JP2021533413A - 統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置 - Google Patents

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Abstract

装置は、コンポーネントに結合されるように構成されたデバイスマウントを含む。当該装置はまた、第1のフレクシャによってデバイスマウントに結合された内側ハブを含み、第1のフレクシャは、第1の軸に沿った、内側ハブ内でのデバイスマウントの並進運動を可能にするように構成される。当該装置は更に、第2のフレクシャによって内側ハブに結合された外側ハブを含み、第2のフレクシャは、第1の軸とは異なる第2の軸に沿った、外側ハブ内でのデバイスマウント及び内側ハブの並進運動を可能にするように構成される。第1及び第2のフレクシャは、複合ネスト化フレクシャを形成する。外側ハブは、支持構造に結合されるように、及び(i)第1及び第2の軸とは異なる第3の軸に沿った当該装置の並進運動と、(ii)当該装置のチップ/チルト調節と、の両方を可能にするように構成される。

Description

この開示は概して光学システムに向けられる。より具体的には、この開示は、統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置に向けられる。
多くの光学システムは、精密に位置付けられ、方向付けられ、又はアライメントされる必要があるミラー、レンズ、又は他の光学デバイスを含む。しばしば、光学デバイスを支持構造に結合するためにマウント装置が使用され、マウント装置は、適切な位置付け、方向付け、又はアライメントを達成する助けとなるよう、光学デバイスに小さい調節を行うことを可能にする。多くのケースで、マウント装置は、光学デバイスの並進(調節軸に沿った光学デバイスの移動)、光学デバイスの回転(調節軸の周りでの光学デバイスの回転)、又はこれら双方をサポートすることができる。一部のケースでは、マウント装置は、複数の異なる調節軸に沿った並進又はそれらの周りでの回転をサポートし、これは、マウント装置が複数の自由度をサポートすることを意味する。
残念ながら、マウント装置は、幾つかの欠点に悩まされることが多い。例えば、一部のマウント装置は複数の並進自由度を提供するが、それらの調節軸は互いに垂直でない。結果として、1つの軸に沿った光学デバイスの移動は、別の軸に沿った光学デバイスの移動を生じさせることなしに行われることができず、このことが、光学デバイスの位置を適切に調節することを困難にし得る。また、一部のマウント装置は、いずれかの又は全ての調節軸についてのロック機構を設けることなく、複数の並進又は回転の自由度を提供している。光学デバイスが負荷力(例えば衝撃など)を受け得る動的環境において、各調節軸にロック機構がないことは、光学デバイスが動くことを可能にしてしまい、それが、より大きな光学システムの動作の邪魔となり得る。
1つの特定のアプローチにおいて、マウント装置は、オーバーサイズの穴の中に配置された3つの“プッシュプル”(2つの構造素子間の空間を調節及び保持するように設計されたコンポーネント)を使用しており、これらは一緒になって、並進調節及び回転調節を提供するように動作することができる。しかしながら、このアプローチは、微細な並進調節のために、使いにくくて非効率になる傾向にあるものである特殊な工具の使用を必要とする。その工具はまた、例えば応力誘起による光学デバイスの歪みなどの、過度な制約及びロックダウン問題を生み出すこともある。さらに、動的環境での使用を可能にするためには、このアプローチは、調節が終了したときにポッティング(オーバーサイズの穴への注入後に硬化する材料)の使用を必要とし、それが、光学デバイスの位置、向き、又はアライメントに対する更なる調節を行うことを妨げる。加えて、このアプローチは、光学デバイスに対して単一の並進調節を行うために複数のノブを調節することを必要とし、単一の調節軸に沿って光学デバイスの位置を調節することを難しくしている。
この開示は、統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置を提供する。
第1の実施形態において、装置は、コンポーネントに結合されるように構成されたデバイスマウントを含む。当該装置はまた、第1のフレクシャによってデバイスマウントに結合された内側ハブを含み、第1のフレクシャは、第1の軸に沿った、内側ハブ内でのデバイスマウントの並進運動を可能にするように構成される。当該装置は更に、第2のフレクシャによって内側ハブに結合された外側ハブを含み、第2のフレクシャは、第1の軸とは異なる第2の軸に沿った、外側ハブ内でのデバイスマウント及び内側ハブの並進運動を可能にするように構成される。第1及び第2のフレクシャは、複合ネスト化フレクシャを形成する。外側ハブは、支持構造に結合されるように、及び(i)第1及び第2の軸とは異なる第3の軸に沿った当該装置の並進運動と、(ii)当該装置のチップ/チルト調節と、の両方を可能にするように構成される。
第2の実施形態において、システムは、少なくとも1つの光ビームを受け取って処理するように構成された複数の光学コンポーネントと、光学コンポーネントのうちの1つ以上の位置、向き、又はアライメントを調節するように構成された少なくとも1つのマウント装置とを含む。各マウント装置が、光学コンポーネントのうちの少なくとも1つに結合されるように構成されたデバイスマウントを含む。各マウント装置はまた、第1のフレクシャによってデバイスマウントに結合された内側ハブを含み、第1のフレクシャは、第1の軸に沿った、内側ハブ内でのデバイスマウントの並進運動を可能にするように構成される。各マウント装置は更に、第2のフレクシャによって内側ハブに結合された外側ハブを含み、第2のフレクシャは、第1の軸とは異なる第2の軸に沿った、外側ハブ内でのデバイスマウント及び内側ハブの並進運動を可能にするように構成される。第1及び第2のフレクシャは、複合ネスト化フレクシャを形成する。外側ハブは、支持構造に結合されるように、及び(i)第1及び第2の軸とは異なる第3の軸に沿ったマウント装置の並進運動と、(ii)マウント装置のチップ/チルト調節と、の両方を可能にするように構成される。
第3の実施形態において、方法は、マウント装置の外側ハブを支持構造に結合し、マウント装置のデバイスマウントにコンポーネントを結合することを含む。当該方法はまた、第1のフレクシャを用いて、第1の軸に沿った、マウント装置の内側ハブ内でのデバイスマウントの並進運動を生じさせることを含む。当該方法は更に、第2のフレクシャを用いて、第1の軸とは異なる第2の軸に沿った、マウント装置の外側ハブ内でのデバイスマウント及び内側ハブの並進運動を生じさせることを含む。第1及び第2のフレクシャは、複合ネスト化フレクシャを形成する。さらに、当該方法は、第1及び第2の軸とは異なる第3の軸に沿ったマウント装置の並進運動と、マウント装置のチップ/チルト調節とを生じさせることを含む。
その他の技術的特徴が、以下の図面、説明、及び請求項から、当業者には容易に明らかになる。
より完全なる本開示の理解のため、以下の図を含む添付図面とともに以下の説明を参照する。
図1乃至図3は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置の一例を示している。 図1乃至図3は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置の一例を示している。 図1乃至図3は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置の一例を示している。 図4乃至図7は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置の一使用例を示している。 図4乃至図7は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置の一使用例を示している。 図4乃至図7は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置の一使用例を示している。 図4乃至図7は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置の一使用例を示している。 図8A及び8Bは、この開示に従ったマウント装置におけるロック機構の一例を示している。 図8A及び8Bは、この開示に従ったマウント装置におけるロック機構の一例を示している。 図9乃至図11は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置の他の一使用例を示している。 図9乃至図11は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置の他の一使用例を示している。 図9乃至図11は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置の他の一使用例を示している。 図12乃至図15は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置用の裏当て板の一例を示している。 図12乃至図15は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置用の裏当て板の一例を示している。 図12乃至図15は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置用の裏当て板の一例を示している。 図12乃至図15は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置用の裏当て板の一例を示している。 図16A及び16Bは、この開示に従った統合されたアライメント調節機能及びロック機構を有するマウント装置を含むシステムの一例を示している。 図16A及び16Bは、この開示に従った統合されたアライメント調節機能及びロック機構を有するマウント装置を含むシステムの一例を示している。 図17は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置を使用する方法の一例を示している。
以下に説明される図1乃至図17、及び本特許文献にて本発明の原理を説明するために使用される様々な実施形態は、単に例示によるものであり、本発明の範囲を限定するように解釈されるべきでない。当業者が理解するように、本発明の原理は、あらゆる種類の好適に構成された装置又はシステムにて実装され得る。
