JP2021129079A - 半導体装置及びその製造方法、フィルム状接着剤、並びにダイシング・ダイボンディング一体型フィルム - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 174
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims abstract description 138
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims abstract description 137
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 47
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 141
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 141
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 75
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 216
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 122
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 52
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 44
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 36
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 28
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 28
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 28
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 6
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 37
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 34
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- -1 polycyclic aromatic diglycidyl ether compounds Chemical class 0.000 description 27
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 15
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 15
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 14
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 14
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 13
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 10
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 9
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 9
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 9
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 6
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 6
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 5
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 4
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 4
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 4
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 4
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 4
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 4
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 4
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 3
- QCBSYPYHCJMQGB-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-1,3,5-triazine Chemical compound CCC1=NC=NC=N1 QCBSYPYHCJMQGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical group [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000004018 acid anhydride group Chemical group 0.000 description 3
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 3
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 3
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 3
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 3
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 3
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000012756 surface treatment agent Substances 0.000 description 3
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 2-undecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QDZXJOMXPRWGFG-UHFFFAOYSA-N CCC1=NC=NC=N1.O=C1NC(=O)NC(=O)N1 Chemical compound CCC1=NC=NC=N1.O=C1NC(=O)NC(=O)N1 QDZXJOMXPRWGFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N Furan Chemical group C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 2
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N adamantane Chemical compound C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002490 anilino group Chemical group [H]N(*)C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 2
