JP2021148405A - Cryogenic refrigerating machine and biomagnetism measuring apparatus - Google Patents

Cryogenic refrigerating machine and biomagnetism measuring apparatus Download PDF

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Abstract

To suppress influence from impurities contained in refrigerant on a cryogenic refrigerating machine.SOLUTION: A cryogenic refrigerating machine 11 includes: a cooling part 21 for cooling refrigerant; a receiving part 22 for accumulating the refrigerant cooled by the cooling part 21; a transfer pipe 24 communicated to the receiving part 22; and a storage part 27 installed between the receiving part 22 and the transfer pipe 24 to store liquid refrigerant R.SELECTED DRAWING: Figure 7

Description

本発明は、極低温冷凍機および生体磁気計測装置に関する。 The present invention relates to a cryogenic refrigerator and a biomagnetic measuring device.

従来、例えば、特許文献１には、冷凍機で冷却された冷媒をクライオスタットに導入するトランスファーチューブを備える構成が記載されている。 Conventionally, for example, Patent Document 1 describes a configuration including a transfer tube for introducing a refrigerant cooled by a refrigerator into a cryostat.

脳磁計や脊磁計などの生体磁気計測装置では、例えば、超電導量子干渉素子のような高感度磁気センサを用い、超電導状態を保つために冷媒として液体ヘリウムが使われる。あるいは、極低温での物性測定においても冷媒として液体ヘリウムが使われる。液体ヘリウムは容易に気化するため、上記のような装置において計測を経済的かつ継続的に使用するには、極低温冷凍機を使ってヘリウム循環することが必要である。 In a biomagnetic measuring device such as a magnetoencephalograph or a spinometer, for example, a high-sensitivity magnetic sensor such as a superconducting quantum interference element is used, and liquid helium is used as a refrigerant in order to maintain a superconducting state. Alternatively, liquid helium is also used as a refrigerant in measuring physical properties at extremely low temperatures. Since liquid helium vaporizes easily, it is necessary to circulate helium using a cryogenic refrigerator in order to use the measurement economically and continuously in the above-mentioned devices.

ここで、極低温冷凍機では、低温を保持する保温部（クライオスタット）と、保温部から液体ヘリウムを送る移送管（トランスファーチューブ）を備える構成がある。この構成の極低温冷凍機では、長時間の運転でヘリウムを主成分とする循環ガス中に含まれる微量の不純物（窒素、酸素、水など）が冷却部の低温部分に吸着し固化される。この不純物は、冷却部の熱変換を阻害するため、再凝縮能力を低下させる。また循環系に微量の漏れなどがあると大気中から継続的に不純物が供給されることがあり、経時的に再凝縮能力を低下させる。一方、極低温冷凍機の運転を停止すると、冷却部の低温部分に固着した不純物の成分が、冷却部の温度上昇と共に液状化または気化して移送管に流れ込み、移送管の先が接続された生体磁気計測装置などのデュワにて再冷却されて固体となることで移送管を閉塞させるおそれがある。このため、ヘリウム循環の運転・停止を繰り返すような極低温冷凍機にあって、運用の信頼性を損なうおそれがある。 Here, the cryogenic refrigerator has a configuration including a heat insulating unit (cryostat) for maintaining a low temperature and a transfer tube (transfer tube) for sending liquid helium from the heat insulating unit. In the cryogenic refrigerator having this configuration, trace impurities (nitrogen, oxygen, water, etc.) contained in the circulating gas containing helium as the main component are adsorbed on the low temperature portion of the cooling unit and solidified during long-term operation. This impurity inhibits the heat conversion of the cooling part, and thus reduces the recondensing ability. In addition, if there is a small amount of leakage in the circulatory system, impurities may be continuously supplied from the atmosphere, which reduces the recondensing capacity over time. On the other hand, when the operation of the cryogenic refrigerator was stopped, the component of the impurity stuck to the low temperature part of the cooling part liquefied or vaporized as the temperature of the cooling part rose and flowed into the transfer pipe, and the tip of the transfer pipe was connected. The transfer tube may be blocked by being recooled by a dewar such as a biomagnetic measuring device and becoming a solid. For this reason, in a cryogenic refrigerator that repeatedly starts and stops helium circulation, there is a risk that the reliability of operation will be impaired.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、冷媒に含まれる不純物の影響を抑制することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to suppress the influence of impurities contained in the refrigerant.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の極低温冷凍機は、冷媒を冷却する冷却部と、前記冷却部で冷却された前記冷媒を受ける受部と、前記受部に連通する移送管と、前記受部と前記移送管との間に設けられて前記冷媒を貯める貯留部と、を備える。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the ultra-low temperature refrigerator of the present invention has a cooling unit for cooling the refrigerant, a receiving unit for receiving the refrigerant cooled by the cooling unit, and the receiving unit. It includes a transfer pipe that communicates with the vehicle, and a storage unit that is provided between the receiving unit and the transfer pipe and stores the refrigerant.

本発明によれば、冷媒に含まれる不純物の影響を抑制できる。 According to the present invention, the influence of impurities contained in the refrigerant can be suppressed.

図１は、生体磁気計測装置の一例を示す概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a biomagnetic measuring device. 図２は、ヘリウム循環システムの一例を示す概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing an example of a helium circulation system. 図３は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の駆動時のフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart of the helium circulation system when the cryogenic refrigerator is driven. 図４は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の駆動時の動作図である。FIG. 4 is an operation diagram when the cryogenic refrigerator of the helium circulation system is driven. 図５は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の停止時のフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart of the helium circulation system when the cryogenic refrigerator is stopped. 図６は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の停止時の動作図である。FIG. 6 is an operation diagram of the helium circulation system when the cryogenic refrigerator is stopped. 図７は、極低温冷凍機の要部拡大図である。FIG. 7 is an enlarged view of a main part of the cryogenic refrigerator. 図８は、ヘリウム循環システムの動作を示すフローチャートである。FIG. 8 is a flowchart showing the operation of the helium circulation system.

以下に添付図面を参照して、極低温冷凍機および生体磁気計測装置の実施形態を詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the cryogenic refrigerator and the biomagnetic measuring device will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図１は、生体磁気計測装置の一例を示す概略構成図である。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a biomagnetic measuring device.