上述のように、光学システムにおいては、ミラー、レンズ、又は他の光学デバイスを精密に位置付け、方向付け、又はアライメントするために、しばしばマウント装置が使用される。しかしながら、マウント装置は、例えば、垂直でない調節軸の使用、ロック機構の欠如、又はポッティングの使用などの、種々の欠点に悩まされることが多い。この開示は、統合されたアライメント調節機構及びロック機構を組み込んだマウント装置を記述する。当該マウント装置は、(垂直とすることができる)第1及び第2の調節軸に沿った光学デバイス又は他のデバイスの並進調節をサポートする複合的な入れ子にされたフレクシャ(複合ネスト化フレクシャ)を含み、また、ロック可能アジャスタを用いて、第1及び第2の軸に沿った調節を行うことができる。いったん位置付けられると、これらのアジャスタをロックすることで、これらの調節軸での意図せぬ動きを防ぐことができ(過酷な振動環境又は他の環境での使用を可能にする)、ロック可能アジャスタは、ポッティングを必要としない(必要に応じた将来的な調節を可能にする)。複合ネスト化フレクシャはまた、第3の調節軸(第1及び第2の軸に対して垂直とし得る)に沿った光学デバイス又は他のデバイスの追加の並進調節を可能にするとともにチップ/チルト調節を行うことを可能にする追加のロック可能アジャスタを用いて、支持構造又は他の構造に結合されることができる。いったん調節されると、これら追加のアジャスタもロックすることで、第3の調節軸での意図せぬ動きを防ぎ、更なるチップ/チルト調節を防止することができる。
斯くして、マウント装置は、とうは当該マウント装置に接続された光学デバイス又は他のデバイスの位置、向き、又はアライメントを調節することについて、より多数の自由度(例えば、5自由度など)を提供することができる。光学デバイス又は他のデバイスが、マウント装置に結合された後に回転又は他の方法で調節され得る場合、これは、少なくとも1つの追加の自由度を提供することができる。しかしながら、留意されたいことには、例えば軸対称な光学系と共に又は非常に寛容な軸外(オフアクシス)システムでマウント装置が使用される場合など、様々なシステムにおいて追加の(1つ以上の)自由度は必要とされないことがある。
以下に説明するマウント装置は、故に、高い忠実度のロック可能アジャスタの使用をサポートする並進運動調節用の新規な構成を含む。これは、ロック可能アジャスタを使用して幾つかの統合された高忠実度の調節を行うことができるので、光学システム又は他のシステムにおける改善されたアライメントを可能にする。当該マウント装置はまた、複雑なアライメントツールの使用を必要とせずに調節を行うことを可能にする。さらに、当該マウント装置は、1つの軸に沿った調節を行うのに単一のロック可能アジャスタを使用することを可能にし、これまた、調節プロセスを簡単にする。また、これら高忠実度アジャスタはロック可能であるので、これは、オーバーサイズにされた隙間をポッティングで埋める必要を低減又は排除し、マウント装置を全ての調節軸に沿ってロックすることを可能にする。加えて、このアプローチは、光学コンポーネント又は他のコンポーネントの精密アライメントに関連する時間及びコストを削減する助けとなり得る。
図1乃至図3は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置100の一例を示している。特に、図1はマウント装置100の正面斜視図を示し、図2はマウント装置100の背面斜視図を示し、図3はマウント装置100の正面正視図を示している。
図1乃至図3に示すように、マウント装置100は、概して、デバイスマウント102、内側ハブ104、及び外側ハブ106を含んでいる。デバイスマウント102は、少なくとも1つの光学コンポーネント又は他のコンポーネントをマウント装置100に結合することができるマウント装置100の部分を表す。デバイスマウント102は、例えば1つ以上のミラー、レンズ、プリズム、ビームスプリッタ、ビームエキスパンダ、フィルタ、焦点面、焦点面アレイ、カメラ、又は光検出器などの任意の好適な1つ又は複数の光学コンポーネントに結合されることができる。なお、以下ではしばしば、1つ以上の光学コンポーネントをマウントするために使用されるとして記述されるが、マウント装置100は、1つ以上の非光学コンポーネントを含め、任意の他の好適な(1つ以上の)コンポーネントと共に使用されることができる。
この例において、デバイスマウント102は、デバイスマウント102の前面に小さめの開口を形成し且つデバイスマウント102の後面に大きめの開口を形成する凹部108を含んでいる。マウント装置100に結合される光学コンポーネントは、デバイスマウント102の前面に接して配置されることができ、あるいは、少なくとも部分的にデバイスマウント102の凹部108を通されることができる。一部の実施形態において、凹部108は、デバイスマウント102の背面から留め穴110へのアクセスを提供し、留め穴110は、ボルト又はネジのような留め具が、マウント装置100に結合されるコンポーネントの中まで、凹部108及び留め穴110を通り抜けることを可能にする。この例では、各々が円形であって、三角形構成で配置された3つの留め穴110が存在しているが、これは単に例示のためである。デバイスマウント102は、任意の好適な形状及び配置を有する任意の好適数の留め穴110を含むことができる。留意されたいことには、ここでの凹部108の大きさ及び形状は単に例示のためであり、他の大きさ及び形状が使用されてもよい。これまた留意されたいことには、例えば留め穴110がデバイスマウント102の厚さ全体を貫通しており且つデバイスマウント102の中を通るコンポーネントがないと期待される場合などには、凹部108を省略することができる。
デバイスマウント102はまた、デバイスマウント102の前面からデバイスマウント102の後面まで通り抜けるポッティング穴112を含むことができる。一部の実施形態において、ポッティング穴112は、更に詳細に後述するように、マウント装置100に挿入されたロック可能アジャスタの周囲にポッティングを注入するために使用されることができる。しかしながら、ポッティングの使用はここではオプションであるので、所望であればポッティング穴112を省略することができる。同様に、更に詳細に後述するように、デバイスマウント102の後面の中まで通った第1の組のポスト穴114を使用して、補強用の裏当て板(バッキングプレート)からポストを受け入れることができる。しかしながら、裏当て板の使用はここではオプションであり、所望であればポスト穴114を省略することができる。さらに、並進及び角度を追跡するためにレーザトラッカーと共に使用され得るものである球面実装再帰反射器(spherically mounted retroreflector;SMR)ネスト又は他のターゲットを保持するために、デバイスマウント102の背面の工具穴116を使用することができる。しかしながら、この機能は必要とされないことがあり、それ故に、所望であれば工具穴116を省略することができる。
内側ハブ104は、第1の支持バーの対118a−118bを用いてデバイスマウント102に接続される。支持バー118a−118bは、第1の接続アーム120aを介して内側ハブ104に付着し、第2の接続アーム120bを介してデバイスマウント102に付着している。支持バー118a−118bは、デバイスマウント102を挟んで反対側に位置している。支持バー118a−118b及び接続アーム120a−120bは、内側ハブ104内でデバイスマウント102が単一の軸に沿って(図3における上下に)少量だけ動くことを可能にする第1のフレクシャを形成する。例えば、デバイスマウント102は、図3において上に、内側ハブ104の突起122(内側ハブ104を第1の接続アーム120aに接続している)がデバイスマウント102の突起124(デバイスマウント102を第2の接続アーム120bに接続している)に接触するまで動かされることができる。デバイスマウント102が図3において下に動かされるときにも同様の動作が起こることができる。従って、内側ハブ104の突起122は、内側ハブ104内でのデバイスマウント102の動きを制限するハードストップとして機能することができる。
内側ハブ104はまた、内側ハブ104の後面の中まで通った第2の組のポスト穴126を含むことができる。ポスト穴126は、更に詳細に後述するように、補強用の裏当て板からのポストを受け入れるために使用されることができる。しかしながら、裏当て板の使用はここではオプションであるので、所望であればポスト穴126を省略することができる。
外側ハブ106は、第2の支持バーの対128a−128bを用いて、同様のやり方で内側ハブ104に接続され、支持バー128a−128bは、第3の接続アーム130aを介して外側ハブ106に付着し、第4の接続アーム130bを介して内側ハブ104に付着している。支持バー128a−128bは、内側ハブ104を挟んで反対側に位置し、支持バー128a−128bは、第1の支持バーの対118a−118bが延在する方向に対して概して横切る方向に延在することができる。第2の支持バーの対128a−128b及び接続アーム130a−130bは、外側ハブ106内で内側ハブ104が単一の軸に沿って(図3における左右に)少量だけ動くことを可能にする第2のフレクシャを形成する。例えば、内側ハブ104は、図3において左に、外側ハブ106の突起132(外側ハブ106を第3の接続アーム130aに接続している)が内側ハブ104の突起134(内側ハブ104を第4の接続アーム130bに接続している)に接触するまで動かされることができる。内側ハブ104が図3において右に動かされるときにも同様の動作が起こることができる。従って、外側ハブ106の突起132は、外側ハブ106内での内側ハブ104の動きを制限するハードストップとして機能することができる。
ここに示す支持バー118a−118b、128a−128b及び接続アーム120a−120b、130a−130bは、直線状の構造である。これは、デバイスマウント102の動きを、これら直線状の構造によって定められる2つの軸に拘束する助けとなる。図示した例では、接続アーム120a−120b及び130a−130bは、それらの長さに沿って共通の厚さを有していない。むしろ、各接続アーム120a−120bは、概して、その中間点又はその付近で厚く、他のところで薄い。しかしながら、これは必要とされることではなく、各接続アーム120a−120bは、その長さに沿って実質的に一定の厚さを持っていてもよい。
