JP2021097132A - Heat sink - Google Patents

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Abstract

To provide a heat sink with high heat dissipation performance.SOLUTION: A heat sink 1 includes a base plate 2 and a plurality of fins 3 provided on the base plate 2 so as to project in the thickness direction thereof. The base plate 2 has anisotropy in its thermal conductivity in the plane direction. In the top view of the base plate 2, the fin 3 extends in a direction intersecting the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction of the base plate 2.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、発熱性素子等の発熱体の熱を放熱するヒートシンクに関する。 The present invention relates to a heat sink that dissipates heat from a heating element such as a heating element.

ここで、本明細書及び特許請求の範囲では、本発明に係るヒートシンクの構成を理解し易くするため、ヒートシンクにおける発熱体が設置される側をヒートシンクの上側、及びその反対側をヒートシンクの下側と定義し、また、ヒートシンクのベースプレートの厚さ方向に垂直な面方向をベースプレートの平面方向という。 Here, in the present specification and claims, in order to make it easier to understand the configuration of the heat sink according to the present invention, the side of the heat sink where the heating element is installed is the upper side of the heat sink, and the opposite side is the lower side of the heat sink. The plane direction perpendicular to the thickness direction of the base plate of the heat sink is called the plane direction of the base plate.

さらに、本明細書及び特許請求の範囲では、文中に特に明示した場合を除き、「アルミニウム」の語は純アルミニウム及びアルミニウム合金の双方を含む意味で用いられるとともに、「銅」の語は純銅及び銅合金の双方を含む意味で用いられる。 Further, in the present specification and claims, unless otherwise specified in the text, the term "aluminum" is used to mean both pure aluminum and aluminum alloy, and the term "copper" is used as pure copper and. It is used to include both copper alloys.

金属−炭素粒子複合材として、例えば特許第5150905号公報(特許文献1)や(特許第5145591号公報(特許文献2)に記載されているように、金属層と炭素繊維層が交互に複数積層された状態で接合一体化された金属−炭素繊維複合材が知られている。また、国際公開第2009/051094号(特許文献3)は、炭素粒子として鱗片状黒鉛粒子を用いた金属−鱗片状黒鉛粒子複合材を開示している。 As a metal-carbon particle composite material, for example, as described in Japanese Patent No. 5150905 (Patent Document 1) and (Patent Document 5145591 (Patent Document 2)), a plurality of metal layers and carbon fiber layers are alternately laminated. A metal-carbon fiber composite material that is joined and integrated in the state of being joined is known. Further, according to International Publication No. 2009/051094 (Patent Document 3), metal-scales using scaly graphite particles as carbon particles are known. The state graphite particle composite material is disclosed.

金属−炭素粒子複合材について開示したその他の特許文献として、特開2015−25158号公報(特許文献4)、特開2015−217655号公報(特許文献5)、特開2017−88913号公報(特許文献6)等が知られている。 As other patent documents disclosed about the metal-carbon particle composite material, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-25158 (Patent Document 4), Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-217655 (Patent Document 5), and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2017-888913 (Patent Document 4). Document 6) and the like are known.

上述した金属−炭素粒子複合材は熱伝導率に異方性を有するものであり、高い熱伝導性が要求される部材の材料としての利用が期待されている。 The metal-carbon particle composite material described above has anisotropy in thermal conductivity, and is expected to be used as a material for members requiring high thermal conductivity.

ところで、発熱体として発熱性素子(例:半導体素子)を冷却する冷却装置は、一般に発熱性素子の熱を放散するヒートシンクを備えている。このヒートシンクには高い放熱性能を得るために高い熱伝導性が要求される。そこで、ヒートシンクの材料として金属−炭素粒子複合材を用いることが特開2017−220539号公報(特許文献7)、特開2019−41076号公報(特許文献8)及び特開2019−176091号公報(特許文献9)に提案されている。 By the way, a cooling device that cools a heat-generating element (eg, a semiconductor element) as a heat-generating body generally includes a heat sink that dissipates heat from the heat-generating element. This heat sink is required to have high thermal conductivity in order to obtain high heat dissipation performance. Therefore, it is possible to use a metal-carbon particle composite material as a heat sink material in JP-A-2017-220039 (Patent Document 7), JP-A-2019-41076 (Patent Document 8), and JP-A-2019-176091 (Patent Document 7). It is proposed in Patent Document 9).

特許第5150905号公報Japanese Patent No. 5150905 特許第5145591号公報Japanese Patent No. 5145591 国際公開第2009/051094号International Publication No. 2009/051094 特開2015−25158号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-25158 特開2015−217655号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-217655 特開2017−88913号公報JP-A-2017-888913 特開2017−220539号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-220039 特開2019−41076号公報JP-A-2019-41076 特開2019−176091号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2019-176091

近年、発熱性素子の高性能化及び発熱量の増加に伴い、ヒートシンクには益々高い放熱性能が要求されてきている。 In recent years, as the performance of heat-generating elements has improved and the amount of heat generated has increased, heat sinks have been required to have higher heat dissipation performance.

そこで本発明は、高い放熱性能を有するヒートシンクを提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a heat sink having high heat dissipation performance.

本発明は以下の手段を提供する。 The present invention provides the following means.

1) ベースプレートと、前記ベースプレートにその厚さ方向に突出して設けられた複数のフィンとを備え、
前記ベースプレートはその平面方向の熱伝導率に異方性を有しており、
前記ベースプレートの上面視において、前記フィンは、前記ベースプレートの平面方向の最高熱伝導率方向に対して交差する方向に延びている、ヒートシンク。
1) A base plate and a plurality of fins provided on the base plate so as to project in the thickness direction thereof are provided.
The base plate has anisotropy in its thermal conductivity in the plane direction.
A heat sink in which the fins extend in a direction intersecting the plane direction of the base plate with respect to the maximum thermal conductivity direction in the top view of the base plate.

2) 前記複数のフィンはストレートフィン及び波フィンの少なくとも一方を含む前項1記載のヒートシンク。 2) The heat sink according to item 1 above, wherein the plurality of fins include at least one of a straight fin and a wave fin.

3) 前記ベースプレートの材料として、金属マトリックスと金属マトリックス中に分散した炭素粒子とを含む第1の金属−炭素粒子複合材が用いられている前項1又は2記載のヒートシンク。 3) The heat sink according to the above item 1 or 2, wherein a first metal-carbon particle composite material containing a metal matrix and carbon particles dispersed in the metal matrix is used as the material of the base plate.

4) 前記第1複合材の炭素粒子の最長軸方向が前記ベースプレートの厚さ方向に配向している前項3記載のヒートシンク。 4) The heat sink according to item 3 above, wherein the longest axial direction of the carbon particles of the first composite material is oriented in the thickness direction of the base plate.

5) 前記第1複合材の前記金属マトリックスの金属としてアルミニウムが用いられている前項3又は4記載のヒートシンク。 5) The heat sink according to item 3 or 4 above, wherein aluminum is used as the metal of the metal matrix of the first composite material.

6) 前記フィンの材料として、金属マトリックスと金属マトリックス中に分散した炭素粒子とを含む第2の金属−炭素粒子複合材が用いられている前項1〜5のいずれかに記載のヒートシンク。 6) The heat sink according to any one of the above items 1 to 5, wherein a second metal-carbon particle composite material containing a metal matrix and carbon particles dispersed in the metal matrix is used as the material of the fins.

7) 前記第2複合材の前記金属マトリックスの金属としてアルミニウムが用いられている前項6記載のヒートシンク。 7) The heat sink according to item 6 above, wherein aluminum is used as the metal of the metal matrix of the second composite material.

本発明は以下の効果を奏する。 The present invention has the following effects.

