JP7453029B2 - Cryogenic refrigerator and biomagnetic measuring device - Google Patents

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Description

本発明は、極低温冷凍機および生体磁気計測装置に関する。 The present invention relates to a cryogenic refrigerator and a biomagnetic measuring device.

従来、例えば、特許文献1には、冷凍機で冷却された冷媒をクライオスタットに導入するトランスファーチューブを備える構成が記載されている。 Conventionally, for example, Patent Document 1 describes a configuration including a transfer tube that introduces a refrigerant cooled by a refrigerator into a cryostat.

脳磁計や脊磁計などの生体磁気計測装置では、例えば、超電導量子干渉素子のような高感度磁気センサを用い、超電導状態を保つために冷媒として液体ヘリウムが使われる。あるいは、極低温での物性測定においても冷媒として液体ヘリウムが使われる。液体ヘリウムは容易に気化するため、上記のような装置において計測を経済的かつ継続的に使用するには、極低温冷凍機を使ってヘリウム循環することが必要である。 Biomagnetic measurement devices such as magnetoencephalography and magnetospinography use high-sensitivity magnetic sensors such as superconducting quantum interference devices, and liquid helium is used as a coolant to maintain a superconducting state. Alternatively, liquid helium is used as a refrigerant when measuring physical properties at extremely low temperatures. Since liquid helium easily vaporizes, economical and continuous use of measurements in such devices requires helium circulation using a cryogenic refrigerator.

ここで、極低温冷凍機では、低温を保持する保温部(クライオスタット)と、保温部から液体ヘリウムを送る移送管(トランスファーチューブ)を備える構成がある。この構成の極低温冷凍機では、長時間の運転でヘリウムを主成分とする循環ガス中に含まれる微量の不純物(窒素、酸素、水など)が冷却部の低温部分に吸着し固化される。この不純物は、冷却部の熱変換を阻害するため、再凝縮能力を低下させる。また循環系に微量の漏れなどがあると大気中から継続的に不純物が供給されることがあり、経時的に再凝縮能力を低下させる。一方、極低温冷凍機の運転を停止すると、冷却部の低温部分に固着した不純物の成分が、冷却部の温度上昇と共に液状化または気化して移送管に流れ込み、移送管の先が接続された生体磁気計測装置などのデュワにて再冷却されて固体となることで移送管を閉塞させるおそれがある。このため、ヘリウム循環の運転・停止を繰り返すような極低温冷凍機にあって、運用の信頼性を損なうおそれがある。 Here, some cryogenic refrigerators include a heat insulating part (cryostat) that maintains a low temperature and a transfer tube that sends liquid helium from the heat insulating part. In a cryogenic refrigerator with this configuration, during long-term operation, minute amounts of impurities (nitrogen, oxygen, water, etc.) contained in the circulating gas whose main component is helium are adsorbed to the low-temperature part of the cooling section and solidified. This impurity inhibits heat conversion in the cooling section, thereby reducing recondensation ability. Furthermore, if there is a small amount of leakage in the circulation system, impurities may be continuously supplied from the atmosphere, reducing the recondensation ability over time. On the other hand, when the operation of the cryogenic refrigerator is stopped, the impurity components fixed in the low-temperature part of the cooling section liquefy or vaporize as the temperature of the cooling section rises and flow into the transfer pipe, and the end of the transfer pipe is connected. There is a risk that the transfer pipe may be blocked by being re-cooled in a dewar such as a biomagnetic measuring device and becoming solid. For this reason, in a cryogenic refrigerator where helium circulation is repeatedly started and stopped, operational reliability may be impaired.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、冷媒に含まれる不純物の影響を抑制することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to suppress the influence of impurities contained in a refrigerant.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の極低温冷凍機は、冷媒を冷却する冷却部と、前記冷却部で冷却された前記冷媒を受ける受部と、前記受部に連通する移送管と、前記受部と前記移送管との間に設けられて前記冷媒を貯める貯留部と、を備え、前記貯留部は、前記受部の底に前記移送管の上端が延びて形成され、かつ、前記受部の底を前記移送管との接続部分に向けて下方に窄まるように形成されている In order to solve the above-mentioned problems and achieve the objects, the cryogenic refrigerator of the present invention includes a cooling part for cooling a refrigerant, a receiving part for receiving the refrigerant cooled by the cooling part, and a receiving part for the receiving part. A communicating transfer pipe; and a storage part provided between the receiving part and the transfer pipe to store the refrigerant , the storage part having an upper end of the transfer pipe extending to the bottom of the receiving part. The receiving portion is formed such that the bottom of the receiving portion narrows downward toward the connecting portion with the transfer pipe .

本発明によれば、冷媒に含まれる不純物の影響を抑制できる。 According to the present invention, the influence of impurities contained in the refrigerant can be suppressed.

図1は、生体磁気計測装置の一例を示す概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a biomagnetic measurement device. 図2は、ヘリウム循環システムの一例を示す概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing an example of a helium circulation system. 図3は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の駆動時のフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart when the cryogenic refrigerator of the helium circulation system is operated. 図4は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の駆動時の動作図である。FIG. 4 is an operational diagram when the cryogenic refrigerator of the helium circulation system is driven. 図5は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の停止時のフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart when the cryogenic refrigerator of the helium circulation system is stopped. 図6は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の停止時の動作図である。FIG. 6 is an operational diagram when the cryogenic refrigerator of the helium circulation system is stopped. 図7は、極低温冷凍機の要部拡大図である。FIG. 7 is an enlarged view of the main parts of the cryogenic refrigerator. 図8は、ヘリウム循環システムの動作を示すフローチャートである。FIG. 8 is a flowchart showing the operation of the helium circulation system.

