JP2021102313A - Dust collection mechanism of groove processing head, and groove processing device - Google Patents

Dust collection mechanism of groove processing head, and groove processing device Download PDF

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良介 小畑
Ryosuke Obata
良介 小畑
朋宏 西口
Tomohiro Nishiguchi
朋宏 西口
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Abstract

To provide a dust collection mechanism of a groove processing head and a groove processing device where a dust collection hood improves the flow velocity of the air to be sucked, and, before dust generated upon scribe processing sticks to the surface of a substrate, the dust can be more effectively removed.SOLUTION: The dust collection mechanism of a groove processing head comprises a groove processing head 16 comprising a tool holder 18 in which a plurality of tools 17 with tips in the lower part are lined up in a longitudinal direction so as to be held, a dust collection hood 20 provided at the lower part of the groove processing head 16 and sucking dust generated upon scribing a substrate W using the tools 17 together with the air, a duct 21 through which the air from the dust collection hood 20 passes and a dust collector sucking the air passed through the duct 21 and collecting the dust. The low face of the groove processing head 16 is provided with a base plate 22 to be fitted with the dust collection hood 20, and the dust collection hood 20 is constituted in such a manner that a plurality of plates through which the air circulates are laminated.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、薄膜太陽電池等の製造過程時など薄膜の基板に対して溝加工を行う際に生じる粉塵を集塵するための溝加工ヘッドの集塵機構に関する技術であって、特に集塵フードの技術に関する。 The present invention is a technique relating to a dust collecting mechanism of a grooving head for collecting dust generated when grooving a thin substrate such as during a manufacturing process of a thin film solar cell, and particularly for a dust collecting hood. Regarding technology.

一般に、溝加工ヘッドのツールで、例えば、薄膜の太陽電池基板(脆性材料基板)のパターニングのラインを、スクライブ加工する際には、粉塵が発生する。このとき、粉塵が薄膜の太陽電池基板に付着すると、取り去ることが難しい。仮に、粉塵を取り去ろうとした場合、基板の表面を損傷させてしまう虞がある。
そこで従来より、スクライブ加工する際に発生する粉塵を吸引する集塵機構を、溝加工ヘッドに設けている。溝加工ヘッドの集塵機構は、ツールを保持するツールホルダを備える溝加工ヘッドと、溝加工ヘッドの下部に設けられていて、粉塵を吸引する集塵フードと、集塵フードからダクトを介して空気を吸引する集塵機と、を有している。
Generally, dust is generated when scribe processing a patterning line of a thin-film solar cell substrate (brittle material substrate) with a tool of a grooving head. At this time, if dust adheres to the thin-film solar cell substrate, it is difficult to remove it. If the dust is to be removed, the surface of the substrate may be damaged.
Therefore, conventionally, a dust collecting mechanism for sucking dust generated during scribe processing is provided in the grooving head. The dust collecting mechanism of the grooving head is a grooving head provided with a tool holder for holding the tool, a dust collecting hood provided at the bottom of the grooving head to suck dust, and air from the dust collecting hood through a duct. It has a dust collector that sucks in.

溝加工ヘッドの集塵機構(集塵フード)に関する技術としては、例えば、特許文献1に開示されているものがある。
特許文献1は、溝加工ヘッドを用いて溝加工する際に生じる粉塵を基板に付着させることなく吸引できるようにすることを目的としている。具体的には、溝加工ヘッドの底面板のツールが突出する近傍に吸い込み口を有する集塵フードを設けている。その集塵フードは、上面が開放された筐体であり、溝加工ヘッドのツールを突出させる開口と、ツールホルダとの間に一定間隔隔てるように開口部から上方に向けて設けられた枠状の仕切り部とを有し、ツールの先端が開口から下方に突出するように取付けられている。溝加工ヘッドを用いて基板を溝加工する際に、集塵フードの空気をダクトを介してブロアで吸引することとし、溝加工によって生じる粉塵を基板に付着する前に集塵フードの吸い込み口に吸い込むことができるとされている。
As a technique related to a dust collecting mechanism (dust collecting hood) of a grooving head, for example, there is one disclosed in Patent Document 1.
Patent Document 1 aims to enable dust generated during grooving using a grooving head to be sucked without adhering to a substrate. Specifically, a dust collecting hood having a suction port is provided in the vicinity where the tool on the bottom plate of the grooving head protrudes. The dust collecting hood is a housing having an open upper surface, and has a frame shape provided upward from the opening so as to be separated from the tool holder by an opening for projecting the tool of the grooving head. It has a partition and is attached so that the tip of the tool protrudes downward from the opening. When grooving the substrate using the grooving head, the air of the dust collecting hood is sucked by the blower through the duct, and the dust generated by the grooving is sucked into the suction port of the dust collecting hood before adhering to the substrate. It is said that it can be inhaled.

特開2016−006844号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-006844

特許文献1の集塵機構は、空気を吸引することで、粉塵を基板の表面に付着する前に取り去ることができるものである。
ところが近年では、粉塵を基板の表面に付着する前に、さらに効果的に取り去ることが求められている。その理由としては、粉塵の吸引にバラツキが生じていることにある。
例えば、ダクトに近いところの空気の吸入速度と、ダクトから遠いところの空気の吸入速度は、異なっている。すなわち、ダクトに近いところでは、空気の流速が高い。一方、ダクトから遠いところでは、空気の流速が低い。これにより、粉塵の吸引が空気の吸引場所によってばらついてしまい、粉塵が基板の表面に取り残されてしまう可能性がある。
The dust collecting mechanism of Patent Document 1 can remove dust before adhering to the surface of the substrate by sucking air.
However, in recent years, there has been a demand for more effective removal of dust before it adheres to the surface of the substrate. The reason is that the suction of dust varies.
For example, the air intake rate near the duct and the air intake rate far from the duct are different. That is, the flow velocity of air is high near the duct. On the other hand, the flow velocity of air is low at a place far from the duct. As a result, the suction of dust varies depending on the place where the air is sucked, and the dust may be left behind on the surface of the substrate.

つまり、集塵機構の集塵フードにおいて、吸引する空気の流速を向上させて、吸引する際の空気のバラツキを抑制することが求められている。
そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、集塵フードの構成を、吸引する空気の流速を向上させる構成とし、スクライブ加工時に発生する粉塵が基板の表面に付着する前に、さらに効果的に粉塵を取り去ることができる溝加工ヘッドの集塵機構及び溝加工装置を提供することを目的とする。
That is, in the dust collecting hood of the dust collecting mechanism, it is required to improve the flow velocity of the sucked air and suppress the variation of the air at the time of sucking.
Therefore, in view of the above problems, the present invention has a structure of the dust collecting hood to improve the flow velocity of the sucked air, and more effectively before the dust generated during the scribing process adheres to the surface of the substrate. It is an object of the present invention to provide a dust collecting mechanism and a grooving apparatus for a grooving head capable of removing dust.

上記の目的を達成するため、本発明においては以下の技術的手段を講じた。
本発明にかかる溝加工ヘッドの集塵機構は、刃先を下方にしたツールを左右方向に複数並べて保持するツールホルダを備える溝加工ヘッドと、前記溝加工ヘッドの下部に設けられていて、前記ツールを用いて基板をスクライブしたときに発生する粉塵を空気と共に吸引する集塵フードと、前記集塵フードからの前記空気が通過するダクトと、前記ダクトを通過した前記空気を吸引して、前記粉塵を収集する集塵機と、を備え、前記溝加工ヘッドの下面には、前記集塵フードが取り付けられるベースプレートが設けられていて、前記集塵フードは、前記空気が流通するプレートを複数積層して構成したものであることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the following technical measures have been taken in the present invention.
The dust collecting mechanism of the grooving head according to the present invention includes a grooving head provided with a tool holder for holding a plurality of tools with the cutting edge downward side by side in the left-right direction, and a grooving head provided below the grooving head. A dust collecting hood that sucks dust generated when the substrate is screened using the dust collecting hood together with air, a duct through which the air passes from the dust collecting hood, and the air that has passed through the duct are sucked to collect the dust. A dust collector for collecting dust is provided, and a base plate to which the dust collecting hood is attached is provided on the lower surface of the groove processing head, and the dust collecting hood is configured by laminating a plurality of plates through which the air flows. It is characterized by being a thing.

好ましくは、前記ベースプレートは、左右方向に長い板材であって、上下方向に貫通し前記ダクトと連通する送通口と、上下方向に貫通し前記ツールホルダが通過する長孔部と、を有し、前記送通口は、前記ベースプレートの左右両端部に、左右一対となるように設けられ且つ、前記ダクトが取り付けられているとよい。
好ましくは、前記集塵フードを構成する複数のプレートの少なくとも一つは、前記ベースプレートの下面側に設けられ、吸引された前記空気を前記ダクトへと送通する第1プレートであり、前記第1プレートは、左右方向に長い板材であって、上下方向に貫通し吸引された前記空気が通過する第1通気口と、前記第1通気口と連通し吸引された前記空気を前記ベースプレートの前記送通口へと案内する第1通路と、前記ベースプレートの前記長孔部と連通し前記ツールホルダが通過する大きさとされた第1長孔部と、を有し、前記第1通路は、左右一対の前記送通口と連通するものであり、前記第1通気口は、前記第1プレートの長手方向中央に設けられているとよい。
Preferably, the base plate is a plate material long in the left-right direction, and has a transmission port that penetrates in the vertical direction and communicates with the duct, and an elongated hole portion that penetrates in the vertical direction and passes through the tool holder. It is preferable that the transmission ports are provided at both left and right ends of the base plate so as to form a pair on the left and right, and the ducts are attached.
Preferably, at least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood is a first plate provided on the lower surface side of the base plate and transmitting the sucked air to the duct, and the first plate. The plate is a plate material that is long in the left-right direction, and the first vent through which the air sucked through in the vertical direction passes, and the air sucked through the first vent and the air sucked through the first vent are sent to the base plate. It has a first passage that guides to a passage port and a first elongated hole portion that communicates with the elongated hole portion of the base plate and has a size that allows the tool holder to pass through, and the first passage has a pair of left and right. It is preferable that the first vent is provided at the center of the first plate in the longitudinal direction.

