JP2021102926A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】回生ブレーキ抵抗を小型化して電源装置の小型化が可能な真空ポンプを提供する。【解決手段】真空ポンプは、ロータ、ステータ、前記ロータを駆動するモータ、および、前記ロータと前記ステータと前記モータとを収容するケーシングを有するポンプ本体と、前記モータが回生駆動されて発生する回生電力を熱エネルギに変換する回生ブレーキ抵抗と、前記ポンプ本体に取り付けられた筐体および前記モータの駆動を制御する制御回路が前記筐体内に収容された電源装置とを備え、前記回生ブレーキ抵抗は、複数のチップ抵抗器および前記複数のチップ抵抗器を電気的に接続する配線を備えて構成されている。【選択図】図３

Description

本発明は、真空ポンプに関する。

磁気軸受型のターボ分子ポンプ等の真空ポンプには回生ブレーキ抵抗を備えているものがある。回生ブレーキ抵抗により、モータの回生電流（電力）を熱エネルギとして消費しながらロータの回転を減速することで、ロータの停止時間を短縮している。従来、回生ブレーキ抵抗としてシーズヒータ等の棒状発熱抵抗体を用い、この発熱抵抗体を電源装置内に配置するターボ分子ポンプが知られている。シーズヒータは、円環形状を有しており、電源装置の筐体の内側に筐体の各側壁と僅かな間隙を有して配置される。シーズヒータは、筐体に取り付けられたブラケットにより保持される（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１０−２３６４６８号公報

上記特許文献１に記載された真空ポンプでは、シーズヒータ等の大きい形状の回生ブレーキ抵抗を用いており、また、回生ブレーキ抵抗保持用のブラケット等も必要であるため、電源装置が大型化し、真空ポンプの小型化を図ることができない。

本発明の一態様による真空ポンプは、ステータ翼およびロータに設けられたロータ翼を有するポンプ部、前記ロータを駆動するモータ、および前記ポンプ部と前記モータを収容するケーシングを有するポンプ本体と、前記モータが回生駆動されて発生する回生電力を熱エネルギに変換する回生ブレーキ抵抗と、前記ポンプ本体に取り付けられた筐体および前記モータの駆動を制御する制御回路が前記筐体内に収容された電源装置とを備え、前記回生ブレーキ抵抗は、前記筐体上に配置された複数のチップ抵抗器および前記複数のチップ抵抗器を接続する配線を備えて構成されている。

本発明の真空ポンプによれば、回生ブレーキ抵抗を小型化することができ、これに伴い電源装置の小型化が可能となり、以って、真空ポンプの小型化を図ることができる。

図１は、本発明に係る真空ポンプの一例としてのターボ分子ポンプの第１の実施の形態の外観斜視図である。 図２は、図１に図示されたターボ分子ポンプのＩＩ−ＩＩ線断面図である。 図３は、電源回路部のブロック図の一例である。 図４は、図２に図示された電源装置の拡大図である。 図５は、図４に図示された回生ブレーキ抵抗を構成するチップ抵抗器の配列を示す平面図である。 図６Ａは、チップ抵抗器を電気的に並列に接続した回路図である。 図６Ｂは、チップ抵抗器を電気的に直列に接続した回路図である。 図６Ｃは、チップ抵抗器が電気的に直列に接続された複数のチップ抵抗器群を、電気的に並列に接続した回路図である。 図６Ｄは、チップ抵抗器が電気的に並列に接続された複数のチップ抵抗器群を、電気的に直列に接続した回路図である。 図７は、電源装置の変形例を示す断面図である。 図８は、電源装置の第２の実施形態を示す断面図である。 図９は、図８に図示されたチップ抵抗ユニットの拡大断面図である。

