JP2021154575A - スクリーン印刷装置 - Google Patents

Abstract

【課題】両面基板等の印刷を安定して実行可能にする技術を提供する。【解決手段】スクリーン印刷装置（１）は、上面に被印刷物（３０）が載置される載置板（１２）と、上面に載置板が固定されるステージ（１１）と、被印刷物に伝達される振動を発生させる振動発生部（２０）と、を備え、載置板には、被印刷物の下面の突出部（３１）を収容するための、凹部または孔部が形成されている。【選択図】図１

Description

本発明はスクリーン印刷装置に関する。

スクリーン印刷装置を用い、種々の印刷材料を被印刷物の表面にパターニングする手法が知られている。例えば、回路基板の表面へのはんだのパターン形成が、スクリーン印刷装置を用いて行われている。

近年、このようなスクリーン印刷装置により印刷される回路基板では、電子部品の小型化により、０４０２以下のＳＭＤ（Surface Mount Device：表面実装部品）のような小さな部材を搭載する例が増加している。これにより、スクリーンマスクに形成された穴の大きさは、被印刷物に搭載される部材の小型化に合わせて小さくなる。

この結果、はんだペーストは、スクリーンマスクに形成された穴に充填されにくくなる虞がある。さらに、被印刷物からスクリーンマスクを除去する際、スクリーンマスクに形成された穴からはんだペーストが抜けにくく、はんだペーストの一部がスクリーンマスクに付着することで、形成したはんだのパターンに欠けが発生する虞もある。

これに対し、特許文献１には、電子部品の基板等の被印刷物を下受けする印刷ステージと、被印刷物を振動させる振動源とが一体に構成されるスクリーン印刷装置が開示されている。当該スクリーン印刷装置は、はんだペーストがスクリーンマスクに形成された穴に充填される際に形成した空隙を、振動源の振動により除去する。

また、特許文献２には、電子部品の基板等の被印刷物を下受けする支持テーブルと、印刷機ステージを上下動させるとともに、被印刷物に対して微小振動を印加するモータとが一体に構成されるスクリーン印刷装置が開示されている。当該スクリーン印刷装置は、振動源の振動による剪断力によってスクリーンマスクに形成された穴からはんだペーストが抜けやすくする。

特開２０１３−０６７０４３号公報 特開平６−３２０７０８号公報

高密度実装への要請に伴って、基板の両面に電子部品が実装されるケースが増大している。このような場合、被印刷物の両面にスクリーン印刷を施す必要がある。基板の両面に電子部品を実装するには、まず被印刷物の片面（以降「第１面」と称する）にはんだのパターンのスクリーン印刷を施した後、電子部品を取付ける。次いで、第１面に対向する面（以降、「第２面」と称する）側にはんだのパターンのスクリーン印刷を施した後、電子部品を取付ける。

本件発明者は、上述のような両面に電子部品のような部材が搭載される被印刷物の印刷において、特許文献１および２のようなスクリーン印刷装置では、第２面の印刷時に、第１面に実装された電子部品等により形成された突出部と、印刷ステージとが接触することにより被印刷物を印刷ステージに設置できず、良好に印刷できないという課題を見出した。

本発明は、一側面では、このような実情を鑑みてなされたものであり、その目的は、被印刷物の印刷ステージと接触する面（第１面）側へ突出部が形成された被印刷物でも良好に印刷可能なスクリーン印刷装置を提供することである。

本発明は、上述した課題を解決するために、以下の構成を採用する。すなわち、本開示の一側面に係るスクリーン印刷装置は、被印刷物の上面に、印刷材料を、スクリーンマスクにより規定される所望のパターンで形成するスクリーン印刷装置であって、上面に前記被印刷物が載置される載置板と、上面に前記載置板が固定されるステージと、前記被印刷物に伝達される振動を発生させる振動発生部と、を備え、前記載置板には、前記被印刷物の下面の突出部を収容するための、凹部または孔部が形成されている。