ここで分かるように、マウント装置100は、上述の第1及び第2のフレクシャによって形成される複合ネスト化フレクシャ(複数のフレクシャが存在するから“複合”であり、第1のフレクシャが第2のフレクシャの中にあるので“ネスト化”である)を組み込んでいる。マウント装置100上に過大な力がない状態で、複合ネスト化フレクシャは、デバイスマウント102の並進運動を1つの軸に制約するとともに、内側ハブ104の並進運動を別の1つの垂直な軸に制約する。結果として、デバイスマウント102は、2つの垂直な並進調節軸に沿って、マウント装置100内で移動可能である。
外側ハブ106の1つの側面が、第1の開口136を含んでいる。更に詳細に後述するように、第1の開口136は、第1の開口136に挿入されることが可能で外側ハブ106内での内側ハブ104の位置を変更及び設定するために使用されるロック可能アジャスタを受け入れるように構成される。外側ハブ106の他の2つの側面が、内側ハブ104の開口(ここでは図示せず)と整列する第2の開口138を含んでいる。更に詳細に後述するように、各第2の開口138は、第2の開口138及び内側ハブ104の開口に挿入されることが可能で内側ハブ104内でのデバイスマウント102の位置を変更及び設定するために使用されるロック可能アジャスタを受け入れるように構成される。なお、ここでは、2つの第2の開口138が説明されているが、単一の第2の開口138に挿入される単一のロック可能アジャスタを使用して内側ハブ104内でのデバイスマウント102の位置を変更及び設定することも可能である。接続ブリッジ140を用いて内側ハブ104を第2の組の支持バー128a−128bに物理的に結合することができ、内側ハブ104の上記開口は、接続ブリッジ140の中に延在することができる。しかしながら、ここでの接続ブリッジ140はオプションであり、省略されることができる。
この例における外側ハブ106はまた、各々が第3の開口144を含む複数のフランジ142を含んでいる。更に詳細に後述するように、第3の開口144は、第3の開口144に挿入されることが可能で外側ハブ106を支持構造に結合するために使用されるロック可能アジャスタを受け入れるように構成される。また、個々のロック可能アジャスタ又はロック可能アジャスタの組み合わせを用いて、マウント装置100のチップ又はチルトを変えることができ、それが、デバイスマウント102に結合されたコンポーネントのチップ又はチルトも調節する。加えて、これらのロック可能アジャスタは全て、マウント装置100が結合された支持構造に向けて又はそれから遠ざけてマウント装置100全体を動かすために調節されることができる(これが第3の並進自由度を提供する)。この例では、3つの円形の第3の開口144を有する3つのフランジ142が存在しているが、これは単に例示のためである。外側ハブ106は、第3の開口144が任意の好適形状を持った任意の好適数のフランジ142を任意の好適構成で含むことができる。しかしながら、例えば第3の開口144が外側ハブ106の他の部分に含められる場合などにおいて、フランジ142はここでは省略されることができる。
この例における外側ハブ106は更に、補強穴146及びピン穴148を含んでいる。補強穴146は、更に詳細に後述するように、補強用の裏当て板をマウント装置100に接続するために使用されるボルト、ネジ、又は他の留め具を受け入れるネジ山付きの穴又は他の構造を表すことができる。ピン穴148は、裏当て板を設置中に好適な位置に保持するために裏当て板の穴に挿入可能なピン又は他の構造を受け入れることができる。裏当て板が所望の位置に誘導されると、補強穴146に留め具を挿入され、裏当て板を適所に固定することができる。この例では、3つの円形の補強穴146及び2つの円形のピン穴148が存在しているが、これは単に例示のためである。外側ハブ106は、任意の好適な形状及び配置を持つ任意の好適数の補強穴146及びピン穴148を含むことができる。しかしながら、裏当て板はここではオプションであるので、補強穴146及びピン穴148は省略されることができる。
この例において、デバイスマウント102、内側ハブ104、及び外側ハブ106は、概ね同軸又は同心であり、これは、それらが共通の中心軸を共有することを意味する。共通の中心軸は、ここでは、図3に示される凹部108の中心を通って延びる。しかし、これはそうである必要はない。例えば、内側ハブ104の中心軸が外側ハブ106の中心軸からオフセットされた他の実施形態、又はデバイスマウント102の中心軸が内側ハブ104、外側ハブ106、若しくはこれら両方の中心軸からオフセットされた他の実施形態を使用することもできる。
図1乃至図3に示すマウント装置100は、任意の好適な(1つ以上の)材料から形成されることができる。例えば、一部の実施形態において、マウント装置100は、アルミニウム、鋼、チタン、又は他の金属若しくは合金から形成されることができる。他の実施形態において、マウント装置100は、例えばインバー(登録商標)(一般にFeNi36又は64FeNiとしても知られる)などの低い熱膨張係数を持つ材料から形成されることができる。
マウント装置100はまた、任意の好適な手法で形成されることができる。一部の実施形態において、マウント装置100は、機械加工、射出成形、三次元(3D)プリンティング、又はマウント装置100を単一の一体構造として形成する他の製造技術によって形成されることができる。他の実施形態において、マウント装置100の個々のコンポーネントを別々に形成し、例えば溶接又はろう付けなどを介して取り付けることで、マウント装置100を形成することができる。特定の実施形態において、マウント装置100は、単一片(シングルピース)の材料から、該単一片の材料の一部を除去して完成したマウント装置100を形成するよう、ドリリング、エッチング、又は他の機械操作を用いることによって製造されることができる。
ここでのマウント装置100は、任意の好適なサイズ、形状、及び寸法を持つことができる。また、マウント装置100は、必要に応じて、より大きい又は小さいサイズへと容易にスケーリングされることができる。例えば、マウント装置100のサイズは、マウント装置100に結合される(1つ以上の)コンポーネントに基づくことができ、マウント装置100の形状は、マウント装置100が結合されることになる支持構造に基づくことができる。当然ながら、マウント装置100を設計及び製造する時に、他の又は追加の設計検討事項を考慮に入れることができる。
図1乃至図3に示す例において、マウント装置100は5自由度をサポートしており、これが意味することは、光学コンポーネント又は他のコンポーネントを適切に位置付け、方向付け、又はアライメントするために、5つの異なるやり方で調節を行うことができるということである。2つの自由度は、複合ネスト化フレクシャによってサポートされる並進自由度である。複合フレクシャは、(第1の開口136に挿入されるロック可能アジャスタを用いて)第1の方向における内側ハブ104内でのデバイスマウント102の位置の調節を可能にする。複合フレクシャはまた、(第2の開口138のうちの1つ及び内側ハブ104の対応する開口に挿入されるロック可能アジャスタを用いて)第2の方向における外側ハブ106内での内側ハブ104の位置の調節を可能にする。3つめの自由度は、第3の開口144の全てに挿入される全てのロック可能アジャスタを用いて、支持構造に向かう又はそれから遠ざかる第3の方向にマウント装置100の位置を調節することによって得ることが可能な並進自由度である。最後の2つの自由度は、チップ/チルト調節を行うために、第3の開口144に挿入されるロック可能アジャスタの一部(全てではない)を調節することによってサポートされる。上述のように、デバイスマウント102に結合される光学コンポーネント又は他のコンポーネントが(例えば回転されることによってなどで)調節されることができる場合、1つ以上の追加の自由度を得ることができる。留意すべきことには、特定の状況において全ての自由度が調節を必要とするわけではない。
調節のための多数の自由度を提供することに加えて、マウント装置100は、有用又は有益であり得る様々な更なる機構を提供する。例えば、上述の第1、第2、及び第3の方向は直交することができ、それ故に、1つの方向で為される変更は、理想的には、他の方向における光学コンポーネント又は他のコンポーネントの位置に(少なくとも任意の光学的に気付く程度又は他の有意な程度には)影響を及ぼさない。また、マウント装置100とともに使用されるアジャスタの全てがロック可能であるため、マウント装置100は、必要とされるように構成された後に、好適な構成にロックされることができる。過酷な振動環境又は過酷な他の環境で使用されるときでさえ、マウント装置100は、光学コンポーネント又は他のコンポーネントを、より確実に、所望の位置に保持することができる。さらに、一部の実施形態において、ロック可能アジャスタの全てを、同じツールを用いて調節することができ、ロック可能アジャスタとともにポッティングは必要とされない(それ故に、いつでも調節を行うことができる)。加えて、例えばマウント装置100のロックダウンによって生じる応力誘起の歪みを抑制又は防止する助けとなる裏当て板などの、様々な機構を、マウント装置100とともに使用することができる。
なお、光学コンポーネントを固定してマウントし且つ光学コンポーネントを適所に保持するために使用されるとしてマウント装置100を上述したが、マウント装置100の他の用途も可能である。例えば、ロック可能アジャスタの代わりに、制御可能なアクチュエータを、マウント装置100とともに使用することができる。制御可能なアクチュエータは、デバイスマウント102に結合された光学コンポーネント又は他のコンポーネントの位置、チップ、チルト、又は他の(1つ以上の)様相を変えるために、適切な電気的又は他の制御信号を用いて制御されることができる。これは、例えばカメラ若しくはビデオカメラにおける光学像安定化、又は他の自動調節を提供することなどのために、様々な装置及びシステムにおいて有用であり得る。この種のアプローチはまた、超解像度撮像システム又は他の高解像度撮像システムで使用されることもできる。
図1乃至図3は、統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置100の一例を示しているが、図1乃至図3には様々な変更が為され得る。例えば、マウント装置100それ自体及びその個々のコンポーネントの各々は、任意の好適なサイズ、形状、及び寸法を持つことができる。また、しばしば、光学デバイス又はコンポーネントとともに使用されるとして記述していることが多いが、マウント装置100は、正確で精密な取り付けが要求又は所望される任意の好適なデバイス又はコンポーネントとともに使用されることができる。