好ましくは、前記集塵フードを構成する複数のプレートの少なくとも一つは、前記ベースプレートの下面側に設けられ、吸引された前記空気を前記ダクトへと送通する第2プレートであり、前記第2プレートは、左右方向に長い板材であって、上下方向に貫通し吸引された前記空気が通過する第2通気口と、前記ツールホルダが通過する大きさとされた第2長孔部と、を有し、前記第2通気口は、左右方向に長い貫通孔とされ、当該第2通気口の左右方向に長い面は、上下方向の軸心に対して外側に傾斜した傾斜面とされているとよい。 Preferably, at least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood is a second plate provided on the lower surface side of the base plate and transmitting the sucked air to the duct, and the second plate. The plate is a plate material long in the left-right direction, and has a second vent through which the air sucked through in the up-down direction passes, and a second elongated hole portion sized to pass the tool holder. However, the second vent is a through hole long in the left-right direction, and the long surface of the second vent in the left-right direction is an inclined surface inclined outward with respect to the vertical axis. Good.

好ましくは、前記集塵フードを構成する複数のプレートの少なくとも一つは、前記ベースプレートの下面側に設けられ、吸引された前記空気を前記ダクトへと送通する第3プレートであり、前記第3プレートは、左右方向に長い板材であって、上下方向に貫通し吸引された前記空気が通過する第3通気口と、前記ツールが通過できる大きさとされた第3孔部と、を有し、前記第3孔部は、左右方向に複数並べられた前記ツールに対応するように、左右方向に複数並列して設けられているとよい。 Preferably, at least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood is a third plate provided on the lower surface side of the base plate and passing the sucked air to the duct, and the third plate. The plate is a plate material long in the left-right direction, and has a third vent through which the air sucked through in the up-down direction passes, and a third hole having a size through which the tool can pass. It is preferable that a plurality of the third holes are provided in parallel in the left-right direction so as to correspond to the tools arranged in the left-right direction.

好ましくは、前記集塵フードを構成する複数のプレートの少なくとも一つは、前記ベースプレートの下面側に設けられ、吸引された前記空気を前記ダクトへと送通する第4プレートであり、前記第4プレートは、左右方向に長い板材であって、上下方向に貫通し外部の前記空気を吸い込む第4通気口と、前記第4通気口と連通し吸引された前記空気を案内する第4通路と、を有し、前記第4通気口は、前記ツールが移動することができる孔部とされているとよい。 Preferably, at least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood is a fourth plate provided on the lower surface side of the base plate and transmitting the sucked air to the duct, and the fourth plate. The plate is a plate material that is long in the left-right direction, and has a fourth vent that penetrates in the vertical direction and sucks the outside air, and a fourth passage that communicates with the fourth vent and guides the sucked air. The fourth vent may be a hole through which the tool can move.

本発明の溝加工装置は、基板が載置されるテーブルと、溝加工のためのツールを有するツールホルダが装着される前記溝加工ヘッドと、前記溝加工ヘッドの前記集塵機構と、前記テーブルと前記溝加工ヘッドとを水平面内で相対的に移動させるための移動手段と、を備え、前記溝加工ヘッドを基板の上面に平行に移動させ、基板上に溝を形成することを特徴とする。 The grooving apparatus of the present invention includes a table on which a substrate is placed, the grooving head on which a tool holder having a tool for grooving is mounted, the dust collecting mechanism of the grooving head, and the table. A moving means for relatively moving the grooving head in a horizontal plane is provided, and the grooving head is moved in parallel with the upper surface of the substrate to form a groove on the substrate.

本発明によれば、集塵フードの構成を、吸引する空気の流速を向上させる構成とし、スクライブ加工時に発生する粉塵が基板の表面に付着する前に、さらに効果的に粉塵を取り去ることができる。 According to the present invention, the dust collecting hood is configured to improve the flow velocity of the sucked air, and the dust generated during scribe processing can be more effectively removed before it adheres to the surface of the substrate. ..

本発明の溝加工ヘッドの集塵機構及び溝加工装置の概略を模式的に示した図である。It is a figure which showed the outline of the dust collecting mechanism and the grooving apparatus of the grooving head of this invention schematically. 本発明の溝加工ヘッドの集塵機構を構成する集塵フードを上下方向(z軸方向)に分解した図である。It is the figure which disassembled the dust collecting hood which constitutes the dust collecting mechanism of the groove processing head of this invention in the vertical direction (z-axis direction). 本発明の集塵フードの右側面図である。It is a right side view of the dust collecting hood of this invention. 本発明の集塵フードの左断面図である(A−A断面)。It is a left sectional view of the dust collecting hood of this invention (AA sectional view). 本発明の集塵フードを構成する底面板(ベースプレート)の平面図と、B−B断面図である。It is a top view and the cross-sectional view of BB of the bottom plate (base plate) which comprises the dust collecting hood of this invention. 本発明の集塵フードを構成する第1プレートの平面図と、C−C断面図である。It is a top view and CC sectional view of the 1st plate which comprises the dust collecting hood of this invention. 本発明の集塵フードを構成する第2プレートの平面図と、D−D断面図である。It is a top view and the DD sectional view of the 2nd plate which comprises the dust collecting hood of this invention. 本発明の集塵フードを構成する第3プレートの平面図と、E−E断面図である。It is a top view and the cross-sectional view of EE of the 3rd plate which comprises the dust collecting hood of this invention. 本発明の集塵フードを構成する第4プレートの平面図と、F−F断面図である。It is a plan view of the 4th plate which comprises the dust collecting hood of this invention, and FF sectional view.

以下、本発明にかかる溝加工ヘッド16の集塵機構19及び溝加工装置1の実施形態を、図を参照して説明する。
なお、以下に説明する実施形態は、本発明を具体化した一例であって、その具体例をもって本発明の構成を限定するものではない。また、図面に関して、見やすくするため、構成部品の一部を省略したり、仮想線などを用いて描いている。
Hereinafter, embodiments of the dust collecting mechanism 19 and the grooving apparatus 1 of the grooving head 16 according to the present invention will be described with reference to the drawings.
It should be noted that the embodiments described below are examples that embody the present invention, and the specific examples do not limit the configuration of the present invention. In addition, in order to make the drawings easier to see, some of the components are omitted or drawn using virtual lines.

また、本発明の集塵機構19を構成する集塵フード20におけるx軸方向、y軸方向、z軸方向等については、図面に示す通りである。ただし、x軸の+(プラス)方向を右方向と呼び、x軸の−(マイナス)方向を左方向と呼ぶこともある。また、y軸の+(プラス)方向を前方向と呼び、y軸の−(マイナス)方向を後方向と呼ぶこともある。また、z軸の+(プラス)方向を上方向と呼び、z軸の−(マイナス)方向を下方向と呼ぶこともある。 Further, the x-axis direction, the y-axis direction, the z-axis direction, and the like in the dust collecting hood 20 constituting the dust collecting mechanism 19 of the present invention are as shown in the drawings. However, the + (plus) direction of the x-axis may be called the right direction, and the- (minus) direction of the x-axis may be called the left direction. Further, the + (plus) direction of the y-axis may be referred to as the front direction, and the- (minus) direction of the y-axis may be referred to as the rear direction. Further, the + (plus) direction of the z-axis may be referred to as an upward direction, and the- (minus) direction of the z-axis may be referred to as a downward direction.

図1は、本発明の溝加工ヘッド16の集塵機構19及び溝加工装置1の全体構成を模式的に示す。
図1に示すように、溝加工装置1には、加工の対象となる基板W(例えば、薄膜の太陽電池基板)が載置されるテーブル2が備えられている。テーブル2は、水平面(xy平面)内において、y軸方向に移動することができるようになっている。また、テーブル2は、水平面内で任意の角度に回転することができるようになっている。
FIG. 1 schematically shows the overall configuration of the dust collecting mechanism 19 and the grooving apparatus 1 of the grooving head 16 of the present invention.
As shown in FIG. 1, the grooving apparatus 1 is provided with a table 2 on which a substrate W (for example, a thin-film solar cell substrate) to be processed is placed. The table 2 can be moved in the y-axis direction in the horizontal plane (xy plane). Further, the table 2 can be rotated at an arbitrary angle in the horizontal plane.

テーブル2を備えた本体部3から、支持台4が立設されている。支持台4は、一対の脚部材5と、これらの脚部材5の間をかけ渡すようにx軸方向(左右方向)に設けられた載置台6と、を有している。支持台4の載置台6上には、台座7が2つ設けられている。
2つの台座7には、それぞれカメラ8が取り付けられている。各台座7は支持台4に設けられたx軸方向に延びるガイド9に沿って移動可能である。2つのカメラ8は、上下方向に移動が可能である。各カメラ8で撮影された画像は、対応するモニタ10に表示される。
The support base 4 is erected from the main body portion 3 provided with the table 2. The support base 4 has a pair of leg members 5 and a mounting base 6 provided in the x-axis direction (left-right direction) so as to cross between the leg members 5. Two pedestals 7 are provided on the mounting base 6 of the support base 4.
A camera 8 is attached to each of the two pedestals 7. Each pedestal 7 can move along a guide 9 extending in the x-axis direction provided on the support pedestal 4. The two cameras 8 can move in the vertical direction. The image taken by each camera 8 is displayed on the corresponding monitor 10.