以下に添付図面を参照して、極低温冷凍機および生体磁気計測装置の実施形態を詳細に説明する。 Embodiments of a cryogenic refrigerator and a biomagnetic measuring device will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

図1は、生体磁気計測装置の一例を示す概略構成図である。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a biomagnetic measurement device.

生体磁気計測装置100は、生体情報計測装置であって、脳機能測定装置(測定装置ともいう)101と、情報処置装置102とを備えている。 The biomagnetic measuring device 100 is a biological information measuring device, and includes a brain function measuring device (also referred to as a measuring device) 101 and an information processing device 102 .

脳機能測定装置101は、測定対象である被検者110の臓器である脳の脳磁図(MEG:Magneto-encephalography)信号を測定する脳磁計である。脳機能測定装置101は、被検者110の頭部が挿入されるデュワ1を有する。デュワ1は、被検者110の頭部のほぼ全域を取り囲むヘルメット型のセンサ収納型デュワである。デュワ1は、液体ヘリウムを用いた極低温環境の真空断熱装置である。デュワ1は、その内部に脳磁測定用の多数の磁気センサ2が配置されている。磁気センサ2は、超電導量子干渉素子(SQUID:Superconducting Quantum Interference Device)が用いられる。脳機能測定装置101は、磁気センサ2からの脳磁信号を収集する。脳機能測定装置101は、収集された生体信号を情報処置装置102に出力する。 The brain function measuring device 101 is a magnetoencephalograph that measures magnetoencephalography (MEG) signals of the brain, which is an organ of the subject 110 who is the measurement target. The brain function measuring device 101 has a dewar 1 into which the head of the subject 110 is inserted. The dewar 1 is a helmet-shaped sensor-accommodating dewar that surrounds almost the entire head of the subject 110. Dewar 1 is a vacuum insulation device in a cryogenic environment using liquid helium. The dewar 1 has a large number of magnetic sensors 2 arranged therein for measuring brain magnetism. The magnetic sensor 2 uses a superconducting quantum interference device (SQUID). The brain function measuring device 101 collects brain magnetic signals from the magnetic sensor 2 . The brain function measuring device 101 outputs the collected biological signals to the information processing device 102.

情報処置装置102は、複数の磁気センサ2からの脳磁信号の波形を、時間軸上に表示する。脳磁信号は、神経細胞の電気的な活動(シナプス伝達の際にニューロンの樹状突起で起きるイオン電荷の流れ)により誘起されるもので脳の電気活動により生じた微小な磁場変動を表わす。 The information processing device 102 displays the waveforms of the electroencephalogram signals from the plurality of magnetic sensors 2 on a time axis. Magnetic brain signals are induced by the electrical activity of neurons (the flow of ionic charges that occurs in the dendrites of neurons during synaptic transmission) and represent minute magnetic field fluctuations caused by the electrical activity of the brain.

図2は、ヘリウム循環システムの例を示す概略構成図である。 FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing an example of a helium circulation system.

上述した脳機能測定装置101は、真空断熱装置であるデュワ1を極低温環境とするためのヘリウム循環システム10を含む。ヘリウム循環システム10は、極低温冷凍機11と、デュワ1、蒸発ガス回収部(バッファタンク)13と、蒸発ガス回収管14と、保管ガス供給管15と、循環用配管16と、制御部19と、を備える。 The brain function measuring device 101 described above includes a helium circulation system 10 for making the dewar 1, which is a vacuum insulation device, a cryogenic environment. The helium circulation system 10 includes a cryogenic refrigerator 11, a dewar 1, an evaporative gas recovery section (buffer tank) 13, an evaporative gas recovery pipe 14, a storage gas supply pipe 15, a circulation pipe 16, and a control section 19. and.

極低温冷凍機11は、パルス管冷凍機を構成するもので、冷却部21と、受部22と、保温部23と、移送管24と、駆動系循環部25と、温度計26と、を有する。 The cryogenic refrigerator 11 constitutes a pulse tube refrigerator, and includes a cooling section 21, a receiving section 22, a heat retaining section 23, a transfer pipe 24, a drive system circulation section 25, and a thermometer 26. have

冷却部21は、本体部21Aと、円筒状の第一シリンダ部21Bと、円筒状の第二シリンダ部21Cと、円板状の第一コールドステージ21Dと、円板状の第二コールドステージ21Eと、を備える。本体部21Aは、冷却部21の基部であり、最上部に配置される。第一シリンダ部21Bは、本体部21Aから下方に延びて設けられている。第二シリンダ部21Cは、第一シリンダ部21Bよりも下方に延びて設けられている。第一コールドステージ21Dは、第一シリンダ部21Bと第二シリンダ部21Cとの間に設けられている。第二コールドステージ21Eは、第二シリンダ部21Cの延びた下端に設けられている。 The cooling unit 21 includes a main body 21A, a cylindrical first cylinder part 21B, a cylindrical second cylinder part 21C, a disc-shaped first cold stage 21D, and a disc-shaped second cold stage 21E. and. The main body 21A is the base of the cooling unit 21 and is arranged at the top. The first cylinder portion 21B is provided to extend downward from the main body portion 21A. The second cylinder portion 21C is provided to extend downward from the first cylinder portion 21B. The first cold stage 21D is provided between the first cylinder part 21B and the second cylinder part 21C. The second cold stage 21E is provided at the lower end of the second cylinder portion 21C.

受部22は、上端が開放し、下端に底22Aを有する皿状に形成されている。受部22は、冷却部21の直下に配置される。 The receiving portion 22 is formed into a dish shape with an open upper end and a bottom 22A at the lower end. The receiving part 22 is arranged directly below the cooling part 21.

