JP2022016396A - 反射画像の収差を用いた極端紫外線リソグラフィーシステムのターゲット制御 - Google Patents

Abstract

【課題】極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーシステムを制御する方法を提供する。
【解決手段】ターゲット液滴ＤＰにＥＵＶ放射線を照射し、前記ターゲット液滴によって反射されたＥＵＶ放射線を検出し、検出されたＥＵＶ放射線の収差を決定し、前記収差に対応するゼルニケ多項式を決定し、そして前記ゼルニケ多項式のゼルニケ係数のシフトを減少させるために修正処置を実行することを含む。
【選択図】図１

Description

半導体製造におけるリソグラフィーに用いられる放射線の波長は、紫外線から深紫外線（ＤＵＶ）、最近では、極端紫外線（ＥＵＶ）に減少する。部品のサイズをさらに小さくするには、極端紫外線リソグラフィー（ＥＵＶＬ）を使用して達成できるリソグラフィーの解像度をさらに改善する必要がある。ＥＵＶＬは、約１～１００ｎｍの波長の放射線を用いる。
ＥＵＶ放射線を生成する１つの方法は、レーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）である。ＬＰＰベースのＥＵＶ光源では、高出力レーザビームがスズなどの金属の小さな液滴ターゲットに集束し、１３．５ｎｍに最大の発光ピークを有するＥＵＶ放射線を放出する、高度にイオン化されたプラズマを形成する。ＬＰＰによって生成されるＥＵＶ放射の強度は、高出力レーザが液滴ターゲットからプラズマを生成できる有効性に依存する。ＬＰＰベースのＥＵＶ放射線源の効率を向上させるためには、高出力レーザのパルスと液滴ターゲットの生成及び移動とを正確に同期させることが望まれる。

本開示は、添付図面と共に読まれる場合に、以下の詳細な説明から最もよく理解される。業界の標準的な慣行に従って、さまざまな特徴は縮尺どおりに描かれておらず、説明のみを目的として使用されていることが強調される。実際、様々なフィーチャの寸法は、説明を明確にするために任意に増減できる。
本開示のいくつかの実施形態に係る、レーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）ベースのＥＵＶ放射線源を用いたＥＵＶリソグラフィーシステムの概略図である。 Ｘ－Ｚ及びＸ－Ｙ平面におけるプレパルスによるターゲット液滴の移動を概略的に示す。 Ｘ－Ｚ及びＸ－Ｙ平面におけるプレパルスによるターゲット液滴の移動を概略的に示す。 Ｘ－Ｚ及びＸ－Ｙ平面におけるプレパルスによるターゲット液滴の移動を概略的に示す。 Ｘ－Ｚ及びＸ－Ｙ平面におけるプレパルスによるターゲット液滴の移動を概略的に示す。 Ｘ－Ｚ及びＸ－Ｙ平面におけるプレパルスによるターゲット液滴の移動を概略的に示す。 Ｘ－Ｚ及びＸ－Ｙ平面におけるプレパルスによるターゲット液滴の移動を概略的に示す。 一実施形態に係る、図１に示されるＥＵＶリソグラフィーシステムで用いられるレーザガイド光学系及び集束装置を概略的に示す。 最初の１５個のゼルニケ多項式を、垂直方向には半径方向の次数で、水平方向には方位角方向の周波数で並べたものを示す。 図１に示されるＥＵＶリソグラフィーシステムの例示的な概略図を示す。 本開示の実施形態に係る、リターンビーム診断を用いた測定によって決定された第４のゼルニケ多項式の係数の変動を示すグラフである。 本開示の実施形態に係る、図５に示されるＥＵＶリソグラフィーシステムにおける信号の流れを示す。 放射線源、傾斜制御機構、及びスリット制御機構を含む液滴照明モジュールを示す。 本開示の一実施形態に係る、ＥＵＶデータ分析装置を示す。 本開示の一実施形態に係る、ＥＵＶデータ分析装置を示す。 本開示の一実施形態に係る、極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーシステムを制御する方法のフローチャートを示す。 本開示の一実施形態に係る、極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーシステムを制御する方法のフローチャートを示す。 本開示の一実施形態に係る、極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーシステムを制御する方法のフローチャートを示す。

以下の開示は、提供された主題の異なる特徴を実施するための多くの異なる実施形態又は例を提供する。以下、本開示を簡略化するために、コンポーネントおよび配置の特定の例を説明する。もちろん、これらは、一例に過ぎず、これらに限定するものではない。例えば、以下の説明における第２の特徴の上方又は上の第１の特徴の形成は、第１と第２の特徴が直接接触して形成される実施形態を含んでもよく、また、第１と第２の特徴が直接接触しないように、追加の特徴が第１と第２の特徴の間に形成され得る実施形態を含んでもよい。また、本開示は、様々な例において符号及び／又は文字を繰り返してもよい。この繰り返しは、単純さと明快さを目的としており、それ自体では、説明した様々な実施形態及び／又は構成の間の関係を示すものではない。
さらに、図示されているように、ここで、ある要素又は構造と別の要素又は構造との関係を説明しやすくするために、「下方」、「下」、「下部」、「上方」、「上部」などのような空間的に相対的な用語を使用することができる。空間的に相対的な用語は、図に示されている方向に加えて、使用中又は動作中の装置の異なる方向を包含することを意図している。装置は、他の方向に配向してもよく（９０度又は他の配向に回転されてもよい）、本明細書で使用される空間的に相対的な記述子は、同様にそれに応じて解釈され得る。さらに、「でできている（ｍａｄｅ ｏｆ）」という用語は、「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」または「からなる（ｃｏｎｓｉｓｔｉｎｇ ｏｆ）」のいずれかを意味し得る。本開示において、「Ａ、ＢおよびＣのうちの１つ」という句は、「Ａ、Ｂおよび／またはＣ」（Ａ、Ｂ、Ｃ、ＡおよびＢ、ＡおよびＣ、ＢおよびＣ、または、Ａ、Ｂおよび／またはＣ）を意味し、特に明記しない限り、Ａからの１つの要素、Ｂからの１つの要素、およびＣからの１つの要素を意味するものではありません。
本開示は、一般に、極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーシステム及び方法に関する。より具体的には、レーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）ベースのＥＵＶ放射源に用いられる励起レーザを制御することにより、増加したＥＵＶエネルギーを得るための改善されたターゲット制御のための装置及び方法に関する。励起レーザは、ＬＰＰチャンバ内の金属（スズなど）のターゲット液滴を加熱して、ＥＵＶ放射線を放出するプラズマに液滴をイオン化する。ＥＵＶエネルギーを増加させるためには、励起レーザの大部分をターゲット液滴に入射させて、ＥＵＶ出力と変換効率を向上させる必要がある。したがって、増加したＥＵＶエネルギーを得るためには、励起レーザの形状、励起レーザの入射角、及びレーザビームのプロファイルを考慮する必要がある。