テーブル2を備えた本体部3から、ブリッジ11が立設されている。ブリッジ11は、一対の支持柱12と、これらの支持柱12の間をかけ渡すようにx軸方向に設けられたガイドバー13と、ガイドバー13に形成されたガイド14と、そのガイド14を駆動するモータ15と、を有している。
ブリッジ11は、テーブル2上に載置された基板Wに対して加工を行う溝加工ヘッド16を保持している。溝加工ヘッド16は、ガイド14に沿って水平面内でx軸方向に移動できるようになっている。このガイド14及びモータ15は、テーブル2と溝加工ヘッド16をx軸方向に水平面内で相対的に移動させる移動手段となっている。溝加工装置1は、溝加工ヘッド16を基板Wの上面に平行に移動させ、基板W上に溝を形成する。
A bridge 11 is erected from the main body 3 provided with the table 2. The bridge 11 has a pair of support columns 12, a guide bar 13 provided in the x-axis direction so as to cross between the support columns 12, a guide 14 formed on the guide bar 13, and a guide 14 thereof. It has a motor 15 for driving.
The bridge 11 holds a grooving head 16 for processing the substrate W placed on the table 2. The grooving head 16 can move in the horizontal plane along the guide 14 in the x-axis direction. The guide 14 and the motor 15 are moving means for relatively moving the table 2 and the grooving head 16 in the horizontal plane in the x-axis direction. The grooving apparatus 1 moves the grooving head 16 in parallel with the upper surface of the substrate W to form a groove on the substrate W.

図2〜図4などに示すように、溝加工ヘッド16は、ツール17を用いて基板Wに対してスクライブ加工を行うものである。その溝加工ヘッド16には、ツール17を保持するツールホルダ18が備えられている。ツールホルダ18は、刃先を下方にしてツール17を保持しているものであり、一定間隔で左右方向(x軸方向)に複数並列に配置されている。この溝加工ヘッド16には、基板Wに対してスクライブ加工を行っている際、空気を吸引することで、粉塵を基板Wの表面に付着する前に取り去る集塵機構19が設けられている。 As shown in FIGS. 2 to 4, the grooving head 16 performs scribe processing on the substrate W using the tool 17. The grooving head 16 is provided with a tool holder 18 for holding the tool 17. The tool holder 18 holds the tool 17 with the cutting edge facing downward, and a plurality of tool holders 18 are arranged in parallel in the left-right direction (x-axis direction) at regular intervals. The grooving head 16 is provided with a dust collecting mechanism 19 that removes dust before adhering to the surface of the substrate W by sucking air during scribe processing on the substrate W.

図2に、本発明にかかる集塵機構19を構成する集塵フード20を上下方向(z軸方向)に分解した図を示す。図3に、本発明の集塵フード20の右側面図を示す。図4に、本発明の集塵フード20のA−A断面図を示す。
本発明にかかる集塵機構19は、溝加工ヘッド16の下部に設けられていて、ツール17を用いて基板Wをスクライブしたときに発生する粉塵を空気と共に吸引する集塵フード20と、集塵フード20からの粉塵を含む空気が通過するダクト21と、ダクト21を通過した空気を吸引して、粉塵を収集する集塵機(図示せず)と、を有している。
FIG. 2 shows a diagram in which the dust collecting hood 20 constituting the dust collecting mechanism 19 according to the present invention is disassembled in the vertical direction (z-axis direction). FIG. 3 shows a right side view of the dust collecting hood 20 of the present invention. FIG. 4 shows a cross-sectional view taken along the line AA of the dust collecting hood 20 of the present invention.
The dust collecting mechanism 19 according to the present invention is provided at the lower part of the groove processing head 16, and includes a dust collecting hood 20 that sucks dust generated when the substrate W is screened by using the tool 17 together with air, and a dust collecting hood. It has a duct 21 through which air containing dust from 20 passes, and a dust collector (not shown) that sucks air that has passed through the duct 21 and collects dust.

図5に、本発明の集塵フード20が取り付けられるベースプレート22の平面図及びB−B断面図を示す。
図2〜図5などに示すように、溝加工ヘッド16の下面には、ベースプレート22(底面板)が締結具などを介して取り付けられている。このベースプレート22の下面には、集塵フード20が取り付けられる。
FIG. 5 shows a plan view and a cross-sectional view of the base plate 22 to which the dust collecting hood 20 of the present invention is attached.
As shown in FIGS. 2 to 5, a base plate 22 (bottom plate) is attached to the lower surface of the grooving head 16 via a fastener or the like. A dust collecting hood 20 is attached to the lower surface of the base plate 22.

ベースプレート22は、前後方向(y軸方向)に対して左右方向(x軸方向)に長い平板材で形成されている。ベースプレート22は、所定の厚み及び広さを有する平板材である。このベースプレート22は、例えば、鋼材やアルミなどの硬質の材料で形成されている。ベースプレート22は、上下方向に貫通しダクト21と連通する送通口23と、上下方向に貫通しツールホルダ18が通過する長孔部24と、を有している。 The base plate 22 is formed of a flat plate material that is long in the left-right direction (x-axis direction) with respect to the front-rear direction (y-axis direction). The base plate 22 is a flat plate material having a predetermined thickness and width. The base plate 22 is made of a hard material such as steel or aluminum. The base plate 22 has a transmission port 23 that penetrates in the vertical direction and communicates with the duct 21, and an elongated hole portion 24 that penetrates in the vertical direction and passes through the tool holder 18.

送通口23は、ベースプレート22の左右両端部に、一定間隔をあけて左右一対設けられている。つまり、送通口23は、ベースプレート22の長孔部24の左右外側に一対設けられている。これら2つの送通口23は、平面視で円形状の貫通孔であり、内径はダクト21の内径と略同じ径である。左側の送通口23aには、左側のダクト21が傾けて取り付けられている。右側の送通口23bには、右側のダクト21が傾けて取り付けられている。つまり、送通口23とダクト21は、連通状態となっていて、吸引された空気が通過することができる。 A pair of left and right transmission ports 23 are provided at both left and right ends of the base plate 22 at regular intervals. That is, a pair of transmission ports 23 are provided on the left and right outer sides of the elongated hole portion 24 of the base plate 22. These two transmission ports 23 are circular through holes in a plan view, and the inner diameter is substantially the same as the inner diameter of the duct 21. A duct 21 on the left side is tilted and attached to the transmission port 23a on the left side. A duct 21 on the right side is tilted and attached to the transmission port 23b on the right side. That is, the transmission port 23 and the duct 21 are in a communicating state, and the sucked air can pass through.

このダクト21には、図示しないが、集塵機のブロアが連結されている。集塵機は、ダクト21より空気を吸引するものである。なお、集塵機を用いてもよいし、ブロア単体で使用してもよい。
長孔部24は、ベースプレート22の中央(左右一対の送通口23の内側)において、上下方向に貫通し且つ長手方向に沿って長い孔とされている。つまり、長孔部24は、左右方向に長い平面視で矩形状の貫通孔である。この長孔部24は、左右方向に複数並列に配置されたツールホルダ18より十分に広いものとなっている。これにより、ツールホルダ18は、長孔部24において上下方向に移動することができる。
Although not shown, a dust collector blower is connected to the duct 21. The dust collector sucks air from the duct 21. A dust collector may be used, or the blower alone may be used.
The elongated hole portion 24 is formed as a hole that penetrates in the vertical direction and is long along the longitudinal direction at the center of the base plate 22 (inside the pair of left and right transmission ports 23). That is, the elongated hole portion 24 is a through hole having a rectangular shape in a plan view that is long in the left-right direction. The elongated hole portion 24 is sufficiently wider than the tool holders 18 arranged in parallel in the left-right direction. As a result, the tool holder 18 can be moved in the vertical direction in the elongated hole portion 24.

さて、本発明は、基板Wの表面に付着する前に粉塵を取り去る「集塵フード20」に特徴がある。集塵フード20は、空気が流通するプレートを複数積層して構成したものである。
つまり、本発明の集塵フード20は、4枚のプレート25,30,34,37が積層された構成であり、それぞれのプレート25,30,34,37に形成された吸引空気通路の構成に特徴がある。この集塵フード20内に形成された吸引空気通路により、基板Wの表面に付着する前に、さらに効果的に粉塵を取り去ることができるようになっている。
The present invention is characterized by a "dust collecting hood 20" that removes dust before adhering to the surface of the substrate W. The dust collecting hood 20 is formed by laminating a plurality of plates through which air flows.
That is, the dust collecting hood 20 of the present invention has a configuration in which four plates 25, 30, 34, 37 are laminated, and has a configuration of suction air passages formed in the respective plates 25, 30, 34, 37. There is a feature. The suction air passage formed in the dust collecting hood 20 makes it possible to more effectively remove the dust before it adheres to the surface of the substrate W.

図6に、本発明の集塵フード20を構成する第1プレート25の平面図及びC−C断面図を示す。
図2〜図4、図6などに示すように、集塵フード20を構成する複数のプレートの少なくとも一つは、ベースプレート22の下面に設けられ、吸引された空気をベースプレート22の送通口23を介してダクト21へと送通する第1プレート25である。
FIG. 6 shows a plan view and a cross-sectional view of CC of the first plate 25 constituting the dust collecting hood 20 of the present invention.
As shown in FIGS. 2 to 4, 6 and the like, at least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood 20 is provided on the lower surface of the base plate 22, and the sucked air is sent to the air outlet 23 of the base plate 22. This is the first plate 25 that is sent to the duct 21 via the above.

第1プレート25は、ベースプレート22の下面に積層されるように取り付けられる板材である。第1プレート25は、吸引された空気をベースプレート22の送通口23を介してダクト21へと送通する。
第1プレート25は、前後方向(y軸方向)に対して左右方向(x軸方向)に長い平板材で形成されている。また、第1プレート25は、所定の厚み及び広さを有する平板材である。第1プレート25は、例えば鋼材やアルミなどの硬質の材料で形成されている。
The first plate 25 is a plate material that is attached so as to be laminated on the lower surface of the base plate 22. The first plate 25 sends the sucked air to the duct 21 through the transmission port 23 of the base plate 22.
The first plate 25 is formed of a flat plate material that is long in the left-right direction (x-axis direction) with respect to the front-rear direction (y-axis direction). The first plate 25 is a flat plate material having a predetermined thickness and width. The first plate 25 is made of a hard material such as steel or aluminum.

