JP2021171663A - ステージ装置および印刷装置 - Google Patents

Abstract

【課題】印刷位置精度の低下を抑制できるステージ装置を提供すること。
【解決手段】ステージ装置は、ステージと、架台と、リニアスケールと、第１のインクヘッドを保持する第１のインクヘッド保持部材と、第２のインクヘッドを保持する第２のインクヘッド保持部材と、を備え、リニアスケールは、ステージの移動方向に延びるように、架台に固定されたスケールと、ステージに設けられ、スケールに基づく位置情報を検出する検出部と、を備え、第１のインクヘッド保持部材は、架台の第１の固定位置に固定され、第２のインクヘッド保持部材は、架台における第１の固定位置からステージの移動方向に離れた第２の固定位置に固定され、スケールにおける第１の固定位置と第２の固定位置との間に位置する第１の部分が、架台に固定されており、スケールにおける第１の部分以外の第２の部分が、架台に固定されていない。
【選択図】図１

Description

本開示は、ステージ装置および印刷装置に関する。

近年、インクジェット装置を用いてデバイスを製造する方法が注目されている。インクジェット装置は、液滴を吐出する複数のノズルを有する。インクジェット装置は、ノズルと印刷対象物との位置関係を制御しながら、ノズルから液滴を吐出することで、印刷対象物に液滴を塗布する。この種のインクジェット装置の１つとして、ラインヘッドと呼ばれる、印刷対象物の幅方向に並設された複数のモジュールヘッド（複数の吐出口を有する液滴吐出ヘッド）を備えているものがある（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１に記載のインクジェット装置について、図５に基づいて説明する。図５に示すインクジェット装置９は、ステージ装置９１と、第１の吐出部ユニット９２と、第２の吐出部ユニット９３と、メインコントローラ９４と、を備える。ステージ装置９１は、ステージ９１１と、架台９１２と、第１のユニット保持部材９１３と、第２のユニット保持部材９１４と、アライメントカメラ９１５と、を備える。ステージ装置９１は、さらに、図示しないリニアスケールを備える。

ステージ９１１は、架台９１２に対して搬送方向Ｄに移動可能に設けられている。ステージ９１１は、載置部９１１Ａと、Ｘ調整機構９１１Ｂと、θ調整機構９１１Ｃと、を備える。載置部９１１Ａには、印刷対象物９０が載置される。Ｘ調整機構９１１Ｂは、載置部９１１Ａを搬送方向Ｄと直交し、かつ、水平面と平行な方向に移動させる。θ調整機構９１１Ｃは、載置部９１１Ａを上下方向に延びる軸を中心に回転させる。

第１のユニット保持部材９１３および第２のユニット保持部材９１４は、架台９１２に固定されている。第１のユニット保持部材９１３は、第１の吐出部ユニット９２を、Ｘ調整機構９１１Ｂによる載置部９１１Ａの移動方向と同じ方向に移動させるための第１のユニット移動軸９１３Ａを備える。第２のユニット保持部材９１４は、第２の吐出部ユニット９３を第１の吐出部ユニット９２と同じ方向に移動させるための第２のユニット移動軸９１４Ａを備える。

アライメントカメラ９１５は、４個設けられている。各アライメントカメラ９１５は、印刷対象物９０のアライメントマークを読み取り、読み取り結果をメインコントローラ９４に出力する。

リニアスケールは、スケールと、検出部と、を備える。スケールは、搬送方向Ｄに延びるように、架台９１２に固定されている。検出部は、スケールと対向するように、ステージ９１１に固定されている。検出部は、スケールに基づく位置情報を検出して、検出結果をメインコントローラ９４に出力する。

このようなインクジェット装置９で印刷対象物９０に印刷を行う際には、載置部９１１Ａに、印刷対象物９０を固定する。メインコントローラ９４は、アライメントカメラ９１５の読み取り結果に基づいて、Ｘ調整機構９１１Ｂおよびθ調整機構９１１Ｃを制御し、印刷対象物９０を所定の位置に位置決めする。メインコントローラ９４は、第１のユニット移動軸９１３Ａの所定位置に、第１の吐出部ユニット９２を移動させるとともに、第２のユニット移動軸９１４Ａの所定位置に。第２の吐出部ユニット９３を移動させる。

