JP2021533413A - 統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title description 76
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 10
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 12
- 238000004382 potting Methods 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- KJLPSBMDOIVXSN-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[2-[4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]propan-2-yl]phenoxy]phthalic acid Chemical compound C=1C=C(OC=2C=C(C(C(O)=O)=CC=2)C(O)=O)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 KJLPSBMDOIVXSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 3
- 230000014616 translation Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
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- B29C65/48—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding
- B29C65/52—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding characterised by the way of applying the adhesive
- B29C65/54—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding characterised by the way of applying the adhesive between pre-assembled parts
- B29C65/542—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding characterised by the way of applying the adhesive between pre-assembled parts by injection
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- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
- B29C65/56—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using mechanical means or mechanical connections, e.g. form-fits
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- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
- B29C66/01—General aspects dealing with the joint area or with the area to be joined
- B29C66/05—Particular design of joint configurations
- B29C66/303—Particular design of joint configurations the joint involving an anchoring effect
- B29C66/3032—Particular design of joint configurations the joint involving an anchoring effect making use of protrusions or cavities belonging to at least one of the parts to be joined
- B29C66/30321—Particular design of joint configurations the joint involving an anchoring effect making use of protrusions or cavities belonging to at least one of the parts to be joined making use of protrusions belonging to at least one of the parts to be joined
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
- B29C66/01—General aspects dealing with the joint area or with the area to be joined
- B29C66/05—Particular design of joint configurations
- B29C66/303—Particular design of joint configurations the joint involving an anchoring effect
- B29C66/3032—Particular design of joint configurations the joint involving an anchoring effect making use of protrusions or cavities belonging to at least one of the parts to be joined
- B29C66/30325—Particular design of joint configurations the joint involving an anchoring effect making use of protrusions or cavities belonging to at least one of the parts to be joined making use of cavities belonging to at least one of the parts to be joined
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
- F16M11/02—Heads
- F16M11/04—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand
- F16M11/043—Allowing translations
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
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- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
