JP2021117273A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021117273A5 JP2021117273A5 JP2020008892A JP2020008892A JP2021117273A5 JP 2021117273 A5 JP2021117273 A5 JP 2021117273A5 JP 2020008892 A JP2020008892 A JP 2020008892A JP 2020008892 A JP2020008892 A JP 2020008892A JP 2021117273 A5 JP2021117273 A5 JP 2021117273A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resonant
- amplitude
- phase difference
- optical deflector
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Images
Description
車両に搭載される車両用灯具として、光源から出射された光をMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)等の光偏向器によって走査して、走査光が蛍光体を通過するようにし、配光パターンとして前方に光を投影するものがある。
また、この映像投射装置においては、MEMSミラーの共振側の駆動波形が正弦波であるため、光が受光素子で検出される時間から最大振れ角の測定が可能であった。しかしながら、非共振側の場合、MEMSミラーが駆動波形通りに動作しているとは限らず、当該装置が振れ角を正確に測定することが難しかった。また、導光器、受光素子の他、振れ角測定用の別光源が必要となり、装置のコストアップにつながっていた。
回動ミラーを共振駆動させつつ、非共振駆動させた場合には、共振駆動のみの場合と比較して共振周波数が変化するため、前記共振駆動信号と前記検出信号との間に位相差が生じる。光偏向器は、信号処理部により当該位相差を取得して、制御部が当該位相差の変化に基づいて回動ミラーの非共振駆動の振幅を算出する。第1センサの感度が低下した場合、共振駆動の振幅が小さくなることがあるが、当該位相差については変化しない。従って、本発明の光偏向器は、位相差の変化を調べて制御に用いることで、簡易な構成で回動ミラーの振幅を検出することができる。
この構成によれば、制御部は、回動ミラーを非共振駆動させるとき、目標振幅と前記位相差に基づいて算出された振幅とを比較する。そして、制御部は、その差が許容値よりも小さい場合、非共振駆動が異常であると判断して光源の出力を停止する等の異常処理を実行する。これにより、光偏向器又は光偏向器を備えた装置は、安全に作動する。
この構成によれば、制御部は、回動ミラーを非共振駆動させる場合、位相差に基づいて振幅を見積り、必要に応じて非共振駆動信号を補正することができる。これにより、第2軸に非共振駆動を検出するセンサを設けて、検出信号を生成する必要がなくなる。
本発明の光偏向器は、非共振駆動信号を補正する際に非共振駆動信号として正弦波状信号を用いることで、リンギング(信号の振動)の発生を抑えることができる。
この構成によれば、光偏向器に第2センサが設けられていることで、光偏向器は、回動ミラーの非共振駆動を検出することができる。また、光偏向器は、前記位相差に基づく方法で非共振駆動の振幅を算出することができるので、両者が整合するように第2センサの感度を補正する。これにより、光偏向器は、第2センサが劣化した場合等に校正を行うことができる。
本発明の光偏向器の制御方法では、駆動信号生成工程にて制御部が回動ミラーの駆動信号を生成し、回動ミラーを共振駆動及び(又は)非共振駆動させる。また、光偏向器に回動ミラーの共振駆動を検出する第1センサが設けられているので、検出信号生成工程にて共振駆動の検出信号が生成される。
回動ミラーを共振駆動させつつ、非共振駆動させた場合には、前記共振駆動信号と前記検出信号との間に位相差が生じる。そこで、位相差取得工程にて当該位相差を取得し、非共振振幅算出工程にて当該位相差の変化に基づき、回動ミラーの非共振駆動の振幅が算出される。従って、本発明に係る制御方法は、位相差の変化を調べて制御に用いることで、簡易な構成で光偏向器を制御することができる。
また、共振センサ144及び非共振センサ146は、それぞれ少なくとも1つ設けることが好ましい。MEMSミラー133の主走査方向及び副走査方向の駆動安定性及び差動信号のノイズキャンセリング効果の向上のために、図2に示されるように、共振センサ144及び非共振センサ146をY軸及びX軸を中心として線対称にそれぞれ1つずつ設けることがより好ましい。
まず、照明装置10は、光偏向器130のMEMSミラー133の駆動を開始する(STEP01)。ここでは、MEMSミラー133を主走査方向(Y軸方向)に共振駆動させた状態で、光偏向器10がさらに副走査方向(X軸方向)の非共振駆動を開始する。
非共振駆動が1周期完了した場合(STEP03で「YES」)、照明装置10は、MEMSミラー133が共振駆動状態で安定したか否かを判定する(STEP04)。MEMSミラー133が共振駆動状態で安定した場合にはSTEP05に進み、まだ不安定である場合にはSTEP02に戻る(共振駆動状態を維持するまでループ)。
位相差が許容範囲から外れた場合(STEP06で「NO」)、異常処理が行われる(STEP07)。この場合、MEMSミラー133が所望の振幅に到達していないことが考えられるため、照明装置10は、半導体光源120のレーザ光を消灯する、又は出力を低下させる等、安全基準を満たす出力となるように半導体光源120を制御する。なお、ここでの許容値は、半導体光源120の安全基準を満たす振幅範囲と非共振駆動のみで駆動させたときの振幅範囲のうち、大きい方の振幅に対する位相差値とする。
このように、MEMSミラー133が共振状態で安定するまでは、共振駆動周波数がセンサ位相変化値に影響を与えることがあるため、照明装置10は、非共振駆動の異常判定(STEP06)は行わず、再度測定を行う。これで、MEMSミラー133の非共振駆動の振幅を検出する一連の処理を終了する。
上記フローチャート(図3)に示すように、照明装置10は共振駆動信号と共振センサ信号の位相差を利用して、MEMSミラー133の非共振駆動の振幅を検出する。共振センサ144の感度が低下しても位相差には影響しない(劣化により振幅が低下することはある)ため、高い信頼性を得ることができ、非共振振幅値が変化しても判定が可能となる。また、光偏向器130に元々取り付けられている共振センサ144を利用するため、振幅を検出する目的の光源や検出器を新たに準備する必要がなく、コスト面でも有利である。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020008892A JP7343410B2 (ja) | 2020-01-23 | 2020-01-23 | 光偏向器、光偏向器の制御方法 |
