JP2022068052A - 流体センサ - Google Patents

Abstract

【課題】安価な流体センサを提供する。【解決手段】流体センサは、少なくとも一部が可撓可能な可撓部１１０を有する感知部と、動作部１３０と、第１検知部２００ａとを備えている。感知部の可撓部は、流体の流れ方向であるＸ’方向に略直交するＺ－Ｚ’方向に延びており且つ流体が衝突することによって可撓部の少なくとも一部が歪むようになっている。動作部は、可撓部に対してＸ方向側に配置されており、且つ、動作部の一部が流体に押圧されることによって動作し、当該動作部の一部に対するＸ’方向側で当該流体に渦を発生させるようになっている。第１検知部は、少なくとも一つのセンサ部を有する。少なくとも一つのセンサ部は、可撓部の歪みを流体の流れとして検知する構成となっている。【選択図】図２Ａ

Description

本発明は、流体センサに関する。

従来の流体センサが、下記特許文献１に記載されている。このセンサは、前方障害物と、第１、第２後方障害物（感知部）と、第１、第２圧力センサとを備えている。前方障害物は、流体の流れ方向である第１方向に対して直角な第２方向に延在している。第１、第２後方障害物は、第２方向に延在しており、第１方向において前方障害物から間隙をあけて配置されており且つ第１方向及び第２方向に直交する第３方向に互いに間隔をあけて配置されている。第１後方障害物の第３方向の一方の端から第２後方障害物の第３方向の他方の端までの第３方向の距離が、前方障害物の第３方向の寸法よりも若干大きい。

前方障害物に流体が衝突すると、流体の流れが二つの流れに分割される。分割された二つの流れのうちの一方を「第１流れ」、他方を「第２流れ」と称する。第１、第２流れが前方障害物の右側、左側を交互に通過することによって、第１渦、第２渦が交互に発生する。この第１、第２渦が交互に前記間隙の右側、左側を通過することによって、前方障害物の背面側（下流側）の澱み領域が右側、左側に交互に変位する。澱み領域が交互の変位することによって、前方障害物の左側、右側を通過する第２、第１流れが右側、左側に交互に引き寄せられ、第２、第１後方障害物に交互に衝突し、第２、第１後方障害物を歪ませるようになっている。

第１、第２圧力センサは、第１、第２後方障害物に取り付けられており且つ第１、第２後方障害物が歪むことによって生じる抗力を測定している。

特昭５６－１０３３２２号公報

しかし、渦が発生しない第２、第１流れが、第２、第１後方障害物に交互に衝突し、歪ませるようになっているため、第２、第１後方障害物に歪みが生じ難い。

本発明は、流体によって感知部が歪み易い流体センサを提供する。

本発明の一態様の流体センサは、少なくとも一部が可撓可能な可撓部を有する感知部と、動作部と、第１検知部とを備えている。感知部の可撓部は、流体の流れ方向である第１方向に略直交する第２方向に延びており且つ流体が衝突することによって可撓部の少なくとも一部が歪むようになっている。動作部は、可撓部に対して第１方向の上流側に配置されており、且つ、動作部の一部が流体に押圧されることによって動作し、当該動作部の一部に対する第１方向の下流側で当該流体に渦を発生させるようになっている。第１検知部は、少なくとも一つのセンサ部を有する。少なくとも一つのセンサ部は、可撓部の歪みを流体の流れとして検知する構成となっている。

このような態様の流体センサによる場合、動作部の一部に対する第１方向の下流側で流体に発生した渦が、可撓部に衝突するので、可撓部の少なくとも一部が歪み易くなる。

動作部は、羽根車と、羽根車の回転軸とを有する構成とすることが可能である。羽根車は、可撓部に対して第１方向の上流側に配置された動作部の一部であって、流体に押圧されることによって回転し、第１方向の下流側で当該流体に渦を発生させる構成とすることが可能である。回転軸は、可撓部から第１方向の上流側に延びており且つ羽根車を回転自在に軸支する構成、又は、羽根車から第１方向に延びており且つ可撓部に羽根車と共に回転自在に軸支された構成とすることが可能である。

感知部は、第１支持部を更に有する構成とすることが可能である。この場合、感知部の可撓部は、第１支持部から第２方向に延びた構成とすることが可能である。

上記何れかの態様の流体センサは、流体の流路の少なくとも一部をなす接続対象に接続可能なアダプタを更に備えた構成とすることが可能である。この場合、アダプタは、当該アダプタを第２方向に貫通した貫通孔を有する構成とすることが可能である。第１支持部は、アダプタに直接的又は間接的に固定されたベース部と、ベース部から第２方向の一方に延びた支持部本体とを有する構成とすることが可能である。支持部本体は、アダプタの貫通孔内に配置され、可撓部の少なくとも一部がアダプタの貫通孔から第２方向の一方に突出した構成とすることが可能である。動作部の回転軸は、アダプタの貫通孔から突出した可撓部の少なくとも一部から第１方向の上流側に延びた構成とすることが可能である。動作部の羽根車は、アダプタの貫通孔から突出した可撓部の少なくとも一部に対して第１方向の上流側に配置された構成とすることが可能である。

動作部は、第２支持部と、羽根車と、回転軸とを有する構成とすることが可能である。第２支持部は、可撓部に対して第１方向の上流側に配置されており且つ第２方向に延びた構成とすることが可能である。回転軸は、第１支持部ではなく、第２支持部から第１方向の上流側に延びており且つ羽根車を回転自在に軸支する構成、又は、羽根車から第１方向に延びており且つ第２支持部に羽根車と共に回転自在に軸支された構成とすることが可能である。

動作部の第２支持部は、感知部の第１支持部から第２方向に延びた構成とすることが可能である。又は、動作部の第２支持部は、アダプタから第２方向に延びた構成とすることが可能である。この場合、動作部の羽根車は、アダプタの貫通孔から突出した可撓部の少なくとも一部に対して第１方向の上流側に配置された構成とすることが可能である。

上記何れかの態様の流体センサは、複数の固定部材を更に備えた構成とすることが可能である。第１支持部のベース部は、アダプタに対して第２方向の他方側に配置されており且つ複数の取付孔を有する構成とすることが可能である。取付孔は、ベース部を第２方向に貫通しており、円弧状に延びており、且つ、略リング状に間隔をあけて配置された構成とすることが可能である。固定部材が、取付孔に挿通され、ベース部をアダプタに固定した構成とすることが可能である。

アダプタは、接続対象であるＴ字管の接続管に接続可能な接続部を有する構成とすることが可能である。アダプタの接続部が接続管に接続された状態で、アダプタの貫通孔から突出した可撓部の少なくとも一部及び動作部がＴ字管に対して非接触でＴ字管内に配置された構成とすることが可能である。

上記何れかの態様の感知部は、密閉された内部空間を有する構成とすることが可能である。可撓部の少なくとも一部が歪むことによって、内部空間内の気圧が変化する構成とすることが可能である。この場合、第１検知部の少なくとも一つのセンサ部は、内部空間に臨むように配置されており又は少なくとも部分的に内部空間内に配置されており、且つ、内部空間内の気圧の変化を流体の流れとして検知する構成とすることが可能である。

回転軸は、羽根車を回転自在に軸支する又は可撓部に回転自在に軸支される軸部を有する構成とすることが可能である。軸部が内部空間に対して第２方向の一方側に位置する構成とすることが可能である。又は、軸部が内部空間に対して第１方向の上流側に位置する構成とすることが可能である。この場合、羽根車は、その回転時に羽根車の複数の羽根のうちの第２方向の一方側に位置する少なくとも一つの羽根及び第２方向の他方側に位置する少なくとも一つの羽根が内部空間に対して第１方向の上流側に位置する構成とすることが可能である。

上記何れかの態様の流体センサは、第２検知部と、制御部とを更に備えた構成とすることが可能である。第２検知部は、感知部の周囲で発生する音響振動を検知する少なくとも一つのセンサ部を有する構成とすることが可能である。制御部は、第１検知部の少なくとも一つのセンサ部によって検知される気圧の特性情報と、第２検知部の少なくとも一つのセンサ部によって検知される音響振動の特性情報との差分データを生成する構成を有する構成とすることが可能である。

制御部は、第１、第２フーリエ変換部と、演算部を有する構成とすることが可能である。第１フーリエ変換部は、第１検知部の少なくとも一つのセンサ部から出力される電気信号に対してフーリエ変換処理を行うことによって、第１周波数スペクトルを生成する構成とすることが可能である。第２フーリエ変換部は、第２検知部の少なくとも一つのセンサ部から出力される電気信号に対してフーリエ変換処理を行うことによって、第２周波数スペクトルを生成する構成とすることが可能である。演算部は、第１周波数スペクトルと第２周波数スペクトルとの差分を取得することによって差分データを生成する構成とすることが可能である。

制御部は、強調部を更に有する構成とすることが可能である。この場合、演算部は、差分データに基づいて、内部空間内の気圧の変動周波数帯域を特定する構成とすることが可能である。強調部は、差分データのうち、内部空間内の気圧の変動周波数帯域のレベルを上げる一方、それ以外の帯域のレベルを下げる構成とすることが可能である。

本発明の実施例１に係る流体センサの正面、平面及び右側面から表した斜視図である。 前記実施例１の流体センサの背面、底面及び左側面から表した斜視図である。 前記実施例１の流体センサの図１Ａ中の２Ａ－２Ａ断面図である。 前記実施例１の流体センサの図１Ａ中の２Ｂ－２Ｂ断面図である。 前記実施例１の流体センサの図２Ａ中の２Ｃ－２Ｃ断面図である。 前記実施例１の流体センサの正面、平面及び右側面から表した分解斜視図である。 前記実施例１の流体センサの背面、底面及び左側面から表した分解斜視図である。 前記実施例１の流体センサの第１、第２検知部及び制御部を示すブロック図である。 前記実施例１の流体センサ及びＴ字管を示す図２Ａに対応する断面図である。 前記実施例１の感知センサの第１検知部のマイクロホンの電気信号をフーリエ変換して得られた第１スペクトル信号及び第２検知部のマイクロホンの電気信号をフーリエ変換して得られた第２スペクトル信号の一例を示す波形図である。 前記実施例１の感知センサの第１スペクトル信号から第２スペクトル信号を減算したスペクトル信号の波形図である。 前記実施例１の流体センサの第１設計変型例を示す図２Ａに対応する断面図である。 前記実施例１の流体センサの第２設計変型例を示す図２Ａに対応する断面図である。 前記実施例１の流体センサの第３設計変型例を示す図２Ａに対応する断面図である。 前記実施例１の流体センサの第４設計変型例を示す図２Ａに対応する断面図である。 本発明の実施例２に係る流体センサの図２Ａに対応する断面図である。 前記実施例２の流体センサの第１設計変型例を示す図２Ａに対応する断面図である。

