JP2021148445A

JP2021148445A - 非破壊検査装置

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Publication number: JP2021148445A
Application number: JP2020045216A
Authority: JP
Inventors: 幸夫染谷; Yukio Someya; 正治篠原; Masaharu Shinohara; 秀一半杭; Shuichi Hanko; 航平永田; Kohei Nagata; 隆行新井; Takayuki Arai
Original assignee: Toshiba IT and Control Systems Corp
Current assignee: Toshiba IT and Control Systems Corp
Priority date: 2020-03-16
Filing date: 2020-03-16
Publication date: 2021-09-27
Anticipated expiration: 2040-03-16
Also published as: JP7407629B2; CN113399315A

Abstract

【課題】直線状の検査コンベアを採用しながらも、非検査物の確実な移載を可能とする非破壊検査装置を提供する。【解決手段】被検査物Ｗに放射線ビームを照射する放射線発生器２と、放射線発生器２に対向して設けられた放射線検出器３と、放射線発生器２と放射線検出器３の間に設けられ、被検査物Ｗを一定の間隔で複数並べた状態で搬送する直線状の検査コンベア５１と、被検査物Ｗを検査コンベア５１の搬入側まで搬入する搬入装置５２と、搬入装置５２から検査コンベア５１へと被検査物Ｗを移載する第１の移載装置６ａと、検査コンベア５１の側方かつ搬入装置５２と検査コンベア５１との間に設けられた第１の受け渡し部６２ａと、を備え、被検査物Ｗの移載経路において、搬入装置５２、第１の受け渡し部６２ａ、検査コンベア５１における被検査物Ｗの各載置面が、同一平面上で互いに隙間なく突き合わされている。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、非破壊検査装置に関する。

Ｘ線で代表される放射線を被検査物に照射し、被検査物を透過することで減弱した放射線の二次元分布を検出して画像化することで、被検査物の非破壊検査を行う非破壊検査装置が知られている。被検査物は、例えば円筒型のリチウムイオン電池であり、その内部は正極板と負極板とを円筒状に幾重にも巻き付けてなる捲回構造となっている。

この捲回構造に巻きずれがあると、例えば正極板が負極板よりはみ出していると、はみ出した正極板にリチウムが析出してショートし、発火するおそれがある。そのため、リチウムイオン電池の内部において正極板が負極板からはみ出していないかを検査する必要がある。この非破壊検査は、被検査物をコンベア等で搬送し、放射線発生器の前を通過させることにより行われる。

例えば、特許文献１に示す従来技術の非破壊検査装置は、ループ状の検査用搬送路に沿って２組の放射線発生器と放射線検出器を配置して、被検査物の異なる個所を１回で検査できるようにしたものであり、効率的に検査を実施できる点で優れている。

特開２０１０−１０２９０１号公報

一方で、このようなループ状の検査用搬送路を有する非破壊検査装置は、その構成部品が大型化・複雑化する傾向があり、比較的低コストで構成できる直線状の検査コンベアに沿って放射線発生器と放射線検出器が配置された非破壊検査装置も検討されている。このタイプの非破壊検査装置では、検査工程の前後には製造工程や出荷工程が設けられているため、これらの工程に設けられた搬入用或いは搬出用のコンベアと、検査工程の直線状のコンベアとの間で、未検査の被検査物或いは検査済みの被検査物を移載する必要がある。具体的には、各工程のコンベア同士をその端部で突き合わせ、コンベアからコンベアに被検査物を移載させる。

しかしながら、コンベアの端部はスプロケットの外周に沿って下方に凹んでいるため、２つのコンベアを突き合わせた場合にはその端部間にＶ字状の凹みができる。この凹みの近傍を移載する際に、被検査物が傾き、転倒するおそれがある。また、転倒しないまでも被検査物の搬送間隔が変わってしまうこともあり、被検査物を連続して撮像する場合に上手く撮像できないおそれがある。

本実施形態は、上記課題を解決すべく、比較的低コストで構成できる直線状の検査コンベアを採用しながらも、非検査物の確実な移載を可能とする非破壊検査装置を提供することを目的とする。