前項1では、ベースプレートの上面視において、フィンは、ベースプレートの平面方向の最高熱伝導率方向に対して交差する方向に延びていることにより、発熱体からベースプレートに伝達された熱がベースプレートの平面方向の全体に広がり易くなるため、ヒートシンクの放熱性能を高めることができる。 In the previous item 1, in the top view of the base plate, the fins extend in a direction intersecting the maximum thermal conductivity direction in the plane direction of the base plate, so that the heat transferred from the heating element to the base plate is transferred to the base plate in the plane direction of the base plate. Since it is easy to spread over the entire area, the heat dissipation performance of the heat sink can be improved.

前項2では、複数のフィンがストレートフィン及び波フィンの少なくとも一方を含むことにより、ヒートシンクの放熱性能をより高くすることができる。 In item 2 above, the heat dissipation performance of the heat sink can be further improved by including at least one of the straight fin and the wave fin in the plurality of fins.

前項3では、ベースプレートの材料として第1の金属−炭素粒子複合材が用いられていることにより、ヒートシンクの放熱性能をより高くすることができる。 In item 3 above, since the first metal-carbon particle composite material is used as the material of the base plate, the heat dissipation performance of the heat sink can be further improved.

前項4では、第1複合材の炭素粒子の最長軸方向がベースプレートの厚さ方向に配向していることにより、ヒートシンクからフィンへの熱伝導速度が速いので、ヒートシンクの放熱性能をより高くすることができる。 In item 4 above, since the longest axial direction of the carbon particles of the first composite material is oriented in the thickness direction of the base plate, the heat conduction rate from the heat sink to the fins is high, so that the heat dissipation performance of the heat sink is further improved. Can be done.

前項5では、第1複合材の金属マトリックスの金属としてアルミニウムが用いられていることにより、ヒートシンクの軽量化を図ることができるしベースプレートの加工性を高めることができる。 In item 5, since aluminum is used as the metal of the metal matrix of the first composite material, the weight of the heat sink can be reduced and the workability of the base plate can be improved.

前項6では、フィンの材料として第2の金属−炭素粒子複合材が用いられていることにより、フィン自体の熱伝導性を高めることができ、これにより、ヒートシンクの放熱性能をより高くすることができる。 In item 6 above, since the second metal-carbon particle composite material is used as the fin material, the thermal conductivity of the fin itself can be enhanced, and thereby the heat dissipation performance of the heat sink can be further enhanced. it can.

前項7では、第2複合材の金属マトリックスの金属としてアルミニウムが用いられていることにより、ヒートシンクの軽量化を図ることができるしフィンの加工性を高めることができる。 In item 7, since aluminum is used as the metal of the metal matrix of the second composite material, the weight of the heat sink can be reduced and the workability of the fins can be improved.

図1は本発明の第1実施形態に係るヒートシンクを模式的に示す側面図である。FIG. 1 is a side view schematically showing a heat sink according to the first embodiment of the present invention. 図2は同ヒートシンクを模式的に示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view schematically showing the heat sink. 図3は同ヒートシンクを模式的に示す上面図である。FIG. 3 is a top view schematically showing the heat sink. 図4は炭素粒子としての鱗片状黒鉛粒子を模式的に示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view schematically showing scaly graphite particles as carbon particles. 図5は同ヒートシンクのベースプレートの一部を模式的に示す部分拡大断面斜視図である。FIG. 5 is a partially enlarged cross-sectional perspective view schematically showing a part of the base plate of the heat sink. 図6は本発明の参考形態に係るヒートシンクを模式的に示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view schematically showing a heat sink according to a reference embodiment of the present invention. 図7は本発明の第2実施形態に係るヒートシンクのベースプレートの一部を模式的に示す部分拡大断面斜視図である。FIG. 7 is a partially enlarged cross-sectional perspective view schematically showing a part of the base plate of the heat sink according to the second embodiment of the present invention. 図8は本発明の第3実施形態に係るヒートシンクのベースプレートの一部を模式的に示す部分拡大断面斜視図である。FIG. 8 is a partially enlarged cross-sectional perspective view schematically showing a part of the base plate of the heat sink according to the third embodiment of the present invention. 図9は本発明の第4実施形態に係るヒートシンクを模式的に示す上面図である。FIG. 9 is a top view schematically showing a heat sink according to a fourth embodiment of the present invention.

本発明の幾つかの実施形態について図面を参照して以下に説明する。 Some embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1〜5は本発明の第1実施形態に係るヒートシンク1を説明するための図である。図6は本発明の参考形態に係るヒートシンク1Aを説明するための図である。 1 to 5 are diagrams for explaining the heat sink 1 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 6 is a diagram for explaining the heat sink 1A according to the reference embodiment of the present invention.

図1に示すように、本第1実施形態のヒートシンク1は、発熱体(二点鎖線で示す)20に発生した熱を冷却媒(図示せず)へ放散することにより発熱体20を冷却するものである。 As shown in FIG. 1, the heat sink 1 of the first embodiment cools the heating element 20 by dissipating the heat generated in the heating element (shown by the alternate long and short dash line) 20 to the cooling medium (not shown). It is a thing.

このヒートシンク1は、図1及び2に示すように、平板状のベースプレート2と複数のフィン3とを備えている。ベースプレート2は略水平状に配置されている。ベースプレート2の上面視形状は図3に示すように方形状(詳述すると長方形状)である。 As shown in FIGS. 1 and 2, the heat sink 1 includes a flat plate-shaped base plate 2 and a plurality of fins 3. The base plate 2 is arranged substantially horizontally. The top view shape of the base plate 2 is a rectangular shape (more specifically, a rectangular shape) as shown in FIG.

図2において矢印「X」、「Y」及び「Z」はそれぞれベースプレート2の幅方向、長さ方向及び厚さ方向を示している。その他の図面でも同様である。 In FIG. 2, the arrows “X”, “Y” and “Z” indicate the width direction, the length direction and the thickness direction of the base plate 2, respectively. The same applies to other drawings.

複数のフィン3はベースプレート2の厚さ方向Zの片側としての下方向に突出してベースプレート2に設けられている。さらに、フィン3は、ベースプレート2の所定方向に連続的に延びている。フィン3が延びる方向については後述する。 The plurality of fins 3 are provided on the base plate 2 so as to project downward as one side in the thickness direction Z of the base plate 2. Further, the fins 3 continuously extend in a predetermined direction of the base plate 2. The direction in which the fin 3 extends will be described later.

発熱体20は、半導体素子等の発熱性素子を含むものであり、ベースプレート2(詳述するとベースプレート2の上面2a)上にベースプレート2に接触し且つ固定された状態に設置される。 The heating element 20 includes a heating element such as a semiconductor element, and is installed on the base plate 2 (specifically, the upper surface 2a of the base plate 2) in a state of being in contact with and fixed to the base plate 2.

このヒートシンク1では、冷却媒は互いに隣り合う二つのフィン3、3の間4を流れる。発熱体20の熱は発熱体20からベースプレート2及びフィン3に順次伝導してフィン3から冷却媒へ放散される。冷却媒としては冷却液(例:水、ロングライフクーラント)、冷却ガス(例:空気)などが用いられる。 In this heat sink 1, the cooling medium flows between two fins 3, 3 adjacent to each other 4. The heat of the heating element 20 is sequentially conducted from the heating element 20 to the base plate 2 and the fins 3 and dissipated from the fins 3 to the cooling medium. As the cooling medium, a coolant (eg, water, long-life coolant), a cooling gas (eg, air), or the like is used.

ベースプレート2はその平面方向の熱伝導率に異方性を有するものである。ベースプレート2の材料としては金属−非金属粒子複合材が用いられており、すなわちベースプレート2は金属−非金属粒子複合材からなる。以下ではベースプレート2用のこの金属−非金属粒子複合材を「第1複合材」ともいう。 The base plate 2 has anisotropy in its thermal conductivity in the plane direction. A metal-non-metal particle composite material is used as the material of the base plate 2, that is, the base plate 2 is made of a metal-non-metal particle composite material. Hereinafter, this metal-non-metal particle composite material for the base plate 2 is also referred to as a “first composite material”.