以下、本発明の実施例１、２及びこれらの設計変形例について説明する。なお、後述する実施例及び設計変更例の各構成要素は、互いに矛盾しない限り、相互に組み合わせることが可能であることに留意されたい。また、後述する実施例の各態様及び設計変形例における各構成要素を構成する素材、形状、寸法、数及び配置等はその一例を説明したものであって、同様の機能を実現し得る限り任意に設計変更することが可能であることにも留意されたい。

以下、本発明の実施例１及びその設計変形例を含む複数の実施例に係る流体センサＳ１（以下、単にセンサＳ１とも称する。）について、図１Ａ～図１０を参照しつつ説明する。センサＳ１は、流体（例えば、液体、流動体又は気体）の流れを感知するためのセンサである。図１Ａ～図５には、実施例１のセンサＳ１が示されている。図８には、実施例１のセンサＳ１の第１設計変形例が示されている。図９には、実施例１のセンサＳ１の第２設計変形例が示されている。図１０には、実施例１のセンサＳ１の第３設計変形例が示されている。なお、図１Ａ～図２Ａ、図２Ｃ、図３Ａ～図３Ｂ、図５及び図８～図１０には、Ｘ－Ｘ’方向が示されている。Ｘ－Ｘ’方向は、Ｘ方向と、Ｘ’方向（第１方向）を含む。Ｘ’方向が流体の流れ方向である。図１Ａ～図２Ｂ、図３Ａ、図３Ｂ、図５及び図８～図１０には、Ｚ－Ｚ’方向（第２方向）が示されている。Ｚ－Ｚ’方向は、Ｘ－Ｘ’方向に略直交しており且つＺ’方向（第２方向の一方）とＺ方向（第２方向の他方）を含む。図１Ａ、図１Ｂ、図２Ｂ～図３Ｂには、Ｙ－Ｙ’方向（第３方向）が示されている。Ｙ－Ｙ’方向は、Ｘ－Ｘ’方向及びＺ－Ｚ’方向に略直交して且つＹ方向（第３方向の一方）とＹ’方向（第３方向の他方）を含む。

センサＳ１は、感知部１００を備えている。感知部１００は可撓部１１０を有している。可撓部１１０は、Ｚ－Ｚ’方向に延びた円柱又は多角柱であって、その少なくとも一部が可撓性を有する材料（例えば、ゴム等の弾性体、金属又は合成樹脂等）で構成されている。可撓部１１０の一部が可撓性を有する素材で構成されている場合、残りの部分は可撓部１１０の一部よりも剛性の高い素材で構成されていると良い。可撓部１１０は、その少なくとも一部が予め折り曲げ又は湾曲していても構わない。可撓部１１０は、支持部１１１を有している。支持部１１１は、可撓部１１０におけるＺ－Ｚ’方向の任意の一部である。例えば、支持部１１１は、可撓部１１０のＺ’方向側の自由端部であっても良い（図２Ａ～図３Ｂ、図５、図８～図１０参照）し、可撓部１１０のＺ－Ｚ’方向の中間部であっても良い（図１１参照）。支持部１１１には、ネジ孔１０４又は嵌合孔（図示なし）が設けられている。ネジ孔１０４又は嵌合孔は少なくともＸ方向に開放されている。ネジ孔１０４又は嵌合孔が、内部空間１０１に対してＺ’方向側に位置していても良い（図２Ａ～図３Ｂ、図５、図８～図１０参照）し、ネジ孔１０４又は嵌合孔が、内部空間１０１に対してＸ方向側に位置していても良い。支持部１１１のＸ方向側には、Ｚ－Ｚ’方向及びＹ－Ｙ’方向に延びる第１フラット面が設けられていても良い。支持部１１１のＸ’方向側にも、Ｚ－Ｚ’方向及びＹ－Ｙ’方向に延びる第２フラット面が設けられていても良い。なお、第１フラット面及び／又は第２フラット面は省略可能である。

感知部１００は、密閉された内部空間１０１を有している。内部空間１０１内には、空気又はガス等の気体が充填されている。感知部１００がＸ’方向に流れる流体に押圧（衝突）され且つ可撓部１１０の少なくとも一部（すなわち、可撓部１１０の一部又は全部）が歪むことによって、内部空間１０１内の気圧が変化する（すなわち、内部空間１０１内の気体が振動する）ようになっている。このようにして感知部１００の可撓部１１０に付与される押圧が、内部空間１０１内の気圧の変化（内部空間１０１内の気体の振動）に変換される。可撓部１１０の少なくとも一部の歪みが大きい場合、内部空間１０１内の気圧の変化が大きくなり、可撓部１１０の少なくとも一部の歪みが小さい場合、内部空間１０１内の気圧の変化が小さくなる。なお、Ｚ－Ｚ’方向は可撓部１１０の長手方向に相当する。

センサＳ１は、動作部１３０を更に備えている。動作部１３０は、可撓部１１０に対してＸ方向側（第１方向の上流側）に配置されており且つ動作部１３０の一部が流体に押圧されることによって動作し、動作部１３０の一部に対するＸ’方向側（第１方向の下流側）で当該流体に渦を発生させるようになっている。

例えば、動作部１３０は、回転軸１３１と、羽根車１３２（動作部１３０の一部）とを有する構成とすることが可能である。回転軸１３１は、（ａ）羽根車１３２と別体の回転軸であって、羽根車１３２を回転自在に軸支する構成又は（ｂ）羽根車１３２と一体の回転軸であって、羽根車１３２と共に回転自在となる構成とすることが可能である。回転軸１３１が（ａ）の構成を有する場合、回転軸１３１は、（ａ１）又は（ａ２）の構成を有する。

（ａ１）回転軸１３１は、例えば、ボルト（図１Ａ～図３Ｂ、図５及び図８～図１１参照）又はピン等であって、軸部１３１ａと、取付部１３１ｂと、ヘッド１３１ｃとを有する。軸部１３１ａは、Ｘ－Ｘ’方向に延びた円柱であって、羽根車１３２を回転自在に支持している。軸部１３１ａは、Ｘ方向側の第１端面と、Ｘ’方向側の第２端面とを有する。回転軸１３１がボルトである場合、取付部１３１ｂは、軸部１３１ａ第２端面からＸ’方向に延びた円柱状のネジ部であって、可撓部１１０の支持部１１１の上記ネジ孔１０４にネジ止めされている。この場合、取付部１３１ｂの外径は、軸部１３１ａの外径よりも小さい。回転軸１３１がピンである場合、取付部１３１ｂは、軸部１３１ａからＸ’方向に延びた円柱状又は多角柱状の嵌合凸部であって、可撓部１１０の支持部１１１の上記嵌合孔に嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）している。この場合、取付部１３１ｂのＺ－Ｚ’方向の断面の外形寸法は、軸部１３１ａの外径よりも小さい。

回転軸１３１が、ボルト又はピンの何れの場合であっても、取付部１３１ｂが可撓部１１０の支持部１１１に取り付けられた状態で、回転軸１３１が可撓部１１０の支持部１１１からＸ方向に延びており且つ軸部１３１ａの第２端面の取付部１３１ｂの周りの部分が、可撓部１１０の支持部１１１に当接している。可撓部１１０の支持部１１１に第１フラット面が設けられている場合、軸部１３１ａの第２端面の取付部１３１ｂの周りの部分が、第１フラット面に当接している。

ヘッド１３１ｃは、軸部１３１ａの第１端面上に設けられた略ドーム状、円板状又は多角板状であって、そのＺ－Ｚ’方向の断面の外形寸法が軸部１３１ａの外径よりも大きい。ヘッド１３１ｃがドーム状又は円板状である場合、ヘッド１３１ｃのＺ－Ｚ’方向の両端は、カットされていても良い。この場合、羽根車１３２を軸部１３１ａに支持させた状態で、ヘッド１３１ｃの一対のカット面を治具等で把持し、回転軸１３１を回転させることによって、取付部１３１ｂを可撓部１１０の支持部１１１のネジ孔１０４に螺着させたり、ヘッド１３１ｃの一対のカット面を治具等で把持し、回転軸１３１を嵌合孔に嵌合させたりすることができる。ヘッド１３１ｃが多角板状である場合、羽根車１３２を軸部１３１ａに支持させた状態で、ヘッド１３１ｃの複数の端面のうちの一対の端面を治具等で把持し、回転軸１３１を回転させることによって、取付部１３１ｂを可撓部１１０の支持部１１１のネジ孔１０４に螺着させたり、ヘッド１３１ｃの一対のカット面を治具等で把持し、回転軸１３１を嵌合孔に嵌合させたりすることができる。上記何れかの態様のヘッド１３１ｃのＸ方向側の面に、六角レンチ用の六角穴やドライバー用のネジ穴等の取付穴が設けられていても良い。この場合、羽根車１３２を軸部１３１ａに支持させた状態で、取付穴に六角レンチやドライバー等の治具を挿入し、回転軸１３１を回転させることによって、取付部１３１ｂを可撓部１１０の支持部１１１のネジ孔１０４に螺着又は嵌合孔に嵌合させたりすることができる。なお、カット面及び／又は取付穴は省略可能である。

（ａ２）回転軸１３１は、軸部１３１ａと、軸部１３１ａの第１端面に対して着脱可能に取り付けられたヘッド１３１ｃとを有する。軸部１３１ａは、支持部１１１に一体的に設けられ、支持部１１１からＸ方向に延びており且つ軸部１３１ａの第１端面にネジ孔又は嵌合孔が設けられている以外、上記（ａ１）の軸部１３１ａと略同じ構成である。ヘッド１３１ｃは、図示しない円柱状のネジ部又は円柱状又は多角柱状の嵌合凸部を有している以外、上記（ａ１）のヘッド１３１ｃと略同じ構成である。ネジ部は、ヘッド１３１ｃからＸ’方向に延びており且つ軸部１３１ａのネジ孔にネジ止めされている。嵌合凸部は、ヘッド１３１ｃからＸ’方向に延びており且つ軸部１３１ａの嵌合孔に嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）している。

（ｂ）回転軸１３１は、軸部１３１ａと、ヘッド１３１ｃとを有する。軸部１３１ａは、回転体１３２ａの中心部からＸ’方向に延びた円柱であって、可撓部１１０の支持部１１１の円柱状の軸孔に回転自在に軸支されている。なお、軸孔は、支持部１１１に設けられており且つＸ－Ｘ’方向に延びている。ヘッド１３１ｃは、上記（ａ１）のヘッド１３１ｃと略同じ構成である。この場合、支持部１１１のネジ孔１０４又は嵌合孔は省略される。

