JP2021128144A - センサ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ＩＤＴを用いた無給電ワイヤレスにおいてセンシング対象と異なる要因による影響を低減させる。【解決手段】第１ＩＤＴ１１０は、第１アンテナ１１２に電気的に接続されている。第１ＩＤＴ１１０は、第１圧電基板１００上に位置している。第２ＩＤＴ１２０は、第１センサ１２２に電気的に接続されている。第１センサ１２２は、外部からの物理量に応じて変化するインピーダンスを有している。第２ＩＤＴ１２０は、第１ＩＤＴ１１０に第１距離Ｄ１を置いて対向して第１圧電基板１００上に位置している。第３ＩＤＴ２１０は、第２アンテナ２１２に電気的に接続されている。第３ＩＤＴ２１０は、第２圧電基板２００上に位置している。第４ＩＤＴ２２０は、第３ＩＤＴ２１０に第２距離Ｄ２を置いて対向して第２圧電基板２００上に位置している。第２距離Ｄ２は、第１距離Ｄ１と異なっている。【選択図】図１

Description

本発明は、センサ装置に関し、特に、インターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）を用いた無給電ワイヤレスセンサに関する。

無給電ワイヤレスセンサにおいて、ＩＤＴが用いられる。ＩＤＴは、１対の櫛歯電極を有しており、表面弾性波（ＳＡＷ）及び電気信号を相互に変換することができる。

特許文献１には、ＩＤＴを用いた無給電ワイヤレスセンサの一例について記載されている。特許文献１のセンサ装置は、圧電基板、第１インターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）及び第２ＩＤＴを含んでいる。第１ＩＤＴ及び第２ＩＤＴは、互いに対向して圧電基板上に位置している。第１ＩＤＴは、外部アンテナに対する電波の送受信を行うアンテナに電気的に接続されている。第２ＩＤＴは、外部からの物理量に応じて変化するインピーダンスを有するセンサに電気的に接続されている。第１ＩＤＴは、外部アンテナからの電波に応じてＳＡＷを圧電基板に発生させる。第１ＩＤＴによって発生されたＳＡＷは、第２ＩＤＴによって反射される。第２ＩＤＴの反射率は、センサのインピーダンスに依存して変動する。

非特許文献１には、ＳＡＷ温度センサを用いた温度の測定方法の一例について記載されている。この例では、遅延時間差から大まかな温度を求め、位相差から詳細な温度を求める方法について検討されている。非特許文献１によれば、当該方法において温度算出に必要な条件として、位相差から求める２πあたりの温度幅が、遅延時間差で求める温度ふらつきよりも大きいことが挙げられている。２つの反射器では位相差から求める２πあたりの温度幅を遅延時間差で求める温度ふらつきよりも大きくすることはできない。これに対して、３つの反射器を用いることで、位相差から求める２πあたりの温度幅を遅延時間差で求める温度ふらつきよりも大きくするこができる。

特開２０１２−２５５７０６号公報

工藤 高裕、古市 卓也、門田 道雄、田中 秀治、森田 晃、「特定小電力無線局対応パッシブ無線ＳＡＷ温度センサシステム」、電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）、Ｖｏｌ．１３９、Ｎｏ．５、ｐｐ．１０３−１０８

例えば特許文献１に記載のセンサ装置によるセンシングは、センシング対象と異なる様々な要因、例えば、アンテナ及び外部アンテナ間距離、その他外部環境等の影響を受け得る。本発明者は、ＩＤＴを用いた無給電ワイヤレスにおいて、センシング対象と異なる要因による影響を低減させることを検討した。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ＩＤＴを用いた無給電ワイヤレスにおいてセンシング対象と異なる要因による影響を低減させることにある。

本発明に係るセンサ装置は、第１圧電基板、第１ＩＤＴ、第２ＩＤＴ、第２圧電基板、第３ＩＤＴ及び第４ＩＤＴを含んでいる。第１ＩＤＴは、外部アンテナに対する電波の送受信を行うための第１アンテナに電気的に接続されている。また、第１ＩＤＴは、第１圧電基板上に位置している。第２ＩＤＴは、外部からの物理量に応じて変化するインピーダンスを有する第１センサに電気的に接続されている。また、第２ＩＤＴは、第１ＩＤＴに第１距離を置いて対向して第１圧電基板上に位置している。第３ＩＤＴは、外部アンテナに対する電波の送受信を行うための第２アンテナに電気的に接続されている。また、第３ＩＤＴは、第２圧電基板上に位置している。また、第４ＩＤＴは、第３ＩＤＴに第１距離と異なる第２距離を置いて対向して第２圧電基板上に位置している。

本発明によれば、ＩＤＴを用いた無給電ワイヤレスにおいてセンシング対象と異なる要因による影響を低減させることができる。

実施形態１に係るセンサ装置を示す図である。 実施形態２に係るセンサ装置を示す図である。 実施形態３に係るセンサ装置を示す図である。 図３に示したセンサ装置において、外部アンテナから送信された電波と、外部アンテナよって受信された電波と、からＦＭＣＷ（周波数変調連続波）によって生成された各信号を示すグラフである。 実施形態４に係るセンサ装置を示す図である。 図５に示したセンサ装置において、外部アンテナから送信された電波と、外部アンテナよって受信された電波と、からＦＭＣＷ（周波数変調連続波）によって生成された各信号を示すグラフである。 実施形態５に係るセンサ装置を示す図である。 第２ＩＤＴに接続されたインピーダンスと、第２ＩＤＴによって発生する信号のレベルと、の模式的な関係の一例を示すグラフである。

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

（実施形態１）
図１は、実施形態１に係るセンサ装置１０を示す図である。

センサ装置１０は、第１圧電基板１００、第１インターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）１１０、第２ＩＤＴ１２０、第２圧電基板２００、第３ＩＤＴ２１０、第４ＩＤＴ２２０及びホスト装置３００を含んでいる。ホスト装置３００は、測定器３０２及び外部アンテナ３１２を含んでいる。

図１を用いて、センサ装置１０の概要を説明する。第１ＩＤＴ１１０は、第１アンテナ１１２に電気的に接続されている。第１アンテナ１１２は、外部アンテナ３１２に対する電波の送受信を行うためのものである。第１ＩＤＴ１１０は、第１圧電基板１００上に位置している。第２ＩＤＴ１２０は、第１センサ１２２に電気的に接続されている。第１センサ１２２は、外部からの物理量に応じて変化するインピーダンスを有している。第２ＩＤＴ１２０は、第１ＩＤＴ１１０に第１距離Ｄ１を置いて対向して第１圧電基板１００上に位置している。第３ＩＤＴ２１０は、第２アンテナ２１２に電気的に接続されている。第２アンテナ２１２は、外部アンテナ３１２に対する電波の送受信を行うためのものである。第３ＩＤＴ２１０は、第２圧電基板２００上に位置している。第４ＩＤＴ２２０は、第３ＩＤＴ２１０に第２距離Ｄ２を置いて対向して第２圧電基板２００上に位置している。第２距離Ｄ２は、第１距離Ｄ１と異なっている。本実施形態において、第４ＩＤＴ２２０は、第２センサ２２２に電気的に接続されている。第２センサ２２２は、外部からの物理量に応じて変化するインピーダンスを有している。しかしながら、第４ＩＤＴ２２０は、第２センサ２２２に電気的に接続されていなくてもよい。

図１を用いて、センサ装置１０の詳細を説明する。

第１圧電基板１００は、圧電効果によって表面弾性波（ＳＡＷ）を発生させ、発生させたＳＡＷを伝搬する。第１圧電基板１００は、ＳＡＷの発生及び伝搬が可能な材料によって構成されている。