第1複合材は、図5に示すように、金属マトリックス8と、フィラーとしての非金属粒子7とを含むものである。非金属粒子7は熱伝導率に異方性を有するものであり、金属マトリックス8中に分散している。ベースプレート2の上述した平面方向の熱伝導率の異方性は、非金属粒子7自体の熱伝導率の異方性と非金属粒子7の配向とにより発現している。 As shown in FIG. 5, the first composite material contains a metal matrix 8 and non-metal particles 7 as a filler. The non-metal particles 7 have anisotropy in thermal conductivity and are dispersed in the metal matrix 8. The above-mentioned anisotropy of the thermal conductivity of the base plate 2 in the plane direction is expressed by the anisotropy of the thermal conductivity of the non-metal particles 7 itself and the orientation of the non-metal particles 7.

第1複合材において、金属マトリックス8の金属としてはアルミニウム、銅などが用いられる。非金属粒子7としては炭素粒子などが用いられる。 In the first composite material, aluminum, copper, or the like is used as the metal of the metal matrix 8. Carbon particles and the like are used as the non-metal particles 7.

炭素粒子としては、炭素繊維(例:ピッチ系炭素繊維、PAN系炭素繊維)、鱗片状黒鉛粒子、鱗状黒鉛粒子、膨張黒鉛粒子及び熱分解黒鉛粒子(例:高配向熱分解黒鉛粒子)からなる群より選択される少なくとも一種を用いることができる。炭素粒子として鱗片状黒鉛粒子は高い熱伝導率を有しているため特に好適に用いられる。 The carbon particles include carbon fibers (eg, pitch-based carbon fibers, PAN-based carbon fibers), scaly graphite particles, scaly graphite particles, expanded graphite particles, and pyrolyzed graphite particles (eg, highly oriented pyrolyzed graphite particles). At least one selected from the group can be used. As carbon particles, scaly graphite particles are particularly preferably used because they have high thermal conductivity.

第1複合材の製造方法は限定されるものではない。例えば、第1複合材の製造方法として、金属箔上に非金属粒子が塗工された複数の塗工箔が積層された積層体を加熱焼結装置(例:ホットプレス焼結装置、放電プラズマ焼結装置)によって加熱焼結することにより、第1複合材を製造する方法が挙げられる。 The method for producing the first composite material is not limited. For example, as a method for producing a first composite material, a laminate obtained by laminating a plurality of coated foils coated with non-metal particles on a metal foil is heat-sintered (eg, hot-press sintered device, discharge plasma). A method of producing the first composite material by heating and sintering with a sintering apparatus) can be mentioned.

本第1実施形態では、詳述すると、第1複合材の金属マトリックス8の金属としてアルミニウムが用いられており、第1複合材の非金属粒子(炭素粒子)7として鱗片状黒鉛粒子7aが用いられている。したがって、第1複合材は詳述するとアルミニウム−炭素粒子複合材であり、更に詳述するとアルミニウム−鱗片状黒鉛粒子複合材である。金属マトリックス8の金属としてアルミニウムが用いられることにより、ヒートシンク1の軽量化を図ることができるしベースプレート2の加工性を高めることができる。 In the first embodiment, in detail, aluminum is used as the metal of the metal matrix 8 of the first composite material, and scaly graphite particles 7a are used as the non-metal particles (carbon particles) 7 of the first composite material. Has been done. Therefore, the first composite material is an aluminum-carbon particle composite material in detail, and an aluminum-scaly graphite particle composite material in more detail. By using aluminum as the metal of the metal matrix 8, the weight of the heat sink 1 can be reduced and the workability of the base plate 2 can be improved.

図4中の「D」は非金属粒子(炭素粒子)7としての鱗片状黒鉛粒子7aの最長軸方向を示している。なお、鱗片状黒鉛粒子7a等の非金属粒子7の最長軸方向D及びその長さとは非金属粒子7の最も長い方向の軸及びその長さを意味する。したがって、非金属粒子7が例えば炭素繊維7bである場合(後述する第2及び第3実施形態の場合)、非金属粒子7の最長軸とは炭素繊維7bの繊維軸を意味し、非金属粒子7の最長軸方向Dの長さとは炭素繊維7bの繊維長さを意味する。図4中の「E」は非金属粒子(炭素粒子)7としての鱗片状黒鉛粒子7aの幅方向を示している。 “D” in FIG. 4 indicates the longest axial direction of the scaly graphite particles 7a as the non-metal particles (carbon particles) 7. The longest axial direction D of the non-metal particles 7 such as the scaly graphite particles 7a and its length mean the longest axis of the non-metal particles 7 and its length. Therefore, when the non-metal particles 7 are, for example, carbon fibers 7b (in the case of the second and third embodiments described later), the longest axis of the non-metal particles 7 means the fiber axis of the carbon fibers 7b, and the non-metal particles 7 The length of the longest axial direction D of 7 means the fiber length of the carbon fiber 7b. “E” in FIG. 4 indicates the width direction of the scaly graphite particles 7a as the non-metal particles (carbon particles) 7.

ここで以下では、鱗片状黒鉛粒子7aの厚さ方向に垂直な面方向を鱗片状黒鉛粒子7aの平面方向という。 Here, in the following, the plane direction perpendicular to the thickness direction of the scaly graphite particles 7a is referred to as the plane direction of the scaly graphite particles 7a.

鱗片状黒鉛粒子7aは熱伝導率に異方性を有している。具体的には一般に、鱗片状黒鉛粒子7aの厚さ方向の熱伝導率は低く、鱗片状黒鉛粒子7aの平面方向(即ち鱗片状黒鉛粒子の最長軸方向D及び幅方向E)の熱伝導率は高い。 The scaly graphite particles 7a have anisotropy in thermal conductivity. Specifically, in general, the thermal conductivity of the scaly graphite particles 7a in the thickness direction is low, and the thermal conductivity of the scaly graphite particles 7a in the planar direction (that is, the longest axial direction D and the width direction E of the scaly graphite particles). Is expensive.

非金属粒子7の粒子径は限定されるものではなく、好ましくは非金属粒子7の最長軸方向Dの平均長さは0.10mm以上であることがよい。その理由は、非金属粒子7と金属マトリックス8との間の界面熱抵抗を確実に低減し得て、これによりベースプレート2の熱伝導率を確実に高めることができるからである。非金属粒子7の最長軸方向Dの平均長さの上限は限定されるものではなく、通常2.0mmである。 The particle size of the non-metal particles 7 is not limited, and the average length of the non-metal particles 7 in the longest axial direction D is preferably 0.10 mm or more. The reason is that the interfacial thermal resistance between the non-metal particles 7 and the metal matrix 8 can be reliably reduced, thereby reliably increasing the thermal conductivity of the base plate 2. The upper limit of the average length of the non-metal particles 7 in the longest axial direction D is not limited, and is usually 2.0 mm.

非金属粒子7のアスペクト比は限定されるものではないが、一般に非金属粒子7のアスペクト比が大きい方が非金属粒子7の熱伝導率が高いことから、非金属粒子7の平均アスペクト比は30以上であることが好ましい。この平均アスペクト比の上限は限定されるものではなく例えば200である。 The aspect ratio of the non-metal particles 7 is not limited, but in general, the larger the aspect ratio of the non-metal particles 7, the higher the thermal conductivity of the non-metal particles 7, so that the average aspect ratio of the non-metal particles 7 is generally high. It is preferably 30 or more. The upper limit of this average aspect ratio is not limited, and is, for example, 200.

