JP2021509578A - サブミクロンスケール反応チャンバの動電学的ローディングのためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願の態様は、単一の分子の同定および核酸配列決定を含む、サンプルを並列に分析可能な集積デバイス、機器、および関連システムに関する。そのようなシステムは、コンパクトであり、持ち運びが容易であり、操作が簡単であってよく、医師または他の提供者がシステムを容易に使用し、ケアが必要とされる可能性がある所望の場所にシステムを輸送することを可能にする。サンプルの分析は、サンプルまたは関連成分(例えば、反応成分)を1つまたは複数の蛍光マーカで標識することを含み、これは、サンプルの検出および/またはサンプルの単一分子の同定(例えば、核酸配列決定の一部としての個々のヌクレオチド同定)のために用いられ得る。蛍光マーカは、蛍光マーカを励起光(例えば、蛍光マーカを励起状態に励起し得る特性波長を有する光)で照射することに応答して励起され、蛍光マーカが励起されると、放出光(例えば、励起状態から基底状態に戻ることにより蛍光マーカによって放出される特性波長を有する光)を放出し得る。放出光の検出は、蛍光マーカ、したがって、蛍光マーカによって標識されたサンプルまたはサンプルに関連する分子の同定を可能にし得る。いくつかの実施形態によれば、機器は、大規模並列サンプル分析を可能とし、数万以上のサンプルを同時に取り扱うように構成され得る。
ピクセル1−112の行を示す集積デバイス1−102の断面概略図が図1−1に示されている。ピクセル1−112は、集積デバイス1−102のピクセル領域1−203に形成され、個々のピクセル1−112は、反応チャンバ1−108と、1つまたは複数の光検出器1−110を有する光検出器領域とを含む。反応チャンバ1−108は、集積デバイス1−102の表面1−116を通して、およびいくつかの実施形態では、導電層1−106を通して形成され得る。いくつかの実施形態では、導電層1−106は、集積デバイス1−102の表面1−116を形成し得る。いくつかの実施形態では、集積デバイス1−102の表面1−116は、誘電材料を含み得る。図1−1には示されていないが、誘電材料の層(単数または複数)は、導電層1−106の上に形成され、表面1−116の一部または全部を形成し得る。集積デバイスのいくつかの実施形態では、誘電材料の層(単数または複数)内の開口が、導電層1−106の表面を露出させ、反応チャンバは、露出した表面を通して形成され得る。結果として生じる構成は、反応チャンバの近くに集中した所望の電界強度を有する電界の生成を可能にし得る。
他の態様のうち、本出願は、反応チャンバに対象のサンプルをローディングするためのデバイスおよび方法を記載する。いくつかの態様では、本明細書に記載の技術は、サンプル(例えば、対象の分子、タンパク質、または粒子)を含む懸濁液を、集積デバイスの表面から遠い底面を有する少なくとも1つの反応チャンバを含む集積デバイスの表面1−116に接触させるステップを含む。懸濁液は、凹部領域2−905に配置される、複数のサンプルを含む液体溶液を含み得る。いくつかの場合においては、懸濁液は、サンプルが溶解している液体を含んでもよい。いくつかの場合においては、懸濁液は、サンプルが分散されている液体を含んでもよい。「懸濁液」という用語は、本明細書では、いずれかのタイプのサンプル混合物を指すために使用される。懸濁液は、反応チャンバで起こる反応に関与する反応成分をさらに含むことができる。いくつかの実施形態では、懸濁液は、サンプルをさらに反応チャンバの底面に向けて方向づけるクラウディング剤と接触させることができる。いくつかの実施形態では、懸濁液は、サンプルを凝縮(例えば、圧縮)する縮合剤と接触させることができる。いくつかの実施形態では、反応チャンバの底面は、サンプルをカップリング部分に結合させるのに適した条件下で、対象のサンプルを結合するように構成されたカップリング部分を含み、それによりサンプルを反応チャンバの底面にカップリングする。
いくつかの実施形態では、クラウディング剤は、懸濁液のバルク溶媒から対象のサンプル(例えば、配列決定テンプレート)を効果的に排除し得る。クラウディング剤を含めることにより、懸濁液のバルク体積から対象の分子を排除する体積排除効果(volume exclusion effect)が生じる可能性があり、これは、対象の分子を反応チャンバに向かっておよび/または反応チャンバ内に駆動するのを支援することができる。その結果、より多くの割合の反応チャンバが、正常にローディングされた対象分子を受け取ることができる。したがって、いくつかの実施形態では、クラウディング剤は、集積デバイスの表面での対象の分子の濃度を効果的に増加させる熱力学的駆動力を生成することができる。いくつかの実施形態では、クラウディング剤は、反応チャンバへの対象分子の移動を加速する速度論的効果を有することにより、ローディング時間を短縮することができる。
