JP2022044218A - Bonding apparatus, repair apparatus, and repair method - Google Patents
Bonding apparatus, repair apparatus, and repair method Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022044218A JP2022044218A JP2020149743A JP2020149743A JP2022044218A JP 2022044218 A JP2022044218 A JP 2022044218A JP 2020149743 A JP2020149743 A JP 2020149743A JP 2020149743 A JP2020149743 A JP 2020149743A JP 2022044218 A JP2022044218 A JP 2022044218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- repair
- electronic component
- circuit board
- flux
- led
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008439 repair process Effects 0.000 title claims abstract description 217
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 57
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 28
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 77
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 25
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 16
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 16
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 13
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 52
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 23
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
Description
本発明は、回路基板に電子部品を実装するボンディング装置に関し、特に、はんだ処理された電子部品の電極部のはんだ材表面及び回路基板表面の洗浄化並びに電気的接続不良を排除し得るボンディング装置、リペア装置及びリペア方法に係るものである。 The present invention relates to a bonding device for mounting an electronic component on a circuit board, and in particular, a bonding device capable of cleaning the surface of the solder material and the surface of the circuit board of the electrode portion of the soldered electronic component and eliminating electrical connection failure. It relates to a repair device and a repair method.
従来のリペア装置に使用されるボンディング装置は、基板上に配置された多数のLEDの中から検出された欠陥LEDが除去された基板の欠陥発生領域に新規導電性ボンディング材を提供し、新規導電性ボンディング材の上に新規LEDを安着させ、新規導電性ボンディング材を加熱して新規LEDと基板とを結合するものとなっている(例えば、特許文献1参照)。 The bonding device used in the conventional repair device provides a new conductive bonding material in the defect generation region of the substrate from which the defective LED detected from a large number of LEDs arranged on the substrate has been removed, and the new conductive material is provided. A new LED is set on the sex bonding material, and the new conductive bonding material is heated to bond the new LED and the substrate (see, for example, Patent Document 1).
しかし、このような従来のボンディング装置において、ボンディング材としてはんだ材が使用されるときには、はんだ材の表面に酸化膜が形成されて新規LEDの電極部と基板の電極部との接続不良が発生する問題があった。 However, in such a conventional bonding apparatus, when a solder material is used as a bonding material, an oxide film is formed on the surface of the solder material, and poor connection between the electrode portion of the new LED and the electrode portion of the substrate occurs. There was a problem.
このような問題に対しては、基板にフラックスを塗布してはんだ材表面の酸化膜を除去することが考えられる。しかしながら、この場合、新規LEDを基板に接続した後に基板上の余分なフラックスを洗浄して除去する必要があり、リペア工程が煩雑になるという問題があった。 To solve such a problem, it is conceivable to apply flux to the substrate to remove the oxide film on the surface of the solder material. However, in this case, after connecting the new LED to the substrate, it is necessary to clean and remove the excess flux on the substrate, which causes a problem that the repair process becomes complicated.
そこで、本発明は、このような問題に対処し、はんだ処理された電子部品の電極部のはんだ材表面及び回路基板表面の洗浄化並びに電気的接続不良を排除し得るボンディング装置、リペア装置及びリペア方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention addresses such problems, and can eliminate the cleaning and electrical connection failure of the solder material surface and the circuit board surface of the electrode portion of the soldered electronic component, and the bonding device, the repair device, and the repair. The purpose is to provide a method.
上記目的を達成するために、本発明によるボンディング装置は、電極部がはんだ処理された複数の電子部品の前記電極部とは反対側の端面を保持して長軸方向に移送されるキャリアテープの前記電子部品を、複数の電子部品を実装した回路基板上の指定された領域に電気的に接合するボンディング装置であって、前記電子部品が前記指定された領域に接合される接合位置の前記キャリアテープの移送方向上流側には、前記電子部品の前記電極部にフラックスを塗布するフラックス塗布装置が設けられているものである。 In order to achieve the above object, the bonding apparatus according to the present invention is a carrier tape in which the electrode portion is transferred in the long axis direction while holding the end face of a plurality of electronic components soldered on the opposite side to the electrode portion. A bonding device that electrically bonds the electronic components to a designated region on a circuit board on which a plurality of electronic components are mounted, and the carrier at a bonding position where the electronic components are bonded to the designated region. A flux applying device for applying flux to the electrode portion of the electronic component is provided on the upstream side in the transfer direction of the tape.
本発明によるボンディング装置は、具体的には、複数の電子部品を実装した回路基板から欠陥電子部品が除去されたリペア領域に良品の電子部品を接合するボンディング装置であって、前記回路基板の実装面とは反対側の裏面を保持するステージと、電極部がはんだ処理された複数のリペア用電子部品の前記電極部とは反対側の端面を保持して長軸方向に並べて有するキャリアテープを前記長軸方向に移送する移送機構と、前記キャリアテープの送出側にて前記複数のリペア用電子部品の前記電極部にフラックスを塗布するフラックス塗布装置と、前記フラックスが塗布された処理済リペア用電子部品と前記回路基板のリペア領域とを観察して位置合わせする観察装置と、前記ステージを上昇させて前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に圧接する昇降機構と、前記処理済リペア用電子部品の前記電極部のはんだ材を加熱溶融させて前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に電気的に接合する加熱装置と、を備えて構成したものである。 Specifically, the bonding device according to the present invention is a bonding device for joining a non-defective electronic component to a repair region in which defective electronic components are removed from a circuit board on which a plurality of electronic components are mounted, and the mounting of the circuit board. The carrier tape has a stage that holds the back surface on the opposite side to the front surface and a carrier tape that holds the end faces of the plurality of repair electronic components having the electrode portions soldered on the opposite side to the electrode portion and arranges them in the long axis direction. A transfer mechanism that transfers in the long axis direction, a flux coating device that applies flux to the electrodes of the plurality of repair electronic components on the transmission side of the carrier tape, and processed repair electrons coated with the flux. An observation device that observes and aligns the component and the repair area of the circuit board, an elevating mechanism that raises the stage to press the processed electronic component for repair to the repair area of the circuit board, and the processed device. It is configured to include a heating device that heats and melts the solder material of the electrode portion of the electronic component for repair and electrically joins the treated electronic component for repair to the repair region of the circuit board.
