JP2022083644A - 回転式ホイルトラップおよび光源装置 - Google Patents
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Abstract
Description
EUV光源装置において、EUV光(EUV放射)を発生させる方法はいくつか知られている。それらの方法のうちの一つに、極端紫外光放射種(以下、「EUV放射種」ともいう。)を加熱して励起することにより高温プラズマを発生させ、その高温プラズマからEUV光を取り出す方法がある。
DPP方式のEUV光源装置は、EUV放射種(気相のプラズマ原料)を含む放電ガスが供給された電極間の間隙に高電圧を印加して、放電により高密度高温プラズマを生成し、そこから放射される極端紫外光を利用するものである。DPP方式としては、例えば、特許文献1に記載されているように、放電を発生させる電極表面に液体状の高温プラズマ原料(例えば、Sn(スズ))を供給し、当該原料に対してレーザビーム等のエネルギービームを照射して当該原料を気化し、その後、放電によって高温プラズマを生成する方法が提案されている。このような方式は、LDP(Laser Assisted Discharge Plasma)方式と呼ばれることもある。
EUV光は大気中では減衰しやすいので、プラズマから利用装置までは、減圧雰囲気つまり真空環境におかれている。
複数のホイルにより細かく分割された各空間においては、当該空間でのコンダクタンスを下げて圧力を上げる機能が奏される。デブリがこれらのホイルにより分割された各空間(圧力が上昇した領域)を進行すると、この圧力が上昇した領域におけるデブリと雰囲気ガスとの衝突確率が上がる。その結果、デブリの飛散速度が低下し、またデブリの進行方向が変わるため、デブリはデブリ低減装置に捕捉される。
なお、一つのデブリ低減装置は、回転式ホイルトラップと固定式ホイルトラップとの双方を備えていてもよいし、いずれか一方のみを備えていてもよい。
上記不具合は、一部の回転式ホイルトラップのみで発生し、比較的多くの回転式ホイルトラップでは、上記不具合が発生した回転式ホイルトラップよりも数倍の使用時間を経ても上記不具合は発生していなかった。
そこで、同一ロットで製造した複数の回転式ホイルトラップについて、不具合の発生度合いを調査した。その結果、この不具合は同一ロットで製造した全ての回転式ホイルトラップ(特に、同一ロットで製造したホイル)で発生するわけではないことが分かった。具体的には、同一ロットで製造した回転式ホイルトラップのうち、ある回転式ホイルトラップでは約44時間後にホイルの一部が破断したが、約2ヵ月稼働しても一切ホイルの破断が発生しない回転式ホイルトラップも存在した。
この場合、回転式ホイルトラップの回転動作に伴うホイルの破断等の不具合の発生を確実に抑制することができる。
この場合、ホイルに付着した原料(デブリ)が液化して、液滴となったデブリが回転するホイル上を遠心力により回転の半径方向に移動してホイル外に離脱するため、ホイル上にデブリが堆積しないようにすることができる。そして、このような高温環境下で回転式ホイルトラップを回転動作させた場合であっても、当該回転動作に伴うホイルの破断等の不具合の発生を適切に抑制することができる。
この場合、結晶粒の長径方向が遠心力方向と一致または略一致するように構成することができる。ホイルの圧延方向は、SEM(Scanning Electron Microscope)等により容易に判断することができる。
これにより、比較的長期間の稼働寿命を有する回転式ホイルトラップを備えた光源装置(極端紫外光光源装置)とすることができる。
具体的には、EUV光源装置1は、放電を発生させる一対の放電電極EA、EBの表面にそれぞれ供給された液相のプラズマ原料SA、SBにレーザビームLB等のエネルギービームを照射して当該プラズマ原料SA、SBを気化させる。その後、放電電極EA、EB間の放電領域Dの放電によってプラズマPを発生させる。プラズマPからはEUV光が放出される。
このように各放電電極EA、EBは、個別のモータMA、MBによって回転軸JA、JBを介してそれぞれ駆動される。これらのモータMA、MBの回転駆動は、制御部12によって制御される。
