JP2021527854A - 導波路構造体の製造 - Google Patents
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Abstract
Description
この出願は、2018年5月22日付にて出願された米国仮出願第62/674,853号の利益を主張するものであり、その内容の全体が参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (44)
- 導波路層から少なくとも1つの固体コア導波路を形成する導波路構造体を製造するための方法であって、前記方法は、
流体チャネルを前記導波路層内にエッチングするステップと、
第1のエアギャップおよび第2のエアギャップを前記導波路層内にエッチングするステップであって、前記第1のエアギャップおよび前記第2のエアギャップをエッチングすることにより、前記第1のエアギャップと前記第2のエアギャップとの間の前記導波路層に固体コア導波路を作製するステップと、
前記流体チャネルを封入するようにカバー層を前記導波路層に取り付けるステップと、
を含む方法。 - 前記導波路層は、第1の酸化物層および第2の酸化物層を含み、前記第1の酸化物層は、前記第2の酸化物層の第1の側にあり、第1の屈折率を有し、前記第2の酸化物層は、前記第1の屈折率よりも低い第2の屈折率を有する、
請求項1記載の方法。 - 前記流体チャネルをエッチングするステップは、前記第2の酸化物層および前記第1の酸化物層内に一度にエッチングすることを含み、
前記第1のエアギャップをエッチングするステップは、前記第2の酸化物層および前記第1の酸化物層内に一度にエッチングすることを含み、
前記第2のエアギャップをエッチングするステップは、前記第2の酸化物層および前記第1の酸化物層内に一度にエッチングすることを含む、
請求項2記載の方法。 - 前記導波路層は、前記第2の酸化物層の前記第1の側の反対側の第2の側に第3の酸化物層をさらに含み、前記第3の酸化物層は、前記第1の屈折率よりも低い第3の屈折率を有し、
前記流体チャネルをエッチングするステップは、前記第3、第2および第1の酸化物層内に一度にエッチングすることを含み、
前記第1のエアギャップをエッチングするステップは、前記第3、第2および第1の酸化物層内に一度にエッチングすることを含み、
前記第2のエアギャップをエッチングするステップは、前記第3、第2および第1の酸化物層内に一度にエッチングすることを含む、
請求項2または3記載の方法。 - 前記方法は、前記導波路層をドープして、周囲の屈折率よりも低いドープ屈折率を有する前記導波路層内に1つ以上のドープ領域を作製するステップをさらに含み、前記1つ以上のドープ領域は、前記固体コア導波路に隣接している、
請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。 - 前記1つ以上のドープ領域は、前記第1のエアギャップおよび前記第2のエアギャップに隣接している、
請求項5記載の方法。 - 前記1つ以上のドープ領域は、前記流体チャネルに隣接している、
請求項5または6記載の方法。 - 前記方法は、前記導波路層をドープして、周囲の屈折率よりも高いドープ屈折率を有する前記導波路層内に1つ以上のドープ領域を作製するステップをさらに含み、前記1つ以上のドープ領域は、前記固体コア導波路を形成する、
請求項1から7までのいずれか1項記載の方法。 - 前記導波路構造体は、ARROW層を含み、
前記流体チャネルをエッチングするステップは、前記ARROW層内にエッチングすることなく前記導波路層内にエッチングすることを含み、
前記第1のエアギャップをエッチングするステップは、前記ARROW層内にエッチングすることなく前記導波路層内にエッチングすることを含み、
前記第2のエアギャップをエッチングするステップは、前記ARROW層内にエッチングすることなく前記導波路層内にエッチングすることを含む、
請求項1から8までのいずれか1項記載の方法。 - 前記導波路構造体は、ARROW層を含み、
前記導波路構造体は、前記流体チャネルに対応する位置で、前記ARROW層と前記導波路層との間にエッチストップ層を含み、
前記流体チャネルをエッチングするステップは、
前記ARROW層内にエッチングすることなく前記導波路層内にエッチングすることと、
前記エッチストップ層を溶解させることと、
を含み、
前記第1のエアギャップをエッチングするステップは、前記導波路層および前記ARROW層内に一度にエッチングすることを含み、
前記第2のエアギャップをエッチングするステップは、前記導波路層および前記ARROW層内に一度にエッチングすることを含む、
請求項1から9までのいずれか1項記載の方法。 - 前記導波路構造体は、ARROW層を含み、
前記流体チャネルをエッチングするステップは、ドライエッチングを実行し、続いてウェットエッチングを実行することを含み、
前記第1のエアギャップをエッチングするステップは、ドライエッチングを実行し、続いてウェットエッチングを実行することを含み、
前記第2のエアギャップをエッチングするステップは、ドライエッチングを実行し、続いてウェットエッチングを実行することを含む、