生体磁気計測装置１００は、生体情報計測装置であって、脳機能測定装置（測定装置ともいう）１０１と、情報処置装置１０２とを備えている。 The biomagnetic measuring device 100 is a biological information measuring device, and includes a brain function measuring device (also referred to as a measuring device) 101 and an information treatment device 102.

脳機能測定装置１０１は、測定対象である被検者１１０の臓器である脳の脳磁図（ＭＥＧ：Magneto-encephalography）信号を測定する脳磁計である。脳機能測定装置１０１は、被検者１１０の頭部が挿入されるデュワ１を有する。デュワ１は、被検者１１０の頭部のほぼ全域を取り囲むヘルメット型のセンサ収納型デュワである。デュワ１は、液体ヘリウムを用いた極低温環境の真空断熱装置である。デュワ１は、その内部に脳磁測定用の多数の磁気センサ２が配置されている。磁気センサ２は、超電導量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ：Superconducting Quantum Interference Device）が用いられる。脳機能測定装置１０１は、磁気センサ２からの脳磁信号を収集する。脳機能測定装置１０１は、収集された生体信号を情報処置装置１０２に出力する。 The brain function measuring device 101 is a magnetoencephalograph that measures a magnetoencephalography (MEG) signal of the brain, which is an organ of the subject 110 to be measured. The brain function measuring device 101 has a dewar 1 into which the head of the subject 110 is inserted. The dewa 1 is a helmet-type sensor-containing dewa that surrounds almost the entire head of the subject 110. The Dewar 1 is a vacuum insulation device using liquid helium in a cryogenic environment. A large number of magnetic sensors 2 for measuring magnetoencephalography are arranged inside the Dewar 1. As the magnetic sensor 2, a superconducting Quantum Interference Device (SQUID) is used. The brain function measuring device 101 collects a magnetoencephalographic signal from the magnetic sensor 2. The brain function measuring device 101 outputs the collected biological signal to the information treatment device 102.

情報処置装置１０２は、複数の磁気センサ２からの脳磁信号の波形を、時間軸上に表示する。脳磁信号は、神経細胞の電気的な活動（シナプス伝達の際にニューロンの樹状突起で起きるイオン電荷の流れ）により誘起されるもので脳の電気活動により生じた微小な磁場変動を表わす。 The information treatment device 102 displays the waveforms of the magnetoencephalographic signals from the plurality of magnetic sensors 2 on the time axis. Magnetoencephalographic signals are induced by the electrical activity of nerve cells (the flow of ionic charges that occur in the dendrites of neurons during synaptic transmission) and represent minute magnetic field fluctuations caused by the electrical activity of the brain.

図２は、ヘリウム循環システムの例を示す概略構成図である。 FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing an example of a helium circulation system.

上述した脳機能測定装置１０１は、真空断熱装置であるデュワ１を極低温環境とするためのヘリウム循環システム１０を含む。ヘリウム循環システム１０は、極低温冷凍機１１と、デュワ１、蒸発ガス回収部（バッファタンク）１３と、蒸発ガス回収管１４と、保管ガス供給管１５と、循環用配管１６と、制御部１９と、を備える。 The above-mentioned brain function measuring device 101 includes a helium circulation system 10 for setting the vacuum insulation device Duwa 1 in a cryogenic environment. The helium circulation system 10 includes a cryogenic refrigerator 11, a dewar 1, an evaporative gas recovery unit (buffer tank) 13, an evaporative gas recovery pipe 14, a storage gas supply pipe 15, a circulation pipe 16, and a control unit 19. And.

極低温冷凍機１１は、パルス管冷凍機を構成するもので、冷却部２１と、受部２２と、保温部２３と、移送管２４と、駆動系循環部２５と、温度計２６と、を有する。 The cryogenic refrigerator 11 constitutes a pulse tube refrigerator, and includes a cooling unit 21, a receiving unit 22, a heat retaining unit 23, a transfer pipe 24, a drive system circulation unit 25, and a thermometer 26. Have.

冷却部２１は、本体部２１Ａと、円筒状の第一シリンダ部２１Ｂと、円筒状の第二シリンダ部２１Ｃと、円板状の第一コールドステージ２１Ｄと、円板状の第二コールドステージ２１Ｅと、を備える。本体部２１Ａは、冷却部２１の基部であり、最上部に配置される。第一シリンダ部２１Ｂは、本体部２１Ａから下方に延びて設けられている。第二シリンダ部２１Ｃは、第一シリンダ部２１Ｂよりも下方に延びて設けられている。第一コールドステージ２１Ｄは、第一シリンダ部２１Ｂと第二シリンダ部２１Ｃとの間に設けられている。第二コールドステージ２１Ｅは、第二シリンダ部２１Ｃの延びた下端に設けられている。 The cooling unit 21 includes a main body 21A, a cylindrical first cylinder portion 21B, a cylindrical second cylinder portion 21C, a disk-shaped first cold stage 21D, and a disk-shaped second cold stage 21E. And. The main body portion 21A is a base portion of the cooling portion 21 and is arranged at the uppermost portion. The first cylinder portion 21B is provided so as to extend downward from the main body portion 21A. The second cylinder portion 21C is provided so as to extend downward from the first cylinder portion 21B. The first cold stage 21D is provided between the first cylinder portion 21B and the second cylinder portion 21C. The second cold stage 21E is provided at the extended lower end of the second cylinder portion 21C.

受部２２は、上端が開放し、下端に底２２Ａを有する皿状に形成されている。受部２２は、冷却部２１の直下に配置される。 The receiving portion 22 is formed in a dish shape with an open upper end and a bottom 22A at the lower end. The receiving unit 22 is arranged directly below the cooling unit 21.

保温部２３は、真空断熱をしたクライオスタットであり、例えば、ステンレスまたはガラス繊維強化樹脂により筒状に形成され、上端が開放し、下端に底２３Ａを有する。保温部２３は、内部に冷却部２１が収容され冷却部２１の外周を間隔を空けて囲むように設けられる。保温部２３は、上端が冷却部２１の本体部２１Ａにより密閉される。また、受部２２は、保温部２３の内部に配置される。保温部２３は、内部の温度を保つように機能する。 The heat insulating portion 23 is a vacuum-insulated cryostat, which is formed in a cylindrical shape by, for example, stainless steel or glass fiber reinforced resin, has an open upper end, and has a bottom 23A at the lower end. The heat retaining portion 23 is provided so as to accommodate the cooling portion 21 inside and surround the outer periphery of the cooling portion 21 at intervals. The upper end of the heat retaining portion 23 is sealed by the main body portion 21A of the cooling portion 21. Further, the receiving portion 22 is arranged inside the heat insulating portion 23. The heat retaining unit 23 functions to maintain the internal temperature.