第1プレート25は、上下方向に貫通し吸引された空気が通過する第1通気口26と、第1通気口26と連通し、吸引された空気をベースプレート22の送通口23へと案内する第1通路27と、ベースプレート22の長孔部24と連通し、ツールホルダ18が通過する大きさとされた第1長孔部28と、を有している。
第1通気口26は、平面視で、第1長孔部28の外側であって、第1プレート25の長手方向中央に設けられている。つまり、第1通気口26は、左右方向に長い第1通路27の中央に設けられている。
The first plate 25 communicates with the first vent 26 through which the sucked air passes in the vertical direction and the first vent 26, and guides the sucked air to the air outlet 23 of the base plate 22. It has a first passage 27 and a first elongated hole 28 that communicates with the elongated hole 24 of the base plate 22 and has a size that allows the tool holder 18 to pass through.
The first vent 26 is provided outside the first elongated hole 28 in a plan view and at the center of the first plate 25 in the longitudinal direction. That is, the first vent 26 is provided in the center of the first passage 27 which is long in the left-right direction.

本実施形態においては、第1通気口26は、一定間隔で4つ設けられている。詳しくは、第1通気口26は、第1長孔部28を囲う前側壁29aより前側に2つ、左右方向に一定間隔で設けられている。また、第1通気口26は、第1長孔部28を囲う後側壁29bより後側に2つ、左右方向に一定間隔で設けられている。
つまり、前側の第1通気口26aと、後側の第1通気口26bは、第1長孔部28を挟んで前後(y軸方向)に設けられている。この前側の第1通気口26aと、後側の第1通気口26bは、左右方向に同じ間隔で設けられている。これら4つの第1通気口26a,26bは、平面視で円形状の貫通孔であり、略同じ大きさである。
In the present embodiment, four first vents 26 are provided at regular intervals. Specifically, two first vents 26 are provided on the front side of the front side wall 29a surrounding the first elongated hole 28 at regular intervals in the left-right direction. Further, two first vents 26 are provided on the rear side of the rear side wall 29b surrounding the first elongated hole 28 at regular intervals in the left-right direction.
That is, the first vent 26a on the front side and the first vent 26b on the rear side are provided in the front-rear direction (y-axis direction) with the first elongated hole portion 28 interposed therebetween. The front first vent 26a and the rear first vent 26b are provided at the same interval in the left-right direction. These four first vents 26a and 26b are circular through holes in a plan view and have substantially the same size.

第1通気口26を、第1プレート25の長手方向中央に設けることで、第1プレート25内の風速のバラツキが抑制される。
第1通路27は、左右一対の送通口23a,23bと連通するものである。第1通路27は、第1プレート25に彫り込まれ、上方(z軸の+方向)が開放された溝である。この第1通路27は、第1通気口26と連通状態となるように設けられている(図6のC−C断面図参照)。第1通路27は、左側の送通口23aの下側から、右側の送通口23bの下側まで、左右方向(x軸方向)に延設された長い溝となっている。
By providing the first vent 26 in the center of the first plate 25 in the longitudinal direction, the variation in the wind speed in the first plate 25 is suppressed.
The first passage 27 communicates with a pair of left and right transmission ports 23a and 23b. The first passage 27 is a groove carved into the first plate 25 and open upward (+ direction of the z-axis). The first passage 27 is provided so as to communicate with the first vent 26 (see the CC sectional view of FIG. 6). The first passage 27 is a long groove extending in the left-right direction (x-axis direction) from the lower side of the left side transmission port 23a to the lower side of the right side transmission port 23b.

本実施形態においては、第1通路27は、側壁29に囲われた第1長孔部28の外周を周回するような通路である。また、第1通路27は、第1長孔部28を囲う側壁29によって、その第1長孔部28と隔離されている。
第1通路27は、前側の第1通気口26aと連通する前側通路27aと、後側の第1通気口26bと連通する後側通路27bと、前側通路27aと後側通路27bを繋げて送通口23へ空気を送るための連結通路27cと、を有している。
In the present embodiment, the first passage 27 is a passage that goes around the outer circumference of the first elongated hole 28 surrounded by the side wall 29. Further, the first passage 27 is isolated from the first elongated hole 28 by a side wall 29 surrounding the first elongated hole 28.
The first passage 27 connects the front passage 27a that communicates with the first vent 26a on the front side, the rear passage 27b that communicates with the first vent 26b on the rear side, and the front passage 27a and the rear passage 27b. It has a connecting passage 27c for sending air to the through port 23.

前側通路27aは、左右方向に長い通路である。前側通路27aの前後方向の長さは、第1通気口26aの直径と同じものとなっている。前側通路27aと第1通気口26aは、互いに連通した状態で設けられている。
後側通路27bは、左右方向に長い通路である。後側通路27bの前後方向の長さは、第1通気口26bの直径と同じものとなっている。後側通路27bと第1通気口26bは、互いに連通した状態で設けられている。
The front passage 27a is a passage that is long in the left-right direction. The length of the front passage 27a in the front-rear direction is the same as the diameter of the first vent 26a. The front passage 27a and the first vent 26a are provided so as to communicate with each other.
The rear passage 27b is a passage that is long in the left-right direction. The length of the rear passage 27b in the front-rear direction is the same as the diameter of the first vent 26b. The rear passage 27b and the first vent 26b are provided so as to communicate with each other.

連結通路27cは、前側通路27aと後側通路27bの左右両端側に設けられている。左側の連結通路27cは、前側通路27aの左端と後側通路27bの左端とを繋げて互いに連通した状態となっている。左側の連結通路27cの左端部は、左側の送通口23aと互いに連通した状態で設けられている。
また、右側の連結通路27cは、前側通路27aの右端と後側通路27bの右端とを繋げて互いに連通した状態となっている。右側の連結通路27cの右端部は、右側の送通口23bと互いに連通した状態で設けられている。
The connecting passage 27c is provided on both the left and right ends of the front passage 27a and the rear passage 27b. The left connecting passage 27c connects the left end of the front passage 27a and the left end of the rear passage 27b and communicates with each other. The left end of the connecting passage 27c on the left side is provided so as to communicate with the transmission port 23a on the left side.
Further, the connecting passage 27c on the right side connects the right end of the front passage 27a and the right end of the rear passage 27b and communicates with each other. The right end of the connecting passage 27c on the right side is provided so as to communicate with the transmission port 23b on the right side.

すなわち、第1通気口26から流入した空気は、第1通路27を通過して、上方の送通口23からダクト21へ流出する。
第1長孔部28は、第1プレート25の中央に設けられ、上下方向に貫通し長手方向に沿って長い孔とされている。つまり、第1長孔部28は、平面視で左右方向に長い矩形状の貫通孔である。第1長孔部28の開口の大きさは、ベースプレート22の長孔部24の開口と同じ大きさとなっている。
That is, the air flowing in from the first ventilation port 26 passes through the first passage 27 and flows out from the upper transmission port 23 to the duct 21.
The first elongated hole portion 28 is provided in the center of the first plate 25, penetrates in the vertical direction, and is formed as a long hole in the longitudinal direction. That is, the first elongated hole portion 28 is a rectangular through hole that is long in the left-right direction in a plan view. The size of the opening of the first elongated hole 28 is the same as the opening of the elongated hole 24 of the base plate 22.

すなわち、第1長孔部28は、左右方向に複数並列に配置されたツールホルダ18より十分に広いものとなっている。この第1長孔部28は、長孔部24と突き合せられて配備され、互いに連通した状態となっている。これにより、ツールホルダ18は、第1長孔部28において上下方向に移動することができる。
また、第1長孔部28は、上方向(z軸の+方向)に立設された側壁29によって、周囲が囲われている。すなわち、第1長孔部28の側壁29の内面と、長孔部24の内壁面は、面一の状態となっている。つまり、第1長孔部28は、長孔部24と突き合わされて配備され、その長孔部24と連通する。
That is, the first elongated hole portion 28 is sufficiently wider than the tool holders 18 arranged in parallel in the left-right direction. The first elongated hole portion 28 is arranged so as to be abutted against the elongated hole portion 24, and is in a state of communicating with each other. As a result, the tool holder 18 can move in the vertical direction in the first elongated hole portion 28.
Further, the first elongated hole portion 28 is surrounded by a side wall 29 erected in the upward direction (+ direction of the z-axis). That is, the inner surface of the side wall 29 of the first elongated hole 28 and the inner wall surface of the elongated hole 24 are flush with each other. That is, the first elongated hole portion 28 is abutted against the elongated hole portion 24 and is deployed, and communicates with the elongated hole portion 24.

すなわち、第1プレート25に、第1通気口26を第1通路27の長手方向中央に設ける(本実施形態においては、円形状の第1通気口26を、第1通路27の長手方向中央において前後に2つずつの合計4つ設けた)ことによって、ダクト21(ホース)からの負圧を第1通路27の長手方向中央に伝えるようにして、ベースプレート22の送通口23からの距離の差異に起因する各ツール17の近傍における風速(出口の風速)のバラツキを抑えることができる。 That is, the first plate 25 is provided with the first vent 26 at the center of the first passage 27 in the longitudinal direction (in the present embodiment, the circular first vent 26 is provided at the center of the first passage 27 in the longitudinal direction. The negative pressure from the duct 21 (hose) is transmitted to the center of the first passage 27 in the longitudinal direction by providing a total of four, two in the front and the back), and the distance from the transmission port 23 of the base plate 22. It is possible to suppress variations in the wind speed (wind speed at the outlet) in the vicinity of each tool 17 due to the difference.

詳しくは、ダクト21に近い位置(ツールホルダ18の左右端部)のツール17付近における空気の流速が高くなり、ダクト21から遠い位置(ツールホルダ18の中央部)ツール17付近の流速が低くなってしまう不具合を抑制することができるようになる。
すなわち、第1通気口26を第1通路27(第1プレート25)の長手方向中央に設けることで、各ツール17との距離の差異が小さい位置に設けた第1通気口26を介して空気を吸引することにより、空気を吸引する際の各ツール17の近傍における風速のバラツキを抑制することができる。
Specifically, the flow velocity of air near the tool 17 at a position near the duct 21 (left and right ends of the tool holder 18) increases, and the flow velocity near the tool 17 at a position far from the duct 21 (center of the tool holder 18) decreases. It becomes possible to suppress the trouble that occurs.
That is, by providing the first vent 26 in the center of the first passage 27 (first plate 25) in the longitudinal direction, air is provided through the first vent 26 provided at a position where the difference in distance from each tool 17 is small. By sucking air, it is possible to suppress variations in wind speed in the vicinity of each tool 17 when sucking air.