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- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
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- G02B7/1824—Manual alignment
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- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M2200/00—Details of stands or supports
- F16M2200/02—Locking means
- F16M2200/025—Locking means for translational movement
- F16M2200/028—Locking means for translational movement by positive interaction, e.g. male-female connections
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- Lens Barrels (AREA)
Abstract
Description
Claims (20)
- 装置であって、
コンポーネントに結合されるように構成されたデバイスマウントと、
第1のフレクシャによって前記デバイスマウントに結合された内側ハブであり、前記第1のフレクシャは、第1の軸に沿った、前記内側ハブ内での前記デバイスマウントの並進運動を可能にするように構成される、内側ハブと、
第2のフレクシャによって前記内側ハブに結合された外側ハブであり、前記第2のフレクシャは、前記第1の軸とは異なる第2の軸に沿った、前記外側ハブ内での前記デバイスマウント及び前記内側ハブの並進運動を可能にするように構成され、前記第1及び第2のフレクシャは、複合ネスト化フレクシャを形成する、外側ハブと、
を有し、
前記外側ハブは、支持構造に結合されるように、及び(i)前記第1及び第2の軸とは異なる第3の軸に沿った当該装置の並進運動と、(ii)当該装置のチップ/チルト調節と、の両方を可能にするように構成されている、
装置。 - 前記第1の軸に沿った前記並進運動を制御するために、前記内側ハブ内での前記デバイスマウントの動きを制御するように構成された第1のロック可能アジャスタと、
前記第2の軸に沿った前記並進運動を制御するために、前記外側ハブ内での前記内側ハブの動きを制御するように構成された第2のロック可能アジャスタと、
前記外側ハブを前記支持構造に結合するように、及び前記第3の軸に沿った前記並進運動と前記チップ/チルト調節とを制御するように構成された複数の第3のロック可能アジャスタと、
を更に有する請求項1に記載の装置。 - 前記第1、第2、及び第3のロック可能アジャスタは、前記デバイスマウント、前記内側ハブ、及び前記外側ハブの意図せぬ動きを防止するためにロックされるように構成されている、請求項2に記載の装置。
- 前記第1のロック可能アジャスタは、前記デバイスマウントの動きを、前記第2及び第3の軸に沿っては生じさせずに、前記第1の軸に沿ってのみ生じさせるように構成され、
前記第2のロック可能アジャスタは、前記内側ハブ及び前記デバイスマウントの動きを、前記第1及び第3の軸に沿っては生じさせずに、前記第2の軸に沿ってのみ生じさせるように構成されている、
請求項2に記載の装置。 - 前記外側ハブは、
前記外側ハブの側面に位置して、前記第1のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された第1の開口、
前記外側ハブの少なくとも1つの他の側面に位置して、前記第2のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された少なくとも1つの第2の開口、及び
前記外側ハブの複数の異なる側面から延在した複数のフランジであり、前記複数の第3のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された複数の第3の開口を有する複数のフランジ、
を有し、
前記内側ハブは、前記第2のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された第4の開口を有する、
請求項2に記載の装置。 - 当該装置は更に、前記外側ハブに取り付けられるように構成された裏当て板を有し、
前記裏当て板は、前記内側ハブ及び前記デバイスマウントのポスト穴に挿入されるように構成されたポストを有し、
各ポストが、前記ポスト穴のうちの対応する1つ内へと接着剤が該ポストを通り抜けることを可能にするように構成された注入チャネルを有する、
請求項1に記載の装置。 - 前記第1のフレクシャは、前記デバイスマウントを挟んで反対側の第1の支持バーの対と、該第1の支持バーの対を前記デバイスマウント及び前記内側ハブに結合する第1及び第2の接続アームとを有し、
前記第2のフレクシャは、前記内側ハブを挟んで反対側の第2の支持バーの対と、該第2の支持バーの対を前記内側ハブ及び前記外側ハブに結合する第3及び第4の接続アームとを有し、
前記第1及び第2の支持バーの対は、互いに対して横切る方向に延在する、
請求項1に記載の装置。 - 少なくとも1つの光ビームを受け取って処理するように構成された複数の光学コンポーネントと、
前記光学コンポーネントのうちの1つ以上の位置、向き、又はアライメントを調節するように構成された少なくとも1つのマウント装置と、
を有し、
各マウント装置が、
前記光学コンポーネントのうちの少なくとも1つに結合されるように構成されたデバイスマウントと、
第1のフレクシャによって前記デバイスマウントに結合された内側ハブであり、前記第1のフレクシャは、第1の軸に沿った、前記内側ハブ内での前記デバイスマウントの並進運動を可能にするように構成される、内側ハブと、
第2のフレクシャによって前記内側ハブに結合された外側ハブであり、前記第2のフレクシャは、前記第1の軸とは異なる第2の軸に沿った、前記外側ハブ内での前記デバイスマウント及び前記内側ハブの並進運動を可能にするように構成され、前記第1及び第2のフレクシャは、複合ネスト化フレクシャを形成する、外側ハブと、
を有し、
前記外側ハブは、支持構造に結合されるように、及び(i)前記第1及び第2の軸とは異なる第3の軸に沿った該マウント装置の並進運動と、(ii)該マウント装置のチップ/チルト調節と、の両方を可能にするように構成されている、
システム。 - 各マウント装置が更に、
前記第1の軸に沿った前記並進運動を制御するために、前記内側ハブ内での前記デバイスマウントの動きを制御するように構成された第1のロック可能アジャスタと、
前記第2の軸に沿った前記並進運動を制御するために、前記外側ハブ内での前記内側ハブの動きを制御するように構成された第2のロック可能アジャスタと、
前記外側ハブを前記支持構造に結合するように、及び前記第3の軸に沿った前記並進運動と前記チップ/チルト調節とを制御するように構成された複数の第3のロック可能アジャスタと、
を有する、請求項8に記載のシステム。 - 各マウント装置の前記第1、第2、及び第3のロック可能アジャスタは、該マウント装置の前記デバイスマウント、前記内側ハブ、及び前記外側ハブの意図せぬ動きを防止するためにロックされるように構成されている、請求項9に記載のシステム。
- 各マウント装置において、
前記第1のロック可能アジャスタは、前記デバイスマウントの動きを、前記第2及び第3の軸に沿っては生じさせずに、前記第1の軸に沿ってのみ生じさせるように構成され、