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 2
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- RWGFKTVRMDUZSP-UHFFFAOYSA-N cumene Chemical compound CC(C)C1=CC=CC=C1 RWGFKTVRMDUZSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004643 cyanate ester Substances 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 2
- UAEPNZWRGJTJPN-UHFFFAOYSA-N methylcyclohexane Chemical compound CC1CCCCC1 UAEPNZWRGJTJPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N nonanedioic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCC(O)=O BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 2
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N sebacic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCCC(O)=O CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N trimellitic anhydride Chemical compound OC(=O)C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- 125000006839 xylylene group Chemical group 0.000 description 2
- KNDQHSIWLOJIGP-UMRXKNAASA-N (3ar,4s,7r,7as)-rel-3a,4,7,7a-tetrahydro-4,7-methanoisobenzofuran-1,3-dione Chemical compound O=C1OC(=O)[C@@H]2[C@H]1[C@]1([H])C=C[C@@]2([H])C1 KNDQHSIWLOJIGP-UMRXKNAASA-N 0.000 description 1
- MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CCC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N 0.000 description 1
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 1
- DQVXWCCLFKMJTQ-UHFFFAOYSA-N (4-methylphenoxy)boronic acid Chemical compound CC1=CC=C(OB(O)O)C=C1 DQVXWCCLFKMJTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUEBPOOTFCZRBC-UHFFFAOYSA-N (5-methyl-2-phenyl-1h-imidazol-4-yl)methanol Chemical compound OCC1=C(C)NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 RUEBPOOTFCZRBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical group C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GEYOCULIXLDCMW-UHFFFAOYSA-N 1,2-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=CC=C1N GEYOCULIXLDCMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 1,3-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=CC(N)=C1 WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBCKQZAAMUWICA-UHFFFAOYSA-N 1,4-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=C(N)C=C1 CBCKQZAAMUWICA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBHPRUXJQNWTEW-UHFFFAOYSA-N 1-benzyl-2-methylimidazole Chemical compound CC1=NC=CN1CC1=CC=CC=C1 FBHPRUXJQNWTEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XZKLXPPYISZJCV-UHFFFAOYSA-N 1-benzyl-2-phenylimidazole Chemical compound C1=CN=C(C=2C=CC=CC=2)N1CC1=CC=CC=C1 XZKLXPPYISZJCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGRVJHAUYBGFFP-UHFFFAOYSA-N 2,2'-Methylenebis(4-methyl-6-tert-butylphenol) Chemical compound CC(C)(C)C1=CC(C)=CC(CC=2C(=C(C=C(C)C=2)C(C)(C)C)O)=C1O KGRVJHAUYBGFFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUFZNDNBXKOZQV-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1h-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2N(CCC3)C3=NC2=C1 RUFZNDNBXKOZQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CSVJNIQATVPFCR-UHFFFAOYSA-N 2-(diethylaminodiazenyl)benzoic acid Chemical compound CCN(CC)N=NC1=CC=CC=C1C(O)=O CSVJNIQATVPFCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IUQFGMCLWBGIIA-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylaminodiazenyl)benzoic acid Chemical compound CN(C)N=NC1=CC=CC=C1C(O)=O IUQFGMCLWBGIIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CQOZJDNCADWEKH-UHFFFAOYSA-N 2-[3,3-bis(2-hydroxyphenyl)propyl]phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1CCC(C=1C(=CC=CC=1)O)C1=CC=CC=C1O CQOZJDNCADWEKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 2-heptadecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXSNXUCNBZLVFM-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole;1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound CC1=NC=CN1.O=C1NC(=O)NC(=O)N1 QXSNXUCNBZLVFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJIQELZAIWFNTQ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole;1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1NC(=O)NC(=O)N1.C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 RJIQELZAIWFNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PFANXOISJYKQRP-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butyl-4-[1-(5-tert-butyl-4-hydroxy-2-methylphenyl)butyl]-5-methylphenol Chemical compound C=1C(C(C)(C)C)=C(O)C=C(C)C=1C(CCC)C1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C=C1C PFANXOISJYKQRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SESYNEDUKZDRJL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CC1=NC=CN1CCC#N SESYNEDUKZDRJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-phenylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound N#CCCN1C=CN=C1C1=CC=CC=C1 BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZUPZARBRLCVCB-UHFFFAOYSA-N 3-(2-undecylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1CCC#N SZUPZARBRLCVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UITKHKNFVCYWNG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,4-dicarboxybenzoyl)phthalic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 UITKHKNFVCYWNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCYPECIVGRXBMO-UHFFFAOYSA-N 4-(dimethylamino)azobenzene Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1N=NC1=CC=CC=C1 JCYPECIVGRXBMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 4-Aminophenyl ether Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODJUOZPKKHIEOZ-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)propan-2-yl]-2,6-dimethylphenol Chemical compound CC1=C(O)C(C)=CC(C(C)(C)C=2C=C(C)C(O)=C(C)C=2)=C1 ODJUOZPKKHIEOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPJFWRZEEKJTGN-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(4-hydroxyphenyl)propan-2-yl]-2,6-dimethylphenol Chemical compound CC1=C(O)C(C)=CC(C(C)(C)C=2C=CC(O)=CC=2)=C1 RPJFWRZEEKJTGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004203 4-hydroxyphenyl group Chemical group [H]OC1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- YKCCXOHQOVXCIG-UHFFFAOYSA-N 5-(1-cyanoethyl)-2-(2-phenylethoxymethyl)imidazole-1,4-dicarbonitrile Chemical compound C(#N)C(C)C=1N(C(=NC=1C#N)COCCC1=CC=CC=C1)C#N YKCCXOHQOVXCIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TYOXIFXYEIILLY-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound N1C(C)=CN=C1C1=CC=CC=C1 TYOXIFXYEIILLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 5-phenylbenzene-1,2,3,4-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1C(O)=O JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940123208 Biguanide Drugs 0.000 description 1
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920009204 Methacrylate-butadiene-styrene Polymers 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- SJJISKLXUJVZOA-UHFFFAOYSA-N Solvent yellow 56 Chemical compound C1=CC(N(CC)CC)=CC=C1N=NC1=CC=CC=C1 SJJISKLXUJVZOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFDXZGUFUMAREO-UHFFFAOYSA-N [1-(hydroxymethyl)-2-phenylimidazol-4-yl]methanol Chemical compound OCC1=CN(CO)C(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZFDXZGUFUMAREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FDLQZKYLHJJBHD-UHFFFAOYSA-N [3-(aminomethyl)phenyl]methanamine Chemical compound NCC1=CC=CC(CN)=C1 FDLQZKYLHJJBHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SPMWUCYYMHVNFU-UHFFFAOYSA-N [O-]B([O-])Oc1ccc(F)cc1.c1ccc(cc1)[P+](c1ccccc1)(c1ccccc1)c1ccccc1.c1ccc(cc1)[P+](c1ccccc1)(c1ccccc1)c1ccccc1 Chemical compound [O-]B([O-])Oc1ccc(F)cc1.c1ccc(cc1)[P+](c1ccccc1)(c1ccccc1)c1ccccc1.c1ccc(cc1)[P+](c1ccccc1)(c1ccccc1)c1ccccc1 SPMWUCYYMHVNFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002777 acetyl group Chemical class [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000007933 aliphatic carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004283 biguanides Chemical class 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- WWNGFHNQODFIEX-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;methyl 2-methylprop-2-enoate;styrene Chemical compound C=CC=C.COC(=O)C(C)=C.C=CC1=CC=CC=C1 WWNGFHNQODFIEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940043232 butyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000011258 core-shell material Substances 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 150000004292 cyclic ethers Chemical class 0.000 description 1
- 150000001924 cycloalkanes Chemical class 0.000 description 1
- 239000012933 diacyl peroxide Substances 0.000 description 1
- 238000000113 differential scanning calorimetry Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N diphenylmethanediamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(N)(N)C1=CC=CC=C1 ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229940093499 ethyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 150000002171 ethylene diamines Chemical class 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2C3=C[CH]C=CC3=CC2=C1 RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 1
- 150000002357 guanidines Chemical class 0.000 description 1
- NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diamine Chemical class NCCCCCCN NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019692 hotdogs Nutrition 0.000 description 1
- 150000002432 hydroperoxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 1
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 1
- 229940018564 m-phenylenediamine Drugs 0.000 description 1
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 1
- GYNNXHKOJHMOHS-UHFFFAOYSA-N methyl-cycloheptane Natural products CC1CCCCCC1 GYNNXHKOJHMOHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- KQSABULTKYLFEV-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,5-diamine Chemical compound C1=CC=C2C(N)=CC=CC2=C1N KQSABULTKYLFEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IXQGCWUGDFDQMF-UHFFFAOYSA-N o-Hydroxyethylbenzene Natural products CCC1=CC=CC=C1O IXQGCWUGDFDQMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N o-biphenylenemethane Natural products C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003261 o-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- GJYCVCVHRSWLNY-UHFFFAOYSA-N ortho-butylphenol Natural products CCCCC1=CC=CC=C1O GJYCVCVHRSWLNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005634 peroxydicarbonate group Chemical group 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 150000004885 piperazines Chemical class 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004848 polyfunctional curative Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 239000002987 primer (paints) Substances 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940079877 pyrogallol Drugs 0.000 description 1
- 239000002516 radical scavenger Substances 0.000 description 1
- 238000000518 rheometry Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical compound [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 1