その後、メインコントローラ９４は、ステージ９１１の移動によって印刷対象物９０を搬送方向Ｄに搬送する。リニアスケールは、印刷対象物９０の搬送中に、ステージ９１１の位置に応じた吐出タイミングパルスをメインコントローラ９４に送る。メインコントローラ９４は、吐出タイミングパルスに基づいて、第１の吐出部ユニット９２および第２の吐出部ユニット９３からのインクの吐出タイミングを制御し、印刷対象物９０の意図した位置にインクを吐出する。

特開２００９−１３１７８９号公報

図５に示すインクジェット装置９において、リニアスケールのスケールが、上面から見たときにおける４個のアライメントカメラ９１５の中央で固定されており、それ以外の部分で固定されていない場合、つまり、スケールの固定位置と第２のユニット保持部材９１４の固定位置との間に、第１のユニット保持部材９１３の固定位置が存在している場合、温度変化があった場合のスケールの歪み量と、架台９１２の歪み量との間には、以下のような関係がある。

スケールにおけるスケールの固定位置から第１のユニット保持部材９１３の固定位置までの測定部分の歪み量と、架台９１２におけるスケールの固定位置から第１のユニット保持部材９１３の固定位置までの部分の歪み量との差を、第１の歪み量差とする。スケールにおけるスケールの固定位置から第２のユニット保持部材９１４の固定位置までの測定部分の歪み量と、架台９１２におけるスケールの固定位置から第２のユニット保持部材９１４の固定位置までの部分の歪み量との差を、第２の歪み量差とする。スケールおよび架台９１２の歪み量はスケールの固定位置から離れるほど大きくなり、かつ、上述のように、スケールの固定位置と第２のユニット保持部材９１４の固定位置との間に、第１のユニット保持部材９１３の固定位置が存在しているため、温度変化に伴いスケールおよび架台９１２に歪みが発生すると、第１の歪み量差と第２の歪み量差との差が大きくなる。第１の歪み量差は、リニアスケールによる第１の吐出部ユニット９２に対する印刷対象物９０の位置検出の誤差に影響を与え、第２の歪み量差は、第２の吐出部ユニット９３に対する印刷対象物９０の位置検出の誤差に影響を与える。このことから、第１の歪み量差と第２の歪み量差との差が大きくなると、印刷位置精度が低下してしまう。

本開示は、印刷位置精度の低下を抑制できるステージ装置および印刷装置を提供することを目的とする。

本開示のステージ装置は、印刷対象物が載置されるステージと、前記ステージを往復移動可能に支持する架台と、リニアスケールと、第１のインクヘッドを前記印刷対象物に対向するように保持する第１のインクヘッド保持部材と、第２のインクヘッドを前記印刷対象物に対向するように保持する第２のインクヘッド保持部材と、を備え、前記リニアスケールは、前記ステージの移動方向に延びるように、前記架台に固定されたスケールと、前記ステージに設けられ、前記スケールに基づく位置情報を検出する検出部と、を備え、前記第１のインクヘッド保持部材は、前記架台の第１の固定位置に固定され、前記第２のインクヘッド保持部材は、前記架台における前記第１の固定位置から前記ステージの移動方向に離れた第２の固定位置に固定され、前記スケールにおける前記第１の固定位置と前記第２の固定位置との間に位置する第１の部分が、前記架台に固定されており、前記スケールにおける前記第１の部分以外の第２の部分が、前記架台に固定されていない。

本開示の印刷装置は、上述のステージ装置と、前記ステージ装置の第１のインクヘッド保持部材で保持された第１のインクヘッドと、前記ステージ装置の第２のインクヘッド保持部材で保持された第２のインクヘッドと、を備える。

本開示のステージ装置および印刷装置によれば、印刷位置精度の低下を抑制できる。

本開示の第１の実施の形態におけるインクジェット装置を上方から見た模式図である。 本開示の第１の実施の形態におけるインクジェット装置を正面から見た模式図である。 本開示の第２の実施の形態におけるインクジェット装置を上方から見た模式図であり、一部を切り欠いた模式図である。 本開示の第２の実施の形態におけるインクジェット装置を正面から見た模式図である。 特許文献１に記載されたインクジェット装置の全体図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

（第１の実施の形態）
まず、第１の実施の形態について説明する。図１は、本開示の第１の実施の形態におけるインクジェット装置を上方から見た模式図である。図２は、本開示の第１の実施の形態におけるインクジェット装置を正面から見た模式図である。なお、インクジェット装置の各種構成の位置や方向等を説明するにあたり、図１および図２に示すＸ軸に沿う方向を前後方向または搬送方向Ｄ、Ｙ軸に沿う方向を左右方向、Ｚ軸に沿う方向を上下方向という場合がある。