第１圧電基板１００は、平行四辺形形状を有しており、第１辺１０２ａ、第２辺１０２ｂ、第３辺１０２ｃ及び第４辺１０２ｄを有している。第２辺１０２ｂは、第１辺１０２ａの反対側にある。第３辺１０２ｃは、第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂに対して斜交している。第４辺１０２ｄは、第３辺１０２ｃの反対側にある。第１圧電基板１００におけるＳＡＷは、第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向に沿って伝搬する。ＳＡＷの伝搬方向に斜交する辺（すなわち、図１に示す例では、第３辺１０２ｃ及び第４辺１０２ｄ）は、反射防止部として機能することができる。第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂに対する第３辺１０２ｃ及び第４辺１０２ｄの傾きθ１（第１圧電基板１００の平行四辺形の４つの角のうち鋭角となっている部分の角度）は、例えば、６０°にすることができる。

第１圧電基板１００の形状は、図１に示す例に限定されない。例えば、第１圧電基板１００は、矩形形状を有していてもよい。この場合、第１ＩＤＴ１１０及び第２ＩＤＴ１２０は、矩形の４辺のうちの一対の対向辺（例えば、図１における第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂに相当する辺）の延伸方向に対して斜めに並べることができる。このようにすることで、矩形のうちの対向する２つの角及びその周辺が反射防止部として機能することができる。さらに、矩形の４辺のうちの一対の対向辺が凹凸形状を有していてもよい。この場合、凹凸形状を有する一対の対向辺の間に第１ＩＤＴ１１０及び第２ＩＤＴ１２０を並べることで、凹凸形状を有する一対の対向辺が反射防止部として機能することができる。

第１圧電基板１００について上述した点は、第２圧電基板２００についても同様である。例えば、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ、第６辺２０２ｂ、第７辺２０２ｃ、第８辺２０２ｄ及び傾きθ２は、それぞれ、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ、第２辺１０２ｂ、第３辺１０２ｃ、第４辺１０２ｄ及び傾きθ１と対応している。本実施形態において、第２圧電基板２００の形状及び材料は、第１圧電基板１００の形状及び材料とそれぞれ同一となっている。ただし、第２圧電基板２００の形状及び材料の少なくとも一方は、それぞれ、第１圧電基板１００の形状及び材料の少なくとも一方と異なっていてもよい。

第１圧電基板１００と第２圧電基板２００とは、互いに離間して配置されている。図１に示す例において、第１圧電基板１００と第２圧電基板２００とは、互いに並んで配置されており、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂは、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ及び第６辺２０２ｂと平行になっている。ただし、第１圧電基板１００及び第２圧電基板２００の配置は、図１に示す例に限定されない。例えば、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂは、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ及び第６辺２０２ｂと平行になっていなくてもよい。或いは、第１圧電基板１００及び第２圧電基板２００は、第１圧電基板１００又は第２圧電基板２００の厚さ方向において重なり合っていてもよい。すなわち、ホスト装置３００の外部アンテナ３１２と第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２との間と、ホスト装置３００の外部アンテナ３１２と第２圧電基板２００の第２アンテナ２１２との間と、で電波が届く範囲であれば、第１圧電基板１００及び第２圧電基板２００の配置は特に限定されるものでない。

第１ＩＤＴ１１０は、一対の櫛歯電極を有している。一対の櫛歯電極の一方は、第１アンテナ１１２に電気的に接続されており、一対の櫛歯電極のもう一方は、接地されている。

第２ＩＤＴ１２０は、一対の櫛歯電極を有している。第２ＩＤＴ１２０（一対の櫛歯電極）は、第１センサ１２２に電気的に接続されている。

第１センサ１２２は、外部からの物理量に応じて変化するインピーダンスを有している。第１センサ１２２は、インピーダンスの変化によって、外部からの物理量を検出することができる。例えば、第１センサ１２２は、サーミスタにすることができる。この例において、第１センサ１２２のインピーダンスは、温度に応じて変化する。第１センサ１２２によって検出される物理量は、温度だけでなく、他の物理量、例えば、光、音、超音波（振動）、圧力、湿度、ガス、電界又は磁界であってもよい。

図１に示す例では、第２ＩＤＴ１２０は、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂの延伸方向に第１ＩＤＴ１１０と対向している。したがって、第１ＩＤＴ１１０及び第２ＩＤＴ１２０の間において、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂの延伸方向に沿ってＳＡＷを伝搬させることができる。

第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０、第１アンテナ１１２、第２ＩＤＴ１２０及び第１センサ１２２について上述した点は、それぞれ、第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０、第２アンテナ２１２、第４ＩＤＴ２２０及び第２センサ２２２についても同様である。

第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０と第４ＩＤＴ２２０との間のＳＡＷの伝搬方向（図１に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第３ＩＤＴ２１０と第４ＩＤＴ２２０との間の第２距離Ｄ２は、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間のＳＡＷの伝搬方向（図１に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間の第１距離Ｄ１より長くなっている。ただし、第２距離Ｄ２は、第１距離Ｄ１より短くてもよい。本実施形態において、第１距離Ｄ１は、第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間のＳＡＷの伝搬方向（図１に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第１ＩＤＴ１１０の複数の櫛歯部分（図１に示す例では、第１ＩＤＴ１１０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間のＳＡＷの伝搬方向（図１に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第２ＩＤＴ１２０の複数の櫛歯部分（図１に示す例では、第２ＩＤＴ１２０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、の間の距離（第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間のＳＡＷの伝搬方向における距離）である。第２距離Ｄ２は、第３ＩＤＴ２１０と第４ＩＤＴ２２０との間のＳＡＷの伝搬方向（図１に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第３ＩＤＴ２１０の複数の櫛歯部分（図１に示す例では、第３ＩＤＴ２１０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、第３ＩＤＴ２１０と第４ＩＤＴ２２０との間のＳＡＷの伝搬方向（図１に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第４ＩＤＴ２２０の複数の櫛歯部分（図１に示す例では、第４ＩＤＴ２２０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、の間の距離（第３ＩＤＴ２１０と第４ＩＤＴ２２０との間のＳＡＷの伝搬方向における距離）である。

ホスト装置３００は、第１圧電基板１００及び第２圧電基板２００の双方から離れて位置している。第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２とホスト装置３００の外部アンテナ３１２との間の距離と、第２圧電基板２００の第２アンテナ２１２とホスト装置３００の外部アンテナ３１２との間の距離とは、ホスト装置３００の外部アンテナ３１２と第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２との間と、ホスト装置３００の外部アンテナ３１２と第２圧電基板２００の第２アンテナ２１２との間と、で電波が届く範囲であれば、等しくてもよいし、又は異なっていてもよい。

図１を用いて、センサ装置１０の動作の一例を説明する。

ホスト装置３００の外部アンテナ３１２は、第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２に電波を送信する。第１アンテナ１１２は、外部アンテナ３１２から送信された電波に応じた高周波信号を生成する。第１ＩＤＴ１１０は、外部アンテナ３１２によって生成された高周波信号に応じたＳＡＷを第１圧電基板１００に発生させる。第１ＩＤＴ１１０によって発生されたＳＡＷは、第１圧電基板１００を伝搬して、第２ＩＤＴ１２０によって反射される。第２ＩＤＴ１２０の反射率は、第１センサ１２２のインピーダンスに依存して変動する。したがって、第２ＩＤＴ１２０から反射されたＳＡＷは、第１センサ１２２のインピーダンスに応じたものとなる。第１ＩＤＴ１１０は、第２ＩＤＴ１２０から反射されたＳＡＷに応じた高周波信号を生成する。第１アンテナ１１２は、第１ＩＤＴ１１０によって生成された高周波信号に応じた電波をホスト装置３００の外部アンテナ３１２に送信する。ホスト装置３００は、外部アンテナ３１２によって受信された電波を解析する。