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
−第１の実施形態−
図１は、本発明に係る真空ポンプの一例としてのターボ分子ポンプ１００の第１の実施形態の外観斜視図であり、図２は、図１に図示されたターボ分子ポンプのＩＩ−ＩＩ線断面図である。
図１に図示されるように、ターボ分子ポンプ１００は、ポンプ本体１０１と、ポンプ本体１０１に取付けられた電源装置５０とを備える。
ポンプ本体１０１は、アルミニウム合金、鉄等の金属により形成されたケーシング５およびベース２から構成されるケース本体１０２と、ケース本体１０２内部に収容された、タービンポンプ部Ｐ１（図２参照）およびドラッグポンプ部Ｐ２（図２参照）を構成する部材を備えている。

ポンプ本体１０１の上部には、吸気口２７が設けられ、ポンプ本体１０１の下部側には、排気口２５ａを有する排気ポート２５が設けられている。ポンプ本体１０１は、吸気口２７が形成されたフランジ部２２に設けられた複数の貫通孔２２ａにボルト等の締結部材（図示せず）を挿通して、真空チャンバ（図示せず）に取り付けられる。ターボ分子ポンプ１００は、タービンポンプ部Ｐ１およびドラッグポンプ部Ｐ２により、真空チャンバ内の気体を吸気口２７から吸引し、排気ポート２５の排気口２５ａから排出する。

電源装置５０は、ケース本体１０２の一側面の上下方向の下部側に、電源装置５０の底面５９がポンプ本体１０１の底面１０１ａとほぼ面一になるように取り付けられている。電源装置５０は、ボルト等の締結部材（図示せず）により、ケース本体１０２に固定されている。電源装置５０は、回生ブレーキ抵抗６０（図２参照）を含む制御部、および電源部を有する。電源装置５０の詳細については後述する。

図２に図示されるように、タービンポンプ部Ｐ１は、ロータ３に形成された複数段（図２では６段として例示）のロータ翼３０と、ケーシング５側に配置された複数段（図２では６段として例示）のステータ翼４０とで構成される。ロータ翼３０とステータ翼４０とは、軸方向に交互に配置されている。ステータ翼４０は、それぞれ外周側の周縁が該ステータ翼４０間に配置されたスペーサ４１で挟持されることにより固定されている。

ドラッグポンプ部Ｐ２は、タービンポンプ部Ｐ１の下流側に設けられている。ドラッグポンプ部Ｐ２は、ロータ円筒部３１およびステータ４２を備えている。ロータ円筒部３１は、外側ロータ円筒部３１ａおよび内側ロータ円筒部３１ｂを有し、ステータ４２は、外側ステータ４２ａおよび内側ステータ４２ｂを有する。外側ステータ４２ａは、ケース本体１０２の内周側に配置されている。外側ロータ円筒部３１ａは、ロータ３と一体化されており、外側ステータ４２ａと内側ステータ４２ｂの間に配置されている。内側ロータ円筒部３１ｂは、ロータ３と一体化されており、内側ステータ４２ｂの内側に配置されている。外側ステータ４２ａの内周側面と外側ロータ円筒部３１ａの外周側面の一方にはねじ溝（図示せず）が形成されている。また、内側ステータ４２ｂの内周側面と内側ロータ円筒部３１ｂの外周側側面の一方にはねじ溝（図示せず）が形成されている。

図示はしないが、ロータ３は回転軸であるシャフト１０にボルト等の締結部材により締結されて一体化されている。シャフト１０はモータ４により回転駆動される。モータ４としては、例えば、ＤＣブラシレスモータが用いられる。モータ４は、ベース２に設けられたモータステータ４ａと、シャフト１０に設けられたモータロータ４ｂにより構成される。

図２に例示されたターボ分子ポンプ１００は、メカニカル軸受型であり、シャフト１０とロータ３とからなる回転体Ｒは、永久磁石６ａ、６ｂを用いた永久磁石磁気軸受６と転がり軸受である軸受装置８とにより回転自在に支持されている。

磁石ホルダ１１の中央には、軸受９が設けられている。軸受９は、シャフト１０上部のラジアル方向の振れを制限するタッチダウン軸受として機能する。定常回転状態ではシャフト１０と軸受９とが接触することはなく、大外乱が加わった場合や、回転の加速時または減速時にシャフト１０の振れ回りが大きくなった場合に、シャフト１０が軸受９に接触する。