前記第2のロック可能アジャスタは、前記内側ハブ及び前記デバイスマウントの動きを、前記第1及び第3の軸に沿っては生じさせずに、前記第2の軸に沿ってのみ生じさせるように構成されている、
請求項9に記載のシステム。 - 各マウント装置において、
前記外側ハブは、
前記外側ハブの側面に位置して、前記第1のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された第1の開口、
前記外側ハブの少なくとも1つの他の側面に位置して、前記第2のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された少なくとも1つの第2の開口、及び
前記外側ハブの複数の異なる側面から延在した複数のフランジであり、前記複数の第3のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された複数の第3の開口を有する複数のフランジ、
を有し、
前記内側ハブは、前記第2のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された第4の開口を有する、
請求項9に記載のシステム。 - 各マウント装置が更に、該マウント装置の前記外側ハブに取り付けられるように構成された裏当て板を有し、
前記裏当て板は、該マウント装置の前記内側ハブ及び前記デバイスマウントのポスト穴に挿入されるように構成されたポストを有し、
各ポストが、前記ポスト穴のうちの対応する1つ内へと接着剤が該ポストを通り抜けることを可能にするように構成された注入チャネルを有する、
請求項8に記載のシステム。 - 各マウント装置において、
前記第1のフレクシャは、前記デバイスマウントを挟んで反対側の第1の支持バーの対と、該第1の支持バーの対を前記デバイスマウント及び前記内側ハブに結合する第1及び第2の接続アームとを有し、
前記第2のフレクシャは、前記内側ハブを挟んで反対側の第2の支持バーの対と、該第2の支持バーの対を前記内側ハブ及び前記外側ハブに結合する第3及び第4の接続アームとを有し、
前記第1及び第2の支持バーの対は、互いに対して横切る方向に延在する、
請求項8に記載のシステム。 - マウント装置の外側ハブを支持構造に結合し、
前記マウント装置のデバイスマウントにコンポーネントを結合し、
第1のフレクシャを用いて、第1の軸に沿った、前記マウント装置の前記内側ハブ内での前記デバイスマウントの並進運動を生じさせ、
第2のフレクシャを用いて、前記第1の軸とは異なる第2の軸に沿った、前記マウント装置の前記外側ハブ内での前記デバイスマウント及び前記内側ハブの並進運動を生じさせ、前記第1及び第2のフレクシャは、複合ネスト化フレクシャを形成し、
前記第1及び第2の軸とは異なる第3の軸に沿った前記マウント装置の並進運動と、前記マウント装置のチップ/チルト調節とを生じさせる、
ことを有する方法。 - 前記第1の軸に沿った前記デバイスマウントの前記並進運動を生じさせることは、第1のロック可能アジャスタを使用することを有し、
前記第2の軸に沿った前記デバイスマウント及び前記内側ハブの前記並進運動を生じさせることは、第2のロック可能アジャスタを使用することを有し、
前記第3の軸に沿った前記マウント装置の並進運動と、前記マウント装置のチップ/チルト調節とを生じさせることは、前記外側ハブを前記支持構造に結合する第3のロック可能アジャスタを使用することを有する、
請求項15記載の方法。 - 前記デバイスマウント、前記内側ハブ、及び前記外側ハブの意図せぬ動きを防止するために、前記第1、第2、及び第3のロック可能アジャスタをロックする、
ことを更に有する請求項16に記載の方法。 - 裏当て板のポストを、前記内側ハブ及び前記デバイスマウントのポスト穴に挿入し、
前記裏当て板を前記外側ハブに取り付け、
前記ポスト内の注入チャネルを通して、対応するポスト穴の中に接着剤を注入する、
ことを更に有する請求項15に記載の方法。 - 前記第1のフレクシャは、前記デバイスマウントを挟んで反対側の第1の支持バーの対と、該第1の支持バーの対を前記デバイスマウント及び前記内側ハブに結合する第1及び第2の接続アームとを有し、
前記第2のフレクシャは、前記内側ハブを挟んで反対側の第2の支持バーの対と、該第2の支持バーの対を前記内側ハブ及び前記外側ハブに結合する第3及び第4の接続アームとを有し、
前記第1及び第2の支持バーの対は、互いに対して横切る方向に延在する、
請求項15に記載の方法。 - 前記第1、第2、及び第3の軸は直交する、請求項15に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/110,731 | 2018-08-23 | ||
US16/110,731 US10670825B2 (en) | 2018-08-23 | 2018-08-23 | Mounting devices with integrated alignment adjustment features and locking mechanisms |
PCT/US2019/029096 WO2020040825A1 (en) | 2018-08-23 | 2019-04-25 | Mounting devices with integrated alignment adjustment features and locking mechanisms |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021533413A true JP2021533413A (ja) | 2021-12-02 |
JP7214833B2 JP7214833B2 (ja) | 2023-01-30 |
Family
ID=66821350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021506420A Active JP7214833B2 (ja) | 2018-08-23 | 2019-04-25 | 統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10670825B2 (ja) |
EP (1) | EP3841418A1 (ja) |
JP (1) | JP7214833B2 (ja) |
IL (1) | IL278806B (ja) |
WO (1) | WO2020040825A1 (ja) |
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- 2019-04-25 EP EP19729921.7A patent/EP3841418A1/en active Pending
- 2019-04-25 WO PCT/US2019/029096 patent/WO2020040825A1/en unknown
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US20200064580A1 (en) | 2020-02-27 |
WO2020040825A1 (en) | 2020-02-27 |
JP7214833B2 (ja) | 2023-01-30 |
EP3841418A1 (en) | 2021-06-30 |
IL278806B (en) | 2021-06-30 |
IL278806A (en) | 2021-01-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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