既存の方法では、励起レーザの形状、励起レーザの入射角の変更（指向誤差とも呼ばれる）、及びレーザビームのプロファイルを考慮することなく、ターゲット液滴と励起レーザとの相対位置を考慮する。したがって、これらの問題によるＥＵＶエネルギーの低下は検出されない。これらの問題を検出できないため、励起レーザ制御システム及び／又は液滴発生器を制御してこれらの問題に対処し、それによって減少したＥＵＶエネルギーを補償することはできない。
本開示の実施形態は、ターゲット液滴へのレーザビームの入射角及びレーザのプロファイルに基づいて、励起レーザの相対位置（例えば、移動方向）及びターゲット液滴の位置を制御することを目的とする。
図１は、本開示のいくつかの実施形態に係る、レーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）ベースのＥＵＶ放射線源を用いたＥＵＶリソグラフィーシステムの概略図である。ＥＵＶリソグラフィーシステムは、ＥＵＶ放射線を生成するためのＥＵＶ放射線源１００、スキャナなどの露光ツール２００、及び励起レーザ源３００を含む。図１に示すように、いくつかの実施形態では、ＥＵＶ放射線源１００及び露光ツール２００は、クリーンルームのメインフロアＭＦに設置され、一方、励起レーザ源３００は、メインフロアの下に位置するベースフロアＢＦに設置される。ＥＵＶ放射線源１００及び露光ツール２００は、それぞれ、ダンパＤＭＰ１及びＤＭＰ２を介して台座プレートＰＰ１及びＰＰ２上に配置される。ＥＵＶ放射線源１００及び露光ツール２００は、集束ユニットを含み得る結合機構によって互いに結合される。
リソグラフィーシステムは、ＥＵＶ光（本明細書ではＥＵＶ放射線とも互換的に呼ばれる）によってレジスト層を露光するように設計された極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーシステムである。レジスト層は、ＥＵＶ光に敏感な材料である。ＥＵＶリソグラフィーシステムは、ＥＵＶ放射線源１００を用いて、約１ｎｍ～約１００ｎｍの範囲の波長を有するＥＵＶ光などのＥＵＶ光を生成する。一例では、ＥＵＶ放射線源１００は、約１３．５ｎｍを中心とする波長を有するＥＵＶ光を生成する。本実施形態では、ＥＵＶ放射源１００は、ＥＵＶ放射を生成するために、レーザー生成プラズマ（ＬＰＰ）のメカニズムを利用する。
露光ツール２００は、凸面／凹面／平面ミラー、マスクステージを含むマスク保持機構、及びウェハ保持機構などの様々な反射光学部品を含む。ＥＵＶ放射源１００によって生成されたＥＵＶ放射は、反射光学部品によって、マスクステージ上に固定されたマスク上に導かれる。幾つかの実施形態では、マスクステージは、マスクを固定するための静電チャック（Ｅチャック）を含む。ガス分子はＥＵＶ光を吸収するため、ＥＵＶリソグラフィパターニング用のリソグラフィシステムは、ＥＵＶ強度の損失を回避するために、真空または低圧環境で維持されます。
本開示では、マスク、フォトマスク、及びレチクルという用語は、互換的に使用される。本実施形態では、マスクは、反射型マスクである。一実施形態では、マスクは、低熱膨張材料又は溶融石英などの適切な材料を有する基板を含む。種々の例において、ＳｉＯ２がドープされたＴｉＯ２の熱膨張の小さい材料が挙げられる。マスクは、基板上に堆積された複数の反射層（ＭＬ）を含む。ＭＬは、複数のフィルム対、例えば、モリブデン－シリコン（Ｍｏ／Ｓｉ）フィルム対（例えば、各膜対におけるシリコン層の上下のモリブデン層）を含む。あるいは、ＭＬは、モリブデン－ベリリウム（Ｍｏ／Ｂｅ）フィルム対、またはＥＵＶ光を高度に反射するように構成可能な他の適切な材料を含み得る。マスクは、保護のためにＭＬ上に配置されたルテニウム（Ｒｕ）などのキャップ層をさらに含んでいてもよい。マスクはさらに、ＭＬ上に堆積されたタンタル窒化ホウ素（ＴａＢＮ）層などの吸収層を含む。吸収層は、集積回路（ＩＣ）の層を定義するようにパターニングされている。また、ＭＬ上に別の反射層を成膜し、これをパターニングして集積回路の層を形成し、ＥＵＶ位相シフトマスクを形成してもよい。
露光ツール２００は、露光ツール２００の基板ステージ上に固定されたレジストがその上にコーティングされた半導体基板上にマスクのパターンを画像化するための投影光学系モジュールを含む。投影光学モジュールは、一般に、反射光学系を備えている。マスク上に定義されたパターンの像を担持したマスクからのＥＵＶ放射（ＥＵＶ光）は、投影光学モジュールによって集光され、レジスト上に結像される。
本開示の様々な実施形態では、半導体基板は、パターン化されるシリコンウェハ又は他のタイプのウェハなどの半導体ウェハである。本発明では、半導体基板上には、ＥＵＶ光に敏感なレジスト層がコーティングされている。上記のものを含む様々な構成要素が一緒に統合され、リソグラフィ露光プロセスを実行するように動作可能である。
リソグラフィーシステムは、他のモジュールをさらに含んでもよいし、他のモジュールと統合（又は結合）されてもよい。
図１に示すように、ＥＵＶ放射線源１００は、チャンバ１０５によって囲まれた、ターゲット液滴発生器１１５と、レーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）コレクタ１１０とを含む。ターゲット液滴発生器１１５は、ノズル１１７を介してチャンバ１０５内に供給される複数のターゲット液滴Ｄｐを生成する。いくつかの実施形態では、ターゲット液滴ＤＰは、スズ（Ｓｎ）、リチウム（Ｌｉ）、または、ＳｎとＬｉとの合金である。いくつかの実施形態では、ターゲット液滴ＤＰの直径は、１０ミクロン （μｍ）から１００ μｍ．の範囲にある。例えば、一実施形態では、ターゲット液滴ＤＰは、それぞれが約１０μｍ、約２５μｍ、約５０μｍ、またはこれらの値の間の任意の直径を有するスズ液滴である。幾つかの実施形態では、ターゲット液滴Ｄｐは、１秒あたり約５０滴（すなわち、約５０ Ｈｚの吐出周波数）から約５０、０００液滴（すなわち、約５０ ｋＨｚの吐出周波数）の速度でノズル１１７を介して供給される。例えば、一実施形態では、吐出周波数約５０Ｈｚ、約１００Ｈｚ、約５００Ｈｚ、約１ｋＨｚ、約１０ｋＨｚ、約２５ｋＨｚ、約５０ｋＨｚ、またはこれらの間の吐出周波数でターゲット液滴ＤＰが供給される。様々な実施形態では、ターゲット液滴ＤＰは、約１０メートル／秒（ｍ／ｓ）～約１００ｍ／ｓの範囲の速度で、ノズル１１７を介して、励起ゾーンＺＥに放出される。例えば、一実施形態では、ターゲット液滴ＤＰは、約１０ｍ／ｓ、約２５ｍ／ｓ、約５０ｍ／ｓ、約７５ｍ／ｓ、約１００ｍ／ｓ、又はこれらの速度の間の任意の速度を有する。ターゲット液滴ＤＰが励起レーザＬＲ２と相互作用した後の残物（残留物）は、ターゲット液滴発生器１１５の下に配置されたスズキャッチャＴＣに集められる。