実施形態の非破壊検査装置は、次のような構成を備える。
（１）被検査物に放射線ビームを照射する放射線発生器。
（２）前記放射線発生器に対向して設けられた放射線検出器。
（３）前記放射線発生器と前記放射線検出器の間に設けられ、前記被検査物を一定の間隔で複数並べた状態で搬送する直線状の検査コンベア。
（４）前記被検査物を前記検査コンベアの搬入側まで搬入する搬入装置。
（５）前記搬入装置から前記検査コンベアへと前記被検査物を移載する第１の移載装置。
（６）前記検査コンベアの側方かつ前記搬入装置と前記検査コンベアとの間に設けられた第１の受け渡し部。
（７）前記被検査物の移載経路において、前記搬入装置、前記第１の受け渡し部、前記検査コンベアにおける前記被検査物の各載置面が、同一平面上で互いに隙間なく突き合わされている。

実施形態の非破壊検査装置は、更に次のような構成を備えてもよい。
（１）前記放射線検出器は、前記被検査物の良否を判定する判定部を備え、前記判定部が否と判定した前記被検査物を振り分ける誘導機構と、前記判定部が否と判定した前記被検査物を、前記検査コンベアから前記誘導機構へと移載する第２の移載装置と、前記検査コンベアの側方かつ前記検査コンベアと前記誘導機構との間に設けられた第２の受け渡し部と、を更に備え、前記判定部が否と判定した前記被検査物の移載経路において、前記検査コンベア、前記第２の受け渡し部、前記誘導機構における前記被検査物の各載置面が、同一平面上で互いに隙間なく突き合わされている。

（２）前記第１の移載装置は、前記被検査物を保持または解放する複数の凹部を備えるホイールを備え、前記複数の凹部は、前記ホイールの外周に沿って等間隔に設けられている。

（３）前記検査コンベアの上面には一定間隔ごとに突起が設けられ、前記被検査物は、前記突起の間に載置されて搬送される。

（４）前記放射線発生器及び前記放射線検出器は、２組設けられ、一方の組が前記被検査物の上側を撮像し、他方の組が前記被検査物の下側を撮像する。

（５）前記誘導機構の出口に設けられ、前記判定部が否と判定した前記被検査物を貯留するストックヤードと、前記ストックヤードの出口に設けられ、当該ストックヤードに貯留された前記被検査物を前記搬入装置へと再投入する再投入機構と、を更に備える。

実施形態に係る非破壊検査装置の構成を示す平面図である。実施形態に係る移載装置の近傍を示す斜視図である。実施形態に係る被検査物が搬入される様子を示す平面図である。実施形態に係る被検査物が搬出される様子を示す平面図である。実施形態に係る制御を示す機能ブロック図である。実施形態に係る非破壊検査装置の動作を示すフローチャートである。

［１．第１の実施形態］
［１−１．実施形態の構成］
以下、第１の実施形態に係る非破壊検査装置について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

［被検査物］
被検査物Ｗは、放射線により非破壊検査されるものであれば特に限定されないが、本実施形態では、内部に捲回構造を備える円筒型のリチウムイオン電池とする。被検査物Ｗは、円柱状のホルダーＨの上面に設けられた凹みに保持されて搬送される（図２参照）。

［非破壊検査装置］
図１に示すように、非破壊検査装置１は、被検査物Ｗに放射線を照射し、被検査物Ｗを透過した放射線を検出する。この検出結果に基づき、非破壊検査装置１は、被検査物Ｗの透視画像を生成する。非破壊検査装置１は、被検査物Ｗの透視画像を撮像する放射線発生器２と放射線検出器３、遮蔽箱４、被検査物Ｗが保持されたホルダーＨを搬送する搬送機構５、検査を終えた被検査物Ｗを仕分けする誘導機構７、ストックヤード８、再投入機構９、これらの動作を制御する制御部１０を備える（図５参照）。

放射線発生器２は、被検査物Ｗに向けて放射線ビームを照射する。放射線ビームは、焦点を頂点として角錐形状に拡大する放射線の束である。放射線は、例えばＸ線である。この放射線発生器２は、例えばＸ線管である。

放射線検出器３は、放射線発生器２の焦点と対向して配置され、放射線の透過経路に応じて減弱した放射線強度の二次元分布を検出し、当該放射線強度に比例した透過データを出力する。この放射線検出器３は、例えばイメージインテンシファイア（Ｉ．Ｉ．）とカメラ、又はフラットパネルディテクタ（ＦＰＤ）により構成される。