本明細書で使用される場合、「縮合剤」は、任意の天然または合成化合物を指し、これは、対象のサンプルと組み合わされると、対象のサンプル(例えば、分子または高分子)に、縮合剤が存在しない場合のその構造と比較して縮合構造をとらせる。例えば、所与の懸濁液において、対象のサンプルは、縮合剤の存在下では、縮合剤を欠く同じ懸濁液においてよりも小さい体積を占める。このようにして、縮合剤は、懸濁液中の対象のサンプル(例えば、分子)の占有体積を減少させるように作用することができる。懸濁液中の分子との関連において、縮合剤は、懸濁液中の対象分子の浸透体積を減少させるように作用し得る。縮合剤は、分子が懸濁液中の総体積のより小さな部分を占める圧縮構造をとるように、対象の分子と相互作用し得る。
いくつかの態様では、本出願は、少なくとも1つの対象サンプルを含む懸濁液を、反応チャンバ1−108を含む集積デバイス1−102の表面上にローディングするのに有用なデバイスおよび方法を提供する。懸濁液ローディングは、任意の数の適切な方法で行うことができる。いくつかの実施形態では、対象の分子を含む懸濁液は、例えば、施術者によって、例えば、ピペット、ディスペンサ、または任意の適切な流体移送装置/システムを介してローディングされる。いくつかの実施形態では、懸濁液は、自動化された手段(例えば、ロボット装置/システム)によってローディングされる。いくつかの実施形態では、懸濁液は、1つまたは複数のマイクロ流体チャネルを介してローディングされる。
配列決定に関連する対象のサンプルのいくつかの例が、このセクションで説明されるが、本発明は、説明された例示的なサンプルのみに限定されない。記載された装置およびサンプルローディング技術は、タンパク質、サブミクロンスケールの粒子、生物学的および非生物学的分子に適用され得る。本明細書で使用される場合、「配列決定テンプレート」は、対象のサンプルの例であり、分析(例えば、配列決定分析)の対象である分子である。いくつかの実施形態では、配列決定テンプレートは、核酸分子を含む。いくつかの実施形態では、核酸分子は、「ターゲット」または「テンプレート」核酸と呼ばれる。核酸分子は、いくつかの実施形態では1kb〜10kb、いくつかの実施形態では10kb〜25kb、いくつかの実施形態では25kb〜50kb、いくつかの実施形態では50kb〜100kb、いくつかの実施形態では100kb〜250kb、いくつかの実施形態では250kb〜500kb、またはいくつかの実施形態では500kb〜1000kbであり得る。いくつかの場合においては、核酸分子は、これらの範囲の端値の10%以内の長さを有し得る。
本明細書で説明される分析システムは、集積デバイス、および集積デバイスとインタフェースするように構成された機器を含み得る。集積デバイスは、ピクセルのアレイを含むことができ、ピクセルは、反応チャンバおよび少なくとも1つの光検出器を含む。集積デバイスの表面は、複数の反応チャンバを有することができ、反応チャンバは、集積デバイスの表面に配置された懸濁液からサンプルを受け取るように構成されている。懸濁液は、同じタイプの複数のサンプル、および、いくつかの実施形態では、異なるタイプのサンプルを含み得る。これに関して、本明細書で使用される「対象のサンプル」という語句は、例えば、懸濁液中に分散されている同じタイプの複数のサンプルを指すことができる。同様に、本明細書で使用される「対象の分子」という語句は、懸濁液中に分散されている同じタイプの複数の分子を指すことができる。複数の反応チャンバは、反応チャンバの少なくとも一部が懸濁液から1つのサンプルを受け取るように、適切なサイズおよび形状を有することができる。いくつかの実施形態では、反応チャンバ内のサンプルの数は、いくつかの反応チャンバが1つのサンプルを含み、他の反応チャンバがゼロ、2つ、またはそれ以上のサンプルを含むように、反応チャンバ間で分散させることができる。
(1)集積デバイスであって、前記集積デバイスの表面を通して形成された反応チャンバと、前記反応チャンバに隣接して配置される少なくとも1つの電極を形成する少なくとも1つの導電層とを備え、前記少なくとも1つの電極は、バイアスされると、前記反応チャンバへのサンプルのローディングを支援する少なくとも1つの電界を生成する、集積デバイス。