図4乃至図7は、統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置100の一使用例を示している。特に、図4乃至7は、光学ミラー402である光学コンポーネントに結合されるマウント装置100の使用例を示している。しかしながら、上述のように、マウント装置100は、種々のタイプの光学コンポーネント又は他のコンポーネントとともに使用されることができる。
図4乃至図7に示すように、ミラー402は概して、ミラー402の中心光軸に対して角度付けられた(斜めの)平坦な反射面を有している。使用時、このタイプのミラー402は、光ビームを受けて、該光ビームを所望の方向に向け直すために使用され得る。しかしながら、留意すべきことには、凸ミラー、凹ミラー、又は非球面ミラーを含め、ここでは様々な他のタイプのミラーを使用することができる。ミラー402のベースを、ミラーハブ404に挿入する又は他の方法で取り付けることができる。ミラーハブ404は、ミラー402をマウント装置100上に固定するために、マウント装置100にボルト止め又は他の方法で取り付けられることができる構造を表す。しかしながら、ミラー402は、他の好適なやり方で直接的又は間接的にマウント装置100に結合されてもよい。
デバイスマウント102をミラー402に結合するために、1つ以上の留め具406が使用され得る。この例では、3つの留め具406が使用されており、それらをデバイスマウント102の留め穴110に挿入することができる。これらの留め具406は、この例ではミラーハブ404のレセプタクルの中まで留め穴110を貫いて延在することができ、ミラーハブ404をデバイスマウント102に固定する。各留め具406は、例えばボルト又はネジなど、デバイスをデバイスマウントに固定接続するための任意の好適な構造を含む。
ロック可能な留め具408を、外側ハブ106の第1の開口136に挿入することが可能であり、それを用いて、外側ハブ106内での内側ハブ104の位置を制御する。上述のように、内側ハブ104は、外側ハブ106内で移動可能である(図7における左右)。従って、ロック可能な留め具408は、1つの方向でのデバイスマウント102の並進運動を提供するよう、内側ハブ104を外側ハブ106内で図7の左又は右に移動させることができる。同様に、内側ハブ104内でのデバイスマウント102の位置を制御するために、別のロック可能な留め具410を、外側ハブ106の第2の開口138のうちの1つ及び内側ハブ104の対応する第4の開口702に挿入可能である。上述のように、デバイスマウント102は、内側ハブ104内で移動可能である(図7における上下)。従って、ロック可能な留め具410は、別の1つの方向でのデバイスマウント102の並進運動を提供するよう、デバイスマウント102を内側ハブ104内で図7の上又は下に移動させることができる。
マウント装置100を支持構造に結合するために、3つの更なるロック可能な留め具412、414、416を、フランジ142の第3の開口144に挿入可能である。第3の方向でのデバイスマウント102の並進運動を提供するよう、マウント装置100を支持構造に近づける又は支持構造から遠ざけるように移動させるために、3つのロック可能な留め具412、414、及び416の全てを同じやり方で調節することができる。デバイスマウント102のチップ/チルト運動を提供するよう、個々のロック可能な留め具412、414、若しくは416、又は一部の(全てではない)ロック可能な留め具412、414、及び416の組み合わせを調節することができる。
ロック可能な留め具408−416の各々は、2つのコンポーネント間の距離を変更及び設定するように構成された任意の好適な構造を含む。例えば、一部の実施形態において、各ロック可能な留め具408−416は、以下にてその一例を説明する“プッシュプル”を含むことができる。他の実施形態において、各ロック可能な留め具408−416は、ジャムナットを備えた差動ネジを含むことができる。
使用の一態様において、技術者又は他の要員は、ミラー402又はそのハブ404をデバイスマウント102上に固定することができるものである留め具406を用いて、ミラー402又はそのハブ404をデバイスマウント102に取り付けることができる。技術者又は他の要員はまた、マウント装置100を支持構造体上に固定することができるものであるロック可能な留め具412、414、又は416を用いて、外側ハブ106を支持構造に取り付けることができる。技術者又は他の要員はまた、2つの並進調節軸に沿ってミラー402を動かすために、ロック可能な留め具408及び410に対して調節を行うことができる。技術者又は他の要員は、更なる並進調節軸に沿ってミラー402を動かすため、又はミラー402に対するチップ/チルト調節を行うために、ロック可能な留め具412、414、又は416のうちの1つ以上に対して更なる調節を行うことができる。このアプローチは、故に、少ない部品数、並びに容易な組立て及び調節プロセスをサポートする。
図4乃至7は、統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置100の一使用例を示しているが、図4乃至7には様々な変更が為され得る。例えば、マウント装置100は、他の好適な光学コンポーネント又は他のコンポーネントを支持構造にマウントするために使用されることができる。また、ロック可能な留め具408−416は、制御可能なアクチュエータで置き換えられてもよく、(1つ以上の)光学コンポーネント又は(1つ以上の)他のコンポーネントへの自動調節を提供するために、少なくとも1つのコントローラを用いてアクチュエータを制御することができる。
図8A及び8Bは、この開示に従ったマウント装置におけるロック機構800の一例を示している。図8A及び8Bに示すロック機構800は、例えば、上述のロック可能な留め具408−416のいずれかを表すことができる。しかしながら、上述のように、ロック可能な留め具408−416の他の実施形態も使用されることができる。
図8A及び図8Bに示す例において、ロック機構800は、2つの物体802及び804の間の距離を調節及び設定するために使用される“プッシュプル”デバイスを表している。物体802を静止物として参照し、物体804を可動物として参照することがあるが、これは、単に便宜上に過ぎず、物体802及び804のいずれかに対する何かしらの構造的要件を課すものではない。マウント装置100において、物体804が内側ハブ104を表すときには、物体802は外側ハブ106を表すことができ、物体804がデバイスマウント102を表すときには、物体802は内側ハブ104を表すことができる。
ここに示すように、ロック機構800は、調節ネジ806、円錐形ワッシャ808、及び止めネジ810を含む。調節ネジ806は外ネジ山を有し、物体802は対応する内ネジ山を有する。従って、調節ネジ806は、調節ネジ806の底部が物体802と804との間の空間の中まで延在するように、物体802の内ネジ山部分に挿入されることができる。調節ネジ806はまた、物体802と804との間の所望の距離を達成するように調節されることができる。
止めネジ810は外ネジ山を有し、物体804は対応する内ネジ山を有する。物体802及び804の互いに対する位置を固定するために、止めネジ810のネジ山部分が、物体804の内ネジ山部分に挿入される。止めネジ810が締め付けられると、円錐形ワッシャ808が調節ネジ806の歯を押し込み、それにより、調節ネジ806が物体802から抜け出ることを防止する。
ここでは様々な機能をサポートするために更なるワッシャ812、814、及び816が使用されている。例えば、ワッシャ812は、調節ネジ806の底部を受けて物体804からの調節ネジ806の離隔を維持するために使用される角度付けられた頂部を含むことができる。ワッシャ814は、調節ネジ806からの止めネジ810の頂部の離隔を維持するために使用され得る。ワッシャ816は、締め付けられた後の止めネジ810の不所望の回転を防止するのを助けるベルビルワッシャを表し得る。
図8A及び8Bは、マウント装置におけるロック機構800の一例を示しているが、図8A及び8Bには様々な変更が為され得る。例えば、ロック機構800それ自体及びその個々のコンポーネントの各々は、任意の好適なサイズ、形状、及び寸法を持つことができる。また、マウント装置の複数のコンポーネントを離隔させるため、及びマウント装置のコンポーネントをその位置に係止するために、他の好適なロック機構を用いてもよい。
図9乃至図11は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置100の他の一使用例を示している。この例では、レンズ又はレンズ群902が、デバイスマウント102の凹部108を貫いて挿入され、デバイスマウント102の前面及び後面を越えて延在している。しかしながら、レンズ又はレンズ群902は、デバイスマウント102の凹部108内に収まる、又はデバイスマウント102の前面又は後面(両方ではない)を越えて延在するサイズ及び形状を含め、他の好適なサイズ及び形状を持つことができる。
この特定の例において、レンズ又はレンズ群902は、筐体906内に配置された3つのレンズ904を含んでいる。2つのレンズ904は、筐体906の端部に位置しており、第3のレンズ904は、筐体906の中央又はその近傍に位置している。しかしながら、この構成は単に例示のためであり、レンズ又はレンズ群902は、デバイスマウント102に対して任意の好適構成を有する任意の好適数のレンズ(単一のレンズを含め)を含むことができる。筐体906はここでは、デバイスマウント102の留め穴110に挿入される留め具による結合を可能にするフランジを含むことができるが、筐体906は、他の好適なやり方でデバイスマウント102に固定されることができる。
図9乃至11は、統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置100の他の一使用例を示しているが、図9乃至11には様々な変更が為され得る。例えば、マウント装置100は、他の好適な光学コンポーネント又は他のコンポーネントを支持構造にマウントするために使用されることができる。