また、本発明によるリペア装置は、複数の電子部品を実装した回路基板の欠陥電子部品にレーザ光を照射し、前記欠陥電子部品を除去してリペア領域を形成すると共に、該リペア領域の位置座標を記憶する電子部品除去装置と、前記回路基板の実装面とは反対側の裏面を保持するステージ、電極部がはんだ処理された複数のリペア用電子部品の前記電極部とは反対側の端面を保持して長軸方向に並べて有するキャリアテープを前記長軸方向に移送する移送機構、前記キャリアテープの送出側にて前記複数のリペア用電子部品の前記電極部にフラックスを塗布するフラックス塗布装置、前記フラックスが塗布された処理済リペア用電子部品と前記回路基板のリペア領域とを観察して位置合わせする観察装置、前記ステージを上昇させて前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に圧接する昇降機構、及び前記処理済リペア用電子部品の前記電極部のはんだ材を加熱溶融させて前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に電気的に接合する加熱装置を備えて構成したボンディング装置と、を備え、前記ステージは、前記電子部品除去装置と前記ボンディング装置との間を移動して前記リペア領域の前記位置座標に基づいて、前記リペア領域を前記ボンディング装置の前記処理済リペア用電子部品との接合位置に位置付けるように構成されている。 Further, in the repair device according to the present invention, a defective electronic component of a circuit board on which a plurality of electronic components are mounted is irradiated with a laser beam to remove the defective electronic component to form a repair region, and the position coordinates of the repair region are formed. The electronic component removing device that stores the electronic components, the stage that holds the back surface of the circuit board on the opposite side to the mounting surface, and the end faces of the plurality of repair electronic components whose electrodes are soldered on the opposite side of the electrode. A transfer mechanism that holds and transfers carrier tapes arranged side by side in the long axis direction, and a flux coating device that applies flux to the electrodes of the plurality of repair electronic components on the delivery side of the carrier tape. An observation device that observes and aligns the treated electronic component coated with the flux with the repair area of the circuit board, and raises the stage to move the treated electronic component of the circuit board to the repair area of the circuit board. It is provided with an elevating mechanism that press-contacts the electronic component for repair, and a heating device that heats and melts the solder material of the electrode portion of the electronic component for repair and electrically joins the electronic component for repair to the repair region of the circuit board. The stage moves between the electronic component removing device and the bonding device, and based on the position coordinates of the repair area, the repair area is set to the bonding device. It is configured to be positioned at the joint position with the processed electronic component for repair.
好ましくは、前記リペア装置は、前記回路基板に通電して複数の電子部品の良否を判定すると共に、欠陥電子部品の位置座標を記憶する点灯検査装置をさらに備え、前記ステージは、前記点灯検査装置と前記電子部品除去装置と前記ボンディング装置との間を移動して、前記欠陥電子部品の位置座標に基づいて前記欠陥電子部品を前記電子部品除去装置のレーザ光照射位置に位置付けると共に、前記リペア領域の位置座標に基づいて前記リペア領域を前記ボンディング装置の前記処理済リペア用電子部品との接合位置に位置付けるように構成するとよい。 Preferably, the repair device further includes a lighting inspection device that energizes the circuit board to determine the quality of a plurality of electronic components and stores the position coordinates of defective electronic components, and the stage is the lighting inspection device. And move between the electronic component removing device and the bonding device to position the defective electronic component at the laser beam irradiation position of the electronic component removing device based on the position coordinates of the defective electronic component, and the repair area. The repair region may be configured to be positioned at the joining position of the bonding device with the processed repair electronic component based on the position coordinates of the above.
さらに、本発明によるリペア方法は、複数の電子部品を実装した回路基板の実装面とは反対側の裏面をステージに保持する第1ステップと、電極部がはんだ処理された複数のリペア用電子部品の前記電極部とは反対側の端面を保持して長軸方向に並べて有するキャリアテープを前記長軸方向に移送する第2ステップと、前記複数のリペア用電子部品の前記電極部にフラックスを塗布する第3ステップと、前記フラックスが塗布された処理済リペア用電子部品と前記回路基板から欠陥電子部品が除去されたリペア領域とを観察して位置合わせする第4ステップと、前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に圧接する第5ステップと、前記処理済リペア用電子部品の前記電極部のはんだ材を加熱溶融させて前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に電気的に接合する第6ステップと、を行うものである。 Further, the repair method according to the present invention includes a first step of holding the back surface of the circuit board on which a plurality of electronic components are mounted on the opposite side to the mounting surface on the stage, and a plurality of repair electronic components having soldered electrodes. The second step of transferring the carrier tape having the end faces on the opposite side to the electrode portion and arranging them side by side in the major axis direction in the major axis direction, and applying flux to the electrode portions of the plurality of repair electronic components. The third step of observing and aligning the treated electronic component coated with the flux and the repair region from which the defective electronic component has been removed from the circuit board, and the treated repair step. The fifth step of pressing the electronic component into the repair area of the circuit board and the solder material of the electrode portion of the processed repair electronic component are heated and melted to heat and melt the treated electronic component for repair in the repair area of the circuit board. The sixth step of electrically joining to the solder is performed.
好ましくは、前記リペア方法は、第1ステップの実施前に、前記回路基板に通電して複数の電子部品の良否を判定すると共に、不良と判定された欠陥電子部品にレーザ光を照射し、前記欠陥電子部品を除去してリペア領域を形成するステップを実施するとよい。 Preferably, in the repair method, before the first step is carried out, the circuit board is energized to determine the quality of the plurality of electronic components, and the defective electronic components determined to be defective are irradiated with laser light. It is advisable to carry out the step of removing defective electronic components to form a repair region.
本発明によれば、はんだ処理された電子部品の電極部にフラックスを塗布するようにしているので、はんだ材を加熱溶融して電子部品を回路基板の所定の領域に接合する際に、加熱されたフラックスによりはんだ材の表面及び回路基板の上記所定の領域のデブリが洗浄化され、電気的接続不良の発生を排除することができる。また、回路基板にフラックスを塗布する方法と比較して、電子部品を回路基板に接続した後に回路基板の余分なフラックスを洗浄して除去する必要がなく、ボンディング作業が容易になる。 According to the present invention, since the flux is applied to the electrode portion of the soldered electronic component, it is heated when the solder material is heated and melted to join the electronic component to a predetermined region of the circuit board. Debris on the surface of the solder material and the above-mentioned predetermined region of the circuit board is cleaned by the flux, and the occurrence of electrical connection failure can be eliminated. Further, as compared with the method of applying flux to the circuit board, it is not necessary to clean and remove the excess flux of the circuit board after connecting the electronic component to the circuit board, and the bonding work becomes easy.