ホスト装置３００の外部アンテナ３１２は、第２圧電基板２００の第２アンテナ２１２に電波を送信する。第２アンテナ２１２は、外部アンテナ３１２から送信された電波に応じた高周波信号を生成する。第３ＩＤＴ２１０は、外部アンテナ３１２によって生成された高周波信号に応じたＳＡＷを第２圧電基板２００に発生させる。第３ＩＤＴ２１０によって発生されたＳＡＷは、第２圧電基板２００を伝搬して、第４ＩＤＴ２２０によって反射される。第４ＩＤＴ２２０の反射率は、第２センサ２２２のインピーダンスに依存して変動する。したがって、第４ＩＤＴ２２０から反射されたＳＡＷは、第２センサ２２２のインピーダンスに応じたものとなる。第３ＩＤＴ２１０は、第４ＩＤＴ２２０から反射されたＳＡＷに応じた高周波信号を生成する。第２アンテナ２１２は、第３ＩＤＴ２１０によって生成された高周波信号に応じた電波をホスト装置３００の外部アンテナ３１２に送信する。ホスト装置３００は、外部アンテナ３１２によって受信された電波を解析する。

測定器３０２は、外部アンテナ３１２による第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０への電波の送信から、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０及び第２ＩＤＴ１２０間におけるＳＡＷの伝搬を経て、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０から外部アンテナ３１２による電波の受信までの時間と、外部アンテナ３１２による第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０への電波の送信から、第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０及び第４ＩＤＴ２２０間におけるＳＡＷの伝搬を経て、第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０から外部アンテナ３１２による電波の受信までの時間と、の差を測定する。具体的には、測定器３０２は、外部アンテナ３１２から送信された電波と、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０及び第２ＩＤＴ１２０間におけるＳＡＷの伝搬を経て外部アンテナ３１２によって受信された電波と、からＦＭＣＷ（周波数変調連続波）によって生成された信号と、外部アンテナ３１２から送信された電波と、第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０及び第４ＩＤＴ２２０間におけるＳＡＷの伝搬を経て外部アンテナ３１２によって受信された電波と、からＦＭＣＷによって生成された信号と、の遅延差を測定する。ＦＭＣＷによって生成された各信号の強度は、センシング対象と異なる様々な要因、例えば、ホスト装置３００の外部アンテナ３１２と第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２との間の距離、ホスト装置３００の外部アンテナ３１２と第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２との間の距離、その他外部環境等によって変動し得る。これに対して、上記２つの時間差（遅延差）は、これらの要因で変動することなく、第１センサ１２２又は第２センサ２２２によって測定される物理量に応じて変動する。したがって、本実施形態においては、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができる。

本実施形態においては、第２ＩＤＴ１２０は、第１ＩＤＴ１１０に対して第１圧電基板１００の第４辺１０２ｄ側に位置しており、第４ＩＤＴ２２０は、第３ＩＤＴ２１０に対して第２圧電基板２００の第８辺２０２ｄ側に位置している。ただし、第２ＩＤＴ１２０は、第１ＩＤＴ１１０に対して第１圧電基板１００の第３辺１０２ｃ側に位置していてもよいし、第４ＩＤＴ２２０は、第３ＩＤＴ２１０に対して第２圧電基板２００の第７辺２０２ｃ側に位置していてもよい。また、第２ＩＤＴ１２０が第１ＩＤＴ１１０に対して第１圧電基板１００の第４辺１０２ｄ側に位置する場合、第４ＩＤＴ２２０は、第３ＩＤＴ２１０に対して第２圧電基板２００の第７辺２０２ｃ側に位置していてもよい。さらに、第２ＩＤＴ１２０が第１ＩＤＴ１１０に対して第１圧電基板１００の第３辺１０２ｃ側に位置する場合、第４ＩＤＴ２２０は、第３ＩＤＴ２１０に対して第２圧電基板２００の第８辺２０２ｄ側に位置していてもよい。

（実施形態２）
図２は、実施形態２に係るセンサ装置１０を示す図である。実施形態２に係るセンサ装置１０は、以下の点を除いて、実施形態１に係るセンサ装置１０と同様である。

センサ装置１０は、第５ＩＤＴ１３０及び第６ＩＤＴ２３０をさらに含んでいる。第５ＩＤＴ１３０は、第１ＩＤＴ１１０に第３距離Ｄ３を置いて対向して第１圧電基板１００上に位置している。第３距離Ｄ３は、第１距離Ｄ１と異なっている。第６ＩＤＴ２３０は、第３ＩＤＴ２１０に第４距離Ｄ４を置いて対向して第２圧電基板２００上に位置している。第４距離Ｄ４は、第３距離Ｄ３と異なっている。

第５ＩＤＴ１３０は、一対の櫛歯電極を有している。第５ＩＤＴ１３０（一対の櫛歯電極）は、図２に示すようにセンサ（第２ＩＤＴ１２０に電気的に接続された第１センサ１２２に相当するセンサ）に電気的に接続されていなくてもよいし、又はセンサに電気的に接続されていてもよい。

第１圧電基板１００において、第５ＩＤＴ１３０は、第１ＩＤＴ１１０に対して、第２ＩＤＴ１２０が位置する側（すなわち、第１圧電基板１００の第４辺１０２ｄが位置する側）と同じ側に位置している。ただし、第５ＩＤＴ１３０は、第１ＩＤＴ１１０に対して、第２ＩＤＴ１２０が位置する側（すなわち、第１圧電基板１００の第４辺１０２ｄが位置する側）の反対側（すなわち、第１圧電基板１００の第３辺１０２ｃが位置する側）に位置していてもよい。

図２に示す例では、第５ＩＤＴ１３０は、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂの延伸方向に第１ＩＤＴ１１０と対向している。したがって、第１ＩＤＴ１１０及び第５ＩＤＴ１３０の間において、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂの延伸方向に沿ってＳＡＷを伝搬させることができる。

第５ＩＤＴ１３０について上述した点は、第６ＩＤＴ２３０についても同様となっている。

第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０と第６ＩＤＴ２３０との間のＳＡＷの伝搬方向（図２に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第３ＩＤＴ２１０と第６ＩＤＴ２３０との間の第４距離Ｄ４は、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０と第５ＩＤＴ１３０との間のＳＡＷの伝搬方向（図２に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第１ＩＤＴ１１０と第５ＩＤＴ１３０との間の第３距離Ｄ３より長くなっている。ただし、第４距離Ｄ４は、第３距離Ｄ３より短くてもよい。本実施形態において、第３距離Ｄ３は、第１ＩＤＴ１１０と第５ＩＤＴ１３０との間のＳＡＷの伝搬方向（図２に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第１ＩＤＴ１１０の複数の櫛歯部分（図２に示す例では、第１ＩＤＴ１１０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、第１ＩＤＴ１１０と第５ＩＤＴ１３０との間のＳＡＷの伝搬方向（図２に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第５ＩＤＴ１３０の複数の櫛歯部分（図２に示す例では、第５ＩＤＴ１３０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、の間の距離（第１ＩＤＴ１１０と第５ＩＤＴ１３０との間のＳＡＷの伝搬方向における距離）である。第４距離Ｄ４は、第３ＩＤＴ２１０と第６ＩＤＴ２３０との間のＳＡＷの伝搬方向（図２に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第３ＩＤＴ２１０の複数の櫛歯部分（図２に示す例では、第３ＩＤＴ２１０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、第３ＩＤＴ２１０と第６ＩＤＴ２３０との間のＳＡＷの伝搬方向（図２に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第６ＩＤＴ２３０の複数の櫛歯部分（図２に示す例では、第６ＩＤＴ２３０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、の間の距離（第３ＩＤＴ２１０と第６ＩＤＴ２３０との間のＳＡＷの伝搬方向における距離）である。

本実施形態において、第１距離Ｄ１、第２距離Ｄ２、第３距離Ｄ３及び第４距離Ｄ４は、互いに異なっている。具体的には、第１距離Ｄ１、第３距離Ｄ３、第２距離Ｄ２及び第４距離Ｄ４は、この順で長くなっている。ただし、第１距離Ｄ１から第４距離Ｄ４の長さ順序は、これに限定されない。

