JP2021536142A - エルボハードストップを備えるロボットアームアセンブリ - Google Patents

Abstract

ハブと、エルボジョイントと、リストアセンブリと、第１端部がハブに回転可能に取り付けられ、第２端部が第１エルボジョイントに取り付けられた第１上部アームと、第１端部が第１エルボジョイントに取り付けられ、第２端部がリストアセンブリに取り付けられた第１下部アームと、第１エルボジョイント及び下部アームの一部の上に延在する第１ハードストップと、を備えるロボットが提供される。ハードストップは、ロボットのモータが係合していないときに、リストアセンブリがハブに接触することを防止する。【選択図】図７

Description

[0001] 本願は、同じ発明者を有し、２０１８年６月２７日に出願された「ＲＯＢＯＴＩＣ ＡＲＭ ＡＳＳＥＭＢＬＹ ＥＱＵＩＰＰＥＤ ＷＩＴＨ ＥＬＢＯＷ ＨＡＲＤ ＳＴＯＰ」という名称の、米国特許出願第６２／６９０，８５４号の優先権の利益を主張するものであり、その特許の全体は、参照によって本明細書に組み込まれる。

[0002] 本出願は、概して、ロボットアームアセンブリに関し、より詳細には、エルボハードストップを備えるアームアセンブリに関する。

[0001] 典型的な半導体製造プロセスでは、単一のウェハは、化学気相成長（ＣＶＤ）、物理気相成長（ＰＶＤ）、エッチング、平坦化、及びイオン注入を含むが、これらに限定されない、いくつかの連続した製造工程に曝されることがある。これらの製造工程は、典型的にはロボットによって実行される。これは、ロボットが反復作業を迅速且つ正確に実行でき、人間にとって危険な環境で動作できるということが一部の理由である。

[0002] 多くの最新の半導体処理システムは、複数の処理チャンバを統合したロボットクラスタツールを中心にして配置される。この配置により、高度に制御された処理環境内においてウェハ上で複数の連続した処理工程を実行できるため、外部汚染物質へのウェハの曝露を最小限に抑えられる。クラスタツール内のチャンバの組み合わせ、及びそれらのチャンバで用いられる動作条件とパラメータを選択することで、特定のプロセス製法とプロセスフローを使い特定の構造を製造することができる。いくつかの一般に使用される処理チャンバは、脱ガスチャンバ、基板の前調整チャンバ、冷却チャンバ、移送チャンバ、化学気相成長チャンバ、物理気相成長チャンバ、及びエッチングチャンバを含む。

[0003] 公知のクラスタツールの一例が、米国特許第６，２２２，３３７号（Kroeker et al.）に開示されており、本明細書の図１において再現されている。ここに開示されているクラスタツール１０は、フロッグレッグ型構造を有したロボット１４及びロボット２８を特徴として備えている。そのようなロボットは、付随するエンドエフェクタブレード１７の固定平面内での半径方向及び回転方向の動作の両方を提供するように適合されている。これらの半径方向及び回転方向の動作を調整又は組み合わせることで、ウェハ３２を取り上げて移送し、クラスタツール１０内の一つの処理チャンバから別の処理チャンバへ引き渡すことができる。

[0004] 図１を参照すると、ウェハは、カセットロードロック１２を介してクラスタツール１０に投入され、そこから取り出される。図示された特定のクラスタツールでは、ウェハプレートブレード１７エンドエフェクタを備える第１ロボット１４が、チャンバ１８内に配置され、第１組の処理チャンバの間でウェハ３２を移送するために用いられる。図示された特定の実施形態では、これらの処理チャンバは、前述のカセットロードロック１２、脱ガスウェハ整列チャンバ２０、予備洗浄チャンバ２４、ＰＶＤ ＴｉＮチャンバ２２、及び冷却チャンバ２６を含む。このロボット１４は、移送チャンバ１８内で自由に回転が可能な収縮位置で図示されている。

[0005] 第２ロボット２８は、移送チャンバ３０内に配置され、第２組の処理チャンバの間で基板を移送するように適合されている。図示された特定の実施形態では、第２組の処理チャンバは、冷却チャンバ２６及び予備洗浄チャンバ２４を含み、ＡｌのＣＶＤチャンバ及びＡｌＣｕの処理チャンバを含むことも可能である。このクラスタツール１０内のチャンバの特有の構成は、単一のツールでＣＶＤ及びＰＶＤの処理の両方が可能な統合処理システムを提供するように設計されている。マイクロプロセッサコントローラ２９は、製造処理シーケンス、クラスタツール内の条件、並びにロボット１４及びロボット２８の操作を制御するために提供される。