＜構成＞
まず、インクジェット装置の構成について説明する。図１および図２に示すように、インクジェット装置１は、ステージ装置２と、第１のラインヘッド３と、第２のラインヘッド４と、コントローラ５と、を備える。インクジェット装置１は、印刷装置の一例である。

ステージ装置２は、ステージ２１と、架台２２と、リニアスケール２３と、第１のラインヘッド保持部材２４と、第２のラインヘッド保持部材２５と、図示しない搬送部と、を備える。

ステージ２１は、載置部２１１と、被支持部２１２と、移動部２１３と、を備える。

載置部２１１の上面には、印刷対象物１０が載置される。載置部２１１は、吸着によって、印刷対象物１０を保持できるように構成されている。

被支持部２１２の下面には、架台２２の後述する一対のガイド２２１でそれぞれ支持される一対の空気軸受け２１４が設けられている。

移動部２１３は、載置部２１１と被支持部２１２との間に設けられている。移動部２１３は、載置部２１１を被支持部２１２に対して左右方向に移動させるとともに、上下方向に延びる軸を中心に回転させる。移動部２１３による載置部２１１の移動および回転によって、印刷対象物１０が所定の位置に位置決めされる。

架台２２は、例えば、石材によって構成されている。架台２２は、一対のガイド２２１と、スケール設置部材２２２と、が設けられている。一対のガイド２２１およびスケール設置部材２２２は、架台２２の前端（図１における下端）から後端（図１における上端）にかけて、搬送方向Ｄに延びるように設けられている。

一対のガイド２２１は、それぞれ空気軸受け２１４を支持する。搬送部の駆動によって、ステージ２１は、空気軸受け２１４がガイド２２１の上方に位置する状態を維持したまま、搬送方向Ｄに移動する。

スケール設置部材２２２は、一対のガイド２２１の間に設けられている。

リニアスケール２３は、スケール２３１と、検出部２３２と、を備える。

スケール２３１は、例えば、低熱膨張硬質マルテンサイトステンレスで構成されている。スケール２３１は、スケール設置部材２２２を介して架台２２に固定されている。スケール２３１は、架台２２の前端から後端にかけて設けられている。スケール２３１は、架台２２の左右方向のほぼ中心に位置するように設けられている。スケール２３１は、前後方向の中央に位置する第１の部分２３１Ａ（図１に黒い四角で示す部分）が、スケール設置部材２２２の左面（図１および図２における左側の面）に固定されている。スケール２３１をスケール設置部材２２２に固定する方法としては、スケール設置部材２２２におけるスケール２３１の上面および下面とほぼ同じ高さ位置から左側に水平方向に延びるステンレス製のプレートを、スケール設置部材２２２に固定し、当該プレートによってスケール２３１を上下から挟む方法が例示できる。スケール２３１における第１の部分２３１Ａ以外の第２の部分２３１Ｂ、つまり第１の部分２３１Ａに対して前側および後側にそれぞれ位置する第２の部分２３１Ｂは、スケール設置部材２２２に固定されていない。第２の部分２３１Ｂは、前後方向に並んで配置された図示しない複数のクランプによって、スケール設置部材２２２とともに挟持されている。このように、第１の部分２３１Ａが固定されるとともに、第２の部分２３１Ｂが固定されない構成とすることによって、スケール２３１は、熱の影響により、第１の部分２３１Ａを中心にして第２の部分２３１Ｂが搬送方向Ｄに膨張したり収縮したりする。

検出部２３２は、ステージ２１の被支持部２１２における下面に固定されている。検出部２３２は、スケール２３１と対向するように設けられている。検出部２３２は、スケール２３１に基づく位置情報を検出して、検出結果をコントローラ５に出力する。

第１のラインヘッド保持部材２４は、例えば、架台２２と同じ石材によって構成されている。第１のラインヘッド保持部材２４は、上下に延びる一対の第１の脚部２４１と、一対の第１の脚部２４１の上端を接続する第１の架橋部２４２と、によって構成されている。一対の第１の脚部２４１は、架台２２の上面の第１の固定位置２２Ａに固定されている。第１の脚部２４１を架台２２に固定する方法としては、第１の脚部２４１および架台２２のうち一方を貫通し、他方に螺合されるボルトによって固定する方法が例示できる。このような固定によって、第１のラインヘッド保持部材２４は、第１の架橋部２４２が搬送方向Ｄと直交する左右方向に延び、かつ、第１の架橋部２４２の下をステージ２１が移動できるように設けられている。第１のラインヘッド保持部材２４は、上方から見たときに、リニアスケール２３の第１の部分２３１Ａよりも前側に位置するように設けられている。