ここで、可動ミラー16の姿勢を調整することにより、放電電極EAにおける赤外レーザビームLBの照射位置が調整される。可動ミラー16の姿勢の調整は、作業員が手動で実施してもよいし、後述する監視装置43からのEUV光の強度情報に基づき、制御部12が可動ミラー16の姿勢制御を行ってもよい。この場合、可動ミラー16は、図示を省略した可動ミラー駆動部により駆動される。
放電領域D付近の放電電極EAの外周面に付着された液相のプラズマ原料SAは、レーザビームLBの照射により気化され、気相のプラズマ原料SAとして放電領域Dに供給される。
パルス電力供給部13は、チャンバ11の外部に配置される。パルス電力供給部13から延びる給電線は、フィードスルーFA、FBを通過して、チャンバ11の内部に延びる。フィードスルーFA、FBは、チャンバ11の壁に埋設されてチャンバ11内の減圧雰囲気を維持するシール部材である。なお、プラズマPを発生させるためのレーザ源14の動作およびパルス電力供給部13の動作は、制御部12により制御される。
これらのデブリDBは、プラズマPの収縮および膨張過程を経て、大きな運動エネルギーを得る。すなわち、プラズマPから発生するデブリDBは、高速で移動するイオン、中性原子および電子を含み、このようなデブリDBは、利用装置42に到達すると、利用装置42内の光学素子の反射膜を損傷または汚染させ、性能を低下させることがある。
図3において、回転式ホイルトラップ22は、複数のホイル(ブレード)51と、外側リング52と、中心のハブ(支持部材)53と、を備える。外側リング52はハブ53に同心であり、各ブレード51は、外側リング52とハブ53との間に配置されている。ここで、各ブレード51は、薄膜または薄い平板である。各ブレード51は、ほぼ等しい角間隔をおいて放射状に配置される。各ブレード51は、ハブ53の中心軸線JMを含む平面上にある。回転式ホイルトラップ22の材料は、例えば、タングステンおよび/またはモリブデンなどの高融点金属である。
すなわち、図2に示すように、各ブレード51がハブ53の中心軸線JMを含む平面上に配置された回転式ホイルトラップ22は、ハブ53の中心軸線JMの延長線上にプラズマP(発光点)が存在するように配置される。これにより、ハブ53および外側リング52を除けば、EUV光は各ブレード51の厚みの分のみ遮光され、回転式ホイルトラップ22を通過するEUV光の割合(透過率ともいう)を最大にすることが可能となる。
開口部KAは、回転式ホイルトラップ22の回転軸JMから偏心した位置に設けられる。このとき、プラズマPから放出されるEUV光の一部は、開口部KAを介し、回転式ホイルトラップ22の回転軸方向(図2における左右方向)に対して傾斜角度をもって所定の立体角で遮熱板23から取り出される。
また、固定式ホイルトラップ24は、遮熱板23の開口部KAにより進行方向が制限されたEUV光であるEUV取出光が通過する領域に対応させた形状を備える。
図4および図5において、固定式ホイルトラップ24は、複数のホイル61と、ホイル61を支持する固定枠(固定部材)60とを備える。
ホイル61は、図5に示すように、EUV取出光の主光線UL方向に直交する断面において、それぞれ等間隔に配置される。また、固定枠60は、例えば、正面から見て矩形状となっている。なお、固定枠60の外形は、任意の形状であってよい。さらに、複数のホイル61は、図4に示すように、主光線UL方向に直交する方向から見ると、EUV取出光の光線方向に伸びるように放射状に配置される。
カバー部材25は、図示を省略した加熱手段またはEUV放射を受ける遮熱板23からの二次輻射によって加熱され、当該加熱によりカバー部材25の内面に付着したデブリDBは固化せず、液相状態を保持する。カバー部材25の内面に付着したデブリDBは、重力によりカバー部材25の下部に集まり、カバー部材25の下部から排出管26を介してカバー部材25の外に排出されて廃原料となり、デブリ収容部4に収容される。これにより、カバー部材25は、回転式ホイルトラップ22のブレード51の端部から離脱したデブリDBが接続チャンバ21の内部に飛散するのを防止することができる。