当該構成では、被印刷物の下面の突出部を載置板に形成された凹部または孔部に収容できる。これにより、突出部が形成された被印刷物であっても、被印刷物の突出部が形成された面が載置板に密着する状態で被印刷物を載置できる。この結果、振動を被印刷物に安定して伝達できるため、スクリーンマスクに形成された穴の内壁に対するはんだペーストの剪断性を向上させることにより、はんだペーストはスクリーンマスクに形成された穴から抜けやすくなる。

以上より、突出部が形成された被印刷物に印刷をする場合であっても、スクリーン印刷装置は、当該被印刷物に良好な印刷を施すことができる。載置板は、被印刷物の下面の突出部の形状、位置および数等に応じた形状に加工でき、また、ステージとは別部材で構成されているため、多様な被印刷物の下面形状に対応して印刷が可能となる。

前記一側面に係るスクリーン印刷装置において、前記載置板は、前記ステージに着脱可能に固定されてよい。当該構成によれば、スクリーン印刷装置は、被印刷物の下面の突出部の形状、位置および数等に応じた載置板へ変更することが容易となる。これにより、スクリーン印刷装置は、被印刷物の下面の突出部の形状、位置および数に応じた載置板を用いることで、１台のスクリーン印刷装置で様々な突出部が形成された被印刷物への対応が容易になる。

載置板をステージに着脱可能に固定するとは、ねじまたは磁石等により固定してよい。さらに、載置板とステージとの形状を調整することで、載置板をステージにはめ込むことにより固定することを含む。

前記一側面に係るスクリーン印刷装置において、前記振動発生部は、前記ステージを振動させるように、前記ステージに接続されてよい。当該構成によれば、スクリーン印刷装置は、ステージを通じて被印刷物を振動させることができる。これにより、スクリーン印刷装置は、振動発生部を自由に配置できる。

前記一側面に係るスクリーン印刷装置において、前記ステージの上面の一部には、空洞部が設けられてよい。当該構成によれば、突出部の高さが載置板の厚みより長い場合であっても、ステージの上面の一部に形成された空洞部の内部に突出部を配置することにより、被印刷物を載置板に設置できる。これにより、スクリーン印刷装置は、載置板の厚みよりも高い突出部を備えた被印刷物であっても、当該被印刷物に良好な印刷を施すことができる。

前記一側面に係るスクリーン印刷装置において、前記ステージが設置される架台を更に備え、前記ステージと前記架台との間には、ダンパが設けられてよい。当該構成によれば、更にステージと架台との間にダンパが設けられることで、振動発生部にて発生した振動が架台に伝達することを低減できる。

これにより、被印刷物に伝達される振動の強度を強くできる。この結果、スクリーン印刷装置は、スクリーンマスクの取り外し時等に、被印刷物に十分な振動を伝達することで、印刷材料がスクリーンマスクの穴から抜けやすくでき、被印刷物に良好な印刷を施すことができる。

前記一側面に係るスクリーン印刷装置において、前記被印刷物の下面に接触する振動伝達部材を更に備え、前記振動発生部は、前記振動伝達部材を振動させるように、前記振動伝達部材に接続され、前記載置板には、前記振動伝達部材が貫通する、貫通部が形成されてよい。

当該構成によれば、振動伝達部材を介して振動発生部にて発生した振動を被印刷物に直接伝達できる。これにより、振動発生部にて発生した振動が、ステージを伝達することにより減衰することを防ぐことができる。貫通部は、上述の開口部と別に形成されてよいが、開口部としての機能を備えた貫通部を形成してよい。