図２を用いて、センサ装置１０の動作の一例を説明する。

ホスト装置３００の外部アンテナ３１２は、第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２に電波を送信する。第１アンテナ１１２は、外部アンテナ３１２から送信された電波に応じた高周波信号を生成する。第１ＩＤＴ１１０は、外部アンテナ３１２によって生成された高周波信号に応じたＳＡＷを第１圧電基板１００に発生させる。第１ＩＤＴ１１０によって発生されたＳＡＷは、第１圧電基板１００を伝搬して、第２ＩＤＴ１２０及び第５ＩＤＴ１３０によって反射される。第２ＩＤＴ１２０の反射率は、第１センサ１２２のインピーダンスに依存して変動する。したがって、第２ＩＤＴ１２０から反射されたＳＡＷは、第１センサ１２２のインピーダンスに応じたものとなる。第１ＩＤＴ１１０は、第２ＩＤＴ１２０及び第５ＩＤＴ１３０から反射されたＳＡＷに応じた高周波信号を生成する。第１アンテナ１１２は、第１ＩＤＴ１１０によって生成された高周波信号に応じた電波をホスト装置３００の外部アンテナ３１２に送信する。ホスト装置３００は、外部アンテナ３１２によって受信された電波を解析する。

ホスト装置３００の外部アンテナ３１２は、第２圧電基板２００の第２アンテナ２１２に電波を送信する。第２アンテナ２１２は、外部アンテナ３１２から送信された電波に応じた高周波信号を生成する。第３ＩＤＴ２１０は、外部アンテナ３１２によって生成された高周波信号に応じたＳＡＷを第２圧電基板２００に発生させる。第３ＩＤＴ２１０によって発生されたＳＡＷは、第２圧電基板２００を伝搬して、第４ＩＤＴ２２０及び第６ＩＤＴ２３０によって反射される。第４ＩＤＴ２２０の反射率は、第２センサ２２２のインピーダンスに依存して変動する。したがって、第４ＩＤＴ２２０から反射されたＳＡＷは、第２センサ２２２のインピーダンスに応じたものとなる。第３ＩＤＴ２１０は、第４ＩＤＴ２２０及び第６ＩＤＴ２３０から反射されたＳＡＷに応じた高周波信号を生成する。第２アンテナ２１２は、第３ＩＤＴ２１０によって生成された高周波信号に応じた電波をホスト装置３００の外部アンテナ３１２に送信する。ホスト装置３００は、外部アンテナ３１２によって受信された電波を解析する。

測定器３０２は、外部アンテナ３１２による第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０への電波の送信から、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０及び第５ＩＤＴ１３０間におけるＳＡＷの伝搬を経て、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０から外部アンテナ３１２による電波の受信までの時間と、外部アンテナ３１２による第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０への電波の送信から、第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０及び第６ＩＤＴ２３０間におけるＳＡＷの伝搬を経て、第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０から外部アンテナ３１２による電波の受信までの時間と、の差を測定する。この時間差（遅延差）においては、実施形態１で説明したように、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができる。

実施形態１と同様にして、測定器３０２は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、第２圧電基板２００における第３ＩＤＴ２１０と第４ＩＤＴ２２０との間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、の差を測定してもよい。

測定器３０２は、外部アンテナ３１２による第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０への電波の送信から、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０及び第２ＩＤＴ１２０間におけるＳＡＷの伝搬を経て、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０から外部アンテナ３１２による電波の受信までの時間と、外部アンテナ３１２による第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０への電波の送信から、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０及び第５ＩＤＴ１３０間におけるＳＡＷの伝搬を経て、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０から外部アンテナ３１２による電波の受信までの時間と、の差を測定してもよい。この時間差（遅延差）においては、実施形態１で説明したように、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができる。

測定器３０２は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間を伝搬するＳＡＷと、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第５ＩＤＴ１３０との間を伝搬するＳＡＷと、の差を測定してもよい。この差においては、第１圧電基板１００におけるノイズ（例えば、第１圧電基板１００が温度によって受け得る影響）を低減することができる。

第２圧電基板２００についても、第１圧電基板１００について説明した測定器３０２の上述した動作と同様の動作によって、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができるとともに、第２圧電基板２００におけるノイズ（例えば、第１圧電基板１００が温度によって受け得る影響）を低減することができる。

（実施形態３）
図３は、実施形態３に係るセンサ装置１０を示す図である。実施形態３に係るセンサ装置１０は、以下の点を除いて、実施形態１に係るセンサ装置１０と同様である。

センサ装置１０は、第７ＩＤＴ１４０及び第８ＩＤＴ２４０をさらに含んでいる。第７ＩＤＴ１４０は、第１ＩＤＴ１１０に第５距離Ｄ５を置いて対向して第１圧電基板１００上に位置している。第８ＩＤＴ２４０は、第３ＩＤＴ２１０に第６距離Ｄ６を置いて対向して第２圧電基板２００上に位置している。第６距離Ｄ６は、第５距離Ｄ５と異なっている。

第７ＩＤＴ１４０は、一対の櫛歯電極を有している。第７ＩＤＴ１４０（一対の櫛歯電極）は、図３に示すようにセンサ（第２ＩＤＴ１２０に電気的に接続された第１センサ１２２に相当するセンサ）に電気的に接続されていなくてもよいし、又はセンサに電気的に接続されていてもよい。

第１圧電基板１００において、第７ＩＤＴ１４０は、第１ＩＤＴ１１０に対して、第２ＩＤＴ１２０が位置する側（すなわち、第１圧電基板１００の第４辺１０２ｄが位置する側）の反対側（すなわち、第１圧電基板１００の第３辺１０２ｃが位置する側）に位置している。ただし、第７ＩＤＴ１４０は、第１ＩＤＴ１１０に対して、第２ＩＤＴ１２０が位置する側（すなわち、第１圧電基板１００の第４辺１０２ｄが位置する側）と同じ側に位置していてもよい。

図３に示す例では、第７ＩＤＴ１４０は、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂの延伸方向に第１ＩＤＴ１１０と対向している。したがって、第１ＩＤＴ１１０及び第７ＩＤＴ１４０の間において、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂの延伸方向に沿ってＳＡＷを伝搬させることができる。

第７ＩＤＴ１４０について上述した点は、第８ＩＤＴ２４０についても同様となっている。

第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０と第８ＩＤＴ２４０との間のＳＡＷの伝搬方向（図３に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第３ＩＤＴ２１０と第８ＩＤＴ２４０との間の第６距離Ｄ６は、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０と第７ＩＤＴ１４０との間のＳＡＷの伝搬方向（図３に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第１ＩＤＴ１１０と第７ＩＤＴ１４０との間の第５距離Ｄ５より長くなっている。ただし、第６距離Ｄ６は、第５距離Ｄ５より短くてもよい。本実施形態において、第５距離Ｄ５は、第１ＩＤＴ１１０と第７ＩＤＴ１４０との間のＳＡＷの伝搬方向（図３に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第１ＩＤＴ１１０の複数の櫛歯部分（図３に示す例では、第１ＩＤＴ１１０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、第１ＩＤＴ１１０と第７ＩＤＴ１４０との間のＳＡＷの伝搬方向（図３に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第７ＩＤＴ１４０の複数の櫛歯部分（図３に示す例では、第５ＩＤＴ１３０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、の間の距離（第１ＩＤＴ１１０と第７ＩＤＴ１４０との間のＳＡＷの伝搬方向における距離）である。第６距離Ｄ６は、第３ＩＤＴ２１０と第８ＩＤＴ２４０との間のＳＡＷの伝搬方向（図３に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第３ＩＤＴ２１０の複数の櫛歯部分（図３に示す例では、第３ＩＤＴ２１０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、第３ＩＤＴ２１０と第８ＩＤＴ２４０との間のＳＡＷの伝搬方向（図３に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第８ＩＤＴ２４０の複数の櫛歯部分（図３に示す例では、第８ＩＤＴ２４０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、の間の距離（第３ＩＤＴ２１０と第８ＩＤＴ２４０との間のＳＡＷの伝搬方向における距離）である。