図7に、本発明の集塵フード20を構成する第2プレート30の平面図及びD−D断面図を示す。
図2〜図4、図7などに示すように、集塵フード20を構成する複数のプレートの少なくとも一つは、ベースプレート22の下面側に設けられ、吸引された空気を第1プレート25へと送通する第2プレート30である。
FIG. 7 shows a plan view and a DD cross-sectional view of the second plate 30 constituting the dust collecting hood 20 of the present invention.
As shown in FIGS. 2, 4, 7, and the like, at least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood 20 is provided on the lower surface side of the base plate 22, and the sucked air is transferred to the first plate 25. The second plate 30 to be transmitted.

第2プレート30は、第1プレート25の下面に積層されるように取り付けられる板材である。第2プレート30は、上下方向に貫通し吸引された空気が通過する第2通気口31と、第1長孔部28と連通しツールホルダ18が通過する大きさとされた第2長孔部32と、を有している。
第2通気口31は、第2プレート30の長手方向中央に設けられている。この第2通気口31は、上下方向に貫通し長手方向に沿って長い孔である。つまり、第2通気口31は、平面視で左右方向に長い矩形状の貫通孔である。第2通気口31は、左右方向に長い第2長孔部32の前側と後側のそれぞれに設けられている。つまり、第2通気口31は、平面視で、第2長孔部32を挟んで前後(y軸方向)に一対設けられている。
The second plate 30 is a plate material that is attached so as to be laminated on the lower surface of the first plate 25. The second plate 30 has a second vent 31 through which air sucked through in the vertical direction passes, and a second elongated hole 32 having a size that allows the tool holder 18 to pass through the first elongated hole 28 and the tool holder 18. And have.
The second vent 31 is provided at the center of the second plate 30 in the longitudinal direction. The second vent 31 is a hole that penetrates in the vertical direction and is long along the longitudinal direction. That is, the second vent 31 is a rectangular through hole that is long in the left-right direction in a plan view. The second vent 31 is provided on each of the front side and the rear side of the second elongated hole portion 32 which is long in the left-right direction. That is, a pair of second vents 31 are provided in the front-rear direction (y-axis direction) with the second elongated hole portion 32 interposed therebetween in a plan view.

第2通気口31の前後方向の長さは、第1通気口26の直径と同じものとなっている。第2通気口31は、第1通気口26と突き合せられて配備され、互いに連通した状態となっている。すなわち、前側の第2通気口31aは、前側の第1通気口26aと突き合せられて配備され、互いに連通した状態となっている。また、後側の第2通気口31bは、後側の第1通気口26bと突き合せられて配備され、互いに連通した状態となっている。 The length of the second vent 31 in the front-rear direction is the same as the diameter of the first vent 26. The second vent 31 is arranged so as to be abutted against the first vent 26, and is in a state of communicating with each other. That is, the second vent 31a on the front side is arranged so as to abut against the first vent 26a on the front side, and is in a state of communicating with each other. Further, the second vent 31b on the rear side is arranged so as to be abutted against the first vent 26b on the rear side, and is in a state of communicating with each other.

ところで、第2通気口31は、上方向(z軸の+方向)に真っ直ぐに貫通した孔ではなく、斜め上方向を向いて貫通した孔である。
詳しくは、前側の第2通気口31aは、左右方向に長く互いに対面する一対の前壁面33aと後壁面33bが、上下方向の軸心に対して前外側に傾斜した傾斜面とされている。また、後側の第2通気口31bは、左右方向に長く互いに対面する一対の前壁面33cと後壁面33dが、上下方向の軸心に対して後外側に傾斜した傾斜面33とされている。その傾斜面33は、上下方向の軸心に対して外側に45°傾斜した面であるとよい。
By the way, the second vent 31 is not a hole that penetrates straight in the upward direction (+ direction of the z-axis), but a hole that penetrates diagonally upward.
Specifically, the second vent 31a on the front side has a pair of front wall surfaces 33a and rear wall surfaces 33b that are long in the left-right direction and face each other, and are inclined surfaces that are inclined forward and outward with respect to the axial center in the vertical direction. Further, the second vent 31b on the rear side is a pair of front wall surfaces 33c and rear wall surfaces 33d that are long in the left-right direction and face each other, and are inclined surfaces 33 that are inclined rearward and outward with respect to the axial center in the vertical direction. .. The inclined surface 33 may be a surface inclined by 45 ° outward with respect to the vertical axis.

例えば、図7のD−D断面図に示すように、第2プレート30の前側に設けられた第2通気口31aの前壁面33aは、下端から上端に向かうに連れて前方(y軸の+方向)に傾斜して設けられている。また、第2通気口31aの後壁面33bは、前壁面と同じ角度で、下端から上端に向かうに連れて前方に傾斜して設けられている。つまり、第2通気口31aの前壁面33aと後壁面33bは、同じ角度で前方へ傾斜していて、並行して設けられている。 For example, as shown in the DD cross-sectional view of FIG. 7, the front wall surface 33a of the second vent 31a provided on the front side of the second plate 30 is forward (+ on the y-axis) from the lower end to the upper end. It is provided at an angle in the direction). Further, the rear wall surface 33b of the second vent 31a is provided so as to be inclined forward at the same angle as the front wall surface from the lower end to the upper end. That is, the front wall surface 33a and the rear wall surface 33b of the second vent 31a are inclined forward at the same angle and are provided in parallel.

一方、第2プレート30の後側に設けられた第2通気口31bの前壁面33cは、下端から上端に向かうに連れて後方(y軸の−方向)に傾斜して設けられている。また、第2通気口31bの後壁面33dは、前壁面と同じ角度で、下端から上端に向かうに連れて後方に傾斜して設けられている。つまり、第2通気口31bの前壁面33cと後壁面33dは、同じ角度で後方へ傾斜していて、並行して設けられている。 On the other hand, the front wall surface 33c of the second vent 31b provided on the rear side of the second plate 30 is provided so as to be inclined rearward (in the − direction of the y-axis) from the lower end toward the upper end. Further, the rear wall surface 33d of the second vent 31b is provided so as to be inclined rearward from the lower end to the upper end at the same angle as the front wall surface. That is, the front wall surface 33c and the rear wall surface 33d of the second vent 31b are inclined rearward at the same angle and are provided in parallel.

これら前側の第2通気口31aと後側の第2通気口31bは、側方断面視で、上方に向かうに連れて広がるように設けられている。第2通気口31の上端は、第1通気口26に対応する位置に設けられている。一方、第2通気口31の下端は、後述する第3通気口35に対応する位置に設けられている。
第2長孔部32は、第2プレート30の中央に設けられている。第2長孔部32は、上下方向に貫通し長手方向に沿って長い孔とされている。つまり、第2長孔部32は、平面視で左右方向に長い矩形状の貫通孔である。第2長孔部32は、第1長孔部28と突き合わされて配備され、その第1長孔部28と連通する。
The front second vent 31a and the rear second vent 31b are provided so as to expand upward in a lateral cross-sectional view. The upper end of the second vent 31 is provided at a position corresponding to the first vent 26. On the other hand, the lower end of the second vent 31 is provided at a position corresponding to the third vent 35, which will be described later.
The second elongated hole portion 32 is provided in the center of the second plate 30. The second elongated hole portion 32 penetrates in the vertical direction and is formed as a long hole along the longitudinal direction. That is, the second elongated hole portion 32 is a rectangular through hole that is long in the left-right direction in a plan view. The second elongated hole portion 32 is arranged so as to be abutted against the first elongated hole portion 28, and communicates with the first elongated hole portion 28.

詳しくは、第2長孔部32の左右方向(x軸方向)においては、上端開口と下端開口は同じ長さとなっている。また、第2長孔部32の上側開口は、第1長孔部28の下側開口と同じ大きさとされている。つまり、第2長孔部32の上端開口は、左右方向に複数並列に配置されたツールホルダ18より十分に広いものとなっている。
一方、第2長孔部32の前後方向(y軸方向)においては、上端開口より下端開口が狭くなっている。つまり、第2長孔部32の上端開口と下端開口は、異なる大きさとなっている。この第2長孔部32の下端開口は、ツールホルダ18の先端(下端)に取り付けられたツール17のみが移動することができる大きさとなっている。
Specifically, in the left-right direction (x-axis direction) of the second elongated hole portion 32, the upper end opening and the lower end opening have the same length. Further, the upper opening of the second elongated hole portion 32 has the same size as the lower opening of the first elongated hole portion 28. That is, the upper end opening of the second elongated hole portion 32 is sufficiently wider than the tool holders 18 arranged in parallel in the left-right direction.
On the other hand, in the front-rear direction (y-axis direction) of the second elongated hole portion 32, the lower end opening is narrower than the upper end opening. That is, the upper end opening and the lower end opening of the second elongated hole portion 32 have different sizes. The lower end opening of the second elongated hole portion 32 has a size that allows only the tool 17 attached to the tip (lower end) of the tool holder 18 to move.