第２のラインヘッド保持部材２５は、例えば、第１のラインヘッド保持部材２４と同じ構成を有している。第１の脚部２４１と同様の方法により一対の第２の脚部２５１が架台２２の上面の第２の固定位置２２Ｂに固定されることによって、第２のラインヘッド保持部材２５は、第２の架橋部２５２が搬送方向Ｄと直交する左右方向に延び、かつ、第２の架橋部２５２の下をステージ２１が移動できるように設けられている。第２のラインヘッド保持部材２５は、上方から見たときに、リニアスケール２３の第１の部分２３１Ａよりも後側に位置するように設けられている。第２のラインヘッド保持部材２５は、上方から見たときに、第１の部分２３１Ａの前後方向の中心位置から第２の固定位置２２Ｂの前後方向の中心位置まで（以下、「スケール２３１の固定位置から第２の固定位置２２Ｂまで」という場合がある）の距離Ａ２が、第１の部分２３１Ａの前後方向の中心位置から第１の固定位置２２Ａの前後方向の中心位置まで（以下、「スケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまで」という場合がある）の距離Ａ１と等しくなるように、設けられている。なお、第１の固定位置２２Ａおよび第２の固定位置２２Ｂの大きさは、それぞれ第１の脚部２４１および第２の脚部２５１の底面と同じ大きさであるが、第１の固定位置２２Ａおよび第２の固定位置２２Ｂを理解しやすくするために、若干小さく図示している。

搬送部は、コントローラ５の制御によって駆動し、ステージ２１を搬送方向Ｄに往復移動させる。

第１のラインヘッド３は、複数の図示しないモジュールヘッドを備えている。モジュールヘッドは、インクを吐出する第１のインクヘッドを備えている。第１のラインヘッド３は、印刷対象物１０の印刷の際、第１の色のインクを吐出する。第１のラインヘッド３は、第１のラインヘッド保持部材２４の第１の架橋部２４２における後側に固定されている。

第２のラインヘッド４は、複数の図示しないモジュールヘッドを備えている。モジュールヘッドは、インクを吐出する第２のインクヘッドを備えている。第２のラインヘッド４は、印刷対象物１０の印刷の際、第１の色とは異なる第２の色のインクを吐出する。第２のラインヘッド４は、第２のラインヘッド保持部材２５の第２の架橋部２５２における前側に固定されている。つまり、第１のラインヘッド３および第２のラインヘッド４は、互いに対向するように設けられている。

コントローラ５は、インクジェット装置１を制御する。コントローラ５は、本開示の制御部としても機能する。なお、コントローラ５の制御の詳細については後述する。

＜印刷プロセス＞
次に、インクジェット装置１の印刷プロセスについて説明する。まず、図１に示すように、ステージ２１の載置部２１１が第１のラインヘッド保持部材２４よりも前側に位置する状態において、印刷対象物１０が吸着によって載置部２１１に保持されると、コントローラ５は、搬送部を制御して、ステージ２１全体を搬送方向Ｄに沿って後側に移動させる。リニアスケール２３の検出部２３２は、スケール２３１に基づく位置情報の検出結果をコントローラ５に出力する。コントローラ５は、検出部２３２からの検出結果に基づいて、ステージ２１の搬送方向Ｄの位置を検出するとともに、第１のラインヘッド３および第２のラインヘッド４と印刷対象物１０との位置関係を検出する。コントローラ５は、第１のラインヘッド３および第２のラインヘッド４と印刷対象物１０との位置関係に基づいて、第１のラインヘッド３および第２のラインヘッド４を制御して、第１の色のインクおよび第２の色のインクを所定のタイミングで吐出する。第１の色のインクおよび第２の色のインクの印刷対象物１０への吐出によって、印刷対象物１０に所定のパターンが印刷される。

