JP2022082165A - 荷電粒子ビーム照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 電子鏡筒
3 試料室
31 真空容器
31a 開口
32 内蓋
33 外蓋
5 試料
Claims (5)
- 試料に荷電粒子ビームを照射する光学系が内部に配置された光学鏡筒と、
上部に前記光学鏡筒が配置され、下部に開口が設けられ、内部に前記試料が収容される真空容器と、
前記開口を塞ぐように前記真空容器の下部に取り付けられ、前記試料が載置されるステージが取り付けられる内蓋と、
前記内蓋の外側において前記開口を塞ぐように前記真空容器の下部に取り付けられる外蓋と、を有することを特徴とする荷電粒子ビーム照射装置。 - 前記ステージは、前記内蓋が前記真空容器の下部に取り付けられる際に前記開口を通して前記真空容器内に収容されることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子ビーム照射装置。
- 前記光学鏡筒の中心軸は、前記真空容器の気圧変形中心上に位置することを特徴とする請求項1~2のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム照射装置。
- 前記真空容器および前記外蓋は、2×10-6K以下の線膨張係数を有する材料によって形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム照射装置。
- 前記ステージの平面積は、前記内蓋の平面積よりも小さく、
前記外蓋の平面積は、前記内蓋の平面積よりも大きく、
前記開口の内周面は、前記外蓋が下方から当接した状態で取り付けられる取付面を有するように段差状に形成されていることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム照射装置。
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