[0006] 図２は、図１のクラスタツールで使用可能なロボットの一例を示している。図２に示される特定のロボット１０１は、二重のフロッグレッグ型設計になっており、一端がリストアセンブリ１０７に取り付けられ、他端がエルボジョイント１０９に取り付けられた、第１ペア１０３からなるアーム及び第２ペア１０５からなるアームを特徴としている。各リストアセンブリ１０７は、更には半導体ウェハを取り扱うために使用されるエンドエフェクタ１１１に取り付けられる。ロボット１０１は、ハブ１２１の上部の回転リング１１７及び下部の回転リング１１９に取り付けられた上部アーム１１３，１１５をさらに備える。ロボット１０１は、ハブ１２１が取り付けられている一体構造のハブプレート１２３、並びに上部回転リング１１７及び下部回転リング１１９を駆動するモータ１２５をさらに備える。ハブ１２１及びハブプレート１２３は合わせてハブアセンブリ１２４を構成する。

[0007] 図１のクラスタツールで一般に利用されるロボットの一つが、図３に示されたEndura XPロボットである。そこに見られるように、XP Enduraロボット２０１は、スプールハブ２０５に取り付けられたハブ２０３を備える。第１及び第２上部アーム２０７は、第１及び第２上部アーム２０７のそれぞれの第１端部がハブに回転可能に取り付けられ、第１及び第２上部アーム２０７のそれぞれの第２端部がそこに回転可能に取り付けられたエルボジョイント２０９を備える。このロボットは、第１及び第２下部アーム２１１、並びにリストアセンブリ２１３をさらに備える。第１及び第２下部アーム２１１のそれぞれは、その第１端部で第１及び第２エルボジョイント２０９に取り付けられ、その第２端部でリストアセンブリ２１３にそれぞれ取り付けられる。

[0008] XP Enduraロボットは、大量生産用に最適化された３００ｍｍの金属蒸着システムの一部として商品化されている。このシステムは、工場インターフェースを、システムソフトウェアによって制御される２台の真空ウェハ処理ロボットと組み合わせる。このシステムにより、チップメーカーは、低コストで高歩留まりの半導体製造のために、高度なウェハ処理シーケンス（たとえば、低誘電率の誘電体への銅の蒸着など）を高いウェハスループットで、操作可能となる。

図面の簡単な説明
処理チャンバ及びフロッグレッグ型設計のロボットを備える半導体ツールの上面図である。 図１に示されるようなツールで使用し得るタイプの従来技術の半導体ロボットの斜視図である。 XP Enduraロボットの斜視図である。 積み重ねられたXP Enduraロボットの斜視図であり、そのロボットの一方は収縮配置にあり、他方は伸長配置にあることを示す。 ロボットを輸送するのに頻繁に使用される圧縮配置を示すXP Enduraロボットの一部の上面図である。 本明細書の教示によるハードストップを備えるXP Enduraロボットの実施形態の斜視図である。 図６のエルボアセンブリ及びハードストップの分解図である。 図６のハードストップの分解図である。 カバープレートを透明にした状態の、図６のロボットのエルボジョイント部の斜視図である。 図６のその時のロボットの下部アームの一部の斜視図である。 図７のエルボアセンブリ及びハードストップの第１断面図である。 図６のエルボアセンブリ及びハードストップの第２断面図である。 図８のハードストップの斜視図である。 図８のハードストップの斜視図である。 図８のハードストップの斜視図である。 図８のハードストップ本体の斜視図である。 図８のハードストップ本体の上面図である。 図８のハードストップ本体の底面図である。

[0020] 一態様では、ハブと、第１エルボジョイントと、リストアセンブリと、第１端部が前記ハブに回転可能に取り付けられ、第２端部が前記第１エルボジョイントに取り付けられた第１上部アームと、第１端部が前記第１エルボジョイントに取り付けられ、第２端部が前記リストアセンブリに取り付けられた第１下部アームと、前記第１エルボジョイント及び前記下部アームの一部の上に延在する第１ハードストップであって、内部に前記下部アームが延在する開口を有する第１ハードストップと、を含むロボットが提供されていて、前記ロボットは、前記リストアセンブリが前記ハブから最小距離にある第１配置と、前記リストアセンブリが前記ハブから最大距離にある第２配置との間で移動可能であり、前記ロボットが前記第２配置から前記第１配置に移動するときには、前記下部アームが前記上部アームに向かって回転し、前記第１ハードストップは、前記ロボットが前記第１配置にあるときに前記上部アームに隣接する外面領域を有する。