保温部23は、真空断熱をしたクライオスタットであり、例えば、ステンレスまたはガラス繊維強化樹脂により筒状に形成され、上端が開放し、下端に底23Aを有する。保温部23は、内部に冷却部21が収容され冷却部21の外周を間隔を空けて囲むように設けられる。保温部23は、上端が冷却部21の本体部21Aにより密閉される。また、受部22は、保温部23の内部に配置される。保温部23は、内部の温度を保つように機能する。 The heat retaining section 23 is a vacuum-insulated cryostat, and is formed into a cylindrical shape of, for example, stainless steel or glass fiber reinforced resin, with an open upper end and a bottom 23A at the lower end. The heat retaining section 23 houses the cooling section 21 therein and is provided so as to surround the outer periphery of the cooling section 21 at intervals. The upper end of the heat retaining section 23 is sealed by the main body section 21A of the cooling section 21. Moreover, the receiving part 22 is arranged inside the heat retaining part 23. The heat retaining section 23 functions to maintain the internal temperature.

移送管24は、上端24aが受部22の底22Aに接続され、受部22に連通して設けられている。移送管24は、受部22の底22Aから下方に延び、保温部23の内部を通って下端24bが下方に向けて設けられている。保温部23は、底23Aが移送管24の外周を間隔を空けて囲むように移送管24と共に下方に延びて形成されている。移送管24は、その下端24bが脳機能測定装置101のデュワ1に接続されている。移送管24は、冷却部21からデュワ1に液体冷媒を送る第一経路ともいう。 The transfer pipe 24 has an upper end 24a connected to the bottom 22A of the receiving portion 22, and is provided in communication with the receiving portion 22. The transfer pipe 24 extends downward from the bottom 22A of the receiving part 22, passes through the inside of the heat retaining part 23, and is provided with a lower end 24b facing downward. The heat retaining portion 23 is formed so that the bottom 23A extends downward together with the transfer tube 24 so as to surround the outer periphery of the transfer tube 24 at intervals. The lower end 24b of the transfer tube 24 is connected to the dewar 1 of the brain function measuring device 101. The transfer pipe 24 is also referred to as a first path for sending the liquid refrigerant from the cooling unit 21 to the dewar 1.

駆動系循環部25は、コンプレッサである圧縮機25Aと、動作部であるバルブモータ25Bと、を有する。圧縮機25Aは、圧縮ガスを圧縮する。圧縮ガスは、例えばヘリウムガスである。圧縮機25Aで圧縮された圧縮ガスは、バルブモータ25Bに供給される。バルブモータ25Bは、冷却部21の本体部21Aに対し、圧縮ガスを間欠供給するように開閉を切り替える。駆動系循環部25は、バルブモータ25Bの切り替えにより圧縮機25Aと冷却部21との間で圧縮ガスが循環される。冷却部21は、この圧縮ガスの間欠供給により、起動し、第一コールドステージ21Dおよび第二コールドステージ21Eで冷熱を発生する。なお、圧縮機25Aは、水冷または空冷により排熱する。 The drive system circulation section 25 includes a compressor 25A, which is a compressor, and a valve motor 25B, which is an operating section. Compressor 25A compresses compressed gas. The compressed gas is, for example, helium gas. Compressed gas compressed by the compressor 25A is supplied to the valve motor 25B. The valve motor 25B switches opening and closing to intermittently supply compressed gas to the main body 21A of the cooling unit 21. In the drive system circulation section 25, compressed gas is circulated between the compressor 25A and the cooling section 21 by switching the valve motor 25B. The cooling unit 21 is activated by this intermittent supply of compressed gas, and generates cold heat in the first cold stage 21D and the second cold stage 21E. Note that the compressor 25A exhausts heat by water cooling or air cooling.

温度計26は、保温部23の内部の温度を計測するもので、例えば、受部22や冷却部21における第二コールドステージ21Eなどの近傍の温度を計測する。すなわち、温度計26は、保温部23の内部において受部22(後述する貯留部27)や冷却部21の温度を計測する。 The thermometer 26 measures the temperature inside the heat retaining section 23, and measures the temperature near the receiving section 22, the second cold stage 21E, etc. in the cooling section 21, for example. That is, the thermometer 26 measures the temperature of the receiving section 22 (storage section 27 described later) and the cooling section 21 inside the heat retaining section 23 .

この極低温冷凍機11は、その駆動時に、保温部23の内部であって冷却部21にガス冷媒が供給される。ガス冷媒は、例えばヘリウムガスであり、第一コールドステージ21Dおよび第二コールドステージ21Eで発生する冷熱により冷却されることで液化されて液体冷媒である液体ヘリウムとなり、受部22の底22Aに至り滴下して纏められる。受部22の底22Aに纏められた液体ヘリウムは、移送管24を経て保温部23の外部に送られ、脳機能測定装置101のデュワ1内部のヘリウム槽に供給される。これにより、脳機能測定装置101のデュワ1の液体ヘリウムが保持される。デュワ1の内部の液体ヘリウムは外部からの熱侵入によって徐々に蒸発してヘリウムガス(蒸発ガスともいう)となる。 When the cryogenic refrigerator 11 is driven, gas refrigerant is supplied to the cooling section 21 inside the heat retaining section 23 . The gas refrigerant is, for example, helium gas, and is liquefied by being cooled by the cold heat generated in the first cold stage 21D and the second cold stage 21E to become liquid helium, which is a liquid refrigerant, and reaches the bottom 22A of the receiving part 22. It can be dripped and collected. The liquid helium collected on the bottom 22A of the receiving section 22 is sent to the outside of the heat-retaining section 23 via the transfer pipe 24, and is supplied to the helium tank inside the dewar 1 of the brain function measuring device 101. As a result, the liquid helium in the Dewar 1 of the brain function measuring device 101 is retained. The liquid helium inside the dewar 1 gradually evaporates due to heat intrusion from the outside and becomes helium gas (also referred to as evaporative gas).