請求項1から10までのいずれか1項記載の方法。 - 前記導波路構造体は、ARROW層を含み、
前記流体チャネルをエッチングするステップは、前記導波路層を貫通して前記ARROW層までエッチングすることなく、前記導波路層内に部分的にエッチングすることを含み、
前記第1のエアギャップをエッチングするステップは、前記導波路層および前記ARROW層内に一度にエッチングすることを含み、
前記第2のエアギャップをエッチングするステップは、前記導波路層および前記ARROW層内に一度にエッチングすることを含む、
請求項1から11までのいずれか1項記載の方法。 - 前記第1のエアギャップをエッチングするステップは、前記導波路層、前記ARROW層および前記基板層内に一度にエッチングすることを含み、
前記第2のエアギャップをエッチングするステップは、前記導波路層、前記ARROW層および前記基板層内に一度にエッチングすることを含む、
請求項12記載の方法。 - 前記導波路構造体は、前記導波路層の下にARROW層を含み、
前記導波路構造体は、前記流体チャネルに対応する位置、前記第1のエアギャップに対応する位置、および、前記第2のエアギャップに対応する位置まで延在する、前記ARROW層と前記導波路層との間のエッチストップ層を含み、
前記流体チャネルをエッチングするステップは、前記ARROW層内にエッチングすることなく前記導波路層内にエッチングすることを含み、
前記第1のエアギャップをエッチングするステップは、前記ARROW層内にエッチングすることなく前記導波路層内にエッチングすることを含み、
前記第2のエアギャップをエッチングするステップは、前記ARROW層内にエッチングすることなく前記導波路層内にエッチングすることを含み、
前記方法は、前記エッチストップ層を溶解させるステップをさらに含む、
請求項1から13までのいずれか1項記載の方法。 - 前記導波路構造体は、前記導波路層に結合された基板層を含み、
前記方法は、前記基板内にエッチングして、前記流体チャネルおよび前記固体コア導波路のうちの1つ以上に隣接する第3のエアギャップを形成するステップをさらに含み、前記第3のエアギャップは、1つ以上の前記流体チャネルおよび前記固体コア導波路を伝搬する光の内部反射を生じさせるように構成されている、
請求項1から14までのいずれか1項記載の方法。 - 前記方法は、レンズ素子を前記第3のエアギャップに設けるステップをさらに含み、前記レンズ素子は、前記流体チャネルから前記第3のエアギャップに逃げる光を収集するように構成されている、
請求項15記載の方法。 - 前記第3のエアギャップを形成するために前記基板内にエッチングするステップは、前記流体チャネルおよび前記固体コア導波路のうちの1つ以上をアンダカットすることを含む、
請求項15または16記載の方法。 - 前記導波路構造体は、微細加工されたファイバアライメントフィーチャを含む、
請求項1から17までのいずれか1項記載の方法。 - 前記方法は、エッチングが実行される前記導波路層の表面から前記導波路層をドープするステップをさらに含み、前記導波路層が、前記ドープされた表面の近くで最も高い屈折率勾配を有するようにさせる、
請求項1から18までのいずれか1項記載の方法。 - 前記方法は、前記導波路層をドープした後かつ前記導波路層内にエッチングする前に、前記導波路層上に保護層を設けるステップをさらに含み、前記カバー層を前記導波路層に取り付けるステップは、前記保護層に前記カバー層を取り付けることを含む、
請求項19記載の方法。 - 前記流体チャネルをエッチングするステップは、ドライエッチングを実行することを含み、
前記第1のエアギャップをエッチングするステップは、ドライエッチングを実行することを含み、
前記第2のエアギャップをエッチングするステップは、ドライエッチングを実行することを含む、
請求項1から20までのいずれか1項記載の方法。 - 前記方法は、前記固体コア導波路の端部の後方の前記導波路層内にエッチングするステップをさらに含み、これにより、前記固体コア導波路の端部を形成する、
請求項1から21までのいずれか1項記載の方法。 - 導波路構造体であって、前記導波路構造体は、
流体チャネル、第1のエアギャップおよび第2のエアギャップを含む導波路層であって、前記第1のエアギャップおよび前記第2のエアギャップは、前記第1のエアギャップと前記第2のエアギャップとの間の前記導波路層に固体コア導波路を画定する導波路層と、
前記流体チャネルを封入するように前記導波路層に取り付けられたカバー層と、
を備える導波路構造体。 - 前記導波路層は、第1の酸化物層および第2の酸化物層を含み、前記第1の酸化物層は、前記第2の酸化物層の第1の側にあり、第1の屈折率を有し、前記第2の酸化物層は、前記第1の屈折率よりも低い第2の屈折率を有する、
請求項23記載の導波路構造体。 - 前記流体チャネル、第1のエアギャップおよび第2のエアギャップのうちの1つ以上は、前記第1の酸化物層および前記第2の酸化物層を少なくとも部分的に通って延在する、
請求項24記載の導波路構造体。 - 前記導波路層は、前記第2の酸化物層の前記第1の側の反対側の第2の側に第3の酸化物層をさらに含み、前記第3の酸化物層は、前記第1の屈折率よりも低い第3の屈折率を有し、