[0021] 別の態様では、ロボットのエルボジョイントの動きを制限するための方法が提供される。この方法は、（ａ）（ｉ）ハブと、（ｉｉ）第１エルボジョイントと、（ｉｉｉ）リストアセンブリと、（ｉｖ）第１端部が前記ハブに回転可能に取り付けられ、第２端部が前記第１エルボジョイントに取り付けられた第１上部アームと、（ｖ）第１端部が前記第１エルボジョイントに取り付けられ、第２端部が前記リストアセンブリに取り付けられた第１下部アームと、を備えるロボットを提供することを含み、前記ロボットは、前記リストアセンブリが前記ハブから最小距離にある第１配置と前記リストアセンブリが前記ハブから最大距離にある第２配置との間で移動可能であり、前記下部アームは、前記ロボットが前記第２配置から前記第１配置に移動するときに、前記上部アームに向かって回転する。並びに、この方法は、前記第１エルボジョイント及び前記下部アームの一部との上に延在する第１ハードストップを適用することを含み、前記第１ハードストップは、内部に前記下部アームが延在する開口を有し、このロボットがこの第１配置にあるときに、前記ハードストップがこの上部アーム及び下部アームを、間隔を空けた配置で保持する。

[0022] XP Enduraロボットは、広範な商業的応用を成し遂げているものの、それでもなお、いくつかの弱点に苦慮している。これらの弱点の一つは、ハブアセンブリ又はスプールハブに対するリストアセンブリの可動範囲に関連している。この可動範囲は、図４から理解可能であり、そこには、第１XP Enduraロボット３０３及び第２XP Enduraロボット３０５を積み重ねたロボットアセンブリ３０１が示されている。そこに見られるように、XP Enduraロボットは、リストアセンブリ３０７とスプールハブ３０９との間隔が最小となる収縮配置（ロボット３０３が保持している）と、リストアセンブリ３０７とスプールハブ３０９との間隔が最大となる伸長配置（ロボット３０５が保持している）との間を移動するように設計されている。この動作により、ロボット３０３及びロボット３０５のそれぞれは、ロボットが構成要素を成すツールに一般的に含まれる処理チャンバにウェハを搬入し、及びそこからウェハを搬出することができる（図１を参照）。

[0023] モータが取り外される場合、XP Enduraロボットは、実際には、その日常の使用で一般的に利用されるよりも広い範囲で動かすことができる。したがって、図５に示すように、ロボット４０１は、ハブ（図示せず）がロボット４０１から取り外された場合に、実際には、リストアセンブリ４０５が、通常はハブによって占有されている空間と重なることができるように、十分な動作範囲を有している。実際、この非常にコンパクトな配置は、ロボット４０１が出荷されているときに都合よく利用できる。

[0024] 残念ながら、この範囲を超えて移動するXP Enduraロボットの能力は、いくつかの利点を有するものの、それはまた、ロボットを保守する際に問題を引き起こす。特に、通常の使用中、ロボットが収縮配置にある場合、ロボットのモータは、リストアセンブリが、スプール、ハブ、又は上部アームに接触することを防止する。しかし、ロボットのモータが取り外されると、ロボットの可動範囲はもはや制限されなくなって、リストアセンブリは１つ以上のこれら要素と接触するのに十分な距離にまで動けるようになる。この問題は、主に修理又は定期メンテナンスの際に発生し、その時ロボットは手動で回転させることができる。ロボットのアームを物理的に収縮してリストアセンブリの後端がロボットの他の部分に接触し得るようになることで、その後の動きによっては、リストアセンブリとこれら他の部分との間で摩耗を来す可能性がある。この摩耗は大量の金属の削りくず及びその他の粒子を生成することが分かっており、これがウェハの汚染問題及びその他の問題を招く可能性がある。