図３を用いて、センサ装置１０の動作の一例を説明する。

ホスト装置３００の外部アンテナ３１２は、第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２に電波を送信する。第１アンテナ１１２は、外部アンテナ３１２から送信された電波に応じた高周波信号を生成する。第１ＩＤＴ１１０は、外部アンテナ３１２によって生成された高周波信号に応じたＳＡＷを第１圧電基板１００に発生させる。第１ＩＤＴ１１０によって発生されたＳＡＷは、第１圧電基板１００を伝搬して、第２ＩＤＴ１２０、第５ＩＤＴ１３０及び第７ＩＤＴ１４０によって反射される。第２ＩＤＴ１２０の反射率は、第１センサ１２２のインピーダンスに依存して変動する。したがって、第２ＩＤＴ１２０から反射されたＳＡＷは、第１センサ１２２のインピーダンスに応じたものとなる。第１ＩＤＴ１１０は、第２ＩＤＴ１２０、第５ＩＤＴ１３０及び第７ＩＤＴ１４０から反射されたＳＡＷに応じた高周波信号を生成する。第１アンテナ１１２は、第１ＩＤＴ１１０によって生成された高周波信号に応じた電波をホスト装置３００の外部アンテナ３１２に送信する。ホスト装置３００は、外部アンテナ３１２によって受信された電波を解析する。

ホスト装置３００の外部アンテナ３１２は、第２圧電基板２００の第２アンテナ２１２に電波を送信する。第２アンテナ２１２は、外部アンテナ３１２から送信された電波に応じた高周波信号を生成する。第３ＩＤＴ２１０は、外部アンテナ３１２によって生成された高周波信号に応じたＳＡＷを第２圧電基板２００に発生させる。第３ＩＤＴ２１０によって発生されたＳＡＷは、第２圧電基板２００を伝搬して、第４ＩＤＴ２２０、第６ＩＤＴ２３０及び第８ＩＤＴ２４０によって反射される。第４ＩＤＴ２２０の反射率は、第２センサ２２２のインピーダンスに依存して変動する。したがって、第４ＩＤＴ２２０から反射されたＳＡＷは、第２センサ２２２のインピーダンスに応じたものとなる。第３ＩＤＴ２１０は、第４ＩＤＴ２２０、第６ＩＤＴ２３０及び第８ＩＤＴ２４０から反射されたＳＡＷに応じた高周波信号を生成する。第２アンテナ２１２は、第３ＩＤＴ２１０によって生成された高周波信号に応じた電波をホスト装置３００の外部アンテナ３１２に送信する。ホスト装置３００は、外部アンテナ３１２によって受信された電波を解析する。

測定器３０２は、外部アンテナ３１２による第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０への電波の送信から、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０及び第７ＩＤＴ１４０間におけるＳＡＷの伝搬を経て、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０から外部アンテナ３１２による電波の受信までの時間と、外部アンテナ３１２による第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０への電波の送信から、第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０及び第８ＩＤＴ２４０間におけるＳＡＷの伝搬を経て、第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０から外部アンテナ３１２による電波の受信までの時間と、の差を測定する。この時間差（遅延差）においては、実施形態１で説明したように、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができる。

実施形態１と同様にして、測定器３０２は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、第２圧電基板２００における第３ＩＤＴ２１０と第４ＩＤＴ２２０との間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、の差を測定してもよい。実施形態２と同様にして、測定器３０２は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第５ＩＤＴ１３０との間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、第２圧電基板２００における第３ＩＤＴ２１０と第６ＩＤＴ２３０との間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、の差を測定してもよい。

実施形態２と同様にして、測定器３０２は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第５ＩＤＴ１３０との間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、の差を測定してもよい。さらに、測定器３０２は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第７ＩＤＴ１４０との間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、の差を測定してもよい。これらの差においては、実施形態１又は２で説明したように、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができる。

実施形態２と同様にして、測定器３０２は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間を伝搬するＳＡＷと、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第５ＩＤＴ１３０との間を伝搬するＳＡＷと、の差を測定してもよい。さらに、測定器３０２は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間を伝搬するＳＡＷと、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第７ＩＤＴ１４０との間を伝搬するＳＡＷと、の差を測定してもよい。これらの差においては、第１圧電基板１００におけるノイズ（例えば、第１圧電基板１００が温度によって受け得る影響）を低減することができる。

第２圧電基板２００についても、第１圧電基板１００について説明した測定器３０２の上述した動作と同様の動作によって、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができるとともに、第２圧電基板２００におけるノイズ（例えば、第２圧電基板２００が温度によって受け得る影響）を低減することができる。

図４は、図３に示したセンサ装置１０において、外部アンテナ３１２から送信された電波と、外部アンテナ３１２よって受信された電波と、からＦＭＣＷ（周波数変調連続波）によって生成された各信号を示すグラフである。

図４に示すグラフにおいて、縦軸は、測定器３０２によって測定された信号の強度を示しており、横軸は、測定器３０２によって測定された信号の遅延時間を示している。

信号Ｓ１は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ２は、第２圧電基板２００における第３ＩＤＴ２１０と第４ＩＤＴ２２０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ３は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第５ＩＤＴ１３０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ４は、第２圧電基板２００における第３ＩＤＴ２１０と第６ＩＤＴ２３０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ５は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第７ＩＤＴ１４０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ６は、第２圧電基板２００における第３ＩＤＴ２１０と第８ＩＤＴ２４０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。

信号Ｓ１、信号Ｓ３、信号Ｓ２、信号Ｓ４、信号Ｓ３及び信号Ｓ６は、この順で発生している。具体的には、第１距離Ｄ１、第３距離Ｄ３、第２距離Ｄ２、第４距離Ｄ４、第５距離Ｄ５及び第６距離Ｄ６は、この順で長くなっている。すなわち、第１距離Ｄ１、第２距離Ｄ２、第３距離Ｄ３、第４距離Ｄ４、第５距離Ｄ５及び第６距離Ｄ６は、互いに異なっている。また、第１距離Ｄ１から第６距離Ｄ６のそれぞれにおけるＳＡＷの伝搬速度は、実質的に等しくなっている。したがって、信号Ｓ１から信号Ｓ６の発生順序は、第１距離Ｄ１から第６距離Ｄ６の長さ順序と一致している。このようにすることで、信号Ｓ１から信号Ｓ６が重なり合わない（同じタイミングで発生しない）ようにすることができる。

信号Ｓ１から信号Ｓ６の各々の強度は、センシング対象と異なる様々な要因、例えば、ホスト装置３００の外部アンテナ３１２と第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２との間の距離、ホスト装置３００の外部アンテナ３１２と第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２との間の距離、その他外部環境等によって変動し得る。これに対して、信号Ｓ１から信号Ｓ６のうちの２つの信号の時間差（遅延差）（例えば、信号Ｓ１と信号Ｓ４との時間差）は、これらの要因で変動することなく、第１センサ１２２又は第２センサ２２２によって測定される物理量に応じて変動する。したがって、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができる。

なお、本実施形態における各圧電基板上の反射器の数は３つとなっている。この場合、非特許文献１に記載されているように、遅延時間差及び位相差に基づいて温度を測定する場合、広い温度範囲を高精度に測定することができる。

（実施形態４）
図５は、実施形態４に係るセンサ装置１０を示す図である。実施形態４に係るセンサ装置１０は、以下の点を除いて、実施形態３に係るセンサ装置１０と同様である。