EUV光源装置1の稼働中では、ヒータ配線34に給電することによって、デブリ収容容器の内部は、スズの融点以上に加熱され、デブリ収容容器31内部に蓄積されたスズは液相にされる。
あるいは、カバー部材25に設けられている出射側開口部KOA、KOBの一部がカバー部材25内に蓄積されたデブリDBにより封鎖されて、出射側開口部KOA、KOBを通過するEUV光の一部が遮られることもある。
よって、デブリ収容容器31の内部の収容物であるスズを液相にすることで、デブリ収納容器31内でスズを平坦化し、石筍のような成長を回避しながらデブリ収納容器31内にスズを貯蔵することが可能となる。
接続チャンバ21から取り外されたデブリ収容容器31の内部のスズは固相になっているが、そのデブリ収容容器31を再加熱して内部のスズを再度液相とすることによって、デブリ収容容器31からスズを取り出すことができる。接続チャンバ21から取り外し、内部からスズを除去したデブリ収容容器31は再利用することができる。
プラズマPと開口部KBの中心部を結ぶ直線の延長線上には、監視装置43、EUV光案内孔28および案内管29が配置されている。従って、プラズマPから放出されるEUV光の一部は、チャンバ11の窓部17、遮熱板23の開口部KB、カバー部材25の入射側開口部KI、回転式ホイルトラップ22の複数のブレード51の隙間、カバー部材25の出射側開口部KOB、接続チャンバ21の壁のEUV光案内孔28および案内管29の内腔を順次通過して、監視装置43に到達する。このようにして、EUV光を監視装置43によって監視することができる。
上記不具合は、一部の回転式ホイルトラップのみで発生し、比較的多くの回転式ホイルトラップでは、上記不具合が発生した回転式ホイルトラップよりも数倍の使用時間を経ても不具合が発生していなかった。そのため、上記不具合は回転式ホイルトラップの稼働寿命によるものとは考えにくく、本発明者は、ある特定の同一ロットで製造された回転式ホイルトラップにおいて起こる不具合ではないかと考えた。
そこで、本発明者は、同一ロットで製造された複数の回転式ホイルトラップについて、不具合の発生度合いを調査した。その結果、この不具合は同一ロットで製造された全ての回転式ホイルトラップ(特に、同一ロットで製造したブレード)で発生するわけではないことが分かった。
なお、ここでは、圧延により引張加工された方向を「圧延方向」と称することにする。より具体的には、「圧延方向」とは、図6に示すように、金属製圧延薄板100の結晶粒101が伸長している方向(結晶粒101の長径方向)をいう。引張加工する方向を変えて複数回の圧延を行っている場合には、より結晶粒101が伸長している方向を圧延方向という。
金属製圧延薄板100の結晶構造は、SEM(Scanning Electron Microscope)等により容易に観察することが可能である。
ここで、図7に回転式ホイルトラップ22Aを模式的に示すように、ブレードの長手方向とは、ブレード51Aの長辺方向であり、回転式ホイルトラップ22Aの回転軸JMにほぼ直交する方向Aである。また、ブレードの短手方向とは、ブレード51Aの短辺方向であり、回転式ホイルトラップの回転軸JMにほぼ平行な方向Bである。
回転式ホイルトラップの回転動作中に、回転式ホイルトラップの各ブレードにかかる力は遠心力である。ここで、遠心力の方向は、ブレード長手方向Aと平行な方向である。図7に示す回転式ホイルトラップ22Aのようにブレード長手方向Aが回転軸JMに対して直交する場合、遠心力の方向は、回転軸JMに対して直交し、回転軸JMから外方に向かう方向Fとなる。
つまり、ブレードの圧延方向が、回転式ホイルトラップが回転動作した際にブレードに作用する遠心力方向Fとほぼ直交する場合に、回転式ホイルトラップの回転動作に伴うブレードの破断等の不具合が発生していることが分かった。
図8(a)に示すように、圧延方向Rの引張試験を行った結果、金属製圧延薄板100が破断に至るまでの引張試験力Tの最大値は1.22kN、引張強度は801MPaであった。一方、図8(b)に示すように、圧延方向Rに直交する方向の引張試験を行った結果、金属製圧延薄板100が破断に至るまでの引張試験力Tの最大値は1.04kN、引張強度は680MPaであった。