励起レーザ源３００によって生成される励起レーザＬＲ２は、パルスレーザである。レーザパルスＬＲ２は、励起レーザ源３００によって生成される。励起レーザ源３００は、レーザ発生器３１０、レーザガイド光学系３２０、及び集束装置３３０を含む。いくつかの実施形態では、レーザ源３１０は、電磁スペクトルの赤外線領域に波長を有する二酸化炭素（ＣＯ２）又はネオジム・ドープ・イットリウム・アルミニウム・ガーネット（Ｎｄ： ＹＡＧ）レーザ源を含む。例えば、一実施形態では、レーザ源３１０は、９．４μｍ又は１０．６μｍの波長を有する。レーザ発生器３１０によって生成されたレーザ光ＬＲ１は、レーザガイド光学系３２０によってガイドされ、集束装置３３０によって励起レーザＬＲ２に集束され、そしてＥＵＶ放射線源１００に導入される。
いくつかの実施形態では、励起レーザＬＲ２は、予熱レーザ及びメインレーザを含む。そのような実施形態では、予熱レーザパルス（本明細書では「プレパルス」と互換的に呼ばれる）は、所定のターゲット液滴を加熱（又は予熱）して、複数の小さな液滴を有する低密度のターゲットプルームを作成するために使用され、その後、メインレーザからのパルスによって加熱（又は再加熱）されて、ＥＵＶ光の発光を増加させる。
様々な実施形態において、予熱レーザーパルスは、約１００μｍ以下のスポットサイズを有し、主レーザーパルスは、約１５０μｍから約３００μｍの範囲のスポットサイズを有する。いくつかの実施形態では、予熱レーザーおよび主レーザーパルスは、約１０ｎｓから約５０ｎｓの範囲のパルス持続時間、および約１ｋＨｚから約１００ｋＨｚの範囲のパルス周波数を有する。様々な実施形態において、予熱レーザーおよび主レーザーは、約１キロワット（ｋＷ）から約５０ｋＷの範囲の平均出力を有する。一実施形態では、励起レーザＬＲ２のパルス周波数は、ターゲット液滴ＤＰの放出周波数と一致する。
レーザ光ＬＲ２は、窓（又はレンズ）を通して励起ゾーンＺＥに導かれる。ｅウィンドウは、レーザービームに対して実質的に透明な適切な材料を採用している。レーザーパルスの生成は、ノズル１１７を介したターゲット液滴ＤＰの放出と同期している。ターゲット液滴が励起帯を移動すると、プレパルスにより標的液滴が加熱され、低密度の標的プルームに変換される。プレパルスとメインパルスとの間の遅延を制御することにより、ターゲットプルームが形成され、最適な大きさ及び形状に拡張される。種々の実施形態において、プレパルスとメインパルスとは、同一のパルス幅及びピークパワーを有する。メインパルスがターゲットプルームを加熱すると、高温プラズマが生成される。プラズマは、コレクタミラー１１０によって集められる、ＥＵＶ放射線ＥＵＶを放出する。コレクタ１１０は、露光ツール２００を介して実行されるリソグラフィー露光プロセスのために、ＥＵＶ放射線をさらに反射し、集束する。
図２Ａは、プレパルスＰＰによって照射された後のターゲット液滴ＤＰのコレクタ１１０に対する移動を概略的に示す。ターゲット液滴ＤＰは、プレパルスＰＰ及びメインパルスＭＰによって順次照射される。ターゲット液滴ＤＰが液滴発生器ＤＧから励起ゾーンＺＥに向かう方向「Ａ」に沿ってＸ軸方向に移動するとき、ターゲット液滴ＤＰを露光するプレパルスＰＰにより、ターゲット液滴ＤＰは、例えば、パンケーキのような形状に変更し、Ｘ－Ｚ平面内のその移動方向にＺ軸成分が導入される。
ターゲット液滴ＤＰにレーザビームＰＰ、ＭＰを照射して生成されるレーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）には、タイミング及び制御の問題がある。レーザビームＰＰ、ＭＰは、ターゲット液滴ＤＰがターゲットとされる点を通過するときに交差するようにタイミングを合わせる必要がある。レーザビームＰＰ、ＭＰは、ターゲット液滴ＤＰが通過する各集束位置にそれぞれ集束する必要がある。励起ゾーンＺＥの位置、及び例えば、レーザ出力、メインパルスとプレパルスとの間の時間遅延、プレパルス及び／又はメインパルスの焦点などのパラメータは、ＥＵＶ放射線源１００が設定されるときに決定され得る。そして、様々な実施形態では、励起ゾーンＺＥの実際の位置及び前述のパラメータは、フィードバック機構を用いて、ウェハ露光中に調整される。しかしながら、これらのパラメータは、例えば、メインパルスＭＰとプレパルスＰＰとの間の分離、励起レーザの形状、レーザビームのプロファイル、放射線源の機械的及び／又は電気的ドリフト、液滴発生器の不安定性、チャンバ環境の変更などの様々な要因により、経時的に変更し得る。
図２Ｂは、ｘ軸ＯＭＸにおけるミスアライメントのための例示的な光学計測を示す。ＯＭＸは、液滴とプレパルスＰＰの焦点との間のｘ軸における距離によって定義される。同様に、図２Ｃは、ｙ軸ＯＭＹにおけるミスアライメントのための例示的な光学的計測を示す。ＯＭＹは、液滴とプレパルスＰＰの焦点との間のｙ軸における距離によって定義される。図２Ｄは、ｚ軸ＯＭＺにおけるミスアライメントのための例示的な光学的計測をさらに示す。ＯＭＸ及びＯＭＹと同様に、ＯＭＺは、液滴とプレパルスＰＰの焦点との間のｚ軸における距離によって定義される。図２Ｅは、半径ＯＭＲにおけるミスアライメントのための例示的な光学的計測を示す。ｘ軸は、液滴発生器１１５からの液滴による運動の方向にある。ｚ軸は、コレクタミラー１１０の光軸Ａ１（図１）に沿っている。ｙ軸は、ｘ軸及びｚ軸に垂直である。
図２Ｆに示すように、ターゲット液滴ＤＰは、スズキャッチャＴＣに向かう方向に移動する液滴発生器１１５から放出される。このような機械的及び／又は電気的なドリフトが放射線源に発生した場合、プリパルスレーザＰＰにより、ターゲット液滴ＤＰは、プリパルスレーザビームの入射方向に対して角度を有する方向に膨張する。これにより、図２Ｅに示すようなサッカーボール状に膨張したターゲット液滴ＤＰ２が発生する。そのような実施形態では、プレパルスＰＰとメインパルスＭＰとの空間的な分離（ＭＰＰＰ分離）は、プレパルスＰＰの焦点とメインパルスＭＰの焦点との間の距離として定義され、この距離はｘ、ｙ、ｚ空間が寄与する３次元ベクトルである。例えば、図２Ｆに示すように、ＭＰＰＰｘは、ＭＰＰＰ分離のｘ軸に沿った距離であり、ＭＰＰＰｚは、ＭＰＰＰ分離のｚ軸に沿った距離である。
図３は、一実施形態に係る、図１に示されるＥＵＶリソグラフィーシステムで使用されるレーザガイド光学系３２０及び集束装置３３０を概略的に示す。図示されるように、レーザガイド光学系３２０は、前方ビーム診断（ＦＢＤ）３０２と、リターンビーム診断（ＲＢＤ）３０４と、複数のミラーＭ３０１、Ｍ３０３、Ｍ３００、及びＭ３３０とを含む。前方ビーム診断３０２及びリターンビーム診断３０４は、光波面の収差を測定するための波面センサなどのデバイスを含む。いくつかの非限定的なタイプの波面センサは、シャックハルトマン波面センサ、位相シフトシュリーレン法、波面曲率センサ、ピラミッド波面センサ、コモンパス干渉計、フーコーナイフエッジテスト、マルチラテラルシェアリング干渉計、ロンキテスタ、及びシェアリング干渉計を含む。