図12乃至図15は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置100とともに使用される裏当て板(バッキングプレート)1200の一例を示している。裏当て板1200は、マウント装置100に追加の剛性又は他の補強を提供するために使用され得る。これは、例えば、マウント装置100の、又はマウント装置100に結合されたコンポーネントの、マウント装置100のロックダウンによって生じる応力誘起の歪みを抑制又は回避するために有用であり得る。なお、この例でのマウント装置100はミラー402に結合されているが、マウント装置100は、他の好適な(1つ以上の)光学又は非光学コンポーネントに結合されることができる。
図12乃至15に示すように、裏当て板1200は概して、平坦なプレートを表し、それは、一部の実施形態において、マウント装置100の背面側の形状に相補的である又は一致する形状を持つことができる。この例において、裏当て板1200は、マウント装置100の第3の開口144と概ね整列する開口1202を含んでいる。裏当て板1200の開口1202は、マウント装置100の第3の開口144と同じサイズを持っていてもよいし、又は(ロック可能な留め具412、414、及び416が第3の開口144の中へと開口1202を通り抜けることができる限り)異なるサイズを持っていてもよい。
裏当て板1200はまた、裏当て板1200をマウント装置100に固定するために留め具1206が通り抜けることができる幾つかの留め具穴1204を含んでいる。例えば、留め具1206は、外側ハブ106の補強穴146の中へと留め具穴1204を通り抜けるボルト、ネジ、又は他のコネクタを表すことができる。上述のように、外側ハブ106の補強穴146は、裏当て板1200をマウント装置100上に固定するために留め具1206を受け入れるネジ山付きの穴又は他の構造とすることができる。裏当て板1200は更に、幾つかのピン穴1208を含んでおり、設置中に裏当て板1200を適所に保持するのを助けるために、外側ハブ106のピン穴148に挿入されたピン1210が裏当て板1200のピン穴1208に入ることができる。
さらに、裏当て板1200は幾つかのポスト1212を含んでおり、ポスト1212は、プレートから延びる突起を表し、デバイスマウント102の第1の組のポスト穴114及び内側ハブ104の第2の組のポスト穴126に挿入可能である。これは、マウント装置100の複合ネスト化フレクシャを形成する双方のフレクシャを係合させるために、裏当て板1200がデバイスマウント102及び内側ハブ104と係合することを可能にする。ここではポスト穴114及び126は“オーバーサイズ”にされており、つまり、各ポスト穴114及び126が、対応するポスト1212の断面サイズよりも大きい断面サイズを持っている。結果として、裏当て板1200のポスト1212は、上述のデバイスマウント102及び内側ハブ104の位置の調節にかかわらず、マウント装置100のポスト穴114及び126に挿入されることができる。裏当て板1200を貫いて且つポスト1212を貫いて、注入チャネル1214が延在する。フレクシャがそれらの所望の位置にセットされると、注入チャネル1214を通して、ポスト穴114及び126の中に残っている空間に接着剤が注入することができる。これは、内側ハブ104及びデバイスマウント102を裏当て板1200に固定する助けとなり得る。
図12乃至15は、統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置100とともに使用される裏当て板1200の一例を示しているが、図12乃至15には様々な変更が為され得る。例えば、裏当て板1200は、他の好適なサイズ、形状、及び寸法を持つことができ、マウント装置100の輪郭に近く一致する必要はない。また、裏当て板1200は、他の好適なやり方でマウント装置100に固定されてもよい。
図16A及び16Bは、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置100を含むシステム1600の一例を示している。特に、図16A及び16Bは、光ビームの向きを変えるためにミラー402とともに単一のマウント装置100が使用されるシステム1600の一例を示している。
図16A及び16Bに示すように、入射光ビーム1602を、例えば望遠鏡又は他の構造を介してなどで、ミラー1604で受光することができる。ミラー1604は、光ビーム1602を集束させるとともに、集束光ビームをミラー402上へと向け直す。次いで、ミラー402が、集束光ビームを1つ以上の更なる光学デバイス1606へと向け直す。(1つ以上の)更なる光学デバイス1606は、任意の好適な(1つ以上の)機能をサポートすることができる。例えば、更なる光学デバイス1606は、光ビームを複数の異なる部分に分割するための1つ以上のスプリッタ、光ビーム又はその部分の方向を変えるための1つ以上の追加ミラー、並びに光ビーム又はその部分を測定又は検知するための1つ以上のカメラ又は他の検出器若しくはセンサを含むことができる。一般に、システム1600は、何らかのやり方で少なくとも1つの光ビームを受けて処理するように構成された好適な焦点光学系又は無限焦点光学系のコンポーネントを含み得る。ここでは、“処理”は、光ビームを向け直すこと、光ビームを集束させたり広げたりすること、光ビームを分割すること、光ビーム同士を結合すること、光ビームの1つ以上の特性を測定すること、又はビームを何らかのやり方で変更又は測定する他の機能を含むことができる。ハウジング1608が、ミラー1604及び402、並びに更なる光学デバイス1606を取り囲む又はその他のやり方で収容する。ハウジング1608は、それにマウント装置100が結合され得る支持構造を表す。
一部の実施形態において、更なる光学デバイス1606は、パッケージングされて、陸上車両、航空機、若しくは宇宙船、又は他の固定された若しくは移動可能な構造上に設置されることができる。更なる光学デバイス1606が所望の動作を行うように、それら自身のパッケージ内で更なる光学デバイス1606は、精密に位置付けられ、方向付けられ、アライメントされ得る。同様に、光ビーム1602を受ける望遠鏡(及びそれに付随するミラー1604)は、陸上車両、航空機、若しくは宇宙船、又は他の固定された若しくは移動可能な構造上に設置されることができる。しかしながら、望遠鏡、及び光学デバイス1606を収容するパッケージの具体的な位置及び向きは、全ての車両又は他の固定された若しくは移動可能な構造にわたって正確に一貫しているわけではない。ミラー402がハウジング1608上の所定の位置に単にマウントされる場合には、ミラー1604からの集束入射ビームが更なる光学デバイス1606へと期待通りには向け直されないことがあるので、光学システム1600は乏しく又はあまり最適でなく動作してしまい得る。ミラー402をマウント装置100にマウントし、且つ装置100をハウジング1608にマウントすることによって、マウント装置100が、ミラー402の位置、向き、又はアライメントが必要通りに調節されることを可能にする。これは、システム1600のより正確な動作を容易にする助けとなる。
図16A及び16Bは、統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置100を含むシステム1600の一例を示しているが、図16A及び16Bには様々な変更が為され得る。例えば、システム1600は、任意の数のマウント装置100を使用してマウントされる任意の数のコンポーネントを含むことができる。また、マウント装置100の1つ以上のインスタンスを、他の好適なやり方で使用してもよい。
図17は、この開示に従った統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置を使用する方法1700の一例を示している。説明を容易にするために、マウント装置100を光学デバイス(例えば、ミラー402又はレンズ/レンズ群902など)及び裏当て板1200とともに使用するものとして、方法1700を説明する。しかしながら、方法1700は、任意の好適な(1つ以上の)光学又は他のコンポーネントとともに任意の好適な(1つ以上の)マウント装置を使用することを含むことができ、裏当て板の使用はオプションである。
図17に示すように、ステップ1702にて、ロック可能アジャスタがマウント装置に挿入される。これは、例えば、マウント装置100の第1の開口136にロック可能な留め具408を挿入することと、マウント装置100の第2の開口138にロック可能な留め具410を挿入することとを含み得る。ステップ1704にて、更なるロック可能アジャスタを用いて、マウント装置が支持構造に固定される。これは、例えば、マウント装置100の第3の開口144にロック可能な留め具412−416を挿入することを含み得る。これはまた、ロック可能な留め具412−416を用いて、マウント装置100を、より大きい装置又はシステムのハウジング1608又は他の構造に取り付けることを含み得る。
ステップ1706にて、マウント装置に少なくとも1つの光学コンポーネント又は他のコンポーネントが結合される。これは、例えば、マウント装置100の留め穴110に留め具406を通し、そして、留め具406を用いて、マウント装置100のデバイスマウント102にミラー402又はレンズ/レンズ群902を固定することを含み得る。しかしながら、他の好適な技術を使用して、マウント装置100のデバイスマウント102に1つ以上のコンポーネントを固定的に又は取り外し可能に取り付けてもよい。
ステップ1708にて、ロック可能アジャスタを用いて、少なくとも1つの光学コンポーネント又は他のコンポーネントへの並進調節を実行することができる。これは、例えば、ロック可能な留め具408を用いて、1つの軸に沿って外側ハブ106内で内側ハブ104を移動させることと、ロック可能な留め具410を用いて、他の軸に沿って内側ハブ104内でデバイスマウント102を移動させることとを含み得る。これら2つの軸は直交することができる。
ステップ1710にて、上記更なるロック可能アジャスタを用いて、少なくとも1つの光学コンポーネント又は他のコンポーネントへの更なる並進調節及びチップ/チルト調節を実行することができる。これは、例えば、ロック可能な留め具412−416の全てを調節して、マウント装置100を、第3の軸に沿って、ハウジング1608又は他の支持構造に近づける又は遠ざけるように移動させることを含み得る。3つの軸は全て直交することができる。これはまた、ロック可能な留め具412−416のうちの1つ又は一部(全てではない)を調節して、(1つ以上の)コンポーネントのチップ/チルトを変えることを含み得る。