蒸発ガス回収部13は、デュワ1で蒸発した蒸発ガスを回収し貯えて保管するための圧力容器である。 The evaporated gas recovery section 13 is a pressure vessel for collecting and storing the evaporated gas evaporated by the dewar 1.

蒸発ガス回収管14は、デュワ1と蒸発ガス回収部13との間を接続する配管である。蒸発ガス回収管14は、第一蒸発ガス回収管14Aと、第二蒸発ガス回収管14Bと、を有する。 The evaporative gas recovery pipe 14 is a pipe that connects the dewar 1 and the evaporative gas recovery section 13. The evaporative gas recovery pipe 14 includes a first evaporative gas recovery pipe 14A and a second evaporative gas recovery pipe 14B.

第一蒸発ガス回収管14Aは、一端14Aaがデュワ1に接続され、他端14Abが蒸発ガス回収部13に接続されている。第一蒸発ガス回収管14は、デュワ1から蒸発ガス回収部13に蒸発ガスを送るため、途中にコンプレッサであるポンプ14Acが設けられている。また、第一蒸発ガス回収管14Aは、蒸発ガスの送りを開閉するため、ポンプ14Acよりも一端14Aa側に第一開閉弁14Adが設けられている。第一開閉弁14Adは、制御部19により制御される。第一蒸発ガス回収管14Aは、デュワ1から蒸発ガス回収部13に直接蒸発ガスを送る第二経路ともいう。 The first evaporative gas recovery pipe 14A has one end 14Aa connected to the dewar 1 and the other end 14Ab connected to the evaporative gas recovery section 13. The first evaporative gas recovery pipe 14 is provided with a pump 14Ac, which is a compressor, in the middle to send the evaporative gas from the dewar 1 to the evaporative gas recovery section 13. Further, the first evaporated gas recovery pipe 14A is provided with a first on-off valve 14Ad closer to the end 14Aa than the pump 14Ac in order to open and close the feeding of the evaporated gas. The first on-off valve 14Ad is controlled by the control section 19. The first evaporative gas recovery pipe 14A is also referred to as a second path for directly sending the evaporative gas from the dewar 1 to the evaporative gas recovery section 13.

第二蒸発ガス回収管14Bは、第一蒸発ガス回収管14Aの途中と、冷却部21の保温部23の内部との間を接続する配管である。第二蒸発ガス回収管14Bは、一端14Baが第二蒸発ガス回収管14Bの一端14Aaと開閉弁14Adとの間に接続され、他端14Bbが保温部23に接続されている。本実施形態では、第二蒸発ガス回収管14Bは、他端14Bbが保管ガス供給管15の一部を介して保温部23に接続されている。第二蒸発ガス回収管14Bは、蒸発ガスの送りを開閉するため、途中に第二開閉弁14Bcが設けられている。第二開閉弁14Bcは、制御部19により制御される。また、第二蒸発ガス回収管14Bは、第二開閉弁14Bcよりも他端14Bb側に排気弁(排気部)14Bdが設けられている。排気弁14Bdは、制御部19により制御される。排気弁14Bdは、第二蒸発ガス回収管14Bおよび保管ガス供給管15の一部を介して保温部23に接続されている。 The second evaporative gas recovery pipe 14B is a pipe that connects the middle of the first evaporative gas recovery pipe 14A and the inside of the heat retention section 23 of the cooling section 21. One end 14Ba of the second evaporative gas recovery pipe 14B is connected between one end 14Aa of the second evaporative gas recovery pipe 14B and the on-off valve 14Ad, and the other end 14Bb is connected to the heat retaining section 23. In this embodiment, the other end 14Bb of the second evaporative gas recovery pipe 14B is connected to the heat retaining section 23 via a part of the storage gas supply pipe 15. The second evaporative gas recovery pipe 14B is provided with a second on-off valve 14Bc in the middle to open and close the feeding of evaporative gas. The second on-off valve 14Bc is controlled by the control section 19. Further, the second evaporative gas recovery pipe 14B is provided with an exhaust valve (exhaust part) 14Bd closer to the other end 14Bb than the second on-off valve 14Bc. The exhaust valve 14Bd is controlled by the control section 19. The exhaust valve 14Bd is connected to the heat retaining section 23 via a part of the second evaporative gas recovery pipe 14B and the storage gas supply pipe 15.

保管ガス供給管15は、蒸発ガス回収部13と冷却部21との間を接続する配管である。保管ガス供給管15は、一端15aが蒸発ガス回収部13に接続され、他端15bが極低温冷凍機11の冷却部21に接続されている。保管ガス供給管15は、蒸発ガス回収部13から冷却部21に蒸発ガス回収部13で保管された蒸発ガス(保管ガス)を送るため、途中にポンプ15cが設けられている。また、保管ガス供給管15は、蒸発ガスの送りを開閉するため、ポンプ15cよりも他端15b側に開閉弁15dが設けられている。開閉弁15dは、制御部19により制御される。また、保管ガス供給管15は、蒸発ガスの送りを開閉するため、ポンプ15cよりも一端15a側に開閉弁15eが設けられている。開閉弁15eは、制御部19により制御される。保管ガス供給管15は、蒸発ガス回収部13から冷却部21に蒸発ガスを送る第三経路ともいう。 The storage gas supply pipe 15 is a pipe that connects the evaporated gas recovery section 13 and the cooling section 21. The storage gas supply pipe 15 has one end 15a connected to the evaporated gas recovery section 13, and the other end 15b connected to the cooling section 21 of the cryogenic refrigerator 11. A pump 15c is provided in the storage gas supply pipe 15 in order to send the evaporative gas (storage gas) stored in the evaporative gas recovery section 13 from the evaporative gas recovery section 13 to the cooling section 21. Further, the storage gas supply pipe 15 is provided with an on-off valve 15d closer to the other end 15b than the pump 15c in order to open and close the feeding of evaporated gas. The on-off valve 15d is controlled by the control section 19. Further, the storage gas supply pipe 15 is provided with an on-off valve 15e closer to one end 15a than the pump 15c in order to open and close the feeding of evaporated gas. The on-off valve 15e is controlled by a control section 19. The storage gas supply pipe 15 is also referred to as a third path for sending the evaporative gas from the evaporative gas recovery section 13 to the cooling section 21 .