前方ビーム診断３０２、リターンビーム診断３０４、及びミラーＭ３０１、Ｍ３０３は、最終焦点計測（ＦＦＭ）モジュール３５０を構成する。最終焦点計測（ＦＦＭ）モジュール３５０からの信号は、制御信号として用いられ、集束装置３３０のミラーのうちの１つ、例えば、レーザがターゲット液滴ＤＰに当たる前の光路にあるミラーＭ１５０などを制御するために、アクチュエータと接続され得る。いくつかの実施形態では、ミラーＭ１５０は、レーザがターゲット液滴ＤＰに当たる前の最後のミラーである。ミラーＭ１５０は、操縦可能なミラーであり、３軸方向に調整可能である。
ミラーＭ３０１、Ｍ３０３、Ｍ３００、及びＭ３３０は、入射したレーザ光を所望の方向にガイドするように配置（又は構成）される。集束装置３３０は、複数のミラーＭ３１０、Ｍ３２０、Ｍ１３０、Ｍ１４０、及びＭ１５０を含む。ミラーＭ３１０、Ｍ３２０、Ｍ１３０、Ｍ１４０、及びＭ１５０は、入射したレーザ光を所望の方向にガイドするように配置（又は構成）される。また、集束装置３３０は、窓Ｗ１０、Ｗ２０、及びＷ３０を含む。窓Ｗ１０、Ｗ２０及びミラーＭ３１０、Ｍ３２０は、大気圧条件の環境下にある。ミラーＭ１３０、Ｍ１４０、及びＭ１５０は、真空にある。窓Ｗ１０は、集束装置３３０への入口点に位置し、レーザガイド光学系３２０からのレーザ光を受ける。窓Ｗ２０は、大気圧環境と真空の間に位置する。
前方ビーム診断３０２は、レーザ発生器３１０によって生成されたレーザ光ＬＲ１を受ける。前方ビーム診断部３０２は、レーザ発生器３１０によって発生されたレーザ光ＬＲ１を分析する。レーザ光ＬＲ１の一部は、集束装置３３０の窓Ｗ１０からミラーＭ３００にガイドされる。ミラーＭ３００から、レーザ光ＬＲ１がミラーＭ３０１に入射する。レーザ光ＬＲ１は、ミラーＭ３０１によって前方ビーム診断３０２にガイドされる。したがって、前方ビーム診断３０２は、レーザ光ＬＲ１がターゲット液滴ＤＰと相互作用する前に、レーザ光ＬＲ１を受ける。前方ビーム診断部３０２は、レーザ光ＬＲ１の波面を分析する。
図示されるように、レーザ光ＬＲ１は、集束装置３３０の窓Ｗ１０及び窓Ｗ２０を通過してミラーＭ１３０に入射する。ミラーＭ１３０は、レーザ光ＬＲ１がミラーＭ１４０に反射されるように配置（又は構成）される。ミラーＭ１４０は、ミラーＭ１３０から受けられたレーザ光ＬＲ１がミラーＭ１５０に反射されるように配置（又は構成）される。ミラーＭ１５０は、ミラーＭ１４０から得られたレーザ光ＬＲ１がターゲット液滴ＤＰに反射するように配置（又は構成）されている。このように、ミラーＭ１３０、Ｍ１４０、及びＭ１５０によってガイドされたレーザ光は、集束装置３３０によって励起レーザＬＲ２に集束された後、ＥＵＶ放射線源１００（図１）に導入される。
ターゲット液滴ＤＰと相互作用した後、励起レーザＬＲ２は分散され、励起レーザＬＲ２のリターンビームは、ミラーＭ１５０、Ｍ１４０、及びＭ１３０及び窓Ｗ２０を介して窓Ｗ１０に戻るようにガイドされる。窓Ｗ１０から、励起レーザＬＲ２のリターンビームが窓Ｗ３０を介してミラーＭ３１０に移動する。いくつかの実施形態では、窓Ｗ１０は、ダイヤモンド窓である。ミラーＭ３１０は、ミラーＭ３２０及びＭ３３０を介して、リターンビームをミラーＭ３０３にガイドする。リターン光は、ミラーＭ３０３を用いて、リターンビーム診断３０４にガイドされる。リターンビーム診断３０４は、リターンビームを受け、リターンビームを分析し、より具体的には、リターンビームの光波面を分析する。
励起レーザＬＲ２のリターンビームを分析する際に、リターンビーム診断３０４は、複数のゼルニケ多項式を生成する。各ゼルニケ多項式は、特定の形態の波面偏差（収差）に適合できる特定の形態の表面偏差を記述する。複数のゼルニケ多項式（一般に項と呼ばれる）を含むことにより、波面変形を所望の精度で記述することができる。
図４は、最初の１５個のゼルニケ多項式を、垂直方向には半径方向の次数で、水平方向には方位角方向の周波数で並べたものを示す。以下の表１は、異なるゼルニケ多項式と、それぞれの多項式から得られる収差タイプをリストする。

リターンビーム診断３０４は、励起レーザＬＲ２のリターンビームの受けられた波面（放射線）の収差を測定し、ゼルニケ多項式を用いて収差を定量化するように構成される。リターンビーム診断３０４は、受けられた波面を分析して、特定の波面偏差に最も適合するゼルニケ多項式のゼルニケ係数を決定する。ゼルニケ係数のシフトに基づいて、ビームプロファイルの変更を判断することができる。図５は、図１に示されたＥＵＶリソグラフィーシステムの例示的な概略図を示す。図示されるように、ビームプロファイルの変更に対応する制御信号５０１は、最終焦点計測（ＦＦＭ）モジュール３５０によって生成される。上述したように、制御信号５０１は、レーザがターゲット液滴ＤＰに当たる前の光路内の例えばミラーＭ１５０のような、集束装置３３０のミラーの１つを制御するためのアクチュエータ５０５と接続される。このように、制御信号５０１を用いることで、ターゲティング制御は、ＥＵＶエネルギーの生成が最大となるように最適化される。
いくつかの実施形態では、図５に示されるフィードバック機構はさらに、ビームプロファイルの変更に基づいて、通知を送信することができる。いくつかの実施形態では、通知は、プリパルスとメインパルスとの間の空間的分離を含む。いくつかの実施形態では、通知は、プリパルスとメインパルスとの間の時間遅延も含む。いくつかの実施形態では、通知は、放射線源に結合された操縦可能なミラーの角度も含む。いくつかの実施形態では、通知を生成することに基づいて、フィードバックはさらに、通知を、操縦可能なミラーコントローラに関連する第１の外部デバイスと、時間遅延コントローラに関連する第２の外部デバイスとに送信する。
図６は、本開示の実施形態に係る、リターンビーム診断３０４を用いた測定によって決定される第４ゼルニケ多項式のゼルニケ係数の変動を示すグラフ６００である。図６に示される実施形態では、リターンビーム診断３０４は、励起レーザＬＲ２のリターンビームの波面を分析し、ターゲット液滴ＤＰに入射する励起レーザＬＲ２が、第４ゼルニケ多項式に対応する非集束型の収差を有すると判定する。リターンビーム診断３０４は、第４ゼルニケ多項式のゼルニケ係数６１１の変動（ライン６０２）を判定する。所望の範囲内のゼルニケ係数６１１の変動は、許容可能であるとみなされ、修正措置は行われない。しかしながら、ライン６０２のディップ６０５によって示されるように、所望の範囲を超える変動に対しては、１つ以上の修正処置が行われる。修正処置は、制御信号５０１に基づいてミラーＭ１５０の位置を変更するように、アクチュエータ５０５を作動させることを含む。代替的又は追加的に、ＯＭＸ、ＯＭＹ、及びＯＭＺの距離のうちの１つ以上を調整して、ビームプロファイルの変更を最小化し、それによって励起レーザＬＲ２とターゲット液滴ＤＰとの間の相互作用を改善することができる。
また、ディップ６０５の前と後にリターンビーム診断３０４で得られた画像６０６、６０８をそれぞれ示す。図示されているように、画像６０６で決定された非集束収差は、修正処置のため、画像６０８で減少している。図６の例は、実施形態に係る、どのように第４ゼルニケ多項式を用いて光波面の非集束収差を検出できるかということを示す。しかしながら、実施形態はこれに限定されない。他のゼルニケ多項式を使用して対応する収差を検出することができ、検出された収差を緩和するために１つ以上の修正処置を取ることができる。このように、ターゲット液滴と励起レーザＬＲ２との間の相互作用を改善することで、変換効率を最大化し、ＥＵＶエネルギーの変動（ゆらぎ）を最小化することができる。