なお、回転軸１３１が（ａ）の構成及び（ｂ）の構成の何れを有する場合であっても、回転軸１３１の軸部１３１ａは、内部空間１０１に対してＺ’方向側に位置していても良い（図２Ａ～図３Ｂ、図５、図８～図１０参照）し、回転軸１３１の軸部１３１ａは、内部空間１０１に対してＸ方向側に位置していても良い（図１１参照）。

回転軸１３１が上記（ａ１）又は（ａ２）の構成を有する場合、羽根車１３２は、回転体１３２ａと、複数の羽根１３２ｂとを有している。回転体１３２ａは、略リング状であって、その内径は、軸部１３１ａの外径よりも若干大きい。回転体１３２ａ内に回転軸１３１の軸部１３１ａが挿通されている。これにより、羽根車１３２が軸部１３１ａ周りを回転可能となっている。複数の羽根１３２ｂは、回転体１３２ａから放射状に延びており且つ回転体１３２ａの回転方向に間隔をあけて配置されている。複数の羽根１３２ｂは、その厚み方向の第１面と、この第１面の反対側の第２面とを有している。複数の羽根１３２ｂは、Ｘ－Ｘ’方向に傾斜しており、複数の羽根１３２ｂの第１面がＸ方向に向いており、複数の羽根１３２ｂの第２面がＸ’方向に向いている。

回転軸１３１が上記（ｂ）の構成を有する場合、羽根車１３２の回転体１３２ａは、略リング状ではなく、略ドーム状又は略円板状であって、上記中心部を有している。この場合、複数の羽根１３２ｂは、回転軸１３１が上記（ａ１）又は（ａ２）の構成を有する場合の羽根車１３２の複数の羽根１３２ｂと同様の構成である。

上記何れかの態様の羽根車１３２は、複数の羽根１３２ｂの第１面がＸ’方向に流れる流体に押圧されることによって、羽根車１３２が回転し（動作し）、羽根車１３２に対するＸ方向側とＸ’方向側とで流体に流速差が生じ、この流速差によって、羽根車１３２の複数の羽根１３２ｂに対するＸ’方向側で流体に渦（カルマン渦）が発生するようになっている。流体に発生した渦の少なくとも一部が可撓部１１０に衝突すること、Ｘ’方向に流れる流体が上記何れかの態様の羽根車１３２に衝突すること、及び、Ｘ’方向に流れる流体が可撓部１１０に衝突することの少なくとも一つによって、可撓部１１０が歪み、内部空間１０１内の気圧が変化する。なお、複数の羽根１３２ｂの枚数及び／又は外形寸法を増大させることによって、流体に生じる前述の流速差が大きくなり、流体に発生する渦も大きくなる。したがって、複数の羽根１３２ｂの枚数、外形寸法及び傾斜角の少なくとも一つは、流体に発生する前述の流速差が所望の値となるように適宜設定可能である。

上記した何れかの態様の回転軸１３１の軸部１３１ａが、内部空間１０１に対してＺ’方向側に位置している場合（図２Ａ～図３Ｂ、図５、図８～図１０参照）、上記何れかの態様の羽根車１３２は、その回転時に複数の羽根１３２ｂのうちのＺ方向側に位置する少なくとも一つの羽根１３２ｂが内部空間１０１に対してＸ方向側に位置する。この場合、羽根車１３２が回転することによって、可撓部１１０が歪み易くなる。上記した何れかの態様の回転軸１３１の軸部１３１ａは、内部空間１０１に対してＸ方向側に位置している場合（図１１参照）、上記何れかの態様の羽根車１３２は、その回転時に複数の羽根１３２ｂのうちのＺ方向側に位置する少なくとも一つの羽根１３２ｂ及びＺ’方向側に位置する少なくとも一つの羽根１３２ｂが内部空間１０１に対してＸ方向側に位置する。この場合、羽根車１３２の回転時に複数の羽根１３２ｂのうちのＺ方向側に位置する少なくとも一つの羽根１３２ｂ及びＺ’方向側に位置する少なくとも一つの羽根１３２ｂのＸ’方向側で生じる渦が、可撓部１１０の内部空間１０１に対してＸ方向側の壁に衝突するので、内部空間１０１内の気圧が大きくなる。

上記何れかの態様の羽根車１３２は、突起１３２ｃ（図３Ｂ参照）を更に有する構成とすることが可能である。突起１３２ｃは、上記何れかの態様の回転体１３２ａのＸ’方向側の面からＸ’方向に凸のリング状の突起であって、可撓部１１０の支持部１１１に対して回転自在に当接している。可撓部１１０の支持部１１１が第１フラット面を有する場合、突起１３２ｃは、第１フラット面に対して回転自在に当接している。このように突起１３２ｃが可撓部１１０の支持部１１１又は第１フラット面に回転自在に当接することによって、回転体１３２ａのＸ’方向側の面が可撓部１１０の支持部１１１又は第１フラット面に回転自在に当接する場合に比べて、回転体１３２ａの可撓部１１０の支持部１１１又は第１フラット面に対する接触面積が低減され、回転体１３２ａの回転時の摩擦が低減される。

センサＳ１は、検知部２００ａ（第１検知部）を更に備えている。検知部２００ａは、少なくとも一つのマイクロホン（少なくとも一つのセンサ部）を有している。少なくとも一つのマイクロホンは、例えば、エレクトレットコンデンサマイクロホン、ＭＥＭＳマイクロホン又はダイナミック型のマイクロホンである。少なくとも一つのマイクロホンの集音できる周波数帯域は、内部空間１０１内の気圧の変化の周波数（内部空間１０１内の気体の振動の周波数）に応じて設定されている。少なくとも一つのマイクロホンは、その外形が小さくなればなる程、その集音できる周波数帯域が高くなる。したがって、内部空間１０１内の気体の振動の周波数帯域が高い場合には、少なくとも一つのマイクロホンの外形が小さいものを選択すると良い。例えば、少なくとも一つのマイクロホンの外径が４φのである場合、約１０ｋＨｚまで集音可能となる。

少なくとも一つのマイクロホンは、内部空間１０１内の気圧の変化を検知する構成となっている。例えば、少なくとも一つのマイクロホンは、図示しない振動板を有しており、且つ、内部空間１０１内の気圧の変化に応じて振動板が振動し、当該振動板の振動に応じて当該マイクロホンの電気信号（例えば、電圧等）が変化する構成となっている。内部空間１０１内の気圧の変化が大きい場合、少なくとも一つのマイクロホンの電気信号の波形の振幅が大きくなり、内部空間１０１内の気圧の変化が小さい場合、少なくとも一つのマイクロホンの電気信号の波形の振幅は小さくなる。

検知部２００ａは、少なくとも一つの音孔が設けられた筐体と、複数の出力部とを更に有していても良い。少なくとも一つの音孔は内部空間１０１に連通している。出力部は、少なくとも一つのマイクロホンの電気信号を検知部２００ａ外に出力するための端子、電極又はリード線等である。

検知部２００ａが一つのマイクロホンのみを有する構成の場合、筐体はマイクロホンの筐体であり、少なくとも一つの音孔はマイクロホンの音孔であり、出力部はマイクロホンの出力部であると良い。検知部２００ａは、複数のマイクロホンを有する構成とすることが可能である。複数のマイクロホンは、ユニット化されている。この場合、筐体はユニットの筐体であり、少なくとも一つの音孔はマイクロホン又はユニットの音孔であり、出力部は各マイクロホンの出力部又はユニットの出力部であると良い。

センサＳ１は、検知部２００ｂ（第２検知部）を更に備えた構成とすることが可能である。検知部２００ｂは、少なくとも一つのマイクロホン（少なくとも一つのセンサ部）を有している。少なくとも一つのマイクロホンは、例えば、エレクトレットコンデンサマイクロホン、ＭＥＭＳマイクロホン又はダイナミック型のマイクロホンである。少なくとも一つのマイクロホンの集音できる周波数帯域は、感知部１００の周囲で発生する音響振動（ノイズ）の周波数に応じて設定されている。

少なくとも一つのマイクロホンは、感知部１００の周囲で発生する音響振動を検知する構成となっている。例えば、少なくとも一つのマイクロホンは、図示しない振動板を有しており、且つ、感知部１００の周囲で発生する音響振動に応じて振動板が振動し、当該振動板の振動に応じて当該マイクロホンの電気信号（例えば、電圧等）が変化する構成となっている。

検知部２００ｂは、少なくとも一つの音孔（図示しない）が設けられた筐体と、複数の出力部とを更に有する構成とすることが可能である。検知部２００ｂは、少なくとも一つの音孔が感知部１００の周囲に向くように配置されていれば良い。例えば、検知部２００ｂは、その少なくとも一つの音孔が検知部２００ａの少なくとも一つの音孔と逆向きとなるように配置された構成とすることが可能である。検知部２００ａの少なくとも一つの音孔がＺ’方向を向いている場合、検知部２００ｂの少なくとも一つの音孔がＺ方向を向くように、検知部２００ｂが配置されていると良い。検知部２００ｂの出力部は、少なくとも一つのマイクロホンの信号を検知部２００ｂ外に出力するための端子、電極又はリード線等である。

検知部２００ｂが一つのマイクロホンのみを有する構成の場合、検知部２００ｂの筐体はマイクロホンの筐体であり、検知部２００ｂの少なくとも一つの音孔はマイクロホンの音孔であり、検知部２００ｂの出力部はマイクロホンの出力部であると良い。検知部２００ｂは、複数のマイクロホンを有する構成とすることが可能である。複数のマイクロホンは、ユニット化されている。この場合、検知部２００ｂの筐体はユニットの筐体であり、検知部２００ｂの少なくとも一つの音孔はマイクロホン又はユニットの音孔であり、検知部２００ｂの出力部は各マイクロホンの出力部又はユニットの出力部であると良い。

センサＳ１は、基板３００を更に備えた構成とすることが可能である。基板３００は、Ｚ’方向側の第１面及びＺ方向側の第２面を有している。検知部２００ａは、基板３００の第１面上に実装されており且つ検知部２００ａの出力部が基板３００の第１面上の表面電極又は基板３００の第１面に設けられたスルーホール電極に接続されている。検知部２００ｂは、基板３００の第２面上に実装されており且つ検知部２００ｂの出力部が基板３００の第２面上の表面電極又は基板３００の第２面に設けられたスルーホール電極に接続されている。