- USFPINLPPFWTJW-UHFFFAOYSA-N tetraphenylphosphonium Chemical compound C1=CC=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 USFPINLPPFWTJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009849 vacuum degassing Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
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- Die Bonding (AREA)
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Abstract
Description
図1(a)は、半導体装置の一実施形態を示す模式断面図である。図1(a)に示す半導体装置100は、半導体チップWaと、半導体チップWaを搭載する基板2と、半導体チップWa及び基板2の間に設けられ、半導体チップWaと基板2とを接着する接着部8とを備える。すなわち、半導体チップWaは、接着部8を介して、半導体チップWaを搭載する基板2に接着されている。半導体装置は、例えば、半導体チップWaと基板2とがワイヤーボンドによって電気的に接続されていてもよく、半導体チップWaが樹脂封止材を用いて樹脂封止されていてもよい。半導体装置は、例えば、半導体チップを複数積層する構造の半導体装置であってもよい。このような半導体装置によれば、主に接着部における金属層によって、基板から発生する電磁波ノイズの半導体チップへの影響が充分に低減されたものとなり得る。
(第1の態様)
半導体装置の製造方法の第1の態様は、接着剤層及び接着剤層上に設けられた金属層を有するフィルム状接着剤を用意する工程(以下、(X1)工程という場合がある。)と、半導体チップと基板との間に、接着剤層が基板側になるようにフィルム状接着剤を介在させ、半導体チップと基板とを接着する工程(以下、(X2)工程という場合がある。)とを備える。
本工程では、フィルム状接着剤を用意する。図2は、フィルム状接着剤の一実施形態を示す模式断面図である。図2に示すフィルム状接着剤10は、接着剤層4及び接着剤層4上に設けられた金属層6を少なくとも有する。フィルム状接着剤10は、支持フィルム上に、接着剤層4と支持フィルムとが接するように設けられていてもよい。フィルム状接着剤は、接着剤層4及び金属層6からなる二層構成に限定されるものでなく、接着剤層4及び金属層6の二層構成に対して、金属層6上にさらに接着剤層4が積層された三層構成であってもよく、接着剤層4及び金属層6に対して、接着剤層4と金属層6とがさらに交互積層された四層以上の構成であってもよい。金属層6の数が増えるほど、接着部8は基板から発生する電磁波ノイズの半導体チップへの影響をより一層充分に低減することができる傾向にある。以下では、主に図2に示すフィルム状接着剤10を用いて、図1(a)に示す半導体装置を製造する態様について詳細に説明する。接着剤層4及び金属層6からなる二層構成のフィルム状接着剤10は、例えば、接着剤層4を作製する工程と、接着剤層4上に金属層6を作製する工程とを備える方法によって製造することができる。
(A)成分は、加熱等によって、分子間で三次元的な結合を形成し硬化する性質を有する成分であり、硬化後に接着作用を示す成分である。(A)成分としては、例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等が挙げられる。(A)成分の重量平均分子量(Mw)又は分子量は、10000未満であり得る。
(B)成分は、(A)成分の硬化剤として作用する成分である。硬化剤としては、例えば、フェノール系硬化剤、酸無水物系硬化剤、アミン系硬化剤、イミダゾール系硬化剤、ホスフィン系硬化剤、アゾ化合物、有機過酸化物等が挙げられる。(A)成分がエポキシ樹脂である場合、硬化剤は、取り扱い性、保存安定性、及び硬化性の観点から、フェノール系硬化剤とイミダゾール系硬化剤との組み合わせ、酸無水物系硬化剤とイミダゾール系硬化剤との組み合わせ、アミン系硬化剤とイミダゾール系硬化剤との組み合わせ、又はイミダゾール系硬化剤の単独であってよい。(A)成分がアクリル樹脂である場合、硬化剤は、取り扱い性、保存安定性の観点から、アゾ化合物の単独又は有機過酸化物の単独であってよい。
(C)成分の重量平均分子量(Mw)又は分子量は、10000以上であり得る。(A)成分、(B)成分等の、(C)成分以外の成分の重量平均分子量又は分子量は、通常、10000未満であり得る。(C)成分としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカルボジイミド樹脂、シアネートエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ウレタン樹脂、アクリルゴム等が挙げられる。これらは、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。(C)成分は、耐熱性及びフィルム形成性の観点から、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、アクリルゴム、シアネートエステル樹脂、又はポリカルボジイミド樹脂であってよく、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、又はアクリルゴムであってもよい。
(D)成分としては、例えば、無機フィラー、樹脂フィラー等が挙げられる。無機フィラーとしては、例えば、ガラス、シリカ、アルミナ、酸化チタン、カーボンブラック、マイカ、窒化ホウ素等の絶縁性無機フィラーが挙げられる。樹脂フィラーとしては、例えば、ポリウレタン、ポリイミド、メタクリル酸メチル樹脂、メタクリル酸メチル−ブタジエン−スチレン共重合樹脂(MBS)等が挙げられる。これらは、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよく、無機フィラー及び樹脂フィラーを組み合わせて用いてもよい。(D)成分の形状及び粒径は特に制限されない。
熱硬化性樹脂組成物は、その他の成分として、イオン捕捉剤、酸化防止剤、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、抗酸化剤、レオロジーコントロール剤、レベリング剤等をさらに含有していてもよい。これらの成分の含有量は、熱硬化性樹脂組成物全量を基準として、0.01〜3質量%であってよい。
本工程では、(X1)工程で得られたフィルム状接着剤を用いて、半導体チップと基板とを接着する工程である。図1(a)に示す半導体装置は、例えば、半導体チップWaと基板2との間に、接着剤層4が基板2側になるようにフィルム状接着剤10を介在させ、これらを加熱圧着し、半導体チップWaと基板2とを接着することによって得ることができる。加熱圧着における加熱温度は、通常、20〜250℃、荷重は、通常、0.1〜200Nであり、加熱時間は、通常、0.1〜300秒間である。なお、このような加熱圧着によって、接着剤層4は、接着剤硬化物層4cとなり得る。
図3は、半導体装置の製造方法の一実施形態を説明するための模式断面図であり、図3(a)、(b)、(c)、(d)、(e)、及び(f)は、各工程を示す模式断面図である。半導体装置の製造方法の第2の態様は、基材層及び基材層上に設けられた粘着剤層を有するダイシングテープと、接着剤層及び接着剤層上に設けられた金属層を有するフィルム状接着剤とを備え、基材層、粘着剤層、接着剤層、及び金属層がこの順に配置されているダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを用意する工程(以下、(Y1)工程という場合がある。)と、半導体ウェハに、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムのフィルム状接着剤を貼り付ける工程(以下、(Y2)工程という場合がある。図3(a)、(b)参照。)と、半導体ウェハ及びフィルム状接着剤を個片化し、接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップを作製する工程(以下、(Y3)工程という場合がある。図3(c)参照。)と、接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップを粘着剤層からピックアップする工程(以下、(Y4)工程という場合がある。図3(e)参照。)と、接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップを用いて、接着剤層片及び金属層片を介して、半導体チップと基板とを接着する工程(以下、(Y5)工程という場合がある。図3(f)参照。)とを備える。以下では、主にフィルム状接着剤として、図2に示すフィルム状接着剤10を用いて、図1(a)に示す半導体装置を製造する態様について詳細に説明する。