放射線検出器３は、判定部３１、記憶部３２を備える（図５参照）。判定部３１は、例えばＣＰＵであり、記憶部３２は、例えばＨＤＤまたはＳＳＤといったストレージである。判定部３１は、放射線検出器３が撮像した画像を、記憶部３２内部に予め記憶している基準画像と比較することにより、被検査物Ｗの良否を判定する。被検査物Ｗの良否は、例えば正極板が負極板よりはみ出していないか否かによって判定される。また、被検査物Ｗの良否は、撮像した画像が鮮明か否かによっても判定される。本実施形態では、前者の基準で否と判定されたものを不良品Ｘ、後者の基準で否と判定されたものを未検査品Ｙとする。なお、前者後者両方の基準で共に否と判定されたものは未検査品Ｙとする。また、前者後者両方の基準で共に良と判定されたものを良品Ｚとする。

本実施形態において、放射線発生器２と放射線検出器３は横並びに２組設けられ、いずれの組も非検査物Ｗの検査用搬送路を挟んで対向するように配置されている。また、２組は非検査物Ｗを撮像する高さが互いに異なり、一方は非検査物Ｗの上側を、他方は被検査物Ｗの下側を、それぞれ撮像可能な高さに位置している。

遮蔽箱４は、放射線発生器２、放射線検出器３を囲い、放射線を遮蔽する。遮蔽箱４は、鉛などの放射線を遮蔽する材料を含み構成されている。遮蔽箱４は、例えば直方体形状である。遮蔽箱４には、被検査物Ｗが保持されたホルダーＨを内部に搬入する搬入口４１、遮蔽箱４内部の被検査物Ｗを遮蔽箱４外部に搬出する搬出口４２が設けられている。

搬送機構５は、被検査物Ｗが載置されたホルダーＨを搬送する機構である。搬送機構５は、被検査物Ｗの検査用搬送路である検査コンベア５１、検査コンベア５１の搬入側に設けられた搬入装置５２、検査コンベア５１の搬出側に設けられた搬出装置５３、検査コンベア５１と搬入装置５２との間に設けられた第１の移載装置６ａ、検査コンベア５１と搬出装置５３との間に設けられた第２の移載装置６ｂを備える。

検査コンベア５１は、遮蔽箱４に設けられた搬入口４１と搬出口４２を結ぶ方向に直線状に設けられ、遮蔽箱４を貫通している。検査コンベア５１としては、例えばチェーンコンベアやベルトコンベアを用いることが出来る。検査コンベア５１の両端にはスプロケット５１１が設けられ、図示しないモータが回転することによりスプロケット５１１に巻き付けられたチェーンまたはベルトが駆動する。また、図２に示すように、検査コンベア５１の上面には一定間隔ごとに突起５１２が設けられている。より詳細には、検査コンベア５１の搬送方向における中心線よりも片側、すなわち後述の移送機構６の反対側に寄って設けられている。この突起５１２により、ホルダーＨは一定の間隔を開けた状態で搬送される。

搬入装置５２、搬出装置５３としては、上述のチェーンコンベアやベルトコンベアだけでなく、ターンテーブルを用いることも出来る。また、図１に示すように、これらを組み合わせて用いることも出来る。本実施形態の搬入装置５２は、コンベア５２ａ、ターンテーブル５２ｂ、５２ｃ、５２ｄの組み合わせによりなる。搬入装置５２は、被検査物Ｗが載置されたホルダーＨを第１の移載装置６ａを介して検査コンベア５１に搬入する。また、第１の移載装置６ａの手前には、ゲート５２１が例えばモータにより開閉可能に設けられ、被検査物Ｗの搬入を停止させることが出来る。本実施形態の搬出装置５３は、ターンテーブル５３ａ、５３ｂ、コンベア５３ｃによりなる。搬出装置５３は、検査コンベア５１において非破壊検査を終えた被検査物Ｗのうち、第２の移載装置６ｂを介して良品と判定された良品Ｚが載置されたホルダーＨを検査コンベア５１から搬出する。

第１の移載装置６ａは、搬入装置５２と検査コンベア５１の間に設けられ、搬入装置５２から検査コンベア５１へと被検査物Ｗが載置されたホルダーＨを移載する。また、第２の移載装置６ｂは、検査コンベア５１と後述の誘導機構７との間に設けられ、検査コンベア５１から誘導機構７へと被検査物Ｗが載置されたホルダーＨを移載する。