(3)前記少なくとも2つの電極は、前記反応チャンバへの開口の500nm以内の第1の領域において、前記第1の領域の外側の第2の領域と比較して増大した強度を有する電界を生成するように構成されている、構成(1)または(2)に記載の集積デバイス。
(6)前記反応チャンバの底部は、光導波路から1ミクロン以内で終端する、構成(1)〜(5)のいずれか1つに記載の集積デバイス。
(10)前記反応チャンバは、前記少なくとも1つの導電層のうちの1つまたは複数の導電層を通って延在している、構成(1)〜(9)のいずれか1つに記載の集積デバイス。
(25)サンプルを分析するための装置であって、集積デバイスを備え、前記集積デバイスは、前記集積デバイスの表面を通して形成された反応チャンバと、前記反応チャンバに隣接して配置される少なくとも1つの電極を形成する少なくとも1つの導電層とを有し、前記少なくとも1つの電極は、バイアスされると、前記反応チャンバへのサンプルのローディングを支援する少なくとも1つの電界を生成する、装置。
(29)前記少なくとも1つのバイアスのうちの第1のバイアスは、2つの周期的波形の組み合わせを備える、構成(27)に記載の装置。
(33)集積デバイスに対象サンプルをローディングするための方法であって、前記対象サンプルを含む懸濁液を前記集積デバイスの表面上に受け取ることを含み、前記懸濁液は、前記表面に形成された反応チャンバを覆い、前記方法は、さらに、第1の電極と第2の電極との間に電気信号を印加すること、前記反応チャンバへの前記対象サンプルのローディングを支援するように働く電界を生成することを含む、方法.
(34)前記電界を生成することは、前記反応チャンバへの開口の500nm以内の第1の領域において、前記第1の領域の外側の第2の領域と比較して増大した強度を有する電界を生成することを含む、(33)に記載の方法。
(36)前記第1の電極は、前記集積デバイスの外部にあり、前記反応チャンバは、1ミクロン未満の最大寸法を有する、(33)または(34)に記載の方法。
(38)前記電気信号を印加することは、第1の電気信号を印加して、前記対象サンプルを前記懸濁液から前記集積デバイスの表面に向かって移動させること、第2の電気信号を印加して、前記反応チャンバ内に前記対象サンプルを移動させることを含む、(33)〜(37)のいずれか1つに記載の方法。
(40)第2の対象サンプルの前記反応チャンバへのローディングを低減または妨害する追加の電気信号を前記第1の電極に印加することをさらに含む、(33)〜(39)のいずれか1つに記載の方法。
(45)前記多糖類は、メチルセルロース、エチルセルロース、エチルメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、エチルヒドロキシエチルセルロース、およびカルボキシメチルセルロースからなる群から選択されるセルロース化合物である、(44)に記載の方法。
(49)前記核酸分子は、約1kb〜約10kb、約10kb〜約25kb、約25kb〜約50kb、約50kb〜約100kb、約50kb〜約100kb、約100kb〜約250kb、約250kb〜約500kb、または約500kb〜約1000kbである、(48)に記載の方法。
(52)少なくとも1つの導電層を形成することは、半導体領域内の集積回路の一部である半導体領域上の導電層を形成することを含む、(50)または(51)に記載の方法。
本出願の技術のいくつかの態様および実施形態をこのように記載したが、様々な改変、変更および改良が当業者に容易に想起されることを理解されたい。そのような改変、変更および改良は、本出願において記載される技術思想および範囲内にあることが意図されている。したがって、上記の実施形態は例として提示されているものにすぎないこと、ならびに、添付の特許請求の範囲およびその均等物の範囲内で、本発明の実施形態は、詳細に記載されているものとは別様に実践され得ることを理解されたい。加えて、本明細書において記載される2つ以上の特徴、システム、物品、材料、キット、および/または方法の任意の組み合わせは、そのような特徴、システム、物品、材料、キット、および/または方法が相互に矛盾するものでなければ、本開示の範囲内に含まれる。
Claims (53)
- 集積デバイスであって、
前記集積デバイスの表面を通して形成された反応チャンバと、
前記反応チャンバに隣接して配置される少なくとも1つの電極を形成する少なくとも1つの導電層と