ベースプレート2は上述したようにその平面方向の熱伝導率に異方性を有するものである。具体的には、図2及び3に示すように、本第1実施形態では、ベースプレート2の平面方向の熱伝導率における最も高い熱伝導率の方向A(以下ではこの方向Aをベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aという)がベースプレート2の長さ方向Yに設定されている。ベースプレート2の平面方向の熱伝導率における最も低い熱伝導率の方向B(以下ではこの方向Bをベースプレート2の平面方向の最低熱伝導率方向Bという)がベースプレート2の幅方向Xに設定されている。ベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aと平面方向の最低熱伝導率方向Bとは交差しており、本第1実施形態では詳述すると直交している。 As described above, the base plate 2 has anisotropy in its thermal conductivity in the plane direction. Specifically, as shown in FIGS. 2 and 3, in the first embodiment, the direction A of the highest thermal conductivity in the thermal conductivity in the plane direction of the base plate 2 (hereinafter, this direction A is the plane of the base plate 2). The maximum thermal conductivity direction A) is set in the length direction Y of the base plate 2. The direction B of the lowest thermal conductivity in the plane direction of the base plate 2 (hereinafter, this direction B is referred to as the lowest thermal conductivity direction B in the plane direction of the base plate 2) is set in the width direction X of the base plate 2. There is. The maximum thermal conductivity direction A in the plane direction and the minimum thermal conductivity direction B in the plane direction of the base plate 2 intersect with each other, and are orthogonal to each other in detail in the first embodiment.

このような異方的な熱伝導率を有するベースプレート2では、図5に示すように、第1複合材の鱗片状黒鉛粒子7aの最長軸方向D及び幅方向Eはベースプレート2の幅方向X(即ちベースプレート2の平面方向の最低熱伝導率方向B)に対して垂直な面方向(即ち、ベースプレート2の長さ方向Y及び厚さ方向Zに平行な面方向)に配向しており、鱗片状黒鉛粒子7aの厚さ方向はベースプレート2の幅方向X(即ちベースプレート2の平面方向の最低熱伝導率方向B)に配向している。この場合、ベースプレート2の長さ方向Yの熱伝導率(即ちベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率)及びベースプレート2の厚さ方向Zの熱伝導率は、ベースプレート2の幅方向Xの熱伝導率(即ちベースプレート2の平面方向の最低熱伝導率)よりも高い。 In the base plate 2 having such an anisotropic thermal conductivity, as shown in FIG. 5, the longest axial direction D and the width direction E of the scaly graphite particles 7a of the first composite material are the width direction X (the width direction X of the base plate 2). That is, it is oriented in the plane direction perpendicular to the plane direction of the base plate 2 (the lowest thermal conductivity direction B) (that is, the plane direction parallel to the length direction Y and the thickness direction Z of the base plate 2), and is scaly. The thickness direction of the graphite particles 7a is oriented in the width direction X of the base plate 2 (that is, the minimum thermal conductivity direction B in the plane direction of the base plate 2). In this case, the thermal conductivity in the length direction Y of the base plate 2 (that is, the maximum thermal conductivity in the plane direction of the base plate 2) and the thermal conductivity in the thickness direction Z of the base plate 2 are the thermal conductivity in the width direction X of the base plate 2. Higher than the rate (ie, the lowest thermal conductivity of the base plate 2 in the plane direction).

図1及び2に示すように、複数のフィン3は互いに同形及び同寸である。図3に示すように、ベースプレート2の上面視において、フィン3は、ベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向A(即ちベースプレート2の長さ方向Y)に対して交差する方向に連続的に延びるとともに、ベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向A(即ちベースプレート2の長さ方向Y)に等間隔に並列状に配置されており、この状態でフィン3がベースプレート2(詳述するとベースプレート2の下面2b)にろう付けにより接合されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the plurality of fins 3 have the same shape and the same size as each other. As shown in FIG. 3, in the top view of the base plate 2, the fins 3 are continuously in the direction intersecting the maximum thermal conductivity direction A (that is, the length direction Y of the base plate 2) in the plane direction of the base plate 2. Along with the extension, the fins 3 are arranged in parallel at equal intervals in the maximum thermal conductivity direction A (that is, the length direction Y of the base plate 2) in the plane direction of the base plate 2, and in this state, the fins 3 are arranged in parallel with the base plate 2 (specifically, the base plate 2). It is joined to the lower surface 2b) of 2 by brazing.

さらに、フィン3はストレートフィン3Aであり、すなわち、フィン3はベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aに対して交差する方向に真っ直ぐに連続的に延びている。互いに隣り合う二つのフィン3、3は平行である。 Further, the fin 3 is a straight fin 3A, that is, the fin 3 extends straight and continuously in a direction intersecting the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction of the base plate 2. Two fins 3, 3 adjacent to each other are parallel.

図3中の「F」は、ベースプレート2の上面視におけるフィン3(ストレートフィン3A)の中心軸を示している。「θ」は、ベースプレート2の上面視において、ベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aとフィン3(ストレートフィン3A)の中心軸Fとがなす角度である。θの好ましい範囲については後述する。 “F” in FIG. 3 indicates the central axis of the fin 3 (straight fin 3A) in the top view of the base plate 2. “Θ” is an angle formed by the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction of the base plate 2 and the central axis F of the fins 3 (straight fins 3A) in the top view of the base plate 2. The preferable range of θ will be described later.

フィン3の材料は限定されるものではなく、フィン3の材料として、例えば、アルミニウム、銅などの金属が用いられるか金属−非金属粒子複合材が用いられる。以下ではフィン3用のこの金属−非金属粒子複合材を「第2複合材」ともいう。 The material of the fin 3 is not limited, and as the material of the fin 3, for example, a metal such as aluminum or copper is used, or a metal-non-metal particle composite material is used. Hereinafter, this metal-non-metal particle composite material for fin 3 is also referred to as a “second composite material”.

第2複合材としては好ましくは上述した第1複合材と同種のものが用いられる。フィン3の材料として第2複合材が用いられる場合、ヒートシンク1の放熱性能を高めることができる。また、第2複合材の金属マトリックスの金属としてアルミニウムが用いられる場合、ヒートシンク1の軽量化を図ることができるしフィン3の加工性を高めることができる。 As the second composite material, a material of the same type as the above-mentioned first composite material is preferably used. When a second composite material is used as the material for the fins 3, the heat dissipation performance of the heat sink 1 can be improved. Further, when aluminum is used as the metal of the metal matrix of the second composite material, the weight of the heat sink 1 can be reduced and the workability of the fins 3 can be improved.

さらに、フィン3において、第2複合材の炭素粒子(例:鱗片状黒鉛粒子)の配向方向は限定されるものではなく、好ましくは炭素粒子の最長軸方向Dはベースプレート2に対するフィン3の突出方向G(図2参照)に配向していることが好ましい。この場合、ベースプレート2からフィン3に伝導した熱がフィン3の先端に向かって迅速に伝導するため、ヒートシンク1の放熱性能をより高めることができる。 Further, in the fin 3, the orientation direction of the carbon particles (eg, scaly graphite particles) of the second composite material is not limited, and preferably the longest axial direction D of the carbon particles is the protruding direction of the fin 3 with respect to the base plate 2. It is preferably oriented in G (see FIG. 2). In this case, since the heat conducted from the base plate 2 to the fins 3 is rapidly conducted toward the tip of the fins 3, the heat dissipation performance of the heat sink 1 can be further improved.

次に、本第1実施形態のヒートシンク1の利点について、図6に示した参考形態に係るヒートシンク1Aと比較して以下に説明する。なお、図6において、本参考形態のヒートシンク1Aの各要素には本第1実施形態のヒートシンク1で用いた符号と同じ符号が付されている。 Next, the advantages of the heat sink 1 of the first embodiment will be described below in comparison with the heat sink 1A according to the reference embodiment shown in FIG. In FIG. 6, each element of the heat sink 1A of the present reference embodiment has the same reference numerals as those used in the heat sink 1 of the first embodiment.