すなわち、圧延方向Rの引張強度は、圧延方向Rに直交する方向の引張強度よりも約120MPa強いことが分かった。
また同時に、圧延方向Rの引張試験力Tの最大値である1.22kNのみならず、圧延方向Rに直交する方向の引張試験力Tの最大値である1.04kNは、回転式ホイルトラップの回転動作中に各ブレードにかかる遠心力の大きさよりも明らかに大きいことも分かった。
したがって、上記不具合は、単なる遠心力のみによるものではなく、EUV光源装置特有の発光中に発生する不具合であると考えられる。
実際に、EUV発光動作をせずに回転式ホイルトラップを単独で回転させて不具合の発生状況を調査したところ、ブレードに作用する遠心力方向Fとブレードの圧延方向Rとが一致していなくても(直交していても)、ブレードの破断等の不具合は確認されなかった。
上記のように、回転式ホイルトラップ22の過熱を防止するため、接続チャンバ21内には遮熱板23が配置されている。EUV光源装置1の停止後、回転式ホイルトラップ22のモリブデン(Mo)製の各ブレード51を観察したところ、Moの再結晶化には至っていなかった。このことから、遮熱板23により、回転式ホイルトラップ22の温度は、Moの再結晶化温度未満に抑えられていることがわかる。
一方で、各ブレード51が捕捉したデブリ(スズ)は、固化することなく遠心力により回転式ホイルトラップ22のブレード51上を径方向外側に移動し、ブレード51の端部から離脱して、カバー部材25の内面に付着する。よって、回転式ホイルトラップ22は、スズの融点(約232℃)よりも高い温度に保たれている。
つまり、回転式ホイルトラップ22の温度は250~800℃になっているものと考えられる。
さらに、プラズマPは、電極間の放電によりプラズマ原料(スズ)に電気エネルギーが注入され、プラズマ原料が励起されることで生成される。その際、プラズマ原料は様々な準位に励起されるので、プラズマPからはEUV光のみならず、様々な波長の光が放射される。
そのため、ブレードに作用する遠心力方向がブレードの圧延方向とは異なる方向(例えば圧延方向に直交する方向)である場合には、引張強度が比較的弱いことに加えて上記負荷の影響を受けることにより、比較的短時間の稼働にてブレードが破断するという不具合が発生したものと考えられる。また、ブレードの破断は、EUV光が直接当たらないハブ(回転軸)近傍で発生していることから、上記負荷のうち、熱とデブリ(特に熱)の影響が大きいものと考えられる。
例えば図9の実線で示す回転式ホイルトラップ22のように、ブレード長手方向Aが回転軸JMに対して斜めになるようにブレード51が配置される場合もある。この場合にも、図9に示すように、ブレード51の圧延方向Rは、ブレード51に作用する遠心力方向F(ブレード長手方向A)と一致することが好ましい。
そのため、図9の実線で示すようにブレード長手方向が回転軸JMに対して斜めになるように構成されている場合、回転軸JMよりも遠い地点での隣り合うブレード間の間隔は、プラズマPから望むと、図9の破線で示すようにブレード長手方向が回転軸JMと直交するように構成されている場合よりも、より狭くなる。したがって、回転軸JMから遠い地点におけるブレードによるデブリの捕捉確率を高めることができる。
ここで、所望の関係とは、各ブレードを回転式ホイルトラップに取り付けて回転動作をさせた際、ブレードの圧延方向とブレードに作用する遠心力方向とが一致するような関係である。
図11において、θは、ブレードの圧延方向とブレードに作用する遠心力方向とのずれ具合を示しており、図10に示すように、圧延方向Rと遠心力方向Fとのなす角度で定義した。また、この図11において、「〇」はブレードの破断が発生しなかった場合、「×」はブレードの破断が発生した場合を示す。
なお、稼働条件は、電極への入力電力を9kW、1日あたりの稼働時間を8hとした。
一方、θ=0°、θ=8°、θ=20°の場合は、累積稼働時間が約64時間に到達しても破断は発生しなかった。これらの3つの水準においては、更に累積稼働時間が約2ヵ月となるまで継続したが、不具合は発生しなかった。