軸受装置８は、ベース２に固定される軸受ハウジング２１に収納されている。軸受装置８は油潤滑式もしくはグリース潤滑式の転がり軸受である。軸受ハウジング２１の下部には、ボルト等の締結部材（図示せず）を用いて下部カバー１９が固定されている。

上述したように、ケーシング５の上部には吸気口２７が設けられており、ベース２には排気ポート２５が設けられている。モータ４により回転体Ｒを高速回転駆動することにより、吸気口２７から吸引されたプロセスガスが、タービンポンプ部Ｐ１およびドラッグポンプ部Ｐ２を経由して、排気ポート２５の排気口２５ａから排気される。

図３は、電源回路部５０Ａのブロック図の一例である。
電源回路部５０Ａには、図示はしないがＡＣ／ＤＣコンバータ等の出力部である電源部１４１から直流電力が供給される。電源回路部５０Ａに入力された直流電力は、モータ４を駆動する３相インバータ１２１とＤＣ／ＤＣコンバータ１２０に入力される。永久磁石磁気軸受６（図２参照）および軸受装置８によりラジアル方向およびスラスト方向に支持されたロータ３、換言すれば、回転体Ｒは、３相インバータ１２１によって駆動されるモータ４により回転駆動される。ＤＣ／ＤＣコンバータ１２０に入力される直流電力の電圧は、電圧センサ１１２によって検出される。ＤＣ／ＤＣコンバータ１２０の出力は、３相インバータ１２１をＰＷＭ制御等で制御するインバータ制御回路１３０に入力される。

インバータ制御回路１３０には回転数センサ１１３により検出されたロータ３、すなわち、回転体Ｒの回転数が入力され、インバータ制御回路１３０は、ロータ回転数に基づいて３相インバータ１２１を制御する。回生ブレーキ抵抗６０は、モータ４が回生駆動されて発生する回生電流（電力）を熱エネルギに変換して回生余剰電力を消費する。トランジスタ制御回路１２２によりトランジスタ１２３のオンオフを制御することにより、回生ブレーキ抵抗６０に流れる電流のオンオフが制御される。回生時の逆流はダイオード１２４によって防止される。

図４は、図２に図示された電源装置の拡大図である。
電源装置５０は、ケース部材５１とカバー５２とから構成される筐体５３を有する。ケース部材５１とカバー５２は、ボルト等の締結部材（図示せず）により一体化され、ケース本体１０２にボルト等の締結部材（図示せず）により固定されている。ケース部材５１とカバー５２とを締結部材によりケース本体１０２に共締めして固定してもよい。

ケース部材５１とカバー５２は、それぞれ、アルミニウム合金または鉄などの金属により形成されている。ケース部材５１は、図４において、上方が開口されたボックス状に形成されている。カバー５２は、ほぼ平坦な板状に形成され、コネクタ５６が挿通される開口部５２ａを有する。

筐体５３内には、電力系ユニット５５と、信号制御系ユニット５４と、回生ブレーキ抵抗６０が収容されている。図２に図示されるように、ポンプ本体１０１には、ベース２の内部の空間に連通する開口部２６が設けられており、この開口部２６には、コネクタ５６が設けられている。ベース２の開口部２６とコネクタ５６とは、シール材８２により気密に固定されている。気密性を向上するため、コネクタ５６として、ハーメチックコネクタを用いることが好ましい。

電力系ユニット５５の回路基板５５ａは、３相インバータ１２１等を含んでおり、ケース部材５１の底部５１ｃに熱伝導可能に接合、換言すれば、熱結合されている。信号制御系ユニット５４の回路基板５４ａは、ケース部材５１の底部５１ｃから突出して設けられたボス部５８上に不図示のボルト等の締結部材により固定されている。カバー５２と回路基板５４ａとの間に、チップ抵抗器６１を配置するための空間が形成されている。