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明によるボンディング装置の一実施形態の概略構成を示す正面図である。このボンディング装置1は、リペア装置において使用されるもので、回路基板の欠陥電子部品が除去されたリペア領域に良品の電子部品を取り付けようとするものであり、ステージ2と、移送機構3と、フラックス塗布装置4と、観察装置5と、昇降機構6と、加熱装置7と、を備えて構成されている。以下、電子部品がマイクロLED(Light Emitting Diode)(以下、単に「LED」という)である場合について説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of an embodiment of a bonding apparatus according to the present invention. This
上記ステージ2は、図4に示すように、複数のLED8をマトリクス状に配置して実装したディスプレイパネル(回路基板)9の実装面とは反対側の裏面を載置面2aに吸着して保持するものであり、後述する観察装置5の対物レンズ10の光軸に直交するXY平面内を移動し、XY平面に垂直なZ方向に昇降し、載置面2aの中心軸回りに回動(θ)するようになっている。
As shown in FIG. 4, the
上記ディスプレイパネル9は、複数の走査線及びデータ線が交差して設けられたその交差領域に、LED8及びそれを駆動する薄膜トランジスタを備えたものであり、ガラス等からなるハード基板であっても、ポリイミド等からなるフレキシブル基板であってもよい。
The
上記ステージ2の上方には、移送機構3が設けられている。この移送機構3は、図2に示すように、電極部8aがはんだ材34によりはんだ処理された複数のリペア用LED8Aの電極部8aとは反対側の端面8bを保持して長軸方向に並べて有する、例えばUV剥離テープ、粘着テープ又は熱剥離テープ等のキャリアテープ11(図3を参照)を長軸方向に移送するものであり、送出リール12と、巻取リール13と、セパレータリール14と、複数のガイドローラ15と、を備えて構成されている。
A
なお、キャリアテープ11には、図3(a)に示すように、リペア用LED8Aの電極部8aを保護する保護フィルム16が貼付されている。また、図3(b)には、キャリアテープ11の長軸方向に一列に並べてリペア用LED8Aを備えたものが示されているが、キャリアテープ11にはリペア用LED8Aが長軸方向に複数列に並べて備えられていてもよい。
As shown in FIG. 3A, a
ここで、上記送出リール12は、リペア用LED8Aの電極部8aを外側として巻き上げられたキャリアテープ11を簡潔的に送出するもので、例えば図示省略の送出リールモータの駆動を制御してキャリアテープ11に一定のバックテンションを付与できるようになっている。また、上記巻取リール13は、リペア用LED8Aがリフトオフされたキャリアテープ11を一定量ずつ巻き取るものであり、図示省略の巻取リールモータにより駆動されて巻取方向に回転するようになっている。さらに、上記セパレータリール14は、図示省略のリールモータにより回転駆動され、キャリアテープ11のリペア用LED8Aから剥がされた保護フィルム16を、キャリアテープ11の送出量に応じて一定量ずつ巻き取るようになっている。そして、ガイドローラ15は、キャリアテープ11の長軸に平行な両端部を規制してキャリアテープ11の移送を安定に保つためのものであり、必要に応じて適宜の位置に複数個が設けられている。
Here, the
キャリアテープ11の送出側には、フラックス塗布装置4が設けられている。このフラックス塗布装置4は、保護フィルム16が剥がされたリペア用LED8Aの電極部8aにフラックス17を塗布するものであり、図4に示すようにキャリアテープ11に対面してノズル18を備え、該ノズル18からフラックス17をリペア用LED8Aの電極部8aに噴霧できるようになっている。また、フラックス塗布装置4のキャリアテープ11の移送方向下流側側面には、フラックスが過剰に塗布された場合に備えて、フラックス17を回収する回収部19が設けられている。
A
上記フラックス塗布装置4のキャリアテープ11の移送方向下流側にてステージ2の上方には、観察装置5が設けられている。この観察装置5は、図4に示すように、フラックス17が塗布された処理済リペア用LED8Bとディスプレイパネル9のリペア領域20とを観察して位置合わせするものであり、図1に示すようにステージ2の載置面2a側から押圧部材21と、対物レンズ10と、観察光学系22(図7を参照)と、を備えて構成されている。
An
上記押圧部材21は、石英等の透明なガラス部材で形成されたもので固定して設けられており、ステージ2の上昇と相まって処理済リペア用LED8Bを、キャリアテープ11を介してディスプレイパネル9のリペア領域20に圧接するようになっている。詳細には、押圧部材21は、図5に示すように、対物レンズ10側の上面21aと、キャリアテープ11が摺動する下面21bとを有し、上面21aは対物レンズ10の焦点位置Cを中心とする曲率半径で表される曲面に形成され、下面21bはキャリアテープ11の移送方向に交差する中心軸を有するシリンドリカル面に形成されている。
The pressing
この場合、図5に示すように、対物レンズ10を透過した光(照明光)は、押圧部材21を透過して、観察面23に合致した対物レンズ10の焦点位置Cに集光される。そして、観察面23から反射された反射光は、球面波SWを形成し、再び、押圧部材21を透過して対物レンズ10に戻って行く。
In this case, as shown in FIG. 5, the light (illumination light) transmitted through the
図6は押圧部材21の上面21aの形状に関する説明図である。図6(a)は、押圧部材21の上面21aが反射光の球面波SWに一致した曲率を有する曲面形状を有している場合を例示している。この場合、図5を用いて上述した通り、押圧部材21の上面21aにおいて球面波SWの波面が変化しない。即ち、上面21aでは光の屈折が起こらないため、収差が発生しない。図6(b)は、上記押圧部材21の上面21aの形状と異なり、上面21a′が平面形状を有している押圧部材21′を例示している。上面21a′が平面形状の場合、上面21a′で光の屈折が起こり、収差が発生する。そのため、光学系の分解能が低下し、高精度な位置決めの妨げとなる。
FIG. 6 is an explanatory diagram regarding the shape of the
押圧部材21の下面21bの形状は、光学的な観点に立つと平面が望ましい。しかし、視野内での光路差が対物レンズ10の焦点深度内に収まる範囲内であれば、曲面でも問題がない。本発明においては、上述したように下面21bは、キャリアテープ11の移送方向に交差する中心軸を有するシリンドリカル面に形成されている。
The shape of the
上記押圧部材21の上方には、対物レンズ10が設けられている。この対物レンズ10は、照明光を観察面23に集光すると共に、処理済リペア用LED8Bの端面8b(観察面23)を後述の観察光学系22の第1の結像レンズ24と協働して第1の観察カメラ25の撮像面に結像し、ディスプレイパネル9のリペア領域20(観察面23)を観察光学系22の第2の結像レンズ26と協働して第2の観察カメラ27の撮像面に結像するものである。
An
上記対物レンズ10の上方には、観察光学系22が設けられている。この観察光学系22は、処理済リペア用LED8Bの端面8bの画像及びディスプレイパネル9のリペア領域20の画像を取得して、両画像が互いに合致するようにステージ2のXY方向への駆動を制御してアライメントするためのものであり、図7に示すように、対物レンズ10から第1の観察カメラ25に至る第1の光路28と、対物レンズ10から第2の観察カメラ27に至る第2の光路29と、対物レンズ10を介して観察面23を照明する照明系光路30とを備えて構成されている。
An observation