すなわち、第2長孔部32の前壁面は、下端から上端に向かうに連れて前方(y軸の+方向)に傾斜して設けられている。一方、第2長孔部32の後壁面は、下端から上端に向かうに連れて後方(y軸の−方向)に傾斜して設けられている。この第2長孔部32の前壁面と後壁面は、側方断面視で、上方に向かうに連れて広がるように設けられている。
第2長孔部32が下方に向かうに連れて絞り込まれた形状であることにより、ツールホルダ18は、第2長孔部32までの移動となる。その一方で、ツール17は、第2長孔部32において上下方向に移動することができる。
That is, the front wall surface of the second elongated hole portion 32 is provided so as to be inclined forward (in the + direction of the y-axis) from the lower end toward the upper end. On the other hand, the rear wall surface of the second elongated hole portion 32 is provided so as to be inclined rearward (in the − direction of the y-axis) from the lower end toward the upper end. The front wall surface and the rear wall surface of the second elongated hole portion 32 are provided so as to expand upward in a lateral cross-sectional view.
Since the second elongated hole portion 32 has a shape narrowed downward, the tool holder 18 moves to the second elongated hole portion 32. On the other hand, the tool 17 can move in the vertical direction in the second elongated hole portion 32.

すなわち、第2プレート30に、吸引した空気が通過する第2通気口31を前後一対設け、前側の第2通気口31aに前側(y軸の+方向)に傾斜した傾斜面33a,33bを形成し、後側の第2通気口31bに後側に傾斜した傾斜面33c,33dを形成し、その傾斜面33a〜33dの傾斜を所定の角度(好ましくは45°がよい。)にして、空気の流通経路を側方断面視でテーパ形状に設けることで、第2通気口31の出口付近までの空気の流通経路を拡幅することができるので、空気を誘導して整流効果を向上させ、吸引される空気の失速を抑えることができる。すなわち、全体的に吸引される空気の流速を上げる(全般の吸引力を向上させる)ことができる。 That is, a pair of front and rear second vents 31 through which the sucked air passes are provided in the second plate 30, and inclined surfaces 33a and 33b inclined in the front side (+ direction of the y-axis) are formed in the second vents 31a on the front side. Then, inclined surfaces 33c and 33d inclined to the rear side are formed in the second vent 31b on the rear side, and the inclination of the inclined surfaces 33a to 33d is set to a predetermined angle (preferably 45 °), and the air is aired. By providing the flow path of the air in a tapered shape in a lateral cross-sectional view, the air flow path to the vicinity of the outlet of the second vent 31 can be widened, so that the air is guided to improve the rectification effect and suction. It is possible to suppress the stall of the air to be generated. That is, it is possible to increase the flow velocity of the air sucked as a whole (improve the overall suction force).

図8に、本発明の集塵フード20を構成する第3プレート34の平面図及びE−E断面図を示す。
図2〜図4、図8などに示すように、集塵フード20を構成する複数のプレートの少なくとも一つは、ベースプレート22の下面側に取り付けられ、吸引された空気を第2プレート30へと送通する第3プレート34である。
FIG. 8 shows a plan view and a sectional view of EE of the third plate 34 constituting the dust collecting hood 20 of the present invention.
As shown in FIGS. 2, 4, 8, and the like, at least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood 20 is attached to the lower surface side of the base plate 22, and the sucked air is transferred to the second plate 30. It is the third plate 34 to be transmitted.

第3プレート34は、左右方向に長く且つ、第2プレート30の下面に積層されるように取り付けられる板材である。第3プレート34は、上下方向に貫通し、吸引された空気が通過する第3通気口35と、第2長孔部32と連通し、ツール17のみが移動することができる大きさとされた第3孔部36と、を有している。
第3通気口35は、第2通気口31と連通し且つ、当該第2通気口31の下端開口と同じ大きさとされている。
The third plate 34 is a plate material that is long in the left-right direction and is attached so as to be laminated on the lower surface of the second plate 30. The third plate 34 penetrates in the vertical direction and communicates with the third vent 35 through which the sucked air passes and the second elongated hole portion 32, so that only the tool 17 can move. It has three holes 36 and.
The third vent 35 communicates with the second vent 31 and has the same size as the lower end opening of the second vent 31.

第3通気口35は、第3プレート34の長手方向中央に設けられている。この第3通気口35は、上下方向に貫通し長手方向に沿って長い孔である。つまり、第3通気口35は、平面視で左右方向に長い矩形状の貫通孔である。第3通気口35は、左右方向に複数設けられた第3孔部36の前側と後側のそれぞれに設けられている。つまり、第3通気口35は、複数の第3孔部36を挟んで前後(y軸方向)に一対設けられている。 The third vent 35 is provided at the center of the third plate 34 in the longitudinal direction. The third vent 35 is a hole that penetrates in the vertical direction and is long along the longitudinal direction. That is, the third vent 35 is a rectangular through hole that is long in the left-right direction in a plan view. The third vents 35 are provided on the front side and the rear side of each of the plurality of third hole portions 36 provided in the left-right direction. That is, a pair of third vents 35 are provided in the front-rear direction (y-axis direction) with the plurality of third hole portions 36 interposed therebetween.

第3通気口35の開口の大きさは、第2通気口31の開口と同じ大きさとなっている。つまり、第3通気口35は、第2プレート30の設けられた傾斜状の第2通気口31に対応する長孔である。
第3通気口35は、第2通気口31と突き合せられて配備され、互いに連通した状態となっている。すなわち、前側の第3通気口35aは、前側の第2通気口31aと突き合せられて配備され、互いに連通した状態となっている。また、後側の第3通気口35bは、後側の第2通気口31bと突き合せられて配備され、互いに連通した状態となっている。
The size of the opening of the third vent 35 is the same as the opening of the second vent 31. That is, the third vent 35 is an elongated hole corresponding to the inclined second vent 31 provided on the second plate 30.
The third vent 35 is arranged so as to abut against the second vent 31 and is in a state of communicating with each other. That is, the front third vent 35a is arranged so as to abut against the front second vent 31a and is in a state of communicating with each other. Further, the third vent 35b on the rear side is arranged so as to be abutted against the second vent 31b on the rear side, and is in a state of communicating with each other.

第3孔部36は、左右方向に複数並べられたツール17に対応するように、左右方向に複数並列して設けられている。具体的には、第3孔部36は、ツール17のみが移動可能な小さい内径のツール孔部である。ツール孔部36は、平面視で円形状の貫通孔であり、ツール17の直径より少し大きい径であるとよい。このツール孔部36は、ツール17周辺の空気を吸引することを防ぐため、孔の直径を小径とする。そのツール孔部36は、ツール17の個数分、長手方向に複数設けられている。 A plurality of third hole portions 36 are provided in parallel in the left-right direction so as to correspond to a plurality of tools 17 arranged in the left-right direction. Specifically, the third hole 36 is a tool hole having a small inner diameter so that only the tool 17 can move. The tool hole portion 36 is a circular through hole in a plan view, and may have a diameter slightly larger than the diameter of the tool 17. The tool hole portion 36 has a small hole diameter in order to prevent suction of air around the tool 17. A plurality of tool holes 36 are provided in the longitudinal direction as many as the number of tools 17.

すなわち、第3プレート34に、ツール17のみが移動可能な小径のツール孔部36と、第2通気口31と互いに連通する第3通気口35を設けることよって、ツールホルダ18及びツール17本体側を収容している長孔部24、第1長孔部28及び第2長孔部32からの空気の流量を抑制し且つ、第3通気口35側に空気を誘導することができ、ツール17先端付近での空気の流速を上昇させることができる。なお、ツールホルダ18及びツール17本体側を収容している長孔部24、第1長孔部28及び第2長孔部32は、大気に開放され又は正圧に保たれており、ツール17の本体とツール孔部36の隙間を介して後述する第4通路39内に空気が流入するため、ツール17の先端側からの粉塵を含む空気がツールホルダ18側に流入することを防止している。 That is, the tool holder 18 and the tool 17 main body side are provided on the third plate 34 with a small-diameter tool hole 36 in which only the tool 17 can move and a third vent 35 that communicates with the second vent 31. It is possible to suppress the flow rate of air from the elongated hole portion 24, the first elongated hole portion 28, and the second elongated hole portion 32, and to guide the air to the third vent 35 side, and the tool 17 The flow velocity of air near the tip can be increased. The elongated hole portion 24, the first elongated hole portion 28, and the second elongated hole portion 32 accommodating the tool holder 18 and the tool 17 main body side are opened to the atmosphere or maintained at a positive pressure, and the tool 17 is provided. Since air flows into the fourth passage 39, which will be described later, through the gap between the main body and the tool hole 36, it is possible to prevent air containing dust from the tip side of the tool 17 from flowing into the tool holder 18 side. There is.

図9に、本発明の集塵フード20を構成する第4プレート37の平面図及びF−F断面図を示す。
図2〜図4、図9などに示すように、集塵フード20を構成する複数のプレートの少なくとも一つは、ベースプレート22の下面に取り付けられ、吸引された空気を第3プレート34へと送通する第4プレート37である。
FIG. 9 shows a plan view and a sectional view of FF of the fourth plate 37 constituting the dust collecting hood 20 of the present invention.
As shown in FIGS. 2, 4, 9, and the like, at least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood 20 is attached to the lower surface of the base plate 22, and the sucked air is sent to the third plate 34. The fourth plate 37 to be passed through.

第4プレート37は、左右方向に長く且つ、第3プレート34の下面側に積層されるように取り付けられる板材である。第4プレート37は、上下方向に貫通しスクライブ加工される基板Wの周辺の空気を吸い込む第4通気口38(吸引口)と、第4通気口38と連通し、吸引された空気を案内する第4通路39と、を有している。
吸引口38は、第4プレート37の中央に設けられている。吸引口38は、上下方向に貫通し長手方向に沿って長い孔とされている。つまり、吸引口38は、平面視で左右方向に長い矩形状の貫通孔である。吸引口38は、第3通気口35の下方に設けられている。
The fourth plate 37 is a plate material that is long in the left-right direction and is attached so as to be laminated on the lower surface side of the third plate 34. The fourth plate 37 communicates with the fourth vent 38 (suction port) that penetrates in the vertical direction and sucks the air around the substrate W to be scribed, and the fourth vent 38 to guide the sucked air. It has a fourth passage 39 and.
The suction port 38 is provided in the center of the fourth plate 37. The suction port 38 penetrates in the vertical direction and has a long hole along the longitudinal direction. That is, the suction port 38 is a rectangular through hole that is long in the left-right direction in a plan view. The suction port 38 is provided below the third vent 35.