前記一側面に係るスクリーン印刷装置において、前記印刷材料は、はんだペーストであってよい。当該構成によれば、基板に配線の形成および基板に部材を配置できる。

本発明の一側面によれば、被印刷物の印刷ステージ等と接触する面に突出部が存在する場合でも良好に印刷可能なスクリーン印刷装置を提供できる。

図１は、実施の形態に係るスクリーン印刷装置における、要部構成を示す断面模式図である。 図２は、実施の形態に係るスクリーン印刷装置の載置板の一例を模式的に例示する斜視図である。 図３は、実施の形態に係るスクリーン印刷装置２における、要部構成を示す断面模式図である。 図４は、実施の形態に係るスクリーン印刷装置３における、要部構成を示す断面模式図である。 図５は、実施の形態に係るスクリーン印刷装置４における、要部構成を示す断面模式図である。 図６は、実施の形態に係るスクリーン印刷装置５における、要部構成を示す断面模式図である。 図７は、実施の形態に係るスクリーン印刷装置６における、要部構成を示す断面模式図である。 図８は、実施の形態に係るスクリーン印刷装置７における、要部構成を示す断面模式図である。

以下、本発明の一側面に係る実施の形態（以下、「本実施形態」とも表記する）を、図面に基づいて説明する。本願における各図面に記載した構成の形状および寸法（長さ、幅、高さ等）は、実際の形状および寸法が必ずしも反映されたものではなく、図面の明瞭化、簡略化、細部の表示のために適宜変更されている。

§１ 適用例
図１を用いて、本発明に係るスクリーン印刷装置の適用例について説明する。図１は、本実施形態に係るスクリーン印刷装置における、要部構成を示す断面模式図である。

スクリーン印刷装置１は、テーブル部１０と、振動発生部２０と、スキージ６０と、架台７０とを備える。スクリーン印刷装置１は、被印刷物３０に対し、所望の形状のスクリーンマスク穴４１が形成されたスクリーンマスク４０を用いてスキージ６０を摺動することにより印刷材料５０を被印刷物３０に転写させる装置である。

テーブル部１０は、ステージ１１、載置板１２、および固定部１４を備える。ステージ１１は、振動発生部２０にて発生した振動を被印刷物３０に伝達する。載置板１２は、凹部または孔部の開口部１３が形成される。開口部１３は、被印刷物３０に形成された突出部３１を収容する。固定部１４は、ステージ１１と載置板１２とを着脱可能に固定する。

振動発生部２０は、振動を発生させる装置である。振動発生部２０において発生した振動は、まず振動発生部２０からステージ１１に伝達し、次にステージ１１から被印刷物３０に伝達し、次に被印刷物３０からスクリーンマスク４０に伝達し、最後にスクリーンマスク４０から印刷材料５０に伝達する。このように振動が伝達することで、振動発生部２０において発生した振動は、スクリーンマスク穴４１に充填された印刷材料５０を振動させる。スキージ６０は、スクリーンマスク４０の上面を摺動することにより、印刷材料５０をスクリーンマスク穴４１に充填する。架台７０は、テーブル部１０を固定する。

被印刷物３０は、当該被印刷物３０のテーブル部１０に対向する面側に突出部３１が形成されうる。スクリーンマスク４０は、被印刷物３０に印刷材料５０を転写するスクリーンマスク穴４１が形成される。スクリーンマスク穴４１は、所望のパターンで形成される。印刷材料５０は、スクリーンマスク穴４１に充填され、被印刷物３０に転写される。

当該構成では、被印刷物３０の下面の突出部３１を載置板１２に形成された開口部１３に収容できる。これにより、突出部３１が形成された被印刷物３０であっても、被印刷物３０の載置板１２に対向する面が載置板１２に密着する状態で設置できる。この結果、振動を被印刷物３０に安定して伝達できるため、スクリーンマスク穴４１の内壁に対する印刷材料５０の剪断性を向上させることができる。以上より、突出部３１が形成された被印刷物３０に印刷をする場合であっても、スクリーン印刷装置１は、当該被印刷物に良好な印刷を施すことができる。

さらに、当該構成では、載置板１２は、被印刷物３０の下面の突出部３１の形状、位置および数等に応じた形状に加工でき、また、ステージ１１とは別部材で構成されているため、多様な被印刷物３０の下面形状に応じた印刷が可能となる。

§２ 構成例
＜スクリーン印刷装置＞
次に、図１および図２を用いて、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１の構成の一例について説明する。図２は、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１における載置板１２の一例を模式的に例示する斜視図である。