第１の移載装置６ａと第２の移載装置６ｂは、基本的に同様な構成を有する。第１の移載装置６ａは、ホイール６１ａと、このホイール６１ａの下方に設けられた第１の受け渡し部６２ａを備える（図３参照）。第２の移載装置６ｂは、ホイール６１ｂと、このホイール６１ｂの下方に設けられた第２の受け渡し部６２ｂを備える（図４参照）。本実施形態のホイール６１ａ、６１ｂは、例えば図２に示すようなスターホイールであって、それぞれ複数の凹部６１１を備える。この複数の凹部６１１は、ホイール６１ａ、６１ｂの外周に沿って等間隔に設けられている。なお、図２は、搬入装置５２と検査コンベア５１の間に設けられる第１の移載装置６ａを示している。ホイール６１ａ、６１ｂは、図示しないモータにより回転し、凹部６１１に設けられた図示しない保持機構により、ホルダーＨを保持または解放し、ホルダーＨを移載する。この保持は、例えば真空または磁力による吸着や機械によるクランプにより実現されるが、本実施形態では真空または磁力による吸着を採用している。

第１の受け渡し部６２ａは、検査コンベア５１の側方かつ搬入装置５２と検査コンベア５１の間に設けられる。すなわち、搬入装置５２と検査コンベア５１の隙間を埋めるように設けられる。また、第２の受け渡し部６２ｂは、検査コンベア５１の側方かつ検査コンベア５１と誘導機構７の間に設けられる。より詳細には、検査コンベア５１と誘導機構７の隙間及び誘導機構７のターンテーブル７１ａと７２ａの隙間を埋めるように設けられる。本実施形態においては、第１の受け渡し部６２ａは、図３に示すように概略五角形であり、第２の受け渡し部６２ｂは、図４に示すように概略Ｔ字型である。なお、検査コンベア５１の側方とは、当該検査コンベア５１の両端に設けられたスプロケット５１１の外周に沿って下方に凹んでいない部分を指す。

第１の受け渡し部６２ａにおけるホルダーＨの載置面は、その両側の搬入装置５２と検査コンベア５１におけるホルダーＨの載置面と同一平面上に位置する。また、第２の受け渡し部６２ｂの載置面は、検査コンベア５１と誘導機構７の載置面と同一平面上に位置する。同一平面上とは、ホルダーＨが各構成の載置面間をスムーズに渡ることが可能な程度に同一平面上であることを示す。さらに、搬入装置５２、第１の受け渡し部６２ａ、検査コンベア５１における被検査物Ｗの各載置面は、互いに隙間なく突き合わされている。隙間なくといっても、搬入装置５２や検査コンベア５１の駆動を妨げない程度には隙間があり、ホルダーＨが各構成の載置面間をスムーズに渡ることが可能な程度に各構成の載置面が近接していることを示す。

載置面とはホルダーＨが載置される面を指すので、少なくともホルダーＨの移載経路において、各構成の載置面が同一平面上かつ互いに隙間なく突き合わされていればよい。なお、ホルダーＨの載置面は、特許請求の範囲における「被検査物の載置面」に含まれる概念であり、この場合の「被検査物の載置面」は、当然のことながらホルダーＨの上面を指すものではない。

誘導機構７は、非破壊検査を終えて不良品Ｘまたは未検査品Ｙと判定された被検査物Ｗが第２の移載装置６ｂにより振り分けられる誘導路である。誘導機構７は、不良品Ｘの誘導路７１、未検査品Ｙの誘導路７２を備える。本実施形態の誘導路７１、７２は、第２の移載装置６ｂの回転方向に沿って順次設けられ、誘導路７１が検査コンベア５１から１８０°位置に、誘導路７２が２７０°位置に、それぞれ設けられる。誘導路７１、７２は、底部に設けられたターンテーブルによってそれぞれ不良品Ｘまたは未検査品Ｙを搬送する。本実施形態の誘導路７１、７２は、例えば回転方向の異なるターンテーブル７１ａ、７１ｂまたは７２ａ、７２ｂを並べることにより、不良品Ｘまたは未検査品Ｙを搬送するＳ字状の誘導路とすることが出来る。

ストックヤード８は、誘導路７１、７２の出口に設けられ、搬送されてきた不良品Ｘ及び未検査品Ｙを一時的に貯留する空間である。ストックヤード８は、図１に示すように、検査コンベア５１と平行に設けられる。ストックヤード８は、それぞれ長手方向に延びる２つの空間に区分される。この２つの空間のうち、誘導路７１の出口と接続される空間が貯留部８１であり、誘導路７２の出口と接続される空間が貯留部８２である。貯留部８１には不良品Ｘが、貯留部８２には未検査品Ｙが、それぞれ貯留される。貯留部８１、８２の底部には検査コンベア５１と平行に延びるコンベア８３が設けられており、誘導路７１、７２から搬送されてきた不良品Ｘ及び未検査品Ｙは、ストックヤード８の出口側、すなわち被検査物Ｗの搬入側へと搬送される。コンベア８３としては、例えばチェーンコンベアやベルトコンベアを用いることが出来る。不良品Ｘの貯留部８１及び未検査品Ｙの貯留部８２の出口付近には、ストックヤード８内に不良品Ｘ及び未検査品Ｙを停止させておくためのゲート８１１、８２１がそれぞれ設けられる。ゲート８１１、８２１は、例えばモータにより独立して開閉可能である。