センサＳ１は、制御部７００を更に備えた構成とすることが可能である。制御部７００は、基板３００上に実装された論理回路であっても良いし、論理回路に処理されるソフトウエアであっても良い。制御部７００は、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部によって検知される内部空間１０１内の気圧の特性情報と、検知部２００ｂの少なくとも一つのセンサ部によって検知される感知部１００の周囲の音響振動の特性情報との差分データを生成する構成を有する。

制御部７００は、例えば、第１Ａ／Ｄ変換部７１０ａと、第２Ａ／Ｄ変換部７１０ｂと、第１フーリエ変換部（ＦＦＴ）７２０ａと、第２フーリエ変換部（ＦＦＴ）７２０ｂと、演算部７３０を有している（図４参照）。この場合、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部から出力される第１電子信号（検知部２００ａの少なくとも一つのマイクロホンの電気信号）が、第１Ａ／Ｄ変換部７１０ａによってデジタル信号に変換され、第１フーリエ変換部７２０ａに入力される。第１フーリエ変換部７２０ａはデジタル化された第１電子信号に対してフーリエ変換処理（スペクトル分析）を行い、第１周波数スペクトル（所定数の周波数帯域毎の第１スペクトル信号）を生成する（図６参照）。第１周波数スペクトルが内部空間１０１内の気圧の特性情報に相当する。検知部２００ｂの少なくとも一つのセンサ部から出力される第２電子信号（検知部２００ｂの少なくとも一つのマイクロホンの電気信号）が、第２Ａ／Ｄ変換部７１０ｂによってデジタル信号に変換され、第２フーリエ変換部７２０ｂに入力される。第２フーリエ変換部７２０ｂはデジタル化された第２電子信号に対してフーリエ変換処理（スペクトル分析）を行い、第２周波数スペクトル（所定数の周波数帯域毎の第２スペクトル信号）を生成する（図６参照）。第２周波数スペクトルが感知部１００の周囲の音響振動の特性情報に相当する。なお、図６では、第１スペクトル信号の波形が破線、第２スペクトル信号の波形が実線で示されている。

演算部７３０は、第１周波数スペクトルと第２周波数スペクトルとの差分データ（周波数帯域毎に第１スペクトル信号と第２スペクトル信号との差分データ）を生成する。換言すると、演算部７３０は、第１周波数スペクトルから第２周波数スペクトルを減算して差分データ（周波数帯域毎に第１スペクトル信号から第２スペクトル信号を減算して周波数帯域毎の差分のスペクトル信号）を生成する（図７参照）。なお、図６に示される第１スペクトル信号及び第２スペクトル信号の波形並びに図７に示される差分のスペクトル信号の波形は、図１Ａ～図３Ｂに示す実施例１のセンサＳ１からカバー６００を除去したセンサＳ１を用いて計測されたものである。

演算部７３０は、差分データを生成する前に、第１周波数スペクトルの信号レベルと第２周波数スペクトルの信号レベルとを比較し（周波数帯域毎に第１スペクトル信号の信号レベルと第２スペクトル信号の信号レベルとを比較し）、第１周波数スペクトルの信号レベルと第２周波数スペクトルの信号レベルとの差が所定の閾値より大きいと判断したとき（周波数帯域毎の第１スペクトル信号の信号レベルと第２スペクトル信号の信号レベルとの差が所定の閾値より大きいと判断したとき）、第１周波数スペクトルの信号レベルと第２周波数スペクトルの信号レベルとが同程度となるように正規化し（第１周波数スペクトルの信号レベル及び第２周波数スペクトルの信号レベルの何れか一方を他方と同程度となるように下げる又は上げる）、信号レベルが同程度とされた第１周波数スペクトルと第２周波数スペクトルの信号レベルとの差分データを上記の通り生成する構成としても良い。なお、閾値は、制御部７００の図示しないメモリに記録されている。

制御部７００は、強調部７４０を更に有する構成とすることが可能である（図４参照）。この場合、演算部７３０は、上記の何れかの通りに生成された差分データに基づいて、内部空間１０１内の気圧の変動周波数帯域を特定する構成を更に有していても良い。例えば、演算部７３０は、差分データのうち、差分のスペクトル信号が＋域のみに存在する周波数帯域（図７に示されるＸの周波数帯域を参照）を内部空間１０１内の気圧の変動周波数帯域、差分のスペクトル信号が＋域及び－域の双方に存在する周波数帯域（図７に示されるＸ以外の周波数帯域を参照）を感知部１００の周囲の音響振動の変動周波数帯域であるとして特定する構成とすることができる。強調部７４０は、演算部７３０によって特定された内部空間１０１内の気圧の変動周波数帯域のスペクトル信号のレベルを上げる一方、演算部７３０によって特定された感知部１００の周囲の音響振動の変動周波数帯域のスペクトル信号のレベルを下げて、制御部７００外（外部の電子機器等）に出力する構成となっている。

制御部７００は、上記の何れかの通りに生成された差分データ又は特定された内部空間１０１内の気圧の変動周波数帯域のスペクトル信号に基づいて、内部空間１０１内の気圧の変化を感知する構成、又は、内部空間１０１内の気圧の変化量を算出する構成を更に有していても良い。

強調部７４０は、省略可能である。この場合、演算部７３０が、上記の何れかの通りに生成された差分データを制御部７００外（外部の電子機器等）に出力する構成となっていても良いし、上記の何れかの通りに生成された差分データに基づいて、内部空間１０１内の気圧の変動周波数帯域を特定したデータを制御部７００外（外部の電子機器等）に出力する構成となっていても良い。

なお、検知部２００ｂ及び／又は制御部７００は省略可能である。検知部２００ｂが省略される一方、制御部７００が設けられている場合、制御部７００は、検知部２００ａの少なくとも一つのマイクロホンの電気信号に基づいて、内部空間１０１内の気圧の変化を感知する構成、又は、内部空間１０１内の気圧の変化量を算出する構成とすることが可能である。制御部７００及び検知部２００ｂの双方が省略される場合、検知部２００ａの出力部が、電子機器の制御部に電気的に接続可能な構成となっていると良い。制御部７００が省略される一方、検知部２００ｂが設けられている場合、検知部２００ａ及び検知部２００ｂの出力部が、電子機器の制御部に電気的に接続される構成となっていると良い。

基板３００も省略可能である。基板３００及び検知部２００ｂが省略される場合、検知部２００ａの出力部が、制御部７００又は電子機器の制御部に電気的に接続される構成とすることが可能である。基板３００が省略される一方、検知部２００ｂが設けられている場合、検知部２００ａ及び検知部２００ｂの出力部が、制御部７００又は電子機器の制御部に電気的に接続される構成とすることが可能である。

感知部１００は、開口１０２を更に有していても良い。開口１０２は、内部空間１０１に連通し且つ感知部１００外に開放されている。この開口１０２が開放された方向を開放方向と称する。図１Ａ～図３Ｂ及び図５では、開放方向はＺ方向であるが、これは一例に過ぎない。開放方向側から開口１０２の少なくとも一部に検知部２００ａ又は閉塞部が嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）し且つ開口１０２が検知部２００ａ又は閉塞部によって閉塞された構成とすることが可能である。この場合、検知部２００ａ又は閉塞部の開放方向に直交する方向の断面の外形が、開口１０２の少なくとも一部の開放方向に直交する方向の断面の形に対応しており、且つ、検知部２００ａ又は閉塞部の開放方向に直交する方向の断面の外形寸法が、開口１０２の少なくとも一部の開放方向に直交する方向の断面の寸法と略同じ又は若干大きくすると良い。又は、検知部２００ａ又は閉塞部は、開口１０２に嵌合せず、開放方向側から開口１０２を閉塞するように感知部１００の外面に固定されていても良い。何れの場合も、開口１０２が検知部２００ａ又は閉塞部によって閉塞されることによって、内部空間１０１が密閉されている。

開口１０２が検知部２００ａによって閉塞される場合、検知部２００ａは、内部空間１０１に臨むように配置されている又は少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置されている。この場合、検知部２００ａは、開口１０２を閉塞する閉塞面を有する。閉塞面には少なくとも一つの音孔が設けられている。閉塞面は、平坦面とすることが可能であるが、これに限定されるものではない。

開口１０２が閉塞部によって閉塞される場合、検知部２００ａは内部空間１０１内に配置されている。この場合、基板３００を閉塞部として使用しても良いし（図１Ａ～図３Ｂ及び図５参照）、ゴムや樹脂製のキャップ等を閉塞部として使用しても構わない。なお、図１Ａ～図３Ｂ及び図５では、検知部２００ａのＺ’方向側の面が平坦面であって、Ｚ’方向に向いており且つ少なくとも一つの音孔が設けられている。開口１０２が省略される場合（図示なし）、検知部２００ａは内部空間１０１に臨むように配置されている又は内部空間１０１内に配置されている。この場合、検知部２００ａは感知部１００にインサート成形によって埋め込まれている。

感知部１００は、支持部１２０（第１支持部）を更に有する構成とすることが可能である。支持部１２０は、可撓部１１０と略同じ剛性を有する材料（例えば、金属又は合成樹脂等）で構成されていても良いし、可撓部１１０よりも剛性の高い材料（例えば、金属又は合成樹脂等）で構成されていても良い。

支持部１２０は上記した何れかの態様の可撓部１１０を支持する構成となっていれば良い。支持部１２０は、例えば、ベース部１２１と、支持部本体１２２とを有する構成とすることが可能である。基板３００が設けられている場合、ベース部１２１のＺ方向側の面上には、開口１０２に対してＺ方向側に位置し且つ開口１０２と連通する収容凹部１０３が設けられていても良い。この場合、検知部２００ａは、開口１０２から内部空間１０１に臨むように配置されている又は少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置されており、且つ、基板３００は、Ｚ方向側から収容凹部１０３に収容されている。収容凹部１０３は省略可能である。この場合、検知部２００ａは、開口１０２から内部空間１０１に臨むように配置されている又は少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置されており、且つ、基板３００は、ベース部１２１のＺ方向側の面上に配置されている。基板３００は、ベース部１２１の収容凹部１０３の底面上又はＺ方向側の面上にネジやピン等の固定部材Ｒ２や接着剤等によって固定されていても良い。基板３００が省略される一方、検知部２００ｂが設けられている場合、検知部２００ｂはベース部１２１のＺ方向側の面上に配置された構成とすることが可能である。

