前記粘着部材の粘度を制御する、
    請求項８または９に記載の異物除去方法。
12. 前記粘着針を準備するステップにおいて、
    前記針部材を中空の管とし、
    前記針部材を通して前記先端に粘着部材供給容器から前記粘着部材を供給する、
    請求項８～１１のいずれか１項に記載の異物除去方法。
13. 前記粘着部材を供給する際に、前記粘着部材を熱膨張させて前記先端に前記粘着部材を供給する、
    請求項１２に記載の異物除去方法。
14. 前記計測するステップにおいて、
    共焦点光学系を用いて計測する、
    請求項８～１１のいずれか１項に記載の異物除去方法。

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