電力系ユニット５５の回路基板５５ａには、ハーネス８１が接続されている。ハーネス８１は、交流電力のＵ相、Ｖ相、Ｗ相の３相の駆動信号用のハーネスを含んでいる。ハーネス８１はコネクタ５６（図２参照）を介して、ケース本体１０２内部に延出されている。電力系ユニット５５の回路基板５５ａと信号制御系ユニット５４の回路基板５４ａは、コネクタ５７を介して接続されており、電源装置５０の電力系ユニット５５および信号制御系ユニット５４は、回路基板５４ａに設けられた貫通孔５４ｂに挿通されるハーネス８１を介してモータ４および回転数センサ１１３等に接続されている。

回生ブレーキ抵抗６０は、接続リード６７により電力系ユニット５５の回路基板５５ａに接続されている。回生ブレーキ抵抗６０は、複数のチップ抵抗器６１により構成されている。カバー５２の内面５２ｂ上には全面に絶縁層６４が形成され、絶縁層６４上には配線６５が形成されている。各チップ抵抗器６１は、はんだ等の導電性接合材（図示せず）により配線６５に接合されている。絶縁層６４は、例えば、金属製のカバー５２を酸化して形成することができ、このようにすれば絶縁層６４の形成を能率的に行うことができる。カバー５２を絶縁性の酸化アルミニウム（アルミナ）により形成してもよく、酸化アルミニウムを用いれば、絶縁層６４が不要となり、一層、生産性を向上することができる。

図５は、図４に図示された回生ブレーキ抵抗を構成するチップ抵抗器の配列を示す平面図である。
カバー５２の内面５２ｂ上には、絶縁層６４を介して、ほぼ直方体形状のチップ抵抗器６１がマトリクス状に配列されている。図５では、４×８個のチップ抵抗器６１が図示されているが、これは一例であって、チップ抵抗器６１の数は、任意に設定することができる。チップ抵抗器６１の厚さは、例えば、０．３〜０．８ｍｍ程度、チップ抵抗器６１の抵抗値は、例えば、数十Ω〜数百Ωとすることができる。但し、これは、参考として示すものであって、厚さおよび抵抗値は、任意に設定するこことができる。

チップ抵抗器６１は、両端に端子６１ａを有し、各端子６１ａは、導電性接合材（図示せず）により配線６５に接合されている。図５には、配線６５は図示されていないが、複数のチップ抵抗器６１は、配線６５の引き回し、すなわち、配線パターン形状により、電気的に並列に接続したり、直列に接続したりすることができる。以下、チップ抵抗器６１ の電気的接続の典型例を、図６Ａ〜図６Ｄを参照して説明する。

図６Ａは、複数のチップ抵抗器を電気的に並列に接続した回路図である。
図６Ａに図示されるように、電源回路部５０Ａのブレーキ抵抗制御回路１３１に接続する回生ブレーキ抵抗６０は、複数（図６Ａでは、５個として例示）のチップ抵抗器６１を電気的に並列に接続して構成することができる。ブレーキ抵抗制御回路１３１は、図３に示すトランジスタ制御回路１２２、トランジスタ１２３を含んで構成されている。

図６Ｂは、複数のチップ抵抗器を電気的に直列に接続した回路図である。
図６Ｂに図示されるように、電源回路部５０Ａのブレーキ抵抗制御回路１３１に接続する回生ブレーキ抵抗６０は、複数（図６Ｂでは、５個として例示）のチップ抵抗器６１を電気的に直列に接続して構成することができる。

図６Ｃは、複数のチップ抵抗器が電気的に直列に接続された複数のチップ抵抗器群を、電気的に並列に接続した回路図である。
回生ブレーキ抵抗６０は、第１のチップ抵抗器群６０ａと、第２のチップ抵抗器群６０ｂを有する。第１、第２のチップ抵抗器群６０ａ、６０ｂは、それぞれ、複数のチップ抵抗器６１が電気的に直列に接続されて構成されている。第１のチップ抵抗器群６０ａと、第２のチップ抵抗器群６０ｂは、電気的に並列に、電源回路部５０Ａのブレーキ抵抗制御回路１３１に接続されている。