本第1実施形態のヒートシンク1によれば、上述したように、ベースプレート2の上面視において(図3参考)、フィン3(ストレートフィン3A)はベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向A(即ちベースプレート2の長さ方向Y)に対して交差する方向に延びている。 According to the heat sink 1 of the first embodiment, as described above, in the top view of the base plate 2 (see FIG. 3), the fins 3 (straight fins 3A) have the highest thermal conductivity direction A (straight fin 3A) in the plane direction of the base plate 2. That is, it extends in a direction intersecting the length direction Y) of the base plate 2.

したがって、発熱体20に発生した熱が発熱体20からヒートシンク1のベースプレート2に伝達されると、当該熱は、ベースプレート2の発熱体20との接触部からベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aに主に伝導するとともに、さらにベースプレート2のフィン3との接続部2cにてフィン3が延びる方向(即ちベースプレート2の平面方向の最低熱伝導率方向B)にも伝導する。そのため、発熱体20からベースプレート2に伝達された熱はベースプレート2の平面方向の全体に広がり易い。そして、この熱がベースプレート2から略全てのフィン3に伝導してこれらのフィン3から冷却媒に放散される。すなわち、冷却媒への放熱に貢献するフィン3の数や部分が多い。そのため、ヒートシンク1の放熱性能は高い。 Therefore, when the heat generated in the heating element 20 is transferred from the heating element 20 to the base plate 2 of the heat sink 1, the heat is the maximum thermal conductivity in the plane direction of the base plate 2 from the contact portion of the base plate 2 with the heating element 20. In addition to conducting mainly in the direction A, it also conducts in the direction in which the fins 3 extend at the connection portion 2c of the base plate 2 with the fins 3 (that is, the lowest thermal conductivity direction B in the plane direction of the base plate 2). Therefore, the heat transferred from the heating element 20 to the base plate 2 tends to spread over the entire plane direction of the base plate 2. Then, this heat is conducted from the base plate 2 to substantially all the fins 3 and dissipated from these fins 3 to the cooling medium. That is, there are many fins 3 that contribute to heat dissipation to the cooling medium. Therefore, the heat dissipation performance of the heat sink 1 is high.

一方、本参考形態のヒートシンク1Aでは、ベースプレート2の上面視において、フィン3(ストレートフィン3A)はベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向A(即ちベースプレート2の長さ方向Y)に対して平行な方向に連続的に延びるとともに、ベースプレート2の平面方向の最低熱伝導率方向B(即ちベースプレート2の幅方向X)に等間隔に並列状に配置されている。 On the other hand, in the heat sink 1A of the present reference embodiment, in the top view of the base plate 2, the fins 3 (straight fins 3A) are relative to the maximum thermal conductivity direction A (that is, the length direction Y of the base plate 2) in the plane direction of the base plate 2. It extends continuously in the parallel direction and is arranged in parallel at equal intervals in the lowest thermal conductivity direction B (that is, the width direction X of the base plate 2) in the plane direction of the base plate 2.

したがって、発熱体20に発生した熱が発熱体20からヒートシンク1Aのベースプレート2に伝達されると、当該熱は、ベースプレート2の発熱体20との接触部からベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aに主に伝導するが、フィン3がベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aに対して平行な方向に延びているためにベースプレート2の平面方向の最低熱伝導率方向Bには伝導しにくい。そのため、発熱体20からベースプレート2に伝達された熱はベースプレート2の平面方向の全体には広がりにくく、冷却媒への放熱に貢献するフィン3の数や部分が本第1実施形態のヒートシンク1よりも少ない。したがって、ヒートシンク1Aの放熱性能は本第1実施形態のヒートシンク1に比べて低い。 Therefore, when the heat generated in the heating element 20 is transferred from the heating element 20 to the base plate 2 of the heat sink 1A, the heat is the maximum thermal conductivity in the plane direction of the base plate 2 from the contact portion of the base plate 2 with the heating element 20. It conducts mainly in the direction A, but since the fins 3 extend in a direction parallel to the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction of the base plate 2, the minimum thermal conductivity direction B in the plane direction of the base plate 2 Hard to conduct. Therefore, the heat transferred from the heating element 20 to the base plate 2 is difficult to spread in the entire plane direction of the base plate 2, and the number and parts of the fins 3 that contribute to heat dissipation to the cooling medium are larger than those of the heat sink 1 of the first embodiment. There are few. Therefore, the heat dissipation performance of the heat sink 1A is lower than that of the heat sink 1 of the first embodiment.

本第1実施形態のヒートシンク1では、ベースプレート2の上面視において(図3参照)、ベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aとフィン3の中心軸Fとがなす角度θは90°±30°の範囲であることが好ましい。この場合、発熱体20からベースプレート2に伝達された熱はベースプレート2の平面方向の全体に確実に広がり、そのためヒートシンク1の放熱性能を確実に高くすることができる。より好ましいθの範囲は90°±15°であり、特に好ましいθは90°である。なお、θが90°の場合、フィン3(詳述するとフィン3の中心軸F)はベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aに対して直交する方向に延びている。 In the heat sink 1 of the first embodiment, the angle θ formed by the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction of the base plate 2 and the central axis F of the fins 3 is 90 ° ± in the top view of the base plate 2 (see FIG. 3). It is preferably in the range of 30 °. In this case, the heat transferred from the heating element 20 to the base plate 2 is surely spread over the entire plane direction of the base plate 2, so that the heat dissipation performance of the heat sink 1 can be surely improved. The more preferable range of θ is 90 ° ± 15 °, and the particularly preferable range of θ is 90 °. When θ is 90 °, the fin 3 (more specifically, the central axis F of the fin 3) extends in a direction orthogonal to the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction of the base plate 2.

さらに、フィン3はストレートフィン3Aであるから、ヒートシンク1の放熱性能をより高くすることができる。 Further, since the fin 3 is a straight fin 3A, the heat dissipation performance of the heat sink 1 can be further improved.

さらに、ベースプレート2の材料として第1の金属−炭素粒子複合材(詳述すると金属−鱗片状黒鉛粒子複合材)が用いられているので、ヒートシンク1の放熱性能をより高くすることができる。 Further, since the first metal-carbon particle composite material (specifically, the metal-scaly graphite particle composite material) is used as the material of the base plate 2, the heat dissipation performance of the heat sink 1 can be further improved.

図7は本発明の第2実施形態に係るヒートシンクを説明する図であり、図8は本発明の第3実施形態に係るヒートシンクを説明する図であり、図9は本発明の第4実施形態に係るヒートシンクを説明する図である。これらの図において、ヒートシンクの各要素には上記第1実施形態のヒートシンク1で用いた符号と同じ符号が付されている。以下、第2〜第4実施形態の各ヒートシンクについて上記第1実施形態のヒートシンク1との相異点を中心に説明する。 FIG. 7 is a diagram for explaining a heat sink according to a second embodiment of the present invention, FIG. 8 is a diagram for explaining a heat sink according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a diagram for explaining a fourth embodiment of the present invention. It is a figure explaining the heat sink which concerns on. In these figures, each element of the heat sink is designated by the same reference numerals as those used in the heat sink 1 of the first embodiment. Hereinafter, each of the heat sinks of the second to fourth embodiments will be described focusing on the differences from the heat sink 1 of the first embodiment.

図7に示した第2実施形態のヒートシンクでは、ベースプレート2の材料としてアルミニウム−炭素繊維複合材(第1複合材)が用いられている。すなわち、この第1複合材では炭素粒子(非金属粒子7)として炭素繊維7bが用いられている。 In the heat sink of the second embodiment shown in FIG. 7, an aluminum-carbon fiber composite material (first composite material) is used as the material of the base plate 2. That is, in this first composite material, carbon fibers 7b are used as carbon particles (non-metal particles 7).