移送管２４は、上端２４ａが受部２２の底２２Ａに接続され、受部２２に連通して設けられている。移送管２４は、受部２２の底２２Ａから下方に延び、保温部２３の内部を通って下端２４ｂが下方に向けて設けられている。保温部２３は、底２３Ａが移送管２４の外周を間隔を空けて囲むように移送管２４と共に下方に延びて形成されている。移送管２４は、その下端２４ｂが脳機能測定装置１０１のデュワ１に接続されている。移送管２４は、冷却部２１からデュワ１に液体冷媒を送る第一経路ともいう。 The upper end 24a of the transfer pipe 24 is connected to the bottom 22A of the receiving portion 22, and is provided so as to communicate with the receiving portion 22. The transfer pipe 24 extends downward from the bottom 22A of the receiving portion 22, and the lower end 24b is provided downward through the inside of the heat insulating portion 23. The heat insulating portion 23 is formed so as to extend downward together with the transfer pipe 24 so that the bottom 23A surrounds the outer circumference of the transfer pipe 24 at intervals. The lower end 24b of the transfer tube 24 is connected to the duwa 1 of the brain function measuring device 101. The transfer pipe 24 is also referred to as a first path for sending a liquid refrigerant from the cooling unit 21 to the dewar 1.

駆動系循環部２５は、コンプレッサである圧縮機２５Ａと、動作部であるバルブモータ２５Ｂと、を有する。圧縮機２５Ａは、圧縮ガスを圧縮する。圧縮ガスは、例えばヘリウムガスである。圧縮機２５Ａで圧縮された圧縮ガスは、バルブモータ２５Ｂに供給される。バルブモータ２５Ｂは、冷却部２１の本体部２１Ａに対し、圧縮ガスを間欠供給するように開閉を切り替える。駆動系循環部２５は、バルブモータ２５Ｂの切り替えにより圧縮機２５Ａと冷却部２１との間で圧縮ガスが循環される。冷却部２１は、この圧縮ガスの間欠供給により、起動し、第一コールドステージ２１Ｄおよび第二コールドステージ２１Ｅで冷熱を発生する。なお、圧縮機２５Ａは、水冷または空冷により排熱する。 The drive system circulation unit 25 includes a compressor 25A which is a compressor and a valve motor 25B which is an operation unit. The compressor 25A compresses the compressed gas. The compressed gas is, for example, helium gas. The compressed gas compressed by the compressor 25A is supplied to the valve motor 25B. The valve motor 25B switches opening and closing so as to intermittently supply compressed gas to the main body 21A of the cooling unit 21. In the drive system circulation unit 25, the compressed gas is circulated between the compressor 25A and the cooling unit 21 by switching the valve motor 25B. The cooling unit 21 is activated by the intermittent supply of the compressed gas, and generates cold heat in the first cold stage 21D and the second cold stage 21E. The compressor 25A exhausts heat by water cooling or air cooling.

温度計２６は、保温部２３の内部の温度を計測するもので、例えば、受部２２や冷却部２１における第二コールドステージ２１Ｅなどの近傍の温度を計測する。すなわち、温度計２６は、保温部２３の内部において受部２２（後述する貯留部２７）や冷却部２１の温度を計測する。 The thermometer 26 measures the temperature inside the heat retaining unit 23, and measures, for example, the temperature in the vicinity of the second cold stage 21E in the receiving unit 22 and the cooling unit 21. That is, the thermometer 26 measures the temperature of the receiving unit 22 (storage unit 27 described later) and the cooling unit 21 inside the heat retaining unit 23.

この極低温冷凍機１１は、その駆動時に、保温部２３の内部であって冷却部２１にガス冷媒が供給される。ガス冷媒は、例えばヘリウムガスであり、第一コールドステージ２１Ｄおよび第二コールドステージ２１Ｅで発生する冷熱により冷却されることで液化されて液体冷媒である液体ヘリウムとなり、受部２２の底２２Ａに至り滴下して纏められる。受部２２の底２２Ａに纏められた液体ヘリウムは、移送管２４を経て保温部２３の外部に送られ、脳機能測定装置１０１のデュワ１内部のヘリウム槽に供給される。これにより、脳機能測定装置１０１のデュワ１の液体ヘリウムが保持される。デュワ１の内部の液体ヘリウムは外部からの熱侵入によって徐々に蒸発してヘリウムガス（蒸発ガスともいう）となる。 When the cryogenic refrigerator 11 is driven, a gas refrigerant is supplied to the cooling unit 21 inside the heat insulating unit 23. The gas refrigerant is, for example, helium gas, which is cooled by the cold heat generated in the first cold stage 21D and the second cold stage 21E and liquefied to become liquid helium, which is a liquid refrigerant, and reaches the bottom 22A of the receiving portion 22. It is dropped and put together. The liquid helium collected in the bottom 22A of the receiving portion 22 is sent to the outside of the heat insulating portion 23 via the transfer pipe 24, and is supplied to the helium tank inside the Duwa 1 of the brain function measuring device 101. As a result, the liquid helium of Duwa 1 of the brain function measuring device 101 is retained. The liquid helium inside the dewa 1 gradually evaporates due to heat intrusion from the outside to become helium gas (also referred to as evaporative gas).

蒸発ガス回収部１３は、デュワ１で蒸発した蒸発ガスを回収し貯えて保管するための圧力容器である。 The evaporative gas recovery unit 13 is a pressure vessel for collecting, storing, and storing the evaporative gas evaporated by the dewar 1.

蒸発ガス回収管１４は、デュワ１と蒸発ガス回収部１３との間を接続する配管である。蒸発ガス回収管１４は、第一蒸発ガス回収管１４Ａと、第二蒸発ガス回収管１４Ｂと、を有する。 The evaporative gas recovery pipe 14 is a pipe that connects the dewar 1 and the evaporative gas recovery unit 13. The evaporative gas recovery pipe 14 includes a first evaporative gas recovery pipe 14A and a second evaporative gas recovery pipe 14B.