コントローラ５は、第２のラインヘッド保持部材２５の後側の所定位置にステージ２１が到達すると、搬送部を制御して、ステージ２１を停止させる。その後、コントローラ５は、搬送部を制御して、ステージ２１全体を搬送方向Ｄに沿って前側に移動させ、ステージ２１が図１に示す位置に到達したら、ステージ２１を停止させる。コントローラ５は、載置部２１１による印刷対象物１０の吸着を解除する。以上により、１枚の印刷対象物１０に対する印刷が終了する。

＜第１の実施の形態の作用効果＞
第１のラインヘッド保持部材２４を架台２２の第１の固定位置２２Ａに固定し、第２のラインヘッド保持部材２５を架台２２の第２の固定位置２２Ｂに固定している。スケール２３１における第１の固定位置２２Ａと第２の固定位置２２Ｂとの間に位置する第１の部分２３１Ａを、スケール設置部材２２２を介して架台２２に固定し、第２の部分２３１Ｂを、スケール設置部材２２２を介して架台２２に固定していない。スケール２３１および架台２２は、温度変化に伴い歪む。スケール２３１におけるスケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまでの測定部分の歪み量と、架台２２におけるスケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまでの部分の歪み量との差を、第１の歪み量差とする。スケール２３１におけるスケール２３１の固定位置から第２の固定位置２２Ｂまでの測定部分の歪み量と、架台２２におけるスケール２３１の固定位置から第２の固定位置２２Ｂまでの部分の歪み量との差を、第２の歪み量差とする。スケール２３１および架台２２の歪み量はスケール２３１の固定位置から離れるほど大きくなるが、第１の固定位置２２Ａと第２の固定位置２２Ｂとの間に、スケール２３１の固定位置が存在しているため、第１の歪み量差と、第２の歪み量差との差を、上記従来技術の場合と比べて小さくすることができる。したがって、リニアスケール２３による第１のラインヘッド３に対する印刷対象物１０の位置検出の誤差と、第２のラインヘッド４に対する印刷対象物１０の位置検出の誤差との差を、上記従来技術の場合と比べて小さくすることができ、印刷位置精度の低下を抑制できる。

上方から見たときのスケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまでの距離Ａ１と、スケール２３１の固定位置から第２の固定位置２２Ｂまでの距離Ａ２とを等しくしている。このため、第１のラインヘッド３に対する印刷対象物１０の位置検出の誤差と第２のラインヘッド４に対する印刷対象物１０の位置検出の誤差との差をなくすことができる。したがって、印刷位置精度の低下をさらに抑制できる。特に、大型の印刷対象物１０に対する印刷位置精度の低下を抑制できる。

例えば、Ｇ８サイズ（２５００ｍｍ×２２００ｍｍ）の印刷対象物１０に印刷を行う場合、上記従来技術のように、図１に示す投入位置に位置する印刷対象物１０の中心１０Ｃの真下において、スケール２３１がスケール設置部材２２２に固定され、スケール２３１のそれ以外の部分がスケール設置部材２２２に固定されていない場合、スケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまでの距離（上方から見たときの中心１０Ｃから第１の固定位置２２Ａまでの距離）Ａ１１は、１７５０ｍｍとなる。また、スケール２３１の固定位置から第２の固定位置２２Ｂまでの距離（上方から見たときの中心１０Ｃから第２の固定位置２２Ｂまでの距離）Ａ１２は、３７５０ｍｍとなる。

架台２２を構成する石材の熱膨張係数を、１０．８μｍ／ｍ／℃とした場合、温度が１℃変化すると、架台２２におけるスケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまでの部分の歪み量（以下、「比較例の第１の架台歪み量」という場合がある）は、１８．９μｍ（＝１０．８×１．７５×１）となる。スケール２３１を構成する低熱膨張硬質マルテンサイトステンレスの熱膨張係数を、６．３μｍ／ｍ／℃とした場合、温度が１℃変化すると、スケール２３１におけるスケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまでの測定部分の歪み量（以下、「比較例の第１のスケール歪み量」という場合がある）は、１１．０２５μｍ（＝６．３×１．７５×１）となる。したがって、比較例の第１の架台歪み量と、比較例の第１のスケール歪み量との差（以下、「比較例の第１の歪み量差」という場合がある）は、７．８７５μｍ（＝１８．９−１１．０２５）となる。