図７は、本開示の実施形態に係る、図５に示されたＥＵＶリソグラフィーシステムにおける信号の流れを示す。励起ゾーンＺＥの所望の位置、及び例えば、レーザ出力、メインパルスとプレパルスとの間の時間遅延、プレパルス及び／又はメインパルスの焦点などのパラメータは、ＥＵＶ放射線源１００が設定されるときに決定され、それによってＥＵＶリソグラフィーシステムの設定点７０２を定義することができる。
１つ以上のパラメータに対応する制御信号７０１は、励起ゾーンＺＥの位置を制御するために、ＥＵＶリソグラフィーシステムの１つ以上のコンポーネントに提供される。例えば、ターゲット液滴ＤＰと励起レーザＬＲ２との間の相互作用を最大化して、ＥＵＶエネルギーの生成を最大化するために、液滴発生器１１５の位置及び励起レーザＬＲ２の軌道のうちの１つ以上が調整される。いくつかの実施形態では、制御信号７０１は、励起レーザＬＲ２がターゲット液滴ＤＰに当たる前の光路にある例えばミラーＭ１５０のような、集束装置３３０のミラーのうちの１つを制御するために、アクチュエータ５０５に提供される制御信号５０１である。
しかしながら、これらのパラメータは、例えば、メインパルスＭＰとプレパルスＰＰとの間の分離、励起レーザの形状、レーザビームのプロファイル、放射線源の機械的及び／又は電気的ドリフト、液滴発生器の不安定性、チャンバ環境の変更などの様々な要因により、経時的に変更し得る。
７０４では、励起レーザＬＲ２とターゲット液滴ＤＰの相互作用を分析する。ターゲット液滴ＤＰは、それに入射した光（この場合は、励起レーザＬＲ２）を反射及び／又は散乱させる。反射及び／又は散乱した光は、例えば、液滴検出モジュール４２０（図１）で検出される。いくつかの実施形態では、液滴検出モジュール４２０は、液滴照明モジュール４１０（図１）からの光の波長を有する光を検出するように設計されたフォトダイオードを含む。様々な実施形態では、液滴照明モジュール４１０は、所望の波長の発光を有する連続波レーザ又はパルスレーザである。
検出された光（すなわち、ターゲット液滴によって反射及び／又は散乱された光）の強度が許容範囲内にあるか否が判定される。いくつかの実施形態では、判定は、液滴検出モジュール４２０のフォトダイオードがターゲット液滴ＤＰによって反射及び／又は散乱された光を受けたときに生成された電流及び／又は電圧の値に基づいて行われる。いくつかの実施形態では、液滴検出モジュール４２０は、検出された強度が許容範囲内にない場合に、所定の信号７０６を生成するようにプログラムされた論理回路を含む。例えば、所定の信号７０６は、検出された強度がある閾値よりも小さい場合に生成される。所定の信号７０６は、励起レーザＬＲ２とターゲット液滴ＤＰとの相対位置を示す。
検出された光の強度が許容範囲内にない場合、液滴照明モジュール４１０のパラメータが（例えば、自動的に）調整されて、検出された光の強度が最終的に許容範囲内になるように、ターゲット液滴を照射する光の強度を増加又は減少させる。
様々な実施形態では、液滴照明モジュール４１０のパラメータは、例えば、液滴照明モジュール４１０内の光源（例えば、レーザ）への入力電圧及び／又は電流、液滴照明モジュール４１０から出る光の量を制御するスリットの幅、液滴照明モジュール４１０の開口部、及び液滴照明モジュール４１０の角度及び／又は傾斜の値を含む。いくつかの実施形態では、パラメータは、液滴照明モジュール４１０の様々なパラメータを制御するようにプログラムされたコントローラを用いて調整される。例えば、ある実施形態では、コントローラは、液滴照明モジュール４１０から出る光の量を制御するスリット、及び／又は、液滴照明モジュール４１０の傾斜／角度を制御する機構に結合される。そのような実施形態では、コントローラは、液滴検出モジュール４２０に結合され、検出された光の強度が許容範囲内にない場合、液滴検出モジュール４２０によって生成された所定の信号７０６に応答して、スリットの幅及び／又は液滴照明モジュール４１０の傾斜を調整する。他の実施形態では、コントローラは、アクチュエータ５０５に結合され、アクチュエータ５０５に制御信号７０１を提供してレーザがターゲット液滴ＤＰに当たる前に、集束装置３３０のミラーの１つ、例えば、光路内のミラーＭ１５０を制御する。
いくつかの実施形態では、コントローラは、液滴検出モジュール４２０から所定の信号７０６を受信し、所定の信号７０６に応じて、液滴照明モジュール４１０の１つ以上の部品（例えば、本明細書の他の箇所で説明したスリット及び／又は傾斜制御機構）に制御信号を送信して、液滴照明モジュール４１０の１つ以上のパラメータを自動的に調整するように、及び／又は、集束装置３３０のミラーのうちの１つを調整するようにプログラムされた論理回路である。
図８を簡単に参照すると、放射線源４１５、傾斜制御機構４１３、及びスリット制御機構４１７を含む液滴照明モジュール４１０が示される。傾斜制御機構４１３（本明細書では「自動傾斜」とも呼ばれる）は、放射線源４１５の傾斜を制御する。様々な実施形態では、自動傾斜４１３は、液滴照明モジュール４１０の放射線源４１５（例えば、レーザ）に結合されたステッピングモータであり、放射線源４１５を移動させて、光（又は放射線）Ｌがターゲット液滴ＤＰに入射する入射角を変更する（そして実質的に、ターゲット液滴ＤＰによって反射及び／又は散乱されて液滴検出モジュール４２０に入る光Ｒの量を変更する）ことができる。いくつかの実施形態では、自動傾斜４１３は、圧電アクチュエータを含む。
スリット制御機構４１７（本明細書では「オートスリット」とも呼ばれる）は、放射線源４１５から出る光の量を制御する。実施形態では、スリット又は開口部４１４は、放射線源４１５と、ターゲット液滴ＤＰが照射される励起ゾーンＺＥとの間に配置される。例えば、液滴検出モジュール４２０で検出された光の強度が許容範囲よりも低いとコントローラ４５０が判定した場合、コントローラ４５０は、放射線源４１５を出た光の経路に広いスリットが設けられるように、スリット制御機構４１７を移動させ、より多くの光をターゲット液滴ＤＰに照射することを可能にし、検出された強度を増加させる。一方、液滴検出モジュール４２０で検出された光の強度が許容範囲よりも高いと判定した場合、コントローラ４５０は、放射線源４１５から出る光の経路に狭いスリットが設けられるように、スリット制御機構４１７を移動させ、検出された強度を減少させる。そのような実施形態では、コントローラ４５０によって調整される液滴照明モジュール４１０のパラメータは、ターゲット液滴ＤＰを照射する光Ｌの経路における開口部４１４の幅である。
図７に戻り、所定の信号７０６の生成により、ＥＵＶリソグラフィーシステムの設定点７０２が変更される。制御信号７０１は、設定点７０２の変更に基づいて、対応して変更される。したがって、制御信号７０１の変更、スリット制御機構、傾斜制御機構、及び／又はアクチュエータ５０５を作動させて、放射線源４１５から出る光の量と、ターゲット液滴ＤＰに光が入射する入射角とに対応する変更を引き起こす。