第一蒸発ガス回収管１４Ａは、一端１４Ａａがデュワ１に接続され、他端１４Ａｂが蒸発ガス回収部１３に接続されている。第一蒸発ガス回収管１４は、デュワ１から蒸発ガス回収部１３に蒸発ガスを送るため、途中にコンプレッサであるポンプ１４Ａｃが設けられている。また、第一蒸発ガス回収管１４Ａは、蒸発ガスの送りを開閉するため、ポンプ１４Ａｃよりも一端１４Ａａ側に第一開閉弁１４Ａｄが設けられている。第一開閉弁１４Ａｄは、制御部１９により制御される。第一蒸発ガス回収管１４Ａは、デュワ１から蒸発ガス回収部１３に直接蒸発ガスを送る第二経路ともいう。 In the first evaporative gas recovery pipe 14A, one end 14Aa is connected to the dewa 1 and the other end 14Ab is connected to the evaporative gas recovery unit 13. The first evaporative gas recovery pipe 14 is provided with a pump 14Ac, which is a compressor, in the middle of the first evaporative gas recovery pipe 14 in order to send the evaporative gas from the dewar 1 to the evaporative gas recovery unit 13. Further, the first evaporative gas recovery pipe 14A is provided with a first on-off valve 14Ad at one end 14Aa side of the pump 14Ac in order to open and close the evaporative gas feed. The first on-off valve 14Ad is controlled by the control unit 19. The first evaporative gas recovery pipe 14A is also referred to as a second path for directly sending the evaporative gas from the dewar 1 to the evaporative gas recovery unit 13.

第二蒸発ガス回収管１４Ｂは、第一蒸発ガス回収管１４Ａの途中と、冷却部２１の保温部２３の内部との間を接続する配管である。第二蒸発ガス回収管１４Ｂは、一端１４Ｂａが第二蒸発ガス回収管１４Ｂの一端１４Ａａと開閉弁１４Ａｄとの間に接続され、他端１４Ｂｂが保温部２３に接続されている。本実施形態では、第二蒸発ガス回収管１４Ｂは、他端１４Ｂｂが保管ガス供給管１５の一部を介して保温部２３に接続されている。第二蒸発ガス回収管１４Ｂは、蒸発ガスの送りを開閉するため、途中に第二開閉弁１４Ｂｃが設けられている。第二開閉弁１４Ｂｃは、制御部１９により制御される。また、第二蒸発ガス回収管１４Ｂは、第二開閉弁１４Ｂｃよりも他端１４Ｂｂ側に排気弁（排気部）１４Ｂｄが設けられている。排気弁１４Ｂｄは、制御部１９により制御される。排気弁１４Ｂｄは、第二蒸発ガス回収管１４Ｂおよび保管ガス供給管１５の一部を介して保温部２３に接続されている。 The second evaporative gas recovery pipe 14B is a pipe connecting the middle of the first evaporative gas recovery pipe 14A and the inside of the heat insulating portion 23 of the cooling portion 21. In the second evaporative gas recovery pipe 14B, one end 14Ba is connected between one end 14Aa of the second evaporative gas recovery pipe 14B and the on-off valve 14Ad, and the other end 14Bb is connected to the heat insulating portion 23. In the present embodiment, the other end 14Bb of the second evaporative gas recovery pipe 14B is connected to the heat insulating portion 23 via a part of the storage gas supply pipe 15. The second evaporative gas recovery pipe 14B is provided with a second on-off valve 14Bc in the middle in order to open and close the feed of the evaporative gas. The second on-off valve 14Bc is controlled by the control unit 19. Further, the second evaporative gas recovery pipe 14B is provided with an exhaust valve (exhaust portion) 14Bd on the other end 14Bb side of the second on-off valve 14Bc. The exhaust valve 14Bd is controlled by the control unit 19. The exhaust valve 14Bd is connected to the heat retaining portion 23 via a second evaporative gas recovery pipe 14B and a part of the storage gas supply pipe 15.

保管ガス供給管１５は、蒸発ガス回収部１３と冷却部２１との間を接続する配管である。保管ガス供給管１５は、一端１５ａが蒸発ガス回収部１３に接続され、他端１５ｂが極低温冷凍機１１の冷却部２１に接続されている。保管ガス供給管１５は、蒸発ガス回収部１３から冷却部２１に蒸発ガス回収部１３で保管された蒸発ガス（保管ガス）を送るため、途中にポンプ１５ｃが設けられている。また、保管ガス供給管１５は、蒸発ガスの送りを開閉するため、ポンプ１５ｃよりも他端１５ｂ側に開閉弁１５ｄが設けられている。開閉弁１５ｄは、制御部１９により制御される。また、保管ガス供給管１５は、蒸発ガスの送りを開閉するため、ポンプ１５ｃよりも一端１５ａ側に開閉弁１５ｅが設けられている。開閉弁１５ｅは、制御部１９により制御される。保管ガス供給管１５は、蒸発ガス回収部１３から冷却部２１に蒸発ガスを送る第三経路ともいう。 The storage gas supply pipe 15 is a pipe that connects the evaporative gas recovery unit 13 and the cooling unit 21. One end 15a of the storage gas supply pipe 15 is connected to the evaporative gas recovery unit 13, and the other end 15b is connected to the cooling unit 21 of the cryogenic refrigerator 11. The storage gas supply pipe 15 is provided with a pump 15c in the middle of the storage gas supply pipe 15 in order to send the evaporative gas (storage gas) stored in the evaporative gas recovery unit 13 from the evaporative gas recovery unit 13 to the cooling unit 21. Further, the storage gas supply pipe 15 is provided with an on-off valve 15d on the other end 15b side of the pump 15c in order to open and close the feed of the evaporative gas. The on-off valve 15d is controlled by the control unit 19. Further, the storage gas supply pipe 15 is provided with an on-off valve 15e at one end 15a side of the pump 15c in order to open and close the feed of the evaporative gas. The on-off valve 15e is controlled by the control unit 19. The storage gas supply pipe 15 is also referred to as a third path for sending evaporative gas from the evaporative gas recovery unit 13 to the cooling unit 21.