センサ装置１０は、第９ＩＤＴ１５０及び第１０ＩＤＴ２５０をさらに含んでいる。第９ＩＤＴ１５０は、第１ＩＤＴ１１０に第７距離Ｄ７を置いて対向して第１圧電基板１００上に位置している。第１０ＩＤＴ２５０は、第３ＩＤＴ２１０に第８距離Ｄ８を置いて対向して第２圧電基板２００上に位置している。第８距離Ｄ８は、第７距離Ｄ７と異なっている。

第９ＩＤＴ１５０は、一対の櫛歯電極を有している。第９ＩＤＴ１５０（一対の櫛歯電極）は、図５に示すようにセンサ（第２ＩＤＴ１２０に電気的に接続された第１センサ１２２に相当するセンサ）に電気的に接続されていなくてもよいし、又はセンサに電気的に接続されていてもよい。

第１圧電基板１００において、第９ＩＤＴ１５０は、第１ＩＤＴ１１０に対して、第２ＩＤＴ１２０が位置する側（すなわち、第１圧電基板１００の第４辺１０２ｄが位置する側）の反対側（すなわち、第１圧電基板１００の第３辺１０２ｃが位置する側）に位置している。ただし、第９ＩＤＴ１５０は、第１ＩＤＴ１１０に対して、第２ＩＤＴ１２０が位置する側（すなわち、第１圧電基板１００の第４辺１０２ｄが位置する側）と同じ側に位置していてもよい。

図５に示す例では、第９ＩＤＴ１５０は、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂの延伸方向に第１ＩＤＴ１１０と対向している。したがって、第１ＩＤＴ１１０及び第９ＩＤＴ１５０の間において、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ及び第２辺１０２ｂの延伸方向に沿ってＳＡＷを伝搬させることができる。

第９ＩＤＴ１５０について上述した点は、第１０ＩＤＴ２５０についても同様となっている。

第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０と第１０ＩＤＴ２５０との間のＳＡＷの伝搬方向（図５に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第３ＩＤＴ２１０と第１０ＩＤＴ２５０との間の第８距離Ｄ８は、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０と第９ＩＤＴ１５０との間のＳＡＷの伝搬方向（図５に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第１ＩＤＴ１１０と第９ＩＤＴ１５０との間の第７距離Ｄ７より長くなっている。ただし、第８距離Ｄ８は、第７距離Ｄ７より短くてもよい。本実施形態において、第７距離Ｄ７は、第１ＩＤＴ１１０と第９ＩＤＴ１５０との間のＳＡＷの伝搬方向（図５に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第１ＩＤＴ１１０の複数の櫛歯部分（図５に示す例では、第１ＩＤＴ１１０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、第１ＩＤＴ１１０と第９ＩＤＴ１５０との間のＳＡＷの伝搬方向（図５に示す例では、第１圧電基板１００の第１辺１０２ａ又は第２辺１０２ｂの延伸方向）における第９ＩＤＴ１５０の複数の櫛歯部分（図５に示す例では、第９ＩＤＴ１５０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、の間の距離（第１ＩＤＴ１１０と第９ＩＤＴ１５０との間のＳＡＷの伝搬方向における距離）である。第８距離Ｄ８は、第３ＩＤＴ２１０と第１０ＩＤＴ２５０との間のＳＡＷの伝搬方向（図５に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第３ＩＤＴ２１０の複数の櫛歯部分（図５に示す例では、第３ＩＤＴ２１０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、第３ＩＤＴ２１０と第１０ＩＤＴ２５０との間のＳＡＷの伝搬方向（図５に示す例では、第２圧電基板２００の第５辺２０２ａ又は第６辺２０２ｂの延伸方向）における第１０ＩＤＴ２５０の複数の櫛歯部分（図５に示す例では、第１０ＩＤＴ２５０の一対の櫛歯電極の６つの櫛歯部分）の中心と、の間の距離（第３ＩＤＴ２１０と第１０ＩＤＴ２５０との間のＳＡＷの伝搬方向における距離）である。

図５を用いて、センサ装置１０の動作の一例を説明する。

ホスト装置３００の外部アンテナ３１２は、第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２に電波を送信する。第１アンテナ１１２は、外部アンテナ３１２から送信された電波に応じた高周波信号を生成する。第１ＩＤＴ１１０は、外部アンテナ３１２によって生成された高周波信号に応じたＳＡＷを第１圧電基板１００に発生させる。第１ＩＤＴ１１０によって発生されたＳＡＷは、第１圧電基板１００を伝搬して、第２ＩＤＴ１２０、第５ＩＤＴ１３０、第７ＩＤＴ１４０及び第９ＩＤＴ１５０によって反射される。第２ＩＤＴ１２０の反射率は、第１センサ１２２のインピーダンスに依存して変動する。したがって、第２ＩＤＴ１２０から反射されたＳＡＷは、第１センサ１２２のインピーダンスに応じたものとなる。第１ＩＤＴ１１０は、第２ＩＤＴ１２０、第５ＩＤＴ１３０、第７ＩＤＴ１４０及び第９ＩＤＴ１５０から反射されたＳＡＷに応じた高周波信号を生成する。第１アンテナ１１２は、第１ＩＤＴ１１０によって生成された高周波信号に応じた電波をホスト装置３００の外部アンテナ３１２に送信する。ホスト装置３００は、外部アンテナ３１２によって受信された電波を解析する。

ホスト装置３００の外部アンテナ３１２は、第２圧電基板２００の第２アンテナ２１２に電波を送信する。第２アンテナ２１２は、外部アンテナ３１２から送信された電波に応じた高周波信号を生成する。第３ＩＤＴ２１０は、外部アンテナ３１２によって生成された高周波信号に応じたＳＡＷを第２圧電基板２００に発生させる。第３ＩＤＴ２１０によって発生されたＳＡＷは、第２圧電基板２００を伝搬して、第４ＩＤＴ２２０、第６ＩＤＴ２３０、第８ＩＤＴ２４０及び第１０ＩＤＴ２５０によって反射される。第４ＩＤＴ２２０の反射率は、第２センサ２２２のインピーダンスに依存して変動する。したがって、第４ＩＤＴ２２０から反射されたＳＡＷは、第２センサ２２２のインピーダンスに応じたものとなる。第３ＩＤＴ２１０は、第４ＩＤＴ２２０、第６ＩＤＴ２３０、第８ＩＤＴ２４０及び第１０ＩＤＴ２５０から反射されたＳＡＷに応じた高周波信号を生成する。第２アンテナ２１２は、第３ＩＤＴ２１０によって生成された高周波信号に応じた電波をホスト装置３００の外部アンテナ３１２に送信する。ホスト装置３００は、外部アンテナ３１２によって受信された電波を解析する。

測定器３０２は、外部アンテナ３１２による第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０への電波の送信から、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０及び第９ＩＤＴ１５０間におけるＳＡＷの伝搬を経て、第１圧電基板１００の第１ＩＤＴ１１０から外部アンテナ３１２による電波の受信までの時間と、外部アンテナ３１２による第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０への電波の送信から、第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０及び第１０ＩＤＴ２５０間におけるＳＡＷの伝搬を経て、第２圧電基板２００の第３ＩＤＴ２１０から外部アンテナ３１２による電波の受信までの時間と、の差を測定する。この時間差（遅延差）においては、実施形態１で説明したように、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができる。

実施形態３と同様にして、測定器３０２は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と、第１ＩＤＴ１１０以外の一のＩＤＴと、の間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、第２圧電基板２００における第３ＩＤＴ２１０と、第３ＩＤＴ２１０以外の一のＩＤＴと、の間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、の差を測定してもよい。

実施形態３と同様にして、測定器３０２は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と、第１ＩＤＴ１１０及び第２ＩＤＴ１２０以外の一のＩＤＴと、の間のＳＡＷの伝搬時間を含む、外部アンテナ３１２の電波の送信から受信までの時間と、の差を測定してもよい。この差においては、実施形態１から３で説明したように、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができる。