このベースプレート2では、第1複合材の炭素繊維7bの最長軸方向D(即ち炭素繊維7bの繊維軸方向)はベースプレート2の長さ方向Yに配向している。したがって、ベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aはベースプレート2の長さ方向Yであり、ベースプレート2の平面方向の最低熱伝導率方向Bはベースプレート2の幅方向Xである。さらに、ベースプレート2の長さ方向Yの熱伝導率はベースプレート2の幅方向Xの熱伝導率及び厚さ方向Zの熱伝導率よりも高い。 In the base plate 2, the longest axial direction D of the carbon fibers 7b of the first composite material (that is, the fiber axial direction of the carbon fibers 7b) is oriented in the length direction Y of the base plate 2. Therefore, the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction of the base plate 2 is the length direction Y of the base plate 2, and the minimum thermal conductivity direction B in the plane direction of the base plate 2 is the width direction X of the base plate 2. Further, the thermal conductivity of the base plate 2 in the length direction Y is higher than the thermal conductivity of the base plate 2 in the width direction X and the thickness direction Z.

図8に示した第3実施形態のヒートシンクでは、ベースプレート2の材料としてアルミニウム−炭素繊維複合材(第1複合材)が用いられている。すなわち、この第1複合材では炭素粒子(非金属粒子7)として炭素繊維7bが用いられている。 In the heat sink of the third embodiment shown in FIG. 8, an aluminum-carbon fiber composite material (first composite material) is used as the material of the base plate 2. That is, in this first composite material, carbon fibers 7b are used as carbon particles (non-metal particles 7).

このベースプレート2では、第1複合材の炭素繊維7bの最長軸方向D(即ち炭素繊維7bの繊維軸方向)はベースプレート2の厚さ方向Zに配向している。さらに、第1複合材のアルミニウムマトリックス(金属マトリックス8として)中に炭素繊維7bが分散した炭素繊維分散層10と、アルミニウムマトリックス中に炭素繊維7bなどの炭素粒子が実質的に存在していないアルミニウム層11(金属層として)とがベースプレート2の幅方向Xに交互に複数積層した状態に配列している。 In the base plate 2, the longest axial direction D of the carbon fibers 7b of the first composite material (that is, the fiber axial direction of the carbon fibers 7b) is oriented in the thickness direction Z of the base plate 2. Further, the carbon fiber dispersion layer 10 in which carbon fibers 7b are dispersed in the aluminum matrix (as the metal matrix 8) of the first composite material, and aluminum in which carbon particles such as carbon fibers 7b are substantially not present in the aluminum matrix. A plurality of layers 11 (as metal layers) are alternately laminated in the width direction X of the base plate 2.

炭素繊維分散層10とアルミニウム層11とがこのように配列している場合、アルミニウム層11が連続的に延びる方向の熱伝導率であるベースプレート2の長さ方向Yの熱伝導率が炭素繊維分散層10とアルミニウム層11との積層方向の熱伝導率であるベースプレート2の幅方向Xの熱伝導率よりも高い。 When the carbon fiber dispersion layer 10 and the aluminum layer 11 are arranged in this way, the thermal conductivity in the length direction Y of the base plate 2, which is the thermal conductivity in the direction in which the aluminum layer 11 extends continuously, is the carbon fiber dispersion. It is higher than the thermal conductivity in the width direction X of the base plate 2, which is the thermal conductivity in the stacking direction of the layer 10 and the aluminum layer 11.

したがって、ベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aはベースプレート2の長さ方向Yであり、ベースプレート2の平面方向の最低熱伝導率方向Bはベースプレート2の幅方向Xである。さらに、上述したように炭素繊維7bの最長軸方向D(炭素繊維7bの繊維軸方向)がベースプレート2の厚さ方向Zに配向していることから、ベースプレート2の厚さ方向Zの熱伝導率はベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aであるベースプレート2の長さ方向Yの熱伝導率よりも高い。 Therefore, the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction of the base plate 2 is the length direction Y of the base plate 2, and the minimum thermal conductivity direction B in the plane direction of the base plate 2 is the width direction X of the base plate 2. Further, as described above, since the longest axial direction D of the carbon fibers 7b (the fiber axial direction of the carbon fibers 7b) is oriented in the thickness direction Z of the base plate 2, the thermal conductivity in the thickness direction Z of the base plate 2 Is higher than the thermal conductivity in the length direction Y of the base plate 2, which is the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction of the base plate 2.

このヒートシンクでは、炭素繊維7bの最長軸方向D(炭素繊維7bの繊維軸方向)がベースプレート2の厚さ方向Zに配向しているので、ベースプレート2からフィンへの熱伝導速度が速い。そのため、ヒートシンクの放熱性能をより高くすることができる。 In this heat sink, since the longest axial direction D of the carbon fibers 7b (the fiber axial direction of the carbon fibers 7b) is oriented in the thickness direction Z of the base plate 2, the thermal conductivity from the base plate 2 to the fins is high. Therefore, the heat dissipation performance of the heat sink can be further improved.

図9に示した第4実施形態のヒートシンク1では、各フィン3は波フィン3Bであり、即ち、フィン3はベースプレート2の上面視においてベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aに対して交差する方向に波状に連続的に延びている。θの好ましい範囲は上述した第1実施形態のヒートシンク1のそれと同じである。 In the heat sink 1 of the fourth embodiment shown in FIG. 9, each fin 3 is a wave fin 3B, that is, the fin 3 is relative to the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction of the base plate 2 in the top view of the base plate 2. It extends continuously in a wavy direction in the direction of intersection. The preferable range of θ is the same as that of the heat sink 1 of the first embodiment described above.

以上で本発明の幾つかの実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で様々に変更可能である。 Although some embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments and can be variously modified without departing from the gist of the present invention.

例えば、上記第1実施形態のヒートシンク1では、フィン3はベースプレート2(詳述するとベースプレート2の下面2b)にろう付け等の接合手段によって接合されているが、本発明に係るヒートシンクでは、その他に例えば、フィンはベースプレートに鍛造加工などによって一体に形成されたものであってもよい。 For example, in the heat sink 1 of the first embodiment, the fins 3 are joined to the base plate 2 (specifically, the lower surface 2b of the base plate 2) by a joining means such as brazing, but in the heat sink according to the present invention, in addition to the above. For example, the fins may be integrally formed on the base plate by forging or the like.

本発明の具体的な実施例及び比較例を以下に示す。下記実施例を理解し易くするため、上記第1実施形態のヒートシンク1の各要素に付された符号を用いて実施例を説明する。ただし、本発明は下記実施例に限定されるものではない。なお、下記実施例では、ヒートシンクの各部位の熱伝導率はいずれも室温(20℃)での熱伝導率である。 Specific examples and comparative examples of the present invention are shown below. In order to make it easier to understand the following embodiment, the embodiment will be described with reference to each element of the heat sink 1 of the first embodiment. However, the present invention is not limited to the following examples. In the following examples, the thermal conductivity of each part of the heat sink is the thermal conductivity at room temperature (20 ° C.).

<実施例>
本実施例では図1〜5に示した上記第1実施形態のヒートシンク1を以下の方法で製造した。
<Example>
In this embodiment, the heat sink 1 of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 5 was manufactured by the following method.

炭素粒子としての鱗片状黒鉛粒子7aと、バインダーとしてのポリエチレンオキサイドの10質量%水溶液及びポリビニルアルコールの10質量%水溶液と、バインダー用溶剤としてのイソプロピルアルコール及び水と、分散剤と、表面調整剤とを混合容器内に入れてディスパーにより撹拌混合することで塗工液を得た。塗工液の粘度は25℃で5000mPa・sであった。 Scale-like graphite particles 7a as carbon particles, 10% by mass aqueous solution of polyethylene oxide as a binder, 10% by mass aqueous solution of polyvinyl alcohol, isopropyl alcohol and water as a solvent for a binder, a dispersant, and a surface conditioner. Was placed in a mixing container and stirred and mixed with a disper to obtain a coating liquid. The viscosity of the coating liquid was 5000 mPa · s at 25 ° C.