詳細には、観察光学系22は、図7に示すように、対物レンズ10から第1の観察カメラ25に至る第1の光路28上に対物レンズ10と協働して、処理済リペア用LED8Bの端面8bを第1の観察カメラ25の撮像面に結像する第1の結像レンズ24を固定して備えている。また、対物レンズ10から第1の観察カメラ25に至る第1の光路28が対物レンズ10と第1の結像レンズ24との間で第1のハーフミラー31により分岐された第2の光路29上には、対物レンズ10と協働してディスプレイパネル9のリペア領域20を第2の観察カメラ27の撮像面に結像する第2の結像レンズ26を備えている。この場合、第2の結像レンズ26は、ディスプレイパネル9のリペア領域20の結像(ベストフォーカス)を維持しながらステージ2の上昇に伴って光軸方向に移動可能となっている。さらに、対物レンズ10から第1の観察カメラ25に至る第1の光路28が対物レンズ10と第1のハーフミラー31との間で第2のハーフミラー32により分岐された光路(照明系光路30)上には、照明光源33が設けられており、対物レンズ10、押圧部材21及びキャリアテープ11を介して処理済リペア用LED8B及びディスプレイパネル9のリペア領域20に可視光を照射し、処理済リペア用LED8Bの端面8b及びディスプレイパネル9のリペア領域20が第1及び第2の観察カメラ25,27で観察できるようになっている。
Specifically, as shown in FIG. 7, the observation
上記ステージ2には、昇降機構6が設けられている。この昇降機構6は、ステージ2を昇降させて処理済リペア用LED8Bをディスプレイパネル9のリペア領域20に圧接及び圧接解除するためのものであり、ステージ2をZ方向に移動させる電動ステージ又はエアシリンダ等である。
The
上記観察装置5と一体的に加熱装置7が設けられている。この加熱装置7は、処理済リペア用LED8Bの電極部8aのはんだ材34(図2を参照)を加熱溶融させて処理済リペア用LED8Bをディスプレイパネル9のリペア領域20の電極パッドに電気的に接合するものであり、対物レンズ10、押圧部材21及びキャリアテープ11を介して処理済リペア用LED8Bに赤外線を照射できるようになっている。具体的には、加熱装置7は、図7に示すように、対物レンズ10から照明光源33に向かう照明系光路30が斜面にハーフミラーを備えたプリズム35により分岐された光路36上に赤外線レーザ37を備えたものである。
A
なお、図1において符号38は、フラックス塗布装置4のキャリアテープ11の移送方向上流側でキャリアテープ11に向けてイオンを放出し、帯電したキャリアテープ11の静電気を中和して除去するためのイオナイザである。また、図7において、符号39は、赤外線レーザ37から放出され、径が拡大されたレーザ光をコリメートするコリメートレンズであり、符号40は、コリメートされたレーザ光を処理済リペア用LED8Bの端面8bの形状に合わせて整形するためのスリットであり、符号41は、対物レンズ10と協働してスリットを処理済リペア用LED8Bの端面8bに結像するための結像レンズである。また、符号42は、赤外線レーザ37から放出されたレーザ光が処理済リペア用LED8Bの端面8bに正確に照射するように光路36を調整するためのガイド照明光源であり、符号43は、ガイド照明光源42に至る光路を光路36から分岐するためのハーフミラープリズムである。そして、符号44は、光路を90°折り曲げるための全反射ミラーである。
In FIG. 1,
図8は本発明のボンディング装置1を使用するリペア装置の第1の実施形態の概略構成を示す正面図である。
上記第1の実施形態においては、ボンディング装置1に並べてLED除去装置45が設けられている。このLED除去装置45は、複数のLED8を実装したディスプレイパネル9の欠陥LED8にレーザ光を照射し、欠陥LED8を除去してリペア領域20を形成するものであり、観察光学系ユニット46と、レーザ光学系ユニット47と、を備えて構成されている。
FIG. 8 is a front view showing a schematic configuration of a first embodiment of a repair device using the
In the first embodiment, the
上記観察光学系ユニット46は、対物レンズ48を介してディスプレイパネル9の欠陥LED8の画像を取得し、取得された画像の画像データに基づいてステージ2の移動を制御し、上記欠陥LED8を対物レンズ48の視野中心に位置付けるものであり、ボンディング装置1の観察光学系22と同様の光学構成となっている。具体的には、観察光学系ユニット46は、対物レンズ48から観察カメラに向かう光路上に対物レンズ48と協働して上記欠陥LED8を観察カメラの撮像面に結像する結像レンズを備え、対物レンズ48から結像レンズに向かう光路がハーフミラーにより分岐された光路上に照明光源を備えた構成となっている。この場合、上記結像レンズは、固定して備えてもよく、光軸に沿って移動可能に備えてもよい。結像レンズを移動可能に備えた場合には、オートフォーカス機能を実現することができる。
The observation
上記レーザ光学系ユニット47は、対物レンズ48を介して上記欠陥LED8にレーザ光を照射し、欠陥LED8を昇華させて除去するもので、紫外線(近紫外線又は遠紫外線)や赤外線又は第2高調波(SHG)を放出するレーザを備えている。この場合、単一波長のレーザを個別に備えて、切り替えて使用してもよく、基本波を波長変換して高次高調波を生成し、必要な波長のレーザ光を出力させてもよい。
The laser
上記レーザ光学系ユニット47は、具体的には、ボンディング装置1の加熱装置7と同様の光学構成となっており、上記照明光源に向かう光路が別のハーフミラー、又は可視光を反射し紫外線を透過する波長選択性ミラーにより分岐された光路上にレーザが備えられている。また、上記レーザに向かう光路上には、LED8の端面8bの形状に合わせてレーザ光を整形するためのスリットが設けられ、該スリットを対物レンズ48と協働して欠陥LED8に結像する結像レンズが設けられている。
Specifically, the laser
使用するレーザ光の波長により対物レンズ48の焦点位置が異なるため、複数の波長のレーザ光を切り替えて使用する場合には、対物レンズ48は、使用する波長に応じて複数備えるのが望ましい。図8は、赤外線及びSHG用の第1の対物レンズ48Aと、近紫外線用の第2の対物レンズ48Bと、遠紫外線用の第3の対物レンズ48Cと、をレボルバー49に取り付けて切り替えて使用することができるようにしたLED除去装置45を例示している。なお、図8において符号50は、昇華したLED8をブロー及び吸引して除去し、リペア領域20にデブリが発生するのを抑制し得るようにしたブロー・吸引部であり、対物レンズ48に対向して開口51が設けられている。
Since the focal position of the
次に、このように構成された上記第1の実施形態によるリペア装置を使用して行うリペア方法について、図9,10のフローチャートを参照して説明する。
先ず、図9に示すように、ステップS1においては、ディスプレイパネル9に実装された複数のLED8の点灯検査を実施し、LED8の良否が判定される。上記第1の実施形態においては、LED8の点灯検査は、上記リペア装置とは別に独立して備えた点灯検査装置により実施される。具体的には、点灯検査装置に備えるアライメント装置を使用して、ステージ上に載置されたディスプレイパネル9のXY座標軸と点灯検査装置のXY座標軸とが合致するようにアライメントを実施した後、ディスプレイパネル9に通電して複数のLED8を全点灯させ、又は赤、緑及び青の3色のLED8を備えている場合には色毎に点灯させ、それをCCDやCMOS等のイメージセンサにより撮影して点灯検査が実施される。なお、イメージセンサは、固定カメラであっても、ディスプレイパネル9の一方端から他方端に向かって移動しながら撮影するラインセンサであってもよい。
Next, a repair method performed by using the repair device according to the first embodiment configured in this way will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 9 and 10.