ゲート８１１、８２１の先には、再投入機構９が設けられる。再投入機構９は、不良品Ｘまたは未検査品Ｙを搬入装置５２へと再投入する誘導路である。本実施形態の再投入機構９は、図１に示すように、ターンテーブル９ａと搬入経路変更スイッチ９１により構成される。ターンテーブル９ａは、ゲート８１１、８２１から流れてきた不良品Ｘまたは未検査品Ｙを搬入装置５２へと再投入するために、平面視でゲート８１１、８２１と搬入装置５２の間を埋めるように設けられる。搬入装置５２へと不良品Ｘまたは未検査品Ｙを再投入する部分の近傍には、例えばモータにより駆動する搬入経路変更スイッチ９１が設けられる。搬入経路変更スイッチ９１は、非破壊検査前の被検査物Ｗの流れを停止させ、再投入機構９から搬入装置５２へと不良品Ｘまたは未検査品Ｙを再投入する切り替えスイッチである。

制御部１０は、被検査物Ｗを搬送及び検査するために、放射線発生器２、放射線検出器３、搬送機構５、誘導機構７、ストックヤード８、再投入機構９の動作を制御する。制御部１０は、所謂コンピュータであり、ＨＤＤまたはＳＳＤといったストレージ、ＲＡＭ、ＣＰＵ及びドライバ回路で構成される。ストレージには、例えば各構成を制御するためのプログラムやデータが記憶されている。ＲＡＭには、プログラムが展開され、またデータが一時的に記憶される。ＣＰＵはプログラムを処理し、この処理結果に従ってドライバ回路は各構成に電力を供給する。

［１−２．実施形態の作用］
本実施形態の被検査物Ｗの搬送及び検査手順について、図５の機能ブロック図及び図６のフローチャートを参照しつつ、以下に説明する。なお、図５は、制御部１０による制御の一部を示すのみであり、例えば搬送機構５の動作の制御などは示していない。前提として、搬入装置５２の搬送経路には、被検査物Ｗが載置されたホルダーＨがゲート５２１の手前まで並べられている。制御部１０による制御により、ゲート５２１が開かれ、搬送機構５が駆動されると、ホルダーＨは順次ターンテーブル５２ｄから第１の移載装置６ａの凹部６１１へと受け渡される。凹部６１１は、真空または磁力によりホルダーＨを吸着保持し、ホイール６１ａが時計回りに回転することにより、第１の受け渡し部６２ａの載置面上を滑らせながら検査コンベア５１の載置面へと移載する（ステップＳ０１）。より詳細には、図２に示すように、検査コンベア５１の上面に一定間隔ごとに設けられた突起５１２の間にホルダーＨを移載する。検査コンベア５１の載置面に移載されたホルダーＨに対して、当該ホルダーＨを吸着保持している凹部６１１は真空または磁力を解除する。これにより、ホルダーＨは凹部６１１から解放され、検査コンベア５１上を搬送される（ステップＳ０２）。

検査コンベア５１上を搬送されるホルダーＨは、搬入口４１から遮蔽箱４内部へと搬入される。遮蔽箱４内部において、２組の放射線発生器２及び放射線検出器３は、ホルダーＨ上に載置された被検査物Ｗを撮像する（ステップＳ０３）。より詳細には、一方の組が被検査物Ｗの上部を撮像し、他方の組が被検査物Ｗの下部を撮像する。２つの放射線検出器３の判定部３１は、それぞれ被検査物Ｗに対してその良否を判定し、判定結果を制御部１０へと出力する（ステップＳ０４）。この判定結果とは、被検査物Ｗが、不良品Ｘ、未検査品Ｙ、良品Ｚのいずれであるかという情報である。