図１に示すように、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、テーブル部１０、振動発生部２０、スキージ６０および架台７０を備える。テーブル部１０は、ステージ１１、載置板１２および固定部１４から構成される。

ステージ１１および載置板１２は、土台となるステージ１１と、ステージ１１の上面に載置される上板となる載置板１２とが、被印刷物を下部から支える下受けユニットを構成する。載置板１２は、ステージ１１とは別部材として構成され、ステージ１１から分離可能である。載置板１２として例えば厚みが１ｍｍ〜３ｍｍの金属製の薄板を適用し得る。載置板１２は、突出部３１を収容するための開口部１３を備える。

開口部１３は、図２では、載置板１２の略全面に、載置板１２を貫通する穴である孔部のみで構成された例を示すが、これに限定されるものではない。例えば、開口部１３は、孔部と、載置板１２に形成された凹みである凹部とで構成されてよい。さらに開口部１３は、凹部のみで構成されてもよい。

固定部１４は、ステージ１１と載置板１２とを着脱可能に固定する。図１および図２では、固定部１４は、ねじにてステージ１１と載置板１２との四隅を固定することにより、ステージ１１と載置板１２とを着脱可能に固定するが、これに限定されるものではない。例えば、ねじの代わりに磁石を固定部１４として用いることによりステージ１１と載置板１２とを着脱可能に固定してもよい。

さらに、ステージ１１に載置板１２を固定できれば、四隅に限定されず固定部１４の形状、位置および数は変更してよい。さらに、固定部１４を設けず、ステージ１１に載置板１２が篏合する窪み（不図示）を形成し、当該窪みに載置板１２を篏合することにより、ステージ１１と載置板１２とを着脱可能に固定してもよい。

振動発生部２０は、振動を発生する装置であればよい。振動発生部２０において発生させる振動は、スクリーンマスク穴４１に印刷材料５０を充填する際、または印刷材料５０をスクリーンマスク穴４１に充填した後、スクリーンマスク４０を取り外す際に発生させてよい。本実施形態の具体的事例では、振動発生部２０として、４０ＫＨｚの振動を発生させる超音波発生装置を用いた。

スキージ６０は、摺動部材の一例であり、スクリーンマスク４０の上を摺動する。スキージ６０は、スクリーンマスク穴４１に印刷材料５０を充填する。架台７０は、テーブル部１０が設置される。

＜被印刷物＞
被印刷物３０は、基板または紙等の様々なスクリーン印刷の印刷対象物であり得、基板としては、ガラスエポキシ樹脂基板、フレキシブル基板、セラミック基板、紙フェルール基板または金属ベース基板等が挙げられる。以下では、被印刷物３０として、ガラスエポキシ樹脂基板を用いる場合を例に挙げ説明する。

被印刷物３０は、載置板１２に密着するように載置される。また、被印刷物３０は、スクリーンマスク４０が密着するように載置される。被印刷物３０は、部材を実装するために被印刷物３０の片面に印刷が施されてよく、被印刷物３０の両面に部材を実装するために、まず被印刷物３０の片面に印刷を施して部材を実装した後、部材が実装された面に対向する面側に印刷が施されてよい。

上述のように被印刷物３０の両面に部材等を実装する場合、片面に部材等を実装した状態の被印刷物３０では、印刷する面に対向する面側にＳＭＤ等の部材または配線等の突出部３１を備える。突出部３１は、被印刷物３０にデザインまたは機能上形成された突起であってもよい。

＜スクリーンマスク＞
スクリーンマスク４０は、後述する印刷材料５０を被印刷物３０に転写するスクリーンマスク穴４１が形成される。本実施形態におけるスクリーンマスク４０の具体的な構成としては、版となるＳＵＳの加工板を用いることができる。スクリーンマスク穴４１は、所望のパターンで形成される。

＜印刷材料＞
本実施形態における印刷材料５０の具体的な構成としては、はんだペーストを用いることができるが、導電ペーストまたは接着剤であってもよい。はんだペーストは、錫銀銅をベースとしたはんだペーストであってよく、金属単体または任意の種類の金属を混合した混合物をベースとしたはんだペーストであってもよい。