First, as shown in FIG. 9, in step S1, a lighting inspection of a plurality of LEDs 8 mounted on the
次に、ステップS2において、イメージセンサの撮影画像に基づいて良否判定が行われる。例えば、LED8の点灯輝度が所定の基準値以上であり、発光波長が所定の波長帯域内にあるときには良品と判定され、点灯輝度が上記基準値を下回っているとき、不点灯のとき、又は発光波長のずれが許容範囲を超えているときには欠陥品と判定される。そして、欠陥LED8が検出されると、該欠陥LED8の位置座標をディスプレイパネル9に予め設定された基準位置(例えば、パネルの中心画素)に対する行数及び列数から求め、その位置座標がリムーバブルメディアに記憶される。又は、点灯検査装置がリペア装置と工場内のLAN(Enthernet)に接続されている場合には、各装置が備える制御ユニットの記憶部やネットワーク接続されたデータサーバに記憶され、上記位置座標のデータが装置間で共有できるようにしてもよい。なお、以下の説明においては、各装置がネットワーク接続されたデータサーバを介してデータを共有できるようになっている場合について説明する。
Next, in step S2, a quality determination is made based on the captured image of the image sensor. For example, when the lighting brightness of the LED 8 is equal to or higher than a predetermined reference value and the emission wavelength is within the predetermined wavelength band, it is determined to be a good product, and when the lighting brightness is below the above reference value, when it is not lit, or when it emits light. When the wavelength deviation exceeds the permissible range, it is determined to be a defective product. Then, when the defective LED 8 is detected, the position coordinates of the defective LED 8 are obtained from the number of rows and columns with respect to the reference position (for example, the center pixel of the panel) preset in the
ステップS2において、欠陥LED8が検出されなかった(“NO”判定)ときには、ディスプレイパネル9のリペア工程が終了する。一方、欠陥LED8が検出された(“YES”判定)ときには、第1の実施形態のリペア装置を使用したリペア工程に進み、ステップS3が実行されてディスプレイパネル9から欠陥LED8が除去される。
When the defective LED 8 is not detected (“NO” determination) in step S2, the repair step of the
具体的には、ステップS3においては、先ず、ディスプレイパネル9がリペア装置のステージ2の載置面2aに吸着保持され、LED除去装置45の真下の位置に位置付けられる。LED除去装置45においては、図示省略のアライメント装置を使用してディスプレイパネル9のXY座標軸とLED除去装置45のXY座標軸とが合致するようにアライメントが実施される。また、上記点灯検査装置において検出された欠陥LED8の位置座標を上記データサーバから読み出し、該位置座標に基づいて欠陥LED8(欠陥LED8が複数個存在する場合には、選択された1つの欠陥LED8)がLED除去装置45のレーザ光の照射位置に位置付けられる。さらに、観察光学系ユニット46により欠陥LED8を観察しながら、昇降機構6によるステージ2の昇降を制御して欠陥LED8の端面8bにフォーカスすると共に、ステージ2をXY方向に微動してレーザ光の照射位置に対する欠陥LED8の位置が微調整される。そして、レーザ光学系ユニット47のレーザから、例えば紫外線(近紫外線又は遠紫外線)が放出され、スリットによって欠陥LED8の端面8bの形状に合わせて整形された紫外線のレーザ光が欠陥LED8に照射される。これにより、欠陥LED8がアブレートされて除去され、リペア領域20が形成される。又は、欠陥LED8に赤外線や第2高調波(SHG)等を照射してもよく、又は紫外線と、赤外線又はSHGとを組み合わせて照射してもよい。このようにして欠陥LED8が除去されると、欠陥LED8が除去されたリペア領域20の位置座標がデータサーバに保存される。また、他に第2の欠陥LED8が存在するときには、上記データサーバから読み出した上記第2の欠陥LED8の位置座標に基づいて該第2の欠陥LED8がレーザ光の照射位置に位置付けられる。そして、上記と同様にして上記第2の欠陥LED8が除去され、そのリペア領域20の位置座標がデータサーバに保存される。
Specifically, in step S3, first, the
続いて、ステップS4において、ボンディング装置1を使用してディスプレイパネル9のリペア領域20に良品のLED8が取り付けられ、ボンディング工程が終了する。なお、ボンディング装置1を使用した上記ボンディング工程が終了すると、必要に応じてステップS1に戻って点灯検査装置によりディスプレイパネル9の点灯検査を改めて実施してもよい。
Subsequently, in step S4, the non-defective LED 8 is attached to the
図10はボンディング装置1を使用して行うボンディング工程を示すフローチャートであり、上記ステップS4の具体的な工程を示すものである。
先ず、ステージ2が移動されて欠陥LED8が除去されたディスプレイパネル9のリペア領域20(リペア領域20が複数存在する場合には、選択された1つのリペア領域20)が、データサーバから読み出された上記リペア領域20の位置座標に基づいてボンディング装置1の観察光学系22の対物レンズ10の視野内に位置付けられ、ボンディングが開始される。この場合、第2の観察カメラ27を使用してディスプレイパネル9の表面が観察され、リペア領域20の画像が鮮明となるように第2の結像レンズ26を光軸方向にシフトしてオートフォーカスが実施される。
FIG. 10 is a flowchart showing a bonding process performed by using the
First, the
図10のステップS11においては、キャリアテープ11(例えば、粘着テープ)に保持され、保護フィルム16が剥がされたリペア用LED8Aに向けてフラックス塗布装置4からフラックス17が噴霧され、リペア用LED8Aのはんだ処理された電極部8aにフラックス17が塗布される。
In step S11 of FIG. 10, the
次に、ステップS12においては、図4に示すように、キャリアテープ11が所定量だけ移送され、フラックス17が塗布された処理済リペア用LED8Bが押圧部材21の真下にて、対物レンズ10の視野内に位置付けられる。この場合、図11に示すように、処理済リペア用LED8Bの端面8bがキャリアテープ11、押圧部材21、対物レンズ10及び第1の結像レンズ24を介して第1の観察カメラ25の撮像面に結像される。一方、ディスプレイパネル9のリペア領域20は、キャリアテープ11、押圧部材21、対物レンズ10及び第2の結像レンズ26を介して第2の観察カメラ27の撮像面に結像されている。
Next, in step S12, as shown in FIG. 4, the
ボンディング装置1の図示省略の制御部では、第1の観察カメラ25により撮影して取得された処理済リペア用LED8Bの端面8bの画像データと、第2の観察カメラ27により撮影して取得されたディスプレイパネル9のリペア領域20の画像データとが比較処理され、両画像の位置ずれ量及び位置ずれ方向が算出される。そして、両画像が合致するようにステージ2がX及びY方向に微動されてアライメントが実施される。
In the control unit (not shown) of the
次いで、ステップS13においては、アライメントが終了するとステージ2が上昇され、処理済リペア用LED8Bの電極部8aがディスプレイパネル9のリペア領域20の電極パッドに圧接される。このとき、ステージ2の上昇に伴って第2の結像レンズ26が図12に示す矢印方向にシフトされ、第2の観察カメラ27におけるディスプレイパネル9のリペア領域20の結像状態(ベストフォーカス状態)が維持される。
Next, in step S13, when the alignment is completed, the