望まれる場合、ステップ1712にて、裏当て板が、マウント装置に取り付けられて、マウント装置の複合フレクシャと係合することができる。これは、例えば、裏当て板1200を外側ハブ106に固定するために、裏当て板1200の留め具穴1204に、マウント装置100の補強穴146の中へと、留め具1206を通すことを含み得る。これはまた、マウント装置100のピン1210を、裏当て板1200のピン穴1208に挿入することと、裏当て板1200のポスト1212を、マウント装置100のポスト穴114及び126に挿入することとを含み得る。これは更に、注入チャネル1214を通して接着剤を注入して、マウント装置100のポスト穴114及び126内の残りの空間を充填することを含み得る。
図17は、統合されたアライメント調節機構及びロック機構を有するマウント装置を使用する方法1700の一例を示しているが、図17には様々な変更が為され得る。例えば、一連のステップとして示されているが、図17における様々なステップは、重複してもよいし、並列に行われてもよいし、異なる順序で行われてもよいし、あるいは複数回行われてもよい。特定の一例として、マウント装置100は、光学コンポーネント又は他のコンポーネントがマウント装置100に結合された後に支持構造に結合されてもよい。
この特許文献の全体を通して使用される特定の単語及びフレーズの定義を説明しておくことが有益であるかもしれない。用語“含む”及び“有する”、並びにこれらの派生語は、限定なしでの包含を意味する。用語“又は”は、及び/又はを意味する包括的なものである。“〜と関連付けられる”なる言い回し、及びその派生語は、〜を含む、〜の中に含まれる、〜と相互接続される、〜を含有する、〜内に含有される、〜に又は〜と接続する、〜に又は〜と結合する、〜と通信可能である、〜と協働する、〜と交互である、〜と隣り合う、〜に近接した、〜に又は〜と結合される、〜を有する、〜の特性を有する、〜に又は〜と関係を有する、又はこれらに類するものを意味し得る。“〜のうちの少なくとも1つ”なる言い回しは、アイテムのリストとともに使用されるとき、リストアップされたアイテムのうちの1つ以上の様々な組み合わせが使用され得ることを意味し、リスト内の1つのアイテムのみが必要とされることもある。例えば、“A、B、及びCのうちの少なくとも1つ”は、以下の組み合わせ:A、B、C、AとB、AとC、BとC、及びAとBとC、のうちの何れをも含む。
本特許文献における記載は、特定の要素、ステップ、又は機能がクレーム範囲に含まれていなければならない必須又は重要な要素であることを意味するものとして読まれるべきでない。また、クレームは何れも、その特定のクレーム中で“する手段”又は“するステップ”なるそのままの語が、機能を特定する特定の言い回しに続かれて、明示的に使用されない限り、添付のクレーム又はクレーム要素に関して35USC第112節(f)を行使することを意図していない。クレーム内での、例えば(以下に限られないが)“機構”、“モジュール”、“デバイス”、“ユニット”、“コンポーネント”、“要素”、“部材”、“装置”、“機械”、“システム”、“プロセッサ”、“プロセッシングデバイス”、又は“コントローラ”などの用語の使用は、クレームの特徴自体によって更に改良又は強化されるような、当業者に知られた構造を指すものと理解及び意図されるものであり、35USC第112節(f)を行使することを意図するものではない。
本開示は、特定の実施形態及び概して関連する方法を述べてきたが、これらの実施形態及び方法の改変及び並べ替えが当業者に明らかになる。従って、以上の実施形態例の説明は、本開示を定めたり制約したりするものではない。以下の請求項によって規定される本開示の精神及び範囲を逸脱することなく、その他の変形、代用、及び改変も可能である。

Claims (20)

  1. 装置であって、
    コンポーネントに結合されるように構成されたデバイスマウントと、
    第1のフレクシャによって前記デバイスマウントに結合された内側ハブであり、前記第1のフレクシャは、第1の軸に沿った、前記内側ハブ内での前記デバイスマウントの並進運動を可能にするように構成される、内側ハブと、
    第2のフレクシャによって前記内側ハブに結合された外側ハブであり、前記第2のフレクシャは、前記第1の軸とは異なる第2の軸に沿った、前記外側ハブ内での前記デバイスマウント及び前記内側ハブの並進運動を可能にするように構成され、前記第1及び第2のフレクシャは、複合ネスト化フレクシャを形成する、外側ハブと、
    を有し、
    前記外側ハブは、支持構造に結合されるように、及び(i)前記第1及び第2の軸とは異なる第3の軸に沿った当該装置の並進運動と、(ii)当該装置のチップ/チルト調節と、の両方を可能にするように構成されている、
    装置。
  2. 前記第1の軸に沿った前記並進運動を制御するために、前記内側ハブ内での前記デバイスマウントの動きを制御するように構成された第1のロック可能アジャスタと、
    前記第2の軸に沿った前記並進運動を制御するために、前記外側ハブ内での前記内側ハブの動きを制御するように構成された第2のロック可能アジャスタと、
    前記外側ハブを前記支持構造に結合するように、及び前記第3の軸に沿った前記並進運動と前記チップ/チルト調節とを制御するように構成された複数の第3のロック可能アジャスタと、
    を更に有する請求項1に記載の装置。
  3. 前記第1、第2、及び第3のロック可能アジャスタは、前記デバイスマウント、前記内側ハブ、及び前記外側ハブの意図せぬ動きを防止するためにロックされるように構成されている、請求項2に記載の装置。
  4. 前記第1のロック可能アジャスタは、前記デバイスマウントの動きを、前記第2及び第3の軸に沿っては生じさせずに、前記第1の軸に沿ってのみ生じさせるように構成され、
    前記第2のロック可能アジャスタは、前記内側ハブ及び前記デバイスマウントの動きを、前記第1及び第3の軸に沿っては生じさせずに、前記第2の軸に沿ってのみ生じさせるように構成されている、
    請求項2に記載の装置。
  5. 前記外側ハブは、
    前記外側ハブの側面に位置して、前記第1のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された第1の開口、
    前記外側ハブの少なくとも1つの他の側面に位置して、前記第2のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された少なくとも1つの第2の開口、及び
    前記外側ハブの複数の異なる側面から延在した複数のフランジであり、前記複数の第3のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された複数の第3の開口を有する複数のフランジ、
    を有し、
    前記内側ハブは、前記第2のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された第4の開口を有する、
    請求項2に記載の装置。
  6. 当該装置は更に、前記外側ハブに取り付けられるように構成された裏当て板を有し、
    前記裏当て板は、前記内側ハブ及び前記デバイスマウントのポスト穴に挿入されるように構成されたポストを有し、
    各ポストが、前記ポスト穴のうちの対応する1つ内へと接着剤が該ポストを通り抜けることを可能にするように構成された注入チャネルを有する、
    請求項1に記載の装置。
  7. 前記第1のフレクシャは、前記デバイスマウントを挟んで反対側の第1の支持バーの対と、該第1の支持バーの対を前記デバイスマウント及び前記内側ハブに結合する第1及び第2の接続アームとを有し、
    前記第2のフレクシャは、前記内側ハブを挟んで反対側の第2の支持バーの対と、該第2の支持バーの対を前記内側ハブ及び前記外側ハブに結合する第3及び第4の接続アームとを有し、
    前記第1及び第2の支持バーの対は、互いに対して横切る方向に延在する、
    請求項1に記載の装置。
  8. 少なくとも1つの光ビームを受け取って処理するように構成された複数の光学コンポーネントと、
    前記光学コンポーネントのうちの1つ以上の位置、向き、又はアライメントを調節するように構成された少なくとも1つのマウント装置と、
    を有し、
    各マウント装置が、
    前記光学コンポーネントのうちの少なくとも1つに結合されるように構成されたデバイスマウントと、
    第1のフレクシャによって前記デバイスマウントに結合された内側ハブであり、前記第1のフレクシャは、第1の軸に沿った、前記内側ハブ内での前記デバイスマウントの並進運動を可能にするように構成される、内側ハブと、
    第2のフレクシャによって前記内側ハブに結合された外側ハブであり、前記第2のフレクシャは、前記第1の軸とは異なる第2の軸に沿った、前記外側ハブ内での前記デバイスマウント及び前記内側ハブの並進運動を可能にするように構成され、前記第1及び第2のフレクシャは、複合ネスト化フレクシャを形成する、外側ハブと、
    を有し、
    前記外側ハブは、支持構造に結合されるように、及び(i)前記第1及び第2の軸とは異なる第3の軸に沿った該マウント装置の並進運動と、(ii)該マウント装置のチップ/チルト調節と、の両方を可能にするように構成されている、
    システム。
  9. 各マウント装置が更に、
    前記第1の軸に沿った前記並進運動を制御するために、前記内側ハブ内での前記デバイスマウントの動きを制御するように構成された第1のロック可能アジャスタと、
    前記第2の軸に沿った前記並進運動を制御するために、前記外側ハブ内での前記内側ハブの動きを制御するように構成された第2のロック可能アジャスタと、
    前記外側ハブを前記支持構造に結合するように、及び前記第3の軸に沿った前記並進運動と前記チップ/チルト調節とを制御するように構成された複数の第3のロック可能アジャスタと、
    を有する、請求項8に記載のシステム。
  10. 各マウント装置の前記第1、第2、及び第3のロック可能アジャスタは、該マウント装置の前記デバイスマウント、前記内側ハブ、及び前記外側ハブの意図せぬ動きを防止するためにロックされるように構成されている、請求項9に記載のシステム。
  11. 各マウント装置において、
    前記第1のロック可能アジャスタは、前記デバイスマウントの動きを、前記第2及び第3の軸に沿っては生じさせずに、前記第1の軸に沿ってのみ生じさせるように構成され、
    前記第2のロック可能アジャスタは、前記内側ハブ及び前記デバイスマウントの動きを、前記第1及び第3の軸に沿っては生じさせずに、前記第2の軸に沿ってのみ生じさせるように構成されている、
    請求項9に記載のシステム。