本工程では、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを用意する。図3(a)に示すとおり、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム20は、基材層12及び基材層12上に設けられた粘着剤層14を有するダイシングテープ16と、接着剤層4及び接着剤層4上に設けられた金属層6を有するフィルム状接着剤10とを備え、基材層12、粘着剤層14、接着剤層4、及び金属層6がこの順に配置されている。ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム20は、フィルム状接着剤10に支持フィルムが備えられていてもよい。
本工程では、まず、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム20を所定の装置に配置する。続いて、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム20のフィルム状接着剤10の金属層6(金属層6の表面6A)を半導体ウェハWの表面Wsに貼り付ける(図3(a)、(b)参照。)。半導体ウェハWとしては、例えば、シリコン、ゲルマニウム等の同一種類の元素から構成される元素半導体から構成される半導体ウェハ、ガリウムヒ素、インジウムリン等の化合物半導体から構成される半導体ウェハなどが挙げられる。半導体ウェハWの回路面は、表面Wsとは反対側の面に設けられていることが好ましい。
本工程では、半導体ウェハW及びフィルム状接着剤10を少なくともダイシングする(図3(c)参照。)。これによって、半導体ウェハを所定のサイズに切断して、複数の個片化された接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップを作製することができる。ダイシング方式としては、例えば、ダイシングテープまで切込みを行なうフルカットと呼ばれる切断方式、半導体ウェハに半分切込みを入れて冷却化引っ張ることによって分断する方式、レーザーによる切断方式等が挙げられる。ダイシング装置としては、特に限定されず、従来公知のものを用いることができる。
本工程では、接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップ30を粘着剤層14又は粘着剤層14がダイシングによって個片化された粘着剤層片14aからピックアップする。以下に、ピックアップの一例について説明する。まず、基材層12をエキスパンドすることによって、ダイシングされた接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップ30を互いに離間させつつ、基材層12側からニードル32で突き上げられた接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップ30を吸引コレット34で吸引して粘着剤層14(粘着剤層片14a)からピックアップする(図3(e)参照。)。なお、接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップ30は、接着剤層片4aと、金属層片6aと、半導体チップWaとから構成され得る。接着剤層片4aは接着剤層4がダイシングによって個片化されたものであり、金属層片6aは金属層6がダイシングによって個片化されたものであり、半導体チップWaは半導体ウェハWがダイシングによって個片化されたものである。粘着剤層14又は粘着剤層片14aは、接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップ30をピックアップする際に基材層12上に残存し得る。ピックアップ工程では、必ずしも基材層12をエキスパンドすることは必ずしも必要ないが、基材層12をエキスパンドすることによってピックアップ性をより向上させることができる。
本工程では、接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップ30を用いて、接着剤層片4aを基板2の表面2Aに貼り付け、加熱圧着して半導体チップWaと基板2とを接着する。加熱圧着の条件は、第1の態様の加熱圧着条件と同様であってよい。なお、このような加熱圧着によって、接着剤層片4aは、接着剤硬化物層片4acとなり得る。このようにして、半導体装置120を製造することができる。
(実施例1)
<熱硬化性樹脂組成物のワニスの調製>
各成分を表1に示す組成比(単位:質量部)で、(A)成分(熱硬化性樹脂)、(B)成分(硬化剤)、及び(D)成分(フィラー)に対して、溶剤としてのシクロヘキサノンを加え、撹拌混合することによって混合物を得た。当該混合物に、(C)成分(高分子成分)を加えて、各成分が均一になるまで撹拌して、熱硬化性樹脂組成物のワニスを調製した。
(A)成分:熱硬化性樹脂
(A−1)トリフェノールメタン骨格含有多官能固形エポキシ樹脂(製品名:EP1032H60、ジャパンエポキシレジン株式会社製、重量平均分子量:800〜2000)
(A−2)ビスフェノールF型液状エポキシ樹脂(製品名:YL983U、ジャパンエポキシレジン株式会社製、分子量:約336)
(A−3)可とう性半固形状エポキシ樹脂(製品名:YL7175−1000、ジャパンエポキシレジン株式会社製、重量平均分子量:1000〜5000)
(B)成分:硬化剤
(B−1)2,4−ジアミノ−6(2’−メチルイミダゾール(1’))エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物(製品名:2MAOK−PW、四国化成株式会社製)
(C)成分:高分子成分
(C−1)フェノキシ樹脂(製品名:ZX1356−2、東都化成株式会社製、Tg:約71℃、Mw:約63000)
(D)成分:フィラー
(D−1)無機フィラー
(D−1−1)シリカ(製品名:SE2050、株式会社アドマテックス製、平均粒径:0.5μm)
(D−1−2)フェニル表面処理ナノシリカ(製品名:YA050C−SP、株式会社アドマテックス製、平均粒径:約50nm)
(D−2)樹脂フィラー
(D−2−1)コアシェルタイプ有機微粒子(製品名:EXL−2655、ロームアンドハースジャパン株式会社製)
調製した熱硬化性樹脂組成物のワニスを100メッシュのフィルターでろ過し、真空脱泡した。支持フィルムとして、厚さ38μmの離型処理を施したポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを用意し、真空脱泡後の熱硬化性樹脂組成物のワニスをPETフィルム上に塗布した。塗布した熱硬化性樹脂組成物のワニスを、90℃で5分間、続いて130℃で5分間の2段階で加熱乾燥し、Bステージ状態にある接着剤層を得た。接着剤層においては、熱硬化性樹脂組成物のワニスの塗布量によって、厚さ20μmになるように調整した。
金属層として、厚さ35μmの銅箔(VLP銅箔、古河電気工業株式会社製)を用意した。上記で得られた接着剤層と金属層とを100℃でロールラミネータ(製品名:ラミネータホットドック、株式会社ラミーコーポレーション製)を用いて、貼り合わせた。続いて、金属層上にさらに接着剤層を同様の方法で貼り合わせることによって、接着剤層/金属層/接着剤層の三層構成を有する実施例1のフィルム状接着剤(厚さ:75μm)を得た。
実施例1のフィルム状接着剤の一方の接着剤層上に金属層をさらに設けて、接着剤層/金属層/接着剤層/金属層の四層構成を有する実施例2のフィルム状接着剤(厚さ:110μm)を得た。