＜作用、効果＞
以上のように、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、被印刷物３０に形成された突出部３１を開口部１３に収容できる。これにより、突出部３１が形成された被印刷物３０であっても、被印刷物３０の突出部３１が形成された面が載置板１２に密着するように被印刷物３０をテーブル部１０に設置することができ、被印刷物３０は、載置板１２と略平行に設置できる。これにより、被印刷物３０の突出部３１が形成された面に対向する面が平坦となるため、被印刷物３０とスクリーンマスク４０とが密着できる。この結果、スクリーン印刷装置１は、被印刷物３０に安定して印刷できる。

さらに、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、載置板１２が、ステージ１１に着脱可能に固定されるため、被印刷物３０の下面の突出部３１の形状、位置および数等に応じた載置板１２へ変更することが容易となる。

さらに、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、振動発生部２０がステージ１１を振動させるようにステージ１１に接続されるため、振動発生部を自由に配置できる。

さらに、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、印刷材料としてはんだペーストを用いることで、基板に配線の形成および基板に部材を配置できる。

さらに、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、小型化された部品およびＢＧＡ（Ｂａｌｌ ｇｒｉｄ ａｒｒａｙ）等の狭ピッチな部品のように、はんだ付けする面積が小さく設計された部品を実装するために印刷する場合であっても、スクリーンマスクの厚さを薄くせずに印刷でき、はんだの厚みを確保できる。

換言すれば、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、被印刷物３０に転写する印刷材料５０のアスペクト比の値が２．７と高い、高アスペクト比の印刷を実現できる。これにより、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、はんだ接合部において印刷材料５０の不足によりクラックが発生することを低減できる。

なお、ここでアスペクト比とは、スクリーンマスクに形成された穴の開口部の面積（以降、「底面積」と称する）の値に対する、当該スクリーンマスクに形成された穴を形成するスクリーンマスクの面の面積（以降「側面積」と称する）の値（底面積の値／側面積の値）である。また、スクリーンマスクに形成された穴が円柱状等の柱状である場合、側面積の値は、（スクリーンマスクの厚み）×（スクリーンマスクに形成された開口部の周の長さ）で求められる面積の値である。なお、柱状とは、円柱状に限らず、三角柱状、四角柱状、多角柱状、または不定形な底面形状をした柱状等であってもよい。

アスペクト比の値が２．７となる具体的なスクリーンマスク穴のサイズは、開口部の直径が１８０μｍ、スクリーンマスクの厚みが１２０μｍである。

また、はんだ付けする面積が小さく設計された部品を実装するために高アスペクト比の印刷をする場合、従来技術では、スクリーンマスクを取り外す際に印刷材料がスクリーンマスクに形成された穴から抜けにくい。このため、従来技術では、パターンを重ねる（印刷材料を積層させる）ことで、高アスペクト比の印刷が行わる。

一方、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、高アスペクト比の印刷を実現できるため、所望の厚さのスクリーンマスク４０を用いることにより被印刷物３０に所望の厚さで印刷できる。これにより、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、所望の厚さの印刷材料５０を転写するために、厚みの異なるスクリーンマスクを使用して複数回印刷すること、または印刷装置を複数台連結して印刷すること等によりパターンを重ねることが不要となる。

＜実施形態の変形例１＞
次に図３を用いて、変形例１に係るスクリーン印刷装置２について、図面を参照しながら説明する。図３は、変形例１に係るスクリーン印刷装置２における、要部構成を示す断面模式図である。

図３に示すように、スクリーン印刷装置２は、上述した実施形態に係るスクリーン印刷装置１の構成に対して、振動発生部２０がステージ１１ａの鉛直方向に対して垂直な方向に配置される（ステージ１１ａの側面に接触して配置される）点で異なる。変形例１に係るスクリーン印刷装置２のその他の構成は、スクリーン印刷装置１の構成と同様であるため、説明を省略する。