吸引口38の前後方向(y軸方向)の長さは、ツール孔部36(ツール17)の直径より少し大きいものとなっている。吸引口38の左右方向(x軸方向)の長さは、左右方向に複数並べられたツール孔部36より大きいものとなっている。
すなわち、吸引口38は、ツール孔部36からのツール17が移動すると共に、ツール17がスクライブ加工する基板Wの周辺の空気が吸い込まれる。なお、吸引口38の大きさについては、適宜変更可能である。
The length of the suction port 38 in the front-rear direction (y-axis direction) is slightly larger than the diameter of the tool hole portion 36 (tool 17). The length of the suction port 38 in the left-right direction (x-axis direction) is larger than the tool holes 36 arranged in the left-right direction.
That is, the suction port 38 moves the tool 17 from the tool hole 36, and at the same time, the air around the substrate W to be scribed by the tool 17 is sucked. The size of the suction port 38 can be changed as appropriate.

第4通路39は、第4プレート37に彫り込まれ、上方(z軸の+方向)が開放された溝である。この第4通路39は、吸引口38と連通して設けられている(図9のF−F断面図参照)。
第4通路39は、前側の第3通気口35aと後側の第3通気口35bに対応する広さに延設された溝となっている。つまり、第4通路39は、前側の第3通気口35aと後側の第3通気口35bと互いに連通する。また、第4通路39は、平面視で、吸引口38の外周を囲うような通路となっている。
The fourth passage 39 is a groove carved into the fourth plate 37 and open upward (+ direction of the z-axis). The fourth passage 39 is provided so as to communicate with the suction port 38 (see the FF cross-sectional view of FIG. 9).
The fourth passage 39 is a groove extending to a width corresponding to the third vent 35a on the front side and the third vent 35b on the rear side. That is, the fourth passage 39 communicates with the front third vent 35a and the rear third vent 35b. Further, the fourth passage 39 is a passage that surrounds the outer periphery of the suction port 38 in a plan view.

第4通路39は、前側の第3通気口35aと後側の第3通気口35bに対し、互いに連通した状態となっている。第4通路39は、吸引口38から吸引された空気を、前後一対の第3通気口35a,35bに案内する。
なお、吸引口38の大きさが異なる第4プレート37を複数用意しておくとよい。その第4プレート37を交換するだけで、空気の吸引力を変更することができる。
The fourth passage 39 is in a state of communicating with the third vent 35a on the front side and the third vent 35b on the rear side. The fourth passage 39 guides the air sucked from the suction port 38 to the pair of front and rear third vents 35a and 35b.
It is preferable to prepare a plurality of fourth plates 37 having different sizes of the suction ports 38. The air suction force can be changed only by replacing the fourth plate 37.

ここで、集塵フード20の第1プレート25〜第4プレート37内を通過する空気の流れをについて説明する。
図2、図4に示すように、集塵フード20は、ベースプレート22の下面に取り付けられ、第4プレート37の上に第3プレート34が積層され、第3プレート34の上に第2プレート30が積層され、第2プレート30の上に第1プレート25が積層された構成である。
Here, the flow of air passing through the first plate 25 to the fourth plate 37 of the dust collecting hood 20 will be described.
As shown in FIGS. 2 and 4, the dust collecting hood 20 is attached to the lower surface of the base plate 22, the third plate 34 is laminated on the fourth plate 37, and the second plate 30 is placed on the third plate 34. Is laminated, and the first plate 25 is laminated on the second plate 30.

図2、図4に示す太線の矢印は、ツール17がスクライブ加工する基板Wの周辺から吸引され、集塵フード20の第1プレート25〜第4プレート37内を通過する空気の流れを表す。
まず、粉塵を含む空気は、第4プレート37の吸引口38から内部へ吸引されると、第4通路39へ向かう。粉塵を含む空気は、第4通路39を通過し、上側の第3プレート34へ向かう。その空気は、前後一対の第3通気口35a,35bのいずれかへ向かう。また、長孔部24、第1長孔部28及び第2長孔部32の空気も、ツール17の本体とツール孔部36の隙間から、第4通路39内に吸引される。
The thick arrows shown in FIGS. 2 and 4 represent the flow of air that is sucked from the periphery of the substrate W that the tool 17 scribbles and passes through the first plate 25 to the fourth plate 37 of the dust collecting hood 20.
First, when the air containing dust is sucked inward from the suction port 38 of the fourth plate 37, it goes to the fourth passage 39. The air containing dust passes through the fourth passage 39 and heads toward the upper third plate 34. The air goes to either of the pair of front and rear third vents 35a and 35b. Further, the air in the elongated hole portion 24, the first elongated hole portion 28, and the second elongated hole portion 32 is also sucked into the fourth passage 39 through the gap between the main body of the tool 17 and the tool hole portion 36.

前側の第3通気口35aへ向かった空気は、上側の第2プレート30に設けられ、前傾した前側の第2通気口31aへ向かう。一方、後側の第3通気口35bへ向かった空気は、上側の第2プレート30に設けられ、その空気は、後傾した後側の第2通気口31bへ向かう。
前側の第2通気口31aへ向かった空気は、上側の第1プレート25に設けられた前側の第1通気口26aへ向かう。一方、後側の第2通気口31bへ向かった空気は、上側の第1プレート25に設けられた後側の第1通気口26bへ向かう。
The air directed to the front third vent 35a is provided on the upper second plate 30 and heads toward the forward tilted front second vent 31a. On the other hand, the air directed to the rear third vent 35b is provided on the upper second plate 30, and the air is directed to the rear tilted second vent 31b.
The air directed to the front second vent 31a is directed to the front first vent 26a provided on the upper first plate 25. On the other hand, the air directed to the rear second vent 31b is directed to the rear first vent 26b provided on the upper first plate 25.

前側の第1通気口26aを通過した空気は、前側通路27aを流れて連結通路27cへ向かう。一方、後側の第1通気口26bを通過した空気は、後側通路27bを流れて連結通路27cへ向かう。つまり、第1通気口26を通過した空気は、第1通路27へ向かう。
第1通路27を通過した空気は、ベースプレート22に設けられた左右一対の送通口23a,23bのいずれかへ向かう。送通口23a,23bを通過した空気は、ダクト21を通過して、粉塵とともに集塵機に収容される。
The air that has passed through the first vent 26a on the front side flows through the first passage 27a on the front side and heads for the connecting passage 27c. On the other hand, the air that has passed through the first vent 26b on the rear side flows through the rear passage 27b and heads for the connecting passage 27c. That is, the air that has passed through the first vent 26 goes to the first passage 27.
The air that has passed through the first passage 27 goes to either of the pair of left and right transmission ports 23a and 23b provided on the base plate 22. The air that has passed through the transmission ports 23a and 23b passes through the duct 21 and is housed in the dust collector together with the dust.

このように、基板Wに対してスクライブ加工を行っている際、上で詳説した第1プレート25〜第4プレート37内を、粉塵を含む空気が通過する構成とすることで、空気を吸引する際のツール17の先端近傍での風速が上昇する(吸引力が向上する)こととなり、基板Wの表面に付着する前に、さらに効果的に粉塵を取り去ることができる。
以上、本発明の溝加工ヘッド16の集塵機構19及び溝加工装置1によれば、集塵フード20の構成を、吸引する空気の流速を向上させる構成とし、スクライブ加工時に発生する粉塵が基板Wの表面に付着する前に、さらに効果的に粉塵を取り去ることができる。
In this way, when the substrate W is scribed, the air is sucked by the configuration in which the air containing dust passes through the first plate 25 to the fourth plate 37 described in detail above. The wind speed near the tip of the tool 17 will increase (the suction force will improve), and dust can be removed more effectively before adhering to the surface of the substrate W.
As described above, according to the dust collecting mechanism 19 and the grooving device 1 of the grooving head 16 of the present invention, the dust collecting hood 20 is configured to improve the flow velocity of the sucked air, and the dust generated during scribing is the substrate W. Dust can be removed more effectively before adhering to the surface of the.

なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。
特に、今回開示された実施形態において、明示されていない事項、例えば、作動条件や操作条件、構成物の寸法、重量などは、当業者が通常実施する範囲を逸脱するものではなく、通常の当業者であれば、容易に想定することが可能な事項を採用している。
It should be noted that the embodiments disclosed this time are exemplary in all respects and are not considered to be restrictive.
In particular, in the embodiments disclosed this time, matters not specified, such as operating conditions, operating conditions, dimensions and weights of components, do not deviate from the range normally practiced by those skilled in the art, and are normal. If you are a person skilled in the art, you are adopting items that can be easily assumed.