また、温度が１℃変化すると、架台２２におけるスケール２３１の固定位置から第２の固定位置２２Ｂまでの部分の歪み量（以下、「比較例の第２の架台歪み量」という場合がある）は、４０．５μｍ（＝１０．８×３．７５×１）となる。スケール２３１におけるスケール２３１の固定位置から第２の固定位置２２Ｂまでの測定部分の歪み量（以下、「比較例の第２のスケール歪み量」という場合がある）は、２３．６２５μｍ（＝６．３×３．７５×１）となる。したがって、比較例の第２の架台歪み量と、比較例の第２のスケール歪み量との差（以下、「比較例の第２の歪み量差」という場合がある）は、１６．８７５μｍ（＝１８．９−１１．０２５）となる。

一方、第１の実施の形態の構成によれば、Ｇ８サイズの印刷対象物１０に印刷を行う場合、上方から見たときのスケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまでの距離Ａ１と、スケール２３１の固定位置から第２の固定位置２２Ｂまでの距離Ａ２とを、ともに１０００ｍｍにすることができる。温度が１℃変化すると、架台２２におけるスケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまでの部分の歪み量（以下、「実施例の第１の架台歪み量」という場合がある）は、１０．８μｍ（＝１０．８×１．００×１）となる。スケール２３１におけるスケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまでの測定部分の歪み量（以下、「実施例の第１のスケール歪み量」という場合がある）は、６．３μｍ（＝６．３×１．００×１）となる。したがって、実施例の第１の架台歪み量と、実施例の第１のスケール歪み量との差（以下、「実施例の第１の歪み量差」という場合がある）は、４．５μｍ（＝１０．８−６．３）となる。また、架台２２におけるスケール２３１の固定位置から第２の固定位置２２Ｂまでの部分の変化量歪み量（以下、「実施例の第２の架台歪み量」という場合がある）と、スケール２３１におけるスケール２３１の固定位置から第２の固定位置２２Ｂまでの測定部分の歪み量（以下、「実施例の第２のスケール歪み量」という場合がある）との差（以下、「実施例の第２の歪み量差」という場合がある）も、４．５μｍとなる。

以上のことから、実施例の第１の歪み量差は、比較例の第１の歪み量差と比べて、３．３７５μｍ（＝７．８７５−４．５）小さくなる。また、実施例の第２の歪み量差は、比較例の第２の歪み量差と比べて、１２．３８５μｍ（＝１６．８７５−４．５）小さくなる。つまり、第１の実施の形態における第１の歪み量差に影響を受ける第１のラインヘッド３に対する印刷対象物１０の位置検出の誤差、および、第２の歪み量差に影響を受ける第２のラインヘッド４に対する印刷対象物１０の位置検出の誤差は、上記従来技術の構成と比べて小さくなる。その結果、大型の印刷対象物１０に対する印刷位置精度の低下を抑制できる。

（第２の実施の形態）
次に、第２の実施の形態について説明する。第１の実施の形態と同じ構成や動作については、説明を省略または簡略にする。図３は、本開示の第２の実施の形態におけるインクジェット装置を上方から見た模式図であり、一部を切り欠いた模式図である。図４は、本開示の第２の実施の形態におけるインクジェット装置を正面から見た模式図である。

＜構成＞
まず、インクジェット装置の構成について説明する。図３および図４に示すように、第２の実施の形態のインクジェット装置１Ａは、第１，第２，第３，第４のアライメントカメラ２６１Ａ，２６２Ａ，２６３Ａ，２６４Ａが設けられている点が第１の実施の形態と異なる。第１，第２，第３，第４のアライメントカメラ２６１Ａ，２６２Ａ，２６３Ａ，２６４Ａは、読取部の一例である。第１，第２のアライメントカメラ２６１Ａ，２６２Ａは、第１のラインヘッド保持部材２４の第１の架橋部２４２の下面に、左右方向に並ぶように設けられている。第３，第４のアライメントカメラ２６３Ａ，２６４Ａは、第２のラインヘッド保持部材２５の第２の架橋部２５２の下面に、左右方向に並ぶように設けられている。各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａは、カメラ移動機構２７Ａを介して、第１の架橋部２４２または第２の架橋部２５２に設けられている。カメラ移動機構２７Ａは、各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａを搬送方向Ｄまたは左右方向に移動させる。

＜印刷プロセス＞
次に、インクジェット装置１Ａの印刷プロセスについて説明する。なお、第２の実施の形態では、印刷対象物１０の印刷面における四隅の近傍に、それぞれアライメントマークが設けられている場合について説明する。まず、コントローラ５は、ユーザによる図示しない入力部の入力操作に基づいて、印刷対象物１０のアライメントマークの位置を認識する。コントローラ５は、図３に示すように、印刷対象物１０が吸着によって載置部２１１に保持されると、印刷対象物１０のアライメントマークの位置に基づいて、カメラ移動機構２７Ａを制御して、各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａで１個ずつのアライメントマークを読み取れるように、各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａの相対位置を調整する。