鱗片状黒鉛粒子7aの最長軸方向Dの平均長さは0.15mmであり、その平均アスペクト比は30であった。塗工液に含まれる鱗片状黒鉛粒子7aの含有量はバインダーと鱗片状黒鉛粒子7aとの合計質量に対して90質量%であった。 The average length of the scaly graphite particles 7a in the longest axial direction D was 0.15 mm, and the average aspect ratio thereof was 30. The content of the scaly graphite particles 7a contained in the coating liquid was 90% by mass with respect to the total mass of the binder and the scaly graphite particles 7a.

次いで、アルミニウム箔の条材上に塗工液をロールtoロール方式のコンマナイフコーターにより塗工速度1m/minで塗工しそして乾燥炉内を通過させることにより塗工液中の溶剤を乾燥除去した。これにより、アルミニウム箔の条材上に鱗片状黒鉛粒子7aが塗工された鱗片状黒鉛粒子塗工箔の条材を得た。この塗工箔の条材上に塗工された鱗片状黒鉛粒子7aの塗工量は30g/mであった。 Next, the coating liquid is applied onto the strip of aluminum foil with a roll-to-roll comma knife coater at a coating speed of 1 m / min, and the solvent in the coating liquid is dried and removed by passing through the drying furnace. did. As a result, a strip of scaly graphite particle coated foil in which scaly graphite particles 7a were coated on the strip of aluminum foil was obtained. The amount of the scaly graphite particles 7a coated on the strip of the coating foil was 30 g / m 2 .

アルミニウム箔の材料はJIS(日本工業規格)で規定されたアルミニウム合金番号1N30であり、その厚さは20μm及びその幅は300mmであった。 The material of the aluminum foil was aluminum alloy number 1N30 specified by JIS (Japanese Industrial Standards), and its thickness was 20 μm and its width was 300 mm.

そして、塗工箔の条材を正方形状(その寸法:幅80mm×長さ80mm)に多数裁断することにより、多数の正方形状の塗工箔を得た。 Then, a large number of square-shaped coating foils were obtained by cutting a large number of strips of the coating foil into a square shape (its dimensions: width 80 mm × length 80 mm).

次いで、塗工箔を3200枚積層することによりベースプレート2用の第1積層体を形成した。そして、ホットプレス焼結装置により第1積層体を真空中にて第1積層体の厚さ方向(即ち塗工箔の積層方向)に加圧しながら所定の焼結条件で加熱することにより、第1積層体を焼結した。これにより、ベースプレート2用の第1のアルミニウム−鱗片状黒鉛粒子複合体を製造した。この第1複合体の寸法は幅80mm×長さ80mm×厚さ80mmであった。 Next, the first laminated body for the base plate 2 was formed by laminating 3200 coating foils. Then, the first laminate is heated in a vacuum by a hot press sintering apparatus in the thickness direction of the first laminate (that is, the lamination direction of the coating foil) under predetermined sintering conditions. 1 The laminate was sintered. As a result, the first aluminum-scaly graphite particle composite for the base plate 2 was produced. The dimensions of this first complex were width 80 mm × length 80 mm × thickness 80 mm.

上述した焼結条件は次のとおりであった。焼結温度は620℃、焼結温度の保持時間は3時間、室温からの昇温速度は20℃/min、第1積層体への加圧力は20MPa、真空度は3Paであった。また、第1積層体を室温から焼結温度まで加熱する途中で昇温を一旦停止することで第1積層体中のバインダーを熱分解・昇華し、これにより第1積層体からバインダーを除去した。その際に適用したバインダーの除去条件は、バインダーを除去するための積層体の加熱温度が450℃であり、その保持時間が30minであった。 The above-mentioned sintering conditions were as follows. The sintering temperature was 620 ° C., the holding time of the sintering temperature was 3 hours, the rate of temperature rise from room temperature was 20 ° C./min, the pressing force on the first laminate was 20 MPa, and the degree of vacuum was 3 Pa. Further, the binder in the first laminate was thermally decomposed and sublimated by temporarily stopping the temperature rise while heating the first laminate from room temperature to the sintering temperature, whereby the binder was removed from the first laminate. .. The binder removal conditions applied at that time were that the heating temperature of the laminate for removing the binder was 450 ° C. and the holding time was 30 min.

次いで、第1複合体から幅60mm×長さ60mm×厚さ2mmの平板状のベースプレート2をその厚さ方向Zの熱伝導率が最も高くなるように切り出した。 Next, a flat plate-shaped base plate 2 having a width of 60 mm, a length of 60 mm, and a thickness of 2 mm was cut out from the first complex so as to have the highest thermal conductivity in the thickness direction Z.

このベースプレート2では、鱗片状黒鉛粒子7aの最長軸方向D及び幅方向Eがベースプレート2の長さ方向Y及び厚さ方向Zに平行な面方向に配向しており、鱗片状黒鉛粒子7aの厚さ方向がベースプレート2の幅方向Xに配向していた。したがって、ベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aがベースプレート2の長さ方向Yであり、ベースプレート2の平面方向の最低熱伝導率方向Bがベースプレートの幅方向Xであった。さらに、ベースプレート2の長さ方向Y及び厚さ方向Zの熱伝導率は同程度であり、これらはベースプレート2の幅方向Xの熱伝導率よりも高かった。 In the base plate 2, the longest axial direction D and the width direction E of the scaly graphite particles 7a are oriented in the plane direction parallel to the length direction Y and the thickness direction Z of the base plate 2, and the thickness of the scaly graphite particles 7a. The vertical direction was oriented in the width direction X of the base plate 2. Therefore, the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction of the base plate 2 was the length direction Y of the base plate 2, and the minimum thermal conductivity direction B in the plane direction of the base plate 2 was the width direction X of the base plate. Further, the thermal conductivity of the base plate 2 in the length direction Y and the thickness direction Z was about the same, which was higher than the thermal conductivity of the base plate 2 in the width direction X.

また、上述した塗工箔を26枚積層することによりフィン3用の第2積層体を形成した。そして、第2積層体を上述した第1積層体の焼結条件と同じ条件で焼結することにより、フィン3用の第2のアルミニウム−鱗片状黒鉛粒子複合体を製造した。この第2複合体の寸法は幅80mm×長さ80mm×厚さ0.6mmであった。 Further, a second laminated body for the fins 3 was formed by laminating 26 of the above-mentioned coating foils. Then, by sintering the second laminate under the same conditions as the above-mentioned sintering conditions of the first laminate, a second aluminum-scaly graphite particle composite for fin 3 was produced. The dimensions of this second complex were width 80 mm × length 80 mm × thickness 0.6 mm.

次いで、第2複合体から幅8mm×長さ50mm×厚さ0.6mmのストレートフィン3Aを30枚切り出した。 Next, 30 straight fins 3A having a width of 8 mm, a length of 50 mm, and a thickness of 0.6 mm were cut out from the second complex.

このストレートフィン3Aでは、鱗片状黒鉛粒子7aの最長軸方向D及び幅方向Eがストレートフィン3Aの幅方向(即ちベースプレート2に対するストレートフィン3Aの突出方向G)及び長さ方向に平行な面方向に配向していた。 In the straight fin 3A, the longest axial direction D and the width direction E of the scaly graphite particles 7a are in the width direction of the straight fin 3A (that is, the protruding direction G of the straight fin 3A with respect to the base plate 2) and the plane direction parallel to the length direction. It was oriented.