実施形態３と同様にして、測定器３０２は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間を伝搬するＳＡＷと、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と、第１ＩＤＴ１１０及び第２ＩＤＴ１２０以外の一のＩＤＴと、の間を伝搬するＳＡＷと、の差を測定してもよい。この差においては、第１圧電基板１００におけるノイズ（例えば、第１圧電基板１００が温度によって受け得る影響）を低減することができる。

第２圧電基板２００についても、第１圧電基板１００について説明した測定器３０２の上述した動作と同様の動作によって、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができるとともに、第２圧電基板２００におけるノイズ（例えば、第２圧電基板２００が温度によって受け得る影響）を低減することができる。

図６は、図５に示したセンサ装置１０において、外部アンテナ３１２から送信された電波と、外部アンテナ３１２よって受信された電波と、からＦＭＣＷ（周波数変調連続波）によって生成された各信号を示すグラフである。

図６に示すグラフにおいて、縦軸は、測定器３０２によって測定された信号の強度を示しており、横軸は、測定器３０２によって測定された信号の遅延時間を示している。

信号Ｓ１は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第２ＩＤＴ１２０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ２は、第２圧電基板２００における第３ＩＤＴ２１０と第４ＩＤＴ２２０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ３は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第５ＩＤＴ１３０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ４は、第２圧電基板２００における第３ＩＤＴ２１０と第６ＩＤＴ２３０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ５は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第７ＩＤＴ１４０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ６は、第２圧電基板２００における第３ＩＤＴ２１０と第８ＩＤＴ２４０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ７は、第１圧電基板１００における第１ＩＤＴ１１０と第９ＩＤＴ１５０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。信号Ｓ８は、第２圧電基板２００における第３ＩＤＴ２１０と第１０ＩＤＴ２５０との間のＳＡＷの伝搬を経た信号である。

信号Ｓ１、信号Ｓ３、信号Ｓ２、信号Ｓ４、信号Ｓ５、信号Ｓ６、信号Ｓ７及び信号Ｓ８は、この順で発生している。具体的には、第１距離Ｄ１、第３距離Ｄ３、第２距離Ｄ２、第４距離Ｄ４、第５距離Ｄ５、第６距離Ｄ６、第７距離Ｄ７及び第８距離Ｄ８は、この順で長くなっている。すなわち、第１距離Ｄ１、第２距離Ｄ２、第３距離Ｄ３、第４距離Ｄ４、第５距離Ｄ５、第６距離Ｄ６、第７距離Ｄ７及び第８距離Ｄ８は、互いに異なっている。また、第１距離Ｄ１から第８距離Ｄ８のそれぞれにおけるＳＡＷの伝搬速度は、実質的に等しくなっている。したがって、信号Ｓ１から信号Ｓ８の発生順序は、第１距離Ｄ１から第８距離Ｄ８の長さ順序と一致している。このようにすることで、信号Ｓ１から信号Ｓ８が重なり合わない（同じタイミングで発生しない）ようにすることができる。

信号Ｓ１から信号Ｓ８の各々の強度は、センシング対象と異なる様々な要因、例えば、ホスト装置３００の外部アンテナ３１２と第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２との間の距離、ホスト装置３００の外部アンテナ３１２と第１圧電基板１００の第１アンテナ１１２との間の距離、その他外部環境等によって変動し得る。これに対して、信号Ｓ１から信号Ｓ８のうちの２つの信号の時間差（遅延差）は、これらの要因で変動することなく、第１センサ１２２又は第２センサ２２２によって測定される物理量に応じて変動する。したがって、センシング対象と異なる要因による影響を低減することができる。

（実施形態４）
図７は、実施形態５に係るセンサ装置１０を示す図である。実施形態５に係るセンサ装置１０は、以下の点を除いて、実施形態４に係るセンサ装置１０と同様である。

センサ装置１０は、第１インピーダンス部１２４を含んでいる。第１インピーダンス部１２４は、例えば、特定のインピーダンスに固定された固定インピーダンス部である。或いは、第１インピーダンス部１２４は、特定のインピーダンスに調整可能な可変インピーダンス部であってもよい。第１インピーダンス部１２４は、第１圧電基板１００上に位置している。第１インピーダンス部１２４は、例えば、第１圧電基板１００上に設けられた金属パターン等の導電パターンによって構成されている。なお、第１インピーダンス部１２４は、第１圧電基板１００の外部に設けられていてもよい。

第１インピーダンス部１２４は、第２ＩＤＴ１２０及び第１センサ１２２に電気的に接続されている。具体的には、第１センサ１２２及び第１インピーダンス部１２４は、第２ＩＤＴ１２０の一対の櫛歯電極の間で直列に接続されている。この場合、第２ＩＤＴ１２０に接続されたインピーダンスは、直列に接続された第１センサ１２２及び第１インピーダンス部１２４の合成インピーダンスとなる。したがって、第２ＩＤＴ１２０に第１インピーダンス部１２４が接続されずに第２ＩＤＴ１２０に第１センサ１２２が接続されている場合と比較して、第２ＩＤＴ１２０に接続されたインピーダンスを高くすることができる。或いは、第１センサ１２２及び第１インピーダンス部１２４は、第２ＩＤＴ１２０の一対の櫛歯電極の間で並列に接続されていてもよい。この場合、第２ＩＤＴ１２０に接続されたインピーダンスは、並列に接続された第１センサ１２２及び第１インピーダンス部１２４の合成インピーダンスとなる。したがって、第２ＩＤＴ１２０に第１インピーダンス部１２４が接続されずに第２ＩＤＴ１２０に第１センサ１２２が接続されている場合と比較して、第２ＩＤＴ１２０に接続されたインピーダンスを低くすることができる。

センサ装置１０は、第２インピーダンス部２２４を含んでいる。第２インピーダンス部２２４は、第１インピーダンス部１２４と同様にして、第４ＩＤＴ２２０及び第２センサ２２２に電気的に接続されている。

図８は、第２ＩＤＴ１２０に接続されたインピーダンスと、第２ＩＤＴ１２０によって発生する信号のレベルと、の模式的な関係の一例を示すグラフである。図８において、グラフの横軸は、第２ＩＤＴ１２０に接続されたインピーダンスを示している。また、グラフの縦軸は、第２ＩＤＴ１２０によって発生する信号のレベルを示している。

図８に示すグラフにおいて、第２ＩＤＴ１２０によって発生する信号のレベルは、第２ＩＤＴ１２０に接続されたインピーダンスに対して、横軸の３つの区間Ａ、Ｂ及びＣにおいて互いに異なる傾きで線型に変動している。第２ＩＤＴ１２０に接続されたインピーダンスは、区間Ａ、区間Ｂ及び区間Ｃの順で大きくなっている。また、区間Ａ、区間Ｂ及び区間Ｃの長さは、区間Ｂ、区間Ｃ及び区間Ａの順で短くなっている。

第１センサ１２２は、第２ＩＤＴ１２０によって発生する信号のレベルが、第２ＩＤＴ１２０に接続されたインピーダンスに対して、線型に変動する区間において使用される。この場合、第２ＩＤＴ１２０によって発生する信号のレベルが、第２ＩＤＴ１２０に接続されたインピーダンスに対して、線型に変動する区間の長さが長いことが望ましい。したがって、図８に示すグラフでは、第１センサ１２２は、区間Ａ又は区間Ｃよりも、区間Ｂにおいて動作させることが望ましい。しかしながら、第２ＩＤＴ１２０に第１インピーダンス部１２４が接続されずに第２ＩＤＴ１２０に第１センサ１２２が接続している場合、第１センサ１２２は、区間Ａ又は区間Ｃで動作することがあり得る。

第２ＩＤＴ１２０に第１インピーダンス部１２４が接続されずに第２ＩＤＴ１２０に第１センサ１２２が接続している場合において、第１センサ１２２が区間Ａで動作するとき、第１センサ１２２及び第１インピーダンス部１２４を、第２ＩＤＴ１２０の一対の櫛歯電極の間で直列に接続させることができる。この場合、第１インピーダンス部１２４のインピーダンスを適当なインピーダンスにすることで、第１センサ１２２を区間Ａでなく区間Ｂで動作させることができる。