ＥＵＶエネルギーの生成を最大化するための上記技術に加えて、本開示の実施形態はまた、励起レーザＬＲ２とターゲット液滴ＤＰとの相互作用後に反射される光の波面のゼルニケシフトを利用することを目的とする。より具体的には、実施形態は、反射された波面のゼルニケシフトを得るために、受けられた波面（放射線）の収差を測定し、ゼルニケ多項式を用いて収差を定量化する。したがって、７０４では、リターンビーム診断３０４は、反射された波面におけるゼルニケシフトを決定し、対応する制御信号７０８が生成される。いくつかの実施形態では、制御信号７０８は、ビームプロファイルの変更に対応する制御信号５０１（図５に示される）であり、最終焦点計測（ＦＦＭ）モジュール３５０によって生成される。上述したように、制御信号５０１は、アクチュエータ５０５と接続されて、レーザがターゲット液滴ＤＰに当たる前の光路にある例えばミラーＭ１５０のような、集束装置３３０のミラーのうちの１つを制御する。このように、ターゲティング制御は、ＥＵＶエネルギーの生成を最大化するように最適化される。
図９Ａ及び図９Ｂは、本開示の一実施形態に係る、ＥＵＶデータ分析装置を示す。図９Ａは、リターン画像における１つ以上の収差を検出し、上述した１つ以上の修正処置を実行するために、最終焦点計測（ＦＦＭ）モジュール３５０及びリターンビーム診断３０４の動作を制御するコンピュータシステムの概略図である。前述の実施形態は、コンピュータハードウェア及びその上で実行されるコンピュータプログラムを用いて実現することができる。図９Ａでは、コンピュータシステム９００は、光ディスク読み取り専用メモリ（例えば、ＣＤ－ＲＯＭ又はＤＶＤ－ＲＯＭ）ドライブ９０５及び磁気ディスクドライブ９０６を含むコンピュータ９０１と、キーボード９０２と、マウス９０３と、モニタ９０４とを備える。
図９Ｂは、コンピュータシステム９００の内部構成を示す図である。図９Ｂでは、コンピュータ９０１は、光ディスクドライブ９０５及び磁気ディスクドライブ９０６に加えて、マイクロプロセッシングユニット（ＭＰＵ）などの１つ以上のプロセッサ９１１と、起動プログラムなどのプログラムが記憶されているＲＯＭ９１２と、ＭＰＵ９１１に接続され、アプリケーションプログラムのコマンドが一時的に記憶され、一時記憶領域が設けられるランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）９１３と、アプリケーションプログラム、システムプログラム、及びデータが記憶されているハードディスク９１４と、ＭＰＵ９１１、ＲＯＭ９１２などを接続するバス９１５とを備える。なお、コンピュータ９０１は、ＬＡＮへの接続を提供するためのネットワークカード（図示せず）を含むことができる。
前述の実施形態におけるＥＵＶデータ分析装置の機能をコンピュータシステム９００に実行させるためのプログラムは、光ディスクドライブ９０５又は磁気ディスクドライブ９０６に挿入される光ディスク９２１又は磁気ディスク９２２に記憶され、ハードディスク９１４に送信されてもよい。あるいは、プログラムは、ネットワーク（図示せず）を介してコンピュータ９０１に送信され、ハードディスク９１４に記憶されてもよい。実行時には、プログラムはＲＡＭ９１３にロードされる。なお、プログラムは、光ディスク９２１又は磁気ディスク９２２からロードされてもよいし、ネットワークから直接ロードされてもよい。
プログラムにおいて、プログラムによって実現される機能には、いくつかの実施形態ではハードウェアのみで実現可能な機能は含まれない。例えば、情報を取得する取得ユニット又は情報を出力する出力ユニットにおいて、ネットワークインタフェースなどのハードウェアによってのみ実現可能な機能は、上述したプログラムによって実現される機能には含まれない。さらに、プログラムを実行するコンピュータは、単一のコンピュータであってもよいし、複数のコンピュータであってもよい。
本開示の実施形態は、既存のシステム及び方法に比べて、多数の利点を提供する。励起ビームのＸ、Ｙ及び／又はＺ方向及び／又はターゲット液滴方向のシフト及びビームプロファイルの変更に相関するゼルニケ項は、ビームの形状と収差の変更を定量化するために用いられる。これをフィードバックとして用いることにより、相対的なターゲティング位置のみを考慮するのではなく、リターン画像からシフト誤差を補正するための追加のフィードバックループが生成される。また、励起レーザの入射角を検出して最小化することで、より安定したＥＵＶエネルギーを得ることができる。
すべての利点が必ずしも本明細書で論じられるわけではなく、すべての実施形態又は実施例に特定の利点は必要ではなく、他の実施形態又は実施例は異なる利点を提供してよいことが理解される。
本開示の一実施形態は、図１０に示されるフローチャートに従って極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーシステムを動作させる方法１０００である。方法の追加の実施形態のために、図１０で議論されるプロセスの前、間、及び後に追加の操作を提供することができ、以下に説明されるいくつかの操作は、置換されたり、除去されたりすることができることが理解される。操作／プロセスの順序は交換可能であり、少なくともいくつかの操作／プロセスは異なる順序で実行されてもよい。また、少なくとも２つ以上の操作／プロセスを時間的に重複して、あるいはほぼ同時に行ってもよい。
この方法は、ターゲット液滴にレーザ放射線を照射する操作Ｓ１０１０を含む。操作Ｓ１０２０では、ターゲット液滴によって反射されたレーザ放射線が検出される。操作Ｓ１０３０では、検出されたレーザ放射線の収差が決定される。操作Ｓ１０４０では、収差に対応するゼルニケ多項式が決定される。操作Ｓ１０５０では、ゼルニケ多項式のゼルニケ係数のうちの少なくとも１つのゼルニケ係数のシフトを減少させるための修正処置が実行される。
本開示の別の実施形態は、図１１に示されるフローチャートに従って極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーシステムを動作させる方法１１００である。方法の追加の実施形態のために、図１１で議論されるプロセスの前、間、及び後に追加の操作を提供することができ、以下に説明されるいくつかの操作は、置換されたり、除去されたりすることができることが理解される。操作／プロセスの順序は交換可能であり、少なくともいくつかの操作／プロセスは異なる順序で実行されてもよい。少なくとも２つ以上の操作／プロセスを時間的に重複して、あるいはほぼ同時に行ってもよい。
この方法は、ＥＵＶリソグラフィーシステムの液滴発生器によって生成されたターゲット液滴によって反射された励起放射線を検出する操作Ｓ１１１０を含む。また、ＥＵＶリソグラフィーシステムは、励起放射線源を含むＥＵＶ放射線を生成するためのＥＵＶ放射線源を含む。励起放射線源からの励起放射線は、ターゲット液滴と相互作用する。操作Ｓ１１２０では、検出された励起放射線の収差が決定される。操作Ｓ１１３０では、複数のゼルニケ多項式が生成される。操作Ｓ１１４０では、複数のゼルニケ多項式から、収差に対応する１つ以上のゼルニケ多項式が決定される。操作Ｓ１１５０では、１つ以上のゼルニケ多項式のゼルニケ係数のうちの少なくとも１つのゼルニケ係数のシフトを減少させるための修正処置が実行される。