コントローラ５は、搬送部を制御して、ステージ２１全体を搬送方向Ｄに沿って後側に移動させ、各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａの下方にアライメントマークが位置する状態になったら、ステージ２１を停止させる。各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａは、印刷対象物１０のアライメントマークを読み取り、読み取り結果をコントローラ５に出力する。コントローラ５は、各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａの読み取り結果に基づいて、移動部２１３を制御し、印刷対象物１０が所定の位置に位置するように、載置部２１１を回転させたり、左右方向に移動させたりして、印刷対象物１０の位置決めを行う。コントローラ５は、印刷対象物１０の位置決めが終了すると、載置部２１１を図３に示す位置に戻す。コントローラ５は、各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａの読み取り結果に基づいて、第１のラインヘッド３および第２のラインヘッド４からのインクの吐出タイミングを設定する。その後、コントローラ５は、第１の実施の形態と同様の制御を行い、印刷対象物１０に所定のパターンを印刷する。

＜第２の実施の形態の作用効果＞
第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の作用効果に加えて、以下のような作用効果がある。第１，第２のアライメントカメラ２６１Ａ，２６２Ａを第１のラインヘッド保持部材２４に設け、第３，第４のアライメントカメラ２６３Ａ，２６４Ａを第２のラインヘッド保持部材２５に設けている。

ここで、各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａを設ける方法としては、各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａを保持するためのカメラ保持部材を、架台２２の上面における第１の固定位置２２Ａおよび第２の固定位置２２Ｂとは異なる位置に固定する方法が考えられる。しかし、この場合、温度変化に伴う、架台２２におけるスケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまたは第２の固定位置２２Ｂまでの部分の歪み量と、架台２２におけるスケール２３１の固定位置からカメラ保持部材の固定位置までの部分の歪み量とが大きく異なってしまう。このため、リニアスケール２３による第１のラインヘッド３または第２のラインヘッド４に対する印刷対象物１０の位置検出結果に、誤差が発生してしまい、印刷位置精度が低下してしまう。

一方、第２の実施の形態では、各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａを第１のラインヘッド３が固定された第１のラインヘッド保持部材２４、または、第２のラインヘッド４が固定された第２のラインヘッド保持部材２５に設けているため、温度変化に伴う、架台２２におけるスケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまたは第２の固定位置２２Ｂまでの部分の歪み量と、架台２２におけるスケール２３１の固定位置から各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａの固定位置までの部分の歪み量との差を小さくすることができる。したがって、リニアスケール２３による第１のラインヘッド３または第２のラインヘッド４に対する印刷対象物１０の位置検出結果に、誤差が発生することを抑制でき、印刷位置精度の低下を抑制できる。

各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａを、カメラ移動機構２７Ａを介して、第１のラインヘッド保持部材２４または第２のラインヘッド４に設けている。このため、印刷対象物１０が切り替えられても、カメラ移動機構２７Ａの駆動によって、各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａをアライメントマークを読み取り可能な位置に移動させることができる。したがって、各アライメントカメラ２６１Ａ〜２６４Ａの読み取り結果に基づいて、第１のラインヘッド３および第２のラインヘッド４からのインクの吐出タイミングを、印刷対象物１０に応じた適切なタイミングに設定することができ、印刷位置精度の低下をより抑制できる。特に、大型の印刷対象物１０に対して印刷位置精度の低下を抑制できる。

［変形例］
本開示は、これまでに説明した実施の形態に示されたものに限られないことは言うまでもなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の変形を加えることができる。

例えば、第１，第２の実施の形態において、スケール２３１の固定位置から第１の固定位置２２Ａまでの距離Ａ１と、スケール２３１の固定位置から第２の固定位置２２Ｂまでの距離Ａ２とを等しくしなくてもよい。

第２の実施の形態において、アライメントカメラを第１のラインヘッド保持部材２４または第２のラインヘッド保持部材２５のみに設けてもよい。この場合、印刷対象物１０の２個のアライメントマークを、第１のラインヘッド保持部材２４または第２のラインヘッド保持部材２５のみに設けた１個または２個のアライメントカメラで読み取ってもよいし、３個以上のアライメントマークを、第１のラインヘッド保持部材２４または第２のラインヘッド保持部材２５のみに設けた１個または３個以上のアライメントカメラで読み取ってもよい。