支持部本体１２２は、ベース部１２１からＺ－Ｚ’方向に延びている。支持部本体１２２のＸ－Ｘ’方向の断面の外形寸法は、ベース部１２１のＸ－Ｘ’方向の断面の外形寸法よりも小さくすることが可能であるが、これに限定されるものではない。支持部本体１２２の形状は、可撓部１１０を支持し得る限り任意に設計変更できる。なお、ベース部１２１は省略可能である。

支持部１２０が設けられている場合、例えば、感知部１００は以下の（１）又は（２）の構成を更に有していても良い。

（１）感知部１００の上記した何れかの態様の可撓部１１０は、支持部本体１２２に一体的に連接され且つ支持部本体１２２からＺ－Ｚ’方向に延びている（図１Ａ～図３Ｂ及び図５参照）。この場合、感知部１００の内部空間１０１は、第１空間１０１ａと、第２空間１０１ｂを有する構成とすることが可能である。第１空間１０１ａは可撓部１１０内に設けられている。第２空間１０１ｂが支持部本体１２２内に設けられ且つ開口１０２が支持部本体１２２及びベース部１２１に設けられていても良いし、第２空間１０１ｂが支持部本体１２２及びベース部１２１内に設けられ且つ開口１０２がベース部１２１に設けられていても良い。第２空間１０１ｂは、第１空間１０１ａに対してＺ方向側に位置し且つ第１空間１０１ａに連通している。開口１０２は、第２空間１０１ｂに対してＺ方向側に位置し、第２空間１０１ｂに連通し且つＺ方向側に開放されている。検知部２００ａは上記何れかの通りに開口１０２を閉塞し、且つ内部空間１０１に臨むように配置されていても良いし、少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置されていても良い。何れの場合も、検知部２００ａは、支持部１２０の開口１０２に嵌合することによって、支持部１２０に固定されていても良いし、検知部２００ａは、開口１０２を閉塞するように支持部１２０の外面に固定されていても良い。又は、閉塞部が、感知部１００の外側から開口１０２を閉塞し、且つ検知部２００ａが内部空間１０１に臨むように配置されていても良いし、少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置されていても良い。

（２）感知部１００の上記した何れかの態様の可撓部１１０は、支持部１２０とは別体であって、支持部１２０の支持部本体１２２にＺ－Ｚ’方向において継手されており且つ支持部本体１２２からＺ－Ｚ’方向に延びた構成とすることが可能である。この場合、感知部１００は、例えば、以下の（２－１）、（２－２）及び（２－３）の何れかの構成を更に有していても良い。

（２－１）感知部１００の可撓部１１０のＺ方向の端が溶接、接着又は溶着等によって支持部本体１２２に継ぎ手（接続）されている（図８参照）。この場合も、感知部１００の内部空間１０１の第１空間１０１ａ、内部空間１０１の第２空間１０１ｂ及び開口１０２が上記（１）と同様に設けられている。上記（１）と同様に、検知部２００ａは、開口１０２を閉塞し、且つ内部空間１０１に臨むように配置されていても良いし、少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置されていても良い。又は、上記（１）と同様に、閉塞部が、開口１０２を閉塞し、且つ検知部２００ａが内部空間１０１に臨むように配置されていても良いし、少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置されていても良い。

（２－２）感知部１００の可撓部１１０のＺ方向側の部分が、支持部本体１２２の収容孔１０５に嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）することによって、支持部本体１２２に継ぎ手（接続）されている（図９参照）。収容孔１０５は、支持部本体１２２内に設けられており且つＺ’方向に開放されている。この場合、感知部１００の内部空間１０１の第１空間１０１ａが可撓部１１０内に設けられており、開口１０２が支持部本体１２２及びベース部１２１に設けられ、収容孔１０５に対してＺ方向側に位置し且つ収容孔１０５に連通している。可撓部１１０のＺ方向側の部分が収容孔１０５に嵌合することによって、開口１０２が第１空間１０１ａに対してＺ方向側に位置し且つ第１空間１０１ａに連通している。上記（１）と同様に、検知部２００ａは、開口１０２を閉塞し、且つ内部空間１０１に臨むように配置されていても良いし、少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置されていても良い。又は、上記（１）と同様に、閉塞部が、開口１０２を閉塞し、且つ検知部２００ａが内部空間１０１に臨むように配置されていても良いし、少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置されていても良い。

（２－３）感知部１００の可撓部１１０のＺ方向側の部分が、支持部本体１２２の筒部１２２ａに外嵌することによって、支持部本体１２２に継ぎ手（接続）されている（図１０参照）。筒部１２２ａは、支持部本体１２２のＺ’方向側の部分であって、Ｚ－Ｚ’方向に延び且つＺ’方向に開放されている。この場合、感知部１００の内部空間１０１の第１空間１０１ａが可撓部１１０内に設けられており、第２空間１０１ｂは、支持部本体１２２及びベース部１２１内に設けられ、第１空間１０１ａに対してＺ方向側に位置し且つ第１空間１０１ａに連通している。第２空間１０１ｂは、筒部１２２ａの内空間の一部を構成している。開口１０２は、ベース部１２１に設けられ、第２空間１０１ｂに対してＺ方向側に位置し、第２空間１０１ｂに連通し且つＺ方向側に開放されている。上記（１）と同様に、検知部２００ａは、開口１０２を閉塞し、且つ内部空間１０１に臨むように配置されていても良いし、少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置されていても良い。又は、上記（１）と同様に、閉塞部が、開口１０２を閉塞し、且つ検知部２００ａが内部空間１０１に臨むように配置されていても良いし、少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置されていても良い。

なお、感知部１００が上記（１）、（２－１）及び（２－３）の何れかの構成を有する場合、第２空間１０１ｂは省略可能である。この場合、開口１０２が支持部本体１２２及びベース部１２１に設けられ、第１空間１０１ａに対してＺ方向側に位置し且つ第１空間１０１ａに連通する構成とすることが可能である。また、感知部１００が上記（２－１）又は（２－３）の何れかの構成を有し且つ第２空間１０１ｂが省略される場合、開口１０２は、可撓部１１０のＺ方向側の開口であって、支持部本体１２２に支持された検知部２００ａが開口１０２から内部空間１０１内に配置され且つ支持部本体１２２が開口１０２を閉塞する構成とすることが可能である。この場合、基板３００は省略しても良いし、検知部２００ａが基板３００上に実装されておらず且つ検知部２００ａの出力部が基板３００に電気的に接続されていても良い。感知部１００が上記（１）、（２－１）、（２－２）及び（２－３）の何れかの構成を有する場合、第２空間１０１ｂ及び開口１０２を省略することも可能である。この場合、検知部２００ａが第１空間１０１ａに臨む又は一部が第１空間１０１ａに位置するように感知部１００内にインサート成形によって埋め込まれた構成となっている。なお、感知部１００が可撓部１１０のみを有する場合、可撓部１１０内に内部空間１０１が設けられていると良い。この可撓部１１０に開口１０２が更に設けられていても良い。

センサＳ１は、アダプタ４００を更に備えていても良い。アダプタ４００は、金属又は合成樹脂で構成されている。アダプタ４００には、当該アダプタ４００をＺ－Ｚ’方向に貫通した貫通孔４０１が設けられている。貫通孔４０１のＺ－Ｚ’方向の寸法は、上記した何れかの態様の可撓部１１０のＺ－Ｚ’方向の寸法と支持部本体１２２のＺ－Ｚ’方向の寸法との和よりも小さい。貫通孔４０１内に支持部本体１２２、可撓部１１０のＺ方向側の部分が配置されており且つ可撓部１１０のＺ’方向側の部分が貫通孔４０１からＺ’方向に突出していても良いし、貫通孔４０１内に支持部本体１２２が配置されており且つ可撓部１１０の全体が貫通孔４０１からＺ’方向に突出していても良い。なお、接続部４１０の貫通孔４０１から突出した可撓部１１０の少なくとも一部は、上記支持部１１１を有する。この支持部１１１に支持される上記動作部１３０は、アダプタ４００に対してＺ’方向側に配置される。

アダプタ４００は、接続部４１０と、固定部４２０とを有している。接続部４１０は、固定部４２０からＺ’方向に延びている。接続部４１０は、流体の流路の少なくとも一部をなす接続対象に接続可能な構成となっている。例えば、接続部４１０は、接続対象に設けられた接続孔に嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）する構成としても良いし、接続部４１０が、接続対象に設けられたネジ孔に螺着される構成としても良い。前者の場合、接続部４１０のＸ－Ｘ’方向の断面の外形が、接続対象の接続孔のＸ－Ｘ’方向の断面の形に対応しており且つ接続部４１０のＸ－Ｘ’方向の断面の外形寸法が、接続対象の接続孔のＸ－Ｘ’方向の断面の寸法と略同じ又は若干大きいと良い。後者の場合、接続部４１０の外周面にねじ溝が形成され、接続孔の内周面に接続部４１０のねじ溝に対応するねじ溝が形成されていると良い。逆に、接続部４１０内の貫通孔４０１が上記接続孔又はネジ孔であり、接続対象の筒状の接続部が貫通孔４０１に嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）又は螺着される構成としても構わない。

接続対象は、例えば、Ｔ字管８００とすることが可能である（図５参照）。Ｔ字管８００は、Ｔ字管本体８１０と、接続管８２０とを有している。Ｔ字管本体８１０内の流路には、上記流体である流体がＸ’方向に流通可能となっている。接続管８２０は、Ｔ字管本体８１０からＺ方向に延びており、その内部に接続孔を有している。接続孔は、Ｔ字管本体８１０の流路に連通している。接続管８２０の接続孔内に接続部４１０がＺ方向側から嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）する構成となっている。以下、この状態を接続状態と称する。

上記接続状態で、接続部４１０の貫通孔４０１から突出した可撓部１１０の少なくとも一部と、動作部１３０とが、接続管８２０の接続孔からＴ字管本体８１０の流路内にＴ字管８００に対して非接触で挿入される。流路内をＸ’方向に流れる流体が、動作部１３０の羽根車１３２の複数の羽根１３２ｂを押圧することによって、羽根車１３２が回転し（動作し）、羽根車１３２に対するＸ’方向側で流体に渦（カルマン渦）が発生し、この渦の少なくとも一部が可撓部１１０に衝突したり、流路内をＸ’方向に流れる流体が上記何れかの態様の羽根車１３２に衝突したり、流路内をＸ’方向に流れる流体が可撓部１１０に衝突したりすることによって、可撓部１１０の少なくとも一部が歪む。