図６Ｄは、複数のチップ抵抗器が電気的に並列に接続された複数のチップ抵抗器群を、電気的に直列に接続した回路図である。
回生ブレーキ抵抗６０は、第１のチップ抵抗器群６０ｃと、第２のチップ抵抗器群６０ｄを有する。第１、第２のチップ抵抗器群６０ｃ、６０ｄは、それぞれ、複数のチップ抵抗器６１が電気的に並列に接続されて構成されている。第１のチップ抵抗器群６０ｃと、第２のチップ抵抗器群６０ｄは、電気的に直列に、電源回路部５０Ａのブレーキ抵抗制御回路１３１に接続されている。

上記において、第１、第２のチップ抵抗器群６０ａ、６０ｂまたは６０ｃ、６０ｄそれぞれを構成するチップ抵抗器６１の数は、５個に限られものではなく、２以上の任意の数にすることができる。この場合、第１のチップ抵抗器群６０ａと第２のチップ抵抗器群６０ｂを構成するチップ抵抗器６１の個数は、異なる個数であってもよい。また、第１のチップ抵抗器群６０ｃと第２のチップ抵抗器群６０ｄを構成するチップ抵抗器６１の個数は、異なる個数であってもよい。

（電源装置の変形例）
図７は、電源装置の変形例を示す断面図である。
上記実施形態では、回生ブレーキ抵抗６０を構成する各チップ抵抗器６１は、筐体５３のカバー５２の内面５２ｂ側に配置した構造として例示した。これに対し、図７に図示された変形例の構造では、回生ブレーキ抵抗６０を構成する各チップ抵抗器６１は、カバー５２の外面５２ｃ側に配置されている。

図７に図示されるように、筐体５３のケース本体１０２側の側面であるカバー５２の外面５２ｃ上には、全面に絶縁層６４が形成され、絶縁層６４上には、配線６５が形成されている。回生ブレーキ抵抗６０を構成する各チップ抵抗器６１は、はんだ等の導電性接合材（図示せず）により配線６５に接合されている。ケース本体１０２の、電源装置５０のカバー５２に設けられたチップ抵抗器６１を収容する凹部８３が設けられている。
図７に示す変形例の他の構成は、第１の実施形態と同様であり、対応する構成に同一の符号を付し説明を省略する。

なお、回生ブレーキ抵抗６０を構成する各チップ抵抗器６１からは、電磁ノイズが発生される。変形例の構造では、回生ブレーキ抵抗６０を構成する各チップ抵抗器６１が電源装置５０の筐体５３の外部に配置されている。このため、回生ブレーキ抵抗６０を構成する各チップ抵抗器６１を、電力系ユニット５５および信号制御系ユニット５４等の回路部が収容された電源装置５０の外部に配置することにより、回路部への電磁ノイズの影響を抑制することができるという効果がある。

上記実施形態では、回生ブレーキ抵抗６０、すなわち、チップ抵抗器６１および配線６５を電源装置５０のカバー５２の外面５２ｃに設けた構造として例示した。しかし、回生ブレーキ抵抗６０を、例えば、ケーシング５等のケース本体１０２の外面に設けてもよい。

上記第１の実施形態によれば、下記の効果を奏する。
（１）真空ポンプは、ロータ、ステータ、前記ロータを駆動するモータ、および、前記ロータと前記ステータと前記モータとを収容するケーシングを有するポンプ本体と、前記モータが回生駆動されて発生する回生電力を熱エネルギに変換する回生ブレーキ抵抗と、前記ポンプ本体に取り付けられた筐体および前記モータの駆動を制御する制御回路が前記筐体内に収容された電源装置とを備え、前記回生ブレーキ抵抗は、複数のチップ抵抗器および前記複数のチップ抵抗器を電気的に接続する配線を備えて構成されている。回生ブレーキ抵抗６０を複数のチップ抵抗器６１により形成するので、回生ブレーキ抵抗６０をシーズヒータ等により構成する構造に比し、回生ブレーキ抵抗６０を配置するスペースを小さくすることができる。このため、電源装置５０の小型化を図ることができ、以って、ターボ分子ポンプの小型化を図ることが可能となる。また、回生ブレーキ抵抗６０を複数のチップ抵抗器６１により構成するので、回生電力が異なるターボ分子ポンプ１００に対し、チップ抵抗器６１の個数を調整し、回生消費電力を適切に設定することができる。