循環用配管１６は、蒸発ガス回収管１４の途中と保管ガス供給管１５の途中とを接続する配管である。循環用配管１６は、一端１６ａが蒸発ガス回収管１４の開閉弁１４Ａｄと開閉弁１４Ｂｃとの間に接続され、他端１６ｂが保管ガス供給管１５の開閉弁１５ｅとポンプ１５ｃとの間に接続されている。循環用配管１６は、デュワ１から冷却部２１に直接蒸発ガスを送るバイパス経路ともいう。 The circulation pipe 16 is a pipe that connects the middle of the evaporative gas recovery pipe 14 and the middle of the storage gas supply pipe 15. One end 16a of the circulation pipe 16 is connected between the on-off valve 14Ad and the on-off valve 14Bc of the evaporative gas recovery pipe 14, and the other end 16b is connected between the on-off valve 15e of the storage gas supply pipe 15 and the pump 15c. Has been done. The circulation pipe 16 is also referred to as a bypass path for directly sending evaporative gas from the dewar 1 to the cooling unit 21.

制御部１９は、ヘリウム循環システム１０を制御するもので、ＣＰＵ（Central Processing Unit）および記憶装置などを備えた演算装置である。制御部１９は、極低温冷凍機１１の圧縮機２５Ａと、蒸発ガス回収管１４のポンプ１４Ａｃおよび各開閉弁１４Ａｄ，１４Ｂｃおよび排気弁１４Ｂｄと、保管ガス供給管１５のポンプ１５ｃ、開閉弁１５ｄおよび開閉弁１５ｅと、の動作を制御する。また、制御部１９は、極低温冷凍機１１の温度計２６により計測された温度を取得する。 The control unit 19 controls the helium circulation system 10, and is an arithmetic unit including a CPU (Central Processing Unit), a storage device, and the like. The control unit 19 includes a compressor 25A of the cryogenic refrigerator 11, a pump 14Ac of the evaporative gas recovery pipe 14, each on-off valve 14Ad, 14Bc and an exhaust valve 14Bd, and a pump 15c, an on-off valve 15d of the storage gas supply pipe 15. Controls the operation of the on-off valve 15e. Further, the control unit 19 acquires the temperature measured by the thermometer 26 of the cryogenic refrigerator 11.

ここで、ヘリウム循環システム１０の動作を説明する。図３は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の駆動時のフローチャートである。図４は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の駆動時の動作図である。図５は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の停止時のフローチャートである。図６は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の停止時の動作図である。 Here, the operation of the helium circulation system 10 will be described. FIG. 3 is a flowchart of the helium circulation system when the cryogenic refrigerator is driven. FIG. 4 is an operation diagram when the cryogenic refrigerator of the helium circulation system is driven. FIG. 5 is a flowchart of the helium circulation system when the cryogenic refrigerator is stopped. FIG. 6 is an operation diagram of the helium circulation system when the cryogenic refrigerator is stopped.

図３に示すように、極低温冷凍機１１の駆動時において、制御部１９は、蒸発ガス回収管１４のポンプ１４ｃを停止すると共に第一開閉弁１４Ａｄおよび第二開閉弁１４Ｂｃおよび排気弁１４Ｂｄを閉鎖する（ステップＳ１）。また、制御部１９は、保管ガス供給管１５のポンプ１５ｃを駆動すると共に開閉弁１５ｄおよび開閉弁１５ｅを開放する（ステップＳ２）。そして、制御部１９は、極低温冷凍機１１の冷却部２１を駆動する（ステップＳ３）。これにより、図４に示すように、ヘリウム循環システム１０は、保管ガス供給管１５を介して蒸発ガス回収部１３から冷却部２１にガス冷媒を送ると共に、蒸発ガス回収管１４の第一蒸発ガス回収管１４Ａの一部および循環用配管１６を介してデュワ１から冷却部２１にガス冷媒を送り、冷却部２１にてガス冷媒を冷却して液体冷媒とし、デュワ１に送る。なお、ステップＳ１からＳ３の動作は同時に行ってもよい。 As shown in FIG. 3, when the cryogenic refrigerator 11 is driven, the control unit 19 stops the pump 14c of the evaporative gas recovery pipe 14 and turns the first on-off valve 14Ad, the second on-off valve 14Bc, and the exhaust valve 14Bd. Close (step S1). Further, the control unit 19 drives the pump 15c of the storage gas supply pipe 15 and opens the on-off valve 15d and the on-off valve 15e (step S2). Then, the control unit 19 drives the cooling unit 21 of the cryogenic refrigerator 11 (step S3). As a result, as shown in FIG. 4, the helium circulation system 10 sends the gas refrigerant from the evaporative gas recovery unit 13 to the cooling unit 21 via the storage gas supply pipe 15, and the first evaporative gas of the evaporative gas recovery pipe 14. A gas refrigerant is sent from the Duwa 1 to the cooling unit 21 via a part of the recovery pipe 14A and the circulation pipe 16, and the gas refrigerant is cooled by the cooling unit 21 to be a liquid refrigerant and sent to the Duwa 1. The operations of steps S1 to S3 may be performed at the same time.

また、図５に示すように、極低温冷凍機１１の停止時において、制御部１９は、極低温冷凍機１１の冷却部２１を停止する（ステップＳ１１）。また、制御部１９は、保管ガス供給管１５のポンプ１５ｃを停止すると共に開閉弁１５ｄおよび開閉弁１５ｅを閉鎖する（ステップＳ１２）。また、制御部１９は、蒸発ガス回収管１４の第一開閉弁１４Ａｄを開放し第二開閉弁１４Ｂｃおよび排気弁１４Ｂｄを閉鎖してポンプ１４ｃを駆動する（ステップＳ１３）。これにより、図６に示すように、ヘリウム循環システム１０は、蒸発ガス回収管１４の第一蒸発ガス回収管１４Ａを介してデュワ１から蒸発ガス回収部１３にガス冷媒を送り、蒸発ガス回収部１３で回収する。なお、ステップＳ１１からＳ１３の動作は同時に行ってもよい。 Further, as shown in FIG. 5, when the cryogenic refrigerator 11 is stopped, the control unit 19 stops the cooling unit 21 of the cryogenic refrigerator 11 (step S11). Further, the control unit 19 stops the pump 15c of the storage gas supply pipe 15 and closes the on-off valve 15d and the on-off valve 15e (step S12). Further, the control unit 19 opens the first on-off valve 14Ad of the evaporative gas recovery pipe 14, closes the second on-off valve 14Bc and the exhaust valve 14Bd, and drives the pump 14c (step S13). As a result, as shown in FIG. 6, the helium circulation system 10 sends the gas refrigerant from the dewar 1 to the evaporative gas recovery unit 13 via the first evaporative gas recovery pipe 14A of the evaporative gas recovery pipe 14, and the evaporative gas recovery unit Collect at 13. The operations of steps S11 to S13 may be performed at the same time.