本開示の別の実施形態は、図１２に示されるフローチャートに従って極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーシステムを動作させる方法１２００である。方法の追加の実施形態のために、図１２で議論されるプロセスの前、間、及び後に追加の操作を提供することができ、以下に説明されるいくつかの操作は、置換されたり、除去されたりすることができることが理解される。操作／プロセスの順序は交換可能であり、少なくともいくつかの操作／プロセスは異なる順序で実行されてもよい。また、少なくとも２つ以上の操作／プロセスを時間的に重複して、あるいはほぼ同時に行ってもよい。
この方法は、ＥＵＶリソグラフィーシステムの液滴発生器によって生成されたターゲット液滴によって反射された励起放射線を検出する操作Ｓ１２１０を含む。操作Ｓ１２２０では、検出された励起放射線の収差が決定される。操作Ｓ１２３０では、複数のゼルニケ多項式が生成される。操作Ｓ１２４０では、複数のゼルニケ多項式から、収差に対応する１つ以上のゼルニケ多項式が決定される。操作Ｓ１２５０では、１つ以上のゼルニケ多項式のゼルニケ係数のうちの少なくとも１つのゼルニケ係数のシフトが決定される。操作Ｓ１２６０では、ゼルニケ係数のシフトに基づいて、励起放射線のビームプロファイルの変更が検出される。
本開示の一態様によれば、極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーシステムを制御する方法は、ターゲット液滴にレーザ放射線を照射し、ターゲット液滴によって反射されたレーザ放射線を検出することを含む。また、この方法は、検出されたレーザ放射線の収差を決定し、収差に対応するゼルニケ多項式を決定し、ゼルニケ多項式のゼルニケ係数のうちの少なくとも１つのゼルニケ係数のシフトを減少させるための修正処置を実行することを含む。１つ以上の他の実施形態では、修正処置は、ＥＵＶリソグラフィーシステムの１つ以上の部品を作動させて、レーザ放射線とターゲット液滴との間の相互作用を調整するための制御信号を生成することを含む。１つ以上の他の実施形態では、レーザ放射線とターゲット液滴との間の相互作用は、ＥＵＶリソグラフィーシステムの液滴発生器の位置を変更すること、レーザ放射線の軌道を変更すること、又はその両方によって調整される。１つ以上の他の実施形態では、１つ以上の部品は、アクチュエータを含み、レーザ放射線とターゲット液滴との間の相互作用を調整することは、アクチュエータを使用してレーザ放射線の焦点を制御することを含む。１つ以上の他の実施形態では、アクチュエータは操縦可能なミラーに接続され、修正処置は、アクチュエータを用いて操縦可能なミラーを調整して、レーザ放射線とターゲット液滴との間の相互作用を調整することを含む。１つ以上の他の実施形態では、修正処置は、レーザ放射線の入射角を調整することを含む。１つ以上の他の実施形態では、方法は、複数のゼルニケ多項式を生成し、複数のゼルニケ多項式からゼルニケ多項式を選択することをさらに含む。選択されたゼルニケ多項式は前記収差に対応する。１つ以上の他の実施形態では、方法はさらに、ゼルニケ係数のシフトに基づいて、励起放射線のビームプロファイルの変更を検出することを含む。１つ以上の他の実施形態では、方法はさらに、ビームプロファイルの変更に対応する制御信号を生成し、制御信号を用いてＥＵＶリソグラフィーシステムのアクチュエータを制御し、そしてアクチュエータを用いてＥＵＶリソグラフィーシステムの操縦可能なミラーを調整して、レーザ放射線の光路を変更することを含む。１つ以上の他の実施形態では、ゼルニケ係数のシフトは、レーザ放射線とターゲット液滴との相互作用によって生成されるＥＵＶエネルギーが増加するように減少する。１つ以上の他の実施形態では、レーザ照射は、ＣＯ２レーザを含む。
本開示のさらに別の態様によれば、極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーのための装置は、ターゲット液滴を生成するように構成された液滴発生器と、励起放射源を含むＥＵＶ放射線を生成するためのＥＵＶ放射源とを含む。励起放射源からの励起放射は、ターゲット液滴と相互作用する。また、装置はさらに、ターゲット液滴によって反射された励起放射線を検出し、検出された励起放射線の収差を決定し、複数のゼルニケ多項式を生成し、複数のゼルニケ多項式から、収差に対応する１つ以上のゼルニケ多項式を決定し、１つ以上のゼルニケ多項式のゼルニケ係数のうちの少なくとも１つのゼルニケ係数のシフトを減少させるための修正処置を実行するように構成された最終焦点モジュールを含む。１つ以上の他の実施形態では、装置はさらに、操縦可能なミラーを含む。操縦可能なミラーは、励起放射線がターゲット液滴と相互作用する前に、励起放射線の光路内の最後のミラーである。装置はさらに、操縦可能なミラーを制御するように構成されたアクチュエータを含む。最終焦点モジュールはさらに、アクチュエータを用いて操縦可能なミラーを調整して、励起放射線とターゲット液滴との間の相互作用を調整するように構成される。１つ以上の他の実施形態では、操縦可能なミラーは、３軸で調整可能である。１つ以上の他の実施形態では、最終焦点モジュールはさらに、ゼルニケ係数のシフトに基づいて、励起放射線のビームプロファイルの変更を検出するように構成される。１つ以上の他の実施形態では、最終焦点モジュールはさらに、励起放射線とターゲット液滴との相互作用によって生成されるＥＵＶエネルギーが増加するように、ゼルニケ係数のシフトを減少させるように構成される。
本開示の別の態様によれば、非一時的なコンピュータ可読媒体は、コンピュータのプロセッサによって実行されると、方法を実行するために極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィー装置の最終焦点モジュールを制御するようにコンピュータに指示する、メモリに記憶されたコンピュータ可読命令を含む。方法は、ターゲット液滴によって反射された励起放射線を検出し、検出された励起放射線の収差を決定し、複数のゼルニケ多項式を生成し、複数のゼルニケ多項式から収差に対応する１つ以上のゼルニケ多項式を決定し、１つ以上のゼルニケ多項式のゼルニケ係数のうちの少なくとも１つのゼルニケ係数のシフトを決定し、そしてゼルニケ係数のシフトに基づいて、励起放射線のビームプロファイルの変更を検出することを含む。１つ以上の他の実施形態では、方法はさらに、ビームプロファイルの変更に対応する制御信号を生成し、制御信号を用いてＥＵＶリソグラフィーシステムのアクチュエータを制御し、そしてアクチュエータを用いてＥＵＶリソグラフィーシステムの操縦可能なミラーを調整して、励起放射線の光路を変更することを含む。１つ以上の他の実施形態では、操縦可能なミラーは、励起放射線がターゲット液滴に当たる前の光路内の最後のミラーである。１つ以上の他の実施形態では、操縦可能なミラーは、３軸で調整可能である。