を備え、前記少なくとも1つの電極は、バイアスされると、前記反応チャンバへのサンプルのローディングを支援する少なくとも1つの電界を生成する、集積デバイス。 - 前記反応チャンバの最大寸法は、1ミクロン未満である、請求項1に記載の集積デバイス。
- 前記少なくとも1つの電極は、前記反応チャンバへの開口の500nm以内の第1の領域において、前記第1の領域の外側の第2の領域と比較して増大した強度を有する電界を生成するように構成されている、請求項1に記載の集積デバイス。
- 前記電界は、前記反応チャンバ上の前記表面と接触して配置された懸濁液からのサンプルのローディングを支援する、請求項1に記載の集積デバイス。
- 前記反応チャンバは、前記サンプルの分析のために、1つのサンプルのみを保持するように構成されている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記反応チャンバの底部は、光導波路から1ミクロン以内で終端する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記少なくとも1つの導電層のうちの第1の導電層は、パターン化されて、前記反応チャンバに隣接する2つの電極を形成し、前記2つの電極は、バイアスされると主に横方向に配向された電界を生成する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記反応チャンバの下方の基板の半導体領域と、
前記半導体領域に形成された光検出器と、
前記光検出器に接続された導電性配線と
をさらに備え、前記導電性配線は、前記少なくとも1つの導電層のうちの第1の導電層である、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。 - 前記表面は、前記少なくとも1つの導電層のうちの第1の導電層の表面を含む、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記反応チャンバは、前記少なくとも1つの導電層のうちの1つまたは複数の導電層を通って延在している、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記反応チャンバの側壁に形成され、前記少なくとも1つの導電層のうちの第1の導電層に電気的に結合された導電性材料をさらに備える、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記少なくとも1つの導電層のうちの第1の導電層と第2の導電層との間に形成された誘電体層と、
前記反応チャンバと重なる前記誘電体層の開口と
をさらに備え、前記誘電体層の開口の寸法は、前記表面での前記反応チャンバの開口の寸法よりも小さい、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。 - 前記少なくとも1つの導電層は、窒化チタンを含む第2の層と接触しているアルミニウムおよび/またはチタンを含む第1の層を含む、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記反応チャンバの底面と前記少なくとも1つの導電層のうちの第1の導電層との間の距離は、400nm未満である、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記少なくとも1つの導電層は、
前記集積デバイスの前記表面に配置された第1の導電層と、
前記表面の下方に位置し、誘電材料によって前記第1の導電層から分離された第2の導電層と
を含み、前記反応チャンバは、前記第1の導電層および前記第2の導電層を通って延在している、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。 - 前記第2の導電層は、前記第2の導電層に接続された導電性配線を除いて、前記反応チャンバから横方向に3ミクロン以下だけ延びている、請求項15に記載の集積デバイス。
- 前記反応チャンバに隣接して垂直に形成された導電性ビアをさらに備え、前記導電性ビアは、前記少なくとも1つの導電層のうちの第1の導電層を前記反応チャンバの下方の導電性配線に接続する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記反応チャンバは、前記集積デバイスの前記表面に配置され、かつ前記反応チャンバと同じ構造を有する複数の反応チャンバのうちの1つであり、前記少なくとも1つの導電層は、前記複数の反応チャンバの各反応チャンバに隣接して配置された少なくとも1つの電極をさらに形成する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記集積デバイス上に形成され、前記複数の反応チャンバの各反応チャンバにおける第1の電極に同じバイアスを提供するように構成されたバイアス回路をさらに備える、請求項18に記載の集積デバイス。