図３では、振動発生部２０がステージ１１ａの紙面向かって右側の側面に１つ配置された場合を例示するが、振動発生部２０の配置はこれに限定されない。振動発生部２０は、ステージ１１ａの紙面向かって左側の側面に配置されてよい。さらに振動発生部２０は、ステージ１１ａの紙面向かって奥行方向の側面のどちらかに配置されてよい。さらに振動発生部２０は、２つ以上の振動発生部２０をステージ１１ａの側面に配置してもよい。

上述のように振動発生部２０をステージ１１ａの鉛直方向に対して垂直な方向に配置することで、スクリーン印刷装置における振動発生部の配置の自由度を向上できる。

＜実施形態の変形例２＞
次に図４〜図６を用いて、変形例２に係るスクリーン印刷装置３〜スクリーン印刷装置５について説明する。図４は、変形例２に係るスクリーン印刷装置３における、要部構成を示す断面模式図である。図５は、変形例２に係るスクリーン印刷装置４における、要部構成を示す断面模式図である。図６は、変形例２に係るスクリーン印刷装置５における、要部構成を示す断面模式図である。

図４〜図６に示すように、スクリーン印刷装置３〜スクリーン印刷装置５は、上述した実施形態に係るスクリーン印刷装置１の構成に対して、ステージに空洞部が形成される点で異なる。変形例２に係るスクリーン印刷装置３〜スクリーン印刷装置５のその他の構成は、スクリーン印刷装置１の構成と同様であるため、説明を省略する。

図４では、テーブル部１０ｂとしてステージの中央付近において鉛直上方に第１空洞部８０が形成されたステージ１１ｂを備えるスクリーン印刷装置３を示す。図５では、テーブル部１０ｃとして、ステージの中央付近において鉛直上方に第２空洞部８１と、ステージの中央付近において鉛直下方に第３空洞部８２とが形成されたステージ１１ｃを備えるスクリーン印刷装置４を示す。図６では、テーブル部１０ｄとしてステージの中央付近において鉛直下方に第４空洞部８３が形成されたステージ１１ｄを備えるスクリーン印刷装置５を示す。

上述のようにステージの内部に空洞部が形成されることにより、ステージが肉薄となり、振動発生部２０にて発生した振動がステージを伝達する際に減衰することを低減できる。これにより、被印刷物３０に伝達する振動を強くできる。

また、スクリーン印刷装置３〜スクリーン印刷装置５は、第１空洞部８０〜第４空洞部８３に液体を封入することで、振動発生部２０にて発生した振動を被印刷物３０に均一に伝達できる。

さらに、スクリーン印刷装置３〜スクリーン印刷装置５は、第１空洞部８０〜第４空洞部８３の内部に振動発生部２０を配置できる。これにより、スクリーン印刷装置３〜スクリーン印刷装置５は、振動発生部２０を形成するスペースを減少させることにより、スクリーン印刷装置３〜スクリーン印刷装置５の大きさを小さくできる。

さらに、図４および図５に示すように、スクリーン印刷装置３およびスクリーン印刷装置４は、上述した実施形態に係るスクリーン印刷装置１の構成に対して、ステージの上部の一部に空洞部が設けられている点でさらに異なる。

スクリーン印刷装置３およびスクリーン印刷装置４に示すように、ステージの上部の一部に空洞部を設けることで、突出部３１の高さが載置板１２の厚みより長い場合であっても、突出部３１を空洞部に格納できる。これにより、スクリーン印刷装置３およびスクリーン印刷装置４は、載置板１２の厚みより長い部材が突出部３１として形成された被印刷物３０であっても載置板１２に載置することにより良好に印刷できる。

＜実施形態の変形例３＞
次に図７を用いて、変形例３に係るスクリーン印刷装置６について説明する。図７は、変形例３に係るスクリーン印刷装置６における、要部構成を示す断面模式図である。図７に示すように、スクリーン印刷装置６は、上述した実施形態に係るスクリーン印刷装置１の構成に対して、テーブル部１０ｅとしてさらにダンパ構造１５を備える点で異なる。