  12. 各マウント装置において、
    前記外側ハブは、
    前記外側ハブの側面に位置して、前記第1のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された第1の開口、
    前記外側ハブの少なくとも1つの他の側面に位置して、前記第2のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された少なくとも1つの第2の開口、及び
    前記外側ハブの複数の異なる側面から延在した複数のフランジであり、前記複数の第3のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された複数の第3の開口を有する複数のフランジ、
    を有し、
    前記内側ハブは、前記第2のロック可能アジャスタを受け入れるように構成された第4の開口を有する、
    請求項9に記載のシステム。
  13. 各マウント装置が更に、該マウント装置の前記外側ハブに取り付けられるように構成された裏当て板を有し、
    前記裏当て板は、該マウント装置の前記内側ハブ及び前記デバイスマウントのポスト穴に挿入されるように構成されたポストを有し、
    各ポストが、前記ポスト穴のうちの対応する1つ内へと接着剤が該ポストを通り抜けることを可能にするように構成された注入チャネルを有する、
    請求項8に記載のシステム。
  14. 各マウント装置において、
    前記第1のフレクシャは、前記デバイスマウントを挟んで反対側の第1の支持バーの対と、該第1の支持バーの対を前記デバイスマウント及び前記内側ハブに結合する第1及び第2の接続アームとを有し、
    前記第2のフレクシャは、前記内側ハブを挟んで反対側の第2の支持バーの対と、該第2の支持バーの対を前記内側ハブ及び前記外側ハブに結合する第3及び第4の接続アームとを有し、
    前記第1及び第2の支持バーの対は、互いに対して横切る方向に延在する、
    請求項8に記載のシステム。
  15. マウント装置の外側ハブを支持構造に結合し、
    前記マウント装置のデバイスマウントにコンポーネントを結合し、
    第1のフレクシャを用いて、第1の軸に沿った、前記マウント装置の前記内側ハブ内での前記デバイスマウントの並進運動を生じさせ、
    第2のフレクシャを用いて、前記第1の軸とは異なる第2の軸に沿った、前記マウント装置の前記外側ハブ内での前記デバイスマウント及び前記内側ハブの並進運動を生じさせ、前記第1及び第2のフレクシャは、複合ネスト化フレクシャを形成し、
    前記第1及び第2の軸とは異なる第3の軸に沿った前記マウント装置の並進運動と、前記マウント装置のチップ/チルト調節とを生じさせる、
    ことを有する方法。
  16. 前記第1の軸に沿った前記デバイスマウントの前記並進運動を生じさせることは、第1のロック可能アジャスタを使用することを有し、
    前記第2の軸に沿った前記デバイスマウント及び前記内側ハブの前記並進運動を生じさせることは、第2のロック可能アジャスタを使用することを有し、
    前記第3の軸に沿った前記マウント装置の並進運動と、前記マウント装置のチップ/チルト調節とを生じさせることは、前記外側ハブを前記支持構造に結合する第3のロック可能アジャスタを使用することを有する、
    請求項15記載の方法。
  17. 前記デバイスマウント、前記内側ハブ、及び前記外側ハブの意図せぬ動きを防止するために、前記第1、第2、及び第3のロック可能アジャスタをロックする、
    ことを更に有する請求項16に記載の方法。
  18. 裏当て板のポストを、前記内側ハブ及び前記デバイスマウントのポスト穴に挿入し、
    前記裏当て板を前記外側ハブに取り付け、
    前記ポスト内の注入チャネルを通して、対応するポスト穴の中に接着剤を注入する、
    ことを更に有する請求項15に記載の方法。
  19. 前記第1のフレクシャは、前記デバイスマウントを挟んで反対側の第1の支持バーの対と、該第1の支持バーの対を前記デバイスマウント及び前記内側ハブに結合する第1及び第2の接続アームとを有し、
    前記第2のフレクシャは、前記内側ハブを挟んで反対側の第2の支持バーの対と、該第2の支持バーの対を前記内側ハブ及び前記外側ハブに結合する第3及び第4の接続アームとを有し、
    前記第1及び第2の支持バーの対は、互いに対して横切る方向に延在する、
    請求項15に記載の方法。
  20. 前記第1、第2、及び第3の軸は直交する、請求項15に記載の方法。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11982861B2 (en) 2018-10-26 2024-05-14 Thorlabs, Inc. Pre-aligned optical mounts
EP3928139B1 (en) * 2019-04-09 2024-04-24 BAE SYSTEMS plc A mount
EP4009898A1 (en) 2019-08-09 2022-06-15 Alcon Inc. Tray arm assembly including a joint with a two-tier friction mechanism
US11662601B2 (en) * 2020-11-04 2023-05-30 Cognex Corporation Flexure arrangements for optical components
EP4088084A1 (en) 2021-02-07 2022-11-16 Arizona Optical Metrology LLC Alignment of a measurement optical system and a sample under test
CN114942502B (zh) * 2021-02-09 2024-03-26 长春长光华大智造测序设备有限公司 调节装置及其使用方法
US20230349442A1 (en) * 2022-04-28 2023-11-02 Raytheon Company Shock isolator with flexures and stop mechanism
DE102022207312A1 (de) * 2022-07-18 2024-01-18 Carl Zeiss Smt Gmbh Optisches system und projektionsbelichtungsanlage
WO2024120941A1 (en) * 2022-12-09 2024-06-13 Carl Zeiss Smt Gmbh Mirror socket, optical system and projection exposure apparatus

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000110909A (ja) * 1998-09-30 2000-04-18 Kyocera Corp 直線案内装置
JP2000180729A (ja) * 1998-12-10 2000-06-30 Tokyo Seimitsu Co Ltd 顕微鏡チルト機構
JP2006139893A (ja) * 2004-10-14 2006-06-01 Funai Electric Co Ltd 光ヘッド及び光ディスク装置
JP2007057256A (ja) * 2005-08-22 2007-03-08 Jeol Ltd Xyステージ
JP2008517348A (ja) * 2004-10-19 2008-05-22 レイセオン・カンパニー 6自由度で位置付け調節するための光学装着体
US9370865B1 (en) * 2012-05-23 2016-06-21 Western Digital Technologies, Inc. Flexure based compliance device for use with an assembly device

Family Cites Families (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3063312A (en) 1961-01-30 1962-11-13 Heinz W Mueller Combined drill and countersinking tool
US3152818A (en) 1961-05-08 1964-10-13 Bastian Blessing Co Bracket hold-down device
US3094022A (en) 1961-05-19 1963-06-18 Curtiss Wright Corp Threaded stud extractor tool
US3672231A (en) 1969-07-18 1972-06-27 Gen Electric Closed-loop fluidic analog accelerometer
US4023891A (en) * 1975-12-15 1977-05-17 Gte Sylvania Incorporated Adjustable mirror mount assembly
US4525852A (en) 1983-03-15 1985-06-25 Micronix Partners Alignment apparatus
US4559717A (en) * 1984-02-21 1985-12-24 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Flexure hinge
JPS6197572A (ja) 1984-10-19 1986-05-16 Nissan Motor Co Ltd 半導体加速度センサの製造方法
US4912809A (en) 1985-01-11 1990-04-03 Kawneer Company, Inc. Tandem cone bolt anchor mounting assembly
US4772109A (en) 1986-09-26 1988-09-20 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Precision adjustable stage
US4882933A (en) 1988-06-03 1989-11-28 Novasensor Accelerometer with integral bidirectional shock protection and controllable viscous damping