循環用配管16は、蒸発ガス回収管14の途中と保管ガス供給管15の途中とを接続する配管である。循環用配管16は、一端16aが蒸発ガス回収管14の開閉弁14Adと開閉弁14Bcとの間に接続され、他端16bが保管ガス供給管15の開閉弁15eとポンプ15cとの間に接続されている。循環用配管16は、デュワ1から冷却部21に直接蒸発ガスを送るバイパス経路ともいう。 The circulation pipe 16 is a pipe that connects the middle of the evaporated gas recovery pipe 14 and the middle of the storage gas supply pipe 15. The circulation pipe 16 has one end 16a connected between the on-off valve 14Ad and the on-off valve 14Bc of the evaporated gas recovery pipe 14, and the other end 16b connected between the on-off valve 15e of the storage gas supply pipe 15 and the pump 15c. has been done. The circulation pipe 16 is also referred to as a bypass path that directly sends the evaporated gas from the dewar 1 to the cooling section 21 .

制御部19は、ヘリウム循環システム10を制御するもので、CPU(Central Processing Unit)および記憶装置などを備えた演算装置である。制御部19は、極低温冷凍機11の圧縮機25Aと、蒸発ガス回収管14のポンプ14Acおよび各開閉弁14Ad,14Bcおよび排気弁14Bdと、保管ガス供給管15のポンプ15c、開閉弁15dおよび開閉弁15eと、の動作を制御する。また、制御部19は、極低温冷凍機11の温度計26により計測された温度を取得する。 The control unit 19 controls the helium circulation system 10, and is an arithmetic device including a CPU (Central Processing Unit), a storage device, and the like. The control unit 19 includes a compressor 25A of the cryogenic refrigerator 11, a pump 14Ac and each on-off valve 14Ad, 14Bc, and an exhaust valve 14Bd of the evaporative gas recovery pipe 14, a pump 15c, an on-off valve 15d, and an on-off valve 15d of the storage gas supply pipe 15. The operation of the on-off valve 15e is controlled. Further, the control unit 19 acquires the temperature measured by the thermometer 26 of the cryogenic refrigerator 11.

ここで、ヘリウム循環システム10の動作を説明する。図3は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の駆動時のフローチャートである。図4は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の駆動時の動作図である。図5は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の停止時のフローチャートである。図6は、ヘリウム循環システムの極低温冷凍機の停止時の動作図である。 Here, the operation of the helium circulation system 10 will be explained. FIG. 3 is a flowchart when the cryogenic refrigerator of the helium circulation system is operated. FIG. 4 is an operational diagram when the cryogenic refrigerator of the helium circulation system is driven. FIG. 5 is a flowchart when the cryogenic refrigerator of the helium circulation system is stopped. FIG. 6 is an operational diagram when the cryogenic refrigerator of the helium circulation system is stopped.

図3に示すように、極低温冷凍機11の駆動時において、制御部19は、蒸発ガス回収管14のポンプ14cを停止すると共に第一開閉弁14Adおよび第二開閉弁14Bcおよび排気弁14Bdを閉鎖する(ステップS1)。また、制御部19は、保管ガス供給管15のポンプ15cを駆動すると共に開閉弁15dおよび開閉弁15eを開放する(ステップS2)。そして、制御部19は、極低温冷凍機11の冷却部21を駆動する(ステップS3)。これにより、図4に示すように、ヘリウム循環システム10は、保管ガス供給管15を介して蒸発ガス回収部13から冷却部21にガス冷媒を送ると共に、蒸発ガス回収管14の第一蒸発ガス回収管14Aの一部および循環用配管16を介してデュワ1から冷却部21にガス冷媒を送り、冷却部21にてガス冷媒を冷却して液体冷媒とし、デュワ1に送る。なお、ステップS1からS3の動作は同時に行ってもよい。 As shown in FIG. 3, when the cryogenic refrigerator 11 is driven, the control unit 19 stops the pump 14c of the evaporative gas recovery pipe 14, and also closes the first on-off valve 14Ad, the second on-off valve 14Bc, and the exhaust valve 14Bd. Close (step S1). Further, the control unit 19 drives the pump 15c of the storage gas supply pipe 15 and opens the on-off valve 15d and the on-off valve 15e (step S2). Then, the control unit 19 drives the cooling unit 21 of the cryogenic refrigerator 11 (step S3). As a result, as shown in FIG. The gas refrigerant is sent from the dewar 1 to the cooling section 21 via a part of the recovery pipe 14A and the circulation piping 16, and the gas refrigerant is cooled in the cooling section 21 to become a liquid refrigerant, which is then sent to the dewar 1. Note that the operations from steps S1 to S3 may be performed simultaneously.

