JP2021182602A - 圧電素子、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1−1.液体吐出装置の全体構成
図1は、実施形態に係る液体吐出装置100を模式的に示す構成図である。液体吐出装置100は、液体の一例であるインクを液滴として媒体12に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体12は、典型的には印刷用紙である。なお、媒体12は、印刷用紙に限定されず、例えば、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象でもよい。
図2は、実施形態に係る液体吐出ヘッド26の分解斜視図である。図3は、図2中のIII-III線断面図である。図2に示すように、液体吐出ヘッド26は、Y軸に沿う方向に配列される複数のノズルNを有する。図2に示す例では、複数のノズルNは、X軸に沿う方向に互いに間隔をあけて並ぶ第1列L1と第2列L2とに区分される。第1列L1および第2列L2のそれぞれは、Y軸に沿う方向に直線状に配列される複数のノズルNの集合である。ここで、液体吐出ヘッド26における第1列L1の各ノズルNに関連する要素と第2列L2の各ノズルNに関連する要素とがX軸に沿う方向で互いに略対称な構成である。
図4は、実施形態に係る圧電素子44を示す平面図である。図5は、図4中のV-V線断面図である。液体吐出ヘッド26では、図5に示すように、圧力室基板34、振動板36および複数の圧電素子44がこの順でZ1方向に積層される。
PbxFeyTi(1−y)Oz (1)
以上の例示における各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。なお、以下の例示から任意に選択される2以上の態様は、互いに矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
前述の形態では、圧電素子44と、圧電素子44を駆動する駆動回路50と、を有する液体吐出ヘッド26が例示される。圧電素子44を搭載する機器等は、液体吐出ヘッドに限定されず、例えば、圧電素子を有する圧電アクチュエーター等の他の駆動デバイスでもよく、圧電素子を有する圧力センサー等の検出デバイス等でもよい。
前述の形態では、液体吐出ヘッド26は、配列される複数の圧電素子44を有する。ここで、当該複数の圧電素子44は、当該複数の圧電素子に個別に設けられる複数の第1電極441と、当該複数の圧電素子44に共通に設けられる第2電極442と、を有する。複数の第1電極441は、圧電体層443と振動板36との間に配置される。
前述の各形態では、液体吐出ヘッド26を搭載する搬送体242を往復させるシリアル方式の液体吐出装置100を例示するが、複数のノズルNが媒体12の全幅にわたり分布するライン方式の液体吐出装置にも本発明を適用することが可能である。
前述の各形態で例示する液体吐出装置100は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。
A−1.実施例1
まず、面方位(110)のシリコン単結晶基板の一方の面を熱酸化することにより、振動板の第1層として、厚さ1460nmの二酸化シリコン膜を形成した。
Pb:Fe:Tiが1.3:0.2:0.8となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例2の圧電体層を製造した。よって、x=1.3、y=0.2、x/y=6.5となる。
Pb:Fe:Tiが1.3:0.3:0.7となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例3の圧電体層を製造した。よって、x=1.3、y=0.3、x/y=4.3となる。
Pb:Fe:Tiが1.3:0.4:0.6となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例4の圧電体層を製造した。よって、x=1.3、y=0.4、x/y=3.3となる。
Pb:Fe:Tiが1.3:0.5:0.5となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例5の圧電体層を製造した。よって、x=1.3、y=0.5、x/y=2.6となる。
Pb:Fe:Tiが1.3:0.6:0.4となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例6の圧電体層を製造した。よって、x=1.3、y=0.6、x/y=2.2となる。
Pb:Fe:Tiが1.3:0.8:0.2となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例7の圧電体層を製造した。よって、x=1.3、y=0.8、x/y=1.6となる。
Pb:Fe:Tiが1.3:0.9:0.1となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例8の圧電体層を製造した。よって、x=1.3、y=0.9、x/y=1.4となる。
Pb:Fe:Tiが1.1:0.3:0.7となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例9の圧電体層を製造した。よって、x=1.1、y=0.3、x/y=3.7となる。
Pb:Fe:Tiが1.1:0.4:0.6となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例10の圧電体層を製造した。よって、x=1.1、y=0.4、x/y=2.8となる。
Pb:Fe:Tiが1.1:0.6:0.4となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例11の圧電体層を製造した。よって、x=1.1、y=0.6、x/y=1.8となる。
シード層の厚さを20nmとした以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例12の圧電体層を製造した。
シード層の厚さを200nmとした以外は、前述の実施例1と同様にして、実施例13の圧電体層を製造した。
鉛およびチタンのそれぞれのMOD溶液を用いてPb:Tiが1.3:1.0となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、比較例1の圧電体層を製造した。
鉛および鉄のそれぞれのMOD溶液を用いてPb:Feが1.3:1.0となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、比較例2の圧電体層を製造した。
Pb:Fe:Tiが1.1:0.1:0.9となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、比較例3の圧電体層を製造した。
鉛、コバルトおよびチタンのそれぞれのMOD溶液を用いてPb:Co:Tiが1.3:0.4:0.6となるように調合したMOD溶液を用いてシード層を形成した以外は、前述の実施例1と同様にして、比較例4の圧電体層を製造した。
前述の各実施例および各比較例について、X線回折装置(Bruker社製 DISCOVER with GADDS)を用いて、圧電体層の配向状態を調べた。
Claims (16)
- 基板上に、第1電極とシード層と圧電体層と第2電極とがこの順で積層された圧電素子であって、
前記圧電体層は、鉛、ジルコニウムおよびチタンを構成元素として含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物で構成され、
前記シード層は、鉛、鉄およびチタンを構成元素として含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物で構成される、
ことを特徴とする圧電素子。 - 前記シード層に含まれる複合酸化物は、下記式(1)で表される、
ことを特徴とする請求項1に記載の圧電素子。
PbxFeyTi(1−y)Oz (1) - 1.00≦x<2.00の関係を満たす、
ことを特徴とする請求項2に記載の圧電素子。 - 0.20≦y≦0.80の関係を満たす、
ことを特徴とする請求項2または3に記載の圧電素子。 - 1.3≦(x/y)<13.0の関係を満たす、
ことを特徴とする請求項2から4のいずれか1項に記載の圧電素子。 - z=3.00の関係を満たす、
ことを特徴とする請求項2から5のいずれか1項に記載の圧電素子。 - 前記第1電極は、白金を含む、
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の圧電素子。 - 前記基板は、酸化ジルコニウムを含む、
ことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の圧電素子。 - 前記シード層の厚さは、前記圧電体層の厚さよりも薄い、
ことを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の圧電素子。 - 前記シード層の厚さは、20nm以上200nm以下の範囲内にある、
ことを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の圧電素子。 - 前記シード層の比誘電率は、100F・m−1以上である、
ことを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の圧電素子。 - X線回折法により前記圧電体層を解析したとき、(100)配向度が(110)配向度よりも高い、
ことを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載の圧電素子。 - 請求項1から12のいずれか1項に記載の圧電素子と、
前記圧電素子を駆動する駆動回路と、を有する、
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記圧電素子は、配列される複数の圧電素子を含んでおり、
前記第1電極は、前記複数の圧電素子に個別に設けられ、
前記第2電極は、前記複数の圧電素子に共通に設けられる、
ことを特徴とする請求項13に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記圧電素子は、配列される複数の圧電素子を含んでおり、
前記第1電極は、前記複数の圧電素子に共通に設けられ、
前記第2電極は、前記複数の圧電素子に個別に設けられる、
ことを特徴とする請求項13に記載の液体吐出ヘッド。 - 請求項13から15のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を有する、
ことを特徴とする液体吐出装置。
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