JP2022082662A - 複数の荷電粒子ビームを用いてサンプルを検査する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] この出願は、2017年9月29日に出願された米国出願第62/566,177号の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
サンプル上のある領域にわたって複数のプローブスポットを走査しながら、それぞれが複数の荷電粒子ビームとサンプルの相互作用を表す複数の信号セットを複数のプローブスポットから記録すること、
複数の信号セットから領域の複数の像をそれぞれ生成すること、及び
複数の像から領域の合成像を生成すること、を含む方法。
Claims (15)
- 複数の荷電粒子ビームによってサンプル上に複数のプローブスポットを生成すること、
前記サンプル上のある領域にわたって前記複数のプローブスポットを走査しながら、それぞれ前記複数の荷電粒子ビームと前記サンプルの相互作用を表す複数の信号セットを前記複数のプローブスポットから記録すること、
前記複数の信号セットから前記領域の複数の像をそれぞれ生成すること、及び
前記複数の像から前記領域の合成像を生成すること、を含む方法。 - 前記複数のプローブスポットが、異なるサイズ又は異なる強度を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記複数のプローブスポットが離間している、請求項1に記載の方法。
- 前記複数のプローブスポットが、走査されている間に互いに対して移動する、請求項1に記載の方法。
- 前記複数のプローブスポットが前記領域にわたってそれぞれ走査される期間が異なる、請求項1に記載の方法。
- 前記期間が時間的に連続していない、請求項5に記載の方法。
- 前記期間が部分的な重なりを有する、請求項5に記載の方法。
- 前記複数の信号セットが、前記期間の全体にわたって記録されるわけではない、請求項5に記載の方法。
- 前記領域の前記複数の像のそれぞれが、前記複数の信号セットの1つのみから生成される、請求項1に記載の方法。
- 前記領域の前記複数の像を生成することが、前記信号の大きさ又は前記複数のプローブスポットの位置について前記複数の信号セットをデジタル化することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記領域の前記複数の像が、前記信号の大きさを表すデジタル値の寄せ集めである、請求項1に記載の方法。
- 前記領域の前記合成像が、前記デジタル値の平均値の寄せ集めである、請求項11に記載の方法。
- 前記領域の前記合成像を生成することが、前記領域の前記複数の像を平均化することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記複数の像を平均化することが、単純平均、加重平均又は移動平均による、請求項13に記載の方法。
- コンピュータによって実行されるときに請求項1に記載の方法を実行する命令を記録させた、非一時的コンピュータ可読媒体を備えたコンピュータプログラム製品。
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