制御部１０は、２つの判定部３１からの判定結果に基づき、第２の移載装置６ｂを制御する。以降では、被検査物Ｗが、不良品Ｘまたは未検査品Ｙの場合、良品Ｚの場合に分けて説明する。なお、本実施形態において、２つの判定部３１からの判定結果が異なる場合は、未検査品Ｙ＞不良品Ｘ＞良品Ｚの優劣により最終的な判定結果を定めるものとする。例えば、一方の判定結果が不良品Ｘまたは未検査品Ｙであるのに対し、他方の判定結果が良品Ｚである場合は、最終的な判定結果は不良品Ｘまたは未検査品Ｙであるものとする。また、一方の判定結果が不良品Ｘであるのに対し、他方の判定結果が未検査品Ｙである場合は、最終的な判定結果は未検査品Ｙであるものとする。

［判定結果が良品Ｚの場合］
判定結果が良品Ｚの場合、制御部１０は第２の移載装置６ｂを制御せず、すなわち凹部６１１に当該良品Ｚを吸着保持させない（ステップＳ０５のＮＯ）。この場合、良品Ｚは凹部６１１により搬送経路を変更されないので、良品Ｚは検査コンベア５１の出口へと到達し、搬出装置５３のターンテーブル５３ａ、５３ｂ、コンベア５３ｃにより被検査装置１の外部へと搬出される。

［判定結果が不良品Ｘまたは未検査品Ｙの場合］
第２の移載装置６ｂの凹部６１１は、遮蔽箱４の搬出口４２から検査コンベア５１により搬送されてきた、不良品Ｘまたは未検査品Ｙであると判定された被検査物Ｗを吸着保持する。この被検査物Ｗは、ホイール６１ｂが時計回りに回転することにより、第２の受け渡し部６２ｂの載置面上を滑りながらターンテーブル７１ａの載置面へと移載される（ステップＳ０５のＹＥＳ）。ここで、吸着保持された被検査物Ｗが不良品Ｘである場合は、凹部６１１による吸着保持が解除される（ステップＳ０６のＹＥＳ）。凹部６１１から解放された当該不良品Ｘはターンテーブル７１ａから７１ｂへと移載され、ストックヤード８の貯留部８１へと搬送される。貯留部８１において、不良品Ｘは、コンベア８３によりゲート８１１の手前、すなわちストックヤード８の出口まで順次搬送される（ステップＳ０７−１）。

一方で、第２の移載装置６ｂの凹部６１１により吸着保持された被検査物Ｗが未検査品Ｙである場合は、ターンテーブル７１ａの載置面において吸着保持が解除されず、再び第２の受け渡し部６２ｂの載置面上を滑ってターンテーブル７２ａの載置面へと移載される（ステップＳ０６のＮＯ）。ここで、凹部６１１による吸着保持が解除され、凹部６１１から解放された当該未検査品Ｙはターンテーブル７２ａからターンテーブル７２ｂへと移載され、ストックヤード８の貯留部８２へと搬送される。貯留部８２において、未検査品Ｙは、コンベア８３によりゲート８２１の手前、すなわちストックヤード８の出口まで順次搬送される（ステップＳ０７−２）。不良品Ｘまたは未検査品Ｙを再投入機構９により搬入コンテナ５２へと再投入しない場合、不良品Ｘまたは未検査品Ｙに係るステップは終了する（ステップＳ０８のＮＯ）。

ステップＳ０７の後、不良品Ｘまたは未検査品Ｙを再投入機構９により搬入コンテナ５２へと再投入する場合について説明する。再投入する場合、搬送機構５及び誘導機構７上に存在する被検査物Ｗを非破壊検査装置１から取り除く（ステップＳ０８のＹＥＳ）。次に、搬入経路変更スイッチ９１を切り替える（ステップＳ０９）。最後にゲート８１１、８２１を開けることにより、不良品Ｘまたは未検査品Ｙが、コンベア８３からターンテーブル９ａを介して搬入装置５２のターンテーブル５２ｃへと再投入される（ステップＳ１０）。なお、制御部１０は、ゲート８１１、８２１を個別に開閉可能であり、本実施形態では不良品Ｘと未検査品Ｙは別々に再投入され、再検査される。

以上、ステップＳ０１〜Ｓ１０により、ホルダーＨに載置された被検査物Ｗが順次搬送及び検査される。

［１−３．実施形態の効果］
（１）本実施形態では、直線状の検査コンベア５１の側方かつ搬入装置５２と検査コンベア５１との間に第１の受け渡し部６２ａが設けられ、搬入装置５２、第１の受け渡し部６２ａ、検査コンベア５１におけるホルダーＨの各載置面は同一平面上で互いに隙間なく突き合わされている。これにより、ループ状の検査用搬送路に比べて低コストで導入可能な直線状の検査コンベア５１を採用しながらも、第１の移載装置６ａは、直線状の検査コンベア５１の側方に設けられているので、搬入装置５２から検査コンベア５１へと被検査物Ｗを転倒させることなくスムーズに移載することができる。また、転倒せずとも移載時に搬送間隔が変わってしまうといった課題も解消するので、撮像に失敗するおそれも低減される。