- 前記集積デバイス上に形成されたバイアス回路であって、第1のグループの反応チャンバの各反応チャンバにおいて前記少なくとも1つの導電層のうちの第1の導電層から形成された第1の電極に、第2のグループの反応チャンバの各反応チャンバにおいて前記第1の導電層から形成された第1の電極とは独立して、バイアスを提供するように構成されたバイアス回路をさらに備える、請求項18に記載の集積デバイス。
- 前記集積デバイス上に形成されたバイアス回路であって、前記複数の反応チャンバのうちの1つの反応チャンバにおいて前記少なくとも1つの導電層のうちの第1の導電層から形成された第1の電極に、前記複数の反応チャンバのうちの任意の他の反応チャンバにおいて前記導電層から形成された第1の電極とは独立して、バイアスを提供するように構成されたバイアス回路をさらに備える、請求項18に記載の集積デバイス。
- 前記集積デバイス上に形成されたバイアス回路であって、前記少なくとも1つの電極のうちの第1の電極および第2の電極に第1のバイアスを提供して、前記反応チャンバへの前記サンプルのローディングを支援する、第1の電界および前記第1の電界とは異なる第2の電界を提供するように構成されたバイアス回路をさらに備える、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記表面との流体シールを有し、複数のサンプルを含む懸濁液を保持するように構成されたサンプルリザーバをさらに備える、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の集積デバイス。
- 前記サンプルリザーバ内の前記懸濁液と接触するように構成された外部電極をさらに備える、請求項23に記載の集積デバイス。
- サンプルを分析するための装置であって、集積デバイスを備え、前記集積デバイスは、
前記集積デバイスの表面を通して形成された反応チャンバと、
前記反応チャンバに隣接して配置される少なくとも1つの電極を形成する少なくとも1つの導電層と
を有し、前記少なくとも1つの電極は、バイアスされると、前記反応チャンバへのサンプルのローディングを支援する少なくとも1つの電界を生成する、装置。 - 前記反応チャンバの最大寸法は、1ミクロン未満であり、前記反応チャンバは、前記サンプルの分析のために、1つのサンプルを保持するように構成されている、請求項25に記載の装置。
- 少なくとも1つのバイアスを生成し、前記少なくとも1つのバイアスを前記少なくとも1つの導電層に印加するように構成されたバイアス回路をさらに備える、請求項25または26に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのバイアスのうちの第1のバイアスは、周期的波形を備える、請求項27に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのバイアスのうちの第1のバイアスは、2つの周期的波形の組み合わせを備える、請求項27に記載の装置。
- 前記反応チャンバに隣接して配置された光検出器と、
前記サンプルが前記反応チャンバにローディングされたことを前記光検出器が検出したことに応答して、第1のバイアスを変化させるように構成されたフィードバック回路と
をさらに備える、請求項27に記載の装置。 - 前記表面との流体シールを有し、複数のサンプルを含む懸濁液を保持するように構成されたサンプルリザーバと、
前記サンプルリザーバ内の前記懸濁液と接触するように構成された外部電極と
をさらに備え、前記バイアス回路は、前記少なくとも1つのバイアスのうちの第2のバイアスを前記外部電極に印加するようにさらに構成されている、請求項27に記載の装置。 - 前記バイアス回路は、第1の時間間隔の間に第1のバイアスを印加し、前記第1の時間間隔とは異なる第2の時間間隔の間に前記第2のバイアスを印加するようにさらに構成されている、請求項31に記載の装置。
- 集積デバイスに対象サンプルをローディングするための方法であって、
前記対象サンプルを含む懸濁液を前記集積デバイスの表面上に受け取ることを含み、前記懸濁液は、前記表面に形成された反応チャンバを覆い、前記方法は、さらに、
第1の電極と第2の電極との間に電気信号を印加すること、