[0025] 前述の問題は、本明細書に開示される装置及び方法によって克服され得ることが今や見出された。好ましい実施形態では、これらの装置及び方法は、ロボットのエルボジョイント（XP Enduraロボットのジョイントなど）に取り付けることができるハードストップ（本明細書ではＯＤクランプとも称される）を特徴とする。このようなハードストップは、ロボットのモータが取り外されている時でも、リストアセンブリがロボットの他の部分と接触するのを物理的に防ぐ。この結果、これらのハードストップを使用すると、ロボットの修理若しくはメンテナンス中、又はロボットのモータが取り外されるような他の時に、それがなければ発生する可能性のある粒子の生成及びその他の問題が軽減又は排除される。

[0026] 図６は、本明細書の教示に従ったハードストップを備えるロボットの第１特定の非限定的な実施形態を示す。ここに見られるように、ロボット５０１（図示されているこの特定の実施形態では、XP Enduraロボットである）は、スプールハブ５０５に取り付けられたハブ５０３を備える。第１及び第２上部アーム５０７は、第１及び第２上部アーム５０７のそれぞれの第１端部がハブ５０３に回転可能に取り付けられ、第１及び第２上部アーム５０７のそれぞれの第２端部がそこに回転可能に取り付けられたエルボジョイント５０９を備えるようにして、ハブ５０３に回転可能に取り付けられている。ロボット５０１は、さらに、第１及び第２下部アーム５１１、並びにリストアセンブリ５１３を備える。第１及び第２下部アーム５１１のそれぞれは、その第１端部で第１及び第２エルボジョイント５０９にそれぞれ取り付けられ、その第２端部でリストアセンブリ５１３に取り付けられる。

[0027] 図６のロボット５０１は、さらに、第１及び第２エルボジョイント５０９のそれぞれに取り付けられたハードストップ５５１を備える。図示された特定の実施形態におけるハードストップ５５１は、上部アーム５０７の対向する部分に対し形状が称賛すべき対向する平坦な側面５５３（図８を参照）を有する筐体又は本体５５５（図７〜図８を参照）を備える。

[0028] 図４に示す構成と同様に、使用時には、ロボットは、リストアセンブリ５１３とハブ５０３との間の距離が最小になる収縮配置と、リストアセンブリ５１３とハブ５０３との間の距離が最大になる伸長配置との間で、移動するように設計される。この動きにより、ロボット５０１は、半導体処理ツールの処理チャンバ内にウェハを載置し、そこからウェハを取り出すことができる。しかしながら、ハードストップ５５１は、ロボット５０１内のモータが取り外されている場合でも、リストアセンブリ５１３がスプールハブ５０５又はロボットの他の部分と接触するようになるのを防ぐために機械的障害として機能する。その結果、このようなハードストップ５５１の使用により、上述の粒子生成の問題が克服される。

[0029] ハードストップ５５１の構造は、さらに図７〜図８に関連して理解され得る。そこに見られるように、ハードストップ５５１は、ロボット５０１の下部アーム５１１（図７を参照）を収容するための開口５５７をその中に有する本体５５５、及びエルボジョイント５０９（図７を参照）の外面に対しその形状が称賛すべき内部を備える。この形状により、ハードストップ５５１をエルボジョイント５０９の上に配置することができる（下部アーム５１１によって形成されるエルボジョイント５０９の部分が図１０に示されている）。本体５５５はまた、その外側に（好ましくは平坦化された）面５５３（図８を参照）を有し、その面は、上述したように、ロボット５０１の上部アーム５０７の対向する部分に対しその形状が称賛すべきであることが好ましい（図６を参照）。

[0030] ハードストップ５５１は、さらに、適切な締結具５６３（例えば、１／４−２０皿ネジ）でエルボジョイント５０９に固定されたＩＤクランプ５６１を備えている。ハードストップ５５１は、また、ハードストップ５５１の本体５５５を（既にエルボジョイントに存在するねじ穴５５６を使用して−図７を参照）、エルボジョイント５０９に固定する複数の締結具５６５（例えば、＃４ー４０のボタンボルトなど）及び複数の締結具５６９（例えば、複数の＃４０−４０ ＵＮＣの皿ネジなど）でハードストップ５５１に固定されているカバー５６７を備えている。カバー５６７には、ガス抜きのための通気孔５７１（図８を参照）が設けられている。図１１〜図１２は、完全な組付け（ハードストップ５５１及びエルボジョイント５０９）を示し、図１３は、組み立てられたハードストップ５５１を示す。