（２）前記複数のチップ抵抗器は、直列接続、又は、並列接続、又は、直列接続と並列接続との組み合わせにより、電気的に接続されている。回生電力が異なるターボ分子ポンプ１００に対し、チップ抵抗器６１を電気的に直列に接続したり、並列に接続したりすることにより、回生ブレーキ抵抗６０の抵抗値を調整し、回生消費電力を適切に設定することができる。

（３）前記複数のチップ抵抗器及び前記配線は、前記筐体に配置されている。
（４）前記筐体は、開口部を有するケース部材および前記開口部を覆うカバーを有し、前記カバーは前記ポンプ本体の前記ケーシングの外面に取り付けられ、前記回生ブレーキ抵抗の前記複数のチップ抵抗器および前記配線は前記カバー及び/又は前記ケーシングに設けられている。筐体５３が複数のチップ抵抗器６１および配線６５を実装する回路基板を兼用するので、回路基板が不要となり、構造が簡素化し、コストを低減することができる。

（５）前記筐体は、開口部を有するケース部材および前記開口部を覆うカバーを有し、前記カバーは前記ポンプ本体の前記ケーシングの外面に取り付けられ、前記回生ブレーキ抵抗の前記複数のチップ抵抗器および前記配線は前記カバーに設けられ、前記カバーは金属部材により形成され、前記カバーに絶縁層を介して前記回生ブレーキ抵抗が実装され、前記チップ抵抗器が前記カバーと熱結合されている。カバー５２が放熱部材としての機能を有するため、放熱部材が不要となり、構造が簡素化し、コストを低減することができる。

（６）前記チップ抵抗器および配線は、前記カバーの内面または前記ケーシングの内面に設けられている。このため、電源装置５０をケース本体１０２に取り付ける際、チップ抵抗器６１および配線６５が外部の部材に当接して損傷するのを防止することができる。

（７）前記チップ抵抗器および前記配線は、前記カバーの外面又は前記ケーシングの外面に設けられている。回生ブレーキ抵抗６０を構成する各チップ抵抗器６１を、電力系ユニット５５および信号制御系ユニット５４等の回路部が収容された電源装置５０の外部に配置するので、回生ブレーキ抵抗６０を電源装置５０の筐体５３の内部に配置する構造に比し、電源装置５０の内部回路部への電磁ノイズの影響を抑制することができる。

−第２の実施形態−
図８は、電源装置の第２の実施形態を示す断面図であり、図９は、図８に図示されたチップ抵抗ユニットの拡大断面図である。
第２の実施形態の電源装置５０は、複数のチップ抵抗器６１が金属製のベース板６２上に実装されたチップ抵抗ユニット６１Ｕを有し、複数のチップ抵抗ユニット６１Ｕにより構成された回生ブレーキ抵抗６０を電源装置５０の筐体５３内に配置した構造を有する。
以下では、第２の実施形態が第１の実施形態と相違する構成を主体に説明することとし、第１の実施形態と同様な構成については、適宜、説明を省略する。

図８に図示されるように、電源装置５０のケース部材５１の側部の内面５１ｂ上には、複数のチップ抵抗ユニット６１Ｕが実装されている。複数のチップ抵抗ユニット６１Ｕは、電気的に接続されて回生ブレーキ抵抗６０を構成する。

図９に示すように、チップ抵抗ユニット６１Ｕは、アルミニウム系金属等の金属により形成された平坦な板状部材であるベース板６２上に、絶縁層６４を介して実装された複数のチップ抵抗器６１を有する。チップ抵抗器６１は、第１の実施形態に示された部材であり、ほぼ直方体形状を有し、長手方向の両端に端子６１ａを有する。チップ抵抗器６１の各端子６１ａは、はんだ等の導電性接合材６６により絶縁層６４上に形成された配線６５に接合されている。絶縁層６４は、例えば、金属製のベース板６２を酸化して形成することができる。また、ベース板６２を絶縁性の酸化アルミニウム（アルミナ）により形成してもよく、酸化アルミニウムを用いれば、絶縁層６４が不要となる。

