JP2021183989A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 対象物を撮影する撮像部と、
   前記対象物に向けて光を照射する発光面を有し、パターン光を照射できるように構成された照明部と、
   前記撮像部および前記照明部を制御するように構成された制御部とを備え、
   前記制御部は、
   前記照明部の第１の照射において、前記照明部に第１の方向から、第１の縞パターンの前記光を、前記第１の縞パターンの位相を変化させながら前記対象物に照射し、前記第１の照射の間に、前記撮像部に前記対象物を複数回撮像させて複数の第１の撮影画像を作成させ、
   前記照明部の第２の照射において、前記照明部に、前記第１の方向とは逆の第２の方向から第２の縞パターンの前記光を、前記第２の縞パターンの位相を変化させながら前記対象物に照射し、前記第２の照射の間に前記撮像部に前記対象物を複数回撮像させて複数の第２の撮影画像を作成させ、
   前記制御部は、前記複数の第１の撮影画像から、前記第１の縞パターンの位相情報を含む第１の処理画像を作成し、前記複数の第２の撮影画像から、前記第２の縞パターンの位相情報を含む第２の処理画像を作成し、
   前記第１および第２の処理画像、前記第１の縞パターンおよび前記第２の縞パターンの光を発する前記照明部の発光位置ならびに前記第１の方向および前記第２の方向に基づいて、距離を算出する、画像検査装置。
2. 前記照明部は、複数の照明領域を有し、
   前記複数の照明領域の各々は、前記照明部の各前記複数の照明領域の位置に応じた方向に光を照射し、
   前記制御部は、前記複数の照明要素を個別に制御可能に構成される、請求項１に記載の画像検査装置。
3. 前記照明部は、前記撮像部の光軸方向の光が通過可能な部分を有する、請求項１または請求項２に記載の画像検査装置。
4. 前記距離は、前記距離の計測の基準位置と前記対象物の測定点との間の距離である、請求項１または請求項２に記載の画像検査装置。
5. 前記基準位置は、前記照明部の発光面、または前記発光面に平行な面上にある、請求項４に記載の画像検査装置。