本実施形態のヘリウム循環システム１０では、例えば、午後５時から翌日午前９時までの脳機能測定装置１０１を使用しない時、図３および図４に示す動作を行って、冷却部２１にてガス冷媒を冷却して液体冷媒とし、デュワ１に送る。また、本実施形態のヘリウム循環システム１０では、例えば、午前９時から午後５時までの脳機能測定装置１０１を使用する時、図５および図６に示す動作を行って、デュワ１から蒸発ガス回収部１３にガス冷媒を送り、蒸発ガス回収部１３で回収する。従って、本実施形態のヘリウム循環システム１０は、脳機能測定装置１０１を使用する計測時に、極低温冷凍機１１を停止させ、脳機能測定装置１０１への極低温冷凍機１１の振動による影響を防ぎ、脳機能測定装置１０１を使用せず計測しない時に、極低温冷凍機１１を駆動させ、デュワ１を極低温環境にできる。 In the helium circulation system 10 of the present embodiment, for example, when the brain function measuring device 101 from 5 pm to 9 am the next day is not used, the operations shown in FIGS. 3 and 4 are performed, and the cooling unit 21 performs the gas. The refrigerant is cooled to a liquid refrigerant and sent to Dewar 1. Further, in the helium circulation system 10 of the present embodiment, for example, when the brain function measuring device 101 from 9:00 am to 5:00 pm is used, the operations shown in FIGS. 5 and 6 are performed to evaporate the gas from the dewar 1. The gas refrigerant is sent to the recovery unit 13 and recovered by the evaporative gas recovery unit 13. Therefore, the helium circulation system 10 of the present embodiment stops the cryogenic refrigerator 11 at the time of measurement using the brain function measuring device 101 to prevent the influence of the vibration of the cryogenic refrigerator 11 on the brain function measuring device 101. When the brain function measuring device 101 is not used and measurement is not performed, the cryogenic refrigerator 11 can be driven to bring the Duwa 1 into a cryogenic environment.

図７は、極低温冷凍機の要部拡大図である。 FIG. 7 is an enlarged view of a main part of the cryogenic refrigerator.

極低温冷凍機１１は、上述したように、ガス冷媒を冷却する冷却部２１と、冷却部２１で冷却された液体冷媒Ｒを纏める受部２２と、受部２２に連通する移送管２４と、を備える。また、極低温冷凍機１１は、受部２２と移送管２４との間に設けられて冷却部２１で冷却された液体冷媒Ｒを貯める貯留部２７を備える。 As described above, the cryogenic refrigerator 11 includes a cooling unit 21 for cooling the gas refrigerant, a receiving unit 22 for collecting the liquid refrigerant R cooled by the cooling unit 21, and a transfer pipe 24 communicating with the receiving unit 22. To be equipped. Further, the cryogenic refrigerator 11 includes a storage unit 27 provided between the receiving unit 22 and the transfer pipe 24 and storing the liquid refrigerant R cooled by the cooling unit 21.

貯留部２７は、図７に示すように、受部２２の底２２Ａが、移送管２４との接続部分に向けて下方に窄まるように形成され、かつ移送管２４の上端２４ａが受部２２の底２２Ａを上方に突き抜けて受部２２の底２２Ａの上方に延びて形成されていることで、受部２２で纏められた液体冷媒Ｒが移送管２４の上端２４ａの位置まで貯まるように構成されている。 As shown in FIG. 7, the storage portion 27 is formed so that the bottom 22A of the receiving portion 22 is narrowed downward toward the connecting portion with the transfer pipe 24, and the upper end 24a of the transfer pipe 24 is the receiving portion 22. The liquid refrigerant R collected by the receiving portion 22 is configured to be stored up to the position of the upper end 24a of the transfer pipe 24 by being formed so as to penetrate the bottom 22A of the receiving portion 22 upward and extend above the bottom 22A of the receiving portion 22. Has been done.

このように、貯留部２７は、受部２２と移送管２４との間で液体冷媒Ｒを貯めることができる。 In this way, the storage unit 27 can store the liquid refrigerant R between the receiving unit 22 and the transfer pipe 24.

上述したように、極低温冷凍機１１では、冷却部２１などに吸着して固化した窒素、酸素、水などの不純物Ｓが温度上昇と共に液状化あるいは気化して移送管２４に流れ込む可能性がある。本実施形態の極低温冷凍機１１では、貯留部２７を設けたことで、図７に示すように、液体冷媒Ｒよりも比重が重い不純物Ｓは、貯留部２７に貯まった液体冷媒Ｒの下側であって、貯留部２７の底（受部２２の底２２Ａ）に貯まり、移送管２４の上端２４ａから離隔される。このため、本実施形態の極低温冷凍機１１は、不純物Ｓを固化した状態で留めることで移送管２４へ流れ込むことを防ぐ。そして、本実施形態の極低温冷凍機１１は、液状化あるいは気化した不純物Ｓが移送管２４の中または端部で再冷却により固化し、移送管２４が閉塞することを防止できる。また、本実施形態の極低温冷凍機１１は、不純物Ｓが冷却部２１に固着したままとしないため、冷却部２１の熱変換を阻害することなく、再凝縮能力の低下を防ぐ。この結果、本実施形態の極低温冷凍機１１は、冷媒に含まれる不純物の影響を抑制できる。 As described above, in the cryogenic refrigerator 11, impurities S such as nitrogen, oxygen, and water adsorbed and solidified by the cooling unit 21 and the like may liquefy or vaporize as the temperature rises and flow into the transfer pipe 24. .. In the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment, since the storage unit 27 is provided, as shown in FIG. 7, the impurities S having a heavier specific gravity than the liquid refrigerant R are under the liquid refrigerant R stored in the storage unit 27. On the side, it accumulates at the bottom of the storage unit 27 (bottom 22A of the receiving unit 22) and is separated from the upper end 24a of the transfer pipe 24. Therefore, the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment prevents the impurities S from flowing into the transfer pipe 24 by keeping them in a solidified state. Then, the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment can prevent the liquefied or vaporized impurities S from being solidified by recooling in or at the end of the transfer pipe 24 and blocking the transfer pipe 24. Further, in the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment, since the impurities S do not remain fixed to the cooling unit 21, the heat conversion of the cooling unit 21 is not hindered and the recondensing ability is prevented from being lowered. As a result, the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment can suppress the influence of impurities contained in the refrigerant.