固定部４２０は、Ｚ－Ｚ’方向においてベース部１２１に対向している。固定部４２０は、ベース部１２１に直接的に固定された構成とすることが可能である。この場合、固定部４２０には、Ｚ方向に開放された複数の固定孔４２２が貫通孔４０１の周りに間隔をあけて設けられている。固定孔４２２はネジ孔又は嵌合孔である。ベース部１２１には、固定孔４２２と同数の複数の取付孔１２１ａが設けられている。取付孔１２１ａはベース部１２１をＺ－Ｚ’方向に貫通しており、円弧状に延びており且つ略リング状に間隔をあけて配置されている。取付孔１２１ａによって構成される略リングの中心は、感知部１００の可撓部１１０のＺ－Ｚ’方向に延びる中心軸と一致していると良い。各取付孔１２１ａが、対応する固定孔４２２に対してＺ方向側に位置している。センサＳ１は、ネジやピン等の複数の固定部材Ｒ１を更に備えた構成とすることが可能である。各固定部材Ｒ１が、対応する取付孔１２１ａに挿通され、対応する固定孔４２２にネジ止め又は嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）することによって、ベース部１２１が固定部４２０に固定される。この固定前において、感知部１００及び動作部１３０を、感知部１００の可撓部１１０の中心軸を中心として回転させることによって、動作部１３０の羽根車１３２をＸ方向に向ける（流体の流れに対して略正対させる）ことができる。この後、上記の通り、ベース部１２１が固定部４２０に固定される。なお、取付孔１２１ａは固定孔４２２に連通する円柱状の貫通孔であっても構わない。

又は、固定部４２０は、間接的にベース部１２１に固定された構成とすることが可能である。例えば、固定部４２０のＺ－Ｚ’方向に延びる外周面とベース部１２１のＺ－Ｚ’方向に延びる外周面とが面一に連続しており、両外周面に連続するネジ溝が形成されている。センサＳ１は、図示しないボルトを更に備えた構成とすることが可能である。このボルトを両外周面にネジ止めすることによって、固定部４２０とベース部１２１とがボルトを介して間接的に固定されている。

センサＳ１は、シール部５００を更に備えていても良い。シール部５００は、ゴム等の環状の弾性体である。シール部５００は、アダプタ４００が間接的又は直接的にベース部１２１に固定された状態で、Ｚ－Ｚ’方向においてベース部１２１とアダプタ４００との間で挟持されている。シール部５００は、ベース部１２１とアダプタ４００との間で圧縮されていると良いが、これに限定されるものではない。アダプタ４００の貫通孔４０１のＺ方向側の周縁部には、シール部５００を収容する収容凹部４２１が設けられていても良いが、これに限定されるものではない。シール部５００は、アダプタ４００の振動を吸収する防振性を有する構成とすることが可能である。アダプタ４００には、シール部５００を収容する収容凹部４２１が設けられていても良いが、これに限定されるものではない。シール部５００に代えて、アダプタの振動を吸収する防振部が設けられていても良い。

センサＳ１は、カバー６００を更に備えた構成とすることが可能である。基板３００が設けられている場合、カバー６００は、検知部２００ｂ及び基板３００をＺ方向側から覆うように支持部１２０のベース部１２１に固定されている。基板３００が設けられていない場合、カバー６００は、検知部２００ｂをＺ方向側から覆うように支持部１２０のベース部１２１に固定されている。

アダプタ４００、シール部５００及び／又はカバー６００は、省略可能である。アダプタ４００が省略される場合、感知部１００の可撓部１１０又は支持部１２０を接続対象に接続したり固定したりすることが可能な構成とすれば良い。

以上のようなセンサＳ１による場合、以下の技術的特徴及び効果を奏する。

第１に、センサＳ１の可撓部１１０が流体によって歪み易くなる。なぜなら、可撓部１１０の支持部１１１に動作部１３０が支持されており、この動作部１３０の羽根車１３２が流体に押圧されて回転することによって、羽根車１３２のＸ’方向側で流体に渦（カルマン渦）を発生する。この渦の少なくとも一部がＸ’方向に流れて可撓部１１０に衝突（押圧）したり、動作部１３０の羽根車１３２がＸ’方向に流れる流体に押圧されたり、可撓部１１０自体がＸ’方向に流れる流体に押圧されたりすることによって、可撓部１１０が歪み、内部空間１０１内の気圧が変化する。このようにセンサＳ１の可撓部１１０が歪みやすくなり、内部空間１０１内の気圧が変化し易くなった結果、センサＳ１の感知精度が向上する。

なお、流路内の全体が流体によって満たされた状態で、当該流体がＸ’方向に流れる場合、上記の通り、可撓部１１０の少なくとも一部が歪む。この場合、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部から出力される第１電子信号は最も大きくなり得る。すなわち、第１電子信号は最大値となり得る。一方、流路内の全体が流体によって満たされた状態で、流路内を流体が逆流する場合、Ｘ方向に流れる流体が、動作部１３０の羽根車１３２の複数の羽根１３２ｂを押圧することによって、羽根車１３２が回転し（動作し）、羽根車１３２に対するＸ方向側で流体に渦（カルマン渦）が発生するが、この渦が可撓部１１０に衝突しない。その代わりに、流路内をＸ方向に流れる流体が上記何れかの態様の羽根車１３２に衝突したり、流路内をＸ方向に流れる流体が可撓部１１０に衝突したりすることによって、可撓部１１０の少なくとも一部が歪む。この場合、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部から出力される第１電子信号は、最大値の第１電気信号よりも小さくなる。

流路内の半分程度が流体によって満たされた状態で、当該流体がＸ’方向に流れる場合、流路内をＸ’方向に流れる流体が、動作部１３０の羽根車１３２の複数の羽根１３２ｂの一部を押圧することによって、羽根車１３２が回転し（動作し）、羽根車１３２に対するＸ’方向側で流体に渦（カルマン渦）が発生し、この渦の少なくとも一部が可撓部１１０に衝突したり、流路内をＸ’方向に流れる流体が上記何れかの態様の羽根車１３２の一部に衝突したり、流路内をＸ’方向に流れる流体が可撓部１１０の一部に衝突したりすることによって、可撓部１１０の少なくとも一部が歪む。この場合、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部から出力される第１電子信号は、最大値の第１電気信号よりも小さくなる。一方、流路内の半分程度が流体によって満たされた状態で、流路内を流体が逆流する場合、Ｘ方向に流れる流体が、動作部１３０の羽根車１３２の複数の羽根１３２ｂの一部を押圧することによって、羽根車１３２が回転し（動作し）、羽根車１３２に対するＸ方向側で流体に渦（カルマン渦）が発生するが、この渦が可撓部１１０に衝突しない。その代わりに、流路内をＸ方向に流れる流体が上記何れかの態様の羽根車１３２の一部に衝突したり、流路内をＸ方向に流れる流体が可撓部１１０の一部に衝突したりすることによって、可撓部１１０の少なくとも一部が歪む。この場合、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部から出力される第１電子信号は、流路内の半分程度が流体によって満たされた状態で、当該流体がＸ’方向に流れる場合の検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部から出力される第１電子信号よりも小さくなる。

第２に、センサＳ１の低価格を図ることができる。なぜなら、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部が、感知部１００の内部空間１０１の気圧の変化を検知するマイクロホンで構成されている。マイクロホン自体は安価であることから、検知部２００ａが安価になり、その結果として、センサＳ１の低価格化を図ることができる。また、検知部２００ａが開口１０２を閉塞する場合、検知部２００ａによって感知部１００の内部空間１０１が密閉されるので、別部品で開口１０２を閉塞する場合に比べて、センサＳ１の部品点数が低減される。基板３００が開口１０２を閉塞する場合、基板３００によって感知部１００の内部空間１０１が密閉されるので、別部品で開口１０２を閉塞する場合に比べて、センサＳ１の部品点数が低減される。

第３に、センサＳ１は、容易に組み立てられる。検知部２００ｂ、基板３００、アダプタ４００及びシール部５００が省略される場合、動作部１３０を上記した何れかの通りに感知部１００の可撓部１１０の支持部１１１に支持させ、検知部２００ａを感知部１００に取り付け、検知部２００ａを感知部１００の内部空間１０１に臨むように配置する又は少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置するだけで、センサＳ１を組み立てることができる。検知部２００ｂ、基板３００、アダプタ４００及びシール部５００が設けられている場合であっても、アダプタ４００の貫通孔４０１内に感知部１００の可撓部１１０及び支持部１２０の支持部本体１２２を挿入して、可撓部１１０の少なくとも一部を貫通孔４０１から突出させると共に、可撓部１１０の支持部１２０のベース部１２１とアダプタ４００の固定部４２０との間にシール部５００を介在させ、ベース部１２１を固定部４２０に直接的又は間接的に固定し、動作部１３０を上記した何れかの通りに感知部１００の可撓部１１０の支持部１１１に支持させ、且つ、検知部２００ａ及び検知部２００ｂが両面に実装された基板３００を、検知部２００ａが感知部１００の内部空間１０１に臨むように配置する又は少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置して、上記の通り基板３００を感知部１００の支持部１２０のベース部１２１に固定するだけで、センサＳ１を組み立てることができる。

第４に、可撓部１１０がアダプタ４００に接触している場合、可撓部１１０が歪むと、可撓部１１０のアダプタ４００との接触部分に負荷がかかる。しかし、可撓部１１０がアダプタ４００に対して非接触である場合、可撓部１１０が歪んでも、可撓部１１０に前述の負荷がかからない。

第５に、制御部７００及び検知部２００ｂが設けられている場合、制御部７００は、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部によって検知される内部空間１０１内の気圧の特性情報と、検知部２００ｂの少なくとも一つのセンサ部によって検知される感知部１００の周囲の音響振動の特性情報との差分データを生成するので、この差分データを使用することによって、感知部１００の周囲の音響振動の特性情報をノイズとして内部空間１０１内の気圧の特性情報から除去することが可能になる。このため、センサＳ１の流体に対する感知精度が向上する。

以下、本発明の実施例２を含む複数の実施例に係る流体センサＳ２（以下、単にセンサＳ２とも称する。）について、図１１及び図１２を参照しつつ説明する。図１１には、実施例２のセンサＳ２が示されている。図１２には、実施例２のセンサＳ２の第１設計変型例が示されている。図１１及び図１２にも、図２Ａと同様に、Ｚ－Ｚ’方向及びＸ－Ｘ’方向が示されている。

センサＳ２は、動作部１３０’が、回転軸１３１と、羽根車１３２（動作部１３０の一部）と、支持部１３３（第２支持部）を有している点で、センサＳ１の動作部１３０と相違する以外、センサＳ１と略同じ構成である。よって、以下、その相違点について詳しく説明し、重複する説明は省略する。