また、図5に示すように、極低温冷凍機11の停止時において、制御部19は、極低温冷凍機11の冷却部21を停止する(ステップS11)。また、制御部19は、保管ガス供給管15のポンプ15cを停止すると共に開閉弁15dおよび開閉弁15eを閉鎖する(ステップS12)。また、制御部19は、蒸発ガス回収管14の第一開閉弁14Adを開放し第二開閉弁14Bcおよび排気弁14Bdを閉鎖してポンプ14cを駆動する(ステップS13)。これにより、図6に示すように、ヘリウム循環システム10は、蒸発ガス回収管14の第一蒸発ガス回収管14Aを介してデュワ1から蒸発ガス回収部13にガス冷媒を送り、蒸発ガス回収部13で回収する。なお、ステップS11からS13の動作は同時に行ってもよい。 Further, as shown in FIG. 5, when the cryogenic refrigerator 11 is stopped, the control section 19 stops the cooling section 21 of the cryogenic refrigerator 11 (step S11). Further, the control unit 19 stops the pump 15c of the storage gas supply pipe 15 and closes the on-off valve 15d and the on-off valve 15e (step S12). Further, the control unit 19 opens the first on-off valve 14Ad of the evaporative gas recovery pipe 14, closes the second on-off valve 14Bc and the exhaust valve 14Bd, and drives the pump 14c (step S13). As a result, as shown in FIG. 6, the helium circulation system 10 sends the gas refrigerant from the dewar 1 to the evaporative gas recovery unit 13 via the first evaporative gas recovery pipe 14A of the evaporative gas recovery pipe 14, and Collect at 13. Note that the operations from steps S11 to S13 may be performed simultaneously.

本実施形態のヘリウム循環システム10では、例えば、午後5時から翌日午前9時までの脳機能測定装置101を使用しない時、図3および図4に示す動作を行って、冷却部21にてガス冷媒を冷却して液体冷媒とし、デュワ1に送る。また、本実施形態のヘリウム循環システム10では、例えば、午前9時から午後5時までの脳機能測定装置101を使用する時、図5および図6に示す動作を行って、デュワ1から蒸発ガス回収部13にガス冷媒を送り、蒸発ガス回収部13で回収する。従って、本実施形態のヘリウム循環システム10は、脳機能測定装置101を使用する計測時に、極低温冷凍機11を停止させ、脳機能測定装置101への極低温冷凍機11の振動による影響を防ぎ、脳機能測定装置101を使用せず計測しない時に、極低温冷凍機11を駆動させ、デュワ1を極低温環境にできる。 In the helium circulation system 10 of this embodiment, for example, when the brain function measuring device 101 is not used from 5:00 pm to 9:00 am the next day, the operation shown in FIGS. The refrigerant is cooled to become a liquid refrigerant and sent to the dewar 1. Furthermore, in the helium circulation system 10 of the present embodiment, when the brain function measuring device 101 is used from 9:00 a.m. to 5:00 p.m., the operations shown in FIGS. 5 and 6 are performed, and the evaporated gas is The gas refrigerant is sent to the recovery section 13 and recovered by the evaporated gas recovery section 13. Therefore, the helium circulation system 10 of the present embodiment stops the cryogenic refrigerator 11 during measurement using the brain function measuring device 101 to prevent the influence of vibrations of the cryogenic refrigerator 11 on the brain function measuring device 101. , When the brain function measuring device 101 is not used to perform measurements, the cryogenic refrigerator 11 can be driven to bring the dewar 1 into a cryogenic environment.

図7は、極低温冷凍機の要部拡大図である。 FIG. 7 is an enlarged view of the main parts of the cryogenic refrigerator.

極低温冷凍機11は、上述したように、ガス冷媒を冷却する冷却部21と、冷却部21で冷却された液体冷媒Rを纏める受部22と、受部22に連通する移送管24と、を備える。また、極低温冷凍機11は、受部22と移送管24との間に設けられて冷却部21で冷却された液体冷媒Rを貯める貯留部27を備える。 As described above, the cryogenic refrigerator 11 includes a cooling section 21 that cools the gas refrigerant, a receiving section 22 that collects the liquid refrigerant R cooled by the cooling section 21, and a transfer pipe 24 that communicates with the receiving section 22. Equipped with. The cryogenic refrigerator 11 also includes a storage section 27 that is provided between the receiving section 22 and the transfer pipe 24 and stores the liquid refrigerant R cooled by the cooling section 21 .

貯留部27は、図7に示すように、受部22の底22Aが、移送管24との接続部分に向けて下方に窄まるように形成され、かつ移送管24の上端24aが受部22の底22Aを上方に突き抜けて受部22の底22Aの上方に延びて形成されていることで、受部22で纏められた液体冷媒Rが移送管24の上端24aの位置まで貯まるように構成されている。 As shown in FIG. 7, the storage portion 27 is formed such that the bottom 22A of the receiving portion 22 narrows downward toward the connecting portion with the transfer tube 24, and the upper end 24a of the transfer tube 24 is connected to the receiving portion 22. By penetrating upward through the bottom 22A of the receiving portion 22 and extending above the bottom 22A of the receiving portion 22, the liquid refrigerant R collected in the receiving portion 22 is configured to accumulate up to the upper end 24a of the transfer pipe 24. has been done.

このように、貯留部27は、受部22と移送管24との間で液体冷媒Rを貯めることができる。 In this way, the storage section 27 can store the liquid refrigerant R between the receiving section 22 and the transfer pipe 24.