本実施形態の極低温冷凍機１１では、貯留部２７は、受部２２の底２２Ａに移送管２４の上端２４ａが延びて形成されているため、簡易に構成できる。なお、本実施形態の極低温冷凍機１１では、貯留部２７は、受部２２の底２２Ａを移送管２４との接続部分に向けて下方に窄まるように形成されているため、混入物Ｓが貯まる貯留部２７の最も深い部分から移送管２４の上端２４ａまでの距離を長くでき、混入物Ｓが移送管２４へ流れ込むことをより防げる。 In the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment, the storage unit 27 can be easily configured because the upper end 24a of the transfer pipe 24 extends from the bottom 22A of the receiving unit 22. In the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment, the storage unit 27 is formed so that the bottom 22A of the receiving unit 22 is narrowed downward toward the connecting portion with the transfer pipe 24, so that the contaminant S is used. The distance from the deepest portion of the storage unit 27 to the upper end 24a of the transfer pipe 24 can be increased, and the contaminant S can be further prevented from flowing into the transfer pipe 24.

また、本実施形態の極低温冷凍機１１では、貯留部２７は、冷却部２１の直下に配置される。このため、本実施形態の極低温冷凍機１１は、冷却部２１に吸着して固化した不純物Ｓを確実に受けることができる。 Further, in the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment, the storage unit 27 is arranged directly below the cooling unit 21. Therefore, the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment can surely receive the impurities S adsorbed and solidified by the cooling unit 21.

ところで、図８は、極低温冷凍機の動作を示すフローチャートである。本実施形態の極低温冷凍機１１では、制御部１９において、温度計２６で計測された冷却部２１または貯留部２７の温度を取得している。制御部１９は、取得した温度が所定温度以上となった場合、排気部の排気弁１４Ｂｄを開放する。具体的に、図８に示すように、極低温冷凍機１１において、制御部１９は、本制御以外において排気弁１４Ｂｄを閉鎖している（ステップＳ２１：図４および図６参照）。そして、制御部１９は、図６に示すように冷却部２１を停止しているとき（ステップＳ２２：Ｙｅｓ）、温度計２６で計測された温度が所定温度以上である場合（ステップＳ２３：Ｙｅｓ）、排気弁１４Ｂｄ開放する（ステップＳ２４）。所定温度とは、不純物Ｓの成分が気化し得る温度である。なお、ステップＳ２２において、冷却部２１の停止とは圧縮された圧縮ガスが供給されていないことを意味し、冷却部２１の駆動とは圧縮された圧縮ガスが供給されていることを意味する。そして、制御部１９は、ステップＳ２２において、冷却部２１を駆動しているときは（ステップＳ２２：Ｎｏ）、ステップＳ２１に戻る。また、制御部１９は、ステップＳ２３において、温度計２６で計測された温度が所定温度以上でない場合は（ステップＳ２３：Ｎｏ）、温度計２６で計測された温度を継続して取得する。 By the way, FIG. 8 is a flowchart showing the operation of the cryogenic refrigerator. In the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment, the control unit 19 acquires the temperature of the cooling unit 21 or the storage unit 27 measured by the thermometer 26. When the acquired temperature becomes equal to or higher than a predetermined temperature, the control unit 19 opens the exhaust valve 14Bd of the exhaust unit. Specifically, as shown in FIG. 8, in the cryogenic refrigerator 11, the control unit 19 closes the exhaust valve 14Bd except for this control (step S21: see FIGS. 4 and 6). Then, when the cooling unit 21 is stopped as shown in FIG. 6 (step S22: Yes), the control unit 19 is in the case where the temperature measured by the thermometer 26 is equal to or higher than the predetermined temperature (step S23: Yes). , The exhaust valve 14Bd is opened (step S24). The predetermined temperature is a temperature at which the component of the impurity S can be vaporized. In step S22, stopping the cooling unit 21 means that the compressed compressed gas is not supplied, and driving the cooling unit 21 means that the compressed compressed gas is supplied. Then, when the control unit 19 is driving the cooling unit 21 in step S22 (step S22: No), the control unit 19 returns to step S21. Further, in step S23, if the temperature measured by the thermometer 26 is not equal to or higher than the predetermined temperature (step S23: No), the control unit 19 continuously acquires the temperature measured by the thermometer 26.

このように、本実施形態の極低温冷凍機１１は、冷却部２１および貯留部２７を収容する保温部２３と、冷却部２１または貯留部２７の温度を計測する温度計２６と、保温部２３に接続された排気部である排気弁１４Ｂｄと、温度計２６が計測した温度が所定温度以上となった場合に排気部２６を開放する制御部１９と、を備える。この極低温冷凍機１１によれば、不純物Ｓの成分が気化した場合、この不純物Ｓの成分を保温部２３の外部に排出できる。この結果、本実施形態の極低温冷凍機１１は、不純物Ｓが移送管２４の中で再冷却により固化し、移送管２４が閉塞することを防止できる。なお、本実施形態において、制御部１９は、上述したヘリウム循環システム１０の制御部１９を用いているが、極低温冷凍機１１の上記制御を行う別の制御部を備えていてもよい。 As described above, in the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment, the heat insulating unit 23 accommodating the cooling unit 21 and the storage unit 27, the thermometer 26 for measuring the temperature of the cooling unit 21 or the storage unit 27, and the heat insulating unit 23 An exhaust valve 14Bd, which is an exhaust unit connected to the above, and a control unit 19 that opens the exhaust unit 26 when the temperature measured by the thermometer 26 exceeds a predetermined temperature. According to the cryogenic refrigerator 11, when the component of the impurity S is vaporized, the component of the impurity S can be discharged to the outside of the heat retaining unit 23. As a result, the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment can prevent impurities S from being solidified by recooling in the transfer pipe 24 and clogging the transfer pipe 24. In the present embodiment, the control unit 19 uses the control unit 19 of the helium circulation system 10 described above, but may include another control unit that performs the control of the cryogenic refrigerator 11.