動作部１３０’の支持部１３３は、下記（ア）又は（イ）の何れかの構成とすることが可能である。

（ア）アダプタ４００が設けられている場合、動作部１３０’の支持部１３３は、アダプタ４００の貫通孔４０１のＺ’方向側の周縁部からＺ－Ｚ’方向に延びており且つアダプタ４００の貫通孔４０１から突出する可撓部１１０の少なくとも一部に対してＸ方向側に配置されている（図１１参照）。支持部１３３は、アダプタ４００と一体的に連接された構成、又は、アダプタ４００と別体であって、アダプタ４００に設けられたネジ孔にネジ止めされた構成、又は、アダプタ４００と別体であって、アダプタ４００に設けられた嵌合孔に嵌合する構成とすることが可能である。支持部１３３は、Ｘ－Ｘ’方向においてアダプタ４００の貫通孔４０１から突出する可撓部１１０の少なくとも一部に対向していても良いし、Ｙ－Ｙ’方向において位置ずれしており且つＸ－Ｘ’方向においてアダプタ４００の貫通孔４０１から突出する可撓部１１０の少なくとも一部に対向しないように配置されていても良い。

（イ）感知部１００の支持部１２０が設けられている場合、動作部１３０’の支持部１３３は、支持部１２０の可撓部１１０周りの周縁部からＺ－Ｚ’方向に延びており且つアダプタ４００の貫通孔４０１から突出する可撓部１１０に対してＸ方向側に配置されている（図１２参照）。支持部１３３は、支持部１２０と一体的に連接された構成、又は、支持部１２０と別体であって、支持部１２０に設けられたネジ孔にネジ止めされた構成、又は、支持部１２０と別体であって、支持部１２０に設けられた嵌合孔に嵌合する構成とすることが可能である。支持部１３３は、Ｘ－Ｘ’方向においてアダプタ４００の貫通孔４０１から突出する可撓部１１０の少なくとも一部に対向していても良いし、アダプタ４００の貫通孔４０１から突出する可撓部１１０の少なくとも一部からＹ－Ｙ’方向において位置ずれしており且つＸ－Ｘ’方向において当該可撓部１１０の少なくとも一部に対向しないように配置されていても良い。この場合、アダプタ４００は省略可能である。

（ａ１’）動作部１３０’の回転軸１３１は、その取付部１３１ｂが、可撓部１１０の支持部１１１ではなく、支持部１３３に支持されている以外、上記（ａ１）と同様の構成とすることが可能である。回転軸１３１の取付部１３１ｂがネジ部である場合、支持部１３３には、取付部１３１ｂがネジ止めされるネジ孔（図示なし）が設けられていると良い。このネジ孔はＸ方向に開放されている。回転軸１３１の取付部１３１ｂが嵌合凸部である場合、支持部１３３には、取付部１３１ｂが嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）する嵌合孔（図示なし）が設けられていると良い。この嵌合孔はＸ方向に開放されている。

（ａ２’）動作部１３０’の回転軸１３１は、その軸部１３１ａが、可撓部１１０の支持部１１１ではなく、支持部１３３に一体的に設けられ、支持部１３３からＸ方向に延びている以外、上記（ａ２）と同様の構成とすることが可能である。

（ｂ’）動作部１３０’の回転軸１３１は、回転軸１３１の軸部１３１ａは、可撓部１１０の支持部１１１ではなく、支持部１３３の円柱状の軸孔に回転自在に軸支されている以外、上記（ｂ）と同様の構成とすることが可能である。

動作部１３０’の回転軸１３１が上記（ａ１’）又は（ａ２’）の構成を有する場合、動作部１３０’の羽根車１３２は、動作部１３０の回転軸１３１が上記（ａ１）又は（ａ２）の構成を有する場合の動作部１３０の羽根車１３２と同様の構成とすることが可能である。また、動作部１３０’の回転軸１３１が上記（ｂ’）の構成を有する場合、動作部１３０’の羽根車１３２は、動作部１３０の回転軸１３１が上記（ｂ）の構成を有する場合の動作部１３０の羽根車１３２と同様の構成である。

以上のようなセンサＳ２は、センサＳ１の第２、第４及び第５の技術的特徴及び効果と同様の技術的特徴及び効果を奏する。これに加えて、センサＳ２は、以下の技術的特徴及び効果を奏する。

センサＳ２の可撓部１１０が流体によって歪み易くなる。なぜなら、支持部１３３に動作部１３０が支持されており、この動作部１３０’の羽根車１３２が流体に押圧されて回転することによって、羽根車１３２のＸ’方向側で流体に渦（カルマン渦）を発生する。この渦の少なくとも一部がＸ’方向に流れて可撓部１１０に衝突（押圧）したり、可撓部１１０自体がＸ’方向に流れる流体に押圧されたりすることによって、可撓部１１０が歪み、内部空間１０１内の気圧が変化する。このようにセンサＳ２の可撓部１１０が歪みやすくなり、内部空間１０１内の気圧が変化し易くなった結果、センサＳ２の感知精度が向上する。

なお、流路内の全体が流体によって満たされた状態で、当該流体がＸ’方向に流れる場合、上記の通り、可撓部１１０の少なくとも一部が歪む。この場合、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部から出力される第１電子信号は最も大きくなり得る。すなわち、第１電子信号は最大値となり得る。一方、流路内の全体が流体によって満たされた状態で、流路内を流体が逆流する場合、Ｘ方向に流れる流体が、動作部１３０’の羽根車１３２の複数の羽根１３２ｂを押圧することによって、羽根車１３２が回転し（動作し）、羽根車１３２に対するＸ方向側で流体に渦（カルマン渦）が発生するが、この渦が可撓部１１０に衝突しない。その代わりに、流路内をＸ方向に流れる流体が可撓部１１０に衝突することによって、可撓部１１０の少なくとも一部が歪む。この場合、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部から出力される第１電子信号は、最大値の第１電気信号よりも小さくなる。

流路内の半分程度が流体によって満たされた状態で、当該流体がＸ’方向に流れる場合、流路内をＸ’方向に流れる流体が、動作部１３０’の羽根車１３２の複数の羽根１３２ｂの一部を押圧することによって、羽根車１３２が回転し（動作し）、羽根車１３２に対するＸ’方向側で流体に渦（カルマン渦）が発生し、この渦の少なくとも一部が可撓部１１０に衝突したり、流路内をＸ’方向に流れる流体が可撓部１１０の一部に衝突したりすることによって、可撓部１１０の少なくとも一部が歪む。この場合、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部から出力される第１電子信号は、最大値の第１電気信号よりも小さくなる。一方、流路内の半分程度が流体によって満たされた状態で、流路内を流体が逆流する場合、Ｘ方向に流れる流体が、動作部１３０’の羽根車１３２の複数の羽根１３２ｂの一部を押圧することによって、羽根車１３２が回転し（動作し）、羽根車１３２に対するＸ方向側で流体に渦（カルマン渦）が発生するが、この渦が可撓部１１０に衝突しない。その代わりに、流路内をＸ方向に流れる流体が可撓部１１０の一部に衝突することによって、可撓部１１０の少なくとも一部が歪む。この場合、検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部から出力される第１電子信号は、流路内の半分程度が流体によって満たされた状態で、当該流体がＸ’方向に流れる場合の検知部２００ａの少なくとも一つのセンサ部から出力される第１電子信号よりも小さくなる。

センサＳ２は、容易に組み立てられる。検知部２００ｂ、基板３００、アダプタ４００及びシール部５００が省略される場合、動作部１３０’の回転軸１３１及び羽根車１３２を上記した何れかの通り支持部１３３に支持させ、検知部２００ａを感知部１００に取り付け、検知部２００ａを感知部１００の内部空間１０１に臨むように配置する又は少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置するだけで、センサＳ２を組み立てることができる。検知部２００ｂ、基板３００、アダプタ４００及びシール部５００が設けられている場合であっても、動作部１３０’の回転軸１３１及び羽根車１３２を上記した何れかの通り支持部１３３に支持させ、アダプタ４００の貫通孔４０１内に感知部１００の可撓部１１０及び支持部１２０の支持部本体１２２を挿入して、可撓部１１０の少なくとも一部を貫通孔４０１から突出させると共に、可撓部１１０の支持部１２０のベース部１２１とアダプタ４００の固定部４２０との間にシール部５００を介在させ、ベース部１２１を固定部４２０に直接的又は間接的に固定し、且つ検知部２００ａ及び検知部２００ｂが両面に実装された基板３００を、検知部２００ａが感知部１００の内部空間１０１に臨むように配置する又は少なくとも部分的に内部空間１０１内に配置するだけで、センサＳ２を組み立てることができる。

なお、上記した流体センサは、上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載範囲において任意に設計変更することが可能である。以下、詳しく述べる。

本発明の感知部の内部空間は省略可能である。この場合、第１検知部は、感知部の可撓部に取り付けられ且つ可撓部の上記した歪みによって生じる抗力を感知する圧力センサ、感知部の可撓部に取り付けられ且つ可撓部の上記した歪みを感知する加速度センサ、感知部の可撓部に取り付けられ且つ可撓部の上記した歪みを感知するジャイロセンサ、又は感知部の可撓部の上記した歪みを光学的に感知する光学センサ等とすることが可能である。

本発明の第１検知部は、複数であっても良い。複数の第１検知部は、上記した何れかの態様の内部空間に臨むように配置されており又は少なくとも部分的に前記内部空間内に配置されており、且つ、少なくとも一つのセンサ部を有する構成となっていれば良い。少なくとも一つのセンサ部は、上記した何れかの態様の内部空間内の気圧の変化を検知する構成であれば良い。よって、少なくとも一つのセンサ部は、上記したマイクロホンに限定されず、上記した何れかの態様の内部空間内の気圧の変化に応じて電圧（信号）が変化する圧電素子等であっても良い。

本発明の第２検知部は、複数であっても良い。複数の第２検知部は、上記した何れかの態様の感知部の周囲に向けて配置されており、且つ、少なくとも一つのセンサ部を有する構成となっていれば良い。少なくとも一つのセンサ部は、上記した何れかの態様の感知部の周囲の音響振動を検知する構成であれば良い。

本発明の動作部は、複数であっても良い。複数の動作部の回転軸及び羽根車は、上記した何れかの通り、可撓部１１０の支持部１１１又は支持部１３３に支持される構成とすることが可能である。