前述は、当業者が本開示の態様をよりよく理解できるように、いくつかの実施形態又は実施例の特徴を概説している。当業者であれば、本開示に導入される実施形態又は実施例の同じ目的を実行するか及び／又は同じ利点を達成するための、他の工程及び構造を設計又は変更するための根拠として、本開示を容易に用いることができることを理解できる。当業者であれば、またそのような同等の構造が本開示の精神及び範囲から逸脱せず、本開示の精神及び範囲から逸脱することなく本明細書において様々な変更、置換、及び改変を行うことができることを理解できる。

Claims (20)

1. ターゲット液滴にレーザ放射線を照射し、
   前記ターゲット液滴によって反射されたレーザ放射線を検出し、
   前記検出されたレーザ放射線の収差を決定し、
   前記収差に対応するゼルニケ多項式を決定し、そして
   前記ゼルニケ多項式のゼルニケ係数の少なくとも１つのシフトを減少させるための修正処置を実行することを含む、極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーシステムを制御する方法。
2. 前記修正処置は、前記ＥＵＶリソグラフィーシステムの１つ以上の部品を作動させて、前記レーザ放射線と前記ターゲット液滴との間の相互作用を調整するための制御信号を生成することを含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記レーザ放射線と前記ターゲット液滴との間の前記相互作用は、前記ＥＵＶリソグラフィーシステムの液滴発生器の位置を変更すること、前記レーザ放射線の軌道を変更すること、又はその両方によって調整される、請求項２に記載の方法。
4. 前記１つ以上の部品は、アクチュエータを含み、前記レーザ放射線と前記ターゲット液滴との間の前記相互作用を調整することは、前記アクチュエータを使用して前記レーザ放射線の焦点を制御することを含む、請求項２に記載の方法。
5. 前記アクチュエータは操縦可能なミラーに接続され、前記修正処置は、前記アクチュエータを用いて前記操縦可能なミラーを調整して、前記レーザ放射線と前記ターゲット液滴との間の前記相互作用を調整することを含む、請求項３に記載の方法。
6. 前記修正処置は、前記レーザ放射線の入射角を調整することを含む、請求項１に記載の方法。
7. 複数のゼルニケ多項式を生成し、
   前記複数のゼルニケ多項式から、ゼルニケ多項式を選択することを含み、ここで選択されたゼルニケ多項式は前記収差に対応する、請求項１に記載の方法。
8. 前記ゼルニケ係数の前記シフトに基づいて、前記ＥＵＶ放射線のビームプロファイルの変更を検出することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
9. 前記ビームプロファイルの前記変更に対応する制御信号を生成し、
   前記制御信号を用いて前記ＥＵＶリソグラフィーシステムのアクチュエータを制御し、そして
   前記アクチュエータを用いて前記ＥＵＶリソグラフィーシステムの操縦可能なミラーを調整して、前記レーザ放射線の光路を変更することをさらに含む、請求項８に記載の方法。
10. 前記ゼルニケ係数の前記シフトは、前記レーザ放射線と前記ターゲット液滴との相互作用によって生成されるＥＵＶエネルギーが増加するように減少する、請求項１に記載の方法。
11. 前記レーザ照射は、ＣＯ２レーザを含む、請求項１に記載の方法。
12. ターゲット液滴を生成するように構成された液滴発生器と、
    励起放射線源及び前記励起放射線源からの、前記ターゲット液滴と相互作用する励起放射線を含むＥＵＶ放射線を生成するためのＥＵＶ放射線源と、
    前記ターゲット液滴によって反射された前記励起放射線を検出し、
    前記検出された励起放射線の収差を決定し、
    複数のゼルニケ多項式を生成し、
    前記複数のゼルニケ多項式から、前記収差に対応する１つ以上のゼルニケ多項式を決定し、そして
    前記１つ以上のゼルニケ多項式のゼルニケ係数のうちの少なくとも１つの係数のシフトを減少させるための修正処置を実行するように構成された最終焦点モジュールと、を含む、極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーのための装置。
13. 前記励起放射線が前記ターゲット液滴と相互作用する前に、前記励起放射線の光路内の最後のミラーである操縦可能なミラーと、
    前記操縦可能なミラーを制御するように構成されたアクチュエータと、を含み、
    ここで、前記最終焦点モジュールはさらに、前記アクチュエータを用いて前記操縦可能なミラーを調整して、前記励起放射線と前記ターゲット液滴との間の相互作用を調整するように構成される請求項１２に記載の装置。
14. 前記操縦可能なミラーは、３軸方向に調整可能である、請求項１３に記載の装置。
15. 前記最終焦点モジュールはさらに、前記ゼルニケ係数の前記シフトに基づいて、前記励起放射線のビームプロファイルの変更を検出するように構成される、請求項１２に記載の装置。
16. 前記最終焦点モジュールはさらに、前記励起放射線と前記ターゲット液滴との相互作用によって生成されるＥＵＶエネルギーが増加するように、前記ゼルニケ係数の前記シフトを減少させるように構成される、請求項１２に記載の装置。
17. コンピュータのプロセッサによって実行されると、方法を実行するために極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィー装置の最終焦点モジュールを制御するように前記コンピュータに指示する、メモリに記憶されたコンピュータ可読命令を含む、非一時的なコンピュータ可読媒体であって、前記方法は、
    ターゲット液滴によって反射された励起放射線を検出し、
    前記検出された励起放射線の収差を決定し、
    複数のゼルニケ多項式を生成し、
    前記複数のゼルニケ多項式から、前記収差に対応する１つ以上のゼルニケ多項式を決定し、
    前記１つ以上のゼルニケ多項式のゼルニケ係数のうちの少なくとも１つの係数のシフトを決定し、そして
    前記ゼルニケ係数の前記シフトに基づいて、前記励起放射線のビームプロファイルの変更を検出することを含む、非一時的なコンピュータ可読媒体。
18. 前記ビームプロファイルの前記変更に対応する制御信号を生成し、
    前記制御信号を用いて前記ＥＵＶリソグラフィーシステムのアクチュエータを制御し、そして
    前記アクチュエータを用いて前記ＥＵＶリソグラフィーシステムの操縦可能なミラーを調整して、前記励起放射線の光路を変更することを含む、請求項１７に記載の非一時的なコンピュータ可読媒体。
19. 前記操縦可能なミラーは、前記励起放射線が前記ターゲット液滴に当たる前の前記光路内の最後のミラーである、請求項１８に記載の非一時的なコンピュータ可読媒体。
20. 前記操縦可能なミラーは、３軸で調整可能である、請求項１９に記載の非一時的なコンピュータ可読媒体。
    

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