第２ＩＤＴ１２０に第１インピーダンス部１２４が接続されずに第２ＩＤＴ１２０に第１センサ１２２が接続している場合において、第１センサ１２２が区間Ｃで動作するとき、第１センサ１２２及び第１インピーダンス部１２４を、第２ＩＤＴ１２０の一対の櫛歯電極の間で並列に接続させることができる。この場合、第１インピーダンス部１２４のインピーダンスを適当なインピーダンスにすることで、第１センサ１２２を区間Ｃでなく区間Ｂで動作させることができる。

図８を用いて第１センサ１２２及び第１インピーダンス部１２４について説明した事項は、第２センサ２２２及び第２インピーダンス部２２４についても同様に成り立つ。

実施形態４では、センサ装置１０は、第１インピーダンス部１２４及び第２インピーダンス部２２４の双方を備えている。しかしながら、センサ装置１０は、第１インピーダンス部１２４及び第２インピーダンス部２２４の一方のみを備えていてもよい。また、説明実施形態４のセンサ装置１０について説明した事項は、実施形態１〜３の各々に係るセンサ装置１０においても同様に成り立つ。

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

例えば、上記実施形態では、センサ装置１０は、２つの圧電基板（第１圧電基板１００及び第２圧電基板２００）を含んでいる。しかしながら、センサ装置１０は、３つ以上の圧電基板を含んでいてもよい。センサ装置１０が３つ以上の圧電基板を含む場合であっても、上記実施形態と同様にして、センサ装置１０は動作可能である。

また、図１に示した実施形態１において、各圧電基板はアンテナに電気的に接続されたＩＤＴの他に１つのＩＤＴを有しており、図２に示した実施形態２において、各圧電基板はアンテナに接続されたＩＤＴの他に２つのＩＤＴを有しており、図３に示した実施形態３において、各圧電基板はアンテナに電気的に接続されたＩＤＴの他に３つのＩＤＴを有しており、図５に示した実施形態４及び図７に示した実施形態５において、各圧電基板はアンテナに電気的に接続されたＩＤＴの他に４つのＩＤＴを有している。これらの実施形態から明らかなように、各圧電基板は、アンテナに接続されたＩＤＴの他に５つ以上のＩＤＴを有していてもよい。

１０ センサ装置
１００ 第１圧電基板
１０２ａ 第１辺
１０２ｂ 第２辺
１０２ｃ 第３辺
１０２ｄ 第４辺
１１０ 第１ＩＤＴ
１１２ 第１アンテナ
１２０ 第２ＩＤＴ
１２２ 第１センサ
１２４ 第１インピーダンス部
１３０ 第５ＩＤＴ
１４０ 第７ＩＤＴ
１５０ 第９ＩＤＴ
２００ 第２圧電基板
２０２ａ 第５辺
２０２ｂ 第６辺
２０２ｃ 第７辺
２０２ｄ 第８辺
２１０ 第３ＩＤＴ
２１２ 第２アンテナ
２２０ 第４ＩＤＴ
２２２ 第２センサ
２２４ 第２インピーダンス部
２３０ 第６ＩＤＴ
２４０ 第８ＩＤＴ
２５０ 第１０ＩＤＴ
３００ ホスト装置
３０２ 測定器
３１２ 外部アンテナ
Ｄ１ 第１距離
Ｄ２ 第２距離
Ｄ３ 第３距離
Ｄ４ 第４距離
Ｄ５ 第５距離
Ｄ６ 第６距離
Ｄ７ 第７距離
Ｄ８ 第８距離

Claims (9)

1. 第１圧電基板と、
   外部アンテナに対する電波の送受信を行うための第１アンテナに電気的に接続されており、前記第１圧電基板上に位置する第１ＩＤＴと、
   外部からの物理量に応じて変化するインピーダンスを有する第１センサに電気的に接続されており、前記第１ＩＤＴに第１距離を置いて対向して前記第１圧電基板上に位置する第２ＩＤＴと、
   第２圧電基板と、
   外部アンテナに対する電波の送受信を行うための第２アンテナに電気的に接続されており、前記第２圧電基板上に位置する第３ＩＤＴと、
   前記第３ＩＤＴに前記第１距離と異なる第２距離を置いて対向して前記第２圧電基板上に位置する第４ＩＤＴと、
   を含むセンサ装置。
2. 請求項１に記載のセンサ装置において、
   前記第１ＩＤＴに第３距離を置いて対向して前記第１圧電基板上に位置する第５ＩＤＴと、
   前記第３ＩＤＴに前記第３距離と異なる第４距離を置いて対向して前記第２圧電基板上に位置する第６ＩＤＴと、
   をさらに含むセンサ装置。
3. 請求項２に記載のセンサ装置において、
   前記第１ＩＤＴに第５距離を置いて対向して前記第１圧電基板上に位置する第７ＩＤＴと、
   前記第３ＩＤＴに前記第５距離と異なる第６距離を置いて対向して前記第２圧電基板上に位置する第８ＩＤＴと、
   をさらに含むセンサ装置。
4. 請求項３に記載のセンサ装置において、
   前記第１ＩＤＴに第７距離を置いて対向して前記第１圧電基板上に位置する第９ＩＤＴと、
   前記第３ＩＤＴに前記第７距離と異なる第８距離を置いて対向して前記第２圧電基板上に位置する第１０ＩＤＴと、
   をさらに含むセンサ装置。
5. 請求項１から４までのいずれか一項に記載のセンサ装置において、
   前記外部アンテナによる前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴへの電波の送信から、前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴ及び前記第２ＩＤＴ間における表面弾性波の伝搬を経て、前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴから前記外部アンテナによる電波の受信までの時間と、前記外部アンテナによる前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴへの電波の送信から、前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴ及び前記第４ＩＤＴ間における表面弾性波の伝搬を経て、前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴから前記外部アンテナによる電波の受信までの時間と、の差を測定する測定器をさらに含むセンサ装置。
6. 請求項２から４までのいずれか一項に記載のセンサ装置において、
   前記外部アンテナによる前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴへの電波の送信から、前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴ及び前記第５ＩＤＴ間における表面弾性波の伝搬を経て、前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴから前記外部アンテナによる電波の受信までの時間と、前記外部アンテナによる前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴへの電波の送信から、前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴ及び前記第６ＩＤＴ間における表面弾性波の伝搬を経て、前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴから前記外部アンテナによる電波の受信までの時間と、の差を測定する測定器をさらに含むセンサ装置。
7. 請求項３又は４に記載のセンサ装置において、
   前記外部アンテナによる前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴへの電波の送信から、前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴ及び前記第７ＩＤＴ間における表面弾性波の伝搬を経て、前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴから前記外部アンテナによる電波の受信までの時間と、前記外部アンテナによる前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴへの電波の送信から、前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴ及び前記第８ＩＤＴ間における表面弾性波の伝搬を経て、前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴから前記外部アンテナによる電波の受信までの時間と、の差を測定する測定器をさらに含むセンサ装置。
8. 請求項４に記載のセンサ装置において、
   前記外部アンテナによる前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴへの電波の送信から、前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴ及び前記第９ＩＤＴ間における表面弾性波の伝搬を経て、前記第１圧電基板の前記第１ＩＤＴから前記外部アンテナによる電波の受信までの時間と、前記外部アンテナによる前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴへの電波の送信から、前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴ及び前記第１０ＩＤＴ間における表面弾性波の伝搬を経て、前記第２圧電基板の前記第３ＩＤＴから前記外部アンテナによる電波の受信までの時間と、の差を測定する測定器をさらに含むセンサ装置。
9. 請求項１から８までのいずれか一項に記載のセンサ装置において、
   前記第２ＩＤＴ及び前記第１センサに電気的に接続された第１インピーダンス部をさらに含むセンサ装置。

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