次いで、30枚のストレートフィン3Aを、ストレートフィン3Aがベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向A(即ちベースプレート2の長さ方向Y)に対して直交する方向(即ちベースプレート2の幅方向X)に連続的に延びるように且つベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向A(即ちベースプレート2の長さ方向Y)に等間隔に並列状に配置されるようにベースプレート2の下面にアルミニウム系ろう材箔(その厚さ0.04mm)を用いてろう付けにより接合した。したがって、θは90°であった。また、これらのストレートフィン3Aにおいて互いに隣り合う二つのストレートフィン3A、3Aの間4の隙間は0.9mmであった。 Next, the 30 straight fins 3A are arranged in a direction in which the straight fins 3A are orthogonal to the maximum thermal conductivity direction A (that is, the length direction Y of the base plate 2) in the plane direction of the base plate 2 (that is, the width direction X of the base plate 2). ), And is arranged in parallel at equal intervals in the maximum thermal conductivity direction A (that is, the length direction Y of the base plate 2) in the plane direction of the base plate 2. It was joined by brazing using a brazing material foil (its thickness 0.04 mm). Therefore, θ was 90 °. Further, in these straight fins 3A, the gap 4 between the two straight fins 3A and 3A adjacent to each other was 0.9 mm.

以上の方法によりヒートシンク1を製造した。 The heat sink 1 was manufactured by the above method.

このヒートシンク1のベースプレート2の上面2aの中央部に発熱体20をろう付けにより接合した。そして、発熱体20を発熱させた状態でヒートシンク1の各ストレートフィン間4に冷却媒として温度60℃の冷却水を流速10L/minで流した。その結果、冷却水の温度が60℃から86.3℃に上昇した。 A heating element 20 was joined to the central portion of the upper surface 2a of the base plate 2 of the heat sink 1 by brazing. Then, with the heating element 20 generating heat, cooling water having a temperature of 60 ° C. was flowed between the straight fins 4 of the heat sink 1 as a cooling medium at a flow velocity of 10 L / min. As a result, the temperature of the cooling water increased from 60 ° C to 86.3 ° C.

<比較例>
本比較例では図6に示した上記参考形態のヒートシンク1Aを以下の方法で製造した。
<Comparison example>
In this comparative example, the heat sink 1A of the above reference embodiment shown in FIG. 6 was manufactured by the following method.

30枚のストレートフィン3Aを、ストレートフィン3Aがベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向A(即ちベースプレート2の長さ方向Y)に対して平行な方向に連続的に延びるように且つベースプレート2の平面方向の最高熱伝導率方向Aに対して直交する方向(即ちベースプレート2の幅方向X)に等間隔に並列状に配置されるようにベースプレート2の下面にろう付けにより接合したこと以外は、上記実施例と同様にヒートシンク1Aを製造した。このヒートシンク1Aではθは0°であった。 The 30 straight fins 3A are extended so that the straight fins 3A continuously extend in a direction parallel to the maximum thermal conductivity direction A (that is, the length direction Y of the base plate 2) in the plane direction of the base plate 2 and the base plate 2 Except that it was joined to the lower surface of the base plate 2 by brazing so that it was arranged in parallel at equal intervals in the direction orthogonal to the maximum thermal conductivity direction A in the plane direction (that is, the width direction X of the base plate 2). , A heat sink 1A was manufactured in the same manner as in the above embodiment. In this heat sink 1A, θ was 0 °.

このヒートシンク1Aのベースプレート2の上面2aの中央部に上記実施例で用いた発熱体と同じ発熱体20をろう付けにより接合した。そして、発熱体20を発熱させた状態でヒートシンク1Aの各ストレートフィン間4に温度60℃の冷却水を上記実施例と同じ条件で流した。その結果、冷却水の温度が60℃から85.6℃に上昇した。 The same heating element 20 as the heating element used in the above embodiment was joined to the central portion of the upper surface 2a of the base plate 2 of the heat sink 1A by brazing. Then, with the heating element 20 generating heat, cooling water having a temperature of 60 ° C. was flowed between the straight fins 4 of the heat sink 1A under the same conditions as in the above embodiment. As a result, the temperature of the cooling water increased from 60 ° C to 85.6 ° C.

以上のように、実施例のヒートシンク1では冷却水の温度は86.3℃であり、この温度は比較例の冷却水の温度85.6℃よりも高い。したがって、実施例のヒートシンク1の放熱性能は比較例のヒートシンク1Aよりも高いことを確認し得た。 As described above, in the heat sink 1 of the example, the temperature of the cooling water is 86.3 ° C., which is higher than the temperature of the cooling water of the comparative example of 85.6 ° C. Therefore, it was confirmed that the heat dissipation performance of the heat sink 1 of the example was higher than that of the heat sink 1A of the comparative example.

本発明は、発熱性素子等の発熱体の熱を放散するヒートシンクに利用可能である。 The present invention can be used as a heat sink that dissipates heat from a heating element such as a heating element.

1:ヒートシンク
2:ベースプレート
3:フィン
3A:ストレートフィン
3B:波フィン
7a:鱗片状黒鉛粒子(炭素粒子)
7b:炭素繊維(炭素粒子)
8:金属マトリックス
A:ベースプレートの平面方向の最高熱伝導率方向
B:ベースプレートの平面方向の最低熱伝導率方向
D:炭素粒子の最長軸方向
E:炭素粒子の幅方向
1: Heat sink 2: Base plate 3: Fins 3A: Straight fins 3B: Wave fins 7a: Scaly graphite particles (carbon particles)
7b: Carbon fiber (carbon particles)
8: Metal matrix A: Maximum thermal conductivity direction in the plane direction of the base plate B: Minimum thermal conductivity direction in the plane direction of the base plate D: Longest axial direction of carbon particles E: Width direction of carbon particles

Claims (7)

ベースプレートと、前記ベースプレートにその厚さ方向に突出して設けられた複数のフィンとを備え、
前記ベースプレートはその平面方向の熱伝導率に異方性を有しており、
前記ベースプレートの上面視において、前記フィンは、前記ベースプレートの平面方向の最高熱伝導率方向に対して交差する方向に延びている、ヒートシンク。
A base plate and a plurality of fins provided on the base plate so as to project in the thickness direction thereof are provided.
The base plate has anisotropy in its thermal conductivity in the plane direction.
A heat sink in which the fins extend in a direction intersecting the plane direction of the base plate with respect to the maximum thermal conductivity direction in the top view of the base plate.
前記複数のフィンはストレートフィン及び波フィンの少なくとも一方を含む請求項1記載のヒートシンク。 The heat sink according to claim 1, wherein the plurality of fins include at least one of a straight fin and a wave fin. 前記ベースプレートの材料として、金属マトリックスと金属マトリックス中に分散した炭素粒子とを含む第1の金属−炭素粒子複合材が用いられている請求項1又は2記載のヒートシンク。 The heat sink according to claim 1 or 2, wherein a first metal-carbon particle composite material containing a metal matrix and carbon particles dispersed in the metal matrix is used as the material of the base plate. 前記第1複合材の炭素粒子の最長軸方向が前記ベースプレートの厚さ方向に配向している請求項3記載のヒートシンク。 The heat sink according to claim 3, wherein the longest axial direction of the carbon particles of the first composite material is oriented in the thickness direction of the base plate. 前記第1複合材の前記金属マトリックスの金属としてアルミニウムが用いられている請求項3又は4記載のヒートシンク。 The heat sink according to claim 3 or 4, wherein aluminum is used as the metal of the metal matrix of the first composite material. 前記フィンの材料として、金属マトリックスと金属マトリックス中に分散した炭素粒子とを含む第2の金属−炭素粒子複合材が用いられている請求項1〜5のいずれかに記載のヒートシンク。 The heat sink according to any one of claims 1 to 5, wherein a second metal-carbon particle composite material containing a metal matrix and carbon particles dispersed in the metal matrix is used as the material for the fins. 前記第2複合材の前記金属マトリックスの金属としてアルミニウムが用いられている請求項6記載のヒートシンク。 The heat sink according to claim 6, wherein aluminum is used as the metal of the metal matrix of the second composite material.
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