第１，第２の実施の形態において、第１のラインヘッド３を第１のラインヘッド保持部材２４の前側に固定する等、第１のラインヘッド３と第２のラインヘッド４とを、互いに対向しないように設けてもよい。

本開示のステージ装置および印刷装置は、印刷対象物にインク等を塗布する装置に有効であり、特に、大型の印刷対象物にインク等を塗布する装置に有効である。本開示のステージ装置および印刷装置は、有機ＥＬの発光体、ホール輸送層、電子輸送層の印刷や、カラーフィルターの印刷等であって、大型の印刷対象物に効率よくインク等の材料を塗布する装置に適用することができる。

１，１Ａ，９ インクジェット装置
２，９１ ステージ装置
３ 第１のラインヘッド
４ 第２のラインヘッド
５ コントローラ
１０，９０ 印刷対象物
１０Ｃ 中心
２１，９１１ ステージ
２２，９１２ 架台
２２Ａ 第１の固定位置
２２Ｂ 第２の固定位置
２３ リニアスケール
２４ 第１のラインヘッド保持部材
２５ 第２のラインヘッド保持部材
２７Ａ カメラ移動機構
９２ 第１の吐出部ユニット
９３ 第２の吐出部ユニット
９４ メインコントローラ
２１１，９１１Ａ 載置部
２１２ 被支持部
２１３ 移動部
２２１ ガイド
２２２ スケール設置部材
２３１ スケール
２３１Ａ 第１の部分
２３１Ｂ 第２の部分
２３２ 検出部
２４１ 第１の脚部
２４２ 第１の架橋部
２５１ 第２の脚部
２５２ 第２の架橋部
２６１Ａ 第１のアライメントカメラ
２６２Ａ 第２のアライメントカメラ
２６３Ａ 第３のアライメントカメラ
２６４Ａ 第４のアライメントカメラ
９１１ ステージ
９１１Ｂ Ｘ調整機構
９１１Ｃ θ調整機構
９１３ 第１のユニット保持部材
９１３Ａ 第１のユニット移動軸
９１４ 第２のユニット保持部材
９１４Ａ 第２のユニット移動軸
９１５ アライメントカメラ
Ｄ 搬送方向

Claims (5)

1. 印刷対象物が載置されるステージと、
   前記ステージを往復移動可能に支持する架台と、
   リニアスケールと、
   第１のインクヘッドを前記印刷対象物に対向するように保持する第１のインクヘッド保持部材と、
   第２のインクヘッドを前記印刷対象物に対向するように保持する第２のインクヘッド保持部材と、を備え、
   前記リニアスケールは、前記ステージの移動方向に延びるように、前記架台に固定されたスケールと、前記ステージに設けられ、前記スケールに基づく位置情報を検出する検出部と、を備え、
   前記第１のインクヘッド保持部材は、前記架台の第１の固定位置に固定され、
   前記第２のインクヘッド保持部材は、前記架台における前記第１の固定位置から前記ステージの移動方向に離れた第２の固定位置に固定され、
   前記スケールにおける前記第１の固定位置と前記第２の固定位置との間に位置する第１の部分が、前記架台に固定されており、前記スケールにおける前記第１の部分以外の第２の部分が、前記架台に固定されていない、ステージ装置。
2. 前記印刷対象物に設けられたマークを読み取る読取部と、
   制御部と、をさらに備え、
   前記ステージは、前記印刷対象物が載置される載置部と、前記載置部を移動させる移動部と、を備え、
   前記制御部は、前記読取部の読み取り結果に基づいて、前記印刷対象物が所定の位置に位置するように、前記載置部を移動させる、請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記読取部は、前記第１のインクヘッド保持部材および前記第２のインクヘッド保持部材のうち少なくとも一方に設けられている、請求項２に記載のステージ装置。
4. 前記第１の部分から前記第１の固定位置までの距離と、前記第１の部分から前記第２の固定位置までの距離とは等しい、請求項１から３のいずれか一項に記載のステージ装置。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載のステージ装置と、
   前記ステージ装置の第１のインクヘッド保持部材で保持された第１のインクヘッドと、
   前記ステージ装置の第２のインクヘッド保持部材で保持された第２のインクヘッドと、を備える、印刷装置。

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