次に、ステップS14において、加熱装置7の赤外線レーザ37が駆動され、スリット40によりLED8の端面8bの形状に合わせて整形された赤外線のレーザ光が対物レンズ10、押圧部材21及びキャリアテープ11を介して処理済リペア用LED8Bの端面8bに照射される。これにより、処理済リペア用LED8Bの電極部8aのはんだ材34が加熱溶融され、LED8の電極部8aがディスプレイパネル9のリペア領域20の電極パッドに電気的に接合される。このとき、LED8の電極部8a上のはんだ材34には、フラックス17が塗布されているため、はんだ材34の表面及び上記リペア領域20の表面の洗浄化がなされ、電気的接続不良が排除される。
Next, in step S14, the
リペア領域20に対するLED8のリペアが終了するとステージ2が下降する。このとき、ディスプレイパネル9のリペア領域20に接合された処理済リペア用LED8Bは、ステージ2と共に下降するため、はんだ材34による接合強度と粘着テープの粘着強度との強度差により、処理済リペア用LED8Bはキャリアテープ11からリフトオフされる。
When the repair of the LED 8 to the
続いて、ステップS15において、更なるリペア処理が必要か否かが判断される。即ち、他にリペア領域20が存在するか否かが判断される。そして、他にリペア領域20が存在しないときには、ステップS15は、“NO”判定となってボンディング装置1を使用したボンディング工程が終了する。一方、複数のリペア領域20が存在するときには、ステップS15は“YES”判定となる。同時に、第2のリペア領域20の位置座標に基づいてステージ2がXY方向に移動され、上記第2のリペア領域20がボンディング装置1の接合位置に位置付けられる。その後、ステップS11に戻って、保護フィルム16が剥がされた第2のリペア用LED8Aに向けてフラックス塗布装置4からフラックス17が噴霧され、上記第2のリペア用LED8Aのはんだ処理された電極部8aにフラックス17が塗布される。以後、上記と同様にして第2のリペア領域20に対するリペア処理が実施される。そして、全てのリペア領域20に対するリペア処理が終了し、他にリペア領域20が存在しなくなってステップS15が“NO”判定となるまでは、ステップS11~S15が繰り返し実施される。
Subsequently, in step S15, it is determined whether or not further repair processing is necessary. That is, it is determined whether or not there is another
図13は本発明によるリペア装置の第2の実施形態の概略構成を示す正面図である。
上記第1の実施形態と異なる点は、リペア装置が点灯検査装置52を備えていることである。この点灯検査装置52は、第1の実施形態で説明した点灯検査装置と同様の構成を有するものであり、ディスプレイパネル9に通電して複数のLED8の良否を判定すると共に、欠陥LED8の位置座標を取得できるようになっている。そして、LED除去装置45及びボンディング装置1と一体的に設けられている。
FIG. 13 is a front view showing a schematic configuration of a second embodiment of the repair device according to the present invention.
The difference from the first embodiment is that the repair device includes a
この第2の実施形態によれば、先ず、ステージ2が移動して、ステージ2に吸着保持されたディスプレイパネル9が点灯検査装置52のイメージセンサ53の撮影領域内に位置付けられる。このとき、図示省略のアライメント装置を使用してディスプレイパネル9のXY座標軸と点灯検査装置52のXY座標軸とが合致するようにアライメントが実施される。その後、ディスプレイパネル9の複数のLED8が点灯され、イメージセンサ53により撮影して不点灯等の欠陥LED8が存在するか否かが検査される。その結果、ディスプレイパネル9に欠陥LED8が存在する場合には、その欠陥LED8の位置座標が取得され、該欠陥LED8の位置座標のデータがリペア装置の図示省略の記憶部に保存される。
According to this second embodiment, first, the
次に、ステージ2が移動してディスプレイパネル9がLED除去装置45の真下まで搬送される。LED除去装置45においては、欠陥LED8の位置座標のデータをリペア装置の記憶部から読み出し、該位置座標に基づいてディスプレイパネル9上の欠陥LED8(複数の欠陥LED8が存在する場合には、選択された1つの欠陥LED8)がLED除去装置45のレーザ光の照射位置に位置付けられる。さらに、LED除去装置45においては、観察光学系ユニット46の観察カメラにより欠陥LED8を観察しながらステージ2が昇降され、欠陥LED8の端面8bにフォーカスされる。そして、レーザ光学系ユニット47のレーザから、例えば紫外線が放出され、スリットによって欠陥LED8の端面8bの形状に合わせて整形された紫外線のレーザ光が欠陥LED8に照射される。これにより、欠陥LED8がアブレートされて除去され、リペア領域20が形成される。
Next, the
LED除去装置45による欠陥LED8の除去が終了すると、ステージ2が移動してディスプレイパネル9がボンディング装置1の真下まで搬送される。ボンディング装置1においては、リペア装置の記憶部から読み出した欠陥LED8の位置座標に基づいてステージ2が移動され、ディスプレイパネル9のリペア領域20(複数のリペア領域20が存在する場合には、選択された1つのリペア領域20)がボンディング装置1の対物レンズ10の視野内に位置付けられる。さらに、ボンディング装置1においては、電極部8aがはんだ処理された複数のリペア用LED8Aの電極部8aとは反対側の端面8bを保持して長軸方向に並べて有するキャリアテープ11が上記長軸方向に移送される。次に、保護フィルム16が剥がされたリペア用LED8Aの電極部8aにフラックが塗布される。次いで、フラックス17が塗布された処理済リペア用LED8Bとディスプレイパネル9から欠陥LED8が除去されたリペア領域20とを第1及び第2の観察カメラ25,27で観察し、取得された両画像の画像データに基づいて両画像が合致するようにステージ2が微動され、アライメントが実施される。続いて、ステージ2が上昇して処理済リペア用LED8Bがディスプレイパネル9のリペア領域20に圧接される。そして、加熱装置7から照射される赤外線レーザ光により処理済リペア用LED8Bの電極部8aのはんだ材34が加熱溶融され、処理済リペア用LED8Bがディスプレイパネル9のリペア領域20に電気的に接合される。
When the removal of the defective LED 8 by the
本発明によれば、はんだ処理されたリペア用LED8Aの電極部8aにフラックス17を塗布するようにしているので、はんだ材34を加熱溶融してリペア用LED8Aをディスプレイパネル9のリペア領域20に接合する際に、加熱されたフラックス17によりはんだ材34の表面及びディスプレイパネル9のリペア領域20のデブリが洗浄化され、電気的接続不良の発生を排除することができる。また、ディスプレイパネル9にフラックス17を塗布する方法と比較して、リペア用LED8Aをディスプレイパネル9に接続した後にディスプレイパネル9上の余分なフラックス17を洗浄して除去する必要がなく、リペア作業が容易になる。
According to the present invention, since the
なお、上記実施形態においては、電子部品がマイクロLED8の場合について説明したが、本発明はこれに限られず、電子部品は、ミニLEDや半導体チップ等、如何なる電子部品であってもよい。したがって、回路基板は、ディスプレイパネル9に限られない。
In the above embodiment, the case where the electronic component is the micro LED 8 has been described, but the present invention is not limited to this, and the electronic component may be any electronic component such as a mini LED or a semiconductor chip. Therefore, the circuit board is not limited to the
上記実施形態は、本発明が理解及び実施できる程度に概略的に示したものであり、本発明はこれに限定されるものではない。本発明は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲を逸脱しない限り種々に変更及び修正をすることができる。 The above embodiments are schematically shown to the extent that the present invention can be understood and implemented, and the present invention is not limited thereto. The present invention can be variously modified and modified as long as it does not deviate from the scope of the technical idea shown in the claims.