US5165279A (en) 1989-07-06 1992-11-24 Sundstrand Corporation Monolithic accelerometer with flexurally mounted force transducer
US5110195A (en) 1990-03-14 1992-05-05 Massachusetts Institute Of Technology High bandwidth steering mirror
US5123310A (en) 1991-02-22 1992-06-23 Mcnc Socket for turning fastener heads having deformed head surfaces
FR2682766B1 (fr) 1991-10-21 1995-07-13 Asulab Sa Capteur de mesure d'une grandeur physique.
US5249197A (en) 1991-11-15 1993-09-28 Amoco Corporation Mounting for an optical component
US5303080A (en) 1993-04-01 1994-04-12 Eastman Kodak Company Beam scanning system including actively-controlled optical head
US5594170A (en) 1994-06-15 1997-01-14 Alliedsignal Inc. Kip cancellation in a pendulous silicon accelerometer
EP0693690B1 (en) 1994-06-29 1999-04-28 New Sd, Inc. Accelerometer and method of manufacture
JP3525313B2 (ja) 1995-06-30 2004-05-10 太平洋セメント株式会社 レバー変位拡大機構付位置決め装置
US5703683A (en) * 1996-05-28 1997-12-30 Ohmeda Inc. Extruded wobble plate optical alignment device
US5757561A (en) 1996-11-26 1998-05-26 Newport Corporation Precision optical mounts
US6263735B1 (en) 1997-09-10 2001-07-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Acceleration sensor
JP2965009B2 (ja) 1997-09-11 1999-10-18 日本電気株式会社 光学部品の光軸調整装置
US5986827A (en) 1998-06-17 1999-11-16 The Regents Of The University Of California Precision tip-tilt-piston actuator that provides exact constraint
JP4613396B2 (ja) 2000-06-28 2011-01-19 株式会社ニコン 走査型共焦点顕微鏡及びその遮光板の位置調整方法
EP1267458B1 (de) * 2001-06-15 2004-03-17 TRUMPF LASERTECHNIK GmbH Lagerfuss und -vorrichtung, insbesondere für einen Laserresonator
US6813225B2 (en) 2001-08-20 2004-11-02 Asm Assembly Automation Limited Linear motor driven mechanism using flexure bearings for opto-mechanical devices
US6817104B2 (en) 2002-05-15 2004-11-16 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. X-Y stage apparatus
US6922293B2 (en) 2002-07-02 2005-07-26 Nikon Corporation Kinematic optical mounting assembly with flexures
EP1394554B1 (en) 2002-08-30 2011-11-02 STMicroelectronics Srl Process for the fabrication of a threshold acceleration sensor
US7110634B2 (en) 2003-07-02 2006-09-19 Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc Optic switching mechanism
JP4431773B2 (ja) 2003-09-24 2010-03-17 イイファス株式会社 セキュリティナット締結用工具、セキュリティナット解除用工具およびセキュリティナット締結兼解除用工具
US7117724B1 (en) 2004-04-07 2006-10-10 James G. Goodberlet Flexure-beam actuator and stage for micro- and nano-positioning
FR2876755B1 (fr) 2004-10-20 2007-01-26 Pcm Pompes Sa Dispositif de pompage a pompe a cavites progressives
DE102004062307A1 (de) * 2004-12-23 2006-07-13 BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH Linearverdichter
JP2006317255A (ja) 2005-05-12 2006-11-24 Tdk Corp センサ支持機構、センサ支持機構アセンブリ及びロータリエンコーダ
DE102006049597B4 (de) 2006-10-20 2008-10-02 Institut für Mikroelektronik und Mechatronik Systeme gGmbH Vorrichtung zum Einkoppeln von Licht in eine Lichtleitfaser
US7954215B2 (en) 2007-03-19 2011-06-07 Epson Toyocom Corporation Method for manufacturing acceleration sensing unit
US20090097144A1 (en) 2007-10-15 2009-04-16 Seo Precision, Inc. Fast steering mirror
JP2010223952A (ja) 2009-02-24 2010-10-07 Seiko Epson Corp 加速度センサー、電子機器
US8085482B2 (en) * 2010-05-27 2011-12-27 Corning Incorporated X-Y adjustable optical mount with Z rotation
JP5824876B2 (ja) 2011-05-30 2015-12-02 セイコーエプソン株式会社 物理量検出器の製造方法
US9733448B1 (en) 2011-09-13 2017-08-15 Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. Flexure-based focus mechanism
US9222956B2 (en) 2013-11-26 2015-12-29 Raytheon Company High bandwidth linear flexure bearing
US9960340B2 (en) 2014-08-15 2018-05-01 Thorlabs, Inc. Amplified piezo actuator with coarse adjustment
US9520548B2 (en) 2014-08-15 2016-12-13 Thorlabs, Inc. Amplified piezo actuator with motorized adjustment screw
US10451216B2 (en) 2015-08-26 2019-10-22 Raytheon Company Method and apparatus for multiple degree of freedom precision adjustable mount
US11258158B2 (en) 2017-08-17 2022-02-22 Raytheon Company Apparatus and method for providing linear motion of a device

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000110909A (ja) * 1998-09-30 2000-04-18 Kyocera Corp 直線案内装置
JP2000180729A (ja) * 1998-12-10 2000-06-30 Tokyo Seimitsu Co Ltd 顕微鏡チルト機構
JP2006139893A (ja) * 2004-10-14 2006-06-01 Funai Electric Co Ltd 光ヘッド及び光ディスク装置
JP2008517348A (ja) * 2004-10-19 2008-05-22 レイセオン・カンパニー 6自由度で位置付け調節するための光学装着体
JP2007057256A (ja) * 2005-08-22 2007-03-08 Jeol Ltd Xyステージ
US9370865B1 (en) * 2012-05-23 2016-06-21 Western Digital Technologies, Inc. Flexure based compliance device for use with an assembly device

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