また、本実施形態の生体磁気計測装置１００は、上述した極低温冷凍機１１を備えて冷媒に含まれる不純物の影響を抑制できることから、脳機能測定装置１０１による測定を経済的かつ継続的に行える。 Further, since the biomagnetic measuring device 100 of the present embodiment is provided with the above-mentioned cryogenic refrigerator 11 and can suppress the influence of impurities contained in the refrigerant, the measurement by the brain function measuring device 101 can be economically and continuously performed. ..

なお、図には明示しないが、貯留部２７は、受部２２の外周であって冷却部２１の第二コールドステージ２１Ｅよりも下側に接続され、受部２２の底２２Ａよりも移送管２４の上端２４ａが上方に位置することで、受部２２で纏められた液体冷媒Ｒが移送管２４の上端２４ａの位置まで貯まるように構成されていてもよい。 Although not clearly shown in the drawing, the storage unit 27 is connected to the outer periphery of the receiving unit 22 and below the second cold stage 21E of the cooling unit 21, and is connected to the transfer pipe 24 from the bottom 22A of the receiving unit 22. The liquid refrigerant R collected by the receiving portion 22 may be stored up to the position of the upper end 24a of the transfer pipe 24 by locating the upper end 24a of the above.

また、図には明示ないが、排気部である排気弁１４Ｂｄは、保温部２３に直接接続されていてもよい。この場合、第二蒸発ガス回収管１４Ｂと、開閉弁１４Ｂｃおよび排気弁１４Ｂｄは設けなくてもよい。 Further, although not explicitly shown in the drawing, the exhaust valve 14Bd, which is an exhaust unit, may be directly connected to the heat retaining unit 23. In this case, the second evaporative gas recovery pipe 14B, the on-off valve 14Bc, and the exhaust valve 14Bd may not be provided.

１１ 極低温冷凍機
１４Ｂｄ 排気部
１９ 制御部
２１ 冷却部
２２ 受部
２２Ａ 底
２３ 保温部
２４ 移送管
２４ａ 上端
２７ 貯留部
２６ 温度計
１００ 生体磁気計測装置
１０１ 脳機能測定装置（測定装置） 11 Cryogenic refrigerator 14Bd Exhaust unit 19 Control unit 21 Cooling unit 22 Receiving unit 22A Bottom 23 Heat insulating unit 24 Transfer pipe 24a Upper end 27 Storage unit 26 Thermometer 100 Biomagnetic measuring device 101 Brain function measuring device (measuring device)

特許第５８３９７３４号公報Japanese Patent No. 5389734

Claims (5)

冷媒を冷却する冷却部と、
前記冷却部で冷却された前記冷媒を纏める受部と、
前記受部に連通する移送管と、
前記受部と前記移送管との間に設けられて前記冷媒を貯める貯留部と、
を備える、極低温冷凍機。 A cooling unit that cools the refrigerant and
A receiving part that collects the refrigerant cooled by the cooling part, and
A transfer pipe that communicates with the receiving part,
A storage unit provided between the receiving unit and the transfer pipe to store the refrigerant, and a storage unit.
Equipped with a cryogenic freezer. 前記貯留部は、前記受部の底に前記移送管の上端が延びて形成される、請求項１に記載の極低温冷凍機。 The cryogenic refrigerator according to claim 1, wherein the storage portion is formed by extending the upper end of the transfer pipe to the bottom of the receiving portion. 前記貯留部は、前記冷却部の直下に配置される、請求項１または２に記載の極低温冷凍機。 The cryogenic refrigerator according to claim 1 or 2, wherein the storage unit is arranged directly below the cooling unit. 前記冷却部および前記貯留部を収容する保温部と、
前記冷却部または前記貯留部の温度を計測する温度計と、
前記保温部に接続された排気部と、
前記温度計が計測した温度が所定温度以上となった場合に前記排気部を開放する制御部と、
を備える、請求項１から３のいずれか１項に記載の極低温冷凍機。 A heat insulating unit that houses the cooling unit and the storage unit,
A thermometer that measures the temperature of the cooling unit or the storage unit,
The exhaust unit connected to the heat insulating unit and
A control unit that opens the exhaust unit when the temperature measured by the thermometer exceeds a predetermined temperature, and
The cryogenic refrigerator according to any one of claims 1 to 3, further comprising. 請求項１から４のいずれか１項に記載の極低温冷凍機と、
前記極低温冷凍機から送られた冷媒により冷却される測定装置と、
を備える、生体磁気計測装置。 The cryogenic refrigerator according to any one of claims 1 to 4, and the cryogenic refrigerator.
A measuring device that is cooled by the refrigerant sent from the cryogenic refrigerator,
A biomagnetic measuring device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001108321A (en) 1999-10-05 2001-04-20 Iwatani Internatl Corp Reliquefying device of liquefied gas for cooling physical and chemical equipment
JP3645526B2 (en) 2002-01-25 2005-05-11 独立行政法人科学技術振興機構 High performance helium gas purifier
JP4145673B2 (en) 2003-02-03 2008-09-03 独立行政法人科学技術振興機構 Circulating liquid helium reliquefaction apparatus with pollutant discharge function, method for discharging pollutants from the apparatus, purifier and transfer tube used in the apparatus
JP2010046344A (en) 2008-08-22 2010-03-04 Sumitomo Heavy Ind Ltd Living body magnetic field measuring instrument
CN103797314B (en) 2011-07-14 2016-11-23 量子设计国际有限公司 There is the liquefier of pressure controlled liquefaction chamber
JP5839734B2 (en) 2013-12-26 2016-01-06 大陽日酸株式会社 Evaporative gas reliquefaction equipment for low temperature liquefied gas
US10352617B2 (en) 2014-09-25 2019-07-16 University Of Zaragoza Apparatus and method for purifying gases and method of regenerating the same
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