図８は、電源装置５０の長手方向の一断面を示す図であり、チップ抵抗ユニット６１Ｕは、断面に直交する方向、換言すれば、紙面に直交する方向に、複数列に配列することができる。各チップ抵抗ユニット６１Ｕは、ケース部材５１の内面５１ｂに熱伝導可能に結合、すなわち、熱結合されている。図示はしないが、ケース部材５１の内面５１ｂと各チップ抵抗ユニット６１Ｕ間には、熱伝導材または熱伝導シートを介在させてもよい。

ベース板６２は、例えば、サイズが５０〜１００ｍｍ□、板厚が数ｍｍ程度とすることができる。チップ抵抗器６１は、第１の実施形態で説明したように、厚さが０．３〜０．８ｍｍ程度である。

回生ブレーキ抵抗６０を構成する複数のチップ抵抗ユニット６１Ｕは、電気的に直列に接続したり、並列に接続したりすることができる。
複数のチップ抵抗ユニット６１Ｕの電気的接続は、第１の実施形態の図６Ａ〜図６Ｄに図示した接続パターンを用いることができる。この場合、図６Ａ〜図６Ｄのチップ抵抗器６１を、チップ抵抗ユニット６１Ｕに置き換えればよい。

チップ抵抗ユニット６１Ｕを構成する複数のチップ抵抗器６１の接続には、第１の実施形態で説明した図６Ａ〜図６Ｄに示す接続パターンのいずれかを採用することができる。従って、複数のチップ抵抗ユニット６１Ｕを相互に接続する接続パターンそれぞれに、複数のチップ抵抗器６１を相互に接続する接続パターンを組み合わせることにより、回生ブレーキ抵抗６０を構成するチップ抵抗器６１の接続パターンを極めて多種にすることができる。

第２の実施形態における他の構成は、第１の実施形態と同様である。
第２の実施形態においても、回生ブレーキ抵抗６０は、筐体５３上に配置された複数のチップ抵抗器６１により構成されている。従って、第２の実施形態においても第１の実施形態の効果（１）と同様な効果を奏する。

また、第２の実施形態においては、複数のチップ抵抗器６１は、筐体５３に熱結合された金属製のベース板６２上に実装されている。
すなわち、（８）前記複数のチップ抵抗器および前記配線は板状部材に取り付けられ、前記筐体に設けられる。従って、複数のチップ抵抗器６１をベース板６２上に実装することにより、ベース板６２を筐体５３への実装が容易となる。

さらに、回生ブレーキ抵抗６０は、ベース板６２に実装された複数のチップ抵抗器６１により構成されたチップ抵抗ユニット６１Ｕを、複数、有する。チップ抵抗器６１すべてを１つのベース板６２上に実装するのではなく、複数のチップ抵抗ユニット６１Ｕに分割したので、チップ抵抗ユニット６１Ｕの個数を増減することにより、回生ブレーキ抵抗６０の抵抗値を自由に調整することができる。このため、回生電力が異なるターボ分子ポンプ１００に対して共用化を図ることが可能となり、開発期間の短縮化およびコスト低減を図ることができる。

なお、第２の実施形態において、回生ブレーキ抵抗６０を構成するチップ抵抗ユニット６１Ｕは、図４に示されるように、信号制御系ユニット５４の回路基板５４ａと電源装置５０のカバー５２との間に配置してもよい。

第２の実施形態では、回生ブレーキ抵抗６０を構成する複数のチップ抵抗ユニット６１Ｕを電源装置５０の筐体５３内に配置した構造として例示した。しかし、チップ抵抗ユニット６１Ｕは、図７に図示されるように、電源装置５０の筐体５３のカバー５２の外面５２ｃ上に配置してもよい。この場合の構造は、図７におけるチップ抵抗器６１を、チップ抵抗ユニット６１Ｕに置き換えた構造とすればよい。