上記した何れかの態様の動作部１３０’の回転軸１３１は、Ｙ－Ｙ’方向に延びた円柱であって、支持部１３３に回転軸１３１の周方向に回転自在に支持された構成とすることが可能である。この回転軸１３１に羽根車１３２が回転自在に支持されており且つＹ又はＹ’方向に向いた構成とすることも可能である。この羽根車１３２も、Ｘ’方向に流れる流体に押圧され、回転し、そのＸ’方向側に渦が発生させる。又は、前記動作部１３０’の回転軸１３１が羽根車１３２を支持するのではなく、回転軸１３１の先端部から図示しない羽根がＹ方向又はＹ’方向に延びた構成とすることも可能である。この羽根は、Ｘ’方向に流れる流体に押圧され、回転軸１３１と共に回転し、そのＸ’方向側に渦が発生させる。

Ｓ１、Ｓ２：流体センサ
１００：感知部
１０１：内部空間
１０１ａ、１０１ｂ：第１空間、第２空間
１０２：開口
１０３：収容凹部
１０４：ネジ孔
１０５：収容孔
１１０：可撓部
１１１：支持部
１２０：支持部（第１支持部）
１２１：ベース部
１２１ａ：取付孔
１２２：支持部本体
１３０、１３０’：動作部
１３１：回転軸
１３２：羽根車
１３３：支持部（第２支持部）
２００ａ：検知部（第１検知部）
２００ｂ：検知部（第２検知部）
３００：基板
４００：アダプタ
４０１：貫通孔
４１０：接続部
４２０：固定部
５００：シール部
６００：カバー部
７００：制御部
７１０ａ、７１０ｂ：第１、第２Ａ／Ｄ変換部
７２０ａ、７２０ｂ：第１、第２フーリエ変換部
７３０：演算部
７４０：強調部
８００：Ｔ字管
８１０：Ｔ字管本体
８２０：接続管

Claims (15)

1. 流体の流れ方向である第１方向に略直交する第２方向に延びており且つ流体が衝突することによって少なくとも一部が歪む可撓部を有する感知部と、
   前記可撓部に対して前記第１方向の上流側に配置された動作部であって、前記動作部の一部が流体に押圧されることによって動作し、前記動作部の前記一部に対する前記第１方向の下流側で当該流体に渦を発生させる、前記動作部と、
   第１検知部とを備えており、
   前記第１検知部は、前記可撓部の前記歪みを前記流体の流れとして検知する少なくとも一つのセンサ部を有している流体センサ。
2. 請求項１記載の流体センサにおいて、
   前記動作部は、前記可撓部に対して前記第１方向の上流側に配置された前記動作部の前記一部であって、流体に押圧されることによって回転し、前記第１方向の下流側で当該流体に渦を発生させる羽根車と、
   前記羽根車の回転軸とを有しており、
   前記回転軸は、前記可撓部から前記第１方向の上流側に延びており且つ前記羽根車を回転自在に軸支する、又は前記羽根車から前記第１方向に延びており且つ前記可撓部に前記羽根車と共に回転自在に軸支されている流体センサ。
3. 請求項２記載の流体センサにおいて、
   前記感知部は、第１支持部を更に有しており、
   前記感知部の前記可撓部は、前記第１支持部から前記第２方向に延びている流体センサ。
4. 請求項３記載の流体センサにおいて、
   前記流体の流路の少なくとも一部をなす接続対象に接続可能なアダプタを更に備えており、
   前記アダプタは、当該アダプタを前記第２方向に貫通した貫通孔を有しており、
   前記第１支持部は、前記アダプタに直接的又は間接的に固定されたベース部と、
   前記ベース部から前記第２方向の一方に延びた支持部本体とを有しており、
   前記支持部本体は、前記アダプタの前記貫通孔内に配置され、前記可撓部の少なくとも一部が前記アダプタの前記貫通孔から前記第２方向の一方に突出しており、
   前記動作部の前記回転軸は、前記アダプタの前記貫通孔から突出した前記可撓部の前記少なくとも一部から前記第１方向の上流側に延びており、
   前記動作部の前記羽根車は、前記アダプタの前記貫通孔から突出した前記可撓部の前記少なくとも一部に対して前記第１方向の上流側に配置されている流体センサ。
5. 請求項１記載の流体センサにおいて、
   前記感知部は、第１支持部を更に有しており、
   前記感知部の前記可撓部は、前記第１支持部から前記第２方向に延びており、
   前記動作部は、前記可撓部に対して前記第１方向の上流側に配置されており且つ前記第２方向に延びる第２支持部と、
   前記可撓部に対して前記第１方向の上流側に配置された前記動作部の前記一部であって、流体に押圧されることによって回転し、前記第１方向の下流側で当該流体に渦を発生させる羽根車と、
   前記羽根車の回転軸とを有しており、
   前記回転軸は、前記第２支持部から前記第１方向の上流側に延びており且つ前記羽根車を回転自在に軸支する、又は、前記羽根車から前記第１方向に延びており且つ前記第２支持部に前記羽根車と共に回転自在に軸支されている流体センサ。
6. 請求項５記載の流体センサにおいて、
   前記動作部の前記第２支持部は、前記第１支持部から前記第２方向に延びている流体センサ。
7. 請求項５記載の流体センサにおいて、
   前記流体の流路の少なくとも一部をなす接続対象に接続可能なアダプタを更に備えており、
   前記アダプタは、当該アダプタを前記第２方向に貫通した貫通孔を有しており、
   前記第１支持部は、前記アダプタに直接的又は間接的に固定されたベース部と、
   前記ベース部から前記第２方向の一方に延びた支持部本体とを有しており、
   前記支持部本体は、前記アダプタの前記貫通孔内に配置され、前記可撓部の少なくとも一部が前記アダプタの前記貫通孔から前記第２方向の一方に突出しており、
   前記動作部の前記第２支持部は、前記アダプタから前記第２方向に延びており、
   前記動作部の前記羽根車は、前記アダプタの前記貫通孔から突出した前記可撓部の前記少なくとも一部に対して前記第１方向の上流側に配置されている流体センサ。
8. 請求項４又は７記載の流体センサにおいて、
   複数の固定部材を更に備えており、
   前記第１支持部の前記ベース部は、前記アダプタに対して前記第２方向の他方側に配置されており且つ複数の取付孔を有しており、
   前記取付孔は、前記ベース部を前記第２方向に貫通しており、円弧状に延びており、且つ、略リング状に間隔をあけて配置されており、
   前記固定部材が、前記取付孔に挿通され、前記ベース部を前記アダプタに固定している流体センサ。
9. 請求項４、７又は８記載の流体センサにおいて、
   前記アダプタは、前記接続対象であるＴ字管の接続管に接続可能な接続部を有しており、
   前記アダプタの前記接続部が前記接続管に接続された状態で、前記アダプタの前記貫通孔から突出した前記可撓部の前記少なくとも一部及び前記動作部が前記Ｔ字管に対して非接触で前記Ｔ字管内に配置される流体センサ。
10. 請求項１～９の何れかに記載の流体センサにおいて、
    前記感知部は、密閉された内部空間を有しており、前記可撓部の前記少なくとも一部が歪むことによって、前記内部空間内の気圧が変化するようになっており、
    前記第１検知部の前記少なくとも一つのセンサ部は、前記内部空間に臨むように配置されており又は少なくとも部分的に前記内部空間内に配置されており、且つ、前記内部空間内の前記気圧の変化を前記流体の流れとして検知する構成となっている流体センサ。
11. 請求項２～４の何れかに記載の流体センサにおいて、
    前記感知部は、密閉された内部空間を有しており、前記可撓部の前記少なくとも一部が歪むことによって、前記内部空間内の気圧が変化するようになっており、
    前記第１検知部の前記少なくとも一つのセンサ部は、前記内部空間に臨むように配置されており又は少なくとも部分的に前記内部空間内に配置されており、且つ、前記内部空間内の前記気圧の変化を前記流体の流れとして検知する構成となっており、
    前記回転軸は、前記羽根車を回転自在に軸支する又は前記可撓部に回転自在に軸支される軸部を有しており、前記軸部が前記内部空間に対して前記第２方向の一方側に位置している流体センサ。
12. 請求項２～４の何れかに記載の流体センサにおいて、
    前記感知部は、密閉された内部空間を有しており、前記可撓部の前記少なくとも一部が歪むことによって、前記内部空間内の気圧が変化するようになっており、
    前記第１検知部の前記少なくとも一つのセンサ部は、前記内部空間に臨むように配置されており又は少なくとも部分的に前記内部空間内に配置されており、且つ、前記内部空間内の前記気圧の変化を前記流体の流れとして検知する構成となっており、
    前記回転軸は、前記羽根車を回転自在に軸支する又は前記可撓部に回転自在に軸支される軸部を有しており、前記軸部が前記内部空間に対して前記第１方向の上流側に位置しており、
    前記羽根車は、その回転時に前記羽根車の複数の羽根のうちの前記第２方向の一方側に位置する少なくとも一つの羽根及び前記第２方向の他方側に位置する少なくとも一つの羽根が前記内部空間に対して前記第１方向の上流側に位置する流体センサ。
13. 請求項１０、１１又は１２記載の流体センサにおいて、
    前記感知部の周囲で発生する音響振動を検知する少なくとも一つのセンサ部を有する第２検知部と、
    制御部とを更に備えており、
    前記制御部は、前記第１検知部の前記少なくとも一つのセンサ部によって検知される前記気圧の特性情報と、前記第２検知部の前記少なくとも一つのセンサ部によって検知される前記音響振動の特性情報との差分データを生成する構成を有する流体センサ。
14. 請求項１３記載の流体センサにおいて、
    前記制御部は、第１、第２フーリエ変換部と、演算部を有しており、
    前記第１フーリエ変換部は、前記第１検知部の少なくとも一つのセンサ部から出力される電気信号に対してフーリエ変換処理を行うことによって、第１周波数スペクトルを生成するようになっており、
    前記第２フーリエ変換部は、前記第２検知部の少なくとも一つのセンサ部から出力される電気信号に対してフーリエ変換処理を行うことによって、第２周波数スペクトルを生成するようになっており、
    前記演算部は、前記第１周波数スペクトルと前記第２周波数スペクトルとの差分を取得することによって前記差分データを生成する構成となっている流体センサ。
15. 請求項１４記載の流体センサにおいて、
    前記制御部は、強調部を更に有しており、
    前記演算部は、前記差分データに基づいて、前記内部空間内の前記気圧の変動周波数帯域を特定する構成となっており、
    前記強調部は、前記差分データのうち、前記内部空間内の前記気圧の変動周波数帯域のレベルを上げる一方、それ以外の帯域のレベルを下げる構成となっている流体センサ。

Images