1 溝加工装置
2 テーブル
3 枠体
4 支持台
5 脚部材
6 載置台
7 台座
8 カメラ
9 ガイド
10 モニタ
11 ブリッジ
12 支持柱
13 ガイドバー
14 ガイド
15 モータ
16 溝加工ヘッド
17 ツール
18 ツールホルダ
19 集塵機構
20 集塵フード
21 ダクト
22 ベースプレート
23 送通口
23a 送通口(左側)
23b 送通口(右側)
24 長孔部
25 第1プレート
26 第1通気口
26a 第1通気口(前側)
26b 第1通気口(後側)
27 第1通路
27a 前側通路
27b 後側通路
27c 連結通路
28 第1長孔部
29 側壁
29a 前側壁
29b 後側壁
30 第2プレート
31 第2通気口
31a 第2通気口(前側)
31b 第2通気口(後側)
32 第2長孔部
33 傾斜面
33a 前壁面(前側の第2通気口)
33b 後壁面(前側の第2通気口)
33c 前壁面(後側の第2通気口)
33d 後壁面(後側の第2通気口)
34 第3プレート
35 第3通気口
35a 第3通気口(前側)
35b 第3通気口(後側)
36 第3孔部(ツール孔部)
37 第4プレート
38 第4通気口(吸引口)
39 第4通路
W 基板
1 Grooving device 2 Table 3 Frame body 4 Support stand 5 Leg member 6 Mounting stand 7 Pedestal 8 Camera 9 Guide 10 Monitor 11 Bridge 12 Support pillar 13 Guide bar 14 Guide 15 Motor 16 Grooving head 17 Tool 18 Tool holder 19 Dust collector 20 Dust collection hood 21 Duct 22 Base plate 23 Outlet 23a Outlet (left side)
23b Outlet (right side)
24 Long hole 25 1st plate 26 1st vent 26a 1st vent (front side)
26b 1st vent (rear side)
27 First passage 27a Front passage 27b Rear passage 27c Connecting passage 28 First elongated hole 29 Side wall 29a Front side wall 29b Rear side wall 30 Second plate 31 Second vent 31a Second vent (front side)
31b 2nd vent (rear side)
32 Second elongated hole 33 Inclined surface 33a Front wall surface (second vent on the front side)
33b Rear wall surface (second vent on the front side)
33c Front wall surface (second vent on the rear side)
33d Rear wall surface (second vent on the rear side)
34 3rd plate 35 3rd vent 35a 3rd vent (front side)
35b 3rd vent (rear side)
36 Third hole (tool hole)
37 4th plate 38 4th vent (suction port)
39 4th passage W board

Claims (6)

刃先を下方にしたツールを左右方向に複数並べて保持するツールホルダを備える溝加工ヘッドと、
前記溝加工ヘッドの下部に設けられていて、前記ツールを用いて基板をスクライブしたときに発生する粉塵を空気と共に吸引する集塵フードと、
前記集塵フードからの前記空気が通過するダクトと、
前記ダクトを通過した前記空気を吸引して、前記粉塵を収集する集塵機と、を備え、
前記溝加工ヘッドの下面には、前記集塵フードが取り付けられるベースプレートが設けられていて、
前記集塵フードは、前記空気が流通するプレートを複数積層して構成したものであり、
前記集塵フードを構成する複数のプレートの少なくとも一つは、前記ベースプレートの下面側に設けられ、吸引された前記空気を前記ダクトへと送通する第3プレートであり、
前記第3プレートは、左右方向に長い板材であって、上下方向に貫通し吸引された前記空気が通過する第3通気口と、前記ツールが通過できる大きさとされた第3孔部と、を有し、
前記第3孔部は、左右方向に複数並べられた前記ツールに対応するように、左右方向に複数並列して設けられている
ことを特徴とする溝加工ヘッドの集塵機構。
A grooving head equipped with a tool holder that holds multiple tools with the cutting edge facing down in the left-right direction.
A dust collecting hood provided at the bottom of the grooving head and sucking dust generated when the substrate is scribed using the tool together with air.
A duct through which the air from the dust collecting hood passes and
A dust collector that sucks the air that has passed through the duct and collects the dust is provided.
A base plate to which the dust collecting hood is attached is provided on the lower surface of the grooving head.
The dust collecting hood is formed by laminating a plurality of plates through which the air flows.
At least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood is a third plate provided on the lower surface side of the base plate and transmitting the sucked air to the duct.
The third plate is a plate material that is long in the left-right direction, and has a third vent through which the air sucked through in the vertical direction passes, and a third hole having a size that allows the tool to pass through. Have and
A dust collecting mechanism for a grooving head, characterized in that a plurality of the third holes are provided in parallel in the left-right direction so as to correspond to the tools arranged in the left-right direction.
前記ベースプレートは、左右方向に長い板材であって、上下方向に貫通し前記ダクトと連通する送通口と、上下方向に貫通し前記ツールホルダが通過する長孔部と、を有し、
前記送通口は、前記ベースプレートの左右両端部に、左右一対となるように設けられ且つ、前記ダクトが取り付けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の溝加工ヘッドの集塵機構。
The base plate is a plate material long in the left-right direction, and has a transmission port that penetrates in the vertical direction and communicates with the duct, and an elongated hole portion that penetrates in the vertical direction and passes through the tool holder.
The dust collecting mechanism for a grooved head according to claim 1, wherein the air outlets are provided at both left and right ends of the base plate so as to form a pair on the left and right, and the ducts are attached.
前記集塵フードを構成する複数のプレートの少なくとも一つは、前記ベースプレートの下面側に設けられ、吸引された前記空気を前記ダクトへと送通する第1プレートであり、
前記第1プレートは、左右方向に長い板材であって、上下方向に貫通し吸引された前記空気が通過する第1通気口と、前記第1通気口と連通し吸引された前記空気を前記ベースプレートの前記送通口へと案内する第1通路と、前記ベースプレートの前記長孔部と連通し前記ツールホルダが通過する大きさとされた第1長孔部と、を有し、
前記第1通路は、左右一対の前記送通口と連通するものであり、
前記第1通気口は、前記第1プレートの長手方向中央に設けられている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の溝加工ヘッドの集塵機構。
At least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood is a first plate provided on the lower surface side of the base plate and transmitting the sucked air to the duct.
The first plate is a plate material that is long in the left-right direction, and the first vent through which the air sucked through in the vertical direction passes, and the air sucked in communication with the first vent are passed through the base plate. It has a first passage that guides the air passage port, and a first elongated hole portion that communicates with the elongated hole portion of the base plate and is sized so that the tool holder can pass through.
The first passage communicates with the pair of left and right transmission ports.
The dust collecting mechanism for a grooved head according to claim 1 or 2, wherein the first vent is provided at the center in the longitudinal direction of the first plate.
前記集塵フードを構成する複数のプレートの少なくとも一つは、前記ベースプレートの下面側に設けられ、吸引された前記空気を前記ダクトへと送通する第2プレートであり、
前記第2プレートは、左右方向に長い板材であって、上下方向に貫通し吸引された前記空気が通過する第2通気口と、前記ツールホルダが通過する大きさとされた第2長孔部と、を有し、
前記第2通気口は、左右方向に長い貫通孔とされ、当該第2通気口の左右方向に長い面は、上下方向の軸心に対して外側に傾斜した傾斜面とされている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の溝加工ヘッドの集塵機構。
At least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood is a second plate provided on the lower surface side of the base plate and transmitting the sucked air to the duct.
The second plate is a plate material long in the left-right direction, and has a second vent through which the air sucked through in the vertical direction passes, and a second elongated hole portion sized to pass the tool holder. Have,
The second vent is a through hole that is long in the left-right direction, and the surface of the second vent that is long in the left-right direction is an inclined surface that is inclined outward with respect to the axial center in the vertical direction. The dust collecting mechanism of the groove processing head according to claim 1 or 2.
前記集塵フードを構成する複数のプレートの少なくとも一つは、前記ベースプレートの下面側に設けられ、吸引された前記空気を前記ダクトへと送通する第4プレートであり、
前記第4プレートは、左右方向に長い板材であって、上下方向に貫通し外部の前記空気を吸い込む第4通気口と、前記第4通気口と連通し吸引された前記空気を案内する第4通路と、を有し、
前記第4通気口は、前記ツールが移動することができる孔部とされている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の溝加工ヘッドの集塵機構。
At least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood is a fourth plate provided on the lower surface side of the base plate and transmitting the sucked air to the duct.
The fourth plate is a plate material that is long in the left-right direction, and has a fourth vent that penetrates in the vertical direction and sucks the outside air, and a fourth vent that communicates with the fourth vent and guides the sucked air. With a passage,
The dust collecting mechanism for a grooved head according to claim 1 or 2, wherein the fourth vent is a hole into which the tool can move.
基板が載置されるテーブルと、
刃先を下方にしたツールを左右方向に複数並べて保持するツールホルダを備える溝加工ヘッドと、
前記溝加工ヘッドの下部に設けられていて、前記ツールを用いて基板をスクライブしたときに発生する粉塵を空気と共に吸引する集塵フードと、
前記集塵フードからの前記空気が通過するダクトと、
前記ダクトを通過した前記空気を吸引して、前記粉塵を収集する集塵機と、
前記テーブルと前記溝加工ヘッドとを水平面内で相対的に移動させるための移動手段と、を備え、
前記溝加工ヘッドの下面には、前記集塵フードが取り付けられるベースプレートが設けられていて、
前記集塵フードは、前記空気が流通するプレートを複数積層して構成したものであり、
前記集塵フードを構成する複数のプレートの少なくとも一つは、前記ベースプレートの下面側に設けられ、吸引された前記空気を前記ダクトへと送通する第3プレートであり、
前記第3プレートは、左右方向に長い板材であって、上下方向に貫通し吸引された前記空気が通過する第3通気口と、前記ツールが通過できる大きさとされた第3孔部と、を有し、
前記第3孔部は、左右方向に複数並べられた前記ツールに対応するように、左右方向に複数並列して設けられており、
前記溝加工ヘッドを基板の上面に平行に移動させ、基板上に溝を形成する
ことを特徴とする溝加工装置。
The table on which the board is placed and
A grooving head equipped with a tool holder that holds multiple tools with the cutting edge facing down in the left-right direction.
A dust collecting hood provided at the bottom of the grooving head and sucking dust generated when the substrate is scribed using the tool together with air.
A duct through which the air from the dust collecting hood passes and
A dust collector that sucks the air that has passed through the duct and collects the dust.
A moving means for relatively moving the table and the grooving head in a horizontal plane is provided.
A base plate to which the dust collecting hood is attached is provided on the lower surface of the grooving head.
The dust collecting hood is formed by laminating a plurality of plates through which the air flows.
At least one of the plurality of plates constituting the dust collecting hood is a third plate provided on the lower surface side of the base plate and transmitting the sucked air to the duct.
The third plate is a plate material long in the left-right direction, and has a third vent through which the air sucked through in the vertical direction passes, and a third hole having a size through which the tool can pass. Have and
A plurality of the third holes are provided in parallel in the left-right direction so as to correspond to the tools arranged in the left-right direction.
A grooving apparatus characterized in that the grooving head is moved parallel to the upper surface of a substrate to form a groove on the substrate.
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