JP2021110286A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 複数のブレードが放射状に形成され、ロータ軸方向に設けられた複数段のロータ翼と、
   複数段の前記ロータ翼に対してロータ軸方向に交互に配置され、複数のブレードが放射状に設けられた複数段のステータ翼と、を備え、
   前記複数段のロータ翼の少なくとも１段は、ブレード枚数が「素数×２」または「素数×２^ｎ」に設定され、かつ、隣接する段のロータ翼とはブレード枚数が異なっている、
   および／または、
   前記複数段のステータ翼の少なくとも１段は、ブレード枚数が「素数×２」または「素数×２ ^ｎ 」に設定され、かつ、隣接する段のステータ翼とはブレード枚数が異なっている、
   ターボ分子ポンプ。
2. 請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記複数段のロータ翼には、同じブレード枚数のロータ翼がロータ軸方向に２段以上連続して隣接する構成が含まれ、
   ロータ軸方向に隣接する一対の前記同じブレード枚数のロータ翼は、周方向の翼配置位相が互いにずれている、ターボ分子ポンプ。
3. 請求項１または２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記複数段のステータ翼には、同じブレード枚数のステータ翼がロータ軸方向に２段以上連続して隣接する構成が含まれ、
   ロータ軸方向に隣接する一対の前記同じブレード枚数のステータ翼は、周方向の翼配置位相が互いにずれている、ターボ分子ポンプ。
4. 請求項２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記周方向の翼配置位相のずれ量は、ロータ翼のブレードの周方向の角度ピッチをＰとしたときにＰ/２ピッチに設定されている、ターボ分子ポンプ。
5. 請求項２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   排気速度が５０００［Ｌ/ｓ］以上である、ターボ分子ポンプ。
6. 請求項２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   排気速度が７０００［Ｌ/ｓ］以上である、ターボ分子ポンプ。
7. 請求項３に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記周方向の翼配置位相のずれ量は、ステータ翼のブレードの周方向の角度ピッチをＰとしたときにＰ/２ピッチに設定されている、ターボ分子ポンプ。
8. 請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   同一の段の前記ロータ翼の隣接するブレード間において、前記ロータ翼の表裏を貫通する第１貫通領域が形成され、
   同一の段の前記ステータ翼の隣接するブレード間において、前記ステータ翼の表裏を貫通する第２貫通領域が形成され、
   前記ロータ軸方向において、隣接する２つの段の前記ロータ翼の相互の前記第１貫通領域における一部の領域が第１重複領域として重複し、前記複数段のロータ翼の少なくとも１段は、ブレード枚数が「素数×２」または「素数×２ ^ｎ 」に設定されている、かつ、隣接する段のロータ翼とはブレード枚数が異なっていることにより、前記第１重複領域の周方向寸法の合計が小さくなり、
   および／または、
   前記ロータ軸方向において、隣接する２つの段の前記ステータ翼の相互の前記第２貫通領域における一部の領域が第２重複領域として重複し、前記複数段のステータ翼の少なくとも１段は、ブレード枚数が「素数×２」または「素数×２ ^ｎ 」に設定され、かつ、隣接する段のステータ翼とはブレード枚数が異なっていることにより、前記第２重複領域の周方向寸法の合計が小さくなる、ターボ分子ポンプ。