1…ボンディング装置
2…ステージ
3…移送機構
4…フラックス塗布装置
5…観察装置
6…昇降機構
7…加熱装置
8…LED(電子部品)
8a…電極部
8b…端面
8A…リペア用LED
8B…処理済リペア用LED
9…ディスプレイパネル(回路基板)
10…対物レンズ
11…キャリアテープ
17…フラックス
19…回収部
20…リペア領域
21…押圧部材
21a…上面
21b…下面
34…はんだ材
37…赤外線レーザ
38…イオナイザ
45…LED除去装置(電気部品除去装置)
52…点灯検査装置
1 ...
8a ...
8B ... Processed repair LED
9 ... Display panel (circuit board)
10 ...
52 ... Lighting inspection device
Claims (15)
前記電子部品が前記指定された領域に接合される接合位置の前記キャリアテープの移送方向上流側には、前記電子部品の前記電極部にフラックスを塗布するフラックス塗布装置が設けられていることを特徴とするボンディング装置。 The electronic component of the carrier tape whose electrode portion is transferred in the long axis direction while holding the end face of the plurality of electronic components soldered on the opposite side to the electrode portion is mounted on the circuit board on which the plurality of electronic components are mounted. A bonding device that electrically bonds to a specified area of
A flux applying device for applying flux to the electrode portion of the electronic component is provided on the upstream side in the transfer direction of the carrier tape at the joining position where the electronic component is bonded to the designated region. Bonding device.
前記回路基板の実装面とは反対側の裏面を保持するステージと、
電極部がはんだ処理された複数のリペア用電子部品の前記電極部とは反対側の端面を保持して長軸方向に並べて有するキャリアテープを前記長軸方向に移送する移送機構と、
前記キャリアテープの送出側にて前記複数のリペア用電子部品の前記電極部にフラックスを塗布するフラックス塗布装置と、
前記フラックスが塗布された処理済リペア用電子部品と前記回路基板のリペア領域とを観察して位置合わせする観察装置と、
前記ステージを上昇させて前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に圧接する昇降機構と、
前記処理済リペア用電子部品の前記電極部のはんだ材を加熱溶融させて前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に電気的に接合する加熱装置と、
を備えて構成したことを特徴とするボンディング装置。 It is a bonding device that joins non-defective electronic components to the repair area where defective electronic components are removed from the circuit board on which multiple electronic components are mounted.
A stage that holds the back surface opposite to the mounting surface of the circuit board,
A transfer mechanism for transferring carrier tapes having the electrode portions soldered to each other while holding the end faces of the plurality of repair electronic components opposite to the electrode portions and arranging them in the major axis direction in the major axis direction.
A flux coating device that applies flux to the electrodes of the plurality of repair electronic components on the transmission side of the carrier tape.
An observation device for observing and aligning the treated electronic component coated with the flux and the repair area of the circuit board.
An elevating mechanism that raises the stage and presses the processed electronic component for repair to the repair area of the circuit board.
A heating device that heats and melts the solder material of the electrode portion of the treated electronic component for repair and electrically joins the treated electronic component to the repair region of the circuit board.
A bonding device characterized by being configured with.
前記回路基板の実装面とは反対側の裏面を保持するステージ、電極部がはんだ処理された複数のリペア用電子部品の前記電極部とは反対側の端面を保持して長軸方向に並べて有するキャリアテープを前記長軸方向に移送する移送機構、前記キャリアテープの送出側にて前記複数のリペア用電子部品の前記電極部にフラックスを塗布するフラックス塗布装置、前記フラックスが塗布された処理済リペア用電子部品と前記回路基板のリペア領域とを観察して位置合わせする観察装置、前記ステージを上昇させて前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に圧接する昇降機構、及び前記処理済リペア用電子部品の前記電極部のはんだ材を加熱溶融させて前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に電気的に接合する加熱装置を備えて構成したボンディング装置と、
を備え、
前記ステージは、前記電子部品除去装置と前記ボンディング装置との間を移動して前記リペア領域の前記位置座標に基づいて、前記リペア領域を前記ボンディング装置の前記処理済リペア用電子部品との接合位置に位置付けるように構成されていることを特徴とするリペア装置。 An electronic component removing device that irradiates a defective electronic component of a circuit board on which a plurality of electronic components are mounted with a laser beam to remove the defective electronic component to form a repair region and stores the position coordinates of the repair region.
A stage that holds the back surface on the opposite side of the mounting surface of the circuit board, and a plurality of repair electronic components whose electrodes are soldered hold the end faces on the opposite side of the electrode and are arranged side by side in the long axis direction. A transfer mechanism that transfers the carrier tape in the long axis direction, a flux coating device that applies flux to the electrodes of the plurality of repair electronic components on the delivery side of the carrier tape, and a processed repair to which the flux is applied. An observation device that observes and aligns the electronic component for repair and the repair area of the circuit board, an elevating mechanism that raises the stage to press the processed electronic component for repair to the repair area of the circuit board, and the processing. A bonding device provided with a heating device for heating and melting the solder material of the electrode portion of the completed repair electronic component and electrically joining the processed repair electronic component to the repair region of the circuit board.