US17/151,711 US11846770B2 (en) | 2020-01-23 | 2021-01-19 | Light deflector and method for controlling light deflector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020008892A JP7343410B2 (ja) | 2020-01-23 | 2020-01-23 | 光偏向器、光偏向器の制御方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021117273A JP2021117273A (ja) | 2021-08-10 |
JP2021117273A5 true JP2021117273A5 (ja) | 2022-12-15 |
JP7343410B2 JP7343410B2 (ja) | 2023-09-12 |
Family
ID=76969987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020008892A Active JP7343410B2 (ja) | 2020-01-23 | 2020-01-23 | 光偏向器、光偏向器の制御方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11846770B2 (ja) |
JP (1) | JP7343410B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7097069B2 (ja) * | 2018-12-25 | 2022-07-07 | 京楽産業.株式会社 | 遊技機 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7436564B2 (en) * | 2005-08-03 | 2008-10-14 | Seiko Epson Corporation | Light scanning apparatus and method to prevent damage to an oscillation mirror in an abnormal control condition via a detection signal outputted to a controller even though the source still emits light |
CN104155755A (zh) | 2013-05-13 | 2014-11-19 | 中强光电股份有限公司 | 雷射光扫描装置及其控制方法 |
JP6311322B2 (ja) | 2014-01-15 | 2018-04-18 | 株式会社リコー | 光偏向装置および画像表示装置並びにヘッドアップディスプレイ |
JP6364312B2 (ja) * | 2014-10-23 | 2018-07-25 | スタンレー電気株式会社 | 映像投射装置 |
JP6604816B2 (ja) | 2015-10-28 | 2019-11-13 | スタンレー電気株式会社 | 映像投射装置及びmemsミラーの制御方法 |
JP6908825B2 (ja) * | 2017-02-14 | 2021-07-28 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置及び光走査方法 |
-
2020
- 2020-01-23 JP JP2020008892A patent/JP7343410B2/ja active Active
-
2021
- 2021-01-19 US US17/151,711 patent/US11846770B2/en active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9383578B2 (en) | Optical scanner apparatus and optical scanner control apparatus | |
US10792931B2 (en) | Optical deflection apparatus, head-up display apparatus, optical writing unit, image forming apparatus, and object recognition apparatus | |
JP2021117273A5 (ja) | ||
KR102144567B1 (ko) | 스캔 반사 미러 모니터링 시스템 및 방법, 포커싱 및 레벨링 시스템 | |
US10802270B2 (en) | Optical scanner comprising a calibrating unit to calibrate intensity of the drive signal applied to a mirror driving unit | |
EP3199946B1 (en) | Deformation detecting device | |
JP6754074B2 (ja) | 光走査制御装置 | |
US11846770B2 (en) | Light deflector and method for controlling light deflector | |
CN111948804B (zh) | 光学扫描单元以及光学设备 | |
US10606067B2 (en) | Drive-condition setting device and drive-condition setting method for optical scanning apparatus | |
KR101640348B1 (ko) | 초정밀 광 스캐닝 장치 | |
JP2010164389A (ja) | 調整方法 | |
JP4794677B1 (ja) | 光走査装置用ミラー振幅制御装置 | |
CN111610627B (zh) | 光扫描装置及其控制方法 | |
WO2016147221A1 (ja) | 光走査装置のキャリブレーション方法およびキャリブレーション装置 | |
JP7001455B2 (ja) | 光走査装置 | |
WO2024009820A1 (ja) | ミラー駆動装置、光源装置、光走査装置、補正方法 | |
US20230350038A1 (en) | Optical scanning device and abnormality detection method | |
JP5947184B2 (ja) | 位置検出方法、及び位置検出装置 | |
JP6990573B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP2004101438A (ja) | レーザ発生装置、画像読取装置及び画像検査装置 | |
JP2018536195A (ja) | 光ビームを偏向するための装置及び方法 | |
WO2021059638A1 (ja) | 距離測定装置 | |
JP2010216959A (ja) | レーザ式ガス分析装置 | |
JP2022109634A (ja) | 画像検出装置および画像検出方法 |