前記流体チャネル、第1のエアギャップおよび第2のエアギャップのうちの1つ以上は、前記第1の酸化物層、前記第2の酸化物層および前記第3の酸化物層を少なくとも部分的に通って延在する、
請求項24または25記載の導波路構造体。 - 前記導波路層は、周囲の屈折率よりも低いドープ屈折率を有する1つ以上のドープ領域を含み、前記1つ以上のドープ領域は、前記固体コア導波路に隣接している、
請求項23から26までのいずれか1項記載の導波路構造体。 - 前記1つ以上のドープ領域は、前記第1のエアギャップおよび前記第2のエアギャップに隣接している、
請求項27記載の導波路構造体。 - 前記1つ以上のドープ領域は、前記流体チャネルに隣接している、
請求項27または28記載の導波路構造体。 - 前記導波路層は、周囲の屈折率よりも高いドープ屈折率を有する1つ以上のドープ領域を含み、前記1つ以上のドープ領域は、前記固体コア導波路を形成する、
請求項23から29までのいずれか1項記載の導波路構造体。 - 前記導波路構造体は、ARROW層をさらに含み、
前記流体チャネル、第1のエアギャップおよび第2のエアギャップのうちの1つ以上は、前記ARROW層内に延在することなく、前記導波路層を少なくとも部分的に通って延在する、
請求項23から30までのいずれか1項記載の導波路構造体。 - 前記導波路構造体は、ARROW層をさらに含み、
前記流体チャネルは、前記ARROW層内に延在することなく、前記導波路層を少なくとも部分的に通って延在し、
前記第1のエアギャップおよび第2のエアギャップのうちの1つ以上は、前記導波路層および前記ARROW層を少なくとも部分的に通って延在する、
請求項23から31までのいずれか1項記載の導波路構造体。 - 前記導波路構造体は、前記導波路層に結合された基板層をさらに含む、
請求項23から32までのいずれか1項記載の導波路構造体。 - 前記基板層は、1つ以上の前記流体チャネルおよび前記固体コア導波路に隣接する第3のエアギャップを含み、前記第3のエアギャップは、1つ以上の前記流体チャネルおよび前記固体コア導波路を伝搬する光の内部反射を生じさせるように構成されている、
請求項23から33までのいずれか1項記載の導波路構造体。 - 前記第3のエアギャップは、前記流体チャネルから前記第3のエアギャップに逃げる光を収集するように構成されたレンズ素子を含む、
請求項34記載の導波路構造体。 - 前記第3のエアギャップは、前記流体チャネルおよび前記固体コア導波路のうちの1つ以上をアンダカットする、
請求項34または35記載の導波路構造体。 - 前記導波路構造体は、微細加工されたファイバアライメントフィーチャを含む、
請求項23から36までのいずれか1項記載の導波路構造体。 - 前記導波路層は、屈折率勾配を有する、
請求項23から37までのいずれか1項記載の導波路構造体。 - 前記導波路構造体は、前記導波路層上に設けられた保護層を含み、前記流体チャネル、第1のエアギャップおよび第2のエアギャップのうちの1つ以上は、前記保護層および前記導波路層を少なくとも部分的に通って延在する、
請求項23から38までのいずれか1項記載の導波路構造体。 - 少なくとも1つの固体コア導波路を形成するための導波路構造体を製造するための方法であって、前記方法は、
基板層に、第1のトレンチ、第2のトレンチおよび第3のトレンチを形成するステップと、
マシニングされた基板層を酸化することにより、前記マシニングされた基板層から酸化物層を形成するステップと、
前記酸化物層をドープするステップにより、前記酸化物層の元の屈折率よりも高いドープ屈折率を有する1つ以上のドープ領域を作製するステップであって、前記酸化物層をドープするステップにより、
前記第1のトレンチに対応する位置に流体チャネルの中空コアと、
前記第2のトレンチと前記第3のトレンチとの間の領域に対応する位置の導波路層内に固体コア導波路部分と、
を作製するステップと、
前記流体チャネルを封入するように前記ドープされた酸化物層にカバー層を取り付けるステップと、
を含む方法。 - 前記方法は、前記カバー層を取り付ける前に、前記ドープされた酸化物層上に第2の酸化物層を堆積させるステップをさらに含む、
請求項40記載の方法。 - 前記基板層に、前記第1のトレンチ、前記第2のトレンチおよび前記第3のトレンチのうちの1つ以上を形成するステップは、前記1つ以上のトレンチを前記基板層内にマシニングすることを含む、
請求項40または41記載の方法。 - 前記基板層は、シリコンを含む、
請求項40から42までのいずれか1項記載の方法。 - 導波路構造体であって、
流体チャネルを前記導波路構造体の導波路層内にエッチングするステップと、
第1のエアギャップおよび第2のエアギャップを前記導波路層内にエッチングするステップであって、前記第1および前記第2のエアギャップをエッチングするステップにより、前記第1のエアギャップと前記第2のエアギャップとの間の前記導波路層に固体コア導波路を作製するステップと、
前記流体チャネルを封入するようにカバー層を前記導波路層に取り付けるステップと、
を含む方法によって作製された導波路構造体。
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