[0031] 図９に見られるように、ボタンボルト５６５は、ハードストップ５５１のスロット付き開口５７３を通って突き出ている（これらの開口５７３は、図１６〜図１８に、より詳しく見ることができる）。図９に見られるように、この配置により、長手方向スロット５７３の半径軸に沿って、ハードストップ５５１の向きを、わずかな回転調整（図示された特定の実施形態では、±７．５°）及びわずかな直線状調整（図示されている特定の実施形態では、約±０．２９インチ）を可能にする。これにより、ロボットが収縮配置にあるときには、ハードストップ５５１の平坦面５５３が上部アーム５０７の対向面に隣接して平行になるように、ハードストップ５５１の向きを必要に応じて調整することができる。

[0032] 図１５に見られるように、カバー５６７は、本体５５５内の第２合わせ機構５７７（図１６〜図１７を参照）と解放可能にかみ合ってカバー５６７の適切な向きを確保する第１合わせ機構５７５を備えている。図示された特定の実施形態では、第１合わせ機構５７５は開口であり、第２合わせ機構５７７は、その開口に対して形状が称賛すべき突起となっている。当然ながら、それぞれ異なる形状の様々な数の合わせ機構をカバー５６７又は本体５５５に利用して、相互の適切な向きを確保することが可能なことは理解されよう。

[0033] 使用時に、本明細書に開示されるタイプのハードストップは、ロボット（好ましくはフロッグレッグ型構成を有するロボット、より好ましくは図６に示される一般的なタイプのロボット）の一方又は両方のエルボジョイントに取り付けることができる。ハードストップは、好ましくは、ロボットのエルボジョイント又は下部アームに、複数の（好ましくは、ねじ付きの）締結具で緩く取り付けられ、この締結具は、ハードストップに設けられたスロット付き開口を通って延在すている（例えば、図１６を参照）。次に、エルボジョイントのハードストップの向きは、スロット付き開口によって可能な動作範囲内でハードストップを回転させることによって調整される（図９を参照）。好ましくは、ハードストップの向きは、リストアセンブリと、ハブ又はスプールハブとの間が所望の間隔になり、ハードストップの外面が上部アームの隣接部分にしっかりと押し付けられる（そして、それに平行となる）まで調整される。その後、複数の締結具を締め付けて、ハードストップをこの向きにロックする。

[0034] 本明細書に開示された装置及び方法を、XP Enduraロボットにおけるそれらの使用に関連して具体的に例示し説明してきたが、当業者は、エンドエフェクタ、ハブ又はスプールハブ、及びリストアセンブリを備えていて、ロボットの通常の動きで、エンドエフェクタを、これらの、ハブ、スプールハブ、又はロボットの他の部分に近接させるような、様々な他のロボットシステムにおいて、これらの装置及び方法が必要に応じて適切な修正を加えて利用され得ることを理解するであろう。

[0035] 本発明の上記の説明は例示的なものであり、限定することを意図するものではない。したがって、本発明の範囲から逸脱することなく、上述の実施形態に対して、様々な追加、置換、及び修正を行うことができることは理解されよう。したがって、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲を参照して解釈されるべきである。また、特許請求の範囲に記載された様々な特徴は、本開示の範囲から逸脱することなく、将来の特許請求の範囲における様々な組み合わせ及びサブコンビネーションで提示され得ることも理解されよう。特に、本発明は、従来技術に知られていない組み合わせ又はサブコンビネーションが明示的に書き出されたかのように、そのような組み合わせ又はサブコンビネーションを明示的に企図している。

Claims (16)