上記各実施形態では、ターボ分子ポンプ１００を、メカニカル軸受型として例示した。しかし、本発明は、磁気軸受型のターボ分子ポンプに適用することができる。また、上記実施形態では、タービンポンプ部Ｐ１とドラッグポンプ部Ｐ２とを有するターボ分子ポンプ１００として例示したが、本発明は、タービンポンプ部Ｐ１のみを有するターボ分子ポンプに適用することができる。

上記実施形態では、電源装置５０をポンプ本体１０１の一側面に取り付けた構造として例示した。しかし、電源装置５０を、ポンプ本体１０１の底面１０１ａに取り付けるようにしてもよい。

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

３ ロータ
４ モータ
６ 永久磁石磁気軸受
８ 軸受装置
３０ ロータ翼
４０ ステータ翼
５０ 電源装置
５１ ケース部材
５１ｂ 内面
５２ カバー
５２ｂ 内面
５２ｃ 外面
５３ 筐体
５８ 固定具
６０ 回生ブレーキ抵抗
６０ａ、６０ｃ 第１のチップ抵抗器群
６０ｂ、６０ｄ 第２のチップ抵抗器群
６１ チップ抵抗器
６１Ｕ チップ抵抗ユニット
６２ ベース板（板状部材）
６５ 配線
１００ ターボ分子ポンプ
１０１ ポンプ本体
１０１ａ 底面
１０２ ケース本体
１１０ ＡＣ／ＤＣコンバータ
１２０ ＤＣ／ＤＣコンバータ
１２１ ３相インバータ
１２２ トランジスタ制御回路
Ｐ１ タービンポンプ部
Ｐ２ ドラッグポンプ部
Ｒ 回転体

Claims (8)

1. ロータ、ステータ、前記ロータを駆動するモータ、および、前記ロータと前記ステータと前記モータとを収容するケーシングを有するポンプ本体と、
   前記モータが回生駆動されて発生する回生電力を熱エネルギに変換する回生ブレーキ抵抗と、
   前記ポンプ本体に取り付けられた筐体および前記モータの駆動を制御する制御回路が前記筐体内に収容された電源装置とを備え、
   前記回生ブレーキ抵抗は、複数のチップ抵抗器および前記複数のチップ抵抗器を電気的に接続する配線を備えて構成されている、真空ポンプ。
2. 請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
   前記複数のチップ抵抗器は、直列接続、又は、並列接続、又は、直列接続と並列接続との組み合わせにより、電気的に接続されている、真空ポンプ。
3. 請求項１又は２に記載の真空ポンプにおいて、
   前記複数のチップ抵抗器及び前記配線は、前記筐体に配置されている、真空ポンプ。
4. 請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
   前記筐体は、開口部を有するケース部材および前記開口部を覆うカバーを有し、前記カバーは前記ポンプ本体の前記ケーシングの外面に取り付けられ、
   前記回生ブレーキ抵抗の前記複数のチップ抵抗器および前記配線は前記カバー及び/又は前記ケーシングに設けられている、真空ポンプ。
5. 請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
   前記筐体は、開口部を有するケース部材および前記開口部を覆うカバーを有し、前記カバーは前記ポンプ本体の前記ケーシングの外面に取り付けられ、
   前記回生ブレーキ抵抗の前記複数のチップ抵抗器および前記配線は前記カバーに設けられ、
   前記カバーは金属部材により形成され、前記カバーに絶縁層を介して前記回生ブレーキ抵抗が実装され、前記チップ抵抗器が前記カバーと熱結合されている、真空ポンプ。
6. 請求項４に記載の真空ポンプにおいて、
   前記チップ抵抗器および配線は、前記カバーの内面または前記ケーシングの内面に設けられている、真空ポンプ。
7. 請求項４に記載の真空ポンプにおいて、
   前記チップ抵抗器および前記配線は、前記カバーの外面又は前記ケーシングの外面に設けられている、真空ポンプ。
8. 請求項３に記載の真空ポンプにおいて、
   前記複数のチップ抵抗器および前記配線は板状部材に取り付けられ、前記筐体に設けられる、真空ポンプ。

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