（２）本実施形態では、直線状の検査コンベア５１の側方かつ検査コンベア５１と誘導機構７との間に第２の受け渡し部６２ｂが設けられ、検査コンベア５１、第２の受け渡し部６２ｂ、誘導機構７におけるホルダーＨの各載置面は同一平面上で互いに隙間なく突き合わされている。これにより、第２の移載装置６ｂは、検査コンベア５１から誘導機構７へと不良品Ｘまたは未検査品Ｙを転倒させることなくスムーズに移載することができる。

（３）本実施形態では、第１の移載装置６ａ及び第２の移載装置６ｂは、それぞれホイール６１ａ、６１ｂを備え、これらホイール６１ａ、６１ｂの外周に沿って等間隔に設けられた複数の凹部６１１が、ホルダーを保持または解放するものとした。これにより、搬入装置５２におけるホルダーＨの搬送間隔が不揃いであっても、検査コンベア５１には等間隔に移載することが出来る。これにより、被検査物Ｗを連続的に撮像する場合であっても、撮像に失敗するおそれが低減される。

（４）本実施形態では、検査コンベア５１の上面に一定間隔ごとに突起５１２が設けられる。これにより、検査コンベア５１がその搬送を停止してもホルダーＨ間の間隔が保たれるので、放射線発生器２及び放射線検出器３の撮像タイミングがずれるおそれが低減される。その結果、未検査品Ｙが出る確率が低減され、被検査物Ｗの歩留まりが向上する。

（５）本実施形態では、２組の放射線発生器２及び放射線検出器３が設けられ、一方が被検査物Ｗの上部を、他方が被検査物Ｗの下部を撮像する。これにより、被検査物Ｗの良否を高精度で判定することができ、被検査物Ｗの品質が向上する。

（６）本実施形態では、誘導機構７の出口に設けられたストックヤード８と、ストックヤード８に貯留された不良品Ｘまたは未検査品Ｙを搬入装置５２へと再投入する再投入機構９を備える。これにより、不良品Ｘまたは未検査品Ｙを再検査することができるので、被検査物Ｗの歩留まりが向上する。

［２．他の実施形態］
本明細書においては、本発明に係る複数の実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として提示したものであって、発明の範囲を限定することを意図していない。以上のような実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の範囲を逸脱しない範囲で、種々の省略や置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

（１）第１の実施形態では、不良品Ｘまたは未検査品Ｙを再投入することにより再検査することとしたが、不良品Ｘについては再検査を行うことなく、破棄或いは再生処理を行うことも出来る。その場合、不良品Ｘの貯留部８１の出口に回収ボックスなどを配置する。

（２）第１の実施形態では、被検査物Ｗを内部に捲回構造を備える円筒型のリチウムイオン電池としたが、例えば角型やラミネート型の各種電池、アルミ電解コンデンサ、電気二重層キャパシタなどの電気化学キャパシタであってもよい。

（３）第１の実施形態では、判定部３１が判定する被検査物Ｗの良否について、不良品Ｘであるとも未検査品Ｙであるとも判定されたものは未検査品Ｙとしたが、不良品Ｘとしてもよい。また、２つの放射線検出器３の判定部３１の一方が、被検査物Ｗを不良品Ｘと判定し、他方が当該被検査物Ｗを未検査品Ｙと判定した場合、制御部１０は当該被検査物を未検査品Ｙとしたが、不良品Ｘとしてもよい。さらに、不良品Ｘの基準についても、正極板が負極板からはみ出ていることに限られない。

（４）第１の実施形態では、第１の移載装置６ａ、第２の移載装置６ｂを設けたが、さらに検査コンベア５１の出口と搬出装置５３との間に、第１の移載装置６ａ、第２の移載装置６ｂと基本的に同様の構成である第３の移載装置を設けてもよい。この場合、検査コンベア５１とターンテーブル５３ａの間に第３の受け渡し部が設けられ、検査コンベア５１、第３の受け渡し部、ターンテーブル５３ａの載置面は同一平面上にある。同一平面上とは、ホルダーＨが各構成の載置面間をスムーズに渡ることが可能な程度に同一平面上であることを示す。