実施例2のフィルム状接着剤の金属層上に、接着剤層及び金属層をさらに設けて、接着剤層/金属層/接着剤層/金属層/接着剤層/金属層の六層構成を有する実施例3のフィルム状接着剤(厚さ:165μm)を得た。
上記で得られた接着剤層をそのまま比較例1のフィルム状接着剤として用いた。比較例1のフィルム状接着剤は、接着剤層のみの一層構成を有するものであり、金属層を有しないものである。
<電磁波遮蔽性の評価>
150mm×150mmの実施例1〜3及び比較例1のフィルム状接着剤をサンプルとして用意した。これらのサンプルを用いて、KEC法によって測定した。測定は、電界及び磁界で行い、周波数100kHzにおける、電界シールド値(単位:dB)及び磁界シールド値(単位:dB)を求めた。測定においては、スペクトルアナライザー(製品名:N9010A、アジレント・テクノロジー株式会社製)及び信号発生器(製品名:N5183A、アジレント・テクノロジー株式会社製)を用いた。電磁波遮蔽性は、数値が高いほど良好といえる。結果を表2に示す。
Claims (11)
- 半導体チップと、
前記半導体チップを搭載する基板と、
前記半導体チップ及び前記基板の間に設けられ、前記半導体チップと前記基板とを接着する接着部と、
を備え、
前記接着部は、
接着剤硬化物層と、前記接着剤硬化物層上に設けられた金属層とを有し、前記接着剤硬化物層が前記基板上に設けられている、半導体装置。 - 前記接着剤硬化物層が、熱硬化性樹脂、硬化剤、及び高分子成分を含有する熱硬化性樹脂組成物の硬化物からなる層である、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記金属層を構成する金属が40×106S/m以上の0℃における電気伝導率を示す金属である、請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記金属層を構成する金属が金、銀、及び銅からなる群より選ばれる少なくとも1種の金属である、請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法であって、
接着剤層及び前記接着剤層上に設けられた金属層を有するフィルム状接着剤を用意する工程と、
前記半導体チップと前記基板との間に、前記接着剤層が前記基板側になるように前記フィルム状接着剤を介在させ、前記半導体チップと前記基板とを接着する工程と、
を備える、半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法であって、
基材層及び前記基材層上に設けられた粘着剤層を有するダイシングテープと、接着剤層及び前記接着剤層上に設けられた金属層を有するフィルム状接着剤とを備え、前記基材層、前記粘着剤層、前記接着剤層、及び前記金属層がこの順に配置されているダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを用意する工程と、
半導体ウェハに、前記ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの前記フィルム状接着剤を貼り付ける工程と、
前記半導体ウェハ及び前記フィルム状接着剤を個片化し、接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップを作製する工程と、
前記接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップを前記粘着剤層からピックアップする工程と、
前記接着剤層片及び金属層片を有する半導体チップを用いて、前記接着剤層片及び前記金属層片を介して、前記半導体チップと前記基板とを接着する工程と、
を備える、半導体装置の製造方法。 - 半導体チップと基板とを接着するためのフィルム状接着剤であって、
接着剤層と、前記接着剤層上に設けられた金属層とを有する、フィルム状接着剤。 - 前記接着剤層が熱硬化性樹脂、硬化剤、及び高分子成分を含有する熱硬化性樹脂組成物からなる層である、請求項7に記載のフィルム状接着剤。
- 前記金属層を構成する金属が40×106S/m以上の0℃における電気伝導率を示す金属である、請求項7又は8に記載のフィルム状接着剤。
- 前記金属層を構成する金属が金、銀、及び銅からなる群より選ばれる少なくとも1種の金属である、請求項7又は8に記載のフィルム状接着剤。
- 基材層及び前記基材層上に設けられた粘着剤層を有するダイシングテープと、
請求項7〜10のいずれか一項に記載のフィルム状接着剤と、
を備え、
前記基材層、前記粘着剤層、前記接着剤層、及び前記金属層がこの順に配置されている、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020024349A JP7456181B2 (ja) | 2020-02-17 | 2020-02-17 | 半導体装置及びその製造方法、フィルム状接着剤、並びにダイシング・ダイボンディング一体型フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021129079A true JP2021129079A (ja) | 2021-09-02 |
JP7456181B2 JP7456181B2 (ja) | 2024-03-27 |
Family
ID=77488983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020024349A Active JP7456181B2 (ja) | 2020-02-17 | 2020-02-17 | 半導体装置及びその製造方法、フィルム状接着剤、並びにダイシング・ダイボンディング一体型フィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7456181B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023157846A1 (ja) * | 2022-02-16 | 2023-08-24 | 株式会社レゾナック | フィルム状接着剤及びその製造方法、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム、並びに半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006140333A (ja) | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Mitsui Chemicals Inc | 熱伝導性接着性積層体及びそれよりなる半導体パッケージ |
JP4954569B2 (ja) | 2006-02-16 | 2012-06-20 | 日東電工株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2012122058A (ja) | 2010-11-18 | 2012-06-28 | Nitto Denko Corp | ダイボンドフィルム、ダイシング・ダイボンドフィルム、ダイボンドフィルムの製造方法、及び、ダイボンドフィルムを有する半導体装置 |
JP7390779B2 (ja) | 2017-04-28 | 2023-12-04 | 日東電工株式会社 | フレキシブル配線回路基板および撮像装置 |
-
2020
- 2020-02-17 JP JP2020024349A patent/JP7456181B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023157846A1 (ja) * | 2022-02-16 | 2023-08-24 | 株式会社レゾナック | フィルム状接着剤及びその製造方法、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム、並びに半導体装置及びその製造方法 |
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---|---|
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