前記反応チャンバへの前記対象サンプルのローディングを支援するように働く電界を生成すること
を含む、方法。 - 前記電界を生成することは、前記反応チャンバへの開口の500nm以内の第1の領域において、前記第1の領域の外側の第2の領域と比較して増大した強度を有する電界を生成することを含む、請求項33に記載の方法。
- 前記第1の電極は、前記反応チャンバに隣接して配置され、前記反応チャンバは、1ミクロン未満の最大寸法を有する、請求項33に記載の方法。
- 前記第1の電極は、前記集積デバイスの外部にあり、前記反応チャンバは、1ミクロン未満の最大寸法を有する、請求項33乃至35のいずれか一項に記載の方法。
- 前記電界は、前記対象サンプルに、前記懸濁液中の他の成分とは異なって作用する、請求項33乃至35のいずれか一項に記載の方法。
- 前記電気信号を印加することは、
第1の電気信号を印加して、前記対象サンプルを前記懸濁液から前記集積デバイスの表面に向かって移動させること、
第2の電気信号を印加して、前記反応チャンバ内に前記対象サンプルを移動させること
を含む、請求項33乃至35のいずれか一項に記載の方法。 - 前記電気信号を印加することは、2つの周期的波形の組み合わせである電気信号を印加することを含む、請求項33乃至35のいずれか一項に記載の方法。
- 第2の対象サンプルの前記反応チャンバへのローディングを低減または妨害する追加の電気信号を前記第1の電極に印加することをさらに含む、請求項33乃至35のいずれか一項に記載の方法。
- 前記対象サンプルの一部を前記反応チャンバの外に移動させる追加の電気信号を前記第1の電極に印加することをさらに含む、請求項33乃至35のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の電極と前記第2の電極との間に印加される前記電気信号とは異なる第2の電気信号を、第3の電極と前記第1の電極との間に印加することをさらに含む、請求項33乃至35のいずれか一項に記載の方法。
- 前記集積デバイスの表面に近接する前記対象サンプルの濃度を増加させるように構成されたクラウディング剤を前記懸濁液に導入することをさらに含む、請求項33乃至35のいずれか一項に記載の方法。
- 前記クラウディング剤は、多糖類である、請求項43に記載の方法。
- 前記多糖類は、メチルセルロース、エチルセルロース、エチルメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、エチルヒドロキシエチルセルロース、およびカルボキシメチルセルロースからなる群から選択されるセルロース化合物である、請求項44に記載の方法。
- 前記懸濁液中の前記対象サンプルの浸透体積を減少させるように構成された縮合剤を前記懸濁液に導入することをさらに含む、請求項33乃至35のいずれか一項に記載の方法。
- 前記縮合剤は、前記懸濁液中でポリカチオン性であるポリカチオンを含み、前記ポリカチオンは、スペルミン、スペルミジン、ポリリジン、ポリアルギニン、ポリヒスチジン、ポリオルニチン、プトレシン、およびプロタミンから選択される、請求項46に記載の方法。
- 前記対象サンプルは、核酸分子を含む、請求項33乃至35のいずれか一項に記載の方法。
- 前記核酸分子は、約1kb〜約10kb、約10kb〜約25kb、約25kb〜約50kb、約50kb〜約100kb、約50kb〜約100kb、約100kb〜約250kb、約250kb〜約500kb、または約500kb〜約1000kbである、請求項48に記載の方法。
- 集積デバイスを形成するための方法であって、
誘電材料の領域上に少なくとも1つの導電層を形成することを含み、前記誘電材料は、少なくとも1つの導波路を含み、前記方法は、さらに、
前記少なくとも1つの導電層を通して反応チャンバを形成すること、
バイアスがかけられたときに、前記反応チャンバへの対象サンプルのローディングを支援するように働く電界を生成するように構成された少なくとも1つの電極を形成すること
を含む、方法。 - 前記反応チャンバは、1ミクロン未満の最大寸法を有する、請求項50に記載の方法。
- 少なくとも1つの導電層を形成することは、半導体領域内の集積回路の一部である半導体領域上の導電層を形成することを含む、請求項50または51に記載の方法。
- 前記反応チャンバからの放出光を検出するように構成された光検出器を形成することをさらに含み、前記光検出器は、前記半導体領域内の前記集積回路の一部である、請求項52に記載の方法。
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