ダンパ構造１５は、テーブル部１０ｅと架台７０との間に形成される。ダンパ構造１５としては、例えば図７に示すようにばね部１６により構成されてよい。また、ダンパ構造１５は、ばね部１６の代わりにゴム等の弾性体で構成される部材であってもよい。変形例３に係るスクリーン印刷装置６のその他の構成は、スクリーン印刷装置１の構成と同様であるため、説明を省略する。

スクリーン印刷装置６に示すように、テーブル部１０ｅは、当該テーブル部１０ｅと架台７０との間にダンパ構造１５備えることにより、振動発生部２０にて発生した振動が架台７０に伝達されることを抑制できる。これにより、スクリーン印刷装置６は、被印刷物３０に効率的に振動を伝達できる。

＜実施形態の変形例４＞
次に図８を用いて、変形例４に係るスクリーン印刷装置７について説明する。図８は、変形例４に係るスクリーン印刷装置７における、要部構成を示す断面模式図である。図８に示すように、スクリーン印刷装置７は、上述した実施形態に係るスクリーン印刷装置１の構成に対して、被印刷物３０の下面に接触する振動伝達部材２１を更に備える。

振動発生部２０は、振動伝達部材２１を振動させるように、振動伝達部材２１に接続される。そして、載置板１２は、振動伝達部材２１が被印刷物３０に接触できるように、貫通部１７が形成されている点で異なる。変形例４に係るスクリーン印刷装置７のその他の構成は、スクリーン印刷装置１の構成と同様であるため、説明を省略する。

スクリーン印刷装置７に示すように、振動発生部２０にて発生した振動は、振動発生部２０にて発生した振動を被印刷物３０に直接伝達できる、振動伝達部材２１を備えることで、被印刷物３０に伝達する振動がステージ１１ｆにて減衰することを防ぐことができる。これにより、スクリーン印刷装置７は、被印刷物３０に効率的に振動を伝達できる。

また、変形例４に係るスクリーン印刷装置７では、貫通部１７が開口部１３と別に形成される場合を示すが、貫通部１７が開口部１３としての機能を有してもよい。

１、２、３、４、５、６、７ スクリーン印刷装置
１０、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅ テーブル部
１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｆ ステージ
１２ 載置板
１３ 開口部
１４ 固定部
１５ ダンパ構造
１６ ばね部
１７ 貫通部
２０ 振動発生部
２１ 振動伝達部材
３０ 被印刷物
３１ 突出部
４０ スクリーンマスク
４１ スクリーンマスク穴
５０ 印刷材料
６０ スキージ
７０ 架台
８０ 第１空洞部
８１ 第２空洞部
８２ 第３空洞部
８３ 第４空洞部

Claims (7)

1. 被印刷物の上面に、印刷材料を、スクリーンマスクにより規定される所望のパターンで形成するスクリーン印刷装置であって、
   上面に前記被印刷物が載置される載置板と、
   上面に前記載置板が固定されるステージと、
   前記被印刷物に伝達される振動を発生させる振動発生部と、を備え、
   前記載置板には、前記被印刷物の下面の突出部を収容するための、凹部または孔部が形成されている、スクリーン印刷装置。
2. 前記載置板は、前記ステージに着脱可能に固定される、請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
3. 前記振動発生部は、前記ステージを振動させるように、前記ステージに接続されている、請求項１または２に記載のスクリーン印刷装置。
4. 前記ステージの上面の一部には、空洞部が設けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載のスクリーン印刷装置。
5. 前記ステージが設置される架台を更に備え、
   前記ステージと前記架台との間には、ダンパが設けられている、請求項３に記載のスクリーン印刷装置。
6. 前記被印刷物の下面に接触する振動伝達部材を更に備え、
   前記振動発生部は、前記振動伝達部材を振動させるように、前記振動伝達部材に接続され、
   前記載置板には、前記振動伝達部材が貫通する、貫通部が形成されている、請求項１または２に記載のスクリーン印刷装置。
7. 前記印刷材料は、はんだペーストである、請求項１から６のいずれか１項に記載のスクリーン印刷装置。

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