1. ハブと、
   第１エルボジョイントと、
   リストアセンブリと、
   第１端部が前記ハブに回転可能に取り付けられ、第２端部が前記第１エルボジョイントに取り付けられた第１上部アームと、
   第１端部が前記第１エルボジョイントに取り付けられ、第２端部が前記リストアセンブリに取り付けられた第１下部アームと、
   前記第１エルボジョイント及び前記下部アームの一部の上に延在する第１ハードストップであって、内部に前記下部アームが延在する開口を有する第１ハードストップと、を備えるロボットであって、
   前記ロボットは、前記リストアセンブリが前記ハブから最小距離にある第１配置と、前記リストアセンブリが前記ハブから最大距離にある第２配置との間で移動可能であり、
   前記ロボットが前記第２配置から前記第１配置に移動するときに前記下部アームが前記上部アームに向かって回転し、
   前記第１ハードストップは、前記ロボットが前記第１配置にあるときに前記上部アームに隣接する外面領域を有する、ロボット。
2. 前記上部アームは平坦化された領域を有し、前記第１ハードストップの前記外面領域は、前記平坦化された領域に対して形が称賛すべきであり、前記ロボットが前記第１配置にあるとき、前記第１ハードストップの前記外面領域は、前記平坦化された領域に隣接している、請求項１に記載のロボット。
3. 前記第１ハードストップは、前記上部アーム上の前記平坦化された領域に垂直な平面内で回転可能に調節可能である、請求項２に記載のロボット。
4. 前記第１エルボジョイントに対する前記第１ハードストップの向きが調整可能である、請求項１に記載のロボット。
5. 前記第１ハードストップが、複数の締結具で前記第１エルボジョイントに取り付けられ、前記複数の締結具のそれぞれが、前記ハードストップの半径方向スロットを通って延在する、請求項４に記載のロボット。
6. 前記複数の締結具は、前記第１下部アームの前記第１端部に設定された複数のねじ切り開口に解放可能に係合するねじ付き締結具である、請求項５に記載のロボット。
7. 第２エルボジョイントと、
   第１端部が前記ハブに回転可能に取り付けられ、第２端部が前記第２エルボジョイントに取り付けられた第２上部アームと、
   第１端部が前記第２エルボジョイントに取り付けられ、第２端部が前記リストアセンブリに取り付けられた第２下部アームと、をさらに備える、請求項１に記載のロボット。
8. 前記第２エルボジョイント及び前記下部アームの一部の上に延在する第２ハードストップをさらに含み、前記第２ハードストップは、前記下部アームが内部に延在する開口を有する、請求項７に記載のロボット。
9. 前記第１ハードストップは、前記上部アームと前記下部アームとの間で前記第１エルボジョイントに隣接して延在する部分を含む、請求項１に記載のロボット。
10. 前記ロボットが前記第１配置にあるときに、前記部分が前記上部及び下部アームと接触している、請求項９に記載のロボット。
11. 前記下部アームが内部に延在する前記開口は平面内にあり、前記平面における前記開口の幅は、前記平面における前記下部アームの幅よりも大きい、請求項１に記載のロボット。
12. ロボットにおけるエルボジョイントの動きを制限するための方法であって、
    （ａ）ハブと、
    （ｂ）第１エルボジョイントと、
    （ｃ）リストアセンブリと、
    （ｄ）第１端部が前記ハブに回転可能に取り付けられ、第２端部が前記第１エルボジョイントに取り付けられた第１上部アームと、
    （ｅ）第１端部が前記第１エルボジョイントに取り付けられ、第２端部が前記リストアセンブリに取り付けられた第１下部アームと、を備えるロボットを提供することであって、
    前記ロボットは、前記リストアセンブリが前記ハブから最小距離にある第１配置と前記リストアセンブリが前記ハブから最大距離にある第２配置との間で移動可能であり、前記下部アームは、前記ロボットが前記第２配置から前記第１配置に移動するときに前記上部アームに向かって回転する、提供することと、
    前記第１エルボジョイント及び前記下部アームの一部の上に延在する第１ハードストップを適用することであって、前記第１ハードストップは、内部に前記下部アームが延在する開口を有し、前記ロボットが前記第１配置にあるときは、前記ハードストップが前記上部アーム及び前記下部アームを、間隔を空けた配置で保持する、適用することと、を含む方法。
13. 前記第１ハードストップは、前記第１エルボジョイントに隣接して前記上部アームと前記下部アームとの間に延在する部分を含む、請求項１２に記載の方法。
14. 前記ハードストップは、複数の半径方向開口部を備え、前記ハードストップは、前記半径方向開口部を通って延在する複数の締結具で前記エルボジョイントに解放可能に取り付けられる、請求項１２に記載の方法。
15. 前記エルボジョイントに対する前記ハードストップの向きは、前記複数の締結具が緩められた状態にある間は回転調整が可能であり、前記複数の締結具が締め付けられた状態にあるときに固定される、請求項１４に記載の方法。
16. 前記複数の締結具を緩められた状態に置くことと、
    前記リストアセンブリを前記ハブから間隔をおいて配置し、前記ハードストップが前記第１上部アームに隣接するように、前記ロボットを前記第１配置に置くことと、
    前記複数の締結具を締め付けられた状態に変換することと、をさらに含む、請求項１５に記載の方法。
    

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