（５）第１の実施形態では、搬入装置５２、搬出装置５３は、コンベアとターンテーブルを組み合わせて構成されたが、コンベアのみまたはターンテーブルのみで構成されてもよく、その数やターンテーブルの回転方向も第１の実施形態に限定されない。

（６）第１の実施形態の移載装置としては、真空または磁力によりホルダーＨを吸着保持するスターホイールであるホイール６１ａ、６１ｂを採用したが、吸着保持しなくとも、凹部６１１間の突起でホルダーＨを押し出すことも出来る。また、移載装置もスターホイールに限定されるものではなく、無端状のチェーンコンベアの周囲に所定間隔で被検査物Ｗを送り出す突起やアームを設けたものでも良い。また、回転軸の周囲に放射状に突起やアームを設けたものでも良い。

１…非破壊検査装置
２…放射線発生器
３…放射線検出器
４…遮蔽箱
４１…搬入口
４２…搬出口
５…搬送機構
５１…検査コンベア
５１１…スプロケット
５１２…突起
５２…搬入装置
５２ａ…コンベア
５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ…ターンテーブル
５２１…ゲート
５３…搬出装置
５３ａ、５３ｂ…ターンテーブル
５３ｃ…コンベア
６ａ…第１の移載装置
６ｂ…第２の移載装置
６１ａ、６１ｂ…ホイール
６１１…凹部
６２ａ…第１の受け渡し部
６２ｂ…第２の受け渡し部
７…誘導機構
７１、７２…誘導路
７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７２ｂ…ターンテーブル
８…ストックヤード
８１、８２…貯留部
８１１、８２１…ゲート
８３…コンベア
９…再投入機構
９ａ…ターンテーブル
９１…搬入経路変更スイッチ
１０…制御部
Ｈ…ホルダー
Ｗ…被検査物
Ｘ…不良品
Ｙ…未検査品
Ｚ…良品

Claims

被検査物に放射線ビームを照射する放射線発生器と、
前記放射線発生器に対向して設けられた放射線検出器と、
前記放射線発生器と前記放射線検出器の間に設けられ、前記被検査物を一定の間隔で複数並べた状態で搬送する直線状の検査コンベアと、
前記被検査物を前記検査コンベアの搬入側まで搬入する搬入装置と、
前記搬入装置から前記検査コンベアへと前記被検査物を移載する第１の移載装置と、
前記検査コンベアの側方かつ前記搬入装置と前記検査コンベアとの間に設けられた第１の受け渡し部と、
を備え、
前記被検査物の移載経路において、前記搬入装置、前記第１の受け渡し部、前記検査コンベアにおける前記被検査物の各載置面が、同一平面上で互いに隙間なく突き合わされている、
非破壊検査装置。
前記放射線検出器は、前記被検査物の良否を判定する判定部を備え、
前記判定部が否と判定した前記被検査物を振り分ける誘導機構と、
前記判定部が否と判定した前記被検査物を、前記検査コンベアから前記誘導機構へと移載する第２の移載装置と、
前記検査コンベアの側方かつ前記検査コンベアと前記誘導機構との間に設けられた第２の受け渡し部と、
を更に備え、
前記判定部が否と判定した前記被検査物の移載経路において、前記検査コンベア、前記第２の受け渡し部、前記誘導機構における前記被検査物の各載置面が、同一平面上で互いに隙間なく突き合わされている、
請求項１に記載の非破壊検査装置。
前記第１の移載装置は、前記被検査物を保持または解放する複数の凹部を備えるホイールを備え、
前記複数の凹部は、前記ホイールの外周に沿って等間隔に設けられている、
請求項１または２に記載の非破壊検査装置。
前記検査コンベアの上面には一定間隔ごとに突起が設けられ、
前記被検査物は、前記突起の間に載置されて搬送される、
請求項１乃至３のいずれかに記載の非破壊検査装置。
前記放射線発生器及び前記放射線検出器は、２組設けられ、
一方の組が前記被検査物の上側を撮像し、
他方の組が前記被検査物の下側を撮像する、
請求項１乃至４のいずれかに記載の非破壊検査装置。
前記誘導機構の出口に設けられ、前記判定部が否と判定した前記被検査物を貯留するストックヤードと、
前記ストックヤードの出口に設けられ、当該ストックヤードに貯留された前記被検査物を前記搬入装置へと再投入する再投入機構と、
を更に備える、
請求項２乃至５のいずれかに記載の非破壊検査装置。