このように、少なくともθが0°以上20°以下の場合は、上記不具合が確実に抑制されることが確認できた。したがって、圧延方向Rと遠心力方向Fとのなす角度θは、0°以上20°以下とすることが好ましい。
そして、ブレード51は、圧延により引張加工された圧延薄板であって、回転動作によって当該ブレード51にかかる遠心力方向Fと、ブレード51の圧延方向Rとが一致または略一致するように構成されている。ここで、遠心力方向Fと圧延方向Rとのなす角は、0°以上20°以下であることが好ましい。
なお、ブレード51の破断等の不具合を回避するためには、ブレード51の厚みを厚くして強度を上げることも考えられる。しかしながら、回転式ホイルトラップ22においては、EUV光は各ブレード51の厚み分だけ遮光される。そのため、回転式ホイルトラップ22を通過するEUV光の割合(透過率)を、例えば90%といった高い透過率で維持するためには、各ブレード51の厚みを厚くすることはできない。
本実施形態における回転式ホイルトラップ22は、ブレード51の厚みを例えば0.15mmとすることでEUV光の高い透過率を維持しつつ、ホイル(ブレード)の破断といった不具合の発生が抑制された、比較的長期間の稼働寿命を有する回転式ホイルトラップとすることができる。
上記実施形態においては、高温プラズマ原料に照射するエネルギービームとしてレーザを用いる場合について説明したが、レーザに代えてイオンビームや電子ビーム等を用いることもできる。
また、上記実施形態においては、DPP方式のEUV光源装置に適用する場合について説明したが、LPP方式のEUV光源装置にも適用可能である。なお、LPP方式とは、プラズマ生成用ドライバレーザをターゲット材料に照射し、当該ターゲット材料を励起させてプラズマを生成する方式である。
光源装置をVUV光源装置として機能させる場合、このVUV光源装置は、基板の表面改質用光源、オゾン発生用光源、基板の貼り合わせ用光源として用いることもできる。
一方、光源装置をX線発生装置として機能させる場合、このX線発生装置は、医療用分野においては、胸部X線写真撮影や、歯科X線写真撮影、CT(Computer Tomogram)といった用途に用いることもできる。また、このX線発生装置は、工業用分野においては、構造物や溶接部などの物質内部を観察する非破壊検査、断層非破壊検査といった用途に用いることもできる。さらに、このX線発生装置は、研究用分野においては、物質の結晶構造を解析するためのX線解析、物質の構成元素を分析するためのX線分光(蛍光X線分析)といった用途に用いることもできる。
Claims (6)
- プラズマ発生部が発生させるプラズマの近傍に配置されて回転動作し、前記プラズマから放射される光を透過し、当該プラズマから放出されるデブリを捕捉する回転式ホイルトラップであって、
複数のホイルと、
前記ホイルを支持する支持部材と、を有し、
前記ホイルは、圧延により引張加工された圧延薄板であり、
前記回転動作によって当該ホイルにかかる遠心力の方向と、前記ホイルの前記引張加工された方向である圧延方向とが一致または略一致していることを特徴とする回転式ホイルトラップ。 - 前記遠心力の方向と前記圧延方向とのなす角が、0°以上20°以下であることを特徴とする請求項1に記載の回転式ホイルトラップ。
- 前記プラズマ発生部は、前記光を放射する原料を励起し、前記プラズマを発生させるように構成されており、
前記ホイルは、前記原料の融点に相当する温度以上の状態で回転動作することを特徴とする請求項1または2に記載の回転式ホイルトラップ。 - 前記圧延方向は、前記圧延薄板を構成する結晶粒が伸長している方向であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の回転式ホイルトラップ。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の回転式ホイルトラップと、
前記プラズマ発生部と、を備えることを特徴とする光源装置。 - 前記光は、極端紫外光を含むことを特徴とする請求項5に記載の光源装置。
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