上述したように、極低温冷凍機11では、冷却部21などに吸着して固化した窒素、酸素、水などの不純物Sが温度上昇と共に液状化あるいは気化して移送管24に流れ込む可能性がある。本実施形態の極低温冷凍機11では、貯留部27を設けたことで、図7に示すように、液体冷媒Rよりも比重が重い不純物Sは、貯留部27に貯まった液体冷媒Rの下側であって、貯留部27の底(受部22の底22A)に貯まり、移送管24の上端24aから離隔される。このため、本実施形態の極低温冷凍機11は、不純物Sを固化した状態で留めることで移送管24へ流れ込むことを防ぐ。そして、本実施形態の極低温冷凍機11は、液状化あるいは気化した不純物Sが移送管24の中または端部で再冷却により固化し、移送管24が閉塞することを防止できる。また、本実施形態の極低温冷凍機11は、不純物Sが冷却部21に固着したままとしないため、冷却部21の熱変換を阻害することなく、再凝縮能力の低下を防ぐ。この結果、本実施形態の極低温冷凍機11は、冷媒に含まれる不純物の影響を抑制できる。 As described above, in the cryogenic refrigerator 11, there is a possibility that impurities S such as nitrogen, oxygen, and water that have been adsorbed and solidified in the cooling part 21 etc. will liquefy or vaporize as the temperature rises and flow into the transfer pipe 24. . In the cryogenic refrigerator 11 of this embodiment, by providing the storage section 27, as shown in FIG. It is stored at the bottom of the storage section 27 (bottom 22A of the receiving section 22) and is separated from the upper end 24a of the transfer pipe 24. Therefore, the cryogenic refrigerator 11 of this embodiment prevents the impurities S from flowing into the transfer pipe 24 by retaining them in a solidified state. The cryogenic refrigerator 11 of this embodiment can prevent the liquefied or vaporized impurities S from solidifying by recooling in or at the end of the transfer pipe 24, thereby preventing the transfer pipe 24 from being clogged. Further, in the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment, since the impurities S do not remain stuck to the cooling section 21, the recondensation ability is prevented from decreasing without impeding the heat conversion of the cooling section 21. As a result, the cryogenic refrigerator 11 of this embodiment can suppress the influence of impurities contained in the refrigerant.

本実施形態の極低温冷凍機11では、貯留部27は、受部22の底22Aに移送管24の上端24aが延びて形成されているため、簡易に構成できる。なお、本実施形態の極低温冷凍機11では、貯留部27は、受部22の底22Aを移送管24との接続部分に向けて下方に窄まるように形成されているため、混入物Sが貯まる貯留部27の最も深い部分から移送管24の上端24aまでの距離を長くでき、混入物Sが移送管24へ流れ込むことをより防げる。 In the cryogenic refrigerator 11 of this embodiment, the storage section 27 is formed by extending the upper end 24a of the transfer pipe 24 to the bottom 22A of the receiving section 22, so that it can be easily configured. In addition, in the cryogenic refrigerator 11 of this embodiment, since the storage part 27 is formed so that the bottom 22A of the receiving part 22 is narrowed downward toward the connection part with the transfer pipe 24, the contaminant S The distance from the deepest part of the storage section 27 where S is accumulated to the upper end 24a of the transfer pipe 24 can be increased, and the contaminants S can be further prevented from flowing into the transfer pipe 24.

また、本実施形態の極低温冷凍機11では、貯留部27は、冷却部21の直下に配置される。このため、本実施形態の極低温冷凍機11は、冷却部21に吸着して固化した不純物Sを確実に受けることができる。 Furthermore, in the cryogenic refrigerator 11 of this embodiment, the storage section 27 is arranged directly below the cooling section 21 . Therefore, the cryogenic refrigerator 11 of this embodiment can reliably receive the impurities S that have been adsorbed and solidified by the cooling unit 21.

ところで、図8は、極低温冷凍機の動作を示すフローチャートである。本実施形態の極低温冷凍機11では、制御部19において、温度計26で計測された冷却部21または貯留部27の温度を取得している。制御部19は、取得した温度が所定温度以上となった場合、排気部の排気弁14Bdを開放する。具体的に、図8に示すように、極低温冷凍機11において、制御部19は、本制御以外において排気弁14Bdを閉鎖している(ステップS21:図4および図6参照)。そして、制御部19は、図6に示すように冷却部21を停止しているとき(ステップS22:Yes)、温度計26で計測された温度が所定温度以上である場合(ステップS23:Yes)、排気弁14Bd開放する(ステップS24)。所定温度とは、不純物Sの成分が気化し得る温度である。なお、ステップS22において、冷却部21の停止とは圧縮された圧縮ガスが供給されていないことを意味し、冷却部21の駆動とは圧縮された圧縮ガスが供給されていることを意味する。そして、制御部19は、ステップS22において、冷却部21を駆動しているときは(ステップS22:No)、ステップS21に戻る。また、制御部19は、ステップS23において、温度計26で計測された温度が所定温度以上でない場合は(ステップS23:No)、温度計26で計測された温度を継続して取得する。 By the way, FIG. 8 is a flowchart showing the operation of the cryogenic refrigerator. In the cryogenic refrigerator 11 of this embodiment, the control unit 19 acquires the temperature of the cooling unit 21 or the storage unit 27 measured by the thermometer 26. The control unit 19 opens the exhaust valve 14Bd of the exhaust unit when the acquired temperature is equal to or higher than a predetermined temperature. Specifically, as shown in FIG. 8, in the cryogenic refrigerator 11, the control unit 19 closes the exhaust valve 14Bd except for the main control (step S21: see FIGS. 4 and 6). Then, when the control unit 19 stops the cooling unit 21 as shown in FIG. 6 (step S22: Yes), and when the temperature measured by the thermometer 26 is equal to or higher than a predetermined temperature (step S23: Yes) , the exhaust valve 14Bd is opened (step S24). The predetermined temperature is a temperature at which the impurity S component can be vaporized. Note that in step S22, stopping the cooling unit 21 means that compressed gas is not being supplied, and driving the cooling unit 21 means that compressed gas is being supplied. When the control unit 19 is driving the cooling unit 21 in step S22 (step S22: No), the process returns to step S21. Further, in step S23, if the temperature measured by the thermometer 26 is not equal to or higher than the predetermined temperature (step S23: No), the control unit 19 continues to acquire the temperature measured by the thermometer 26.