Equipped with
The stage moves between the electronic component removing device and the bonding device, and the repair region is joined to the processed repair electronic component of the bonding device based on the position coordinates of the repair region. A repair device characterized by being configured to be positioned in.
前記ステージは、前記点灯検査装置と前記電子部品除去装置と前記ボンディング装置との間を移動して前記欠陥電子部品の位置座標に基づいて、前記欠陥電子部品を前記電子部品除去装置のレーザ光照射位置に位置付けると共に、前記リペア領域の位置座標に基づいて、前記リペア領域を前記ボンディング装置の前記処理済リペア用電子部品との接合位置に位置付けるように構成されていることを特徴とする請求項10記載のリペア装置。 The circuit board is energized to determine the quality of a plurality of electronic components, and a lighting inspection device for storing the position coordinates of defective electronic components is further provided.
The stage moves between the lighting inspection device, the electronic component removing device, and the bonding device, and irradiates the defective electronic component with laser light of the electronic component removing device based on the position coordinates of the defective electronic component. The tenth aspect of the present invention is characterized in that the repair area is positioned at a position and the repair area is positioned at a joint position with the processed electronic component for repair of the bonding apparatus based on the position coordinates of the repair area. The repair device described.
電極部がはんだ処理された複数のリペア用電子部品の前記電極部とは反対側の端面を保持して長軸方向に並べて有するキャリアテープを前記長軸方向に移送する第2ステップと、
前記複数のリペア用電子部品の前記電極部にフラックスを塗布する第3ステップと、
前記フラックスが塗布された処理済リペア用電子部品と前記回路基板から欠陥電子部品が除去されたリペア領域とを観察して位置合わせする第4ステップと、
前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に圧接する第5ステップと、
前記処理済リペア用電子部品の前記電極部のはんだ材を加熱溶融させて前記処理済リペア用電子部品を前記回路基板のリペア領域に電気的に接合する第6ステップと、
を行うことを特徴とするリペア方法。 The first step of holding the back surface of the circuit board on which multiple electronic components are mounted on the opposite side of the mounting surface to the stage,
The second step of transferring the carrier tape having the electrode portions soldered to each other while holding the end faces of the plurality of repair electronic components opposite to the electrode portions and arranging them in the major axis direction in the major axis direction.
The third step of applying flux to the electrodes of the plurality of repair electronic components, and
The fourth step of observing and aligning the treated electronic component coated with the flux and the repair region from which the defective electronic component has been removed from the circuit board.
The fifth step of pressing the processed electronic component for repair into the repair area of the circuit board, and
The sixth step of heating and melting the solder material of the electrode portion of the treated electronic component for repair and electrically joining the treated electronic component for repair to the repair region of the circuit board.
A repair method characterized by performing.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020149743A JP2022044218A (en) | 2020-09-07 | 2020-09-07 | Bonding apparatus, repair apparatus, and repair method |
PCT/JP2021/025246 WO2022049883A1 (en) | 2020-09-07 | 2021-07-05 | Bonding device, repairing device and repairing method |
TW110126231A TW202214058A (en) | 2020-09-07 | 2021-07-16 | Bonding device, repairing device and repairing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020149743A JP2022044218A (en) | 2020-09-07 | 2020-09-07 | Bonding apparatus, repair apparatus, and repair method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022044218A true JP2022044218A (en) | 2022-03-17 |
Family
ID=80491007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020149743A Pending JP2022044218A (en) | 2020-09-07 | 2020-09-07 | Bonding apparatus, repair apparatus, and repair method |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022044218A (en) |
TW (1) | TW202214058A (en) |
WO (1) | WO2022049883A1 (en) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020064118A (en) * | 2018-10-15 | 2020-04-23 | 株式会社ブイ・テクノロジー | Carrier film, and method and device for repairing led display panel |
KR101953645B1 (en) * | 2018-12-19 | 2019-03-04 | (주)에스티아이 | Apparatus and method for repairing led substrate |
JP2020136304A (en) * | 2019-02-13 | 2020-08-31 | アスリートFa株式会社 | Conductive ball checking repairing apparatus |
-
2020
- 2020-09-07 JP JP2020149743A patent/JP2022044218A/en active Pending
-
2021
- 2021-07-05 WO PCT/JP2021/025246 patent/WO2022049883A1/en active Application Filing
- 2021-07-16 TW TW110126231A patent/TW202214058A/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202214058A (en) | 2022-04-01 |
WO2022049883A1 (en) | 2022-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102369934B1 (en) | Chip mounting apparatus and method using the same | |
TWI657885B (en) | Laser processing device and laser processing method | |
JP3156096B2 (en) | Repair device and repair method using laser | |
JP2012096288A (en) | Laser optical system, repair apparatus and method using the same | |
WO2015083708A1 (en) | Device for manufacturing laminated optical member | |
TW202225851A (en) | Coaxial see-through alignment imaging system | |
US5741410A (en) | Apparatus for forming spherical electrodes | |
WO2022049883A1 (en) | Bonding device, repairing device and repairing method | |
JP4793852B2 (en) | Pattern substrate defect correction apparatus, defect correction method, and pattern substrate manufacturing method | |
JP2007147840A (en) | Defect correcting device for pattern substrate, method for correcting defect and method for manufacturing pattern substrate | |
JP7387666B2 (en) | Chip parts removal equipment | |
JP7495103B2 (en) | Component mounting device and component mounting method | |
JP2012013802A (en) | Positioning mark recognition device of fpd module and fpd module assembling apparatus | |
JP2009063692A (en) | Method and device for manufacturing electro-optical device | |
US20230405712A1 (en) | Dual laser optic module of turntable type probe pin bonding apparatus | |
JP2009258229A (en) | Defect correction device, defect correction method, and pattern substrate manufacturing method | |
JP4322972B2 (en) | Film transfer correction device | |
KR100685145B1 (en) | Apparatus for repairing colorfilter | |
KR100591118B1 (en) | Magento-optic head assembling method, mo head and mo disk unit | |
JP2006301215A (en) | Defect correction device for pattern substrate, defect correction method therefor, and method of manufacturing pattern substrate | |
KR102361309B1 (en) | Apparatus and method for removing mini led chip, and system and method for repairing mini led display module using the same | |
KR20180107651A (en) | Device bonding method and device bonding system performing the same | |
JP4118400B2 (en) | Film transfer correction device | |
CN116511723A (en) | Method and device for removing mini LED adhesive layer by laser | |
JP2008174395A (en) | Dividing method of substrate and manufacturing method of electro-optical device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210603 |