このように、本実施形態の極低温冷凍機11は、冷却部21および貯留部27を収容する保温部23と、冷却部21または貯留部27の温度を計測する温度計26と、保温部23に接続された排気部である排気弁14Bdと、温度計26が計測した温度が所定温度以上となった場合に排気部26を開放する制御部19と、を備える。この極低温冷凍機11によれば、不純物Sの成分が気化した場合、この不純物Sの成分を保温部23の外部に排出できる。この結果、本実施形態の極低温冷凍機11は、不純物Sが移送管24の中で再冷却により固化し、移送管24が閉塞することを防止できる。なお、本実施形態において、制御部19は、上述したヘリウム循環システム10の制御部19を用いているが、極低温冷凍機11の上記制御を行う別の制御部を備えていてもよい。 As described above, the cryogenic refrigerator 11 of the present embodiment includes the heat retaining part 23 that accommodates the cooling part 21 and the storage part 27, the thermometer 26 that measures the temperature of the cooling part 21 or the storage part 27, and the heat retaining part 23. The exhaust valve 14Bd is an exhaust section connected to the exhaust valve 14Bd, and a control section 19 that opens the exhaust section 26 when the temperature measured by the thermometer 26 reaches a predetermined temperature or higher. According to this cryogenic refrigerator 11, when the impurity S component is vaporized, the impurity S component can be discharged to the outside of the heat retaining section 23. As a result, the cryogenic refrigerator 11 of this embodiment can prevent the impurity S from solidifying by recooling in the transfer pipe 24 and clogging the transfer pipe 24. In this embodiment, the control unit 19 uses the control unit 19 of the helium circulation system 10 described above, but may include another control unit that performs the above control of the cryogenic refrigerator 11.

また、本実施形態の生体磁気計測装置100は、上述した極低温冷凍機11を備えて冷媒に含まれる不純物の影響を抑制できることから、脳機能測定装置101による測定を経済的かつ継続的に行える。 Furthermore, the biomagnetic measuring device 100 of this embodiment includes the above-described cryogenic refrigerator 11 and can suppress the influence of impurities contained in the refrigerant, so that the measurement by the brain function measuring device 101 can be carried out economically and continuously. .

なお、図には明示しないが、貯留部27は、受部22の外周であって冷却部21の第二コールドステージ21Eよりも下側に接続され、受部22の底22Aよりも移送管24の上端24aが上方に位置することで、受部22で纏められた液体冷媒Rが移送管24の上端24aの位置まで貯まるように構成されていてもよい。 Although not clearly shown in the figure, the storage section 27 is connected to the outer periphery of the receiving section 22 and below the second cold stage 21E of the cooling section 21, and is connected to the transfer pipe 24 below the bottom 22A of the receiving section 22. The upper end 24a may be located upward, so that the liquid refrigerant R collected in the receiving portion 22 may be stored up to the upper end 24a of the transfer pipe 24.

また、図には明示ないが、排気部である排気弁14Bdは、保温部23に直接接続されていてもよい。この場合、第二蒸発ガス回収管14Bと、開閉弁14Bcおよび排気弁14Bdは設けなくてもよい。 Further, although not explicitly shown in the figure, the exhaust valve 14Bd, which is an exhaust section, may be directly connected to the heat retaining section 23. In this case, the second evaporative gas recovery pipe 14B, the on-off valve 14Bc, and the exhaust valve 14Bd may not be provided.

11 極低温冷凍機
14Bd 排気部
19 制御部
21 冷却部
22 受部
22A 底
23 保温部
24 移送管
24a 上端
27 貯留部
26 温度計
100 生体磁気計測装置
101 脳機能測定装置(測定装置)
11 Cryogenic refrigerator 14Bd Exhaust section 19 Control section 21 Cooling section 22 Receiving section 22A Bottom 23 Heat retention section 24 Transfer pipe 24a Upper end 27 Storage section 26 Thermometer 100 Biomagnetic measuring device 101 Brain function measuring device (measuring device)

特許第5839734号公報Patent No. 5839734

Claims (4)

冷媒を冷却する冷却部と、
前記冷却部で冷却された前記冷媒を纏める受部と、
前記受部に連通する移送管と、
前記受部と前記移送管との間に設けられて前記冷媒を貯める貯留部と、
を備え
前記貯留部は、前記受部の底に前記移送管の上端が延びて形成され、かつ、前記受部の底を前記移送管との接続部分に向けて下方に窄まるように形成されている、
極低温冷凍機。
a cooling unit that cools the refrigerant;
a receiving part that collects the refrigerant cooled in the cooling part;
a transfer pipe communicating with the receiving part;
a storage part provided between the receiving part and the transfer pipe and storing the refrigerant;
Equipped with
The storage portion is formed by extending the upper end of the transfer pipe to the bottom of the receiving portion, and is formed such that the bottom of the receiving portion narrows downward toward a connecting portion with the transfer pipe. ,
Cryogenic refrigerator.
前記貯留部は、前記冷却部の直下に配置される、請求項に記載の極低温冷凍機。 The cryogenic refrigerator according to claim 1 , wherein the storage section is arranged directly below the cooling section. 前記冷却部および前記貯留部を収容する保温部と、
前記冷却部または前記貯留部の温度を計測する温度計と、
前記保温部に接続された排気部と、
前記温度計が計測した温度が所定温度以上となった場合に前記排気部を開放する制御部と、
を備える、請求項1または2に記載の極低温冷凍機。
a heat retention section that accommodates the cooling section and the storage section;
a thermometer that measures the temperature of the cooling section or the storage section;
an exhaust section connected to the heat insulation section;
a control unit that opens the exhaust section when the temperature measured by the thermometer exceeds a predetermined temperature;
The cryogenic refrigerator according to claim 1 or 2 , comprising:
請求項1からのいずれか1項に記載の極低温冷凍機と、
前記極低温冷凍機から送られた冷媒により冷却される測定装置と、
を備える、生体磁気計測装置。
A cryogenic refrigerator according to any one of claims 1 to 3 ,
a measuring device cooled by a refrigerant sent from the cryogenic refrigerator;
A biomagnetic measuring device comprising:
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